JP3413976B2

JP3413976B2 - Ｔｃｐの試験装置

Info

Publication number: JP3413976B2
Application number: JP18682794A
Authority: JP
Inventors: 展浩藤本; 秀昭長塚; 和英横沢; 佐栄一古屋; 直和牧原
Original assignee: 日立電子エンジニアリング株式会社
Priority date: 1994-07-18
Filing date: 1994-07-18
Publication date: 2003-06-09
Anticipated expiration: 2018-06-09
Also published as: JPH0829484A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数のＩＣを実装した
ＴＣＰの電気的特性の試験・測定を行うためのＴＣＰの
試験装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイは、液晶パネルにドラ
イバ回路を接続することにより構成されるが、ドライバ
回路を構成するドライバＩＣは、ＩＣチップを搭載した
ＴＣＰ（Tape Carrier Package）として形成されて、こ
のＴＣＰからドライバＩＣを打ち抜いて、ＡＣＦ（Anis
otropic Conductive Film ）を用いてＴＡＢ（Tape Aut
omated Bonding）方式で液晶セルに実装されるが、ＴＣ
Ｐにおける各ドライバＩＣの電気的特性の試験。測定を
行うためのＴＣＰの試験装置としては、ＴＣＰを供給す
る供給リールと、試験・測定が終了した部分を巻き取る
巻き取りリールとを有し、この供給リールから巻き取り
リールまでのＴＣＰの走行経路の途中にテストヘッドの
プローブを対向配設して、各ドライバＩＣの部位を、こ
のテストヘッド側に変位させて、そのリードをプローブ
にコンタクトさせて、通電試験を行う構成としている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶ディス
プレイは、カラー化、画素数の増大及びピクセルサイズ
の微細化等によりドライバＩＣに設けられる出力リード
が微細化される傾向にある。そして、通電試験を行う時
には、このように微小ピッチ間隔に配列したリードをプ
ローブに正確にコンタクトさせるために、ＴＣＰを所定
の張りを持たせた状態にする必要がある。このために、
ＴＣＰの走行経路において、テストヘッドに対向する位
置の前後に、このＴＣＰの左右両側に設けたスプロケッ
ト孔に係合するスプロケットを設け、これら一対からな
るスプロケットによってＴＣＰに所定の張りを持たせた
状態のままで、このＴＣＰをテストヘッドに向けて変位
させて、コンタクトプレスを用いてプローブに押し付け
るようにする。従って、スプロケットとコンタクトプレ
スとを往復移動させなければならないが、ＴＣＰの送り
時には、スプロケットはこのＴＣＰに係合させ、コンタ
クトプレスはそれとは非接触状態に保たなければならな
い関係等から、コンタクトプレスはスプロケットより往
復移動のストロークを長くする必要がある。このため
に、コンタクトプレス及びスプロケットはそれぞれ別個
の駆動手段により駆動しなければならず、装置の構成が
複雑になり、かつ両駆動手段の動作タイミングの設定が
面倒である等の問題点があった。

【０００４】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、簡単な装置構成によ
って、ドライバＩＣのリードを正確にプローブにコンタ
クトさせることができるＴＣＰの試験装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ＴＣＰの走行経路におけるテストヘ
ッドの配設位置の前後に配置され、このＴＣＰを所定の
張りを持った状態に保持するための一対のスプロケット
と、テストヘッドに対面する位置に設けたコンタクトプ
レスと、これらスプロケット及びコンタクトプレスとを
それぞれ所定の往復動ストロークをもってテストヘッド
に近接・離間させる方向に変位させる駆動手段とからな
り、この駆動手段は、スプロケットとコンタクトプレス
が前記テストヘッドに近接する方向に向けて移動する際
に、その移動ストロークの途中まではコンタクトプレス
の方が長くなる移動ストロークで変位させ、途中位置か
らは両者を連動して変位させる構成としたことをその特
徴とするものである。

【０００６】

【作用】ＴＣＰに対して、一対からなるスプロケットを
係合させることによって、このＴＣＰに所要の張りを持
たせることができる。ＴＣＰが走行する間においては、
これらスプロケットと係合しているが、コンタクトプレ
スはＴＣＰ及びそれに実装されているＩＣチップと非接
触状態に保持しなければならない。そして、ＴＣＰが所
定の位置にまで搬送されると、駆動手段が作動して、ス
プロケットによってＴＣＰがテストヘッド側に押圧変位
せしめられる。これと同時に、コンタクトプレスも移動
を開始して、この移動ストロークの途中位置でコンタク
トプレスがＴＣＰに接触する。この位置において、画像
認識等の手段によって、ドライバＩＣの位置を検出し
て、位置ずれがあれば、その補正を行う。この後に、駆
動手段をさらに作動させると、連動変位手段によりスプ
ロケットとコンタクトプレスとは連動して変位するよう
になり、コンタクトプレスはテストされるドライバＩＣ
の部分を押動して、テストヘッドのプローブに圧接させ
ることによって、このＴＣＰのリードが確実にプローブ
と電気的に接続される。

【０００７】以上のように、スプロケットとコンタクト
プレスとを単一の駆動手段により駆動させるように構成
することによって、駆動機構の構成が簡略化され、かつ
動作タイミングも正確に設定できるようになる。

【０００８】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例につい
て説明する。まず、試験を行うＴＣＰ１は、図１に示し
たように、ポリイミド等からなるテープ２に所定の間隔
毎に入出力リード３を有する配線パターンが形成される
と共に、ＩＣチップ４が、その電極をリード３に接続さ
せた状態にして実装されている。これによって、テープ
２に沿って多数のドライバＩＣ５が形成されるようにな
っている。ドライバＩＣ５は、液晶ディスプレイを構成
する液晶セルにＡＣＦを用いてＴＡＢ実装されるもので
あって、このために最終的にはＴＣＰ１のテープ２から
ドライバＩＣ５の部分が打ち抜かれることになる。ま
た、ＴＣＰ１におけるテープ２の左右両側に所定のピッ
チ間隔でスプロケット孔６が形成されており、また製造
工程において、例えばテープ２に配線パターンが正確に
形成されていない場合等のように不良品であると判定さ
れた時には、相隣接するドライバＩＣ５，５間の部位に
不良品であることを表示する穿孔部７が設けられたり、
また製造段階でＩＣチップ４そのものを欠落させること
もある。なお、穿孔は良品・不良品を識別するためのも
のであって、良品に穿孔部を設け、不良品には穿孔部を
設けないようにするものもある。

【０００９】最終製品としてのドライバＩＣ５の電気的
特性の試験は、このドライバＩＣ５が打ち抜かれる前の
長尺テープの状態で行われる。この試験装置としては、
概略図２に示したように構成される。図中において、１
０は供給リール、１１は巻き取りリールである。供給リ
ール１０にはＴＣＰ１が巻着されており、この供給リー
ル１０から送り出されたＴＣＰ１は、所定の経路に沿っ
て走行させて、巻き取りリール１１に巻き取られるまで
の間に、不良品検出を行い、次いで各ドライバＩＣ５の
テストが順次行われる。

【００１０】供給リール１０から送り出されたＴＣＰ１
は、まずガイドローラ１２により水平方向にガイドされ
て、不良品検出部１３に送り込まれる。然る後に、固定
ガイド１４を経て電気的特性の試験・測定を行うテスト
部１５に搬送されるようになる。このテスト部１５に
は、テストヘッド１６を構成するプローブ１６ａが対向
配設されており、このテストヘッド１６に対面する位置
の前後の部位にはＴＣＰ１を正確に水平状態に保ち、か
つ所定の張力を生じさせるために、ＴＣＰ１の左右両側
部に設けたスプロケット孔６に係合する各一対のスプロ
ケット爪を備えたスプロケット１７，１８が設けられて
おり、またこれらスプロケット１７，１８間の位置には
コンタクトプレス１９が配設されている。さらに、テス
トヘッド１６の配設位置より巻き取りリール１１側の部
位には、固定ガイド２０及びガイドローラ２１が設けら
れている。ここで、コンタクトプレス１９は、ＴＣＰ１
と当接して、このＴＣＰ１におけるドライバＩＣ５に形
成したリード３をプローブ１６ａに押し付けるためのも
のであって、このコンタクトプレス１９には、ＩＣチッ
プ４を避けるようにしてＴＣＰ１に当接するための凹部
１９ａが形成されている。

【００１１】而して、供給リール１０から巻き取りリー
ル１１に向けてＴＣＰ１を走行させるために、巻き取り
リール１１にはテープ送りモータ２２が接続されてお
り、また供給リール１０には、ＴＣＰ１に対してバック
テンションを作用させるために、トルクモータ２３が装
着されている。ここで、供給リール１０においては、Ｔ
ＣＰ１の巻き径に応じて荷重が変化するために、ＴＣＰ
１の供給量に応じてバックテンションが変化する。そこ
で、ＴＣＰ１の供給量に応じてトルクモータ２３による
バックテンションの調整を行えるようにするために、供
給リール１０の回転軸にはエンコーダ（図示せず）等の
回転検出手段を装着して、この回転検出手段からの信号
に基づいて、トルクモータ２３により作用するトルクが
連続的または間欠的に上昇するように制御される。

【００１２】ＴＣＰ１の走行経路に設けた不良品検出部
１３には、図３から明らかなように、ＴＣＰ１の上下に
配設した発光素子アレイ２４と受光素子アレイ２５とか
らなるラインセンサから構成されている。発光素子アレ
イ２４及び受光素子アレイ２５には、それぞれ発光素子
２４ａ及び受光素子２５ａが微小ピッチ間隔をもってラ
イン状に配設されており、このラインセンサは少なくと
もＴＣＰ１の幅に対応する長さを有する。そして、発光
素子アレイ２４を構成する発光素子２４ａを順次点灯さ
せて、この発光素子２４ａからの光を、それに対向する
位置に設けた受光素子２５ａで受光させ、この受光素子
２５ａの受光レベルと遮光量とによって、不良品（また
は良品）であることを表示する穿孔部７の有無及びＩＣ
チップ４が存在してるか否かの判定が行われる。また、
これら以外にも、ＴＣＰ１が破損しているかどうかの判
定もできる。特に、ＩＣチップ４を実装したＴＣＰ１の
製造時には、加熱炉に挿入して耐熱試験を行う、所謂バ
ーインが行われるが、このバーインを行うための炉が小
型のものである場合には、ＴＣＰ１を所定の長さに切断
してバーインを行い、然る後に粘着テープ等を用いて相
互に連結することにより再び長尺化させる。従って、不
注意等によりＴＣＰ１の連結不良という事態も生じるこ
とがある。このために、不良品検出部１３ではラインセ
ンサを用いていることから、単に穿孔部７及びＩＣチッ
プ４の有無のみならず、テープ２に破れた箇所や裂け目
等があると、このテープ２の破れや裂け目等も受光素子
アレイ２５を構成する受光素子２５ａの受光量の変化と
して検出できる。

【００１３】テスト部１５においては、ＴＣＰ１をテス
トヘッド１６側に変位させることによって、リード３を
プローブ１６ａに接続させるようにするが、このＴＣＰ
１は、その走行経路においては正確に位置調整されては
いない。このために、ＴＣＰ１の位置調整を行う必要が
あるが、この位置調整はＴＣＰ１におけるドライバＩＣ
５がプローブ１６ａと接触する直前の位置でＸＹ方向に
位置調整できるようになっている。このために、ドライ
バＩＣ５の位置、具体的にはそのリード３の位置を検出
する手段と、その位置を調整する手段とを備えている。
ドライバＩＣ５の位置を検出する手段としては、周知の
ように、画像認識手段が用いられる。このために、テス
トヘッド１６の近傍位置には、テレビカメラ２６が配置
されており、このテレビカメラ２６でＴＣＰ１の特徴点
や、各々のドライバＩＣ５の配設位置に設けた位置表示
マーク等の画像を取り込んで、画像認識回路２７で基準
位置からの位置ずれを演算するようになされている。

【００１４】画像認識回路２７からの出力信号に基づい
てＴＣＰ１の位置を調整するために、一対からなるスプ
ロケット１７，１８及びその間に設けたコンタクトプレ
ス１９は、位置調整機構に装着され、またこれらスプロ
ケット１７，１８とコンタクトプレス１９とを位置調整
された状態でテストヘッド１６側に変位させるための駆
動手段を備えている。

【００１５】即ち、図４及び図５に示したように、一対
からなるスプロケット１７，１８は連結部材２８によっ
て相互に連結されており、この連結部材２８はガイドレ
ール２９に沿って上下方向に往復移動するようになって
いる。また、コンタクトプレス１９も、このガイドレー
ル２９に沿って上下方向に往復移動するようになってい
る。ガイドレール２９は位置調整機構３０に連結され
て、ガイドレール２９を含めて、スプロケット１７，１
８及びコンタクトプレス１９が一体となって水平方向に
位置調整されるようになっている。位置調整機構３０
は、固定的に保持されている基台３１上にモータ３２に
よりその水平面におけるＸ軸方向に位置調整可能なＸ軸
テーブル３３と、このＸ軸テーブル３３上に、モータ３
４によりＹ軸方向に位置調整可能なＹ軸テーブル３５と
を有し、ガイドレール２９はこのＹ軸テーブル３５に固
定されている。画像認識回路２７でＴＣＰ１の位置ずれ
を演算した結果、これらモータ３２，３４を作動させ
て、スプロケット１７，１８及びコンタクトプレス１９
の水平方向の位置を調整することによって、ＴＣＰ１が
テストヘッド１６のプローブ１６ａに対して正確に位置
合わせを行うことができるようになる。

【００１６】また、Ｙ軸テーブル３５には昇降駆動モー
タ３６が取り付けられており、この昇降駆動モータ３６
には回転軸３７が連結されている。回転軸３７には、上
下の位置にボールねじ軸部３８，３９が形設されてお
り、これらボールねじ軸部３８，３９には、ボールナッ
ト４０，４１が螺合している。また、ボールナット４
０，４１は、ガイドレール２９と一体的に設けたガイド
４２に沿って昇降されるようになっている。ボールナッ
ト４１はコンタクトプレス１９に直接連結されている
が、ボールナット４０は、スプロケット１７，１８の連
結部材２８に螺挿した調整ねじ４３と当接しており、ま
たこの連結部材２８はばね４４によって、調整ねじ４３
がボールナット４０に当接する方向に付勢されている。
さらに、コンタクトプレス１９には、押動ねじ４５が螺
挿されており、この押動ねじ４５は、コンタクトプレス
１９の下降ストロークの途中位置で連結部材２８に当接
するようになっている。従って、コンタクトプレス１９
を下降させて、その押動ねじ４５が連結部材２８に当接
すると、この連結部材２８はボールナット４０から離間
して、コンタクトプレス１９と共に変位するようにな
る。従って、連結部材２８を上昇する方向に付勢するば
ね４４と、このばね４４に抗して連結部材２８を押動す
る押動ねじ４５とにより連動変位手段が構成される。

【００１７】以上のように構成することによって、昇降
駆動モータ３６を作動させて、回転軸３７が回転する
と、そのボールねじ軸部３８，３９が回転して、スプロ
ケット１７，１８及びコンタクトプレス１９をテストヘ
ッド１６に近接・離間する方向に往復移動させるが、ボ
ールねじ軸部３８，３９及びそれらに螺合するボールナ
ット４０，４１はピッチが異なる差動ねじを構成し、昇
降駆動されるスプロケット１７，１８の移動ストローク
とコンタクトプレス１９の移動ストロークとを比較する
と、コンタクトプレス１９の方のストロークが長くなっ
ている。而して、スプロケット１７，１８と、コンタク
トプレス１９とは、最上昇位置にある時（図４の状態）
には、コンタクトプレス１９の方が高い位置にあり、こ
の位置が退避位置である。そして、これらの下降ストロ
ークの途中で、ＴＣＰ１のドライバＩＣ５がプローブ１
６ａにコンタクトする直前の位置において、図６に示し
たように、コンタクトプレス１９がスプロケット１７，
１８と同じ高さ位置となり、この位置がＴＣＰ１の位置
調整が行われる調整位置である。さらに、それより下降
する際には、スプロケット１７，１８とコンタクトプレ
ス１９とは連動して下降するようになり、図７に示した
ように、ＴＣＰ１がプローブ１６ａに接触する位置がコ
ンタクト位置となる。

【００１８】退避位置では、ＴＣＰ１にはスプロケット
１７，１８が係合しているが、コンタクトプレス１９は
このＴＣＰ１に対してはＩＣチップ４とも接触しない高
さ位置に保持されており、調整位置まで下降すると、ス
プロケット１７，１８によりＴＣＰ１がある程度下方に
押圧され、またコンタクトプレス１９がこのＴＣＰ１に
当接することになり、この状態で画像認識に基づいてそ
の位置の調整が行われる。この位置調整を正確に行うた
めには、ＴＣＰ１は正確に水平状態に保たれ、かつ所定
の張りを持っていなければならない。スプロケット１
７，１８は、このＴＣＰ１を適正な状態に保つためのも
のである。そして、ＴＣＰ１の位置調整は、このＴＣＰ
１に係合しているスプロケット１７，１８及びコンタク
トプレス１９を水平方向に微小量変位させることにより
実行される。また、この位置調整後には、コンタクトプ
レス１９によって、ＴＣＰ１がテストヘッド１６のプロ
ーブ１６ａに当接するコンタクト位置にまで変位させ
る。そして、調整位置からコンタクト位置に至る動作の
間にＴＣＰ１が位置ずれを起こさないようにするため
に、スプロケット１７，１８は押動ねじ４５に押動され
て、コンタクトプレス１９と連動して移動すると共に、
図８に示したように、コンタクトプレス１９におけるＴ
ＣＰ１への接触部には、多数の真空吸着孔４６が開口し
ており、ＴＣＰ１はこの真空吸着孔４６による真空吸着
により固定するようにしている。

【００１９】本実施例は以上のように構成されるもので
あって、次にその作動について説明する。ＴＣＰ１を供
給リール１０に巻着して、その先端をガイドローラ１
２，固定ガイド１４を経て、テスト部１５を通り、さら
に固定ガイド２０及びガイドローラ２１を介して巻き取
りリール１１に巻き取らせる。そして、この状態で巻き
取りリール１１に付設したテープ送りモータ２２を作動
させることによって、ＴＣＰ１をドライバＩＣ５の長さ
毎にピッチ送りする間に、テスト部１５において、ドラ
イバＩＣ５の電気的特性の試験・測定を行う。

【００２０】而して、ＴＣＰ１はそのスプロケット孔６
にスプロケット１７，１８が係合しており、またテープ
送りモータ２２によるＴＣＰ１の送りに対しては、供給
リール１０側に設けたトルクモータ２３により所定の張
力が働くようになっている。この結果、ＴＣＰ１におけ
るテスト部１５の部位は、スプロケット１７，１８によ
って水平で、しかも所定の張りを持った状態に保たれて
いる。

【００２１】ここで、ＴＣＰ１は、巻き取りリール１１
側で、テープ送りモータ２２によって、このＴＣＰ１に
形成されている各ドライバＩＣ５間の間隔を１ピッチと
して間欠送りされるが、供給リール１０側ではトルクモ
ータ２３によりこの送りに対して所定のバックテンショ
ンを作用させている。しかしながら、このトルクモータ
２３のトルクが一定であると、供給リール１０における
ＴＣＰ１の残量の減少に応じて供給リール１０全体の重
量が減少する結果、バックテンションが変化することに
なる。このために、供給リール１０へのＴＣＰ１の長さ
から、その重量を演算して、トルクモータ２３により所
定の初期トルクを作用させるように設定しておき、この
供給リール１０の回転を検出することによって、それか
らのＴＣＰ１の供給に応じて、減少した重量分に相当す
るトルクを増大させるように制御する。これによって、
ＴＣＰ１の張りを常に一定に保つことができ、たるみの
発生や張力過多による伸びや反り等の発生が抑制され
る。

【００２２】ＴＣＰ１に設けた各ドライバＩＣ５は、ま
ず不良品検出部１３において、穿孔部７の有無及びＩＣ
チップ４が存在するか否かの検査を行う。これと共に、
ＴＣＰ１に破れた箇所や裂け目等の損傷があるか否かの
検査も行われる。この検査は、不良品検出部１３に配置
したラインセンサを構成する発光素子アレイ２４の各発
光素子２４ａを順次発光させて、受光素子アレイ２５を
構成する受光素子２５ａに受光させ、これら各受光素子
２５ａの受光レベルと遮光量を検出することによって、
穿孔部７に相当する位置の受光レベルが高くなると、不
良品として穿孔されたものであることが検出され、また
ＩＣチップ４の位置の受光レベルが高いと、このＩＣチ
ップ４が搭載されていないことを検出できる。従って、
不良品として穿孔されたものや、ＩＣチップ４が搭載さ
れていないものが検出されると、その部分がテスト部１
５に移行しても、コンタクトプレス１９を作動させず、
そのまま次の部位にスキップする。一方、前述以外の部
位の受光レベルが高い場合には、ＴＣＰ１が損傷してい
ると判断し、テスト部１５に移行すると、この部位に設
けられているプローブ１６ａを損傷させるおそれがある
から、直ちに装置の作動を停止させる。

【００２３】不良品検出部１３で不良品でないと判定さ
れたドライバＩＣ５はテスト部１５に移行する。このテ
スト部１５においては、コンタクトプレス１９が配置さ
れているが、このコンタクトプレス１９は退避位置に配
置されているから、ＴＣＰ１はこのコンタクトプレス１
９と干渉することなく搬送される。この状態で、昇降駆
動モータ３６を作動させることによって、回転軸３７を
回転させる。この回転軸３７には、ボールねじ軸部３
８，３９が設けられており、これらボールねじ軸部３
８，３９にはボールナット４０，４１が螺合しているか
ら、これらボールナット４０，４１は、ガイド４２に沿
って下降を開始する。これによって、スプロケット１
７，１８がボールナット４０によりばね４４に抗して押
し下げられ、またコンタクトプレス１９はボールナット
４１の駆動により直接下降する。ここで、ボールねじ軸
部３８，３９はピッチ間隔が異なっており、スプロケッ
ト１７，１８の連結部材２８を駆動するボールねじ軸部
３８の方が、コンタクトプレス１９に連結されているボ
ールねじ軸部３９よりピッチ間隔が細かくなっているか
ら、昇降ブロック３１側の方が下降速度が速くなり、所
定のストローク分だけ下降すると、コンタクトプレス１
９はＴＣＰ１の表面に当接する調整位置にまで変位す
る。この位置でコンタクトプレス１９に設けた真空吸着
孔４６によりＴＣＰ１を吸着・保持されて、ＴＣＰ１は
安定した状態に保持されて、外力等が作用しても、その
位置がずれるようなことはない。

【００２４】この状態で、テレビカメラ２６によりＴＣ
Ｐ１におけるドライバＩＣ５の位置ずれの有無を検出す
る。ドライバＩＣ５を液晶セルに実装する際に、このド
ライバＩＣ５と液晶セルとの間の位置合わせを可能なら
しめるために、アライメントマークが設けられるのが一
般的であり、このアライメントマークを基準としてＴＣ
Ｐ１の位置ずれ検出を行うことができる。即ち、テレビ
カメラ２６でこのアライメントマークを検出して、画像
認識回路２７に伝送して、画像上の座標位置を検出し
て、基準位置からのずれを演算する。この画像認識の結
果、位置ずれがある場合には、位置調整機構３０を構成
するＸ軸テーブル３３及びＹ軸テーブル３５をそれぞれ
モータ３２，３４により作動させることによって、スプ
ロケット１７，１８及びコンタクトプレス１９を支承し
ているガイドレール２９及びボールナット４０，４１を
支承するガイド４２が水平方向に移動する。而して、Ｔ
ＣＰ１はコンタクトプレス１９に真空吸着されているか
ら、この位置調整を行う際に、ＴＣＰ１がコンタクトプ
レス１９に対して相対移動することはない。

【００２５】ＴＣＰ１の位置調整が完了すると、昇降駆
動モータ３６を作動させることによって、ボールナット
４０，４１が作動するが、コンタクトプレス１９に設け
た押動ねじ４５が連結部材２８に当接して、この連結部
材２８を押動することになるから、ボールねじ軸部３
８，３９はピッチ間隔の差に基づいてコンタクトプレス
１９の方が下降量が大きくなるが、調整位置からコンタ
クト位置までの間は、スプロケット１７，１８に連結し
た連結部材２８はコンタクトプレス１９に連動して移動
することになり、ＴＣＰ１はスプロケット１７，１８間
において所定の姿勢状態を保持する。そして、ＴＣＰ１
がコンタクト位置に変位すると、ドライバＩＣ５のリー
ド３がテストヘッド１６のプローブ１６ａに当接して、
その間が電気的に接続される。ここで、コンタクトプレ
ス１９はボールナット４０を介して回転軸３７に剛体的
に連結されて、ガイドレール２９に沿って動くようにな
っているから、このコンタクトヘッド１９の動きは極め
て安定することになり、ドライバＩＣ５をプローブ１６
ａに確実に当接させることができて、このドライバＩＣ
５の電気的特性の試験・測定を正確に、安定した状態で
行うことができる。

【００２６】ドライバＩＣ５の電気的特性の試験・測定
が終了すると、昇降駆動モータ３６により回転軸３７を
逆方向に回転させることによって、スプロケット１７，
１８及びコンタクトプレス１９が上昇する。そして、Ｔ
ＣＰ１がほぼ水平な状態になると、その位置でスプロケ
ット１７，１８の上昇は停止するが、この時には、コン
タクトプレス１９はさらに上方の位置にまで上昇するこ
とになって、このコンタクトプレス１９はＴＣＰ１のＩ
Ｃチップ４の高さ位置より上方の退避位置に変位する。
この状態で、テープ送りモータ２２を作動させて、ＴＣ
Ｐ１をドライバＩＣ５の長さ分だけ搬送する。これによ
って、次のドライバＩＣ５の試験・測定を行うことがで
きる状態になる。以上の手順を繰り返すことによって、
ＴＣＰ１に設けたドライバＩＣ５の試験・測定を順次行
うことができる。

【００２７】以上のように、単一の昇降駆動モータ３６
を用いて、スプロケット１７，１８及びコンタクトプレ
ス１９を作動させるようになし、しかも退避位置におい
ては、スプロケット１７，１８はＴＣＰ１に係合する
が、コンタクトプレス１９はＴＣＰ１に対して非接触状
態に保持され、調整位置にまで変位する間に、コンタク
トプレス１９が長いストローク移動することによって、
このコンタクトプレス１９をスプロケット１７，１８と
同じ位置にまで変位させ、さらにコンタクト位置に変位
する際には、コンタクトプレス１９とスプロケット１
７，１８とを連動させるようにしているので、ＴＣＰ１
のテストヘッド１６への接離を正確に行わせることがで
きる。そして、前述した調整位置は、連結部材２８に設
けた調整ねじ４３及びコンタクトプレス１９に設けた押
動ねじ４５を適宜螺回することによって、容易に、しか
も正確に調整できるようになる。

【００２８】なお、前述の実施例においては、ＴＣＰ１
の走行経路を水平となし、テストヘッド１６をその下方
に配設して、スプロケット１７，１８及びコンタクトプ
レス１９を昇降駆動するように構成したが、ＴＣＰ１は
テープ送りモータ２２及びトルクモータ２３によって、
供給リール１０から巻き取りリール１１に至るまでの全
長において所定の張力が作用するようになっており、か
つテストヘッド１６に対面する部位では、スプロケット
１７，１８により正確に姿勢を維持するようになされて
おり、さらにはスプロケット１７，１８はばね４４の付
勢力を作用させ、またコンタクトプレス１８は回転軸３
７に設けたボールねじ軸部３９により直動されるように
なっているから、必ずしもＴＣＰ１とテストヘッド１６
のプローブ１６ａとを上下の位置に配置する必要はな
く、例えばテストヘッド１６を横置きとなし、ＴＣＰ１
を垂直方向に走行させるようにすることもできる。

【００２９】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、簡
単な装置構成によって、単一の駆動手段を用いてドライ
バＩＣのリードを正確にプローブにコンタクトさせるこ
とができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＴＣＰの構成説明図である。

【図２】ＴＣＰ試験装置の全体構成図である。

【図３】不良品検出部の構成説明図である。

【図４】スプロケットとコンタクトプレスとの組立体の
正面図である。

【図５】図４の左側面図である。

【図６】調整位置でのスプロケットとコンタクトプレス
との組立体の正面図である。

【図７】コンタクト位置におけるスプロケットとコンタ
クトプレスとの組立体の正面図である。

【図８】コンタクトプレスの断面図である。

【符号の説明】

１ＴＣＰ２テープ５ドライバＩＣ１０供給リール１１巻き取りリール１３不良品検出部１５テスト部１６テストヘッド１６ａプローブ１７，１８スプロケット１９コンタクトプレス２２テープ送りモータ２３トルクモータ２４発光素子アレイ２５受光素子アレイ２９ガイドレール３０位置調整機構３３Ｘ軸テーブル３５Ｙ軸テーブル３６昇降駆動モータ３７回転軸３８，３９ボールねじ軸部４０，４１ボールナット４２ガイド４３調整ねじ４４ばね４５押動ねじ４６真空吸着孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者古屋佐栄一東京都千代田区大手町二丁目６番２号日立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者牧原直和東京都千代田区大手町二丁目６番２号日立電子エンジニアリング株式会社内 (56)参考文献実開平４−5644（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】多数のＩＣチップを実装させたＴＣＰを
供給リールから供給して、テストヘッドのプローブと接
続させて、その電気的特性の試験・測定を行って、巻き
取りリールに巻き取るものにおいて、前記ＴＣＰの走行経路におけるテストヘッドの配設位置
の前後に配置され、このＴＣＰを所定の張りを持った状
態に保持するための一対のスプロケットと、テストヘッドに対面する位置に設けたコンタクトプレス
と、これらスプロケット及びコンタクトプレスとをそれぞれ
所定の往復動ストロークをもって前記テストヘッドに近
接・離間させる方向に変位させる駆動手段とからなり、この駆動手段は、前記スプロケットとコンタクトプレス
が前記テストヘッドに近接する方向に向けて移動する際
に、その移動ストロークの途中まではコンタクトプレス
の方が長くなる移動ストロークで変位させ、途中位置か
らは両者を連動して変位させる構成としたことを特徴と
するＴＣＰの試験装置。
【請求項２】前記駆動手段は、モータと、このモータ
により回転駆動される回転軸と、この回転軸に一体に設
けられ、それぞれピッチ間隔の異なる一対のねじ軸部及
びこれら各ねじ軸部に螺合され、それぞれ前記スプロケ
ット及びコンタクトプレスに連結した一対のナットと、
これらスプロケット及びコンタクトプレスをガイドする
ガイド手段と、連動変位手段とを有し、前記スプロケッ
トとコンタクトプレスとを、前記テストヘッドに近接す
る方向に向けて移動する際に、その移動ストロークの途
中まではコンタクトプレスの方が長くなる移動ストロー
クで変位させ、途中位置からは前記連動変位手段によっ
て両者を連動して変位させる構成としたことを特徴とす
る請求項１記載のＴＣＰの試験装置。
【請求項３】前記スプロケット及びコンタクトプレス
は位置調整機構に装着されると共に、前記ＴＣＰに実装
したＩＣチップの位置を認識するための画像認識手段を
備え、前記連動変位手段によりこれらスプロケット及び
コンタクトプレスが連動して変位を開始する直前の位置
で前記画像認識手段により前記ＩＣチップの位置ずれの
有無を検出して、位置ずれがある場合には、前記位置調
整機構によりこのＩＣチップの位置補正を行う構成とし
たことを特徴とする請求項２記載のＴＣＰの試験装置。
【請求項４】前記位置調整機構は、前記ガイド手段に
連結され、このガイド手段の水平方向の位置を調整する
ＸＹテーブルであることを特徴とする請求項３記載のＴ
ＣＰの試験装置。
【請求項５】前記巻き取りリール側にテープ送りモー
タを接続し、また供給リール側にはバックテンション用
のトルクモータを接続し、このトルクモータは供給リー
ルにおけるＴＣＰの残量に応じたバックテンションを作
用させる構成としたことを特徴とする請求項１記載のＴ
ＣＰの試験装置。
【請求項６】前記ＴＣＰテープの走行経路におけるテ
ストヘッドの位置より上流側の位置に不良品検出手段を
配設して、この不良品検出手段によって、ＴＣＰに、Ｉ
Ｃが実装されているか否かと、不良品または良品である
ことを表示する穿孔部の有無と、ＴＣＰテープの損傷の
有無を検出する構成としたことを特徴とする請求項１記
載のＴＣＰの試験装置。
【請求項７】前記不良品検出手段は、ラインセンサで
あることを特徴とする請求項６記載のＴＣＰの試験装
置。
【請求項８】前記コンタクトプレスは、前記ＩＣが実
装されている部位を避けた位置で、ＴＣＰを真空吸着す
る真空吸着手段を備えていることを特徴とする請求項１
記載のＴＣＰの試験装置。