CN100504415C

CN100504415C - Tcp处理装置

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Publication number: CN100504415C
Application number: CNB2004800431261A
Authority: CN
Inventors: 村野寿; 清水洁; 金子修一
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-04-20
Filing date: 2004-04-20
Publication date: 2009-06-24
Anticipated expiration: 2024-04-20
Also published as: TWI356907B; JPWO2005103742A1; TW200606443A; CN1954223A; WO2005103742A1

Abstract

在可依次对多个TCP进行试验的TCP处理装置(2)中，推压主体(33)和链轮(35a、35b)可通过联动机构(38)联动，当驱动推压主体(33)和链轮(35a、35b)中的任一方时，推压主体(33)和链轮(35a、35b)的双方联动地移动。按照该构成，推压主体(33)和链轮(35a、35b)可由单一的驱动源(伺服电动机(31))分别移动。

Description

TCP处理装置

技术领域

本发明涉及一种用于对作为IC器件的1种的TCP(柔性线路板，Tape Carrier Package)、COF(覆晶薄膜，Chip On Film)(以下将TCP、COF等由TAB(柔性带自动连接，Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)进行试验的TCP处理装置。

背景技术

在IC器件等电子部件的制造过程中，需要对最终制造的IC器件、处于中间阶段的器件等的性能、功能进行试验的电子部件试验装置，在TCP的场合，使用TCP用试验装置。

TCP用的试验装置一般由测试器主体、试验头、TCP处理装置构成。该TCP处理装置具有这样的功能，即，输送在带(也包含薄膜的概念，以下同)上形成多个TCP的承载带，将承载带推压到与测试头电连接的测试卡的探头，使TCP的外部端子接触于探头，从而依次试验多个TCP。

这样的TCP处理装置一般具有将承载带推压到探头的推压主体、在推压主体的两侧支承承载带并输送该承载带的皮带轮、链轮等带支承体。这些推压主体和带支承体需要分别上下移动，以避免由带支承体支承着移动的承载带与推压主体摩擦。

当分别进行该推压主体和带支承体的上下移动时，在记载于日本实开昭64-34576号公报的TCP试验装置中，由分开的驱动源(促动器)驱动这些推压主体和带支承体。

然而，设置多个驱动源使成本增大，另外，需要控制多个驱动源的驱动定时，所以，试验装置变得复杂。

发明内容

本发明就是鉴于这样的实际情况而作出的，其目的在于提供一种由单一的驱动源分别使推压主体和带支承体移动的TCP处理装置。

为了达到上述目的，第一，本发明的TCP处理装置一边由推压单元支承在带上形成了多个TCP的承载带，一边将其推压到与测试头电连接的接触部，使TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可依次对多个TCP进行试验；其特征在于：上述推压单元具有推压主体、在上述推压主体的附近对承载带进行支承的带支承体，通过上述推压主体和上述带支承体分别朝上述接触部侧移动，从而将上述承载带推压到上述接触部，上述推压主体和上述带支承体可通过联动机构联动，当上述推压主体受到驱动时，上述带支承体联动地移动，上述联动机构包含杠杆构件，上述推压主体和上述带支承体连接或接合到上述杠杆构件的不同位置，相应于上述杠杆构件的回转按相互不同的移动量联动(发明1)。

本说明书中的“带支承体”除了直接对承载带进行支承的链轮等外，还包含支承该链轮等的构架等。

按照上述发明(发明1)，利用联动机构，可由单一的驱动源分别使推压主体和带支承体移动。

按照上述发明(发明1)，可由简单的构造构成联动机构，另外，通过改变杠杆比，可分别任意地改变推压主体和带支承体的移动量。

在上述发明(发明1)中，最好上述杠杆构件的一端部可回转或可回转、滑动地安装于TCP处理装置的主体，上述杠杆构件的另一端部可回转、滑动或可回转地安装于上述推压主体，上述杠杆构件的中间部可接触于上述带支承体，驱动装置连接于上述推压主体(发明2)。

在上述发明(发明1)中，最好上述联动机构包含设于上述推压主体的第一接合部和设于上述带支承体的第二接合部，通过上述第一接合部与上述第二接合部接合，从而使上述推压主体和上述带支承体一体移动(发明3)。

按照上述发明(发明3)，不仅可按不同的移动量分别使推压主体和带支承体移动，而且也可一体地使推压主体和带支承体移动。在这样使推压主体和带支承体一体移动期间，可获得TCP的位置偏移信息，相应于其TCP位置偏移量使推压主体和带支承体一起位移，校正TCP的位置偏移。

为了达到上述目的，本发明的TCP处理装置，一边由推压单元支承在带上形成了多个TCP的承载带，一边将其推压到与测试头电连接的接触部，使TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可依次对多个TCP进行试验；其特征在于：上述推压单元具有推压主体、在上述推压主体的附近对承载带进行支承的带支承体，通过上述推压主体和上述带支承体分别朝上述接触部侧移动，从而将上述承载带推压到上述接触部，上述推压主体和上述带支承体可通过联动机构联动，当上述推压主体受到驱动时，上述带支承体联动地移动，上述联动机构包含杠杆构件、设于上述推压主体的第一接合部、设于上述带支承体的第二接合部，上述推压主体和上述带支承体在上述推压主体和上述带支承体处于与上述接触部离开的位置时，连接或接合到上述杠杆构件的不同位置，相应于上述杠杆的回转按相互不同的移动量联动，当上述推压主体和上述带支承体接近上述接触部时，上述第一接合部与上述第二接合部接合，上述推压主体和上述带支承体一体移动(发明4)。

按照上述发明(发明4)，在使推压主体和带支承体一体地在接触部附近移动期间，获得TCP的位置偏移信息，相应于其位置偏移量使推压主体和带支承体一起位移，可校正TCP的位置偏移。

在上述发明(发明4)中，最好上述推压主体可吸附承载带，在上述第一接合部与上述第二接合部接合期间，吸附承载带(发明5)。

按照上述发明(发明5)，在接触部的附近，可使推压主体与带支承体紧密接触，使上述TCP正确地接触于接触部。另外，当校正TCP相对接触部的位置偏移时，可防止推压主体与承载带的位置偏移。

第二，本发明的TCP处理装置将承载带的TCP输送到用于进行电试验的接触部，使上述TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可对上述TCP进行电试验；其特征在于：推压单元具有可将承载带推压到上述接触部的推压主体、可接合承载带对其进行支承的带支承体、及使上述推压主体或上述带支承体相对上述接触部进退地驱动上述推压主体或上述带支承体的驱动装置，该推压单元设在与上述接触部相向的位置，上述驱动装置固定于TCP处理装置的主体，上述推压单元具有联动机构，该联动机构可由上述驱动装置使上述推压主体和上述带支承体一起朝接触部方向移动，上述联动机构具有线性运动导向件、杠杆构件、及接合构件，上述线性运动导向件可使上述推压主体和上述带支承体相互朝接触部方向滑动地设于上述推压主体与上述带支承体间，上述杠杆构件的一端部安装于TCP处理装置的主体，成为支点，上述杠杆构件的另一端部安装于上述推压主体，成为力点，上述杠杆构件的中间部可接触于上述带支承体，成为作用点，上述接合构件具有设于上述推压主体的第一接合部和设于上述带支承体的第二接合部，上述第一接合部和上述第二接合部在上述推压单元朝接触部方向移动的初期阶段相互离开，在上述推压单元朝接触部方向移动的后期阶段相互接合，设置到上述推压主体与上述带支承体可一体移动的那样的位置(发明6)。

按照上述发明(发明6)，利用联动机构，可由单一的驱动装置使推压主体和带支承体一起移动。

在上述发明(发明6)中，最好上述联动机构在使上述推压单元朝接触部方向移动的初期阶段使上述推压主体的移动量比上述带支承体的移动量大地使上述推压主体和上述带支承体移动，在使上述推压单元朝接触部方向移动的后期阶段，使上述推压主体的移动量与上述带支承体的移动量相同地使上述推压主体和上述带支承体移动(发明7)。

按照上述发明(发明7)，可使推压主体移动到支承在带支承体受到输送的承载带不与推压主体摩擦的位置，同时，可使推压主体与带支承体一体移动，使两者一起位移，校正TCP的位置偏移。

附图说明

图1为示出使用本发明一实施形式的TCP处理装置的TCP试验装置的正面图。

图2为示出该实施形式的TCP处理装置中的推压单元的正面图。

图3为示出该实施形式的TCP处理装置中的推压单元的侧面图。

图4为示出该实施形式的TCP处理装置中的推压单元的动作的说明图(正面)。

图5为示出该实施形式的TCP处理装置中的推压单元的动作的说明图(侧面)。

图6为示出该实施形式的TCP处理装置中的推压单元的动作的曲线图。

具体实施方式

下面根据附图详细说明本发明的实施形式。

图1示出使用本发明一实施形式的TCP处理装置的TCP试验装置。

[TCP试验装置]

TCP试验装置1由图1中未示出的测试器主体、电连接于测试器主体的试验头10、及设于测试头10上侧的TCP处理装置2构成。

TCP处理装置2用于依次试验在承载带5上形成多个的各TCP，具有开卷盘21和卷取盘22，在开卷盘21卷有试验前的承载带5。承载带5从开卷盘21开卷，在试验后卷取到卷取盘22。

在开卷盘21与卷取盘22间设有将从承载带5剥离的保护带51从开卷盘21架设到卷取盘22的3个间隔辊23a、23b、23c。各间隔辊23a、23b、23c可调整保护带51的张力地分别上下移动。

在开卷盘21的下侧设有带导向件24a、开卷限制辊25a、内侧副链轮25b、及内侧导向辊25c，从开卷盘21开卷的承载带5由带导向件24a引导，经由开卷限制辊25a、内侧副链轮25b、及内侧导向辊25c，输送到推压单元3。

另外，在卷取盘22的下侧设有带导向件24b、卷取限制辊25f、外侧副链轮25e、及外侧导向辊25d，试验后的承载带5经由外侧导向辊25d、外侧副链轮2e、及卷取限制辊25f，由带导向件24b引导，卷取到卷取盘22。

在内侧导向辊25c与外侧导向辊25d间，设有推压单元3。该推压单元3在后面说明。

推压单元3连接到图中未示出的推压台。推压台通过多个滚珠丝杠连接于伺服电动机(图示省略)，由伺服电动机的驱动可使推压单元3朝水平方向(XY平面方向)移动，同时，可使推压单元3绕垂直轴(绕Z轴)回转。

在推压单元3的前段侧(图1中的左侧)设有第1照相机6a，在推压单元3的下侧(后述的测试卡台7的内侧)设有第2照相机6b，在推压单元3的后段侧(图1中右侧)设有第3照相机6c。另外，在推压单元3与第3照相机6c间设有标记冲孔机26a和废弃冲孔机26b。

标记冲孔机26a根据试验的结果关于相应的TCP在预定位置开设1个或多个孔，废弃冲孔机26b冲掉根据试验结果判断为不合格品的TCP。

各照相机6a、6b、6c连接到图中未示出的图像处理装置，第1照相机6a和第3照相机6c用于判断在承载带5上的TCP的有无、由标记冲孔机26a形成的孔的位置、数量，第2照相机6b用于获得承载带5上的TCP与探头的位置偏移的信息。另外，第2照相机6b可获得关于视场内多个对象的位置偏移的信息。

第2照相机6b搭载于照相机台61上，可由照相机台61具有的执行机构朝平面视图中纵横方向(X轴-Y轴方向)和上下方向(Z轴方向)移动。

在推压单元3的下侧，将搭载了测试卡8的测试卡台7设置于试验头10的上部。测试卡台7通过多个滚珠丝杠连接到伺服电动机(图示省略)，由伺服电动机的驱动，可使测试卡8朝水平方向(XY平面方向)移动，同时，可使测试卡8绕垂直轴(绕Z轴)回转。

具有多个探头81的测试卡8由销可自由装拆地安装于测试卡台7的卡环(图示省略)。测试卡8的各探头81通过试验头10电连接于测试器主体，在测试卡8的下侧，第2照相机6b位于测试卡台7的内侧。

在该TCP试验装置1中，承载带5通过推压单元3下侧地受到输送，推压单元3一边吸附和支承该承载带5一边将其推压到试验头10上的测试卡8。这样，承载带5上的TCP接触于测试卡8的探头81，将测试信号加到TCP，从TCP读出的响应信号通过试验头10被送到测试器主体。这样，对TCP的性能、功能等进行试验。

该试验通过输送承载带5从而对承载带5上的所有TCP依次进行。然后，根据试验结果驱动标记冲孔机26a或废弃冲孔机26b。

[推压单元]

图2和图3为图1所示TCP处理装置的推压单元的正面图(图2)和侧面图(图3)。

该推压单元3包含推压主体33、推压构架(裙板)36、可回转地设置于推压构架36的链轮35(张紧链轮35a和主链轮35b)、及联动机构38，通过支承构件27支承于TCP处理装置2的主体(图1～图3)。

推压主体33通过2个线性运动导向件37、37可滑动地安装于推压构架36上。在该推压主体33的上部通过滚珠丝杠32连接伺服电动机31。推压主体33通过该伺服电动机31的驱动可由线性运动导向件37引导着沿上下方向(Z轴方向)在推压构架36的平面上滑动移动(参照图2和图3)。

另外，推压主体33在其下端部具有吸附部34。推压主体33通过该吸附部34吸引空气，对承载带5进行吸附，从而可由其下端部保持承载带5。

链轮35a、35b在正面视图下配置于推压主体33的两侧，可分别在由其下端部对承载带5进行支承的状态下回转。这样，承载带5经过推压主体33的下方从左侧向右侧输送(参照图1和图2)。

主链轮35b由步进电动机等驱动，输送承载带5，张紧链轮35a通过朝与承载带5的行走方向相反的方向回转，从而在承载带5作用预定的张力，提高承载带5的位置精度。

另外，链轮35a、35b一边由其下端部分别对承载带5进行支承，一边随推压构架36一起上下移动，从而可调整承载带5的带面的高度位置(Z轴上的位置)。

推压构架36配置于推压主体33的背面侧，由后述的联动机构38驱动，朝上下方向(Z轴方向)滑动移动(参照图1～图3)。由该推压构架36的移动可使链轮35a、35b朝上下方向移动。

推压构架36相对TCP处理装置2的主体由悬挂构件39、39悬挂地设置(参照图2)。该悬挂构件39、39例如由弹簧构成，朝上侧对推压构架36(链轮35a、35b)施力地悬挂。

联动机构38包含杠杆构件381、第一接合部382a、第二接合部382b(参照图3)，具有使推压主体33(吸附部34)和推压构架36(链轮35a、35b)联动的功能。本实施形式的联动机构38在推压主体33的左右两端部设置2个，但不限于此。

杠杆构件381在其一端(端部A)可回转地安装于基座271，在其另一端(端部B)通过长孔可回转和滑动地安装于推压主体33的上部。另外，杠杆构件381在其中间部具有滚轮380，由该滚轮380接触于推压构架36的上部。基座271为固定于支承构件27的板状构件。在这样的杠杆构件381，端部A成为支点，端点B成为力点，中间部的滚轮380成为作用点。

第一接合部382a固定地设置于推压主体33的两侧部，其触点相对推压主体33的滑动方向(Z轴方向)朝下方。另一方面，第二接合部382b固定地设置于推压构架36，其触点相对推压构架36的滑动方向(Z轴方向)朝上方。另外，第二接合部382b位于第一接合部382a的下方，其触点与第一接合部382a的触点相向。因此，第一接合部382a与第二接合部382b处于这样的位置关系，即，当推压主体33相对推压构架36朝下方滑动时以其触点相互接触。

图4～图6为示出推压单元3的动作的说明。在这些图中，图4示出推压主体33(吸附部34)与链轮35a、35b的位置关系，图5示出联动机构38的动作。另外，图6示出吸附部34和链轮35a、35b的移动量与滚珠丝杠32的回转量的关系。

在该推压单元3中，在初期状态(原点)，推压主体33和链轮35a、35b位于测试卡8的上方。在该状态下，推压主体33(吸附部34)不接触于承载带5，链轮35a、35b在其下端接合承载带5对其进行支承(参照图4(a))。另外，在推压构架36作用由悬挂构件39施加的朝上方的力(由弹簧产生的弹性力)，这样，推压构架36的上部在受力的状态下接触于杠杆构件381的滚轮380(参照图3和图5(a))。另一方面，第一接合部382a和第二接合部382b处于相互离开的位置，未接合。

当处于该状态(原点)时，可不与推压主体33(吸附部34)产生摩擦地输送承载带5。

在TCP试验中，首先，由TCP处理装置2(主链轮35b)的驱动输送承载带5上的TCP，配置于推压主体33的下方。伺服电动机31受到驱动，滚珠丝杠32回转，推压主体33(吸附部34)朝承载带5下降(参照图4(b))。

另外，推压主体33的下降使杠杆构件381以其基座271侧的端部(端部A)为轴回转，由回转的杠杆构件381的滚轮380推压，推压构架36下降(参照图5(b))。然后，根据由杠杆构件381的杠杆比决定的推压主体33和推压构架36的移动量的差异，推压主体33由线性运动导向件37、37引导，在推压构架36上滑动，推压主体33的吸附部34接触于承载带5，吸附承载带5(参照图4(b))。另外，与此同时，第一接合部382a与第二接合部382b相互接触(参照图5(c))。

从初期状态到吸附部34接触于承载带5，吸附部34的下降移动量比链轮35a、35b的下降移动量大(参照图6)。因此，在初期状态下，虽然吸附部34不接触于承载带5，但随着吸附部34下降，吸附部34与由链轮35a、35b支承着下降的承载带5的距离变小，吸附部34与承载带5接触。此时，吸附部34的吸附面与链轮35a、35b的下端部位于相同高度(参照图4(b))。

然后，当推压主体33进一步下降时，由吸附部34朝下方推压承载带5，TCP的外部端子接触于测试卡8的探头81(参照图4(c))。另外，随着推压主体33的下降，第二接合部382b由第一接合部382a压下，推压构架36下降(参照图5(d))。此时，推压构架36解除与杠杆构件381的接合，接合部382a、382b的接合使得按与推压主体33相同的速度下降。这样，吸附部34与链轮35a、35b一体联动地下降(参照图6)。

TCP的位置偏移校正在承载带5吸附到吸附部34后到接触于测试卡8之前的期间进行。在TCP的定位中，先由第2照相机6b在预定距离对TCP的校准标记等进行摄像，将其图像信息发送到图像处理装置(图示省略)。然后，由图像处理装置进行图像处理，运算TCP的位置偏移量，根据该运算结果驱动推压单元3或测试卡台7使其位移，校正TCP的位置偏移。

然后，在承载带5上的TCP的外部端子接触于测试卡8的探头81的状态下进行TCP试验。此后，驱动伺服电动机31，推压主体33和推压构架36按与上述相反的工序上升(图示省略)。然后，在途中承载带5从吸附部34分离，推压主体33和推压构架36返回到原点。此后，输送承载带5，将下一TCP配置于推压主体33的下方，反复进行上述试验工序。

按照该TCP处理装置2，由一个伺服电动机31可分别使推压主体33和链轮35a、35b上下移动，所以，可将TCP处理装置2形成为简易的构造，可降低TCP处理装置2的制造成本。

另外，通过作为联动机构38利用杠杆构件381，从而可由简单的构造构成联动机构38，另外，通过改变杠杆构件381的杠杆比(杠杆构件381的长度·角度、滚轮380的位置等)，从而可分别任意地改变推压主体33和链轮35a、35b的上下移动量。

另外，通过作为联动机构38设置第一接合部382a和第二接合部382b，从而可使第一接合部382a和第二接合部382b在测试卡8附近接合，使推压主体33和链轮35a、35b一体移动，在此期间获得TCP的位置偏移信息，相应于其位置偏移量使推压单元3或测试卡台7改变位置，校正TCP的位置偏移。

以上说明的实施形式用于使得容易理解本发明，不是用于限定本发明。因此，公开于上述实施形式的各部分包含属于本发明技术范围的所有设计变更、等同物。

例如，联动机构38也可仅设置1个。另外，也可在联动机构38的推压主体33侧的端部设置可回转的滚轮，该滚轮可相对推压主体33滑动地安装。

产业上利用的可能性

如以上说明的那样，按照本发明的TCP处理装置，可由单一的驱动源分别使推压主体和带支承体上下移动，为此，可将TCP处理装置形成为简易的构造，降低TCP处理装置的制造成本。

Claims

1.一种TCP处理装置，一边由推压单元支承在带上形成了多个TCP的承载带，一边将其推压到与测试头电连接的接触部，使TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可依次对多个TCP进行试验；其特征在于：

上述推压单元具有推压主体、在上述推压主体的附近对承载带进行支承的带支承体，通过上述推压主体和上述带支承体分别朝上述接触部侧移动，从而将上述承载带推压到上述接触部，

上述推压主体和上述带支承体可通过联动机构联动，当上述推压主体受到驱动时，上述带支承体联动地移动，

上述联动机构包含杠杆构件，上述推压主体和上述带支承体连接或接合到上述杠杆构件的不同位置，相应于上述杠杆构件的回转按相互不同的移动量联动。

2.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：上述杠杆构件的一端部可回转或可回转、滑动地安装于TCP处理装置的主体，上述杠杆构件的另一端部可回转、滑动或可回转地安装于上述推压主体，上述杠杆构件的中间部可接触于上述带支承体，驱动装置连接于上述推压主体。

3.根据权利要求1所述的TCP处理装置，其特征在于：上述联动机构包含设于上述推压主体的第一接合部和设于上述带支承体的第二接合部，通过上述第一接合部与上述第二接合部接合，从而使上述推压主体和上述带支承体一体移动。

4.一种TCP处理装置，一边由推压单元支承在带上形成了多个TCP的承载带，一边将其推压到与测试头电连接的接触部，使TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可依次对多个TCP进行试验；其特征在于：

上述联动机构包含杠杆构件、设于上述推压主体的第一接合部、设于上述带支承体的第二接合部，

上述推压主体和上述带支承体在上述推压主体和上述带支承体处于与上述接触部离开的位置时，连接或接合到上述杠杆构件的不同位置，相应于上述杠杆的回转按相互不同的移动量联动，当上述推压主体和上述带支承体接近上述接触部时，上述第一接合部与上述第二接合部接合，上述推压主体和上述带支承体一体移动。

5.根据权利要求4所述的TCP处理装置，其特征在于：上述推压主体可吸附承载带，在上述第一接合部与上述第二接合部接合期间，吸附承载带。

6.一种TCP处理装置，将承载带的TCP输送到用于进行电试验的接触部，使上述TCP的外部端子接触于上述接触部的连接端子，从而可对上述TCP进行电试验；其特征在于：

推压单元具有可将承载带推压到上述接触部的推压主体、可接合承载带对其进行支承的带支承体、及使上述推压主体或上述带支承体相对上述接触部进退地驱动上述推压主体或上述带支承体的驱动装置，该推压单元设在与上述接触部相向的位置，

上述驱动装置固定于TCP处理装置的主体，上述推压单元具有联动机构，该联动机构可由上述驱动装置使上述推压主体和上述带支承体一起朝接触部方向移动，

上述联动机构具有线性运动导向件、杠杆构件、及接合构件，

上述线性运动导向件可使上述推压主体和上述带支承体相互朝接触部方向滑动地设于上述推压主体与上述带支承体间，

上述杠杆构件的一端部安装于TCP处理装置的主体，成为支点，上述杠杆构件的另一端部安装于上述推压主体，成为力点，上述杠杆构件的中间部可接触于上述带支承体，成为作用点，

上述接合构件具有设于上述推压主体的第一接合部和设于上述带支承体的第二接合部，上述第一接合部和上述第二接合部在上述推压单元朝接触部方向移动的初期阶段相互离开，在上述推压单元朝接触部方向移动的后期阶段相互接合，设置到上述推压主体与上述带支承体可一体移动的那样的位置。

7.根据权利要求6所述的TCP处理装置，其特征在于：上述联动机构在使上述推压单元朝接触部方向移动的初期阶段使上述推压主体的移动量比上述带支承体的移动量大地使上述推压主体和上述带支承体移动，在使上述推压单元朝接触部方向移动的后期阶段，使上述推压主体的移动量与上述带支承体的移动量相同地使上述推压主体和上述带支承体移动。