CN101504926B - 基板搬送装置及基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板搬送装置及基板搬送方法，其能够在短时间内高效率且高精度地搬送和检查基板并且减小基板搬送装置的设置面积。上述基板搬送装置包括：浮起台(3)，其使基板(2)浮起；导轨(4)，其在基板(2)的搬送方向(箭头D)上呈一条直线状地延伸；以及多个基板搬送部(5、6)，它们能够沿着该导轨(4)彼此独立地移动，多个基板搬送部构成为包括：第一基板搬送部(5)，其接收搬送至搬送方向(箭头D)的上游侧的基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送；和第二基板搬送部(6)，其从该第一基板搬送部(5)接收基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。

Description

基板搬送装置及基板搬送方法

技术领域

本发明涉及搬送例如平板显示器(FPD)等的基板的基板搬送装置及基板搬送方法，更详细地说，涉及在多个基板搬送部之间交接搬送基板的技术。

背景技术

以往，在平板显示器等的基板的制造及检查等工序中，采用了这样的手法：从下方喷出空气使基板浮起，保持该非接触状态的基板来进行搬送(例如，参照专利文献1～3)。

专利文献1所述的基板搬送装置构成为：夹着浮起台而设置的一对导轨在基板搬送方向(从搬入侧向搬送侧)并列地配置有3组，保持基板的前端的搬送端部(基板保持部)在各导轨上移动。

另外，在上述专利文献1所述的基板搬送装置中，当上游侧(搬入侧)的一对搬送端部将基板搬入至交接位置时，在该交接位置待机的下游侧(搬出侧)的一对搬送端部移动至基板的下方并从背面吸附基板，由此，在导轨之间交接并搬送基板。

专利文献2所述的基板处理装置中，第一导轨与基板搬送方向平行地配置在浮起台的一侧，第二导轨与基板搬送方向平行地配置在对置的另一侧。此外，在第一导轨上以能够移动的方式设置有第一基板搬送部，在第二导轨上以能够移动的方式设置有第二基板搬送部。

另外，关于上述专利文献2所述的基板处理装置，在从搬入位置到涂布开始位置为止的第一区间内，通过第一基板搬送部仅保持基板的单侧；在从涂布开始位置到涂布结束位置为止的第二区间内，通过第一及第二基板搬送部保持基板的两侧；在从涂布结束位置到搬出位置为止的第三区间内，通过第二基板搬送部仅保持基板的单侧，从而将基板从上游侧搬送至下游侧。

专利文献3所述的基板搬送装置中，沿着浮起台的一个侧缘配置有导轨，在该导轨上以能够从基板的搬入侧向搬出侧移动的方式设置有单一的基板搬送部，从而吸附保持基板的单侧，并将基板从上游侧(搬入侧)搬送至下游侧(搬出侧)。

专利文献1：国际公开第03/086917号小册子

专利文献2：日本特开平2006-237482号公报

专利文献3：日本特开2007-112626号公报

但是，在像上述专利文献1所述的基板搬送装置那样吸附保持基板的前端两侧地进行搬送的情况下，由于必须在基板前端的狭窄区域内吸附保持基板，因此会产生以下问题：在从基板的搬入侧(以下称为“上游侧”)向搬出侧(以下称为“下游侧”)交接基板时，由于吸附保持力小，对基板的定位会偏移。搬送距离越长，该定位的偏移越显著。

此外，在像上述专利文献1所述的基板搬送装置以及上述专利文献2所述的基板处理装置那样在浮起台的两侧配置导轨、吸附保持基板的两侧缘部地进行搬送的情况下，如果两侧导轨的平行度的精度不高，则基板会因导轨平行度的偏差而在搬送时产生变形。如果基板这样变形的话，则在基板搬送过程中进行基板检查等的情况下，会给检查精度带来不良影响。

此外，如果在浮起台的两侧配置导轨，还会产生以下问题：装置整体变大，无法减小设置面积。

另外，如果像上述专利文献3所述的基板搬送装置那样沿着浮起台的单侧设置导轨、通过单一的基板搬送部保持基板的一侧缘部地进行搬送，则在将一枚基板从上游侧搬送到了下游侧之后再次搬送新的基板的情况下，基板搬送部必须返回至搬入位置。该情况下，在完成当前搬送的基板的搬送之前，无法接收新的基板并实施定位等前处理，从而产生了无法缩短搬送及检查的节拍时间的问题。

发明内容

鉴于上述以往的实际情况，本发明的课题在于，提供一种能够在短时间内高效率且高精度地进行基板的搬送和检查、并且能够减小基板搬送装置的设置面积的基板搬送装置及基板搬送方法。

为了解决上述课题，本发明的基板搬送装置构成为包括：浮起台，其使基板浮起；导轨，其在上述基板的搬送方向上呈一条直线状地延伸；以及多个基板搬送部，它们能够沿着上述导轨彼此独立地移动，上述多个基板搬送部包括：第一基板搬送部，其接收搬送至上述搬送方向的上游侧的上述基板，并且将该接收的基板向上述搬送方向的下游侧搬送；和第二基板搬送部，其从上述第一基板搬送部接收上述基板，并且将该接收的基板向上述搬送方向的下游侧搬送。

为了解决上述课题，本发明的基板搬送方法是：将浮起的基板通过第一基板搬送部向该基板的搬送方向的下游侧搬送，然后将上述基板从上述第一基板搬送部交接给第二基板搬送部，并且利用上述第二基板搬送部将该交接后的基板向上述搬送方向的下游侧搬送，上述第一基板搬送部沿着在上述搬送方向上呈一条直线状地延伸的导轨移动，上述第二基板搬送部能够沿着上述导轨与上述第一基板搬送部独立地移动。

在本发明中，由于多个基板搬送部在呈一条直线状地延伸的导轨上移动，所以能够防止因导轨的平行度的偏差而引起的基板的变形，并且，由于仅在浮起台的单侧配置导轨，所以能够使基板搬送装置整体变小。

此外，由于多个基板搬送部彼此独立地移动，因此，将基板交接给其它基板搬送部的基板搬送部能够在其它基板搬送部完成基板搬送之前移动至接收新的基板的位置，从而能够缩短搬送和检查的节拍时间。

因此，根据本发明，能够在短时间内高效率且高精度地进行基板的搬送和检查，并且能够减小基板搬送装置的设置面积。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的基板搬送装置的概略结构的立体图。

图2是图1中的A部的放大图。

图3是表示上述一个实施方式的基板搬送装置的第一基板搬送部的立体图。

图4是图3中的B部的放大图。

图5是从基板搬送方向观察到的上述一个实施方式的第一基板搬送部的概略结构图。

图6是表示上述一个实施方式的基板搬送装置的第二基板搬送部的立体图。

图7是图6中的C部的放大图。

图8是用于说明上述一个实施方式的被检查基板的交接的表示基板搬送装置的概略俯视图。

图9是上述一个实施方式的第一基板搬送部和第二基板搬送部的主要部分放大图。

图10是表示本发明的另一实施方式的基板搬送装置的概略结构的立体图。

图11是表示上述另一实施方式的基板搬送装置的第一基板搬送部和第二基板搬送部的立体图。

图12是图11中的E部的放大图。

图13是上述一个实施方式的变形例的、图1中的A部的放大图。

图14是表示上述一个实施方式的第二变形例的基板保持部的概略俯视图。

图15是表示上述一个实施方式的第三变形例的第一基板搬送部的立体图。

图16是表示上述一个实施方式的第三变形例的第二基板搬送部的立体图。

标号说明

1：基板搬送装置；2：被检查基板；3：浮起台；3a：浮起板；4：导轨；5：第一基板搬送部；6：第二基板搬送部；5a、6a：基板保持部；5b、6b：支撑部；5c、6c：滑动体；5d、6d：上下机构；5e、6e：连接部；5h：支撑部侧连接部；5i：滑动体侧连接部；6f：臂部；6g：支撑板；6h：支撑板侧连接部；6i：可动板侧连接部；6j：水平机构；6k：可动板；61：轨道；6m：固定板；6n：驱动部；6p：端部保持部；7：搬送轴框架；8：门架；9、10：摄像部；11、12：镜；13：门架支撑部；15：第一基板搬送部；16：第二基板搬送部；15a、16a：基板保持部；15b、16b：支撑部；16f：臂部；16g：支撑板；16p：端部保持部；D：基板搬送方向；G：间隙；P1：基板搬入位置；P2：检查开始位置；P3：第一检查位置；P4：第二检查位置；P5：检查结束位置；P6：基板搬出位置；21：基板搬送装置；22：被检查基板；23：浮起台；23a：浮起板；24：导轨；25：第一基板搬送部；26：第二基板搬送部；25a、26a：基板保持部；25b、26b：支撑部；25c、26c：滑动体；25d、26d：上下机构；25e、26e：连接部；25h、26h：支撑部侧连接部；25i、26i：滑动体侧连接部；27：搬送轴框架；28：门架；29、30：摄像部；31、32：镜；33：门架支撑部。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

<一个实施方式>

图1是表示本发明的一个实施方式的基板搬送装置1的概略结构的立体图，图2是图1中的A部的放大图。

图3是表示上述基板搬送装置1的第一基板搬送部5的立体图，图4是图3中的B部的放大图。图5是从基板搬送方向观察到的上述第一基板搬送部5的概略结构图。

图6是表示上述基板搬送装置1的第二基板搬送部6的立体图，图7是图6中的C部的放大图。

在图1中，基板搬送装置1包括以下等部分：浮起台3，其使制造FPD的作为基板的玻璃基板2浮起；2根1组的导轨4，其在玻璃基板2的搬送方向(箭头D)上呈一条直线状地延伸；作为多个基板搬送部的第一基板搬送部5(参照图3～图5)和第二基板搬送部6(参照图6和图7)，它们能够彼此独立地沿着该导轨4移动。另外，导轨4是将两根直线电动机轨道接近地构成为一体而得到的导轨，其中所述直线电动机轨道是将多块磁板以预定间隔排列起来而构成的。该导轨4也可以在一根直线引导轨道上一体地构成直线引导平行地接近的基板搬送部5、6的直线引导件。

浮起台3由通过例如空气使玻璃基板2浮起的多个浮起板3a铺设而成。位于后述基板搬入区域P1(上游侧)和基板搬出区域P6(下游侧)的浮起板3a形成为细长的矩形形状，并且以其长度方向与基板搬送方向D平行的方式铺设。此外，关于这些浮起板3a，在浮起台3的宽度方向上以预定的间隙G铺设每个浮起板3a。

另外，检查区域(处理区域)P5内的浮起板3a形成为细长的矩形形状，并且以其长度方向与基板搬送方向D正交、且无间隙地的方式铺设有多列。

导轨4配置在搬送轴框架7上，搬送轴框架7仅设置于与基板搬送方向(箭头D)平行的浮起台3的单侧。

第一基板搬送部5在将搬送至位于搬送方向(箭头D)上游侧的基板搬入区域(P1)的玻璃基板2通过未图示的定位机构定位于基准位置的状态下接收该玻璃基板2，并且将该接收的玻璃基板2向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。此外，第二基板搬送部6从第一基板搬送部5接收已定位的玻璃基板2，并且将该接收的玻璃基板2向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。

第一基板搬送部5和第二基板搬送部6分别具有：基板保持部5a、6a；支撑部5b、6b；滑动体5c、6c；作为上下方向移动单元的上下机构5d、6d；以及连接部5e、6e。在各滑动体5c、6c的下表面上安装有在导轨4的直线电动机轨道上行走的直线电动机。

基板保持部5a、6a通过经由未图示的空气管的真空吸附来吸附保持玻璃基板2的背面。另外，在利用基板保持部5a、6a保持玻璃基板2时，不限定于对玻璃基板2的背面的真空吸附，例如也可以夹住玻璃基板2进行保持，或者也可以真空吸附玻璃基板2的正面。

如图3和图6所示，在各基板搬送部5、6上，以能够位于沿着矩形玻璃基板2的一个边的前端部分、中央部分以及后端部分这3个部位的方式，彼此隔开间隔地配置有3个支撑部5b、6b。各支撑部5b、6b上配置有在玻璃基板2的交接时保持玻璃基板2的一个边的边缘部的基板保持部5a、6a，并且这些基板保持部5a、6a以交替地排列在一条直线上的方式隔开预定间隔地配置有多个或者多组，这将在后面进行详述。

如图5所示，第一基板搬送部5的支撑部5b的截面呈L字形状，该支撑部5b弯折成沿铅直方向延伸的铅直部分5b-1和沿水平方向延伸的水平部分5b-2。水平部分5b-2从铅直部分5b-1的下端向远离浮起台3的方向延伸。在铅直部分5b-1的侧面的上部固定有8个基板保持部5a。关于这8个基板保持部5a，如图3和图4所示，以相邻的2个为1组的基板保持部5a、5a隔开间隔地配置在4个部位。

如图6和图7所示，第二基板搬送部6的各支撑部6b由固定各基板保持部6a的8个臂部6f、和支撑板6g构成，其中，支撑板6g的截面呈L字形状，该支撑板6g弯折成沿铅直方向延伸的铅直部分6g-1和沿水平方向延伸的水平部分6g-2。

另外，支撑板6g的水平部分6g-2与第一基板搬送部5的支撑部5b相反地，从铅直部分6g-1的下端向浮起板3侧延伸。

臂部6f在与搬送方向(箭头D)正交的水平方向上延伸，在臂部6f的前端侧固定有基板保持部6a，臂部6f的基端侧固定于支撑板6g的水平部分6g-2的上表面。臂部6f只要沿与搬送方向(箭头D)交叉的方向延伸即可，其也可以不沿与搬送方向(箭头D)正交的水平方向延伸，这将在后面进行详述。

关于支撑于上述8个臂部6f的8个基板保持部6a，与第一基板搬送部5的基板保持部5a一样，以相邻的2个为1组的基板保持部6a、6a隔开间隔地配置在4个部位。

在此，关于配置在第一基板搬送部5的各支撑部5b上的4组(8个)基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6的各支撑部6b(臂部6f)上的4组(8个)基板保持部6a配置成：在玻璃基板2的交接位置处，一组一组交替地、与基板搬送方向平行地排列在一条直线上。

第一基板搬送部5的滑动体5c和第二基板搬送部6的滑动体6c俯视分别呈大致L字状，并且以能够独立地移动的方式配置在2根1组的导轨4的上方。各滑动体5c、6c是将细长的矩形形状的板切割成两部分而成的形状，即，第一基板搬送部5的滑动体5c具有从搬送方向(箭头D)侧的后端向第二基板搬送部6侧凸出的凸出部，第二基板搬送部6的滑动体6c具有从搬送方向(箭头D)侧的前端向第一基板搬送部5侧凸出的凸出部。

另外，第一基板搬送部5的滑动体5c和第二基板搬送部6的滑动体6c在玻璃基板2的交接位置处位于这样的位置：至少是配置有基板保持部的部分(至少一部分)在导轨4的宽度方向上相互并列。这样，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在玻璃基板2的交接位置处以至少是配置有基板保持部的部分在导轨4的宽度方向上相互并列的方式对置。在该情况下，配置于第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的各基板保持部5a、6a以互不干涉的方式错开地对置，并且在基板交接时嵌在彼此之间地排列成一条直线。

此外，滑动体5c、6c通过直线电动机的驱动而沿着导轨4直线移动。另外，作为滑动体5c、6c的驱动方法，并不限定于直线电动机驱动，例如，也可以利用为其它驱动源的电动机等，使用带式驱动、滚珠丝杠驱动等。

上下机构5d、6d经支撑部5b、6b使基板保持部5a、6a在上下方向上相对移动，由此，能够使基板保持部5a、6a在保持浮起的玻璃基板2的位置和从该位置向下方退开了的位置之间移动。

另外，第一基板搬送部5的上下机构5d如图4所示设置在滑动体5c上，第二基板搬送部6的上下机构6d如图7所示设置在后述的水平机构6j的可动板6k上。

如图4所示，第一基板搬送部5的连接部5e由固定于支撑部5b的支撑部侧连接部5h、和固定于滑动体5c的滑动体侧连接部5i构成，所述第一基板搬送部5的连接部5e夹着上下机构5d配置有一对。支撑部侧连接部5h以能够配合由上下机构5d驱动的支撑部5b的上下运动地滑动的方式连接于滑动体侧连接部5i。

如图7所示，第二基板搬送部6的连接部6e由固定于支撑板6g的支撑板侧连接部6h、和固定于后述可动板6k的可动板侧连接部6i构成，所述第二基板搬送部6的连接部6e夹着上下机构6d地配置有一对。支撑板侧连接部6h以能够配合由上下机构6d驱动的支撑部6b的上下运动地滑动的方式连接于可动板侧连接部6i。

在第二基板搬送部6上，具有使各支撑部6b向玻璃基板2侧移动的作为宽度方向移动单元的水平机构6j。该水平机构6j由可动板6k、2根轨道61、固定板6m以及驱动部6n构成。

如上所述，在可动板6k上固定有上下机构6d和连接部6e。可动板6k通过驱动部6n的滚珠丝杠驱动，能够在固定于固定板6m上的2根轨道61上滑动。

驱动部6n配置在固定板6m上，并且所述驱动部6n通过经可动板6k使基板保持部6a在水平方向上移动，来使基板保持部6a在玻璃基板2的下方的吸附位置、和从该位置向不与基板保持部5a干涉的玻璃基板2外侧退开的位置(参照图9)之间移动。在该向外侧的退避动作之前，驱动上下机构6d使基板保持部6a下降到与玻璃基板2的背面不发生干涉的位置。

另外，在本实施方式中，利用水平机构(宽度方向移动单元)6j使基板保持部6a在相对于搬送方向(箭头D)正交的方向移动，但是只要能够使基板保持部6a在相对于搬送方向(箭头D)正交的方向错开，则也可以采用其它的机构。

此外，在本实施方式中，对仅在第二基板搬送部6上设置水平机构6j的示例进行了说明，但是也可以仅在第一基板搬送部5上设置水平机构，或者在第一基板搬送部5和第二基板搬送部6两者上都设置水平机构。

如图1所示，基板搬送装置1具有：门架8，其以横跨浮起台3和搬送轴框架7的方式配置；以及基板处理部，其配置在该门架8上。作为基板处理部，有这样的基板检查装置：具有用来检查通过例如FPD的制造工序制造出的玻璃基板2的摄像部9、10、镜11、12以及未图示的照明部的基板检查装置；或者彩色滤光片等的基板检查装置。此外，关于基板处理部，除了基板检查装置以外，也可以是制造TFT玻璃基板的抗蚀涂布装置或曝光装置、显影装置、制造彩色滤光片基板的各种制造装置。

门架8由夹着浮起台3和搬送轴框架7地对置的一对门架支撑部13(仅图示一侧)支撑。

下面，对玻璃基板2的搬送方法进行说明。

图8是用于说明上述被检查基板2的交接的表示基板搬送装置1的概略俯视图。另外，在图8中，为了易于说明，对第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在分别移动的两个位置进行了图示，但在本实施方式中第一基板搬送部5和第二基板搬送部6各配置有一个。

图9是上述第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的主要部分放大图，除了第二基板搬送部6的基板保持部6a从保持玻璃基板2的位置退开这一点以外，其余与图1的A部(图2)相同。

首先，将玻璃基板2从其它装置搬入图8所示的基板搬送装置1的基板搬入区域P1中。在基板搬入区域P1中，通过未图示的对齐单元将玻璃基板2定位于基准位置。

接着，通过在基板搬入区域P1的位置待机的第一基板搬送部5(基板保持部5a)来保持玻璃基板2。具体来说，通过第一基板搬送部5的上下机构5d，使下降了的基板保持部5a上升至保持玻璃基板2的位置。此后，利用经由未图示的空气管的真空吸附，开始进行玻璃基板2的保持。

然后，通过第一基板搬送部5(基板保持部5a)保持玻璃基板2同时搬送至检查开始区域P2，然后使玻璃基板2通过第一检查位置P3和第二检查位置P4，并利用上述摄像部9、10等对玻璃基板2进行摄像。

在将玻璃基板2搬送至通过了第二检查位置P4的检查结束区域P5之后，在由第一基板搬送部5的基板保持部5a保持玻璃基板2的状态下，利用在检查结束区域P5待机的第二基板搬送部6的基板保持部6a保持玻璃基板2。然后，在第二基板搬送部6的基板保持部6a完成了玻璃基板2的保持交接之后，解除第一基板搬送部5的基板保持部5a的保持。

具体来说，如图9所示，第二基板搬送部6的基板保持部6a当在检查结束区域P5待机时，位于不妨碍第一基板搬送部5对玻璃基板2的搬送的位置(从玻璃基板2下方的位置退开了的位置)。另外，当第一基板搬送部5到达检查结束区域P5(玻璃基板2的交接位置)时，如图2所示，通过水平机构6j使第二基板搬送部6的基板保持部6a移动至玻璃基板2的下方。此后，通过上下机构6d使基板保持部6a上升至保持玻璃基板2的位置，并开始进行真空吸附。

当第二基板搬送部6的基板保持部6a这样完成了玻璃基板2的保持时，解除第一基板搬送部5的基板保持部5a的真空吸附，并通过上下机构5d使第一基板搬送部5的基板保持部5a从保持玻璃基板2的位置退开(下降)。

另外，也可以将从下方支撑玻璃基板2并使其静止的基板静止部配置在浮起台3上，在玻璃基板2的交接位置处，经上述基板静止部将玻璃基板2从第一基板搬送部5(基板保持部5a)交接给第二基板搬送部6(基板保持部6a)。

接着，利用第二基板搬送部6将玻璃基板2搬送至基板搬出区域P6，然后将玻璃基板2搬出到其它的装置等上。第一基板搬送部5在检查结束区域P5解除了对玻璃基板2的保持之后(即，在将玻璃基板2交接给第二基板搬送部6之后)，移动至基板搬入区域位置P1，以接收新的玻璃基板2。同样，在基板搬出区域P6完成了玻璃基板2的搬送的第二基板搬送部6也移动至检查结束区域P5待机。

另外，根据检查方式不同，也可以考虑使玻璃基板2向第一检查位置P3和第二检查位置P4的一方或者双方往返移动从而多次通过。此外，也可以考虑使第二基板搬送部6不是在检查结束区域P5待机，而是如图1所示使其在检查开始区域P2待机，在利用第二基板搬送部6搬送玻璃基板2的同时进行检查处理。

另外，也可以这样构成：在第一基板搬送部5或第二基板搬送部的任一方产生了吸附错误的情况下，使第一基板搬送部5和第二基板搬送部6以成为一体的状态在导轨4上移动，从而在基板搬送区域P1、检查区域(处理区域)P2～P5以及基板搬出区域P6的全部区域内搬送玻璃基板2。此外，也可以这样构成：在第一基板搬送部5产生了吸附错误的情况下，使该第一基板搬送部5避让至不会妨碍第二基板搬送部6的移动的基板搬入区域P1，并且使基板保持部5a向下方避让以使其不与基板保持部6a干涉，然后在该状态下使第二基板搬送部6在导轨4上移动。同样，还可以构成为：在第二基板搬送部6产生了吸附错误的情况下，使该第二基板搬送部6避让至不会妨碍第一基板搬送部5的移动的基板搬出区域P6，并且使基板保持部6a向下方避让以使其不与基板保持部5a干涉，然后在该状态下使第一基板搬送部5在导轨4上移动。

此外，在本实施方式中，对基板搬送部形成为第一基板搬送部5和第二基板搬送部6两部分的情况进行了说明，但是也可以使用3个以上的基板搬送部来交接玻璃基板2。

此外，在本实施方式中，说明了将基板搬送装置1使用于对玻璃基板2进行摄像的检查装置的示例，但是基板搬送装置1也可以应用于以下方面：使用显微镜等的通过放大目视观察指定的检查位置来进行玻璃基板2的缺陷检查的微观检查或复查；对由检查装置检测出的缺陷进行修正的缺陷修正装置或制造用于制作FPD的各种基板的基板制造装置的基板搬送。

此外，作为处理对象的基板除了矩形的玻璃基板以外，也可以是构成FPD的彩色滤光片等其他基板或者树脂性的透明基板。

在以上说明的本实施方式中，由于多个基板搬送部5、6在沿着基板搬送路径的单侧呈一条直线状地延伸的共用的导轨4上移动，所以，与以往那样在基板搬送路径的两侧配置一对导轨的情况相比，能够防止因导轨的平行度的偏差而引起的被检查基板2的变形，并且，由于仅在浮起台3的单侧配置导轨4，所以能够使基板搬送装置1整体变小。

此外，由于第一基板搬送部5和第二基板搬送部6彼此独立地移动，因此，将作为处理对象的基板2交接给第二基板搬送部6的第一基板搬送部5能够在第二基板搬送部6完成搬送之前移动至接收新的基板2的位置，从而能够缩短搬送和处理(检查)的节拍时间。

因此，根据本实施方式，能够在短时间内高效率且高精度地进行作为处理对象的基板2的搬送和处理(检查)，并且能够减小基板搬送装置1的设置面积。

此外，在本实施方式中，第一基板搬送部5和上述第二基板搬送部6具有保持基板2的基板保持部5a、6a，在基板2的交接位置处，在由第一基板搬送部5的基板保持部5a保持基板2的状态下，开始进行第二基板搬送部6的基板保持部6a对基板2的保持，在通过第二基板搬送部6的基板保持部6a完成了基板2的保持之后，解除第一基板搬送部5的基板保持部5a对基板2的保持。

因此，由于能够将定位后的基板2在由第一基板搬送部5吸附保持的状态下交接给第二基板搬送部6，所以能够使基板2的位置不产生偏移地交接基板2，能够在以高的定位精度交接基板2的同时进行搬送。

另外，通过在浮起台3上配置从下方支撑被检查基板2并使被检查基板2静止的多个基板静止部、在利用上述多个基板静止部从下表面支撑浮起的玻璃基板2并使该玻璃基板2静止的状态下从第一基板搬送部5将被检查基板2交接给第二基板搬送部6，也能够稳定地进行浮起的玻璃基板2的交接。

此外，在本实施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6具有上下机构(上下方向移动单元)5d、6d，该上下机构5d、6d通过使基板保持部5a、6a在上下方向上移动，来使该基板保持部5a、6a在保持被检查基板2的位置和从该位置退开了的位置之间移动。

因此，能够防止第一基板搬送部5与第二基板搬送部6的干涉，从而能够在短时间内高效率地进行基板2的交接和搬送。

此外，在本实施方式中，第二基板搬送部6(第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的至少一方)具有水平机构部(宽度方向移动单元)6j，该水平机构部6j使基板保持部6a在导轨4的宽度方向上移动。因此，能够有效地防止第一基板搬送部5与第二基板搬送部6的干涉，并且能够使第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在基板2的交接位置处在导轨4的宽度方向上并列，从而第一基板搬送部5与第二基板搬送部6分别能够在搬送方向(箭头D)的大范围内保持基板2。因此，能够更加高精度地搬送基板2。

此外，在本实施方式中，第二基板搬送部6(第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的至少一方)具有臂部6f，该臂部6f支撑基板保持部6a并且该臂部6f沿与搬送方向(箭头D)交叉的方向延伸。

此外，在本实施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在基板2的交接位置处位于这样的位置：第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的至少一部分在导轨4的宽度方向上相互并列。

此外，在本实施方式中，关于配置在第一基板搬送部5的各支撑部5b上的4组(8个)基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6的各支撑部6b(臂部6f)上的4组(8个)基板保持部6a，配置成在基板2的交接位置处一组一组交替地排列。

此外，在本实施方式中，第一基板搬送部5的滑动体5c和第二基板搬送部6的滑动体6c在基板2的交接位置处位于这样的位置：除了凸出部以外的部分(至少是配置有基板保持部5a、6a的一部分)在导轨4的宽度方向上并列。

由此，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6分别能够在搬送方向(箭头D)的大范围内保持被检查基板2而不互相干涉。因此，能够更加高精度地搬送基板2。

此外，在本实施方式中，第二基板搬送部6从第一基板搬送部5接收利用摄像部9、10(基板处理部)进行了摄像(处理)的基板2。因此，在将基板2从检查结束区域P5搬送至基板搬出区域P6时，能够使第一基板搬送部5返回基板搬入区域P1，从而能够以更短的时间搬送基板2。

此外，在本实施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6沿着共用的导轨4移动。因此，与现有技术那样使用了多根导轨的技术相比，能够有效地防止基板2的位置产生偏移，能够高精度地搬送基板2。

另外，通过将配置有一个第一基板搬送部5和一个第二基板搬送部6的两根(多根)导轨排列成一条直线状地来构成导轨4，并在上述两根导轨间的连接位置处将被检查基板2从第一基板搬送部5交接给第二基板搬送部6，也可以获得能够在短时间内高精度地搬送被检查基板2、并且能够减小基板搬送装置1的占地面积(フツトプ リント)的上述的效果。

<一个实施方式的第一变形例>

图13是上述一个实施方式的变形例的、图1中的A部的放大图。

关于第一基板搬送部5’的、位于作为基板搬送方向(箭头D)上的端部的后端的、两个(1组)基板保持部5a-1、5a-2，在图13所示的玻璃基板2的交接位置处，该两个基板保持部5a-1、5a-2位于第二基板搬送部6’的作为基板保持部的端部保持部6p和基板保持部6a-1之间，其中端部保持部6p位于第二基板搬送部6’的基板搬送方向(箭头D)的后端。

第二基板搬送部6’的端部保持部6p在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L1比第一基板搬送部5’的位于基板搬送方向(箭头D)的后端的两个基板保持部5a-1、5a-2在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L2要小。而且，优选的是，端部保持部6p的宽度L1比两个基板保持部5a-1、5a-2的宽度L2的一半还要小。

支撑部6b’的支撑板6g’与上述一个实施方式相比，向基板搬送方向(箭头D)的后方伸出，端部保持部6p设置在支撑板6g’的后端，并且端部保持部6p保持玻璃基板2在基板搬送方向(箭头D)上的后端的角部。端部保持部6p形成为具有在与搬送方向正交的方向上细长的平坦面的扁平垫，并且端部保持部6p由与基板保持部相同的树脂材质形成，以便不会使玻璃基板受伤。

此外，第一基板搬送部5的基板保持部5a和第二基板搬送部6的基板保持部6a通过吸附来保持玻璃基板2，与此相对，端部保持部6p只要能够支撑玻璃基板2在基板搬送方向(箭头D)上的后端的角部，除了利用吸附垫进行的吸附保持以外，该端部保持部6p也可以利用扁平垫或辊子等辅助支撑部件来进行支撑。

另外，在本变形例中，关于配置在第一基板搬送部5’的各支撑部5b上的4组(8个)基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6’的各支撑部6b’(臂部6f)上的4组(8个)基板保持部6a，也配置成在基板2的交接位置处一组一组交替地排列。

此外，在上述一个实施方式中，位于玻璃基板2上游侧的第二基板搬送部6的固定板6m以其一部分载置于滑动体6c的状态固定在滑动体6c上。与此相对，在本变形例中，通过将滑动体6c’向基板搬送方向(箭头D)后方延长，位于玻璃基板2上游侧的第二基板搬送部6’的固定板6m以完全载置于滑动体6c’上的状态固定在滑动体6c’上。

另外，由于位于玻璃基板2下游侧的基板搬送部6’也具有相同的结构，所以此处省略说明。

在以上说明的本变形例中，关于第一基板搬送部5’(第一基板搬送部5’和第二基板搬送部6’中的一个基板搬送部)的、配置在与基板搬送方向(箭头D)上的玻璃基板2的后端侧(或前端侧)相当的最端部的、一组基板保持部5a-1、5a-2，在玻璃基板2的交接位置处，该基板保持部5a-1、5a-2位于第二基板搬送部6’(另一基板搬送部)的端部保持部6p(辅助保持部、保持支撑部)和基板保持部6a-1之间，其中端部保持部6p位于第二基板搬送部6’的基板搬送方向(箭头D)的后端(或前端)。另外，端部保持部6p(辅助保持部、保持支撑部)在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L1，比第一基板搬送部5’的位于基板搬送方向(箭头D)的端部(前端或后端)的一组基板保持部5a-1、5a-2在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L2要小。此外，在本变形例中，端部保持部6p保持玻璃基板2的位置比另一基板搬送部6’靠外侧的前端和后端的角部部分。

此处，在不设置本变形例的端部保持部6p的情况下，玻璃基板2从位于第二基板搬送部6的后端(或前端)的基板保持部6a-1探出，对于与位于第一基板搬送部5’的基板搬送方向(箭头D)的后端的上述两个基板保持部5a-1、5a-2的宽度L2的长度(严格地说，还包括基板保持部5a、6a之间的间隙、和玻璃基板2的后端与保持部5a-1之间的长度)相当的、玻璃基板2的角部部分无法进行保持，从而无法抑制玻璃基板2的后端的翘起和挠曲。

与此相对，在本变形例中，通过配置宽度L1比上述两个基板保持部5a-1、5a-2的宽度L2要短的的端部保持部6p，能够可靠地支撑无法通过基板保持部5a、6a保持的玻璃基板2的角部部分，从而能够抑制玻璃基板2的角部部分的翘起和挠曲。而且，通过利用各个基板搬送部5’、6’吸附保持玻璃基板2的一个边的两端部，能够有效地防止玻璃基板2的位置产生偏移，因此，能够进一步高精度地搬送玻璃基板2。

另外，在本变形例中，以玻璃基板2、第一基板搬送部5’以及第二基板搬送部6’的端部为后端进行了说明，而关于配置在下游侧的第一基板搬送部，则是作为前端来理解。在该情况下，可以通过配置在下游侧的第二基板搬送部6’的端部保持部6p来矫正玻璃基板2的前端的翘起和挠曲。

此外，在本变形例中，以第一基板搬送部5’作为第一基板搬送部和第二基板搬送部中的一个基板搬送部，而以第二基板搬送部6’作为另一基板搬送部为例进行了说明，但是也可以反过来，将第二基板搬送部用作一个基板搬送部，而将第一基板搬送部用作另一基板搬送部。

此外，在本变形例中，由于端部保持部6p以非吸附的方式保持被检查基板2，所以能够在端部保持部6p上省略吸附机构，但是端部保持部6p也可以通过吸附来保持被检查基板2。而且，端部保持部6p只要能够在玻璃基板2的交接后支撑玻璃基板2的抽掉了对方侧的基板保持部的区域的角部，则也可以用大约几个毫米到20毫米宽度的杆部件或者大约几个毫米到20毫米直径的销来进行支撑。

<一个实施方式的第二变形例>

图14是表示上述一个实施方式的第二变形例的基板保持部15a、16a的概略俯视图。

在本变形例中，关于配置在第一基板搬送部15’的各支撑部15b上的基板保持部15a、和配置于在第二基板搬送部16的各支撑部16b(支撑板16g)上固定的臂部16f的基板保持部16a，在玻璃基板2的交接位置处，不是以每2个为1组地交替排列，而是配置成1个1个地交替排列。此外，本变形例的基板保持部15a、16a俯视呈在基板搬送方向(箭头D)上较长的矩形状。本变形例的其它结构与上述第一变形例大致相同。

关于在与位于玻璃基板2上游侧的第一基板搬送部15的基板搬送方向(箭头D)后端相当的最端部设置的一个基板保持部15a-1，在图14所示的玻璃基板2的交接位置处，所述基板保持部15a-1位于端部保持部16p和位于后端侧的基板保持部16a-1之间，其中所述端部保持部16p处于与位于玻璃基板2上游侧的第二基板搬送部16的基板搬送方向(箭头D)后端相当的最端部。

第二基板搬送部16的端部保持部16p在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L11，比位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L12要小。

而且，玻璃基板2的基板搬送方向(箭头D)后端与位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1之间的间隔L13，比位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1的宽度L12要窄。

此处，在位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1的宽度L12例如大约为50毫米到150毫米的情况下，端部保持部16p的宽度L11可以是例如大约几个毫米到20毫米，优选为10毫米左右，玻璃基板2的后端与位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1之间的间隔L13可以是例如大约20毫米毫米30毫米，但各宽度L11、L12以及间隔L13并不限定于上述值。

在以上说明的本变形例中，也与上述第一变形例相同，位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1在玻璃基板2的交接位置处位于第二基板搬送部16的端部保持部16p和基板保持部16a-1之间。此外，端部保持部16p在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L11，比位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a-1在基板搬送方向(箭头D)上的宽度L12要窄。此外，端部保持部16p保持玻璃基板2在基板搬送方向(箭头D)上的后端的角部部分。

因此，根据本变形例，与上述第一变形例相同，能够矫正玻璃基板2的角部部分的翘起和挠曲。而且，通过各个基板搬送部15、16吸附保持玻璃基板2的一个边的两端部，能够有效地防止被检查基板2的位置产生偏移，因此，能够进一步高精度地搬送被检查基板2。

另外，在本变形例中，以玻璃基板2、第一基板搬送部15以及第二基板搬送部16的端部为后端进行了说明，而关于配置在下游侧的第一基板搬送部，则是作为前端来理解。在该情况下，可以通过配置在下游侧的第二基板搬送部16的端部保持部16p来矫正玻璃基板2的前端的翘起和挠曲。而且，端部保持部6p只要能够在玻璃基板2的交接后支撑玻璃基板2的抽掉了对方侧的基板保持部的区域的角部，则也可以用大约几个毫米到20毫米宽度的杆部件或者大约几个毫米到20毫米直径的销来进行支撑。

<一个实施方式的第三变形例>

图15是表示上述一个实施方式的第三变形例的第一基板搬送部5”的立体图，图16是表示上述一个实施方式的第三变形例的第二基板搬送部6”的立体图。

关于支撑图15所示的第一基板搬送部5”的基板保持部5a的三个支撑部5b、和支撑图16所示的第二基板搬送部6”的基板保持部6a的三个支撑部6b，与上述一个实施方式相同，以能够位于玻璃基板2在基板搬送方向(箭头D)上的前端部分、中央部分以及后端部分这3个部位的方式，彼此隔开间隙地配置。

被各基板搬送部5”、6”的三个支撑部中位于中央的支撑部5b”、6b”所支撑的基板保持部5a”、6a”成为以非吸附的方式保持被检查基板2的非吸附保持部。与此相对，被位于玻璃基板2的基板搬送方向(箭头D)上游侧和下游侧的支撑部5b、6b所支撑的基板保持部5a、6a成为通过吸附来保持玻璃基板2的吸附保持部。这样，非吸附保持部5a”处在位于玻璃基板2的基板搬送方向(箭头D)上游侧的支撑部5b和下游侧的支撑部5b之间，非吸附保持部6a”处在位于玻璃基板2的基板搬送方向(箭头D)上游侧的支撑部6b和下游侧的支撑部6b之间。

另外，支撑吸附保持部5a、6a的两个支撑部5b、5b、6b、6b在交接位置处不一定要位于被检查基板2的基板搬送方向(箭头D)上的前端部分和后端部分，但是通过配置成位于前端部分和后端部分，能够稳定地保持玻璃基板2。

在以上说明的本变形例中，第一基板搬送部5”和第二基板搬送部6”具有以非吸附的方式保持玻璃基板2的非吸附保持部5a”、6a”，并通过非吸附保持部5a”、6a”来支撑沿着玻璃基板2的一个边的中央部分。通过这样将支撑玻璃基板2的中央部的保持部更换成非吸附保持部5a”、6a”，与上述一个实施方式以及变形例相比，减少了结构复杂且价格高的吸附保持部5a、6a的数量，实现了成本的降低，并且，通过利用非吸附保持部5a”、6a”来支撑位于上游侧和下游侧的玻璃基板2的中央部分，能够稳定地搬送玻璃基板2。

此外，在本变形例中，也可以在第一基板搬送部5”和第二基板搬送部6”的至少一方上设置非吸附保持部5a”、6a”。而且，通过使支撑部5b”、6b”位于支撑多个吸附保持部5a、6a的多个支撑部5b、6b之间，能够使支撑吸附保持部5a、6a的支撑部5b、6b的间隔变宽。通过这样在吸附保持部之间配置非吸附保持部，能够使吸附机构进一步简化，并且能够将各吸附保持部5a、6a之间的玻璃基板2支撑成水平从而提高吸附效果，并且能够稳定地搬送玻璃基板。

此外，在本变形例中，支撑吸附保持部5a、6a的两个(多个)支撑部5b、6b在被检查基板2的交接位置处位于玻璃基板2的基板搬送方向(箭头D)上的前端部分(上游侧)和后端部分(下游侧)。因此，通过在玻璃基板2的一个边的前端部分和后端部分利用吸附保持部5a、6a来吸附保持该玻璃基板2，能够有效地防止被检查基板2的位置产生偏移，因此，能够进一步高精度地搬送被检查基板2。

另外，在本变形例中，对各支撑部5b、6b仅支撑吸附保持部5a、6a和非吸附保持部5a”、6a”的其中一方的示例进行了说明，但各支撑部5b、6b也可以支撑吸附保持部5a、6a和非吸附保持部5a”、6a”两者。在该情况下，在保持被检查基板2的中央侧的基板保持部，相对于保持被检查基板2的端部侧的基板保持部增加非吸附保持部5a”、6a”的数量即可。

<另一实施方式>

图10是表示本发明的另一实施方式的基板搬送装置21的概略结构的立体图。

图11是表示上述基板搬送装置21的第一基板搬送部25和第二基板搬送部26的立体图，图12是图11中的E部的放大图。

在图10中，基板搬送装置21包括：使制造FPD的作为基板的玻璃基板22浮起的浮起台23；在玻璃基板22的搬送方向(箭头D)上呈一条直线状地延伸的2根1组的导轨24；以及能够沿着该导轨24彼此独立地移动的第一基板搬送部25和第二基板搬送部26(多个基板搬送部)等。

浮起台23由通过例如空气使玻璃基板22浮起的多个浮起板23a铺设而成。本实施方式的浮起板23a形成为细长的矩形形状，并且以其长度方向与玻璃基板22的搬送方向(箭头D)平行的方式铺设。此外，关于浮起板23a，在浮起台23的宽度方向上隔开预定的间隙G地铺设每个浮起板23a。

导轨24配置于在浮起台23的中央处设置在浮起板23a的下方的搬送轴框架27上。另外，如果导轨24(搬送轴框架27)的位置在浮起台23内(宽度方向的内侧)，则在什么位置都可以，但是优选处于中央位置。通过将导轨24(搬送轴框架27)设置在浮起台23的搬送路径内，能够减小基板搬送装置1的宽度使其与玻璃基板2的宽度同等。

第一基板搬送部25接收搬送至搬送方向(箭头D)的上游侧的玻璃基板22，并且将该接收的玻璃基板22向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。第二基板搬送部26从第一基板搬送部25接收玻璃基板22，并且将该接收的玻璃基板22向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。

第一基板搬送部25和第二基板搬送部26分别具有：基板保持部25a、26a；支撑部25b、26b；滑动体25c、26c；作为上下方向移动单元的上下机构25d、26d；以及连接部25e、26e。

基板保持部25a、26a通过经由未图示的空气管的真空吸附来吸附保持玻璃基板22的背面。为了吸附保持玻璃基板22背面，本实施方式的基板保持部25a、26a从浮起板23a的间隙G向玻璃基板22的浮起高度方向凸出。另外，与上述一个实施方式相同，在利用基板保持部25a、26a保持玻璃基板22时，并不限定于对玻璃基板22的背面的真空吸附，例如，也可以夹住玻璃基板22的前后端部来进行保持。

如图11和图12所示，将支撑部25b、26b配置在滑动体25c、26c的前端和后端两个部位，以使该支撑部25b、26b位于玻璃基板22的前端和后端。各支撑部25b、26b支撑4个基板保持部25a、26a。

如图12所示，第一基板搬送部25和第二基板搬送部26的支撑部25b、26b截面呈L字形状，该支撑部25b、26b弯折成沿铅直方向延伸的铅直部分25b-1、26b-1和沿水平方向延伸的水平部分25b-2、26b-2。

配置在滑动体25c、26c的前端的水平部分25b-2、26b-2和配置在滑动体25c、26c的后端的水平部分从铅直部分25b-1、26b-1的下端向彼此相向的方向延伸。

铅直部分25b-1、26b-1的侧面的上部分别固定有两个基板保持部25a、26a。关于这些基板保持部25a、26a，在2个部位隔开间隔地配置有2个为1组的基板保持部25a、26a。

彼此呈大致相同形状的第一基板搬送部25的滑动体25c和第二基板搬送部26的滑动体26c相互对置，并分开在2根1组的导轨24的每1根上沿搬送方向(箭头D)延伸。另外，第一基板搬送部25的滑动体25c具有从搬送方向(箭头D)侧的后端向第二基板搬送部26侧凸出的凸出部25c-1，第二基板搬送部26的滑动体26c具有从搬送方向(箭头D)侧的前端向第一基板搬送部25侧凸出的凸出部26c-1。此外，在第一基板搬送部25和第二基板搬送部26上，形成有与凸出部25c-1、26c-1相对应的凹部25c-2、26c-2。

另外，第一基板搬送部25的滑动体25c和第二基板搬送部26的滑动体26c在玻璃基板22的交接位置处位于在导轨24的宽度方向上彼此并列的位置。

另外，如果第一基板搬送部25和第二基板搬送部26像上述一个实施方式那样至少一部分在导轨24的宽度方向上并列，则能够有效地交接玻璃基板22。

滑动体25c、26c通过直线电动机的驱动而沿导轨24移动。作为滑动体25c、26c的驱动方法，如上述一个实施方式中所叙述的那样，并不限定于直线电动机驱动，例如，也可以利用为其它驱动源的电动机等，使用带式驱动、滚珠丝杠驱动等。

上下机构25d、26d经支撑部25b、26b使基板保持部25a、26a在上下方向上移动，由此，能够使基板保持部25a、26a在保持玻璃基板22的上升位置和从该位置下降了的退避位置之间移动。另外，上下机构25d、26d设置在滑动体25c、26c上。

虽然连接部25e、26e在图12中没有明确地进行图示，但是与上述一个实施方式一样，其由固定在支撑部25b、26b上的支撑部侧连接部、和固定在滑动体25c、26c上的滑动体侧连接部构成，并且夹着上下机构25d、26d地配置有1对所述连接部25e、26e。支撑部侧连接部和滑动体侧连接部以能够配合由上下机构25d、26d驱动的支撑部25b、26b的上下运动而相互滑动的方式连接。

基板搬送装置21具有：以跨越浮起台23的方式配置的2个门架28；以及配置在这些门架28、28上的不同的基板处理部。作为基板处理部，安装有如下装置：具有检查通过例如FPD制造工序制造出的玻璃基板22的摄像部29、30、镜31、32、以及未图示的照明部的自动宏观检查装置；和配置有多个线传感照相机(1ine sensor camera)的自动图案检查装置。

门架28、28由夹着浮起台23对置的一对门架支撑部33(仅图示出一侧)支撑。

由于本实施方式的玻璃基板22的交接与上述一个实施方式相同，所以省略详细的说明。

首先，通过未图示的对齐单元，将从其它装置搬送至基板搬送装置21的玻璃基板22定位在基准位置。

接着，通过在基板搬入区域待机的第一基板搬送部25(基板保持部25a)保持玻璃基板22。具体来说，通过第一基板搬送部25的上下机构25d，使下降了的基板保持部25a上升至保持玻璃基板22的位置。此后，通过经由未图示的空气管的真空吸附，来吸附保持玻璃基板22的背面。

然后，通过第一基板搬送部25使玻璃基板22以恒定速度向下游侧移动，同时通过上述自动宏观检查装置和自动图案检查装置对玻璃基板22进行检查。

在使玻璃基板22通过门架28、28的下方而进行了检查以后，在由第一基板搬送部25的基板保持部25a保持玻璃基板22的状态下，通过在检查结束位置待机的第二基板搬送部26的基板保持部26a保持玻璃基板22。然后，在第二基板搬送部26的基板保持部26a吸附保持了玻璃基板22的背面后，解除第一基板搬送部25的基板保持部25a的吸附保持。

具体来说，第二基板搬送部26的基板保持部26a在待机时位于不妨碍第一基板搬送部25对玻璃基板22的搬送的位置(从保持玻璃基板22的位置退开了的位置、即下降后的位置)。另外，当第一基板搬送部25到达检查结束区域(玻璃基板22的交接位置)时，通过上下机构26d使基板保持部26a上升至保持玻璃基板22的位置，并开始进行真空吸附。

当第二基板搬送部26的基板保持部26a这样完成了玻璃基板22的保持时，解除第一基板搬送部25的基板保持部25a的真空吸附，通过利用上下机构25d使第一基板搬送部25的基板保持部25a退开(下降)，来进行玻璃基板的交接。

接着，利用第二基板搬送部26将玻璃基板22搬送至基板搬出位置，并通过其它装置等将玻璃基板2搬出。解除了对玻璃基板2的保持的第一基板搬送部25移动至基板搬入位置待机，以接收新的玻璃基板22。同样，在基板搬出位置交接了玻璃基板22的第二基板搬送部26移动至检查区域待机。

另外，在本实施方式中，也对基板搬送部形成为第一基板搬送部25和第二基板搬送部26两个基板搬送部的情况进行了说明，但是也可以使用3个以上的基板搬送部来交接被检查基板22。例如，在导轨24上以能够行走的方式设置细长的矩形的滑动体，以夹着该矩形滑动体的方式分别构成L字形状的滑动体和倒L字形状的滑动体。在该情况下，L字形状的滑动体和倒L字形状的滑动体相对于矩形滑动体分开在搬送方向的下游侧区域和上游侧区域移动。

在以上说明的本实施方式中，由于多个基板搬送部25、26在呈一条直线状地延伸的导轨24上移动，所以与如以往那样在基板搬送路径的两侧配置一对导轨的情况相比，能够防止因导轨的平行度的偏差而引起的基板的变形，并且，由于无需在浮起台23的外侧配置导轨24，所以能够使基板搬送装置21整体(宽度方向)变小。

此外，由于第一基板搬送部25和第二基板搬送部26彼此独立地移动，因此，将玻璃基板22交接给另一基板搬送部的基板搬送部能够在另一基板搬送部完成搬送之前移动至接收新的玻璃基板22的位置，从而能够缩短搬送和检查的节拍时间。

因此，与上述一个实施方式相同，根据本实施方式，也能够在短时间内高效率且高精度地进行玻璃基板22的搬送和检查，并且能够减小基板搬送装置21的设置面积。

此外，在本实施方式中，导轨24配置在浮起台23内(宽度方向的内侧)。因此，无需将导轨24(搬送轴框架27)配置在浮起台23的外侧，从而能够进一步减小基板搬送装置21的设置面积。

Claims (20)

1.一种基板搬送装置，其从基板搬送路径的上游侧向下游侧搬送基板，其特征在于，

上述基板搬送装置包括：

导轨，其在基板搬送方向上呈一条直线状地设置；以及

多个基板搬送部，它们设置成能够沿着上述导轨彼此独立地移动，

上述多个基板搬送部分别包括：滑动体，其设置成能够沿着上述导轨彼此独立地移动；支撑部，其设置于所述滑动体；基板保持部，其设置于所述支撑部，对所述基板进行保持；上下机构，其经所述支撑部使所述基板保持部在上下方向移动，由此使所述基板保持部在保持所述基板的位置和自该位置向下方退避的退避位置之间移动；以及连接部，其固定于所述支撑部，并能够配合所述上下结构的上下运动而滑动，

关于所述各基板搬送部，在所述各支撑部以预定间隔配置有多个或者多组所述基板保持部，当一个基板搬送部与另一基板搬送部位于所述基板的交接位置的时候，配置于所述一个基板搬送部的所述支撑部的所述多个或者多组基板保持部与配置于所述另一基板搬送部的所述支撑部的所述多个或者多组基板保持部以彼此不干涉的方式错开地对置，

所述各基板搬送部的滑动体在所述基板的交接位置处于这样的位置：配置有所述基板保持部的部分在所述导轨的宽度方向相互并列。

2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

关于所述各基板搬送部，在将通过一个基板搬送部搬送来的所述基板交接给另一基板搬送部时，通过所述另一基板搬送部的上下机构使所述另一基板搬送部的基板保持部上升以保持所述基板，然后解除所述一个基板搬送部对基板的保持，通过所述一个基板搬送部的上下机构使所述一个基板搬送部的基板保持部下降到所述退避位置。

3.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

关于所述各基板搬送部，在所述基板的交接位置使一个基板搬送部的基板保持部在所述基板的下方待机，在通过另一基板搬送部保持所述基板的状态下搬送到所述基板的交接位置之后，通过所述另一基板搬送部的上下机构使所述另一基板搬送部的基板保持部上升以保持所述基板，在通过所述另一基板搬送部完成了所述基板的保持之后，解除所述一个基板搬送部对基板的保持，通过所述一个基板搬送部的上下机构使所述一个基板搬送部的基板保持部下降到与所述一个基板搬送部的基板保持部不干涉的退避位置。

4.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述各基板搬送部的至少一方具有使该基板搬送部的基板保持部移动的宽度方向移动单元，通过所述宽度方向移动单元使配置于所述支撑部的所述基板保持部在与所述搬送方向正交的方向移动。

5.如权利要求4所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述宽度方向移动单元经设置有该宽度方向移动单元的所述一个基板搬送部的支撑部，使所述基板保持部在与所述搬送方向正交的方向移动，以使配置于所述一个基板搬送部的所述基板保持部与配置于所述另一基板搬送部的所述基板保持部在所述基板的接收位置沿所述基板搬送方向排列成一条直线。

6.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述一个基板搬送部设置有辅助保持部，该辅助保持部在配置于所述另一基板搬送部的所述基板保持部的外侧辅助地支撑所述基板。

7.如权利要求6所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述基板保持部通过对所述基板的背面的真空吸附来用吸附垫保持所述基板，

所述辅助保持部通过具有在与搬送方向正交的方向上细长的平坦面的扁平垫、销、以及辊子中的任一种来支撑所述基板。

8.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述各基板搬送部的至少一方具有：配置了多个吸附保持部来作为所述基板保持部的多个支撑部；以及配置了多个非吸附保持部的支撑部，

支撑所述多个非吸附保持部的支撑部位于支撑所述多个吸附保持部的多个支撑部之间。

9.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

在所述各基板搬送部，以能够位于所述基板的所述基板搬送方向上的前端部分、中央部分以及后端部分这3个部位的方式，彼此隔开间隔地配置有3个支撑部，

在所述三个支撑部中的配置于两端的两个支撑部，设置吸附保持所述基板的所述基板保持部，

在配置于中央的支撑部设置非吸附地保持所述基板的非吸附保持部。

10.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述各支撑部在所述基板搬送方向的各自的所述滑动体的两端部配置有所述基板保持部。

11.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述导轨在所述基板搬送方向沿着所述基板搬送路径的单侧配置。

12.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述导轨在所述基板搬送路径内的浮起台的下方，配置于所述浮起台的所述基板搬送路径内的中央。

13.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述导轨通过将分别配置上游侧的所述基板搬送部和下游侧的所述基板搬送部的多根所述导轨排列成一条直线状而构成，

在所述多根导轨之间的连接位置处，从所述上游侧的基板搬送部将所述基板交接给所述下游侧的基板搬送部。

14.如权利要求1、11至13中的任一项所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述导轨是将两根直线电动机轨道构成为一体而得到的导轨，或者是在一根直线电动机轨道上一体地构成直线引导平行接近的基板搬送部的直线引导件而得到的导轨。

15.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述各基板搬送部的滑动体由矩形形状的滑动体、夹着所述矩形形状的滑动体对置的L字形状的滑动体以及倒L字形状的滑动体三者构成。

16.如权利要求15所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述各基板搬送部的滑动体设置成能够沿着所述导轨彼此独立地移动，相对于所述矩形形状的滑动体，所述L字形状的滑动体和所述倒L字形状的滑动体分开向所述基板搬送方向的上游区域侧和下游区域侧移动。

17.一种基板搬送方法，用于从基板搬送路径的上游侧向下游侧搬送基板，其特征在于，

多个基板搬送部分别包括：滑动体，其设置成能够沿着导轨彼此独立地移动；支撑部，其设置于所述滑动体；基板保持部，其设置于所述支撑部，对所述基板进行保持；上下机构，其经所述支撑部使所述基板保持部在上下方向移动，由此使所述基板保持部在保持所述基板的位置和自该位置向下方退避的退避位置之间移动；以及连接部，其固定于所述支撑部，并能够配合所述上下结构的上下运动而滑动，

在所述基板搬送方法中，

使沿着所述导轨移动的下游侧的所述基板搬送部移动到基板交接位置后待机，其中所述导轨在所述基板搬送路径的所述基板搬送方向上呈一条直线状地设置；

通过沿着所述导轨与所述下游侧的基板搬送部独立地移动的上游侧的基板搬送部，将所述基板向下游侧搬送，并搬送到所述基板交接位置；

然后，从所述上游侧的基板搬送部将所述基板交接给所述下游侧的基板搬送部；

使所述下游侧的基板搬送部沿着所述导轨移动，以将从所述上游侧的基板搬送部接收的所述基板搬送向下游侧，

关于所述各基板搬送部，在所述各支撑部以预定间隔配置有多个或者多组所述基板保持部，当一个基板搬送部与另一基板搬送部位于所述基板的交接位置的时候，配置于所述一个基板搬送部的所述支撑部的所述多个或者多组基板保持部与配置于所述另一基板搬送部的所述支撑部的所述多个或者多组基板保持部以彼此不干涉的方式错开地对置，

所述各基板搬送部的滑动体在所述基板的交接位置处于这样的位置：配置有所述基板保持部的部分在所述导轨的宽度方向相互并列。

18.如权利要求17所述的基板搬送方法，其特征在于，

所述下游侧的基板搬送部使在所述基板交接位置保持所述基板的所述基板保持部下降到比所述基板靠下方的退避位置；

在通过所述上游侧的基板搬送部将所述基板搬送到了所述基板交接位置的状态下，通过宽度方向移动单元使所述下游侧的所述基板保持部向基板下方移动，然后使所述下游侧的基板搬送部的基板保持部上升来保持所述基板；

通过沿着所述导轨向下游侧移动，来自所述上游侧的基板搬送部接收所述基板并朝向所述下游搬送所述基板；

所述上游侧的基板搬送部在将所述基板交接给所述下游侧的基板搬送部之后，所述上游侧的基板搬送部在使保持所述基板的基板保持部下降到了比所述基板靠下方的退避位置的状态下，沿着所述导轨向上游侧移动。

19.如权利要求17所述的基板搬送方法，其特征在于，

在所述上游侧的基板搬送部和所述下游侧的基板搬送部中的一方发生了对所述基板的保持错误的时候，在使所述一方基板搬送部避让到不妨碍另一基板搬送部的移动的基板搬入区域或者基板搬出区域、并且使所述一方基板搬送部的基板保持部向下方回避以避免与另一基板搬送部的基板保持部干涉的状态下，使没有产生错误的所述另一基板搬送部沿着所述导轨移动过从上游侧到下游侧的整个区域。

20.如权利要求17所述的基板搬送方法，其特征在于，

在所述上游侧的基板搬送部和所述下游侧的基板搬送部的一方发生了对所述基板的保持错误的时候，使两个基板搬送部一体地沿着所述导轨移动过从上游侧到下游侧的整个区域。

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