CN103538359A - 基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法，能够抑制由基板端部支承部件引起的检测传感器的误检测。使可动基体部（31a）向背离固定基体部（31b）的方向移动并在待机位置［T］进行待机，并且使各传送带支承部件（28）分别移动到第二位置［P2］。从该状态开始可动基体部（31a）的横向动作，并且从投影器（32a）向受光器（32b）投射检查光（r）并执行异物检测动作。由此，由于检查光（r）通过与传送带支承部件（28a）位于第一位置［P1］的情况相比更远离基板端部支承部件（29a）的位置，故而即使在基板端部支承部件（29a）上产生翘曲变形的情况下，也能够抑制将其误检测为在传送带支承部件（28a）的移动路径上存在的异物的情况。

Description

基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法

技术领域

本发明涉及从下方支承基板的宽度方向的两端部将其输送到规定的作业位置的基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法。

背景技术

在如零件安装机及丝网印刷机那样地相对于基板进行零件的安装作业的零件安装用装置中具备用于输送基板的基板输送装置。作为该基板输送装置，公知有如下的构成，即，具备：从下方支承基板的两端并对其进行输送的一对输送传送带；在由该一对输送传送带输送到规定的位置的基板的下方进行升降的升降部件；设于该升降部件并通过该升降部件的上升而从下方与基板的下面中央部抵接并进行支承的基板中央部支承部件；配置于升降部件的上方并在基板中央部支承部件与基板抵接时上端从下方抵接支承基板的两端部的板状的一对基板端部支承部件（例如专利文献1）。

一对输送传送带中的至少一个安装于在与基板输送方向垂直的方向上自如移动的可动传送带支承部件，通过使可动传送带支承部件对应于基板大小向配置另一传送带支承部件的方向（称为“横宽接近方向”）移动，对两输送传送带间的距离进行调整。另外，在传送带支承部件上，除了输送传送带之外，还安装有上述的基板端部支承部件。

升降部件的上方成为可动传送带支承部件的移动路径，由于若在该移动路径上的升降部件的上面附着有异物，则会阻碍可动传送带支承部件的移动，因此，将用于检测附着于可动传送带支承部件的移动路径上的升降部件的上面的异物的检测传感器固定设于该可动传送带支承部件。作为该检测传感器，由投射检查光的投影器及接受该检查光的受光器构成，在向横向动作时，从投影器向基板输送方向投射检查光，根据该检查光是否被遮断而进行在升降部件的上面是否附着有异物的判断。

专利文献1：（日本）特开2010－188645号公报

如上所述，在需要检测附着于可动传送带支承部件的移动路径上的升降部件的上面的异物的基础上，检测传感器需要安装于比基板端部支承部件更靠横宽接近方向侧（即配置基板中央部支承部件的一侧）的位置。另外，由于在根据基板大小进行基板中央部支承部件及基板端部支承部件对基板的支承时，上述两部件的距离会变小，故而需要使检测传感器尽量与基板端部支承部件邻接而进行安装。因此，会产生如下问题，即，在基板端部支承部件产生翘曲变形的情况下，检查光被该基板端部支承部件遮断而无法到达受光器，将基板端部支承部件误检测为附着在升降部件的上面的异物。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法，能够抑制由基板端部支承部件引起的检测传感器的误检测。

本发明的第一方面的基板输送装置，通过一对输送传送带从下方支承基板的宽度方向的两端部而将将所述基板输送到规定的作业位置，其中，具备：一对传送带支承部件，其支承所述一对输送传送带；一对基体部，其分别保持所述一对传送带支承部件使其在所述一对传送带支承部件彼此接近的第一位置与所述一对传送带支承部件彼此远离的第二位置之间自如地移动；一对夹持部件，其相对于所述一对基体部在与所述一对传送带对基板的输送方向垂直的方向自如移动地设置，通过使所述一对传送带支承部件均位于所述第一位置，对输送到所述规定的作业位置的基板从该基板的宽度方向进行夹持；基板中央部支承部件，其对被所述一对夹持部件夹持的状态的基板的下面中央部进行支承；一对基板端部支承部件，其通过所述一对传送带支承部件沿上下方向移动自如地被支承；传送带支承部件移动机构，其在基板被所述一对夹持支承部件夹持的状态下，通过使所述一对传送带支承部件分别从所述第一位置向所述第二位置移动，解除所述一对输送传送带对基板的输送支承状态，使所述一对基板端部支承部件位于基板的宽度方向的两端部的下方；间隔调整机构，其在开始所述一对输送传送带对基板的输送之前，在使所述一对基体部中的至少一方向从所述基板中央部支承部件离开的方向移动之后，通过使该基体部向接近所述基板中央部支承部件的方向即横宽接近方向移动，以使所述一对输送传送带的间隔成为对应于基板的宽度方向的尺寸的间隔的方式进行调整；异物检测传感器，其固定设于通过所述间隔调整机构而相对于所述基板中央部支承部件远离及接近的可动侧的基体部，在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，在与所述可动侧的基体部一同移动的所述基板端部支承部件的一侧即设有所述基板中央部支承部件侧的区域，将检查光向基板输送方向投射，通过检测该检查光的遮光状态，进行在所述可动侧的基体部的行进方向存在的异物的检测，在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，通过所述传送带支承部件移动机构而使与所述可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于所述第二位置。

本发明第二方面的基板输送装置的异物检测方法，在使可动侧的基体部向接近基板中央部支承部件的方向即横宽接近方向移动时，使与所述可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于第二位置，在该状态下，一边使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动一边进行所述异物检测传感器对异物的检测。

根据本发明，通过使与可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于一对传送带支承部件彼此远离的第二位置（即基板端部支承部件和异物检测传感器远离的位置），能够在异物检测传感器与基板端部支承部件之间设置一定的空间，故而在该状态下，通过在可动侧的基体部向横宽接近方向移动时，进行异物检测传感器对异物的检测，即使在基板端部支承部件上产生翘曲等变形的情况下，也能够抑制将该基板端部支承部件误检测为异物的情况。

附图说明

图1是丝网印刷机的局部平面图；

图2是本实施方式的丝网印刷机具备的印刷执行部的正面图；

图3是本实施方式的丝网印刷机具备的印刷执行部的局部立体图；

图4是表示本实施方式的丝网印刷机的控制系统的框图；

图5是表示本实施方式的丝网印刷机执行的丝网印刷动作的流程的流程图；

图6（a）～（c）是本实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图7（a）～（c）是本实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图8（a）、（b）是本实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图9（a）、（b）是本实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图10（a）、（b）是本实施方式的丝网印刷机具备的印刷执行部的局部正面图；

图11（a）、（b）是本实施方式的丝网印刷机具备的印刷执行部的局部正面图。

标记说明

3：基板

12：定位传送带

27：基板中央部支承部件

28：传送带支承部件

28e：传送带支承部件移动机构

29：基板端部支承部件

30：夹持器

31：基体部

31c：基体部移动机构

［P1］：第一位置

［P2］：第二位置

32：异物检测传感器

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。本发明的基板输送装置设置在如零件安装机或丝网印刷机那样地相对于基板进行零件的安装作业的零件安装用装置。在本实施方式中，以丝网印刷机为例进行说明。

在图1中，丝网印刷机1由基台2、设于基台2上并进行作业对象物即基板3的输送的基板输送路4、对通过基板输送路4而输送到规定的作业位置的基板3执行丝网印刷的印刷执行部5构成。以下，将基板3的输送方向设为X轴方向，将与X轴方向垂直的水平面内的方向设为Y轴方向。

在图1中，基板输送路4由在X轴方向上排列设置的三个输送传送带（一对输入传送带11、定位传送带12及输出传送带13）构成，由未图示的促动器等构成的输送路驱动机构4a（图4）驱动。输入传送带11将从丝网印刷机1的上游侧（图面左侧）投入的基板3输入丝网印刷机1的内部并交接给定位传送带12。定位传送带12将从输入传送带11交接来的基板3输送至规定的作业位置（图1所示的基板3的位置），在对基板3的丝网印刷结束后，将基板3交接给输出传送带13。输出传送带13将从定位传送带12接受到的基板3输出到丝网印刷机1的下游侧（图1的图面右侧）。

在图1、图2中，印刷执行部5具备：从下方支承定位传送带12上的基板3且以从两侧夹持的状态进行使该基板3向水平面内的方向的移动和向上下方向（设为Z轴方向）的移动的基板移动单元20；在基板移动单元20的上方沿Y轴方向延伸设置的一对支承轨道40；通过支承轨道40在Y轴方向上滑动自如地被支承的板状的罩部件41；在罩部件41的上方在Y轴方向上移动自如地设置的刮刀单元42；将膏P供给到罩部件41上（图2）的注射器单元46。

在图2中，基板移动单元20由相对基台2在Y轴方向上相对移动的Y工作台21、相对于Y工作台21在X轴方向上相对移动的X工作台22、相对于X工作台22绕Z轴相对旋转的θ工作台23、固定于θ工作台23上的基体板24、相对于基体板24相对升降的第一升降板25、相对于第一升降板25相对升降的第二升降板26、设于第二升降板26的上面中央部的基板中央部支承部件27、设于第二升降板26的上方并支承各定位传送带12的一对传送带支承部件28、相对于传送带支承部件28在上下方向上移动自如地被支承的一对基板端部支承部件29、在各定位传送带12的上方在Y轴方向上开闭动作的一对夹持器30（夹持部件）、安装传送带支承部件28和夹持器30的一对基体部31、固定设于基体部31的异物检测传感器32构成。

在图2、图3中，基板端部支承部件29由在X轴方向上延伸的板状部件构成，安装在相对于在传送带支承部件28形成的滑块支承部28c在上下方向上移动自如地被支承的滑块28d。由此，基板端部支承部件29为相对于传送带支承部件28在上下方向上移动自如地被支承的状态。另外，各传送带支承部件28通过由未图示的促动器等构成的传送带支承部件移动机构28e而在Y轴方向上自如移动。

各基体部31为在X轴方向上延伸的框状部件，从第二升降板26的上方从X轴方向来看，配设于基板中央部支承部件27的两侧外方，保持各传送带支承部件28使其在两传送带支承部件28相互在Y轴方向上接近的第一位置［P1］（图6（c））与比第一位置［P1］更向Y轴方向远离的第二位置［P2］（图6（a）、（b））之间自如移动。另外，一对基体部31中的一方通过由未图示的促动器等构成的基体部移动机构31c而在Y轴方向上自如移动，可相对于基板中央部支承部件27远离及接近。以下，将在Y轴方向上自如移动的可动侧的基体部称为“可动基体部31a”，将不向Y轴方向移动的基体部称为“固定基体部31b”。另外，将保持于可动基体部31a的传送带支承部件称为“传送带支承部件28a”，将保持于固定基体部31b的传送带支承部件称为“传送带支承部件28b”，将支承于传送带支承部件28a的定位传送带及基板端部支承部件分别称为“定位传送带12a”、“基板端部支承部件29a”。

各夹持器30安装于各基体部31的上端，通过由未图示的促动器等构成的夹持器驱动机构30a（图4）而在定位传送带12的上方在Y轴方向上自如移动。通过使各夹持器30向相互接近的方向移动，在通过定位传送带12从下方支承两端部的状态下，从宽度方向夹持（挟持）输送到规定的作业位置的基板3。

在图3中，异物检测传感器32进行对在可动基体部31a的行进方向存在的异物的检测（详细后述），由投影器32a及受光器32b构成，从Y轴方向来看，分别在基板端部支承部件29a的两侧外方（即在将基板端部支承部件29a挟持于中间的状态下）固定设于可动基体部31a。投影器32a在传送带支承部件28a位于第一位置［P1］的状态下，从X轴方向来看，朝向基板端部支承部件29a的侧方、即设有基板中央部支承部件27侧的区域的X轴方向投射检查光r（图10（a））。受光器32b位于检查光r的光轴ra（图6（b））上，在该光轴ra上不存在异物的状态下，接受到检查光r。

另外，由于根据基板3的大小，基板中央部支承部件27与基板端部支承部件29a的距离变小（例如尺寸较小的基板），故而为了应对这样的情况，在传送带支承部件28a位于第一位置［P1］的状态下，从X轴方向来看，异物检测传感器32（投影器32a及受光器32b）以使检查光r通过基板端部支承部件29a的内侧面29b附近的方式设于可动基体部31a（图10（a））。另外，从平面来看，投影器32a及受光器32b位于第二升降板26及基板中央部支承部件27的外缘的外方，即使第二升降板26及基板中央部支承部件27上升，这些部件和投影器32a及受光器32b之间也不会产生干涉（图3）。

如上所述，在本实施方式中，可动基体部31a与传送带支承部件28a、基板端部支承部件29a及异物检测传感器32成为一体，可在Y轴方向上移动。另外，传送带支承部件28a及基板端部支承部件29a可与可动基体部31a及异物检测传感器32相对地在Y轴方向上移动。

在图1中，从平面来看，罩部件41由矩形形状的框部件41a支承四边，在由框部件41a包围的矩形区域内形成有设于基板3的电极3a对应设置的多个图案孔（未图示）。

在图2中，刮刀单元42具备：在支承轨道40的上方相对于基板移动单元20在Y轴方向上移动自如地设置的刮刀基体43；安装于刮刀基体43并沿上下方向延伸的两个刮刀升降缸44；安装于各刮刀升降缸44的下部并在Y轴方向上相对的一对刮刀45。各刮刀45为沿X轴方向延伸的“铲刀”状的部件，通过刮刀升降缸44向下方的伸出缩回动作，相对于刮刀基体43进行升降。

在图2中，注射器单元46构成为在相对基板移动单元20在水平面内方向移动自如地设置的移动板47上安装有将印刷于基板3的焊料或导电性膏等膏P向下方喷出的注射器48。

接着，使用图4对丝网印刷机1的控制构成进行说明。丝网印刷机1具备的控制装置50具有：存储部51、机构控制部52、传感器控制部53及显示处理部54，在外部与监视器等显示部55连接。存储部51存储有用于执行丝网印刷的程序数据，机构控制部52、传感器控制部53基于该程序数据进行对各部件的控制。

机构控制部52通过进行输送路驱动机构4a、传送带支承部件移动机构28e、夹持器驱动机构30a及基体部移动机构31c的动作控制，分别驱动基板输送路4、传送带支承部件28、夹持器30及可动基体部31a。另外，机构控制部52通过进行由各种促动器等构成的基板移动单元驱动机构20a的动作控制，驱动上述以外的构成基板移动单元20的各部件（Y工作台21、X工作台22、θ工作台23、第一升降板25、第二升降板26）。

另外，机构控制部52通过进行由未图示的促动器等构成的刮刀单元移动机构56、刮刀升降机构57的动作控制，分别执行刮刀单元42向Y轴方向的移动动作、刮刀45的升降动作。进而，机构控制部52通过进行由未图示的促动器等构成的注射器单元移动机构58、注射器动作机构59的动作控制，分别执行注射器单元46的移动、注射器48对膏P的供给动作。

传感器控制部53在控制来自投影器32a的检查光r的投影动作的同时，监视受光器32b对检查光r的接受状态（有无接受）。显示处理部54在从传感器控制部53发送有包含受光器32b未接受检查光r的消息信息的信号时，对显示部部55执行后述的显示处理动作。

本实施方式中的丝网印刷机1如上地构成，接着，一边参照图5的流程图一边使用图6～图9的动作说明图说明丝网印刷动作。首先，控制装置50使可动基体部31a向背离固定基体部31b的方向（图6（a）中所示的箭头标记a）移动并在待机位置［T］待机，并且使各传送带支承部件28（28a、28b）分别向第二位置［P2］移动（ST1的第二位置移动工序）（图6（a））。

接着，控制装置50在传送带支承部件28a移动到第一位置［P1］时，以使支承于传送带支承部件28a的定位传送带12a能够从下方支承基板3端部的方式使可动基体部31a向接近基板中央部支承部件27的方向（图6（b）中所示的箭头标记b）移动（ST2的横向动作工序）（图6（b））。在该可动基体部31a向箭头标记b方向的移动（将其称为“横向动作”）时，由于若在该可动基体部31a的行进方向（例如第二升降板26的上面）存在异物的话会对横向动作带来某种阻碍，故而在本实施方式中，开始横向动作的同时从投影器32a向受光器32b投射检查光r，通过检测该检查光r的遮光状态，一并进行检测在可动基体部31a的行进方向上存在的异物的动作（ST3的异物检测工序）。

控制装置50在未检测到检查光r的遮光状态的期间（即受光器32b接受检查光r的期间），继续横向动作，并且判断是否使可动基体部31a移动至规定的位置（对应于基板大小的位置）（ST4的第一判断工序），在未使其移动至规定的位置的情况下，一边进行检查（检查光r的投射）一边继续横向动作。如果使可动基体部31a移动至规定的位置，则控制装置50结束异物检测传感器32对异物的检测动作，并且使各传送带支承部件28从第二位置［P2］向第一位置［P1］移动（使传送带支承部件28a向图6（c）所示的箭头标记c方向移动，使传送带支承部件28b向箭头标记d方向移动），形成为通过各定位传送带12可支承基板3的状态（ST5的第一位置移动工序）（图6（c）。而且，控制装置50将基板3从输入传送带11转移到定位传送带12，并将基板3输送到规定的作业位置（ST6的基板输送工序）（图6（c））。

在上述构成中，基体部移动机构31c构成为如下的间隔调整机构，即，在开始一对定位传送带12对基板3的输送之前，使可动基体部31a向从基板中央部支承部件27远离的方向移动之后，通过使可动基体部31a向接近基板中央部支承部件27的方向即横宽接近方向移动，以使一对定位传送带12的间隔成为对应于基板3的宽度方向的尺寸的间隔的方式进行调整。另外，第一位置［P1］成为如下的基板输送位置，即，在对应于基板3的宽度方向的尺寸而使可动基体部31a移动至规定位置的状态下，通过各定位传送带12从下方支承基板3的宽度方向的两端部并对其进行输送。

将基板3输送至规定的作业位置后，控制装置50执行基板3的定位动作（ST7的基板定位工序）。首先，控制装置50通过使各夹持器30向相互接近的方向（图7（a）所示的箭头标记e、f方向）移动，从宽度方向夹持基板3（图7（a））。在夹持后，控制装置50使第二升降板26相对于第一升降板25上升（图7（b）中所示的箭头标记g1），使第二升降板26的上面与各基板端部支承部件29的下端抵接（图7（b））。

而且，控制装置50进一步使第二升降板26上升（图7（c）中所示的箭头标记g2）并将各基板端部支承部件29抬起，使基板中央部支承部件27与基板3的下面中央部抵接，并且使各基板端部支承部件29的上端与基板3的下面两侧部抵接（图7（c））。由此，基板3成为通过基板中央部支承部件27、各基板端部支承部件29分别支承中央部的下面、两侧部的下面，进而通过各夹持器30夹持侧面的状态。

接着，控制装置50通过使各传送带支承部件28分别从第一位置［P1］向第二位置［P2］移动（使传送带支承部件28a向图8（a）中所示的箭头标记h方向移动，使传送带支承部件28b向箭头标记i方向移动），使各定位传送带12从基板3的两端部的下方退让，并且使各基板端部支承部件29分别位于基板3的两端部的下方（图8（a））。

即，传送带支承部件移动机构28e在由一对夹持器30夹持基板3的状态下，通过使一对传送带支承部件28分别从第一位置［P1］向第二位置［P2］移动，解除一对定位传送带12对基板3的输送支承状态，使一对基板端部支承部件29位于基板3的宽度方向的两端部的下方。另外，第二位置［P2］在对应于基板3的宽度方向的尺寸而使可动基体部31a移动到规定的位置的状态下，为各定位传送带12从基板3的两端部的下方退让的位置，并且为通过各基板端部支承部件29从下方支承基板3的两端部的基板端部支承位置。

使各基板端部支承部件29位于基板3的宽度方向的两端部的下方后，控制装置50使第二升降板26上升（图8（b）所示的箭头标记j），基板3的上面抬起至与夹持器30的上面相同的高度（图8（b））。接着，控制装置50通过使第一升降板25上升（图9（a）所示的箭头标记k），使基板3的上面从下方接触罩部件41的下面（图9（a））。由此，完成基板3的定位动作，接着，控制装置50执行对定位后的基板3的膏P的印刷动作（ST8的印刷作业执行工序）。

对膏P的印刷动作进行说明。首先，控制装置50使注射器单元46向罩部件41的上方移动，将膏P从注射器48供给到罩部件41的上面（图9（a））。在供给膏P之后，控制装置50使一方的刮刀45下降并使其下缘抵接于罩部件41的上面，在该状态下，通过使刮刀单元42向Y轴方向移动（如图9（b）所示的箭头标记l），使刮刀45在罩部件41上滑动，将膏P填充于罩部件41的图案孔中（图9（b））。

在罩部件41的图案孔内填充有膏P之后，控制装置50使第一升降板25下降并使基板3从罩部件41分离，由此，在基板3上印刷膏P。在印刷膏P之后，控制装置50使各夹持器30向背离方向移动而解除基板3的夹持状态，并且使各传送带支承部件28从第二位置［P2］向第一位置［P1］移动。然后，控制装置50使第二升降板26下降而将基板3载置于定位传送带12上，通过由定位传送带12将基板3向下游侧输送并交接给输出传送带13，从印刷执行部5输出基板3（ST9的基板输出工序）。

在输出基板3之后，控制装置50进行是否存在其他要进行丝网印刷的同品种的基板3的判断（ST10的第二判断工序），在存在其他应进行丝网印刷的同品种的基板3的情况下，返回（ST6），进行下一基板3的输送，之后进行（ST7）～（ST10）的动作。另一方面，在不存在其他应进行丝网印刷的同品种的基板3的情况下，控制装置50结束丝网印刷。

另一方面，在（ST2）的横向动作的执行中，因在可动基体部31a的移动路径上存在某种异物等而检测到遮光状态的情况下（即受光器32b未接受到检查光r的情况下），控制装置50使横向动作中断，并且经由显示处理部54将在横向动作时产生干扰的消息显示于显示部55，向操作者进行通知（ST11的通知工序）。另外，作为通知的方式，可以鸣叫警告声。

如以上说明，作为本实施方式中的丝网印刷机1的基板输送装置的基板移动单元20具备：一对定位传送带12（输送传送带）、一对传送带支承部件28、一对基体部31、一对夹持器30（夹持部件）、基板中央部支承部件27、一对基板端部支承部件29、传送带支承部件移动机构28e、基体部移动机构31c（间隔调整机构）以及异物检测传感器32。而且，与可动基体部31a一同移动的传送带支承部件28a在通过基体部移动机构31c使可动基体部31a向横宽接近方向移动时，通过传送带支承部件移动机构28e而位于第二位置［P2］。

另外，该基板输送装置中的异物检测方法在使可动基体部31a向接近基板中央部支承部件27的方向即横宽接近方向移动时，使与可动基体部31a一同移动的传送带支承部件28a位于第二位置［P2］，在该状态下，一边使可动基体部31a向横宽接近方向移动一边进行异物检测传感器32对异物的检测。

这样，在本实施方式中，通过在可动基体部31a的横向动作时检测从投影器32a投射的检查光r的遮光状态，进行在可动基体部31a的移动路径上存在的异物的检测，但在该异物的检测动作时，如图10（a）所示，在传送带支承部件28a位于第一位置［P1］的状态下，从X轴方向来看，基板端部支承部件29a的内侧面29b与检查光r的光轴ra的距离为S1，通过使传送带支承部件28a向第二位置［P2］移动（图10（b）），能够使基板端部支承部件29a的内侧面29b与检查光r的光轴ra的距离成为进一步增长T长度的S2。

即，在异物的检测动作时，与传送带支承部件28a位于第一位置［P1］的情况相比，检查光r通过从基板端部支承部件29a远离的位置，故而如图11（a）、（b）所示，即使在基板端部支承部件29A产生翘曲变形的情况下，也能够抑制该基板端部支承部件29A在检查光r的光轴ra上侵入，将基板端部支承部件29A误检测为传送带支承部件28a的移动路径上存在的异物的情况。

产业上的可利用性

根据本发明，即使在基板端部支承部件产生翘曲等变形的情况下，也能够抑制将该基板端部支承部件误检测为异物的情况，在对基板进行零件的安装作业的零件安装的领域是有用的。

Claims (2)

1.一种基板输送装置，其通过一对输送传送带从下方支承基板的宽度方向的两端部而将所述基板输送到规定的作业位置，其特征在于，具备：

一对传送带支承部件，其支承所述一对输送传送带；

一对基体部，其分别保持所述一对传送带支承部件使其在所述一对传送带支承部件彼此接近的第一位置与所述一对传送带支承部件彼此远离的第二位置之间自如地移动；

一对夹持部件，其相对于所述一对基体部在与所述一对输送传送带对基板输送的输送方向垂直的方向自如移动地设置，通过使所述一对传送带支承部件均位于所述第一位置，对输送到所述规定的作业位置的基板从该基板的宽度方向进行夹持；

基板中央部支承部件，其对被所述一对夹持部件夹持的状态的基板的下面中央部进行支承；

一对基板端部支承部件，其通过所述一对传送带支承部件沿上下方向移动自如地被支承；

传送带支承部件移动机构，其在基板被所述一对夹持支承部件夹持的状态下，通过使所述一对传送带支承部件分别从所述第一位置向所述第二位置移动，解除所述一对输送传送带对基板的输送支承状态，使所述一对基板端部支承部件位于基板的宽度方向的两端部的下方；

间隔调整机构，其在开始所述一对输送传送带对基板的输送之前，在使所述一对基体部中的至少一方向从所述基板中央部支承部件离开的方向移动之后，通过使该基体部向接近所述基板中央部支承部件的方向即横宽接近方向移动，以使所述一对输送传送带的间隔成为对应于基板的宽度方向的尺寸的间隔的方式进行调整；

异物检测传感器，其固定设于通过所述间隔调整机构而相对于所述基板中央部支承部件远离及接近的可动侧的基体部，在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，在与所述可动侧的基体部一同移动的所述基板端部支承部件的一侧即设有所述基板中央部支承部件侧的区域，将检查光向基板输送方向投射，通过检测该检查光的遮光状态，进行在所述可动侧的基体部的行进方向存在的异物的检测，

在通过所述间隔调整机构使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动时，通过所述传送带支承部件移动机构而使与所述可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于所述第二位置。

2.一种基板输送装置中的异物检测方法，对权利要求1所述的基板输送装置中的异物进行检测，其特征在于，

在使可动侧的基体部向接近基板中央部支承部件的方向即横宽接近方向移动时，使与所述可动侧的基体部一同移动的传送带支承部件位于第二位置，在该状态下，一边使所述可动侧的基体部向所述横宽接近方向移动一边进行所述异物检测传感器对异物的检测。

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