TWI807260B

TWI807260B - 薄片物件搬送方法、裝置及設備

Info

Publication number: TWI807260B
Application number: TW110106698A
Authority: TW
Inventors: 紀証耀
Original assignee: 萬潤科技股份有限公司
Priority date: 2019-07-12
Filing date: 2019-07-12
Publication date: 2023-07-01
Also published as: TW202124237A

Abstract

本發明提供一種薄片物件搬送方法、裝置及設備，該薄片物件搬送方法包括：使一薄片物件被以一輸送流路進行傳送；該輸送流路上，以一撥件由該輸送流路上方由上往下地自該薄片物件後端撥抵該薄片物件作位移；藉此使薄片物件改善搬送狀況適於被自動化搬送。

Description

薄片物件搬送方法、裝置及設備

本發明係有關於一種物件搬送方法、裝置及設備，尤指一種對薄片物件進行搬送的薄片物件搬送方法、裝置及設備。

按，一般的晶片具有多種的製程，一種在薄片狀矩形基板上設置形成複數個矩陣排列的電路區間，使該基板在經清潔、噴助焊劑、及在各該電路區間進行複數之錫球植放後，經烘烤再將晶粒植放於該電路區間的該錫球上焊固聯接及定位的製程被業界使用，此種製程在植球(錫球)並經烘烤後，通常必需經由一道檢查的程序，以確認基板上的錫球是否在正確的位置。

先前技術採用抽樣檢查的方式作人工檢查，原因在於薄片狀的該基板經烘烤後會產生撓曲變形，且變形的方向具有多種的變數，有縱向弧曲、亦有橫向弧曲，有朝上弧曲、亦有朝下弧曲，操作者困難在弧曲變形的該基板上作自動化的植球檢查，只能選擇取下變形量較小的基板以人工方式作抽樣檢查，如此既欠缺效率，亦可能會有不良品產生而未被發現；然而欲求自動化的檢查，首要須能自動化的搬送。

爰是，本發明的目的，在於提供一種適用於對薄板狀物件進行搬送的薄片物件搬送方法。

本發明的另一目的，在於提供一種適用於對薄板狀物件進行搬送的薄片物件搬送裝置。

本發明的又一目的，在於提供一種用以執行如所述薄片物件搬送方法的薄片物件搬送設備。

依據本發明目的之薄片物件搬送方法，包括：使一薄片物件被以一輸送流路進行傳送；該輸送流路上，以一撥件由該輸送流路上方由上往下地自該薄片物件後端撥抵該薄片物件作位移。

依據本發明另一目的之薄片物件搬送裝置，包括：一輸送流路，供搬送一薄片物件；一撥件，設於該輸送流路上，可受一驅動件驅動由該輸送流路上方由上往下垂設地撥抵該薄片物件。

依據本發明又一目的之薄片物件搬送設備，用以執行如所述薄片物件搬送方法。

本發明實施例之薄片物件搬送方法、裝置及設備，由於該第一轉換裝置的該載入軌架的該輸送流路上，以由該輸送流路自該薄片物件後端撥抵該薄片物件作位移，可使該薄片物件因不規則撓曲而在該輸送流路不穩定輸送狀態獲得改善，方便整個搬送過程的自動化進行。

A:入料裝置

A1:輸送道

A11:運送流路

A2:輥筒

A3:出料口

A4:驅動件

A5:閘門

A6:遮蔽件

A7:導引件

A8:偵測器

A9:驅動件

A91:皮帶

B:第一轉換裝置

B1:第一軌座

B2:載入軌架

B21:輸送流路

B211:出料口

B22:輥筒

B221:驅動件

B222:皮帶

B23:側輥軸

B24:撥件

B241:驅動件

B242:滑軌

B243:驅動件

B25:閘門

B251:驅動件

B26:遮蔽件

B261:導引件

B27:偵測器

B28:推抵件

B281:聯動架

B282:驅動件

B283:皮帶

B284:滑軌

C:檢查裝置

C1:軌架

C11:搬送流路

C111:入料區

C112:檢查區

C113:排料區

C114:入口端

C12:第一軌架

C121:側架

C122:驅動件

C123:皮帶

C124:槽道

C125:驅動件

C126:移靠機構

C127:撥件

C128:驅動件

C129:滑軌

C13:第二軌架

C131:側架

C132:驅動件

C133:皮帶

C134:槽道

C135:驅動件

C136:移靠機構

C137:夾持件

C1371:驅動件

C1372:驅動件

C1373:滑軌

C138:抵推件

C1381:抵推部

C1382:驅動件

C1383:皮帶

C1384:滑軌

C139:排出口

C1391:感測件

C1392:擋抵件

C1393:擋抵部

C14:壓抵機構

C141:驅動件

C142:壓輪

C143:驅動件

C15:檢視器

C16:治具

C161:第一治具座

C162:第二治具座

C163:樞桿

C164:間隔件

C165:底座

C1651:鏤空區間

C166:驅動件

C1661:缸桿

C167:扣件

C168:模座

C169:吸附座

C1691:載模

C1692:容置區間

C1693:密封墊

C1694:透氣座

C1695:氣孔

C2:檢視單元

C21:軌座

C211:座架

C22:軌座

C23:固定座

C231:滑軌

C24:鏡頭

C241:光源座

C3:整平單元

C31:軌座

C32:軌座

C33:固定架

C331:第一固定座

C3311:鏤空區間

C332:第二固定座

C3321:懸吊座

C3322:端部

C3323:擋件

C3324:微調件

C3325:感測件

C333:樞桿

C334:間距

C335:架板

C336:驅動件

C337:扣件

C338:彈性件

C34:墊座

C341:墊體

C4:聯接件

D:第二轉換裝置

D1:第二軌座

D2:第三軌座

D21:X軸向輸送流路

D3:移出軌架

D31:側架

D311:抵壓輪

D312:驅動件

D32:驅動件

D33:皮帶

D34:槽道

D35:輸送流路

D351:出口端

D36:移靠機構

D361:擋抵部

D371:驅動件

D372:皮帶

D373:滑軌

E:收集裝置

E1:盒座

E11:槽間

E12:滾輪

E2:框盒

E21:開口

E3:座架

E31:燈號

E32:偵測器

F:第一轉換裝置

F1:載入軌架

G:第二轉換裝置

G1:移出軌架

H:檢查裝置

H1:軌架

H11:治具

H2:軌座

H3:檢視單元

H4:整平單元

K:基板

K1:電路區間

K2:前端部

L:植球檢查設備

L1:機台

L2:台面

L3:區間

M:軌架

M1:輸送流路

N:入料裝置

N1:第一輸送部

N11:輸送道

N2:第二輸送部

N21:輸送道

O:基板

圖1係本發明實施例中植球檢查設備上各裝置配置關係示意圖。

圖2係本發明實施例中植球檢查設備上各裝置配置關係立體示意圖。

圖3係本發明實施例中入料裝置之立體示意圖。

圖4係本發明實施例中入料裝置一側的部份示意圖。

圖5係本發明實施例中第一轉換裝置之立體示意圖。

圖6係本發明實施例中第一轉換裝置之一側的部份示意圖。

圖7係本發明實施例中檢查裝置之軌架的一側立體示意圖。

圖8係本發明實施例中檢查裝置之軌架的另一側立體示意圖。

圖9係本發明實施例中檢查裝置之軌架的俯視示意圖。

圖10係本發明實施例中檢查裝置之壓抵機構立體示意圖。

圖11係本發明實施例中檢查裝置之檢視單元及整平單元架設之立體示意圖。

圖12係本發明實施例中整平單元與治具之立體分解示意圖。

圖13係本發明實施例中第二轉換裝置之立體示意圖。

圖14係本發明實施例中收集裝置之立體示意圖。

圖15係本發明第二實施例之植球檢查設備上各裝置配置關係示意圖。

圖16係本發明第二實施例之植球檢查設備上各裝置配置關係立體示意圖。

請參閱圖1，本發明實施例之薄片物件搬送方法、裝置及設備可以圖中所示的植球檢查設備L為例作說明，本發明實施例之薄片物件可為該植球檢查設備用以承接完成植球(錫球)並烘烤後的基板K，該基板K為一矩形薄片物件，該基板K上設置形成複數個矩陣排列的電路區間K1，各電路區間中已依電路需要植設有複數個供焊接晶粒的錫球(由於數量眾多且過於微細，圖中未顯示)。

請參閱圖1、2，該植球檢查設備L係在同一機台L1上設有：一入料裝置A，設有複數個X軸向並提供運送流路A11的輸送道A1，用以接收前製程完成植球及烘烤的該基板K輸入該植球檢查設備L中；一第一轉換裝置B，設有一Y軸向的第一軌座B1，該第一軌座B1上設有一提供X軸向的輸送流路B21的一載入軌架B2，該載入軌架B2可受該第一軌座B1所驅動及在該第一軌座B1上作選擇性位移以選擇性對應該入料裝置A上的各輸送道A1，並承接所對應之該輸送道A1所傳送的該基板K；一檢查裝置C，設有Y軸向相互平行併列的二軌架C1，每一軌架C1分別各提供X軸向直線的搬送流路C11使該基板K可於其上作搬送，該搬送流路C11位於該輸送流路B21搬送方向後；該第一轉換裝置B上的該載入軌架B2可分別選擇性對應其中一軌架C1，並將該載入軌架B2上的該基板K傳送給所對應的該軌架C1；該檢查裝置C設有可被驅動作X、Y、Z軸向位移的一檢視單元C2及一整平單元C3，其中，該檢視單元C2位於該軌架C1之搬送流路C11的前段上方，並可選擇性對應其中一軌架C1；該整平單元C3位於該軌架C1之該搬送流路C11的後段上方，並可選擇性對應其中一軌架C1；一第二轉換裝置D，設有一Y軸向的第二軌座D1，該第二軌座D1上設有一Z軸向的第三軌座D2，該第三軌座D2上設有提供X軸向輸送流路D21的一移出軌架D3，該輸送流路D21位於該搬送流路C11的搬送方向前；該第二軌座D1可驅動該第三軌座D2連動該移出軌架D3作Y軸向位移，該移出軌架D3可受該第三軌座D2所驅動而在該第二軌座D1上作上下昇降位移，該移出軌架D3藉該第二軌座D1、第三軌座D2選擇性位移以選擇性對應檢查裝置C上的各軌架C1，並承接所對應之該軌架C1所傳送的已完成檢查的該基板K；該第二轉換裝置D位於該機台L1上相對該入料裝置A、第一轉換裝置B、檢查裝置C所設台面L2為凹設陷落的一區間L3中；一收集裝置E，設有一具有Y軸向相互平行併列的複數個X軸向之槽間E11的一盒座E1，每一槽間E11分別可供容設置放一框盒E2，第二轉換裝置D的該移出軌架D3可分別選擇性對應其中一框盒E2，並將該移出軌架D3上的該基板K傳送給所對應的該框盒E2。

請參閱圖3、4，該入料裝置A的每一輸送道A1在水平輸送面分別各由複數個相間隔以X軸向平行併列的Y軸向之輥筒A2所構成，每一輸送道A1分別各在出料口A3設有可受氣壓缸構成的一驅動件A4驅動作上、下位移的閘門A5作擋止或開啟的管控，該出料口A3的上方且該閘門A5內側設有一遮蔽件A6，該遮蔽件A6限制該基板K在該出料口A3處的高度，該遮蔽件A6下方並設置具有一朝該出料口A3向下傾斜面的導引件A7，使該可能存在例如圖中呈兩側往上弧曲的該基板K前端部K2可以被導引朝下而被該閘門A5擋抵，以免該前端部K2由該遮蔽件A6與該閘門A5間的餘隙凸伸出外部；該出料口A3處並設有偵測器A8以偵測出料狀況；各輥筒A2受由馬達構成的一驅動件A9驅動並以一皮帶A91連動而可作主動性轉動。

請參閱圖5、6，該第一轉換裝置B的該載入軌架B2在水平輸送面由複數個相間隔以X軸向平行併列的Y軸向輥筒B22構成該輸送流路B21，該載入軌架B2的一側邊設有複數個相間隔以X軸向平行併列的Z軸向之側輥軸B23，該輸送流路B21上設有一Z軸向桿狀的撥件B24，該撥件B24可受一驅動件B241驅動在靠該側輥軸B23之一側的一滑軌B242上作X軸向位移及受一驅動件B243驅動作Z軸向上、下位移，以由該輸送流路B21上方由上往下垂設地自該基板K後端撥抵該基板K作X軸向位移；該載入軌架B2的該輸送流路B21在一出料口B211處設有可受氣壓缸構成的一驅動件B251驅動作上、下位移的閘門B25作擋止或開啟的管控，該出料口B211的上方且該閘門B25內側設有一遮蔽件B26，該遮蔽件B26限制該基板K在該出料口B211處的高度，該遮蔽件B26下方並設置具有一朝該出料口B211向下傾斜面的導引件B261，使該可能存在例如圖中呈兩側往上弧曲的該基板K前端部K2可以被導引朝下而被該閘門B25擋抵，以免該前端部K2由該遮蔽件B26與該閘門B25間的餘隙凸伸出外部；該出料口B211處並設有偵測器B27以偵測出料狀況；各輥筒B22受由馬達構成的一驅動件B221驅動並以一皮帶B222連動而可作主動性轉動；該載入軌架B2相對該側輥軸B23的另一側相隔間距設有Z軸向桿狀的二推抵件B28，二推抵件B28共同設於水平設置的一聯動架B281兩側，該聯動架B281受一馬達構成的驅動件B282驅動一皮帶B283所連動而可在一滑軌B284上作Y軸向位移，並藉以連動二推抵件B28可在二輥筒B22間作Y軸向位移靠推該基板K，使該基板K在一側朝該側輥軸B23靠抵下被輸送。

請參閱圖7~10，任一各該軌架C1所形成之該搬送流路C11依照輸送經過的順序，分別各包括一入料區C111、一檢查區C112、及一排料區C113；其中，該入料區C111、檢查區C112由一第一軌架C12所構成，該排料區C113由一第二軌架C13所構成，該第一軌架C12較該第二軌架C13長；該第一軌架C12設有在Y軸向相間隔平行設置的二側架C121，二側架C121相向的二內側分別各設有受驅動件C122驅動而同步連動的皮帶C123，二該皮帶C123分別各與其所對應貼靠的該側架C121上端間形成一向該側架C121內側凹設的X軸向槽道C124，二該皮帶C123共同形成該搬送流路C11的一部份；二側架C121並受一驅動件C125所驅動的一移靠機構C126所作用而可改變相間隔的間距，以適用於不同規格的輸送物；在該入料區C111中設有一呈Z軸向桿狀的撥件C127，該撥件C127受該第一軌架C12外的一驅動件C128所驅動而可在一滑軌C129上位移，並將桿狀部位伸於該入料區C111中作X軸向位移，以推抵該基板K由一端至另一端並進入該檢查區C112中；該搬送流路C11的入口端C114係位於該第一軌架C12上該入料區C111的一端，該入口端C114處的該第一軌架C12之二側架C121上分別各設有一壓抵機構C14，該壓抵機構C14包括受一馬達構成之驅動件C141驅動可作旋轉的一壓輪C142，該壓輪C142受一氣壓缸構成的驅動件C143作用可作上、下位移，該壓輪C142位於該皮帶C123及該槽道C124上方；靠近搬送流路C11的該入口端C114處下方設有一檢視器C15，用以檢測該基板K的底部資訊，例如條碼；該檢查區C112設有一治具C16；該第二軌架C13設有在Y軸向相間隔平行設置的二側架C131，二側架C131相向的二內側分別各設有受驅動件C132驅動而同步連動的皮帶C133，二該皮帶C133分別各與其所對應貼靠的該側架C131上端間形成一向該側架C131內側凹設的X軸向槽道C134，二該皮帶C133共同形成該搬送流路C11的另一部份；二側架C131並受一驅動件C135所驅動的一移靠機構C136所作用而可改變相間隔的間距，以適用於不同規格的輸送物；在該排料區C113中設有一夾持件C137，該夾持件C137受該第二軌架C13外的一驅動件C1371所驅動而可作Z軸向上、下位移，並受另一驅動件C1372所驅動在一滑軌C1373上位移，藉此該夾持件C137下降移入該排料區C113中的該搬送流路C11中作X軸向位移，以將該檢查區C112中的該基板K夾持並移入該排料區C113中，該基板K到達定位後再鬆放並上昇離開該搬送流路C11；該排料區C113的該搬送流路C11下方設有一抵推件C138，該抵推件C138上設有可作Z軸向昇降的抵推部A1381，該抵推件C138受一驅動件C1382所驅動的皮帶C1383所連動，可在二側架C131間的一X軸向滑軌C1384上作X軸向位移，將位於該排料區C113中的該基板K推出至圖2中該第二轉換裝置D的該移出軌架D3；該排料區C113的排出口C139處設有一感測器C1391及一擋抵件C1392，該感測器C1391用以偵測該基板K的排出資訊，該擋抵件C1392設有可作Z軸向上下位移的擋抵部C1393以控制擋抵或允許該基板K自該排出口C139排出。

請參閱圖11，該檢查裝置C的該檢視單元C2設於被一座架C211架高的一X軸向之軌座C21上所設Y軸向之軌座C22上，該軌座C22可被該軌座C21驅動作X軸向位移，該檢視單元C2可被該軌座C22驅動作Y軸向位移，而該檢視單元C2可在固設於該軌座C22上的一固定座C23的一Z軸向之滑軌C231上作Z軸向位移；該檢視單元C2可為一CCD的鏡頭C24，該鏡頭C24藉由光源投射經下方一光源座C241上一直Y軸向直線狀細縫(圖中未示)，而以一線掃瞄方式對下方的該基板K(圖1)上的植球狀況進行檢視；該檢查裝置C的該整平單元C3設於被一座架C311架高的一X軸向之軌座C31上所設Y軸向之軌座C32上，該軌座C32可被該軌座C31驅動作X軸向位移，該整平單元C3可被該軌座C32驅動作Y軸向位移；該檢視單元C2所設的Y軸向之該軌座C22與該整平單元C3所設的Y軸向之該軌座C32間設有一聯接件C4，該軌座C22與該軌座C32在X軸向的位移係在保持相隔一定間距下同步位移，該聯接件C4一方面確保該同步位移的關係，另一方面防止因故障所導致的該軌座C22與該軌座C32互撞問題發生。

請參閱圖11、12，該整平單元C3設有用以和該軌座C32固設連動的一固定架C33，該固定架C33下方固設有一水平設置的矩形之第一固定座C331，該第一固定座C331下方設有一水平設置的矩形之第二固定座C332，該第一固定座C331與該第二固定座C332間設有複數支Z軸向的樞桿C333；該固定架C33包括相隔一間距C334且相互平行的二架板 C335，二架板C335間設有一汽壓缸構成的驅動件C336，該驅動件C336以一缸桿(圖中未示)伸經該第一固定座C331而與該第二固定座C332連動，並可驅動該第二固定座C332作上下位移；該第二固定座C332下方藉由扣件C337繫扣固設有矩形的一墊座C34，該墊座C34底部設有具適當撓性的墊體C341，該第二固定座C332兩側與該固定架C33兩側間聯設有拉伸彈簧構成的彈性件C338，使該驅動件C336對該第二固定座C332驅動下移時蓄積具有彈性之回復力；該第一固定座C331上設有一鏤空區間C3311，該第二固定座C332上凸設有Z軸向的一懸吊座C3321，該懸吊座C3321凸伸經該鏤空區間C3311而於該第一固定座C331上方的一端部C3322上橫設一寬度大於該鏤空區間寬度的一擋件C3323，並於該擋件C3323上設有微調件C3324及一感測件C3325，該擋件C3323限制該第二固定座C332與該第一固定座C331上下分離的間距，並藉該微調件C3324微調該間距的行程，及藉該感測件C3325作近接的偵測以執行到位時的下一動作訊號控制。

請參閱圖7、12，該軌架C1之該檢查區C112的該治具C16設有一水平設置的矩形之第一治具座C161，該第一治具座C161上方設有一水平設置的矩形之第二治具座C162，該第一治具座C161與該第二治具座C162間設有複數支Z軸向的樞桿C163；該第一治具座C161下方以桿狀的間隔件C164相隔間距設有一底座C165，該底座C165上設有一鏤空區間C1651，該第一治具座C161下方設有一氣壓缸構成的驅動件C166，該驅動件C166下端伸經該底座C165的該鏤空區間C1611，其上端以一缸桿C1661伸經該第一治具座C161而與該第二治具座C162連動，並可驅動該第二治具座C162作上下位移；該第二治具座C162上方藉由扣件C167繫扣固設有矩形的一模座C168，該模座C168上設有一吸附座C169，該吸附座C169呈矩形並設有一載模C1691，該載模C1691上設有凹設的矩形之容置區間C1692，該容置區間C1692中設有撓性體構成的大致為矩形環框狀之密封墊C1693，該密封墊C1693環框狀所圍設的面積內部設有一矩形板狀的透氣座C1694，該密封墊C1693環框狀的周緣高於該透氣座C1694表面，該透氣座C1694上設有複數個氣孔C1695，該氣孔C1695可藉負壓氣體提供吸附力；該載模C1691上該容置區間C1692及其中該密封墊C1693、透氣座C1694的數目及形狀一該基板K的規格而定，該基板K的面積大於該密封墊C1693矩形環框狀之面積，並可覆置貼靠於該密封墊C1693矩形環框狀之上方環緣呈密著狀；該密封墊C1693環框狀所圍設的面積小於該基板K的面積但涵蓋該基板K大部份的面積，在不同規格的該基板K設計中，該基板K可能分左右兩區域，並在兩區域間的中間部位形成鏤空間隙，則此時該密封墊C1693可能設成兩個相隔間距避開該鏤空間隙的環框狀分別對應左右兩個區域，使每一個環框狀所圍設的面積小於該基板K所對應左側或右側區域的面積但涵蓋該基板K左側或右側區域大部份的面積，如此可避免環框狀所圍設的面積涵蓋該鏤空間隙而造成洩氣。

請參閱圖12，該第二轉換裝置D的該移出軌架D3設有在Y軸向相間隔平行設置的二側架D31，二側架D31相向的二內側分別各設有受驅動件D32驅動而同步連動的皮帶D33，二該皮帶D33分別各與其所對應貼靠的該側架D31上端間形成一向該側架D31內側凹設的X軸向槽道D34，二該皮帶D33共同形成一輸送流路D35；二側架D31並受一驅動件(圖中未示)所驅動的一移靠機構D36所作用而可改變相間隔的間距，以適用於不同規格的輸送物；在該輸送流路D35中設有一呈Z軸向桿狀的撥件D37，該撥件D37受二側架D31外的一驅動件D371所驅動的一皮帶D372連動而可在一滑軌D373上位移，並伸於該輸送流路D35中作X軸向位移，以推抵圖2中該基板K由一端至另一端並排出該移出軌架D3；該輸送流路D35的出口端D351處的該移出軌架D3之二側架D31上分別各設有一抵壓輪D311，該抵壓輪D311，該抵壓輪D311位於該皮帶D33上方，分別各可受一驅動件D312驅動而作旋轉；該出口端D351同時設有一擋抵件D36，其上設有可作昇降的擋抵部D361。

請參閱圖7、13，該收集裝置E的每一框盒E2分別各具有前、後的開口E21，其中，位於進料端的該開口E21上下兩側分別各設有相互對應並自端緣凹設的鏤空區間E22；該盒座E1上每一槽間E11兩側分別各設有複數個滾輪E12，該框盒E2位於兩側該滾輪E12間；各該框盒E2上方設有一龍門式的座架E3，該座架E3上設有用以顯示對應之該框盒E2工作現況的燈號E31，並設有分別對應各框盒E1中該鏤空區間E22的偵測器E32以偵測入料狀況。

本發明實施例之該基板K由該入料裝置A的該輸送道A1輸入後，將被擋止於該閘門A5前，待可作選擇性位移對應輸入或輸出對象以搬送該薄片物件的該第一轉換裝置B的該載入軌架B2上的該輸送流路B21選擇性對應該輸送道A1後，該閘門A5才開啟並放行使該基板K被傳送至該載入軌架B2；該載入軌架B2中的該基板K被二推抵件B28在推移朝該側輥軸B23的一側靠抵下被輸送至該閘門B25被擋止，待該載入軌架B2選擇性地對應該檢查裝置C中二軌架C1其中之一後，該載入軌架B2中的該閘門B25才開啟並放行該基板K並傳送至該軌架C1的入料區C111；被傳送進入該入料區C111的該基板K將被該壓抵機構C14的該壓輪C142執行由上往下壓抵，使倘具有撓曲而前端朝上弧曲的表面在被限制壓抵下往前傳送至對應該槽道C124中受該皮帶C123傳送，並在被檢視器C15檢視條碼後受該撥件C127推抵下進入該檢查區C112中並位於該治具C16上方；該治具C16將使該驅動件C166驅動該第二治具座C162連動該模座C168、吸附座C169上昇抵附該基板K底面並移載該基板K至一預定高度，並使該吸附座C169的該氣孔C1695被通以負壓而吸附該基板K，並使該整平單元C3較該檢視單元C2先位移至該治具C16的該基板K上方適當高度定位，並使該驅動件C336驅動該墊座C34以底部具適當撓性的墊體C341下壓該基板K，使該基板K可以平整壓抵下方環框狀的該密封墊C1693，使該密封墊C1693充分密封負壓氣體，而使該基板K平整地被吸附定位後，再使該整平單元C3的該驅動件C336洩除氣壓缸的氣體，而使該墊座C34被該彈性件C338的回復力作用，而連同底部的墊體C341被拉回上提而脫離該基板K並移開，再續由該檢視單元C2位移至已平整定位的該治具C16上該基板K上方適當高度定位處，使該鏡頭C24以線掃瞄方式對下方的該基板K上的植球狀況進行檢視；完成檢視後，該治具C16的該吸附座C169上的該氣孔C1695被卸除負壓，並使該驅動件C166驅動該第二治具座C162連動該模座C168、吸附座C169下降脫離該基板K底面，此時在該排料區C113中的該夾持件C137將移入該排料區C113中的該搬送流路C11中作X軸向位移，並將該檢查區C112中的該基板K夾持並移入該排料區C113中直到受該擋抵件C1392的擋抵部C1393擋抵定位，該基板K到達定位後該夾持件C137再鬆放並上昇離開該搬送流路C11，此時在可作選擇性位移對應輸入或輸出對象以搬送該薄片物件的該第二轉換裝置D的該移出軌架D3之輸送流路D21已對應該該軌架C1的該排料區C113的排出口C139下，該擋抵件C1392的擋抵部C1393將下降，並使該抵推件C138將位於該排料區C113中的該基板K推出至該第二轉換裝置D的該移出軌架D3中直到受該擋抵件D36的擋抵部D361擋抵定位，在該移出軌架D3的出口端D351選擇性對應至該收集裝置E上的一預定的該框盒E2時，該擋抵部D361下降並使該撥件D37，推抵該基板K經該出口端D351處的該抵壓輪D311與該皮帶D33間排出該移出軌架D3至該框盒E2中以進行收集；該基板K之薄片物件由於可以在吸附定位時同時進行壓整操作，使該薄片物件各周緣都獲得被吸附形成平整的表面，減少撓曲變形的現象，令後續的檢視作業可以取的精確的檢視結果，減少誤判及不良率。

本發明實施例之薄片物件搬送方法、裝置及設備，由於該第一轉換裝置B的該載入軌架B2的該輸送流路上，以由該輸送流路自該薄片物件後端撥抵該薄片物件作位移，可使該薄片物件因不規則撓曲而在該輸送流路B21不穩定輸送狀態獲得改善，方便整個搬送過程的自動化進行。

請參閱圖14、15，為本發明另一實施例之示意，其中與原實施例相同的部份不作贅述，僅作例外部份的說明，相同的裝置沿用原編號；主要係將第一轉換裝置F設有二載入軌架F1，並將第二轉換裝置G設有二移出軌架G1，另檢查裝置H在一軌架H1設有一治具H11，而機台L1另設有其上形成一輸送流路M1的一軌架M；該軌架H1一側設一X軸向的軌座H2，該軌座H2上共同設有相隔間距可被該軌座H2驅動作X軸向同步位移的一檢視單元H3及一整平單元H4；該入料裝置N設有第一輸送部N1及第二輸送部N2，該第一輸送部N1包括二輸送道N11，該第二輸送部N2包括二輸送道N21；其中，該第一輸送部N1用以輸送已完成植球並已完成烘烤的該基板K，該第二輸送部N2用以輸送已完成植球但尚未進行烘烤的基板O；該基板K由該第一輸送部N1其中一輸送道N11輸入後，被該第一轉換裝置F的其中靠該第一輸送部N1一側的該載入軌架F1選擇性對應及承接後，將直接傳送給設有該治具H11的該軌架H1，並經該整平單元H4整平及該檢視單元H3檢視後，被該第二轉換裝置G靠該軌架H1側的該移出軌架G1承接，並傳送至該收集裝置E其中一預設的框盒E2收集；該基板O由該第二輸送部N2其中一輸送道N211輸入後，被該第一轉換裝置F的其中靠該第二輸送部N2一側的該載入軌架F1選擇性對應及承接後，將直接傳送給設有僅有該輸送流路M1的該軌架M，並直接傳送給該第二轉換裝置G靠該軌架H2側的該移出軌架G1承接，並傳送至該收集裝置E之盒座E1上的其中一預設的框盒E2收集。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。