KR20020061194A - 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스 - Google Patents

Abstract

트레이 내에 안착된 복수 개의 반도체 소자를 픽업하거나 픽업된 반도체 소자를 트레이 내에 안착시키는 반도체 소자 검사용 픽 엔드 플레이스가 개시된다.

종종래의 픽 엔드 플레이스는 트레이의 사양에 따라 간격이 달라지는데 따라 적절하게 대응하지 못하는 문제점들을 해결하기 위하여, 로드(21a)를 갖는 승강 실린더(21)와, 상기 로드(21a)의 선단에 장착되어 승강 작동되는 승강판(22) 및 상기 승강판(22)에 장착되어 상단부(24a)와 하단부(24b)의 간격이 다른 복수 개의 캠홈(24)을 구비하는 캠플레이트(23)와, 상기 캠홈(24) 내에 삽입된 복수 개의 안내롤(34)을 가지고 안내롤(34)의 위치에 따라 간격이 가변되는 복수 개의 픽커(31)가 구비된 픽커 수단(30)을 포함한다.

따라서, 횡방향으로 이송되는 픽커에 의해 피치의 조정이 가능하여 유저 트레이 또는 테스트 트레이의 사양에 따라 각각의 반도체 소자들을 픽업하거나 안착시키는 것이 가능케 되고, 반도체 소자를 픽업하는 동작이 정확하게 이루어짐으로써 작업의 에러율이 최소화됨과 동시에 제조 코스트가 현저하게 절감된다.

Description

반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스{Pick and place of test device for semiconductor element}

본 본 발명은 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유저 트레이(User tray) 내에 안착된 반도체 소자를 테스트 트레이(Test tray) 내에 이송시키거나 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트 트레이에서 유저 트레이로 이송시키는 작업을 수행하는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스(Pick and place)에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자의 테스트는 컴퓨터를 이용하여 만들어진 프로그램을 테스터에 실행시켜 패키지된 제품의 전기적 특성, 기능적 특성 및 제품의 속도 등을 빠른 시간 내에 검사하여 제품의 양품과 불량품을 구별하게 되는데, 여기서 나오는 데이터를 수집, 분석하여 전 공정의 담당자에게 피드 백하여 제품의 특성 향상과 수율을 향상시키기 위한 일체의 업무 활동을 포함하게 된다.

그리고, 이러한 모든 업무가 컴퓨터를 통하여 수행되기 때문에 그 컴퓨터의 스프트웨어, 하드웨어 및 컴퓨터에 연결되는 주변기기인 핸들러, 비디오 키보드 터미널 등의 조작과 보수 방법 등을 숙지하여야 제품이 정상적으로 테스트되는지를 알 수 있으며, 또한 좋은 품질의 제품을 생산할 수 있게 된다.

이와 같은 반도체 소자의 검사를 행하기 위한 장치는 도 1 에 개시되는데, 다수의 소자를 안착시킨 복수 개의 유저 트레이(10)가 스태커(11) 내에 투입되면, 로봇(12)에 의해 이동되는 픽 엔드 플레이스(12a)가 작동하여 각각의 반도체 소자를 픽업하여 테스트 트레이(13)에 안착시킨 후 별도의 이송수단에 의해 테스터(14)에 접촉시킴으로써 미리 세팅된 프로그램에 의해 검사된 데이터가 모니터(15)를 통하여 나타나게 되는 것이다.

그러나, 이와 같은 종래의 장치에서는 유저 트레이와 테스트 트레이 내에 안착된 반도체 소자의 간격이 다른데 따라 적절하게 대응하지 못할 뿐만 아니라 각각의 반도체 소자를 픽업하는 동작이 정확하지 못하여 작업의 에러율이 증대되는 등의 여러 가지 문제점들이 내재되어 있었다.

따라서, 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 피치의 조정이 가능하여 다양한 유저 트레이의 사양에 적절하게 대응할 수 있고, 반도체 소자를 픽업하는 동작이 정확하여 작업의 에러율을 최소화함과 동시에 제조 코스트를 절감할 수 있는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스를 제공하는데 있다.

도 1 은 일반적인 반도체 소자 검사장치의 전체적인 개략도이다.

도 2 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스를 나타내는 사시도이다.

도 3 은 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스를 나타내는 정면도이다.

도 4 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스의 요부 를 나타내는 일부 분해 사시도이다.

도 5 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스의 요부를 나타내는 일측면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

21: 승강 실린더 21a: 로드

22: 승강판 23: 캠플레이트

24: 캠홈 30: 픽업 수단

31: 픽커 32: 연결블록

34: 안내롤 35,36: 슬라이드부재

39: 미세 실린더

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 소자 검사장치의 픽엔드 플레이스는, 로드를 갖는 승강 실린더와, 상기 로드의 선단에 장착되어 승강 작동되는 승강판 및 상기 승강판에 장착되어 상단부와 하단부의 간격이 다른 복수 개의 캠홈을 구비하는 캠플레이트와, 상기 캠홈 내에 삽입된 복수 개의 안내롤을 가지고 안내롤의 위치에 따라 간격이 가변되는 복수 개의 픽커가 구비된 픽커 수단을 포함한다.

따라서, 본 발명에 의하면, 횡방향으로 이송되는 픽커에 의해 피치의 조정이 가능하여 유저 트레이 또는 테스트 트레이의 사양에 따라 각각의 반도체 소자들을 픽업하거나 안착시키는 것이 가능케 되고, 반도체 소자를 픽업하는 동작이 정확하게 이루어짐으로써 작업의 에러율이 최소화됨과 동시에 제조 코스트가 현저하게 절감되는 것이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.

도 2 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스를 나타내는 사시도이고, 도 3 은 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스를 나타내는 정면도이며, 도 4 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스의 요부를 나타내는 일부 분해 사시도이고, 도 5 는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스의 요부를 나타내는 일측면도로서, 부호 (20)은 고정 프레임을 나타내고 있다.

상기 고정 프레임(20)의 전방에는 로드(21a)를 갖는 승강 실린더(21)가 위치되고, 상기 로드(21a)의 상단에는 승강판(22)의 상단에 고정되어 있다.

상기 승강판(22)의 앞쪽에는 캠플레이트(23)가 고정 설치되어 있으며, 상기 캠플레이트(23)에는 복수 개의 캠홈(24)이 형성되어 있는데, 상기 캠홈(24)들은 상단부(24a)에서 하단부(24b)로 갈수록 간격이 크게 형성되어 있다.

그리고, 상기 승강판(22)은 고정 프레임(20)의 전면 측에 슬라이드부재(25)를 개재하여 원활하게 슬라이드 작동되도록 결합된다.

한편, 상기 승강판(22)의 배면 측에는 도시하지 않은 유저 트레이 내의 반도체 소자를 흡착하여 테스트 트레이 내로 이동시키거나 반대로 테스트 트레이 내의 반도체 소자를 흡착하여 유저 트레이 내로 이동시키는 등의 반도체 소자를 픽업하는 픽커 수단(30)이 구비된다.

상기 픽커 수단(30)은 도 4 및 도 5 에 도시한 바와 같이 복수 개의 픽커(31), 예컨대 8개씩 2열의 16개로 이루어지는 픽커(31)들을 구비하고, 상기 픽커(31)들은 앞, 뒤의 한 쌍씩 연결블록(32)에 의해 연결되며, 상기 픽커(31)들의 하측에는 반도체 소자를 진공 등의 수단에 의해 흡착하는 흡착 노즐(31a)이 각각 구비되어 있다.

그리고, 한 쌍씩 연결된 상기 픽커(31)들의 전방에는 브라켓(33)이 고정되고, 상기 브라켓(33)의 전방에는 상기 승강판(22)을 관통하여 선단이 캠플레이트(23)의 캠홈(24) 내에 위치되는 안내롤(34)이 결합되어 있다.

상기 픽커(31)들은 한 쌍의 슬라이드부재(35)(36)에 의해 횡방향으로 슬라이드 작동되며, 상기 안내롤(34)이 삽입된 캠홈(24)의 위치에 따라 간격이 결정되는데, 상기 승강 실린더(21)의 작동에 따라 캠플레이트(23)가 하강된 경우에는 흡착노즐(31a)의 간격이 최소의 상태를 유지하게 되고, 반대로 상기 캠플레이트(23)가 상승된 경우에는 흡착 노즐(31a)의 간격이 최대의 상태를 유지하게 되는 것이다.

한편, 상기 고정 프레임(20)의 내측 면에는 상기 픽커(31)들을 지지하는 승강 프레임(37)이 구비되어 있고, 상기 승강 프레임(37)은 슬라이드부재(38)를 개재하여 승강 작동이 원활하게 이루어지도록 구성되며, 상기 승강 프레임(37)의 하측에는 픽커(31)들을 미세하게, 예컨대 5mm 정도 하강시키는 미세 실린더(39)가 장착되어 있다.

도면에서 부호 (40)은 상기 승강 실린더(21)의 승강 작동을 감지하는 센서를 나타내고 있고, 부호(41)은 승강 실린더(21)의 로드(21a)와 승강판(22)을 연결하는 결합부재를 나타내고 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스는 트레이 내에 안착된 반도체 소자를 흡착하여 다른 트레이 내에 안착시키게 된다.

즉, 예컨대 각각의 반도체 소자의 간격이 좁게 형성된 유저 트레이 내에 안착된 반도체 소자를 픽업하는 경우에는 별도의 수단에 의해 픽커 수단(30)을 유저 트레이의 상측에 위치시킨 후 미세 실린더(39)를 작동시키면 픽커 수단(30)이 약 5mm정도 하강하여 흡착 노즐(31a)의 선단이 반도체 소자의 상부 표면에 위치되는데, 이때 진공 수단을 작동시키면 진공력에 의해 각각의 흡착 노즐(31a)이 반도체 소자를 흡착하여 픽업하는 것이 가능케 되는 것이다.

그그리고, 간격이 좁은 유저 트레이에서 흡착된 각각의 반도체 소자를 간격이 넓은 테스트 트레이에 안착시키는 경우에는 별도의 이동 수단에 의해 픽커 수단(30)을 테스트 트레이의 상측에 위치시킨 후 승강 실린더(21)를 작동시키면 각 픽커(31)의 간격이 넓어지게 된다.

즉, 도 2 및 도 3 에 도시한 바와 같이 승강 실린더(21)를 작동시켜 로드(21a)가 상승하면, 상기 로드(21a)의 결합부재(41)에 고정된 승강판(22)이 상승함과 동시에 상기 승강판(22)에 고정된 캠플레이트(23)가 상승하게 된다.

상기 승강판(22) 및 캠플레이트(23)의 상승시에는 고정 프레임(20)과의 사이에 설치된 슬라이드부재(25)의 작동에 의해 상기 승강판(22)이 원활하게 승강 작동하게 된다.

상기 캠플레이트(23)가 상승 작동을 행하면 캠홈(24)의 상단부(24a)에 위치된 안내롤(34)이 각각의 캠홈(24)을 따라서 캠홈(24)의 하단부(24b)에 위치하게 되고, 이에 따라 상기 각각의 안내롤(34)이 캠홈(24)의 하단부(24b)내에 위치하게 되면 횡방향으로 설치된 슬라이드부재(35)(36)에 의해 각각의 픽커(31)들은 원래의 간격보다 넓은 간격을 유지하게 된다.

상기 각각의 픽커(31)들이 원래보다 넓은 간격을 유지하면서 흡착 노즐(31a)이 각각의 반도체 소자의 상측에 위치하게 되면, 미세 실린더(39)가 작동하여 각각의 픽커(31)들을 5mm 정도 하강시키게 되고, 이때 각각의 흡착 노즐(31a)에 작용하는 진공력을 해제시키면 각각의 반도체 소자들이 테스트 트레이의 각 위치에 안착되는 것이다.

그리고, 상기 테스트 트레이 내에 각각의 반도체 소자들을 안착시킨 후에는미세 실린더(39)를 상승시킨 후 픽커 수단(30)을 다른 위치로 이송시키면 이후의 작업이 가능케 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 승강 실린더의 작동에 따라 승강 작동하는 캠플레이트의 캠홈 내에 각각의 픽커에 결합된 안내롤이 삽입되어 횡방향으로 이송됨에 따라 피치의 조정이 가능하여 유저 트레이 또는 테스트 트레이의 사양에 따라 각각의 반도체 소자들을 픽업하거나 안착시키는 것이 가능케 되고, 반도체 소자를 픽업하는 동작이 정확하게 이루어짐으로써 작업의 에러율이 최소화됨과 동시에 제조 코스트가 현저하게 절감되는 등의 여러 가지 효과가 있다.

Claims (4)

1. 로드(21a)를 갖는 승강 실린더(21)와,

   상기 로드(21a)의 선단에 장착되어 승강 작동되는 승강판(22) 및 상기 승강판(22)에 장착되어 상단부(24a)와 하단부(24b)의 간격이 다른 복수 개의 캠홈(24)을 구비하는 캠플레이트(23)와,

   상기 캠홈(24) 내에 삽입된 복수 개의 안내롤(34)을 가지고 안내롤(34)의 위치에 따라 간격이 가변되는 복수 개의 픽커(31)가 구비된 픽커 수단(30)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커 수단(30)은 한 쌍의 픽커(31)들이 각각 연결블록(32)으로 연결되고, 상기 픽커(31)들은 안내롤(34)의 위치에 따라 슬라이드부재(35)(36)에 의해 횡방향으로 일정 간격을 유지하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커 수단(30)은 미세 실린더(39)에 의해 미세하게 하강하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 캠플레이트(23)에 형성된 캠홈(24)의 간격은 상부가 좁고 하부가 넓게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치의 픽 엔드 플레이스.