CN100459086C - 一种测试电子元件的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

一种自动测试电子元件的装置，包括测试电子元件(8)的测试台(7)和至少一个固定电子元件(8)的支撑件(2)。支撑件通过电子元件的下侧面和两个相对侧面来固定电子元件(8)，使电子元件(8)固定到支撑件上时上侧面和至少两个侧面全都可接近。这些侧面都可以接近，提高了与进行测试的电子元件(8)的这些侧面上的接触点(80)接触的可能性，并允许同时进行测试，如非常小尺寸的发光二极管的开尔文法电测试和光学测试。

Description

一种测试电子元件的装置和方法
技术领域
本发明涉及一种测试电子元件的装置和方法，具体地，涉及一种测试自动生产线上的电子元件的装置和方法。
背景技术
电子元件在制造过程中，在进行测试或组装成集成电路之前，通常要进行许多的操作，如在一般是完全自动的生产线上进行电测试和调整操作等，生产线主要由可传递元件到不同的连续加工工位的传送带组成。
传送带通过一般包括吸入口的元件夹持器来移动和传输电子元件，吸入口利用元件的上侧面移动电子元件并通过抽真空来固定元件。这样就能接近通常位于元件侧面或下侧面的元件引线，可通过加工台，主要是进行电测试的测试台，的接触件进行接触。
由于半导体元件领域技术进步带来的小型化，新出现的电子元件的尺寸不断减小，因此使得自动测试台的接触件与元件电触点，如引线，接触更加困难。当非常小的元件的同一侧面上有多个触点时，或者必须对元件进行开尔文(kelvin)法测量时，该测量要求通过测试台的两个接触件来接触各接触点，遇到的困难尤其大。
小型的电子元件经常小于固定电子元件的吸入口，从上面接近电子元件是不可能的，由于从侧面接近要防止接触件不碰到吸入口，故要求非常高的精度，所以从侧面接近也是非常困难的。特别地，位于元件侧面的引线或其他接触点一般只能从下面接触到，取决于接触点的尺寸，在两个不同位置同时接触是困难的，甚至是不可能的。
现有技术的固定电子元件的系统，在测试某些特殊的元件时，如顶视型发光二极管(LED)，即其发光部件位于上侧面，也存在问题。实际上，测试这样的元件要求可接近上侧面，如能够测量发光强度信号。如果二极管的固定是通过吸入口固定其上侧面，是不能进行测量的。现有技术的装置尝试解决这个问题，其通过将二极管设置到开口向上的很小容器中，容器的侧面突出故可将元件保持在适当位置。放置在这样容器中的二极管的接触点也同样是难以接触到。接近元件只能从上面进行，由于上述原因，使得对这些元件进行开尔文法测量难于进行，甚至是不可能进行。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供测试电子元件的装置，其能够容易地接近测试元件的接触点。
本发明的另一目的是提出一种测试装置和方法，允许同步对测试元件进行光学和电测试。
这些目的的实现可通过具有相应的独立权利要求所介绍特征的装置和方法来实现，在附属权利要求中进一步给出了优选的实施例。
具体地，这些目的的实现可通过一种自动测试电子元件的装置，该装置包括测试电子元件的测试台，至少一个固定电子元件的支撑件。支撑件夹持电子元件的下侧面和两个相对侧面，当电子元件固定到支撑件时，可全面接近电子元件的上侧面和至少两个侧面。这些侧面是完全可接近的，提高了接触位于进行测试的电子元件的这些侧面上的电子元件的接触点的可能性，允许同步地进行非常小的发光二极管的开尔文法电测试和光学测试。
附图说明
通过参考附图1-4进行的优选实施例的介绍，可对本发明有更好的了解，其中：
图1是示意性地显示了结合元件生产线的环形传送带的本发明装置的顶视图；
图2显示了本发明装置的处于闭合位置的元件支撑件的形状，支撑件带有打开机构；
图3是图2的支撑件处于打开位置时的顶视图；
图4显示了测试电子元件的接触原理。
具体实施方式
在优选实施例中，本发明的装置可与主电子元件生产线结合，电子元件生产线可包括环形传送带9，围绕传送带分布有多个加工台900，其中的两个示意性地在图1中显示，例如测试，分选或调试台。传送带9的移动最好可分度定位，因此在其周边形成确定数量的位置，在各个位置上设有加工台900。元件夹持器90，最好为吸口，有规律地分布在传送带9的周边。从而使得电子元件可从一个加工台900传递到另一个。
本发明的装置包括环状传送带1，围绕传送带1设置了一定数量的加工台，具体地，至少设置一个测试台7。传送带的移动最好是分度定位的，因此在其周边可形成确定数量的位置，在各位置设有加工台。支撑件2有规律地分布在传送带1周边上，因此可使电子元件从一个位置传输到另一个位置。如图1所示，装置的传送带1的转动方向最好与主生产线的传送带9的转动方向一致。
传送带1和9具有适当的尺寸和位置，在各自周边上形成的位置91，92是重合的。在第一共用位置91，主生产线的传送带9传输的电子元件通过吸口90放置在沿反时针方向传送电子元件的支撑件2上，并将电子元件连续放置在围绕装置设置的加工台，图中只显示了测试台7。当电子元件到达两个传送带9和1共用的第二位置92时，吸口90将其从支撑件2上移走，重新放置到主生产线上。
如图1所示，本发明的装置，具有与其他加工台900相同的形式，可与现有技术的生产线1结合，其包括标准的元件夹持器90。因此，必须进行某些操作的电子元件通过现有技术的生产线1和加工台900可方便地进行加工，对这样的加工没有必要进行任何调适。在进行加工期间，电子元件很快传输到本发明的装置进行至少一种电测试，若电子元件仍固定在主生产线传送带1上，对电子元件的测试是非常困难的甚至是不可能的；测试可以进行是由于本发明的支撑件2具有后面将要介绍的特征。
支撑件2的机构通过参考图2和图3可更好地得以理解。图2显示了处于闭合位置的支撑件2的形状。图3显示了同一支撑件处于打开位置的顶视图。
各支撑件2包括通过板21固定到传送带1的固定基板20，传送带上有传输过来的电子元件8。电子元件8夹持在固定基板20上的止动件22和移动件3的定位表面33之间，移动件能够沿固定基板20滑动。移动件3固定到平行于板21的移动板30。移动板30可通过弹性件，如弹簧32，移动离开板21。在弹簧32的力的作用下，移动件3受到推动沿固定基板20远端的方向移动，移动件3以钳夹方式作用，将元件8弹性夹持到适当位置。
移动板30的移动最好通过销31来引导，销31穿过板21插入传送带1上形成的引导件(未显示)。
当元件8放置到支撑件2或从支撑件上移走时，移动板30向板21的方向并克服弹簧32力滑动，因此打开由止动件22和定位表面33形成的夹持。间隔最好通过凸轮5来形成，凸轮5的移动与传送带1和吸口90的移动同步。根据本发明的优选实施例，凸轮5最好由一端可转动地固定到轴52的臂50构成，轴52固定到支撑件55，支撑件55固定到装置的传送带1。臂50的另一端最好设有滚轮51，当臂朝向移动板30进行定位时可克服弹簧32的作用力，无摩擦地靠在移动板30上。本装置在围绕传送带1形成的各位置上设有类似的凸轮5，在这些位置可将电子元件放置到装置上或从装置上移走。尤其在两个传送带1和9的两个共用位置91和92设置有凸轮5。
电子元件8因此通过其三个侧面夹持到支撑件2上，即下侧面面和两个相对的侧面，这两个侧面最好是没有触点。因此电子元件8的水平面相对传送带1中心的位置由止动件22的固定位置和定位表面33确定。止动件和定位表面通过两个相对侧面以钳夹方式将电子元件固定到其间。电子元件8在垂直轴向上的位置由夹持下侧面的固定基板20的高度决定。
一方面由于固定板20的固定高度，另一方面由于止动件22的固定位置和将元件固定到止动件22上的弹簧32的作用，电子元件8的位置可精确和可重复地确定。固定基板20的尺寸和形状，尤其是其宽度，以及移动件3的尺寸和形状与元件8的尺寸和形状相适应，不会进入元件两个自由侧面的界限内。在这两个侧面上设有接触点80，测试台7进行电测试时将接触这些接触点。因此，这两个侧面以及位于其上的接触点80可完全接触到，可以从相对的半个空间的每个点直线接近。由于固定基板20和移动件3要求的围绕元件8的空间减到最小，根据接触点如引线80的结构，甚至可以从元件8的带有接触点的侧面形成的平面后面的某些点以直线方式接近引线。通过同样的方式，止动件22的高度和定位表面33的高度最好小于电子元件的高度，这样元件8的上侧面也能完全接近。
当电子元件通过吸口90设置到支撑件2时，如在第一共用位置91所发生的，凸轮5转动使固定基板20和移动件3形成的钳夹移开，因此打开支撑件2。吸口这时下降将电子元件8放置到固定基板20，然后凸轮5沿另一方向转动移开，在弹簧32的作用下，支撑件2闭合。电子元件通过支撑件2以钳夹方式进行夹持，吸口90对电子元件的吸附停止，吸口90上升。在吸口上升之前吸口90可喷出很短的气流以确保电子元件已经脱开。各个传送带1和9前进一步。然后对下一个电子元件重复进行上面介绍的操作，传送带9的下一个吸口90将电子元件放置到相同位置，将放置电子元件到传送带1的下一个支撑件2上。所有这些操作最好由自动控制系统(未显示)来控制和使之同步。
通过相同方式，当电子元件8从支撑件2上移开时，如在第二共用位置92，位于要移走元件8之上的吸口90首先下降，接触元件的上侧面，同时吸气。然后支撑件2通过凸轮5打开，元件被吸口90吸住固定。吸口90然后上升，凸轮5转动到原始位置，支撑件2闭合。然后各传送带1和9前进一步。所有这些操作最好由自动控制系统来控制和使之同步。
由于设置和移走电子元件发生在不同位置91和92，在传送带1和9的每一步，对不同元件8同步进行这些操作。至于传送带1传送的支撑件2上的电子元件8进行的测试，要在两个共用位置91和92之间限定的某个位置上的至少一个测试台上进行。
本发明的装置的应用的一个示例是测试顶部观看型发光二极管，即其发光部件位于上侧面。这些元件的测试要求测量其电和光学特性。因此接触引线必须能进行电接触，同时要对上侧面发出的光进行测量。这些元件测量出的电特性值很小，因此很重要的是尽可能限制测量误差，在进行开尔文法测量时更是如此，其中每个接触点由两个不同接触件接触，接触件以独立方式电连接到测量仪器。如图4中所示，有两组各两个接触件72，每组的接触件72从电子元件8的同一侧面接近给定的接触点。
由于本发明装置的支撑件2可使电子元件8得到夹持，所以可从各侧面接近带有接触点，如接触引线80，的侧面，如可被测试台7的接触件72同时从上面和下面接触到，因此允许每个引线80有两个测量点。
根据本发明的优选实施例，测试台7的接触件是可以钳夹方式成对促动的柔性片72，可夹紧电子元件8，如发光二极管，的引线80。元件8的测试一旦完成，片72移动离开足够大距离，允许支撑件2上的电子元件8在其间通过，同时装置的传送带1前进一步。
在测试发光二极管的情况下，测试台7还包括设置在元件8之上的光学测量仪器71，可对元件8在测试期间发出的光进行测量。测试台7容易进行调整以测试任何种类的电子元件8，光学测量仪器71可被其他必须能够接近元件8上侧面的测量或测试装置代替，如对元件质量进行视觉控制的照相机。
所属领域的技术人员很容易理解本发明的装置还可用于测试任何小型电子元件，其引线或接触点一般是难以接近，即使当元件被吸口固定时，吸口通常大于元件，防碍从上面接触到元件。
在优选实施例中，本发明的装置包括环形传送带。本发明的装置当然可通过直线形传送带来实施，例如，还可通过另一种电子元件自动生产线来实施。
类似地，本发明的装置可结合到包括环形传送带的主生产线，如上所介绍的，但也可与其他类型的生产线结合，或结合到从容器或生产线移走元件的传送件，其比如可通过进行前后移动的吸口，将元件传送到装置的传送带的精确位置。

Claims (16)

1.一种自动测试电子元件的装置，包括测试电子元件(8)的测试台(7)和至少一个固定所述电子元件(8)的支撑件(2)；所述至少一个支撑件(2)通过所述电子元件(8)的下侧面和两个相对侧面固定所述电子元件(8)，当所述电子元件(8)固定到所述至少一个支撑件(2)上时，可完全接触到所述电子元件(8)的上侧面和至少两个相对侧面的接触点(80)。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括传送带(1)，所述至少一个支撑件(2)固定到所述传送带上。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个支撑件(2)通过钳夹(22，23)的方式固定所述电子元件(8)。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述至少一个支撑件(2)利用至少一个弹性件(32)的力固定所述电子元件(8)。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述至少一个支撑件(2)包括固定基板(20)和连接到所述固定基板(20)的止动件(22)，所述固定基板(20)和所述止动件(22)的形状和尺寸设计成可夹持所述电子元件(8)的下侧面和两个相对侧面之一，所述支撑件(2)还包括可在所述固定基板(20)上滑动的移动件(3)，可夹持所述两个相对侧面中的另一个。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括主生产线和辅助生产线。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述电子元件(8)以不同于所述辅助生产线的方式固定到所述主生产线。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述主生产线通过吸口将所述电子元件(8)设置到所述至少一个支撑件(2)和/或从所述支撑件(2)取下。
9.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置包括至少一个凸轮，用于控制所述至少一个支撑件(2)的打开和/或闭合。
10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测试台(7)包括至少两个接触件(72)，所述至少两个接触件(72)中的每一个可接近所述电子元件(8)同一侧面上的接触点(80)。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述至少两个接触件(72)中的每一个可从一个方向或从另一个相对方向接近所述电子元件(8)的同一侧面上的接触点(80)。
12.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述测试台(7)包括至少4个接触件(72)，可接近所述电子元件(8)两个相对侧面上的接触点(80)。
13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述测试台(7)包括对准所述电子元件(8)上侧面的光学测试元件(71)。
14.一种测试电子元件的方法，包括下列步骤：
将电子元件(8)固定到支撑件(2)上，可完全接近所述电子元件(8)的上侧面和两个相对侧面；
通过所述测试台(7)的至少两个接触件(72)，接触所述电子元件(8)的所述两个侧面中至少一个上的至少一个接触点(80)；
通过所述测试台(7)的光学元件(71)测试所述电子元件(8)的光学特性。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括测试所述电子元件(8)的电特性。
16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过传送带(1)将所述电子元件(8)设置到所述至少一个支撑件(2)上的步骤。
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MY (1) MY149802A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI649018B (zh) * 2017-01-13 2019-01-21 美商雷森公司 電子元件移除裝置及用於自基板移除電子元件之方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100445708C (zh) * 2005-02-17 2008-12-24 大赢数控设备(深圳)有限公司 发光二极管测试机台的自动化装置
CN100445709C (zh) * 2005-03-07 2008-12-24 大赢数控设备(深圳)有限公司 发光二极管测试机台的自动化装置
EP2081034B1 (en) 2008-01-16 2014-03-12 ISMECA Semiconductor Holding SA Arrangement and method for handling electronic components
EP2812713B1 (en) 2012-02-10 2015-11-25 ISMECA Semiconductor Holding SA Nest for testing electrical components
EP3687271A1 (en) * 2019-01-25 2020-07-29 Mycronic AB Eletrical verification of electronic components
CN111474903A (zh) * 2020-03-31 2020-07-31 深圳精匠云创科技有限公司 生产数据收集方法、生产装置及计算机可读存储介质

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148100A (en) * 1990-09-14 1992-09-15 Fujitsu Miyagi Electronics Limited Handler used in testing system for semiconductor devices
JPH05253834A (ja) * 1992-03-11 1993-10-05 Komatsu Denshi Kinzoku Kk ウエーハ剥がし装置の制御装置
JPH08334546A (ja) * 1995-06-06 1996-12-17 Hitachi Ltd 半導体装置のテスト装置
CN1158814A (zh) * 1995-10-27 1997-09-10 株式会社爱德万测试 半导体器件的运送处理装置
US20020070144A1 (en) * 2000-10-18 2002-06-13 Shim Jae-Gyun Test tray insert of test handler
CN1355559A (zh) * 2000-11-23 2002-06-26 崇越科技股份有限公司 晶片测试载架
CN2512112Y (zh) * 2001-11-08 2002-09-18 致茂电子股份有限公司 电子元件的测试装置
CN2518217Y (zh) * 2001-11-14 2002-10-23 廖木山 电子元件检测定位装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4721907A (en) * 1985-01-23 1988-01-26 Universal Instruments Corporation Apparatus for automated testing of surface mounted components
US4763405A (en) * 1986-08-21 1988-08-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Chip-placement machine with test function

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5148100A (en) * 1990-09-14 1992-09-15 Fujitsu Miyagi Electronics Limited Handler used in testing system for semiconductor devices
JPH05253834A (ja) * 1992-03-11 1993-10-05 Komatsu Denshi Kinzoku Kk ウエーハ剥がし装置の制御装置
JPH08334546A (ja) * 1995-06-06 1996-12-17 Hitachi Ltd 半導体装置のテスト装置
CN1158814A (zh) * 1995-10-27 1997-09-10 株式会社爱德万测试 半导体器件的运送处理装置
US20020070144A1 (en) * 2000-10-18 2002-06-13 Shim Jae-Gyun Test tray insert of test handler
CN1355559A (zh) * 2000-11-23 2002-06-26 崇越科技股份有限公司 晶片测试载架
CN2512112Y (zh) * 2001-11-08 2002-09-18 致茂电子股份有限公司 电子元件的测试装置
CN2518217Y (zh) * 2001-11-14 2002-10-23 廖木山 电子元件检测定位装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI649018B (zh) * 2017-01-13 2019-01-21 美商雷森公司 電子元件移除裝置及用於自基板移除電子元件之方法
US10973161B2 (en) 2017-01-13 2021-04-06 Raytheon Company Electronic component removal device

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Publication number Publication date
MY149802A (en) 2013-10-14
CN1501089A (zh) 2004-06-02
CH695871A5 (fr) 2006-09-29

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