JP2001240281A - テープ状部材搬送装置 - Google Patents
テープ状部材搬送装置Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H20/00—Advancing webs
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- G—PHYSICS
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- Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄膜テープからなるＴＡＢテープを幅方向に
撓みを生じさせることなく搬送する。 【解決手段】 ＴＡＢテープ搬送装置は、長手方向に沿
い形成された導体パターンに半導体チップが実装された
ＴＡＢテープ１２と、ＴＡＢテープ１２を挟圧して搬送
する搬送ローラ対１６1 ，１６2 と、ＴＡＢテープ１２
の搬送途中に設けられた検査装置２２とを備えており、
搬送ローラ対１６1 ，１６2 は、ＴＡＢテープ１２の幅
方向の両端側に配置されていて、搬送に伴い検出センサ
３０により、テープ搬送面と略々直交する上方向のＴＡ
Ｂテープ１２の撓み量ｈが検出されると、制御モータ２
８により搬送ローラ対１６1 ，１６2 における駆動ロー
ラ１６1a，１６2aの夫々の回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を所定角
度傾斜させ、該ＴＡＢテープ１２に左右幅方向の引張力
を付与して、ＴＡＢテープ１２を湾曲させないように搬
送する。
撓みを生じさせることなく搬送する。 【解決手段】 ＴＡＢテープ搬送装置は、長手方向に沿
い形成された導体パターンに半導体チップが実装された
ＴＡＢテープ１２と、ＴＡＢテープ１２を挟圧して搬送
する搬送ローラ対１６1 ，１６2 と、ＴＡＢテープ１２
の搬送途中に設けられた検査装置２２とを備えており、
搬送ローラ対１６1 ，１６2 は、ＴＡＢテープ１２の幅
方向の両端側に配置されていて、搬送に伴い検出センサ
３０により、テープ搬送面と略々直交する上方向のＴＡ
Ｂテープ１２の撓み量ｈが検出されると、制御モータ２
８により搬送ローラ対１６1 ，１６2 における駆動ロー
ラ１６1a，１６2aの夫々の回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を所定角
度傾斜させ、該ＴＡＢテープ１２に左右幅方向の引張力
を付与して、ＴＡＢテープ１２を湾曲させないように搬
送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば写真フィル
ムや紙テープ等のフィルム状のものを対象とするテープ
状部材搬送装置に関する。
ムや紙テープ等のフィルム状のものを対象とするテープ
状部材搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種、テープ状部材搬送装置として、
例えば半導体チップ等の回路素子を、ポリイミド等のフ
イルムにボンディング接合したタブテープ（Tape Autom
ated Bonding）（以下、「ＴＡＢテープ」と称す）搬送
装置が知られており、このＴＡＢテープ搬送装置はＴＡ
Ｂハンドラに適用され、ＴＡＢテープの搬送途中に設け
られた検査装置により、該ＴＡＢテープに実装された半
導体チップがＩＣテスタにより試験される。
例えば半導体チップ等の回路素子を、ポリイミド等のフ
イルムにボンディング接合したタブテープ（Tape Autom
ated Bonding）（以下、「ＴＡＢテープ」と称す）搬送
装置が知られており、このＴＡＢテープ搬送装置はＴＡ
Ｂハンドラに適用され、ＴＡＢテープの搬送途中に設け
られた検査装置により、該ＴＡＢテープに実装された半
導体チップがＩＣテスタにより試験される。
【０００３】図７（ａ）（ｂ）は、ＴＡＢテープ搬送装
置の従来例を示す図であり、従来は、幅方向の左右端部
に送り溝１０１が形成されたＴＡＢテープ１００の表裏
両面側に、外周部に多数のスプロケット歯１０２ａが突
設されたスプロケットホイール１０２とローラ１０３を
対向配置し、これらスプロケットホイール１０２とロー
ラ１０３にて挟持されたＴＡＢテープ１００の前記送り
溝１０１にスプロケット歯１０２ａを嵌合して、スプロ
ケットホイール１０２を回転駆動することでＴＡＢテー
プ１００を矢印Ａ方向に搬送していた。
置の従来例を示す図であり、従来は、幅方向の左右端部
に送り溝１０１が形成されたＴＡＢテープ１００の表裏
両面側に、外周部に多数のスプロケット歯１０２ａが突
設されたスプロケットホイール１０２とローラ１０３を
対向配置し、これらスプロケットホイール１０２とロー
ラ１０３にて挟持されたＴＡＢテープ１００の前記送り
溝１０１にスプロケット歯１０２ａを嵌合して、スプロ
ケットホイール１０２を回転駆動することでＴＡＢテー
プ１００を矢印Ａ方向に搬送していた。
【０００４】また、図８（ａ）（ｂ）は、他の従来例を
示す図であり、この従来例によれば、前述のような送り
溝が形成されていないＴＡＢテープ１００’の表裏両面
側に、大小のゴムローラ対１０３ａ，１０３ｂを対向配
置し、これらのゴムローラ対１０３ａ，１０３ｂにてＴ
ＡＢテープ１００’を挟圧しながら、一方のゴムローラ
１０３ａを駆動して、その摩擦力によりＴＡＢテープ１
００’を矢印Ａ方向に搬送していた。
示す図であり、この従来例によれば、前述のような送り
溝が形成されていないＴＡＢテープ１００’の表裏両面
側に、大小のゴムローラ対１０３ａ，１０３ｂを対向配
置し、これらのゴムローラ対１０３ａ，１０３ｂにてＴ
ＡＢテープ１００’を挟圧しながら、一方のゴムローラ
１０３ａを駆動して、その摩擦力によりＴＡＢテープ１
００’を矢印Ａ方向に搬送していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た図７において、ＴＡＢテープ１００の厚さが７５ｕｍ
程度であれば、スプロケットホイール１０２が高速回転
しても、送り溝１０１が変形したり破損するおそれはな
いが、近年は厚さ２５ｕｍ程度の薄膜テープも現出して
いることから、スプロケット歯１０２ａによって送り溝
１０１が変形したり破損したりしてＴＡＢテープ１００
を円滑に搬送できない等のおそれが生じてきた。
た図７において、ＴＡＢテープ１００の厚さが７５ｕｍ
程度であれば、スプロケットホイール１０２が高速回転
しても、送り溝１０１が変形したり破損するおそれはな
いが、近年は厚さ２５ｕｍ程度の薄膜テープも現出して
いることから、スプロケット歯１０２ａによって送り溝
１０１が変形したり破損したりしてＴＡＢテープ１００
を円滑に搬送できない等のおそれが生じてきた。
【０００６】また、ゴムローラ対１０３ａ，１０３ｂに
よる搬送方式では、ＴＡＢテープ１００’の略々中央部
に半導体チップが実装されていて、その部分をゴムロー
ラ対１０３ａ，１０３ｂにて押付けると、半導体チップ
がローラの押付圧等により機械的に破壊したり、あるい
はローラに帯電した静電気による静電破壊により電気的
に損傷するおそれがあった。
よる搬送方式では、ＴＡＢテープ１００’の略々中央部
に半導体チップが実装されていて、その部分をゴムロー
ラ対１０３ａ，１０３ｂにて押付けると、半導体チップ
がローラの押付圧等により機械的に破壊したり、あるい
はローラに帯電した静電気による静電破壊により電気的
に損傷するおそれがあった。
【０００７】これに対し、ＴＡＢテープの幅方向の左右
両端部の表裏面側に夫々ローラ対を配置することも考え
られるが、この場合は、ＴＡＢテープの中央側を規制し
ていないため、対向配置されたローラ対の平行度のズレ
や押付け力の差によってローラが変形し、ＴＡＢテープ
が中央寄りに湾曲してしまったり、高速搬送においては
ローラ対からＴＡＢテープが瞬時に脱落してしまうおそ
れもある。
両端部の表裏面側に夫々ローラ対を配置することも考え
られるが、この場合は、ＴＡＢテープの中央側を規制し
ていないため、対向配置されたローラ対の平行度のズレ
や押付け力の差によってローラが変形し、ＴＡＢテープ
が中央寄りに湾曲してしまったり、高速搬送においては
ローラ対からＴＡＢテープが瞬時に脱落してしまうおそ
れもある。
【０００８】本発明は、斯かる課題を解決するためにな
されたもので、その目的とするところは、薄膜のテープ
状部材を幅方向に撓みを生じさせることなく搬送するこ
とのできるテープ状部材搬送装置を提供することにあ
る。
されたもので、その目的とするところは、薄膜のテープ
状部材を幅方向に撓みを生じさせることなく搬送するこ
とのできるテープ状部材搬送装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を解決するた
め、請求項１記載の発明は、テープ状部材（１２）が巻
回収容された供給リール（１０）と、前記テープ状部材
（１２）を巻取る収容リール（２０）と、前記供給リー
ル（１０）と収容リール（２０）の間における前記テー
プ状部材（１２）の幅方向両端部分を押圧するよう配置
された押圧ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）
と、を備えたテープ状部材搬送装置において、前記押圧
ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）の回転軸
を、前記テープ状部材（１２）が幅方向外側に分力が作
用するように、前記テープ状部材（１２）の移送方向に
対し微小角度傾斜して配置した、ことを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、テープ状部材（１２）が巻
回収容された供給リール（１０）と、前記テープ状部材
（１２）を巻取る収容リール（２０）と、前記供給リー
ル（１０）と収容リール（２０）の間における前記テー
プ状部材（１２）の幅方向両端部分を押圧するよう配置
された押圧ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）
と、を備えたテープ状部材搬送装置において、前記押圧
ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）の回転軸
を、前記テープ状部材（１２）が幅方向外側に分力が作
用するように、前記テープ状部材（１２）の移送方向に
対し微小角度傾斜して配置した、ことを特徴とする。
【００１０】請求項２記載の発明は、前記両押圧ローラ
（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2）は、前記テープ状
部材（１２）を挟持して搬送する駆動ローラ（１４1a，
１４ 2a、１６1a，１６2a）及び従動ローラ（１４1b，１
４2b、１６1b，１６2b）からなる搬送ローラ対の駆動ロ
ーラ（１４1a，１４2a、１６1a，１６2a）である、こと
を特徴とする。
（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2）は、前記テープ状
部材（１２）を挟持して搬送する駆動ローラ（１４1a，
１４ 2a、１６1a，１６2a）及び従動ローラ（１４1b，１
４2b、１６1b，１６2b）からなる搬送ローラ対の駆動ロ
ーラ（１４1a，１４2a、１６1a，１６2a）である、こと
を特徴とする。
【００１１】請求項３記載の発明は、前記回転軸
（Ｏ1 ，Ｏ2 ）の傾斜角度を変更可能な角度変更手段
（２８）を備えている、ことを特徴とする。
（Ｏ1 ，Ｏ2 ）の傾斜角度を変更可能な角度変更手段
（２８）を備えている、ことを特徴とする。
【００１２】請求項４記載の発明は、前記テープ状部材
（１２）の移送路上に配置され、該テープ状部材（１
２）の幅方向の撓みを検出する検出手段（３０）を備え
ている、ことを特徴とする。
（１２）の移送路上に配置され、該テープ状部材（１
２）の幅方向の撓みを検出する検出手段（３０）を備え
ている、ことを特徴とする。
【００１３】請求項５記載の発明は、前記検出手段（３
０）による前記テープ状部材（１２）の撓みの検出に基
づき、前記角度変更手段（２８）を自動的に制御する、
ことを特徴とする。
０）による前記テープ状部材（１２）の撓みの検出に基
づき、前記角度変更手段（２８）を自動的に制御する、
ことを特徴とする。
【００１４】請求項６記載の発明は、前記テープ状部材
（１２）が、長手方向に沿い所定間隔で繰返し形成され
た導体パターンに回路素子が配設されたタブテープであ
り、該タブテープの移送途中に設けられた検査装置（２
２）により前記回路素子が検査されるタブテープ搬送装
置である、ことを特徴とする。
（１２）が、長手方向に沿い所定間隔で繰返し形成され
た導体パターンに回路素子が配設されたタブテープであ
り、該タブテープの移送途中に設けられた検査装置（２
２）により前記回路素子が検査されるタブテープ搬送装
置である、ことを特徴とする。
【００１５】請求項６記載の発明は、前記押圧ローラ
（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）に導電性のゴムを
用いた、ことを特徴とする。
（１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 ）に導電性のゴムを
用いた、ことを特徴とする。
【００１６】［作用］本発明によれば、例えば、スプロ
ケット送り等の困難な薄膜テープを用いたＴＡＢテープ
等のテープ状部材（１２）を移送する場合に好適であ
り、しかも、押圧ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１
６2 ）の回転軸を、テープ状部材（１２）が幅方向外側
に分力が作用するように、前記テープ状部材（１２）の
移送方向に対して微小角度傾斜して配置されているの
で、移送されるテープ状部材（１２）は幅方向に撓むこ
となく安定して高速搬送が可能となる。
ケット送り等の困難な薄膜テープを用いたＴＡＢテープ
等のテープ状部材（１２）を移送する場合に好適であ
り、しかも、押圧ローラ（１４1 ，１４2 、１６1 ，１
６2 ）の回転軸を、テープ状部材（１２）が幅方向外側
に分力が作用するように、前記テープ状部材（１２）の
移送方向に対して微小角度傾斜して配置されているの
で、移送されるテープ状部材（１２）は幅方向に撓むこ
となく安定して高速搬送が可能となる。
【００１７】なお、上述した括弧内の符号は図面を参照
するためのものであって、本発明をなんら限定するもの
ではない。
するためのものであって、本発明をなんら限定するもの
ではない。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【００１９】図１は、本発明をＴＡＢテープ搬送装置に
適用した場合の、該ＴＡＢテープ搬送装置の全体構成を
示す図であり、同図において、供給リール１０には、長
手方向に沿って所定間隔で導体パターンが繰返し形成さ
れたＴＡＢテープ１２（テープ状部材）が巻回されてい
て、この導体パターンには半導体チップ（図示せず）が
ボンディング等により実装されている。この供給リール
１０から引き出されたＴＡＢテープ１２は、後述する搬
送ローラ対１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 により挟圧
して搬送されると共に、ピンチローラ１８により方向を
転換されて収容リール２０に巻き取られる。
適用した場合の、該ＴＡＢテープ搬送装置の全体構成を
示す図であり、同図において、供給リール１０には、長
手方向に沿って所定間隔で導体パターンが繰返し形成さ
れたＴＡＢテープ１２（テープ状部材）が巻回されてい
て、この導体パターンには半導体チップ（図示せず）が
ボンディング等により実装されている。この供給リール
１０から引き出されたＴＡＢテープ１２は、後述する搬
送ローラ対１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 により挟圧
して搬送されると共に、ピンチローラ１８により方向を
転換されて収容リール２０に巻き取られる。
【００２０】また、ＴＡＢテープ１２の搬送途中には、
検査装置２２が設けられていて、この検査装置２２はプ
ッシャ２４とプローブカード２６、及び図示しないＩＣ
テスタを有し、ＴＡＢテープ１２に配設された半導体チ
ップの１つが検査装置２２の所定位置に到達すると、Ｔ
ＡＢテープ１２の搬送が一時的に停止され、プッシャ２
４が搬送ローラ対１６1 ，１６2 と一体となってＴＡＢ
テープ１２をプローブカード２６側に押下し、半導体チ
ップの電極とプローブカード２６の検出子２６ａとを電
気的に接触させてＩＣテスタにより半導体チップの検査
が実行される。検査が終了するとプッシャ２４は上昇
し、再び搬送ローラ対１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2
によりＴＡＢテープ１２が搬送される。
検査装置２２が設けられていて、この検査装置２２はプ
ッシャ２４とプローブカード２６、及び図示しないＩＣ
テスタを有し、ＴＡＢテープ１２に配設された半導体チ
ップの１つが検査装置２２の所定位置に到達すると、Ｔ
ＡＢテープ１２の搬送が一時的に停止され、プッシャ２
４が搬送ローラ対１６1 ，１６2 と一体となってＴＡＢ
テープ１２をプローブカード２６側に押下し、半導体チ
ップの電極とプローブカード２６の検出子２６ａとを電
気的に接触させてＩＣテスタにより半導体チップの検査
が実行される。検査が終了するとプッシャ２４は上昇
し、再び搬送ローラ対１４1 ，１４2 、１６1 ，１６2
によりＴＡＢテープ１２が搬送される。
【００２１】なお、検査の結果、良と判断された半導体
チップは、そのまま搬送されて収容リール２０に巻き取
られるが、不良と判断された半導体チップは、不良を示
すマーキングが施されたり、搬送途中にてＴＡＢテープ
１２から強制的に摘出等されて取り除かれる。
チップは、そのまま搬送されて収容リール２０に巻き取
られるが、不良と判断された半導体チップは、不良を示
すマーキングが施されたり、搬送途中にてＴＡＢテープ
１２から強制的に摘出等されて取り除かれる。
【００２２】ここで、本実施の形態では、押圧ローラ１
４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 の回転軸を、前記テープ
状部材１２が幅方向外側に分力が作用するように、前記
テープ状部材１２の移送方向に対し微小角度傾斜して配
置したものである。
４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 の回転軸を、前記テープ
状部材１２が幅方向外側に分力が作用するように、前記
テープ状部材１２の移送方向に対し微小角度傾斜して配
置したものである。
【００２３】図１では、ＴＡＢテープ１２の幅方向の左
右両端側に夫々配置された２種類の搬送ローラ対１
４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 により、ＴＡＢテープ１
２を搬送する場合について説明したが、これらは機能を
同じくするので、以下、一方の搬送ローラ対１６1 ，１
６2 を代表例として説明する。
右両端側に夫々配置された２種類の搬送ローラ対１
４1 ，１４2 、１６1 ，１６2 により、ＴＡＢテープ１
２を搬送する場合について説明したが、これらは機能を
同じくするので、以下、一方の搬送ローラ対１６1 ，１
６2 を代表例として説明する。
【００２４】図２（ａ）（ｂ）において、前記搬送ロー
ラ対１６1 は、ＴＡＢテープ１２を挟んで密接可能に対
向配置された駆動ローラ１６1aと従動ローラ１６1bから
成り、同様に、搬送ローラ対１６2 は、駆動ローラ１６
2aと従動ローラ１６2bから成っている。これらの各駆動
ローラ１６1a，１６2aは、従動ローラ１６1b，１６2bと
対をなして、ＴＡＢテープ１２を挟み込むように該ＴＡ
Ｂテープ１２の搬送方向と略々直交する幅方向の左右両
端側に夫々配置されている。この場合、左右の搬送ロー
ラ対１６1 ，１６2 は、ＴＡＢテープ１２に実装された
半導体チップを挟み込まない程度に、該ＴＡＢテープ１
２の左右両端部に近い部位に配置される。そして、各駆
動ローラ１６1a，１６2aの夫々の軸心Ｏ1 ，Ｏ2 は、Ｔ
ＡＢテープ１２に左右方向の引張力を付与可能に、移送
方向に対し微小角度傾斜して配置されている。
ラ対１６1 は、ＴＡＢテープ１２を挟んで密接可能に対
向配置された駆動ローラ１６1aと従動ローラ１６1bから
成り、同様に、搬送ローラ対１６2 は、駆動ローラ１６
2aと従動ローラ１６2bから成っている。これらの各駆動
ローラ１６1a，１６2aは、従動ローラ１６1b，１６2bと
対をなして、ＴＡＢテープ１２を挟み込むように該ＴＡ
Ｂテープ１２の搬送方向と略々直交する幅方向の左右両
端側に夫々配置されている。この場合、左右の搬送ロー
ラ対１６1 ，１６2 は、ＴＡＢテープ１２に実装された
半導体チップを挟み込まない程度に、該ＴＡＢテープ１
２の左右両端部に近い部位に配置される。そして、各駆
動ローラ１６1a，１６2aの夫々の軸心Ｏ1 ，Ｏ2 は、Ｔ
ＡＢテープ１２に左右方向の引張力を付与可能に、移送
方向に対し微小角度傾斜して配置されている。
【００２５】この場合、前記ローラ軸心Ｏ1 ，Ｏ2 は、
ネジ等の固定手段によりしっかりと固定されていても良
いし、また、この固定手段として、ローラ軸心Ｏ1 ，Ｏ
2 の傾斜角度を必要に応じて変更可能な構成としても良
い。更に、このローラ軸心Ｏ 1 ，Ｏ2 を、後述するアク
チュエータ２８により、ＴＡＢテープ１２の撓みが検出
されたことに基づき、搬送方向に対し自動的に傾斜制御
可能としても良い。
ネジ等の固定手段によりしっかりと固定されていても良
いし、また、この固定手段として、ローラ軸心Ｏ1 ，Ｏ
2 の傾斜角度を必要に応じて変更可能な構成としても良
い。更に、このローラ軸心Ｏ 1 ，Ｏ2 を、後述するアク
チュエータ２８により、ＴＡＢテープ１２の撓みが検出
されたことに基づき、搬送方向に対し自動的に傾斜制御
可能としても良い。
【００２６】なお、ＴＡＢテープ１２の左右両端側に夫
々配置された搬送ローラ対１６1 ，１６2 は、その各駆
動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 が該ＴＡ
Ｂテープ１２に対し略々線対象に角度変更され、この状
態で左右の各駆動ローラ１６ 1a，１６2aを同期回転させ
ると、ＴＡＢテープ１２は矢印Ａ方向に搬送される。
々配置された搬送ローラ対１６1 ，１６2 は、その各駆
動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 が該ＴＡ
Ｂテープ１２に対し略々線対象に角度変更され、この状
態で左右の各駆動ローラ１６ 1a，１６2aを同期回転させ
ると、ＴＡＢテープ１２は矢印Ａ方向に搬送される。
【００２７】次に、図３（ａ）（ｂ）により、各駆動ロ
ーラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1，Ｏ2 を傾斜させた
場合の作用について説明する。同図において、搬送され
るＴＡＢテープ１２には、該ＴＡＢテープ１２を中央側
に押し出す力のベクトルＦ１と、搬送方向に付勢する方
向の力（摩擦力）のベクトルＦ２が作用する。そして、
理想的にはＴＡＢテープ１２には搬送方向の力のベクト
ルＦ２のみが作用し、図４（ａ）（ｂ）に示すように円
滑に搬送されることになる。
ーラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1，Ｏ2 を傾斜させた
場合の作用について説明する。同図において、搬送され
るＴＡＢテープ１２には、該ＴＡＢテープ１２を中央側
に押し出す力のベクトルＦ１と、搬送方向に付勢する方
向の力（摩擦力）のベクトルＦ２が作用する。そして、
理想的にはＴＡＢテープ１２には搬送方向の力のベクト
ルＦ２のみが作用し、図４（ａ）（ｂ）に示すように円
滑に搬送されることになる。
【００２８】しかし、搬送ローラ対１６1 ，１６2 を構
成している駆動ローラ１６1a，１６ 2aや従動ローラ１６
1b，１６2bの真円度、及び円筒度のバラツキの他、テー
プ押付圧によるローラ自身の変形等に起因してＴＡＢテ
ープ１２には該ＴＡＢテープ１２を中央側に押し出す力
のベクトルＦ１が生じる。
成している駆動ローラ１６1a，１６ 2aや従動ローラ１６
1b，１６2bの真円度、及び円筒度のバラツキの他、テー
プ押付圧によるローラ自身の変形等に起因してＴＡＢテ
ープ１２には該ＴＡＢテープ１２を中央側に押し出す力
のベクトルＦ１が生じる。
【００２９】例えば、図５（ａ）（ｂ）に示すように、
ＴＡＢテープ１２は幅方向の左右端部を、駆動ローラ１
６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１６2bにより厚み
方向に向けて押し付けられているが、その結果、これら
駆動ローラ１６1a，１６2aと従動ローラ１６1b，１６2b
との間には、ＴＡＢテープ１２の存在する部分と存在し
ない部分とが生じている。これにより、ＴＡＢテープ１
２には搬送ローラ対１６1 ，１６2 によるテープ押付圧
の分力Ｆ１がテープ中央側に向けて発生する（図５
（ａ）参照）。
ＴＡＢテープ１２は幅方向の左右端部を、駆動ローラ１
６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１６2bにより厚み
方向に向けて押し付けられているが、その結果、これら
駆動ローラ１６1a，１６2aと従動ローラ１６1b，１６2b
との間には、ＴＡＢテープ１２の存在する部分と存在し
ない部分とが生じている。これにより、ＴＡＢテープ１
２には搬送ローラ対１６1 ，１６2 によるテープ押付圧
の分力Ｆ１がテープ中央側に向けて発生する（図５
（ａ）参照）。
【００３０】こうして、搬送されるＴＡＢテープ１２に
は、やがて幅方向に縮小する撓み量ｓが生じると共に、
テープ中央側には、搬送面と略々直交する方向の上方に
突出した湾曲量ｈが生じる。
は、やがて幅方向に縮小する撓み量ｓが生じると共に、
テープ中央側には、搬送面と略々直交する方向の上方に
突出した湾曲量ｈが生じる。
【００３１】このような、ＴＡＢテープ１２の幅方向の
撓み量ｓを検出する検出手段として、例えば発光・受光
素子３０ａ，３０ｂから成る光透過型の検出センサ３０
が用いられており、該発光素子３０ａ及び受光素子３０
ｂが、ＴＡＢテープ１２の搬送面と略々直交する方向の
上下位置に離間して配置されている。なお、例えば、こ
の検出センサ３０によりＴＡＢテープ１２の搬送時にお
ける左右幅方向の移動量を検出し、その検出値に応じて
左右の駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ 1 ，Ｏ2
を個別に角度調整できるようにすれば、ＴＡＢテープ１
２を定められた搬送路から離脱することなく搬送するこ
とも可能となる。
撓み量ｓを検出する検出手段として、例えば発光・受光
素子３０ａ，３０ｂから成る光透過型の検出センサ３０
が用いられており、該発光素子３０ａ及び受光素子３０
ｂが、ＴＡＢテープ１２の搬送面と略々直交する方向の
上下位置に離間して配置されている。なお、例えば、こ
の検出センサ３０によりＴＡＢテープ１２の搬送時にお
ける左右幅方向の移動量を検出し、その検出値に応じて
左右の駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ 1 ，Ｏ2
を個別に角度調整できるようにすれば、ＴＡＢテープ１
２を定められた搬送路から離脱することなく搬送するこ
とも可能となる。
【００３２】ところで、本実施の形態では、ＴＡＢテー
プ１２が薄膜テープの場合を想定していると共に、該Ｔ
ＡＢテープ１２の幅方向の撓み量ｓを検出する代わり
に、搬送面と略々直交する方向の前記ＴＡＢテープ１２
の上方への湾曲量ｈを検出することとしている（図５参
照）。このため、前記発光素子３０ａ及び受光素子３０
ｂは、ＴＡＢテープ１２の幅方向の左右端側に離間して
配置されている（図３参照）。
プ１２が薄膜テープの場合を想定していると共に、該Ｔ
ＡＢテープ１２の幅方向の撓み量ｓを検出する代わり
に、搬送面と略々直交する方向の前記ＴＡＢテープ１２
の上方への湾曲量ｈを検出することとしている（図５参
照）。このため、前記発光素子３０ａ及び受光素子３０
ｂは、ＴＡＢテープ１２の幅方向の左右端側に離間して
配置されている（図３参照）。
【００３３】そして、このＴＡＢテープ１２が幅方向に
撓んで中央側が上方に湾曲しないためには、テープ中央
側に押し出す力のベクトルＦ１と、搬送方向に付勢する
力のベクトルＦ２力とが、 Ｆ１＜Ｆ２sin θ の式を満足する関係にすればよい。
撓んで中央側が上方に湾曲しないためには、テープ中央
側に押し出す力のベクトルＦ１と、搬送方向に付勢する
力のベクトルＦ２力とが、 Ｆ１＜Ｆ２sin θ の式を満足する関係にすればよい。
【００３４】次に、図６（ａ）（ｂ）に基づき、各駆動
ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ 1 ，Ｏ2 を、ＴＡＢ
テープ１２に左右幅方向の引張力を付与するように傾斜
させるアクチュエータ２８（角度変更手段）について説
明する。
ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ 1 ，Ｏ2 を、ＴＡＢ
テープ１２に左右幅方向の引張力を付与するように傾斜
させるアクチュエータ２８（角度変更手段）について説
明する。
【００３５】ＴＡＢテープ１２の幅方向の左右両端側に
配置された２対の搬送ローラ対１６ 1 ，１６2 は、夫々
駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１６
2bからなる。各駆動ローラ１６1a，１６2aは、駆動モー
タ３２により直接又は減速装置を介して駆動されてい
る。更に、各駆動モータ３２は、アクチュエータ２８の
制御軸２８ａに取り付けられており、従って、該アクチ
ュエータ２８の制御により、前記駆動モータ３２の出力
軸からなる各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心
Ｏ1 ，Ｏ2 が略々ＴＡＢテープ１２の搬送方向軸に対称
に変更される。
配置された２対の搬送ローラ対１６ 1 ，１６2 は、夫々
駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１６
2bからなる。各駆動ローラ１６1a，１６2aは、駆動モー
タ３２により直接又は減速装置を介して駆動されてい
る。更に、各駆動モータ３２は、アクチュエータ２８の
制御軸２８ａに取り付けられており、従って、該アクチ
ュエータ２８の制御により、前記駆動モータ３２の出力
軸からなる各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心
Ｏ1 ，Ｏ2 が略々ＴＡＢテープ１２の搬送方向軸に対称
に変更される。
【００３６】このアクチュエータ２８として、本実施の
形態ではステッピングモータ等の制御モータ２８が用い
られている。そして、前記検出センサ３０により、ＴＡ
Ｂテープ１２の湾曲量ｈが検出されると、前記制御モー
タ２８によって、各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸
心Ｏ1 ，Ｏ2 が、ＴＡＢテープ１２に左右方向の引張力
を付与する方向に傾斜制御される。
形態ではステッピングモータ等の制御モータ２８が用い
られている。そして、前記検出センサ３０により、ＴＡ
Ｂテープ１２の湾曲量ｈが検出されると、前記制御モー
タ２８によって、各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸
心Ｏ1 ，Ｏ2 が、ＴＡＢテープ１２に左右方向の引張力
を付与する方向に傾斜制御される。
【００３７】なお、各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を所定角度に調整可能とし、従動ローラ
１６1b，１６2bは固定軸にて支持して、各駆動ローラ１
６1a，１６2aの角度変更によりＴＡＢテープ１２に張力
を与えても良い。また、従動ローラ１６1b，１６2bの回
転軸も、アクチュエータ２８の制御軸２８ａに取り付け
るか、又は従動ローラ１６1b，１６2bの回転軸を自動調
芯軸受にて支持して、駆動ローラ１６1a，１６2aの回転
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の角度変更に応じて従動ローラ１６1b，
１６2bの回転軸心も同様に角度を変更して、駆動ローラ
及び従動ローラの両方を同じ設定角度に変更するように
しても良い。
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を所定角度に調整可能とし、従動ローラ
１６1b，１６2bは固定軸にて支持して、各駆動ローラ１
６1a，１６2aの角度変更によりＴＡＢテープ１２に張力
を与えても良い。また、従動ローラ１６1b，１６2bの回
転軸も、アクチュエータ２８の制御軸２８ａに取り付け
るか、又は従動ローラ１６1b，１６2bの回転軸を自動調
芯軸受にて支持して、駆動ローラ１６1a，１６2aの回転
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の角度変更に応じて従動ローラ１６1b，
１６2bの回転軸心も同様に角度を変更して、駆動ローラ
及び従動ローラの両方を同じ設定角度に変更するように
しても良い。
【００３８】また、この場合の角度制御量は、ＴＡＢテ
ープ１２に左右方向の過大な引張力が付与されて該ＴＡ
Ｂテープ１２が破損しない程度に予め規制されている。
また、本実施の形態では、ＴＡＢテープ１２の湾曲量ｈ
が検出されると、その湾曲量ｈが解消されるまで各駆動
ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を傾斜制御
する場合について説明したが、これに限らず、例えば湾
曲量ｈの大きさに応じて、左右の各駆動ローラ１６1a，
１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜量を変更する制御と
しても良い。
ープ１２に左右方向の過大な引張力が付与されて該ＴＡ
Ｂテープ１２が破損しない程度に予め規制されている。
また、本実施の形態では、ＴＡＢテープ１２の湾曲量ｈ
が検出されると、その湾曲量ｈが解消されるまで各駆動
ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 を傾斜制御
する場合について説明したが、これに限らず、例えば湾
曲量ｈの大きさに応じて、左右の各駆動ローラ１６1a，
１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜量を変更する制御と
しても良い。
【００３９】また、前記搬送ローラ対１６1 ，１６2 を
構成している駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ
１６1b，１６2bは、その材質としてゴムを用いるのが通
常であるが、本実施の形態では、ＴＡＢテープ１２に実
装された半導体チップの静電破壊を防止する観点から、
導電性ゴムが用いられていて、かつ駆動ローラ１６1a，
１６2a及び従動ローラ１６1b，１６2bは接地されてい
る。
構成している駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ
１６1b，１６2bは、その材質としてゴムを用いるのが通
常であるが、本実施の形態では、ＴＡＢテープ１２に実
装された半導体チップの静電破壊を防止する観点から、
導電性ゴムが用いられていて、かつ駆動ローラ１６1a，
１６2a及び従動ローラ１６1b，１６2bは接地されてい
る。
【００４０】なお、以上において、本実施の形態では、
押圧ローラとして、ＴＡＢテープ１２を挟持して搬送す
る駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１
６2bを用いた場合について説明したが、これに限ること
なく、例えば搬送されるＴＡＢテープ１２の片面のみを
駆動ローラ１６1a，１６2aにより押圧して搬送する形式
のものであっても良い。
押圧ローラとして、ＴＡＢテープ１２を挟持して搬送す
る駆動ローラ１６1a，１６2a及び従動ローラ１６1b，１
６2bを用いた場合について説明したが、これに限ること
なく、例えば搬送されるＴＡＢテープ１２の片面のみを
駆動ローラ１６1a，１６2aにより押圧して搬送する形式
のものであっても良い。
【００４１】次に、作用について説明する。
【００４２】まず、左右の搬送ローラ対１６1 ，１６2
の夫々の駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ
2 を、図３（ａ）の角度θ＝０度にてＴＡＢテープ１２
の搬送を開始する。テープ搬送を開始すると、図５
（ａ）（ｂ）に示すように、ＴＡＢテープ１２には幅方
向の中央側に向けてテープを押し出す力のベクトルＦ１
が作用するため、テープ中央側は上方に湾曲を始める。
このときの湾曲量ｈが検出センサ３０によって検出さ
れ、その検出信号が図示しない制御部を介して制御モー
タ２８に送られ、該制御モータ２８が駆動されて、左右
側に配置された各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心
Ｏ1 ，Ｏ2 が略々同時に角度変更される。
の夫々の駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ
2 を、図３（ａ）の角度θ＝０度にてＴＡＢテープ１２
の搬送を開始する。テープ搬送を開始すると、図５
（ａ）（ｂ）に示すように、ＴＡＢテープ１２には幅方
向の中央側に向けてテープを押し出す力のベクトルＦ１
が作用するため、テープ中央側は上方に湾曲を始める。
このときの湾曲量ｈが検出センサ３０によって検出さ
れ、その検出信号が図示しない制御部を介して制御モー
タ２８に送られ、該制御モータ２８が駆動されて、左右
側に配置された各駆動ローラ１６1a，１６2aの回転軸心
Ｏ1 ，Ｏ2 が略々同時に角度変更される。
【００４３】こうして、ＴＡＢテープ１２には搬送方向
の付勢力が付与されると共に、左右方向の引張力が付与
されるが、このときの駆動ローラ１６1a，１６2aの回転
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜角度θの設定値は、Ｆ１＜Ｆ２si
n θの関係になるまで、すなわち、ＴＡＢテープ１２の
湾曲量ｈが検出センサ３０によって検出されなくなるま
で増加されていく。そして、湾曲量ｈが検出されなくな
った時点で、制御モータ２８による駆動ローラ１６1a，
１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜制御動作が停止され
る。
の付勢力が付与されると共に、左右方向の引張力が付与
されるが、このときの駆動ローラ１６1a，１６2aの回転
軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜角度θの設定値は、Ｆ１＜Ｆ２si
n θの関係になるまで、すなわち、ＴＡＢテープ１２の
湾曲量ｈが検出センサ３０によって検出されなくなるま
で増加されていく。そして、湾曲量ｈが検出されなくな
った時点で、制御モータ２８による駆動ローラ１６1a，
１６2aの回転軸心Ｏ1 ，Ｏ2 の傾斜制御動作が停止され
る。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
テープ状部材の幅方向両端部分を押圧するよう配置され
た押圧ローラの回転軸を、テープ状部材が幅方向外側に
分力が作用するように、テープ状部材の移送方向に対し
微小角度傾斜して配置したことにより、薄膜のテープ状
部材をスプロケット送り等によらずローラ搬送する場合
においても、該テープ状部材を湾曲させることなく安定
して搬送することができる。また、テープ状部材を高速
で搬送する場合においても、該テープ状部材が搬送路か
ら離脱するのを防止することができる。
テープ状部材の幅方向両端部分を押圧するよう配置され
た押圧ローラの回転軸を、テープ状部材が幅方向外側に
分力が作用するように、テープ状部材の移送方向に対し
微小角度傾斜して配置したことにより、薄膜のテープ状
部材をスプロケット送り等によらずローラ搬送する場合
においても、該テープ状部材を湾曲させることなく安定
して搬送することができる。また、テープ状部材を高速
で搬送する場合においても、該テープ状部材が搬送路か
ら離脱するのを防止することができる。
【００４５】また、本発明は、テープ状部材の幅方向両
端部分を押圧する押圧ローラに導電性のゴムを用いたこ
とにより、テープ状部材の導体パターンに実装された回
路素子の静電破壊を有効に防止することができる。
端部分を押圧する押圧ローラに導電性のゴムを用いたこ
とにより、テープ状部材の導体パターンに実装された回
路素子の静電破壊を有効に防止することができる。
【図１】本発明を適用したＴＡＢテープ搬送装置の全体
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】（ａ）は搬送ローラ対によるＴＡＢテープの搬
送状態を示す平面図、（ｂ）はその斜視図である。
送状態を示す平面図、（ｂ）はその斜視図である。
【図３】（ａ）は搬送ローラ対によるＴＡＢテープの搬
送時、該ＴＡＢテープに作用する力の関係を示す平面
図、（ｂ）はその側面図である。
送時、該ＴＡＢテープに作用する力の関係を示す平面
図、（ｂ）はその側面図である。
【図４】（ａ）は搬送ローラ対によるＴＡＢテープの正
常な搬送状態の正面図、（ｂ）はその側面図である。
常な搬送状態の正面図、（ｂ）はその側面図である。
【図５】（ａ）は搬送ローラ対によるＴＡＢテープの搬
送時、該ＴＡＢテープに撓みが生じた状態の正面図、
（ｂ）はその側面図である。
送時、該ＴＡＢテープに撓みが生じた状態の正面図、
（ｂ）はその側面図である。
【図６】（ａ）はＴＡＢテープの搬送ローラ対の駆動用
モータと、搬送ローラ対の回転軸を傾斜設定する制御モ
ータとの配置状態を示す平面図、（ｂ）はその側面図で
ある。
モータと、搬送ローラ対の回転軸を傾斜設定する制御モ
ータとの配置状態を示す平面図、（ｂ）はその側面図で
ある。
【図７】（ａ）はスプロケットホイールによるＴＡＢテ
ープの搬送状態の従来例を示す平面図、（ｂ）はその斜
視図である。
ープの搬送状態の従来例を示す平面図、（ｂ）はその斜
視図である。
【図８】（ａ）は搬送ローラ対によるＴＡＢテープの搬
送状態の従来例を示す平面図、（ｂ）はその斜視図であ
る。
送状態の従来例を示す平面図、（ｂ）はその斜視図であ
る。
１０ 供給リール １２ ＴＡＢテープ（テープ状部材） １４1 ，１４2 搬送ローラ対 １４1a，１４2a 駆動ローラ １４1b，１４2b 従動ローラ １６1 ，１６2 搬送ローラ対 １６1a，１６2a 駆動ローラ １６1b，１６2b 従動ローラ ２０ 収容リール ２２ 検査装置 ２８ 制御モータ（角度変更手段） ２８ａ 制御軸 ３０ 検出センサ（検出手段） ３０ａ 発光素子 ３０ｂ 受光素子 ３２ 駆動モータ Ｏ1 ，Ｏ2 駆動ローラの回転軸心
Claims (7)
- 【請求項１】 テープ状部材が巻回収容された供給リー
ルと、前記テープ状部材を巻取る収容リールと、前記供
給リールと収容リールの間における前記テープ状部材の
幅方向両端部分を押圧するよう配置された押圧ローラ
と、を備えたテープ状部材搬送装置において、 前記押圧ローラの回転軸を、前記テープ状部材が幅方向
外側に分力が作用するように、前記テープ状部材の移送
方向に対し微小角度傾斜して配置した、 ことを特徴とするテープ状部材搬送装置。 - 【請求項２】 前記両押圧ローラは、前記テープ状部材
を挟持して搬送する駆動ローラ及び従動ローラからなる
搬送ローラ対の駆動ローラである、 ことを特徴とする請求項１記載のテープ状部材搬送装
置。 - 【請求項３】 前記回転軸の傾斜角度を変更可能な角度
変更手段を備えている、 ことを特徴とする請求項１記載のテープ状部材搬送装
置。 - 【請求項４】 前記テープ状部材の移送路上に配置さ
れ、該テープ状部材の幅方向の撓みを検出する検出手段
を備えている、 ことを特徴とする請求項３記載のテープ状部材搬送装
置。 - 【請求項５】 前記検出手段による前記テープ状部材の
撓みの検出に基づき、前記角度変更手段を自動的に制御
する、 ことを特徴とする請求項４記載のテープ状部材搬送装
置。 - 【請求項６】 前記テープ状部材が、長手方向に沿い所
定間隔で繰返し形成された導体パターンに回路素子が配
設されたタブテープであり、該タブテープの移送途中に
設けられた検査装置により前記回路素子が検査されるタ
ブテープ搬送装置である、 ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５記載のテー
プ状部材搬送装置。 - 【請求項７】 前記押圧ローラに導電性のゴムを用い
た、 ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか記載のテ
ープ状部材搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000052776A JP2001240281A (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | テープ状部材搬送装置 |
| US09/766,313 US20010017547A1 (en) | 2000-02-29 | 2001-01-18 | Tape-like member transfer system |
| KR1020010005811A KR100688684B1 (ko) | 2000-02-29 | 2001-02-07 | 테이프형상부재 반송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000052776A JP2001240281A (ja) | 2000-02-29 | 2000-02-29 | テープ状部材搬送装置 |
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