WO2005099992A1

WO2005099992A1 - ディスク成形用金型、成形品及び成形機

Info

Publication number: WO2005099992A1
Application number: PCT/JP2004/004740
Authority: WO
Inventors: Yuichi Inada; Yasuyoshi Sakamoto; Katsuyuki Hiki
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.; Seikoh Giken Co., Ltd.
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2005-10-27
Also published as: JPWO2005099992A1; EP1731286A1; CN1741887A; TW200536703A; US20050220925A1; US7270535B2

Abstract

スタンパのパターンの転写性を高くすることができ、成形品の品質を向上させることができるディスク成形用金型、成形品及び成形機を提供することを目的とする。第1、第2の盤状部材の外周縁の近傍において、スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能が、非スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能より低くされる。スタンパ側において、スタンパ側の盤状部材の外周縁からディスク成形用金型外に放射される熱量を少なくし、スタンパ側の盤状部材が冷えすぎるのを防止することができる。その結果、キャビティ空間(C)の外周縁の近傍において転写性が局部的に低くなるのを防止することができ、キャビティ空間(C)の全体にわたって微細なパターンの転写性を向上させることができる。そして、成形品の品質を向上させることができる。

Description

ディスク成形用金型、成形品及び成形機

技術分野

本発明は、ディスク成形用金型、成形品及び成形機に関するものである。背景技術

従来、成形品としてのディスク基板を成形するための成形機、例えば、射出成形機においては、加熱シリンダ内において溶融させられた樹脂をディスク成形用明

金型内のキャビティ空間に充填（てん）し、該キヤビティ空間内において樹脂を田

冷却し、固ィ匕させることによってディスク基板を得るようにしている。

そのために、前記射出成形機は、固定側の金型組立体及び可動側の金型,組立体から成る前言己デイスク成形用金型、前記樹脂をキヤビティ空間に充填するための射出装置、並びに前記可動側の金型組立体を固定側の金型組立体に対して接離させるための型締装置を備える。そして、該型締装置によって前記可動側の金型組立体を進退させ、ディスク成形用金型の型閉じ、型締め及び型開きを行い、型締め時に、固定側の金型組立体の鏡面盤と可動側の金型組立体の鏡面盤との Γ曰にキャビティ空曰が形成される。

また、前記射出装置は、加熱シリンダ、該加熱シリンダの前端に取り付けられた射出ノズノレ、及び前記加熱シリンダ内において回転自在に、かつ、進退自在に配設されたスクリュ一を備える。

そして、言十量工程において、前記スクリユーが回転させられ、樹脂が溶融させられてスクリユーの前方に蓄えられ、それに伴って、スクリューが後退させられ、この間に、ディスク成形用金型の型閉じ及び型締めが行われる。続いて、射出工程において、前記スクリユーが前進させられ、前記スクリユーの前方に蓄えられた樹脂が身寸出ノズルから射出され、キヤビティ空間に充填される。そして、冷却工程におし、て、前記キヤビティ空間内の樹脂が冷却され、穴開け加工がわれ、ディスク基板が成形される。続いて、型開きが行われ、前記ディスク基板が取り出される。なお、固定側の鏡面盤にスタンパが取り付けられ、前記キヤビティ空間への樹脂の充填に伴って、スタンパに形成されたピッ卜の微細なパターンが樹脂に転写され、ディスク基板の情報面を構成する凹凸を形成する。

ところで、固定側のスプルーブッシュにスプル一が形成され、該スプル一の前端は、キヤビティ空間に充填される樹脂の入口となるゲートを構成し、樹脂は、前記スプルーを通り、ゲートを通ってキヤビティ空間内に進入し、キヤビティ空間内を径方向外方に向けて流れるようになつている。

したがって、キヤビティ空間内において温度勾（こう）配が形成され、樹脂の温度が、ゲートに近いほど高く、外周縁に近いほど低くなつてしまう。その結果、スタンパのパターンの転写性が、ゲートに近いほど高く、外周縁に近いほど低くなつてしまう。

そこで、固定側の鏡面盤において、温調用の媒体流路と鏡面盤の表面との距離を、ゲートに近いほど短く、外周縁に近いほど長くすることによって、温調による冷却能に勾配を形成し、冷却能をゲートに近いほど高く、外周縁に近いほど低くして、キヤビティ空間内に温度勾配が形成されるのを抑制するようにしているしかしながら、前記従来のディスク成形用金型においては、キヤビティ空間内において温度勾配が形成されるのが抑制されるが、キヤビティ空間の外周縁の近傍は、ディスク成形用金型の外周縁の近傍にあるので、ディスク成形用金型外に放射される熱量が多く、冷えすぎてしまう。

その結果、キヤビティ空間の外周縁の近傍において転写性が局部的に低くなり、ディスク基板の品質が低下してしまう。

本発明は、前記従来のディスク成形用金型の問題点を解決して、スタンパのパターンの転写性を高くすることができ、成形品の品質を向上させることができるディスク成形用金型、成形品及び成形機を提供することを目的とする。発明の開示

そのために、本発明のディスク成形用金型においては、第 1の支持部材と、該第 1の支持部材に取り付けられた第 1の盤状部材と、第 2の支持部材と、該第 2 の支持部材に取り付けられ、前記第 1の盤状部材と対向させて配設され、型締め時に第 1の盤状部材との間にキャビティ空間を形成する第 2の盤状部材とを有する。

そして、前記第 1、第 2の盤状部材に温調用の媒体流路が形成され、前記第 1 、第 2の盤状部材のうちの一方にスタンパが着脱自在に取り付けられ、前記第 1 、第 2の盤状部材の外周縁の近傍において、スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能が、非スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能より低くされるこの場合、前記第 1、第 2の盤状部材の外周縁の近傍において、スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能が、非スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷却能より低くされるので、スタンパ側において、スタンパ側の盤状部材の外周縁からディスク成形用金型外に放射される熱量を少なくし、スタンパ側の盤状部材が冷えすぎるのを防止することができる。したがって、キヤビティ空間の外周縁の近傍において転写性が局部的に低くなるのを防止することができ、キヤビティ空間の全体にわたつて微細なパ夕―ンの転写性を高くすることができる。その結果、成形品の品質を向上させることができる。

本発明の他のディスク成形用金型においては、さらに、前記スタンパ側の盤状部材の外周縁の近傍に断熱部が形成される。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記断熱部はス夕ンパの外周縁の線上に形成される。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記断熱部は空気が満たされた閉鎖室から成る。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記閉鎖室は環状に形成される。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記断熱部は断熱材が充填された閉鎖室から成る。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記閉鎖室は前記媒体流路より深くされる。

この場合、前記閉鎖室は前記媒体流路より深くされるので、スタンパ側の盤状部材の外周縁からディスク成形用金型外に放射される熱量を—層少なくし、ス夕ンパ側の盤状部材が冷えすぎるのを確実に防止することができる。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記媒体流路は 1 本の連続する流路から成る。

本発明の更に他のディスク成形用金型においては、さらに、前記非スタンパ側の盤状部材の媒体流路において、前記断熱部と対応する位置に形成された部分の深さが、他の部分より深くされる。

この場合、前記非スタンパ側の盤状部材の媒体流路において、前記断熱部と対応する位置に形成された部分の深さが、他の部分より深くされるので、非スタンパ側において、樹脂の温度が外周縁に近い部分で高くなりすぎることがない。したがって、型開きが行われ、ディスク基板が取り出された後に、温度の高い部分と低い部分との温度差が大きくならないので、温度の高い部分と低い部分とで収縮量が異なるのを防止することができる。その結果、ディスク基板の厚さを均等にすることができる。

本発明の成形品においては、前記請求項 1に記載のディスク成形用金型を使用して成形される。

本発明の成形機においては、前記請求項 1に記載のディスク成形用金型を備える。図面の簡単な説明

第 1図は本発明の実施の形態におけるディスク成形用金型の要部を示す断面図、第 2図は本発明の実施の形態における可動側の金型組立体の要部を示す正面図、第 3図は本発明の実施の形態におけるディスク成形用金型の要部を示す拡大図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。第 1図は本発明の実施の形態におけるディスク成形用金型の要部を示す断面図

、第 2図は本発明の実施の形態における可動側の金型組立体の要部を示す正面図、第 3図は本発明の実施の形態におけるディスク成形用金型の要部を示す拡大図である。

図において、 1 2は図示されない固定プラテンに、図示されないボルトによつて、図示されない取付板を介して取り付けられた固定側の金型組立体であり、該金型組立体 1 2は、第 1の支持部材としてのベースプレート 1 5、該べ一スプレート 1 5にボルト b 1によって取り付けられた第 1の盤状部材としての鏡面盤 1 6、前記ベースプレート 1 5内において、ベースプレート 1 5に対して位置決めされ、ボル卜 b 2によって取り付けられたスプルーブッシュ 2 4を備える。該スプル一ブッシュ 2 4の前端（第 1図において下端）に、キヤビティ空間 Cに臨ませて凹部から成るダイ 2 8が、スプル一ブッシュ 2 4の後端（第 1図において上端）に、図示されない射出装置の射出ノズルを当接させるための凹部から成るノズルタッチ部 9が形成される。そして、前記スプル一ブッシュ 2 4の前端から後端にかけて、かつ、前記ダイ 2 8及びノズル夕ツチ部 2 9と連通させて、前記射出ノズルカ、ら射出された成形材料としての樹脂を通すためのスプル一 2 6が形成される。該スプル一 2 6の前端は、キヤビティ空間 Cに充填される樹脂の入口となるゲートを構成する。

また、前記ダイ I 8の近傍に、環状の温調用の媒体流路 2 7が形成され、該媒体流路 2 7に、図示されない媒体供給源からの水、油、空気等の温調用の媒体が供給路 3 0を介して供給されることによって、スプル一ブッシュ 2 4の特に前端部（第 1図において下端部）が所定の温度に冷却されるとともに、前記スプル一ブッシュ 2 4の前半部（第 3図において下半部）の径方向外方に配設され、図示されないスタンパの内周縁を押さえて保持するためのィンナスタンパホルダ 1 4 が冷却される。該インナスタンパホルダ 1 4は、後端に臨ませて回転自在に配設されたロッド 2 5を回転させることによって、ベースプレート 1 5に対して係脱させられる。

なお、前記射出装置は、加熱シリンダ、該加熱シリンダの前端に取り付けられた射出ノズル、及び前記加熱シリンダ内において回転自在に、かつ、進退自在に配設されたスクリユーを備える。

そして、前記鏡面盤 1 6には、前記スタンパが着脱自在に取り付けられ、前記キヤビティ空間 cへの樹脂の充填に伴って、スタンパに形成されたピッ卜の微細なパターンが樹脂に転写され、成形品としてのディスク基板の情報面を構成する凹凸を形成する。

また、環状の突当リング 1 8がボルト b 3によって前記鏡面盤 1 6の外周縁に取り付けられ、前記鏡面盤 1 6及び突当リング 1 8より径方向外方に環状の第 1 のタ周リング 1 9がボルト b 4によってベースプレート 1 5に取り付けられる。一方、 3 2は図示されない可動プラテンに図示されないボルトによって取り付けられた可動側の金型組立体であり、該金型組立体 3 2は、前記可動プラテンが進退するのに伴って進退（第 1図において上下方向に移動）させられ、金型組立体 1 2と接離させられる。

前記金型組立体 3 2は、ベ一スプレート 3 5、該ベースプレート 3 5にボルト b 5によって取り付けられた中間プレート 4 0、該中間プレート 4 0にボル卜 b 6によって取り付けられた第 2の盤状部材としての鏡面盤 3 6、前記中間プレート 4 0内に配設され、中間プレート 4 0にボルト b 7によって取り付けられた筒状のブシュ 4 7、該ブシュ 4 7内にリ二ァ軸受部としてのベアリング 4 9によつて進退自在に配設された筒状のカツトパンチ 4 8、該カツトパンチ 4 8内に進退自在に配設されたロッド状の突出しピン 5 0、前記べ一スプレー卜 3 5内に配設されたカツトパンチブロック 5 2、前記べ一スプレート 3 5内に配設され、前記カットパンチブロック 5 2を貫通し、かつ、カットパンチブロック 5 2に対して摺（しゅう）動自在に配設された突出し用ロッド 5 3等を備える。なお、前記べ —スプレート 3 5及び中間プレート 4 0によって第 2の支持部材が構成される。また、本実施の形態においては、鏡面盤 1 6にスタンパが取り付けられるようになっているが、鏡面盤 3 6にスタンパを取り付けることもできる。

前記ブシュ 4 7は、前端（第 1図において上端）をキヤビティ空間 Cに臨ませて配設され、鏡面盤 3 6を貫通して後方（第 1図において下方）に延び、後端 ( 第 1図において下端）のフランジ部 f 1において、中間プレート 4 0に前記ボル卜 b 7によって取り付けられる。前記ブシュ 4 7の外周面と鏡面盤 3 6及び中間プレート 4 0の内周面との間にわずかなクリァランスが形成され、該クリァランスに圧縮された空気が供給され、該空気は、ブシュ 4 7及び鏡面盤 3 6の前端に形成されたエアブロー用のスリッ卜からキヤビティ空間 c内に噴射される。また、前記カツトパンチ 4 8は、前端をキヤビティ空間 Cに臨ませて配設され、鏡面盤 3 6及び中間プレート 4 0を貫通して後方に延び、後端のフランジ部 f 2において前記カットパンチブロック 5 2と当接させられる。したがって、図示されないカツトパンチ用の駆動部としてのカツトパンチ用シリンダを駆動することによって、カットパンチブロック 5 2を進退させ、カットパンチ 4 8を進退させることができる。なお、該カツトパンチ 4 8の前端は、前記ダイ 1 8の形状に対応する形状を有し、前記カツトパンチ 4 8を前進（第 1図において上方向に移動）させることによって、前端をダイ 1 8内に進入させることができる。

また、前記ブシュ 4 7の前端の近傍に、環状の冷却用の流路 5 5が形成され、該流路 5 5に、図示されない空気供給源からの空気が供給されることによって、カツトパンチ 4 8の特に前端部（第 1図において上端部）が所定の温度に冷却されるとともに、ブシュ 4 7が冷却される。

そして、前記突出しピン 5 0は、前端をキヤビティ空間 Cに臨ませて配設され、鏡面盤 3 6及び中間プレート 4 0を貫通して後方に延び、後端において前記突出し用ロッド 5 3と当接させられる。したがって、図示されない突出し用の駆動部としての突出し用シリンダを駆動することによって、突出し用ロッド 5 3を進退させ、突出しピン 5 0を進退させることができる。なお、前記カツトパンチ 4 8と突出しピン 5 0との間には、付勢部材としてのスプリング 5 4が軸方向に延在させて配設され、所定の付勢力で突出しピン 5 0を後方に向けて付勢する。また、前記鏡面盤 3 6の外周縁部に、鏡面盤 3 6に対して移動自在に、力、つ、突当リング 1 8と対向させて環状のキャビリング 3 7が配設され、前記鏡面盤 3 6及びキャビリング 3 7より径方向外方において前記第 1の外周リング 1 9と対向させて環状の第 2の外周リング 3 8がボルト b 9によって中間プレート 4 0に取り付けられる。前記第 2の外周リング 3 8は、前記キャビリング押えとしても機能し、前記キヤピリング 3 7の外周縁に係止させられる。

また、前記キヤピリング 3 7には案内ロッド 4 1力取り付けられ、該案内ロッド 4 1を前記中間プレート 4 0に形成された案内穴に沿って進退させることにより、キヤピリング 3 7を進退させることができる。そして、キヤピリング 3 7は、鏡面盤 3 6の前端面（第 1図において上端面）より突出させられ、キヤビリング 3 7の内周面によって、ディスク基板の外周縁が形成される。

そして、前記キヤピリング 3 7における前端面の近傍に、複数のガス抜き用の細孔 6 4が、放射状に、かつ、等ピッチ角度で形成される。また、前記第 1の外周リング 1 9における前端面（第 2図においては便宜上、第の外周リング 3 8 における前端面に示される。）に、複数のガス抜き用の溝 6 5が、放射状に、かつ、等ピッチ角度で、前言 3各細孔 6 と連通させて形成される。なお、前記細子し 6 4によって第 1のガス流路が、溝 6 5によって第 2のガス流路が構成される。ところで、前記金型組立体 1 、 3 2によってディスク成形用金型が構成され、金型組立体 3 2を金型組立体 1 2に対して接離させるために図示されない型締装置が配設される。該型締装置の型締め用の駆動部としての型締シリンダを駆動し、前記金型組立体 3 2を進退させることによって、ディスク成形用金型の型閉じ、型締め及び型開きを行うことができ、型締め時に、鏡面盤 1 6、 3 6間に前記キヤビティ空間 Cが形成される。この場合、型閉じ及び型開きを円滑に行うことができるように、ベースプレート 1 5の所定の箇所に図示されないガイドロッドが金型組立体 3 2に向けて突出させて取り付けられ、中間プレート 4 0及びべ —スプレート 3 5における前記ガイドロッドと対応する箇所にガイドブッシュ 8 1が配設され、金型組立体 3 2の進退に伴って、ガイドロッドがガイドブッシュ 8 1に対して挿脱される。なお、第 2図において、 8 2はガイドブッシュ 8 1を取り付けるためのガィドブッシュ穴である。

また、冷却工程において、前記カツトパンチ用シリンダを駆動することによつてカツトパンチ 4 8を前進させると、カツトパンチ 4 8の前端がダイ 2 8内に進入し、前記キヤビティ空間 C内の樹月旨に穴開け加工を行うことができる。

前記構成の射出成形機においては、計量工程で前記射出装置において、スクリユーが回転させられ、樹脂が溶融させられてスクリューの前方に蓄えられ、それに伴って、スクリューが後退させられ、この間に、ディスク成形用金型の型閉じ及び型締めが行われる。続いて、射出工程において、前記スクリューが前進させられ、前記スクリューの前方に蓄えられた樹月旨が射出ノズルから射出され、キヤビティ空間 Cに充填される。そして、冷却工程において、前記キヤビティ空間 C 内の樹脂が冷却され、穴開け加工が行われ、ディスク基板が成形される。続いて、型開きが行われ、前記ディスク基板が取り出される。

ところで、射出工程で、樹脂は、前記スプルー 2 6を通り、ゲートを通ってキャビティ空間 C内に進入し、キヤビティ空間 C内を径方向外方に向けて流れるようになつているので、キヤビティ空間 C内において温度勾配が形成され、樹脂の温度が、ゲートに近いほど高く、外周縁に近いほど低くなると、スタンパのパ夕ーンの転写性が、ゲートに近いほど高く、外周縁に近いほど低くなつてしまう。そこで、キヤビティ空間 C内に温度勾配が形成されるのを抑制するために、前言己鏡面盤 1 6、 3 6とべ一スプレート 1 5及び中間プレート 4 0とによって、それぞれ温調用の第 1、第 2の媒体流路 6 1、 6 2が形成され、該第 1、第 2の媒体流路 6 1、 6 2に前記媒体供給源からの水、油、空気等の温調用の媒体が供給されることによって、鏡面盤 1 6、 3 6が所定の温度に冷却される。

前記第 1の媒体流路 6 1は、ベースプレート 1 5の所定の箇所、例えば、ディスク成形用金型を射出成形機に取り付けたときに下方（図において左方）に位置する側面 S 1に開口させられた図示されない媒体入口、前記側面 S 1に、前記媒体入口に隣接させて開口させられた図示されない媒体出口、主としてベースプレート 1 5を冷却するためにべ一スプレート 1 5内に形成され、前記媒体入口及び媒体出口に接続された図示されない入口側及び出口側の補助冷却部、主として鏡面盤 1 6を冷却するために鏡面盤 1 6とべ一スプレート 1 5との間に所定のパ夕ーンで形成された主冷却部 6 7、並びに前記各補助冷却部と主冷却部 6 7とを接続する入口側及び出口側の接続部を備える。前記主冷却部 6 7は、鏡面盤 1 6の後端面（第 1図において上端面）において開口する溝をベースプレート 1 5によつて覆うことにより形成され、連続する 1本の閉鎖された流路を構成する。同様に、前記第 2の媒体流路 6 2は、中間プレート 4 0の所定の箇所、例えば、ディスク成形用金型を射出成形機に取り付けたときに下方に位置する側面 S 1 1に開口させられた媒体入口 7 2、前記側面 S 1 1に、前記媒体入口 7 2に隣接させて開口させられた媒体出口 7 3、主として中間プレート 4 0を冷却するために中間プレート 4 0内に形成され、前記媒体入口 7 2及び媒体出口 7 3に接続された入口側及び出口側の補助冷却部 7 4、 7 5、主として鏡面盤 3 6を冷却するために鏡面盤 3 6と中間プレート 4 0との間に所定のパターンで形成されこ主冷却部 7 7、並びに前記各補助冷却部 7 4 , 7 5と主冷却部 7 7とを接続す入口側及び出口側の接続部 7 8、 7 9を備える。前記主冷却部 7 7は、鏡面盤 3 6の後端面（第 1図において下端面）において開口する溝を中間プレート 4 0によつて覆うことにより形成され、連続する 1本の閉鎖された流路を構成する。

前記補助冷却部 7 4、 7 5は、主冷却部 7 7の径方向外方において主冷去卩部 7 了を包囲するように形成され、媒体入口 7 2及び媒体出口 7 3から中間プレ一ト 4 0の内方に向けて、互いに平行に直線状に延びる流路部 hし h 2、該路部 h 1、 h 2の先端から直角に、背面側（非操作側）の側面 S 1 2及び前面删（操作側）の側面 S 1 3に向けて直線状に延びる流路部 h 3、 h 4、該流路部 3、 h 4の先端から直角に、中間プレート 4 0の側縁に沿って、上方の側面 S 1 4に向けて互いに平行に直線状に延びる流路部 h 5、 h 6、該流路部 h 5、 h 6 の先端から直角に、互いに近づく方向に直線状に延びる流路部 h 7、 h 8、並びに該流路部 h 7、 h 8の先端から直角に、接続部 7 8 , 7 9に向けて、互いに ^行に直線状に延びる流路部 h 9、 h 1 0を備える。なお、ベースプレート 1 5 に形成された補助冷却部も、補助冷却部 7 4、 7 5と同様な構造を有する。

また、前記主冷却部 7 7は、中間プレート 4 0の中心から径方向外方に力、けて、所定の角度 Θにわたり、同心的に形成された複数の部分、すなわち、円 ¾D ¾5 k 1〜k 4、円弧部 k 1、 k 2間を結ぶ直線部 k 5、円弧部 k 2、 k 3間をぶ直線部 k 6、及び円弧部 k 3、 k 4間を結ぶ直線部 k 7を備え、前記円弧部 k 1に接続部 7 8が、円弧部 k 4に接続部 7 9が接続される。なお、鏡面盤 1 6 ¾に形成された主冷却部 6 7も、主冷却部 7 7と同様の部分、すなわち、円弧部 1〜 m 3及び図示されない直線部から成るが、円弧部 m 1〜m 3の数は 3個であり、直線部の数は 2個である。

したがって、媒体入口 7 2を介して中間プレート 4 0内に供給された媒は、補助冷却部 7 4を流れた後、鏡面盤 3 6内に移動して第 2の媒体流路 6 2 流れ、続いて、再び中間プレート 4 0内に移動して補助冷却部 7 5を流れ、媒^出口 7 3から排出される。

ところで、キヤビティ空間の外周縁の近傍は、ディスク成形用金型の外厨縁の近傍にあるので、ディスク成形用金型外に放射される熱量が多く、冷えすぎてしまう。

そこで、前記スタンパ側の鏡面盤 1 6において、外周縁の近傍において樹月旨が冷えすぎないように、前記第 1の媒体流路 6 1より径方向外方の所定の箇所に、本実施の形態においては、スタンパの外周縁の線上に所定の形状の、本実施形態においては、環状の断熱部としての閉鎖室 6 3が形成され、該閉鎖室 6 3に空気が満たされる。前記閉鎖室 6 3は、主冷却部 6 7と同様に、鏡面盤 1 6の端面において開口する溝をベースプレート 1 5によって覆うことにより形成され、前記主冷却部 6 7より深くされる。

また、前記閉鎖室 6 3は、空気が満たされることによって断熱性を有することになるので、閉鎖室 6 3より径方向内方の熱が径方向外方に向けて伝達されるのが阻止される。したがって、第 1の媒体流路 6 1による冷却能が、第 2の媒ィ流路 6 2による冷却能より低くされるので、スタンパ側において、鏡面盤 1 6 ( 外周縁からディスク成形用金型外に放射される熱量を少なくし、鏡面盤 1 6のタ周縁の近傍が冷えすぎるのを防止することができる。その結果、キヤビティ空「 C の外周縁の近傍において転写性が局部的に低くなるのを防止することができ、キャビティ空間 Cの全体にわたつて微細なパターンの転写性を向上させることカできる。そして、ディスク基板の品質を向上させることができる。

また、閉鎖室 6 3が主冷却部 6 7より深くされるので、鏡面盤 1 6の外周緣からディスク成形用金型外に放射される熱量を一層少なくし、鏡面盤 1 6の外厨緣の近傍が冷えすぎるのを確実に防止することができる。

本実施の形態においては、断熱部として空気が満たされた閉鎖室 6 3が形されるようになっているが、閉鎖室 6 3に代えて真空の閉鎖室を形成することもできる。また、閉鎖室 6 3内に断熱性の高い材料、すなわち、断熱材を充填することもできる。

そして、本実施の形態においては、閉鎖室 6 3は環状の形状を有するようになつているが、鏡面盤 1 6の円周方向において、弧状の形状を有する複数の閉蔑室を形成することもできる。さらに、本実施の形態においては、閉鎖室 6 3を、鏡面盤 1 6に形成するようになっているが、鏡面盤 3 6に形成したり、鏡面盤 1 6 及び鏡面盤 3 6に形成したりすることができる。

なお、前記主冷却部 6 7を形成する溝の深さ（開口の部分から底の部分までの距離）は、第 1図及び第 3図の実線で表されるように設定され、円弧部 πι 2 は円弧部 m 1、 m 3より深くされ、ィンナス夕ンパホルダ 1 4の近傍及び閉鎮室 6 3 の近傍における冷却能が、中央における冷却能より低くされる。

ところで、樹脂がゲートからキヤビティ空間 C内に流れるときに、冷去卩されすぎると、樹脂の分子が引き伸ばされ、分子が同じ方向に並んでしまう。そ結果、ディスク基板の内周縁における複屈折が大きくなり、品質が低下してしまう。そこで、前述されたように、最も内周側における円弧部 m lが円弧部 m 2より浅くされ、冷却能が低くされる。

また、必要に応じて、第 1図及び第 3図の破線で表されるように、円弧音 |3m l 、 m 2の深さをほぼ等しくすることもできる。さらに、円弧部 m l〜m 3 0 深さをいずれも等しくすることもできる。なお、閉鎖室 6 3は、各円弧部 m l— m 3 より深くされる。

ところで、スタンパが配設され、転写性と関係の深い鏡面盤 1 6側、すなわち、スタンパ側において、閉鎖室 6 3が形成されるので、キヤビティ空間 C 外周縁の近傍において局部的に転写性が低くなるのを防止することができるが、ス夕ンパが配設されておらず、転写性とは関係のない鏡面盤 3 6側、すなわち、非スタンパ側においては、鏡面盤 3 6の外周縁の近傍の温度が高くなりすぎてしまう。そして、非スタンパ側において、樹脂の温度が外周縁に近い部分で高くなりすぎると、型開きが行われ、ディスク基板が取り出された後に、温度の高い^分と低い部分との温度差が大きくなり、温度の高い部分と低い部分とで収縮量が異なつてしまう。その結果、ディスク基板が、外周縁の近い部分においてゲートの近傍より薄くなり、厚さむらが生じてしまう。

そこで、前記主冷却部 Ί 7を形成する溝の深さは、第 1図及び第 3図の実線で表されるように設定され、閉鎖室 6 3と対応する位置に形成された円弧部 k 4は円弧部 k 1〜k 3より深くされ、円弧部 k 4の冷却能が高くされる。

したがって、非スタンパ側において、樹脂の温度が外周縁に近い部分で^くなりすぎることがないので、型開きが行われ、ディスク基板が取り出された iに、温度の高い部分と低い部分との温度差が大きくならないので、温度の高し、部分と低い部分とで収縮量が異なるのを防止することができる。その結果、ディスク基板の厚さを均等にすることができ、デイスク基板の品質を向上させることができる。

なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。産業上の利用可能性

この発明は、ディスク基板を製造するためのディスク基板製造装置に利用することができる。

Claims

請求の範囲

1 . ( a ) 第 1の支持部材と、

( b ) 該第 1の支持部材に取り付けられた第 1の盤状部材と、

( c ) 第 2の支持部材と、

( d ) 該第 2の支持部材に取り付けられ、前記第 1の盤状部材と対向させて酉己設され、型締め時に第 1の盤状部材との間にキャビティ空間を形成する第 2の躂状部材とを有するとともに、

( e )前記第 1、第 2の盤状部材に温調用の媒体流路が形成され、

( f )前記第 1、第 2の盤状部材のうちの一方にスタンパが着脱自在に取り付けられ、

( g ) 前記第 1、第 2の盤状部材の外周縁の近傍において、スタンパ側の盤^部材の媒体流路による冷却能が、非スタンパ側の盤状部材の媒体流路による冷去卩能より低くされることを特徴とするディスク成形用金型。

2 . 前記スタンパ側の盤状部材の外周縁の近傍に断熱部が形成される請求項 1 に記載のディスク成形用金型。

3 . 前記断熱部はスタンパの外周縁の線上に形成される請求項 2に記載のディスク成形用金型。

4 . 前記断熱部は空気が満たされた閉鎖室から成る請求項 2に記載のディスク成形用金型。

5 . 前記閉鎖室は環状に形成される請求項 4に記載のディスク成形用金型。

6 . 前記断熱部は断熱材が充填された閉鎖室から成る請求項 2に記載のデイスク成形用金型。

7 . 前記閉鎖室は前記媒体流路ょり深くされる請求項 4〜 6のいずれか 1項に記載のディスク成形用金型。

8 . 前記媒体流路は 1本の連続する流路から成る請求項 1に記載のディスク ^形用金型。

9 . 前記非スタンパ側の盤状部材の媒体流路において、前記断熱部と対応する位置に形成された部分の深さが、他の部分より深くされる請求項 2に記載のディスク成形用金型。

1 0 . 前記請求項 1に記載のディスク成形用金型を使用して成形された成形品。

1 1 . 前記請求項 1に記載のディスク成形用金型を備えた成形機。