WO2005028547A1

WO2005028547A1 - パーフルオロエラストマーシール材

Info

Publication number: WO2005028547A1
Application number: PCT/JP2004/013743
Authority: WO
Inventors: Hiroyuki Tanaka; Tsuyoshi Noguchi
Original assignee: Daikin Industries, Ltd.
Priority date: 2003-09-24
Filing date: 2004-09-21
Publication date: 2005-03-31
Also published as: US7834096B2; JPWO2005028547A1; US8309660B2; JP4655934B2; US20070037922A1; TWI344965B; US20110028655A1; EP1666524A4; KR100767156B1; CN100402586C; KR20060095986A; CN1856529A; EP1666524A1; TW200516089A

Abstract

　本発明は、固着強度ならびにシール材との接触面の汚染、腐食および変色が改善された、特定条件下で測定した未架橋ポリマー成分の含有量が１重量％以下であるパーフルオロエラストマーシール材およびその製造方法を提供する。パーフルオロトリ−ｎ−ブチルアミンに６０°Cで７０時間浸漬し、取り出し後、９０°Cで５時間、１２５°Cで５時間および２００°Cで１０時間乾燥させたときのシール材の重量減少率が、１重量％以下であるパーフルオロエラストマーシール材である。また、パーフルオロエラストマー成形品を、６０°C、７０時間浸漬した時の前記成形品に対する膨潤率が５０％以上である溶剤で処理する工程を含むパーフルオロエラストマーシール材の製造方法である。

Description

明細書

ノーフノレオ口エラストマーシーノレ材

技術分野

[0001] 本発明は、特定条件下で測定したシール材の重量減少率が 1重量％以下であるパ一フルォロエラストマーシール材およびその製造方法に関する。

背景技術

[0002] テトラフルォロエチレン（TFE)—パーフルォロビニルエーテル系のパーフルォロェラストマーは、その卓抜した耐薬品性、耐溶剤性、耐熱性を示すことから、過酷な環境下で使用される O—リング、ステムシール、シャフトシールなどのシール材として自動車工業、半導体工業、化学工業などの分野において広く用いられている。

[0003] これらのパーフルォロエラストマーシール材は、通常、パーフルォロエラストマ一と架橋剤、充填剤、各種添加剤をロール等により混合した後、プレス加硫して製造される。さらにその後、性能を高めるための二次加硫を施すことが一般的である。しかしながら、加工時に受ける応力や二次加硫時における加熱により、高分子量体であるパ一フルォロエラストマ一の分子鎖が切断され、その結果、低分子量物や未架橋ポリマ一が生じてしまう。この低分子量物や未架橋ポリマーを多く含むパーフルォロエラストマーカなるシール材は、使用時に、シール材が装着された部分の相手材に固着し、シール材の脱着を困難にしたり、動的な箇所においては、装置の動作に悪影響を及ぼす。さらには、ブリードアウトした低分子量物や未架橋ポリマーによる相手材の汚染ゃ腐食または変色を起こすなどの問題がある。該低分子量物および未架橋ポリマ一は、重合時のみではなぐ加工段階においても発生するため、重合法の改良により低分子量物等を低減することでは改善することができず、加工後に低分子量物等を除去する必要性がある。

[0004] フッ素ゴム製シール材からのアウトガスを低減し、そのシール材が装着された真空チャンバ一の汚染を防ぐ方法として、架橋されたフッ素ゴムを水などの溶剤に接触させる方法が開示されている（例えば、特開平 6— 107803号公報参照)。しかし、該公報に記載されている溶剤では、パーフルォロエラストマ一は充分に膨潤しないため、加工時等に生じた低分子量物を成形品内部力充分に除去することはできない。その結果、シール材の固着および汚染を防止することはできな!、。

[0005] また、真空性能改良のために複合構造 O—リングのゴム製芯材の処理として、超臨界抽出処理によるアウトガス除去法が開示されている（例えば、特開平 10— 38089号公報または特開 2000— 55204号公報参照)。しかし、これらの方法は、直接ベースとなるゴム基材の固着'性を改良するものではな、。

[0006] したがって、固着強度の増大やシール材の接触部の汚染、腐食および変色の原因となる低分子量物等の除去方法、および低分子量物等の除去されたパーフルォロェラストマーシール材は、まだ存在しな、のが現状である。

[0007] 本発明は、相手材との固着強度、接触面の汚染、腐食および変色が改善された、特定条件下で測定したシール材の重量減少率が 1重量％以下であるパーフルォロエラストマーシール材およびその製造方法を提供する。

発明の開示

[0008] すなわち、本発明は、パーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬し、取り出し後、 90°Cで 5時間、 125°Cで 5時間および 200°Cで 10時間乾燥させたときのシール材の重量減少率が、 1重量％以下であるパーフルォロエラストマーシール材に関する。

[0009] 前記重量減少率が、 0. 5重量％以下であることが好ましぐ 0. 1重量％以下であることがより好ましい。

[0010] 300°Cで 70時間の熱処理を施した後、パーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬したときの膨潤率が 300%以下であることが好ましい。

[0011] また、本発明は、パーフルォロエラストマ一成形品を、 60°Cで 70時間浸漬したときの前記成形品に対する膨潤率が 50%以上である溶剤で処理する工程を含むパーフノレ才ロエラス

トマ一シール材の製造方法に関する。

図面の簡単な説明

[0012] [図 1]固着強度の測定のための試験片の処理方法の説明図である。

[図 2]固着強度の測定方法の説明図である。発明を実施するための最良の形態

[0013] 本発明のパーフルォロエラストマーシール材は、パーフルォロトリー n—ブチルァミンに、 60°Cで 70時間浸漬し、取り出し後、 90°Cで 5時間、 125°Cで 5時間および 200 °Cで 10時間乾燥させたときのシール材の重量減少率が、 1重量％以下であり、好ましくは 0. 5重量％以下であり、より好ましくは 0. 4重量％以下であり、さらに好ましくは 0. 3重量％以下であり、とくに好ましくは 0. 1重量％以下である。重量減少率が、 1 重量％より多いと、相手材と強固に固着し、場合によっては相手材を汚染、腐食させる傾向がある。シール材の重量減少は、パーフルォロエラストマーシール材中に存在する未架橋ポリマーおよび低分子量物力パーフルォロトリー n—プチルァミンに溶出することに起因するものである。ここで、未架橋ポリマーとは、シール材成形時に架橋されなかったポリマー、または架橋が切断されたポリマーなどである。低分子量物とは、重合時力も残存する物、シール材成形時に充分に架橋されな力つたもの、シール材として成形する際の加工時に受ける応力や、二次加硫時における加熱により、高分子量エラストマ一の分子鎖が切断されてできる物などである。低分子量物とは、数平均分子量が 10000以下のものを!、う。

[0014] シール材の重量減少率の測定は、

(1)未処理のパーフルォロエラストマーシール材の重量を測定し (Ag)、

(2)シール材をパーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬し、

取り出し後、 90°Cで 5時間、 125°Cで 5時間および 200°Cで 10時間乾燥し

(3)乾燥後のシール材の重量を測定する（Bg)

こと〖こより行われる。シール材の重量減少率は、（A-B) ZAX IOO (重量⁰ /₀)により計算される。

[0015] また、重量減少率測定用の抽出溶剤として、パーフルォロトリー n—ブチルアミンを使用するのは、あらゆるパーフルォロエラストマ一を充分に膨潤させることができるためである。

[0016] 本発明で好適に使用され得るパーフルォロエラストマ一としては、シール材用、とくに半導体製造装置のシール材用に用いられて、るものであればとくに制限はな、。ここで、パーフルォロエラストマ一とは、構成単位の 90モル⁰ /₀以上がパーフルォロォレフインから構成されて、るエラストマ一を!、う。

[0017] パーフルォロエラストマ一としては、パーフルォロゴム（_a)、熱可塑性パーフルォロゴム (b)、およびこれらのパーフルォロゴム力なるゴム組成物などがあげられる。

[0018] パーフルォロゴム（_a)としては、テトラフルォロエチレン Zパーフルォロ（アルキルビ

-ルエーテル) Z架橋部位を与える単量体力なるものなどがあげられる。その組成は、テトラフルォロエチレン Zパーフルォロ（アルキルビュルエーテル）が、 50—90/ 10— 50 (モル⁰ /₀)であることが好ましぐより好ましくは、 50— 80Z20— 50 (モル⁰ /₀) であり、さらに好ましくは、 55— 70Z30— 45 (モル⁰ /₀)である。また、架橋部位を与える単量体は、テトラフルォロエチレンとパーフルォロ（アルキルビュルエーテル）の合計量に対して、 0— 5モル％であることが好ましぐ 0— 2モル％であることがより好ましい。これらの組成の範囲を外れると、ゴム弾性体としての性質が失われ、榭脂に近い性質となる傾向がある。

[0019] この場合のパーフルォロ（アルキルビュルエーテル）としては、たとえばパーフルォ口（メチノレビ-ノレエーテノレ）、パーフノレオ口（ェチノレビ-ノレエーテノレ）、ノーフノレオ口（プロピルビュルエーテル）、パーフルォロ（ブチルビ-ルエーテル）などがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組合わせて用いることができる。

[0020] 架橋部位を与える単量体としては、たとえば、

一般式 (1) :

CX¹ =CX¹-R¹CHR¹X² (1)

2 f

(式中、 X¹は、水素原子、フッ素原子または - CH

3、 R¹は、水素原子または - CH

3、 X² は、ヨウ素原子または臭素原子、 R ¹は、フルォロアルキレン基、パーフルォロアルキ f

レン基、フルォロポリオキシアルキレン基またはパーフルォロポリオキシアルキレン基であり、エーテル結合性の酸素原子を含んでいてもよい)で表されるヨウ素または臭素含有単量体、

一般式 (2) :

CF =CFO (CF CF (CF ) θ) —(CF )— X³ (2)

2 2 3 m 2 n

(式中、 mは、 0— 5の整数、 nは、 1一 3の整数、 X³は、シァノ基、カルボキシル基、ァルコキシカルボニル基、または臭素原子）で表されるような単量体などがあげられ、これらをそれぞれ単独で、または任意に組合わせて用いることができる。このヨウ素原子、臭素原子、シァノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボ-ル基が架橋点として機會することができる。

[0021] パーフルォロゴム (_a)は、常法により製造することができる。

[0022] パーフルォロゴム（a)の具体例としては、国際公開 97Z24381パンフレット、特公昭 61— 57324号公報、特公平 4 81608号公報、特公平 5— 13961号公報などに記載されているパーフルォロゴムなどがあげられる。

[0023] 熱可塑性パーフルォロゴム（b)としては、エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントと非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントからなり、エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントおよび非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントのそれぞれの構成単位の 90モル⁰ /₀以上がパーフルォロォレフインである含フッ素多元セグメント化ポリマーがあげられる。

[0024] まず、エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントについて説明する。エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントは重合体に柔軟性を付与し、ガラス転移点が 25°C以下、好ましくは 0°C以下である。その構成単位の 90モル％以上を構成するパーフルォロォレフインとしては、たとえばテトラフルォロエチレン、へキサフルォロプロピレン、一般式 (3) :

CF =CFO (CF CFX⁴0)— (CF CF CF O)— R² (3)

2 2 p 2 2 2 q f

(式中、 X⁴は、フッ素原子または— CF

3、 R²は炭素数 1

f 一 5のパーフルォロアルキル基

、 pは、 0— 5の整数、 qは、 0— 5の整数）で表されるフルォロビニルエーテルなどがあげられる。

[0025] エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントを構成するパーフルォロォレフイン以外の構成単位としては、たとえばビ-リデンフルオライド、トリフルォロエチレン、トリフノレォロプロピレン、テトラフノレォロプロピレン、ペンタフノレォロプロピレン、トリフノレオ口ブテン、テトラフルォロイソブテン、フッ化ビュルなどの含フッ素単量体、エチレン、プロピレン、アルキルビュルエーテルなどの非フッ素単量体などであればよ、。

[0026] エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントの好ましい例としては、テトラフルォロェチレン zパーフルォロ（アルキルビュルエーテル） z架橋部位を与える単量体からなるポリマー鎖があげられる。その組成は、テトラフルォロエチレン zパーフルォロ（ァルキルビュルエーテル）が、 50— 85Z50— 15 (モル⁰ /₀)であり、架橋部位を与える単量体が、テトラフルォロエチレンとパーフルォロ（アルキルビュルエーテル）の合計量に対して、 0— 5モル％であることが好ましい。

[0027] 架橋部位を与える単量体としては、たとえば、一般式（1)で表されるヨウ素または臭素含有単量体、一般式 (2)で表されるような単量体などがあげられる。

[0028] このヨウ素原子、臭素原子、シァノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基が架橋点として機能することができる。

[0029] つぎに、非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントについて説明する。非エラストマー性含フッ素ポリマー鎖セグメントの構成単位の 90モル⁰ /₀以上を構成するパ一フルォロォレフインとしては、たとえばテトラフルォロエチレン、パーフルォロ（アルキルビニルエーテル）、へキサフルォロプロピレン、

一般式 (4) :

CF =CF (CF ) X⁵ (4)

2 2 p

(式中、 pは、 1一 10の整数、 X⁵は、フッ素原子）で表される化合物、パーフルオロー 2 ーブテンなどがあげられる。

[0030] 非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントを構成するパーフルォロォレフイン以外の構成単位としては、たとえばビ-リデンフルオライド、トリフルォロエチレン、トリフノレオ口プロピレン、テトラフノレォロプロピレン、ペンタフノレォロプロピレン、トリフノレオロブテン、テトラフルォロイソブテン、フッ化ビュルなどの含フッ素単量体、エチレン、プロピレン、アルキルビュルエーテルなどの非フッ素単量体などであればよ、。

[0031] 非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントの好ましい例としては、テトラフルォ口エチレン 85— 100モル⁰ /₀および

一般式 (5) :

CF =CF-R³ (5)

2 f

(式中、 R³は、 R⁴または- OR ⁴であり、 R⁴は炭素数 1

f f 一 5のパーフルォロアルキル基) f f

で表される化合物 0— 15モル％カもなる非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントがあげられる。 [0032] また、得られる熱可塑性フッ素ゴム (含フッ素多元セグメント化ポリマー）の耐熱性という点から、非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントの結晶融点は、 150°C以上であることが好ましぐ 200— 360°Cであることがより好ましい。

[0033] つまり、含フッ素多元セグメント化ポリマーは、 1分子中にエラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントと非エラストマ一性含フッ素ポリマー鎖セグメントがブロックやグラフトの形態で結合した含フッ素多元セグメント化ポリマーであることが重要である。

[0034] そこで、含フッ素多元セグメント化ポリマーの製造方法としては、エラストマ一性セグメントと非エラストマ一性セグメントとをブロックゃグラフトなどの形態でつなぎ、含フッ素多元セグメント化ポリマーとするベぐ公知の種々の方法が採用できる力なかでも特公昭 58— 4728号公報などに示されたブロック型の含フッ素多元セグメントィ匕ポリマ一の製法や、特開昭 62— 34324号公報に示されたグラフト型の含フッ素多元セグメントイ匕ポリマーの製法などが好ましく採用できる。

[0035] とりわけ、セグメント化率 (ブロック化率)も高ぐ均質で規則的なセグメント化ポリマ一が得られることから、特公昭 58— 4728号公報、高分子論文集 (Vol. 49、 No. 10 、 1992)記載のいわゆるヨウ素移動重合法で合成されたブロック型の含フッ素多元セグメント化ポリマーが好まし、。

[0036] エラストマ一性セグメントは、フッ素ゴムの製造法として公知のヨウ素移動重合法で製造できる（特公昭 58— 4728号公報、特開昭 62— 12734号公報)。たとえば実質的に無酸素下で、水媒体中で、ヨウ素化合物、好ましくはジヨウ素化合物の存在下に、前記パーフルォロォレフインと、要すれば架橋部位を与える単量体を加圧下で撹拌しながらラジカル開始剤の存在下乳化重合を行なう方法があげられる。使用するジョゥ素化合物の代表例としては、たとえば 1, 3—ジョードパーフルォロプロパン、 1, 4 ジョードパーフルォロブタン、 1, 3 ジョードー 2 クロ口パーフルォロプロパン、 1, 5— ジョードー 2, 4—ジクロ口パーフノレオ口ペンタン、 1, 6—ジョードパーフノレオ口へキサン、 1, 8—ジョードパーフルォロオクタン、 1, 12—ジョードパーフルォロドデカンおよび 1 , 16—ジョードパーフルォ口へキサデカン、ジョードメタン、 1, 2 ジョードエタンである。これらの化合物は単独で使用してもよぐ相互に組み合せて使用することもできる。なかでも、 1, 4ージョードパーフルォロブタンが好ましい。ジヨウ素化合物の量は、エラストマ一性セグメント全重量に対して 0. 01— 1重量％であることが好ましい。

[0037] このようにして得られるエラストマ一性セグメントの末端部分は、非エラストマー性セグメントのブロック共重合の開始点となるヨウ素原子を有している。

[0038] 本発明におけるエラストマ一性セグメントの製造で使用するラジカル重合開始剤は、従来力もフッ素系エラストマ一の重合に使用されているものと同じものであってよい。これらの開始剤には有機および無機の過酸ィ匕物ならびにァゾィ匕合物がある。典型的な開始剤として過硫酸塩類、過酸化カーボネート類、過酸ィ匕エステル類などがあり、好ましい開始剤として過硫酸アンモ-ゥム (APS)があげられる。 APSは単独で使用してもよぐまたサルファイト類、亜硫酸塩類のような還元剤と組み合わせて使用することちでさる。

[0039] こうして得られるエラストマ一性セグメントの数平均分子量は、得られる含フッ素多元セグメント化ポリマー全体へ柔軟性の付与、弾性の付与、機械的物性の付与の点から、 5, 000— 750, 000であること力 S好ましく、 20, 000— 400, 000であること力 Sより好ましい。

[0040] ついで、非エラストマ一性セグメントのブロック共重合は、エラストマ一性セグメントの乳化重合に引き続き、単量体を非エラストマ一性セグメント用に変えることにより行なうことができる。

[0041] 非エラストマ一性セグメントの数平均分子量は、 1, 000— 1, 200, 000であること力 S好ましく、より好ましくは 3, 000— 600, 000であり、広ヽ幅で調整すること力できる

[0042] こうして得られる熱可塑性パーフルォロゴム（b)は、エラストマ一性セグメントの両側に非エラストマ一性セグメントが結合したポリマー分子、エラストマ一性セグメントの片側に非エラストマ一性セグメントが結合したポリマー分子を主体とするものであり、非エラストマ一性セグメントが結合して、な、エラストマ一性セグメントのみのポリマー分子は、含フッ素多元セグメントィ匕ポリマー中のセグメントとポリマー分子との合計量に対して 20重量％以下であることが好ましぐより好ましくは 10重量％以下である。

[0043] 本発明にお!/、ては、前述のようなパーフルォロゴム（a)と熱可塑性パーフルォロゴム (b)とからなる組成物を用いることもできる。 [0044] パーフルォロゴム（_a)と熱可塑性パーフルォロゴム（b)と力なるフッ素ゴム組成物としては、前記のようにして得られるパーフルォロゴム（a)と熱可塑性パーフルォロゴム（b)とを、デイスパージヨン状態での混合またはオープンロールなどによるドライブレンドにて任意の割合で混合して得ることができる。

[0045] 本発明のパーフルォロエラストマーシール材は、このようなパーフルォロエラストマ一、架橋剤および架橋助剤からなる組成物を用いて成形する。

[0046] 架橋剤としては、採用する架橋系によって適宜選定すればよい。架橋系としてはポリアミン架橋系、ポリオール架橋系、パーオキサイド架橋系、イミダゾール架橋系のいずれも採用できる。また、トリァジン架橋系、ォキサゾール架橋系、チアゾール架橋系なども採用できる。これら架橋剤のなかでも、シール材の耐熱性および固着強度に優れ、し力もシール材との接触面の汚染および変色が改善される点から、イミダゾール架橋系、トリァジン架橋系、ォキサゾール架橋系、チアゾール架橋系のものが好ましぐイミダゾール架橋系、ォキサゾール架橋系、チアゾール架橋系のものがより好ましい。

[0047] 架橋剤としては、ポリオール架橋系ではたとえば、ビスフエノール AF、ヒドロキノン、ビスフエノール A、ジァミノビスフエノール AFなどのポリヒドロキシ化合物力パーォキサイド架橋系ではたとえば α , a ' ビス（t ブチルパーォキシ）ジイソプロピルベンゼン、 2, 5 ジメチルー 2, 5—ジ（t ブチルパーォキシ）へキサン、ジクミルパーォキサイドなどの有機過酸ィ匕物力ポリアミン架橋系ではたとえばへキサメチレンジァミン力ーバメート、 N, N' —ジシンナミリデン 1 , 6—へキサメチレンジァミンなどのポリアミン化合物があげられる。

[0048] トリアジン架橋に用いる架橋剤としては、テトラフエ-ルスズ、トリフエ-ルスズなどの有機スズィ匕合物があげられる。

[0049] ォキサゾール架橋系、イミダゾール架橋系、チアゾール架橋系に使用する架橋剤としては、たとえば一般式（6) : [0050] [化 1]

[0051] (式中、は—SO —O CO—、炭素数 1

2 一 6のアルキレン基、炭素数 1一 10のパーフルォロアルキレン基または単結合手であり、 R³および R⁴は一方が NHであり

2 他方が NHR⁵ NH OHまたは—SHであり、 R⁵は水素原子、フッ素原子または

2

一価の有機基であり、好ましくは R³がー NHであり R⁴がー NHR⁵である）で示されるビ

2

スジァミノフ -ル系架橋剤、ビスアミノフヱノール系架橋剤、ビスアミノチオフエノール系架橋剤、一般式 (7):

[0052] [化 2]

^NH ^NOH

2は前記と同じ、 R⁶は一または一 C

NHNH, \題，

[0053] で示されるビスアミドラゾン系架橋剤、一般式 (8)または（9)

[0054] [化 3]

NH NH

H₂NHN_C R_f ⁵ C 題 (8)

[0055] (式中、 R。は炭素数 1

f 一 10のパーフルォロアルキレン基）、

[0056] [化 4]

NH₂ NH₂

HON = C- CF C = NOH (9)

[0057] (式中、 nは 1一 10の整数) で示されるビスアミドキシム系架橋剤などがあげられる。これらのビスアミノフエノール系架橋剤、ビスアミノチォフエノール系架橋剤またはビスジァミノフエニル系架橋剤などは、従来シァノ基を架橋点とする架橋系に使用していたものである力カルボキシル基およびアルコキシカルボ-ル基とも反応し、ォキサゾール環、チアゾール環、イミダゾール環を形成し、架橋物を与える。

[0058] とくに好ましヽ架橋剤としては、複数個の 3 アミノー 4ーヒドロキシフエ-ル基、または

3 アミノー 4 メルカプトフエ二ル基を有する化合物、もしくは一般式（10)：

[0059] [化 5]

[0060] (式中、 R²、

R⁴は前記と同じ)で示される化合物があげられ、具体的には、たとえば 2, 2 ビス（3 アミノー 4ーヒドロキシフエ-ル）へキサフルォロプロパン（一般名：ビス (ァミノフエノール) AF)、 2, 2 ビス（3 アミノー 4 メルカプトフエ-ル）へキサフルォロプロパン、テトラアミノベンゼン、ビス（3, 4—ジァミノフエ-ル)メタン、ビス（3, 4—ジァミノフエ-ル）エーテル、 2, 2 ビス（3, 4—ジァミノフエ-ル）へキサフルォロプロパン、 2, 2 ビス [3 アミノー 4— (N フエ-ルァミノ）フエ-ル]へキサフルォロプロパンなどである。

[0061] 架橋剤の配合量はエラストマ一 100重量部に対して 0. 01— 10重量部であることが好ましぐより好ましくは 0. 1— 5重量部である。架橋剤が、 0. 01重量部より少ないと、架橋度が不足するため、含フッ素成形品の性能が損なわれる傾向があり、 10重量部をこえると、架橋密度が高くなりすぎるため架橋時間が長くなることに加え、経済的にも好ましくない傾向がある。

[0062] ポリオール架橋系の架橋助剤としては、各種の 4級アンモ-ゥム塩、 4級ホスホ-ゥム塩、環状ァミン、 1官能性アミンィ匕合物など、通常エラストマ一の架橋に使用される有機塩基が使用できる。具体例としては、たとえばテトラプチルアンモ-ゥムブロミド、テトラプチルアンモ -ゥムクロリド、ベンジルトリブチルアンモ -ゥムクロリド、ベンジルトリエチルアンモ -ゥムクロリド、テトラプチルアンモ -ゥム硫酸水素塩、テトラブチルァンモ-ゥムヒドロキシドなどの 4級アンモ-ゥム塩；ベンジルトリフエ-ルホスホ-ゥムク口ライド、トリブチルァリルホスホ-ゥムクロリド、トリブチルー 2—メトキシプロピルホスホ -ゥムクロリド、ベンジルフエ-ル（ジメチルァミノ）ホスホ-ゥムクロリドなどの 4級ホスホ-ゥム塩；ベンジルメチルァミン、ベンジルエタノールァミンなどの一官能性ァミン； 1, 8—ジァザビシクロ [5. 4. 0]—ゥンデクー 7—ェンなどの環状ァミンなどがあげられる

[0063] パーオキサイド架橋系の架橋助剤としては、トリァリルシアヌレート、トリアリルイソシァヌレート（TAIC)、トリス（ジァリルアミンー s—トリァジン）、トリアリルホスファイト、 N, N —ジァリルアクリルアミド、へキサァリルホスホルアミド、 N, N, N' , N' —テトラァリルテトラフタラミド、 N, N, N' , N' —テトラァリルマロンアミド、トリビュルイソシァヌレート、 2,4,6—トリビュルメチルトリシロキサン、トリ（5—ノルボルネンー 2—メチレン）シァヌレートなどがあげられる。これらの中でも、架橋性、架橋物の物性の点から、トリァリルイソシァヌレート（TAIC)が好まし!/、。

[0064] 架橋助剤の配合量はエラストマ一 100重量部に対して、 0. 01— 10重量部であること力子ましく、より好ましくは 0. 1— 5. 0重量部である。架橋助剤が、 0. 01重量部より少ないと、架橋時間が実用に耐えないほど長くなる傾向があり、 10重量部をこえると、架橋時間が速くなり過ぎることに加え、成形品の圧縮永久歪も低下する傾向がある

[0065] さらに通常の添加剤である充填材 (カーボンブラックのような無機充填材、ポリイミド榭脂粉末等の有機フィラー)、加工助剤、顔料、酸ィ匕マグネシウムのような金属酸ィ匕物、水酸ィ匕カルシウムのような金属水酸ィ匕物などを本発明の目的を損なわない限り使用してちょい。

[0066] また本発明のパーフルォロエラストマーシール材は、 300°Cで 70時間の熱処理を施した後、パーフルォロトリー n—プチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬したときの膨潤率力 S300%以下であるもの力耐熱性および固着強度に優れ、し力もシール材との接触面の汚染および変色が改善される点力も好ましい。なお、該膨潤率は 275%以下のものがより好ましぐ 250%以下のものがさらに好ましい。具体的な処理条件は下記のとおりである。

( 1 ) 300°Cで 70時間の熱処理を空気中で行つた後、

(2)パーフルォロエラストマーシール材の体積を水中置換法により測定し (C1)、

(3)シール材を対象溶剤 (パーフルォロトリ- n-プチルァミン）に 60°Cで 70時間浸漬し、

(4)取り出し後、膨潤状態でのシール材の体積を測定する (D1)

ことにより行った。シール材の膨潤率は、（Dl-Cl) ZCl X 100 (%)により計算した。なお、上記（1)一（4)の操作中にて、シール材が溶解するなどによりシール材の膨潤率を測定できな、ものは、膨潤率が 300%以下に含まれな、。

[0067] 本発明のパーフルォロエラストマーシール材の製造方法は、パーフルォロエラストマー成形品を、特定の溶剤（例えば、 60°C、 70時間浸漬した時の膨潤率が 50%以上である溶剤）で処理する工程を含む。

[0068] パーフルォロエラストマ一の成形方法としては、一般的な成形方法であれば特に限定されないが、たとえば、圧縮成形、押出し成形、トランスファー成形、射出成形など、従来公知の方法が採用できる。

[0069] 処理に使用する溶剤としては、 60°C、 70時間浸漬した時の膨潤率が 50%以上である単一もしくは 2種類以上の混合溶剤であればよぐ 80%以上であることがより好ましい。膨潤率が、 50%未満であると、低分子量物および未架橋ポリマーの抽出に多大な時間を要する傾向がある。

[0070] また、処理に使用する溶剤としては、上記作用効果をより享受できる点から、 40°C ( 溶剤の沸点が 40°Cに満たない場合は沸点温度)、 70時間浸漬した時の膨潤率が 5 0%以上である単一もしくは 2種類以上の混合溶剤であることが好ましぐ膨潤率が 8 0%以上であることがより好まし、。

[0071] 前記溶剤としては、水素原子の全てがハロゲン原子で置換されたパーハロ系溶剤が好ましぐ特に水素原子の全てがフッ素原子で置換されたパーフルォロ系溶剤が好ましい。パーフルォロ系溶剤の具体例としては、パーフルォロトリー n—ブチルァミン、パーフルォロトリエチルァミンなどのパーフルォロ 3級ァミン、パーフルォロ置換テトラヒドロフラン、パーフルォロベンゼン、フロリナート FC— 77 (住友スリーェム株式会社製)、デムナムソルベント (ダイキン工業株式会社製、主成分 F )、 R-318 (ダイ

6 14

キン工業株式会社製、主成分 F C1 )、フロリナート FC— 43 (住友スリーェム株式

4 8 2

会社製、主成分：（C F ) N)などがあげられるが、これらの中でも、取り扱い性の点か

4 9 3

ら、パーフルォロトリー n—ブチルァミン、フロリナート FC— 77が好ましい。

[0072] また前記溶媒としては、先述の条件を満たすものであれば如何なるものでもよいが、例えば上記例示のものの他に各種フッ素系溶媒が好ましく用いられ、具体例としては、パーフルォロアルカン、 HFC (ノヽイド口フルォロカーボン）、 HFE (ノヽイド口フルォ口エーテル）、 HCFC (ハイド口クロ口フルォロカーボン）などがあげられ、具体的には、 HFE— 7100 (住友スリーェム株式会社製、主成分： C F OCH )、 HFE - 7200 (住

4 9 3

友スリーェム株式会社製、主成分: C F OC H )、バートレル XF (デュポン株式会社

4 9 2 5

製、主成分 H F )などをあげることができる。

5 2 10

[0073] 処理方法としては、溶剤に浸漬する方法、溶剤蒸気に暴露する方法、溶剤を噴霧する方法、ソックスレー抽出またはそれに類似する方法、超臨界抽出による方法などがあげられる。超臨界抽出法では上記溶剤をェントレーナーとして用いることで、たとえば炭酸ガスを抽出媒体とした場合でも低分子量物および未架橋ポリマーを効率よく抽出することがでさる。

[0074] パーフルォロエラストマーシール材を前記溶剤に浸漬する場合の浸漬条件は、使用される溶剤の種類、およびパーフルォロエラストマ一の組成などにより、適宜決めればよいが、好ましい条件としては、室温一 250°C (より好ましくは室温一 200°C)で、 1一 100時間浸漬することが好ましぐ室温一 100°C、 48— 70時間浸漬することがより好ましい。さらに、高圧下で処理することが好ましい。

[0075] また、浸漬または噴霧等ののちに乾燥させる力そのときの乾燥条件としては、 250 °C以下で、 5時間以上乾燥させることが好ましぐ 200°Cで、 10時間以上乾燥させることがより好ましい。乾燥方法としては、オーブンによる乾燥、真空乾燥など一般的に使用できる方法を用いることができる。

[0076] 前記溶剤で処理することで、パーフルォロエラストマ一が膨潤し、膨潤することにより発生した隙間より、低分子量物および未架橋ポリマーが溶剤に溶け出すと考えられる。 [0077] 本発明の製造方法で得られたパーフルォロエラストマーシール材は、低分子量物等の含有量が少ないため、固着強度が小さぐシール材と接触する相手材の汚染、腐食および変色も起こらなヽ。

[0078] 本発明のパーフルォロエラストマーシール材は、以下に示す分野で好適に用いることができる。

[0079] 半導体製造装置、液晶パネル製造装置、プラズマパネル製造装置、プラズマァドレス液晶パネル、フィールドェミッションディスプレイパネル、太陽電池基板等の半導体関連分野では、 o(角）リング、パッキン、シール材、チューブ、ロール、コーティング、ライニング、ガスケット、ダイァフラム、ホース等があげられ、これらは CVD装置、ドライエッチング装置、ウエットエッチング装置、酸化拡散装置、熱処理成膜装置、スパッタリング装置、アツシング装置、洗浄装置、イオン注入装置、排気装置、薬液配管、ガス配管に用いることができる。具体的には、ゲートバルブの O—リング、シール材として、クォーツウィンドウの O—リング、シール材として、チャンバ一の O—リング、シール材として、ゲートの O—リング、シール材として、ベルジャーの O—リング、シール材として、カップリングの O—リング、シール材として、ポンプの O—リング、シール材、ダイアフラムとして、半導体用ガス制御装置の O—リング、シール材として、レジスト現像液、剥離液用の O—リング、シール材として、ウェハー洗浄液用のホース、チューブとして、ゥェハー搬送用のロールとして、レジスト現像液槽、剥離液槽のライニング、コーティングとして、ウェハー洗浄液槽のライニング、コーティングとしてまたはウエットエッチング槽のライニング、コーティングとして用いることができる。さらに、封止材 'シーリング剤、光ファイバ一の石英の被覆材、絶縁、防振、防水、防湿を目的とした電子部品、回路基盤のポッティング、コーティング、接着シール、磁気記憶装置用ガスケット、ェポキシ等の封止材料の変性材、クリーンルーム ·クリーン設備用シーラント等として用いられる。

[0080] 自動車分野では、ガスケット、シャフトシール、バルブステムシール、シール材およびホースはエンジンならびに周辺装置に用いることができ、ホースおよびシール材は AT装置に用いることができ、 0 (角）リング、チューブ、パッキン、バルブ芯材、ホース、シール材およびダイアフラムは燃料系統ならびに周辺装置に用いることができる。具体的には、エンジンヘッドガスケット、メタルガスケット、オイルパンガスケット、クランクシャフトシール、カムシャフトシール、バルブステムシール、マ-ホールドパッキン、オイルホース、酸素センサー用シール、 ATFホース、インジェクター O—リング、インジエタターパッキン、燃料ポンプ O—リング、ダイァフラム、燃料ホース、クランクシャフトシール、ギアボックスシール、パワーピストンパッキン、シリンダーライナーのシーノレ、ノルブステムのシール、自動変速機のフロントポンプシール、リア一アクスルビ-オンシール、ユニバーサルジョイントのガスケット、スピードメーターのピニオンシール、フートブレーキのピストンカップ、トルク伝達の O—リング、オイルシール、排ガス再燃焼装置のシーノレ、ベアリングシーノレ、 EGRチューブ、ツインキヤブチューブ、キャブレターのセンサー用ダイァフラム、防振ゴム (エンジンマウント、排気部等)、再燃焼装置用ホース、酸素センサーブッシュ等として用いることができる。

[0081] 航空機分野、ロケット分野および船舶分野では、ダイァフラム、 O (角）リング、バルブ、チューブ、ノッキン、ホース、シール材等があげられ、これらは燃料系統に用いることができる。具体的には、航空機分野では、ジェットエンジンバルブステルシール、燃料供給用ホース、ガスケットおよび O—リング、ローテ一ティングシャフトシール、油圧機器のガスケット、防火壁シール等に用いられ、船舶分野では、スクリューのプロペラシャフト船尾シール、ディーゼルエンジンの吸排気用バルブステムシール、バタフライバルブのバルブシール、バタフライ弁の軸シール等に用いられる。

[0082] プラント等の化学品分野では、ライニング、バルブ、ノッキン、ロール、ホース、ダイァフラム、 o (角）リング、チューブ、シール材、耐薬品用コーティング等があげられ、これらは医薬、農薬、塗料、榭脂等化学品製造工程に用いることができる。具体的には、化学薬品用ポンプ、流動計、配管のシール、熱交換器のシール、硫酸製造装置のガラス冷却器パッキング、農薬散布機、農薬移送ポンプのシール、ガス配管のシール、メツキ液用シール、高温真空乾燥機のパッキン、製紙用ベルトのコロシール、燃料電池のシール、風洞のジョイントシール、耐トリクレン用ロール (繊維染色用）、耐酸ホース (濃硫酸用）、ガスクロマトグラフィー、 pHメーターのチューブ結合部のパッキン、塩素ガス移送ホース、ベンゼン、トルエン貯槽の雨水ドレンホース、分析機器、理ィ匕学機器のシール、チューブ、ダイァフラム、弁部品等として用いることができる。 [0083] 医薬品等の薬品分野では、薬栓等として用いることができる。

[0084] 現像機等の写真分野、印刷機械等の印刷分野および塗装設備等の塗装分野では、ロール等があげられ、それぞれフィルム現像機 ·Χ線フィルム現像機、印刷ロールおよび塗装ロールに用いることができる。具体的には、フィルム現像機 ·Χ線フィルム現像機の現像ロールとして、印刷ロールのグラビアロール、ガイドロールとして、塗装口ールの磁気テープ製造塗工ラインのグラビアロール、磁気テープ製造塗工ラインのガイドロール、各種コーティングロール等として用いることができる。さらに、乾式複写機のシール、印刷設備の印刷ロール、スクレーパー、チューブ、弁部品、塗布、塗装設備の塗布ロール、スクレーパー、チューブ、弁部品、プリンターのインキチューブ、ロール、ベルト、乾式複写機のベルト、ロール、印刷機のロール、ベルト等として用いることがでさる。

[0085] またチューブを分析 ·理ィ匕学機分野に用いることができる。

[0086] 食品プラント機器分野では、ライニング、バルブ、ノッキン、ロール、ホース、ダイァフラム、 ο (角）リング、チューブ、シール材、ベルト等があげられ、食品製造工程に用いることができる。具体的には、プレート式熱交^^のシール、自動販売機の電磁弁シール等として用いることができる。

[0087] 原子力プラント機器分野では、パッキン、 Ο—リング、ホース、シール材、ダイアフラム、バルブ、ロール、チューブ等があげられる。

[0088] 鉄板加工設備等の鉄鋼分野では、ロール等があげられ、鉄板加工ロール等に用いることがでさる。

[0089] 一般工業分野では、パッキング、 Ο—リング、ホース、シール材、ダイァフラム、バルブ、ロール、チューブ、ライニング、マンドレル、電線、フレキシブルジョイント、ベルト、ゴム板、ウエザーストリップ、 PPC複写機のロール、ロールブレード、ベルト等があげられる。具体的には、油圧、潤滑機械のシール、ベアリングシール、ドライクリーニング機器の窓、その他のシール、六フッ化ウランの濃縮装置のシール、サイクロトロンのシール (真空)バルブ、自動包装機のシール、空気中の亜硫酸ガス、塩素ガス分析用ポンプのダイアフラム (公害測定器）、印刷機のロール、ベルト、酸洗い用絞りロール等に用いられる。 [0090] 電気分野では、具体的には、新幹線の絶縁油キャップ、液封型トランスのベンチンダシール、油井ケーブルのジャケット等として用いられる。

[0091] 燃料電池分野では、具体的には、電極、セパレーター間のシール材ゃ水素 '酸素' 生成水配管のシール等として用いられる。

[0092] 電子部品分野では、具体的には、放熱材原料、電磁波シールド材原料、エポキシ等のプリント配線板プリプレダ榭脂の変性材、電球等の飛散防止材、コンピューターのハードディスクドライブのガスケット等に用いられる。

[0093] 以下に、本発明を実施例をあげて説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。

[0094] 製造例 1

着火源をもたない内容積 3リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水 1 リットルおよび乳化剤として

[0095] [化 6]

CF₃ CF₃

1 I

C₃F₇OCFCF₂OCFCOONH₄

[0096] 10g、 pH調整剤としてリン酸水素ニナトリウム · 12水塩 0.09gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、 600rpmで撹拌しながら、 50°Cに昇温し、テトラフルォロエチレン（TFE)とパーフルォロ（メチルビ-ルエーテル）（PMVE)の混合ガス（TFEZPMVE = 25Z75モル比）を、内圧が 0.78MPa'Gになるように仕込んだ。ついで、過硫酸アンモ-ゥム（APS)の 527mgZmlの濃度の水溶液 10mlを窒素圧で圧入して反応を開始した。

[0097] 重合の進行により内圧力 0.69MPa'Gまで降下した時点で、 CF =CFOCF CF

2 2

(CF)OCF CF CN(CNVE)3gを窒素圧にて圧入した。ついで圧力が 0.78MPa

3 2 2

•Gになるように、 TFEを 4.7gおよび PMVE5.3gをそれぞれ自圧にて圧入した。以後、反応の進行にともない同様に TFE、 PMVEを圧入し、 0.69—0.78MPa'Gのあいだで、昇圧、降圧を繰り返すと共に、 TFEと PMVEの合計量が 70g、 130g、 19 Ogおよび 250gとなった時点でそれぞれ CNVE3gを窒素圧で圧入した。 [0098] 重合反応の開始から 19時間後、 TFEおよび PMVEの合計仕込み量が、 300gになった時点で、オートクレープを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度 21. 2重量％の水性分散体 1330gを得た。

[0099] この水性分散体のうち 1196gを水 3588gで希釈し、 3. 5重量％塩酸水溶液 2800 g中に、撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後 5分間撹拌した後、凝析物をろ別し、得られたポリマーをさらに 2kgの HCFC— 141b中にあけ、 5分間撹拌し、再びろ別した。この後この HCFC— 141bによる洗浄、ろ別の操作をさらに 4回繰り返したのち、 6 0°Cで 72時間真空乾燥させ、 240gのポリマーを得た。

[0100] ¹⁹F— NMR分析の結果、この重合体のモノマー単位組成は、 TFEZPMVEZCN VE = 56. 6/42. 3/1. 1モル％であった。赤外分光分析により測定したところ、力ルボキシル基の特性吸収が 1774.

1808. 6cm— ¹付近に、 OH基の特性吸収力 3557. 5cm— ¹および 3095. 2cm— ¹付近に認められた。

[0101] 製造例 2

着火源をもたない内容積 6リットルのステンレススチール製オートクレーブに、純水 2 リットルおよび乳化剤として C F COONH 20g、 _PH調整剤としてリン酸水素ニナトリ

7 15 4

ゥム · 12水塩 0. 18gを仕込み、系内を窒素ガスで充分に置換し脱気したのち、 600r pmで撹拌しながら、 80°Cに昇温し、テトラフルォロエチレン (TFE)とパーフルォロ（メチルビ-ルエーテル）（PMVE)の混合ガス（TFEZPMVE = 29Z71モル比）を、内圧が 12. OkgfZcm²'Gになるように仕込んだ。ついで、過硫酸アンモ-ゥム (AP S)の 186mgZmlの濃度の水溶液 2mlを窒素圧で圧入して反応を開始した。

[0102] 重合の進行により内圧力 11. OkgfZcm²'Gまで降下した時点で、 I (CF ) I 4g

2 4 を圧入した。ついで TFE22. Ogおよび PMVE20. Ogをそれぞれ自圧にて圧入し、昇圧、降圧を繰り返した。 TFEおよび PMVEの合計仕込量が 430g、 511g、 596g および 697gに達した時点で ICH CF CF OCF=CFを各 1. 5g圧入した。また反応

2 2 2 2

開始後 12時間毎に 20mgZmlの APS水溶液 2mlを窒素ガスで圧入した。

[0103] 重合反応の開始力 45時間後、 TFEおよび PMVEの合計仕込み量が、 860gになった時点で、オートクレープを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度 30. 0重量％の水性分散体を得た。 [0104] この水性分散体をビーカーに入れ、ドライアイス Zメタノール中で凍結させ凝析を行い、解凍後、凝析物を水洗、真空乾燥してゴム状重合体 850gを得た。この重合体のム一-一粘度 ML1 + 10 (100°C)は 55であった。

[0105] ¹⁹F— NMR分析の結果、この重合体のモノマー単位組成は、 TFEZPMVE = 64.

0/36. 0 (モル％)であり、元素分析力得られたヨウ素含有量は 0. 34重量％であつた o

[0106] 実施例 1

製造例 1で得られた末端にカルボキシル基を有するシァノ基含有含フッ素エラストマーとジャーナノレ'ォブ'ポリマ^ ~ ·サイエンスのポリマ^ ~ ·ケミストリー編、 Vol.20, 23 81— 2393頁（1982)に記載の方法で合成した架橋剤である 2, 2—ビス [3—ァミノ- 4 (N フエ-ルァミノ）フエ-ル）へキサフルォロプロパン (AFTA— Ph)と充填材であるカーボンブラック（Cancarb社製 Thermax N— 990)とを重量比 100Z2. 83/ 20で混合し、オープンロールにて混練して架橋可能なフッ素ゴム組成物を調製した

[0107] このフッ素ゴム組成物を 180°Cで 30分間プレスして架橋を行なったのち、さらにォーブン中で 290°Cで 18時間、オーブン架橋を施し、厚さ 2mm、 20mm X 15mmの成形物を作製した。

[0108] 得られた成形品を、フロリナート FC-77 (登録商標、住友スリーェム株式会社製、主成分 F Oに、 60°Cで、 70時間浸漬した後（このときの膨潤率は、 170%であつ

8 16

た）、 90°Cで 5時間、 125°Cで 5時間および 200°Cで 10時間乾燥させ、被験サンプルを作製した。被験サンプルの重量減少率は、 0. 1重量％以下であった。

[0109] この被験サンプルの固着強度の測定結果、および変色度の評価を以下の方法により、行った。その結果を表 1に示す。

[0110] <重量減少率の測定 >

(2)シール材をパーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬し、取り出し後、該成形品を 90°Cに設定したオーブンで 5時間かけて乾燥させた後、オーブンの設定温度を 125°Cにして 5時間乾燥させ、さらに設定温度を 200°Cにして 10時間乾燥し、

(3)乾燥後のシール材の重量を測定する（Bg)ことにより行った。シール材の重量減少率は、（A-B) ZA X 100 (重量％)により計算した。

[0111] <シール材の膨潤率 >

(1)未処理のパーフルォロエラストマーシール材の体積を水中置換法により測定し（ C)ゝ

(2)シール材を対象溶剤に 60°Cで 70時間浸漬し、

(3)取り出し後、膨潤状態でのシール材の体積を測定する (D)

ことにより行った。シール材の膨潤率は、（D-C) ZC X 100 (%)により計算した。

[0112] <固着強度 >

図 1に示すように、 2枚の SUS316板 1の間に、被験サンプル 2 (20mm X 15mm X

2mm)を置き、 250°C、荷重 3 : 700gZcm²下で 20時間放置した。その後、荷重 3を加えた状態のまま、室温まで放冷した後、図 2に示すように、 SUS316板 1をせん断方向 4に引っ張り、固着強度（180度、せん断剥離)を測定した。

[0113] < SUS316板変色度 >

固着強度測定後、 SUS板から、被検サンプルをはがし、 SUS板の状態を目視により観察し、以下の基準により評価した。

SUS板は変色して!/、ない〇

SUS板は変色した X

[0114] <熱処理後の膨潤率 >

( 1 ) 300°Cで 70時間の熱処理を空気中で行つた後、

ことにより行った。シール材の膨潤率は、（Dl-Cl) ZCl X 100 (%)により計算した

[0115] 実施例 2 得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、デムナムソルベント (ダイキン工業株式会社製、主成分: C F )に 40°Cで 70時間浸

6 14

漬したこと (このときの膨潤率は、 158%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0116] 実施例 3

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、 HFE— 7100 (住友スリーェム株式会社製、主成分： C F OCH )に 40°Cで 70時間

4 9 3

浸漬したこと (このときの膨潤率は、 114%であった)以外は、実施例 1と同様に行つた。結果を表 1に示す。

[0117] 実施例 4

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、 HFE— 7200 (住友スリーェム株式会社製、主成分： C F OC H )に 40°Cで 70時間

4 9 2 5

浸漬したこと (このときの膨潤率は、 95%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0118] 実施例 5

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、バートレル XF (デュポン株式会社製、主成分: C H F )に 40°Cで 70時間浸漬したこ

5 2 10

と（このときの膨潤率は、 99%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0119] 実施例 6

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、 R— 318 (ダイキン工業株式会社製、主成分: C F C1 )に 40°Cで 70時間浸漬したこと

4 8 2

(このときの膨潤率は、 181%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0120] 実施例 7

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、フロリナート FC— 43 (住友スリーェム株式会社製、主成分：（C F ) N)に 40°Cで 70

4 9 3

時間浸漬したこと (このときの膨潤率は、 142%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0121] 実施例 8

製造例 2で得られたヨウ素含有含フッ素エラストマ一と架橋剤であるトリアリルイソシァヌレート (TAIC :日本化成株式会社製）、 2, 5—ジメチルー 2, 5—ビス（t-ブチルバーォキシ)へキサン (パーへキサ 25B：日本油脂株式会社)と充填材であるカーボンブラック（Cancarb社製 Thermax N— 990)とを重量比 100Z2Z1Z20で混合し、オープンロールにて混練して架橋可能なフッ素ゴム組成物を調製した。

[0122] このフッ素ゴム組成物を 160°Cで 10分間プレスして架橋を行なったのち、さらにォーブン中で 180°Cで 4時間、オーブン架橋を施し、厚さ 2mm、 20mm X 15mmの成形物を作製した。

[0123] 得られた成形品を、フロリナート FC-77 (登録商標、住友スリーェム株式会社製、主成分 F Oに、 60°Cで、 70時間浸漬した後（このときの膨潤率は、 100%であつ

8 16

た）、 90°Cで 5時間、 125°Cで 5時間および 200°Cで 10時間乾燥させ、被験サンプルを作製した。被験サンプルの重量減少率は、 0. 1重量％以下であった。結果を表 1 に示す。

[0124] 実施例 9

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、フロリナート FC— 77 (住友スリーェム株式会社製、主成分：（C F ) N)に 60°Cで 24

4 9 3

時間浸漬したこと (このときの膨潤率は、 170%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0125] 実施例 10

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、フロリナート FC— 77 (住友スリーェム株式会社製、主成分：（C F ) N)に 180°Cで 24

4 9 3

時間浸漬したこと (このときの膨潤率は、 175%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1に示す。

[0126] また、フロリナート FC-77の沸点は 100°Cであるので、圧力容器中にて浸漬を行つた。この時の圧力は約 0. 14MPaであった。

[0127] 比較例 1 60°C、 70時間浸漬した時の膨潤率が 50%以上である溶剤で処理する工程を行わな力つた以外は、実施例 1と同様に行った。被験サンプルの重量減少率は、 1. 3重量％であった。

[0128] この被験サンプルの固着強度の測定結果、および変色度の評価を行った結果を表

1に示す。

[0129] 比較例 2

得られた成形品を、フロリナート FC-77に 60°Cで、 70時間浸漬することにかえて、ゼォローラ H (日本ゼオン株式会社製、主成分: C H Fに 40°Cで 70時間浸漬したこ

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と（このときの膨潤率は、 8%であった)以外は、実施例 1と同様に行った。結果を表 1 に示す。

[0130] なお、実施例 1〜10、比較例 2で得られた成形品を、実施例 1〜10、比較例 2で用いた溶剤に 40°Cで 70時間、 60°Cで 70時間、 60°Cで 24時間、または 180°Cで 24時間浸漬した時の膨潤率については、表 2に示す。

[0131] [表 1]

表 1

]

表 2

産業上の利用可能性

本発明は、固着強度ならびにシール材との接触面の汚染、腐食および変色が改善された、特定条件下で測定したシール材の重量減少率が 1重量％以下であるパーフルォロエラストマーシール材を提供する。さらに、本発明は、パーフルォロエラストマ一成形品を、 60°Cで 70時間浸漬した時の膨潤率が 50%以上である溶剤で処理する工程を含む製造方法であって、未架橋ポリマーおよび低分子量物を大幅に除去できるパーフルォロエラストマーシール材の製造方法を提供する。

Claims

請求の範囲

[1] パーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで 70時間浸漬し、取り出し後、 90°Cで 5 時間、 125°Cで 5時間および 200°Cで 10時間乾燥させたときのシール材の重量減少率が、 1重量％以下であるパーフルォロエラストマーシール材。

[2] 前記重量減少率が、 0. 5重量％以下である請求の範囲第 1項記載のパーフルォロエラストマーシーノレ材。

[3] 前記重量減少率が、 0. 1重量％以下である請求の範囲第 1項記載のパーフルォロエラストマーシーノレ材。

[4] 300°Cで 70時間の熱処理を施した後、パーフルォロトリー n—ブチルァミンに 60°Cで

70時間浸漬したときの膨潤率が 300%以下である請求の範囲第 1項、第 2項または第 3項記載のパーフルォロエラストマーシール材。

[5] パーフルォロエラストマ一成形品を、 60°Cで 70時間浸漬したときの前記成形品に対する膨潤率が 50%以上である溶剤で処理する工程を含むパーフルォロエラストマ一シール材の製造方法。