WO2005019375A1 - 蛍光体及び真空紫外線励起発光素子 - Google Patents

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WO2005019375A1
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light emitting
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Hiroshi Hamamatsu
Yuichiro Imanari
Susumu Miyazaki
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Sumitomo Chemical Company, Limited
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    • C09K11/66—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing germanium, tin or lead

Definitions

  • the present invention relates to a phosphor and a vacuum ultraviolet ray excited light emitting device.
  • the phosphor is a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”) and a vacuum ultraviolet light-emitting element such as a rare gas lamp, an electron beam light-emitting element such as a CRT, an ultraviolet light emitting element such as a three-wavelength fluorescent lamp, It is used for X-ray excited light emitting devices such as X-ray imaging devices.
  • PDP plasma display panel
  • a vacuum ultraviolet light-emitting element such as a rare gas lamp
  • an electron beam light-emitting element such as a CRT
  • an ultraviolet light emitting element such as a three-wavelength fluorescent lamp
  • aluminate to the Eu and activator B aMg A 1 10 O 17: Eu a green phosphor, Kei salt phosphor and activator with a Mn Z n 2 S i O 4: Mn
  • a red phosphor, borate phosphor to activator with the E u (Y, Gd) B0 3: Eu is known, vacuum ultraviolet rays such as these phosphors, PDP and rare gas lamps Used for excitation light emitting devices.
  • An object of the present invention is to provide a phosphor that exhibits high luminance.
  • the present inventors have conducted intensive studies on phosphors exhibiting high luminance, and as a result, have completed the present invention.
  • the present invention comprises at least one selected from the group consisting of Si and Ge, and Eu as an activator, and has a structure near the X-ray absorption edge (X-ray Ab Hereafter referred to as “XA NES”. )
  • XA NES X-ray Ab
  • the pattern obtained by first order differential of the spectrum, the ratio R calculated by the following equation (1) from the amplitude b of the peak derived from the + amplitude a and E u 3 peaks derived from E u 2 + Provide a phosphor that is 40% or more.
  • the phosphor of the present invention exhibits high luminance and is used for an element which emits light by using vacuum ultraviolet rays, ultraviolet rays, X-rays, electron beams or the like as an excitation source.
  • the phosphor of the present invention exhibits high luminance when excited by vacuum ultraviolet light, and is therefore suitable for a vacuum ultraviolet light excited light emitting device.
  • the present invention also provides a VUV-excited light-emitting device containing the above-mentioned phosphor and use of the above-mentioned phosphor for a VUV-excited light-emitting device.
  • FIG. 1 shows a pattern obtained by first-order differentiation of the structural spectrum near the X-ray absorption edge of the phosphor obtained in Example 1, Example 2, and Comparative Example 1.
  • the horizontal axis represents the X-ray energy (unit: eV), and the vertical axis represents the intensity (arbitrary unit).
  • the phosphor of the present invention contains at least one selected from the group consisting of silicon (Si) and germanium (Ge), and europium (Eu) as an activator.
  • the phosphor of the present invention contains calcium (Ca) At least one selected from the group consisting of strontium (Sr) and balium (Ba); at least one selected from the group consisting of magnesium (Mg) and zinc (Zn); and Si and Ge forces.
  • the germanate is preferably a germanate containing at least one selected from the group and at least one selected from the group consisting of Si and Ge.
  • the phosphor is preferably a compound represented by the formula (2) containing Eu as an activator.
  • M 1 is one also less selected from the group consisting of C a, S r, and B a
  • M 2 is at least one element selected from the group consisting of Mg and Z n
  • M 3 Is at least one selected from the group consisting of Si and Ge.
  • m is 0.5 or more and 3.5 or less
  • n is 0.5 or more and 2.5 or less.
  • the phosphor of the present invention contains Eu 2+ and optional Eu 3+ , and the pattern obtained by first-order differentiation of the structural vector near the X-ray absorption edge is converted to Eu 2+ .
  • the ratio R calculated by the above formula (1) from the amplitude a of the peak derived from Eu and the amplitude b of the peak derived from Eu 3+ is 40% or more, preferably 60% or more, and more preferably 80% or more. Note that the ratio R is determined by the following (a) to (d).
  • the phosphor of the present invention may be manufactured, for example, by a method including the following steps (1) and (2).
  • the metal compound of the step (1) may be an oxide of a metal element constituting the phosphor of the present invention, or a hydroxide, a carbonate, a nitrate, a halide, which may become an oxide of the metal element when fired. Any compound such as oxalate may be used. Examples of metal compounds include
  • Silicon compounds such as silicon dioxide,
  • Germanium compounds such as germanium oxide
  • Europium compounds such as europium oxide
  • Calcium compounds such as calcium oxide, calcium carbonate,
  • Strontium compounds such as strontium oxide, strontium carbonate, barium compounds such as barium oxide, barium carbonate,
  • Manganese compounds such as manganese oxide,
  • the metal compound is preferably a high-purity (about 99% by weight or more) hydroxide, carbonate, nitrate, halide, oxalate, or oxide.
  • metal compounds are weighed to have a predetermined composition.
  • the formula C a 0. 92 S r 0 . 05 Eu 0. 03 Mg S i 2 0 when producing a phosphor represented by 6, Ca C 0 3, S r CO 3, Eu 2 0 3, MgO, S i 0 2 and these monole ratios are 0.92 : 0.05: 0. 015: 1: 2:
  • the weighed metal compound may be mixed using, for example, a ball mill, a V-type mixer, or a vessel equipped with a stirrer.
  • Baking step (1) is preferably carried out in a reducing atmosphere, for example, hydrogen about 0.1% to about 10% by volume containing nitrogen (N 2) atmosphere, or a hydrogen of about 0.1 volume 0 /
  • the reaction is performed in an argon (Ar) atmosphere containing 0 to about 10% by volume.
  • an appropriate amount of carbon may be added to a mixture of at least two types of metal compounds and calcined, or a mixture of at least two types of metal compounds and an appropriate amount of carbon may be used.
  • the mixture may be fired.
  • the sintering may be carried out usually at a temperature of about 900 ° C to about 1500 ° C and a time of about 1 hour to about 100 hours.
  • the above mixture contains compounds that can decompose at high temperatures to oxides, such as hydroxides, carbonates, nitrates, halides, and oxalates, calcine the mixture before firing.
  • the calcination may be performed in any of an oxidizing atmosphere (for example, in the air) and a reducing atmosphere.
  • the calcination is performed at a temperature at which hydroxides, carbonates, nitrates, halides or oxalates are desorbed from water of crystallization or when hydroxides, carbonates, nitrates, halides or oxalates are oxides.
  • the temperature may be in the range of about 400 ° C or more and less than about 900 ° C.
  • the fluorescent substance obtained in step (1) may be ground or classified. Grinding can be performed using, for example, a ball mill, vibrating mill, roll mill, or jet mill. Classification is performed by wet classifiers such as sedimentation tanks, hydrocyclones, and centrifugal separators; cyclones, air separators, and turbo classifiers (trade name, Yosei Flour Milling Co., Ltd.) ) May be performed using a dry classifier. By performing pulverization or classification, the specific surface area of the fluorescent substance can be adjusted.
  • the acid washing in step (2) may be performed using an organic acid such as acetic acid or oxalic acid; or an inorganic acid such as hydrochloric acid, nitric acid or sulfuric acid.
  • the acid is preferably hydrochloric acid, nitric acid or sulfuric acid, more preferably hydrochloric acid.
  • the hydrogen ion concentration of the acid is usually about 0.1 mol / l or more, preferably about 0.1 mol / l or more, and usually about 5 m01 Z1 or less, preferably about 2 mol / l. It is as follows.
  • the acid washing may be performed, for example, by a method in which the fluorescent substance obtained in the step (1) is immersed in the acid. Specifically, a fluorescent substance may be added to a container containing an acid, and the fluorescent substance may be immersed in the acid. Further, the inside of the container may be held with stirring. Alternatively, after the acid and the fluorescent substance are put into the wet ball mill, the ball mill may be rotated.
  • the acid washing may be usually performed under the conditions of temperature: room temperature (about 25 ° C) to about 80 ° C, and time: about 10 minutes to about 10 hours.
  • the phosphor obtained by acid washing is usually separated into a solid and a liquid and dried.
  • Solid-liquid separation may be performed by filtration, suction filtration, pressure filtration, centrifugation, decantation, or the like. Drying may be performed using a vacuum dryer, a hot air dryer, a conical dryer, a rotary evaporator, or the like. Further, the phosphor may be pulverized or classified. Vacuum ultraviolet light-emitting element
  • the VUV-excited light-emitting device of the present invention contains the above-mentioned phosphor, and usually contains an electrode in addition to the above-mentioned phosphor.
  • Examples of the vacuum ultraviolet ray excited light emitting element include PDP and rare gas lamp.
  • the PDP includes a back substrate, a phosphor layer, a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric layer, and a surface substrate.
  • a PDP may be manufactured, for example, by the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-195428.
  • Examples of the method for producing PDP include a method including the following steps (I) to (IV).
  • Each of the body pastes is applied (by screen printing or the like) and fired in a temperature range of about 300 ° C to about 600 ° C to form a phosphor layer.
  • (IV) A step of evacuating the interior surrounded by the rear substrate and the front glass substrate, filling a reduced pressure rare gas (Xe, Ne, etc.), and forming a discharge space.
  • a reduced pressure rare gas Xe, Ne, etc.
  • the rare gas lamp may be manufactured by the same operation as a known method except that the above-mentioned phosphor is used as a raw material.
  • the XANES spectrum was measured using the XAF S measuring device at Beamline BL-9A, a synchrotron radiation facility of the High Energy Accelerator Research Organization under the following conditions.
  • ⁇ Spectrometer S i (1 1 1) 2 crystal spectroscope,
  • the phosphor is placed in a vacuum chamber, and the inside of the chamber is kept under a vacuum of 6.7 Pa (5 ⁇ 10 2 torr) or less, and an excimer 146 nm lamp (H0012 type manufactured by Shio Electric Co., Ltd.) is used as the phosphor
  • the phosphor was irradiated with vacuum ultraviolet light to emit light, and the luminance at that time was measured.
  • BET specific surface area
  • Example 1 The particle size distribution was measured using a particle size distribution analyzer (trade name "Master Sizer-1 2000", manufactured by MALVERN).
  • Example 1 The particle size distribution analyzer (trade name "Master Sizer-1 2000", manufactured by MALVERN).
  • the obtained fluorescent substance 1 was pulverized using a jet mill under the conditions of compressed air pressure: lkg / cm 2 .
  • the pulverized fluorescent substance 1 was added to hydrochloric acid having a hydrogen ion concentration of 1 mol / l to obtain a slurry, and this slurry was stirred for 3 hours using a magnetic stirrer. Next, the slurry was subjected to solid-liquid separation by suction filtration, and then dried under reduced pressure at 100 ° C. to obtain phosphor 1.
  • This phosphor 1 has a C a. . 92 S r. . 5 Eu. .. 3 Mg is S i 2 0 compound represented by 6, the ratio R is 78%, BET specific surface area of 3. 97m 2 / g, average particle size was 1.69. Phosphor 1 emitted blue light when irradiated with vacuum ultraviolet light. The luminance of phosphor 1 was 118 compared to the luminance of phosphor 1 (without acid cleaning) of 100.
  • the resulting phosphor 2, C a 0. 78 S r 0. 2 Eu. ,. 2 Mg is S i 2 ⁇ compound of represented by 6, the ratio scale is 99%, BET specific surface area of 2. 75 m 2 / g, average particle size was 2. 33 ⁇ . Phosphor 2 emitted blue light when irradiated with vacuum ultraviolet light.
  • the luminance of phosphor 2 was 122 with respect to the luminance of phosphor 1 of 100.
  • the luminance of the fluorescent substance 2 was 1 12 compared to the luminance 100 of the fluorescent substance 1 (not acid-washed). Comparative Example 1

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Abstract

本発明は、蛍光体及びそれを含む真空紫外線励起発光素子を提供する。蛍光体は、Ｓｉ及びＧｅからなる群より選ばれる少なくとも１つ、及び付活剤としてＥｕを含有し、かつ、Ｘ線吸収端近傍構造スペクトルを１階微分して得られるパターンについて、Ｅｕ2+に由来するピークの振幅ａとＥｕ3+に由来するピークの振幅ｂから次式（１）により算出される比率Ｒが４０％以上である。Ｒ（％）＝〔ａ／（ａ＋ｂ）〕×１００　（１）

Description

蛍光体及び真空紫外線励起発光素子 技術分野
本発明は、 蛍光体及び真空紫外線励起発光素子に関する。
明 背景技術
蛍光体は、 プラズマディスプレイパネル （以下 「PDP」 とする。 ） 及び希 ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子、 CRTなどの電子線励起発光素子 、 3波長型蛍光ランプなどの紫外線励起発光素食日子、 X線撮像装置などの X線励 起発光素子などに用いられている。 例えば、 青色蛍光体として、 Euを付活剤 とするアルミン酸塩 B aMg A 110O17 ： Eu、 緑色蛍光体として、 Mnを付 活剤とするケィ酸塩蛍光体 Z n2 S i O4 ： Mn、 赤色蛍光体として、 E uを付 活剤とするホウ酸塩蛍光体 （Y, Gd) B03 ： Euが知られ、 これらの蛍光 体は、 P D P及び希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子に用いられてい る。
また、 真空紫外線励起発光素子に適した青色蛍光体として、 式 （Ca, S r ) 0.97Eu0.。3Mg S i2O6で示されるケィ酸塩蛍光体が提案されている （特 開平 2002— 332481号公報） 。
発明の開示
本発明の目的は、 高い輝度を示す蛍光体を提供することにある。
本発明者らは、 高い輝度を示す蛍光体について鋭意研究を重ねた結果、 本発 明を完成させるに至った。
すなわち本発明は、 S i及び Geからなる群より選ばれる少なくとも 1つ及 び付活剤として Euを含有し、 力つ、 X線吸収端近傍構造 （X— r a y Ab s o r p t i o n Ne a r E d g e S t r u c t u r e ；以下、 「XA NES」 と称する。 ） スペク トルを 1階微分して得られるパターンについて、 E u 2 +に由来するピークの振幅 aと E u 3 +に由来するピークの振幅 bから次式 (1) により算出される比率 Rが 40%以上である蛍光体を提供する。
R (%) = ( a / ( a + b ) ] X 100 ( 1 )
本発明の蛍光体は高い輝度を示すものであり、 真空紫外線、 紫外線、 X線、 電子線などを励起源として発光する素子に用いられる。 特に、 本発明の蛍光体 は、 真空紫外線励起により高い輝度を示すので、 真空紫外線励起発光素子に好 適である。
従って、 本発明は、 前記の蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子及び前記の 蛍光体の真空紫外線励起発光素子への使用をも提供する。 図面の簡単な説明
図 1は、 実施例 1、 実施例 2及び比較例 1で得られた蛍光体の X線吸収端近傍 構造スペク トルを 1階微分して得られたパターンを示す。 横軸は X線のエネル ギー （単位： e V) を表し、 縦軸は強度 （任意単位） を表す。 発明を実施するための最良の形態
蛍光体
本発明の蛍光体は、 珪素 （S i) 及びゲルマニウム （Ge) からなる群より 選ばれる少なくとも 1つ、 及び付活剤としてユーロピウム （Eu) を含有する 本発明の蛍光体は、 カルシウム （Ca) 、 ストロンチウム （S r) 及びバリ ゥム （B a) からなる群より選ばれる少なくとも 1つと、 マグネシウム （Mg ) 及び亜鉛 （Zn) からなる群より選ばれる少なくとも 1つと、 S i及び Ge 力 らなる群より選ばれる少なくとも 1つを含有するケィ酸塩、 又は、 C a、 S r及び B aからなる群より選ばれる少なくとも 1つと、 Mg及び Z nからなる 群より選ばれる少なくとも 1つと、 S i及び Geからなる群より選ばれる少な くとも 1つを含有するゲルマン酸塩であることが好ましい。 中でも、 蛍光体は 、 付活剤として Euを含有する式 （2) で示される化合物であることが好まし レ、。
mM1 O - nM2 O · 2M3 O2 (2)
〔式 （2) 中、 M1は C a、 S r、 及び B aからなる群より選ばれる少なくと も 1つ、 M2は Mg及び Z nからなる群より選ばれる少なくとも 1つ、 M3は S i及び Geからなる群より選ばれる少なくとも 1つである。 mは 0. 5以上、 3. 5以下であり、 nは 0. 5以上、 2. 5以下である。 〕
また、 本発明の蛍光体は、 Eu2 +及ぴ任意の Eu3+を含むものであり、 X線 吸収端近傍構造スぺク トルを 1階微分して得られるパターンについて、 Eu2 + に由来するピークの振幅 aと Eu3+に由来するピークの振幅 bから前記式 （1 ) により算出される比率 Rが 40%以上、 好ましくは 60%以上、 さらに好ま しくは 80%以上である。 なお、 比率 Rは、 以下の （a) 〜 （d) により求め られる。
(a) 蛍光体の X AN E Sスペク トルを測定して、 蛍光体の Euの L 3吸収端 のスペクトルを求める。 通常、 £ 11の1 3吸収端は、 Eu2+に由来するピーク が 6970 eV付近に検出され、 また Eu3+に由来するピークが 6980 e V 付近に検出されるので、 スペク トルの測定は、 両方のピークを含む範囲 （例え ば、 6940 e V〜 7040 e V) について行う。
(b) 得られたスペク トルを 1階微分する。 1階微分することにより、 バック ダラゥンドの影響を低減することができる。
(c) 得られたパターン （一階微分曲線） の Eu2+に由来するピークについて 、 その最大値 （山の頂点） とその高エネルギー側に現れる最小値 （谷の底） を 、 それぞれ求め、 これらの差を振幅 aとする。 同様にして、 得られたパターン の Eu3 +に由来するピークについて、 その最大値 （山の頂点） とその高エネ ルギー側に現れる最小値 （谷の底） を、 それぞれ求め、 これらの差を振幅 bと する。
(d) 振幅 aと振幅 bから前記式 （1) により比率 Rを算出する。 蛍光体の製造方法
本発明の蛍光体は、 例えば、 次の工程 （1) 及び （2) を含む方法で製造す ればよい。
(1) 金属化合物の混合物を焼成して、 S i及び Geからなる群より選ばれる 少なくとも 1つ、 及び E uを含有する蛍光物質を得、
(2) 得られた蛍光物質を酸洗浄する。
工程 （1) の金属化合物は、 本発明の蛍光体を構成する金属元素の酸化物、 又は、 焼成したとき、 その金属元素の酸化物となり得る、 水酸化物、 炭酸塩、 硝酸塩、 ハロゲン化物、 シユウ酸塩などの化合物であればよい。 金属化合物の 例としては、
二酸化珪素のようなケィ素化合物、
酸化ゲルマニウムのようなゲルマニウム化合物、
酸化ユーロピウムのようなユーロピウム化合物、
酸化カルシウム、 炭酸カルシウムのようなカルシウム化合物、
酸化ストロンチウム、 炭酸ストロンチウムのようなストロンチウム化合物、 酸化バリウム、 炭酸バリウムのようなバリウム化合物、
酸化マンガンのようなマンガン化合物、
炭酸マグネシゥム、 塩基性炭酸マグネシゥムのようなマグネシゥム化合物、 酸化亜鉛のような亜鉛化合物、 又はこれらの金属を含む化合物などである。 金属化合物は、 高純度 （純度約 99重量％以上） の水酸化物、 炭酸塩、 硝酸 塩、 ハロゲン化物、 シユウ酸塩、 酸化物であることが好ましい。
これらの金属化合物は所定の組成となるように秤量される。 例えば、 式 C a 0.92 S r0.05Eu0.03Mg S i 206で示される蛍光体を製造する場合、 Ca C 03、 S r CO3、 Eu203、 MgO、 S i 02を、 これらのモノレ比が 0. 92 : 0. 05 : 0. 015 : 1 : 2となるように混合すればよい。 式 C a。.78 S r0.2Eu0.。2 Mg S i 206で示される蛍光体を調製する場合、 Ca C03、 S r C〇3、 Eu203、 MgO、 S i 02を、 これらのモル比が 0. 78 : 0. 2 : 0. 01 : 1 : 2となるように混合すればよレ、。 秤量された金属化合物の 混合は、 例えば、 ボールミル、 V型混合機又は攪拌機付き容器を用いて行えば よい。 工程 （1) の焼成は、 還元雰囲気で行うことが好ましく、 例えば、 水素を約 0. 1体積％〜約10体積％含む窒素 （N2) 雰囲気下、 又は水素を約 0. 1 体積0 /0〜約 10体積％含むアルゴン （A r ) 雰囲気下で行うことが好ましレ、。 また、 高い還元作用を得る観点から、 少なくとも 2種の金属化合物の混合物に 適量の炭素を添加し、 焼成してもよく、 又は少なくとも 2種の金属化合物と適 量の炭素を混合し、 これらの混合物を焼成してもよい。 焼成は、 通常、 温度： 約 900°C〜約 1500°C、 時間：約 1時間〜約 100時間の条件下で行えば よい。
上記の混合物に、 水酸化物、 炭酸塩、 硝酸塩、 ハロゲン化物、 シユウ酸塩の ような、 高温で分解して酸化物になり得る化合物が含まれる場合、 焼成前、 混 合物を仮焼してもよい。 仮焼は、 酸化雰囲気 （例えば、 大気中） 、 還元雰囲気 、 いずれで行ってもよい。 仮焼は、 水酸化物、 炭酸塩、 硝酸塩、 ハロゲン化物 又はシユウ酸塩に含まれる結晶水を脱離させる温度又は水酸化物、 炭酸塩、 硝 酸塩、 ハロゲン化物又はシユウ酸塩が酸化物となる温度で行えばよく、 通常、 約 400°C以上、 約 900°C未満の範囲で行えばよい。 工程 （1) で得られた蛍光物質は、 粉碎又は分級してもよレ、。 粉砕は、 例え ば、 ボールミル、 振動ミル、 ロールミル、 ジェットミルを用いて行えばよレ、。 分級は、 沈降槽、 ハイ ドロサイクロン、 遠心分離機などの湿式分級機；サイク ロン、 エアセパレータ、 ターボクラシファイア一 （商品名、 ョ清製粉株式会社 製） のような乾式分級機を用いて行えばよい。 粉砕又は分級を行うことにより 、 蛍光物質の比表面積を調節することができる。 工程 （2 ) の酸洗浄は、 酢酸、 シユウ酸のような有機酸；塩酸、 硝酸、 硫酸 のような無機酸を用いて行えばよレ、。 酸としては、 好ましくは塩酸、 硝酸、 硫 酸であり、 さらに好ましくは塩酸である。 酸の水素イオン濃度は、 通常約 0 . 0 1 m o 1 / 1以上、 好ましくは約 0 . 1 m o 1 / 1以上であり、 通常約 5 m 0 1 Z 1以下、 好ましくは約 2 m o 1 1以下である。
酸洗浄は、 例えば、 前記の酸に、 工程 （1 ) で得られた蛍光物質を浸漬させ る方法で行えばよい。 具体的には、 酸を入れた容器に、 蛍光物質を加えて、 蛍 光物質を酸に浸漬させればよく、 さらに容器内を撹拌しながら保持してもよい 。 また、 湿式ボールミルに酸と蛍光物質を入れた後、 ボールミルを回転させる 方法で行ってもよい。 酸洗浄は、 通常、 温度：室温 （約 2 5 °C) 〜約 8 0 °C、 時間：約 1 0分〜約 1 0時間の条件下で行えばよい。
酸洗浄して得られた蛍光体は、 通常、 固液分離され、 乾燥される。 固液分離 は、 ろ過、 吸引ろ過、 加圧ろ過、 遠心分離、 デカンテーシヨンなどで行えばよ い。 乾燥は、 真空乾燥機、 熱風加熱乾燥機、 コニカルドライヤー、 ロータリー エバポレータなどを用いて行えばよい。 さらに、 蛍光体は、 粉砕又は分級して もよい。 真空紫外線励起発光素子
本発明の真空紫外線励起発光素子は、 上記の蛍光体を含むものであり、 通常 、 上記の蛍光体以外に電極を含む。 真空紫外線励起発光素子としては、 P D P 、 希ガスランプなどが挙げられる。
P D Pは、 背面基板、 蛍光体層、 透明電極、 バス電極、 誘電体層及び表面基 板を含む。 このような P D Pは、 例えば、 特開平 1 0— 1 9 5 4 2 8号公報に 開示されている方法で製造すればよい。 PDPの製造方法として、 例えば、 次の工程（I)〜（IV)を含む方法が挙げら れる。
(I)青色発光用、 緑色発光用及び赤色発光用の、 それぞれの蛍光体について、 蛍光体、 バインダー （セルロース系化合物、 ポリビエルアルコール） 及び 有機溶媒を混合して、 蛍光体ペース トを調製する工程、
(II)背面基板の内面の、 隔壁で仕切られ、 アドレス電極を備えたストライブ状 の基板表面と隔壁面に、 青色発光用、 緑色発光用及び赤色発光用の（I)で調 製した蛍光体ペース トを、 それぞれ （スクリーン印刷などによって） 塗布 し、 約 300°C〜約 600°Cの温度範囲で焼成し、 蛍光体層を形成するェ 程、
(III)得られた蛍光体層に、 直交する方向の透明電極およびバス電極を備え、 内面に誘電体層と保護層を設けた表面ガラス基板を重ねて接着する工程、
(IV)背面基板と表面ガラス基板に囲まれた内部を排気して減圧の希ガス （X e 、 Neなど） を封入し、 放電空間を形成する工程。
また、 希ガスランプは、 原料として上記の蛍光体を用いる以外、 公知の方法 と同様な操作により製造すればよい。 実施例
本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、 本発明はこれらの実施例に 限定されるものではない。 蛍光体の物性は、 以下の方法で測定した。 比率 R ：
XANESスぺク トルは、 高エネルギー加速器研究機構の放射光実験施設ビ 一ムライン BL— 9 Aの XAF S測定装置を用い、 以下の条件で測定した。 ·分光器： S i ( 1 1 1 ) の 2結晶分光器、
•分光器の角度較正： Cu箔の K吸収端において、 8980. 3 eVに現れる プレエッジピークを 12. 7185度とする、 •高次光除去： N iコートミラー、
•走査範囲： 6940 e V〜7040 e V (X線エネルギーとして） 、 •入射 X線強度 I。測定： N2ガスの 1 7 cmの電離箱を使用、
•透過 X線強度 I測定：混合ガス N2ZAr=85Zl 5の 31 c mの電離箱 ¾r使用、
•積算時間： 1秒 Z点、
•測定モード：透過法 輝度：
蛍光体を真空槽内に置き、 槽内を 6. 7 P a (5 X 10 2 t o r r ) 以下の 真空下に保持し、 蛍光体にエキシマ 146 nmランプ （ゥシォ電機株式会社製 H0012型） を用いて真空紫外線を照射して、 蛍光体を発光させ、 そのとき の輝度を測定した。 BET比表面積：
比表面積測定装置 （商品名 "フローソープ 112300型" 、 島津製作所製） を用いて測定した。 粒度分布：
粒度分布測定装置 （商品名 "マスターサイザ一 2000" 、 MALVERN 製） を用いて測定した。 実施例 1
炭酸カルシウム 〔Ca C〇3、 宇部マテリアルズ株式会社製、 純度： 99. 9%〕 、 炭酸ストロンチウム 〔S r C〇3、 堺化学工業株式会社製、 純度： 9 9. 9%〕 、 酸化ユーロピウム 〔Eu203、 信越越化学工業株式会社製、 純度 ： 99. 99%〕 、 塩基性炭酸マグネシウム 〔 （MgC〇3) 4Mg (OH) 2 • 5H20、 協和化学工業株式会社製、 純度： 99%以上〕 、 二酸化珪素 〔S i〇2、 日本ァエロジル工業株式会社製、 純度： 99. 9%〕 を Ca C03 ： S r CO3 ： E u203 ： Mg CO3 ： S i 02のモノレ比が 0. 92 : 0. 05 : 0
. 01 5 : 1. 0 : 2. 0となるように秤量し、 これらの原料とイソプロピル アルコールを、 湿式ボールミルを用いて、 4時間混合してスラリーを得た。 次 いで、 スラリー中のイソプロピルアルコールを、 エバポレーターを用いて除去 し、 乾燥した混合粉末を得た。 混合粉末をアルミナルツボに入れ、 次いで、 こ のアルミナルツボを焼成炉内に置き、 水素を 2体積％含む窒素雰囲気下、 12 00°C、 2時間焼成し、 その後室温まで徐冷して、 蛍光物質 1を得た。
得られた蛍光物質 1を、 ジェットミルを用いて圧搾空気の圧力： l k g/c m2の条件下で粉砕した。
粉砕された蛍光物質 1を、 水素ィオン濃度が 1 m o 1 / 1の塩酸に加えて、 スラリーを得、 このスラリーをマグネチックスターラーを用いて 3時間攪拌し た。 次いで、 スラリーを吸引ろ過により固液分離し、 次いで 100°Cで減圧乾 燥して、 蛍光体 1を得た。
この蛍光体 1は、 C a。.92 S r。 。5Eu。.。3Mg S i 206で示される化合物 であり、 比率 Rが 78%、 BET比表面積が 3. 97m2/g、 平均粒径が 1 . 69 であった。 蛍光体 1は、 真空紫外線を照射したとき、 青色に発光し た。 蛍光体 1の輝度は、 （酸洗浄していない） 蛍光物質 1の輝度 100に対し て、 1 18であった。 実施例 2
炭酸カルシウム 〔C a C03、 宇部マテリアルズ株式会社製、 純度： 99. 9%〕 、 炭酸ス トロンチウム 〔S r C〇3、 堺化学工業株式会社製、 純度： 9 9.9%) 、 酸化ユーロピウム 〔Eu2O3、 信越越化学工業株式会社製、 純度 ： 99. 99%〕 、 塩基性炭酸マグネシウム 〔 （Mg C03) 4Mg (OH) 2
• 5H20、 協和化学工業株式会社製、 純度： 99%以上〕 、 二酸化珪素 〔S i 02、 日本ァエロジル工業株式会社製、 純度： 99. 9%〕 を C a C〇3 ： S r C03 ： E u203 ： Mg C03 ： S i 02のモル比が 0. 78 : 0. 2 : 0. 01 : 1. 0 : 2. 0となるように秤量した以外は、 実施例 1と同じ操作を行 つて、 蛍光物質 2及ぴ蛍光体 2を得た。
得られた蛍光体 2は、 C a0.78 S r0.2Eu。，。2Mg S i2〇6で示される化 合物であり、 比率尺が 99 %、 B E T比表面積が 2. 75 m2 / g , 平均粒径 が 2. 33 μΐηであった。 蛍光体 2は、 真空紫外線を照射したとき、 青色に発 光した。 蛍光体 2の輝度は、 蛍光物質 1の輝度 100に対して、 122であつ た。 （酸洗浄していない） 蛍光物質 2の輝度は、 蛍光物質 1の輝度 100に対 して 1 12であった。 比較例 1
塩酸に換えて、 水素イオン濃度が 10— 7mo 1ノ 1 (pH=7) の水を用い た以外は、 実施例 1と同じ操作を行って、 蛍光体 3を得た。 得られた蛍光体 3 は、 比率 Rが 37%であり、 その輝度は 100であった。

Claims

請 求 の 範 囲
1. S i及び Geからなる群より選ばれる少なくとも 1つ、 及び付活剤として Euを含有し、 かつ、 X線吸収端近傍構造スペク トルを 1階微分して得られる パターンについて、 Eu2+に由来するピークの振幅 aと Eu3+に由来するピー クの振幅 bから次式 （1) により算出される比率 Rが 40%以上である蛍光体
Figure imgf000013_0001
2. 比率 Rは 60%以上である請求項 1記載の蛍光体。
3. 比率 Rは 80%以上である請求項 2記載の蛍光体。
4. 蛍光体は、 さらに、 C a、 S r及び B aからなる群より選ばれる少なくと も 1つ、 かつ、 Mg及び Z nからなる群より選ばれる少なくとも 1つを含有す る請求項 1記載の蛍光体。
5. 蛍光体は、 付活剤として Euを含有する式 （2) で示される化合物である 請求項 1記載の蛍光体。
mM1 O · nM2 O · 2M302 (2)
〔式 （2) 中、 M1は Ca、 S r及び B aからなる群より選ばれる少なくとも
M2は Mg及び Z nからなる群より選ばれる少なくとも 1つ、
M3は S i及び Geからなる群より選ばれる少なくとも 1つ、 mは 0. 5以上、 3. 5以下、
nは 0. 5以上、 2. 5以下である。 ]
6. 請求項 1〜 5のいずれかの蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子。
7. 請求項 1〜 5のいずれかの蛍光体の真空紫外線励起発光素子への使用。
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