WO2000047403A1 - Minces films organiques, procede de production de ceux-ci et equipement prevu a cet effet; couches d'alignement pour cristaux liquides, procede de production de ceux-ci et equipement prevu a cet effet;et ecrans d'affichage a cristaux liquides fabriques a l'aide de ces couches d'alignement et procede de production de ceux-c - Google Patents

Description

明 細

有機薄膜、 そ の製造方 法及びそ の製造装置 と 、 液晶配 向膜、 そ の製造 方 法及びそ の製造装置 と 、 液晶配 向膜 を 用 い た液晶表示装置及びそ の 製造 方 法

技 技

野

本発明 は、 ガ ラ ス や セ ラ ミ ッ ク ス 等の基材表面 に形成す る 有機薄 膜、 そ の製造方 法及びそ の製造装置 に 関す る も の で あ る 。 又、 液 晶 に対す る 配向能 を 備 え た液晶配 向膜、 そ の製造方法及びそ の製造装 置 と.、' 該液晶配 向膜を 備 え た液晶表示装置及びそ の製造方法 と に 関 す る も の で あ る 。

背

従来 よ り 有機薄膜を 製造 す る 方 法 と して は、 例 え ば ク ロ ロ シ ラ ン 系界面活性剤等 を 基材表面 に化学吸着 さ せ る 方法が知 ら れて い る 。 こ の方法の 詳細 に つ い て は、 例 え ば特開平 3 — 7 9 1 3 号公報、 特 開平 3 — 2 3 0 1 5 6 号公報、 特開平 4 一 3 3 0 9 2 5 号公報、 日 本国特許第 2 , 0 2 8 , 6 6 2 号、 第 2 , 5 9 8 , 8 6 7 号及び第 2 , 6 3 8 , 4 4 6 号等 に 開示 さ れて い る 。 上記公報 に 記載 さ れて い る 方法で は、 膜形成分子 を 基材表面上 に 吸着 固定 さ せ た 後、 未吸着分子 を 除去 す る 洗浄工程 を 行 っ て い る が 、 こ の 洗浄工程 に 於 け る 洗浄の程度 を 適正 に 行 う こ と に よ り 超薄膜 で あ る 単分子膜 を 形成す る こ と が 可能 と な る 。

そ し て こ の よ う な 洗浄 に は従来 よ り 、 上 記 し た 何 れ の 公報 に 記載 さ れ た 洗浄工程 に お い て も 、 そ の 洗浄剤 に ク 口 口 ホ ル ム が使用 さ れ て レ、 る 。 そ の 理 由 は 、 ク ロ 口 ホ ル ム が以下 に 述べ る 、 2 つ の 大 き な 特徴 を 有 し て い る か ら で あ る 。 即 ち 、

1 . 有機化合物 に 対す る 溶解能が大 き い 。

2 . 沸点が 6 1 °C と 低い の で 、 蒸発 さ せ る こ と に よ り 簡単 に 除去で き る 。

し か し な が ら 、 上記 ク ロ 口 ホ ル ム は毒性が高い こ と で 知 ら れて い る 。 又、 オ ゾ ン層 を 破壊す る 原 因 と し て も 知 ら れて お り 、 環境負 荷 の非常 に 大 き な 物質で あ る 。

■ 他方、 例 え ば特開平 6 — 4 5 1 4 2 号公報、 特閧 平 6 — 1 8 7 6 9 2 号公報、 特開平 6 — 3 1 2 4 7 7 号公報等で は 、 ク ロ 口 ホ ル ム の代替洗浄剤 と して 、 エーテ ル類、 ラ ク ト ン 類、 エ ス テ ル類、 ニ ト リ ル類、 ア ミ ド 類等 が開示 さ れて い る が、 こ れ ら の 洗浄剤で は洗浄 力 の点で疑問 が残 る 。 実際 に お い て も こ れ ら の代替洗浄剤 は使用 さ れて お ら ず、 洗浄剤 と し て 優れて い な か っ た 。

以上の こ と か ら 、 環境に 対す る 負荷がな く 、 塩素 系 溶剤 と 同等 の 洗浄力 を 有 す る 代替洗浄剤 を 用 い た有機薄膜の製造 プ ロ セ ス の確立 が嘱望 さ れて い る 。

発 明 の 開 示 一群の本発 明 は 、 こ の よ う な 従来技術の 課題 を解決 すべ く な さ れ た も の で あ り 、 そ の第 1 の 的 は 、 塩素 系溶剤 以外の 洗浄剤 に て 除 去 す る 除去工程 を 含む 有機簿膜の 製造 方 法 と 、 こ の 方法 に よ り 成膜 さ れ た 有機薄膜 と 、 こ の 方 法 に 於 い て 使用 す る 製造装置 と を 提供 す る こ と に あ る 。

又、 一群の 本発 明 は、 こ の よ う な従来技術の課題 を 解決すベ く な さ れた も の で あ り 、 そ の第 2 の 目 的 は 、 塩素系溶剤 以外の洗浄剤 に て 除去 す る 除去工程 を 含む液晶配 向膜の 製造方法 と 、 こ の 方法 に よ り 成膜 さ れ た 液晶配向膜 と 、 こ の 方法 に於い て 使用 す る 製造装置 と を 提供 す る こ と に あ る 。

更 に 、 第 3 の 目 的 は、 前記液晶 配 向膜 を 備 え た 液晶表示装置 と 、 そ の製造方 法 と を 提供 す る こ と に あ る 。

[有機簿膜、 そ の製造 方 法及びそ の製造装置 ] 本願発明者等は 、 上記従来 の 問題点 を 解決すべ く 、 有機薄膜の 製 造方法 に つ い て 鋭意検討 し た 。 そ の 結果、 基材表面 に 分子群が結合 さ れて な る 有機薄膜 に 対 し て 、 ケ ト ン 類、 アル キ レ ン グ リ コ ー ル類 又はア ル コ キ シ ア ル コ ール類 を 含 む洗浄剤 にて 洗浄等 す る と 、 上記 基材に結合 さ れな い上記分子 を 除去す る こ と がで き 、 塩素系溶剤 の 洗浄剤 に て 洗浄 し た 場合 と 同様の効果 を 有 す る こ と を 見出 して 、 本 発明 を 完成す る に 至 っ た。

( 1 ) 有機薄膜

上記の課題 を 解決す る 為 に 、 本発 明 に係 る 有機薄膜は、 基材上 に 結合さ れた 分子群か ら な る 有機薄膜で あ っ て 、 上記有機薄膜は、 活 性水素 を 備 え た 官能基 に対 し て 反応性 を 示 す官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に接触 さ せて 結合 さ せ た 後、 上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子群 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル 類及 びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む洗净 剤 で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 。

上記構成の 有機簿膜は 、 一端 が基材面 に 結合 し 、 他端が基材面 か ら 離れ る 方 向 に 突 出 し た状態で 基材面 に 沿 っ て 配列 し た 分子群か ら な る 。 そ し て 、 上記洗浄剤 に よ り 、 基材 に 結合 さ れ な い 分子 （ 以下、 未固定分子 と 称 す る こ と も あ る ） が除去 さ れて な る 有機薄膜は 、 分 子群が基材面 に 乱 れ た状態 と な る こ と な く 、 均一 な 膜構造 と す る こ と がで き る 。

又、 上記活性水素 を 備 え た 官能基に 対 し て 反応性 を 示す官能基は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 と す る こ と がで き る 。

-AX 、 -AX2 及び 一 AX3 ■ · · <!>

(式 中、 A は ケ ィ 素 、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

尚、 上記 「基材上 に 」 と は、 上記分子群が基材表面 に 直接 固定 さ れ る 場合 に限定 さ れ る も の で は な く 、 他の物質層 を 介 し て 固定 さ れ る 場合 も 含む意味で あ る 。

( 2 ) 有機薄膜の製造方 法

上記の課題 を解決す る 為 に 、 本発明 に 係 る 有機簿膜の製造方 法 は 、 活性水素 を 有 す る 官能基に 対 し て 反応性 を 示す 官能基を 備 え た 分 子群 を 基材 に 接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材上 に 結合 さ せて 、 該 分 子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、 上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール 類 か ら な る 群 よ り 選 ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄 剤 で 除去 す る 除去工程 と 、 を 含 む こ と を 特徴 と す る 。

上記分子 は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る も の と す る こ と がで き る 。

-AX 、 -AX2 及び · · ' (!)

( 式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の 原子 を 表 し、 X は ノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ 基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

上記被膜形成工程に て 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基を 有 す る 分子群 を 、 基材表面 に 固定さ せて 被 膜を 形成す る と 、 該被膜の表面 に は基材 に 結合 さ れな い 分子 （未 固 定分子） が残存 す る 。 こ の未 固定分子 は、 除去工程 に て ケ ト ン類、 アル キ レ ン グ リ コ 一ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 を 含む 洗浄剤 を 用 い る こ と に よ り 、 容易 に除去す る こ と がで き る 。 こ れは 、 ケ ト ン類等 が未固定分子 に対 す る 溶解能 に優れて い る こ と に よ る 。 こ れ に よ り 、 基材表面 に は少 な く と も 該基材に 固定 し た上記分子群か ら な る 有機簿膜が形成 さ れ、 —様な膜厚 を 有 す る 有機薄膜の製造が可能 と な る 。

上記ケ ト ン類 と し て は、 ア セ ト ン 、 メ チ ル ェ チ ル ケ ト ン、 ジ ェ チ ル ケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ プチ ル ケ ト ン及びァ セ チ ル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種 の 化合物 を 使用 で き る 。 こ れ ら の 化合物群は 、 前記 一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種 の 官能 S を 有 す る 分子群 に 対 す る 溶解能 に優れて い る 従 っ て 、洗浄 力 に 優れ た 上記化合物群 を 用 い た 上記の 方 法 に よ れば 、 上記分子の種類 や洗浄条件等 を 勘案 し て 、 最適 な ケ ト ン 類 を 必要 に 応 じ て 選択 す る こ と に よ り 、 未 固定分子 を 除去 し た膜厚 の均一 な 有 機薄膜 を 形成す る こ と がで き る 。

又、 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 と し て ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル を 用 い る こ と がで き る 。

上記ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル は 、 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官 能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る 化合物 に 対す る 溶解能 に 優れて い る 。 従 っ て 、 洗浄力 に 優れて い る ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル を 用 い た 上記の 方法 に よ れば、 未 固定分子 の除去が一層容易 に な り 、 該未固定分子 を 除去 し た 有機薄膜を形成す る こ と がで き る 。

更 に、 上記ポ リ ^チ レ ン グ リ コ ールの 分子量は 1 0 0 以上、 3 0 0 以下の範囲 内 と す る こ と がで き る 。

こ れ に よ り 、 低分子量の ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ール を 洗浄剤成分 と して使用 す る の で 、 粘性が小 さ く 取 り 扱い性 に優れた 洗浄剤 と す る こ と がで き る 。

又、 上記洗浄剤 と し て 、 塩素 系 溶剤 を 含 ま な い も の を 使用 す る こ と がで き る 。

上記の様に 、 除去工程 に お い て 、 ケ ト ン 類、 アル キ レ ン グ リ コ ー ル類及びアル コ キ シ ア ル コ ール類 か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種を含む洗浄剤 で あ っ て 、 塩素系溶剤 が含 ま れな い洗浄剤 を 使 用 す る と 、 環境 に 対 す る 負荷 を 抑 制す る こ と がで き る 。 し か も 、 こ の洗浄剤は、 従来 の 塩素系 溶剤 か ら な る 洗浄剤 と 比較 し て 同程度 の 洗浄作用 を 被洗浄物、 即 ち 未 固定分子 に 対 し て 発揮す る ので 、 均 一 な膜厚 を 有 す る 有 機薄膜の形成が 可能で あ る 。 よ っ て 、 塩素 系 溶剤 を 使用 し な く と も 一様 な膜厚 を 有 す る 有機薄膜 を 形成 す る こ と が で き 、 環境 に 対 す る 負 荷 を 抑制 し た 有機簿膜の 製造 プ ロ セ ス を 提供 す る こ と がで き る 。

更 に 、 上記除去工程 の後 に 、 上記基材 に付着 し た 上記洗浄剤 を 除 去 す る 洗浄剤 除去工程 を 行 う こ と がで き る 。

こ れ に よ り 、 形成 さ れた 有機薄膜に 洗浄剤 が残留 す る こ と に よ つ て膜の 品質 に 悪影響 が及ぶの を 防止す る こ と がで き る 。 特 に 、 撥水 作 用 や親水性等 の機能 を 有 し た機能膜 と し て 形成す る 場合 に 、 上記 洗浄剤 除去工程 を 行 え ば、 種 々 の機能の 劣化 を 防止で き る 。

上記洗浄剤 除去工程は、 上記基材に付 着 し た 上記洗浄剤 を水で 洗 い流す リ ン ス 工程 と 、 上記基材 に付着 し た 上記水 を 乾燥 さ せ る 乾燥 工程 と を 有 し て い て も よ い。

上記方法で あ る と 、 基材表面 に形成 さ れ た 被膜 に付着 し て い る 上 記洗浄剤 を 水 に よ り 洗浄 し て 除去 す る こ と がで き る 。 こ の結果、 例 え ば分子が A X 基 を 備 え て い る 場合に は 、 該被膜 に残存 し て い る A X基 と 水 と の 間 で縮合反応が引 き起 こ さ れ、 被膜 を 構成す る 分子 に ヒ ド ロ キ シ ル基 を 導入す る こ と がで き る 。 更 に 、 乾燥工程 に て 基材 を乾燥 さ せ る こ と に よ り 、 該基材 に付着 し た 水 を 除去す る こ と が で き る 。 一方で 、 こ の 乾燥工程 を 行 う こ と に よ り 、 基材表面 に結合 し た分子間で脱水反応 を 促進 さ せ る 面 も あ り 、 こ の 結果架橋構造 と す る こ と がで き 、 耐摩耗性ゃ耐擦傷性等 に優れ た 有機薄膜 を 製造す る こ と がで き る 。

上記基材 と し て 、 そ の表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基が存在 す る も の を使用 す る こ と がで き る 。

上記の 方法 に よ れば、 分子が前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 場合 に 、 こ の 官能基 と 、 基材 表 面 に於 け る 活性水素 を 有 す る 官能基 と の 間 で 、 H X 分子 が脱離 し て 縮合反応 を 引 き 起 こ す こ と がで き る 。 こ れ に よ り 、 該 一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子 を 基材表面 に 結合 さ せ る こ と がで き る 。

更 に 、 上記被膜形成工程及び除去工程は 、 乾燥雰 囲気 中 で 行 う こ と がで き る 。

上記被膜形成工程 を 乾燥雰 囲気 中 に て 行 う こ と に よ り 、 基材表 面 に は 単分子膜 を 形成 し 、 更 に こ の 単分子膜の 上 に 単分子膜状の分子 層 が何層 に も 累積 し た 累積膜が形成 さ れ る 。 こ れは乾燥雰囲気 中 で あ る 為 に 、 雰 囲気中 の水分 と 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 と が反応 し て 架橋 す る こ と を 防 ぐ こ と に よ る 。 こ の よ う に し て 形成 さ れた 被膜 に 対 し て 、 除去工程 も 乾燥雰 囲気 中 で 行 う の で 、 上記累積 膜の全て 、 或い は該累積膜の う ち 何層 かの 分子層 を 容易 に除去す る こ と がで き る 。 こ れは、 除去工程 に於い て も や は り 乾燥雰囲気 中 で 行 う 為 に、 累積膜を形成す る 分子 に於け る 前記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基 と 雰 囲気 中 の水分 と の 間で 、 H X 分子の脱離 に よ る 縮合 反応が起 こ る の を 防 ぐ こ と がで き る か ら で あ る 。 よ っ て 、 基材表 面 に 固定 して い る 分子や固定 さ れて い な い 分子が架橋 す る こ と を 防 ぐ こ と がで き 、 単分子膜状又は 単 分子膜状の 分子層 が複数累積 し た 有 機簿膜を形成す る こ と がで き る 。

上記基材の表面 に 、 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 1 種の 官能基 を 有す る 分子群 を 、 単分子膜状 と な る よ う に 固 定 さ せた、 そ の よ う な 有機薄膜 を 形成 す る こ と がで き る 。

上記の 方法 に よ れば、 単分子膜状の 有機薄膜 を 形成す る こ と で き る ので 、 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子の 分子設 計を 制御 す る こ と に よ り 、 分子 レ ベル で の膜厚 の 制御 が容易 に 可能 と な る 。 こ の 結 果、 非 常 に 薄 い 有機薄膜 を 所望の膜厚 で 製造 す る こ と がで き る 。

( 3 ) 有機薄膜 の製造装置

上記の課題 を 解決 す る 為 に 、 本発 明 に 係 る 有機薄膜 の製造装置 は 、 活性水素 を 有 す る 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す官能基 を 備 え た 分 子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表面 に 結合 さ せて 、 該分 子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成手段 と 、 上記基材 に 結合 さ れ な い上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ アル コ 一ル類 か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 を 含む洗浄 剤で除去す る 除去手段 と 、 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 。

上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の官能基 を 有 す る も の と す る こ と がで き る 。

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-AX 、 -AX2 及び — A 3 ■ * * <i>

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 して い る 。）

[液晶配向膜、 そ の製造方法及びそ の製造装置 ] ( 1 ) 液晶配向膜

上記の課題 を 解決す る 為 に 、 本発明 に係 る 液晶配 向膜は 、 基板上 に結合 さ れた 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜で あ っ て 、 上記液晶配 向膜は 、 活性水素 を 備 え た 官能基 に対 し て反応性 を 示 す 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た 後、 上記基板 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類 、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類及び ア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 か ら な る 群 よ り 選 ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 。

上記構成の液 晶 配向膜は、 一端 が基板側 に 結合 し 、 他端が基板か ら 離れ る 方 向 に 突 出 し た状態で 基板面 に 沿 っ て 配列 し た 分子群か ら な る 。 そ し て 、 上記洗浄剤 を 用 い て 洗浄 さ れ た 薄膜で あ る の で 、 基 板 に 結合 さ れな い未 固定分子が除去 さ れ均一 な膜厚 を 有 し て い る 。

又、 従来、 塩素 系溶剤 か ら な る 洗浄剤 （塩素系 洗浄剤 ） に て 分子 群が 固定 し た 基板 を 洗浄す る と 、 こ れ ら の 分子群は 乱 れ た状態で 固 定 し た膜構造 と な る 場合があ っ た 。 こ れ に 対 して 、 上記構成で あ る と 、 液晶配向膜は、 塩素系溶剤 か ら な る 洗浄剤 で 洗浄 さ れた 薄膜で は な い の で 、 分子群が基板面 に乱れた状態で 固定 し た膜構造 と な る の が防止 さ れ、 分子群が均一 に 配列 し整 っ た膜構造 の 有機薄膜 と す る こ と がで き る 。

こ こ で 、 上記構成の液晶配向膜が単分子膜で あ る 場合、 近傍の液 晶分子は膜構成分子 と の相互作用 に よ り 、 基板 に 対 し あ る 傾 き 及び /又は配向 方位 に規制 さ れ る 。

従っ て 、 上述の よ う に 、 個 々 の 分子が均一 に 配列 し た整 っ た膜構 造で あ る と 優れ た 配 向能 を 有 し、 具体的 に は配列状態 を 乱す こ と な く 液晶分子 を 配向 さ せ る こ と が可能 と な る 。

尚、 上記 「基板上 に 」 と は、 分子が基板表面 に 直接結合 さ れ る 場 合に限定 さ れ る も の で は な く 、 電極等 の他の物質層 を 介 し て 結合 さ れる場合 も 含む意味で あ る 。

又、 上記活性水素 を 備 え た 官能基に 対 し て 反応性 を 示 す官能基は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 と す る こ と が で き る 。

-AX 、 -AX2 及び 一 A 3 · ■ * !)

( 式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 2 ) 液晶配 向膜の製造方法

上記の課題 を 解決す る 為 に 、 本 発明 に 係 る 液晶配 向膜の製造方 法 は 、 活性水素 を 有 す る 官能基 に 対 して 反応性 を 示 す官能基 を 備 え た 分子群 を 基材 に接触さ せ る こ と に よ り 、 該基材上 に結合 さ せて 、 該 分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成工程 と 、 上記基材 に結合 さ れな い上記分子 を 、. ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少な く と も 一種 を含む 洗 浄剤で 除去す る 除去工程 と 、 を 含む こ と を 特徴 と す る 。

上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る も の と す る こ と がで き る 。

-AX 、 -AX2 及び 一 A 3 ' * <1>

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

上記被膜形成工程 に て 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 基板表面 に 固定 さ せ て 被 膜 を形成す る と 、 該 被膜の 表 面 に は、 未固定分子 が残存 す る 。 ケ ト ン類等は こ の 未 固定分子 に 対 し て 優れ た 溶解能 を 発揮 す る 為、 上 記 洗浄剤 を 用 い て 洗浄 す る こ と に よ り 、容易 に 除去 す る こ と がで き る 。 よ っ て 、 基板表面 に は 少 な く と も 該基板 に 固定 し た 上記分子群か ら な る 液晶配向膜 を 環境 に 対す る 負荷 を抑 制 し つ つ形成す る こ と が で き る 。 更 に 、 上記方法 に よ り 形成 さ れ る 液晶配向膜は 、 均一な膜厚 を 有 し、 かつ 分子群が乱れ る こ と な く 固定 し て 均一 な 膜構造 と す る こ と がで き る 。

( 3 ) 液晶配 向膜の製造装置

上記の課題 を 解決 す る 為 に 、 本発明 に係 る 液晶配向膜の製造装置 は、 活性水素 を 有 す る 官能基 に 対 して 反応性 を 示 す官能基 を 備 え た 分子群を 基板に接触 さ せ る こ と に よ り 該基板表面 に 結合 さ せて 、 該 分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成手段 と 、 上記基材 に結合 さ れな い上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類及びア ル コ キ シ アル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 を含む洗 浄剤で 除去す る 除去手段 と 、 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 。

上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る

1 種の官能基を 有 す る も の と す る こ と がで き る 。

\ I

-AX 、 -AX2 及び -AX¾ … ω (式中、 Α は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ムか ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種の 原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。） [液 晶 表示装 置及 びそ の製造方 法 ]

( 1 ) 液晶表 示 装置

上記の課題 を 解決 す る 為 に 、 本発明 に係 る 液晶 表 示装置は、 基板 上 に液晶分子 を 所定 の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配 向膜 を 備 え た 液 晶 表 示装置で あ っ て 、 上記液晶配 向膜は、 活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す 官能基を 有 す る 分子群が、 上記基板上 に 結合 さ れ て な る 薄膜で あ り 、 かつ 、 上記分子か ら な る 群 を 上記基板 に接触 さ せ て 結合 さ せ た 後、 該基板 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 。

上記構成の液晶 表示装置が有 して い る 液晶配向膜は 、 上記洗浄剤 を 用 い て 洗浄 さ れた 薄膜で あ る の で、 基板 に 結合 さ れ な い分子は 除 去 さ れ、 均一 な膜厚 を 有 して い る 。 又、 上記液晶配向膜は、 従来の 塩素系溶剤 か ら な る 洗浄剤 で 洗浄 さ れ た 薄膜で は な い の で 、 分子群 が均一 に配列 し 整 っ た膜構造 を 有 し て い る 。 よ っ て 、 配列状態 を 乱 す こ と な く 液晶分子 を 配向 さ せ る こ と が可能で あ る 。 即 ち 、 上記の 様な液晶配向膜 を 具備 さ せ る こ と に よ り 、 上記構成の 液晶表示装置 は、 液晶の配向欠陥等が視認 さ れず表示品位 に優 れ た も の と す る こ と がで き る 。

( 2 ) 液晶表示装置 の製造方法

上記の課題 を解決す る 為に 、 本発明 に係 る 液晶 表示装置の製造方 法は、 基板上 に 結合 さ れた分子群か ら な り 、 液晶 分子 を 特定の 方 向 に配向 さ せ る 液晶配向膜 を 備 え た液晶表示装置 の製造方法で あ っ て 、 上記基板 に 、 活性水素 を 有 す る 官能基に 対 し て 反応性 を 示 す官能 基 を 備 え た分子群 を 接触 さ せ、 該基板表面 に 結合 さ せ て 、 該分子群 か ら な る 被膜 を 形成 す る 被膜形成工程 と 、 上 記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一 ル類及びア ル コ キ シ ァ ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去 工程 と 、 を 含む こ と を 特徴 と す る 。

上記の 方法 に よ れば、 膜厚 が均 一 で 配向能 に 優れ た 液晶配向膜 を 備 え た 液晶表示 装置 を 製造す る こ と がで き る 。 即 ち 、 塩素系洗浄剤 の代替洗浄剤 と し て 上記洗浄剤 を 使用 す る こ と に よ り 、 環境 に 対 す る 負荷 を 抑制 し つ つ 、 表示品位 に優れ た 液晶表示装置の製造が可能 と な る 。 本発明の さ ら に他の 目 的、 特徴、 及び優れ た 点は、 以下 に 示 す記 載 に よ っ て 充分理解 さ れ る で あ ろ う 。 又、 本発明 の利点は、 添付 図 面 を参照 し た 次 の説明で 明 白 に な る で あ ろ う 。

図 面 の 簡 単 な 説 明 図 1 は、 本発 明 の実施の形態 に 係 る 有機薄膜の製造工程 を 示 す フ 口 一チ ャ ー ト で あ る 。

図 2 は、 上記有機薄膜の製造工程 に於い て 、 洗浄剤除去工程 に 係 る 第 1 洗浄剤除去方法 を 説明 す る 為の フ ロ ーチ ヤ 一 ト で あ る 。

図 3 は、 上記有機薄膜の製造工程 に於いて 、 洗浄剤除去工程 に 係 る 第 2 洗浄剤除去方法 を 説明 す る 為の フ ロ ーチ ャ ー ト で あ る 。

図 4 は、 上記有機薄膜が基材 に 吸着 し た状態 を模式的 に 示 す要部 拡大図で あ る 。

図 5 は、 上記有機薄膜が基材 に 吸着 し た状態 を模式的 に 示 す 断面 図 で あ っ て 、 図 5 ( a ) は吸着分子 が層状 に 吸着 し た 状態 を 示 す 図 で あ り 、 図 5 ( b ) は 吸着分子 が絡み合い な が ら 基材 に 吸着 し た 状 態 を 示 す 図 で あ る 。

図 6 は、 上記有機薄膜が基材 に 吸着 し た 状態 を 模式 的 に 示 す要部 拡大図 で あ っ て 、 図 6 ( a ) は吸着分子 に ヒ ド ロ キ シ ル基が導入 さ れた状態 を 示 す 図 で あ り 、 図 6 ( b ) は吸着分子 が架橋 し た状態 を 示 す図 で あ る 。

図 7 は、 本発明 に 係 る 有機薄膜の製造装置 を模式 的 に 示 し た 説明 図で あ っ て 、 図 7 ( a ) は被膜形成手段 と 除去手段が密閉系で あ る 場合 を 示 し 、 図 7 ( b ) は独立系 で あ る 場合を 示 し 、 図 7 ( c ) は 洗浄剤 除去手段 を 模式的 に 示 して い る 。

図 8 は、 本発 明 に係 る 除去手段 を模式的 に 示 し た 斜視図で あ っ て 、 図 8 ( a ) はバ ッ チ処理式 の場合を 示 し 、 図 8 ( b ) は流れ処理 式の.場合 を 示す。 .

図 9 は、 本発 明 に係 る 液晶表示装置 を 示 す断面 図で あ る 。

図 1 0 は、 本発 明 の 実施例 1 一 1 に係 る 単分子膜 を模式的 に 示 す 要部拡大図で あ る 。

図 1 1 は、 上記実施例 1 一 1 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 1 2 は、 比較例 1 一 1 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 1 3 は、 本発明 の 実施例 1 一 3 に係 る 単分子膜 を模式的 に 示 す 要部拡大図で あ る 。

図 1 4 は、 上記実施例 1 一 3 に 係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 1 5 は、 比較例 1 一 2 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル 図 で あ る 。

図 1 6 は 、 比較例 1 一 4 に係 る 単 分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル 図 で あ る 。

図 1 7 は 、 比較例 1 一 5 に 係 る 単 分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル 図 で あ る 。

図 1 8 は、 本発明 の実施例 2 — 1 に 係 る 単分子膜を 模式的 に 示 す 要部拡大図 で あ る 。

図 1 9 は、 上記実施例 2 — 1 に 係 る 単分子膜の F T — I Rの ス ぺ ク ト ル図 で あ る 。

図 2 0 は 、 比較例 2 — 1 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 2 1 は、 本発明 の実施例 2 — 2 に 係 る 単分子膜 を模式 的 に 示 す 要部拡大図 で あ る 。

■ 図 2 2 は、 上記実施例 2 — 2 に 係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 2 3 は、 比較例 2 — 2 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 2 4 は、 本発明の実施例 2 — 3 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺク ト ル図で あ る 。

図 2 5 は、 比較例 2 — 3 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

図 2 6 は、 比較例 2 — 4 に係 る 単分子膜の F T — I R の ス ぺ ク ト ル図で あ る 。

発明 を 実施す る た めの最良の形態 [有 機 薄膜 ]

本発 明 の 実施の形態 に つ い て 、 図 1 な い し 図 8 に 基づ い て 説明 す れば以下 の 通 り で あ る 。 但 し 、 説明 に 不要 な 部分は省略 し 、 又、 説 明 を 容易 に す る 為 に拡大或い は縮 小等 して 図 示 し た 部分があ る 。 以 上の こ と は 以下 の 図 面 に 対 し て も 同様で あ る 。

本発明 に係 る 有機薄膜の製造 方 法は 、 活性水素 を 有 す る 官能基 に 対 して 反応性 を 示 す官能基 を 備 え た分子群 を基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表 面 に 固定 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜 を形成す る 被膜形成工程 と 、 上記基材 に 固定 し な い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ァ ルキ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と を 含む 点に特徴があ る 。

■ こ こ で、 上記分子 は、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子 と す る こ と がで き る 。

-AX 、 -AX2 及び 一 AX3 ■ · ' <!)

I

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の官能基を 表 し て い る 。）

又、 上記ハ ロ ゲ ン と は、 F 、 C 1 、 B r 又は I 等が挙げ ら れ る が 、 基材 と の反応性の観点か ら C 1 が好 ま し い 。

上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子 と して は、 以下 に列挙す る 官能基が該 一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 と 連結 し て 構 成 さ れ る 。

( a ) メ チ ル 基、 ェ チ ル基、 n— プ ロ ピル基、 n— ブチ リレ基、 n— ぺ ン チル基、 n— へ キ シ ル基、 n— へ プチ ル基、 n — ォ ク チ ル基、 n— ノ ニ ル基、 n— デ シ ル基、 n— ゥ ン デ シル基、 n — ド デ シ ル基、 n— 卜 リ デ シ ル基、 n— テ ト ラ デ シ ル基、 n— ペ ン タ デ シ ル基、 n— へ キ サデ シ ル基、 n— ヘ プ 夕 デ シ ル基、 n— 才 ク タ デ シ ル基、 n— ノ ナ デ シ ル基、 n— エ イ コ シ ル基、 フ ヱ ニル基等の炭化水素基。

( b ) 上記 （ a ) の炭化水素基の 一部 に炭素 一 炭素二重結合若 し く は炭素 一 炭素三重結合を 含む炭化水素基。

( c ) 上記 （ a ) 及び （ b ) の炭化水素基 に於 け る 水素 が他の 官 能基 （例 え ば、 メ チ ル基、 ノ、 ロ ゲ ン化 メ チル基、 水酸基、 シ ァ ノ 基 、 ア ミ ノ 基、 ィ ミ ノ 基、 力 ルポ キ シル基、 エ ス テ ル基、 チ オ ール基 、 アルデ ヒ ド 基等 ） 及び /又は原子 （例 え ば、 F 、 C 1 、 B r 、 I 等） に 置換 さ れ た 官能基。

( d ) 上記 （ a ) 及び （ b ) の炭化水素基 に 於 け る C 一 C 結合の 一部が C — 0 — C (ェ一テ ル） 結合、 C 一 C O — C 一 （ カ ルポニ ル ) 結合又は C = N 結合 に置換 さ れた官能基。

尚、 本発明 に於い て 、 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 と 連結す る 官能基 と し て は、 上記 し た も の に限定 さ れ る こ と は な い。

以下 に、 本発明 に係 る 有機薄膜の製造方法 に つ い て 、 図 1 を参照 し な が ら 詳述 す る 。 先ず、 非水系有機溶媒 に 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子 （ 以下、 単 に 吸着分子又は分子 と 称す る こ と も あ る 。） 群が溶解 し た 吸着溶液 を 作製す る （吸着溶液作製工程

、 S 1 )。 こ の 吸着溶液の作製 に 際 し て は、 相 対湿度が 3 5 %以下 の 範囲内 に な る よ う な 乾燥雰囲気、 例 え ば乾燥空気、 乾燥窒素 又は 乾 燥ヘ リ ゥ ム 中 で 行 わ れ る の が好 ま し い 。 次 に 、 上 記吸着溶液作製工程 に て 作製 し た 吸着溶液 を 、 予め よ く 洗浄 す る こ と に よ り 脱脂 し た 基材 1 に 接触 さ せ る と （被膜形成工程 、 S 2 )、 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子群が該基

XAXII

材 1 表面 に 化 X学吸着 し て 固定 さ れ る （ 図 4 参照 ）。 よ り 詳細 に は、 前 記一.般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子 と 、 上記基材表面 に 存在 す る 活性水素 を 有 oす る 官能基 と の 間で縮合反応が起 こ る 。 例 え ば、 吸着分子 が — A X ₃ 基を 有 す る 分子 で あ り 、 活性水素 を 有 す る 官能基が ヒ ド ロ キ シ ル基で あ る 場合、 下記化学反応式 （ 2 ) に 示 す 反応が起 こ る 。

X

基材 一 A— O— 材

X

+HX ' · ' (2) (式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し て お り 、 X はノ、 ロ ゲ ン 、 アル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 して い る o )

こ の縮合反応の結果、 H X が脱離 し て 前記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基を 有 す る 分子群が基材 1 表面 に吸着す る 。 尚、 上記脱脂は 、 吸着溶液の基材 1 表面 に対す る 付着性能 を 向上 さ せ る 為 に行 う も の で あ り 、 そ の他 に も 従来公知の 方法 に て 表面処理 を 行 っ て も よ い 。

こ こ で 、 上記被膜形成工程 を 通常の 湿度の雰囲気中 （即 ち 、 大気 中 ） で 行 う と 、 図 5 ( a ) に 示 す よ う な 薄膜 3 が基材 1 表面 に形成 さ れ る 。 よ り 詳細 に は、 基材 1 表面 に 吸着 し た 吸着分子 と 、 該基材 1 に吸着 し な い未吸着分子 と が結合 し 、 更 に こ の 未吸着分子 に他の 未吸着分子 が結合 す る 等 し て 鎖が形成 さ れ、 ポ リ マ 一 ラ イ ク な 構造 と な っ て い る 。 そ し て 、 こ の鎖が基材 1 の表面 か ら 上 方 に （ 大気 中 に ） 向 か っ て 長 く 延 び る 程屈 曲 し 、 他の屈 曲 し た 鎖 と 3 次元 的 に 絡 み合 っ た状態で 上記薄膜 3 が形成 さ れて い る 。 こ の よ う な膜構造 を 有 す る 薄膜 3 が形成 さ れ る の は 、 以下 に述べ る 理 由 に よ る 。 即 ち 、 基材 1 表面 に 吸着 し な い 未吸着分子は雰囲気 中 の水分 と 反応 し 、 H X 分子が脱離 さ れ る 。 こ の結果、 該未吸着分子 に は O H 基が導入 さ れ る 。 そ し て 、 こ の O H 基が他 の 未吸着分子 に於け る 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基 （吸着部位） と 反応す る 等 し て 架橋結合す る 。 よ っ て 、 上記 し た よ う な構造の 薄膜が形成 さ れ る 。 こ こ で 、 同 図 に示す 薄膜は膜厚 と し て は、 吸着分子か ら な る 単分子膜が 3 層 に 積 層 し た程度の厚みがあ り 、 こ の場合に は本明細書で は便宜的 に 3 分 子層 と 呼ぶ。 一 方、 乾燥雰囲気 中 （例 え ば、 相対湿度 3 5 % 以下 ） で行う と 、 図 5 ( b ) に 示 す よ う に 、 基材 1 表面 に は、 単分子膜 2 が形成 さ れ、 更 に こ の 単分子膜 2 表面 に 未吸着分子 4 が付着 し た 構 造の薄膜が形成 さ れ る 。 こ れは、 乾燥雰囲気中 で あ る 為、 未吸着分 子 4 に於け る 吸着部位が水分 と 反応せ ず、 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れる 官能基を 有 し た状態で付着 し て い る こ と に よ る 。

尚、 前記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基を 有 す る 分子 を 基材 1 表 面に接触 さ せ る 方法 と し て は特 に 限定 さ れ る も の で は な く 、 例 え ば 予め作製 して お い た 吸着溶液 に 基材 1 を 浸潰 さ せ る 方法や、 該吸着 溶液を 基材 1 に 塗布 す る 方法等が挙げ ら れる 。

又、 上記基材 1 表面 に存在 す る 活性水素 を 有 す る 官能基 と し て は

、 上記 ヒ ド ロ キ シ ル基の他 に 、 例 え ば カ ルボ キ シ ル基、 ス ル フ ィ ン 酸基、 ス ル フ ォ ン 酸基、 リ ン 酸基、 亜 リ ン 酸基、 チ オ ール基、 ア ミ ノ 基等が挙げ ら れ る 。 更 に 、 上記官能基の活性水素 が、 そ れ それ ァ ル カ リ 金属 又 は ア ル 力 リ 土類金属 で 置換 さ れ た 官能基で あ っ て も よ い 。 又、 上記基材 1 表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基が 存在 し な い か 、 或い は そ れ が少 な い場合 に は 、 U V /オ ゾ ン 処理、 酸素 プラ ズ マ 処理、 過マ ン ガ ン 酸 力 リ ゥ ム 溶液等の 化合物酸化剤処理 を 行 う こ と に よ り 、 該基材 1 表面 を 改質 し て 上記官能基 を 導入 し 、 或 い は そ の 数 を 増や す こ と が好 ま し い。

続い て 、 少 な く と も ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む 洗浄剤 に て 除去工程 を 行 う （ S 3 )。 こ の工程 に て 洗浄 す る 主 な 対象 は、 上記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基 を 有 す る 分子 の う ち 、 基材 1 表面 に化学結合 に よ り 固定せ ず に残存 し て い る 未吸着分子群で あ る 。 よ り 詳細 に は 、 図 5 ( a ) に 於い ては、 基材 1 で は な く 、 こ の 基材 1 上 に形成 さ れた網 目 状分子層 3 に於け る 構成分子 と して の 吸 着分子 に 結合 し た 未吸着分子が洗浄の 対象 と な る 。 又、 図 5 ( b ) に於い て は、 単分子膜 2 表面 に付着 し た 未吸着分子 4 か ら な る 累積 膜 5 が洗浄の対象 と な る 。 こ れ ら の未吸着分子群 を 上記洗浄剤 に て 溶解 さ せて 除去す る こ と に よ り 、 均一 な膜厚 を 有 す る 単分子膜状 の 有機薄膜を形成す る こ と がで き る 。

上記洗浄剤 に含 ま れ る 洗浄成分 と し て の ケ ト ン 類は、 上記一般式 ( 1 ) で表 さ れ る 官能基を 有す る 分子 に 対す る 溶解能 に優れて い る 。 上記ケ ト ン類 と し て は、 具体的 に は、 例 え ば ア セ ト ン 、 メ チル ェ チル ケ ト ン、 ジ ェチルケ ト ン 、 メ チル イ ソ プチ ル ケ ト ン 、 ァセ チ ル ァセ ト ン 等が挙げ ら れ る 。

又、 上記洗浄剤 に含 ま れ る 洗浄成分 と し て の ア ル キ レ ン グ リ コ 一 ル類 と して は、 具体的 に は 、 例 え ばエ チ レ ン グ リ コ ール類、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ール類、 ブチ レ ン グ リ コ ール類等 が挙げ ら れ、 こ れ ら の う ち エチ レ ン グ リ コ 一 ル類が最適 で あ る 。 上記エ チ レ ン グ リ コ ー ル 類は、 臭 い が少 な く 無色で あ り 、 多 く の 各種有機溶剤 、 水及び界 面 活性剤等 と 容易 に 混和 す る 特徴 を 有 し て い る か ら で あ る 。 従 っ て 、 洗浄剤設計 に は 都合が よ い 。 上 記エ チ レ ン グ リ コ ール類 と し て は 、 具体的 に は、 例 え ばエ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チルェ一テ ル、 ジ ェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エチ ル ェ 一 テ ル、 ジ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチ ルェ一テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ ェチル ェ一 テ ルアセ テ ー ト 、 エチ レ ン グ リ コ 一ノレモ ノ メ チル ェ一テ ル、 エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チ ルェ一テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ 一ル モ ノ 一 n — ブチル ェ一テ ル、 エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ フ エ 二ルェ一 テ ル等が好適 に使用 で き る 。

更 に、 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 と して は 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール類、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ール類、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ 一 ル 類等の ポ リ マ 一で あ っ て も よ い 。 上記ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール類 と して は、 具体的 に は、 例 え ば ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ エチ ルェ一テ ル、 ポ リ ジ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチルエーテ ル、 ポ リ ジ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ エチリレエ一テ ル ァ セ テー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ ェチルエーテ ル アセ テ ー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チル ェ一テル、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チ ルエーテル ア セ テ ー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ル モ ノ ー n — ブチルエーテ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ フ エ ニル ェ —テル等が好適 に使用 で き る 。

上記アルキ レ ン グ リ コ ール類が ポ リ マ ー の場合、 そ の分子量 と し て は、 2 ， 0 0 0 以下程度で あ る こ と が好 ま し く 、 1 0 0〜 3 0 0 の範囲内で あ る こ と が よ り 好 ま し い 。 分子量が 2 ， 0 0 0 よ り 大 き い場合、 粘性が大 き く な り 過 ぎ て 取 り 扱い性が低下 す る 。 但 し、 分 子量が約 3 0 0 以上 の ポ リ マ 一 を 使用 す る 場合、 水や 、 ア ル コ ー ル 等 に 溶解 さ せ て 溶液 と し て 用 い る 方 が洗浄剤 と し て は 最適で あ る 。 例 え ば、 ポ リ マ ー と し て ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ール を 使用 し 、 こ れ を 水 に 溶解 さ せ る 場合 に は、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル の 濃度 と し て は 1 0 〜 5 0 w t %程度 で あ る こ と が好 ま し く 、 一 方 ア ル コ ール に 溶 解 さ せ る 場合 に は 1 0 〜 5 0 w t %程度で あ る こ と が好 ま し い 。

一 方 、 上記 ア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 と し て は、 特 に 限定 さ れ る も ので は な く 、 具体的 に は、 例 え ば メ ト キ シ ア ル コ ー ル、 エ ト キ シ ェ 夕 ノ ール等 が挙げ ら れ る 。

こ こ で 、 本発 明 に係 る 洗浄剤 は 、 上記ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類又は ア ル コ キ シ アル コ ー ル類 の何れか一種 を 単独で 用 い た 非水系 の 洗浄剤 で あ っ て も よ い。

尚、 上記除去工程は乾燥雰 囲気 中 （相対湿度 3 5 %以下 ） で行 つ て も よ い。 例 え ば、. 図 5 ( a ) に 示す よ う な単分子膜 2 上 に 累積膜 5 が形成さ れ た 被膜を 洗浄す る 場合、 乾燥雰囲気 中 で あ る 為、 雰 囲 気中 の水分 と 未吸着分子 4 に於 け る 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官 能基 と の 間で 、 H X分子の脱離反応が生 じ る 等 し て 架橋 す る こ と を 防 ぐ 。 従 っ て 、 洗浄剤 の洗浄作用 に よ り 累積膜 5 を 除去す る こ と が で き 、 単分子膜状の有機薄膜を 形成す る こ と がで き る 。 又、 上記除 去工程 を乾燥雰 囲気 中で行 う 場合、 洗浄剤 も 含水率の低い も の を 使 用 す る のが好 ま し い 。 具体的 に は、 含水率が 1 . 0 %未満で あ れば 実用 上問題の な い場合が多 い が、 好 ま し く は 0 . 1 %未満程度で あ れば よ く 、 よ り 好 ま し く は、 0 . 0 1 %未満程度 が よ い 。 含水率が 上記数値範囲 を 越 え る と 、 未吸着分子や吸着分子 に於 け る A X基が 洗浄剤 に含 ま れ る 水 と 反応 し て 架橋構造 を形成す る の で 、 こ の場合 に も 単分子膜を 形成す る こ と がで き な い 。 上記除去工程 に て 行 う 具体的 な 洗浄方 法 と し て は、 例 え ば洗浄 剤 が満 た さ れ た 洗浄槽 に 基材 1 を 静か に 浸漬 さ せ る 方 法 の他 に 、 該 洗 浄剤 中 に 基材 1 を 浸漬 さ せ た状態 で超音波 を 照射 す る 等機械力 を 付 与 す る 方法や、 該洗浄剤 自 体の 洗浄力 を 向 上 さ せ る 為 に 洗浄剤 を 加 熱す る 方 法等が 挙げ ら れ る 。 尚 、 超音波等の応 力 が基材 1 に か か る 場合 に は 、 応力 が基材 1 に悪影響 を 与 え な い様 に す る 必要があ る 。

又、 上記除去工程 に於け る 洗浄条件 と し て は特 に 限定 さ れ る も の で は な く 、 未吸着分子 の被洗浄物 に対す る 付着の程度、 被洗浄物 の 材質、 形状、 後工程へ の 影響等 を 考慮 し て 、 適宜必要 に応 じて 設定 すれば よ い 。 更 に 、 洗浄剤 の 濃度 や洗浄時間、 洗浄 回数等 を 変 え る こ と に よ り 、 例 え ば単分子膜状 の 有機簿膜だ け で な く 2 分子層 に 相 当 す る 膜厚 を 有 す る 有機薄膜 を 形成す る こ と がで き る 等、 膜厚 の 制 御が可能 と な る 。 つ ま り 、 未吸着分子の残存 の程度 を 制御 す る こ と に よ り 、 膜厚 を 制御す る 。 例 え ば、 所定濃度 の 洗浄剤 が入 っ て い る 洗浄槽 を 3 槽程度設け、 各洗浄槽 に て 所定時間洗浄す る 等 し て 洗浄 の程度 を 高め る こ と に よ り 、 未吸着分子が殆 ど取 り 除かれ、 単分子 膜状の有機薄膜 を得 る こ と がで き る 。 そ の 一 方、 洗浄槽 を 1 槽程度 に して 上記所定時間 よ り も 短い時間洗浄す る 等軽 く 洗浄す る に 留 め た場合に は、 多 く の未吸着分子が残存 して い る 。 こ の よ う な状態で 大気中 に 曝す と 、 該未吸着分子が大気 中 の水分 と 反応 し て 固定 さ れ 、 例 え ば、 2 分子層 な ど数分子層 に相 当 す る 膜厚 の有機薄膜が形成 さ れ る 。

更 に、 単分子膜状 に形成 さ れ た 有機薄膜の膜厚 を 制御す る 為 に は 、 基材 1 に 吸着 さ せ る 吸着分子 の 分子設計 を 変 更 す る こ と に よ り 、 精度良 く 制御 す る こ と も 可能で あ る 。

次 に、 上記除去工程後、 洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤 除去工程 を 行 つ て も よ い ( S 4 )。 こ の 洗浄剤 除去工程は 、 主 に 洗浄剤 を リ ン ス 剤 で 洗い流す第 1 洗浄剤 除去方法 と 、 洗浄剤 を 乾燥 し て 蒸 発 さ せ る 第 2 洗浄剤除去方 法 と に 分 け ら れ る 。 そ し て 、 第 1 洗浄剤 除去方 法は 、 洗浄剤 に ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類及びア ル コ キ シ アル コ —ル類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種が含 ま れ る 場合 に 採 用 で き る 。 そ の 一 方、 第 2 洗浄剤 除去方 法は、 洗浄剤 に ケ ト ン類が 含 ま れ る 場合 に 主 に採用 で き る 。

上記第 1 洗浄剤除去方法 は 、 洗浄剤 を リ ン ス 剤 に て リ ン ス す る リ ン ス 工程 （ S 5 ) と 、 こ の リ ン ス 剤 を 蒸発 さ せ る こ と に よ り 除去 す る リ ン ス 剤乾燥工程 （ S 6 ) と か ら な る （ 図 2 参照）。 こ の第 1 洗浄 剤除去方法は A X 基の残存 し て い る 分子群が基材 1 表面 に吸着 し て い る 場合、 或い は 安全上等 の観点か ら 洗浄剤 と し て 比較的沸点の 高 い溶剤 を使用 す る 場合 に行 う の が好 ま し い。 前者の場合、 残留 し た 洗浄.剤 を除去 す る と 共 に 、 未反応 の A X 基 と 水 と の 間で H X の脱離 反応を起 こ さ せ、 吸着分子 に O H 基を 導入す る こ と を 目 的 と し て リ ン ス工程は行わ れ る （ 図 6 ( a ) 参照）。 従 っ て 、 リ ン ス 剤 と し て は 水を使用 す る の が好 ま しい。 更 に 、 リ ン ス 剤乾燥工程 （ S 6 ) を 行 う こ と に よ り 、 O H 基同士 が脱水反応 し て 図 6 ( b ) に 示 す架橋構 造を有す る 有機薄膜を形成す る こ と がで き る 。 一 方、 後者の場合、 被洗浄物に付着 し て い る 高沸点溶剤 （洗浄剤 ） は常温 に て 乾燥蒸発 が困難な為、 こ の高沸点溶剤 を 低沸点の リ ン ス 剤 に 置換 さ せ る こ と を 主 目 的 と して い る 。 こ の場合 に 使用 す る 低沸点の リ ン ス 剤 と し て は、 アセ ト ン や ア ル コ ール等 を 用 い る こ と がで き る 。 尚、 上記 リ ン ス 工程は上記除去工程 と 同様 に 、 超音波等 の機械力 を 与 え る と リ ン ス効果を 向上 さ せ る こ と がで き る 。

又、 上記第 2 洗浄剤除去方法 は 、 洗浄剤 を 蒸発 さ せ る こ と に よ り 除去 す る 洗浄剤 乾燥工程 （ S 7 ) と 、 基材 1 を 水分 に 接触 さ せ る 接 触工程 （ S 8 ) と 、 水分 を 乾燥 さ せ る 乾燥工程 （ S 9 ) と か ら な る ( 図 3 参照 ）。 こ の 第 2 洗浄剤除去方 法 は 、 例 え ば ァ セ ト ン ゃ メ チ ル ェチ ル ケ ト ン な ど常温 に於い て 蒸発す る よ う な低沸点 の 洗浄剤 を 使 用 す る 場合 に 行 う の が好 ま し い 。 上記接触工程は 、 基材 1 表面 に 吸 着 し て い る 分子群 に 残存 し て い る A X 基 と 水分 と を 反応 さ せて 、 吸 着分子 に O H 基 を 導入す る 為 に 行 われ る 。 従 っ て 、 水分 と 接触 さ せ る 方法 と し て は 、 例 え ば空気中 に 放置 し て 該空気 中 の 水分 と 反応 さ せ た り 、 直接水 と 反応 さ せ る 方 法 が採用 さ れ る 。 こ の後、 乾燥工程 ( S 9 ) を 行 う こ と に よ り 、 O H 基同 士 が脱水反応 し て 架橋構造 を 有 す る 有機薄膜 を 形成す る こ と が で き る 。

又、 以上 に 説明 し た洗浄剤 除去方法 の他 に 、 基材 1 に 吸着 し た 吸 着分子 に は A X 基が存在せず、 かつ常温に於い て 蒸発 す る よ う な低 沸点の洗浄剤 を 使用 して い る 場合 に は、 除去工程の後単 に 洗浄剤 を 乾燥さ せ る だ け で よ い。

尚、 前記基材 1 と し て は、 ガ ラ ス 、 金属、 金属酸化物、 セ ラ ミ ツ ク ス 、 プラ ス チ ッ ク 、 木材、 石材、 繊維、 紙及び高分子樹脂等 か ら な る 群 よ り 選ばれ る 何れか 1 種の材料か ら な る も の を 適用 で き る 。 又、 基材 1 表面 は、 塗料等で 塗装 さ れて い て も 構わ な い。 こ れ ら の 材料か ら な る 基材は そ の表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基が存在す る と い う 点で類似 の物性を 有す る 。 尚、 基材 1 の材料 と し て 特 に プラ ス チ ッ ク 等 を 用 い る 場合は、 プラ ス チ ッ ク の種類 に よ っ て は基材 1 を 変質 さ せ た り 、 溶解等 に よ る 損傷 を 与 え た り す る 場合が考 え ら れ る 。 従 っ て 、 予 め洗浄剤 が プラ ス チ ッ ク か ら な る 基材 1 に 上記の よ う な作用 を 与 え な い こ と を 確認 し た う え で使用 す る 必要があ る 。 以下 に 、 本発明 が適用 可能な 用 途 に つ い て 具体例 を 列挙す る が、 本発 明 は こ れ ら に 何 ら 限定 さ れ る も の で は な い 。

( a ) 刃物の例 ： 包 丁、 鋏、 ナ イ フ 、 カ ツ 夕 一、 彫刻 刀 、 剃刀 、 ノ リ カ ン 、 鋸、 カ ン ナ 、 ノ ミ 、 錐、 千枚通 し 、 ノ イ ト 、 ド リ ルの 刃 、 ミ キ サー の 刃 、 ジ ュ ーサーの 刃 、 製粉機の 刃、 芝刈 り 機の 刃 、 パ ン チ、 押 し切 り 、 ホ ッ チ キス の 刃 、 缶切 り の 刃 又 は手術用 メ ス 等。

( b ) 針の例 ： 緘術用 の針、 縫 い針、 ミ シ ン 針、 フ ト ン針、 畳針、 注射針、 手術用 針、 安全 ピ ン 、 押 し ピ ン 等。

( c ) 窯業製品 の例 ： 陶磁器製、 ガ ラ ス 製、 セ ラ ミ ッ ク ス 製 又は ほ う ろ う を 含む製品等。 例 え ば、 衛生陶器 （例 え ば、 便器、 洗面器、 浴槽等）、 食器 （例 え ば、 茶碗、 皿、 ど ん ぶ り 、 湯呑み、 コ ッ プ、 瓶 、 コ ー ヒ ー沸 か し容器、 鍋、 す り 鉢、 カ ッ プ等 ）、 花器 （例 え ば、 水 盤、 植木鉢、 一輪差 し等）、 水槽 （例 え ば、 養殖用水槽、 鑑賞用 水槽 等 ）、 化学実験器具 （例 え ば、 ビ ー カ 一、 反応容器、 試験管、 フ ラ ス コ 、 シ ャ ー レ 、 冷却管、 撹拌棒、 ス タ 一 ラ ー、 乳鉢、 ノ、' ッ ト 、 注射 器等）、 瓦、 タ イ ル、 ほ う ろ う 製食器、 ほ う ろ う 製洗面器、 ほ う ろ う 製鍋等。

( d ) 鏡の例 ： 手鏡、 化粧用 コ ン パ ク ト 付属鏡、 姿見、 浴室用 鏡、 洗面所用鏡、 自 動車用鏡 （例 え ば、 ノ ッ ク ミ ラ 一、 サイ ド ミ ラ 一等 )、 交通用鏡 （例 え ば、 カ ー ブ ミ ラ 一、 反射鏡等）、 ハ ー フ ミ ラ 一、 シ ョ 一 ウ ィ ン ド一用鏡、 デパ ー ト の商品売 り 場の鏡等。

( e ) 成形用 部材の例 ： プ レ ス 成型用金型、 铸型成形用金型、 射 出 成型用金型、 ト ラ ン ス フ ァ 一成型用金型、 真空成型用 金型、 吹 き 込 み成型用金型、 押 し 出 し成型用 ダイ 、 イ ン フ レ ー シ ョ ン成型用 口 金 、 繊維紡糸用 口金、 カ レ ン ダ一加工用 ロ ール等。

( f ) 装飾品 の例 ： 時計、 宝石、 真珠、 サ フ ァ イ ア、 ル ビ一、 ェ メ ラ ル ド 、 ガ一 ネ ッ ト 、 キ ャ ッ ツ ア イ 、 ダイ ァ モ ン ド 、 ト ノ 一ズ、 ブ ラ ッ ド ス ト ー ン 、 ア ク ア マ リ ン 、 サー ド ニ ッ ク ス 、 ト ル コ 石 、 翡 翠 、 大理石、 ア メ ジ ス ト 、 カ メ オ 、 オ ノ 一ル、 水晶、 ガ ラ ス 、 指輪 、 腕輪、 ネ ッ ク レ ス 、 ア ン ク レ ッ ト 、 ブ ロ ーチ 、 タ イ ピ ン 、 ィ ャ リ ン グ、 ピ ア ス 、 貴金属 装飾製品 、 白 金、 金、 銀、 銅、 ア ル ミ 、 チ タ ン 、 錫あ る い は そ れ ら の合金や ス テ ン レ ス 製、 メ ガ ネ フ レ ー ム 等。

( g ) 食品成形用 型 の例 ： ケ ー キ焼成用型、 ク ッ キー焼成用 型、 パ ン焼成用 型、 チ ョ コ レ ー ト 焼成用 型、 ゼ リ ー成形用 型、 ア イ ス ク リ — ム成形用 型、 オ ー ブ ン 皿、 製氷皿等。

( h ) 調理器具 の例 ： 鍋、 釜、 や かん、 ポ ッ ト 、 ボール、 フ ラ イ ノ ン 、 ホ ッ ト プ レ ー ト 、 焼 き 物調理用網、 油切 り 、 夕 コ 焼 き プ レ ー ト 、 パ ン焼 き機用 釜、 餅つ き機用 釜、 炊飯器釜、 お玉杓子、 泡た て 器 等。

( i ) 紙の例 ： グ ラ ビ ア紙、 撥水撥油紙、 ポ ス タ 一紙、 高級パ ン フ レ ッ ト 紙等。

( j ) 樹脂の例 ： ポ リ プ ロ ピ レ ン 、 ポ リ エチ レ ン 等 の ポ リ オ レ フ ィ ン 、 ポ リ 塩化 ビ ニル、 ポ リ 塩化 ビ ニ リ デ ン、 ポ リ ア ミ ド 、 ポ リ イ ミ ド 、 ポ リ ア ミ ド イ ミ ド 、 ポ リ エス テ ル、 ァ ラ ミ ド 、 ポ リ ス チ レ ン 、 ポ リ ス ル フ ォ ン 、 ポ リ エーテ ル ス ル フ ォ ン 、 ポ リ フ エ 二 レ ン ス ル フ イ ド 、 フ ヱ ノ ール樹脂、 フ ラ ン樹脂、 ユ リ ア樹脂、 エ ポ キ シ樹脂、 ポ リ ウ レ タ ン 、 ケ ィ 素樹脂、 A B S 樹脂、 メ タ ク リ ル酸樹脂、 メ タ ク リ ル酸エス テ ル樹脂、 ア ク リ ル酸樹脂、 ア ク リ ル酸エ ス テ ル樹脂 、 ポ リ アセ タ ール樹脂、 ポ リ フ エ 二 レ ン オ キサイ ド 等。

( k ) 家庭電化製品 の例 ： テ レ ビ ジ ョ ン 、 ラ ジ オ 、 テ ー プ レ コ ー ダ ―、 オーデ ィ オ、 ノ 一 ソ ナ ル コ ン ピ ュ ー タ 、 コ ン ノ ク ト デ ィ ス ク （ C D ) , ミ ニデ ィ ス ク （ M D )、 デ ジ タ ル ビデオデ ィ ス ク （ D V D ) 、 冷凍関係機器の 冷蔵庫、 冷凍庫、 エ ア一 コ ン デ ィ シ ョ ナ ー、 ジ ュ — サ一、 ミ キ サ ー 、 ミ ルザ一、 洗濯機、 掃除機、 照 明器具、 乾燥機

、 食器洗い機、 ひ げ剃 り 機、 ア ン テ ナ 、 扇風機の 羽、 文字盤、 パ ー マ 用 ド ラ イ ヤ ー等 。

( 1 ) ス ポ ー ツ 用 品 の例 ： ス キ ー板、 ス ノ ボ ー ド 板、 ス ケ ー ト ボ — ド 板、 釣 り 竿 、 釣 り 糸、 漁網、 釣 り 浮 き 棒高跳び用 ポー ル 、 ボ —ル、 ヨ ッ ト 、 ジ ヱ ッ ト ス キ一、 サ一 フ ボ ド 、 ゴ ル フ ボ ー ル 、 ボ — リ ン グの ボー ル等。

( m ) 乗 り 物部 品 に適用 す る 例 ：

( 1 ) A B S 樹脂 ： ラ ン プ カ ノ、'一、 イ ン ス ト ル メ ン ト ノ ネ ル 内 装部品、 ォ 一 ト ノ イ の プ ロ テ ク タ ー

( 2 ) セ ル ロ ー ス プラ ス チ ッ ク ： 自 動車 の マ ー ク 、 ノ、 ン ド ル

( 3 ) F R P (繊維強化樹脂 ） ： 外板バ ン パ ー 、 エ ン ジ ン 力 パ ー ( 4 ) フ エ ノ ール樹脂 ： ブ レ ー キ

• ( 5 ) ポ リ ア セ タ ール ： ヮ イ ノ 一ギ ア 、 ガス バル ブ、 キ ヤ ブ レ タ 一部品

( 6 ) ポ リ ア ミ ド ： ラ ジ ェ一 夕 一 フ ァ ン

( 7 ) ポ リ ア ク リ レ ー ト ： 方 向指示 レ ン ズ、 計器板 レ ン ズ、 リ レ — ノヽ ウ ジ ン グ

( 8 ) ポ リ ブチ レ ン テ レ フ タ レ 一 ト ： リ ャ エ ン ド 、 フ ロ ン ト フ エ ン ダ一

( 9 ) ポ リ ア ミ ノ ビ ス マ レ イ ミ ド ： エ ン ジ ン 部品、 ギ ヤボ ッ ク ス 、 ホ イ ール、 サ ス ペ ン シ ョ ン ド ラ イ ブシ ス テ ム

( 1 0 ) メ タ ク リ ル樹脂 ： ラ ン プカ バー レ ン ズ、 計器板、 計器板 カ ノ、一、 セ ン タ 一マー ク

( 1 1 ) ポ リ プ ロ ピ レ ン ： ノ、' ン ノ 一

( 1 2 ) ポ リ フ エ 二 レ ン ォ キ サ イ ド ： ラ ジ ェ一 夕 一 グ リ ル、 ホ イ — ル キ ヤ ッ プ

( 1 3 ) ポ リ ウ レ タ ン ： ノ ン ノ 一 、 フ ェ ン ダ ー 、 イ ン ス ト ル メ ン ト ノ ネ ル 、 フ ァ ン

( 1 4 ) 不飽和 ポ リ エ ス テ ル樹脂 ： ボデ ィ ー 、 燃料 タ ン ク 、 ヒ 一 夕 一ハ ウ ジ ン グ、 計器板等。

( n ) 事務用 品 の例 ： 万年筆、 ボ ー ル ペ ン 、 シ ャ ー プペ ン シ ル 、 筆 入れ、 ノ、 'イ ン ダ一、 机、 椅子、 本棚、 ラ ッ ク 、 レ タ ー ケース 、 電話 台 、 物差 し 、 製図用 具等。

( o ) 建材の例 ： 屋根材、 外壁材、 内装材。 屋根材 と して 、 窯瓦、 ス レ ー ト 瓦、 ト タ ン （亜鉛 メ ツ キ鉄板） 等 。 外壁材 と し て は 、 木材 (加工木材 を含む ）、 モ ル タ ル 、 コ ン ク リ ー ト 、 窯業系サイ ジ ン グ、 金属系サイ ジ ン グ、 レ ン ガ、 石材、 プ ラ ス チ ッ ク 材料、 アル ミ 等 の 金属材料等。 内装材 と し て は 、 木材 （加工木材 を含む ）、 アル ミ 等 の 金属.材料、 プラ ス チ ッ ク 材料、 紙、 繊維等。

( p ) 石材の例 ： カ コ ゥ 岩、 大理石、 御影石等。 例 え ば、 建築物、 建築材、 芸術品、 置物、 風呂 、 墓石、 記念碑、 門柱、 石垣、 敷石等

( q ) 楽器及び音響機器の例 ： 打楽器、 弦楽器、 鍵盤楽器、 管楽器 等の楽器、 及びマ イ ク ロ フ ォ ン 、 ス ピー カ 一等 の音響機器等。 例 え ぱ、 ド ラ ム、 シ ンノ、 *ル、 ノ 一 カ ツ シ ヨ ン 、 ノ ィ ォ リ ン 、 チ ェ ロ 、 ギ タ 一、 琴、 ピ ア ノ 、 オ ル ガ ン 、 ア コ ー デ ィ オ ン 、 ハ ー モ ニ カ 、 フ ル — ト 、 尺八、 ホ ル ン 等。

( r ) そ の他、 魔法瓶、 真空系機器、 電力送電用碍子又は ス パ ー ク プラ グ等の撥水撥油防汚効果の高 い高耐電圧性絶縁碍子等。

尚、 本願発明者等は 日 本国特許第 2 , 5 9 8 , 8 6 7 号 に於い て 、 膜密度 を 向上 さ せ た化学吸着膜及びそ の製造方法 に つ い て 開 示 し て い る 。 こ の 公報 に て 開示 さ れて い る 化学吸着膜の 製造方 法 は 、 吸 着反応 と 、 未反応吸着分子 を 除去 す る 為の 洗浄 と を 交互 に繰 り 返 す こ と に よ り 化学吸着剤 を 基体及び化学吸着膜 に 固定 さ せ 、 膜密度 の 高い化学吸着膜 を 形成す る と い う も の で あ る 。 又、 洗浄 に は非水 系 溶液 を 用 い て い る が、 形成 さ れ る 化学吸着膜は 以下 に 述べ る 点で 本 願発明 の 有機薄膜 と 膜構造が異 な る 。

即 ち 、 上記方 法 に て 形成 さ れ る 化学吸着膜は、 基材表面 の活性水 素 を 有 す る 官能基が存在 し な い 部分で も 、 基材 に 最初 に 吸着 し た 化 学吸着幹分子 に 化学吸着 グ ラ フ ト 分子 を 結合 さ せ る 為、 化学吸着膜 の構成分子 間距離が短 く な り 膜密度の高い構造 と な っ て い る 。 し か も 、 化学吸着 グ ラ フ ト 分子 に は、 化学吸着幹分子等 と の結合 に 用 い ら れな か っ た水酸基が結合 し た ま ま で あ り 、 よ っ て 化学吸着膜の 膜 中 に は多数の水酸基が取 り 残 さ れて い る 。

一方、 本願発明の 有機薄膜は、 ほ と ん どの膜形成分子が基材表面 に 吸着 し て い る の で 、 膜密度 は上記化学吸着膜 と 比較 して低い 。 又 、 製造 プ ロ セ ス に於 い て 乾燥工程 を 行い、 膜中 に 存在 す る 水酸基 同 士 を脱水反応 さ せ て 架橋結合 さ せて い る の で 、 上記化学吸着膜 と 比 較 して水酸基の存在確率は低い 。

以上の こ と か ら 本願発明は、 上記公報 に記載 さ れて い る 化学吸着 膜 と は本質的 に膜構造の異な る 有機薄膜に 関 して 、 製造 プ ロ セ ス を 確立 し た も の で あ る 。

又、 本発明 に係 る 有機薄膜の製造装置は、 被膜形成手段 と 、 除去 手段 と を備 え て 構成 さ れて い る （ 図 7 参照）。 更 に 、 被膜形成手段 と 除去手段 と の 間 に は、 例 え ば従来公知 の搬送装置等か ら な る 基材 の 受け渡 し手段 5 2 を 設 け る こ と も 可能で あ る 。

上記被膜形成手段は、 吸着溶液 を 基材上 に 塗布 す る 等 して 、 該 吸 着溶液 に 含 ま れて い る 吸着分子群 を 基材上 に 吸着 固定 さ せ て 被膜 を 形成す る 機能 を 有 し て い る 。 該被膜形成手段 と し て は 、 具体的 に は 、 例 え ば ス ピ ン 式又は ロ ー ラ 式等 の 塗布装置等 が挙 げ ら れ る 。

上記除去手段は、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む 洗 浄剤 に て 被洗浄物 を 洗浄す る 機能 を 有 す る 。 こ こ で 、 洗浄の 対象 と な る の は、 基材上 に付着 し て 残存 し て い る 未吸着 の 吸着分子 （未 固 定分子） で あ る 。

又、 上記被膜形成手段 と 除去手段 と は 同 一 の 密閉系 に 含み構成 さ れて い て も よ く 、 或い は個 々 に 独立 して 設け ら れて い て も よ い 。

上記構成の様 に 、 被膜形成手段 と 除去手段 と を 同 一 の 密閉系 と す る と 、 外気 と 遮断す る こ と がで き る 。 こ の結果、 例 え ば乾燥雰囲 気 中 で被膜形成工程及び除去工程 を 行 う こ と が可能 と な る （ 図 7 ( a ) )。 こ こ で 、 被膜形成手段 と 除去手段 と を 同一 の 密閉系 に含み構成 さ れ る と は、 例 え ば被膜形成手段及び除去手段 を 内部 に 設置可能 な 外気遮蔽手段 5 1 が有機薄膜の 製造装置 に 具備 さ れて い る 場合等 を 意味す る 。 上記外気遮蔽手段 5 1 と し て は、 そ の 内部か ら 外気 を 遮 蔽で き る も の で あ れば特 に限定 さ れ る も の で は な く 、 例 え ば温度 や 湿度等の制御が可能な チ ャ ン バ 一や処理室等が例 示で き る 。 尚、 上 記外気遮蔽手段 5 1 と して は、 常温常圧 に於い て 湿度 の 制御は勿 論 、 内部の対流の 制御 も 可能な 対流制御手段 を 設 け る こ と も で き る 。 こ れに よ り 、 内部の湿度や対流状態 を 制御す る こ と がで き 、 作業 の 安全性が確保で き る 。 安全性の 確保が必要な の は、 上記ケ ト ン類、 アルキ レ ン グ リ コ ール類又は ア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類の う ち 分子量 の小 さ い化合物の使用 に際 し て は 、 こ れ ら を 含有 し た 洗浄剤 は 引 火 性を 有 す る 為注意 を 要 す る か ら で あ る 。 又、 被膜形成手段 と 除去手段 と は、 上記 し た様 に 、 相互 に 分離 · 独立 し た処理単位 と し て 構成す る こ と も で き る （ 図 7 ( b ) )。 又、 被膜形成工程及 び除去工程 を 乾燥雰 囲気 中 で 行 い た い 場合 に は 、 外 気 と の 隔離 と 湿度等 の 制御 と がで き る 様 に 、 各処理単位毎 に外気遮 蔽手段が設け ら れて い る 構成で あ っ て も よ い 。

尚、 上記除去手段は、 ノ、' ツ チ処理式で も よ く 、 或い は流れ処理式 で も よ い 。

バ ッ チ処理式 と し て は、 被洗浄物 と し て の基材 を 浸漬す る 浸漬法 等が挙げ ら れ る 。 こ の浸漬法 は 、 具体的 に は 図 8 ( a ) に 示 す よ う に 、 上記洗浄剤 3 2 を 洗浄槽 3 1 に満 た す と 共 に 、 基材 3 4 … を 力 セ ッ ト 3 3 に載置 し 、 こ の カ セ ッ ト 3 3 を 洗浄槽 3 1 に所定時間浸 潰 して 洗浄す る も の で あ る 。

流れ処理式 と し て は、 例 え ば 図 8 ( b ) に 示 す様 に 、 基材 3 4 … を搬送す る 搬送部 4. 1 と 、 洗浄剤 を 噴射す る 複数の噴射装置 4 2 … と か ら な る 洗浄装置が挙げ ら れ る 。 更 に、 上記噴射装置 4 2 は、 門 形アーチ状の本体部 4 3 と 、 洗浄剤 を 霧状 に 又は液滴状 に噴射す る ノ ズル 4 3 ··· と が設 け ら れて 構成 さ れて い る 。 又、 ノ ズル 4 3 は、 洗浄剤の噴射方 向 が直下方 向 と 同様の 方 向 と な る 様 に設け ら れて い る 。 そ の一方、 搬送部 4 1 は 門形 アーチ状の本体部 4 3 の 内側 と な る 様に設置 さ れて い る 。 上記構成の洗浄装置 に於い て は、 搬送部 4 1 上に載置 さ れ た基材 3 4 … は矢印 A で 示 す方 向 に搬送 さ れ る と 共 に、 ノ ズル 4 4 … か ら 洗浄剤 が噴射 さ れ る こ と に よ り 洗浄 さ れ る 。 こ こ で、 上記 し たパ ッ チ処理式及び流れ処理式は あ く ま で も 例 示 で あ っ て上記の手段 に 限定 さ れ る も ので は な く 、 本発明の特許請求の 範囲 に記載 さ れ た 技術的思想 と 実質的 に 同 一 な構成 を 有 し、 同様 な 作用効果を 奏す る も の は、 い か な る も の も 本発明 の 技術的範囲 に 包 含 さ れ る 。

又、 本発 明 に 係 る 有機薄膜の 製造装置は 、 必要 に 応 じ て 、 基材 に 付着 し た 洗浄剤 を 除去 す る 為の 洗浄剤 除去工程 を 行 う べ く 、 洗浄剤 除去手段 を 設 け る こ と も 可能で あ る （ 図 7 ( a ) 及び図 7 ( b ) )。 更 に 、 上記洗浄剤 除去手段 と し て は、 図 7 ( c ) に 示 す よ う に 、 リ ン ス 手段 と 乾燥手段 と を 有 す る 構成で あ っ て も よ い 。 上記 リ ン ス 手 段 と して は 、 特 に 限定 さ れ る も の で は な く 、 従来公知 の種 々 の リ ン ス 装置 を 用 い る こ と がで き る 。 又、 上記乾燥手段 と し て は、 特 に 限 定 さ れ る も の で は な く 、 従来公知 の種 々 の乾燥装置 を 用 い る こ と が で き る 。 中 で も 上記乾燥手段 と し て は、 常温風又は温風に よ る プ ロ —が好適 に採用 で き る 。

又、 基材 と し て 紙や繊維等か ら な る も の を 使用 し、 こ れ に有機薄 膜を形成す る 場合 に は、 適宜必要 に応 じ て 洗浄剤 の種類や洗浄方 法 等 を 選択す る 必要があ る 。

[液晶配向膜及び液晶表示装置 〗

ま た、 本発明 の 有機簿膜を液晶配向膜 と し て 液晶表示装置 に適用 す る 場合に は、 該有機薄膜は以下 の方法で製造す る こ と がで き る 。 先ず、 上記 し た の と 同様の手順 にて 、 例 え ば I T 0 ( イ ン ジ ウ ム 錫酸化物） か ら な る 電極等が形成 さ れた基板 を 、 上記吸着溶液 に 接 触さ せて 吸着分子 を 吸着 さ せ る （ S 2 、 図 1 参照 ）。 吸着分子が I T 0 表面 に 吸着で き る の は、 該 I T O 表面 に は O H 基が存在 し て お り 、 かつ吸着分子 は O H 基等 の活性水素 を 有 す る 官能基に 対 して 反応 性を 示 す官能基 を 具備 す る か ら で あ る 。 こ れ に よ り 、 耐剥離性等 に 優れた 薄膜の形成が可能 と な る 。

又、 I T 0 表面 に 0 H 基等 が少な い場合 に は 、 エ キ シ マ U V 処理 、 プ ラ ズマ処理等 の処理 を施す こ と に よ り 、 I T O 表面 を 改質 し て O H 基等 を 增 や し た り 、 或い は他 の 物 質層 （ 例 え ば、 蒸着 し た S i 0 層等 ） を 基板上 に形成 し 、 こ の 物質層 を 介 し て 液晶配向膜 を 形成 す る の が好 ま し い 。

続い て 、 S 3 に於 い て 基板表 面 に 残存 す る 未吸着分子 を 洗浄 . 除 去 す る 。 こ れ に よ り 、 残存 す る 未吸着分子 （御子低分子 ） が除去 さ れ、 膜厚 の 均 一 な 薄膜形成が可能 に な る 。 よ っ て 、 残存す る 未吸着 分子 に起因 し て 生 じ る 液晶 の 配列状態の 乱れ、 即 ち 配 向欠陥 を 抑 制 す る こ と がで き る 。 又、 従来 の例 え ば ク ロ 口 ホ ル ム 等 の洗浄剤 に よ る 洗浄 を 行 っ た 場合 に は、 こ の 洗浄 に 起因 し て 吸着分子の吸着状態 の乱れが発生 す る 問題が生 じ て い た 。 し か し、 上記除去工程 に於 い て は、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を含む洗浄剤 に て 洗浄 す る の で 、 吸着分子 の 吸着状態の 乱れが発生 し難 く 、 吸着分子群 が 均一 に 配列 し整 っ た膜構造す る こ と がで き る 。

次い で、 上述の有機薄膜の製造方法 に於け る 場合 と 同様 に 、 S 4 に於い て 洗浄剤 の除去等 を 行 い 、 こ れ に よ り 本発明 に係 る 液晶配 向 膜を製膜す る こ と がで き る 。 尚 、 更 に 必要 に応 じ て 液晶配向膜 に 、 ラ ビ ン グ処理等 の配向処理 を施 し て も よ い。

以上の こ と か ら 、 本発 明 に係 る 液晶配向膜の製造方法は、 塩素 系 洗浄剤 を使用 せ ず に 一様な膜厚 を 有 す る 液晶配向膜を 、 環境 に 対 す る 負荷 を 抑制 し つつ形成す る こ と がで き る 。

上記の様 に し て 得 ら れ た液晶配 向膜は 、 例 え ば 図 9 に 示す態様 の 如 く 液晶表示装置 に 適用 す る こ と がで き る 。 即 ち 、 本発明 に係 る 液 晶表示装置は、 第 1 基板 6 1 と 、 こ れ と 対 を な す第 2 基板 6 2 と 、 第 1 基板 6 1 及び第 2 基板 6 2 の 間 に 介在 す る 液晶層 6 3 と を 有 す る 構成 と す る こ と が で き る 。 第 1 基板 6 1 の 内側 面 に は、 T F T ( 薄膜 ト ラ ン ジ ス タ ） 群 6 4 …及び第 1 電極 6 5 が形成 さ れ、 該第 1 電極 6 5 上 に は 液晶配 向膜 6 6 が形成 さ れて い る 。 上記第 2 基板 6 2 の 内側面 に は 、 カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 6 7 が形成 さ れ、 更 に第 2 基板 6 2 及び カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 6 7 上 に は第 2 電極 6 8 が設 け ら れて い る 。 該第 2 電極 6 8 上 に は、 液晶配向膜 6 9 が形成 さ れて い る 。 又 、 上記第 1 基板 6 1 及び第 2 基板 6 2 は 、 シ ール材 7 0 に よ り 接着 貼 り 合わせ さ れ、 液晶 を パ ネ ル 内 に封止保持 さ れて い る 。 上記第 1 基板 6 1 の外側 に は偏光板 7 1 が設け ら れ、 第 2 基板 6 2 の外側 に は偏光板 7 2 が設け ら れて レヽ る 。

上記第 1 基板 6 1 及び第 2 基板 6 2 は、 例 え ば ガ ラ ス 等か ら な る 透明基板で あ る 。 又、 上記第 1 電極 6 5 及び第 2 電極 6 8 は 、 例 え ば I T 0 か ら な る 透明導電膜で あ る 。 上記液晶層 6 3 は、 例 え ば ネ マ テ イ ッ ク 液晶 を 含み構成 さ れて い る 。 上記カ ラ ー フ ィ ル タ 一 6 7 は、 R (赤） . G (緑） . B (青 ） の各 ド ッ ト を含み構成 さ れて い る 以上の様な構成の液晶表示装置で あ る と 、 液晶 の配向欠陥等が視 認さ れず表示 品位 に優れた も の と す る こ と がで き る 。 こ れは、 上述 の様に 、 液晶配向膜の膜厚が均一で あ り 、 かつ吸着分子群 も 均一 に 整っ て 吸着 し た膜構造で あ る 結果、 優れた 配向能 を 発揮 し、 配列状 態 を 乱す こ と な く 液晶分子 を 配向 さ せ る こ と がで き る か ら で あ る 。

又、 上記構成の液晶表示装置は 、 液晶配向膜 6 6 · 6 9 を 上述の 方法 に て 製膜す る 以外は、 従来公知の方法 を採用 す る こ と に よ り 作 製す る こ と がで き る 。

尚、 本発明 に係 る 液晶配向膜の製造装置は、 上述 し た有機薄膜 の 製造装置 と 同様の構成 と す る こ と がで き る 。 よ っ て 、 そ の詳細 な 説 明 は省略す る 以下 に 、 図 面 を 参照 して 、 こ の 発明 の 好適 な 実施例 を 例示的 に 詳 し く 説明 す る 。 こ こ で 、 こ の 実施例 に 記載 さ れて い る 構成要素 の 材 質、 製造条件等 は、 特 に 限定的 な 記載が な い限 り は 、 こ の発 明 の 範 囲 を そ れ ら の み に 限定す る 趣 旨 の も の で は な く 、 単 な る 説明例 に 過 ぎ な い 。

[第 1 実施例 ]

(実施例 1 一 1 )

先 ず、 へキ サデカ ン に n — 才 ク タ デ シ ル ト リ ク ロ ロ シ ラ ン を 約 1 重量％ と な る よ う に 溶解 さ せ、 吸着溶液 A を 調製 し た 。

次 に 、 十分 に脱脂洗浄 を施 し た ガ ラ ス 基板 1 1 ( 2 c m x 5 c m 、 厚み 1 . 1 m m ) を 、 吸着溶液 Aに 1 時間浸漬 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 ガ ラ ス 基板 1 1·表面 に存在 す る ヒ ド ロ キ シ ル基 と 、 ト リ ク ロ 口 シ リ ル基 と が、 下記化学反応式 に 示す脱塩酸反応 を起 こ し、 シ ロ キ サ ン 結合 を 介 し て 該 ガ ラ ス基板 1 1 上 に化学吸着 し た 。 σ

CH3(CH2)i7-Si™Cl + HO— 材

CI

α

Cffi(CH2>n - Si- Ο— 材 ' (3)

C1 続い て 、 相対湿度 3 5 %程度 の 空気 中 で 、 洗浄剤 と して の ァ セ ト ン を 十分な量 （ 5 0 m l 〜 1 0 0 m l ) と な る よ う に 洗浄槽 に 入れ 、 約 4 5 °Cで加熱 し た 。 こ の洗浄槽の 中 で ガ ラ ス 基板 1 1 を 十分 に 洗浄 し た 。 更 に 、 ガ ラ ス 基板 1 1 表面 に付着 し た ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル を 洗い 流 す 為 に 、 充分 に 水洗 を 行 っ た 。 こ れ に よ り 、 洗浄剤 を 洗い 流す と 共 に 、 ガ ラ ス 基板 1 1 上 に 化学吸着 し た 分子 に於 け る 未反応の C 1 基が O H基に 置換 さ れ る 。 続い て 、 ガ ラ ス 基板 1 1 を 乾燥 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 O H基 同 士 が脱水反応 を起 こ し て 架橋 し 、 図 1 0 に 示 す単分子膜 1 2 が ガ ラ ス 基板 1 1 上 に形成 さ れ た 。

こ こ で、 フ ー リ エ 変換赤外分光 法 （ 以下、 F T — I R と 略す。） に て 単分子膜 1 2 を 測定 す る と 、 図 1 1 に 示 す よ う に 、 2 9 3 0 〜 2 8 4 0 c m— ¹ (帰属 ： C H ₃ 及び — C H ₂ — ）、 1 4 7 0 c m— ¹ ( 帰属 ： 一 C H ₂ — ）、 1 0 8 0 c m— ¹ ( 帰属 ： 一 S i — 0 — ） に 特 徴的な シ グナ ル が得 ら れ た 。 こ れ に よ り 、 図 1 0 に 示 す単分子膜 1 2 が形成 さ れて い る こ と が確認 さ れた 。

尚、 本実施例 に於け る 除去工程は、 相対湿度 5 %以下の ド ラ イ エ ァ一 中 又は窒素 中 で 行 う 方 が良 い が、 相対湿度 3 5 %以下 の空気 中 で あれば、 良好な 結果が得 ら れ た 。

( 比較例 1 一 1 )

本比較例 1 一 1 に於いて は、 洗浄剤 と して ク ロ 口 ホル ム を 用 い た 他は、 前記実施例 1 一 1 と 同様の工程 を行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に単分子膜 1 2 を成膜 し た 。 こ の単分子膜 1 2 に つ い て F T 一 I R測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 1 2 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 1 1 に示す吸収ス ぺ ク ト ル と ほぼ同 じ 吸収位置 に ほぼ同 じ吸収強度 の シ グナ ル を得 ら れた。

更 に 、 実施例 1 — 1 と 比較例 1 一 1 と に つ いて 詳細 に 比較検討 し た結果、 両者 に は膜構造 に於い て 以下 に 述べ る 相違点が見出 さ れ た 。 即 ち 、 図 1 1 及び図 1 2 に 示 す 吸収ス ぺ ク ト ル に於い て 、 2 9 2 0 c m— ¹ の C H ₂ に逆対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と 、 2 8 6 0 c m一 ¹ の C H ₂ に 対称伸縮振動 に 由 来す る 吸収 と を 比較す る と 、 そ の 吸収比は 、 実施例 1 — 1 に 係 る 図 1 1 に 於 い て は 2 . 2 ： 1 で あ り 、 比較例 1 — 1 に 係 る 図 1 2 に 於 い て は 2 . 0 ： 1 で あ っ た 。 こ の こ と は、 実施例 1 — 1 に係 る 単分子膜が、 比較例 1 一 1 に 係 る 単 分 子膜 よ り も 均 一 で 整 っ た膜構造で あ る こ と を 示 し て い る 。 なぜ な ら ば、 F T — I R 測定 方法 に 於 い て は、 C H ₂ の 吸収比 が 1 ： 1 に 近 づ く 程、 膜形成分子 （ 吸着分子 ） の吸着状態が乱 れ た 状態 に あ る と 判断 さ れ得 る 力 ら で あ る （ T.Ohtake et al . , L angmu i r , 2081 , 8 , 1992

)o

(実施例 1 一 2 )

本実施例 1 一 2 に 於い て は、 洗浄剤 と し て メ チ ルェ チ ル ケ ト ン （ 5 0 m l 〜 1 0 0 m l ) を 用 い た 他は 、 前記実施例 1 一 1 と 同様 の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に単分子膜 1 2 を成膜 し た 。 こ の単分子膜 1 2 に つ い て F T — I R測定 を 行 っ た と こ ろ 、 前記 図 1 1 と ほぼ同 じ位置 に ほぼ同 じ 吸収強度の シ グナ ル を 得 ら れた 。 (実施例 1 一 3 )

先ず、 シ ロ キサ ン 系溶媒 （商品 名 ： K F 9 6 L 、 信越化学 （株 ） 製） /ト ルエ ン （ = 1 0 / 1 ) に 下記化学式 （ 4 ) で 表 さ れ る 化合物 を約 1 重量％ と な る よ う に 溶解 さ せて 、 吸着溶液 B を 調製 し た 。

… (4)

次に、 十分 に脱脂洗浄 を施 し た ガ ラ ス 基板 l 1 を 窒素雰 囲気 中 で 、 吸着溶液 B に 1 時間浸潰 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 上記化学式 （ 4 ) で表さ れ る 分子 が、 下記化学式 （ 5 ) に 示 す よ う に 、 ガ ラ ス 基板 1 上 に 化学吸着 し た

O - 1基材

(5)

次 に 、 湿度 3 5 % の空気 中 、 洗浄剤 と し て の ア セ ト ン を 十分 な 量 ( 5 0 m l 〜 1 0 0 m l ) と な る よ う に 洗浄槽 に 入れ、 こ の洗浄槽 の 中 で ガ ラ ス 基板 1 1 を 十分 に 洗浄 し た 。 更 に 、 ガ ラ ス 基板 1 1 表 面 に付着 し た ア セ ト ン を 洗い 流す 為 に 、 充分 に水洗 を 行 っ た 。 こ れ に よ り 、 洗浄剤 を 洗い流す と 共 に 、 ガ ラ ス 基板 1 1 上 に化学吸着 し た 分子 に於け る 未反応の C 1 基が O H 基 に 置換 さ れ る 。 続いて 、 ガ ラ ス 基板 1 1 を 乾燥 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 O H 基同士 が脱水反応 を ^ こ して 架橋 し、 図 1 3 に 示 す単分子膜 1 3 が ガ ラ ス 基板 1 1 上 に 形成 さ れた 。

こ こ で 、 F T — I R に て 測定 す る と 、 図 1 4 に 示す よ う に、 2 9 2 0 〜 2 8 4 0 c m - ¹ (帰属 ： 一 C H ₂ — )、 1 6 5 0 c m — ¹ (帰 属 ： C = 0 )、 1 6 0 0 c m - ¹ (帰属 ： ベ ン ゼ ン 骨格）、 1 3 4 5 c m - ¹ (帰属 ： ベ ン ゼ ン 骨格）、 1 0 8 0 c m — ¹ (帰属 ： — S i — 0 一 ） に特徴的な シ グナ ルが得 ら れた 。 こ れ に よ り 、 膜形成の確認が さ れた 。

(比較例 1 一 2 )

本比較例 1 一 2 に於いて は 、 洗浄剤 と し て ク ロ 口 ホ ル ム を 用 い た 他は、 前記実施例 1 — 3 と 同様の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に単分子膜 1 3 を成膜 し た 。 こ の 単分子膜 1 3 に ついて F T 一 I R 測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 1 5 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 1 4 と ほぼ同 じ位置 に ほぼ 同 じ吸収強度の シ グナ ル を 得 ら れ た 。

更 に 、 実施例 1 一 3 と 比較例 1 一 2 と に つ い て 詳細 に 比較検討 し た 結果、 両者 に は膜構造 に於 い て 以下 に 述べ る 相違点が見出 さ れ た 。 即 ち 、 図 1 4 及び図 1 5 に 示 す 吸収ス ペ ク ト ル に於 い て 、 2 9 2 0 c m— ¹ の C H ₂ に 逆対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と 、 2 8 6 0 c m一 ¹ の C H ₂ に 対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と を 比較す る と 、 そ の 吸収比は、 実施例 1 — 3 に 係 る 図 1 4 に於い て は 2 . 1 ： 1 で あ り 、 比較例 1 — 2 に係 る 図 1 5 に於 いて は 1 . 9 ： 1 で あ っ た 。 よ つ て 、 実施例 1 — 3 に 係 る 単 分子膜が、 比較例 1 一 2 に 係 る 単分子膜 よ り も 均一で 整 っ た 膜構造で あ る こ と が分か っ た 。

(比較例 1 一 3 )

本比較例 1 一 3 に於い て は、 洗浄剤 と して 酢酸ェチ ル又は ギ酸ェ チル を用 い た他は、 前記実施例 1 — 3 と 同様の工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に 単分子膜 1 3 を成膜 し た 。 こ の単分子膜 1 3 の形成後空気 中 に さ ら す と 、 ガ ラ ス基板 1 1 表面は一瞬に して 白 濁 し、 透明性を 有 す る 薄膜を 成膜す る こ と は不可能で あ っ た 。 尚、 上 記舴酸ェチル及びギ酸メ チ ル は特開平 6 — 4 5 1 4 2 号公報、 特閧 平 6 — 3 1 2 4 7 7 号公報、 特開平 6 — 1 8 7 6 9 2 号公報等 に 記 載さ れて い る 、 カ ルボ二 ル基 を 有 す る エ ス テ ル類で あ る 。

(比較例 1 一 4 )

本比較例 1 — 4 に於いて は、 洗浄剤 と して ト ルエ ン を 用 い た他は 、 前記実施例 1 一 3 と 同様の 工程 を行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に単分子膜 1 3 を 成膜 し た 。

ガ ラ ス 基板 1 1 上 に 成膜 さ れ た 単分子膜 1 3 に つ いて 観察 し た と こ ろ 、 ご く 薄 く 雲 が懸か っ た よ う に 見え た 。 更 に 、 こ の単分子膜 1 3 について F T — I R 測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 1 6 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 1 4 及 び図 1 5 と は 明 ら か に 異 な り 、 吸収強度 の 大 き な シ グナ ル が得 ら れ た 。 こ の こ と は 、 洗浄剤 と し て ト ル エ ン を 用 い た 場合 に は 、 洗浄 が不 十分で あ る こ と を 示 し て い る 。

( 比較例 1 一 5 )

本比較例 1 一 5 に於い て は、 洗浄剤 と し て D M F ( ジ メ チル フ ォ ル ム ア ミ ド ） を 用 い た他は、 前記実施例 1 一 3 と 同様 の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 1 1 上 に 単分子膜 1 3 を 成膜 し た 。

こ の 単分子膜 1 3 に つ いて 観察 し た と こ ろ 、 無色透明 に 見え た 。 更 に 、 こ の 単分子膜 1 3 に つ い て F T — I R 測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 1 7 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 1 4 及び図 1 5 と は 明 ら か に 異 な り 、 吸収強度 の大 き な シ グナ ル が得 ら れた 。 こ の こ と は、 洗浄剤 と して D M F を 用 い た場合に は、 洗浄が不十分で あ る こ と を 示 し て い る 。

'(結果）

以上の結果か ら 、 有機薄膜を 製造す る に 際 し て 、 そ の 除去工程 に て ァセ ト ン 又は メ チルェチル ケ ト ン を 洗浄剤 と し て 用 い れば、 ク ロ 口 ホ ル ム と 同様 の洗浄効果があ る こ と が確認 さ れた 。 更 に 、 上記ァ セ ト ン や メ チルェチルケ ト ン の他 に、 ジ ェチ ル ケ ト ン 、 メ チル イ ソ プチルケ ト ン 又は ァ セ チルァ セ ト ン等 を 使用 し た場合 に も 、 ク ロ 口 ホル ム を使用 し た場合 と 同様の洗浄効果 を 奏す る こ と が確認 さ れ た 。 一方、 塩素系洗浄剤 で はな い ト ルエ ン や D M F を 洗浄剤 と して 使 用 し た場合 と 比較 して 、 洗浄作用 に優れて い る こ と が確認さ れた 。 よ っ て 、 上記各実施例 に係 る 洗浄剤 は有機塩素 系溶剤 の代替洗浄剤 と し て 有用 で あ る こ と が判明 し た 。

[第 2 実施例 ]

(実施例 2 — 1 ) 先ず、 へ キ サデ カ ン に n — 才 ク タ デ シ ル ト リ ク ロ ロ シ ラ ン を 約 1 重量％ と な る よ う に 溶解 さ せ 吸着溶液 A を 調製 し た 。

次 に 、 十分 に 脱脂洗浄 を 施 し た ガ ラ ス 基板 2 1 ( 2 0 X 7 m m 、 厚み 1 . 1 m m ) を 、 吸着溶液 A に 1 時間浸潰 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 ガ ラ ス 基板 2 1 表面 に 存在 す る ヒ ド ロ キ シ ル基 と 、 ト リ ク ロ ロ シ リ ル基 と が、 下記化学反応式 に 示 す脱塩酸反応 を 起 こ し、 シ ロ キ サ ン 結合 を 介 し て 該 ガ ラ ス 基板 2 1 上 に化学吸着 し た 。

C1

CH3(CH2)17-Si-Cl + HO—基材

C1

C1

~ CH3(CH2)17— Si— 0—基材 . ' ' （3>

C1

■ 次に、 相対湿度 3 5 %程度 の 空気中 で 、 洗浄剤 と し て の ポ リ ェ チ レ ン グ リ コ 一ル （平均分子量 3 0 0 ) を 5 0 m l ( ガ ラ ス 基板 2 1 が十分 に浸か り 、 振 り 払い洗浄が可能な程度 の量） 洗浄槽 に 入れ、 約 4 5 °Cで加熱 し た 。 こ の洗浄槽 の 中で ガ ラ ス 基板 2 1 を 3 回洗浄 し た。 1 回 の洗浄 に有 す る 洗浄時間は 1 分間程度 と し た 。 更 に 、 ガ ラ ス基板 2 1 表面 に付着 し た ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール を洗い流す為 に、 水洗を 行 っ た 。 水洗は流水下で約 5 分間置 く こ と に よ り 行 っ た 。 こ れに よ り 、 洗浄剤 を洗い 流 す と 共 に 、 ガ ラ ス 基板 2 1 上 に化学 吸着 し た分子 に於け る 未反応 の C 1 基が O H 基 に 置換 さ れ る 。 続 い て 、 ガ ラ ス 基板 2 1 を 乾燥 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 O H 基同士が脱水 反応を起 こ して 架橋 し、 図 1 8 に 示 す 単分子膜 2 2 が ガ ラ ス 基板 2 1 上 に形成さ れた 。

こ こ で 、 単分子膜 2 2 に つ い て フ ー リ エ 変換赤外分光法 （ 以下 、 F T — I R と 略 す 。） に て 測定 す る と 、 図 1 9 に 示 す よ う に 、 2 9 3 0 ~ 2 8 4 0 c m— ¹ ( 帰属 ： C H ₃ 及び一 C H ₂ — ）、 1 4 7 0 c m - ¹ (帰属 ： — C H ₂ — ）、 1 0 8 0 c m - ¹ (帰属 ： 一 S i — 0 — ） に 特徴的 な シ グナ ル が得 ら れ た 。 こ れ に よ り 、 図 1 8 に 示 す単分子 膜 2 2 が形成 さ れて い る こ と が確認 さ れた 。

尚、 本実施例 に於 け る 除去工程 は、 相対湿度 5 %以下 の ド ラ イ エ ァ一 中 又は窒素 中 で 行 う 方 が良 い が、 相対湿度 3 5 %以下 の空気 中 で あれば、 良好 な結果が得 ら れ た 。

(比較例 2 — 1 )

本比較例 2 — 1 に於 い て は 、 洗浄剤 と し て ク ロ 口 ホ ル ム を 用 い た 他は、 前記実施例 2 — 1 と 同様の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 2 1 上 に単分子膜 2 2 を成膜 し た 。 こ の単分子膜 2 2 に つ い て F T 一 I R測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 2 0 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 1 9 に示す吸収ス ぺ ク トル と ほぼ同 じ吸収位置 に ほぼ同 じ 吸収強度 の シ グナル を得 ら れた 。

更 に、 実施例 2 — 1 と 比較例 2 — 1 と に つ い て 詳細 に 比較検討 し た結果、 両者 に は膜構造 に於い て 以下 に述べ る 相違点が見出 さ れ た 。 即ち 、 図 1 9 及び図 2 0 に 示す吸収ス ペク ト ル に於いて 、 2 9 2 0 c m— ¹ の C H ₂ に 逆対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と 、 2 8 6 0 c m— ¹ の C H ₂ に対称伸縮振動 に 由 来す る 吸収 と を 比較す る と 、 そ の 吸収比は、 実施例 2 — 1 に係 る 図 1 9 に於い て は 1 . 6 5 ： 1 で あ り 、 比較例 2 — 1 に 係 る 図 2 0 に於い て は 1 . 5 8 ： 1 で あ っ た 。 よ っ て、 実施例 2 — 1 に 係 る 単分子膜が、 比較例 2 — 1 に係 る 単分 子膜よ り も 均一で整 つ た膜構造で あ る こ と が分か っ た 。

(実施例 2 - 2 )

先ず、 シ ロ キ サ ン 系溶媒 （ 商品 名 ： K F 9 6 L 、 信越化学 （株 ） 製） / ト ル エ ン （ = 1 0 / 1 ) に 下記化学式 （ 4 ) で 表 さ れ る 化合物 を 約 1 重量％ と な る よ う に 溶解 さ せ て 、 吸着溶液 B を 調製 し た 。

C1

《 CH=CH-C - - O- <CH2)6- OSi-Cl

II

o CI

(4)

次 に 、 十分 に 脱脂洗浄 を施 し た ガ ラ ス 基板 2 1 を 窒素雰囲気中 で 、 吸着溶液 B に 1 時間浸漬 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 上記化学式 （ 4 ) で表 さ れ る 分子が、 下記化学式 （ 5 ) に 示 す よ う に 、 ガ ラ ス 基板 2 1 上 に化学吸着 し た 。

C1

《 CH=CH- C-《 ])-0(CH2)6-OSi-O-基材

II

0 CI

(5) 次に、 湿度 5 0 %の 空気中 、 洗浄剤 と して の グ リ コ ー ルエーテ ル (商品名 ： P K — L C G 5 5 、 パ 一力 一 コ ーポ レ ー シ ョ ン製） （ 平均 分子量 2 0 0 ) を 十分 な 量 と な る よ う に洗浄槽 に 入れ、 約 8 0 °Cで 加熱 し た。 こ の洗浄槽の 中 で ガ ラ ス 基板を 十分 に 洗浄 し た。 更 に 、 ガ ラ ス基板 2 1 表面 に付着 し た ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール を 洗い 流 す 為に、 充分 に 水洗 を 行 っ た 。 こ れ に よ り 、 洗浄剤 を 洗い 流す と 共 に 、 ガ ラ ス基板上 に化学吸着 し た 分子 に於け る 未反応の C 1 基が O H 基に置換 さ れ る 。 続い て 、 ガ ラ ス 基板 2 1 を 乾燥 さ せ た 。 こ れ に よ り 、 O H基同士 が脱水反応 を 起 こ して 架橋 し 、 図 2 1 に 示 す単分子 膜 2 3 がガ ラ ス 基板 2 1 上 に形成 さ れた 。

こ こ で、 単分子膜 2 3 に つ い て F T — I R測定 を す る と 、 図 2 2 に 示 す よ う に 、 2 9 2 0 〜 2 8 4 0 c m— ¹ ( 帰属 ： 一 C H ₂ — )、

1 6 5 0 c m— ¹ (帰属 ： C = 0 )、 1 6 0 0 c m— ¹ ( 帰属 ： ベ ン ゼ ン 骨格）、 1 3 4 5 c m— ¹ ( 帰属 ： ベ ン ゼ ン 骨格）、 1 0 8 0 c m— ¹ ( 帰属 ： 一 S i — 0 — ) に 特徴的 な シ グナ ル が得 ら れた 。 こ れ に よ り 、 膜形成の 確認が さ れた 。

( 比較例 2 — 2 )

本比較例 2 — 2 に 於いて は 、 洗浄剤 と し て ク 口 口 ホ ル ム を 用 い た 他は、 前記実施例 2 — 2 と 同様の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 2 1 上 に 単分子膜 2 3 を成膜 し た 。 こ の 単分子膜 2 3 に つ い て F T — I R測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 2 3 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 2 2 に 示 す吸収 ス ぺ ク ト ル と ほぼ 同 じ 吸収位置 に ほぼ 同 じ 吸収強度の シ グナ ル を得 ら れた 。

更 に 、 実施例 2 - 2 と 比較例 2 — 2 と に つ い て 詳細 に 比較検討 し た結果、 両者 に は膜構造 に於い て 以下 に 述べ る 相違点が見出 さ れ た 。 即 ち 、 図 2 2 及び図 2 3 に 示 す吸収ス ぺ ク ト ル に於 い て 、 2 9 2 0 c m— ¹ の C H ₂ に逆対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と 、 2 8 6 0 c m一 ¹ の C H ₂ に対称伸縮振動 に 由来す る 吸収 と を 比較す る と 、 そ の 吸収比は、 実施例 2 — 2 に係 る 図 2 2 に於い て は 1 . 8 ： 1 で あ り 、 比較例 2 — 2 に係 る 図 2 3 に於い て は 1 . 7 ： 1 で あ っ た 。 よ つ て 、 実施例 2 — 2 に係 る 単分子膜が、 比較例 2 — 2 に 係 る 単分子膜 よ り も 均一で整 っ た膜構造で あ る こ と が分か っ た 。

(実施例 2 — 3 )

本実施例 2 — 3 に於いて は、 洗浄剤 と し て ェ ト キ シ エ タ ノ ール を 用 い た他は 、 前記実施例 2 — 2 と 同様の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス基板 2 1 上 に 単分子膜 2 3 を 成膜 し た 。 こ の単分子膜 2 3 に つ い て F T — I R測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 2 4 に 示 さ れ る よ う に 、 前記 図 2 2 及び図 2 3 と ほ ぼ同 じ 位 置 に ほぼ 同 じ 吸収強度 の シ グナ ル を 得 ら れた 。

( 比較例 2 — 3 )

本比較例 2 — 3 に於い て は 、 洗浄剤 と し て ト ルエ ン を 用 い た他 は 、 前記実施例 2 — 2 と 同様の 工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 2 1 上 に 単分子膜 2 3 を 成膜 し た 。

ガ ラ ス 基板 2 1 上 に成膜 さ れ た 単分子膜 2 3 に つ い て 観察 し た と こ ろ 、 ご く 薄 く 雲が懸か っ た よ う に見え た 。 更 に 、 こ の単分子膜 2 3 に つ い て F T — I R 測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 2 5 に 示 さ れ る よ う に 、 前記図 2 2 及び図 2 3 と は 明 ら か に 異 な り 、 吸収強度の大 き な シ グナルが得 ら れた 。 こ の こ と は 、 洗浄剤 と し て ト ルエ ン を 用 い た 場合に は、 洗浄が不十分で あ る こ と を 示 し て い る 。

( 比較例 2 — 4 )

本比較例 2 — 4 に於い て は、 洗浄剤 と して D M F ( ジ メ チ ル フ ォ ルム ア ミ ド ） を 用 い た他は、 前記実施例 2 — 2 と 同様の工程 を 行 う こ と に よ り ガ ラ ス 基板 2 1 上 に 単分子膜 2 3 を 成膜 し た 。

こ の単分子膜 2 3 に つ い て 観察 し た と こ ろ 、 無色透明 に見え た 。 更 に、 こ の単分子膜 2 3 に つ い て F T — I R 測定 を 行 っ た と こ ろ 、 図 2 6 に 示 さ れ る よ う に、 前記図 2 2 及び図 2 3 と は 明 ら か に異 な り 、 吸収強度の大 き な シ グナ ル が得 ら れた 。 こ の こ と は、 洗浄剤 と して D M F を 用 い た場合に は 、 洗浄が不十分で あ る こ と を 示 し て い る 。

(結果）

以上の結果か ら 、 有機薄膜 を 製造す る に 際 し て 、 そ の除去工程 に て ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル、 グ リ コ ー ル エーテ ル 又はエ ト キ シ エ タ ノ ール を 洗浄剤 と し て 用 い れば 、 ク ロ 口 ホ ル ム と 同様の洗浄効果 が あ る こ と が確認 さ れ、 未吸着 の 分子 が除去 さ れた 均一 な膜厚 の 有機 薄膜を 製造 す る こ と がで き た 。 一 方 、 塩素 系洗浄剤 で は な い ト ル ェ ン ゃ D M F 等 の従来の 代替洗浄剤 を使用 し た 場合 と 比較 し て 、 上 記 洗浄剤 は洗浄作 用 に 優れて い る こ と が確認 さ れた 。 よ っ て 、 上記各 実施例 に係 る 洗浄剤 は 有機塩素 系 溶剤 の代替洗浄剤 と し て 有 用 で あ る こ と が判明 し た 。 発明 の詳細 な 説明 の項 に お い て な さ れた 具体的 な 実施態様は、 あ く ま で も 、 本発明の 技術内容 を 明確に す る も の で あ っ て 、 そ の よ う な 具体例 に の み限定 し て 狭義 に 解釈さ れ る べ き も ので は な く 、 本発 明の精神 と 次 に 記載す る 許請求事項 と の範囲内で 、 種 々 に 変更 し て 実施す る こ と がで き る も の で あ る 。

産業上の利用 可能性

以上説明 し た様 に、 本発 明の構成に よ れば、 本発明 の課題を 十分 に達成す る こ と がで き る 。

即 ち 、 本発明 に係 る 有機薄膜 に よ れば、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 に よ り 洗浄 さ れて形成 さ れ る ので 、 均 一 な膜厚 を有 し 、 かつ均 一 に 配列 し 整 っ た膜構造 と す る こ と がで き る 更 に、 本発明 に 係 る 有機薄膜の製造方法 に よ れば、 ケ ト ン類、 ァ ルキ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 を 含む洗浄剤 を 用 い る こ と に よ り 、 塩素系 洗浄剤 の代替洗浄剤 と して 未固定分子 を 除去 す る こ と がで き 、 一様 な膜厚 を 有 す る 有機薄膜の製造 が可能 と な る 。 こ の 結果、 環境 に 対 す る 負 荷 を 低減 し た 有機薄膜の製造 プ ロ セ ス を 提供 で き る と い う 効 果 を 奏 す る 。

又、 本発 明 に 係 る 液晶配向膜 に よ れば、 膜厚 が均一 で 、 かつ 分子 群が均一 に 配列 し整 っ た膜構造 を 有 す る の で 、 配列状態 を 乱す こ と な く 液晶分子 を 配向 さ せ る こ と が可能 と な る 。

更 に 、 本発 明 に 係 る 液晶配 向膜の製造方法 に よ れば、 ケ ト ン類、 アル キ レ ン グ リ コ 一ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少な く と も 一種 を 含む洗浄剤 を 用 い る こ と に よ り 、 塩素 系有機溶剤 を 使 う こ と な し に 未固定分子 を 除去す る こ と がで き 一様 な膜厚 を 有 す る 液晶配向膜 を 製造で き る 。 し か も 、 基板 に 対す る 吸 着状態が良好で膜構造 に乱れが生 じ る こ と な く 、 配 向能 に優れ た 液 晶配向膜 を 、 環境 に対す る 負荷 を 低減 し て製造で き る と い う 効果 を 奏す る 。

更 に 、 こ の様な液晶配向膜 を 備 え た 液晶表示装置で あ る と 、 液晶 の配向欠陥等が視認 さ れず表示品位 に優れ た も の に で き る と い う 効 果を奏す る 。 よ っ て 、 本発明 の産業上 の意義は大で あ る 。

Claims

請 求 の 範 囲

( 1 ) 基材上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な る 有機薄膜で あ っ て 、 上記有機薄膜は 、 活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た後、 上 記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一 ル類及びア ル コ キ シ アル コ ール類 か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れた も の で あ る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜。

( 2 ) 上記活性水素 を 備 え た 官能基に対 して 反応性 を 示 す官能 基は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官 能基で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 に 記載の有機薄膜。

I I

-AX 、 -AX2 及び —AX3 · * * <!>

I

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 3 ) 上記洗浄剤 は、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い こ と を 特徴 と す る 請求項 1 に記載の 有機薄膜。

( 4 ) 上記洗浄剤 の含水率 が 1 % 未満で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 に記載の 有機薄膜。

( 5 ) 上記基材の 表面 に は 、 活性水素 を 有 す る 官能基が存在 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 に 記載の有機薄膜。

( 6 ) 上記基材は 、 ガ ラ ス 、 金属、 金属酸化物、 樹脂、 紙、 布

、 木材及びセ ラ ミ ッ ク ス か ら な る 群 よ り 選ばれ る 何 れ か一種か ら な る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 に 記載の有機薄膜。

( 7 ) 上記有機薄膜は 乾燥雰囲気 中 で 上記分子 を 上記基材面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た後 乾燥雰囲気 中で上記洗浄剤 に て 除去 し て 得 ら れた 単分子膜で あ る と を 特徴 と す る 請求項 1 に 記載の 有機 簿膜。

( 8 ) 基材上 に 結合さ れ た 分子群か ら な る 有機薄膜で あ っ て 、 上記有機薄膜は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れる 一種の官能基を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に接触 さ せて 結合 さ せた後、 上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チ ル ェ チル ケ ト ン 、 ジェチル ケ ト ン 、 メ チルイ ソ プチ ル ケ ト ン及びァ セ チ ルアセ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 1 種の ケ ト ン 類 を 含 む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れた も の で あ る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜 -AX 、 -AX 及び -Α ί ■ * · <!>

( 式 中 、 Α は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種の 原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ば れ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。）

( 9 ) 基材上 に 結合 さ れた 分子群か ら な る 有機薄膜で あ っ て 、 上記有機薄膜は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種 の官能基を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に接触 さ せて 結合 さ せ た後、 上記基材 に結合さ れな い 上記分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ ー ル 、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル、 ブチ レ ン グ リ コ 一 ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ エ チ ル エ ー チ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル ア セ テ ー ト 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル ァ セ テ一 ト 及びエチ レ ン グ リ コ ールモ ノ 一 n—ブチル ェ 一 テ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 を含む洗浄剤で 除去 し て得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 有機 薄膜。

-AX 、 -AX2 及び — A 3 - ' ' <1>

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム、 ス ズ、 チ タ ン及び ジル コ ニ ゥ ムか ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 1 0 ) 基材上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な る 有機薄膜で あ っ て 上記有機薄膜は 、 下 記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に 接触 さ せて 結合 さ せ た後、 上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ —ル、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ール 、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ エチ ルェ 一テ ル、 ポ リ ジ エチ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル ア セ テ ー ト 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ノレ エ 一 テ ル 、 ポ リ ェチ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チ ル ェ 一テ ル ァ セ テ 一 ト 及びポ リ ェチ レ ン グ リ コ ールモ ノ ー n — ブチ ルエーテルか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な ぐと も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 を 含む洗浄剤 で除去 し て 得 ら れた も の で あ る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜。

-AX 、 -AX2 及び — AX3 . . . (1)

(式中、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。）

( 1 1 ) 上記ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類の分子量が 1 0 0 以上、 3 0 0 以下の範囲 内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 0 に記載の 有 機薄膜。 ( 1 2 ) 基材上 に 結合 さ れ た 分子群 か ら な る 有機薄膜で あ っ て 上記有機薄膜 は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基材面 に 接触 さ せ て 結合 さ せ た後、 上記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ー ル 及びメ ト キ シ ア ル コ ールか ら な る 群 よ り 選 ばれ る 少 な く と も 一種 の アル コ キ シ ア ル コ ール類 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜。

1 I

-AX 、 -AX2 及び 一 A 3 - ' ' (1)

I (式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し 、 X は ノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ゾ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ば れ る 1 種の官能基を 表 し て い る 。） ( 1 3 ) 活性水素 を有 す る 官能基 に 対 して 反応性 を 示 す官能基 を備え た 分子群 を基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材上 に結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に結合さ れな い上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤で 除去 す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造方 法。

( 1 4 ) 上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選 ばれ る 1 種 の 官能基 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 に 記 載の有機薄膜の 製造 方 法。

-AX 、 -AX2 及び —AX3 . . . <1>

( 式 中 、 Aは ケ ィ 素 、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し 、 Xは ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 1 5 ) 上記洗浄剤 と し て 、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 に 記載の 有機薄膜の 製造方法。

( 1 6 ) 上記洗浄剤 と し て 、 含水率が 1 %未満の も の を使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 に 記載の有機薄膜の製造方法。

( 1 7 ) 更 に 、 上記除去工程の後 に 、 上記基材 に 付着 し た上記 洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤除去工程 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 3 に記載の有機薄膜の製造方法。

( 1 8 ) 上記洗浄剤除去工程は、 上記基材 に付着 し た上記洗浄 剤 を水で洗い流す リ ン ス 工程 と 、 上記基材 に付着 し た 上記水 を 乾燥 さ せ る 乾燥工程 と を有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 7 に記載の 有 機薄膜の製造方法。

( 1 9 ) 上記基材 と し て 、 そ の 表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基 が存在 す る も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 4 に 記載の 有 機薄膜の製造 方法。

( 2 0 ) 上記基材 と し て 、 ガ ラ ス 、 金属、 金属酸化物、 樹脂 、 紙、 繊維、 木材及び セ ラ ミ ッ ク ス か ら な る 群 よ り 選ば れ る 何 れか一 種か ら な る も の を 用 い る こ と を 特徴 と す る 請求項 1 9 に 記載の 有機 薄膜の製造方法。

( 2 1 ) 上記被膜形成工程及 び除去工程 を 乾燥雰 囲気中 で 行 う こ と を 特徴 と す る 請求項 1 4 に 記載の有機薄膜の製造方法。

( 2 2 ) 上記基材上 に 、 上記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 有 す る 分子群 を 、 単分子膜状 と な る よ う に.結合 さ せ た 、 そ の よ う な 有機薄膜を形成す る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 1 に 記載の 有機簿膜の製造方法。

( 2 3 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材 上に結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に結合 さ れな い上記分子を 、 アセ ト ン 、 メ チ ルェチ ル ケ ト ン、 ジェチルケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ ブチ ル ケ ト ン及びァ セ チ ル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種の ケ ト ン類 を 含む洗浄 剤で除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造方法。 AX AX2 ¾び ( 1)

( 式 中 、 Α は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及 び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ 基及び イ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 2 4 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材 上 に 結合 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と

• 上記基材上 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 エ チ レ ン グ リ コ ール、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ブチ レ ン グ リ コ 一 ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ — ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ メ チ ル エー テ ル ァ セ テ 一 ト 及びェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ 一 n — ブチ ル エ ー テ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類 を 含 む洗浄剤で除去 す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造方法。 I I

-AX 、 -AX2 及び — AX3 ■ · · !>

(式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲ ル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の 原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 2 5 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基 を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材 上 に結合さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 上記基材上 に結合 さ れな い上記分子 を 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ ェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル、 ポ リ ジ エ チ レ ン グ リ コ 一 ノレ モ ノ エチ ルェ一 テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル ァ セ テー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ メ チ ルエーテ ル、 ポ リ ェ チ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ メ チルェ一テ ル ア セ テ ー ト 及びポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ 一 n — プチルェ一テ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種のアル キ レ ン グ リ コ ール類 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去ェ 程 と、

を含む こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造方法。

I I

-AX 、 -AX2 及び — AX3 ■ * ■ <!>

I (式中、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 1 種 の 原子 を 表 し 、 X は ノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及 びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。） ( 2 6 ) 上記 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類の分子量が 1 0 0 以上 、

3 0 0 以下 の範囲 内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 5 に記載の 有 機薄膜の製造方 法。

( 2 7 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基 を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 、 該基材 上 に結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 上記基材上 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ー ル及び メ ト キ シ ア ル コ ール か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 を 含む洗浄剤 で除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び ■ · · <!>

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 X はノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 2 8 ) 活性水素 を 有 す る 官能基に 対 し て 反応性 を 示す官能基 を備 え た分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表面 に 結合 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成手段 と 、 上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及 びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去 す る 除去手段 と 、

を 有 す る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造装置。

( 2 9 ) 上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 8 に 記 載の 有機薄膜の製造装置。

-AX 、 -AX2 及び 一 A 3 ■ ' ■ <i> (式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の官能基を 表 し て い る 。） ( 3 0 ) 上記有機簿膜の製造装置は、 上記被膜形成手段 と 除去 手段 と が同 一の密閉系 に含み構成 さ れて い る こ と を 特徴 と す る 請求 項 2 8 に記載の有機簿膜の製造装置。

( 3 1 ) 上記被膜形成手段及び除去手段 を 内部 に設置 し 、 同 一 の密閉系 と す る こ と が可能な外気遮蔽手段で あ っ て 、 内部の湿度 を 制御 し て 乾燥雰囲気 と す る 外気遮蔽手段 を 備 え る こ と を 特徴 と す る 請求項 3 0 に 記載の有機薄膜の 製造装置。 ( 3 2 ) 上記被膜形成手段 と 除去手段 と は 、 相 互 に 分離 · 独 立 し て 設け ら れて い る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 8 に 記載の有機薄膜 の製造装置。 ( 3 3 ) 上記洗浄剤 は、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い こ と を 特徴 と す る 請求 2 8 に 記載の 有機薄膜の 製造装置。

( 3 4 ) 上記洗浄剤 の含水率が 1 %未満で あ る こ と を 特徴 と す る 請求 2 8 に 記載の 有機薄膜の製造装置。

( 3 5 ) 上記基材 に付着 し た 上記洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤 除去 手段 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 2 8 に 記載の有機薄膜の製造 装置。 ( 3 6 ) 上記洗浄剤 除去手段は、 上記基材 に付着 し た上記洗浄 剤 を水で洗い流す リ ン ス 手段 と 、 上記基材 に付着 し た上記水 を 乾燥 し除去す る 乾燥手段 と か ら な る こ と を 特徴 と す る 請求項 3 5 に 記載 の有機薄膜の製造装置。 ( 3 7 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表 面に結合さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に 結合 さ れ な い上記分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チ ルェチル ケ ト ン、 ジ ェ チ ル ケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ プチ ル ケ ト ン 及 び ァ セ チ ル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種 の ケ ト ン類 を 含む洗浄 剤 で 除去 す る 除去手段 と 、

を 有 す る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜 の製造装置。

-AX 、 -AX2 及び — A 3 ■ * ' <!>

( 式 中 、 A は ケ ィ 素 、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の 原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及び ィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選 ばれ る 1 種 の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 3 8 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基 を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表 面 に結合 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に結合 さ れな い上記分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ 一ル、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ 一ル、 ブチ レ ン グ リ コ ール、 ェチ レ ン グ リ コ 一 ノレ モ ノ ェチルェ一テ ル、 ジ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチ ルェ一テ ル、 ェチ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ ェチルエーテ ルァセ テ一 ト 、 エチ レ ン グ リ コ 一 ルモ ノ メ チ ルェ一テ ル、 エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ メ チ ルエーテ ル ァ セ テー ト 、 エチ レ ン グ リ コ ール モ ノ ー n—ブチ ル エーテ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一ル、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ プチ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ —ル モ ノ エチルェ —テ ル、 ポ リ ジ ェ チ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ ェ チルエーテ ル、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一 レ モ ノ ェチルェ一テ ル ァ セ テ ー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ —ルモ ノ メ チ ル ェ —テル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ール モ ノ メ チルエ ーテ ル ァ セ テ 一 ト 及 びポ リ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ 一 n — ブチ ルェ一テ ル か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 少 な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 を 含む洗浄 剤 で 除去す る 除去手段 と 、

を 有 す る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造装置。

-AX 、 -AX2 及び —A 3 ■ ' ' <1>

( 式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 3 9 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の官能基を 有 す る 分子群 を 基材 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基材表 面 に結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ール及び メ ト キ シ アル コ ールか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル コ キ シ ア ル コ ール類 を含む洗浄剤 で 除去す る 除去手段 と 、

を 有す る こ と を 特徴 と す る 有機薄膜の製造装置。

I I

-AX 、 -AX2 及び — A 3 - · · <!>

I

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。） ( 4 0 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜で あ っ て 、

上記液晶配向膜は 、 活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た 後、 上記基板 に結合 さ れな い上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れた も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜。

( 4 1 ) 上記活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す 官 能基は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 0 に 記載の液晶配向膜。

\

AX -AX2 及び -AX3 (1)

I

(式中、 Aは ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 Xは ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 4 2 ) 上記洗浄剤は、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い こ と を特徴 と す る 請求項 4 0 に 記載の液晶配 向膜。

( 3 ) 上記洗浄剤 の含水率 が 1 %未満で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 0 に 記載の 液晶配向膜。

( 4 4 ) 上 記基板の 表面 に は 、 活性水素 を 有 す る 官能基が存在 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 1 に 記載の液晶 配 向膜。

( 4 5 ) 上 記液晶配向膜は 、 乾燥雰囲気 中 で 上記分子 を 上記基 板面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た後、 乾燥雰 囲気 中 で 上記洗浄剤 に て 除 去 し て 得 ら れ た 単分子膜で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 0 に 記載 の液晶配 向膜。

( 4 6 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜で あ っ て 、

上記液晶配向膜は、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せて 結合 さ せ た後、 上記基板 に結合 さ れな い分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チルェ チ ルケ ト ン 、 ジ ェ チ ル ケ ト ン、 メ チ ルイ ソ プチ ル ケ ト ン及びァ セ チ ル アセ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 1 種の ケ ト ン類 を含む 洗浄剤で除去 し て 得 ら れた も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜

AX -AX2 及び -A ¾ (1)

(式中 、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ムか ら な る群 よ り 選ば れ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ 基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。） ( 4 7 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群 か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜で あ っ て 、

上記液晶配 向膜は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せて 結合 さ せ た後、 上記基板 に結合 さ れな い分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ ール 、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ 一 ル 、 ブチ レ ン グ リ コ ー ル 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ジ ェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ エ チ ノレ エ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル ア セ テ ー ト 及びエチ レ ン グ リ コ ール モ ノ ー n — ブチ ルエーテ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 を 含む洗浄剤 で 除去 して 得 ら れ た も ので あ る こ と を 特徴 と す る 液晶配 向膜。

I

AX AX2 及び -AXJ

I

(式 中、 Αは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 4 8 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の方向 に配向 さ せ る 液晶配向膜で あ っ て 、

上記液晶配向膜は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せ て 結合 さ せ た後、 上記基板 に 結合 さ れな い 分子 を 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一 ルモ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル 、 ポ リ ジ エチ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェ チ ルェ一テ ル ァ セ テ 一 ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チルェ一テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ール モ ノ メ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 及びポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ー n — プチル ェ 一 テ ル か ら な る 群 よ り 選 ばれ る 少 な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れた も ので あ る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜。

AX AX2 及び (1)

！

(式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 4 9 ) 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ール類の分子量が 1 0 0 以上、 3 0 0 以下の範囲 内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 4 8 に 記載の液 晶配向膜。

( 5 0 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の方向 に配向 さ せ る 液晶配 向膜で あ っ て 、 上記液晶配 向 膜は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 該基板面 に接触 さ せて 結合 さ せ た後、 上記基板 に 結合 さ れ な い分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ール及 び メ ト キ シ ア ル コ ー ルか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種の ァ ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 を 含む洗浄剤で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜。

( 式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選 ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 5 1 ) 基板上 に 結合 さ れた 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に配向 さ せ る 液晶配向膜の製造方法で あ っ て 、

上記基板に 、 活性水素 を 有 す る 官能基に 対 し て 反応性 を 示 す官能 基 を備 え た 分子群 を接触さ せ、 該基板表面 に 結合 さ せ て 、 該分子群 か ら な る 被膜を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い上記分子を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤で 除去 す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造方法。

( 5 2 ) 上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれる 1 種 の 官能基を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 1 に 記 載の液晶配向膜の製造方法。 -AX 、 -AX2 ¾び — A 3 · * * <!>

( 式 中 、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 Xはノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 5 3 ) 上記洗浄剤 と し て 、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 1 に記載の液晶配 向膜の製造方法。

( 5 4 ) 上記洗浄剤 と し て 、 含水率が 1 %未満の も の を使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 1 に 記載の液晶配向膜の製造方法。

( 5 5 ) 更 に 、 上記除去工程の後 に 、 上記基板に付着 し た 上記 洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤除去工程 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 1 に記載の液晶配向膜の製造方 法。

( 5 6 ) 上記洗浄剤除去工程は、 上記基板に 付着 し た 上記洗浄 剤 を水で洗い流す リ ン ス 工程 と 、 上記基板 に付着 し た 上記水 を 乾燥 さ せ る 乾燥工程 と を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 5 に 記載の液 晶配向膜の製造方法。

( 5 7 ) 上記基板 と して 、 そ の表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基 が存在す る も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 2 に 記載の 液 晶配向膜の製造方法。 ( 5 8 ) 上記被膜形成工程及び除去工程 を 乾燥雰 囲気中 で 行 う こ と を 特徴 と す る 請求項 5 2 に 記載の液晶配 向膜の製造方法。 ( 5 9 ) 上記基板上 に 、 上記 一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 単分子膜状 と な る よ う に結合 さ せ た 、 そ の よ う な液晶配向膜 を形成す る こ と を 特徴 と す る 請求項 5 8 に 記載の液晶配向膜の製造方法。 ( 6 0 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜の製造方法で あ っ て 、

下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基板 に接触さ せ、 該基板に結合 さ せて 、 該分子群 ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 アセ ト ン 、 メ チルェチル ケ ト ン、 ジ ェチル ケ ト ン 、 メ チル イ ソ プチルケ ト ン及びァセ チル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 1 種の ケ ト ン類 を含む洗浄 剤で除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び — A 3 ■ ' ■ <»> (式中、 Aは ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及びジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 Xはノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。） ( 6 1 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液 晶分子 を 特定 の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配向膜の製造方 法で あ っ て 、

上記基板 に 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 接触 さ せ、 該基板 に 結合 さ せて 、 該 分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ ール、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ブチ レ ン グ リ コ 一 ル 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル ァ セ テ ー ト 及びエ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ 一 n — ブチ ルエ ー テ ルか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種 の アル キ レ ン グ リ コ ール類 を含む 浄剤で除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶配 向膜の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び — AX3 · - · !>

I

(式中 、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。）

( 6 2 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の方向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜の製造方 法で あ っ て 、

上記基板に 、 下記一般式 （ 1 ) で表 さ れ る 官能基群 か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基板 に 接触 さ せ 、 該基板 に 結合 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成 す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ール 、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ 一ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチ ルエー テ ル 、 ポ リ ジ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチ ル エーテ ル 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ ェチ ル エーテ ルァ セ テ ー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ル モ ノ メ チルェ一テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ メ チ ルエー テ ル アセ テ ー ト 及びポ リ エチ レ ン グ リ コ 一ルモ ノ ー n — ブチルエー テ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 を含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造方法。

I

AX -AX2 及び -AX¾ (1)

(式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 6 3 ) 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ール類の分子量が 1 0 0 以上 、 3 0 0 以下の範囲内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 2 に記載の液 晶配向膜の製造方法。

( 6 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方向 に配向 さ せ る 液晶配向膜の製造方法で あ っ て 、 上記基板 に 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を接触 さ せ、 該基板 に 結合 さ せて 、 該 分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ェ ト キ シ エ タ ノ ー ル及び メ ト キ シ ア ル コ ー ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル コ キ シ ア ル コ ー ル類 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と 、

を 含む こ と を 特徴 と す る 液晶配 向膜の製造方法。

AX -AX2 及び 一 AX3 <1)

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。） ( 6 5 ) 活性水素 を 有す る 官能基に 対 し て反応性 を 示 す官能基 を備 え た 分子群 を 基板 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基板表面 に 結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜を形成す る 被膜形成手段 と 、

上記基材に 結合 さ れな い上記分子を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ ール類及びア ル コ キ シ アル コ ー ル類か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 を含む洗浄剤 で除去す る 除去手段 と 、

を有す る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造装置。

( 6 6 ) 上記分子 は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請 求項 6 5 に 記 載の液晶配 向膜の製造装置。

-AX 、 -AX2 ；&び — AX3 · ' ' <!>

( 式 中 、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 6 7 ) 上記液晶配向膜の製造装置は、 上記被膜形成手段 と 除 去手段 と が 同 一 の密閉系 に 含み構成 さ れて い る こ と を 特徴 と す る 請 求項 6 5 に 記載の液晶配向膜の製造装置。

( 6 8 ) 上記被膜形成手段及び除去手段 を 内部 に 設置 し、 同 一 の密閉系 と す る こ と が可能な外気遮蔽手段で あ っ て 、 内部の 湿度 を 制御 して 乾燥雰囲気 と す る 外気遮蔽手段 を 備 え る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 7 に 記載の液晶配向膜の 製造装置。

( 6 9 ) 上記被膜形成手段 と 除去手段 と は、 相互 に 分離 · 独 立 して設け ら れて い る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 5 に 記載の液晶配 向 膜の製造装置。

( 7 0 ) 上記洗浄剤は、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い こ と を 特徴 と す る 請求項 6 5 に 記載の液晶配向膜の製造装置。 ( 7 1 ) 上 記洗浄剤 の含水率 が 1 % 未満で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 5 に 記載の液晶配 向膜 の製造装置。

( 7 2 ) 上記基板 に付着 し た 上記洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤 除去 手段 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 6 5 に 記載の液晶配向膜の 製 造装置。

( 7 3 ) 上記洗浄剤除去手段は、 上記基板 に付着 し た上記洗浄 剤 を水で洗い 流す リ ン ス 手段 と 、 上記基板 に付着 し た 上記水 を 乾燥 し除去す る 乾燥手段 と か ら な る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 2 に 記載 の液晶配向膜の製造装置。

( 7 4 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 Sの官能基を 有 す る 分子群 を 基板 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基板表 面 に結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜 を形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に結合 さ れな い上記分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チルェチ ル ケ ト ン、 ジェチルケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ プチル ケ ト ン及びァセ チ ル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種の ケ ト ン類 を含む洗浄 剤で除去す る 除去手段 と 、

を有す る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造装置。

I I

-AX 、 -AX2 及び —AX3 " · ' <!>

I

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種の原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ 基及び ィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ば れ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。）

( 7 5 ) 下 記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基板 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基板表 面 に結合 さ せ て 、 該分子群か ら な る 被膜を 形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に 結合 さ れ な い上記分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ ール、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ブチ レ ン グ リ コ ー ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ 一 リレ モ ノ エ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ルモ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル ァ セ テ 一 ト 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ 一 n — ブチ ル ェ 一 テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ 一 ル 、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ー ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ポ リ ジ ェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル ア セ テ ー ト 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ —テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル ァ セ テ 一 ト 及 びポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ー n — ブチ ル エ ー テ リレ か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 を 含む洗浄剤 で除去す る 除去手段 と 、

を有 す る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造装置。

I I

-AX 、 -AX2 及び — AX3 ' * <1>

( 式 中 、 A は ケ ィ 素 、 ゲ ル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及 び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の 原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ 基及び ィ ソ シ ァ ネ 一 卜 基か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。） ( 7 6 ) 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 有 す る 分子群 を 基板 に接触 さ せ る こ と に よ り 該基板表 面 に 結合 さ せて 、 該分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成手段 と 上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ェ ト キ シ エ タ ノ ール及び メ ト キ シ ア ル コ ール か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種の ア ル コ キ シ ア ル コ ール類 を 含む洗浄剤 で 除去 す る 除去手段 と 、

を 有 す る こ と を 特徴 と す る 液晶配向膜の製造装置。

AX -AX2 及び -ΑΧί (1)

( 式 中、 Αは ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネー ト 基か ら 選ば れ る 1 種の官能基を 表 し て い る 。）

( 7 7 ) 基板上 に液晶分子 を 所定の 方 向 に配向 さ せ る液晶配向 膜を 備 え た液晶表示装置で あ っ て 、

上記液晶配向膜は、 活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す官能基を 有 す る 分子群が、 上記基板上 に 結合 さ れて な る 薄膜で あ り 、

かつ、 上記分子か ら な る 群 を 上記基板 に接触 さ せて 結合さ せ た 後 フ7 、 該基板 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ケ ト ン類、 ア ル キ レ ン グ リ コ —ル類及 びア ル コ キ シ ア ル コ ー ル 類か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 少 な く と も 一種 を 含む 洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液晶表示 装置。

( 7 8 ) 上記活性水素 を 備 え た 官能基 に 対 し て 反応性 を 示 す 官 能基は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 1 種 の 官能基で あ る こ と を 特徴 と す る 請 求項 7 7 に記載の液晶表示装置 。

AX -AX2 及び 一 AX3 (1)

(式 中、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 Xはノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基を 表 し て い る 。）

( 7 9 ) 上記洗浄剤は、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い こ と を 特徴 と す る 請求項 7 7 に 記載の液晶表示装置。

( 8 0 ) 上記洗浄剤 の含水率 が 1 %未満で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 7 に 記載の液晶表示装置。

( 8 1 ) 上記基板の表面 に は 、 活性水素 を 有 す る 官能基が存在 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 8 に 記載の液晶表示装置。 ( 8 2 ) 上 記液 晶配向膜は 、 乾燥雰 囲気 中 で 上記分 子 を 上記基 板面 に 接触 さ せ て 結合 さ せ た 後、 乾燥雰 囲気 中 で 上記洗浄剤 に て 除 去 し て 得 ら れ た 単分子膜で あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 7 7 に 記載 の液晶表 示装 置 。

( 8 3 ) 基板上 に 液晶分子 を 所定の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配 向 膜 を 備 え た 液晶表示 装置で あ っ て 、

上記液晶配 向膜は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 一種 の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 上記基板面 に 接触 さ せ て 結 合 さ せ た後、 該基板 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チ ル ェチ ル ケ ト ン 、 ジ ェ チ ルケ ト ン 、 メ チル イ ソ ブチ ル ケ ト ン及びァ セ チル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種の ケ ト ン 類 を 含む洗浄剤で 除去 して 得 ら れた も ので あ る こ と を 特徴 と す る 液晶表 示装置。

AX AX2 ¾び <1)

(式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し 、 X は ノ、 ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及び ィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 8 4 ) 基板上 に 液晶分子 を 所定の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配 向 膜を備 え た液晶表示装置で あ っ て 、

上記液晶配向膜は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ば れ る 一種 の 官能基 を 有 す る 分子群を 、 上 記基板 面 に接触 さ せ て 結 合 さ せ た 後、 該基板 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル 、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ブ チ レ ン グ リ コ ー ル 、 エ チ レ ン グ リ コ — ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル ェ — テ ル ア セ テ ー ト 及 びエ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ー n — ブチ ル エ ー テ ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル 類 を 含む洗浄剤 で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液 晶表示装置。

-AX 、 -AX2 及び — · · ■ !>

( 式 中 、 A は ケ ィ 素 、 ゲ ル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及 び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の 原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン、 ア ル コ キ シ基及びイ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 表 し て い る 。）

( 8 5 ) 基板上 に液晶分子 を 所定の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向 膜を備え た 液晶表示装置で あ っ て 、

上記液晶配向膜は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群を 、 上記基板面 に接触 さ せて 結 合さ せた後、 該基板 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ール、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ エ チ ル ェ 一 テ ル 、 ポ リ ジ エ チ レ ン グ リ コ

— ル モ ノ エ チ ル ェ一 テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 及 び ポ リ ェ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ 一 n — ブチ ル エーテ ルか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 を 含む洗浄剤で 除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置。

-AX 、 -AX2 及び — AX3 · · · <!>

( 式 中、 A は ケ ィ 素 、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選 ば れ る 1 種 の 原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 8 6 ) 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ール類の分子量が 1 0 0 以上 、 3 0 0 以下 の範囲 内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 5 に 記載の 液 晶表示装置。

( 8 7 ) 基板上 に液晶分子 を 所定の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配 向 膜を備 え た液晶表示装置で あ っ て 、

上記液晶配向膜は 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選 ばれ る 一種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 上記基板面 に接触 さ せて 結 合 さ せ た後、 該基板 に 結合 さ れ な い上記分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ー ル及びメ ト キ シ ア ル コ ールか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種 のア ル コ キ シ アル コ ール類 を 含む洗浄剤 で除去 し て 得 ら れ た も の で あ る こ と を特徴 と す る 液晶 表示 装置。 I I

-AX 、 -AX2 及び —AX3 · ' · !>

( 式 中 、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及 び ジ リレ コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種 の原子 を 表 し 、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及び ィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 8 8 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液 晶分子 を 特定 の 方 向 に 配向 さ せ る 液晶配向膜 を 備 え た液晶表示 装置 の製造方 法 で あ っ て 、

上記基板 に 、 活性水素 を 有 す る 官能基に対 し て 反応性 を 示す 官能 基を備 え た 分子群 を 接触 さ せ、 該基板表面 に 結合 さ せ て 、 該分子群 か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い上記分子 を 、 ケ ト ン 類、 ア ル キ レ ン グ リ コ 一ル類及びア ル コ キ シ ア ル コ ール類か ら な る 群 よ り 選 ばれ る 少 な く と も 一種 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置の製造方法。

( 8 9 ) 上記分子は、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種の 官能基を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 8 に 記 載の液晶表示装置 の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び 一 A 3 ■ · · <!> ( 式 中 、 Aは ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種 の 原子 を 表 し 、 Xは ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及び イ ソ シ ァ ネ ー ト 基 か ら 選 ば れ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 9 0 ) 上記洗浄剤 と し て 、 塩素 系溶剤 を 含 ま な い も の を使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 8 に 記載 の液晶表示装置の製造方 法

( 9 1 ) 上記洗浄剤 と して 、 含水率 が 1 %未満の も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 8 に 記載の液晶表示装置 の製造方法。

( 9 2 ) 更 に 、 上記除去工程 の後 に 、 上記基板 に 付着 し た 上記 洗浄剤 を 除去す る 洗浄剤除去工程 を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 8 に記載の液晶表示装置の製造方法。

( 9 3 ) 上記洗浄剤除去工程は、 上記基板 に付着 し た上記洗浄 剤 を水で洗い流す リ ン ス 工程 と 、 上記基板 に付着 し た 上記水 を 乾燥 さ せ る 乾燥工程 と を 有 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 9 2 に記載の 液 晶表示装置の製造方法。

( 9 4 ) 上記基板 と して 、 そ の表面 に 活性水素 を 有 す る 官能基 が存在す る も の を 使用 す る こ と を 特徴 と す る 請求項 8 9 に 記載の 液 晶表示装置の製造方法。

( 9 5 ) 上記被膜形成工程及 び除去工程 を 乾燥雰 囲気 中 で 行 う こ と を 特徴 と す る 請求項 8 9 に 記載の 液晶表示装 置 の 製造方 法。

( 9 6 ) 上 記基板上 に 、 上 記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基 を 有 す る 分子群 を 、 単分子膜状 と な る よ う に結合 さ せ た 、 そ の よ う な 液 晶配向膜を 形成す る こ と を 特徴 と す る 請求項 9 5 に 記載の液晶表示装置の製造方法。

( 9 7 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配 向膜 を 備 え た液晶表示装置 の製造方法 で あ っ て 、

下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基板 に接触 さ せ、 該基板 に 結合 さ せ て 、 該分子群 か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 ア セ ト ン 、 メ チ ルェチ ル ケ ト ン、 ジ ェ チ ル ケ ト ン 、 メ チ ル イ ソ ブチ ル ケ ト ン 及び ァ セ チ ル ァ セ ト ン か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 1 種の ケ ト ン 類 を 含む洗浄 剤で除去す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置 の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び —AX3 · ' " <1>

(式中、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノ、 ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及び ィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種 の 官能基 を 表 し て い る 。） ( 9 8 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液 晶 分子 を 特定 の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶配向膜 を 備 え た 液晶表示 装置 の 製造方 法 で あ っ て 、

上記基板 に 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群 か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 接触 さ せ、 該基板 に 結合 さ せ て 、 該 分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 エチ レ ン グ リ コ ール、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル 、 ブチ レ ン グ リ コ 一 ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル ェ 一 テ ル 、 ジ エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル 、 ェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ ェ チ ル エ ー テ ル ア セ テ ー ト 、 エ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ メ チ ル ェ 一 テ ル 、 エ チ レ ン グ リ コ ー ル モ ノ メ チ ル エ ー テ ル ァ セ テ 一 ト 及びェ チ レ ン グ リ コ 一 ル モ ノ 一 n — ブチ ルエー テ ルか ら な る 群 よ り 選ばれ る 少 な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ー ル類 を 含む 洗浄剤 で 除去 す る 除去工程 と 、

を含む こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置の製造方 法。

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-AX 、 -AX2 及び —AX3 · · * !

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( 式中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X は ノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ば れ る 1 種 の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 9 9 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群 か ら な り 、 液晶分子 を 特定 の方向 に配向 さ せ る 液晶配向膜 を 備 え た液晶表示装置 の製造方 法 で あ っ て 、 上記基板 に 、 下 記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 基板 に接触 さ せ 、 該基板 に 結合 さ せ て 、 該分子群 か ら な る 被膜 を 形成 す る 被膜形成工程 と 、 上記基材 に 結合 さ れ な い 上記分子 を 、 ポ リ エチ レ ン グ リ コ ール 、 ポ リ プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ル、 ポ リ ブチ レ ン グ リ コ ー ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一ル モ ノ エ チ ルェ一 テ ル 、 ポ リ ジ エチ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェチ ル ェ 一 テ ル 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ェ チ ル エ ーテ ル ァ セ テ ー ト 、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ 一ル モ ノ メ チ ルエ ー テ ル、 ポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ メ チ ルェ一テ ル アセ テ ー ト 及びポ リ エ チ レ ン グ リ コ ールモ ノ ー n — ブチ ルエーテ ル か ら な る 群 よ り 選ば れ る 少な く と も 一種の ア ル キ レ ン グ リ コ ール類 を含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と 、 を含む こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置の製造方 法。

-AX 、 -AX2 及び — A 3 ■ ' ■ <!>

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(式 中、 A は ケ ィ 素、 ゲルマ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン 及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ば れ る 1 種の原子 を 表 し 、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及び ィ ソ シ ァ ネ ー ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）

( 1 0 0 ) 上記ア ル キ レ ン グ リ コ ール類の 分子量が 1 0 0 以 上 、 3 0 0 以下 の 範囲 内 に あ る こ と を 特徴 と す る 請求項 9 9 に 記載の 液晶表示装置 の製造方法。

( 1 0 1 ) 基板上 に 結合 さ れ た 分子群か ら な り 、 液晶分子 を 特 定の 方 向 に 配 向 さ せ る 液晶 配 向膜 を 備 え た 液晶表示 装 置 の製造 方 法 で あ っ て 、

上記基板 に 、 下記一般式 （ 1 ) で 表 さ れ る 官能基群か ら 選ば れ る 1 種の 官能基 を 有 す る 分子群 を 接触 さ せ、 該基板 に 結合 さ せて 、 該 分子群か ら な る 被膜 を 形成す る 被膜形成工程 と 、

上記基材 に 結合 さ れな い 上記分子 を 、 エ ト キ シ エ タ ノ ール及び メ ト キ シ ア ル コ ー ル か ら な る 群 よ り 選ばれ る 少な く と も 一種の ア ル コ キ シ ア ル コ ール類 を 含む洗浄剤 で 除去す る 除去工程 と 、

を 含む こ と を 特徴 と す る 液晶表示装置の製造方法。

-AX 、 -AX2 及び — AX3 ■ · · !>

(式 中 、 A は ケ ィ 素、 ゲル マ ニ ウ ム 、 ス ズ、 チ タ ン及び ジ ル コ ニ ゥ ム か ら な る 群 よ り 選ばれ る 1 種の原子 を 表 し、 X はノヽ ロ ゲ ン 、 ア ル コ キ シ基及びィ ソ シ ァ ネ 一 ト 基か ら 選ばれ る 1 種の 官能基 を 表 し て い る 。）