KR20010042451A - 유기박막, 그 제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막, 그제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막을 사용한액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

유기박막, 그 제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막, 그제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막을 사용한액정표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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노무라다카이끼
데케베다카고
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모리시타 요이찌
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Abstract

유기박막의 제조방법은, 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 가지는 것을 특징으로 한다.
이로써, 염소계 유기용제를 사용하지 않고 막두께가 균일한 유기박막을 형성할 수 있는 등, 환경에 대한 부하를 저감한 유기박막의 제조프로세스를 제공할 수 있다.
따라서, 본 발명의 산업상의 의의는 크다.

Description

유기박막, 그 제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막, 그 제조방법 및 그 제조장치와 액정배향막을 사용한 액정표시장치 및 그 제조방법{ORGANIC THIN FILMS, PROCESS FOR THE PRODUCTION THEROF AND EQUIPMENT THEREFOR；ALIGNMENT LAYERS FOR LIQUID CRYSTALS, PROCESS FOR THE PRODUCTION THEREOF AND EQUIPMENT THEREFOR；AND LIQUID CRYSTAL DISPLAYS MADE BY USING THE ALIGNMENT LAYERS AND PROCESS FOR THE PRODUCTION THEREOF}
종래부터 유기박막을 제조하는 방법으로서는, 예를 들면 클로로실란계 계면활성제 등을 기재 표면에 화학흡착시키는 방법이 알려져 있다.
이 방법의 상세에 대해서는, 예를 들면 일본국 특개평 3(1991)-7913호 공보, 일본국 특개평 3(1991)-230156호 공보, 일본국 특개평 4(1992)-330925호 공보, 일본국 특허 제2,028,662호, 제2,598,867호 및 제2,638,446호 등에 개시(開示)되어 있다.
상기 공보에 기재되어 있는 방법에서는, 막형성분자를 기재 표면상에 흡착 고정시킨 후 미흡착분자를 제거하는 세정공정을 행하고 있지만, 이 세정공정에서의 세정 정도를 적정하게 함으로써 초박막인 단분자막을 형성하는 것이 가능해진다.
그리고 이와 같은 세정에는 종래부터 상기한 어떤 공보에 기재된 세정공정에 있어서도, 그 세정제로 클로로포름이 사용되고 있다.
그 이유는 클로로포름이 다음에 설명하는 2개의 큰 특징을 가지고 있기 때문이다. 즉,
1. 유기화합물에 대한 용해능(能)이 크다.
2. 비점이 61℃ 로 낮으므로 증발시킴으로써 간단하게 제거할 수 있다,
그러나, 상기 클로로포름은 독성이 높은 것으로 알려져 있다. 또 오존층을 파괴하는 원인으로서도 알려져 있으며 환경부하가 매우 큰 물질이다.
한편, 예를 들면 일본국 특개평 6(1994)-45142호 공보, 일본국 특개평 6(19 94)-187692호 공보, 일본국 특개평 6(1994)-312477호 공보에서는, 클로로포름의 대체 세정제로서 에텔류, 락톤류, 에스테르류, 니트릴류, 아미드류 등이 개시되어 있지만, 이들 세정제에서는 세정력의 점에서 의문이 남는다. 실제에서도 이들 대체 세정제는 사용되고 있지 않으며, 세정제로서 우수하지 않았다.
이상의 점에서 환경에 대한 부하가 없고 염소계 용제와 동등한 세정력을 가진 대체 세정제를 사용한 유기박막의 제조프로세스의 확립이 촉망되고 있다.
본 발명은 유리나 세라믹 등의 기재(基材) 표면에 형성하는 유기박막 그 제조방법 및 그 제조장치에 관한 것이다. 또한, 액정에 대한 배향능(能)을 구비한 액정배향막 그 제조방법 및 그 제조장치와 이 액정배향막을 구비한 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 유기박막의 제조공정을 나타낸 흐름도이다.
도 2는 상기 유기박막의 제조공정에서 세정제 제거공정에 관한 제 1 세정제 제거방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 상기 유기박막의 제조공정에서 세정제 제거공정에 관한 제 2 세정제 제거방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4는 상기 유기박막이 기재에 흡착된 상태를 모식적으로 나타낸 요부(要部) 확대도이다.
도 5는 상기 유기박막이 기재에 흡착된 상태를 모식적으로 나타낸 단면도로서,
도 5a 는 흡착분자가 층형상으로 흡착된 상태를 나타낸 도면이다.
도 5b 는 흡착분자가 서로 얽히면서 기재에 흡착된 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 상기 유기박막이 기재에 흡착된 상태를 모식적으로 나타낸 요부 확대도로서,
도 6a 는 흡착분자에 히드록실기가 도입된 상태를 나타낸 도면이다.
도 6b 는 흡착분자가 가교(架橋)된 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명에 관한 유기박막의 제조장치를 모식적으로 나타낸 설명도로서,
도 7a 는 피막형성수단과 제거수단이 밀폐계(密閉系)인 경우를 나타낸다.
도 7b 는 독립계인 경우를 나타낸다.
도 7c 는 세정제 제거수단을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 관한 제거수단을 모식적으로 나타낸 사시도로서,
도 8a 는 배치(batch)처리식의 경우를 나타낸다.
도 8b 는 흐름처리식의 경우를 나타낸다.
도 9는 본 발명에 관한 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예 1 - 1 에 관한 단분자막을 모식적으로 나타낸 요부 확대도이다.
도 11은 상기 실시예 1 - 1 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 12는 비교예 1 - 1 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예 1 - 3 에 관한 단분자막을 모식적으로 나타낸 요부 확대도이다.
도 14는 상기 실시예 1 - 3 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 15는 비교예 1 - 2 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 16은 비교예 1 - 4 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 17은 비교예 1 - 5 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 18은 본 발명의 실시예 2 - 1 에 관한 단분자막을 모식적으로 나타낸 요부 확대도이다.
도 19는 상기 실시예 2 - 1 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 20은 비교예 2 - 1 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 21은 본 발명의 실시예 2 - 2 에 관한 단분자막을 모식적으로 나타낸 요부 확대도이다.
도 22는 상기 실시예 2 - 2 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 23은 비교예 2 - 2 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 24는 본 발명의 실시예 2 - 3 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 25는 비교예 2 - 3 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
도 26은 비교예 2 - 4 에 관한 단분자막의 FT - IR 의 스펙트럼도면이다.
(발명의 개시)
일군(一群)의 본 발명은 이와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 제 1 목적은 염소계 용제 이외의 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 유기박막의 제조방법과, 이 방법에 의해 성막된 유기박막과, 이 방법에서 사용하는 제조장치를 제공하는데 있다.
또, 일군의 본 발명은 이와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 제 2 목적은 염소계 용제 이외의 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 액정배향막의 제조방법과, 이 방법에 의해 성막된 액정배향막과, 이 방법에서 사용하는 제조장치를 제공하는데 있다.
또한, 제 3 목적은 상기 액정배향막을 구비한 액정표시장치와 그 제조방법을 제공하는데 있다.
〔유기박막 그 제조방법 및 그 제조장치〕
본원 발명자들은, 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 유기박막의 제조방법에 대하여 예의 검토하였다. 그 결과, 기재 표면에 분자군(群)이 결합되어 이루어지는 유기용매에 대하여 케톤류, 알킬렌글리콜류 또는 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 세정 등을 하면, 상기 기재에 결합되어 있지 않은 상기 분자를 제거할 수 있고, 염소계 용제의 세정제로 세정한 경우와 동일한 효과를 가지는 것을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
(1) 유기박막
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 유기박막은 기재 상에 결합된 분자군으로 이루어지는 유기박막으로서, 상기 유기박막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군을 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자군을 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 한다.
상기 구성의 유기박막은 일단(一端)이 기재면에 결합하고, 타단이 기재면에서 멀어지는 방향으로 돌출한 상태로 기재면을 따라서 배열한 분자군으로 이루어진다.
그리고, 상기 세정제에 의해 기재에 결합되지 않은 분자(이하, 미고정분자라고 하는 경우도 있음)가 제거되어 이루어지는 유기박막은, 분자군이 기재면에 흐트러진 상태로 되지 않고 균일한 막구조로 할 수 있다.
또, 상기 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
그리고, 상기 「기재 상에」라는 것은 상기 분자군이 기재 표면에 직접 고정되는 경우에 한정되는 것은 아니고, 다른 물질층을 통하여 고정되는 경우도 포함하는 의미이다.
(2) 유기박막의 제조방법
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 유기박막의 제조방법은 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 또는 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것으로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
상기 피막형성공정에서 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재 표면에 고정시켜서 피막을 형성하면, 이 피막의 표면에는 기재에 결합되지 않은 분자(미고정분자)가 잔존한다.
이 미고정분자는 제거공정에서 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제를 사용함으로써 용이하게 제거할 수 있다. 그것은 케톤류 등이 미고정분자에 대한 용해능이 우수한 것에 의한다.
이로써, 기재 표면에는 최소한 이 기재에 고정한 상기 분자군으로 이루어지는 유기박막이 형성되어, 균일한 막두께를 가지는 유기박막의 제조가 가능해진다.
상기 케톤류로서는 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 화합물을 사용할 수 있다.
이들 화합물군은 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군에 대한 용해능이 우수하다.
따라서, 세정력이 우수한 상기 화합물군을 사용한 상기 방법에 의하면, 상기 분자의 종류나 세정조건 등을 감안하여 최적의 케톤류를 필요에 따라서 선택함으로써, 미고정분자를 제거한 막두께가 균일한 유기박막을 형성할 수 있다.
또, 상기 알킬렌글리콜류로서 폴리에틸렌글리콜을 사용할 수 있다. 상기 폴리에틸렌글리콜은 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 화합물에 대한 용해능이 우수하다.
따라서, 세정력이 우수한 폴리에틸렌글리콜을 사용한 상기 방법에 의하면, 미고정분자의 제거가 한층 용이해져서 이 미고정분자를 제거한 유기박막을 형성할 수 있다. 또한, 상기 폴리에틸렌글리콜의 분자량은 100 이상, 300 이하의 범위내로 할 수 있다.
이로써, 저분자량의 폴리에틸렌글리콜을 세정제 성분으로서 사용함으로써, 점성이 작고 취급성이 우수한 세정제로 할 수 있다. 또, 상기 세정제로서 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 사용할 수 있다.
상기와 같이 제거공정에서 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로서, 염소계 용제가 함유되지 않은 세정제를 사용하면, 환경에 대한 부하를 억제할 수 있다.
또한, 이 세정제는 종래의 염소계 용제로 이루어지는 세정제와 비교하여 같은 정도의 세정작용을 피세정물, 즉 미고정분자에 대하여 발휘하므로, 균일한 막두께를 가지는 유기박막의 형성이 가능하다.
따라서, 염소계 용제를 사용하지 않아도 일정한 막두께를 가지는 유기박막을 형성할 수 있고, 환경에 대한 부하를 억제한 유기박막의 제조프로세스를 제공할 수 있다. 또한, 상기 제거공정 후에, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세 정제 제거공정을 할 수 있다.
이로써, 형성된 유기박막에 세정제가 잔류함으로써 막의 품질에 악영향이 미치는 것을 방지할 수 있다. 특히, 발수(撥水)작용이나 친수성 등의 기능을 가진 기능막으로서 형성하는 경우에, 상기 세정제 제거공정을 하면 여러가지 기능의 열화를 방지할 수 있다.
상기 세정제 제거공정은 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어 내는 린스공정과, 상기 기재에 부착한 상기 물을 건조시키는 건조공정을 가지고 있어도 된다.
상기 방법이면 기재 표면에 형성된 피막에 부착되어 있는 상기 세정제를 물에 의해 세정하여 제거할 수 있다.
그 결과, 예를 들면 분자가 AX 기를 구비하고 있는 경우에는, 이 피막에 잔존하고 있는 AX 기와 물과의 사이에서 축합 반응을 일으켜서 피막을 구성하는 분자에 히드록실기를 도입할 수 있다.
또한, 건조공정에서 기재를 건조시킴으로써 이 기재에 부착한 물을 제거할 수 있다.
한편으로 이 건조공정을 행함으로써, 기재 표면에 결합한 분자 사이에서 탈수반응을 촉진시키는 면도 있어, 그 결과 가교(架橋)구조로 할 수 있고 내(耐)마모성이나 내(耐)마찰손상성 등이 우수한 유기박막을 제조할 수 있다.
상기 기재로서 그 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 사용할 수 있다.
상기 방법에 의하면, 분자가 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 경우에, 이 관능기와 기재 표면에서의 활성수소를 가지는 관능기와의 사이에서 HX 분자가 이탈하여 축합(縮合)반응을 일으킬 수 있다.
이로써, 이 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자를 기재 표면에 결합시킬 수 있다.
또한, 상기 피막형성공정 및 제거공정은 건조분위기내에서 할 수 있다.
상기 피막형성공정을 건조분위기내에서 행함으로써 기재 표면에는 단분자막을 형성하고, 다시 이 단분자막 위에 단분자막형상의 분자층이 몇층이나 누적된 누적막이 형성된다.
이것은 건조분위기내이므로, 분위기내의 수분과 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기가 반응하여 가교하는 것을 방지하는 것에 의한다.
이와 같이 하여 형성된 피막에 대하여, 제거공정도 건조분위기내에서 행하므로, 상기 누적층의 전부 또는 이 누적막중 몇층의 분자층을 용이하게 제거할 수 있다.
그것은 제거공정에서도 역시 건조분위기내에서 행하므로 누적막을 형성하는 분자에서의 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기와 분위기내의 수분과의 사이에서 HX 분자의 이탈에 의한 축합반응이 일어나는 것을 방지할 수 있기 때문이다.
따라서, 기재 표면에 고정되어 있는 분자나 고정되어 있지 않은 분자가 가교하는 것을 방지할 수 있고, 단분자막형상 또는 단분자막형상의 분자층이 복수 누적된 유기박막을 형성할 수 있다.
상기 기재 표면에 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 단분자막형상이 되도록 고정시킨 그와 같은 유기박막을 형성할 수 있다.
상기 방법에 의하면, 단분자막형상의 유기박막을 형성할 수 있으므로, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자의 분자설계를 제어함으로써, 분자레벨에서의 막두께의 제어가 용이하게 가능해진다.
그 결과, 매우 얇은 유기박막을 원하는 막두께로 제조할 수 있다
(3) 유기박막의 제조장치
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 유기박막의 제조장치는, 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것으로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
〔액정배향막 그 제조방법 및 그 제조장치〕
(1) 액정배향막
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 액정배향막은 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지고, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서, 상기 액정배향막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군을 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 한다.
상기 구성의 액정배향막은 일단(一端)이 기판측에 결합하고, 타단이 기판에서 멀어지는 방향으로 돌출한 상태로 기판면을 따라서 배열한 분자군으로 이루어진다.
그리고, 상기 세정제를 사용하여 세정된 박막이므로, 기판에 결합되지 않은 미고정분자가 제거되어 균일한 막구조를 가지고 있다.
또, 종래 염소계 용제로 이루어지는 세정제(염소계 세정제)로 분자군이 고정된 기판을 세정하면, 이들 분자군은 흐트러진 상태로 고정된 막구조로 되는 경우가 있었다.
이에 대하여, 상기 구성이라면, 액정배향막은 염소계 용제로 이루어지는 세로 세정된 박막은 아니므로, 분자군이 기판면에 흐트러진 상태로 고정된 막구조로 되는 것이 방지되어 분자군이 균일하게 배열하여 정돈된 막구조의 유기박막으로 할 수 있다.
여기서, 상기 구성의 액정배향막이 단분자막인 경우, 가까이의 액정분자는 막구성분자와의 상호작용에 의해 기판에 대하여 어느 경사 및/또는 배향방위로 규제된다.
따라서, 전술한 바와 같이 개개의 분자가 균일하게 배열한 정돈된 막구조이면 우수한 배향능(能)을 가지고, 구체적으로는 배열상태를 흐트리지 않고 액정분자를 배향시키는 것이 가능해진다.
그리고, 상기「기판 상에」라는 것은 분자가 기판 표면에 직접 결합되는 경우에 한정되는 것은 아니고, 전극 등의 다른 물질층을 통하여 결합되는 경우도 포함하는 의미이다.
또한, 상기 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
(2) 액정배향막의 제조방법
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 액정배향막의 제조방법은 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것으로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
상기 피막형성공정에서 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판 표면에 고정시켜서 피막을 형성하면, 이 피막의 표면에는 미고정분자가 잔존한다.
케톤류 등은 이 미고정분자에 대하여 우수한 용해능을 발휘하므로, 상기 세정제를 사용하여 세정함으로써 용이하게 제거할 수 있다.
따라서, 기판 표면에는 최소한 이 기판에 고정한 상기 분자군으로 이루어지는 액정배향막을 환경에 대한 부하를 억제하면서 형성할 수 있다.
또한, 상기 방법에 의해 형성되는 액정배향막은 균일한 막두께를 가지며 또한 분자군이 흐트러지지 않고 고정되어 균일한 막구조로 할 수 있다.
(3) 액정배향막의 제조장치
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 액정배향막의 제조장치는, 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기판에 접촉시킴으로써 이 기판 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것으로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
〔액정표시장치 및 그 제조방법〕
(1) 액정표시장치
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 액정표시장치는 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서, 상기 액정배향막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군이, 상기 기판 상에 결합되어 이루어지는 박막이며, 또한 상기 분자로 이루어지는 군을 상기 기판에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 한다.
상기 구성의 액정표시장치가 가지고 있는 액정배향막은, 상기 세정제를 사용하여 세정된 박막이므로, 기판에 결합되지 않은 분자는 제거되어 균일한 막구조를 가지고 있다.
또, 상기 액정배향막은 종래 염소계 용제로 이루어지는 세정제로 세정된 박막이 아니므로 분자군이 균일하게 배열하여 정돈된 막구조를 가지고 있다.
따라서, 배열상태를 흐트리지 않고 액정분자를 배향시키는 것이 가능하다. 즉, 상기와 같은 액정배향막을 구비시킴으로써, 상기 구성의 액정표시장치는 액정의 배향 결함 등이 시인되지 않아 표시품위가 우수한 것으로 할 수 있다.
(2) 액정표시장치의 제조방법
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 액정표시장치의 제조방법은, 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지고, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서, 상기 기판에 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 접촉시키고, 이 기판 표면에 결합시켜서 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 방법에 의하면, 막두께가 균일하고 배향능(能)이 우수한 액정배향막을 구비한 액정표시장치를 제조할 수 있다. 즉, 염소계 세정제의 대체 세정제로서 상기 세정제를 사용함으로써, 환경에 대한 부하를 억제하면서, 표시품위가 우수한 액정표시장치의 제조가 가능해진다.
본 발명의 또 다른 목적, 특징 및 우수한 점은 다음 설명에 의해 충분히 이해될 것이다.
또한 본 발명의 장점은 첨부 도면을 참조한 다음과 같은 설명에서 명백해질 것이다.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
〔유기박막〕
본 발명의 실시형태에 대하여, 도 1 내지 도 8a ∼ 도 8b 에 따라서 설명하면 다음과 같다. 단, 설명에 불필요한 부분은 생략하고, 또 설명을 용이하게 하기 위해 확대 또는 축소하여 도시한 부분이 있다. 이상의 것은 다음의 도면에 대해서도 동일하다.
본 발명에 관한 유기박막의 제조방법은, 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 고정시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과, 상기 기재에 고정되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 점에 특징이 있다.
여기서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자로 할 수 있다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
또, 상기 할로겐이라는 것은 F, Cl, Br 또는 I 등을 들 수 있지만, 기재와의 반응성의 관점에서는 Cl 이 바람직하다.
상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자로서는, 다음에 열거하는 관능기가 이 화학식 1에서 나타내는 관능기와 연결하여 구성된다.
(a) 메틸기, 에틸기, n - 프로필기, n - 부틸기, n - 벤틸기, n - 헥실기, n - 헵틸기, n - 옥틸기, n - 노닐기, n - 데실기, n - 운데실기, n - 도데실기, n - 트리데실기, n - 테트라데실기, n - 펜타데실기, n - 헥사데실기, n - 헵타데실기, n - 옥타데실기, n - 나노데실기, n - 에이코실기, 페닐기 등의 탄화수소기.
(b) 상기 (a)의 탄화수소기의 일부에 탄소 - 탄소 이중결합 또는 탄소 - 탄소 삼중결합을 포함하는 탄화수소기.
(c) 상기 (a) 및 (b)의 탄화수소기에 있어서의 수소가 다른 관능기(예를 들면 메틸기, 할로겐화 메틸기, 수산기, 시아노기, 아미노기, 이미노기, 카르복실기, 에스테르기, 티올기, 알데히드기 등) 및/또는 원자(예를 들면 F, Cl, Br, I 등)로 치환된 관능기.
(d) 상기 (a) 및 (b)의 탄화수소기에 있어서의 C - C 결합의 일부가 C - O - C(에테르)결합, C - CO - C -(카르보닐)결합 또는 C = N 결합으로 치환된 관능기.
그리고, 본 발명에 있어서, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기와 연결하는 관능기로서는, 상기한 것에 한정되는 것은 아니다.
다음에, 본 발명에 관한 유기박막의 제조방법에 대하여, 도 1을 참조하면서 상세히 설명한다.
먼저, 비수계 유기용매에 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자 (이하, 단지 흡착분자 또는 분자라고 하는 경우도 있음)군(群)이 용해한 흡착용액을 제작한다(흡착용액 제작공정, S1).
이 흡착용액의 제작에 있어서는 상대습도가 35％ 이하의 범위내가 되는 건조분위기, 예를 들면 건조공기, 건조질소 또는 건조헬륨중에서 행하는 것이 바람직하다.
다음에, 상기 흡착용액 제작공정에서 제작한 흡착용액을 미리 잘 세정함으로써 탈지(脫脂)한 기재(1)에 접촉시키면(피막형성공정, S2), 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자군이 이 기재(1) 표면에 화학흡착하여 고정된다(도 4 참조).
더욱 상세하게는, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자와, 상기 기재 표면에 존재하는 활성수소를 가지는 관능기와의 사이에서 축합반응이 일어난다.
예를 들면, 흡착분자가 - AX3기를 가지는 분자이며, 활성수소를 가지는 관능기가 히드록실기인 경우, 다음 화학식 2에 나타낸 반응이 일어난다.
(식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
이 축합반응의 결과, HX 가 이탈하여 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자군이 기재(1) 표면에 흡착한다.
그리고, 상기 탈지는 흡착용액의 기재(1)표면에 대한 부착성능을 향상시키기 위해 행하는 것이며, 그 외에도 종래 공지의 방법으로 표면 처리를 해도 된다.
여기서, 상기 피막형성공정을 통상 습도의 분위기내(즉, 대기중)에서 행하면, 도 5a 에 나타낸 바와 같은 박막(3)이 기재(1)표면에 형성된다.
더욱 상세하게는, 기재(1) 표면에 흡착된 흡착분자와, 이 기재(1)에 흡착하지 않은 미흡착분자가 결합하고, 다시 이 미흡착분자에 다른 미흡착분자가 결합하는 등 하여 사슬이 형성되어 폴리머한 구조로 되어 있다.
그리고, 이 사슬이 기재(1)의 표면에서 위쪽으로(대기중으로) 향하여 길게 연장될수록 굴곡하고, 다른 굴곡된 사슬과 3차원적으로 서로 얽힌 상태로 상기 박막(3)이 형성되어 있다.
이와 같은 막구조를 가지는 박막(3)이 형성되는 것은, 다음에 설명하는 이유에 의한다.
즉, 기재(1) 표면에 흡착하지 않은 미흡착분자는 분위기내의 수분과 반응하여 HX 분자가 이탈된다.
그 결과, 이 미흡착분자에는 OH 기가 도입된다. 그리고, 이 OH 기가 다른 미흡착분자에 있어서의 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기(흡착부위)와 반응하는 등으로 가교결합한다. 따라서, 상기한 바와 같은 구조의 박막이 형성된다.
여기서, 상기 도면에 나타낸 박막은 막두께로서는, 흡착분자로 이루어지는 단분자막이 3층으로 적층한 정도의 두께가 있어, 이 경우에는 본 명세서에서 편의상 3분자층이라고 한다.
한편, 건조분위기내(예를 들면 상대습도 35％ 이하)에서 행하면, 도 5b 에 나타낸 바와 같이, 기재(1) 표면에는 단분자막(2)이 형성되고, 다시 이 단분자막 (2) 표면에 미흡착분자(4)가 부착한 구조의 박막이 형성된다.
그것은 건조분위기내이므로 미흡착분자(4)에 있어서의 흡착부위가 수분과 반응하지 않고, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가진 상태로 부착하고 있는 것에 의한다.
그리고, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자를 기재(1) 표면에 접촉시키는 방법으로서는 특히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 미리 제작해둔 흡착용액에 기재(1)를 침지시키는 방법이나, 이 흡착용액을 기재(1)에 도포하는 방법 등을 들 수 있다.
또, 상기 기재(1) 표면에 존재하는 활성수소를 가지는 관능기로서는, 상기 히드록실기 외에, 예를 들면 카르복실기, 술핀산기, 술폰산기, 인산기, 아인산기, 티올기, 아미노기 등을 들 수 있다,
또한, 상기 관능기의 활성수소가 각각 알칼리금속 또는 알칼리토류(土類) 금속으로 치환된 관능기이라도 된다.
또, 상기 기재(1) 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재하지 않거나, 또는 그것이 적은 경우에는 UV/오존처리, 산소플라스마처리, 과망간산칼륨용액 등의 화합물 산화제처리를 함으로써, 이 기재(1) 표면을 개질하여 상기 관능기를 도입하거나 또는 그 수를 증가시키는 것이 바람직하다.
계속해서, 최소한 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거공정을 행한다(S3).
이 공정에서 세정하는 주된 대상은, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자중, 기재(1) 표면에 화학결합에 의하여 고정하지 않고 잔존하고 있는 미흡착분자군이다.
더욱 상세하게는, 도 5a 에 있어서는, 기재(1)가 아닌 이 기재(1)상에 형성된 그물코형 분자층(3)에 있어서의 구성분자로서의 흡착분자에 결합한 미흡착분자가 세정의 대상이 된다.
또 도 5b 에 있어서는, 단분자막(2) 표면에 부착한 미흡착분자(4)로 이루어지는 누적막(5)이 세정의 대상이 된다.
이들 미흡착분자군을 상기 세정제로 용해시켜 제거함으로써 균일한 막두께를 가지는 단분자막형상의 유기박막을 형성할 수 있다.
상기 세정제에 함유되는 세정성분으로서의 케톤류는 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기를 가지는 분자에 대한 용해능이 우수하다.
상기 케톤류로서는, 구체적으로는 예를 들면 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 아세틸아세톤 등을 들 수 있다.
또, 상기 세정제에 함유되는 세정성분으로서의 알킬렌글리콜류로서는, 구체적으로는 예를 들면 에틸렌글리콜류, 프로필렌글리콜류, 부틸렌글리콜류 등을 들 수 있고, 이들중 에틸렌글리콜류가 최적이다.
상기 에틸렌글리콜류는 냄새가 적고 무색이며, 많은 각족 유기용제, 물 및 계면활성제 등과 용이하게 혼화(混和)하는 특징을 가지고 있기 때문이다. 따라서, 세정제 설계에는 적합하다.
상기 에틸렌글리콜류로서는, 구체적으로는 예를 들면 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르, 에틸렌글리콜모노페닐에테르 등을 적합하게 사용할 수 있다.
또한, 상기 알킬렌글리콜류로서는 폴리에틸렌글리콜류, 폴리프로필렌글리콜류, 폴리부틸렌글리콜류 등의 폴리머라도 된다.
상기 폴리에틸렌글리콜류로서는 구체적으로는 예를 들면 폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노페닐에테르 등을 적합하게 사용할 수 있다.
상기 알킬렌글리콜류가 폴리머인 경우, 그 분자량으로서는 2,000 이하 정도인 것이 바람직하고, 100 ∼ 300 의 범위내인 것이 더욱 바람직하다.
분자량이 2,000 보다 큰 경우, 점성이 너무 커져서 취급성이 저하된다. 단, 분자량이 약 300 이상의 폴리머를 사용하는 경우 물이나 알콜 등에 용해시켜서 용액으로서 사용하는 편이 세정제로서는 적합하다.
예를 들면 폴리머로서 폴리에틸렌글리콜을 사용하고, 이것을 물에 용해시키는 경우에는, 폴리에틸렌글리콜의 농도로서는 10 ∼ 50wt％ 정도인 것이 바람직하고, 한편 알콜에 용해시키는 경우에는 10 ∼ 50wt％ 정도인 것이 바람직하다.
한편, 상기 알콕시알콜류로서는, 특히 한정되는 것은 아니고, 구체적으로는 예를 들면 메톡시알콜, 에톡시메탄올 등을 들 수 있다.
여기서, 본 발명에 관한 세정제는, 상기 케톤류, 알킬렌글리콜류 또는 알콕시알콜류중 어느 1종류를 단독으로 사용한 비수계 세정제라도 된다.
그리고, 상기 제거공정은 건조분위기내(상대습도 35％ 이하)에서 행해도 된다. 예를 들면 도 5a 에 나타낸 바와 같은 단분자막(2)상에 누적막(5)이 형성된 피막을 세정하는 경우, 건조분위기내이므로 분위기내의 수분과 미흡착분자(4)에 있어서의 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기와의 사이에서 HX 분자의 이탈반응이 생기는 등으로 가교하는 것을 방지한다.
따라서, 세정제의 세정작용에 의해 누적막(5)을 제거할 수 있고, 단분자막형상의 유기박막을 형성할 수 있다.
또, 상기 제거공정을 건조분위기내에서 행하는 경우, 세정제도 함수율이 낮은 것을 사용하는 것이 바람직하다.
구체적으로는, 함수율이 0.1％ 미만이면 실용상 문제가 없는 경우가 많지만, 바람직하게는 0.1 ％ 미만정도이면 되고, 더욱 바람직하게는 0.01％ 미만 정도가 좋다.
함수율이 상기 수치범위를 초과하면 미흡착분자나 흡착분자에 있어서의 AX 기가 세정제에 함유되는 물과 반응하여 가교구조를 형성하므로, 이 경우에도 단분자막을 형성할 수 없다.
상기 제거공정에서 행하는 구체적인 세정방법으로서는, 예를 들면 세정제가 가득한 세정조(槽)에 기재(1)를 조용히 침지시키는 방법 외에, 이 세정제내에 기재 (1)를 침지시킨 상태로 초음파를 조사(照射)하는 등 기계력을 부여하는 방법이나, 이 세정제 자체의 세정력을 향상시키기 위해 세정제를 가열하는 방법 등을 들 수 있다.
그리고, 초음파 등의 응력이 기재(1)에 걸리는 경우에는, 응력이 기재(1)에 악영향을 주지 않도록 할 필요가 있다.
또, 상기 제거공정에 있어서의 세정조건으로서는 특히 한정되는 것은 아니고, 미흡착분자의 피세정물에 대한 부착 정도, 피세정물의 재질, 형상, 후공정에의 영향 등을 고려하여 적절히 필요에 따라서 설정하면 된다.
또한, 세정제의 농도나 세정시간, 세정횟수 등을 변경함으로써, 예를 들면 단분자막형상의 유기박막뿐만이 아닌 2분자층에 상당하는 막두께를 가지는 유기박막을 형성할 수 있는 등 막두께의 제어가 가능해진다. 즉, 미흡착분자의 잔존 정도를 제어함으로써 막두께를 제어한다.
예를 들면, 소정 농도의 세정제가 들어 있는 세정조를 3조(槽) 정도 설치하고, 각 세정조에서 소정시간 세정하는 등으로 세정 정도를 높임으로써, 미흡착분자가 거의 제거되어 단분자막형상의 유기박막을 얻을 수 있다.
한편, 세정조를 1조(槽) 정도로 하여 상기 소정시간보다 짧은 시간 세정하는 등 가볍게 세정하는데 머문 경우에는 많은 미흡착분자가 잔존하고 있다.
이와 같은 상태로 대기중에 노출되면 이 미흡착분자가 대기중의 수분과 반응하여 고정되고, 예를 들면 2분자층 등 여러 분자층에 상당하는 막두께의 유기박막이 형성된다.
또한, 단분자막형상으로 형성된 유의 막두께를 제어하기 위해서는 기재(1)에 흡착시키는 흡착분자의 분자설계를 변경함으로써, 정밀도 양호하게 제어하는 것도 가능하다.
다음에, 상기 제거공정 후 세정제를 제거하는 세정제 제거공정을 행해도 된다(S4).
이 세정제 제거공정은 주로 세정제를 린스제로 씻어내는 제 1 세정제 제거방법과, 세정제를 건조하여 증발시키는 제 2 세정제 제거방법으로 나눠진다.
그리고, 제 1 세정제 제거방법은 세정제로 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류가 함유되는 경우에 채용할 수 있다.
한편, 제 2 세정제 제거방법은 세정제에 케톤류가 함유되는 경우에 주로 채용할 수 있다.
상기 제 1 세정제 제거방법은 세정제를 린스제로 린스하는 린스공정(S5)과, 이 린스제를 증발시킴으로써 제거하는 린스제 건조공정(S6)으로 이루어진다(도 2 참조).
이 제 1 세정제 제거방법은 AX 기가 잔존하고 있는 분자군이 기재(1) 표면에 흡착하고 있는 경우, 또는 안전상 등의 관점에서 세정제로서 비교적 비점이 높은 용제를 사용하는 경우에 행하는 것이 바람직하다.
전자(前者)의 경우 잔류한 세정제를 제거하는 동시에, 미반응의 AX 기와 물과의 사이에서 HX 의 이탈반응을 일으키게 하여 흡착분자에 OH 기를 도입하는 것을 목적으로 하여 린스공정은 행해진다(도 6a 참조).
따라서, 린스제로서는 물을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 린스제 건조공정(S6)을 행함으로써, OH 기끼리가 탈수반응하여 도 6b 에 나타낸 가교구조를 가지는 유기박막을 형성할 수 있다.
한편, 후자(後者)의 경우 피세정물에 부착하고 있는 고비점(高沸點) 용제(세정제)는 상온에서 건조 증발이 곤란하므로, 이 고비점 용제를 저비점의 린스제로 치환시키는 것을 주목적으로 하고 있다.
이 경우에 사용하는 저비점의 린스제로서는 아세톤이나 알콜 등을 사용할 수 있다. 그리고, 상기 린스공정은 상기 제거공정과 마찬가지로 초음파 등의 기계력을 부여하면 린스효과를 향상시킬 수 있다.
또, 상기 제 2 세정제 제거방법은 세정제를 증발시킴으로써 제거하는 세정제 제거공정(S7)과, 기재(1)를 수분에 접촉시키는 접촉공정(S8)과, 수분을 건조시키는 건조공정(S9)으로 이루어진다(도 3 참조).
이 제 2 세정제 제거방법은 예를 들면 아세톤이나 메틸에틸케톤 등 상온에서 증발하는 저비점의 세정제를 사용하는 경우에 행하는 것이 바람직하다.
상기 접촉공정은 기재(1) 표면에 흡착하고 있는 분자군에 잔존하고 있는 AX 기와 수분을 반응시켜서 흡착분자에 OH 기를 도입하기 위해 행해진다.
따라서, 수분과 접촉시키는 방법으로서는, 예를 들면 공기중에 방치하여 이 공기중의 수분과 반응시키거나, 직접 물과 반응시키는 방법이 채용된다.
그 후, 건조공정(S9)을 행함으로써, OH 기끼리가 탈수 반응하여 가교구조를 가지는 유기박막을 형성할 수 있다.
또, 이상 설명한 세정제 제거방법 외에, 기재(1)에 흡착한 흡착분자에는 AX 기가 존재하지 않고 또한 상온에서 증발하는 저비점(低沸點)의 세정제를 사용하고 있는 경우에는, 제거공정 후 단지 세정제를 건조시키는 것만으로 된다.
그리고, 상기 기재(1)로서는 유리, 금속, 금속산화물, 세라믹, 플라스틱, 목재, 석재, 섬유, 종이 및 고분자수지 등으로 이루어지는 군(群)에서 선택되는 어느 1종류의 재료로 이루어지는 것을 적용할 수 있다. 또, 기재(1) 표면은 도료 등으로 도장되어 있어도 관계없다.
이들 재료로 이루어지는 기재는 그 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재한다는 점에서 유사한 물성을 가진다.
그리고, 기재(1)의 재료로서 특히 플라스틱 등을 사용하는 경우에는, 플라스틱의 종류에 따라서는 기재(1)를 변질시키거나, 용해 등으로 인한 손상을 주거나 하는 경우를 생각할 수 있다.
따라서, 미리 세정제가 플라스틱으로 이루어지는 기재(1)에 상기와 같은 작용을 부여하지 않는 것을 확인한 후에 사용할 필요가 있다.
다음에, 본 발명이 적용 가능한 용도에 대하여 구체예를 열거하지만, 본 발명은 이들에 전혀 한정되는 것은 아니다.
(a) 날붙이의 예 : 식칼, 가위, 나이프, 커터, 조각칼, 면도칼, 바리캉, 톱, 대패, 끌, 송곳, 긴 송곳, 바이트, 드릴날, 믹서날, 쥬서날, 제분기날, 예초기날, 펀치, 작두, 호치키스날, 깡통따개날 또는 수술용 메스 등
(b) 바늘의 예 : 침술용 바늘, 바느질용 바늘, 미싱바늘, 이불바늘, 다다미바늘, 주사바늘, 수술용 바늘, 안전핀, 압정 등
(c) 요업제품의 예 : 도자기제, 유리제, 세라믹제 또는 법랑을 포함한 제품 등. 예를 들면 위생도기(예를 들면 변기, 세면기, 욕조 등), 식기(예를 들면 밥공기, 접시, 사발, 찻잔, 컵, 병, 커피 끓이는 용기, 남비, 유발(乳鉢), 잔 등), 화기(花器)(예를 들면 수반, 화분, 작은 꽃병), 수조(예를 들면 양식용 수조, 감상용 수조 등), 화학실험기구(예를 들면 비이커, 반응용기, 시험관, 플라스코, 샤레, 냉각관, 교반봉, 스타일러, 유발, 배트, 주사기 등), 기와, 타일, 법랑제 식기, 법랑제 세면기, 법랑제 남비 등.
(d) 거울의 예 : 손거울, 화장용 콤팩트부속거울, 체경, 욕실용 거울, 세면장용 거울, 자동차용 거울(예를 들면 백미러, 사이드미러 등), 교통용 거울(예를 들면 커브미러, 반사경 등), 하프미러, 쇼윈도우용 거울, 백화점 판매장의 거울 등.
(e) 성형용 부재의 예 : 프레스성형용 금형, 주형성형용 금형, 사출성형용 금형, 트랜스퍼성형용 금형, 진공성형용 금형, 블로성형용 금형 압출성형용 다이, 인플레이션성형용 마우스피스, 섬유방사용 마우스피스, 카렌더가공용 롤 등.
(f) 장식품의 예 : 시계, 보석, 진주, 사파이어, 루비, 에머랄드, 석류석, 묘안석, 다이아몬드, 토파즈, 브래드스톤, 아쿠아마린, 사드닉, 터키석, 비취, 대리석, 아메지스트, 카메오, 오팔, 수정, 유리, 반지, 팔찌, 목걸이, 발목장식, 브로우치, 넥타이핀, 귀걸이, 피어스, 귀금속장식제품, 백금, 금, 은, 동, 알루미늄, 티탄, 주석 또는 그들의 합금이나 스텐레스제, 안경테 등
(g) 식품성형용 틀의 예 : 케익소성용(燒成用) 틀, 쿠키소성용 틀, 빵소성용 틀, 쵸코렛소성용 틀, 제리성형용 틀, 아이스크림성형용 틀, 오븐접시. 제빙접시 등
(h) 조리기구의 예 : 남비, 솥, 주전자, 포트, 볼, 프라이팬, 호트플레이트, 구이조리용 망, 기름받이망, 낙지구이판, 빵구이용 솥, 떡치는 솥, 취반기 솥, 국자, 거품기 등
(i) 종이의 예 : 그라비야지, 발수(撥水)발유(撥油)지, 포스터지, 고급 팜플렛지 등
(j) 수지의 예 : 폴리프로릴렌, 폴리에틸렌 등의 폴리올레핀, 폴리염화비닐, 폴리염화비닐리덴, 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에스테르, 아라미드, 폴리스틸렌, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리페닐렌술파이드, 페놀수지, 푸란수지, 유리어수지, 에폭시수지, 폴리우레탄, 규소수지, ABS 수지, 메타크릴산 수지, 메타크릴산 에스테르수지, 아크릴산 수지, 아크릴산 에스테르수지, 폴리아세탈수지, 폴리페닐렌옥사이드 등
(k) 가정전화제품의 예 : 텔레비젼, 라디오, 테이프레코더, 오디오, 퍼스널컴퓨터, 콤팩트디스크(CD), 미니디스크(MD), 디지털비디오디스크(DVD), 냉동관계기기의 냉장고, 냉동고, 에어콘디셔너, 쥬서, 믹서, 밀서, 세탁기, 청소기, 조명기구, 건조기, 식기세척기, 면도기, 안테나, 선풍기날개, 문자반, 퍼머용 드라이어 등
(l) 스포츠용품의 예 : 스키판, 스노보드판, 스케이트보드판, 낚시대, 낚시줄, 어망, 찌, 장대높이뛰기용 포울, 볼, 요트, 제트스키, 파도타기보드, 골프공, 볼링공 등
(m) 교통기관부품에 적용하는 예 :
(1) ABS 수지 : 램프커버, 인스톨먼트패널, 내장부품, 오토바이의 프로텍터
(2) 셀루로스플라스틱 : 자동차의 마크, 핸들
(3) FRP(섬유강화수지) : 외판(外板)범퍼, 엔진커버
(4) 페놀수지 : 브레이크
(5) 폴리아세탈 : 와이퍼기어, 가스밸브, 캬브레이터부품
(6) 폴리아미드 : 라디에이터팬
(7) 폴리아크릴레이트 : 방향지시렌즈, 계기판렌즈, 릴레이하우징
(8) 폴리부틸렌테레프탈레이트 : 리어엔드, 프론트펜더
(9) 폴리아미노비스마레이미드 : 엔진부품, 기어박스, 휠, 서스펜션
드라이브시스템
(10) 메타크릴수지 : 램프커버렌즈, 계기판, 계기판커버, 센터마크
(11) 폴리프로필렌 : 범퍼
(12) 폴리페닐렌옥사이드 : 라디에이터그릴, 휠캡
(13) 폴리우레탄 : 범퍼, 펜더, 인스톨먼트패널, 팬
(14) 불포화폴리에스테르수지 : 보디. 연료탱크, 히터하우징, 계기판 등
(n) 사무용품의 예 : 만년필, 볼펜, 샤프펜슬, 필통, 바인더, 책상, 의자, 책장, 락, 레터케이스, 전화대, 자, 제도용구 등
(o) 건재의 예 : 지붕재, 외벽재, 내장재, 지붕재로서 구운 기와, 슬레트기와, 함석(아연도금철판) 등, 외벽재로서는 목재(가공목재를 포함), 몰탈, 콘크리트, 요업계 사이징, 금속계 사이징, 벽돌, 석재, 플라스틱재료, 알루미늄 등의 금속재료 등, 외장재로서는 목재(가공목재를 포함), 알루미늄 등의 금속재료, 플라스틱재료, 종이, 섬유 등
(p) 석재의 예 : 화강암, 대리석, 화강암 등. 예를 들면 건축물, 건축재, 예술품, 장식물, 목욕통, 묘석, 기념비, 문기둥, 돌담, 포석 등
(q) 악기 및 음향기기의 예 : 타악기, 현악기, 건반악기, 관악기 등의 악기 및 마이크로폰, 스피커 등의 음향기기 등. 예를 들면 드럼, 심벌, 퍼커션, 바이올린, 첼로, 기타, 거문고, 피아노, 오르간, 어코디언, 하모니카, 플룻, 퉁소, 호른 등
(r) 그 외 보온병, 진공계 기기, 전력송전용 애자(碍子) 또는 스파크플러그 등의 발수발유방지오염 효과가 높은 고내(高耐)전압성 절연애자 등
그리고, 본원 발명자들은 일본국 특허 제2,598,867호에서, 막밀도를 향상시킨 화학흡착막 및 그 제조방법에 대하여 개시하고 있다.
이 공보에서 개시하고 있는 화학흡착막의 제조방법은, 흡착반응과 미반응 흡착분자를 제거하기 위한 세정을 번갈아 반복함으로써 화학흡착제를 기체(基體) 및 화학흡착막에 고정시켜서, 막밀도가 높은 화학흡착막을 형성한다는 것이다.
또, 세정에는 비수계 용액을 사용하고 있지만, 형성되는 화학흡착막은 다음에 설명하는 점에서 본원 발명의 유기박막과 막구조가 다르다.
즉, 상기 방법으로 형성되는 화학흡착막은 기재 표면의 활성수소를 가지는 관능기가 잔존하고 있지 않은 부분에서도, 기재에 가장 먼저 흡착한 화학흡착간(幹)분자에 화학흡착그라프트분자를 결합시키므로, 화학흡착막의 구성분자간 거리가 짧아져서 막밀도가 높은 구조로 되어 있다.
또한, 화학흡착그라프트분자에는 화학흡착간(幹)분자 등과의 결합에 사용되지 않았던 수산기가 결합한 채이며, 따라서 화학흡착막의 막중에는 다수의 수산기가 남겨져 있다.
한편, 본원 발명의 유기박막은 대부분 막형성분자가 기재 표면에 흡착되어 있으므로 막밀도는 상기 화학흡착막과 비교하여 낮다.
또, 제조프로세스에 있어서 건조공정을 행하여 막중에 존재하는 수산기 끼리를 탈수반응시켜서 가교결합시키고 있으므로, 상기 화학흡착막과 비교하여 수산기의 존재확률은 낮다.
이상의 점에서 본원 발명은, 상기 공보에 기재되어 있는 화학흡착막과는 본질적으로 막구조가 다른 유기박막에 관하여, 제조프로세스를 확립한 것이다.
또, 본 발명에 관한 유기박막의 제조장치는, 피막형성수단과 제거수단을 구비하여 구성되어 있다(도 7a, 도 7b, 도 7c 참조). 또한, 피막형성수단과 제거수단과의 사이에는, 예를 들면 종래 공지의 반송장치 등으로 이루어지는 기재의 전달수단(52)을 설치하는 것도 가능하다.
상기 피막형성수단은 흡착용액을 기재 상에 도포하는 등 하여, 이 흡착용액에 함유되어 있는 흡착분자군을 기재 상에 흡착고정시켜서 피막을 형성하는 기능을 가지고 있다.
이 피막형성수단으로서는, 구체적으로는 예를 들면 스핀식 또는 롤러식 등의 도포장치 등을 들 수 있다.
상기 제거수단은 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 피세정물을 세정하는 기능을 가진다.
여기서, 세정의 대상이 되는 것은 기재 상에 부착하여 잔존하고 있는 미흡착의 흡착분자(미고정분자)이다.
또, 상기 피막형성수단과 제거수단은 동일한 밀폐계에 포함하여 구성되어 있어도 되고, 또는 개개로 독립하여 형성되어도 된다
상기 구성과 같이, 피막형성수단과 제거수단을 동일한 밀폐계로 하면 외기와 차단할 수 있다. 그 결과, 예를 들면 건조분위기 내에서 피막형성공정 및 제거공정을 행하는 것이 가능해진다(도 7a).
여기서, 피막형성수단과 제거수단을 동일한 밀폐계에 포함하여 구성된다는 것은, 예를 들면 피막형성수단 및 제거수단을 내부에 설치 가능한 외기차폐수단 (51)이 유기박막의 제조장치에 구비되어 있는 경우 등을 의미한다.
상기 외기차폐수단(51)으로서는, 그 내부로부터 외기를 차폐할 수 있는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 온도나 습도 등의 제어가 가능한 체임버나 처리실 등을 예시할 수 있다.
그리고, 상기 외기차폐수단(51)으로서는 상온 상압에서 습도의 제어는 물론 내부의 대류 제어도 가능한 대류제어수단을 형성할 수도 있다. 이로써, 내부의 습도나 대류상태를 제어할 수 있고, 작업의 안전성을 확보할 수 있다.
안전성의 확보가 필요한 것은 상기 케톤류, 알킬렌글리콜류 또는 알콕시알콜류중 분자량이 작은 화합물의 사용에 있어서는 이들을 함유한 세정제는 인화성을 가지므로 주의를 요하기 때문이다.
또, 피막형성수단과 제거수단은 상기한 바와 같이, 서로 분리ㆍ독립한 처리단위로서 구성할 수도 있다(도 7b).
또, 피막형성공정 및 제거공정을 건조분위기 내에서 하고자 하는 경우에는, 외기와의 격리와 습도 등의 제어를 할 수 있도록 각 처리단위마다 외기차폐수단이 형성되어 있는 구성이라도 된다.
그리고, 상기 제거수단은 배치(batch)처리식이라도 되고, 또는 플로(flow)처리식이라도 된다.
배치처리식으로서는 피세정물로서의 기재를 침지하는 침지법 등을 들 수 있다.
이 침지법은 구체적으로는 도 8a 에 나타낸 바와 같이, 상기 세정제(32)를 세정조(31)에 가득 채우는 동시에, 기재(34)…를 카세트(33)에 재치(載置)하고, 이 카세트(33)를 세정조(31)에 소정 시간 침지하여 세정하는 것이다.
플로처리식으로서는 예를 들면 도 8b 에 나타낸 바와 같이, 기재(34)…를 반송하는 반송부(41)와 세정제를 분사하는 복수의 분사장치(42)…로 이루어지는 세정장치를 들 수 있다.
또한, 상기 분사장치(42)는 문형(門形) 아치형상의 본체부(43)와 세정제를 안개형상으로 또는 액적(液滴)형상으로 분사하는 노즐(43)…이 설치되어 구성되어 있다.
또, 노즐(43)은 세정제의 분사방향이 바로 아래 방향과 같은 방향이 되도록 설치되어 있다. 한편, 반송부(41)는 문형 아치형상의 본체부(43)의 내측이 되도록 설치되어 있다.
상기 구성의 세정장치에 있어서는, 반송부(41) 상에 재치된 기재(34)…는 화살표 A 로 나타낸 방향으로 반송되는 동시에, 노즐(44)…로부터 세정제가 분사됨으로써 세정된다.
여기서, 상기한 배치처리식 및 플로처리식은 어디까지나 예시로서 상기한 수단에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 가지고, 동일한 작용효과를 거두는 것은 어떠한 것도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
또, 본 발명에 관한 유기박막의 제조장치는 필요에 따라서, 기재에 부착한 세정제를 제거하기 위한 세정제 제거공정을 행하기 위해, 세정제 제거수단을 형성하는 것도 가능하다(도 7a 및 도 7b).
또한, 상기 세정제 제거수단으로서는 도 7c 에 나타낸 바와 같이, 린스수단과 건조수단을 가지는 구성이라도 된다.
상기 린스수단으로서는 특히 한정되는 것은 아니고, 종래 공지의 각종의 린스장치를 사용할 수 있다.
또, 상기 건조수단으로서는 특히 한정되는 것은 아니고, 종래 공지의 각종의 건조장치를 사용할 수 있다.
그 중에서도 상기 건조수단으로서는 상(常)온풍 또는 온풍에 의한 블로가 적합하게 채용할 수 있다.
또, 기재로서 종이나 섬유 등으로 이루어지는 것을 사용하여 이것에 유기박막을 형성하는 경우에는, 적절하게 필요에 따라서 세정제의 종류나 세정방법을 선택할 필요가 있다.
〔액정배향막 및 액정표시장치〕
또, 본 발명의 유기박막을 액정배향막으로서 액정표시장치에 적용하는 경우에는, 이 유기박막은 다음의 방법으로 제조할 수 있다.
먼저, 상기한 것과 동일한 순서로, 예를 들면 ITO(인듐주석산화물)로 이루어지는 전극 등이 형성된 기판을, 상기 흡착용액에 접촉시켜서 흡착분자를 흡착시킨다(S2, 도 1 참조).
흡착분자가 ITO 표면에 흡착할 수 있는 것은, 이 ITO 표면에는 OH 기가 존재하고 있으며, 또한 흡착분자는 OH 기 등의 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비하기 때문이다. 이로써, 내(耐)박리성 등이 우수한 박막형성이 가능해진다.
또, ITO 표면에 OH 기 등이 적은 경우에는, 엑시머 UV 처리, 플라스마처리 등의 처리를 함으로써 ITO 표면을 개질하여 OH 기 등을 증가시키거나, 또는 다른 물질층(예를 들면 증착한 SiO 층 등)을 기판 상에 형성하여 이 물질층을 통하여 액정배향막을 형성하는 것이 바람직하다.
계속해서, S3 에 있어서 기판 표면에 잔존하는 미흡착분자를 세정ㆍ제거한다. 이로써, 잔존하는 미흡착분자(미고정분자)가 제거되어, 막두께가 균일한 박막형성이 가능해진다. 따라서, 잔존하는 미흡착분자로 인하여 생기는 액정의 배열상태의 교란, 즉 배향결함을 억제할 수 있다.
또, 종래의 예를 들면 클로로포름 등의 세정제에 의한 세정을 한 경우에는, 이 세정으로 인하여 흡착분자의 흡착상태의 교란이 발생하는 문제가 생기고 있었다.
그러나, 상기 제거공정에서는 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 세정하므로, 흡착분자의 흡착상태의 교란이 발생하기 어렵고, 흡착분자군이 균일하게 배열하여 정돈된 막구조로 할 수 있다.
이어서, 전술한 유기박막의 제조방법에서의 경우와 마찬가지로, S4 에 있어서 세정제의 제거 등을 하고, 이로써 본 발명에 관한 액정배향막을 제막(製膜)할 수 있다. 그리고, 다시 필요에 따라서 액정배향막에 러빙처리 등의 배향처리를 해도 된다.
이상의 점에서 본 발명에 관한 액정배향막의 제조방법은, 염소계 세정제를 사용하지 않고 일정한 막두께를 가지는 액정배향막을 환경에 대한 부하를 억제하면서 형성할 수 있다.
상기와 같이 하여 얻어진 액정배향막은, 예를 들면 도 9에 나타낸 양태와 같이 액정표시장치에 적용할 수 있다. 즉, 본 발명에 관한 액정표시장치는 제 1 기판 (61)과 이것과 쌍을 이루는 제 2 기판(62)과, 제 1 기판(61) 및 제 2 기판(62)의 사이에 개재하는 액정층(63)을 가지는 구성으로 할 수 있다,
제 1 기판(61)의 내측면에는 TFT(박막트랜지스터)군(64)… 및 제 1 전극(65)이 형성되고, 이 제 1 전극(65)상에는 액정배향막(66)이 형성되어 있다.
상기 제 2 기판(62)의 내측면에는 컬러필터(67)가 형성되고, 다시 제 2 기판(62) 및 컬러필터(67)상에는 제 2 전극(68)이 형성되어 있다. 이 제 2 전극 (68)상에는 액정배향막(69)이 형성되어 있다.
또, 상기 제 1 기판(61) 및 제 2 기판(62)은 시일재(70)에 의해 접착 접합되어 액정을 패널내에 봉지(封止) 지지하고 있다.
상기 제 1 기판(61)의 외측에는 편광판(71)이 설치되고, 제 2 기판(62)의 외측에는 편광판(72)이 설치되어 있다.
상기 제 1 기판(61) 및 제 2 기판(62)은, 예를 들면 유리 등으로 이루어지는투명기판이다.
또, 상기 제 1 전극(65) 및 제 2 전극(68)은, 예를 들면 ITO 로 이루어지는 투명전극막이다. 상기 액정층(63)은, 예를 들면 네마틱액정을 포함하여 구성되어 되어 있다.
상기 컬러필터(67)는 R(적)ㆍG(녹)ㆍB(청)의 각 도트를 포함하여 구성되어 있다.
이상과 같은 구성의 액정표시장치라면 액정의 배향결함 등이 시인되지 않고 표시 품위가 우수한 것으로 할 수 있다.
이것은 전술한 바와 같이, 액정배향막의 막두께가 균일하며, 또한 흡착분자군도 균일하게 정돈되어 흡착한 막구조인 결과, 우수한 배향능을 발휘하여 배열상태를 교란시키지 않고 액정분자를 배향시킬 수 있기 때문이다.
또, 상기 구성의 액정표시장치는 액정배향막(66),(69)을 전술한 방법으로 제막하는 것 이외는, 종래 공지의 방법을 채용함으로써 제작할 수 있다.
그리고, 본 발명에 관한 액정배향막의 제조장치는, 전술한 유기박막의 제조장치와 동일한 구성으로 할 수 있다. 따라서, 그 상세한 설명은 생략한다.
다음에, 도면을 참조하여 이 발명의 적합한 실시예를 예시적으로 상세하게 설명한다.
여기서, 이 실시예에 기재되어 있는 구성요소의 재질, 제조조건 등은 특히 한정적인 기재가 없는 한은 이 발명의 범위를 그들만으로 한정하는 취지의 것은 아니고, 단지 설명예에 지나지 않는다.
〔제 1 실시예〕
(실시예 1 - 1)
먼저, 헥사데칸에 n - 옥타데실트리클로로실란을 약 1중량％ 가 되도록 용해시켜서 흡착용액(A)을 조제하였다.
다음에, 충분히 탈지 세정한 유리기판(11)(2cm × 5cm, 두께 1.1mm)을 흡착용액(A)에 1시간 침지시켰다.
이로써, 유리기판(11) 표면에 존재하는 히드록실기와 트리클로로시릴기가 다음 화학식 3에 나타낸 탈염산반응을 일으켜 실록산결합을 통하여 이 유리기판(11)상에 화학흡착하였다.
계속해서, 상대습도 35％ 정도의 공기중에서 세정제로서의 아세톤을 충분한 양(50ml ∼ 100ml)이 되도록 세정조에 넣고 약 45℃ 로 가열하였다.
이 세정조의 안에서 유리기판(11)을 충분히 세정하였다. 다시, 유리기판 (11) 표면에 부착한 폴리에틸렌글리콜을 씻어내기 위해 충분히 세정을 하였다. 이로써, 세정제를 씻어내는 동시에 유리기판(11)상에 화학흡착한 분자에 있어서의 미반응의 Cl 기가 OH 기로 치환된다.
계속해서, 유리기판(11)을 건조시켰다. 이로써, OH 기끼리가 탈수반응을 일으켜서 가교하고, 도 10에 나타낸 단분자막(12)이 유리기판(11)상에 형성되었다.
여기서, 플리에변환적외분광법(이하, FT - IR 이라고 함)으로 단분자막(12)을 측정하면, 도 11에 나타낸 바와 같이 2930 ∼ 2840cm-1(귀속 : CH3및 - CH2-), 1470cm-1(귀속 : - CH2-), 1080cm-1(귀속 : - Si - O-)로 특징적인 시그널이 얻어졌다. 이로써, 도 10에 나타낸 단분자막(12)이 형성되어 있는 것이 확인되었다.
그리고, 본 실시예에 있어서의 제거공정은, 상대습도 5％ 이하의 드라이에어중 또는 질소중에서 하는 편이 좋지만, 상대습도 35％ 이하의 공기중이라면 양호한 효과가 얻어졌다.
(비교예 1 - 1)
본 비교예 1 - 1 에 있어서는, 세정제로서 클로로포름을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 1 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(11)상에 단분자막(12)을 성막하였다.
이 단분자막(12)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 12에 나타낸 바와 같이 상기 도 11에 나타낸 흡수스펙트럼과 거의 같은 흡수위치에 거의 같은 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
또한, 실시예 1 - 1 과 비교예 1 - 1 에 대하여 상세하게 비교 검토한 결과, 양자에는 막구조에서 다음에 설명하는 상위점이 발견되었다.
즉, 도 11 및 도 12에 나타낸 흡수스펙트럼에 있어서, 2920cm-1의 CH2로 역(逆)대칭신축진동에서 유래되는 흡수와, 2860cm-1의 CH2로 대칭신축진동에서 유래되는 흡수를 비교하면, 그 흡수비는 실시예 1 - 1 에 관한 도 11에 있어서는 2.2 : 1 이며, 비교예 1 - 1 에 관한 도 12에 있어서는 2.0 : 1 였었다.
이것은 실시예 1 - 1 에 관한 단분자막이 비교예 1 - 1 에 관한 단분자막보다 균일하고 정돈된 막구조라는 것을 나타내고 있다.
왜냐하면, FT - IR 측정방법에 있어서는, CH2의 흡수비가 1 : 1 에 가까울수록 막형성분자(흡착분자)의 흡착상태가 흐트러진 상태에 있다고 판단될 수 있기 때문이다(T. Ohtake et al., Langmuir, 2081, 8, 1992).
(실시예 1 - 2)
본 실시예 1 - 2 에 있어서는, 세정제로서 메틸에틸케톤(50ml ∼ 100ml)을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 1 와 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판 (11)상에 단분자막(12)을 성막하였다.
이 단분자막(12)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 상기 도 11과 거의 같은 위치에 거의 같은 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
(실시예 1 - 3)
먼저, 실록산계 용매(상품명 : KF96L, 싱에쓰가가꾸(주)제품)／톨루엔(＝ 10／1)에 다음 화학식 4에서 나타내는 화합물을 약 1중량％ 가 되도록 용해시켜서 흡착용액(B)을 조제하였다.
다음에, 충분히 탈지 세정한 유리기판(11)을 질소분위기내에서 흡착용액(B)에 1시간 침지시켰다. 이로써, 다음 화학식 5에서 나타내는 분자가 다음 화학식 5에 나타낸 바와 같이, 유리기판(11)상에 화학흡착하였다.
다음에, 습도 35％ 의 공기중, 세정제로서의 아세톤을 충분한 양(50ml ∼ 100ml)이 되도록 세정조에 넣고, 이 세정조내에서 유리기판(11)을 충분히 세정하였다. 다시 유리기판(11) 표면에 부착한 아세톤을 씻어내기 위해 충분히 세정을 하였다. 이로써, 세정제를 씻어내는 동시에 유리기판(11)상에 화학흡착한 분자에 있어서의 미반응의 Cl 기가 OH 기로 치환된다.
계속해서, 유리기판(11)을 건조시켰다. 이로써, OH 기끼리가 탈수반응을 일으켜서 가교하고, 도 13에 나타낸 단분자막(13)이 유리기판(11)상에 형성되었다.
여기서, FT - IR 로 측정하면, 도 14에 나타낸 바와 같이 2920 ∼ 2840cm-1(귀속 : - CH2-), 1650cm-1(귀속 : C ＝ O), 1600cm-1(귀속 : 벤젠골격), 1345cm-1(귀속 : 벤젠골격), 1080cm-1(귀속 : - Si - O -)로 특징적인 시그널이 얻어졌다. 이로써, 막형성이 확인되었다.
(비교예 1 - 2)
본 비교예 1 - 2 에 있어서는, 세정제로서 클로로포름을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 3 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(11)상에 단분자막(13)을 성막하였다.
이 단분자막(13)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 15에 나타낸 바와 같이 상기 도 14와 거의 동일한 위치에 거의 동일한 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
또한, 실시예 1 - 3 과 비교예 1 - 2 에 대하여 상세하게 비교 검토한 결과, 양자에는 막구조에서 다음에 설명하는 상위점이 발견되었다.
즉, 도 14 및 도 15에 나타낸 흡수스펙트럼에 있어서, 2920cm-1의 CH2로 역(逆)대칭신축진동에서 유래되는 흡수와, 2860cm-1의 CH2로 대칭신축진동에서 유래되는 흡수를 비교하면, 그 흡수비는 실시예 1 - 3 에 관한 도 14에 있어서는 2.1 : 1 이며, 비교예 1 - 2 에 관한 도 15에 있어서는 1.9 : 1 였었다.
따라서, 실시예 1 - 3 에 관한 단분자막이 비교예 1 - 2 에 관한 단분자막보다 균일하고 정돈된 막구조라는 것을 알았다.
(비교예 1 - 3)
본 비교예 1 - 3 에 있어서는, 세정제로서 아세트산에틸 또는 개미산에틸을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 3 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판 (11)상에 단분자막(13)을 성막하였다.
이 단분자막(13)의 형성후 공기중에 노출시키면, 유리기판(11) 표면은 일순간 백탁(白濁)으로 되어, 투명성을 가지는 박막을 성막하는 것은 불가능하였다.
그리고, 상기 아세트산에틸 및 개미산에틸은 일본국 특개평 6(1994)-45142호 공보, 일본국 특개평 6(1994)-312477호 공보, 일본국 특개평 6(1994)-187692호 공보 등에 기재되어 있는 카르보닐기를 가지는 에스테르류이다.
(비교예 1 - 4)
본 비교예 1 - 4 에 있어서는, 세정제로서 톨루엔을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 3 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(11)상에 단분자막(13)을 성막하였다.
유리기판(11)상에 성막된 단분자막(13)에 대하여 관찰한 바, 매우 얇은 구름이 낀듯이 보였다.
또한, 이 단분자막(12)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 16에 나타낸 바와 같이, 상기 도 14 및 도 15와는 명백히 상이하고 흡수강도가 큰 시그널이 얻어졌다. 이것은 세정제로서 톨루엔을 사용한 경우에는 세정이 불충분하다는 것을 나타내고 있다.
(비교예 1 - 5)
본 비교예 1 - 5 에 있어서는, 세정제로서 DMF(디메틸포름아미드)를 사용한 것 이외는, 상기 실시예 1 - 3 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(11)상에 단분자막(13)을 성막하였다.
이 단분자막(13)에 대하여 관찰한 바, 무색 투명하게 보였다.
또한, 이 단분자막(12)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 17에 나타낸 바와 같이, 상기 도 14 및 도 15와는 명백히 상이하고 흡수강도가 큰 시그널이 얻어졌다. 이것은 세정제로서 DMF 를 사용한 경우에는 세정이 불충분하다는 것을 나타내고 있다.
(결과)
이상의 결과에서, 유기박막을 제조할 때에, 그 제거공정에서 아세톤 또는 메틸에틸케톤을 세정제로서 사용하면, 클로로포름과 동일한 세정효과가 있는 것이 확인되었다.
또한, 상기 아세톤이나 메틸에틸케톤 외에, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 또는 아세틸아세톤 등을 사용한 경우에도 클로로포름을 사용한 경우와 동일한 세정효과를 거두는 것이 확인되었다.
한편, 염소계 세정제가 아닌 톨루엔이나 DMF 를 세정제로서 사용한 경우와 비교하여 세정작용이 우수한 것이 확인되었다.
따라서, 상기 각 실시예에 관한 세정제는 유기염소계 용제의 대체 세정제로서 유용하다는 것이 판명되었다.
〔제 2 실시예〕
(실시예 2 - 1)
먼저, 헥사데칸에 n - 옥타데실트리클로로실란을 약 1중량％ 가 되도록 용해시켜서 흡착용액(A)을 조제하였다.
다음에, 충분히 탈지 세정한 유리기판(11)(20mm × 7mm, 두께 1.1mm)을 흡착용액(A)에 1시간 침지시켰다. 이로써, 유리기판(21) 표면에 존재하는 히드록실기와 트리클로로시릴기가 다음 화학식 3에 나타낸 탈염산반응을 일으켜 실록산결합을 통하여 이 유리기판(21)상에 화학흡착하였다.
다음에, 상대습도 35％ 정도의 공기중에서 세정제로서의 폴리에틸렌글리콜(평균분자량 300)을 50ml(유리기판(21)이 충분히 잠겨 흔들어서 세정이 가능할 정도의 양) 세정조에 넣고 약 45℃ 로 가열하였다.
이 세정조의 안에서 유리기판(21)을 3회 세정하였다. 1회 세정에 가지는 세정시간은 1분간 정도로 하였다. 다시, 유리기판(21) 표면에 부착한 폴리에틸렌글리콜을 씻어내기 위해 세정을 하였다.
세정은 흐르는 물에서 약 5분간 둠으로써 행하였다. 이로써, 세정제를 씻어내는 동시에 유리기판(21)상에 화학흡착한 분자에 있어서의 미반응의 Cl 기가 OH 기로 치환된다.
계속해서, 유리기판(21)을 건조시켰다. 이로써, OH 기끼리가 탈수반응을 일으켜서 가교하고, 도 18에 나타낸 단분자막(22)이 유리기판(21)상에 형성되었다.
여기서, 단분자막(22)에 대하여 플리에변환적외분광법(이하, FT - IR 이라고 함)으로 측정하면, 도 19에 나타낸 바와 같이 2930 ∼ 2840cm-1(귀속 : CH3및 - CH2-), 1470cm-1(귀속 : - CH2-), 1080cm-1(귀속 : - Si - O-)로 특징적인 시그널이 얻어졌다. 이로써, 도 18에 나타낸 단분자막(22)이 형성되어 있는 것이 확인되었다.
그리고, 본 실시예에 있어서의 제거공정은, 상대습도 5％ 이하의 드라이에어중 또는 질소중에서 하는 편이 좋지만, 상대습도 35％ 이하의 공기중이라면 양호한 결과가 얻어졌다.
(비교예 2 - 1)
본 비교예 2 - 1 에 있어서는, 세정제로서 클로로포름을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 2 - 1 과 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(21)상에 단분자막(22)을 성막하였다.
이 단분자막(22)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 20에 나타낸 바와 같이 상기 도 19에 나타낸 흡수스펙트럼과 거의 동일한 흡수위치에 거의 동일한 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
또한, 실시예 2 - 1 과 비교예 2 - 1 에 대하여 상세하게 비교 검토한 결과, 양자에는 막구조에서 다음에 설명하는 상위점이 발견되었다.
즉, 도 19 및 도 20에 나타낸 흡수스펙트럼에 있어서, 2920cm-1의 CH2로 역(逆)대칭신축진동에서 유래되는 흡수와, 2860cm-1의 CH2로 대칭신축진동에서 유래되는 흡수를 비교하면, 그 흡수비는 실시예 2 - 1 에 관한 도 19에 있어서는 1.65 : 1 이며, 비교예 2 - 1 에 관한 도 20에 있어서는 1.58 : 1 였었다.
따라서, 실시예 2 - 1 에 관한 단분자막이 비교예 2 - 1 에 관한 단분자막보다 균일하고 정돈된 막구조라는 것을 알았다.
(실시예 2 - 2)
먼저, 실록산계 용매(상품명 : KF96L, 싱에쓰가가꾸(주)제품)／톨루엔(＝ 10／1)에 다음 화학식 4에서 나타내는 화합물을 약 1중량％ 가 되도록 용해시켜서 흡착용액(B)을 조제하였다.
다음에, 충분히 탈지 세정한 유리기판(21)을 질소분위기내에서 흡착용액(B)에 1시간 침지시켰다. 이로써, 다음 화학식 5에서 나타내는 분자가 다음 화학식 5에 나타낸 바와 같이, 유리기판(21)상에 화학흡착하였다.
다음에, 습도 50％ 의 공기중에서 세정제로서의 글리콜에테르(상품명 : PK - LCG55, 파카코포레이션 제품)(평균분자량 200)을 충분한 양이 되도록 세정조에 넣고, 약 80℃ 로 가열하였다.
이 세정조내에서 유리기판을 충분히 세정하였다. 다시 유리기판(21) 표면에 부착한 폴리에틸렌글리콜을 씻어내기 위해 충분히 세정을 하였다. 이로써, 세정제를 씻어내는 동시에 유리기판 상에 화학흡착한 분자에 있어서의 미반응의 Cl 기가 OH 기로 치환된다.
계속해서, 유리기판(21)을 건조시켰다. 이로써, OH 기끼리가 탈수반응을 일으켜서 가교하고, 도 21에 나타낸 단분자막(23)이 유리기판(21)상에 형성되었다.
여기서, 단분자막(23)에 대하여 FT - IR 로 측정하면, 도 22에 나타낸 바와 같이 2920 ∼ 2840cm-1(귀속 : - CH2-), 1650cm-1(귀속 : C ＝ O), 1600cm-1(귀속 : 벤젠골격), 1345cm-1(귀속 : 벤젠골격), 1080cm-1(귀속 : - Si - O -)로 특징적인 시그널이 얻어졌다. 이로써, 막형성이 확인되었다.
(비교예 2 - 2)
본 비교예 2 - 2 에 있어서는, 세정제로서 클로로포름을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 2 - 2 와 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(21)상에 단분자막(23)을 성막하였다.
이 단분자막(23)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 23에 나타낸 바와 같이 상기 도 22에 나타낸 흡수스펙트럼과 거의 동일한 흡수위치에 거의 동일한 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
또한, 실시예 2 - 2 와 비교예 2 - 2 에 대하여 상세하게 비교 검토한 결과, 양자에는 막구조에서 다음에 설명하는 상위점이 발견되었다.
즉, 도 22 및 도 23에 나타낸 흡수스펙트럼에 있어서, 2920cm-1의 CH2로 역(逆)대칭신축진동에서 유래되는 흡수와, 2860cm-1의 CH2로 대칭신축진동에서 유래되는 흡수를 비교하면, 그 흡수비는 실시예 2 - 2 에 관한 도 22에 있어서는 1.8 : 1 이며, 비교예 2 - 2 에 관한 도 23에 있어서는 1.7 : 1 였었다.
따라서, 실시예 2 - 2 에 관한 단분자막이 비교예 2 - 2 에 관한 단분자막보다 균일하고 정돈된 막구조라는 것을 알았다.
(실시예 2 - 3)
본 실시예 2 - 3 에 있어서는, 세정제로서 에톡시메탄올을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 2 - 2 와 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(21)상에 단분자막(23)을 성막하였다.
이 단분자막(23)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 24에 나타낸 바와 같이, 상기 도 22 및 도 23과 거의 동일한 위치에 거의 동일한 흡수강도의 시그널이 얻어졌다.
(비교예 2 - 3)
본 비교예 2 - 3 에 있어서는, 세정제로서 톨루엔을 사용한 것 이외는, 상기 실시예 2 - 2 와 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(21)상에 단분자막(23)을 성막하였다.
유리기판(21)상에 성막된 단분자막(23)에 대하여 관찰한 바, 매우 얇은 구름이 낀듯이 보였다.
또한, 이 단분자막(23)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 25에 나타낸 바와 같이, 상기 도 22 및 도 23과는 명백히 상이하고 흡수강도가 큰 시그널이 얻어졌다. 이것은 세정제로서 톨루엔을 사용한 경우에는 세정이 불충분하다는 것을 나타내고 있다.
(비교예 2 - 4)
본 비교예 2 - 4 에 있어서는, 세정제로서 DMF(디메틸포름아미드)를 사용한 것 이외는, 상기 실시예 2 - 2 와 동일한 공정을 실시함으로써 유리기판(21)상에 단분자막(23)을 성막하였다. 이 단분자막(23)에 대하여 관찰한 바, 무색 투명하게 보였다.
또한, 이 단분자막(23)에 대하여 FT - IR 측정을 행한 바, 도 26에 나타낸 바와 같이, 상기 도 22 및 도 23과는 명백히 상이하고 흡수강도가 큰 시그널이 얻어졌다. 이것은 세정제로서 DMF 를 사용한 경우에는 세정이 불충분하다는 것을 나타내고 있다.
(결과)
이상의 결과에서, 유기박막을 제조할 때에, 그 제거공정에서 폴리에틸렌글리콜, 글리콜에테르 또는 에톡시에탄올을 세정제로서 사용하면, 클로로포름과 동일한 세정효과가 있는 것이 확인되고, 미흡착의 분자가 제거된 균일한 막두께의 유기박막을 제조할 수 있었다.
한편, 염소계 세정제가 아닌 톨루엔이나 DMF 등의 종래의 대체 세정제를 사용한 경우와 비교하여 상기 세정제는 세정작용이 우수한 것이 확인되었다.
따라서, 상기 각 실시예에 관한 세정제는 유기염소계 용제의 대체 세정제로서 유용하다는 것이 판명되었다.
발명의 상세한 설명의 항에서 이루어진 구체적인 실시형태는, 어디까지나 본 발명의 기술내용을 명확하게 하는 것으로, 그와 같은 구체예에만 한정하여 협의로 해석하는 것은 아니고, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 청구사항과의 범위내에서 여러가지로 변경하여 실시할 수 있는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 구성에 의하면 본 발명의 과제를 충분히 달성할 수 있다.
즉, 본 발명에 관한 유기박막에 의하면, 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군(群)에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제에 의해 세정되어 형성되므로, 균일한 막두께를 가지며, 또한 균일하게 배열하고 정돈된 막구조로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 유기박막의 제조방법에 의하면, 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제를 사용함으로써, 염소계 세정제의 대체 세정제로서 미고정분자를 제거할 수 있고, 일정한 막두께를 가지는 유기박막의 제조가 가능해진다.
그 결과, 환경에 대한 부하를 저감한 유기박막의 제조프로세스를 제공할 수 있다는 효과를 가진다.
또, 본 발명에 관한 액정배향막에 의하면, 막두께가 균일하며 또한 분자군이 균일하게 배열하고 정돈된 막구조를 가지므로, 배열상태를 흐트리지 않고 액정분자를 배향시키는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 관한 액정배향막의 제조방법에 의하면, 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제를 사용함으로써, 염소계 유기용제를 사용하지 않고 미고정분자를 제거할 수 있고, 균일한 막두께를 가지는 액정배향막을 제조할 수 있다.
또한, 기판에 대한 흡착상태가 양호하고 막구조에 흐트러짐이 생기지 않고, 배향 능(能)이 우수한 액정배향막을 환경에 대한 부하를 저감하여 제조할 수 있다는 효과를 가진다.
또한, 이와 같은 액정배향막을 구비한 액정표시장치라면, 액정의 배향결함 등이 시인되지 않고 표시 품위가 우수한 것으로 할 수 있다는 효과를 가진다.
따라서, 본 발명의 산업상의 의의는 크다.

Claims (101)

  1. 기재 상에 결합된 분자군(群)으로 이루어지는 유기박막으로서,
    상기 유기박막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군을, 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자군을 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 유기박막.
  2. 제1항에 있어서, 상기 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는관능기는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기인 것을 특징으로 하는 유기박막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  3. 제1항에 있어서, 상기 세정제는 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 특징으로 하는 유기박막.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세정제의 함수율이 1％ 미만인 것을 특징으로 하는 유기박막.
  5. 제2항에 있어서, 상기 기재의 표면에는 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 특징으로 하는 유기박막.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기재는 유리, 금속, 금속산화물, 수지, 종이, 천, 목재 및 세라믹으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1종류로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막.
  7. 제1항에 있어서, 상기 유기박막은 건조분위기 내에서 상기 분자를 상기 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 건조분위기 내에서 상기 세정제로 제거하여 얻어진 단분자막인 것을 특징으로 하는 유기박막.
  8. 기재 상에 결합된 분자군으로 이루어지는 유기박막으로서,
    상기 유기박막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 유기박막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄,주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  9. 기재 상에 결합된 분자군으로 이루어지는 유기박막으로서,
    상기 유기박막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 유기박막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  10. 기재 상에 결합된 분자군으로 이루어지는 유기박막으로서,
    상기 유기박막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 유기박막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  11. 제10항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 유기박막.
  12. 기재 상에 결합된 분자군으로 이루어지는 유기박막으로서,
    상기 유기박막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기재면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 유기박막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  13. 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  15. 제13항에 있어서, 상기 세정제로서 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 세정제로서 함수율이 1％ 미만의 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서, 또한, 상기 제거공정 후에, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세정제 제거공정을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어내는 린스공정과, 상기 기재에 부착한 상기 물을 건조시키는 건조공정을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  19. 제14항에 있어서, 상기 기재로서 그 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 기재로서 유리, 금속, 금속산화물, 수지, 종이, 섬유, 목재 및 세라믹으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1종류로 이루어지는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  21. 제14항에 있어서, 상기 피막형성공정 및 제거공정을 건조분위기 내에서 행하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 기재 상에, 상기 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 단분자막형상으로 되도록 결합시킨, 그와 같은 유기박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법,
  23. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  24. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재 상에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  25. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재 상에 결합되지 않은 상기 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  26. 제25항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
  27. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 상에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재 상에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  28. 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  30. 제28항에 있어서, 상기 유기박막의 제조장치는, 상기 피막형성수단과 제거수단이 동일한 밀폐계에 포함되어 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 피막형성수단 및 제거수단을 내부에 설치하고, 동일한 밀폐계로 하는 것이 가능한 외기차폐(遮蔽)수단으로서, 내부 습도를 제어하여 건조분위기로 하는 외기차폐수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  32. 제28항에 있어서, 상기 피막형성수단과 제거수단은 서로 분리ㆍ독립하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  33. 제28항에 있어서, 상기 세정제는 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  34. 제28항에 있어서, 상기 세정제의 함수율이 1％ 미만인 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  35. 제28항에 있어서, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세정제 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  36. 제35항에 있어서, 상기 세정제 제거수단은, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어내는 린스수단과, 상기 기재에 부착한 상기 물을 건조하여 제거하는 건조수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
  37. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  38. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  39. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기재에 접촉시킴으로써 이 기재 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 유기박막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  40. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지고, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서,
    상기 액정배향막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군을 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정배향막.
  41. 제40항에 있어서, 상기 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기인 것을 특징으로 하는 액정배향막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  42. 제40항에 있어서, 상기 세정제는 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  43. 제40항에 있어서, 상기 세정제의 함수율이 1％ 미만의 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  44. 제41항에 있어서, 상기 기판의 표면에는 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  45. 제40항에 있어서, 상기 액정배향막은 건조분위기 내에서 상기 분자를 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 건조분위기 내에서 상기 세정제로 제거하여 얻어진 단분자막인 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  46. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정배향막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  47. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정배향막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  48. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정배향막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  49. 제48항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  50. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막으로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 이 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 상기 기판에 결합되지 않은 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정배향막.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  51. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막의 제조방법으로서,
    상기 기판에 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기재에 접촉시키고, 이 기판 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  52. 제51항에 있어서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  53. 제51항에 있어서, 상기 세정제로서 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  54. 제51항에 있어서, 상기 세정제로서 함수율이 1％ 미만의 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  55. 제51항에 있어서, 또한, 상기 제거공정 후에, 상기 기재에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세정제 제거공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  56. 제55항에 있어서, 상기 세정제 제거공정은, 상기 기판에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어내는 린스공정과, 상기 기판에 부착한 상기 물을 건조시키는 건조공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  57. 제52항에 있어서, 상기 기판으로서 그 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  58. 제52항에 있어서, 상기 피막형성공정 및 제거공정을 건조분위기 내에서 행하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  59. 제58항에 있어서, 상기 기판 상에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 단분자막형상이 되도록 결합시킨, 그와 같은 액정배향막을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  60. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막의 제조방법으로서,
    다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  61. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  62. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  63. 제62항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
  64. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  65. 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 기판에 접촉시킴으로써 이 기판 표면에 결합시켜서 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  66. 제65항에 있어서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  67. 제65항에 있어서, 상기 액정배향막의 제조장치는, 상기 피막형성수단과 제거수단이 동일한 밀폐계에 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  68. 제67항에 있어서, 상기 피막형성수단 및 제거수단을 내부에 설치하고, 동일한 밀폐계로 하는 것이 가능한 외기차폐(遮蔽)수단으로서, 내부 습도를 제어하여 건조분위기로 하는 외기차폐수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  69. 제65항에 있어서, 상기 피막형성수단과 제거수단은 서로 분리ㆍ독립하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  70. 제65항에 있어서, 상기 세정제는 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  71. 제65항에 있어서, 상기 세정제의 함수율이 1％ 미만인 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  72. 제65항에 있어서, 상기 기판에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세정제 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  73. 제72항에 있어서, 상기 세정제 제거수단은, 상기 기판에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어내는 린스수단과, 상기 기판에 부착한 상기 물을 건조하여 제거하는 건조수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
  74. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시킴으로써 이 기판 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  75. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시킴으로써 이 기판 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  76. 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시킴으로써 이 기판 표면에 결합시켜서, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성수단과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거수단을 가지는 것을 특징으로 하는 액정배향막의 제조장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  77. 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서,
    상기 액정배향막은 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 가지는 분자군이, 상기 기판 상에 결합되어 이루어지는 박막이며,
    또한 상기 분자로 이루어지는 군을 상기 기판에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정표시장치.
  78. 제77항에 있어서, 상기 활성수소를 구비한 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  79. 제77항에 있어서, 상기 세정제는 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  80. 제77항에 있어서, 상기 세정제의 함수율이 1％ 미만의 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  81. 제78항에 있어서, 상기 기판의 표면에는 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  82. 제77항에 있어서, 상기 액정배향막은 건조분위기 내에서 상기 분자를 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 건조분위기 내에서 상기 세정제로 제거하여 얻어진 단분자막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  83. 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정표시장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  84. 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정표시장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  85. 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정표시장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  86. 제85항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 액정배향막.
  87. 기판 상에 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치로서,
    상기 액정배향막은 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 상기 기판면에 접촉시켜서 결합시킨 후, 이 기판에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 액정표시장치.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  88. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지고, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서,
    상기 기판에 활성수소를 가지는 관능기에 대하여 반응성을 나타내는 관능기를 구비한 분자군을 접촉시키고, 이 기판 표면에 결합시켜서 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 케톤류, 알킬렌글리콜류 및 알콕시알콜류로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  89. 제88항에 있어서, 상기 분자는 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  90. 제88항에 있어서, 상기 세정제로서 염소계 용제를 함유하지 않은 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  91. 제88항에 있어서, 상기 세정제로서 함수율이 1％ 미만의 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  92. 제88항에 있어서, 또한, 상기 제거공정 후에, 상기 기판에 부착한 상기 세정제를 제거하는 세정제 제거공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  93. 제92항에 있어서, 상기 세정제 제거공정은, 상기 기판에 부착한 상기 세정제를 물로 씻어내는 린스공정과, 상기 기판에 부착한 상기 물을 건조시키는 건조공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  94. 제89항에 있어서, 상기 기판으로서 그 표면에 활성수소를 가지는 관능기가 존재하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  95. 제89항에 있어서, 상기 피막형성공정 및 제거공정을 건조분위기 내에서 행하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  96. 제95항에 있어서, 상기 기판 상에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을, 단분자막형상이 되도록 결합시킨, 그와 같은 액정배향막을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  97. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서,
    다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 아세톤, 메틸에틸케톤, 디에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 및 아세틸아세톤으로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 케톤류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  98. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 부틸렌글리콜, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  99. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리부틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 및 폴리에틸렌글리콜모노 - n - 부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알킬렌글리콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
  100. 제99항에 있어서, 상기 알킬렌글리콜류의 분자량이 100 이상, 300 이하의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  101. 기판 상에 결합된 분자군으로 이루어지며, 액정분자를 특정 방향으로 배향시키는 액정배향막을 구비한 액정표시장치의 제조방법으로서,
    상기 기판에 다음 화학식 1에서 나타내는 관능기군에서 선택되는 1종류의 관능기를 가지는 분자군을 기판에 접촉시켜서 이 기판에 결합시키고, 이 분자군으로 이루어지는 피막을 형성하는 피막형성공정과,
    상기 기재에 결합되지 않은 상기 분자를 에톡시에탄올 및 메톡시알콜로 이루어지는 군에서 선택되는 최소한 1종류의 알콕시알콜류를 함유하는 세정제로 제거하는 제거공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    (식중, A 는 규소, 게르마늄, 주석, 티탄 및 지르코늄으로 이루어지는 군에서 선택되는 1종류의 원자를 나타내고, X 는 할로겐, 알콕시기 및 이소시아네이트기에서 선택되는 1종류의 관능기를 나타내고 있다)
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