WO2000007242A1 - Leiterbahnrahmen, platine mit leiterbahnrahmen und verfahren zur herstellung eines leiterbahnrahmens - Google Patents

Leiterbahnrahmen, platine mit leiterbahnrahmen und verfahren zur herstellung eines leiterbahnrahmens Download PDF

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WO2000007242A1
WO2000007242A1 PCT/DE1999/002072 DE9902072W WO0007242A1 WO 2000007242 A1 WO2000007242 A1 WO 2000007242A1 DE 9902072 W DE9902072 W DE 9902072W WO 0007242 A1 WO0007242 A1 WO 0007242A1
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Jens Pohl
Simon Muff
Eckehard Miersch
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Infineon Technologies Ag
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Definitions

  • the invention relates to a conductor track frame, a circuit board with at least one conductor track frame and a method for producing a conductor track frame.
  • fast memory modules high performance DRAMs
  • fast memory modules have particularly high requirements for the dissipation of thermal power loss, the guarantee of electrical function and high numbers of connections (pins, IOs).
  • parasitic inductances, capacitances and resistances must be minimized.
  • the object of the invention is to integrate integrated electronic circuits, in particular with memory cell arrangements, into a conductor structure with the least possible design effort.
  • this object is achieved by a conductor * track frame with at least one integrated electronic circuit, wherein the integrated electronic circuit in the region of a main surface of the conductor frame is, with at least one signal line, wherein between the integrated electronic circuit and the signal line at least in sections at least an electrically insulating plate and an electrically conductive, grounded plate.
  • the signal lines connect functional elements of the integrated electronic circuit to one or more suitable connections.
  • Parasitic electrical parameters such as inductance, capacitance and resistance of the geometrical structure are minimized by the structure of the conductor track frame according to the invention. Very good electrical and signaling reliability is achieved even with integrated electronic circuits with high switching speeds, in particular with fast memory chips (high performance DRAMs) with particularly high requirements for ensuring the electrical function.
  • a particularly good use of space can be achieved if the signal line runs at least in sections within the conductor track frame.
  • a further improvement in space utilization is achieved in that at least one integrated electronic circuit is located on each of the two main surfaces of the conductor track frame.
  • the electrical reliability is further increased in that the signal line runs parallel to the integrated electronic circuit, at least in sections.
  • the conductor track frame In order to avoid thermal stress on the integrated electronic circuit, it is expedient for the conductor track frame to be provided with at least one heat distributor.
  • the conductor track frame is used as a cooling vane for the integrated electronic circuits.
  • the heat distributor is in thermal contact with a heat conductor which at least partially penetrates the conductor track frame.
  • the invention further provides for a circuit board which is equipped with integrated electronic circuits to be designed in such a way that it contains at least one interconnect frame according to the invention.
  • a particularly good use of space can be achieved in that it has a main circuit board and that the conductor track frame is arranged essentially perpendicular to the main circuit board.
  • the main circuit board contains a multiplicity of conductor track frames and that the conductor track frames are arranged essentially parallel and / or coplanar to one another.
  • the invention further relates to a method for producing a conductor track frame provided with at least one integrated electronic circuit, the conductor track frame being provided with at least one signal line and the integrated electronic circuit being applied such that there is between the integrated electronic circuit and the signal line at least in sections at least one electrically insulating plate and an electrically conductive, grounded plate.
  • the so-called crosstalk can be avoided by the signal lines being electrically shielded by two adjacent earth lines.
  • FIG. 1 shows a cross section through a conductor track frame perpendicular to the plane in which the integrated electronic circuits are located
  • FIG. 2 shows a cross section through the conductor track frame shown in FIG. 1,
  • FIG. 3 shows a cross section through the conductor track frame shown in FIGS. 1 and 2 through the sectional plane III-III,
  • Fig. 4 shows a cross section through an expedient arrangement of conductor tracks in a further conductor track frame according to the invention.
  • the integrated electronic circuits 4, 5 have thermal vias 6, only one of which is shown enlarged in the figure as an example.
  • the thermal vias 6 are contact holes that are connected to are filled with a thermally conductive material. They are produced in the same way as electrically conductive contact points 8, but are not electrically connected, but only serve to conduct heat.
  • the integrated electronic circuits are connected via the electrically conductive contact points 8 to signal lines 9, which end in a connecting element 7 of the conductor track frame 1.
  • connection element 7 In its edge region, the conductor track frame 1 opens into the connection element 7, which can be inserted into a circuit board arrangement or into another suitable slot.
  • connection of the signal lines 9 from the integrated electronic circuits 4, 5 to the connection element 7 takes place via the electrically conductive contact points 8, which are embedded in the insulation layers 2, 2 ⁇ , 3, 3 ⁇ .
  • interposer I Such an arrangement of insulation layers 2, 2 ⁇ , 3, 3 and signal lines 9 embedded in them is referred to as interposer I.
  • a connection via insulation layers 2, 2 ⁇ , 3, 3 ⁇ is particularly useful if the integrated electronic circuits 4, 5 are in the form of configured chips (existing packages).
  • a connection via a further, preferably branched, conductor strip frame, which is preferably attached to a further insulating plate, is particularly suitable for non-configured electronic circuits.
  • the signal lines 9 are laid, for example, in accordance with the embodiment shown in FIG. 2.
  • the signal lines 9 each extend from a signal connection S in the area of the connection element 7 to a contact point 8.
  • the signal connections S are each located between two basic potential connections G. All signal lines 9 preferably have the same length and are connected by suitable wiring (interposer routing). connected several times to the integrated electronic circuits 4, 5, so that a wide bus system is formed.
  • Heat distributors 12, 13 penetrate the entire area of the conductor track frame 1.
  • FIG. 3 shows a cross section through the conductor track frame shown in FIGS. 1 and 2 through the section plane III-III in the area of the signal connections S.
  • the signal connections S which open into the signal lines 9 at a higher level, not shown, are through two basic potential connections G and electrically shielded by the two electrically conductive, grounded base plates 14, 14.
  • the signal lines 9 are ⁇ by the base plates 14, 14 and two adjacent ground lines which are arranged in extension of the basic potential terminals G, electrically shields off.
  • the ground lines, which are arranged in the extension of the basic potential connections G preferably have the same lengths as the signal lines, so that the electrical shielding of the signal lines 9 is further improved.
  • FIG. 4 shows a cross section through an alternative, equally expedient, arrangement of conductor tracks in a further conductor track frame according to the invention.
  • signal lines 16, 18, 22, 24 starting from signal connections S are each connected by two adjacent earth lines 15, 17, 19, starting from a basic potential connection G. 23 electrically shielded.
  • the signal lines 16, 18, 22,, 24 open into contact points 26, 28, 32, 34.
  • the earth lines 15, 17, 19, 23 can laterally form a vertical line formed from the contact points 26, 28, 32, 34 in a common - Unite the line, preferably the earth line 15.
  • the four contact points 26, 28, 32, 34 form a contact matrix with corresponding further contact points, a contact matrix with 4 x 4 contact points being shown in the present case.
  • Thermal vias 40, 41, 42 enable good heat dissipation.
  • the arrangement of the conductor tracks shown is particularly advantageous because it combines good electrical shielding of the signal lines 16, 18, 22, 24 with high heat dissipation.
  • other arrangements of the signal lines, the ground lines, the contact points or the thermal vias are also used to design other embodiments of the interconnect frames according to the invention.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Leiterbahnrahmen (1) mit mindestens einer integrierten elektronischen Schaltung (4, 5), wobei sich die integrierte elektronische Schaltung (4, 5) im Bereich einer Hauptfläche des Leiterbahnrahmens (1) befindet, mit wenigstens einer Signalleitung (9), wobei sich zwischen der integrierten elektronischen Schaltung (4, 5) und der Signalleitung (9) wenigstens abschnittsweise mindestens eine elektrisch isolierende Platte (2, 2', 3, 3') und eine elektrisch leitende, geerdete Platte (14, 14') befinden. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung des Leiterbahnrahmens (1).

Description

Beschreibung *
Leiterbahnrahmen, Platine mit Leiterbahnrahmen und Verfahren zur Herstellung eines Leiterbahnrahmens
Die Erfindung betrifft einen Leiterbahnrahmen, eine Platine mit wenigstens einem Leiterbahnrahmen sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Leiterbahnrahmens.
Im Stand der Technik sind vielfältige Einbauarten bekannt, bei denen integrierte elektronische Schaltungen in geeignete Gehäuse eingebaut werden. Während bei Logikbausteinen häufig aufwendig herzustellende Keramikgehäuse zum Einsatz kommen, besteht bei für die Massenfertigung bestimmten Speicherbau- steinen ein Bedarf an möglichst einfach herstellbaren Gehäusen. Es ist deshalb üblich, Speicherbausteine mit einfach herstellbaren Plastikgehäusen zu umgeben. Die Gehäuse haben die Aufgabe, die Speicherbausteine einerseits von Umwelteinflüssen - insbesondere Feuchtigkeit - hermetisch abzuriegeln, den elektrischen Kontakt nach außen herzustellen und die entstehende Wärme effektiv abzuführen.
Während bei konventionellen Speicherbausteinen die bekannten Gehäuse im wesentlichen allen im Praxiseinsatz auftretenden Anforderungen genügen, bestehen bei schnellen Speicherbausteinen (High Performance DRAMs) besonders hohe Anforderungen an die Abführung von thermischer Verlustleistung, die Gewährleistung der elektrischen Funktion sowie an hohe Anschlußzahlen (Pins, IOs) . Insbesondere müssen parasitäre Induktivitä- ten, Kapazitäten und Widerstände minimiert werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, integrierte elektronische Schaltungen, insbesondere mit Speicherzellenanordnungen, mit einem möglichst geringen konstruktiven Aufwand in eine Leiterstruktur zu integrieren. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch einen Leiter-* bahnrahmen mit mindestens einer integrierten elektronischen Schaltung, wobei sich die integrierte elektronische Schaltung im Bereich einer Hauptfläche des Leiterbahnrahmens befindet, mit wenigstens einer Signalleitung, wobei sich zwischen der integrierten elektronischen Schaltung und der Signalleitung wenigstens abschnittsweise mindestens eine elektrisch isolierende Platte und eine elektrisch leitende, geerdete Platte befinden.
Die Signalleitungen verbinden Funktionselemente der integrierten elektronischen Schaltung mit einem oder mehreren geeigneten Anschlüssen. Durch den erfindungsgemäßen Aufbau des Leiterbahnrahmens werden parasitäre elektrische Parameter wie Induktivität, Kapazität und Widerstand des geometrischen Auf- baus minimiert. Auch bei integrierten elektronischen Schaltungen mit hohen Schaltgeschwindigkeiten, insbesondere bei schnellen Speicherbausteinen (High Performance DRAMs) , mit besonders hohen Anforderungen an die Gewährleistung der elek- trischen Funktion, wird eine sehr gute elektrische und signaltechnische Zuverlässigkeit erreicht.
Eine besonders gute Raumausnutzung läßt sich dadurch erzielen, daß die Signalleitung wenigstens abschnittsweise inner- halb des Leiterbahnrahmens verläuft.
Eine weitere Verbesserung der Raumausnutzung wird dadurch erreicht, daß sich auf zwei Hauptflächen des Leiterbahnrahmens jeweils mindestens eine integrierte elektronische Schaltung befindet.
Eine weitere Erhöhung der elektrischen Zuverlässigkeit erfolgt dadurch, daß die Signalleitung wenigstens abschnittsweise parallel zu der integrierten elektronischen Schaltung verläuft. Um eine thermische Belastung der integrierten elektronischen Schaltung zu vermeiden, ist es zweckmäßig, daß der Leiterbahnrahmen mit wenigstens einem Wärmeverteiler versehen ist.
Hierdurch wird der Leiterbahnrahmen als Kühlfahne für die integrierten elektronischen Schaltungen eingesetzt.
Dies geschieht in besonders einfacher und zweckmäßiger Weise dadurch, daß sich der Wärmeverteiler in thermischem Kontakt mit einem den Leiterbahnrahmen wenigstens bereichsweise durchdringenden Wärmeleiter befindet.
Die Erfindung sieht ferner vor, eine Platine, die mit integrierten elektronischen Schaltungen bestückt ist, so auszuge- stalten, daß sie wenigstens einen erfindungsgemäßen Leiterbahnrahmen enthält.
Eine besonders gute Raumausnutzung läßt sich dadurch erzielen, daß sie eine Hauptplatine aufweist und daß der Leiter- bahnrahmen im wesentlichen senkrecht zu der Hauptplatine angeordnet ist.
Ferner ist es zweckmäßig, daß die Hauptplatine eine Vielzahl von Leiterbahnrahmen enthält und daß die Leiterbahnrahmen im wesentlichen parallel und/oder koplanar zueinander angeordnet sind.
Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Herstellung eines mit wenigstens einer integrierten elektroni- sehen Schaltung versehenen Leiterbahnrahmens, wobei der Leiterbahnrahmen mit wenigstens einer Signalleitung versehen wird und wobei die integrierte elektronische Schaltung so aufgebracht wird, daß sich zwischen der integrierten elektronischen Schaltung und der Signalleitung wenigstens ab- schnittsweise mindestens eine elektrisch isolierende Platte und eine elektrisch leitende, geerdete Platte befinden. Bei einer Vielzahl von Signalleitungen läßt sich ihre gegen- seitige Beeinflussung, der sogenannte crosstalk, dadurch vermeiden, daß die Signalleitungen jeweils durch zwei benachbarte Erdleitungen elektrisch abgeschirmt sind.
Weitere Vorteile, Besonderheiten und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgenden Darstellung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen.
Von den Zeichnungen zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt durch einen Leiterbahnrahmen senkrecht zu der Ebene, in der sich die integrier- ten elektronischen Schaltungen befinden und
Fig. 2 einen Querschnitt durch den in Fig. 1 dargestellten Leiterbahnrahmen,
Fig. 3 einen Querschnitt durch den in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten Leiterbahnrahmen durch die Schnittebene III-III,
Fig. 4 einen Querschnitt durch eine zweckmäßige Anordnung von Leiterbahnen in einem weiteren erfindungsgemäßen Leiterbahnrahmen.
Der in Fig. 1 dargestellte Leiterbahnrahmen 1 ist im Bereich seiner Hauptflächen über Isolationsschichten 2, 2 , 3, 3λ und elektrisch leitende, geerdete Grundplatten (ground-planes)
14, 14 λ mit integrierten elektronischen Schaltungen 4, 5 verbunden.
Die integrierten elektronischen Schaltungen 4, 5 weisen ther- mische Vias 6 auf, von denen in der Abbildung lediglich ein einziges beispielhaft vergrößert dargestellt ist. Bei den thermischen Vias 6 handelt es sich um Kontaktlöcher, die mit einem wärmeleitenden Material gefüllt sind. Sie werden auf die gleiche Weise wie elektrisch leitende Kontaktpunkte 8 hergestellt, sind jedoch nicht elektrisch angeschlossen, sondern dienen nur zur Wärmeleitung.
Die integrierten elektronischen Schaltungen sind über die elektrisch leitenden Kontaktpunkte 8 mit Signalleitungen 9 verbunden, die in einem Anschlußelement 7 des Leiterbahnrahmens 1 enden.
Der Leiterbahnrahmen 1 mündet in seinem Randbereich in das Anschlußelement 7, das in eine Leiterplattenanordnung oder in einen anderen geeigneten Steckplatz eingesteckt werden kann.
Die Verbindung der Signalleitungen 9 von den integrierten elektronischen Schaltungen 4, 5 zu dem Anschlußelement 7 erfolgt über die elektrisch leitenden Kontaktpunkte 8, die in die Isolationsschichten 2, 2λ, 3, 3λ eingebettet sind.
Eine derartige Anordnung aus Isolationsschichten 2, 2Λ, 3, 3 und in diese eingebettete Signalleitungen 9 wird als Interpo- ser I bezeichnet.
Eine Verbindung über Isolationsschichten 2, 2Λ, 3, 3Λ ist be- sonders sinnvoll, wenn die integrierten elektronischen Schaltungen 4, 5 in der Form von konfigurierten Chips (existierende packages) vorliegen. Eine Verbindung über einen weiteren, vorzugsweise verästelte Leitungen aufweisenden, Leiterbahnrahmen, welcher vorzugsweise auf einer weiteren isolierenden Platte angebracht ist, eignet sich hingegen insbesondere bei nicht konfigurierten elektronischen Schaltungen.
Zur Erhöhung der Übersichtlichkeit sind die elektrischen An- Schlußleitungen in Fig. 1 nicht dargestellt. Eine Verlegung der Signalleitungen 9 erfolgt beispielhaft gemäß der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform. Die Signalleitungen 9 reichen jeweils von einem Signalanschluß S im Bereich des Anschlußelementes 7 bis zu einem Kontaktpunkt 8. Die Signalanschlüsse S befinden sich jeweils zwischen zwei Grundpotentialanschlüssen G. Vorzugsweise weisen alle Signalleitungen 9 eine gleiche Länge auf und sind durch eine geeignete Verdrahtung (Interposer Routing) mehrfach mit den integrierten elektronischen Schaltungen 4, 5 verbunden, so daß ein breites Bussystem gebildet wird.
Wärmeverteiler 12, 13 durchdringen den gesamten Bereich des Leiterbahnrahmens 1.
Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch den in Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten Leiterbahnrahmen durch die Schnittebene III-III im Bereich der Signalanschlüsse S. Die Signalanschlüsse S, die in einer höheren, nicht dargestellten Ebene in die Signalleitungen 9 münden, sind durch zwei Grundpotentialan- Schlüsse G und durch die beiden elektrisch leitenden, geerdeten Grundplatten 14, 14 elektrisch abgeschirmt. Auch die Signalleitungen 9 sind durch die Grundplatten 14, 14 λ sowie jeweils zwei benachbarte Erdleitungen, die in Verlängerung der Grundpotentialanschlüsse G angeordnet sind, elektrisch abge- schirmt. Die Erdleitungen, die in Verlängerung der Grundpotentialanschlüsse G angeordnet sind, weisen vorzugsweise ebenso wie die Signalleitungen gleiche Längen auf, so daß die elektrische Abschirmung der Signalleitungen 9 noch weiter verbessert wird.
Fig. 4 zeigt einen Querschnitt durch eine alternative, gleichermaßen zweckmäßige, Anordnung von Leiterbahnen in einem weiteren erfindungsgemäßen Leiterbahnrahmen.
Hierbei sind von Signalanschlüssen S ausgehende Signalleitungen 16, 18, 22, 24 jeweils durch zwei benachbarte von einem Grundpotentialanschluß G ausgehenden Erdleitungen 15, 17, 19, 23 elektrisch abgeschirmt. Die Signalleitungen 16, 18, 22, ,24 münden in Kontaktpunkten 26, 28, 32, 34. Die Erdleitungen 15, 17, 19, 23 können sich seitlich einer aus den Kontaktpunkten 26, 28, 32, 34 gebildeten vertikalen Linie in einer gemeinsa- men Leitung, vorzugsweise der Erdleitung 15, vereinigen.
Die vier Kontaktpunkte 26, 28, 32, 34 bilden mit entsprechenden weiteren Kontaktpunkten eine Kontaktmatrix, wobei im vorliegenden Fall eine Kontaktmatrix mit 4 x 4 Kontaktpunkten dargestellt ist.
Thermische Vias 40, 41, 42 ermöglichen eine gute Wärmeableitung.
Die dargestellte Anordnung der Leiterbahnen ist besonders vorteilhaft, weil sie eine gute elektrische Abschirmung der Signalleitungen 16, 18, 22, 24 mit einer hohen Wärmeabfuhr kombiniert. Jedoch sind auch andere Anordnungen der Signalleitungen, der Erdleitungen, der Kontaktpunkte oder der ther- mischen Vias zur Gestaltung von anderen Ausführungsformen erfindungsgemäßer Leiterbahnrahmen

Claims

Patentansprüche
1. Leiterbahnrahmen (1)
- mit mindestens einer integrierten elektronischen Schaltung (4, 5),
- wobei sich die integrierte elektronische Schaltung (4, 5) im Bereich einer Hauptfläche des Leiterbahnrahmens (1) befindet,
- mit wenigstens einer Signalleitung (9), - wobei sich zwischen der integrierten elektronischen Schaltung (4, 5) und der Signalleitung (9) wenigstens abschnittsweise mindestens eine elektrisch isolierende Platte (2, 2Λ, 3, 3Λ) und eine elektrisch leitende, geerdete Platte (14, 14 Λ) befinden.
2. Leiterbahnrahmen (1) nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Signalleitung (9) wenigstens abschnittsweise innerhalb des Leiterbahnrahmens (1) verläuft.
3. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß sich auf zwei Hauptflächen des Leiterbahnrahmens (1) jeweils mindestens eine integrierte elektronische Schaltung (4, 5) befindet.
4. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Signalleitung (9) wenigstens abschnittsweise parallel zu der integrierten elektronischen Schaltung (4, 5) verläuft.
5. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Signalleitung in einer Wegstrecke, die von dem Anschlußelement (7) bis zu einem Kontaktpunkt (8) in einer der integrierten elektronischen Schaltungen (4, 5) führt, parallel zu einer durch die integrierten elektronischen ^ Schaltungen (4, 5) definierten Ebene verläuft.
6. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß wenigstens eine der integrierten elektronischen Schaltungen (4, 5) eine Speicherzellenanordnung enthält.
7. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Leiterbahnrahmen (1) mit wenigstens einem Wärmeverteiler (12, 13) versehen ist.
8. Leiterbahnrahmen (1) nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Wärmeverteiler (12, 13) wenigstens bereichsweise einen den Leiterbahnrahmen (1) durchdringenden Wärmeleiter enthält.
9. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß er eine Vielzahl von Signalleitungen (9; 16, 18, 22, 24) enthält, die jeweils durch zwei benachbarte Erdleitungen (15, 17, 19, 23) elektrisch abgeschirmt sind.
10. Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß er in wenigstens einem seiner Randbereiche ein Anschlußelement (7) enthält.
11. Platine, die mit integrierten elektronischen Schaltungen (4, 5) bestückt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß sie wenigstens einen Leiterbahnrahmen (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9 enthält.
12. Platine nach Anspruch 11, d a d u r c h ^ g e k e n n z e i c h n e t, daß sie eine Hauptplatine aufweist und daß der Leiterbahnrahmen (1) im wesentlichen senkrecht zu der Hauptplatine angeordnet ist.
13. Platine nach Anspruch 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Hauptplatine eine Vielzahl von Leiterbahnrahmen (1) enthält und daß die Leiterbahnrahmen (1) im wesentlichen parallel und/oder koplanar zueinander angeordnet sind.
14. Verfahren zur Herstellung eines mit wenigstens einer integrierten elektronischen Schaltung (4, 5) versehenen Leiterbahnrahmens (1), - wobei der Leiterbahnrahmen (1) mit wenigstens einer Signalleitung (9) versehen wird und
- wobei die integrierte elektronische Schaltung (4, 5) so aufgebracht wird, daß sich zwischen der integrierten elektronischen Schaltung (4, 5) und der Signalleitung (9) wenigstens abschnittsweise mindestens eine elektrisch isolierende Platte (2, 2 3, 3λ) und eine elektrisch leitende, geerdete Platte (14, 14Λ) befinden.
PCT/DE1999/002072 1998-07-28 1999-07-05 Leiterbahnrahmen, platine mit leiterbahnrahmen und verfahren zur herstellung eines leiterbahnrahmens WO2000007242A1 (de)

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