WO1998008217A1 - Moyen de support de disque et dispositif de disque - Google Patents

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WO1998008217A1
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resin
substrate
disk
disk medium
magnetic disk
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PCT/JP1997/002927
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Eiki Oyanagi
Takeshi Sasa
Yasuyuki Imai
Hiroshi Takino
Teiji Kohara
Masayoshi Oshima
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Sony Corporation
Nippon Zeon Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a disk medium substrate formed by, for example, injection molding and having excellent surface smoothness, and a method of manufacturing the same.
  • the present invention relates to a disk device in which recording and reproduction are performed by a flying head. Background technology
  • a recording / reproducing system that records and reproduces digital information on a recording medium, for example, a magnetic disk
  • a magnetic head using a magnetic head, the magnetic disk rotates at a high speed during operation, and a flying slider (floating head) equipped with a magnetic head is used.
  • the recording / reproduction is performed with the ⁇ ) slightly floating above the surface of the magnetic disk.
  • the levitating head must be as small as possible in order to minimize the spacing loss, and the levitating head is about 50 nm if the head is small. If a protrusion higher than the levitating amount is present on the surface of the magnetic disk, the flying head collides with the protrusion, causing damage to the magnetic disk or the magnetic head.
  • the main surface is undulated by lathing or pressure annealing. After finishing to 20 ⁇ m or less, the surface is coated with an Ni-P alloy electroless plating layer of about 30 m to give the required hardness to the surface, and the average surface roughness is 0
  • the mirror is polished to a thickness of about 2 m and a thickness of about 15 m.
  • plastic materials can be used for either disk substrates with no irregularities or disks with irregularities depending on the choice of metal or stamper during injection molding. It can be molded in any shape.
  • thermoplastic norbornene-based resin As a magnetic disk substrate made of a resin, one using a thermoplastic norbornene-based resin is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-1530600. If the plastic material used for the magnetic disk substrate is, for example, polycarbonate or polymethyl methacrylate used for an optical disk substrate, etc., the deformation due to moisture absorption is large, and it is not necessarily appropriate. Even if the material is a low hygroscopic plastic material, it is not preferable to use polymethylpentene, polystyrene, or the like because the substrate may be deformed after molding due to the resulting property or the heat resistance may be insufficient.
  • thermoplastic norbornene resin has almost no deformation due to moisture absorption or crystallinity, and has an excellent heat resistance.
  • An object of the present invention is to provide a disk medium substrate capable of performing high-reliability recording and recording without collision of a flying head.
  • the inventors of the present invention have conducted intensive studies to achieve the above-mentioned object.As a result, it is necessary to control the number of foreign particles having a specific particle size or more in a resin-made disk medium substrate to a specific number or less. As a result, the present inventors have found that it is easy to obtain a disk medium substrate having no projections on the surface, and have completed the present invention.
  • the substrate for a disk medium of the present invention is a resin disk medium substrate used for a disk medium on which recording and / or reproduction is performed by a floating head, at least a surface on which the floating head runs. It is characterized in that no protrusion with a height of 50 nm or more is formed thereon. On the surface of the disk medium plate where the top is located, the protrusion with a length of 50 nm or less is drawn. Causes damage to disk media.
  • the number of foreign particles having a particle diameter of 0.5 ⁇ m or more mixed in a molded product is 100 000 7 g
  • the control is preferably performed at 700 / g or less, and more preferably at 50/0 g / g or less.
  • Examples of a method for controlling the number of foreign particles in the molded body include, for example, a method in which a resin having a small number of particles f-number is used and the molding is performed under an environment with low cleanliness.
  • the disk medium substrate of the present invention does not have a projection with a length of 50 nm or more on the surface, it is possible to suppress the collision of the floating head. Therefore, it is possible to prevent the flying head disk itself from being damaged, and therefore, a disk created by using the disk, for example, a magnetic disk, has an aluminum substrate whose performance and reliability at the time of recording are reproduced. It is an oral ability that is equivalent to
  • the substrate for a disk medium of the present invention is capable of removing irregularities such as a servo mark forming portion and a data region forming portion with high positional accuracy by injection molding or the like. It can be formed, for example, to produce high recording density magnetic disk substrates, which can be manufactured well, and has an extremely large industrial value.
  • m1 is a schematic diagram ⁇ showing the state of projections formed by foreign particles.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a main part of a configuration of a magnetic disk used for the inspection.
  • FIG. 3 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of S / N at a floating protrusion amount of 70 nm.
  • FIG. 4 is a schematic perspective view showing an example of a magnetic disk drive using an upper head.
  • FIG. 6 is a schematic plan view showing an example of a magnetic disk substrate having irregularities.
  • FIG. 7 is a schematic plan view showing the data area forming section and the servo mark forming section in an enlarged manner.
  • the substrate for a disk medium of the present invention for example, a magnetic disk substrate, is a resin substrate and does not have a protrusion with a height of 50 nm or less. Things.
  • the magnetic Si disk used is as shown in Fig. 2, and the magnetic disk substrate 11 has a Cr underlayer 12, CoPtCri ⁇ l3, a Cr intermediate layer 14, CoPtCr1 and carbon protective film 16 are sequentially formed.
  • the recording head use an inductive head with a gap of 13 ⁇ 40.6 ⁇ m and a track width of 3.5 ⁇ m.
  • ⁇ Head gap G ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ 0.36 3m, track width 2
  • a 5 ⁇ m MR head was used to record and record at a head flying height of 70 nm.
  • the S / N of the ⁇ ,? signal with a frequency of 14 MHz and a peripheral speed of 7 m / s was obtained at 25 dB.
  • S / N 25 dB is a sufficient value in consideration of the system amplifier system and error correction.
  • Heating of the slider variation, load variation, length variation in the drive device, warpage of the plate, variation at the time of seek, variation in U Become.
  • the resin material used for forming the above-mentioned resin disk medium plate a thermoplastic resin excellent in heat resistance, precision moldability, low hygroscopic deformation and the like is preferable. More specifically, from the viewpoint of heat resistance, the glass transition temperature is 100 ° C. or higher, preferably 120 ° C. or higher. From the viewpoint of precision moldability, the glass transition temperature is 300 ° C. ° C or less, preferably 250 ° C or less, and from the viewpoint of low moisture absorption, an amorphous material having a water absorption rate (at 25 ° C and after immersion for 24 hours) of 0.2% or less, preferably 0.1% or less Thermoplastic resins are preferred.
  • a polystyrene resin a polycarbonate resin, such as poly (oxycarbone 1,4-phenylene isop-opened pyridene-1,4-phenylene); a polyarylate resin, such as poly ((oxyterephthalate) 1,4-Phenylene isopropylidene 1,4-phenylene) -co- (oxyisophthalone-yloxy-1,4-phenylene isopropylidene-1,4-phenylene)), terephthalic acid Isophthalic acid / bisphenol A polycondensate; polysulfone resin, for example, poly (oxy-1,4-phenylenesulfonyl-1,4-phenyleneoxy-1,4-phenylene isopropylidene-1,4-phenylene Polyethylene sulfone resin, for example, poly (oxy-1,4-phenylenesulfonyl-1,4-) Polyene imide resin, for example, 4,4 '
  • thermoplastic norbornene resin having a good balance of heat resistance, precision moldability, low moisture absorption and the like is preferable.
  • thermoplastic norbornene-based resin examples include those known in the above-mentioned publications, JP-A-2-27424, JP-A-2-2746842, and the like. You can use your body. For example, norbornene, its alkyl, alkylidene, alkenyl, aromatic derivatives and their substituted or unsubstituted halogens, hydroxyl groups, ester groups, alkoxy groups, cyano groups, amide groups, imido groups And a substituent of a functional group such as a silyl group.
  • Holidays include 2-norbornene, 5-methyl-2-norbornene, 5,5-dimethyl-2-norbornene, 5-ethyl-2-norbornene, 5-butyl-2-norbornene, 5-hexyl-2-norbornene, 5— 2-octyl-2-norbornene, 5-octyldecyl-2-norbornene, 5-ethylidene-2-norbornene, 5-isopropenyl-1-2-norbornene, 5-methoxycarbonyl-2-norbornene, 5-cyano-1 —Norbornene, 5-methyl-5—methoxycarbonyl 2-norbornene, 5-phenyl-2-norbornene, 5-phenyl-5—methyl-norbornene.
  • a single-molecule suspension obtained by adding one or more cyclopentene to norbornene, and a derivative / anonymous substance similar to the above-mentioned description may be used.
  • ⁇ may be a monomer having a polycyclic structure, which is a multimer of cyclopentene diene, or a derivative or a substitution product similar to those described above.
  • Specific examples include dicyclopentene, 1,4: 5,8—dimethano-1,2,3,4,4,5,6,7,8,8a—2,3-cyclopentene dienonaphine.
  • cyclopentene, tetrahydrodroidene, indene, benzofuran and the like and their adducts, and the same derivatives and it-converted products as described above may also be used.
  • thermoplastic norbornene-based resin used in the present invention has at least -rarely more than one unit selected from the width of the unit, and has properties such as the solubility of the H-type polymer. Actually, it does not correspond to K, and even if it includes breaks that can be combined with these other than the above monomers in the struggle to improve it.
  • copolymer that can be copolymerized include cycloolefins such as cyclopentene, cyclohexene, cycloheptene, and cyclooctene.
  • thermoplastic norbornene-based resin is an addition copolymer of a norbornene-based monomer and orefin
  • ethylene or propylene, 1-butene, 1-hexene, 4-methyl-1 or 1-pentene may be used as the orefin.
  • One olefin such as styrene is used.
  • the intrinsic viscosity [77] of these thermoplastic norbornene resins measured in decalin or toluene at 25 ° C. is 0.01 to 20 dl / g, preferably 0.05 to 10 dl / g. d 1 / g, more preferably 0.1 to 5 d 1 / g. If the intrinsic viscosity is too small, the shape as a body cannot be maintained, and if the intrinsic viscosity is too large, the moldability deteriorates.
  • the glass transition temperature (hereinafter, referred to as Tg) of these thermal plastic J norbornene resins is 50 ° C to 200 ° C, preferably 70 ° C to 180 ° C.
  • the temperature is more preferably from 80 ° C to 160 ° C.
  • the thermoplastic norbornene-based resin may contain an antioxidant such as a phenol-based phosphorus, an ultraviolet absorber such as a benzophenone, a light stabilizer, an antistatic agent, an aliphatic Seed additives such as esters of alcohols, partial esters of polyhydric alcohols, and lubricants such as partial ethers may be added. Also, a range that does not impair the object of the present invention j In the above, other resins, rubbery polymers and the like can be mixed and used.
  • thermoplastic norbornene-based resin block preferably used in the present invention which has a reduced number of foreign particles having a particle diameter of 0.5 ⁇ m or more, is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. has been a particle size in the pellet 0 5 / m or more number of foreign particles is small even 6 X 1 0 4 pieces / g ':. a degree, to eliminate the cause of the magnetic disk 3 ⁇ 4 plate Is inevitable.
  • a solution in which a synthesized resin is dissolved in a solvent is used. From a filter with a diameter of about 1 to 5 ⁇ m, and then using a filter with a small diameter of about 0.2 rn in multiple stages, or in combination with them. After filtering through a filter that has an adsorption capacity by itself, the resin solution is heated under reduced pressure in a closed system to remove volatile components so that no foreign matter is mixed in from the external environment. Cooling in a highly clean environment such as in a clean room (an environment where cleanliness is strictly controlled to about class 1000 or more, preferably about class 100 ⁇ or more)-Pelletization It can be performed by a method or the like.
  • a magnetic disk substrate is injection-molded using a resin pellet in which the number of foreign particles is controlled, for example, an environment with a high degree of cleanliness in a clean room (the cleanliness level is defined as class 100).
  • the number of foreign particles in the resin molded article can be kept to about the same as that of the molding resin by performing injection molding in an environment controlled to be less than or equal to, preferably, less than or equal to about 10 °. .
  • the resin-made disk medium substrate according to the present invention is formed such that the slider movement range is smooth or convex by injection molding. Is shaped. If the slider movement range is blank, the servo mark is written by the servo writer to make the upper head follow the recording track and to obtain the address information.
  • the unevenness is provided in the slider movement range so that the recording track forming portion is convex and the guard band forming portion is concave, it is advantageous to increase the recording density by narrowing the recording track width.
  • the depth of the concave portion relative to the convex portion ffri is usually 0.05 to 0.3 ⁇ m.
  • a mirror ifiHi a raised smooth mold or a flat stamper made by electroless plating is used.
  • the surface roughness of these smooth surfaces is usually not more than 2.0 nm, preferably not more than 1.0 nm in terms of center line indentation roughness Ra ⁇ .
  • a stamper or the like having irregularities formed by using a masking technique used for forming servo marks of a magneto-optical disk stamper is used.
  • the meta roughness of only the convex part [fti] or only the concave part surface is usually not more than 2.0 nm, preferably not more than 1.0 nm as the center line uniformity Ra.
  • a disk medium for example, a magnetic disk is formed by forming at least a magnetic layer on a disk medium substrate as described above.
  • the magnetic disk preferably has a magnetic layer formed uniformly over the entire slider movement range of the upper magnetic disk substrate.
  • the magnetization direction at one portion and the magnetization direction at the projection are opposite to each other.
  • the magnetization reversal part where the leakage magnetic flux is generated is determined by the boundary between the convex part and the convex part of the magnetic disk substrate, and since the irregularities are formed with high precision by injection molding of the resin, the servo mark The precision of It will be excellent.
  • an underlayer, a protective layer, a lubricant coating layer, and the like may be provided on the magnetic disk substrate in addition to the magnetic layer.
  • the material and forming method of the underlayer, the magnetic layer, the protective layer, and the lubricant application dust may be any of conventionally known materials and methods, and are not particularly limited.
  • the lubricant application layer may be formed by applying a lubricant such as perfluoropolyether (trade name: Fomb 1 in Z—DOL) by spin coating or the like.
  • the magnetic disk is incorporated in a magnetic disk device and performs recording and re-recording.
  • the magnetic disk device includes, for example, a magnetic disk, and a head slider that is configured to at least partially float during recording. It has a magnetic head that is mounted on the upper head slider and performs ⁇ reproduction on the magnetic disk.
  • FIG. 4 is a schematic perspective view showing an example of the magnetic disk drive.
  • the magnetic disk drive 21 is provided with a spindle motor 29 behind a flat surface of a housing 22 formed of an aluminum alloy or the like, and is rotated at a constant angular velocity by the spindle motor 29, for example.
  • Magnetic disk 23 is provided with a spindle motor 29 behind a flat surface of a housing 22 formed of an aluminum alloy or the like, and is rotated at a constant angular velocity by the spindle motor 29, for example.
  • an arm 24 is attached to the housing 22 so as to be rotatable about a vertical axis 24a as a driving axis.
  • a voice column 27 is attached, and at the other end of the arm 24, a head slider 26 is attached.
  • the voice coil motor 27 includes a cover yoke 27a, a bottom hook 27b, a voice coil 25, and a magnet 27c.
  • the cover yoke 27a and the bottom yoke 27b are arranged so as to sandwich the voice coil 25 and the magnet 27c, and the magnet 27c is stuck on the bottom yoke 27b. .
  • the magnetic disk 23 rotates at a constant angular velocity.
  • the arm 24 moves the shaft 24a based on the shear force generated by the magnetic field of the magnet 27c and the current flowing through the voice coil 25. It turns around the turning center.
  • the head slider 26 attached to the other end of the arm 24 moves substantially in the radial direction of the magnetic disk 23 while making a single row at the position of the magnetic disk 23 along with the magnetic disk 23. A so-called seek operation is performed.
  • the head slider 26 has a rail formed along one side of flj facing the magnetic disk 23, and the air flow flowing through the gap between the rails when the magnetic disk 23 rotates.
  • 6-Methyl-1,4 5,8-Dimethano-1,4,4a, 5,6,7,8,8a—Doknahydrene (MTD) 90% and 5 Monomer containing 10% of methyl-2-norbornene Dissolve 100 parts of the fused ffi-condensate synthesized from the above in 400 parts of cyclohexane, add 5 parts of nickel-alumina catalyst (manufactured by JGC Chemicals) as a hydrogenation catalyst, and pressurize to 50 kg / cm 2 with water ⁇ . Te, after warming up to a temperature 200 D C while stirring, 4 is more hours the reaction, made a ring-opening polymer solution Sakuka polymer scratch.
  • nickel-alumina catalyst manufactured by JGC Chemicals
  • reaction solution containing an uneven hydrogenation catalyst and having a polymer content of 20% was subjected to pressure filtration using a pressure filter (Funda filter, manufactured by Ishikawa S Harima Shige) using Radiolite # 500 as a filtration bed. 5 kg / pressurized in cm 2) J: filtration spend to obtain a colorless transparent solution (solution I).
  • the 100 parts of the solution I were further filtered through a metal fiber filter (diameter: 3 m , manufactured by Nichidai) and a metal fiber filter: Yuichi (b: 0.2 ⁇ m, manufactured by Nichidai).
  • a metal fiber filter (diameter: 3 m , manufactured by Nichidai) and a metal fiber filter: Yuichi (b: 0.2 ⁇ m, manufactured by Nichidai).
  • a solution II cyclohexane, a volatile component, was subjected to a cylindrical concentration dryer (manufactured by Hitachi, Ltd.) to set the operating conditions in the first step: temperature of 270 ° C, pressure of 100 Torr, and second step: temperature of 270. ° C and a pressure of 5 Torr.
  • the amount of residual cyclohexane was below the measurement limit, the amount of completion was Mn: 27,000, Mw: 56,000, and Tg was 140. ° C, particle diameter 0.1 5 ⁇ M or the number of foreign matter was 3. 0 1 0 3 ifSl / g .
  • Polymer C is colorless and transparent As a result of analysis of Fat Preparation Example 1 and i «,: J, residual cyclohexane! : Is below the measurement limit, the molecule is Mn: 27,000, Mw: 56,000, Tg is 140 ° The number of foreign substances with a particle diameter of 0.5 ⁇ m or more is 2 x 1 x 1 0 was 3 pieces.
  • Pellet 18 parts in the same manner as in Resin Preparation Example 1 except that the container was replaced with a stainless steel closed container, filled in a polystyrene inner bag, and stored.
  • An injection molding machine using polymer A obtained in Resin Preparation Example 1 and installed in a cleanroom class 100,000 clean room using a clean booth and keeping the gold part in a cleanroom class 100 environment. 3, Sumitomo Heavy Industries, Ltd. I) produces a smooth table (Si (Ra, 1 nm)) in the mold at a resin temperature of 320 ° C and a mold temperature of 120 ° C.
  • a Ni stamper was loaded to form a magnetic disk substrate having a diameter of 65 mm and a thickness of 1.2 mm.
  • the surface roughness Ra and the presence or absence of protrusions having a height of 50 nm or less were examined on the 20 obtained smooth magnetic disk substrates.
  • the surface ffl degree is determined by scanning the surface of the magnetic disk substrate 50 / m X 50 5m with a stylus, and the area without protrusions equal to or greater than the flying height of the flying slider is 20 mx 20 ⁇ m It is cut out and calculated using the arithmetic average roughness Ra in that area, and expresses the roughness of the surface other than the protrusions.
  • the center line average ttl Ra was 1.0 to 1. 1 nm, which was almost similar to the surface roughness of the stamper.
  • a magnetic disk substrate was molded in the same manner as in Example 1 and
  • the obtained -smooth magnetic disk substrates were examined for the presence of protrusions having a surface roughness R a and a length of 50 ⁇ m or less. At ⁇ 1 lnm, it was close to the metamorphic roughness of the stamper. In addition, 13 out of 20 magnetic disk substrates without protrusions were obtained. From two magnetic disk 1 ⁇ 2 plate of this, in the embodiment 1 and M-like, was measured 3 ⁇ 4 product number above Tsubu ⁇ 0., 3. 0 X 1 0 3 and 3. 2 X 10 3 cells / g.
  • Example 3 Using a polymer C obtained in Resin Preparation Example 3, a magnetic disk substrate was molded in the same manner as in Example 1. As in Example 1, the surface roughness Ra and the presence or absence of protrusions with a height of 50 ⁇ m or more were examined for 20 obtained smooth magnetic disk substrates. In nm, it was close to the surface roughness of the stamper. In addition, 20 magnetic disk substrates without protrusions and 15 15 magnetic disk substrates were obtained. Two of these magnetic disks The number of foreign particles having a particle size of 0.5 ⁇ m or more was measured from the substrate in the same manner as in Example 1. As a result, it was determined that the number of particles was 2, 3 ⁇ 10 : i and 2.6 ⁇ 10 3 ⁇ / g.
  • Example 4 Using Polymer D obtained in Resin Preparation Example 4, a magnetic disk substrate was molded in the same manner as in Example 1. In the same manner as in Example 1, the surface roughness Ra and the presence or absence of protrusions with a height of 50 ⁇ m or less were examined on 20 obtained smooth magnetic disk substrates, and as a result, 1 & was 1.0 to 1. At l nm, it was almost close to the surface roughness of the stamper. However, no magnetic disk substrates without protrusions were obtained. Two magnetic disk plates having protrusions were selected, and the number of foreign particles having a particle size of 0.5 im or more was measured in the same manner as in Example 1. As a result, the number was 2.710 4 in each case.
  • FIG. 6 shows a magnetic disk substrate on which irregularities are formed. Specifically, a data area forming section 32 and a servo mark forming section 33 are provided below the slider moving range of the magnetic disk substrate 31. The portion where the magnetic disk substrate 31 is attached to the device is the clamp portion 34.
  • the data area forming section 32 is a section for actually recording data.
  • the servo mark forming unit 33 uses the address and the track For controlling (tracking) the position : This is the part where the information is preformatted.
  • FIG. 7 shows an enlarged view of the data area forming section 32 and the servo mark forming section 33.
  • the data overnight area forming section 32 includes a recording track forming section 35 having a convex shape and a guard band forming section 36 having a concave shape.
  • the servo mark forming section 33 is formed of several types of irregularities such as an address mark forming section 37 and a fine mark forming section 38.
  • a pattern was formed in the mold in which the asperities of the servo mark forming portion and the data region forming portion were inverted.
  • a magnetic disk substrate was formed by mounting a Ni stamper.
  • the center line average set Ra of the ⁇ part of the stamper is 1 nm, and the difference between the length of the concave part and the convex part is 200 nm.
  • the surface roughness Ra, the height of the concave and convex portions, and the absence of protrusions having a height of 50 nm or more were examined on 20 magnetic disk substrates formed by molding.
  • the number of rotations of the disk was adjusted so that the flying height S of the slider was 50 nm, and the occurrence was detected.As a result, 13 out of 20 magnetic disk substrates without protrusions were obtained. .
  • Example 3 On the smooth magnetic disk substrate obtained in Example 3, sputtering was performed in the order of Cr / CoPtCr / Cr / CoPtCr / C to form a recording film having a total film thickness of 80 nm. .
  • the magnetic head used was an MR head with a track width of 2.5 ⁇ m for playback, using an inductive head with a track width of 3.5 ⁇ m for the recording head.
  • the linear velocity of the cattle is 7.36 m / s.
  • the magnetic head that was used was an MR head with a track width of 2.5 ⁇ m for playback, using an inductive head with a track width of 3.5 ⁇ m for the recording head.
  • the linear velocity for recording and playback is 7. Om / sec.

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Description

明 細 書 ディスク媒体用基板及びディスク装置 技 術 分 野 本発明は、 例えば射出成形により成形され表面の平滑性に優れた ディスク媒体用基板及びその製造方法に関するものである。
さらに、 本発明は、 浮上ヘッ ドにより記録 '再生が行われるディ スク装置に関するものである。 背 景 技 術
デジタル情報を磁気へッ ドによって記録媒体、 例えば磁気ディス クに記録再生する記録再生システムおいては、 作動時には磁気ディ スクが高速で回転し、 磁気へッ ドを搭載した浮上スライダ （浮上へ ッ ド） が磁気ディスク表面から僅かに浮揚した状態で記録再生が行 われる。
この場合、 浮揚する浮上ヘッ ドは、 スペーシング損失をできる限 り抑えるために、 浮揚量を極限まで小さく しなければならず、 小さ いものでは浮揚量は 5 0 n m程度とされている。 この浮揚量よりも 高い突起が磁気ディスク表面に存在すると、 浮上へッ ドがこれに衝 突し、 磁気ディスクあるいは磁気へッ ドの破損を引き起こす原因と なる。
それ故、 一般的に広く磁気ディスク基板として用いられているァ ルミニゥム基板では、 旋盤加工や加圧焼鈍を施して主面のうねりを 2 0〃m以下に仕上げた後、 その上に N i— P合金の無電解メッキ 層を 3 0 m程度被覆して表面に必要な硬さを付 '/し、 これを平均 表面粗さ 0 . 0 2 m、 厚さ 1 5 m程俊まで研磨して鏡 ιΰΐ仕上げ が施されている。
しかしながら、 このような加工方法は、 生産性に^しく劣り、 製 造コス 卜の上 を招くばかりか、 例えば高記録密度化に対応して予 めサ一ボマーク形成部に凹凸を設けることは不可能であるという問 題を有している。
一方、 ブラスチック材料は、 光ディスク基板の成形においても周 知であるように、 射出成形時の金 ¾あるいはスタンパーの選定によ り、 凹凸の無いディスク基板でも、 凹凸が形成されたディスク某板 でも、 容 に成形することができる。
樹脂製の磁気ディスク基板としては、 熱可塑性ノルボルネン系樹 脂を使用するものが特開平 7 - 1 5 3 0 6 0 公報に開 されてい る。 磁気ディスク基板に用いるプラスチック材料が、 例えば光ディ スク基板に使用されているようなポリカ一ボネ一卜ゃポリメチルメ 夕クリレート等であると、 吸湿による変形が大く、 必ずしも適 ¾と は言えず、 また低吸湿性のプラスチック材料であっても、 ポリメチ ルペンテンやポリスチレン等では、 結品性で成形後に基板が変形し たり、 耐熱性が不十分であったり して好ましくない。
これに対して、 熱可塑性ノルボルネン系樹脂を用いた磁気ディス ク基板では、 吸湿や結晶性による変形がほとんどなく、 耐熱性も ト 分である。
しかしながら、 本発明者等による検 の結 ¾、 この熱" J塑性ノル ボルネン系樹脂を使用した樹脂製の磁気ディスク基板でも、 射出成 形に使用する金型あるいはス夕ンパの表面粗さをアルミニゥム製磁 気ディスク基板と同程度まで制御しているにもかかわらず、 表面に 突発的に浮上へッ ドの浮揚量よりも高い突起が形成されていること が明らかになつてきた。
このような突起を有する磁気ディスク基板を使用した磁気ディス クは、 特に浮上ヘッ ドの浮揚 ¾を極限まで小さく した ¾合に、 信頼 性が大幅に損なわれる。 発 明 の 開 示 本発明は、 浮上ヘッ ドの衝突がなく、 信頼性の高い ¾録 生が" J 能なディスク媒体用基板を提供することを目的とする。
さらに本発明は、 表面に浮上へッ ドの浮揚量より高い突起が形成 されることのないディスク媒体用基板の製造方法を提供することを 目的とする。
木発明者らは、 上述の目的を達成するために鋭意検討を進めた結 ¾、 樹脂製のディスク媒体用基板成形体中の特定粒径以上の異物粒 子.を特定数量以下に制御することにより、 表面に突起を持たないデ イスク媒体用基板が得られ易くなることを見出し、 本発明を完成す るに至った。
すなわち、 本発明のディスク媒体用基板は、 浮上ヘッ ドにより記 録及び/又は再生が行われるディスク媒体に用いられる樹脂製のデ ィスク媒体用基板において、 少なく とも浮上へッ ドが走杏する面上 には高さ 5 0 n m以上の突起が形成されていないことを特徴とする ものである。 ディスク媒体用 板の ' 上へッ ドが /ίί丧する面上に さ 5 0 n m 以 I·.の突起が ： .すると、 これに浮 hへッ ドが銜突し、 浮上へッ ド やディスク媒体の損傷をもたらす。
これに対して、 高さ 5 0 n m以上の交起が存在しなければ、 この ような衝突が起こることはなく、 頼性の ,；¾い記録再生が 能であ る。
前記のような突起の ί 下部には、 図 1に示すように、 ディスク媒 体用基板 1中に 4物粒子 2が観察され、 このディスク媒体用^板 1 中に含まれる異物粒子 2によって、 その粒径 Dに応じた高さ Ηを有 する突起が生ずることが判明した。
したがって、 ι¾述のような突起の存 しないディスク媒体川基板 を製造するには、 例えば成形体中に混人する粒径 0 . 5〃m以上の 異物粒子数を 1 0 0 0 0個 7 g以下、 好ましくは 7 0 0 0個/ g以 ド、 より好ましくは 5 0◦ 0個/ g以ドに制御すればよい。
また、 成形体中の異物粒子数を制御する 法としては、 例えば) ¾ 物粒 f-数の少ない樹脂を用い、 且つ、 クリーン度の い^境下で成 形する方法が挙げられる。
本発明のディスク媒体用基板は、 表面に ¾さ 5 0 n m以上の突起 を持たないことから、 浮 I .へッ ドの衝突を抑制することができる。 したがって、 浮上へッ ドゃディスク自体の损^を防ぐことができ、 したがって、 これを用いて作成されたディスク、 例えば磁 ¾デイス クは、 記録冉生時の性能や信頼性をアルミニウム基板を川いたもの と同等とすることが口 J能である。
また、 本発明のディスク媒体用基板は、 例えば射出成形等によつ て位置精度良くサーボマーク形成部やデータ領域形成部等の凹凸を 形成することができ、 例えば高記録密度の磁気ディスク ¾板を生産 ' 良く製造することができ、 工業的な価値は極めて大きい。 図 面 の 簡 単 な 説 明 m 1は異物粒子による突起形成状態を示す模式^である。
図 2検射に使用した磁気ディスクの構成を す要部概略断面図で ある。
図 3は浮ヒ量 7 0 n mにおける S / Nの周波数特性を示す特性図 である。
図 4は 上へッ ドを用いた磁気ディスク装置の一例を す概略斜 視図である。
図 5は異物粒子の粒径と突起高さの関係を^す特性 である。 図 6は凹凸が形成された磁気ディスク基板の -例を 、す概略平面 図である。
図 7はデータ領域形成部及びサーボマーク形成部を拡人して示す 概略平面図である。 発明を実施するための ¾良の形態 本発明のディスク媒体用基板、 例えば磁気ディスク基板は、 樹脂 製の基板であって、 高さ 5 0 n m以 卜-の突起を持たないことを特徴 とするものである。
例えば、 C o P t C rの 2層膜を表面に持つミラー基板に対して 浮上へッ ドにより記録再生する場合について検討する。 使用した磁 Siディスクの構造は、 図 2に示す通りであり、 磁^デ イスク基板 1 1 に C r下地層 1 2、 C o P t C ri^ l 3, C r中 間層 1 4、 C o P t C r^ l 5、 カーボン保護膜 1 6が順次形成さ れてなるものである。 これらのトータルの厚さは 1 0 0 nm以 ドで あり、 C o P t C r の磁気特性は、 H c = 1 6 7 k A/m ( 2 1 0 0 O e ) 、 M r ' 5 = 9. 2 mA ( 1 1 6 G jum) S = 0. 7 8、 S *= 0. 8 0、 M s = 5 2 2 kA/m ( 6 6 0 0 G) である。 記録へッ ドには、 ギヤップ1¾ 0. 6〃 m、 卜ラック幅 3. 5〃 m の誘導型へッ ドを用い、 {：ヘッ ドにはギャップ J¾ 0. 3 6〃m、 トラック幅 2. 5〃mの MRへヅ ドを川い、 ヘッ ド浮上量 7 0 nm で記録 ¾^を行った。
その結果、 図 3に^すように、 周速 7 m/秒で周波数 1 4 MH z の ί,?号の S/Nが 2 5 d B得られた。 S/N 2 5 d Bは、 システム のアンプ系及びエラー訂 ι 等を考慮しても十分な値である。
-方、 スライダの加丄:ばらつき、 荷 ¾ばらつき、 駆動装置での^ さのばらつき、 ¾板の反り、 シーク時の変動、 'メ U 変動等で、 浮上 の約 3 ◦ %が変動分となる。
7 0 nmの^上量に対しては、 3 0 %すなわち 2 0 nmが変動分、 残りが 5 ◦ n mである。 したがって、 磁気ディスク ϋ板に 5 0 n m 以上の交起があると、 浮上へッ ドがクラッシュする可能性があるこ とになる。 逆に、 卨さ 5 0 nm以上の突起がなければ、 このような クラッシュの発生はほとんどないことになる。
上述の樹脂製のディスク媒体用¾板の成形に使川する樹脂材料と しては、 耐熱性、 精密成形性、 低吸湿変形性等に優れた熱可塑性樹 脂が好ましい。 さらに詳しくは、 耐熱性の観点から、 ガラス転移温度が 1 0 o°c 以上、 好ましくは 1 2 0°C以上、 精密成形性の観 から、 非曰 性樹 腊でガラス転移温度が 3 0 0°C以下、 好ましくは 2 50 °C以卜、 低 吸湿性の観点から、 吸水率 （ 2 5°C、 24時間浸漬後） が 0. 2 % 以下、 好ましくは 0. 1 %以下の非晶質熱 塑性樹脂が好ましい。 より -体的には、 例えば、 ポリスチレン樹脂 ； ポリカーボネート 樹脂、 例えばポリ （ォキシカルボ二ルー 1 , 4—フエ二レンイソプ 口ピリデン— 1 , 4一フエ二レン） ； ポリアリ レー ト樹脂、 例えば ポリ （ （ォキシーテレフ夕ロイルォキシ一 1 , 4—フエ二レンイ ソ プロピリデン一 1， 4—フエ二レン） ーコ一 （ォキシーイソフタ口 ィルォキシ一 1， 4 _フエ二レンイ ソプロピリデンー 1 , 4—フエ 二レン） ） 、 テレフタル酸 ' イ ソフタル酸 · ビスフエノール A重縮 合物等 ； ポリサルホン樹脂、 例えばポリ （ォキシ— 1， 4—フエ二 レンスルホニルー 1 , 4—フエ二レンォキシ一 1 , 4一フエ二レン イ ソプロピリデンー 1 , 4一フエ二レン） ； ポリエ一テルスルホン 樹脂、 例えばポリ （ォキシー 1 , 4一フエ二レンスルホニルー 1 , 4—フエ二レン） ； ポリエ一テルイ ミ ド樹脂、 例えば 4， 4 ' - 〔イ ソプロピリデンビス （ p—フヱニレンォキシ） 〕 ジフ夕ル酸 ： 無水物 ' m—フエ二レンジアミン重縮台物 ； シクロジェン系樹脂、 例えば特閧平 6— 1 3 6 05 7号公報、 特開 f- 7— 2583 62 - 公報等に開示されているシクロペン夕ジェン重合体水素化物、 シク 口へキサジェン重合体水素化物等； 熱 nj塑性ノルボルネン系樹脂、 例えば特開昭 5 1 - 8 0400号公報、 特開昭 60 - 2 60 24 公報、 特開平 1一 1 6 8 7 2 5号公報、 特開平 1一 1 9 07 26号 公報、 特開、 3 - 1 4 8 8 2号公報、 特開平 3— 1 22 1 3 7 -公 報、 特開平 4 - 6 3 8 0 7号公報等にて問 されているノルボルネ ン系モノマ一の開環重合体、 ノルボルネン系モノマーの開環 台体 水素添加物、 ノルボルネン系モノマーの付加 ¾台体、 ノルボルネン 系モノマーとォレフィ ンの付加共重合休； 等が挙げられる。 なかで も、 耐熱性、 精密成形性、 低吸湿性等のバランスの^い熱可 性ノ ルボルネン系樹脂が好ましい。
熱可塑性ノルボルネン系樹脂を得るための単量体としては、 上記 公報や、 特開平 2 - 2 7 4 2 4号公報、 特^平 2— 2 7 6 8 4 2号 公報等で公知の .最体を用いれば良い。 例えば、 ノルボルネン、 そ のアルキル、 アルキリデン、 アルケニル、 芳香族^換誘導体及びこ れら置換又は非置換のォレフィ ンのハロゲン、 水酸基、 エステル基、 アルコキシ基、 シァノ基、 アミ ド基、 イ ミ ド基、 シ リル基などの 性基置換体がある。 休例としては、 2 —ノルボルネン、 5—メチ ルー 2 —ノルボルネン、 5， 5 —ジメチルー 2 —ノルボルネン、 5 —ェチルー 2 —ノルボルネン、 5 —ブチルー 2 —ノルボルネン、 5 —へキシルー 2 —ノルボルネン、 5 —才クチルー 2—ノルボルネン、 5 —ォク夕デシルー 2—ノルボルネン、 5 —ェチリデンー 2 —ノル ボルネン、 5 —イソプロぺニル一 2 —ノルボルネン、 5—メ トキシ カルボ二ルー 2 —ノルボルネン、 5 —シァノ一 2 —ノルボルネン、 5—メチルー 5 —メ トキシカルボ二ルー 2 —ノルボルネン、 5 —フ ェニルー 2 —ノルボルネン、 5—フェニル— 5 —メチルーノルボル ネン等が挙げられる。
また、 ノルボルネンに一つ以 卜_のシクロペン夕ジェンが付加した 単量休、 その ヒ記と同様の誘導体ゃ匿換体でもよい。 体例として、 1 , 4 : 5 , 8 —ジメ夕ノー 1， 4 , : 4 a， 5 , 6 , 7 , 8 , 8 a—才クタヒ ドロナフ夕レン、 6—メチル一 1， 4 ： 5， 8—ジメ 夕ノ ー 1 , 4 , 4 a , 5 , 6， 7 , 8， 8 a—才ク夕ヒ ドロナフ夕 レン、 6—ェチルー 1 , 4 : 5， 8 _ジメ夕ノー 1， 4 , 4 a , 5 6 , 7 , 8 , 8 a—才ク夕ヒ ドロナフ夕レン、 6—ェチリデン一 1 4 : 5 , 8—ジメ夕ノ一 1 , 4 , 4 a , 5 , 6 , 7 , 8 , 8 a—才 ク夕 ヒ ドロナフ夕レン、 6—メチル一 6—メ トキシカルボ二ルー 1 4 : 5 , 8—ジメ夕ノ ー 1 , 4 , 4 a , 5 , 6， 7 , 8， 8 a—ォ ク夕ヒ ドロナフ夕レン、 6—シァノ 一 1 , 4 : 5， 8—ジメタノ 一 1 , 4 , 4 a , 5 , 6， 7 , 8 , 8 a—才ク夕ヒ ドロナフ夕 レ ン等 が挙げられる。
さらに、 シクロペン夕ジェンの多量体である多環構造の単量体、 その上 ¾と问様の誘導体や置換体であっても良い。 具体例と して、 ジシクロペン夕ジェン、 1， 4 : 5 , 8—ジメタノ 一 1， 2 , 3 , 4 , 4 , 5 , 6 , 7 , 8， 8 a— 2 , 3—シクロペン夕ジエノナフ 夕レン、 1， 4 : 5 , 1 0 : 6 , 9— ト リメタノー 1， 2 , 3， 4 : 4 a , 5， 5 a , 6， 9， 9 a , 1 0， 1 0 a— ドデカヒ ドロー 2、 3—シクロペン夕ジエノアン トラセン、 2 , 3—ジヒ ドロジシクロ ベン夕ジェン等が挙げられる。
また、 シクロペン夕ジェンとテ トラヒ ドロイ ンデン、 イ ンデン、 ベンゾフラン等とその付加物、 その上記と同様の誘導体や it¾換体で あっても良い。 具体例と して、 1 , 4—メタノー 1 , 4， 4 a , 4 b， 5， 8 , 8 a, 9 a—ォク夕ヒ ドロフルオレン、 5， 8—メ夕 ノー 1， 2 , 3 , 4， 4 a, 5 , 8， 8 a—才ク夕ヒ ドロー 2， 3 —シクロペン夕ジエノナフタレン、 1 , 4—メタノー 1， 4， 4 a , 9 a—テ トラヒ ドロフルオレン、 1 , 4一メタノー 1， 4 , 4 a, 9 a—テ トラヒ ドロジべンゾフラン等 ； などが挙げられる。
本発明に用いる熱可塑性ノルボルネン系樹脂は、 I：記単 体の巾 から選んだ少なく とも -稀以ヒの単 ¾休を 有するものであり、 H 的とする重合体の溶解性などの特性を実 K的に损なわない、 また改 善する範闘で上記単量体以外にこれらと共 ffi合可能な 休を含お していても ぃ。 共重合可能な 体としては、 シクロペンテン、 シクロへキセン、 シクロヘプテン、 シクロォクテン等のシクロォレ フィ ンが挙げられる。
また、 熱可塑性ノルボルネン系樹脂がノルボルネン系モノマ一と ォレフィ ンの付加共 ¾合体である場合は、 ォレフィ ンとしてェチレ ン、 プロピレン、 1 ーブテン、 1—へキセン、 4一メチル一 1—ぺ ンテン、 スチレン等のひ一ォレフィ ンが川いられる。
これら熱可塑性のノルボルネン系樹脂の、 2 5 °Cのデカリンもし くはトルエン中で測定した極限粘度 [ 77 ] は、 0 . 0 1〜 2 0 d l / g、 好ましくは 0 . 0 5〜 1 0 d 1 / g、 より好ましくは 0 . 1 〜 5 d 1 / gである。 極限粘度が小さすぎると重 体としての形状 を保たなくなり、 大きすぎると成形性が悪くなる。
'また、 これら熱 "J塑性ノルボルネン系樹脂のガラス転移温度 （以 ド、 T gとする。 ） は、 5 0 °C ~ 2 0 0 °C、 好ましくは 7 0 °C〜 1 8 0 °C、 より好ましくは 8 0 °C〜 1 6 0 °Cである。
なお、 卜-記熱可塑性ノルボルネン系樹脂には、 所望により、 フ エ ノ一ル系ゃリン系等の酸化防止剤、 ベンゾフエノン系等の紫外線吸 収剤、 耐光安定剤、 帯電防止剤、 脂肪族アルコールのエステル、 多 価アルコールの部分エステルおよび部分ェ一テル等の滑剤、 等の 種添加剤を添加しても良い。 また、 本発明 j的を損なわない範囲 Π で、 他の樹脂、 ゴム質重合体等を混合して用いることもできる。 本発明で好ましく用いられる熱可 性ノルボルネン系樹脂屮の粒 径 0 . 5〃m以 ヒの異物粒了-数を低減したものが、 例えば特開甲- 3 一 5 7 6 1 5 公報に開示されているが、 ペレッ ト中の粒径 0 . 5 / m以上の異物粒子数は少なくても 6 X 1 0 4個/ g ':度であり、 磁 気ディスク¾板上の 起をなくすには不 卜分である。
本発明に使用される粒径 0 . 5 m以上の異物粒子数が 1 0 0 0 0個/ g以 ドである樹脂ペレツ トを製造するには、 例えば合成され た樹脂を溶媒に溶解した溶液を、 口径 1 ~ 5〃m程度の口径の人き いフィルターから、 順次、 Π径 0 . 2 rn程度の口径の小さいフィ ル夕一を使用して多段階で濾過したり、 それらと組み合わせるか、 または 独でゼ一夕電位による吸着能を有するフィル夕一により濾 過した後、 外部環境から ¾物が混入しないように密閉系で樹脂溶液 を減圧下に加熱して揮発成分の除去を行い、 例えばクリーンルーム 内等のク リーン度の高い環境 （クリーン度をクラス 1 0 0 0程度以 ド、 好ましくはクラス 1 0 0程^以 ドに厳重に管理した ¾境） で冷 却 - ペレッ ト化する方法等により行うことができる。
この異物粒ィ-数を制御した樹脂ペレツ トを用いて磁気ディスク基 板を射出成形する場合、 ここでも例えばクリーンルーム内^のク リ —ン度の高い環境 （クリーン度をクラス 1 0 0 0程麼以下、 好まし くはクラス 1 0 ◦程度以下に厳 : に管理した環境） で射出成形を行 うことにより、 樹脂成形体中の異物粒子数を成形用樹脂と问程度に 保つことができる。
本発明にかかる樹脂製のディスク媒体用基板は、 射出成形により スライダ移動範囲が平滑であるか、 あるいは 凸を有するように成 形される。 スライダ移動範囲が平消である場合には、 ^上ヘッ ドを 記録トラックに追従させたり、 アドレス情報を 'J -えたりするために サーボライ夕一にてサーボマ一クを書き込むことが行われる。 また. スライダ移動範囲に記録トラック形成部が凸でガードバン ド形成部 が凹になるように凹凸を設ける場合は、 記録卜ラック幅の狭小化に よる高記録密度化に有利である。 この場合、 凸部 ffriに対する凹部而 の深さは、 通常、 0 . 0 5〜 0 . 3〃mである。
平滑なディスク媒体用基板の射出成形には、 鏡 ifiHi:上げした平滑 な金型あるいは無電解メツキにより作成した平 なスタンパ等が使 用される。 これらの平滑な面の表面粗度は、 中心線甲均粗さ R a倘 で通常 2 . O n m以下、 好ましくは 1 . O n m以下である。
凹凸を有するディスク媒体用基板の射出成形には、 光磁気ディス ク用ス夕ンパのサーボマーク形成等に川いられているマス夕 リング 技術により、 凹凸を形成したスタンパ等が使川される。 凸部【ftiのみ、 あるいは凹部面のみの ¾而粗度は、 それぞれ中心線 均組さ R a で通常 2 . O n m以下、 好ましくは 1 . O n m以下である。
ディスク媒体、 例えば磁気ディスクは、 ι' 述したようなディスク 媒体用基板に、 少なく とも磁性層が形成されてなるものである。 そして、 この磁^ディスクは、 上 磁気ディスク基板のスライダ 移動範囲全体に ¾つて一様に磁性層が形成されているものであるこ とが好ましい。 また、 凹凸を有する磁気ディスク基板の場合は、 1 部での磁化方向と凸部での磁化方向とが逆方向とされることが好ま しい。 これによつて、 漏洩磁束が発生する磁化反転部は、 磁^ディ スク基板の Μ部と凸部の境界によって決定し、 この凹凸は樹脂の射 成形により精度良く形成されるので、 サ一ボマークの位^精度は 優れたものとなる。
なお、 磁気ディスク基板上には、 磁性層の他に下地層、 保護層、 潤滑剤塗布層等が設けられていてもよい。 下地層、 磁性層、 保護層、 潤滑剤塗布屑を構成する材料及び形成方法は従来公知の材料、 方法 のいずれでもよく、 特に限定されないが、 例えば下地層としては、
C r、 Mo等、 磁性層としては、 C o P t、 Co Pd、 Co C rP t等の金属磁性薄膜、 保護層としては、 C、 S i 02等をスパッタリ ング法等により形成する方法が代表的である。 また、 潤滑剤塗布層 としては、 例えばパーフルォロポリエーテル （商品名 F o mb 1 i n Z— DOL等） 等の潤滑剤をスピンコート法等で塗布して形成 すればよい。
上記磁気ディスクは、 磁気ディスク装置に組み込まれ、 記録再牛. が行われるが、 磁気ディスク装置は、 例えば磁気ディスクと、 記録 .時に少なく とも一部が浮上するようになされたへッ ドスライダ と、 上^へッ ドスライダに搭載され磁気ディスクに対して 鉍再生 を行う磁気へッ ドとを備える。
図 4は、 磁気ディスク装置の 例を示す概略斜視図である。
この磁気ディスク装置 2 1は、 アルミニウム合金等により形成さ れた筐体 22の平面部の裏側にスピン ドルモー夕 29が配設される とともに、 このスピン ドルモ一夕 29によって例えば角速度一定で 回転駆動される磁気ディスク 23を備えている。
さらに、 この筐体 22には、 アーム 24が垂直軸 24 aを冋動軸 として回動可能に取り付けられている。 このアーム 24の一端には、 ボイスコィルモ一夕 27が取り付けられ、 またこのアーム 24の他 端には、 ヘッ ドスライダ 26が取り付けられている。 ボイスコイルモー夕 2 7は、 カバーヨーク 27 aと、 ボトムョ一 ク 2 7 bと、 ボイスコイル 2 5と、 マグネッ ト 2 7 cとから構成さ れる。 カバーヨーク 2 7 aとボトムヨーク 2 7 bは、 ボイスコイル 2 5及びマグネッ ト 2 7 cを挟むように配置されており、 マグネッ 卜 2 7 cはボトムヨーク 2 7 b上に貼り付けられている。
このような構成の磁 ディスク装置は、 スピン ドルモー夕 2 9が 駆動されると、 磁気ディスク 2 3が角速度一定で间転する。 ボイス コイル 2 5に外部から電流が供給されると、 アーム 24は、 マグネ ッ 卜 2 7 cの磁界と、 ボイスコイル 2 5に流れる電流とによって . ずる力に基づいて、 里^軸 24 aを回動中心として回動する。 これ により、 アーム 24の他端に取り付けられたへッ ドスライダ 2 6は、 磁気ディスク 23の问 に伴って、 その^ ifijヒで 1行しながら磁^ ディスク 23の実質的に半径方向に移動し、 いわゆるシーク動作が われる。
へッ ドスライダ 2 6は、 磁気ディスク 23と対向する fljの 1 側緣 に沿ってレールが形成されており、 磁気ディスク 2 3の回転に ίΐ:つ て、 このレール間の問隙を流れる空気流によって浮上する。
次に、 本発明について、 実施例および比較例を挙げて 体的に説 明するが、 本発明は、 これらの突施例に限定されるものではない。 また、 以下の樹脂調製例、 実施例、 および比較例において、 特に断 りのない限り、 部及び％は重量基準である。
榭 Β 調製例 1
6—メチル一 1， 4 : 5 , 8—ジメタノ一 1， 4 , 4 a , 5 , 6， 7 , 8， 8 a—ォク夕ヒ ドロナフ夕レン （以下、 MTDという） 9 0 %と 5—メチル一 2—ノルボルネン 1 0 %を含んでなるモノマー から合成した閲環 ffi合体 1 00部をシクロへキサン 400部に溶解 し、 水素化触媒としてニッケル一アルミナ触媒 （日揮化学社製） 5 部を加え、 水^により 50 k g/c m2 に加圧して、 攪拌しながら 温度 200 DCまで加温した後、 4時問反応させ、 開環重合体水索化 ポリマ一を 成した。
不均 の水素化触媒を含んだポリマ一含量 20 %の反応液をラジ ォライ ト # 500を濾過床として、 加圧濾過 （フンダフィルター、 石川 S播磨重 に社製） を使用し、 圧力 2. 5 k g/cm2 で加) J:濾 過して、 無色透明な溶液 （溶液 I) を得た。
溶液 I 1 00部を、 更に金属ファイバ一製フィルター （口径 3〃 m、 ニチダイ社製） 及び金属ファイバ一製フィル夕一 （ロ徉 0. 2 〃m、 ニチダイ社製） にて濾過して異物を除去し、 溶液 IIを得た。 溶液 IIを用いて、 揮発成分であるシクロへキサンを円筒型濃縮乾燥 器 （日立製作所製） によって、 運転条件を第 1ステップ ：温度 27 0 °C、 圧力 100 T o r r、 第 2ステヅプ ： 温度 270 °C、 圧力 5 T o r rとして除去した。 クラス 1 000のクリーンルーム内で、 溶融状態のポリマーをダイから押し出し、 水冷した後、 ペレタイザ ― (0 S P— 2、 長田製作所製） でカッティ ングし、 ペレヅ ト 1 8 部 （ポリマ一 A) を得た。 ポリマー Aは表面を研磨したステンレス 製密閉容器に充填し、 保管した。 ポリマー A 10%の トルエン溶液 をガスクロマトグラフィ一で分析した結果、 残留シクロへキサン量 は測定限界以下であった。 ポリマ一 Aは、 無色透明で、 GP C分析 によるポリスチレン換算分子量は Mn : 27, 000、 Mw : 56, 000、 D S C分析により測定した T gは 140°Cであった。 更に、 電クロロホルム溶液として、 'Η— NMRスぺク トルにより測定し た水素添加率はほぼ 1 00 %であった。 ポリマ一 Aを 0. 2〃m力 — ト リ ッジフ ィルターにて濾過精製した トルエンを用いて 1. 5 % 濃度の溶液とし、 光散乱式微粒了-検出器 （K S— 58、 リオン社製） を用いて粒径 0. 5 zm以 hの異物個数を測定した結果、 6. 2 x 1 03 個/ gであった。
樹脂調製例 2
樹脂調製例 1で得られた溶液 I 1 00部を、 樹脂調製例 1で使川 したのと同じ口径 3〃 mのフィル夕一及び口径 0. 2 mのフィル 夕一にて 2问濾過して異物を除去し、 溶液 IIIを得た。 溶液 IIIを川 いて、 樹脂調製例 1と同様にして、 揮発成分を除去し、 ペレッ ト 1 8部 （ポリマー B) を得た。 ポリマー Bは樹脂調製例 1と M様にス テンレス製密閉容器に充填し、 保管した。 ポリマー Bは無色透明で、 樹脂調製例 1と同様にして分析した結果、 残留シクロへキサン量は 測定限界以下、 分了-量は Mn : 27 , 000、 Mw : 56， 000、 T gは 140°C、 粒径 0. 5〃m以上の異物個数は 3. 0 1 03 ifSl/gであった。
樹脂調製例 3
樹脂調製例 1で得られた溶液 I 1 00部を、 樹脂調製例 1で使川 したのと同じ口 113〃mのフィルターで濾過した後、 ゼ一夕一ブラ スフィルタ一 30 S (ϋί¾ 0. 5〜 l〃m、 キュノ社製） にて濾過 し、 更に樹脂調製例 1で使用したのと同じ口^ 0. 2 mのフィル 夕一にて濾過して異物を除去し、 溶液 IVを得た。 溶液 IVを用いて、 樹脂調製例 1と kd様にして、 揮発成分を除去し、 ペレツ 卜 18部 (ポリマー C) を得た。 ポリマー Cは樹脂調製例 2と同様にステン レス製密閉容器に充 :し、 保^した。 ポリマー Cは無色透明で、 樹 脂調製例 1 と i«，:J様に分析した結果、 残留シクロへキサン！:は測定限 界以下、 分子 は M n ： 2 7， 00 0、 M w ： 5 6， 000、 T g は、 1 40° 粒径0. 5〃m以上の異物個数は 2 · 1 x 1 03 個 / であった。
樹脂調製例 4
ステンレス製密閉容器に変えてポリスチレン製内袋入り紙袋に充 填し、 保管した以外は樹脂調製例 1 と同様にして、 ペレッ ト 1 8部
(ポリマー D) を得た。 樹脂調製例 1と同様にして分析した結 ¾、 残留シクロへキサン量は測定限界以下、 分 f量は Mn : 2 7 , 0 0 0、 M w： 56 , 000、 T gは 1 40 °C、 粒径 0. 5〃 m以上の 異物個数は 2. 7 X 104 個/ gであった。
実施例 1
樹脂調製例 1で得られたポリマー Aを用い、 クリーン度クラス 1 00 0ク リーンルーム内に設置され、 更にクリーンブースで金 部 分をクリーン度クラス 1 00の環境に保持した射出成形機 （D I S K 3、 住友重機械 .業ネ I：製） により、 樹脂温度 3 2 0°C、 金型温度 1 2 0°Cで、 型内に平滑な表 (Si (R a、 1 nm) を^する N i製 スタンパ一を装填して直径 6 5 mm、 厚さ 1. 2 mmの磁気ディス ク基板を成形した。
得られた平滑な磁気ディスク基板 20枚につき、 ^面粗度 R a及 び高さ 5 0 nm以 hの突起の有無を調べた。 表面 ffl度は、 磁ヌ ίディ スク基板の表面の 50 /m X 5 0〃mを触針でスキヤンし、 浮上ス ライダの浮揚量と同等以上の突起のない領域を 2 0 mx 20〃m 切り出してその領域での算術平均粗度 R aで求めており、 あくまで も突起以外の表面の粗さを表現している。 中心線平均 ttlさ Raは、 1. 0〜 1. l nmで、 ほぼスタンパー の表面粗度に近かった。 また、 突起の無い磁気ディスク ¾板が 20 枚屮 9枚 られた。 突起の有無は、 浮揚 ift 50 nmでスライダーが 浮上するようにディスク [nlfe数を制御し、 スライダ一に付けられた ピェゾ素子で ¾突時の加速信号から検出する。 この内の 2枚の磁気 ディスク基板から、 各 1. 5 gを切り取り、 樹脂調製例 1と 様に トルエン溶液にして、 粒侄 0. 5 m以上の異物個数を測定したと ころ、 6. 3 X 10：' 及び 6. 5 X 103 個/ gであった。
実施例 2
樹脂調製例 2で得られたポリマ一 Bを用い、 実施例 1と |π]様にし て磁気ディスク ¾板を成形した。 実施例 1と同様に、 得られた -滑 な磁気ディスク基板 20枚につき、 表而粗度 R aおよび^さ 50 η m以 ί.の突起の有無を調べた結果、 1 &は 1. 0〜 1. l nmで、 ほぼスタンパーの表而粗度に近かった。 また、 突起の無い磁気ディ スク ¾板が 20枚中 1 3枚得られた。 この内の 2枚の磁気デイスク ½板から、 実施例 1と M様にして、 粒伃 0. 以上の ¾物個数 を測定したところ、 3. 0 X 1 03 および 3. 2 X 103 個/ gで あった。
' 施例 3
樹脂調製例 3で得られたポリマー Cを用い、 施例 1と同様にし て磁気ディスク基板を成形した。 実施例 1と冏様に、 得られた平滑 な磁 ディスク基板 20枚につき、 表面粗度 R aおよび高さ 50 η m以上の突起の有無を調べた結果、 11&は 1. 0〜 1. l nmで、 ほぼスタンパーの表面粗度に近かった。 また、 突起の無い磁気ディ スク基板が 20枚屮 1 5枚得られた。 この内の 2枚の磁気ディスク 基板から、 実施例 1と同様にして、 粒径 0. 5〃m以上の異物個数 を測定したところ、 2 , 3 X 1 0 :i および 2. 6 X 103 倘/ gで めった。
比較例 1
樹脂調製例 4で得られたポリマー Dを用い、 実施例 1と同様にし て磁気ディスク基板を成形した。 実施例 1と同様に、 得られた平滑 な磁気ディスク基板 20枚につき、 表面粗度 R aおよび高さ 50 η m以 ヒの突起の有無を調べた結果、 1 &は1. 0〜 1. l nmで、 ほぼスタンパーの^面粗度に近かった。 しかし、 突起の無い磁気デ ィスク基板は 20枚屮 1枚も得られなかった。 突起の有る磁気ディ スク 板から 2枚を選び、 実施例 1と 様にして、 粒径 0. 5 im 以 ヒの異物個数を測定したところ、 いずれも 2. 7 1 04 個 であった。
この比較例 1で得られた磁気ディスク基板について、 突起部分の 周囲を切削除去し、 突起の高さと突起の 卜'部に存在する粒子の 径 を顕微鏡にて測定した。 測定結果を図 5に示す。 この結果により、 高さ 50 n m以上の突起の要因となるのは粒径 0. 5 m以ヒの粒 子であることが推定される。
実施例 4
凹凸が形成された磁気ディスク基板を図 6に示す。 4体的には、 磁気ディスク基板 3 1のスライダ移動範囲下に、 デ一夕領域形成部 32とサ一ボマーク形成部 33がある。 磁気ディスク基板 3 1を装 置に取り付ける部分がクランプ部 34である。
データ領域形成部 32は、 実際にデータを記録する部分である。 一方、 サーボマーク形成部 33は、 ア ドレス及び記鉍トラヅク内位 置を制御する （ トラッキングする） ための† :報がプリフォーマツ 卜 される部分である。
図 7にデ一夕領域形成部 3 2とサ一ボマーク形成部 3 3の拡人闵 を示す。
デ一夕領域形成部 3 2は、 凸形状の, Ώ録トラック形成部 3 5と凹 形状のガードバン ド形成部 3 6よりなる。 サーボマーク形成部 3 3 は、 アドレスマーク形成部 3 7やファインマーク形成部 3 8等、 い くつかの種類の凹凸から形成される。
樹脂調製例 3で得られたポリマー Cを用い、 ¾ '施例 1 と同様の成 形条件下で、 金型内に上記サーボマーク形成部及びデータ領域形成 部の凹凸を反転したパターンとして形成した N i製スタンパを装 ¾ し、 磁気ディスク基板を成形した。 スタンパの ρη部の中心線平均組 さ R aは 1 n mで、 凹部と凸部の^さの差は 2 0 0 n mである。 成形により ί られた磁気ディスク基板 2 0枚について、 表面粗さ R a、 凹部と凸部の高さ、 高さ 5 0 n m以上の突起の 無について 調べた。
その結 : ¾、 凸部の中心線平均粗さ R aは 1 . 0〜； 1 . 2 n mで、 ほぼスタンパと同等の表面粗度を得た。 lul部と凸部の高さの差は 1 8 5〜 1 9 5 n mであった。
また、 スライダの浮揚 Sが 5 0 n mとなるようにディスクの冋転 数を調整し、 交起の検出を行ったところ、 突起のない磁気ディスク 基板が 2 0枚中、 1 3枚得られた。
この内の 2枚の磁気ディスク基板について突施例 1 と同様にして 粒径 0 . 5〃m以上の異物個数を測定したところ、 2 . 5 1 0 3 侗 / g、 2 . 2 X 1 0 3個/ gであった。 ' 施例 5
実施例 3で得た平滑な磁気ディスク基板に、 Cr/C oP t C r /C r/CoP t C r / Cの順でスパッ夕を行い、 総膜厚 80 n m の ϋ録膜を形成した。
周波数 2. 374 ΜΗ ζで記録を行った後に、 周波数 1 1. 87 ΜΗ ζで記鉍再^したときのオーバーライ ト特性を測定した。
使用した磁^へッ ドは、 記録へッ ドに トラック幅 3. 5〃mのィ ンダクティブへッ ドを用い、 再生に トラック幅 2. 5〃mの MRへ ッ ドである。 ，记録 牛.の線速度は 7. 36 m /秒である。
その結果、 システムを構築する上で必要な S/Nの値である 25 dBを上回る 38 dBを得た。
¾施例 6
■M施例 4で得たサーボマーク形成部及びデータ領域形成部に凹凸 が形成された磁気ディスク基板に、 膜厚 36 nmの C o ««P t
(原 f%) の磁性膜をスパッ夕し、 データ領域形成部の凹凸部全面 に 1 MH zで記録を行い、 7 MH zで凸部である記録トラック形成 部に記録したときのオーバ一ライ ト特性を測定した。
.使川した磁気へッ ドは、 記録へッ ドに トラック幅 3. 5〃 mのィ ンダクティ ブへヅ ドを用い、 再生に トラック幅 2. 5〃mの MRへ 'ソ ドである。 記録再生の線速度は 7. Om/秒である。
その結果、 システムを構築する上で必要な S/Nの値である 25 dBを上回る 3 1 · 3 dBを得た。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 浮上へッ ドにより記録及び/又は再^が行われるディスク媒体 に用いられる樹脂製のディスク媒体用基板において、
少なく とも'浮上へッ ドが走査する面 には高さ 5 0 n m以 ヒの突 起が形成されていないことを特徴とするディスク媒体用基板。
2 . 樹脂を射出成形することにより成形されたものであることを特 徴とする請求項 1記載のデイスク媒体用基板
3 . 上記樹脂が熱可塑性ノルボルネン系樹脂であることを特徴とす る請求項 2記載のディスク媒体川基板。
4 . 少なく とも一主面に記 卜ラックに対応した凹凸が,没けられて いることを特徴とする詰求项 3 載の磁 'メ ίデイスク 板。
5 . 樹脂をディスク媒体川 ¾板形状に成形するに際し、
成形体中の粒径 0 . 5 fi m以上の粒子の数が 1 0 0 0 0個/ g以 ドになるように制御して成形することを特徴とするディスク媒体用 ½板の製造方法。
6 . 上記成形が射出成形であることを特徴とする^求項 5記載のデ ィスク媒体用基板の製造方法。
7 . 樹脂が熱可塑性ノルボルネン系樹脂であることを特徴とする請 求頃 6 載のデイスク媒体用基板の製造方法。
8 . 浮上へッ ドにより記録及び/又は^ ^が行われるディスク媒体 に用いられる樹脂製のディスク媒体用某板において、
粒伃 0 . 5〃m以 の粒子の数が 1 0 0 0 0 fL¾ / g以下になるよ うに制御して成形されてなるディスク媒体川某板。
9 . 樹脂を射出成形することにより成形されたものであることを特 徴とする！ *f求项 8記載のディスク媒体用基板
1 0 . 上記樹脂が熱可塑性ノルボルネン系樹脂であることを特徴と する請求項 9記載のディスク媒体用基板。
1 1 . 浮上ヘッ ドにより記録及び/又は爯^が行われ、 少なく とも 浮上へッ ドが走杳する面上に高さ 5 0 n m以上の突起が形成されて いない樹脂製のデイスク媒体用基板を用いたディスクを備えてなる ディスク装置。
1 2 . 上記ディスク媒体用基板が粒 ί 0 . 5 / m以上の粒子の数が 1 0 0 0 0個/ g以下になるように制御して成形されたディスク媒 体用基板であることを特徴とする詰求項 1 1記載のディスク装 !S。
1 3 . 上記ディスク媒体用基板は樹脂を射出成形することにより成 形されたものであることを特徴とする請求 JJJ 1 2記載のデイスク装 置。
1 4 . 上記樹脂が熱" J塑性ノルボルネン系樹脂であることを特徴と する請求項 1 3記載のディスク装置。
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