JPH02201731A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、特に非磁性基板に形成された溝
内に磁性材が充填されて記録トラック部が構成されるよ
うにした磁気記録媒体に係わる。

〔発明の概要〕

本発明は、非磁性基板に形成された溝内に磁性材が充填
されて記録トラック部が構成されるようにした磁気記録
媒体において、その非磁性基板の磁気ヘッドとの対向面
を２０Å〜２００人の平均粗度とするものであり磁気ヘ
ッド、例えば浮上型磁気ヘッドとの相対的移行の開始及
び停止時の磁気媒体と磁気ヘッドとのはりつき防止、更
にこの磁気記録媒体表面にカーボン層ないしは滑剤層等
の被着にあたってその被着状態の安定性をはかるように
する。

〔従来の技術〕

非磁性基板に形成された溝内に磁性材が充填されて記録
トラック部を構成するようにした磁気記録媒体（以下デ
ィスクリートメディアと言う）の提案がなされている（
例えば特開昭５６−１１９９３４号公報参照）。

この種のディスクリートメディアは、記録トラック間を
充分小としても互いのトラック間の磁気的影響すなわち
クロストークを効果的に抑えられることから高密度記録
化が期待される。またこの種ディスクリートメディアに
おいては、磁気ヘッドの、目的とする磁気トラックへの
アクセスを正確に行い得るという利点がある。さらにま
た、この種メディアにおいては、その溝内に形成された
磁性材層表面を媒体面から後退して設は得ることから、
これをハードディスクとして用いる場合において、この
ディスクの回転開始及び停止時におけるこのハードディ
スクに対する浮上型磁気ヘッドの磁性層に対する直接的
接触を回避し得ることによって耐久性の向上をはかるこ
とができるとされ実用上大きな利点を有すると考えられ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したようにディスクリートメディアによるハードデ
ィスクは、多くの利点を有するものの実際上これに対し
て浮上型磁気ヘッドを動作させる場合、このディスクの
回転開始及び停止時の磁気ヘッドのディスクすなわち媒
体との直接接触に際してパはりつき′°（ステイクショ
ン）が生じ、これによってディスクの回転すなわち磁気
ヘッドとの相対的移行が円滑に行われない場合が生じる
。これは媒体表面に露出している非磁性基板表面の磁気
ヘッドとの静摩擦係数μｓが大きいことに因ることが究
明された。

通常、このディスクリートメディアによるハードディス
クに用いられる非磁性基板は、ガラス基板、あるいは表
面に２０μｍ程度の厚さのＮｉ　−Ｐメツキが施された
へｌ基板、またアルマイト処理がなされたＡｊｌ！基板
等が用いられ、これら表面平均粗度、すなわち表面にお
ける凹凸の差の平均は１０Å以下で、比較的鏡面である
ことに因る。

本発明においては、上述した磁気記録媒体すなわちディ
スクリートメディアによるハードディスク等における浮
上型磁気ヘッドとの相対的移行の開始および停止時にお
けるはりフきの問題の解決を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明においては、例えば第１図に示すように、非磁性
基板（１）に形成された溝（２）内に磁性材（３）が充
填されて記録トラック部を構成するようにした磁気記録
媒体において、その非磁性基板（１）の磁気ヘッドとの
対向面に、平均粗度（表面凹凸の頂部と底部との差の平
均）　Ｒａが、２０Ａ〜２０ＯＡとなるように粗面処理
する。（２２）は本発明による磁気記録媒体を全体とし
て示す。

〔作用〕

上述の本発明構成によれば、非磁性基板（１〕の表面の
平均粗度Ｒａを２０Å〜２００人に選定したことによっ
て、この磁気記録媒体（２２）をハードディスクとして
これに浮上型磁気ヘッドを対向させる場合、そのディス
クの回転開始時及び停止時における浮上型磁気ヘッドと
磁気記録媒体（２２）との接触状態でも磁気記録媒体（
２２）の、特に非磁性基板（１）の表面へのはりつきの
発生を回避し、円滑に安定した動作を行わしめることが
できる。また、この磁気記録媒体（２２）の表面に、例
えば磁性材（３）の耐腐性、耐久性、さらにあるいは磁
気記録媒体（２２）とヘッドとの上述したはりつき防止
の目的等をもってカーボン層または（及び）滑剤層等の
表面層を塗布する場合においては、その被着強度を増大
せしめて安定な被着を行うことができる。

〔実施例〕

第１図に示す本発明による磁気記録媒体を、その理解を
容易にするために第２図を参照して製造方法の一例と共
に説明する。先ず第２図Ａに示すように非磁性基板（１
）を設ける。この非磁性基板（１）は、例えばガラス基
板、あるいは表面に２０μｍ程度の厚さをもってＮ１−
Ｐメツキが施されたＡβ基板、または表面がアルマイト
処理されたへｌ基板よりなる非磁性基板（１）の表面、
すなわち磁気ヘッドとの対向面となる面を、例えば砥粒
を用いたポリッシングによる擦傷によって平均粗度Ｒａ
が２０Å〜２００人好ましくは２０Ａ〜１０Ｏ人、最大
粗度Ｒｍａｘが５０Å〜５００人好ましくは１００八〜
５００人の粗面（１ａ）を形成する。

第２図已に示すように、非磁性基板（１）上に、ホトレ
ジスト等のマスク（１１）を最終的に記録トラック部を
形成する溝パターンを除いて他部を覆うようなパターン
をもって被着する。このマスク（１１）は例えば周知の
技術のすなわちホトレジストの塗布、パターン露光、現
像によって形成し得る。そしてこのマスク（１１）が被
着されず外部に露呈した部分の非磁性基板（１）を、そ
の面（１ａ）側から例えば化学的エツチング、反応イオ
ンエツチング逆スパツタリング等によって溝加工し、例
えば１００　Ａ〜１００００人、好ましくは５００Å〜
２ｏｏｏ人の深さｄを有し、幅Ｗが１５μｍ〜１７μｍ
、間隔りが５μｍ程度の溝（２）を形成する。

第２図Ｃに示すように、基板（１）上に全体的に蒸着、
スパッタリング等をもって磁性材（３）を溝（２）内を
含んで被着形成する。この磁性材（３）は、例えば金属
磁性材、あるいは酸化物磁性材のバインダと混合した塗
料の塗布によって形成することができる。例えば磁性材
（３）を金属磁性材によって構成する場合は、先ず例え
ばＢ１　を下地層として１００人程次の厚さにスパッタ
リングし、その後Ｎｉが３５重量％、Ｃｏが６５重量％
の合金磁性材を５００Å〜６００人の厚さにスパッタリ
ングすることによって形成し得る。

次に第２図りに示すように、マスク（１１）を除去し、
これの上に形成された磁性材（３）を除去して溝（２）
内のみに選択的に磁性材（３）が充填された磁気記録媒
体（２２）を得る。

このように、非磁性基板（１）の表面に粗面（ｌａ）を
構成した磁気記録媒体（２２）は、磁気ヘッドとのはり
つきが回避された。

上述した磁気記録媒体の（２２）の−例のＣ８Ｓ特性す
なわちこれによるハードディスクの、浮上型磁気ヘッド
に対する回転開始および停止の繰り返し回数に対する静
摩擦係数μＳの変化を、第３図中曲線（３１）に示す。

同図において縦軸は初期値からの変化を相対的に示した
もので、Ｃ８Ｓが２００００回以上でも安定した値を示
す。同図において曲線（３２）はＲａを大とした場合で
、曲線（３２）はＲａを小とした場合で、Ｒａが余り大
きくても、凸部の破損によってμＳの増大が生じ、Ｒａ
小さ過ぎても摩耗によってμＳの増大が生じてくる。こ
こにＲａ　は２０Å〜２００人に選定する所以がある。

尚、必要に応じて媒体り２２）の表面には、第４図に示
すように、カーボン層（４）を５００Å〜５０人の厚さ
にスパッタリング、塗布等によって被着被覆し、必要に
応じて更にこれの上に第５図に示すように、例えばフッ
素系潤滑剤の例えばパーフルオロアルキルカルボｖ酸等
の滑剤層（５）を例えば全面的に５Å〜５０人の厚さに
被着して摩擦係数μＳのより低減化ないしは安定化、磁
性材（３）の耐蝕性等をはかるようにすることもできる
。

下記表１は、粗面（１ａ）の平均粒度Ｒａ　と、静摩擦
係数μＳと、はりつきの評価（表１中○ははりつきが生
じなかった場合、△は多少生じた場合、×は使用上不都
合な程度のばらつきが生じた場合を示す）と、更にカー
ボン層（４）を塗布した場合のその被着強度の良否を示
したもので、Ｒａ＝３００人ではヘッドないしはｌ磁気
記録媒体（２２）に損傷を生じた。

表　　１ 尚、粗面（１ａ）はランダムな擦傷模様とすることもで
きるが、例えば記録トラックの延長方向にほぼ沿う同心
円模様ないしは渦巻模様とすることができる。

更に第１図〜第４図に示した例では、非磁性基板（１）
の、溝（２）の形成部以外に粗面（１ａ）が残るように
した場合であるが、例えば第６図に示すように、溝（２
）の底部においても、平均粗度が５０Å〜４００人程度
の粗面（１ａ　）を形成ことができ、このときは、溝（
２）への磁性材（３）の被着強度を増大させることがで
きる。更にこの溝（２）内の粗面（１ａ）をトラック、
すなわち溝（２）の長平方向に沿って延長する方向性を
有する線状凹凸の配列によって形成するときは、この凹
凸パターンによる形状異方性によって磁性材（３）の磁
性特性、特にその回転方向（トラックの長平方向）の保
磁力Ｈｃを溝（２）内に粗面（１ａ）を設けなかった場
合に比し３０％向上できることが確かめられた。

このように溝（２）の底面に粗面（１ａ）を形成する方
法としては、非磁性基板（１）の溝（２）以外の磁気ヘ
ラドとの対向面に対する粗面（１ａ）の形成と独別に行
うこともできるが、例えば第２図Ｂに示した溝（２）の
形成を異方性エツチングによって行うことによって、溝
（２）の底面に第２図Ａで形成した粗面（１ａ）の凹凸
を踏襲した凹凸が残るように形成することもできる。

〔発明の効果〕

上述したように本発明によれば、粗面（１ａ）を設けた
ことによって、磁気記録媒体の、磁気ヘッド例えば浮上
型磁気ヘット冒ピおける相対的移行の初期と停止時の接
触時のいわゆるはりつきを防止でき、これによって円滑
な磁気記録媒体の磁気ヘッドとの相対的移行を行うこと
ができる。またこれの上にカーボン層（４）、滑剤層（
５）を設けるときは、その被着強度の向上をはかること
ができる。また、溝（２）内に方向性を有する粗面（１
ａ）を形成するとは、磁気特性の向上もはかることがで
き、実用上大きな利益をもたらす。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気記録媒体の一例の要部の路線
的斜視図、第２図Ａ−Ｄはその製造方法の一例の各工程
における断面図、第３図はＣ８Ｓ特性の測定曲線図、第
４図〜第６図はそれぞれ本発明による磁気記録媒体の他
の例の路線的断面である。 （１）は非磁性基板、（２）は溝、（３）は磁性材、（
１ａ）は粗面である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性基板に形成された溝内に磁性材が充填されて記録
   トラック部が構成される磁気記録媒体において、 上記非磁性基板の磁気ヘッドとの対向面が２０Å〜２０
   ０Åの平均粗度とされてなることを特徴とする磁気記録
   媒体。