TWI838533B - 玻璃卷的製造方法 - Google Patents

Abstract

玻璃卷的製造方法包括開始準備步驟S1，所述開始準備步驟S1是將與第一玻璃膜GF1的始端部GFa連結的第一引導膜LF1從捲出裝置3送出並在通過加熱成膜裝置4後捲繞於捲繞裝置8。開始準備步驟S1包括使加熱成膜裝置4升溫至成膜溫度的升溫步驟。第一玻璃膜GF1在加熱成膜裝置4升溫至成膜溫度之前到達所述加熱成膜裝置4。

Description

玻璃卷的製造方法

本發明是有關於一種藉由將形成有功能性膜的玻璃膜捲繞來製造玻璃卷的方法。

先前，已知有如下技術：利用卷對卷(Roll to Roll)方式從母材玻璃卷抽出玻璃膜並沿規定的方向搬運，且在所述玻璃膜上形成功能性膜。

例如專利文獻1中揭示了一種玻璃卷的製造方法，所述玻璃卷的製造方法包括：玻璃膜供給步驟，將從母材玻璃卷抽出的第一玻璃膜沿規定的方向送出；成膜步驟，在所述第一玻璃膜上對功能性膜(透明導電膜)進行加熱成膜而形成第二玻璃膜；保護膜供給步驟，將保護膜重疊於第二玻璃膜上而形成第三玻璃膜；以及捲繞步驟，將第三玻璃膜捲繞成卷狀而構成玻璃卷。

在將如上所述形成有功能性膜的玻璃膜(第三玻璃膜)捲繞成卷狀的情況下，需要在卷芯上連結所述玻璃膜。例如專利文獻2中揭示了為了防止玻璃膜的破損而藉由樹脂製的引導膜(leader)將卷芯與玻璃膜連結的技術。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2018-188320號公報

專利文獻2：日本專利特開2017-109850號公報

在如先前般以卷對卷方式在玻璃膜上形成功能性膜的情況下，樹脂製的引導膜的耐熱性比玻璃膜低，因此在經過成膜步驟時有可能因來自成膜裝置的熱而斷裂。

本發明是鑑於所述情況而成者，其技術課題在於，在不使引導膜斷裂的情況下，在玻璃膜上進行加熱成膜。

本發明是為了解決所述課題而成者，是藉由利用加熱成膜裝置在從捲出裝置送出的第一玻璃膜上形成功能性膜而形成第二玻璃膜，並藉由利用捲繞裝置捲繞所述第二玻璃膜來製造玻璃卷的方法，所述方法的特徵在於包括：開始準備步驟，將與所述第一玻璃膜的始端部連結的第一引導膜從所述捲出裝置送出並在通過所述加熱成膜裝置之後捲繞於所述捲繞裝置；以及成膜步驟，在所述第一引導膜通過所述加熱成膜裝置之後，利用所述加熱成膜裝置在所述第一玻璃膜上形成功能性膜，所述開始準備步驟包括使所述加熱成膜裝置升溫至成膜溫度的升溫步驟，在所述加熱成膜裝置升溫至所述成膜溫度之前，所述第一玻璃膜到達所述加熱成膜裝置。

根據所述構成，在加熱成膜裝置達到成膜溫度之前，與 第一玻璃膜連結的第一引導膜可通過所述加熱成膜裝置。藉此，可在不使第一引導膜斷裂的情況下，在第一玻璃膜上進行加熱成膜。再者，「加熱裝置升溫至成膜溫度之前」不僅包括升溫步驟開始後，而且包括升溫步驟開始前。

所述升溫步驟可在所述第一玻璃膜與所述第一引導膜的連結部通過所述加熱成膜裝置之後開始。藉由在第一引導膜全部通過加熱成膜裝置之後開始升溫步驟，可確實地防止由成膜步驟引起的第一引導膜的斷裂。

本發明的玻璃卷的製造方法中，在所述升溫步驟中的所述加熱成膜裝置的升溫過程中，所述第一玻璃膜可到達所述加熱成膜裝置。

本發明的玻璃卷的製造方法可包括結束準備步驟，所述結束準備步驟是將與所述第一玻璃膜的終端部連結的第二引導膜從所述捲出裝置送出並在通過所述加熱成膜裝置之後捲繞於所述捲繞裝置上，所述結束準備步驟包括使所述加熱成膜裝置降溫的降溫步驟，在所述第一玻璃膜的所述終端部到達所述加熱成膜裝置之前開始所述降溫步驟。

根據所述構成，藉由在第一玻璃膜通過加熱成膜裝置的期間開始降溫步驟，可在第二引導膜到達加熱成膜裝置之前，將加熱成膜裝置的溫度下降至所述第二引導膜不會發生斷裂的溫度為止。

本發明的玻璃卷的製造方法中，所述加熱成膜裝置可包 括與所述第一玻璃膜接觸且在加熱的同時進行搬運的加熱輥，所述開始準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度設定得比所述成膜步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。

根據所述構成，藉由將開始準備步驟中的搬運速度設定得比成膜步驟中的搬運速度低，可在開始準備步驟中盡可能地減少未成膜而被搬運的第一玻璃膜的量。

本發明的玻璃卷的製造方法中，所述結束準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度可設定得比所述成膜步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。

根據所述構成，藉由將結束準備步驟中的搬運速度設定得比成膜步驟中的搬運速度低，可在結束準備步驟中盡可能地減少未成膜而被搬運的第一玻璃膜的量。

本發明的玻璃卷的製造方法中，所述結束準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度可設定得比所述開始準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。

結束準備步驟的降溫步驟所需的時間比開始準備步驟的升溫步驟所需的時間長。因此，藉由將結束準備步驟的搬運速度設定得比開始準備步驟的搬運速度低，可確保第二引導膜到達加熱成膜裝置為止的時間更長。

本發明的玻璃卷的製造方法中，可在所述升溫步驟中，在所述第一玻璃膜到達所述加熱成膜裝置之後，使所述第一玻璃膜在所述捲出裝置與所述捲繞裝置之間往復移動。藉此，可在開 始準備步驟中盡可能地減少未成膜而被搬運的第一玻璃膜的量。

根據本發明，可在不使引導膜斷裂的情況下，在玻璃膜上進行加熱成膜。

1:製造裝置

2:真空室

3:捲出裝置

4:成膜裝置

5、5a:導輥

6:第一感測器

7:第二感測器

8:捲繞裝置

9:控制裝置

10:第一連結部

11:第二連結部

12:保護膜回收部

13:濺鍍源

14:加熱部(加熱輥)

15:輥主體

16:加熱器

17:軸部

18:保護膜供給部

FM:功能性膜

GF1:第一玻璃膜

GF2:第二玻璃膜

GFa:第一玻璃膜的始端部

GFb:第一玻璃膜的終端部

GR1:母材玻璃卷

GR2:玻璃卷

LF1:第一引導膜

LF2:第二引導膜

PF1、PF2:保護膜

PFR:保護膜卷

WC1、WC2:卷芯

S1:開始準備步驟

S2:成膜步驟

S3:結束準備步驟

圖1是表示第一實施形態的玻璃卷的製造裝置的剖面圖。

圖2是表示玻璃卷的製造方法的流程圖。

圖3是表示玻璃卷的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖4是表示玻璃卷的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖5是表示玻璃卷的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖6是表示第二實施形態的玻璃卷的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖7是表示玻璃卷的製造方法的一步驟的剖面圖。

以下，參照圖示對用以實施本發明的形態進行說明。圖1至圖5表示本發明的玻璃卷的製造方法的第一實施形態。

本方法所使用的製造裝置採用卷對卷(Roll to Roll)方式，在從母材玻璃卷抽出的透明的玻璃膜上形成功能性膜，並捲繞成卷狀，藉此製造玻璃卷。以下，將從母材玻璃卷抽出的玻璃膜稱為第一玻璃膜，將形成功能性膜後的玻璃膜稱為第二玻璃膜。

如圖1所示，製造裝置1包括真空室2、捲出裝置3、 成膜裝置4、導輥5、感測器6、感測器7、捲繞裝置8及控制裝置9。

真空室2在內部收容捲出裝置3、成膜裝置4、導輥5、感測器6、感測器7及捲繞裝置8。真空室2的內部空間藉由真空泵而設定為規定的真空度。可向真空室2內供給氬氣等惰性氣體。

捲出裝置3可旋轉地支撐母材玻璃卷GR1，且從所述母材玻璃卷GR1抽出第一玻璃膜GF1並向成膜裝置4送出。捲出裝置3可藉由控制裝置9的控制來變更母材玻璃卷GR1的旋轉速度(第一玻璃膜GF1的送出速度)。

安裝於捲出裝置3的母材玻璃卷GR1包含：第一玻璃膜GF1、與第一玻璃膜GF1的始端部GFa連結的第一引導膜LF1、與第一玻璃膜GF1的終端部GFb連結的第二引導膜LF2、重疊於第一玻璃膜GF1上的保護膜PF1、以及卷芯WC1。

第一玻璃膜GF1與各引導膜LF1、引導膜LF2藉由黏著帶及其他連結構件連結。以下，將第一玻璃膜GF1的始端部GFa與第一引導膜LF1的連結部稱為第一連結部10，將第一玻璃膜GF1的終端部GFb與第二引導膜LF2的連結部稱為第二連結部11。第二引導膜LF2的一端部(始端部)經由第二連結部11而與第一玻璃膜GF1的終端部GFb連結，其另一端部(終端部)與卷芯WC1連結。

第一玻璃膜GF1的厚度設為500μm以下，較佳為設為10μm以上且300μm以下，最佳為30μm以上且200μm以下。

作為第一玻璃膜GF1的材料，使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。此處，無鹼玻璃是指實質上不含鹼成分(鹼金屬氧化物)的玻璃，具體而言，是鹼成分的重量比為3000ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000ppm以下，更佳為500ppm以下，最佳為300ppm以下。

各引導膜LF1、引導膜LF2使用樹脂製的膜。具體而言，作為各引導膜LF1、引導膜LF2，例如可使用聚對苯二甲酸乙二酯膜、離聚物膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚氯乙烯膜、聚偏二氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、乙烯乙酸乙烯酯共聚物膜、乙烯-乙烯醇共聚物膜、乙烯-甲基丙烯酸共聚物膜、尼龍(註冊商標)膜(聚醯胺膜)、聚醯亞胺膜、玻璃紙等有機樹脂膜(合成樹脂膜)等。

捲出裝置3包括捲繞母材玻璃卷GR1中所含的保護膜PF1的保護膜回收部12。保護膜回收部12配置在捲出裝置3的上方的位置，但並不限定於所述位置。保護膜回收部12使重疊於第一玻璃膜GF1上的保護膜PF1剝離，且藉由捲繞成卷狀來進行回收。

成膜裝置4包含加熱成膜裝置，所述加熱成膜裝置在加熱第一玻璃膜GF1的同時進行搬運，且在所述第一玻璃膜GF1上形成功能性膜。成膜裝置4可藉由濺鍍法、蒸鍍法、化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition，CVD)法等各種成膜法在第一玻 璃膜GF1上形成功能性膜。本實施形態中，對藉由濺鍍法形成作為功能性膜的透明導電膜、例如氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO)膜的情況進行說明。

成膜裝置4包含離子束濺鍍裝置或磁控濺鍍裝置等。作為濺鍍裝置的成膜裝置4主要包括：包含靶的多個濺鍍源13；以及加熱第一玻璃膜GF1的加熱部14。

各濺鍍源13以從靶飛散的濺鍍粒子(ITO粒子)附著在第一玻璃膜GF1的一面上的方式，與加熱部14隔開一定的間隔來配置。

加熱部14包含在與第一玻璃膜GF1接觸的同時進行加熱的可旋轉的加熱輥(筒式輥)。加熱部14包括：支撐第一玻璃膜GF1的圓筒狀的輥主體15；以及對所述輥主體15進行加熱的加熱器16。

輥主體15包含玻璃、陶瓷或金屬。輥主體15由軸部17旋轉自如地支撐。

加熱器16為了加熱輥主體15而配置在所述輥主體15的內側。加熱器16例如包含紅外線加熱器或近紅外線加熱器，但並不限定於該些。

多個導輥5由未圖示的馬達旋轉驅動，但其一部分亦可包含自由輥。導輥5隔開間隔配置在捲出裝置3與成膜裝置4之間以及成膜裝置4與捲繞裝置8之間。

感測器6、感測器7包括：配置在成膜裝置4的下游側 (成膜裝置4與捲繞裝置8之間)的第一感測器6、以及配置在成膜裝置4的上游側(捲出裝置3與成膜裝置4之間)的第二感測器7。各感測器6、感測器7例如包含透過型雷射感測器等非接觸式的感測器，但並不限定於所述構成。

第一感測器6檢測第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa且將檢測信號發送給控制裝置9。第二感測器7檢測第二連結部11及第一玻璃膜GF1的終端部GFb，且將檢測信號發送給控制裝置9。

捲繞裝置8藉由在第二玻璃膜上重疊保護膜PF2並纏繞在卷芯WC2上來形成玻璃卷。捲繞裝置8可藉由控制裝置9的控制來變更卷芯WC2的旋轉速度。

捲繞裝置8包括向捲繞於卷芯WC2上的第二玻璃膜供給保護膜PF2的保護膜供給部18。保護膜供給部18配置在捲繞裝置8的上方位置，但並不限定於所述位置。保護膜供給部18包括保護膜卷PFR，將從保護膜卷PFR抽出的保護膜PF2供給到第二玻璃膜。

控制裝置9包含封裝有例如中央處理單元(central processing unit，CPU)、唯讀記憶體(read only memory，ROM)、隨機存取記憶體(random-access memory，RAM)、硬磁碟驅動機(Hard Disk Drive，HDD)、輸入輸出接口、顯示器等各種硬體的電腦(例如個人電腦(personal computer，PC))。控制裝置9與捲出裝置3、導輥5、成膜裝置4及捲繞裝置8可通信地連接，執行 捲出裝置3的控制、導輥5的旋轉控制、成膜裝置4的加熱、成膜、搬運相關的控制、捲繞裝置8的控制等。

以下，對使用所述構成的製造裝置1來製造玻璃卷的方法進行說明。本方法如圖2所示，包括開始準備步驟S1、成膜步驟S2及結束準備步驟S3。

在開始準備步驟S1中，將母材玻璃卷GR1安裝於捲出裝置3，從所述母材玻璃卷GR1抽出第一引導膜LF1，其始端部與捲繞裝置8的卷芯WC2連結。之後，關閉真空室2，將其內部空間設定為規定的真空度。另外，在真空室2內填充惰性氣體。

其次，控制裝置9使捲出裝置3、導輥5、加熱部14的輥主體15及捲繞裝置8同步運作，以規定的速度將第一引導膜LF1從上游側的捲出裝置3搬運到下游側的捲繞裝置8。該情況下的第一引導膜LF1的搬運速度理想的是0.01m/min~0.5m/min的範圍內且設為一定，但並不限定於所述範圍。第一引導膜LF1通過成膜裝置4並由捲繞裝置8捲繞。

在開始準備步驟S1中，母材玻璃卷GR1中所含的第一玻璃膜GF1藉由將通過成膜裝置4的第一引導膜LF1捲繞到捲繞裝置8上而從所述母材玻璃卷GR1中抽出。第一玻璃膜GF1與第一引導膜LF1一起經由成膜裝置4被搬運到捲繞裝置8。此時，第一玻璃膜GF1以與第一引導膜LF1的搬運速度相同的速度被搬運。開始準備步驟S1中的第一玻璃膜GF1的搬運速度設定得比後述的成膜步驟S2中的第一玻璃膜GF1的搬運速度低。

開始準備步驟S1包括使成膜裝置4升溫的升溫步驟。如圖3所示，在第一連結部10通過成膜裝置4時，第一感測器6檢測第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa，將檢測信號發送給控制裝置9。藉此，控制裝置9使加熱部14的加熱器16運作，開始輥主體15的加熱。在所述升溫步驟的開始時，由於第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa通過成膜裝置4，因此在升溫步驟的執行過程中第一引導膜LF1不會與輥主體15接觸。

輥主體15在將第一玻璃膜GF1向下游側導引的同時利用加熱器16加熱為成為規定的成膜溫度以上。被加熱的輥主體15的溫度例如設定為200℃以上且500℃以下，但並不限定於所述範圍。再者，在升溫步驟的執行過程中，濺鍍源13不運作，不放出濺鍍粒子。

關於控制裝置9，在升溫步驟結束時(輥主體15被加熱到規定的成膜溫度以上時)，開始成膜步驟S2。控制裝置9控制捲出裝置3的送出速度、輥主體15的旋轉速度以及捲繞裝置8的捲繞速度，使第一玻璃膜GF1的搬運速度增加。成膜步驟S2中的第一玻璃膜GF1的搬運速度理想的是0.1m/min~10m/min的範圍內且設為一定，但並不限定於所述範圍。

輥主體15在加熱第一玻璃膜GF1的同時向下游側導引。第一玻璃膜GF1藉由輥主體15而被加熱到150℃以上。在濺鍍粒子為ITO的情況下，第一玻璃膜GF1理想的是加熱到200℃ 以上，進而理想的是加熱到250℃以上，最理想的是加熱到300℃以上。

藉由控制裝置9的控制，成膜裝置4使濺鍍粒子(例如ITO粒子)從多個濺鍍源13飛散，並依次附著在由輥主體15搬運的第一玻璃膜GF1上。

藉由利用輥主體15加熱第一玻璃膜GF1，附著在所述第一玻璃膜GF1上的ITO粒子結晶化，形成低電阻(例如20Ω/□以下)的功能性膜FM。藉此，如圖4所示，形成有第二玻璃膜GF2。

如圖4所示，在成膜步驟S2中，藉由保護膜供給部18將保護膜PF2重疊於第二玻璃膜GF2上，且藉由捲繞裝置8將第二玻璃膜GF2及保護膜PF2纏繞在卷芯WC2上。藉此，在卷芯WC2的周圍形成玻璃卷GR2。玻璃卷GR2根據卷芯WC2的旋轉來擴大其外徑。

在成膜步驟S2接近結束時，全部的第一玻璃膜GF1從捲出裝置3被送出。之後，第二連結部11從捲出裝置3被送出。如圖5所示，在第二連結部11到達第二感測器7時，第二感測器7檢測所述第二連結部11及第一玻璃膜GF1的終端部GFb，將檢測信號發送給控制裝置9。

在接收到來自第二感測器7的信號時，控制裝置9使結束準備步驟S3開始。結束準備步驟S3包括為了防止第二引導膜LF2的斷裂而使成膜裝置4降溫的降溫步驟。所述降溫步驟是在 第一玻璃膜GF1通過成膜裝置4的期間，且在終端部GFb到達成膜裝置4之前開始。

在降溫步驟中，控制裝置9停止利用加熱部14進行的加熱。藉由加熱器16停止，輥主體15的溫度緩緩下降。另外，控制裝置9使成膜裝置4的濺鍍源13停止。進而，控制裝置9控制捲出裝置3的送出速度、加熱輥的旋轉速度、以及捲繞裝置8的捲繞速度，將第一玻璃膜GF1及第二引導膜LF2的搬運速度設定得比成膜步驟S2中的搬運速度低。更佳為所述搬運速度設定得比開始準備步驟S1中的第一玻璃膜GF1的搬運速度低。

在降溫步驟中，在第一玻璃膜GF1通過加熱部14的期間，在使所述輥主體15旋轉的同時進行降溫，以達到第二引導膜LF2不會斷裂的溫度(例如80℃以下)。在第一玻璃膜GF1通過加熱部14時，與所述第一玻璃膜GF1的終端部GFb連結的第二引導膜LF2到達所述加熱部14。此時，由於輥主體15的溫度充分下降，因此第二引導膜LF2在不發生斷裂的情況下由所述輥主體15向下游側搬運。

在通過成膜裝置4的第二引導膜LF2被捲繞於捲繞裝置8時，使結束準備步驟S3結束，玻璃卷GR2以支撐於捲繞裝置8的狀態完成。玻璃卷GR2從真空室2取出，並輸送至下一步驟。

再者，在之後的步驟中，從玻璃卷GR2抽出第二玻璃膜GF2，利用光微影等方法在功能性膜FM上形成規定的電路圖案(例如電極圖案)。若執行規定的製造關聯處理，則保護膜PF2自 第二玻璃膜GF2上被去除(剝離)。

根據以上說明的本實施形態的玻璃卷GR2的製造方法，在開始準備步驟S1中，在輥主體15升溫至成膜溫度之前、即在升溫步驟的開始前使第一玻璃膜GF1到達加熱部14，以使得第一引導膜LF1不會因加熱部14的熱而斷裂。因此，加熱部14的輥主體15在與第一引導膜LF1不接觸的情況下，在搬運第一玻璃膜GF1的同時藉由加熱器16加熱。藉此，可在不溶解第一引導膜LF1的情況下，確實地進行成膜步驟S2。

另外，在結束準備步驟S3中，藉由在第一玻璃膜GF1通過成膜裝置4的期間執行降溫步驟，第二引導膜LF2在不會因加熱部14的熱而斷裂的情況下，通過成膜裝置4並被捲繞於捲繞裝置8。

本實施形態中，藉由將開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中的第一玻璃膜GF1的搬運速度設定得比成膜步驟S2中的第一玻璃膜GF1的搬運速度低，可在升溫步驟的執行過程中及降溫步驟的執行過程中盡可能地減少未成膜而通過成膜裝置4的第一玻璃膜GF1的量(長度)。

另外，藉由將結束準備步驟S3中的第一玻璃膜GF1的搬運速度設定得比開始準備步驟S1中的第一玻璃膜GF1的搬運速度低，可在比升溫步驟需要更長時間的降溫步驟中盡可能地減少未成膜而通過成膜裝置4的第一玻璃膜GF1的量(長度)。

圖6及圖7表示本發明的第二實施形態。本實施形態 中，製造裝置1中的成膜裝置4的構成與第一實施形態不同。本實施形態的加熱部14不包括輥主體15，而包括在與第一玻璃膜GF1不接觸的情況下加熱所述第一玻璃膜GF1的加熱器16。濺鍍源13與加熱器16隔開規定的間隔配置。在加熱器16的附近位置配置有將第一引導膜LF1、第一玻璃膜GF1及第二引導膜LF2導引至濺鍍源13與加熱器16之間的導輥5a。

本實施形態中的其他構成與第一實施形態相同。對於本實施形態中與第一實施形態共通的構成要素標注與第一實施形態相同的符號。

以下，對使用所述構成的製造裝置1來製造玻璃卷GR2的方法進行說明。本實施形態中，在開始準備步驟S1中，在第一玻璃膜GF1到達成膜裝置4(加熱部14)之後，與第一實施形態同樣地，利用第一感測器6檢測第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa，開始升溫步驟。

如圖6所示，在升溫步驟的執行過程中，控制裝置9控制捲出裝置3、導輥5、導輥5a以及捲繞裝置8，使第一引導膜LF1及第一玻璃膜GF1在捲出裝置3與捲繞裝置8之間的搬運路徑上往復移動。該情況下，第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa理想的是在第一感測器6的下游側的區域往復移動。藉此，可在第一引導膜LF1不會斷裂且第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa不會被第一感測器6再次檢測到的情況下，使第一玻璃膜GF1停留於搬運路徑上。藉由所述往復移動，可盡可 能地減少未形成功能性膜FM而被捲繞於捲繞裝置8的第一玻璃膜GF1的量。再者，所述往復移動的形態亦可適用於圖1至圖5中記載的本發明的玻璃卷的製造方法的第一實施形態。

在升溫步驟結束時，控制裝置9控制捲出裝置3、導輥5、導輥5a及捲繞裝置8，使第一玻璃膜GF1的往復移動結束，且將所述第一玻璃膜GF1向下游側的捲繞裝置8搬運。之後，如圖7所示，執行利用成膜裝置4進行的成膜步驟S2。在成膜步驟S2結束時，控制裝置9與第一實施形態同樣地執行結束準備步驟S3。

再者，本發明並不限定於所述實施形態的構成，並不限定於所述作用效果。本發明在不脫離本發明的主旨的範圍內可進行各種變更。

所述實施形態中，示出了將開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中的第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2及引導膜LF1、引導膜LF2的搬運速度設定得比成膜步驟S2中的第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2的搬運速度低來搬運第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2及引導膜LF1、引導膜LF2的例子，但本發明並不限定於所述構成。例如，在開始準備步驟S1、結束準備步驟S3中，亦可暫時停止第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2及引導膜LF1、引導膜LF2的搬運。但是，在由於加熱部14的輥主體15的熱膨脹、收縮而輥主體15與第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2有可能發生摩擦的情況下，理想的是在不使第一玻璃膜GF1停止 的情況下以低速搬運。

另外，亦可將開始準備步驟S1中的第一玻璃膜GF1的搬運速度與結束準備步驟S3中的第一玻璃膜GF1的搬運速度設定為相等。另外，亦可將開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中的第一玻璃膜GF1的搬運速度與成膜步驟S2中的第一玻璃膜GF1的搬運速度設定為相等。

所述實施形態中，示出了在第一連結部10及第一玻璃膜GF1的始端部GFa通過加熱部14之後使開始準備步驟S1的升溫步驟開始的例子，但本發明並不限定於所述構成。例如，亦可在第一引導膜LF1被搬運至加熱部14的輥主體15的期間開始升溫步驟。即，本發明中，只要在升溫步驟的執行過程中(輥主體15升溫至成膜溫度之前)使第一玻璃膜GF1到達加熱部14即可。

所述實施形態中，示出了在結束準備步驟S3的降溫步驟中使加熱部14的加熱器16停止且使所述加熱部14在真空室2內自然冷卻的例子，但本發明並不限定於所述態樣。例如，在降溫步驟中，亦可藉由從配置在真空室2內的噴嘴向加熱部14噴射惰性氣體等製冷劑來冷卻所述加熱部14。

所述實施形態中，在開始準備步驟S1中，將第一引導膜的搬運速度設為較低速度(例如0.01m/min~0.5m/min)，但並不限定於所述形態。例如，藉由適宜調整第一感測器6的位置或增加感測器的個數，在開始準備步驟S1中，將直至感測器檢測出第一連結部10為止的期間設為比成膜步驟S2中的搬運速度(例 如0.1m/min~10m/min)更高的速度(例如1m/min~15m/min)，藉此可縮短直至開始升溫步驟為止的前置時間。該情況下，亦可在感測器檢測出第一連結部10之後，將搬運速度設為較低速度(例如0.01m/min~0.5m/min)，開始升溫步驟。

所述實施形態中，以在結束準備步驟S3中將第一玻璃膜GF1的搬運速度設定得比開始準備步驟S1中的第一玻璃膜GF1的搬運速度低的實施形態進行了說明，但並不限定於所述實施形態。例如，在結束準備步驟S3中，在降溫步驟結束後成膜裝置4的溫度充分下降的情況下，為了縮短前置時間，亦可將第二引導膜LF2的搬運速度設為高速(例如1m/min~15m/min)。

1:製造裝置

2:真空室

3:捲出裝置

4:成膜裝置

5:導輥

6:第一感測器

7:第二感測器

8:捲繞裝置

9:控制裝置

10:第一連結部

11:第二連結部

12:保護膜回收部

13:濺鍍源

14:加熱部(加熱輥)

15:輥主體

16:加熱器

17:軸部

18:保護膜供給部

GF1:第一玻璃膜

GFa:第一玻璃膜的始端部

GFb:第一玻璃膜的終端部

GR1:母材玻璃卷

LF1:第一引導膜

LF2:第二引導膜

PF1、PF2:保護膜

PFR:保護膜卷

WC1、WC2:卷芯

Claims (8)

1. 一種玻璃卷的製造方法，是藉由利用加熱成膜裝置在從捲出裝置送出的第一玻璃膜上形成功能性膜而形成第二玻璃膜，並藉由利用捲繞裝置捲繞所述第二玻璃膜來製造玻璃卷的方法，所述玻璃卷的製造方法的特徵在於包括：開始準備步驟，將與所述第一玻璃膜的始端部連結的第一引導膜從所述捲出裝置送出並在通過所述加熱成膜裝置之後捲繞於所述捲繞裝置；以及成膜步驟，在所述第一引導膜通過所述加熱成膜裝置之後，利用所述加熱成膜裝置在所述第一玻璃膜上形成功能性膜，所述開始準備步驟包括使所述加熱成膜裝置升溫至成膜溫度的升溫步驟，在所述加熱成膜裝置升溫至所述成膜溫度之前，所述第一玻璃膜到達所述加熱成膜裝置。
2. 如請求項1所述的玻璃卷的製造方法，其中所述升溫步驟是在所述第一玻璃膜與所述第一引導膜的連結部通過所述加熱成膜裝置之後開始。
3. 如請求項1所述的玻璃卷的製造方法，其中在所述升溫步驟中的所述加熱成膜裝置的升溫過程中，所述第一玻璃膜到達所述加熱成膜裝置。
4. 如請求項1至請求項3中任一項所述的玻璃卷的製造方法，包括結束準備步驟，所述結束準備步驟是將與所述第一 玻璃膜的終端部連結的第二引導膜從所述捲出裝置送出並在通過所述加熱成膜裝置之後捲繞於所述捲繞裝置上，所述結束準備步驟包括使所述加熱成膜裝置降溫的降溫步驟，在所述第一玻璃膜的所述終端部到達所述加熱成膜裝置之前開始所述降溫步驟。
5. 如請求項1至請求項3中任一項所述的玻璃卷的製造方法，其中所述加熱成膜裝置包括與所述第一玻璃膜接觸且在加熱的同時進行搬運的加熱輥，所述開始準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度設定得比所述成膜步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。
6. 如請求項4所述的玻璃卷的製造方法，其中所述加熱成膜裝置包括與所述第一玻璃膜接觸且在加熱的同時進行搬運的加熱輥，所述結束準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度設定得比所述成膜步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。
7. 如請求項4所述的玻璃卷的製造方法，其中所述加熱成膜裝置包括與所述第一玻璃膜接觸且在加熱的同時進行搬運的加熱輥，所述結束準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度設定得比所述開始準備步驟中的所述第一玻璃膜的搬運速度低。
8. 如請求項1至請求項3中任一項所述的玻璃卷的製 造方法，其中在所述升溫步驟中，在所述第一玻璃膜到達所述加熱成膜裝置之後，使所述第一玻璃膜在所述捲出裝置與所述捲繞裝置之間往復移動。

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