TWI845716B

TWI845716B - 玻璃捲的製造方法及製造裝置

Info

Publication number: TWI845716B
Application number: TW109122777A
Authority: TW
Inventors: 齊藤𨺓義; 森弘樹; 山城陸; 稲山尚利
Original assignee: 日商日本電氣硝子股份有限公司
Priority date: 2019-07-11
Filing date: 2020-07-06
Publication date: 2024-06-21

Abstract

於玻璃捲GR2的製造方法中，搬運裝置3搬運經由連結部11、連結部12而與引導膜LF1、引導膜LF2連結的玻璃膜GF1。於引導膜LF1、引導膜LF2及/或連結部11、連結部12通過加熱輥16時，搬運裝置3使引導膜LF1、引導膜LF2及/或連結部11、連結部12與加熱輥16分隔。

Description

玻璃捲的製造方法及製造裝置

本發明是有關於一種藉由將形成有功能性膜的玻璃膜捲繞來製造玻璃捲的方法及裝置。

先前，已知有如下技術：利用捲對捲(Roll to Roll)方式自母材玻璃捲抽出玻璃膜並沿規定的方向搬運，且於所述玻璃膜形成功能性膜。

例如專利文獻1中揭示了一種玻璃捲的製造方法，所述玻璃捲的製造方法包括：玻璃膜供給步驟，將自母材玻璃捲抽出的第一玻璃膜沿規定的方向送出；成膜步驟，於所述第一玻璃膜對功能性膜(透明導電膜)進行加熱成膜而形成第二玻璃膜；保護膜供給步驟，將保護膜重疊於第二玻璃膜而形成第三玻璃膜；以及捲繞步驟，將第三玻璃膜捲繞成捲狀而構成玻璃捲。

在將如上所述形成有功能性膜的玻璃膜(第三玻璃膜)捲繞成捲狀的情況下，需要將所述玻璃膜與捲芯連結。例如專利文獻2中揭示了為了防止玻璃膜的破損而藉由樹脂製的引導膜(leader)將捲芯與玻璃膜連結的技術。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2018-188320號公報

專利文獻2：日本專利特開2017-109850號公報

在如先前般以捲對捲方式於玻璃膜形成功能性膜的情況下，樹脂製的引導膜的耐熱性比玻璃膜低，因此在經過成膜步驟時有可能因來自成膜裝置的熱而變形或斷裂。另外，玻璃膜與引導膜由黏著帶等連結，黏著帶的黏著成分等因來自成膜裝置的熱而變質，藉此於所述連結部中玻璃膜與引導膜有可能分離。

本發明是鑑於所述情況而成者，其技術課題在於，在不使引導膜變形或斷裂的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。另外，本發明的技術課題在於在不使連結部中的引導膜與玻璃膜發生分離的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。

本發明是為了解決所述課題而成者，是一種藉由使由搬運裝置搬運的玻璃膜在與加熱輥接觸的狀態下加熱且於所述玻璃膜形成功能性膜，並將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀來製造玻璃捲的方法，所述方法的特徵在於，所述玻璃膜經由連結部而與引導膜連結，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，所述搬運裝置使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。

根據所述結構，藉由利用搬運裝置使引導膜與加熱輥分隔且在與所述加熱輥不接觸的情況下進行搬運，可防止由加熱輥的熱所引起的引導膜的變質或溶解。藉此，可在不使引導膜變形或斷裂的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。另外，藉由利用搬運裝置使連結部與加熱輥分隔且在與所述加熱輥不接觸的情況下進行搬運，可防止所述連結部中的連結構件(黏著帶等)的變質及溶解。藉此，可在不使連結部中的引導膜與玻璃膜發生分離的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。

所述搬運裝置亦可包括搬運所述引導膜及所述玻璃膜的搬運輥，所述搬運輥構成為可接近/背離所述加熱輥，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，所述搬運輥使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。如此，藉由利用搬運輥使引導膜與加熱輥分隔，可在不使所述引導膜變形或斷裂的情況下較佳地進行搬運。另外，藉由利用搬運輥使連結部與加熱輥分隔，可在不使引導膜與玻璃膜發生分離的情況下較佳地搬運所述連結部。

所述搬運輥亦可包括能夠夾持所述引導膜的一對搬運輥。根據所述結構，搬運輥可調整作用於引導膜的張力。因此，搬運輥可在使引導膜及/或連結部與加熱輥分隔的狀態下，較佳地搬運所述引導膜及/或所述連結部。

所述搬運裝置亦可包括分隔構件，所述分隔構件於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。藉此，可使引導膜及/或連結部確實地與加熱輥分隔。

所述分隔構件亦可為輥。藉此，可在使引導膜及/或連結部與加熱輥分隔的狀態下較佳地進行搬運。

另外，所述搬運裝置亦可包括介於所述加熱輥與所述引導膜及/或所述連結部之間的隔熱構件。藉由利用隔熱構件隔斷來自加熱輥的熱，可確實地防止引導膜的變質或溶解、連結構件(黏著帶等)的變質或溶解。

本發明是為了解決所述課題而成者，是一種玻璃捲的製造裝置，包括：搬運裝置，搬運經由連結部而與引導膜連結的玻璃膜；以及加熱成膜裝置，於所述玻璃膜形成功能性膜，且所述玻璃捲的製造裝置的特徵在於，所述加熱成膜裝置包括與所述玻璃膜接觸並加熱的加熱輥，所述搬運裝置包括：捲出裝置，送出所述玻璃膜；捲繞裝置，將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀；搬運輥，配置於所述捲出裝置與所述捲繞裝置之間，且搬運所述玻璃膜；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。

根據所述結構，於引導膜通過加熱輥時，可藉由搬運裝置的分隔構件使所述引導膜與所述加熱輥分隔。藉此，可防止由加熱輥的熱所引起的引導膜的變質或溶解。因此，可在不使引導膜變形或斷裂的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。另外，於引導膜與玻璃膜的連結部通過加熱輥時，可藉由分隔構件使所述連結部與所述加熱輥分隔。藉此，可防止連結部中的連結構件(黏著帶等)的變質或溶解。因此，可在不使連結部中的引導膜與玻璃膜發生分離的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。

本發明是為了解決所述課題而成者，是一種藉由使由搬運裝置搬運的玻璃膜在與加熱輥接觸的狀態下加熱且於所述玻璃膜形成功能性膜，並將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀來製造玻璃捲的方法，所述玻璃捲的製造方法的特徵在於，所述玻璃膜經由連結部而與引導膜連結，所述加熱輥包括：輥主體，與所述玻璃膜接觸並加熱；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述輥主體時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述輥主體分隔。

根據所述結構，於引導膜通過加熱輥的輥主體時，可藉由分隔構件使所述引導膜與輥主體分隔。藉此，可防止由輥主體的熱所引起的引導膜的變質或溶解。因此，可在不使引導膜變形或斷裂的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。另外，於引導膜與玻璃膜的連結部通過輥主體時，可藉由分隔構件使所述連結部與輥主體分隔。藉此，可防止連結部中的連結構件(黏著帶等)的變質或溶解。因此，可在不使連結部中的引導膜與玻璃膜發生分離的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。

本發明是為了解決所述課題而成者，是一種玻璃捲的製造裝置，包括：搬運裝置，搬運經由連結部而與引導膜連結的玻璃膜；以及加熱成膜裝置，於所述玻璃膜形成功能性膜，且所述玻璃捲的製造裝置的特徵在於，所述加熱成膜裝置包括與所述玻璃膜接觸並加熱的加熱輥，所述加熱輥包括：輥主體，與所述玻璃膜接觸並加熱；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述輥主體時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述輥主體分隔。

根據本發明，可在不使引導膜變形或斷裂的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。另外，可在不使連結部中的引導膜與玻璃膜發生分離的情況下對玻璃膜進行加熱成膜。

1:製造裝置

2:真空室

3:搬運裝置

4:成膜裝置

5:控制裝置

6:捲出裝置

7:捲繞裝置

8a:第一搬運輥

8b:第二搬運輥

8c:第三搬運輥

8d:第四搬運輥

9、10:感測器

11:第一連結部

12:第二連結部

13:保護膜回收部

14:保護膜供給部

15:濺鍍源

16:加熱輥

17:輥主體

17a:凹部

17b:孔

18:加熱器

19:軸部

20a:第一分隔輥

20b:第二分隔輥

21:隔熱板

22:冷卻配管

23:分隔構件

FM:功能性膜

GF1:第一玻璃膜

GF2:第二玻璃膜

GFa:第一玻璃膜的始端部

GFb:第一玻璃膜的終端部

GR1:母材玻璃捲

GR2:玻璃捲

LF1:第一引導膜

LF2:第二引導膜

LFa、LFb:端部

PF1、PF2:保護膜

PFR:保護膜捲

WC1、WC2:捲芯

S1:開始準備步驟

S2:成膜步驟

S3:結束準備步驟

圖1是表示第一實施形態的玻璃捲的製造裝置的剖面圖。

圖2是表示玻璃捲的製造方法的流程圖。

圖3是表示玻璃捲的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖4是表示玻璃捲的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖5是表示第二實施形態的玻璃捲的製造裝置的剖面圖。

圖6是表示玻璃捲的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖7是表示第三實施形態的玻璃捲的製造裝置的剖面圖。

圖8是表示玻璃捲的製造裝置的主要部分的側面圖。

圖9是表示玻璃捲的製造方法的一步驟的剖面圖。

圖10是表示第四實施形態的玻璃捲的製造裝置的剖面圖。

圖11是加熱輥的側面圖。

圖12是加熱輥的底面圖。

圖13是表示玻璃捲的製造方法的一步驟的剖面圖。

以下，參照圖示對用以實施本發明的形態進行說明。圖1至圖4表示本發明的玻璃捲的製造方法及製造裝置的第一實施形態。

本方法所使用的製造裝置採用捲對捲(Roll to Roll)方式，於自母材玻璃捲抽出的透明的玻璃膜形成功能性膜，並捲繞成捲狀，藉此製造玻璃捲。以下，將自母材玻璃捲抽出的玻璃膜稱為第一玻璃膜，將形成功能性膜後的玻璃膜稱為第二玻璃膜。

如圖1所示，製造裝置1主要包括真空室2、搬運裝置3、成膜裝置4、以及控制搬運裝置3及成膜裝置4的控制裝置5。

真空室2在內部收容搬運裝置3及成膜裝置4。真空室2的內部空間藉由真空泵而設定為規定的真空度。可向真空室2 內供給氬氣等惰性氣體。

搬運裝置3包括捲出裝置6、捲繞裝置7、配置於捲出裝置6與捲繞裝置7之間的搬運輥8a~搬運輥8d、以及感測器9、感測器10。

捲出裝置6可旋轉地支撐母材玻璃捲GR1，且自所述母材玻璃捲GR1抽出第一玻璃膜GF1並向成膜裝置4送出。捲出裝置6可藉由控制裝置5的控制來變更母材玻璃捲GR1的旋轉速度(第一玻璃膜GF1的送出速度)。

安裝於捲出裝置6的母材玻璃捲GR1包括：第一玻璃膜GF1、與第一玻璃膜GF1的始端部GFa連結的第一引導膜LF1、與第一玻璃膜GF1的終端部GFb連結的第二引導膜LF2、重疊於第一玻璃膜GF1的保護膜PF1、以及捲芯WC1。

第一玻璃膜GF1與各引導膜LF1、引導膜LF2藉由黏著帶及其他連結構件連結。以下，將第一玻璃膜GF1的始端部GFa與第一引導膜LF1的連結部稱為第一連結部11，將第一玻璃膜GF1的終端部GFb與第二引導膜LF2的連結部稱為第二連結部12。第二引導膜LF2的一端部(始端部)經由第二連結部12而與第一玻璃膜GF1的終端部GFb連結，其另一端部(終端部)與捲芯WC1連結。

第一玻璃膜GF1的厚度設為500μm以下，較佳為設為10μm以上且300μm以下，最佳為30μm以上且200μm以下。

作為第一玻璃膜GF1的材料，使用矽酸鹽玻璃、二氧化矽玻璃，較佳為使用硼矽酸玻璃、鈉鈣玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、化學強化玻璃，最佳為使用無鹼玻璃。此處，無鹼玻璃是指實質上不含鹼成分(鹼金屬氧化物)的玻璃，具體而言，是鹼成分的重量比為3000ppm以下的玻璃。本發明中的鹼成分的重量比較佳為1000ppm以下，更佳為500ppm以下，最佳為300ppm以下。

各引導膜LF1、引導膜LF2使用樹脂製的膜。具體而言，作為各引導膜LF1、引導膜LF2，例如可使用聚對苯二甲酸乙二酯膜、離聚物膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚氯乙烯膜、聚偏二氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、乙烯乙酸乙烯酯共聚物膜、乙烯-乙烯醇共聚物膜、乙烯-甲基丙烯酸共聚物膜、尼龍(註冊商標)膜(聚醯胺膜)、聚醯亞胺膜、玻璃紙等有機樹脂膜(合成樹脂膜)等。

捲出裝置6包括捲繞母材玻璃捲GR1中所含的保護膜PF1的保護膜回收部13。保護膜回收部13配置於捲出裝置6的上方的位置，但並不限定於所述位置。保護膜回收部13使重疊於第一玻璃膜GF1的保護膜PF1剝離，且藉由捲繞成捲狀來進行回收。

搬運輥8a~搬運輥8d包括：搬運第一玻璃膜GF1的第一搬運輥8a及第二搬運輥8b、以及搬運第二玻璃膜GF2的第三搬運輥8c及第四搬運輥8d。搬運輥8a~搬運輥8d的數量並不限定於本實施形態，可根據製造裝置1的規模適宜設定。各搬運輥8a~搬運輥8d由電動馬達等驅動裝置旋轉驅動。

第一搬運輥8a及第二搬運輥8b於捲出裝置6與成膜裝置4之間隔開間隔配置。第三搬運輥8c及第四搬運輥8d於成膜裝置4與捲繞裝置7之間隔開間隔配置。

第一搬運輥8a及第四搬運輥8d包含與引導膜LF1、引導膜LF2及第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2的一面接觸的一根輥。第二搬運輥8b及第三搬運輥8c包含與引導膜LF1、引導膜LF2及第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2的兩面接觸的一對(兩根)輥。

第二搬運輥8b及第三搬運輥8c構成為可藉由未圖示的移動裝置接近/背離成膜裝置4。第二搬運輥8b及第三搬運輥8c可在為了搬運引導膜LF1、引導膜LF2而遠離成膜裝置4的第一位置(引導膜搬運位置，圖1中實線所示的位置)、以及為了搬運第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2而接近成膜裝置4的第二位置(玻璃膜搬運位置，圖1中雙點劃線所示的位置)移動。

第二搬運輥8b及第三搬運輥8c使引導膜LF1、引導膜LF2與成膜裝置4不接觸而通過。即，第二搬運輥8b及第三搬運輥8c以及其移動裝置作為分隔裝置亦發揮功能，所述分隔裝置於引導膜LF1、引導膜LF2通過成膜裝置4時，將所述引導膜LF1、引導膜LF2與所述成膜裝置4分隔。尤其是第二搬運輥8b及第三搬運輥8c作為分隔構件發揮功能，所述分隔構件藉由利用控制裝置5進行的旋轉控制而使引導膜LF1、引導膜LF2與成膜裝置4分隔。

感測器9、感測器10包括：配置於成膜裝置4的下游側 (成膜裝置4與捲繞裝置7之間)的第一感測器9、以及配置於成膜裝置4的上游側(捲出裝置6與成膜裝置4之間)的第二感測器10。各感測器9、感測器10例如包含透過型雷射感測器等非接觸式的感測器，但並不限定於所述結構。

第一感測器9檢測第一連結部11及第一玻璃膜GF1的始端部GFa且將檢測信號發送給控制裝置5。第二感測器10檢測第二連結部12及第一玻璃膜GF1的終端部GFb，且將檢測信號發送給控制裝置5。

捲繞裝置7藉由於第二玻璃膜GF2重疊保護膜PF2並纏繞於捲芯WC2來形成玻璃捲。捲繞裝置7可藉由控制裝置5的控制來變更捲芯WC2的旋轉速度。

捲繞裝置7包括向捲繞於捲芯WC2的第二玻璃膜GF2供給保護膜PF2的保護膜供給部14。保護膜供給部14配置於捲繞裝置7的上方位置，但並不限定於所述位置。保護膜供給部14包括保護膜捲PFR，將自保護膜捲PFR抽出的保護膜PF2供給至第二玻璃膜GF2。

成膜裝置4包含加熱成膜裝置，所述加熱成膜裝置在加熱第一玻璃膜GF1的同時進行搬運，且於所述第一玻璃膜GF1形成功能性膜。成膜裝置4可藉由濺鍍法、蒸鍍法、化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition，CVD)法等各種成膜法於第一玻璃膜GF1形成功能性膜。本實施形態中，對藉由濺鍍法形成作為功能性膜的透明導電膜、例如氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO) 膜的情況進行說明。

成膜裝置4包含離子束濺鍍裝置或磁控濺鍍裝置等。作為濺鍍裝置的成膜裝置4主要包括：包含靶的多個濺鍍源15；以及加熱第一玻璃膜GF1的加熱輥16。

各濺鍍源15以自靶飛散的濺鍍粒子(ITO粒子)附著於第一玻璃膜GF1的一面的方式，與加熱輥16隔開一定的間隔來配置。

加熱輥16是在與第一玻璃膜GF1接觸的同時進行加熱的可旋轉的輥(筒式輥)。加熱輥16包括：支撐第一玻璃膜GF1的圓筒狀的輥主體17；以及對所述輥主體17進行加熱的加熱器18。

輥主體17包含玻璃、陶瓷或金屬。輥主體17由軸部19旋轉自如地支撐。

加熱器18為了加熱輥主體17而配置於所述輥主體17的內側。加熱器18例如包含油加熱器、紅外線加熱器或近紅外線加熱器，但並不限定於該些。

控制裝置5包含封裝有例如中央處理單元(central processing unit，CPU)、唯讀記憶體(read only memory，ROM)、隨機存取記憶體(random-access memory，RAM)、硬磁碟驅動機(Hard Disk Drive，HDD)、輸入輸出接口、顯示器等各種硬體的電腦(例如個人電腦(personal computer，PC))。控制裝置5與成膜裝置4、捲出裝置6、捲繞裝置7、搬運輥8a~搬運輥8d、第二搬運輥8b及第三搬運輥8c的移動裝置及感測器9、感測器10可通信地連接。控制裝置5執行成膜裝置4的加熱溫度、成膜、搬運相關的控制、捲出裝置6的控制、捲繞裝置7的控制、搬運輥8a~搬運輥8d的旋轉控制、第二搬運輥8b及第三搬運輥8c的位置變更控制等。

以下，對使用所述結構的製造裝置1來製造玻璃捲的方法進行說明。本方法如圖2所示，包括開始準備步驟S1、成膜步驟S2及結束準備步驟S3。

在開始準備步驟S1中，將母材玻璃捲GR1安裝於捲出裝置6，自所述母材玻璃捲GR1抽出第一引導膜LF1，其始端部與捲繞裝置7的捲芯WC2連結。該情況下，關於搬運裝置3，將第二搬運輥8b及第三搬運輥8c設置在第一位置(引導膜搬運位置)。如圖1所示，位於第二搬運輥8b與第三搬運輥8c之間的第一引導膜LF1的一部分成為與成膜裝置4的加熱輥16分隔的狀態。第二搬運輥8b及第三搬運輥8c藉由夾持第一引導膜LF1，可在維持如所述般所述第一引導膜LF1與加熱輥16分隔的狀態的同時，在自捲出裝置6至第二搬運輥8b的區域以及自第三搬運輥8c至捲繞裝置7的區域中對第一引導膜LF1賦予適度的張力。

之後，關閉真空室2，將其內部空間設定為規定的真空度。另外，在真空室2內填充惰性氣體。

其次，控制裝置5使捲出裝置6、搬運輥8a~搬運輥8d、加熱輥16的輥主體17及捲繞裝置7同步運作，以規定的速度將第一引導膜LF1自上游側的捲出裝置6搬運至下游側的捲繞裝置7。另外，控制裝置5使成膜裝置4的加熱器18啟動，開始輥主體17的加熱(升溫步驟)。

在升溫步驟中，輥主體17利用加熱器18加熱為成為規定的成膜溫度以上。被加熱的輥主體17的溫度例如設定為200℃以上且500℃以下，但並不限定於所述範圍。再者，在升溫步驟的執行過程中，濺鍍源15不運作，不放出濺鍍粒子。

控制裝置5控制第二搬運輥8b及第三搬運輥8c的旋轉速度，在第二搬運輥8b與第三搬運輥8c之間的區域中，維持第一引導膜LF1與成膜裝置4的加熱輥16分隔的狀態。迂回通過加熱輥16的第一引導膜LF1經由第三搬運輥8c及第四搬運輥8d而捲繞於捲繞裝置7。

在開始準備步驟S1中，母材玻璃捲GR1中所含的第一玻璃膜GF1藉由將通過成膜裝置4的第一引導膜LF1捲繞於捲繞裝置7而自所述母材玻璃捲GR1中抽出。第一玻璃膜GF1與第一引導膜LF1一起經由成膜裝置4被搬運至捲繞裝置7。

如圖3所示，在第一連結部11通過成膜裝置4時，第一感測器9檢測所述第一連結部11及第一玻璃膜GF1的始端部GFa，將檢測信號發送給控制裝置5。在控制裝置5接收到來自第一感測器9的檢測信號時，判定輥主體17是否被加熱至規定的成膜溫度。在輥主體17未達到成膜溫度的情況下，控制裝置5繼續升溫步驟。在輥主體17達到成膜溫度的情況下，控制裝置5結束開始準備步驟S1，開始接下來的成膜步驟S2。

在成膜步驟S2中，控制裝置5向搬運裝置3發送控制信號，使處於第一位置(圖3中雙點劃線所示的位置)的第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第二位置(圖3中實線所示的位置)。進而，控制裝置5控制利用搬運裝置3進行的第一玻璃膜GF1的搬運速度，使所述第一玻璃膜GF1與成膜裝置4的加熱輥16接觸。在本實施形態中，藉由使第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第二位置(接近加熱輥16)，可盡可能大地確保加熱輥16中的第一玻璃膜GF1的包角(wrap angle)。

在成膜步驟S2中，輥主體17在藉由其旋轉來加熱第一玻璃膜GF1的同時向下游側導引。第一玻璃膜GF1藉由輥主體17而被加熱至150℃以上。在濺鍍粒子為ITO的情況下，第一玻璃膜GF1理想的是加熱至200℃以上，進而理想的是加熱至250℃以上，最理想的是加熱至300℃以上。

藉由控制裝置5的控制，成膜裝置4使濺鍍粒子(例如ITO粒子)自多個濺鍍源15飛散，並依次附著於由輥主體17搬運的第一玻璃膜GF1。

藉由利用輥主體17加熱第一玻璃膜GF1，附著於所述第一玻璃膜GF1的ITO粒子結晶化，形成低電阻(例如20Ω/□以下)的功能性膜FM。藉此，如圖4所示，形成有第二玻璃膜GF2。

如圖4所示，在成膜步驟S2中，藉由保護膜供給部14將保護膜PF2重疊於第二玻璃膜GF2，且藉由捲繞裝置7將第二玻璃膜GF2及保護膜PF2纏繞於捲芯WC2。藉此，在捲芯WC2的周圍形成玻璃捲GR2。玻璃捲GR2根據捲芯WC2的旋轉來擴大其外徑。

在成膜步驟S2接近結束時，全部的第一玻璃膜GF1自捲出裝置6被送出。之後，第二連結部12自捲出裝置6被送出。在第二連結部12到達第二感測器10時，第二感測器10檢測所述第二連結部12及第一玻璃膜GF1的終端部GFb，將檢測信號發送給控制裝置5。

在接收到來自第二感測器10的檢測信號時，控制裝置5使成膜步驟S2結束，且使結束準備步驟S3開始。結束準備步驟S3包括為了防止第二引導膜LF2的變形或斷裂或者第二連結部12中的第一玻璃膜GF1與第二引導膜LF2的分離而使成膜裝置4降溫的降溫步驟。所述降溫步驟是在第一玻璃膜GF1通過成膜裝置4的期間，且在終端部GFb到達成膜裝置4之前開始。

在降溫步驟中，控制裝置5停止利用加熱輥16進行的加熱。藉由加熱器18停止，輥主體17的溫度緩緩下降。另外，控制裝置5使成膜裝置4的濺鍍源15停止。

控制裝置5使處於第二位置(玻璃膜搬運位置)的第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第一位置(引導膜搬運位置)。進而，控制裝置5控制捲出裝置6的捲芯WC1、搬運輥8a~搬運輥8d以及捲繞裝置7的捲芯WC2的旋轉速度，在第二搬運輥8b與第三搬運輥8c之間的區域中，使第二引導膜LF2與加熱輥16 分隔。

控制裝置5控制第二搬運輥8b及第三搬運輥8c的旋轉速度，且維持第二引導膜LF2與成膜裝置4的加熱輥16分隔的狀態。迂回通過加熱輥16的第二引導膜LF2經由第三搬運輥8c及第四搬運輥8d而捲繞於捲繞裝置7。

在通過成膜裝置4的第二引導膜LF2被捲繞於捲繞裝置7時，使結束準備步驟S3結束，玻璃捲GR2以支撐於捲繞裝置7的狀態完成。玻璃捲GR2自真空室2取出，並輸送至下一步驟。

再者，在之後的步驟中，自玻璃捲GR2抽出第二玻璃膜GF2，利用光微影等方法於功能性膜FM形成規定的電路圖案(例如電極圖案)。若執行規定的製造關聯處理，則保護膜PF2自第二玻璃膜GF2被去除(剝離)。

根據以上說明的本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法及製造裝置1，藉由利用控制裝置5控制搬運裝置3，在搬運引導膜LF1、引導膜LF2的情況下，可變更為與第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2的搬運路徑不同的搬運路徑(路線)。

即，在開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中，藉由使引導膜LF1、引導膜LF2與加熱輥16分隔，可使所述引導膜LF1、引導膜LF2與所述加熱輥16不接觸而迂回。利用所述迂回路徑，可在不使引導膜LF1、引導膜LF2變質或溶解的情況下進行搬運。因此，可在不使引導膜LF1、引導膜LF2變形或斷裂的情況下於第一玻璃膜GF1形成功能性膜FM。

同樣地，藉由利用迂回路徑使各連結部11、連結部12與加熱輥16分隔，可在不發生黏著帶等連結構件的變質或溶解的情況下搬運所述連結部11、連結部12。因此，可在不使各連結部11、連結部12中的第一玻璃膜GF1與引導膜LF1、引導膜LF2發生分離的情況下於第一玻璃膜GF1形成功能性膜FM。

另外，在開始準備步驟S1中，可在不使第一引導膜LF1的搬運停止的情況下執行升溫步驟，因此與使第一引導膜LF1與加熱輥16接觸而進行搬運的情況相比，可盡可能地縮短開始準備步驟S1的時間。因此，可效率良好地製造玻璃捲GR2。

圖5及圖6表示本發明的第二實施形態。本實施形態中，製造裝置中的搬運裝置的結構與第一實施形態不同。

搬運裝置3除了捲出裝置6、捲繞裝置7、搬運輥8a~搬運輥8d以外包括使引導膜LF1、引導膜LF2與成膜裝置4的加熱輥16分隔的分隔裝置。分隔裝置包括：作為分隔構件的分隔輥20a、分隔輥20b；以及使所述分隔輥20a、分隔輥20b移動的移動裝置。在本實施形態中，作為分隔輥20a、分隔輥20b，例示了兩根輥，分隔輥20a、分隔輥20b的數量並不限定於本實施形態，可根據製造裝置1的規模適宜設定。

如圖5所示，分隔輥20a、分隔輥20b構成為，可藉由移動裝置而將位置變更為與引導膜LF1、引導膜LF2接觸的第一位置(引導膜分隔位置，圖5中實線所示的位置)、以及與引導膜LF1、引導膜LF2不接觸的第二位置(待機位置，圖5中雙點劃線所示的位置)。分隔輥20a、分隔輥20b包括：在第二搬運輥8b與加熱輥16之間與引導膜LF1、引導膜LF2接觸的第一分隔輥20a；以及在第三搬運輥8c與加熱輥16之間與引導膜LF1、引導膜LF2接觸的第二分隔輥20b。

本實施形態中的其他結構與第一實施形態相同。對於本實施形態中與第一實施形態共通的結構要素標注與第一實施形態相同的符號。

以下，對本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法進行說明。

如圖5所示，在開始準備步驟S1中，各分隔輥20a、分隔輥20b自第二位置移動至第一位置。該情況下，第二搬運輥8b及第三搬運輥8c配置於第一位置(引導膜搬運位置)。在第一分隔輥20a移動至第一位置時，在第二搬運輥8b與加熱輥16之間通過。在第二分隔輥20b移動至第一位置時，在第三搬運輥8c與加熱輥16之間通過。

各分隔輥20a、分隔輥20b在第一位置與第一引導膜LF1接觸，且使所述第一引導膜LF1與加熱輥16分隔。藉由各分隔輥20a、分隔輥20b移動至第一位置，於第一引導膜LF1形成有使加熱輥16迂回的迂回路徑。

在開始準備步驟S1中，控制裝置5控制捲出裝置6、搬運輥8a~搬運輥8d以及捲繞裝置7，開始第一引導膜LF1的搬運。控制裝置5在使輥主體17旋轉的同時，利用加熱器18加熱所述輥主體17(升溫步驟)。

在進行開始準備步驟S1且藉由第一感測器9檢測到第一連結部11時，控制裝置5與第一實施形態同樣地判定加熱輥16是否達到成膜溫度。在加熱輥16達到成膜溫度的情況下，控制裝置5結束開始準備步驟S1，執行接下來的成膜步驟S2。

如圖6所示，在成膜步驟S2中，分隔輥20a、分隔輥20b自第一位置移動至作為待機位置的第二位置。第二搬運輥8b及第三搬運輥8c自第一位置(引導膜搬運位置)移動至第二位置(玻璃膜搬運位置)，使第一玻璃膜GF1與加熱輥16接觸。

之後，控制裝置5啟動濺鍍源15，使濺鍍粒子附著於由加熱輥16搬運的第一玻璃膜GF1。藉此，形成其中形成了功能性膜FM的第二玻璃膜GF2。藉由將第二玻璃膜GF2捲繞於捲繞裝置7的捲芯WC2而形成玻璃捲GR2。

在進行成膜步驟S2且藉由第二感測器10檢測到第二連結部12時，控制裝置5結束成膜步驟S2，執行接下來的結束準備步驟S3。控制裝置5在維持成膜裝置4的輥主體17的旋轉的狀態下使加熱器18及濺鍍源15停止(降溫步驟)。

在降溫步驟中，控制裝置5使處於第二位置(玻璃膜搬運位置)的第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第一位置(引導膜搬運位置)。之後，處於第二位置(待機位置)的分隔輥20a、分隔輥20b藉由控制裝置5的控制在第二連結部12到達加熱輥16之前移動至第一位置(引導膜分隔位置)。

移動至第一位置的分隔輥20a、分隔輥20b使由搬運裝置3搬運的第二引導膜LF2與加熱輥16分隔。在通過成膜裝置4的第二引導膜LF2全部被捲繞裝置7捲繞時，完成玻璃捲GR2。

根據本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法及製造裝置1，藉由利用分隔輥20a、分隔輥20b使引導膜LF1、引導膜LF2以及連結部11、連結部12與加熱輥16分隔，可將引導膜LF1、引導膜LF2以及連結部11、連結部12與加熱輥16的分隔距離維持為一定。

圖7至圖9表示本發明的第三實施形態。本實施形態的製造裝置1的搬運裝置3除了捲出裝置6、捲繞裝置7、搬運輥8a~搬運輥8d以外包括使引導膜LF1、引導膜LF2與成膜裝置4的加熱輥16分隔的分隔裝置、以及隔熱裝置。分隔裝置包括：作為分隔構件的分隔輥20a、分隔輥20b；以及使所述分隔輥20a、分隔輥20b移動的移動裝置。隔熱裝置包括：作為隔熱構件的隔熱板21；以及使所述隔熱板21移動的移動裝置。

如圖7及圖8所示，隔熱板21由隔熱材料構成為平板狀，但並不限於所述形狀，亦可由圓弧狀彎曲了的板形狀及其他各種形狀構成。在本實施形態中，例示了三張隔熱板21，隔熱板21的數量並不限定於本實施形態。

在隔熱板21的內部設置有冷卻配管22。冷卻配管22藉由使冷卻水等製冷劑流通來冷卻隔熱板21。

如圖8所示，隔熱板21構成為，可藉由移動裝置而將位置變更為進行隔熱的第一位置(實線所示的位置)、以及作為待機位置的第二位置(雙點劃線所示的位置)。在第一位置，隔熱板21介於加熱輥16的輥主體17與引導膜LF1、引導膜LF2之間。在第二位置，隔熱板21在加熱輥16的軸向上處於遠離所述加熱輥16的位置。

本實施形態中的其他結構與第二實施形態相同。對於本實施形態中與第二實施形態共通的結構要素標注與第二實施形態相同的符號。

以下，對本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法進行說明。

在開始準備步驟S1中，搬運裝置3使各分隔輥20a、分隔輥20b自第二位置(待機位置)下降至第一位置(引導膜分隔位置)。該情況下，第二搬運輥8b及第三搬運輥8c配置於第一位置(引導膜搬運位置)。

各分隔輥20a、分隔輥20b與第一引導膜LF1接觸且使所述第一引導膜LF1與加熱輥16分隔。之後，藉由控制裝置5的控制，搬運裝置3使各隔熱板21自第二位置(待機位置)移動至第一位置(隔熱位置)。隔熱板21進入至加熱輥16的輥主體17與由分隔輥20a、分隔輥20b支撐的第一引導膜LF1之間的空間，並在第一位置停止。之後，搬運裝置3將第一引導膜LF1搬運至下游側。

如圖9所示，在成膜步驟S2中，搬運裝置3使處於第一位置的隔熱板21移動至第二位置。之後，搬運裝置3使處於第一位置的分隔輥20a、分隔輥20b上升至第二位置。之後，搬運裝置3使處於第一位置的第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第二位置(玻璃膜搬運位置)。

之後，如圖9所示，藉由成膜裝置4而於第一玻璃膜GF1形成有功能性膜FM。該情況下，由於各隔熱板21在加熱輥16的軸向上處於遠離所述加熱輥16的第二位置(待機位置)，因此自濺鍍源15放出的濺鍍粒子可在不被隔熱板21堵塞行進路徑的情況下向第一玻璃膜GF1移動。

在成膜步驟S2結束後，在結束準備步驟S3(降溫步驟)中，搬運裝置3使處於第二位置的第二搬運輥8b及第三搬運輥8c移動至第一位置(引導膜搬運位置)。之後，搬運裝置3使在第二位置待機的分隔輥20a、分隔輥20b移動至第一位置(引導膜分隔位置)。之後，搬運裝置3使在第二位置待機的各隔熱板21移動至第一位置(隔熱位置)。

根據本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法及製造裝置1，在開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中，藉由使隔熱板21介於加熱輥16與引導膜LF1、引導膜LF2之間，可隔斷自加熱輥16輻射的熱，以便不被傳遞至引導膜LF1、引導膜LF2及連結部11、連結部12。藉此，可有效地防止引導膜LF1、引導膜LF2的變形及斷裂、連結部11、連結部12中的第一玻璃膜GF1與引導膜LF1、引導膜LF2的分離。

圖10至圖13表示本發明的第四實施形態。在本實施形態中，製造裝置中的成膜裝置的結構與第一實施形態不同。

如圖10至圖12所示，成膜裝置4的加熱輥16包括：輥主體17；以及使引導膜LF1、引導膜LF2與輥主體17分隔的多個分隔構件23。

輥主體17包括收容分隔構件23的多個凹部17a。如圖11所示，於凹部17a形成有插通有分隔構件23的孔17b。如圖12所示，凹部17a形成於輥主體17的寬度方向的端部。

輥主體17在內部包括加熱器。加熱器可加熱與第一玻璃膜GF1接觸的輥主體17的外周面。

分隔構件23構成為板狀或棒狀。分隔構件23構成為可藉由內置於輥主體17中的致動器進退。分隔構件23可藉由控制裝置5的控制而將位置變更為與輥主體17的外周面相比向所述輥主體17的半徑方向外側突出的第一位置(引導膜支撐位置)、以及自第一位置後退並收容在凹部17a中的第二位置(待機位置)。如圖12所示，分隔構件23配置成與引導膜LF1、引導膜LF2中的寬度方向的端部LFa、端部LFb接觸。

以下，對本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法進行說明。

如圖10所示，在開始準備步驟S1中，控制裝置5將第二搬運輥8b及第三搬運輥8c配置於第一位置(引導膜搬運位置)，且將加熱輥16的分隔構件23配置於第一位置(引導膜支撐位置)。

在開始準備步驟S1中，控制裝置5控制捲出裝置6、搬運輥8a~搬運輥8d及捲繞裝置7，並開始第一引導膜LF1的搬運。控制裝置5在使輥主體17旋轉的同時，利用加熱器加熱所述輥主體17(升溫步驟)。

由搬運裝置3搬運的第一連結部11及第一引導膜LF1在到達加熱輥16時與分隔構件23接觸。分隔構件23的前端部支撐第一引導膜LF1，且使所述第一引導膜LF1與輥主體17的外周面分隔。

藉由加熱輥16(輥主體17)的旋轉，第一引導膜LF1在與多個分隔構件23接觸的狀態下，且在與輥主體17的外周面不接觸的情況下被搬運至加熱輥16的下游側。

如圖13所示，控制裝置5使處於第一位置的分隔構件23移動至第二位置。藉此，分隔構件23被收容在輥主體17的凹部17a中。

之後，成膜裝置4與第一實施形態同樣地，在藉由輥主體17加熱第一玻璃膜GF1的同時於所述第一玻璃膜GF1形成功能性膜FM。該情況下，收納於輥主體17的凹部17a中的分隔構件23與第一玻璃膜GF1不接觸。

在結束準備步驟S3中，控制裝置5使在第二位置待機的分隔構件23移動至第一位置，且開始降溫步驟。到達加熱輥16的第二連結部12及第二引導膜LF2在藉由分隔構件23而與輥主體17分隔的狀態下被搬運至下游側。

根據以上說明的本實施形態的玻璃捲GR2的製造方法及製造裝置1，在開始準備步驟S1及結束準備步驟S3中，藉由利用加熱輥16的分隔構件23使引導膜LF1、引導膜LF2與輥主體17分隔，可使所述引導膜LF1、引導膜LF2與所述輥主體17不接觸而迂回。利用所述迂回路徑，可在不使引導膜LF1、引導膜LF2變質或溶解的情況下進行搬運。因此，可在不使引導膜LF1、引導膜LF2變形或斷裂的情況下於第一玻璃膜GF1形成功能性膜FM。

同樣地，藉由利用迂回路徑使各連結部11、連結部12與輥主體17分隔，可在不發生黏著帶等連結構件的變質或溶解的情況下搬運所述連結部11、連結部12。因此，可在不使各連結部11、連結部12中的第一玻璃膜GF1與引導膜LF1、引導膜LF2發生分離的情況下於第一玻璃膜GF1形成功能性膜FM。

再者，本發明並不限定於所述實施形態的結構，並不限定於所述作用效果。本發明在不脫離本發明的主旨的範圍內可進行各種變更。

在所述實施形態中，示出了構成為可將第二搬運輥8b及第三搬運輥8c的位置變更為第一位置以及第二位置的例子，但本發明並不限定於所述結構。關於搬運裝置3，將第二搬運輥8b及第三搬運輥8c設置在可較佳地搬運引導膜LF1、引導膜LF2及第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2的位置，可在不進行其位置變更的情況下搬運所述引導膜LF1、引導膜LF2及第一玻璃膜GF1、第二玻璃膜GF2。

搬運裝置3亦可構成為，不僅第二搬運輥8b及第三搬運輥8c由一對輥構成，而且第一搬運輥8a及第四搬運輥8d由一對輥構成，且可變更位置。

在所述第二實施形態及第三實施形態中，第二搬運輥8b及第三搬運輥8c由一對輥構成，但本發明並不限定於所述結構。在製造裝置1包括分隔裝置(分隔輥20a、分隔輥20b)的情況下，第二搬運輥8b及第三搬運輥8c分別亦可由一根輥構成。

在所述實施形態中，示出了在結束準備步驟S3中執行使加熱輥16降溫的降溫步驟的例子，但本發明並不限定於所述結構。在可使第二引導膜LF2與加熱輥16分隔至不會變質或溶解的位置的情況下、在可使所述第二連結部12與加熱輥16分隔至第二連結部12中使用的黏著帶等連結構件不會變質或溶解的位置的情況下，亦可在不使加熱輥16降溫的情況下搬運第二引導膜LF2 及第二連結部12。另外，在利用隔熱板21進行隔熱的情況下，亦可在不使加熱輥16降溫的情況下搬運第二引導膜LF2。

在所述實施形態中，示出了使用第一感測器9或第二感測器10檢測第一連結部11或第二連結部12的位置的例子，但本發明並不限定於所述結構。藉由預先把握第一玻璃膜GF1與各引導膜LF1、引導膜LF2的長度，可根據捲出的距離或捲繞的距離把握第一連結部11或第二連結部12的搬運路徑上的位置。

在所述實施形態中，在搬運第一引導膜LF1及第一連結部11的情況下使其與加熱輥16分隔，在第一連結部11通過加熱輥16之後使第一玻璃膜GF1與加熱輥16接觸，但本發明並不限定於所述實施形態。例如，在使用耐熱性高的聚醯亞胺膜等作為第一引導膜LF1的情況下，可在使所述第一引導膜LF1與加熱輥16接觸的狀態下進行搬運。該情況下，亦可在第一連結部11到達加熱輥16之前或剛剛到達之後使所述第一連結部11與加熱輥16分隔。對於第二引導膜LF2與第二連結部12亦同樣。進而，除此以外，在加熱輥16的加熱溫度未達到規定的溫度且第一引導膜LF1為不變質或溶解等的溫度區域的情況下，亦可使第一引導膜LF1與加熱輥16接觸而進行搬運，之後加熱輥16達到規定的溫度，藉此在加熱輥16成為第一引導膜LF1有可能變質或溶解等的溫度區域時，亦可使第一引導膜LF1與加熱輥16分隔。

在所述第三實施形態中，示出了將隔熱裝置的隔熱板21構成為可沿著成膜裝置4的加熱輥16的軸向移動的例子，但本發明並不限定於所述結構。亦可藉由使隔熱板21沿著加熱輥16的周向移動而將所述隔熱板21的位置變更為第一位置(隔熱位置)、以及加熱輥16的上方的第二位置(待機位置)。

在所述第三實施形態中，例示了在隔熱裝置的隔熱板21內部設置冷卻配管22的結構，但本發明並不限定於所述結構，亦可不設置冷卻配管22而僅設置隔熱板21。

1:製造裝置

2:真空室

3:搬運裝置

4:成膜裝置

5:控制裝置

6:捲出裝置

7:捲繞裝置

8a:第一搬運輥

8b:第二搬運輥

8c:第三搬運輥

8d:第四搬運輥

9、10:感測器

11:第一連結部

12:第二連結部

13:保護膜回收部

14:保護膜供給部

15:濺鍍源

16:加熱輥

17:輥主體

18:加熱器

19:軸部

GF1:第一玻璃膜

GFa:第一玻璃膜的始端部

GFb:第一玻璃膜的終端部

GR1:母材玻璃捲

LF1:第一引導膜

LF2:第二引導膜

PF1、PF2:保護膜

PFR:保護膜捲

WC1、WC2:捲芯

Claims

一種玻璃捲的製造方法，是藉由使由搬運裝置搬運的玻璃膜在與加熱輥接觸的狀態下加熱且於所述玻璃膜形成功能性膜，並將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀來製造玻璃捲的方法，所述玻璃捲的製造方法的特徵在於，所述玻璃膜經由連結部而與引導膜連結，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，所述搬運裝置使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。
如請求項1所述的玻璃捲的製造方法，其中所述搬運裝置包括搬運所述引導膜及所述玻璃膜的搬運輥，所述搬運輥構成為可接近/背離所述加熱輥，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，所述搬運輥使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。
如請求項2所述的玻璃捲的製造方法，其中所述搬運輥包括可夾持所述引導膜的一對搬運輥。
如請求項1至請求項3中任一項所述的玻璃捲的製造方法，其中所述搬運裝置包括分隔構件，所述分隔構件於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。
如請求項4所述的玻璃捲的製造方法，其中所述分隔構件為輥。
如請求項4所述的玻璃捲的製造方法，其中所述搬運裝置包括介於所述加熱輥與所述引導膜及/或所述連結部之間的隔熱構件。
一種玻璃捲的製造裝置，包括：搬運裝置，搬運經由連結部而與引導膜連結的玻璃膜；以及加熱成膜裝置，於所述玻璃膜形成功能性膜，且所述玻璃捲的製造裝置的特徵在於，所述加熱成膜裝置包括與所述玻璃膜接觸並加熱的加熱輥，所述搬運裝置包括：捲出裝置，送出所述玻璃膜；捲繞裝置，將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀；搬運輥，配置於所述捲出裝置與所述捲繞裝置之間，且搬運所述玻璃膜；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述加熱輥時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述加熱輥分隔。
一種玻璃捲的製造方法，是藉由使由搬運裝置搬運的玻璃膜在與加熱輥接觸的狀態下加熱且於所述玻璃膜形成功能性膜，並將形成有所述功能性膜的所述玻璃膜捲繞成捲狀來製造玻璃捲的方法，所述玻璃捲的製造方法的特徵在於，所述玻璃膜經由連結部而與引導膜連結，所述加熱輥包括：輥主體，與所述玻璃膜接觸並加熱；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述輥主體時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述輥主體分隔。
一種玻璃捲的製造裝置，包括：搬運裝置，搬運經由連結部而與引導膜連結的玻璃膜；以及加熱成膜裝置，於所述玻璃膜形成功能性膜，且所述玻璃捲的製造裝置的特徵在於，所述加熱成膜裝置包括與所述玻璃膜接觸並加熱的加熱輥，所述加熱輥包括：輥主體，與所述玻璃膜接觸並加熱；以及分隔構件，於所述引導膜及/或所述連結部通過所述輥主體時，使所述引導膜及/或所述連結部與所述輥主體分隔。