TWI827684B - 顯示裝置及其製造方法 - Google Patents

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洪淳旭
金承來
朴宰賢
蔡旼澈
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南韓商三星顯示器有限公司
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Abstract

本發明係提供一種顯示裝置，其包含：具有顯示區域和非顯示區域的基板；以及設置於基板的非顯示區域中的對準標記。對準標記包含四邊形中心部和環繞中心部的複數個測量部；複數個測量部包含四個或更多個測量部；以及每一個測量部包含平行於四邊形中心部的兩側邊的複數個側邊。

Description

顯示裝置及其製造方法
相關申請案之交互參照
本申請案主張於2018年10月22日向韓國智慧財產局提出之韓國專利申請案號第10-2018-0125943號之優先權和效益，其揭露內容於此併入全文作為參考。
本發明例示性實施例泛言之係關於一種顯示裝置及其製造方法，且更具體而言，係關於一種包含可測量遮罩對位不準(misalignment)的對準標記的顯示裝置，以及製造顯示裝置的方法。
現今使用之平面顯示器包含液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)、電漿顯示面板(plasma display panel，PDP)、有機發光二極體(organic light emitting diode，OLED)裝置、場效顯示器(field effect display，FED)、電泳顯示(electrophoretic display，EPD)裝置等。
在形成像是平面顯示裝置的製程期間，會形成各種圖案，而曝光裝置被用於形成這些圖案。曝光裝置根據圖案遮罩中形成的圖案來曝光物件。
然而，當顯示裝置被放大時，由於圖案遮罩之尺寸有所限制，以圖案遮罩一次地曝光顯示基板會變得更加困難。因此，使用透過於顯示裝置上依序對準遮罩來曝光顯示裝置的方法。
揭露於先前技術部分的上述資訊僅用於了解本發明概念之背景，且因此其可包含不構成先前技術之資訊。
本發明例示性實施例提供了包含可測量遮罩之對位失準的對準標記的顯示裝置及其製造方法。
本發明概念的其他態樣將記述於以下描述中，且部分將自描述顯而易見，或可藉由實踐本發明概念來得知。
本發明例示性實施例提供：具有顯示區域和非顯示區域的基板；以及設置於基板的非顯示區域中的對準標記；對準標記包含四邊形中心部和環繞中心部的複數個測量部；複數個測量部包含四個或更多個測量部；且每一個測量部包含平行於四邊形中心部的兩側邊的側邊。
一個或更多個對準標記可設置於第一方向上非顯示區域的1/4點處與3/4點處之間。
複數個測量部可包含：包含平行於四邊形中心部的第一側邊和第四側邊的複數個側邊並設置相鄰於第一側邊和第四側邊的第一測量部；包含平行於四邊形中心部的第一側邊和第二側邊的複數個側邊並設置相鄰於第一側邊和第二側邊的第二測量部；包含平行於四邊形中心部的第二側邊和第三側邊的複數個側邊並設置相鄰於第二側邊和第三側邊的第三測量部；以及包含平行於四邊形中心部的第三側邊和第四側邊的複數個側邊並設置相鄰於第三側邊和第四側邊的第四測量部。
藉由在第二方向上從中心部至第一測量部的距離，減去在第二方向上從\中心部至第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在第二方向上從中心 部至第二測量部的距離，減去在第二方向上從中心部至第四測量部的距離而得到的數值之間的差，可以是約-0.8μm至約0.8μm。
藉由在第一方向上從中心部至第一測量部的距離，減去在第一方向上從中心部至第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在第一方向上從中心部至第二測量部的距離，減去在第一方向上從中心部至第四測量部的距離而得到的數值之間的差，可以是約-0.8μm至約0.8μm。
中心部和複數個測量部可包含不同的材料。
中心部可包含與顯示區域的閘極線相同的材料，而測量部可包含與顯示區域的資料線相同的材料，或與顯示區域的畫素電極相同的材料。
中心部可包含與顯示區域的資料線相同的材料，而測量部可包含與顯示區域的畫素電極相同的材料。
顯示裝置可進一步包含設置於非顯示區域中的複數個驅動器，其中對準標記可設置於複數個驅動器之間。
非顯示區域可包含於製造過程期間，兩個或更多個遮罩彼此重疊的區域，且對準標記可設置於遮罩重疊區域中。
對準標記的水平長度可約為15μm至約30μm。
對準標記的垂直長度可約為15μm至約30μm。
本發明之另一例示性實施例提供：具有顯示區域和非顯示區域的基板；以及設置於基板的非顯示區域中的對準標記。對準標記包含四邊形中心部和環繞中心部的複數個測量部；一個或多個對準標記設置於第一方向上非顯示區域的1/4點處與3/4點處之間；且對準標記的中心部和測量部包含不同的材料。
測量部可包含：形成為環繞四邊形中心部的四邊形環形狀的第一測量部；以及形成為環繞第一測量部的四邊形環形狀的第二測量部。
測量部可包含：設置於與四邊形中心部的第一側邊平行的垂直線上且彼此相隔設置的第二測量部和第三測量部；設置於與四邊形中心部的第二側邊平行的垂直線上且彼此相隔設置的第四測量部和第五測量部；設置於與四邊形中心部的第三側邊平行的垂直線上且彼此相隔設置的第六測量部和第七測量部；以及設置於與四邊形中心部的第四側邊平行的垂直線上且彼此相隔設置的第八測量部和第一測量部。
測量部可包含：設置平行於四邊形中心部的第一側邊的第五測量部和設置於第一側邊與第五測量部之間的第一測量部；設置平行於四邊形中心部的第二側邊的第六測量部和設置於第二側邊與第六測量部之間的第二測量部；以及設置平行於四邊形中心部的第四側邊的第八測量部和設置於第四側邊與第八測量部之間的第四測量部。
顯示裝置可進一步包含設置於非顯示區域中的複數個驅動器；其中對準標記可設置於複數個驅動器之間。
非顯示區域可包含於製造過程期間兩個或更多個遮罩彼此互相重疊的區域，且對準標記可設置於遮罩重疊區域中。
中心部可包含與顯示區域的閘極線或資料線相同的材料，而測量部可包含與顯示區域的資料線或顯示區域的畫素電極相同的材料。
本發明之另一實施例係提供製造顯示裝置的方法，其包含：製備基板以具有顯示區域和非顯示區域；透過與形成顯示區域中的第一導電層相同的製程，在同一時間形成設置於非顯示區域的中心部；藉由使用第一遮罩，在 顯示區域中形成第二導電層，並透過與形成第二導電層相同的製程，形成環繞中心部的第一測量部和第二測量部；以及藉由使用第二遮罩形成第二導電層於顯示區域中，並透過與形成第二導電層相同的製程，形成環繞中心部的第三測量部和第四測量部；且中心部形成於第一遮罩和第二遮罩彼此重疊的區域中。
中心部可以四邊形形狀來形成；第一測量部可包含平行於四邊形中心部的第一側邊和第四側邊的側邊，並可設置相鄰於第一側邊和第四側邊；第二測量部可包含平行於四邊形中心部的第一側邊和第二側邊的側邊，並可設置相鄰於第一側邊和第二側邊；第三測量部可包含平行於四邊形中心部的第二側邊和第三側邊的側邊，並可設置相鄰於第二側邊和第三側邊；以及第四測量部可包含平行於四邊形中心部的第三側邊和第四側邊的側邊，並可設置相鄰於第三側邊和第四側邊。
中心部和測量部可包含不同的材料。
中心部可包含與顯示區域的閘極線或資料線相同的材料，而測量部可包含與顯示區域的資料線或畫素電極相同的材料。
藉由在第二方向上從中心部至第一測量部的距離，減去在第二方向上從中心部至第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在第二方向上從中心部至第二測量部的距離，減去在第二方向上從中心部至第四測量部的距離而得到的數值之間的差，可以是約-0.8μm至約0.8μm。
藉由在第一方向上從中心部至第一測量部的距離，減去在第一方向上從中心部至第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在第一方向上從中心部至第二測量部的距離，減去在第一方向上從中心部至第四測量部的距離而得到的數值之間的差，可以是約-0.8μm至約0.8μm。
根據例示性實施例，可提供包含可測量遮罩的對位失準的對準標記的顯示裝置及其製造方法。
應當理解的是，以上的概括描述以及以下的詳細描述皆是例示性與說明性的，且旨在提供所主張之標的進一步說明。
100:第一基板
1000:顯示面板
110:第一基底基板
111:緩衝層
121:閘極線
124:閘極電極
140:閘極絕緣層
151:通道區域
153:源極區域
154:半導體層
155:汲極區域
160:層間絕緣層
163:第二接觸孔
165:第一接觸孔
171:資料線
173:源極電極
175:汲極電極
180:鈍化層
185:接觸孔
191:第一電極
200:第二基板
2000:母基板
210:第二基底基板
220:遮光構件
230:濾色器
250:平坦化層
270:第二電極
3:液晶層
31:液晶分子
361:障肋
370:發光元件層
390:封裝層
700:中心部
710a,711a,721,730a:第一測量部
710b,711b,722,730b:第二測量部
710c,711c,730c:第三測量部
710d,711d,730d:第四測量部
711e,730e:第五測量部
711f,730f:第六測量部
711g,730g:第七測量部
711h,730h:第八測量部
800:驅動器
A:第一遮罩
AM:對準標記
B:第二遮罩
C:第三遮罩
D1:第一方向
D2:第二方向
DA:顯示區域
DR2:第二方向
L1,L2:尺寸
LA1:第一象限
LA2:第二象限
LA3:第三象限
LA4:第四象限
NDA:非顯示區域
包含於本說明書中以提供對本發明概念的進一步理解，且被整合並構成本說明書的一部分之附圖說明本發明概念的例示性實施例，且與描述一同用於解釋本發明概念之原理。
第1圖係為示意性地繪示根據本發明例示性實施例的顯示裝置的圖式。
第2圖係為顯示於顯示面板的製造過程中使用複數個遮罩的配置的圖式。
第3圖係為顯示對準標記的圖式。
第4圖和第5圖係為顯示當第一遮罩和第二遮罩對位失準時的對準標記的形狀的圖式。
第6圖係為顯示根據另一例示性實施例的對準標記的圖式。
第7圖係為顯示根據本發明另一例示性實施例之對準標記的形狀的圖式。
第8圖係為顯示根據本發明另一例示性實施例之對準標記的形狀的圖式。
第9圖係為顯示對準標記的具體位置的圖式。
第10圖係為顯示根據本發明另一例示性實施例之對準標記的位置的圖式。
第11圖、第12圖、第13圖、第14圖和15圖係根據本發明例示性實施例之顯示裝置的製造過程的剖面圖。
第16圖、第17圖、第18圖、第19圖和第20圖係為顯示根據本發明例示性實施例之顯示裝置的製造過程的圖式。
第21圖是根據例示性實施例之顯示區域的畫素佈局圖，而第22圖是沿著線XXII-XXII’擷取之第21圖的顯示裝置的剖面圖。
第23圖是根據本發明例示性實施例之顯示面板的剖面圖。
出於解釋之目的，在以下敘述中將記載諸多具體細節以提供對本發明各種例示性實施例的透徹理解。如用於本文中「實施例(embodiments)」是運用一個或更多個本文揭露之本發明概念之裝置或方法的非限制性實例。然而，顯而易見的是，可以在沒有這些具體細節的情況下或以一個或更多個等效配置實施各種例示性實施例。在其它例子中，以方塊圖表示已知的結構及裝置，以避免不必要地混淆各種例示性實施例。另外，各種例示性實施例可以是不同的，但未必是唯一的。例如，在不脫離本發明概念的情況下，可在一例示性實施例中使用或實踐另一例示性實施例的特定形狀、配置以及特性。
除非另有說明，否則所表示的例示性實施例應被理解為提供可實際上實施本發明概念的一些方式的不同細節的例示性特徵。因此，除非另有說明，否則在不脫離本發明概念的情況下，各種實施例的特徵、部件、模組、層、膜、面板、區域及/或態樣等(下文分別或統稱為「元件」)，可另外組合、分離、互換及/或重新配置。
在所附圖式中通常使用交叉影線及/或陰影來闡明相鄰元件之間的邊界。於此，除非另有說明，否則交叉影線或陰影的存在與否皆不表示或指示對特定材料、材料特性、尺寸、比例、所示元件間的共同性及/或元件的任何其它特徵、屬性、性質等的任何偏好或需求。另外，在所附圖式中，為了清楚及/或敘述上的目的，可誇大元件尺寸以及相對尺寸。當可以不同方式實踐例示 性實施例時，可以不同於所述之順序執行特定製程順序。例如，兩個連續描述的製程可實質上同時執行，或以與所述之順序相反的順序執行。另外，相似的元件符號代表相似的元件。
當元件，像是層，被指為「在」另一元件或層「上(on)」、「連接至(connected to)」或「耦接至(coupled to)」另一元件或層時，其可直接在其它元件或層上、直接連接至或耦合至其它元件或層，或可存在中間元件或層。然而，當元件或層被指「直接在」另一元件或層「上(directly on)」、「直接連接至(directly connected to)」或「直接耦接至(directly coupled to)」另一元件或層時，則不存在中間元件或層。因此，用語「連接(connected)」可指具有或不具有中間元件地物理上、電氣及/或流體連接。另外，D1軸、D2軸以及D3軸不限於直角坐標系統的三個軸，例如x、y以及z軸，並可以廣義解釋。例如，D1軸、D2軸以及D3軸可彼此垂直，或可表示彼此不垂直的不同方向。對於本發明之目的，「X、Y及Z之其中至少一個」和「選自由X、Y及Z組成的群組之中至少一個」可被理解為僅有X、僅有Y、僅有Z或X、Y及Z中之兩個或以上的任意組合，像是，例如XYZ、XYY、YZ、及ZZ。如用於本文中，用語「及/或」包含一個或多個所列的相關項目之任意或所有組合。
雖然在本文中「第一(first)」、「第二(second)」、「第三(third)」等用語可以用來描述各種類型的元件，這些元件不應該被這些用語所限制。這些用語僅用來區分一個元件與另一個元件。因此，以下討論之第一元件可稱為第二元件而不脫離本發明之教示。
為了敘述上的目的，可在本文中使用空間相關用語，例如「之下(beneath)」、「下方(below)」、「下面(under)」、「下部(lower)」、「上方(above)」、 「上部(upper)」、「之上(over)」、「高於(higher)」、「側邊(side)」(例如，「側壁(sidewall)」)以及其它相似用語，以描述圖式中所繪示之元件與另一元件的關係。除了圖式中描繪的方位之外，空間相關用語旨在包含設備在使用、操作、及/或製造中之不同方位。例如，若將圖式中的設備翻轉，描述在其它元件或特徵「下方(below)」或「之下(beneath)」的元件或特徵將被轉向為在其它元件或特徵的「上方(above)」。因此，例示性用語「下方(below)」可同時包含上方與下方的方向。另外，設備可轉向其它方位(例如，旋轉90度或其他方位)，且因此在本文中使用的空間相關描述用語據此作相對應的解釋。
在本文所用之用語係僅為描述特定實施例之目的而非旨在用於限制本發明。如用於本文中，除非文中另行明確地表示，否則「一(a)」、「一(an)」、「該(the)」之單數型式亦旨在包含複數型式。進一步地，用語「包括(comprises)」、「包括(comprising)」、「包含(includes)」及/或「包含(including)」當用於說明書中時，係指明所述特徵、整體、步驟、操作、元件、部件及/或其群組的存在，但是不排除一或更多其它特徵、整體、步驟、操作、元件、部件及/或其群組的存在或增添。應該注意的是，如用於本文中，用語「實質上(substantially)」、「大約(about)」及其它相似用語，是用作為近似用語而不是作為程度用語，且因此被利用以計入本領域中具有通常知識者將可認識到的在測量、計算及/或提供之數值的固有偏差。
各種例示性實施例參照為理想化例示性實施例及/或中間結構的示意性圖式之剖面及/或爆炸圖而描述於本文中。因此，可以預期像是例如製造技術及/或公差而導致的與所繪示形狀之間的差異。因此，本文公開的例示性實施例不應被解釋為限於具體繪示的區域形狀，而是包含由例如製造產生的形狀 偏差。據此，圖式中所示的區域本質上是示意性的，且這些區域的形狀並不反應裝置的區域的實際形狀，且不必然旨在限制。
另外，在本說明書中，片語「在平面上(on a plane)」意旨從頂端觀看目標部分，而片語「在剖面上(on a cross-section)」意旨從側邊觀看由垂直切割目標部分形成的剖面。
除非另有定義，否則本文所用之所有用語(包含技術與科學用語)具有與本揭露所屬領域中具有通常知識者所通常理解的含義相同之含義。將進一步理解的是，諸如那些定義於常用字典內之用語，應被解釋為具有與其在相關技術及/或說明書的語境中相符之意義，且除非明確地定義於此，否則不應以理想化或過於正式的意義解釋。
下文中將參照所附圖式描述根據本發明例示性實施例之顯示裝置。
第1圖係示意性地顯示根據本發明例示性實施例的顯示裝置。參照第1圖，根據本發明例示性實施例之顯示裝置的顯示面板1000包含顯示區域DA和非顯示區域NDA。顯示區域DA是設置有包含與電晶體連接之畫素電極之複數個畫素以顯示影像的區域，而非顯示區域NDA是設置有驅動器以及類似元件且因此不顯示影像的區域。參照第1圖，根據本發明例示性實施例的顯示裝置包含一個或多個對準標記AM。
在第1圖中，對準標記AM設置鄰近於顯示區域DA在第二方向D2上的兩相對邊緣，但此非為限制性，以及對準標記AM可僅設置在顯示區域DA的一個邊緣。在第1圖中，以顯示區域DA設置於其間地將兩個對準標記AM設置於上部及兩個對準標記AM設置於下部，但此僅為實例。對準標記AM的數量可 依據用於形成在顯示區域DA中的一個層(例如，畫素電極)的遮罩數量作改變。當使用兩個遮罩在顯示區域DA中製造一個層時，可定位一個或兩個對準標記AM，且此將於下文詳細描述。另外，當使用三個遮罩來形成顯示裝置的一個層時，可定位兩至四個對準標記AM。亦即，當使用n個遮罩來形成顯示裝置的一個層時，可定位n-1至2*(n-1)個對準標記。在製造顯示區域中，可將對準標記定位於之遮罩相互重疊的區域，而此將於下文詳細描述。對準標記AM的具體位置關係將於下文更詳細描述。
參照第1圖，對準標記AM包含四邊形中心部700和設置以環繞中心部700的複數個測量部710a、710b、710c、710d。複數個測量部可包含第一測量部710a、第二測量部710b、第三測量部710c和第四測量部710d。
每一個測量部與中心部700相距一距離設置。中心部700可以橫跨四邊形中心部700的中心的虛擬垂直和水平線，將對準標記AM分成第一象限LA1、第二象限LA2、第三象限LA3和第四象限LA4。在此情況下，第一測量部710a可設置於第一象限LA1中，第二測量部710b可設置於第二象限LA2中，第三測量部710c可設置於第三象限LA3中，而第四測量部710d可設置於第四象限LA4中。
第一測量部710a包含平行於四邊形中心部700的兩側邊的側邊。亦即，第一測量部710a包含平行於第一方向D1的一側邊，以及平行於第二方向D2的一側邊，第二方向D2垂直於第一方向D1。第一測量部710a平行於第一方向D1的側邊與第一測量部710a平行於第二方向D2的側邊可於拐角處以直角相交。相似地，對於四邊形中心部700，第二測量部710b、第三測量部710c、第四測量部710d各包含平行於第一方向D1的側邊和平行於第二方向D2的側邊。
具體而言，第一測量部710a包含平行於四邊形中心部700的第一側邊和第四側邊的側邊，並可設置相鄰於中心部700的第一側邊和第四側邊。第二測量部710b包含平行於四邊形中心部700的第一側邊和第二側邊的側邊，並可設置相鄰於中心部700的第一側邊和第二側邊。第三測量部710c包含平行於四邊形中心部700的第二側邊和第三側邊的側邊，並可設置相鄰於中心部700的第二側邊和第三側邊。第四測量部710d包含平行於四邊形中心部700的第三側邊和第四側邊的側邊，並可設置相鄰於中心部700的第三側邊和第四側邊。
於製造過程中可透過比較各測量部710a、710b、710c和710d與四邊形的中心部700之間的距離來判斷遮罩的對準。詳細之對準判斷方法將於下文中描述。
在各個對準標記AM中，中心部700和測量部710a、710b、710c和710d可包含不同的材料。例如，四邊形中心部700可包含與顯示區域DA的閘極線相同的材料，而測量部710a、710b、710c、710d可包含與顯示區域的資料線相同的材料。可代替地，中心部700可包含與顯示區域DA的閘極線或資料線相同的材料，而測量部710a、710b、710c、710d可包含與顯示區域DA的畫素電極相同的材料。
亦即，中心部700和測量部710a、710b、710c和710d在不同的階段中形成，且中心部700可早於測量部710a、710b、710c、710d形成。
如所述，在形成顯示區域DA的製程期間，可藉由使用通過包含中心部700和測量部710a、710b、710c和710d的對準標記AM的複數個遮罩來判斷遮罩的對準。因此，在製造過程期間，可精準測量與修正遮罩之對位失準。
第2圖顯示於顯示面板的製造過程期間使用的複數個遮罩的配置。在顯示面板的顯示區域DA大的情況下，難以用單一遮罩形成用以形成顯示區域DA的層(例如，閘極線、資料線、畫素電極等)。因此，各個層可透過將複數個遮罩依序應用於不同的區域而形成。
如第2圖所示，一個層可藉由使用第一遮罩A、第二遮罩B和第三遮罩C圖案化。在此情況下，形成各個遮罩A、B和C重疊的區域。在第2圖中，以A+B和B+C標記的區域是遮罩彼此相互重疊的區域，以及這些區域由不同的遮罩圖案化兩次。
在此情況下，當第一遮罩A和第二遮罩B在重疊區域(例如，A+B)對位失準時，顯示區域DA之結構會發生失誤。亦即，重疊區域透過第一遮罩A和第二遮罩B被曝光兩次，以及當第一遮罩A和第二遮罩B對位失準時，會發生短路或畫素電極無法正常形成於重疊區域中。
因此，在重疊區域中維持遮罩對準非常重要，且為此在每個遮罩對準和圖案化製程中精準測量對位失準程度非常重要。然而，要精準測量遮罩之對位失準是不容易的，且不容易透過分析最後製造出之顯示面板的結構來判斷遮罩對位失準的方向和遮罩對位失準的程度。
然而，根據本例示性實施例之顯示裝置包含透過使用各個遮罩的圖案化製程同時形成的對準標記AM，且透過測量對準標記AM的中心部700與測量部710a、710b、710c和710d之間的距離，可精準計算遮罩的對準失誤(alignment error)。
如第2圖所示，由於對準標記AM的每個部分係藉由不同遮罩透過圖案形成製程同時形成，對準標記AM被設置於遮罩彼此重疊的區域(例如，A+B、B+C)。
第3圖僅顯示對準標記AM。參照第3圖，對準標記AM包含四邊形中心部700和環繞中心部700的複數個測量部710a、710b、710c以及710d。
第一測量部710a和第三測量部710c藉由第一遮罩A以顯示區域DA的圖案化製程同時形成。另外，第二測量部710b和第四測量部710d藉由第二遮罩B以顯示區域DA的圖案化製程同時形成。因此，將從第一測量部710a至中心部700的距離和從第三測量部710c至中心部700的距離之間的差，與從第二測量部710b至中心部700的距離和從第四測量部710d至中心部700的距離之間的差進行比較，以精準測量遮罩對準失誤。
第3圖所示之對準標記AM是沒有發生對位失準之顯示裝置的對準標記。在此情況下，藉由在第一方向D1上從第一測量部710a至中心部700的距離(
Figure 108134132-A0305-02-0016-5
)，減去在第一方向D1上從第三測量部710c至中心部700的距離(
Figure 108134132-A0305-02-0016-6
)而得到的數值，與在第一方向D1上從第二測量部710b至中心部700的距離(
Figure 108134132-A0305-02-0016-7
)，減去在第一方向D1上從第四測量部710d至中心部700的距離(
Figure 108134132-A0305-02-0016-8
)而得到的數值是相同的。
亦即，在第3圖中，
Figure 108134132-A0305-02-0016-9
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-10
=
Figure 108134132-A0305-02-0016-11
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-12
，以及在此情況下，可判斷第一遮罩和第二遮罩在第一方向D1上無失誤地對準。實質上，當
Figure 108134132-A0305-02-0016-13
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-14
的數值與
Figure 108134132-A0305-02-0016-15
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-16
的數值之間的差小於0.8μm時，遮罩即被視為無失誤地對準。亦即，在根據本例示性實施例的顯示裝置中，對準標記AM的
Figure 108134132-A0305-02-0016-17
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-18
的數值與
Figure 108134132-A0305-02-0016-19
-
Figure 108134132-A0305-02-0016-20
的數值之間的差可以是約-0.8μm至約0.8μm。
相似地，藉由在第二方向D2上第一測量部710a與中心部700之間的距離
Figure 108134132-A0305-02-0017-21
，減去在第二方向D2上第三測量部710c與中心部700之間的距離
Figure 108134132-A0305-02-0017-23
而得到的數值，等同於藉由在第二方向D2上第二測量部710b與中心部700之間的距離
Figure 108134132-A0305-02-0017-24
，減去在第二方向D2上第四測量部710d與四邊形中心部700之間的距離
Figure 108134132-A0305-02-0017-25
而得到的數值。
亦即，在第3圖中，
Figure 108134132-A0305-02-0017-26
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-27
=
Figure 108134132-A0305-02-0017-28
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-29
，以及在此情況下，可判斷第一遮罩和第二遮罩區域在第二方向D2上無失誤地對準。實質上，當
Figure 108134132-A0305-02-0017-30
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-31
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0017-32
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-33
的數值之間的差小於0.8μm時，即判斷未發生對位失準則。亦即，在根據本例示性實施例的顯示裝置中，
Figure 108134132-A0305-02-0017-34
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-35
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0017-36
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-37
的數值可以是-0.8μm至0.8μm。
據此，當
Figure 108134132-A0305-02-0017-38
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-39
=
Figure 108134132-A0305-02-0017-40
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-41
且
Figure 108134132-A0305-02-0017-44
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-45
=
Figure 108134132-A0305-02-0017-46
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-47
時，第一遮罩和第二遮罩被判斷為在第一方向D1和第二方向D2上無失誤地對準。另外，即使當
Figure 108134132-A0305-02-0017-48
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-49
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0017-50
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-51
的數值之間的差為-0.8μm至0.8μm，且
Figure 108134132-A0305-02-0017-52
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-53
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0017-54
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-55
的數值間的差是-0.8μm至0.8μm時，第一遮罩和第二遮罩被判斷為無失誤地對準。
在第3圖中，對準標記AM在第一方向D1上的尺寸L1可以是15μm至30μm。另外，對準標記AM在第二方向D2上的尺寸L2可以是15μm至30μm。
第4圖和第5圖顯示當第一遮罩和第二遮罩對位失準時的對準標記的形狀。
第4圖所示之對準標記中，
Figure 108134132-A0305-02-0017-56
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-57
<
Figure 108134132-A0305-02-0017-58
-
Figure 108134132-A0305-02-0017-59
。因此，在形成第二測量部710b和第四測量部710d中使用的第二遮罩被判斷為在第二方向D2上對位 失準。另外，透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0018-60
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-61
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0018-62
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-63
的數值，可具體判斷對位失準的程度。
第5圖所示之對準標記為
Figure 108134132-A0305-02-0018-64
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-65
>
Figure 108134132-A0305-02-0018-66
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-67
。因此，在形成第一測量部710a和第三測量部710c中使用的第一遮罩被判斷為在第一方向D1上對位失準。具體而言，透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0018-68
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-69
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0018-70
-
Figure 108134132-A0305-02-0018-71
的數值，可具體判斷對位失準的程度。
在第1圖至第5圖中，已顯示四邊形中心部700和L形的測量部710a、710b、710c和710d，但對準標記AM的形狀不限於此。
測量部可具有任何形狀，只要可量測相對於中心部700之第3圖所示之距離
Figure 108134132-A0305-02-0018-72
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-73
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-74
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-75
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-76
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-77
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-78
和
Figure 108134132-A0305-02-0018-79
。距離
Figure 108134132-A0305-02-0018-80
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-81
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-82
和
Figure 108134132-A0305-02-0018-83
係透過與第一遮罩A相同的製程形成的測量部的各部之間的距離，而距離
Figure 108134132-A0305-02-0018-84
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-85
、
Figure 108134132-A0305-02-0018-86
和
Figure 108134132-A0305-02-0018-87
係透過與第二遮罩B和中心部700相同的製程形成的測量部的各部之間的距離。
例如，對準標記AM可具有如第6圖所示之形狀。第6圖顯示根據另一例示性實施例的對準標記。參照第6圖，對準標記AM包含環繞四邊形中心部700的第一測量部711a、第二測量部711b、第三測量部711c、第四測量部711d、第五測量部711e、第六測量部711f、第七測量部711g和第八測量部711h。第一測量部711a、第二測量部711b、第五測量部711e和第六測量部711f可藉由相同的製程形成，例如藉由透過第一遮罩圖案化之製程，且第三測量部711c、第四測量部711d、第七測量部711g和第八測量部711h可藉由相同的製程形成，例如藉由透過第二遮罩圖案化之製程。
在此情況下，相似於第3圖，第一方向D1上的對準失誤可透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-88
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-89
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-90
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-91
的數值來判斷，而第二方向D2上的對準失誤可透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-92
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-93
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-94
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-95
的數值來判斷。
第7圖顯示根據本發明另一例示性實施例之對準標記AM的形狀。參照第7圖，根據本例示性實施例的對準標記AM包含中心部700、環繞中心部700的第一測量部721以及環繞第一測量部721的第二測量部722。
第一測量部721係透過與藉由第一遮罩圖案化之製程相同的製程形成，而第二測量部722係透過與藉由第二遮罩圖案化之製程相同的製程形成。在第7圖的例示性實施例中，相似於第3圖，第一方向D1上的對準誤差可透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-96
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-97
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-98
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-99
的數值來判斷，而第二方向D2上的對準誤差可透過比較透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-100
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-101
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-102
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-103
的數值來判斷。
第8圖顯示根據本發明另一例示性實施例之對準標記AM的形狀。參照第8圖，根據本例示性實施例的對準標記AM包含中心部700和環繞中心部700的第一測量部730a、第二測量部730b、第三測量部730c和第四測量部730d。另外，對準標記AM包含環繞第一測量部730a、第二測量部730b、第三測量部730c、第四測量部730d的第五測量部730e、第六測量部730f、第七測量部730g和第八測量部730h。
在第8圖的例示性實施例中，相似於第3圖，第一方向D1上的對準失誤可透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-104
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-105
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-106
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-107
的數值來判斷，而第二方向D2上的對準失誤可透過比較
Figure 108134132-A0305-02-0019-108
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-109
的數值和
Figure 108134132-A0305-02-0019-110
-
Figure 108134132-A0305-02-0019-111
的數值來判斷。
此對準標記AM可設置於顯示面板1000的非顯示區域NDA中。具體而言，對準標記AM可設置於非顯示區域NDA的複數個驅動器800之間。第9圖顯示對準標記AM的具體位置。
參照第9圖，複數個驅動器800設置於非顯示區域NDA中，且導線以扇出形式(fan-out form)從驅動器800拉伸，並從而連接至顯示區域DA。因此，如第9圖所示，對準標記AM可設置於複數個驅動器800和與驅動器800連接的導線之間的空間中。
對準標記可設置於在製造顯示區域DA中所用的複數個遮罩彼此重疊的區域中。具體而言，一個或多個對準標記AM可設置於非顯示區域NDA中相鄰在第一方向上之顯示區域DA寬度之1/4點處與3/4點處。這是因為當使用兩個或更多個遮罩時，遮罩重疊區域位於第一方向上顯示區域DA的1/4至3/4點處。在第9圖中，對準標記AM僅設置於顯示區域DA的一個側邊，但對準標記AM可以顯示區域DA設置於其間地設置於兩相對側邊，。
另外，在第9圖中，各遮罩重疊區域中只設置一個對準標記AM，但對準標記數量不因此受限。
在第9圖中，對準標記AM設置於顯示面板1000中，但對準標記AM可設置於顯示面板1000之外。第10圖顯示對準標記AM設置於顯示面板1000之外的母基板2000。參照第10圖，對準標記AM設置於製造複數個顯示面板1000的母基板2000中且不設置於顯示面板1000上。在此情況下，對準標記被用於判斷遮罩之對準，並接著透過切割製程等來去除。因此，對準標記可不被設置在最後的顯示面板1000上。
接下來，根據本發明例示性實施例製造顯示裝置的方法將參照所附圖式進行描述。第11圖至第15圖是根據本發明例示性實施例之顯示裝置製造過程的剖面圖。
首先，製備包含顯示區域DA和非顯示區域NDA的基板110。顯示區域DA是電晶體、畫素電極等所在的區域。
參照第12圖，中心部700形成在相鄰於顯示區域DA的非顯示區域NDA中。在此情況下，中心部700可透過與用於形成顯示區域DA中的閘極線相同的製程形成。因此，中心部700可包含與顯示區域DA的閘極線相同的材料。
形成有中心部700的區域是在後續製程中遮罩彼此重疊的區域。因此，中心部700的確切位置可根據用於製造顯示面板的一個層之製程中使用之遮罩數量而改變。具體而言，當於形成顯示面板的一個層的製程中使用兩個遮罩時，中心部700可位於相鄰於第一方向D1上顯示面板的1/2點處。另外，當於形成顯示面板的一個層的製程中使用三個遮罩時，中心部700可分別位於顯示面板之第一方向D1上的1/3點處和2/3點處附近。因此，當使用兩個或更多個遮罩時，一個或多個中心部700可位於第一方向D1上之顯示面板的1/4點處與3/4點處之間。
接下來，參照第13圖，顯示區域DA的一個層係使用第一遮罩A形成。在此階段形成之顯示區域的層可以是包含資料線的導電層。可代替地，該層可以是包含畫素電極的電極層。在此情況下，第一測量部710a和第三測量部710c一起形成於中心部700的拐角處。第一測量部710a和第三測量部710c包含與藉由使用第一遮罩A在顯示區域中圖案化的層相同的材料。亦即，當藉由使用第一遮罩A在顯示區域DA中圖案化資料線時，第一測量部710a和第三測量部710c 包含資料線材料，而當藉由使用第一遮罩A在顯示區域DA中圖案化畫素電極時，第一測量部710a和第三測量部710c包含畫素電極材料。
第13圖例示性表示第一測量部710a和第三測量部710c為L形的結構，但本發明概念不局限於此。第一測量部710a和第三測量部710c可具有各種形狀，同時與中心部700相距固定的距離。
接下來，參照第14圖，藉由使用第二遮罩B在顯示區域中形成一個層，且同時形成第二測量部710b和第四測量部710d。在此情況下，第二測量部710b和第四測量部710d形成的區域，是第一遮罩A和第二遮罩B彼此重疊的區域。由第二遮罩B在顯示區域中形成的層與由第一遮罩A形成的層相同。因此，第二測量部710b和第四測量部710d也包含與第一測量部710a和第三測量部710c相同的材料。參照第14圖，在四邊形中心部700的拐角之間，第二測量部710b和第四測量部710d可形成在第一測量部710a和第三測量部710c形成的拐角處。
接下來，參照第15圖，藉由使用第三遮罩C在顯示區域形成一個層，且同時形成第一測量部710a和第三測量部710c。在此情況下，第三遮罩C形成的層與第一遮罩A和第二遮罩B形成的層相同。透過該製程，形成包含中心部700和測量部710a、710b、710c和710d的對準標記AM。
第11圖至第15圖顯示對準標記設置於顯示面板之非顯示區域中之顯示裝置的製造過程。將參照第16圖至第20圖，描述對準標記設置在顯示面板外之顯示裝置的製造過程。第16圖至第20圖顯示根據例示性實施例之顯示裝置的製造過程。
參照第16圖，製備包含顯示區域DA和非顯示區域NDA之顯示面板1000之母基板2000。為了方便描述，第16圖僅繪示一個顯示面板1000，但於母基板2000中可設置複數個顯示面板1000。
接下來，參照第17圖，形成中心部700。在此情況下，中心部700可透過與用於形成顯示區域DA中的閘極線相同的製程形成。因此，中心部700包含與顯示區域DA的閘極線相同的材料。
中心部700形成處是遮罩彼此重疊的區域。當於顯示面板1000中使用兩個或更多個遮罩時，一個或多個中心部700可被設置在第一方向上顯示面板1000之1/4點處和3/4點處之間。
接下來，參照第18圖，藉由使用第一遮罩A在顯示區域DA中形成一個層。在這種情況下形成的層可以是資料線或畫素電極。在此情況下，第一測量部710a和第三測量部710c一起形成於中心部700的拐角處。第一測量部710a和第三測量部710c包含與藉由使用第一遮罩A在顯示區域DA圖案化之層相同的材料。
接下來，參照第19圖，藉由使用第二遮罩B在顯示區域DA中形成一個層，且同時形成第二測量部710b和第四測量部710d。在此情況下，第二測量部710b和第四測量部710d形成的區域是第一遮罩A和第二遮罩B彼此重疊的區域。第二測量部710b和第四測量部710d亦包含與第一測量部710a和第三測量部710c相同的材料。參照第19圖，在四邊形中心部700的拐角之間，第二測量部710b和第四測量部710d可形成於第一測量部710a和第三測量部710c未形成之區域。
接下來，參照第20圖，藉由使用第三遮罩C在顯示區域DA形成一個層，且同時形成第一測量部710a和第三測量部710c。在此情況下，由第三遮罩 C形成的層也與由第一遮罩A和第二遮罩B形成的層相同。透過該製程，形成包含中心部700和測量部710a、710b、710c和710d的對準標記AM。
接下來，可藉由切割在母基板2000中的顯示面板1000來形成顯示裝置。因此，對準標記沒有設置於最後製造的顯示面板1000中。亦即，對準標記可僅於製造過程期間設置。
在第11圖至第15圖以及第16圖至第20圖中，於製造過程中使用三個遮罩，但即使遮罩數量改變，也可透過相同的製程形成對準標記AM。亦即，對準標記AM數量依據遮罩數量而變化，而具體形成原理與參照第11圖至第15圖以及第16圖至第20圖描述的相同。另外，在第11圖至第15圖和第16圖至第20圖中，使用對準標記AM具有與第1圖所示之對準標記相同的形狀之結構實例來描述製造過程，但即使對準標記有著如第6圖至第8圖所示之形狀，對準標記AM可透過相似於第11圖至第15圖和第16圖至第20圖所示之製程來製造。亦即，形成各個對準標記的測量部的一部分係透過與第一遮罩相同的製程來形成，而另一部分可透過與第二遮罩相同的製程來形成。
接下來，將參照圖式詳細描述顯示面板的顯示裝置中的畫素。
第21圖是根據例示性實施例之顯示區域的畫素佈局圖，而第22圖是沿著線XXII-XXII’擷取之第21圖的顯示裝置的剖面圖。
參照第21圖和第22圖，顯示面板包含第一基板100、重疊於第一基板100的第二基板200以及設置於第一基板100與第二基板200之間並包含液晶分子31的液晶層3。
首先，將描述第一基板100。包含閘極線121和閘極電極124的閘極導體設置於由透明玻璃或塑膠製成的第一基底基板110的一側。
閘極線121可在第一方向D1上延伸。閘極導體可包含各種金屬或導體，並可以多層結構形成。閘極絕緣層140設置於閘極導體與液晶層3之間。閘極絕緣層140可包含無機絕緣材料。
半導體層154設置於閘極絕緣層140的一側上。
資料線171設置於半導體層154與液晶層3之間，並在第二方向DR2上延伸，因此與閘極線121交錯。源極電極173從資料線171延伸，因此可重疊於閘極電極124。汲極電極175與資料線171分隔開，並如第21圖所示，汲極電極175可形成為朝向源極電極173中心延伸的條型形狀。
在源極電極173與汲極電極175之間的區域，半導體層154的一部分可不與資料線171和汲極電極175重疊。除了那些未重疊的部分以外，半導體層154可具有與資料線171和資料電極175實質上相同的平面形狀。
一個閘極電極124、一個源極電極173和一個汲極電極175與半導體層154一起形成一個薄膜電晶體，且薄膜電晶體之通道是源極電極173和汲極電極175之間之半導體層154的區域。
鈍化層180設置於源極電極173和汲極電極175以及液晶層3之間。鈍化層180可包含無機絕緣材料，如氮化矽或氧化矽；有機絕緣材料；低介電常數的絕緣材料等。
鈍化層180包含重疊於汲極電極175的一部分的接觸孔185。
第一電極191設置於鈍化層180和液晶層3之間。第一電極191透過接觸孔185物理性和電性連接至汲極電極175，並從汲極電極175接收資料電壓。第一電極191可以是畫素電極。
第二基板200包含第二基底基板210、遮光構件220、濾色器230、平坦化層250以及第二電極270。
遮光構件220和濾色器230設置於第二基底基板210上。遮光構件220可在第二方向D2上延伸，同時重疊於資料線171。雖然沒有繪示出，但遮光構件220可進一步包含在第一方向D1上延伸同時重疊於閘極線121的水平部。然而，遮光構件220可予以省略。
接下來，設置覆蓋於遮光構件220和濾色器230的平坦化層250。依據例示性實施例，平坦化層250可予以省略。設置第二電極270而重疊於平坦化層250。第二電極270可以是共用電極。
於上文中，已將顯示區域DA例示性地描述為液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)，但顯示區域DA可以是包含有機發光元件的顯示裝置。
第23圖是根據本發明例示性實施例之顯示面板的剖面圖。參照第23圖，由氧化矽或氮化矽製成的緩衝層111設置於第一基底基板110上。
半導體層設置於緩衝層111上。半導體層154包含源極區域153、汲極區域155和通道區域151。源極區域153和汲極區域155摻雜有p型雜質，而通道區域151設置於源極區域153與汲極區域155之間。
閘極絕緣層140設置於半導體層154和緩衝層111上，並可包含氧化矽或氮化矽。閘極電極124設置於閘極絕緣層140上，且重疊於半導體層154的通道區域151。
層間絕緣層160設置於閘極電極124和閘極絕緣層140上。層間絕緣層160包含第一接觸孔165和第二接觸孔163。
包含資料線171、源極電極173和汲極電極175的資料導體設置於層間絕緣層160上。
汲極電極175透過第一接觸孔165與汲極區域155連接。另外，源極電極173透過第二接觸孔163與源極區域153連接。
鈍化層180設置於資料導體171、173和175以及層間絕緣層160上，並包含接觸孔185。
第一電極191設置於鈍化層上。第一電極191可以是畫素電極。第一電極191透過接觸孔185與汲極電極175連接。障肋(barrier rib)361設置於鈍化層180上。發光元件層370被設置並重疊於第一電極191，而第二電極270設置以重疊於發光元件層370。第二電極270可以是共用電極。
在此情況下，第一電極191可以是為電洞注入電極的陽極，而第二電極270可以是為電子注入電極的陰極。然而，本發明概念不限於此，且依據顯示裝置的驅動方法，第一電極191可以是陰極，第二電極270可以是陽極。
發光元件層370可包含發射層、電子傳輸層和電洞傳輸層。
封裝層390被設置並重疊於第二電極270。封裝層390可包含有機材料或無機材料，且有機材料和無機材料可交替堆疊。封裝層390可保護顯示裝置免受外部濕氣、熱量和其它污染物的影響。
儘管本文已闡述了一些例示性實施例以及實施方案，其它實施例及變更將可從本說明顯而易見。因此，本發明概念不侷限於這些實施例，而是侷限於所附申請專利範圍以及對於本領域通常知識者顯而易見的各種明顯的變更及等效配置的廣義範疇。
1000:顯示面板
700:中心部
710a:第一測量部
710b:第二測量部
710c:第三測量部
710d:第四測量部
AM:對準標記
D1:第一方向
D2:第二方向
DA:顯示區域
LA1:第一象限
LA2:第二象限
LA3:第三象限
LA4:第四象限
NDA:非顯示區域

Claims (10)

  1. 一種顯示裝置，其包含：一基板，具有一顯示區域和一非顯示區域；以及一對準標記，設置於該基板的該非顯示區域中；其中：該對準標記包含一四邊形中心部和環繞該四邊形中心部的複數個測量部；該複數個測量部包含四個或更多個測量部；以及該複數個測量部中的每一個測量部包含平行於該四邊形中心部的兩側邊的複數個側邊；其中，該複數個測量部的一第一部份係對應於形成該顯示區域中一第一區域的一第一遮罩位置，該複數個測量部的一第二部份係對應於形成該顯示區域中不同於該第一區域的一第二區域的一第二遮罩位置；該第一遮罩位置與該第二遮罩位置之間的一對準失誤係根據該第一部分、該第二部分及該四邊形中心部的相對位置關係而決定。
  2. 如請求項1所述之顯示裝置，其中一個或多個該對準標記係設置在一第一方向上該非顯示區域的1/4點處與3/4點處之間。
  3. 如請求項1所述之顯示裝置，其中該複數個測量部包含：一第一測量部，包含平行於該四邊形中心部的一第一側邊和一第四側邊的複數個側邊並設置相鄰於該第一側邊和該第 四側邊；一第二測量部，包含平行於該四邊形中心部的該第一側邊和一第二側邊的複數個側邊並設置相鄰於該第一側邊和該第二側邊；一第三測量部，包含平行於該四邊形中心部的該第二側邊和一第三側邊的複數個側邊並設置相鄰於該第二側邊和該第三側邊；以及一第四測量部，包含平行於該四邊形中心部的該第三側邊和該第四側邊的複數個側邊並設置相鄰於該第三側邊和該第四側邊。
  4. 如請求項3所述之顯示裝置，其中藉由在一第二方向上從該四邊形中心部至該第一測量部的距離，減去在該第二方向上從該四邊形中心部至該第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在該第二方向上從該四邊形中心部至該第二測量部的距離，減去在該第二方向上從該四邊形中心部至該第四測量部的距離而得到的數值之間的差，係為約-0.8μm至約0.8μm。
  5. 如請求項3所述之顯示裝置，其中藉由在一第一方向上從該四邊形中心部至該第一測量部的距離，減去在該第一方向上從該四邊形中心部至該第三測量部的距離而得到的數值，與藉由在該第一方向上從該四邊形中心部至該第二測量部的距離，減去在該第一方向上從該四邊形中心部至該第四測量部的距離而得到的數值之間的差，係為約-0.8μm至約0.8μm。
  6. 如請求項1所述之顯示裝置，其中該四邊形中心部和該複數個測量部包含不同的材料。
  7. 如請求項1所述之顯示裝置，其中：該四邊形中心部包含與該顯示區域的一閘極線相同的材料；且該複數個測量部包含與該顯示區域的一資料線相同的材料，或與該顯示區域的一畫素電極相同的材料。
  8. 如請求項1所述之顯示裝置，其中：該四邊形中心部包含與該顯示區域的一資料線相同的材料；以及該複數個測量部包含與該顯示區域的一畫素電極相同的材料。
  9. 如請求項1所述之顯示裝置，進一步包含設置於該非顯示區域中的複數個驅動器；其中該對準標記設置於該複數個驅動器之間。
  10. 如請求項1所述之顯示裝置，其中該非顯示區域包含於製造過程期間兩個或更多個遮罩彼此重疊的一區域；且該對準標記設置於遮罩重疊的該區域中。
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