TWI826634B - 管式隔膜泵 - Google Patents
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Abstract
一種管式隔膜包括：具有泵頭部的管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入輸送流體，並且將被導入的輸送流體排出到其外部的泵室；驅動頭，其保持所述管式隔膜，並且在與所述輸送流體的輸送方向交叉的方向上直接推拉所述泵頭部以使得所述泵室伸縮；驅動單元，其在使得所述泵室伸縮的驅動方向上，對所述驅動頭進行往返驅動；控制部，其控制所述驅動單元，所述管式隔膜，其與所述泵室的所述輸送流體的輸送方向交叉截面形狀是扁平形狀，所述扁平形狀中，和所述驅動單元的驅動方向上的長度相比，與該驅動方向交叉的方向上的長度更長，並且沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面，在維持平行狀態下進行移動。
Description
本發明係與一種管式隔膜泵有關。
已知一種使得作為管狀柔軟部件的管式隔膜變形，以輸送微小流量的輸送流體的管式隔膜泵(例如，參照日本特開2009-047090號公報)。這種管式隔膜泵，藉由對管式隔膜的外側的壓力傳遞介質進行加壓減壓，從而使得管式隔膜進行收縮、膨脹並對輸送流體進行輸送。
然而，上述日本特開2009-047090號公報中所記載的管式隔膜泵，藉著由高分子凝膠形成的壓力傳遞介質，使得泵室的容積可變的管式隔膜進行收縮、膨脹。因此，與將水、油等液體用作壓力傳遞介質的情況相比，能夠更好地抑制洩漏、氣泡的產生，但是仍然需要在泵頭中封裝入壓力傳遞介質，因此存在發生洩漏的問題。此外，這種管式隔膜泵，存在管式隔膜的更換複雜並且難以實現泵頭的小型化的問題。
另外，還存在萬一壓力傳遞介質發生洩漏，會污染泵周圍環境的問題，並且在通常所使用的截面形狀為圓形的管式隔膜中，還存在管式隔膜的變形量(壓縮量)與輸送流體的吐出量之間不具有線性關係的問題。
本發明，鑒於上述情況而提出，目的在於提供一種管式隔膜泵，該管式隔膜泵不需要促使管式隔膜進行動作的壓力傳遞介質，並且管式隔膜的變形量與輸送流體的吐出量之間具有線性關係，且能夠容易地更換管式隔膜。
本發明的一實施方式的管式隔膜泵，其特徵在於，包括：具有泵頭部的管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入輸送流體，並且將被導入的輸送流體排出到其外部的泵室；驅動頭，其保持所述管式隔膜，並且在與所述輸送流體的輸送方向交叉的方向上直接推拉所述泵頭部以使得所述泵室伸縮；驅動單元，其在使得所述泵室伸縮的驅動方向上，對所述驅動頭進行往返驅動；控制部，其控制所述驅動單元，所述管式隔膜，與所述泵室的所述輸送流體的輸送方向交叉的截面形狀是扁平形狀，所述扁平形狀中，和所述驅動單元的驅動方向上的長度相比，與該驅動方向交叉的方向上的長度更長，並且沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面，在維持平行狀態下進行移動。
在本發明的一實施方式的管式隔膜泵中，所述控制部控制所述驅動單元，以在沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面彼此不接觸的衝程內，往返驅動所述驅動頭。
在管式隔膜泵的其他實施方式中，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面側，具有朝向所述泵室的所述驅動方向的外側突出的肋。
另外，在管式隔膜泵的其他實施方式中，所述驅動頭具有夾持所述肋的固定部件。
另外，在管式隔膜泵的其他實施方式中，所述管式隔膜的與所述泵室的所述輸送方向正交的截面形狀，為六邊形狀、長圓形狀或橢圓形狀。
另外，在管式隔膜泵的其他實施方式中，所述管式隔膜，在與所述泵室的所述輸送方向正交的截面上，沿所述驅動方向對置的壁部的壁厚，比沿與所述驅動方向交叉的方向對置的壁部的壁厚更厚。
根據本發明，不需要促使管式隔膜進行動作的壓力傳遞介質，並且管式隔膜的變形量與輸送流體的吐出量之間具有線性關係，且能夠容易地更換管式隔膜。
1:管式隔膜泵
2:框架
2a,2b,2c,2d:框體
2e,2f,2g:支柱
2h:螺絲
21:吸入閥
22:吐出閥
23,25:配管
24:抗蝕劑瓶
26:噴嘴
3:泵主體
4:泵室
4a、4b:接液面
5:管式隔膜
5a:吸入口
5b:吐出口
5c:泵頭部
5d,5e:肋
5f,5g:壁部
6:滾珠絲杠
7:步進馬達
8:驅動頭
8a,8b:固定部件
8c:驅動部件
81a:第1固定件
81b:第2固定件
82:螺栓
83:通孔
84:螺絲孔
9:遮蔽板
10:起始位置感測器(光感測器)
100:泵系統
20:半導體晶圓
30:空氣供應源
31:第1電磁閥(SV1)
32:第2電磁閥(SV2)
33:壓力調節閥
40:控制部
R:抗蝕劑
P:輸送方向
PP:驅動方向
圖1是概略地示出本發明的一實施方式的管式隔膜泵的整體結構的說明圖。
圖2是概略地示出該管式隔膜泵的結構的說明圖。
圖3是示出該管式隔膜泵的管式隔膜的立體圖。
圖4是示出該管式隔膜的俯視圖。
圖5是示出該管式隔膜的側視圖。
圖6是圖4的B-B’線放大剖視圖。
圖7是圖1的A-A’線放大剖視圖。
圖8是示出該管式隔膜泵的動作的時序圖。
圖9是示出該管式隔膜泵的動作的直線性(線性關係：Linearity)的圖。
圖10是示出本發明的另一實施方式的管式隔膜泵的管式隔膜的剖視圖。
圖11是示出本發明的又一實施方式的管式隔膜泵的管式隔膜的剖視圖。
以下，參照附圖，詳細說明本發明的實施方式的管式隔膜泵。但是，以下的實施方式，不對各個請求項所涉及的發明進行限定，另外，並非實施方式中所說明的特徵組合的全部都是本發明的解決方法所必須的。
圖1是示出本實施方式的包含管式隔膜泵1的泵系統100的整體結構的圖。本實施方式的管式隔膜泵1，例如可用作定量泵，作為輸送流體，例如可輸送塗覆在半導體晶圓20的上表面的抗蝕劑R，但本發明不限於此。需要說明的是，圖1示出了抗蝕劑R的吸入步驟結束時管式隔膜泵1的狀態，圖2示出了抗蝕劑R的吐出步驟結束時管式隔膜泵1的狀態。
如圖1及圖2所示，管式隔膜泵1，包括：固定於未圖示的固定部的泵主體3，和被該泵主體3驅動的管式隔膜5。
泵主體3，具有：驅動頭8，其保持並按壓管式隔膜5；步進馬達7，其作為通過滾珠絲杠6驅動該驅動頭8的驅動單元。泵主體3被支撐在框架2上。框架2，由多個框體2a、2b、2c及2d和固定在這些框體2a~2d之間的多根支柱2e、2f及2g等構成。框體2a，固定於未圖示的固
定部。在框體2a、2b之間保持步進馬達7。步進馬達7的驅動軸，通過滾珠絲杠6連接於驅動頭8。
驅動頭8，具備：保持管式隔膜5的固定部件8a、8b；對固定部件8a進行往返驅動的驅動部件8c。驅動部件8c，貫穿框體2c的中心孔，與滾珠絲杠6連接並且被往返驅動。固定部件8a，固定於驅動部件8c的頂端。固定部件8b，被固定于前方的框體2d的後表面，與固定部件8a對置。固定部件8a、8b，從前後對管式隔膜5進行保持。能夠通過螺絲2h從框體2c適當地拆卸框體2d。
管式隔膜5，例如由四氟化乙烯‧全氟烷氧基乙烯共聚树脂(PFA)构成，通过吹塑成形而形成。如圖3~圖6所示，管式隔膜5，上下同軸地配置有圓筒狀的吸入口5a及吐出口5b，並且在兩者之間具有寬度增大的泵頭部5c。泵頭部5c的內部形成有泵室4，並且泵頭部5c在驅動方向PP上直接被驅動頭8推拉。由此，泵室4進行伸縮。通過伴隨該伸縮的泵動作，在泵室4中，沿著輸送方向P(第1方向)輸送作為輸送流體的抗蝕劑R。如圖6所示，管式隔膜5的泵頭部5c的與輸送方向P正交的截面形狀是扁平形狀，該扁平形狀中，和泵頭部5c的驅動方向PP(第2方向)上的長度相比，與驅動方向PP(第2方向)交叉的方向(第3方向)上的長度更長。
即，管式隔膜5，泵頭部5c的與輸送方向P(第1方向)交叉的截面形狀是扁平形狀，該扁平形狀的與輸送方向P(第1方向)及驅動方向PP(第2方向)交叉的方向(第3方向)上的長度比驅動方向PP(第2方向)上的長度更長。而且，管式隔膜5，在泵頭部5c的輸送方向P(第1方向)上的一側設置有吸入口5a，在另一側設置有吐出口5b，並且形
成為泵頭部5c的與輸送方向P(第1方向)交叉的截面，比吸入口5a及吐出口5b的與輸送方向P(第1方向)交叉的截面更大。
管式隔膜5，在本實施方式中，泵頭部5c的與輸送流體的輸送方向P正交的截面形狀，例如可形成為六邊形。需要說明的是，泵室4的截面形狀不限於此。
另外，管式隔膜5，在本實施方式中，在泵頭部5c的外周面側具有一對肋5d，這一對肋5d形成為朝向驅動方向PP的外側突出並且沿著輸送方向P延伸。該肋5d，如圖6所示，與輸送方向P正交的截面形成為越朝向泵頭部5c的外周面側突出則寬度越寬的倒梯形形狀。需要說明的是，肋5d的截面形狀不限於此。
如圖7所示，管式隔膜5的肋5d被驅動頭8的固定部件8a、8b夾持著。即，固定部件8a、8b分別構成為具備：形成有通孔83的第1固定件81a；形成有螺絲孔84的第2固定件81b；以及安裝于通孔83及螺絲孔84中的螺栓82。
並且，通過使用第1固定件81a及第2固定件81b夾持肋5d，並使用螺栓82連接第1固定件81a與第2固定件81b，可將管式隔膜5裝卸自由地固定於固定部件8a、8b。
另外，在管式隔膜5的與輸送方向P及驅動方向PP正交的方向上的外側面上，在寬度從吸入口5a及吐出口5b朝向泵頭部5c增大的部分，形成有肋5e。
管式隔膜5的吸入口5a連接於由氣動閥形成的吸入閥21，管式隔膜5的吐出口5b連接於由氣動閥形成的吐出閥22。管式隔膜5的吸入口5a，通過吸入閥21及配管23，連接於存儲抗蝕劑R的抗蝕劑瓶24。管式隔膜5的吐出口5b，通過吐出閥22及配管25，連接於噴嘴26。另一
方面，從空氣供應源30供應的空氣，經由壓力調節閥33被供應給第1電磁閥(SV1)31及第2電磁閥(SV2)32。第1電磁閥31，給吐出閥22供應用於開啟關閉驅動的空氣。第2電磁閥32，給吸入閥21供應用於開啟關閉驅動的空氣。
在驅動頭8的驅動部件8c的下端部，安裝有遮蔽板9。可通過起始位置感測器(光感測器)10檢測遮蔽板9，在泵主體3中，該起始位置感測器(光感測器)10配置在固定部件8a最遠離固定部件8b的位置，即驅動部件8c後退最多的位置附近。控制部40，能夠基於預設的規定的定時，或基於來自起始位置感測器10的信號，控制步進馬達7、第1電磁閥31及第2電磁閥32。在前者的情況下，控制部40，能夠基於來自起始位置感測器10的信號，判斷為驅動部件8c沒有回歸原點，並進行錯誤顯示、錯誤警報等錯誤處理。
如此構成的管式隔膜泵1，通過來自控制部40的控制，在抗蝕劑R的吐出動作時，通過步進馬達7使得驅動頭8的驅動部件8c在驅動方向PP上前進。由此，管式隔膜5的泵頭部5c，被固定部件8a、8b按壓，泵室4的對置的接液面4a、4b彼此接近，從而泵室4收縮。
另一方面，在抗蝕劑R的吸入動作時，步進馬達7使得驅動頭8的驅動部件8c在驅動方向PP上後退。由此，管式隔膜5的泵頭部5c直接被固定部件8a、8b拉伸，泵室4膨脹，回歸到原點位置。因此，不需要促使管式隔膜5進行動作的現有的壓力傳遞介質，不會產生封裝液體的洩漏、封裝液體中產生空氣導致吐出量的減少等問題。
這裡，如果管式隔膜5包括泵頭部5c在內全部為圓筒形狀，那麼與輸送方向P正交的截面的面積，在泵室4的收縮初期不怎麼變化，
且變化量隨著收縮進程的進行而變動，因此存在管式隔膜5的泵室4的變形量(壓縮量)與抗蝕劑R的吐出量之間無法確保線性關係，難以進行定量控制的問題。
與之相反，根據本實施方式的管式隔膜泵1，泵室4的與輸送方向P正交的截面為扁平形狀，更具體地為六邊形，因此接液面4a、4b在不怎麼變化且維持平行的狀態下，朝向彼此接近的方向移動。此時，如果肋5e的部分容易變形，那麼能夠進一步抑制接液面4a、4b的變形。如此，根據本實施方式的管式隔膜泵1，從泵室4的收縮初期開始，與伸縮衝程對應的截面面積的變化量就比較大，並且在整個收縮進程中均能夠是恒定的變化。因此，根據本實施方式的管式隔膜泵1，在吐出動作時，管式隔膜5的泵室4的變形量(壓縮量)與抗蝕劑R的吐出量之間能夠維持線性關係。
需要說明的是，如果控制部40控制步進馬達7，在泵室4的沿驅動方向PP對置的接液面4a、4b彼此不會接觸的衝程內，對驅動頭8進行往返驅動，那麼能夠防止抗蝕劑R內產生污垢，並且能夠延長管式隔膜5的壽命。
另外，通過將管式隔膜5從固定部件8a、8b，吸入閥21及吐出閥22中取出，能夠容易地進行管式隔膜5的更換。因此，在化學液體黏著以及更換化學液體時，僅僅更換管式隔膜5即可，維修變容易。另外，通過改變管式隔膜5的尺寸，能夠簡單地改變管式隔膜泵1的最大吐出量，因此能夠擴大可適用的吐出範圍。
接著，對使用管式隔膜泵1的泵系統100的動作進行說明。
需要說明的是，在以下的說明中，在抗蝕劑R已填充在泵室4內之後，管式隔膜5從位於原點位置的待機狀態(圖1所示的狀態)開始1個迴圈的動作。另外，從控制部40輸出的CW脈衝信號，使得步進馬達7的馬達軸沿順時針(CW)旋轉，使得滾珠絲杠6朝向管式隔膜5前進。另一方面，從控制部40輸出的CCW脈衝信號，使得步進馬達7的馬達軸沿逆時針(CCW)旋轉，使得滾珠絲杠6以遠離管式隔膜5的方式後退。
如圖8所示，在待機狀態，控制部40向步進馬達7輸出CW脈衝信號。與此同時，控制部40，開啟第1電磁閥31(SV1為ON)，並開啟吐出閥22。即，若接收到CW脈衝信號，則步進馬達7使得滾珠絲杠6與驅動頭8一起朝向壓縮管式隔膜5的方向前進。另外，若第1電磁閥31開啟，則從空氣供應源30經由壓力調節閥33被供應給第1電磁閥31的空氣，將吐出閥(氣動閥)22開啟並且將吐出口5b與配管25及噴嘴26之間開通。由此，管式隔膜泵1的吐出動作開始。
需要說明的是，規定時間T1是指，在吐出開始時受到吐出閥22的影響而抗蝕劑R的液端面朝向泵室4側被回吸的情況下，用於防止該回吸現象的延遲時間。因此，在發生回吸現象的情況下，進行控制以使得吐出閥22延遲規定時間T1後開啟即可。
當吐出動作開始時，管式隔膜5的泵室4，在維持接液面4a、4b彼此平行的狀態下，被驅動頭8直接按壓並且持續收縮。由此，將與泵室4收縮並移動的體積等量的抗蝕劑R，從泵室4經過吐出口5b、吐出閥22、配管25及噴嘴26，吐出(塗覆)到半導體晶圓20的上表面。
在吐出動作中，例如，當計數到預設的規定的CW脈衝信號的脈衝次數時，控制部40停止對步進馬達7輸出CW脈衝信號。與此同
時，控制部40，關閉第1電磁閥31(SV1為OFF)，並關閉吐出閥22。即，當CW脈衝信號的輸出停止時，步進馬達7的動作也停止，因此朝向壓縮管式隔膜5的方向與驅動頭8一起前進的滾珠絲杠6停止。另外，當第1電磁閥31關閉時，停止給吐出閥22供應空氣，因此吐出閥22關閉，並且吐出口5b與配管25及噴嘴26之間閉塞。由此，管式隔膜泵1的吐出動作結束。
吐出動作結束後，等待直到經過規定時間T2，在經過規定時間T2後，控制部40向步進馬達7輸出CCW脈衝信號。與此同時，控制部40，開啟第2電磁閥32(SV2為ON)，並開啟吸入閥21。需要說明的是，規定時間T2是指，在吐出動作結束後，為了防止步進馬達7失步而暫時停止動作的時間，優選為0.5秒以上。
如上文所述，若接收到CCW脈衝信號，則步進馬達7使得滾珠絲杠6與驅動頭8一起後退以拉伸管式隔膜5。另外，當第2電磁閥32開啟時，從空氣供應源30經由壓力調節閥33被供應給第2電磁閥32的空氣，將吸入閥(氣動閥)21開啟並且將吸入口5a與配管23及噴嘴26之間開通。由此，管式隔膜泵1的吸入動作開始。
當吸入動作開始時，管式隔膜5的泵室4的接液面4a、4b直接被驅動頭8拉伸而持續分離。由此，將與泵室4膨脹並位移的體積等量的抗蝕劑R，從抗蝕劑瓶24經過配管23、吸入閥21及吸入口5a，導入到泵室4內。
然後，在吸入動作中，在安裝於驅動頭8的驅動部件8c的下端部的遮蔽板9被起始位置感測器10檢測到的時間點，或者在預設的規定的時間點，控制部40停止向步進馬達7輸出CCW脈衝信號。即，當
CCW脈衝信號的輸出停止時，步進馬達7的動作也停止，因此與驅動頭8一起後退以使得管式隔膜5膨脹的滾珠絲杠6，在原點位置停止。
吸入動作結束後，等待直到經過規定時間T3，在經過規定時間T3後，控制部40，關閉第2電磁閥32(SV2為OFF)，並關閉吸入閥21。即，當第2電磁閥32關閉時，停止給吸入閥21供應空氣，因此吸入閥21關閉並將吸入口5a與配管23及噴嘴26之間閉塞。由此，管式隔膜泵1的吸入動作結束，再次成為待機狀態。如上述，管式隔膜泵1完成1個迴圈的動作。需要說明的是，上述的規定時間T0~T3是可任意設置的時間。
在如此進行動作的管式隔膜泵1中，由於管式隔膜5的泵頭部5c的橫截面形狀為扁平形狀，因此如圖9所示，如以泵的吐出量(mL)為縱軸、設定的脈衝次數(pulse)為橫軸的圖中所繪製的，抗蝕劑R的吐出量與泵室4的變形量(壓縮量)之間的關係，大致示出了直線性(線性關係)。另外，在該實施方式中，通過控制步進馬達7的脈衝次數來直接驅動管式隔膜5，因此與空氣驅動類型相比解析度更高，例如能夠以0.01mL的水準控制流量。因此，容易改變管式隔膜泵1的最大吐出量並且容易設計能夠適用的吐出範圍。
需要說明的是，管式隔膜5的形狀，不限於上述的實施方式的形狀。例如，管式隔膜5，形成泵室4的泵頭部5c可以具有如下的截面形狀。即，如圖10所示，管式隔膜5的泵室4，在其他的實施方式中，與輸送方向P正交的截面形狀，例如可形成為長圓形。
另外，如圖11所示，在又一實施方式中，管式隔膜5的泵室4可以形成為，大致橢圓形或長圓形，並且在泵室4的與輸送方向P正
交的截面上，沿驅動方向PP對置的壁部5f、即變形量小的部分的壁厚，比沿與驅動方向PP正交的方向對置的壁部5g、即變形量大的部分的壁厚更厚。
在這些實施方式中，管式隔膜5的泵室4具有扁平形狀，該扁平形狀的在沿驅動方向PP對置的接液面4a、4b之間的間隔，比在與驅動方向PP正交的方向上對置的面之間的間隔更短，因此上述的變形量與吐出量之間能夠維持線性關係。特別地，在如圖11所示的管式隔膜5中，通過改變泵室4的壁厚，可容易地維持朝向彼此進退的接液面4a、4b的形狀，因此可改善泵室4的變形量(壓縮量)與吐出量之間的線性關係，更容易進行定量控制。
以上，雖然說明了本發明的若干實施方式，但是這些實施方式，僅僅作為示例被提出，不意在限定本發明的範圍。這些新穎的實施方式，能夠以其他各種各樣的方式進行實施，在不脫離發明的要旨的範圍內，能夠進行各種省略、替換、變更。這些實施方式及其變形，包含在發明的範圍及要旨內，並且包含在記載於請求項的範圍內的發明及與其等價的範圍內。
在本說明書中，例如公開了以下幾點。
(附記1)
一種管式隔膜泵，其特徵在於，具備：具有泵頭部的管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入輸送流體，並且將被導入的輸送流體排出到其外部的泵室；驅動頭，其保持所述管式隔膜，並且在與所述輸送流體的輸送方向交叉的方向上直接推拉所述泵頭部以使得所述泵室伸縮；
驅動單元，其在使得所述泵室伸縮的驅動方向上，對所述驅動頭進行往返驅動；控制部，其控制所述驅動單元，所述管式隔膜，與所述泵室的所述輸送流體的輸送方向交叉的截面形狀是扁平形狀，所述扁平形狀中，和所述驅動單元的驅動方向上的長度相比，與該驅動方向交叉的方向上的長度更長，並且沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面，在維持平行的狀態下進行移動。
(附記2)
如附記1所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述控制部控制所述驅動單元，以在沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面彼此不接觸的衝程內，往返驅動所述驅動頭。
(附記3)
如附記1所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面側，具有朝向所述泵室的所述驅動方向的外側突出的肋。
(附記4)
如附記3所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述驅動頭具有夾持所述肋的固定部件。
(附記5)
如附記1所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜的與所述泵室的所述輸送方向正交的截面形狀，為六邊形狀、長圓形狀或橢圓形狀。
(附記6)
如附記1所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在與所述泵室的所述輸送方向正交的截面上，沿所述驅動方向對置的壁部的壁厚，比沿與所述驅動方向交叉的方向對置的壁部的壁厚更厚。
(附記7)
一種管式隔膜泵，其特徵在於，具備：具有泵頭部的管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入輸送流體，並且將被導入的輸送流體排出到其外部的泵室；驅動頭，其保持所述管式隔膜，並且在與所述輸送流體的輸送方向交叉的方向上直接推拉所述泵頭部以使得所述泵室伸縮；驅動單元，其在使得所述泵室伸縮的驅動方向上，對所述驅動頭進行往返驅動；控制部，其控制所述驅動單元；所述管式隔膜，與所述泵室的所述輸送流體的輸送方向交叉的截面形狀是扁平形狀，所述扁平形狀中，和所述驅動單元的驅動方向上的長度相比，與該驅動方向交叉的方向上的長度更長，並且所述泵頭部的寬度增大而比所述輸送流體的輸送方向上的兩端的部分的寬度更寬。
(附記8)
如附記7所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述控制部控制所述驅動單元，以在沿所述泵室的所述驅動方向對置的一對接液面彼此不接觸的衝程內，往返驅動所述驅動頭。
(附記9)
如附記7所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面側，具有朝向所述泵室的所述驅動方向的外側突出的肋。
(附記10)
如附記9所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述驅動頭具有夾持所述肋的固定部件。
(附記11)
如附記7所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜的與所述泵室的所述輸送方向正交的截面形狀，為六邊形狀、長圓形狀或橢圓形狀。
(附記12)
如附記7所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在與所述泵室的所述輸送方向正交的截面上，沿所述驅動方向對置的壁部的壁厚，比沿與所述驅動方向交叉的方向對置的壁部的壁厚更厚。
(附記13)
一種管式隔膜泵，其特徵在於，具備：具有泵頭部的管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入輸送流體，並且將被導入的輸送流體排出到其外部的泵室；驅動頭，其保持所述管式隔膜，並且在與所述輸送流體的輸送方向即第1方向交叉的第2方向上，直接推拉所述泵頭部以使得所述泵室伸縮；驅動單元，其在所述第2方向上，對所述驅動頭進行往返驅動；控制部，其控制所述驅動單元，在所述管式隔膜中，所述泵頭部的與所述第1方向交叉的截面形狀為扁平形狀，所述扁平形狀中，與所述第2方向上的長度相比，與所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上的長度更長，在所述泵頭部的所述第1方向上的一側設置有吸入口，在另一側設置有吐出口，所述泵頭部的
與所述第1方向交叉的截面，比所述吸入口及所述吐出口的與所述第1方向交叉的截面更大。
(附記14)
如附記13所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述控制部控制所述驅動單元，以在沿所述泵室的所述驅動方向對置一對接液面彼此不接觸的衝程內，往返驅動所述驅動頭。
(附記15)
如附記13所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在所述泵室的外周面側，具有朝向所述泵室的所述驅動方向的外側突出的肋。
(附記16)
如附記15所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述驅動頭具有夾持所述肋的固定部件。
(附記17)
如附記13所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜的與所述泵室的所述輸送方向正交的截面形狀，為六邊形狀、長圓形狀或橢圓形狀。
(附記18)
如附記13所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜，在與所述泵室的所述輸送方向正交的截面上，沿所述驅動方向對置的壁部的壁厚，比沿與所述驅動方向交叉的方向對置的壁部的壁厚更厚。
(附記19)
如附記1、7或13中任一項所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜通過吹塑成形而形成。
(附記20)
如附記1、7或13中任一項所述的管式隔膜泵，其特徵在於，所述管式隔膜由四氟化乙烯、全氟烷氧基乙烯共聚樹脂形成。
1:管式隔膜泵
2a,2b,2c,2d:框體
2e,2f,2g:支柱
2h:螺絲
21:吸入閥
22:吐出閥
23,25:配管
24:抗蝕劑瓶
26:噴嘴
3:泵主體
4:泵室
4a、4b:接液面
5:管式隔膜
5a:吸入口
5b:吐出口
5c:泵頭部
5d:肋
6:滾珠絲杠
7:步進馬達
8:驅動頭
8a,8b:固定部件
8c:驅動部件
9:遮蔽板
10:起始位置感測器(光感測器)
100:泵系統
20:半導體晶圓
30:空氣供應源
31:第1電磁閥(SV1)
32:第2電磁閥(SV2)
33:壓力調節閥
40:控制部
R:抗蝕劑
P:輸送方向
PP:驅動方向
A-A’,B-B’:剖面線
Claims (6)
- 一種管式隔膜泵，其特徵在於，包括： 具有一泵頭部的一管式隔膜，該泵頭部中形成有其內部被導入一輸送流體，並且將被導入的該輸送流體排出到其外部的一泵室； 一驅動頭，其保持該管式隔膜，並且在與該輸送流體的輸送方向交叉的方向上直接推拉該泵頭部以使得該泵室伸縮； 一驅動單元，其在使得該泵室伸縮的一驅動方向上，對該驅動頭進行往返驅動； 一控制部，其控制該驅動單元， 一管式隔膜，與該泵室的該輸送流體的輸送方向交叉的截面形狀是一扁平形狀，該扁平形狀中，和該驅動單元的該驅動方向上的長度相比，與該驅動方向交叉的方向上的長度更長，並且沿該泵室的該驅動方向對置的一對接液面，在維持平行的狀態下進行移動。
- 如請求項1所述的管式隔膜泵，其中該控制部控制該驅動單元，以在沿該泵室的該驅動方向對置的該對接液面彼此不接觸的衝程內，往返驅動該驅動頭。
- 如請求項1所述的管式隔膜泵，其中該管式隔膜，在該泵室的外周面側，具有朝向該泵室的該驅動方向的外側突出的肋。
- 如請求項3所述的管式隔膜泵，其中該驅動頭具有夾持該肋的固定部件。
- 如請求項1所述的管式隔膜泵，其中該管式隔膜的與該泵室的該輸送方向正交的截面形狀，為六邊形狀、長圓形狀或橢圓形狀。
- 如請求項1所述的管式隔膜泵，其中該管式隔膜，在與該泵室的該輸送方向正交的截面上，沿該驅動方向對置的壁部的壁厚，比沿與該驅動方向交叉的方向對置的壁部的壁厚更厚。
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