JPH1122647A - 薬液ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 薬液ポンプにおいて、可撓性膜の不自然な形
の変形を防ぎ、耐久性が高く吐出量の経時変化の少ない
ポンプを提供する。 【解決手段】 薬液ポンプ１０のポンプ室１は、略筒状
の可撓性膜２と薬液流通孔３ａを有する流出側固定部材
３と薬液流入口４ａを有する流入側固定部材４し、薬液
Ｒは薬液ボトル２１，流入側配管２２，チェックバルブ
１１を通じてポンプ室に供給される。節状可撓性膜２は
圧力室５内部に充填する純水非圧縮性流体６によって取
り囲まれ、当純水はアクチュエータ４０および配管４２
により圧力室６に注入・吸出され、この時の可撓性膜の
変形に応じて流入側固定部材４は、上下方向に変位可能
に配置され、さらに、薬液流入口４ａから圧力室５の壁
面５ｄに形成された圧力室薬液流入口５ｅまで通じる薬
液流入チューブ７が、流入側固定部材４の変位を許容す
る冗長な長さのコイル状部７ａを有するように構成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体を高精度に吐
出できるポンプに関し、さらに詳しくは、フォトレジス
トや医薬、その他の流体を、少量、高精度に吐出できる
ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体素子の製造等に用いられる
フォトレジスト等の滴下においては、例えば、特公平７
−１２３１０７号の流体滴下供給装置に記載されている
ように圧送方式やポンプ方式が用いられ、ポンプ方式に
おいては、ダイヤフラムやベローズを用いるものの他、
図５にその概略を記載したようなポンプ１００が記載さ
れている。このポンプ１００は、ポンプ室１０１の周側
部に可撓性膜１０２を有すると共に、上下にそれぞれフ
ォトレジストＲの流入口１０４ａ、流出口１０３ａを備
えたポンプ室の最下部１０４および最上部１０３を有
し、外周壁１０５と可撓性膜１０２との間は非圧縮性流
体１０６が充填されている。

【０００３】この非圧縮性流体１０６を図示しないアク
チュエータ機構によって図中矢印のように注入または吸
出することで可撓性膜１０２をポンピング作動させ、バ
ルブ１１１，１１２をこれに同期して作動させる。これ
により、レジストボトル１２１内のフォトレジストＲを
第１配管１２２を介してポンプ室内に流入させると共
に、第２配管１３１を通じてウェハーＷ上にフォトレジ
ストＲを滴下する。なおその後、滴下されたレジストＲ
は、ウェハーＷを回転させていわゆるスピンコート法に
よりウェハーＷ上に均一に塗布される。このような方式
のポンプは、非圧縮性流体を注入した分の体積だけレジ
ストＲが吐出されるので、吐出量を高精度にコントロー
ルできる利点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなポ
ンプにおいては、略筒状の可撓性膜１０２の両筒端部
を、ポンプ室１０１の最上部１０３または最下部１０４
と外周壁１０５でシール、固定している。このため、可
撓性膜１０２が変形するときに、３次元的に不自然な形
で変形してシワが生じたり、可撓性膜１０２の一部に大
きく張力が働き可撓性膜１０２に伸びが生じるために、
可撓性膜の耐久性が低下し、あるいは経時変化により吐
出量が変化するおそれがある。これを解決するために、
可撓性膜１０２を大きく（あるいは長く）することが考
えられる。しかし、ポンプ全体の寸法が大きくなる等に
より好ましくない。本発明はかかる問題点に鑑みてなさ
れたものであって、可撓性膜の不自然な形の変形を防
ぎ、耐久性が高く吐出量の経時変化の少ないポンプを提
供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】しかし
て、本発明の請求項１に記載の解決手段は、略筒状の可
撓性膜とそれぞれ薬液流通孔を有し該可撓性膜の両筒端
部をそれぞれ固定する膜固定部材とを有するポンプ室
と、薬液を該ポンプ室内に供給する薬液供給手段と、少
なくとも上記ポンプ室の可撓性膜を圧力室内部に充填す
る非圧縮性流体によって取り囲むようになしてある圧力
室と、上記非圧縮性流体を該圧力室に注入・吸出する流
体移動手段と、を有する薬液ポンプであって、上記圧力
室内部に、上記膜固定部材のうち少なくともいずれか
が、上記非圧縮性流体の注入・吸出による可撓性膜の変
形に応じて変位可能に配置されており、かつ、該圧力室
内部に配置された膜固定部材の薬液流通口から圧力室の
壁面に形成された圧力室薬液流通口まで通じる薬液流通
チューブが、上記膜固定部材の変位を許容する冗長な長
さを有することを特徴とする薬液ポンプを要旨とする。

【０００６】可撓性膜は、略筒状を有し、円筒、角筒状
などが挙げられる。特に、略円筒状が収縮時等に無理な
変形をしにくいので耐久性が高くなり好ましい。なお、
可撓性膜の材質は、薬液や非圧縮性流体の種類や材質等
を勘案して適宜決定されるが、例えば、ゴム、シリコン
ゴム、フッ素系樹脂等の樹脂から選択するのが好まし
い。また、薬液供給手段は、薬液をポンプ室内に供給
し、薬液の逆流を防ぐもので、例えば薬液タンク（薬液
瓶）、薬液タンク等からポンプ室までの薬液流入路（配
管）、およびこの薬液流入路内に設けられた逆止弁、開
閉弁等から構成することができる。

【０００７】また、薬液吐出手段も形成すると良い。薬
液吐出手段は、例えばポンプ室から吐出された薬液を所
望の場所まで導く薬液流出路（配管）、およびこの薬液
流出路内に設けられた逆止弁、開閉弁等から構成するこ
とができる。非圧縮性流体は、流体に掛かる圧力が変化
してもその体積変化がないあるいは体積変化が無視でき
るほど小さい性質を持つ流体であり、例えば、水（純
水）、機械油、シリコンオイル、フッ素オイル等が挙げ
られる。非圧縮性流体としてどのようなものを使用する
かについても、作動させる場所の温度や環境、流体が漏
れ出た場合の処理の容易さなどから適宜選択すればよ
い。

【０００８】流体移動手段は、非圧縮性流体を圧力室内
に注入および圧力室内から吸出する流体の移動動作を繰
り返すことのできるもので、具体的には、非圧縮性流体
のアクチュエータ、即ち、水や油を移動させることの出
来るピストン等が挙げられる。またその駆動源について
も、電動機（モータ）や空気圧機器等を適宜用いること
ができる。薬液流通チューブの内径等の寸法や材質は、
その内部を流通させる薬液の吐出量や種類等によって適
宜選択すればよいが、具体的なチューブの材質として
は、例えば、フッ素樹脂等が挙げられる。

【０００９】さらに、薬液流通チューブが冗長な長さを
有するとは、圧力室内部に配置された膜固定部材の薬液
流通口から圧力室の壁面に形成された圧力室薬液流通口
までをチューブで略直線状に結ぶのでなく、チューブ長
さに余裕を持たせて結んでいる状態をいう。具体的に
は、薬液流通チューブの一部又は全体をコイル状、コ字
状、クランク状、Ｕ字状、Ｓ字状、波状等あるいはこれ
らの組み合わせにすることで、薬液流通チューブに冗長
長さを持たせることができる。

【００１０】本発明によれば、圧力室内部に、膜固定部
材のうち少なくともいずれかが配置され、かつ非圧縮性
流体の注入・吸出によって可撓性膜が変形、即ち圧縮変
形あるいは膨張変形をしたときに、この変形によって膜
固定部材が変位可能に配置されている。しかも、圧力室
内部に配置された膜固定部材の有する薬液流通口から圧
力室の壁面に形成された圧力室薬液流通口まで通じる薬
液流通チューブが、膜固定部材の変位を許容する冗長な
長さを有するようにされている。したがって、例えば、
非圧縮性流体が流体移動手段によって圧力室内に注入さ
れると、可撓性膜が圧縮されてポンプ室内の体積が小さ
くなり内部の薬液が吐出される。

【００１１】このとき、圧力室内部に配置された膜固定
部材が変位して可撓性膜が自然な形に圧縮変形し、不自
然な形に変形してシワ等が発生することを防止できる。
膜固定部材が変位可能に配置されており、薬液流通チュ
ーブが冗長な長さを有しているので、可撓性膜の変形に
応じて膜固定部材が変位することができ、膜固定部材が
可撓性膜の変形を不自然に拘束することがないからであ
る。これにより、可撓性膜の不自然な形の変形が防止さ
れ、耐久性が高く吐出量の経時変化の少ないポンプとす
ることが出来る。

【００１２】また、請求項２に記載の解決手段は、前記
薬液流通チューブは、前記非圧縮性流体の注入・吸出に
よる圧力変動によってその内容積が変化しない材質から
なることを特徴とする請求項１に記載の薬液ポンプを要
旨とする。

【００１３】薬液流通チューブのまわりも非圧縮性流体
が取り囲んでおり、この流体の圧力室内への注入・吸出
により圧力変動が生じる。このとき、薬液流通チューブ
が押し潰されたり膨張したりしてチューブの内容積が変
化すると、薬液の吐出量が可撓性膜の変形つまりポンプ
室の内容積の変化の量だけで決まらないで、チューブの
内容積の変化量にも影響されることになる。一方、本発
明によればチューブの内容積が変化しない材質を用いる
と、このような影響がなくなり、薬液の吐出量のより高
精度な制御が可能となる。

【００１４】なお、薬液流通チューブの材質は、非圧縮
性流体の注入・吸出による圧力変動によっても内容積、
従って、断面積の変化しない材質を選択すればよく、具
体的には、肉厚のフッ素樹脂製チューブなどを用いるの
が好ましい。

【００１５】また、請求項３に記載の解決手段は、前記
薬液流通チューブは、コイル状にされていることを特徴
とする請求項１または２に記載の薬液ポンプを要旨とす
る。

【００１６】薬液流通チューブの形状は、コ字状やＳ字
状などとしても良い。しかし、薬液流通チューブの形状
をコイル状とすると、膜固定部材の変位によってチュー
ブに加わる応力もチューブの各部に均一にかかるため、
繰り返し動作によってチューブにクラックが生じたり破
断するなどの不具合が生じにくく、さらに薬液ポンプの
寿命を長くすることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施例を
図面に基づいて説明する。 （実施例１）図１は本実施例にかかる薬液ポンプ１０の
概要を示す縦断面図である。ポンプ室１は、側面を構成
する円筒状の可撓性膜２と、この可撓性膜２の図中上方
の端部をシールしつつ固定する流出側固定部材３と、図
中下方の端部をシールしつつ固定する流入側固定部材４
とからなる。また、流出側固定部材３にはその中心軸に
沿って、薬液流出口３ａが貫通して設けられ流出側継手
３ｂを介して流出側配管３１およびチェックバルブ（逆
止弁）１２に接続している。チェックバルブ１２は、ポ
ンプ室１側からの薬液の流れは阻害しないが、ポンプ室
１側への逆流は阻止する働きを有する。一方、流入側固
定部材４の中心軸には、薬液流入口４ａが形成され、流
入側継手４ｂを介して薬液流入チューブ７に接続してい
る。なお、薬液流入チューブ７は、その中央付近がコイ
ル状とされたコイル状部７ａを有している。ここで、可
撓性膜２は、フッ素樹脂製の可撓性を有する膜であり、
薬液流入チューブ７は、フッ素樹脂製で肉厚のチューブ
である。

【００１８】さらに、このポンプ室１をほぼ囲むように
して略円筒形状の圧力室５が形成されている。この圧力
室５は、側壁５ａと図中上方で側壁５ａの上端部をシー
ル・固定する上部壁５ｂと図中下方で側壁５ａの下端部
をシール・固定する下部壁５ｄとからなる。上部壁５ｂ
には貫通孔５ｃが形成されており、上述した流出側固定
部材３がこの貫通孔５ｃに貫挿されてナット３ｃによっ
て上部壁５ｂに固着されている。また、下部壁５ｄにも
貫通孔（圧力室薬液流入口）５ｅが形成されており、上
述した薬液流入チューブ７が貫挿されて下部壁継手５ｆ
を介して流入側配管２２、チェックバルブ１１および薬
液ボトル２１に接続している。このチェックバルブ１１
は、薬液ボトル２１からポンプ室１に向かう薬液Ｒの流
れは阻害しないが、薬液ボトル２１に向かう薬液Ｒの逆
流は阻止する。下部壁５ｄにはさらに、非圧縮性流体で
ある純水６を圧力室５内に注入し、あるいは圧力室５内
から吸出するための流体移動口５ｇをも貫通して設けら
れており、移動口継手５ｈを介して、流体配管４２およ
びアクチュエータ４０が接続している。

【００１９】アクチュエータ４０は、その筐体４１に２
つのシリンダー４１ａ、４１ｂを有し、シリンダー４１
ａ内のピストン４３と、シリンダー４１ｂ内のピストン
４５とが、筐体４１に設けた貫通孔４１ｃに挿通したロ
ッド４４によって連結されている。また、流体配管４２
と筐体４１とは筐体継手４１ｄによって接続している。

【００２０】次いで、このような薬液ポンプ１０の動作
について図１及び図２を参照しつつ説明する。圧力室５
内には、純水６が充填されており、ポンプ室１の可撓性
膜２の周りをも取り囲んでいる。また、ポンプ室１内に
は、薬液Ｒが満たされている。ここで、図１に示す状態
において、図示しない空気圧機器からポート４７に空気
を送り込むと、空気圧によってピストン４５は図中下方
に移動を始め、同時にロッド４４を介してピストン４３
も図中下方に移動する。このため、シリンダー４１ａ内
に充填されていた純水６が押し出されて、流体配管４２
を経由して流体移動口５ｇから圧力室５内に注入され
る。すると、圧力室５内の純水６の圧力が上昇して可撓
性膜２を押し、図２に示すように可撓性膜２の略中央部
がくびれるように撓み変形させる。これにより、ポンプ
室１の内容積が小さくされるので、ポンプ室１内に充填
されていた薬液Ｒが薬液流出口３ａから流出する。な
お、チェックバルブ１１があるために、薬液Ｒが薬液ボ
トル２１に逆流することはない。

【００２１】このとき、可撓性膜２はくびれるように変
形するだけでなく長手方向（図中上下方向）にも収縮し
ようとするが、流入側固定部材４は図中上下方向に変位
（移動）可能であり、しかも、薬液流入チューブ７のコ
イル状部７ａが図中上下方向に伸びるように変形するの
で、流入側固定部材４の上方向への変位を拘束しない。
そこで、流入側固定部材４は図２に示すように、図１に
比して図中上方に移動する。したがって、可撓性膜２は
不自然な形状に変形して、シワが発生したり、部分的に
伸ばされたりすることがなくなる。なお、薬液流入チュ
ーブ７は肉厚のフッ素樹脂製であるので、純水６が圧力
室５に注入されることによって圧力（水圧）が上昇した
ときにも、水圧によってチューブの断面積が変化しな
い。そのため、薬液流入チューブ７内の内容積、即ち、
チューブ７内に充填されている薬液Ｒの体積に変化は生
じない。従って、可撓性膜２の変形及び流入側固定部材
４が変位することによってポンプ室１から吐出される薬
液Ｒの体積に、薬液流入チューブ７内の内容積が影響を
与えることがないので、薬液Ｒの吐出量を高精度に制御
できる。

【００２２】ついで、ポート４６に図示しない空気圧機
器から空気を送り込むと、この空気圧によってピストン
４５は図中上方に移動し始め、同時にロッド４４を介し
てピストン４３も図中上方に移動する。このため、シリ
ンダー４１ａ内が負圧になって、流体配管４２を経由し
て圧力室５内から純水６が吸出される。このため、圧力
室５内の純水６の圧力が低下して可撓性膜２を膨らませ
るようし、図１に示すように可撓性膜２の撓み変形がな
くなる。これにより、ポンプ室１の内容積が大きくされ
るので、ポンプ室１内が負圧となり、薬液ボトル２１か
らチェックバルブ１１および流入側配管２２を経由して
薬液Ｒが薬液流入口４ａから流入する。なお、チェック
バルブ１２があるために、薬液Ｒが流出側配管３１から
ポンプ室１に逆流することはない。

【００２３】このようにして、２つのポート４６、４７
に交互に空気圧機器から空気を送り込むことによって、
純水６が圧力室５内に注入・吸出され、これに伴う可撓
性膜２の変形によって薬液Ｒが、薬液ボトル２１から薬
液ポンプ１０を経由して流出側配管３１から吐出され
る。このような薬液ポンプ１０の動作において、可撓性
膜２は、不自然な変形を起こさず、シワを生じたり、部
分的に伸ばされることが無くなるので、耐久性が高くな
り、薬液Ｒの吐出精度の経時変化も小さくなる。

【００２４】（実施例２）図３は実施例２にかかる薬液
ポンプ１０ａの概要を示す縦断面図である。この薬液ポ
ンプ１０ａは、上記した実施例１の変形例であり、薬液
流入チューブ７の代わりに、形状を変更した薬液流入チ
ューブ１７を用いた以外は同様であるので、同じ部分に
は、同じ番号を付し、説明を省略する。

【００２５】実施例１において、薬液流入チューブ７は
その途中がコイル状に形成されたコイル状部７ａを有し
ていたのに対して、実施例２の薬液流入チューブ１７で
は、その途中がＳ字状に屈曲したＳ字状部１７ａとされ
ている。このようにしても、ポート４７に空気が送られ
て純水６が圧力室５内に注入されて可撓性膜２が収縮変
形したときに、流入側固定部材４が図中上方に変位する
のを拘束することはない。薬液流入チューブ１７のＳ字
状部１７ａが図中上下方向に伸びるように変形するから
である。従って、実施例１と同様に、薬液ポンプ１０ａ
の動作において、可撓性膜２は、不自然な変形を起こさ
ず、シワを生じたり、部分的に伸ばされることが無くな
るので、耐久性が高くなり、薬液Ｒの吐出精度の経時変
化も小さくすることができる。

【００２６】（実施例３）図４は実施例３にかかる薬液
ポンプ２００の概要を示す縦断面図である。この薬液ポ
ンプ２００が、実施例１の薬液ポンプ１０と異なる主な
点は、以下の点である。即ち、薬液ポンプ１０において
は、ポンプ室１の流出側固定部材３が圧力室５の上部壁
５ｂに固着されていた。これに対して、薬液ポンプ２０
０においては、流出側固定部材２０３も含めてポンプ室
２０１が圧力室２０５内に配置され、流出側固定部材２
０３の薬液流出口２０３ａと上部壁２０５ｂに穿孔され
た貫通口（圧力室薬液流出口）２０５ｃとが途中にコイ
ル状部２０８ａを有する薬液流出チューブ２０８で結ば
れている。薬液流出チューブ２０８および薬液流入チュ
ーブ２０７は、フッ素樹脂からなり、チューブ壁面は肉
厚のものを用いている。なお、流入側固定部材２０４お
よび流出側固定部材２０３のいずれも、それぞれチュー
ブ２０７，２０８と、流入側継手２０４ｂあるいは流出
側継手２０３ｂを介して接続している。

【００２７】このような薬液ポンプ２００は、実施例１
の場合とほぼ同様にして作動させることができる。即
ち、アクチュエータ２４０の筐体２４１に形成されたポ
ート２４７からシリンダー２４１ｂ内に空気が送り込ま
れると、ピストン２４５が図中上方に移動し、貫通孔２
４１ｃに挿通されたロッド２４４によって連結している
ピストン２４３も図中上方に移動する。これにより、シ
リンダー２４１ａ内に充填されていた純水（非圧縮性流
体）２０６が押し出されて、流体配管２４２を経由して
流体移動口２０５ｇから圧力室２０５内に純水２０６が
注入される。すると、圧力室２０５内の圧力（水圧）が
上昇してポンプ室２０１の可撓性膜２０２を押し縮め
て、図４に記載のように中央部がくびれたように変形さ
せる。このとき、流入側バルブ２１１を弁閉とし、流出
側バルブ２１２を弁開にしておくと、ポンプ室２０１内
に充填されていた薬液Ｒが、薬液流出口２０３ａから薬
液流出チューブ２０８、流出側バルブ２１２、および流
出側配管２３１を経由して吐出される。

【００２８】なお、可撓性膜２０２が変形するときに、
ポンプ室２０１の長手方向（図中上下方向）の寸法も小
さくなるように変形する。このとき、薬液流入チューブ
２０７および薬液流出チューブ２０８のそれぞれに、コ
イル状部２０７ａ，２０８ａが形成されているので、流
出側固定部材２０３の図中下方への変位、および流入側
固定部材２０４の図中上方への変位が容易にできる。従
って、可撓性膜２０２は、不自然な形で変形してシワが
生じたり、一部が伸ばされたりせずに変形する。

【００２９】その後、ポート２４６に空気を送り込む
と、上記とは逆にピストン２４５、ロッド２４４および
ピストン２４３が図中下方に移動し、シリンダー２４１
ａ内の純水２０６が負圧となるので、圧力室２０５から
純水２０６が吸い出される。なお、ピストン２４５の凸
状部２４５ａは、筐体２４１に設けられた貫通孔２４１
ｄに挿通されてシリンダー２４１ｂ内をピストン２４５
が滑らかに移動（上下動）できるようにしている。

【００３０】このようにして純水２０６が吸い出される
と、圧力室２０５内の純水２０６の水圧が下がり、可撓
性膜２０２が膨らむようにされ、このとき、流出側バル
ブ２１２を弁閉とし、流入側バルブ２１１を弁開にして
おくと、薬液ボトル２２１の薬液Ｒが、流入側配管２２
２、流入側バルブ２１１，流入側チューブ２０７を経由
して薬液流入口２０４ａからポンプ室２０１内に充填さ
れる。なお、可撓性膜２０２が膨らむと共に、流出側固
定部材２０３は図中上方へ、流入側固定部材２０４は図
中下方へ変位しようとするが、薬液流入チューブ２０７
および薬液流出チューブ２０８のそれぞれに、コイル状
部２０７ａ，２０８ａが形成されているので、このよう
な変位も容易にできる。

【００３１】このように、実施例３においては、薬液流
入チューブ２０７および薬液流出チューブ２０８にコイ
ル状部２０７ａ、２０８ａを設けた。このため、流出側
固定部材２０３、流入側固定部材２０４のいずれもが可
撓性膜２０２の変形に応じて変位可能となり、可撓性膜
２０２が不自然な形に変形してシワを生じたり、部分的
に伸ばされたりすることがなく、耐久性を高くすること
ができる。

【００３２】なお、チューブ２０７，２０８において
は、コイル状部２０７ａ，２０８ａを備えているので、
図中上下方向への伸びるようにして変形する際、コイル
状部全体が均等に変形し、チューブの一部（コイル状部
の一部やその近傍）に応力が集中しないので、チューブ
の耐久性も向上する。また、２つのチューブ２０７，２
０８共に、肉厚のフッ素樹脂チューブを用いたので、純
水２０６を圧力室２０５内に注入または吸出したときの
圧力（水圧）変動によって、その内径や断面積、従っ
て、チューブの内容積が変動しない。このため、ポンプ
室から吐出される、あるいはポンプ室へ注入（充填）さ
れる薬液の量がチューブの内容積の変動によって影響さ
れることがないので、薬液の吐出量などが高精度にコン
トロールできる。

【００３３】上記においては本発明を実施例とともに説
明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発
明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用すること
ができる。例えば、上記各実施例においては、非圧縮性
流体として純水を用いた例を示したが、その他、機械油
やシリコンオイル、フッ素オイル等を適宜用いることが
できる。また、実施例３においては、チューブ２０７，
２０８には、それぞれコイル状部２０７ａ，２０８ａを
設けたが、必ずしも両方のチューブに設ける必要はな
く、いずれか一方のみコイル状部のごとく冗長長さを有
する部分を設ければ足りる。また、実施例１、２におい
ては、薬液流入チューブ７のみ設ける場合を示したが、
この逆に薬液流出チューブのみを設けるように構成して
も良い。また、アクチュエータ４０、２４０は、空気圧
によって動作するものを例示したが、油圧で駆動した
り、あるいはモータ（電動機）によって電気的にピスト
ンを駆動するものを採用することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１にかかる薬液ポンプの縦断面図であっ
て、ポンプ室の可撓性膜を膨張させたときの状態を示す
断面図である。

【図２】実施例１にかかる薬液ポンプの縦断面図であっ
て、ポンプ室の可撓性膜を収縮させたときの状態を示す
断面図である。

【図３】実施例２にかかる薬液ポンプの縦断面図であ
る。

【図４】実施例３にかかる薬液ポンプの縦断面図であ
る。

【図５】従来の薬液ポンプの概要を示す縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１０，１０ａ，２００ 薬液ポンプ １，２０１ ポンプ室 ２，２０２ 可撓性膜 ３，２０３ 流出側固定部材 ３ａ，２０３ａ 薬液流出口 ４，２０４ 流入側固定部材 ４ａ，２０４ａ 薬液流入口 ５，２０５ 圧力室 ５ｃ，２０５ｃ 圧力室薬液流出口 ５ｅ，２０５ｅ 圧力室薬液流入口 ６，２０６ 純水（非圧縮性流体） ７，１７，２０７ 薬液流入チューブ ８，２０８ 薬液流出チューブ ２２，２２２ 流入側配管 ３１，２３１ 流出側配管 １１，１２ チェックバルブ ２１１，２１２ バルブ ２１，２２１ 薬液ボトル ４０，２４０ アクチュエータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 略筒状の可撓性膜とそれぞれ薬液流通孔
   を有し該可撓性膜の両筒端部をそれぞれ固定する膜固定
   部材とを有するポンプ室と、薬液を該ポンプ室内に供給
   する薬液供給手段と、少なくとも上記ポンプ室の可撓性
   膜を圧力室内部に充填する非圧縮性流体によって取り囲
   むようになしてある圧力室と、上記非圧縮性流体を該圧
   力室に注入・吸出する流体移動手段と、を有する薬液ポ
   ンプであって、 上記圧力室内部に、上記膜固定部材のうち少なくともい
   ずれかが、上記非圧縮性流体の注入・吸出による可撓性
   膜の変形に応じて変位可能に配置されており、かつ、該
   圧力室内部に配置された膜固定部材の有する薬液流通口
   から圧力室の壁面に形成された圧力室薬液流通口まで通
   じる薬液流通チューブが、上記膜固定部材の変位を許容
   する冗長な長さを有することを特徴とする薬液ポンプ。
2. 【請求項２】 前記薬液流通チューブは、前記非圧縮性
   流体の注入・吸出による圧力変動によってその内容積が
   変化しない材質からなることを特徴とする請求項１に記
   載の薬液ポンプ。
3. 【請求項３】 前記薬液流通チューブは、コイル状にさ
   れていることを特徴とする請求項１または２に記載の薬
   液ポンプ。