JP2009148716A - 塗装装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】塗料の移送量を適切に調整することが可能で、塗布膜厚の精度を向上できるとともに、装置構成をコンパクト化することが可能な塗装装置を提供する。
【解決手段】流体が内部に給排されて膨張・収縮されるチューブ2と、チューブを収容するマニホールド3が形成されたダイ本体4と、ダイ本体にマニホールドと連通させて形成された塗料導入部5と、ダイ本体にマニホールドと連通させて形成されたスリット状ノズル6と、チューブに連結され、チューブを収縮させて塗料導入部からマニホールド内に塗料Pを充填したり、チューブを膨張させてマニホールド内に充填された塗料をノズルから吐出させるために、非圧縮性かつ非揮発性流体Fを、チューブ内部へ供給したりチューブ内部から吸引排出するポンプ7とを備えた。
【選択図】図1
【解決手段】流体が内部に給排されて膨張・収縮されるチューブ2と、チューブを収容するマニホールド3が形成されたダイ本体4と、ダイ本体にマニホールドと連通させて形成された塗料導入部5と、ダイ本体にマニホールドと連通させて形成されたスリット状ノズル6と、チューブに連結され、チューブを収縮させて塗料導入部からマニホールド内に塗料Pを充填したり、チューブを膨張させてマニホールド内に充填された塗料をノズルから吐出させるために、非圧縮性かつ非揮発性流体Fを、チューブ内部へ供給したりチューブ内部から吸引排出するポンプ7とを備えた。
【選択図】図1
Description
本発明は、塗料の移送量を適切に調整することが可能で、塗布膜厚の精度を向上できるとともに、装置構成をコンパクト化することが可能な塗装装置に関する。
従来、膜厚精度が要求されるプラズマディスプレイパネルや液晶パネルなどの製造分野および半導体製造分野等で用いられる塗装装置として、例えば特許文献1および2が知られている。これら特許文献では、塗装装置への塗料の供給に、いわゆるチューブフラムポンプが採用されている。チューブフラムポンプとしては例えば、特許文献3が知られている。特許文献3では、筒体内に同軸的にチューブを配置し、チューブ外側に作動流体スペースを形成するとともに、チューブ内側に移送流体であるレジスト液を流通させるようにしている。そして、作動流体による加減圧でチューブを径方向に変形させ、これによりポンプ作用を得て、レジスト液を移送するようになっている。
特開2004−50026号公報
特開2007−54698号公報
特開2000−234589号公報
背景技術のようにチューブを外側から加圧する形式では、例えば断面円形状のチューブを楕円形状などに径方向に変形させることとなって、チューブ内容積の変化よりも、チューブの変形によってポンプ作用が営まれる。このため、流体の移送量を調整することが難しく、特に膜厚の均一化が求められる塗装装置に適用した場合、膜厚調整がきわめて困難であった。また、チューブ外側から加圧する形式は、チューブ外周囲に作動流体スペースを確保するものであるため、流体の移送量よりも大きな容量の作動流体スペースが必要であり、従って、流体の移送量に見合わない大型なものとなり、塗装装置を大型化させてしまうという課題もあった。
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、塗料の移送量を適切に調整することが可能で、塗布膜厚の精度を向上できるとともに、装置構成をコンパクト化することが可能な塗装装置を提供することを目的とする。
本発明にかかる塗装装置は、流体が内部に給排されて膨張・収縮されるチューブと、該チューブを収容するマニホールドが形成されたハウジングと、該ハウジングに上記マニホールドと連通させて形成された塗料導入部と、上記ハウジングに上記マニホールドと連通させて形成された塗料吐出部と、上記チューブに連結され、該チューブを収縮させて上記塗料導入部から上記マニホールド内に塗料を充填したり、該チューブを膨張させて該マニホールド内に充填された塗料を上記塗料吐出部から吐出させるために、非圧縮性かつ非揮発性流体を、該チューブ内部へ供給したり該チューブ内部から吸引排出するポンプとを備えたことを特徴とする。
前記ポンプがシリンジポンプであって、前記ハウジングに上記シリンジポンプのシリンダを連結して構成するとともに、上記ハウジングに、前記マニホールドと上記シリンダ内部とを連通させる通孔を形成したことを特徴とする。ハウジングとシリンジポンプのシリンダとの連結構成は、両者を直結しても、あるいは配管などの連結部材を介して連結してもよい。また、通孔は、マニホールドとシリンダ内部とを、直接連通させるようにしても、あるいは配管などの連結部材を介して、両者を連通させるようにしても、いずれであってもよい。
前記塗料導入部側には、前記マニホールド内に充填された塗料の逆流を防止する逆止弁が設けられることを特徴とする。
前記ハウジングがダイ本体として構成され、該ダイ本体の前記マニホールドに前記チューブが内蔵され、前記塗料吐出部がスリット状ノズルとして構成されることを特徴とする。
本発明にかかる塗装装置にあっては、塗料の移送量を適切に調整することができ、塗布膜厚の精度を向上できるとともに、装置構成をコンパクト化することができる。
以下に、本発明にかかる塗装装置の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態にかかる塗装装置1は基本的には、図1および図2に示すように、流体Fが内部に給排されて膨張・収縮されるチューブ2と、チューブ2を収容するマニホールド3が形成されたハウジングとしてのダイ本体4と、ダイ本体4にマニホールド3と連通させて形成された塗料導入部5と、ダイ本体4にマニホールド3と連通させて形成された塗料吐出部としてのスリット状ノズル6と、チューブ2に連結され、チューブ2を収縮させて塗料導入部5からマニホールド3内に塗料Pを充填したり、チューブ2を膨張させてマニホールド3内に充填された塗料Pをスリット状ノズル6から吐出させるために、非圧縮性かつ非揮発性流体Fを、チューブ2内部へ供給したりチューブ2内部から吸引排出するポンプ7とを備えて構成される。
ポンプ7がシリンジポンプであって、ダイ本体4にシリンジポンプ7のシリンダ12が直結されるとともに、ダイ本体4に、マニホールド3とシリンダ12内部とを連通する通孔4aが形成される。塗料導入部5側には、マニホールド3内に充填された塗料Pの逆流を防止する逆止弁8が設けられる。
図1(a)は、塗料吸引時のダイ本体の側断面を含む全体構成図、図1(b)は、図1(a)中A−A線矢視断面図、図2(a)は、塗料吐出時のダイ本体等の側断面図、図2(b)は、図2(a)中B−B線矢視断面図である。本実施形態にかかる塗装装置1は主に、ガラスパネルなどの塗装対象物Xに塗膜を形成して塗装を行うダイ本体4と、ダイ本体4へ塗料Pを供給する供給系9と、ダイ本体4に内蔵して設けられるチューブ2と、チューブ2に流体Fを給排するポンプ7とから構成される。
ダイ本体4は、ステンレスなどの金属材料で剛性高く形成される。ダイ本体4は、塗装対象物Xの幅方向に長く形成され、図示しない駆動機構によって塗装対象物Xの長さ方向に走行移動される。ダイ本体4の内部には、長さ方向に沿って中空円筒状のマニホールド3が形成される。マニホールド3の下部には、これに連通させてスリット状ノズル6が形成される。スリット状ノズル6は、マニホールド3の長さ方向ほぼ全域にわたって、当該マニホールド3より下方へ向かってダイ本体4を貫通して形成される。またダイ本体4には、マニホールド3と連通させて、流通孔などの塗料導入部5が貫通形成される。
塗料導入部5には、供給系9が接続される。供給系9は、塗料Pが貯留される塗料タンク10と、塗料タンク10内に一端が挿入され、他端が塗料導入部5と接続される可撓性を有するチューブ配管11と、ダイ本体4に対して塗料導入部5側となるチューブ配管11の途中に設けられ、塗料タンク10からマニホールド3への塗料Pの流通を許容し、マニホールド3内から塗料タンク10への塗料Pの逆流を阻止する逆止弁8とから構成される。逆止弁8は、塗料導入部5にできるだけ近づけて設けることが好ましい。
ダイ本体4のマニホールド3内部には長さ方向に沿って、膨張・収縮自在な細長いチューブ2が収容される。チューブ2は、柔軟で可撓性を有する合成樹脂材で形成される。チューブ2は、一か所に開口部2aを有する袋形態で形成される。図示例にあっては、開口部2aはチューブ2の長さ方向一端側に形成される。チューブ2の一端側は、マニホールド3の長さ方向一端部に固定される。マニホールド3の一端部には、ダイ本体4を貫通させて通孔4aが形成され、この通孔4aにチューブ2の開口部2aが挿通される。チューブ2の他端側は、マニホールド3の長さ方向他端部に固定される。チューブ2は、膨張されることでその内容積が増加し、マニホールド3内スペースを狭める。他方、チューブ2は、収縮されることでその内容積が減少し、マニホールド3内スペースを拡張する。
ダイ本体4には、マニホールド3の他端部側に、通孔4aと連通させて、ポンプ7が設けられる。本実施形態にあっては、シリンジポンプが例示されている。ポンプ7は、通孔4aを介してチューブ2の開口部2aと連結されるシリンダ12と、シリンダ12内を摺動自在に往復移動されるピストン13と、ピストン13を駆動する駆動部14とから構成される。ポンプ7のシリンダ12は、ダイ本体4に直結して取り付けられる。シリンダ12内部は、開口部2aを介してチューブ2内部と直接連通される。ピストン13の往復移動で内容積が拡縮されるシリンダ12内には、非圧縮性かつ非揮発性の流体Fが封入される。
ポンプ7は、ピストン13の往復移動によって、流体Fをチューブ2内部へ供給したりチューブ2内部から吸引排出し、これによりチューブ2が膨張・収縮される。ピストン13が最も後退した位置でチューブ2は初期収縮状態に設定され、ピストン13が最も前進した位置でチューブ2は最大膨張状態に設定される。チューブ2は収縮されると、マニホールド3内を負圧状態とし、これにより供給系9から塗料導入部5を介して塗料Pが流入してマニホールド3内に充填される。また、チューブ2は膨張されると、マニホールド3内圧力を上昇させ、逆止弁8の作用も相俟って、マニホールド3内に充填された塗料Pがスリット状ノズル6から吐出される。
チューブ2の初期収縮状態は、チューブ2に流体圧力が何ら作用しない自然状態に設定しても、チューブ2内にある程度流体Fが残留されて僅かながら予圧が与えられる状態に設定しても、あるいは、ほとんどチューブ2内から流体Fが抜き出されて、窄まされるもしくは萎まされる状態に設定してもよい。本実施形態にあってはポンプ7として、シリンジポンプを例示したが、ダイヤフラムポンプなどを用いてもよい。
次に、本実施形態にかかる塗装装置1の作用について説明する。まず、待機状態について説明すると、ポンプ7により、マニホールド3内へ塗料Pを充填しておく。図1に示すように、ポンプ7のピストン13を後退移動させ、チューブ2内から非圧縮性かつ非揮発性の流体Fを吸引排出する。流体Fを吸引すると、内部に充満していた流体Fで膨張していたチューブ2は、その内容積が減少しつつ収縮する。収縮すると、マニホールド3内は負圧状態となる。これにより、塗料Pが、供給系9から塗料導入部5を介してマニホールド3内に流入して充填される。ピストン13を最も後退させた位置でチューブ2は初期収縮状態となり、そのときマニホールド3内に充填された塗料量が、一回の塗装作業に使用される。
次に、塗装状態について説明すると、駆動機構(図示せず)でダイ本体4の走行移動を開始し、塗装開始位置に達したら、スリット状ノズル6から塗料Pを吐出させて、塗装対象物Xに塗膜を形成してゆく。塗装期間中は、ポンプ7のピストン13を僅かずつ徐々に前進させる。ピストン13をこのように前進させると、シリンダ12内の流体Fが僅かずつ徐々にチューブ2内へと供給され、これによりチューブ2の内容積が少しずつ増大していき、従ってチューブ2は少しずつ膨張し続ける。チューブ2が膨張した分だけ、マニホールド3内スペースが狭められ、狭められたことによるマニホールド3内圧力の上昇によって、当該マニホールド3内に充填されていた塗料Pがスリット状ノズル6から塗装対象物Xに向かって吐出され、これにより塗膜が形成される。この際、逆止弁8の作用で、塗料Pが供給系9を介して塗料タンク10へと逆流することが防止される。
ダイ本体4が塗装対象物Xの塗装終了位置に達する段階で、ポンプ7から供給される流体Fによりチューブ2は最大膨張状態とされ、これによりマニホールド3内圧力の上昇が終息して、スリット状ノズル6からの塗料Pの吐出が終了する。以上で、一回の塗装作業が終了する。塗装作業終了後は、次回の塗装のための待機状態に移行するために、ポンプ7によりチューブ2内の流体Fを速やかに吸引排出して初期収縮状態とする。これにより、上述したようにマニホールド3内に塗料Pが充填される。
以上説明した本実施形態にかかる塗装装置1にあっては、背景技術とは異なり、チューブ2を内側から加圧する形式であって、かつ内容積が変化する態様で膨張・収縮されるチューブ2を採用しているので、チューブ2内容積の変化量がそのまま塗料Pの充填量あるいはスリット状ノズル6からの吐出量となってきわめて容易に調整をすることができる。また、チューブ2は、スリット状ノズル6の長さ方向において、均一に直径が大きくなるように膨張するので、スリット状ノズル6の長さ方向における吐出量が均一となり、ダイ本体4の長さ方向において均一な膜厚での塗装が可能となる。従って、均一膜厚で塗装することが要求される塗装装置において、塗料Pの吐出量等を適切かつ確実に調整・管理することができる。従って、塗布膜厚の精度も向上することができる。また、チューブ2を内側から加圧する形式であるので、ポンプ7からチューブ2へ給排する流体量を、塗料Pの最大吐出量以下に抑えることができ、塗装装置1をコンパクト化することができる。特に、チューブ2をダイ本体4内部に収容しても、コンパクトな塗装装置1を構成することができる。
また、本実施形態にあっては、ダイ本体4のマニホールド3にチューブ2を内蔵したことにより、ダイ本体4上などに種々の機器を搭載する場合に比べて、ダイ本体4の走行移動時に発生する振動やダイ本体4の長さ方向揺れを低減することができる。ポンプ7のシリンダ12をダイ本体4に直結し、ポンプ7を通孔4aを介して、ダイ本体4内のチューブ2と直接連通させるようにして、それら間の配管を省略した構成であるので、ポンプ7からチューブ2への流体圧送に際して、配管内容積が変化して塗料の吐出量が変動するなどの、配管による悪影響を排除することができる。逆止弁8を塗料導入部5に直接もしくはできる限り近づけて設ければ、チューブ2膨張時に塗料Pが供給系9側に戻る量をほとんどなくすことができ、これによってもノズル6から吐出される塗料量の変動を抑えることができる。
また、ポンプ7のピストンストロークの発生で直ちにチューブ2が膨張し、瞬時にノズル6から塗料Pを吐出させることができて、吐出動作の立ち上がり特性を向上することができる。従って、塗装制御も円滑に行うことができる。
上記実施形態にあっては、ダイ本体4内部にチューブ2を収納する構成を例示して説明したが、図3に示すように、ダイ本体4とは別にハウジング15を備え、ハウジング15には上記ポンプ7を設置するとともに、ハウジング15内に形成したマニホールド3内にチューブ2を内蔵し、ハウジング15に形成した塗料導入部5および塗料吐出部16から塗料Pを導入・吐出させるようにした単体の塗装用ポンプ装置を構成してもよいことはもちろんである。そしてこのポンプ装置からダイ本体4に塗料Pを供給することで、当該ダイ本体4のスリット状ノズル6から塗料Pを吐出させて塗装を行うことができる。図中、17は、バルブコントローラ付きの開閉バルブ、18はハウジング15とダイ本体4とを接続する接続配管である。このような構成の塗装装置1にあっても、上記実施形態と同様な作用効果を奏することはもちろんである。
また上記実施形態にあっては、ハウジング15と、シリンジポンプ7のシリンダ12との連結構成を直結形式としたが、配管などの連結部材を介して連結してもよい。また、通孔4aは、マニホールド3とシリンダ12内部とを、直接連通させるようにしたが、配管などの連結部材を介して、両者を連通させるようにしてもよい。
1 塗装装置
2 チューブ
3 マニホールド
4 ダイ本体
4a 通孔
5 塗料導入部
6 スリット状ノズル
7 ポンプ
8 逆止弁
12 シリンダ
15 ハウジング
16 塗料吐出部
P 塗料
F 非圧縮性かつ非揮発性流体
2 チューブ
3 マニホールド
4 ダイ本体
4a 通孔
5 塗料導入部
6 スリット状ノズル
7 ポンプ
8 逆止弁
12 シリンダ
15 ハウジング
16 塗料吐出部
P 塗料
F 非圧縮性かつ非揮発性流体
Claims (4)
- 流体が内部に給排されて膨張・収縮されるチューブと、該チューブを収容するマニホールドが形成されたハウジングと、該ハウジングに上記マニホールドと連通させて形成された塗料導入部と、上記ハウジングに上記マニホールドと連通させて形成された塗料吐出部と、上記チューブに連結され、該チューブを収縮させて上記塗料導入部から上記マニホールド内に塗料を充填したり、該チューブを膨張させて該マニホールド内に充填された塗料を上記塗料吐出部から吐出させるために、非圧縮性かつ非揮発性流体を、該チューブ内部へ供給したり該チューブ内部から吸引排出するポンプとを備えたことを特徴とする塗装装置。
- 前記ポンプがシリンジポンプであって、前記ハウジングに上記シリンジポンプのシリンダを連結して構成するとともに、上記ハウジングに、前記マニホールドと上記シリンダ内部とを連通させる通孔を形成したことを特徴とする請求項1に記載の塗装装置。
- 前記塗料導入部側には、前記マニホールド内に充填された塗料の逆流を防止する逆止弁が設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の塗装装置。
- 前記ハウジングがダイ本体として構成され、該ダイ本体の前記マニホールドに前記チューブが内蔵され、前記塗料吐出部がスリット状ノズルとして構成されることを特徴とする請求項1から3いずれかの項に記載の塗装装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007329569A JP2009148716A (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 塗装装置 |
TW097145614A TW200930465A (en) | 2007-12-21 | 2008-11-26 | Coating apparatus |
KR1020080125501A KR20090068123A (ko) | 2007-12-21 | 2008-12-10 | 도장장치 |
CNA2008101856269A CN101462100A (zh) | 2007-12-21 | 2008-12-17 | 涂覆设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007329569A JP2009148716A (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 塗装装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009148716A true JP2009148716A (ja) | 2009-07-09 |
Family
ID=40803027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007329569A Pending JP2009148716A (ja) | 2007-12-21 | 2007-12-21 | 塗装装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009148716A (ja) |
KR (1) | KR20090068123A (ja) |
CN (1) | CN101462100A (ja) |
TW (1) | TW200930465A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7191855B2 (ja) | 2017-05-12 | 2022-12-19 | ノードソン コーポレーション | ノズル及びノズルを備えるアプリケーターシステム |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103316811B (zh) * | 2013-07-01 | 2016-01-20 | 镇江荣德新能源科技有限公司 | 一种硅片切割机的导轮涂覆模具 |
CN110841869A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-02-28 | 深圳市亚微新材料有限公司 | 用于燃料电池质子交换膜涂布的方法及其涂布装置 |
-
2007
- 2007-12-21 JP JP2007329569A patent/JP2009148716A/ja active Pending
-
2008
- 2008-11-26 TW TW097145614A patent/TW200930465A/zh unknown
- 2008-12-10 KR KR1020080125501A patent/KR20090068123A/ko not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7191855B2 (ja) | 2017-05-12 | 2022-12-19 | ノードソン コーポレーション | ノズル及びノズルを備えるアプリケーターシステム |
US11724266B2 (en) | 2017-05-12 | 2023-08-15 | Nordson Corporation | Nozzle and applicator system comprising the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090068123A (ko) | 2009-06-25 |
CN101462100A (zh) | 2009-06-24 |
TW200930465A (en) | 2009-07-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091201 |