TWI787679B - 單片整合式隔離器裝置以及具有單片隔離器之系統 - Google Patents

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Abstract

本發明係數具有背對背配置而可在二電路之間形成電氣隔離之隔離 器，其中，形成於單一單片基板上之多個隔離器係經串聯而達成高於任一隔離器單獨所能提供之電氣隔離量。一對採背對背配置之隔離器具有頂部以及底部隔離器組件，其中，頂部隔離器組件係彼此相連且與下方基板為電氣隔離，因而形成浮接式之頂部隔離器組件。所述背對背隔離器可提供一或多條通訊通道，以便於不同電路之間傳送資訊及/或電源。

Description

單片整合式隔離器裝置以及具有單片隔離器之系統
本發明係關於可在電路之間提供電氣隔離之電氣隔離器。
隔離器可在彼此通訊之電路間提供電氣隔離。於某些情況下，彼此通訊之電路係於不同電壓下操作，例如一者在相對高電壓下操作，另一者在相對低電壓下操作。於某些情況下，上述電路係參照於不同之電性接地電位。隔離器可在上述之任一情況下使兩方電路形成電氣隔離。將多個隔離器串聯可增加電路間之隔離量。
本發明提供具有背對背配置而可在兩電路間提供電氣隔離之隔離器，其中形成於單一單片基板上之多個隔離器經串聯而能夠為單一基板達成較基板上單一隔離器更高之電氣隔離量。連接遠離單一基板之頂部隔離器組件可對頂部隔離器組件提供電氣隔離。所述背對背隔離器可提供一或多條通訊通道，用以在連接至該底部隔離器組件之電路間傳遞資訊及/或電源。
在某些實施例中，本發明提供一種整合式隔離器裝置。所述整合式隔離器裝置包含一基板，以及設於該基板上方之一第一隔離器組件以及一第二隔離器組件。所述整合式隔離器裝置進一步包含位於該第一隔離器組件上方之一第三隔離器組件以及位於該第二隔離器組件上方之一第四隔離器組件。所述整合式隔離器裝置進一步包含將該第三隔離器組件連接至該第四隔離器組件之至少一導體。
在某些實施例中，本發明提供一種整合式隔離器裝置。所述整合式隔離器裝置包含一基板，以及設於該基板上方之一第一隔離器組件以及一第二隔離器組件。所述整合式隔離器裝置進一步包含至少一第三隔離器組件，該至少一第三隔離器組件可電磁耦接於該第一隔離器組件以及該第二隔離器組件。該第一隔離器組件及該第二隔離器組件係位於該至少一第三隔離器組件與該基板之間。整合式隔離器裝置進一步包含耦接於該第一隔離器組件之一第一電接點以及一耦接於該第二隔離器組件之一第二電接點。
在某些實施例中，本發明提供一種系統，其係包含一隔離器、至少一第一電路以及至少一第二電路。所述隔離器包含一基板，以及位於該基板上方之一第一隔離器組件及一第二隔離器組件。隔離器進一步包含位於該第一隔離器組件及該第二隔離器組件上方之至少一第三隔離器組件。該至少一第一電路係耦接於該第一隔離器組件，且可操作於第一電壓域。該至少一第二電路係耦接於該第二隔離器組件，且可操作於不同於第一電壓域之第二電壓域。
100:整合式隔離器裝置
102,104:隔離器
106:基板
108,110,112,114:隔離器組件
108a,108b,108c,108d:頂部隔離器組件
112a,112b,112c,112d:頂部隔離器組件
110a,110b,110c,110d:底部隔離器組件
114a,114b,114c,114d:底部隔離器組件
116:介電質材料
118:銲線
120,122:接點
124:托座部
126,128:電路
130,132:電接點
130a,130b,130c,130d:電接點
132a,132b,132c,132d:電接點
134,136:傳導區域
200:整合式隔離器裝置
208,212:隔離器組件
210:傳導區域
300:整合式隔離器裝置
308,312:頂部線圈
310,314:底部線圈
318a,318b:銲線
330a,330b,332a,332b:電接點
334a,334b,336a,336b:導電走線
402,404:引線框架
406a,406b,406c,406d:引腳
408a,408b,408c,408d:引腳
410:托座部
500:系統
502:整合式隔離器裝置
504:工業馬達
506:計算裝置
508:纜線
D T ,D B ,D C ,D R :尺寸
本發明之各種態樣及實施例將參照圖式加以說明。應知圖示未必按照比例描繪，且出現於多圖中之元件係於所有圖示中以相同之符號指稱。
圖1A為具有背對背配置之整合式隔離器裝置之截面圖。
圖1B為圖1A所示整合式隔離器裝置之俯視圖。
圖2A為具有背對背配置之整合式隔離器裝置之截面圖。
圖2B為圖2A所示整合式隔離器裝置之範例俯視圖。
圖2C為圖2A所示整合式隔離器裝置之範例俯視圖。
圖3為具有兩個串聯變壓器之整合式隔離器裝置之俯視圖。
圖4為位於引線框架(lead frame)上且連接至兩個電路之整合式隔離器裝置之俯視圖。
圖5之示意圖說明利用本發明所述整合式隔離器裝置在工業設備與計算裝置之間提供電源隔離之範例應用。
本發明之態樣係關於形成於單一單片整合式裝置上之背對背隔離器。所述背對背隔離器包括彼此串聯且形成於單一基板(例如玻璃基板、陶瓷基板、半導體基板)上之兩個或更多隔離器。達成背對背配置之一種方式為將位於分離基板上之兩個隔離器串聯，藉此提供相當於此二隔離器累加隔離特性之有效隔離。對比之下，本發明之態樣提供形成於單一基板上之背對背隔離器。單片配置之優點為，由於單片配置結構具有與單一隔離器實質相似之面積(例如大於單一隔離器大約10%-15%之面積)，因而能夠以較小之整體接腳焊盤(foodprint)(基板面積)提供相當於二隔離器累加隔離特性之總計隔離效果。例如，若背對背配置中之每一隔離器可各耐受600V，則該背對背隔離器可處理的該累加隔離約1200V。此外，與多重基板背對背配置相較之下，在單一基板上形成 背對背隔離器的成本較低，這是因為所用基板面積較少。單一基板上背對背隔離器所提供之較高隔離效果可實施於通常需要高隔離電壓之高電壓應用，例如在工業(如機器監控)及健康照護或醫療應用中，例如可於發生突波事件(例如15kV至20kV)時提供保護，此為使用單一隔離器難以實現。更泛言之，其宜可於穩態運作或於突波事件中隔離自約400V至約20kV之電壓。
詳言之，本發明之態樣係關於一種第一對隔離器組件以及第二對隔離器組建之背對背隔離器結構，第一對隔離器組件(例如線圈或繞組，或電容板)形成上述隔離器之一者，且第二對隔離器組件形成另一隔離器。各對中之隔離器組件係在該整合式裝置內垂直排列，形成位於不同高度且由介電質材料隔開之一頂部隔離器組件及一底部隔離器組件。所述頂部隔離器組件係電性短路相連，且與下方基板及底部隔離器組件為電氣隔離，在該整合式裝置中形成浮接頂部隔離器組件。底部隔離器組件可做為該背對背隔離器之輸入及輸出。例如，第一對中之一底部隔離器組件可電性連接於一發送器，而第二對中之一底部隔離器組件可電性連接於一接收器。
為使背對背隔離器達成所需性能，包括所需電壓能力，一對隔離器組件(例如頂部隔離器組件與底部隔離器組件)間之電容必須夠高以利達成電場耦合或磁場耦合。然而，浮接隔離器組件與下方導體之間可能存在有寄生電容(parasitic capacitance)。例如，在某些實施例中，隔離器可設置於引線框架(lead frame)之托座部上，作為隔離器封裝之一部分。該浮接隔離器組件與該托座部之間可能存在有寄生電容。浮接隔離器組件與下方導體間之寄生電容可能降低隔離器採用其他方式配置所實現的電壓能力。例如，寄生電容可能在背對背配置 中之兩隔離器間造成電壓失衡，且在操作期間，連接至具有較高電壓部分之隔離器之裝置可能對隔離器構成限制。
本發明所述具有浮接頂部隔離器組件之背對背配置有助於降低或消除頂部隔離器組件與下方導體間之寄生電容，所述下方導體例如為下方基板(如矽基板)及/或隔離器設置所在且作為且作為隔離器封裝一部分之托座部。相對於浮接底部隔離器組件，浮接頂部隔離器組件使得浮接隔離器組件與下方導體間之介電質材料厚度增加，從而有助於降低或消除寄生電容。所述背對背隔離器可形成於具有一定厚度介電質材料(例如玻璃為>400微米)之微型裝配基板(例如玻璃基板、矽基板)上，因此，當藉由將基板設於引線框架上以封裝隔離器時，封裝後的隔離器在頂部隔離器組件與下方引線框架托座部間之寄生電容實質縮小，從而降低寄生電容對隔離器性能之影響。在某些實施例中，可利用適當之微型裝配技術，在介電質基板(例如玻璃基板)上行程背對背隔離器，且於封裝後之隔離器中，介電質基板可接觸引線框架之托座部。在某些實施例中，背對背隔離器可形成於矽基板(例如矽晶粒或晶片)上方之絕緣層(例如聚醯亞胺層)上，且在封裝後之隔離器中，矽基板可與托座部接觸。在此實施例中，絕緣層之厚度有助於降低頂部隔離器組件與矽基板間之寄生電容，其中基板可與下方托座部形成傳導接觸。
此外，頂部隔離器組件相對於其等各自底部隔離器組件之橫向面積可能對背對背隔離器之性能產生進一步影響。在某些實施例中，所述隔離器之頂部隔離器組件之橫向面積小於其等各自底部隔離器組件。例如，一頂部隔離器組件之橫向面積可為其等各自底部隔離器組件之75%-95%。因為底部隔離器組件可將頂部隔離器組件與下方導體隔開，此一配置可進一步在封裝後之隔 離器內降低或消除頂部隔離器組件與下方導體間之任何寄生電容。在某些實施例中，頂部隔離器組件之連接方式有助於降低或消除寄生電容，例如將頂部隔離器組件連接於一外部接線或連接至整合於該隔離器內之一導體。連接該頂部隔離器組件之整合式導體可具有一或多個尺寸，小於上述其中一或兩個頂部隔離器組件之橫向尺寸。例如，整合式導體之寬度為上述一或兩個頂部隔離器組件寬度之5%上下。在某些實施例中，整合式導體可形成於該頂部隔離器組件之同一層體內，作為連接頂部隔離器組件的傳導區域。在某些實施例中，整合式導體可由整合於隔離器之焊線(wire bond)所形成，以作為形成在頂部隔離器組件的一或多個金屬層。
在本發明之某些態樣所涉及的特徵為，藉由在一頂部或底部隔離器組件與該對組件中另一隔離器組件之連接間的垂直重疊所在之區域中降低或消除電場干擾，從而成就該背對背隔離器之其他所需性能。例如，用以將一接觸墊連接至一底部隔離器組件之一導體可能與其各自之頂部隔離器組件垂直重疊，且重疊之處可能因發生電性干擾而降低隔離器性能。藉由減少連接頂部及底部隔離器組件的導體與該對組件中其等各自相對的隔離器組件間的垂直重疊區域量，可以減少或消除此種電場干擾區域之影響。例如，利用外部接合線連接頂部隔離器組件並使頂部隔離器組件之橫向面積小於底部隔離器組件，能夠將影響性能之電場干擾區域實質減少或完全消除。
藉由在基板上形成不同類型之隔離器組件，本發明之背對背隔離器配置可應用於各種隔離器技術，包括電感耦合隔離器及電容耦合隔離器。在隔離器組件為線圈或繞組之實施例中，背對背隔離器包括兩個串聯之變壓器。在隔離器組件為電容板之實施例中，背對背隔離器包括兩個串聯之電容式隔離 器。某些實施例可提供高於其他構造之工作電壓、耐受或隔離等級，以及突波抗擾性能。相較於分離晶粒構造，上述之背對背配置有助於簡化設計並節省成本。本發明之背對背隔離器將頂部隔離器組件浮接，並將底部隔離器組件連接至與各自隔離電位耦合之電路系統。如此一來，兩對隔離器組件可共存於單一基板，其中頂部隔離器組件維持浮接狀態。在基板為半導體基板之實施例中，頂部隔離器組件可連接至封裝內部之浮接托座。在所述基板為玻璃基板之實施例中，頂部隔離器組件之浮接狀態未必需要使用浮接托座，例如藉由連接至封裝中之浮接托座。
以下對上述態樣及實施例與其他態樣及實施例進行進一步說明。此等態樣及/或實施例可單獨使用、全部結合使用或以其中之二或多者結合使用，其應用方式於此方面並無限制。
本發明之態樣係關於有助於達成所需隔離性能之單一單片背對背隔離器結構，包括利用一下方導體降低或消除裝置上隔離器間之寄生電容，所述下方導體例如為封裝後該裝置中引線框架之托座部。根據某些實施例，可藉由將該等頂部隔離器組件連接使得兩個隔離器形成串聯且具有背對背配置，並藉由使用底部隔離器組件為輸入及輸出，來減少寄生電容。圖1A為具有背對背配置之整合式隔離器裝置之截面圖。整合式隔離器裝置100包括兩個隔離器102及104，兩者在同一基板106上方串聯。隔離器102及104各具有一對隔離器組件(例如線圈或繞組、電容板)。於各隔離器中，隔離器組件為電磁耦接，其可由彼此相對鄰近之隔離器組件所形成。隔離器102包括經設置而彼此電磁耦接之隔離器組件108及隔離器組件110。隔離器104包括經設置而彼此電磁耦接之隔離器組件112及隔離器組件114。如圖1A所示，隔離器組件110及114皆 位於基板106上方，隔離器組件108位於隔離器組件110上方，且隔離器組件112位於隔離器組件114上方。在某些實施例中，隔離器102及104為兩個電容式耦合隔離器，其中隔離器組件108、110、112、114為電容板。在其他實施例中，隔離器102及104為兩個變壓器，其中隔離器組件108、110、112、114為線圈。
如圖1A所示，隔離器組件108及110位於整合式隔離器裝置100之分離垂直層體，且至少部分彼此重疊。同樣，隔離器組件112及114位於整合式隔離器裝置100之分離垂直層體，且至少部分彼此重疊。隔離器組件108及112經設置為遠離基板106，且可視為「頂部」隔離器組件，隔離器組件110及114經設置為接近基板106，且可視為「底部」隔離器組件。在某些實施例中，底部隔離器組件110及114係形成於整合式隔離器裝置之同一平面。在某些實施例中，頂部隔離器組件108及112係形成於整合式隔離器裝置之同一平面。
在本發明背對背配置之某些態樣中，是藉由將頂部隔離器組件彼此連接而使隔離器形成串聯。如圖1A所示，藉由透過一或多個導體而將頂部隔離器組件108耦接至頂部隔離器組件112，即可使得隔離器102與104形成串聯。詳言之，銲線118經由頂部隔離器組件108之接點120及頂部隔離器組件112之接點122而使頂部隔離器組件108與112相連。頂部隔離器組件108及112可不具有對外部電路系統或接地電位之連結，因此頂部隔離器組件108及112為浮接狀態。底部隔離器組件110與114彼此電氣隔離，且在某些實施例中，各於不同電壓下操作。例如，底部隔離器組件110可於第一電壓下操作，且底部隔離器組件114可於與第一電壓不同之第二電壓下操作。
基板106可包括一或多種介電質材料(例如玻璃、聚醯亞胺)。如圖1A所示，基板106位於托座部124上，托座部124可為封裝後隔離器中引線框架之一部分。在某些實施例中，基板106可包括一矽晶粒及形成於該矽晶粒上方而可將隔離器102及104與矽晶粒隔開之一絕緣層。根據在此所述之隔離器配置，由於隔離器102及104皆形成於基板106上，基板106可視為微型裝配晶粒或微型裝配晶片。例如，利用微型裝配技術製造隔離器時，可先在晶圓上形成背對背隔離器陣列，而後將晶圓切割成具有隔離器102與104之個別晶粒。晶粒位於一引線框架之托座部124上，成為封裝隔離器裝置之一部分。
整合式隔離器裝置100包括位於隔離器102與104間、位於頂部隔離器組件108與底部隔離器組件110間、及位於頂部隔離器組件112與底部隔離器組件114間之介電質材料116。雖然圖1A所示之介電質材料116是位於底部隔離器組件110、114與基板106之間，但在某些實施例中，底部隔離器組件可能與基板106相接觸。介電質材料116可至少部分形成於頂部隔離器組件108及112上方。在某些實施例中，介電質材料116可由一或多種介電質材料的多層體所構成。
整合式隔離器裝置100包括分別耦接於底部隔離器組件110及114之電接點130及132，使底部隔離器組件110及114能夠連接至基板106以外之電路。如圖1A所示，例如利用焊線，底部隔離器組件110連接至電路126，且底部隔離器組件114連接至電路128。電路126及128可做為整合式隔離器裝置100之輸入及輸出電路系統。在某些實施例中，電路126可包括一發送器，且電路128可包括一接收器，因此電源及/或資料藉由在隔離器102中自底部隔離器組件110傳輸至頂部隔離器組件108，而後在隔離器104中自頂部隔離器組件112傳輸至底部隔離器組件114，透過該背對背隔離器自電路126傳送至電路128。 在某些實施例中，整合式隔離器裝置100之配置可供訊號及/或電源經由隔離器組件反向傳輸。於此一實施例中，電路128可包括發送器，且電路126可包括接收器，電源及/或資料在隔離器104中自底部隔離器組件114傳輸至頂部隔離器組件112，而後在隔離器102中自頂部隔離器組件108傳輸至底部隔離器組件110。如此一來，整合式隔離器裝置100可允許訊號及/或電源之雙向傳輸。
電路126及電路128可於不同電壓或參考不同接地電位下操作，且整合式隔離器裝置100可允許電路126及128交換資料。整合式隔離器裝置100可實施於各種需要使用隔離器之應用(例如工業、醫療、消費者)，所述隔離器包括經隔離之控制開關及經隔離之電源供應控制器。在一範例中，工業機械可能於較高電壓下操作，並受控於在較低電壓下操作之其他控制設備之電腦，兩者經由圖1A所示背對背隔離器進行通訊。電路126及128可電性耦接於兩種不同之電源供應器，且/或電路126及128參考不同之接地電位。如此一來，整合式隔離器裝置100之底部隔離器組件可操作於不同電壓域，其中底部隔離器組件110可操作於一種電壓域，而底部隔離器組件114可操作於另一種電壓域。
根據本發明之態樣，由於降低頂部隔離器組件108、112中之一或兩者與托座部124間之寄生電容，整合式隔離器裝置100可具有較佳之性能。詳言之，頂部隔離器組件108、112中之一或兩者與托座部124間之電容係小於隔離器102與104中一或兩者中的一對隔離器組件間(例如頂部隔離器組件108與底部隔離器組件110)之電容。此一較低電容可能部分肇因於基板106之厚度及/或頂部隔離器組件108、112相對於其等各自底部隔離器組件110、114之橫向面積。在某些實施例中，基板106之一或多種介電質材料之厚度可大於位在一對頂部與底部隔離器組件間之介電質材料區域(例如位於頂部隔離器組件108與底部隔離器 組件110間之介電質材料116)之厚度。在基板106為一或多種介電質材料(例如玻璃)之實施例中，基板106之厚度可為100微米至600微米，或於該範圍內之任何數值或數值範圍。對照之下，頂部隔離器組件與其各自底部隔離器組件間之介電質材料厚度可為10微米至50微米，或於該範圍內之任何數值或數值範圍。
根據本發明之態樣，藉由例如減少操作過程中之電場干擾及/或電壓失衡，頂部及底部隔離器組件以及連接至隔離器組件之導體可具有變化之相對橫向面積，從而達成所需性能。詳言之，電場干擾可能發生自在隔離器裝置內之傳導層之重疊邊緣處。藉由使一隔離器內之頂部及底部隔離器組件具有不同之橫向面積，可減少頂部及底部隔離器組件之垂直重疊邊緣大小，如此一來可降低或消除上述之電場干擾。據此，在某些實施例中，在一隔離器之頂部隔離器組件之橫向面積係小於其各自之底部隔離器組件。頂部隔離器組件可至少部分位於下方底部隔離器組件之外周內。例如，頂部隔離器組件之橫向面積可為其各自底部隔離器組件之75%至95%。在某些實施例中，在隔離器裝置之底部隔離器組件之橫向面積小於其各自頂部隔離器組件。同樣，底部隔離器組件可至少部分位於上方頂部隔離器組件之外周內。例如，底部隔離器組件之橫向面積可為其各自頂部隔離器組件之75%至95%。此外，經整合作為隔離器裝置之一部分的傳導區域可具有在操作中能夠減少電場干擾之大小及形狀。在某些實施例中，用以將電接點連接至底部隔離器組件之傳導區域可與各自頂部隔離器組件重疊，且所述傳導區域可具有一或多個適當之尺寸，以減少傳導區域與頂部隔離器組件間之電場干擾。雖然以上敘述係以對頂部隔離器組件及底部隔離器組件具有不同橫向面積之隔離器為例，但應知在某些實施例包括在背對背 配置中的一或兩個隔離器，其中頂部與底部隔離器組件具有實質相同之橫向面積。
圖1B為圖1A所示整合式隔離器裝置100之俯視圖。頂部隔離器組件108、112之俯視圖在圖1B以點線輪廓表示。底部隔離器組件110、114以及用以將底部隔離器組件110、114分別連接至電接點130、132之傳導區域134、136在圖1B中以虛線輪廓表示。詳言之，傳導區域134將電接點130連接至底部隔離器組件110，而傳導區域136將電接點132連接至底部隔離器組件114。傳導區域134與底部隔離器組件110可形成於整合式隔離器裝置100之同一層體，且在某些實施例中，為相同之傳導性材料。同樣，傳導區域136與底部隔離器組件114可形成於整合式隔離器裝置100之同一層體，且在某些實施例中，為相同之傳導性材料。
如圖1B所示，頂部隔離器組件108、112之橫向面積可小於其等各自底部隔離器組件110、114。詳言之，頂部隔離器組件108、112可具有一或多個橫向尺寸，例如頂部隔離器組件108之尺寸D T ，其係小於底部隔離器組件110、114之一或多個橫向尺寸，例如底部隔離器組件110之尺寸D B 。在一非限制性範例中，D B 可為約300微米，且D T 可為約260微米。在某些實施例中，一頂部隔離器組件之外周可至少部分位於背對背隔離器內一或兩個該隔離中其各自底部隔離器組件之外周內。例如，頂部隔離器112之外周(由點線所表示者)係位於底部隔離器組件114之外周(由虛線表示者)內。傳導區域134、136可具有橫向尺寸，例如傳導區域134之尺寸D C 。傳導區域134、136之橫向尺寸可小於底部隔離器組件110、114之橫向尺寸。
此外，背對背隔離器於操作時可能在串聯之兩隔離器間發生電壓失衡，即便兩個串聯隔離器具有類似之配置，但其所經歷之電壓量卻不相同。兩隔離器間之電壓失衡可能對背對背隔離器之性能產生負面影響。為解決上述電壓失衡問題，可令兩個隔離器具有變化之橫向面積，使得一個隔離器之隔離器組件與另一隔離器中之對應隔離器組件具有不同之橫向面積。在某些實施例中，對於此兩隔離器而言，頂部隔離器組件與其各自底部隔離器組件間之重疊處面積可不同。例如，頂部隔離器組件108之橫向面積(例如尺寸D T )可大於頂部隔離器組件112，且底部隔離器組件110之橫向面積(例如尺寸D B )可大於底部隔離器組件114。在某些實施例中，一隔離器中之一或兩個隔離器組件與另一隔離器中一或兩個隔離器組件相較，其尺寸為70%至99%，或於該範圍內之任何數值或數值範圍。於此等實例中，相對橫向面積可解決於操作期間在隔離器102與104之間產生之任何電壓失衡。
圖2A為具有背對背配置之整合式隔離器裝置之截面圖。整合式隔離器裝置200包括隔離器102及隔離器104，隔離器102之隔離器組件110、208彼此電磁耦接，且隔離器104中之隔離器組件114、212彼此電磁耦接。與圖1A之整合式隔離器裝置100相仿，頂部隔離器組件208、212及底部隔離器組件110、114位於整合式隔離器裝置200內分離之垂直層體。在某些實施例中，頂部隔離器組件208及212形成於整合式隔離器裝置200之相同平面。
對比於以銲線118連接頂部隔離器組件108、112之整合式隔離器裝置100，整合式隔離器裝置200是利用一整合式導體連接頂部隔離器組件。詳言之，如圖2A所示，傳導區域210使頂部隔離器組件208與212彼此相連。在某些實施例中，傳導區域210與頂部隔離器組件208、212可由相同傳導性材料所形成 及/或位於整合式隔離器裝置中之同一層體。於此一實施例中，傳導區域210及頂部隔離器組件208、212可視為單一隔離器組件，其具有電磁耦接於底部隔離器組件110之一傳導區域、電磁耦接於底部隔離器組件114之另一傳導區域、以及連接此二傳導區域之第三傳導區域。
圖2B為圖2A所示整合式隔離器裝置200之範例俯視圖。底部隔離器組件110、112以及將底部隔離器組件110、112分別連接至電接點130、132之傳導區域134、136在圖2B中係以虛線輪廓顯示。頂部隔離器組件208、212及使其等連接之傳導區域210在圖2B之俯視圖中以點線輪廓顯示。
如圖2B所示，頂部隔離器組件208、212之橫向面積可大於其等各自底部隔離器組件110、114。詳言之，頂部隔離器組件208、212可具有一或多個橫向尺寸，例如頂部隔離器組件208之尺寸D T ，其係大於底部隔離器組件110、114之一或多個橫向尺寸，例如底部隔離器組件110之尺寸D B 。在某些實施例中，背對背隔離器之一或兩個隔離器之底部隔離器組件之外周可至少部分位於其各自頂部隔離器組件之外周內。例如，底部隔離器114之外周(以虛線表示者)係位於頂部隔離器組件212之外周內(以點線表示者)。傳導區域210之橫向尺寸，例如傳導區域210之尺寸D R ，小於頂部隔離器組件208、212之橫向尺寸，例如頂部隔離器組件208之尺寸D T 。縮減傳導區域210面積可減少發生界於傳導區域210與下方導體(例如托座部124)間之寄生電容效應。頂部隔離器組件208之尺寸D T 可為底部隔離器組件110尺寸D B 之75%至95%，或於該範圍內之任何數值或數值範圍。傳導區域210之尺寸D R 可為頂部隔離器組件208尺寸D T 之1%至20%，或於該範圍內之任何數值或數值範圍。在某些實施例中，傳導區域210之尺寸D R 可為尺寸D T 之約5%。
在圖2A所示之整合式隔離器裝置200之某些實施例中，頂部隔離器組件之橫向面積可小於其等各自底部隔離器組件。圖2C為圖2A整合式隔離器裝置200之範例俯視圖，其頂部隔離器組件之橫向面積小於其等各自底部隔離器組件。參照圖2B，底部隔離器組件110、112以及分別將底部隔離器組件110、112連接至電接點130、132之傳導區域134、136在圖2C中係以虛線輪廓表示。頂部隔離器組件208、212以及用以連接隔離器組件208與212之傳導區域210之俯視圖在圖2C中以點線輪廓顯示。
如圖2C所示，頂部隔離器組件208、212之橫向面積可小於其等各自底部隔離器組件110、114。詳言之，頂部隔離器組件208、212可具有一或多個橫向尺寸，例如頂部隔離器組件208之尺寸D T ，其係小於底部隔離器組件110、114之一或多個橫向尺寸，例如底部隔離器組件110之尺寸D B 。在某些實施例中，背對背隔離器之一或兩個隔離器之頂部隔離器組件之外周可至少部分位於其各自底部隔離器組件之外周內。例如，頂部隔離器組件212之外周(以點線顯示者)係位於底部隔離器組件114之外周(以虛線顯示者)內。傳導區域210之橫向尺寸，例如傳導區域210之尺寸D R ，可小於頂部隔離器組件208、212之橫向尺寸，例如頂部隔離器組件208之尺寸D T 。縮減傳導區域210面積可降低傳導區域210與下方導體(例如托座部124)間之寄生電容效應。
在某些實施例中，串聯之隔離器係為變壓器，而頂部線圈或繞組彼此相連。圖3為具有兩個串聯變壓器之整合式隔離器裝置之俯視圖。整合式隔離器裝置300可具有與整合式隔離器裝置100相仿之結構，其相異處在於隔離器為變壓器且隔離器組件為線圈或繞組。一變壓器包括頂部線圈308及底部線圈310。另一變壓器包括頂部線圈312及底部線圈314。如圖3所示，頂部線圈 308及312可分別位於底部線圈310及314之外周內。串聯頂部線圈308與312可涉及將頂部線圈308之內側端子連接至頂部線圈312之內側端子並將頂部線圈308之外側端子連接至頂部線圈312之外側端子。如圖3所示，某些實施例中係以銲線連接頂部線圈之端子。詳言之，銲線318a將頂部線圈308之內側端子連接至頂部線圈312之內側端子，且銲線318b將頂部線圈308之外側端子連接至頂部線圈312之外側端子。底部線圈310及314與電路相連，例如輸入及輸出電路。自底部線圈310及314之端子連接至電接點之導電走線(trace)可將底部線圈310及314連接至電路。如圖3所示，導電走線334a將底部線圈310之內側端子連接至電接點330a，導電走線334b將底部線圈310之外側端子連接至電接點330b，導電走線336a將底部線圈314之內側端子連接至電接點332a，且導電走線336b將底部線圈314之外側端子連接至電接點332b。電接點330a、330b可連接至一電路(例如發送器、接收器)，且電接點332a、332b可連接至另一電路。
一或多條導電走線可位於隔離器內與一或多個上述線圈垂直隔開之一層體(例如金屬層)中。在一範例中，導電走線336a可位於整合式隔離器裝置300內與頂部線圈312及底部線圈314垂直隔開之一層體。在某些實施例中，導電走線336a可位於整合式隔離器裝置300內在底部線圈314下方之一層體中，因此底部線圈314處於具有導電走線336a之層體與具有頂部線圈312之層體中間。此一配置可允許導電走線336a在電接點332a與底部線圈314之內側端子間形成電連接，避免導電走線336a與底部線圈314之繞組交叉。同樣，在某些實施例中，導電走線334a可位於整合式隔離器裝置300內在底部線圈310下方之一層中。對比之下，某些實施例可在整合式隔離器裝置之同一層體中具有一或 多條導電走線，形成一或多個線圈。例如，導電走線336b可與底部線圈314位於同一層體。此一配置之優點在於能夠避免導電走線336b與底部線圈314之任何繞組交叉而形成底部線圈314之外側端子與電接點332b間之電連接。同樣，導電走線334b可與底部線圈310位於同一層。
在某些實施例中，背對背變壓器頂部線圈之連接方式可為將第一頂部線圈之內側端子連接至第二頂部線圈之外側端子，並將該第一頂部線圈之外側端子連接至該第二頂部線圈之內側端子。此一配置可於操作時提供所需之訊號平衡量。
某些實施例係有關於多重通道整合式隔離器裝置，其個別通道中根據上述技術將兩個隔離器串聯因而具有背對背配置。多重通道可連接至不同之外部電路系統並用於執行不同操作，例如以一通道傳輸一種訊號至一個電路，以另一通道傳輸另一種訊號至一個不同電路。根據本發明之態樣，所述多重通道可位於相同的單一基板上。於封裝上述之多重通道整合式隔離器裝置時，背對背隔離器形成所在之基板與用為隔離器輸入或輸出之電路皆是位於同一引線框架上。如此一來，本發明之背對背隔離器配置因無需為輸入電路及輸出電路分別配置引線框架，而有助於縮減整體封裝接腳焊盤所佔面積(封裝橫向空間)。
圖4顯示範例多重通道隔離器裝置之平面圖。雖然圖4顯示四條通道，但通道實可為任何適當之數量。在圖4所示之多重通道隔離器裝置中，每一通道包括一隔離器，該隔離器具有圖1A及1B所示之整合式隔離器裝置100之背對背配置。一通道包括整合式隔離器裝置，其具有頂部隔離器組件108a、112a，以及分別連接至電接點130a、132a的且底部隔離器組件110a、114a。第二通道包括整合式隔離器裝置，其具有頂部隔離器組件108b、112b，以及分別 連接至電接點130b、132b的底部隔離器組件110b、114b。同樣地，第三通道包括整合式隔離器裝置，其具有頂部隔離器組件108c、112c，以及分別連接至電接點130c、132c的底部隔離器組件110c、114c。第四通道包括整合式隔離器裝置，其具有頂部隔離器組件108d、112d，以及分別連接至電接點130d、132d的底部隔離器組件110d、114d。上述四個背對背隔離器所在之基板116係位於引線框架404上。詳言之，基板116可位於引線框架404之托座部410上。一組底部隔離器組件，包括底部隔離器組件114a、114b、114c、114d連接至電路128，另一組底部隔離器組件包括底部隔離器組件110a、110b、110c、110d，則連接於電路126。如圖4所示，電路126位於引線框架402上，引線框架402與引線框架404分離。基板116及電路128皆位於引線框架404上。引線框架402及404具有用以構成外部連接之引線框架引腳。具體而言，引線框架402具有引腳406a、406b、406c、406d，其各可將四條通道之一者連接至外部電路系統。引線框架404具有引腳408a、408b、408c、408d，其各可將四條通道之一者連接至外部電路系統。
可用以在本發明整合式隔離器裝置之實施例中形成隔離器組件(例如線圈、電容板，例如隔離器組件108、110、112、114、208、212)、傳導區域134、136、210及導電走線(例如導電走線334a、334b，336a，336b)之傳導性材料範例包括金及銅，或任何其他適合之傳導性材料。
可用於本發明整合式隔離器裝置基板(例如基板106)之介電質材料範例包括二氧化矽及聚醯亞胺。在某些實施例中，該整合式裝置之基板可為矽基板，且該矽基板上方可設置絕緣材料(例如聚醯亞胺)。
可於本發明之整合式隔離器裝置中用為介電質材料116之一種介電質材料非限制性範例為聚醯亞胺。
在此所描述之背對背整合式隔離器裝置可實施於各種應用。例如，消費者電子裝置、能源、保健、工業、汽車、醫療、航太、安全、通訊及儀器測量應用皆可利用本發明之技術。例如，可利用在此所描述之整合式隔離器裝置在經電氣隔離之系統間提供資料傳遞及/或電源傳遞。於一範例中，可使放置在醫療程序執行室之醫療設備與位於控制室中之控制系統構成電氣隔離。例如，可使在執行室中之醫療成像設備及/或監視器與負責控制該成像設備及/或顯示器之系統為電氣隔離。該隔離器可為在此所述任一類型之背對背整合式隔離器裝置，且該經隔離之訊號路徑可為類比或數位性質。
在另一範例中，工業設備可與用於控制該設備之控制系統隔離。例如，高瓦數馬達可經在此所述任一類型之背對背整合式隔離器裝置而與用於控制其操作之控制系統隔離。所述控制系統之操作瓦數可能低於該工業設備所用馬達之瓦數。隔離器可連同各種連接至該馬達及/或控制設備之電路組件而設置於電路板上。
圖5之示意圖說明使用本發明整合式隔離器裝置在工業設備與計算裝置形成電源隔離之範例應用。詳言之，系統500包括整合式隔離器裝置502，其可將較高電壓裝置與較低電壓裝置隔離。在圖5之範例中，整合式隔離器裝置502係利用纜線508而將工業馬達504連接至計算裝置506。所述計算裝置506可為個人電腦(PC)、伺服器或其他運算裝置。雖然圖中之整合式隔離器裝置502整合於工業馬達504中，但整合式隔離器裝置502實可另行設置為獨立組件後再連接至工業馬達504及計算裝置506。其他此類裝置亦可利用在此所述之整合式 隔離器裝置。例如，除工業馬達504之外，整合式隔離器裝置502可用於在渦輪與計算裝置506之間形成電壓隔離。
本發明整合式隔離器裝置亦可能具有其他用途，所述之範例並非限制性。
並且，如在此所述，某些態樣可透過一或多種方法實施。所述方法中執行之動作可按任何適當方式排序。據此，實施例可包含以不同於圖中所繪之順序執行動作，對於圖中顯示為依序執行之動作，亦可能同時執行。
「大約」及「約」等語在某些實施例中可用於指稱目標值之±20%內，在某些實施例中為目標值之±10%內，在某些實施例中為目標值之±5%內，且在某些實施例中為目標值之±2%內。「大約」及「約」等語可包括目標值在內。
100:整合式隔離器裝置
102,104:隔離器
106:基板
108,110,112,114:隔離器組件
116:介電質材料
118:銲線
120,122:接點
124:托座部
126,128:電路
130,132:電接點

Claims (20)

  1. 一種單片整合式隔離器裝置，包含：一單一基板；一第一隔離器組件以及一第二隔離器組件，位於該單一基板上方；一第三隔離器組件，位於該第一隔離器組件上方；一第四隔離器組件，位於該第二隔離器組件上方；以及至少一導體，用以將該第三隔離器組件連接至該第四隔離器組件。
  2. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該單片整合式隔離器裝置係位於一引線框架之一托座部上，且該單一基板係位於該等第一與第二隔離器組件與該托座部之間。
  3. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三隔離器組件以及該第四隔離器組件皆與該單一基板為電氣隔離。
  4. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三隔離器組件之橫向面積小於該第一隔離器組件。
  5. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三隔離器組件之橫向尺寸小於該第一隔離器組件之橫向尺寸。
  6. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三隔離器組件具有一外周，該第三隔離器組件之該外周係至少部分位於該第一隔離器組件之一外周內。
  7. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，進一步包含耦接於該第一隔離器組件之一第一電接點以及耦接於該第二隔離器組件之一第二電接點。
  8. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，進一步包含一第一介電質材料區域，該第一介電質材料區域係位於該第一隔離器組件與該第三隔離器組件之間。
  9. 如請求項8之單片整合式隔離器裝置，進一步包含一第二介電質材料區域，該第二介電質材料區域係位於該單一基板與該第一隔離器組件之間。
  10. 如請求項1之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三隔離器組件與該第一隔離器組件間重疊處之一面積，不同於該第四隔離器組件與該第二隔離器組件間重疊處之一面積。
  11. 一種單片整合式隔離器裝置，包含：一單一基板；一第一隔離器組件以及一第二隔離器組件，位於該單一基板上方；至少一第三隔離器組件，其係電磁耦接於該第一隔離器組件以及該第二隔離器組件，其中，該第一隔離器組件以及該第二隔離器組件係位於該至少一第三隔離器組件與該單一基板之間；一第一電接點，耦接於該第一隔離器組件；以及一第二電接點，耦接於該第二隔離器組件。
  12. 如請求項11之單片整合式隔離器裝置，其中，該至少一第三隔離器組件包括一第一傳導區域、一第二傳導區域以及一第三傳導區域，該第一傳導區域係至少部分與該第一隔離器組件重疊，該第二傳導區域係至少部分與該第二隔離器組件重疊，且該第三傳導區域係連接於該第一傳導區域以及該第二傳導區域。
  13. 如請求項12之單片整合式隔離器裝置，其中，該第一傳導區域、該第二傳導區域以及該第三傳導區域係形成於該單片整合式隔離器裝置之一相同平面。
  14. 如請求項12之單片整合式隔離器裝置，其中，該第三傳導區域之橫向尺寸小於該第一傳導區域。
  15. 如請求項11之單片整合式隔離器裝置，其中，該第一隔離器組件係與該第二隔離器組件為電氣隔離，且該第一隔離器組件於一第一電壓下操作，該第二隔離器組件不同於該第一電壓之一第二電壓下操作。
  16. 一種具有單片隔離器之系統，其係包含：一單片隔離器，包含：一單一基板；一第一隔離器組件以及一第二隔離器組件，位於該單一基板上方；以及至少一第三隔離器組件，位於該第一隔離器組件以及該第二隔離器組件上方；至少一第一電路，耦接於該第一隔離器組件，且操作於一第一電壓域；以及至少一第二電路，耦接於該第二隔離器組件，且操作於不同於該第一電壓域之一第二電壓域。
  17. 如請求項16之具有單片隔離器之系統，進一步包含一引線框架，該引線框架具有一托座部，其中，該單一基板係位於該等第一與第二隔離器組件與該托座部之間。
  18. 如請求項16之具有單片隔離器之系統，其中，該至少一第三隔離器組件係與該單一基板為電氣隔離。
  19. 如請求項16之具有單片隔離器之系統，進一步包含一引線框架，其中，該至少一第一電路以及該單片隔離器係位於該引線框架上。
  20. 如請求項16之具有單片隔離器之系統，其中，該至少一第一電路包括一發送器或一接收器，且該至少一第二電路包括一發送器或一接收器。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11450469B2 (en) 2019-08-28 2022-09-20 Analog Devices Global Unlimited Company Insulation jacket for top coil of an isolated transformer

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150171934A1 (en) * 2013-12-12 2015-06-18 Fred T. Brauchler Die-to-die inductive communication devices and methods

Family Cites Families (80)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5512774A (en) 1988-02-08 1996-04-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Dielectrically isolated substrate and semiconductor device using the same
US5354695A (en) 1992-04-08 1994-10-11 Leedy Glenn J Membrane dielectric isolation IC fabrication
US5684660A (en) 1995-02-17 1997-11-04 Aiwa Research And Development, Inc. Thin film coil head assembly with protective planarizing cocoon structure
US6512437B2 (en) 1997-07-03 2003-01-28 The Furukawa Electric Co., Ltd. Isolation transformer
US5969590A (en) 1997-08-05 1999-10-19 Applied Micro Circuits Corporation Integrated circuit transformer with inductor-substrate isolation
US20030042571A1 (en) 1997-10-23 2003-03-06 Baoxing Chen Chip-scale coils and isolators based thereon
US6147411A (en) 1998-03-31 2000-11-14 Micron Technology, Inc. Vertical surface mount package utilizing a back-to-back semiconductor device module
US6707680B2 (en) * 1998-10-22 2004-03-16 Board Of Trustees Of The University Of Arkansas Surface applied passives
US6137064A (en) * 1999-06-11 2000-10-24 Teradyne, Inc. Split via surface mount connector and related techniques
JP2001167406A (ja) 1999-12-07 2001-06-22 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
JP4409714B2 (ja) 2000-04-07 2010-02-03 東京エレクトロン株式会社 枚葉式熱処理装置
DE10232642B4 (de) 2002-07-18 2006-11-23 Infineon Technologies Ag Integrierte Transformatoranordnung
US20040060164A1 (en) 2002-09-26 2004-04-01 Honeywell International Inc. High-performance substrate for magnetic isolator
US20040101226A1 (en) 2002-11-26 2004-05-27 Eric Zbinden Magnet isolator with integrated focusing apparatus
JP2004229406A (ja) 2003-01-23 2004-08-12 Sony Corp 分離トランス装置
US6903644B2 (en) 2003-07-28 2005-06-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Inductor device having improved quality factor
US7196607B2 (en) 2004-03-26 2007-03-27 Harris Corporation Embedded toroidal transformers in ceramic substrates
US7302247B2 (en) 2004-06-03 2007-11-27 Silicon Laboratories Inc. Spread spectrum isolator
US7447492B2 (en) 2004-06-03 2008-11-04 Silicon Laboratories Inc. On chip transformer isolator
US7902627B2 (en) 2004-06-03 2011-03-08 Silicon Laboratories Inc. Capacitive isolation circuitry with improved common mode detector
US7847430B2 (en) 2004-06-03 2010-12-07 Mercer Barton P Power interface apparatus and method
US7489526B2 (en) 2004-08-20 2009-02-10 Analog Devices, Inc. Power and information signal transfer using micro-transformers
CN101142715B (zh) 2005-03-15 2012-08-22 株式会社半导体能源研究所 半导体器件以及具有该半导体器件的电子器件
US7256661B2 (en) 2005-04-08 2007-08-14 The Boeing Company Multi-channel circulator/isolator apparatus and method
US20080278275A1 (en) 2007-05-10 2008-11-13 Fouquet Julie E Miniature Transformers Adapted for use in Galvanic Isolators and the Like
US8061017B2 (en) 2006-08-28 2011-11-22 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Methods of making coil transducers
US9019057B2 (en) 2006-08-28 2015-04-28 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Galvanic isolators and coil transducers
US9105391B2 (en) 2006-08-28 2015-08-11 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. High voltage hold-off coil transducer
MX2009002988A (es) 2006-09-27 2009-04-01 Duerr Systems Gmbh Conjunto rociador electrostatico.
EP1909404B1 (de) 2006-10-02 2009-04-01 Infineon Technologies Austria AG Verfahren zur Datenübertragung über eine Potentialbarriere
US7923710B2 (en) 2007-03-08 2011-04-12 Akros Silicon Inc. Digital isolator with communication across an isolation barrier
JP5045219B2 (ja) 2007-04-27 2012-10-10 富士電機株式会社 マイクロトランスの製造方法
US20080277761A1 (en) 2007-05-08 2008-11-13 Texas Instruments, Inc. On-chip isolation capacitors, circuits therefrom, and methods for forming the same
ITTO20070325A1 (it) 2007-05-11 2008-11-12 St Microelectronics Srl Isolatore galvanico integrato utilizzante trasmissione wireless
US7956491B2 (en) 2008-03-17 2011-06-07 Asic Advantage Inc. Integrated multi-transformer
US9324700B2 (en) 2008-09-05 2016-04-26 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming shielding layer over integrated passive device using conductive channels
US8446243B2 (en) 2008-10-31 2013-05-21 Infineon Technologies Austria Ag Method of constructing inductors and transformers
AU2011331918B2 (en) 2010-11-18 2013-12-19 The Silanna Group Pty Ltd Single-chip integrated circuit with capacitive isolation
US8569861B2 (en) 2010-12-22 2013-10-29 Analog Devices, Inc. Vertically integrated systems
IT1404038B1 (it) * 2010-12-29 2013-11-08 St Microelectronics Srl Dispositivo elettronico a semiconduttore provvisto di un elemento isolatore galvanico integrato, e relativo procedimento di assemblaggio
US8614616B2 (en) 2011-01-18 2013-12-24 Infineon Technologies Ag Semiconductor device and method of manufacture thereof
CN103650075A (zh) 2011-06-30 2014-03-19 美国亚德诺半导体公司 芯片上的具有磁性的隔离型功率转换器
US8643138B2 (en) 2011-06-30 2014-02-04 Silicon Laboratories Inc. High breakdown voltage integrated circuit isolation structure
US8674486B2 (en) 2011-12-14 2014-03-18 Samsung Electro-Mechanics Isolation barrier device and methods of use
WO2013179333A1 (en) 2012-05-29 2013-12-05 Fuji Electric Co., Ltd. Isolator and isolator manufacturing method
US8742539B2 (en) 2012-07-27 2014-06-03 Infineon Technologies Austria Ag Semiconductor component and method for producing a semiconductor component
US9355888B2 (en) 2012-10-01 2016-05-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Implant isolated devices and method for forming the same
US9508485B1 (en) 2012-10-04 2016-11-29 Vlt, Inc. Isolator with integral transformer
DE102012111069A1 (de) 2012-11-16 2014-05-22 Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg Planarübertrager
DE102013100622B4 (de) 2013-01-22 2018-03-01 Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg Leiterplatte im Lagenaufbau
US9929038B2 (en) 2013-03-07 2018-03-27 Analog Devices Global Insulating structure, a method of forming an insulating structure, and a chip scale isolator including such an insulating structure
US9380705B2 (en) 2013-03-14 2016-06-28 Analog Devices, Inc. Laterally coupled isolator devices
US9496926B2 (en) 2013-05-24 2016-11-15 Texas Instruments Incorporated Galvanic isolator
US9006584B2 (en) 2013-08-06 2015-04-14 Texas Instruments Incorporated High voltage polymer dielectric capacitor isolation device
US9035422B2 (en) 2013-09-12 2015-05-19 Texas Instruments Incorporated Multilayer high voltage isolation barrier in an integrated circuit
CN203554302U (zh) 2013-11-19 2014-04-16 武汉大学 一种基于隔离变压器的高压监测设备供电装置
US9735112B2 (en) * 2014-01-10 2017-08-15 Fairchild Semiconductor Corporation Isolation between semiconductor components
US20170301617A1 (en) * 2014-03-07 2017-10-19 Bridge Semiconductor Corporation Leadframe substrate with isolator incorporated therein and semiconductor assembly and manufacturing method thereof
US10236115B2 (en) 2014-06-16 2019-03-19 Stmicroelectronics S.R.L. Integrated transformer
CN104022113B (zh) 2014-06-16 2018-09-11 中国科学院自动化研究所 一种基于微型变压器的堆叠式数字隔离器
GB2528872B (en) 2014-07-31 2018-10-31 Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd Integrated MEMS transducer and circuitry
US9960671B2 (en) * 2014-12-31 2018-05-01 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Isolator with reduced susceptibility to parasitic coupling
US9257834B1 (en) 2015-02-13 2016-02-09 The Silanna Group Pty Ltd. Single-laminate galvanic isolator assemblies
JP6237909B1 (ja) 2015-07-03 2017-11-29 富士電機株式会社 アイソレータおよびアイソレータの製造方法
US9812389B2 (en) 2015-10-01 2017-11-07 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Isolation device
WO2017057422A1 (ja) 2015-10-02 2017-04-06 株式会社村田製作所 薄膜型ｌｃ部品およびその実装構造
US10204732B2 (en) 2015-10-23 2019-02-12 Analog Devices Global Dielectric stack, an isolator device and method of forming an isolator device
US10256863B2 (en) 2016-01-11 2019-04-09 Qualcomm Incorporated Monolithic integration of antenna switch and diplexer
US9978696B2 (en) * 2016-09-14 2018-05-22 Analog Devices, Inc. Single lead-frame stacked die galvanic isolator
CN107919868A (zh) 2016-10-08 2018-04-17 北京中科格励微科技有限公司 一种数字信号隔离器
US20180130867A1 (en) 2016-11-09 2018-05-10 Analog Devices Global Magnetic isolators for increased voltage operations and related methods
CN206602009U (zh) 2017-03-16 2017-10-31 深圳市华云图科技有限公司 封装的多级绝缘升压变压器
WO2018168173A1 (ja) 2017-03-17 2018-09-20 株式会社村田製作所 薄膜ｅｓｄ保護デバイス
US10121847B2 (en) 2017-03-17 2018-11-06 Texas Instruments Incorporated Galvanic isolation device
US10074939B1 (en) 2017-08-08 2018-09-11 Allegro Microsystems, Llc Signal isolator having inductive and capacitive signal coupling
US10439065B2 (en) 2017-10-11 2019-10-08 Texas Instruments Incorporated Inverted leads for packaged isolation devices
US10366958B2 (en) 2017-12-28 2019-07-30 Texas Instruments Incorporated Wire bonding between isolation capacitors for multichip modules
US10749425B2 (en) 2018-01-17 2020-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Power supply apparatus and image forming apparatus
US11044022B2 (en) 2018-08-29 2021-06-22 Analog Devices Global Unlimited Company Back-to-back isolation circuit
US11450469B2 (en) 2019-08-28 2022-09-20 Analog Devices Global Unlimited Company Insulation jacket for top coil of an isolated transformer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150171934A1 (en) * 2013-12-12 2015-06-18 Fred T. Brauchler Die-to-die inductive communication devices and methods

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