TWI730342B - 半導體元件之載帶系統與從載帶之口袋搬移半導體元件之方法 - Google Patents

半導體元件之載帶系統與從載帶之口袋搬移半導體元件之方法 Download PDF

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TWI730342B
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Abstract

本揭露描述載帶系統，其包含載帶基材與覆蓋帶。載帶系統包含複數個反覆之黏合區，在黏合區載帶基材與覆蓋帶彼此黏合。在這些反覆的黏合區與非黏合區將覆蓋帶與載帶基材分開時，帶給覆蓋帶振動，而阻礙或妨礙載帶基材之口袋所裝載之半導體元件黏附於覆蓋帶上之黏著劑。

Description

半導體元件之載帶系統與從載帶之口袋 搬移半導體元件之方法
本揭露實施方式是有關於載帶系統與使用載帶系統之方法。
使用電子元件之電子設備對於許多現代應用是不可或缺的。隨著電子技術的進展，半導體元件在尺寸上不斷變小，且同時具備更大的功能性及更多的積體電路系統。由於半導體元件的微型化尺寸，晶圓級晶片尺寸封裝(wafer level chip scale packaging，WLCSP)因其低成本與相對簡單的製造操作而廣泛的使用。在晶圓級晶片尺寸封裝操作的過程中，大量的半導體構件裝配在一半導體元件上。
本揭露之一態樣包含一種半導體元件之載帶系統。此載帶系統包含覆蓋帶以及載帶基材。載帶基材包含第一邊與第二邊，載帶基材之第一邊與載帶基材之第二邊沿著載帶基材之長度延伸。載帶基材包含複數個口袋以及複數個非黏合區。這些口袋介於載帶基材之第一邊與載帶基材之第二邊之間，且這些口袋配置以容置半導體元件。非黏合區沿著載帶基材之長度排成第一列以及複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第二列，第一列之非黏合區位於複數個口袋之一側，第二列之非黏合區位於不同於第一列之非黏合區所在之口袋之那側的口袋之一側。
本揭露之另一態樣包含一種從載帶之口袋搬移半導體元件之方法。在此方法中，將覆蓋帶與載帶基材分開，載帶基材具有寬度與長度，複數個口袋均容置半導體元件之至少一者，複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第一列，複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第二列，第一列之非黏合區位於口袋之一側，第二列之非黏合區位於不同於第一列之非黏合區所在之口袋之那側的口袋之一側。在非黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。在複數個黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。從口袋搬移半導體元件之至少一者。
本揭露之又一態樣包含一種從載帶之口袋移開半導體元件之方法。在此方法中，將覆蓋帶與載帶基材分開，載帶基材包含沿著載帶基材之長度延伸之第一邊，與沿著載帶基材之長度延伸之第二邊，以及複數個口袋介於第一 邊與第二邊之間，每一個口袋容置半導體元件之至少一者。在口袋與載帶基材之第一邊之間之複數個非黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。在介於口袋與載帶基材之第一邊之複數個黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。從口袋之一者搬移半導體元件之至少一者。
100:捲帶封裝系統
102:載帶
104:口袋
106:鏈齒孔
107:開口
108:覆蓋帶
110:捲盤
112:標籤
202:載帶系統
204:載帶基材
206:口袋
207:半導體元件
208:鏈齒孔
210:覆蓋帶
212:黏著劑
214:封合線
215:第一縱向邊
216:封合線
217:第二縱向邊
218:開口
220:凹陷
222:部分
224:下表面
226:上表面
230:凹陷
232:上表面
234:凸起
236:下表面
250:黏合區
251:非黏合區
253:離型材料
500:方法
510:步驟
520:步驟
530:步驟
600:方法
610:步驟
620:步驟
630:步驟
640:步驟
700:方法
720:步驟
730:步驟
800:方法
820:步驟
830:步驟
840:步驟
900:方法
910:步驟
920:步驟
930:步驟
2A-2A:剖面線
3A-3A:剖面線
4A-4A:剖面線
5A-5A:剖面線
從以下結合所附圖式所做的詳細描述，可對本揭露之態樣有更佳的了解。在圖式中，相同的參考符號表明類似構件或動作，除非上下文另有指示。圖式中之元件的尺寸與相對位置並非必然按比例繪示。事實上，為了使討論更為清楚，各特徵的尺寸都可任意地增加或減少。〔圖1〕係繪示一種例示之捲帶封裝系統(tape and reel packaging system)；〔圖2A〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種載帶系統的上視示意圖；〔圖2B〕係繪示沿〔圖2A〕之剖面線2A-2A之載帶系統的放大剖面示意圖；〔圖2C〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種替代非黏合區的放大剖面示意圖；〔圖2D〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種替代非黏合區的放大剖面示意圖； 〔圖2E〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種替代非黏合區的放大剖面示意圖；〔圖3A〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種載帶系統的上視示意圖；〔圖3B〕係繪示沿〔圖3A〕之剖面線3A-3A之載帶系統的放大剖面示意圖；〔圖3C〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種替代非黏合區的放大剖面示意圖；〔圖4A〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種載帶系統的上視示意圖；〔圖4B〕係繪示沿〔圖4A〕之剖面線4A-4A之載帶系統的放大剖面示意圖；〔圖5A〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種載帶系統的上視示意圖；〔圖5B〕係繪示沿〔圖5A〕之剖面線5A-5A之載帶系統的放大剖面示意圖；〔圖6〕係繪示依照本揭露之實施方式之一種例示出替代非黏合區之載帶系統的放大剖面示意圖；〔圖7〕係繪示依照本揭露之實施方式之供形成部分之非黏合區之開口的替代形狀；〔圖8〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種方法；〔圖9〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種方法；〔圖10〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種方法； 〔圖11〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種方法；以及〔圖12〕係繪示依照本揭露之實施方式的一種方法。
半導體元件以多種封裝型態運送給客戶。半導體元件之運送的一個例子是以捲帶封裝系統為基礎。在捲帶形式中，將構件放在浮花壓製(embossed)於載帶體中之特別設計的口袋(pocket)內。這些口袋可以覆蓋帶密封，以使構件保持在口袋內。可沿載帶的一或雙邊的邊緣提供鏈齒孔(sprocket hole)，以使自動裝置可移動帶體。在運送前，將帶體捲繞於塑膠捲盤上，以供標記與封裝。
依照在此所描述之實施方式的技術與結構係針對半導體元件之創新載帶系統、應用在此所描述之覆蓋帶系統之實施方式中的覆蓋帶、應用在此所描述之載帶系統之實施方式中的載帶、以及將半導體元件供應至一設備的方法，在此操作中，將半導體元件從載帶系統之口袋移走，且在一些實施方式中係將半導體元件放在所需位置。關於在從載帶系統之口袋移走半導體元件前先將覆蓋帶從載帶移開時，黏附在覆蓋帶上的半導體元件而言，依照本揭露之載帶系統、覆蓋帶、載帶、與供應半導體元件之方法比習知載帶系統、覆蓋帶、載帶、與供應半導體元件之方法遭遇更少的問題。
依照在此所描述之實施方式的覆蓋帶系統包含載帶，此載帶包含數個接收半導體元件之口袋。這些口袋包 含開口，當半導體元件放在口袋內時，此開口可讓半導體元件通過。所揭露之覆蓋帶系統包含覆蓋帶，此覆蓋帶包含覆蓋部，當覆蓋帶與載帶耦接(mated)時，覆蓋部位於開口之正上方。利用黏著劑將覆蓋帶與載帶耦接在一起，此黏著劑位於覆蓋帶與載帶圍繞開口的部分之間，例如順著沿載帶系統之長度走的至少一封合線(sealing line)。依照在此所描述之實施方式，載帶系統包含數個非黏合區，在非黏合區中，覆蓋帶與載帶並未利用黏著劑或其他方式彼此黏合。在例示之實施方式中，沿著載帶與覆蓋帶之間的封合線提供這些非黏合區。在一些實施方式中，非黏合區沒有黏合劑、或包含已被離型材料覆蓋的黏著劑而不會黏附到載帶或覆蓋帶。在其他實施方式中，非黏合區包含形成在載帶中的數個開口或凹陷，如此覆蓋帶與這樣的開口或凹陷重疊之部分上的黏著劑無可附著之載帶表面。在一些實施方式中，非黏合區位於口袋與載帶之第一邊及/或第二邊中的至少一邊之間，第一邊例如為載帶之一縱向邊，第二邊例如為載帶之一縱向邊。非黏合區使本揭露之載帶系統的性能因降低覆蓋帶與包裝在口袋中之半導體元件之間之黏附的發生而提升。
在一些實施方式中，非黏合區包含從載帶基材之上表面穿過載帶基材至載帶基材之下表面的開口，或者在載帶基材之表面中的凹陷(其未完全穿過載帶基材)。這些開口或凹陷於載帶基材之表面中形成空隙。當覆蓋帶與包含這樣開口或凹陷的載帶基材耦接時，與這些開口及凹陷重疊之覆蓋帶黏著劑無可附著之載帶基材表面，因而提供了在載帶 基材與覆蓋帶之間沒有黏著劑的非黏合區。換句話說，覆蓋帶與載帶基材在開口或凹陷處並沒有彼此黏合。在一些實施方式中，一列非黏合區設於載帶基材中之數個口袋的相對邊上且沿著載帶基材之長度尺寸延伸。依照本揭露之實施方式，每個非黏合區與另一非黏合區被一黏合區隔開，黏合區包含將載帶基材之一部分黏固在覆蓋帶之一部分的黏著劑。在本揭露之特定實施方式中，載帶系統包含覆蓋帶，此覆蓋帶包含複數個凸起，這些凸起與形成在載帶基材中之非黏合區耦接，非黏合區例如為載帶基材中的開口或凹陷。
依照在此所描述之載帶系統應用在一種供應半導體元件於一設備的方法中，在此方法之操作中，從載帶系統之口袋中搬移半導體元件。這樣的方法包含在載帶系統之複數個非黏合區中的一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。依照一些實施方式，非黏合區為具有黏性的，在其他實施方式中，非黏合區為形成在載帶基材中的開口或凹陷。在所揭露之方法的一些實施方式中，非黏合區與黏合區位於載帶基材之複數個口袋與載帶基材之縱向第一邊或縱向第二邊的至少一者之間。
提供依照在此所描述之實施方式的載帶系統，這些載帶系統包含沿著覆蓋帶與載帶基材之間的封合線延伸的非黏合區，使得本揭露之載帶系統因降低覆蓋帶與封裝在載帶系統中之半導體元件之間黏合的發生而性能提升。依照在此所描述之實施方式，當覆蓋帶與依照本揭露之實施方式之載帶系統的載帶基材分開，非黏合區與黏合區處的再三 分離造成覆蓋帶以一頻率振動，此頻率與非黏合區和黏合區處發生分離的頻率有關。這樣的振動妨礙或阻止口袋中的半導體元件變得黏附在覆蓋帶。
依照在此所描述之實施方式的覆蓋帶包含覆蓋帶基材與位於覆蓋帶基材上的黏著層。依照在此所描述之實施方式，黏著層包含由黏著劑所占的複數個黏著區，以及實質上無黏合劑或包含由離型材料所覆蓋之複數個非黏合區，離型材料不會黏附於載帶基材。在一些實施方式中，當這樣的覆蓋帶與載帶基材耦接而形成依照本揭露之載帶系統時，非黏合區位於載帶基材之複數個口袋與載帶基材之第一縱向邊及載帶基材之第二縱向邊之至少一個之間。提供具有這樣非黏合區之覆蓋帶使得本揭露之載帶系統因降低覆蓋帶與封裝在依照本揭露之覆蓋帶系統中之半導體元件之間黏合的發生而性能增進。
在此之揭露提供許多不同實施方式或實施例，以實施所描述之標的之不同特徵。以下所描述之構件與安排的特定實施例係用以簡化本描述。當然這些僅為實施例，並非用以作為限制。舉例而言，於描述中，第一特徵形成於第二特徵之上方或之上，可能包含第一特徵與第二特徵以直接接觸的方式形成的實施方式，亦可能包含額外特徵可能形成在第一特徵與第二特徵之間的實施方式，如此第一特徵與第二特徵可能不會直接接觸。此外，本揭露可能會在各實施例中重複參考數字及/或文字。這樣的重複係為了簡化與清 楚，以其本身而言並非用以指定所討論之各實施方式及/或配置之間的關係。
再者，在此可能會使用空間相對用語，例如「在下(beneath)」、「下方(below)」、「較低(lower)」、「上方(above)」、「較高(upper)」與類似用語，以方便說明來描述如圖式所繪示之一構件或一特徵與另一(另一些)構件或特徵之間的關係。除了在圖中所繪示之方向外，這些空間相對用詞意欲含括這類特徵或元件在使用或操作中的不同方位。特徵、或元件、或設備可能以不同方式定位(旋轉90度或在其他方位上)，因此可利用同樣的方式來解釋在此所使用之空間相對描述符號。
在下面的描述中，提出某些具體細節，以供對本揭露之各實施方式的完全理解。然而，熟習此技藝者將了解本揭露可在沒有這些具體細節的情況下實施。在其他例子中，並未詳細敘述與電子構件、製造技術、及捲帶系統有關之眾所周知的結構，以避免不必要的模糊本揭露之實施方式的描述。
除非上下文另外要求，否則在以下之整個說明書及申請專利範圍中，用語「包含(comprise)」及其變形，例如「包含(comprises」及「包含(comprising)」係以開放且涵蓋的意義來解釋，亦即如同「包含，但不限於」。
例如第一、第二、及第三之序數的使用並非必然暗示順序的排序意義，相反的可僅在動作或結構之多個例子之間作區分。
整分說明書中所提及之「一實施方式(one embodiment)」或「一實施方式(an embodiment)」意指相關於此實施方式所描述之特定的特徵、結構、或特性是包含在至少一實施方式中。因此，整分說明書的許多地方出現的詞組「在一實施例中(in one embodiment)」或「在一實施例中(in an embodiment)」，並非必要全參照相同之實施方式。此外，特定的特徵、結構、或特性可在一或多個實施方式中以任何合適的方法結合。
如在此說明書及所附申請專利範圍中所使用的，除非內容清楚指定，否則單數型態之用語「一(a)」、「一(an)」、以及「該(the)」包含複數個指代物。亦應注意的是，除非內容清楚指定，否則用語「或(or)」通常應用為其意義包含「及/或」。
圖1係繪示一種例示之捲帶封裝系統100的示意圖。捲帶封裝系統100包含載帶102與覆蓋帶108，而形成依照本揭露之載帶系統。載帶之示範材料包含塑膠材料，例如聚碳酸酯(polycarbonate)、聚苯乙烯(polystyrene)、或對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate)。本揭露不限於由聚碳酸酯、聚苯乙烯、或聚對苯二甲酸乙二酯所製成之載帶。本揭露之實施方式可應用於由非聚碳酸酯、聚苯乙烯、或聚對苯二甲酸乙二酯之材料所製成之載帶。載帶102可展現不同的傳導與防靜電品質，以適合不同應用；然而，本揭露不限於展現傳導或防靜電品質之載帶。載帶102包含用以容置構件，例如半導體元 件的數個口袋104，半導體元件例如為表面安裝元件(圖2A中之半導體元件207)。口袋104可例如浮花壓製於載帶102中，或者可以不包含浮花壓製的其他方式製作。口袋104之形狀可為多邊形，例如正方形、矩形、五邊形、六邊形等等，或者口袋104之形狀可為非多邊形，例如圓形或橢圓形。口袋104包含數個開口107，當一構件放在口袋中時，此構件穿過這些開口。鏈齒孔106沿著載帶102之上表面之一或二邊緣提供。鏈齒孔106可使取放單元精準偵測口袋104，取放單元是從載帶102搬移構件並將所搬移之構件放置於所需位置之設備的例子。舉例而言，取放單元包含針狀或進料鏈，其配置以與鏈齒孔106嚙合，因此使拾取頭對齊載帶。利用覆蓋帶108密封口袋104，以將放在口袋104中的構件保持在正確的位子。依照本揭露之實施例，覆蓋帶包含黏著層，黏著層包含熱活化黏著劑(heat-activated adhesive，HAA)或壓敏黏著劑(pressure-sensitive adhesive，PSA)。聚乙烯(polyethylene)為黏著劑材料的一個實施例，聚乙烯可作為覆蓋帶之黏著劑的主要成分；然而，本揭露之實施方式不限於使用具有聚乙烯作為主要成分之覆蓋帶黏著劑，含有其他聚合材料作為主要成分之覆蓋帶黏著劑可作為依照本揭露之覆蓋帶黏著劑。依照本揭露之實施方式不限於使用熱活化黏著劑或壓敏黏著劑的覆蓋帶，例如本揭露之實施方式可應用於使用非熱活化黏著劑或壓敏黏著劑之黏著劑的覆蓋帶。在包含熱活化黏著劑之覆蓋帶108耦接載帶102的貼帶製程中，熱封瓦(heated sealing shoe)將 覆蓋帶壓合於載帶之邊緣上，藉以沿著封合線將覆蓋帶封合於載帶。在熱活化黏著劑之貼帶製程中，控制時間、熱、及壓力，以達到最佳的黏著性。在冷卻後，若熱活化黏著劑之溫度於貼帶製程後增加，熱活化黏著劑可能軟化，而增加其黏著性/黏性(tackiness/stickiness)。在包含壓敏黏著劑之覆蓋帶108耦接載帶102的貼帶製程中，當施加壓力時，覆蓋帶黏著。使用壓敏黏著劑時，不需要熱來活化接合。在一些實施方式中，即使在覆蓋帶已經與載帶耦接之後，壓敏黏著劑維持黏著性。當熱活化黏著劑或壓敏黏著劑具黏性且口袋中之半導體元件接觸這樣具黏性的黏著劑時，半導體元件可黏著於熱活化黏著劑或壓敏黏著劑。或壓敏型黏合劑具黏著性且口袋內之半導體元件接觸此黏著的黏合劑時，半導體元件可黏著於熱活化黏著劑或壓敏黏著劑。半導體元件對覆蓋帶之黏著亦可以因出現在半導體元件面對覆蓋帶108之表面上的黏著劑殘留的存在而發生。這樣的黏著劑殘留可來自將半導體元件封裝在載帶102中以前之半導體元件的處理。將利用黏著劑封合於覆蓋帶108之載帶102捲繞於捲盤110上。可將數個標籤112放在捲盤110上，標籤112包含任何種類的資訊，例如顧客名稱、元件零件編號、產品日期碼、及在捲盤內的數量。條碼可為標籤112的一部分。
圖2A與圖2B係繪示一種載帶系統202之頂部的放大示意圖(圖2A)，圖2B係繪示沿圖2A之剖面線2A-2A之載帶系統202的剖面示意圖。載帶系統202包含載帶基材204，載帶基材204包含用以接收半導體元件的複數個口袋 206以及複數個鏈齒孔208。為了改善明確性，半導體元件已從此複數個口袋206中省略。此複數個口袋206沿著載帶系統202之長度尺寸對齊成一列，此複數個鏈齒孔208沿著載帶系統202之此長度尺寸對齊成一列。載帶系統202更包含覆蓋帶210位於載帶基材204上。覆蓋帶210之底面的一部分利用覆蓋帶210與載帶基材204之間的黏著劑(請參見圖2B至圖2D之黏著劑212)在黏合區黏附於載帶基材204之上面的一部分。依照一些實施方式，載帶基材204與覆蓋帶210沿著圖2A與圖2B所示之封合線214與封合線216而彼此黏合。本揭露之實施方式並不限於沿著封合線214與216黏合載帶基材204與覆蓋帶210。舉例而言，載帶基材204與覆蓋帶210可利用位於封合線214與216外側之地點的黏著劑彼此黏合。在圖2A所圖示之實施方式中，封合線214與封合線216位於口袋206的相對側，且安排成沿著載帶系統202之長度尺寸延伸的列。封合線214位於此複數個口袋206之列與載帶系統202之第一縱向邊215之間，封合線216位於此複數個口袋206之列與鏈齒孔208列之間。鏈齒孔208列位於此複數個口袋206與第二縱向邊217之間。依照繪示於圖2A與圖2B之實施方式，載帶基材204包含複數個開口218，這些開口218穿過載帶基材204而定義出圖2A與圖2B之載帶系統202的非黏合區251。開口218於載帶基材204中形成孔隙，而覆蓋帶210上的黏著劑無法黏附於此。因此，依照繪示於圖2A與圖2B之實施方式，介於覆蓋帶210與載帶基材204之間的非黏合區251存在於開口218。這些 非黏合區251被黏合區250(對應於載帶基材204於開口218已經形成後留下來的區域)所彼此分開，於黏合區250中，覆蓋帶210上的黏著劑能夠接觸載帶基材204的一部分。利用沖壓或類似技術於載帶基材204中形成開口218。開口218係在口袋206形成於載帶基材204中的同時形成，或者開口218可在口袋206形成於載帶基材204中的不同時間形成。開口218的尺寸可變；然而，開口218的尺寸不能大到開口218與口袋206及鏈齒孔208或載帶基材204之縱向邊重疊。當開口218為圓形時，他們的直徑可從約1μm至1500μm；然而，開口218可具有小於1μm與大於1500μm的直徑。相較之下，在一些實施方式中，口袋206具有長度與寬度為大於開口218之直徑的一到二或更多數量級。在一些實施方式中，口袋206之深度可為開口218之直徑的2到10或更多倍。在一些實施方式中，鏈齒孔208包含直徑大於開口218之直徑3到5或更多倍。
在操作中，藉由克服黏著劑212在覆蓋帶210與載帶基材204之間所產生之結合力，將覆蓋帶210與載帶基材204分離。藉由以足夠的力量來使覆蓋帶210與載帶基材204以實質相反方向移動來克服黏著劑212所提供之黏著力的方式，來達成這樣的操作。當以足夠的力量來使覆蓋帶210與載帶基材204以實質相反方向移動來克服黏著劑212之黏著力時，他們在黏合區250與彼此分開。當覆蓋帶210與載帶基材204的分開遇到非黏合區251時，覆蓋帶210與載帶基材204之間於非黏合區251處的沒黏合，結合施加以 將覆蓋帶210與載帶基材204分開的力量，會導致覆蓋帶振動。依照在此所描述之實施方式，當覆蓋帶在交替之黏合區250與非黏合區251處與載帶分開時，覆蓋帶振動的頻率部分取決於覆蓋帶與載帶分離之速率(例如，mm/min)以及相鄰非黏合區之間的距離。相鄰之開口218之間的間距可變。依照所揭露之實施方式，相鄰開口218之間的間距的範圍介於1μm與1500μm之間；然而，相鄰開口218之間的間距並不限於此範圍，且間距可小於1500μm或大於1μm。可選擇相鄰之開口218之間的間距，藉以使當覆蓋帶與載帶分離時傳授給覆蓋帶的振動介於1Hz與1000Hz之間。依照在此所描述之實施方式，當覆蓋帶與載帶分離時，覆蓋帶振動的頻率將取決於覆蓋帶與載帶分離之速率(例如，mm/min)以及相鄰非黏合區之間的距離。覆蓋帶的振動亦可能受到封合線214與封合線216之開口218的對齊影響。舉例而言，由圖2A之線2A-2A所對分之開口218係沿著載帶基材之寬度方向對齊。在其他實施方式中，封合線214之開口218關於載帶基材之寬度方向上並未與封合線216之開口218對齊。這樣的沒對齊將影響覆蓋帶與載帶基材分離時覆蓋帶的振動。
請參照圖2C，其係繪示非黏合區的一個替代實施方式，藉此提供未完全穿過載帶基材204之凹陷220於載帶基材204之上表面中，載帶基材204之上表面鄰近於覆蓋帶210。類似於開口218，凹陷220在載帶基材204之表面中形成孔隙，覆蓋帶210與凹陷重疊之部分上的黏著劑無法黏 附於載帶基材204。利用沖壓、浮花壓製、或類似技術於載帶基材204中形成凹陷220。凹陷220係在口袋206形成於載帶基材204中的同時形成，或者凹陷220可在口袋206形成於載帶基材204中的不同時間形成。當凹陷220為圓形時，其在載帶基材204之上表面量測之直徑可從約1μm至1500μm；然而，凹陷220可在載帶基材204之上表面具有小於1μm與大於1500μm的直徑。凹陷220沒有那麼深到完全穿過載帶基材204，因此凹陷220的深度小於載帶基材204的厚度。在一些實施方式中，凹陷220為約5至15微米深。
請參照圖2D，其係繪示非黏合區251的一個替代實施方式。在圖示之實施方式中，非黏合區251形成係因載帶基材204與覆蓋帶210之間的那層黏著劑212被圖案化而包含沒有黏著劑的部分222，或者如圖2E所示，非黏合區251包含已經由離型材料253(請參見圖2E)所覆蓋的黏著劑，離型材料253不會與載帶基材204或覆蓋帶210黏合。可利用類似於微影的技術來圖案化此層黏著劑212，或利用在覆蓋帶210或載帶基材204上印刷所需圖案之黏著劑的方式，藉以提供無黏著劑的部分222。合適之離型材料可包含聚對苯二甲酸乙二酯(PET)及其類似物。可利用於黏著劑層上印刷所需圖案之離型材料或其他類似印刷、或圖案化技術，提供離型材料於部分之黏著劑層上。
請參照圖3A、圖3B、與圖3C，其繪示開口218與凹陷220之形狀的替代實施方式。在圖3A、圖3B、與圖 3C之實施方式中，開口218與凹陷220之形狀為環形。繪示於圖3A、圖3B、與圖3C之載帶系統202的其他特徵類似或相同於參照圖2A、圖2B、與圖2C所描述之載帶系統202的特徵，因此參照圖2A、圖2B、與圖2C之這些特徵的描述適用於圖3A、圖3B、與圖3C中的那些相同特徵。依照在此參照圖3A、圖3B、與圖3C所描述的實施方式，以上述參照圖2D相同之方式提供非黏合區，亦即藉由提供一層黏著劑212於載帶基材204與覆蓋帶210之間，此層黏著劑212包含環形的部分222，這些部分222沒有黏著劑、或包含已經被離型材料(未繪示)所覆蓋的黏著劑，離型材料不會黏附至載帶基材204或覆蓋帶210。
請參照圖4A與圖4B，其係繪示開口218之形狀的替代實施方式。在圖4A與圖4B所繪示之實施方式中，開口218為以相對於載帶系統202之縱長邊具一傾斜角的方式排列之長矩形或橢圓形。雖未繪示，在本揭露之其他實施方式中，形狀為長矩形或橢圓形且以相對於載帶系統202之縱長邊具一傾斜角的方式排列之凹陷220為本揭露所考慮。類似的，可以上述參照圖2D相同之方式提供非黏合區，亦即藉由提供一層黏著劑212於載帶基材204與覆蓋帶210之間，此層黏著劑212包含形狀為長矩形或橢圓且以相對於載帶基材204之縱長邊具一傾斜角的方式排列之部分222，且這些部分222沒有黏著劑、或包含已經被離型材料(未繪示)所覆蓋的黏著劑，離型材料不會黏附至載帶基材204或覆蓋帶210。
請參照圖5A與圖5B，其係繪示開口218之形狀的替代實施方式。在圖5A與圖5B所繪示之實施方式中，開口218為箭頭形。雖未繪示，在本揭露之其他實施方式中，箭頭形之凹陷220為本揭露所考慮。類似的，可以上述參照圖2D相同之方式提供非黏合區，亦即藉由提供一層黏著劑212於載帶基材204與覆蓋帶210之間，此層黏著劑212包含箭頭形且沒有黏著劑、或包含已經被離型材料(未繪示)所覆蓋的黏著劑，離型材料不會黏附至載帶基材204或覆蓋帶210。
請參照圖6，依照其他實施方式，載帶基材204包含數個開口218，這些開口218從載帶基材204之下表面224穿到上表面226。在圖6所示之實施方式中，在下表面224之開口218的尺寸小於在載帶基材204之上表面226之開口218的尺寸。雖未繪示於圖6中，開口218亦可為凹陷220，凹陷220並未從上表面226至下表面224完全延伸穿過載帶基材204。在這樣的實施方式中，在上表面226之凹陷220的尺寸大於上表面226下方之凹陷220的尺寸。此外，在圖6所示之實施方式中，覆蓋帶210包含位於其上表面232中的凹陷230以及位於其下表面236中的凸起234。依照一些實施方式，按一定尺寸製造與設置凸起234，如此凸起234在載帶基材204之上表面226與開口218匹配且至少一部分之凸起234被接納於開口218(或未繪示於圖6中的凹陷220)中。凸起234的存在有助於覆蓋帶210與載帶基材204的對準。
圖2A中之開口218繪示成圓形；然而，依照本揭露之實施方式並不限於開口218是圓形。舉例而言，圖7係繪示開口218之複數個不同形狀，包含正方形、五邊形、六邊形、與三角形。圖7係繪示開口218之五個不同形狀的上視圖，包含圖2A所示之圓形開口。如上所述，這些不同形狀的開口218完全延伸穿過載帶基材204，或者他們可能沒有完全延伸穿過載帶基材204，在這樣的例子中他們在載帶基材204中形成凹陷220。此外，如圖6所示，開口218的尺寸可隨開口218延伸穿過載帶基材204而變化。在圖6中，開口218繪示成隨著開口218從上表面226延伸至下表面224其在尺寸上變小；然而，本揭露之實施方式並不限於開口218或凹陷220為隨著其從上表面226朝下表面224延伸而在尺寸上縮減。在開口218或凹陷220之尺寸隨著其從上表面226朝下表面224延伸而減少的實施方式中，開口218在上表面226之尺寸與開口在下表面224之尺寸的比為約1.1至約1.3。
請參照圖8，本揭露之實施方式包含一種製造適用於依照本揭露之載帶系統中的覆蓋帶的方法800。在圖示之方法800中，於步驟820中提供覆蓋帶基材。在步驟830中，塗布覆蓋帶黏著劑於覆蓋帶基材之表面上。在步驟840中，移除塗布在覆蓋帶基材之表面上之覆蓋帶黏著劑的數個部分，以在覆蓋帶基材之表面上定義出無黏著劑的區域，例如非黏合區。如上述所討論，可利用類似於微影的技術移除 覆蓋帶黏著劑的這些部分，或者可利用機械方式，例如沖壓或類似技術將他們移除。
請參照圖9，依照本揭露之其他實施方式，方法900例示一種製造適用於依照本揭露之載帶系統的覆蓋帶的方法。在圖9之例示方法900中，於步驟910中提供覆蓋帶基材。於步驟920中，圖案化覆蓋帶黏著劑薄膜，而移除覆蓋帶黏著劑薄膜的數個部分，例如利用沖壓或類似技術移除部分之覆蓋帶黏著劑薄膜。替代的，可利用類似於微影技術或打印(stenciling)的技術來圖案化覆蓋帶黏著劑薄膜。在步驟930中，將所形成之圖案化的覆蓋帶黏著劑薄膜與覆蓋帶基材結合。所形成的結合為覆蓋帶，其包含無黏著劑的部分(非黏合區)以及有黏著劑的部分(黏合區)。
請參照圖10，依照本揭露之其他實施方式，方法700例示另一種提供適用於依照本揭露之載帶系統之覆蓋帶的方法。在圖10之例示方法700中，於步驟720中提供覆蓋帶基材。於步驟730中，例如利用將覆蓋帶黏著劑圖案印化或打印於覆蓋帶基材上的方式，將覆蓋帶黏著劑圖案塗布於覆蓋帶基材上。可利用噴墨印表機技術將覆蓋帶黏著劑印刷在覆蓋帶基材上，或可透過包含所需黏著劑圖案的印刷模板來將黏著劑印刷在覆蓋帶基材上。所形成的覆蓋帶包含無黏著劑的部分(非黏合區)以及有黏著劑的部分(黏合區)。
請參照圖11，依照本揭露之其他實施方式，方法500例示另一種提供適用於依照本揭露之載帶系統之覆蓋帶的方法。在圖11之例示方法500中，於步驟510中提供 覆蓋帶基材。在步驟520中，塗布覆蓋帶黏著劑於覆蓋帶基材之表面上。於步驟530中塗布離型材料於覆蓋帶黏著劑上。離型材料塗覆成毯覆式薄膜，接著隨後圖案化離型材料以移除離型材料之數個部分，或者離型材料塗布成一圖案，此圖案產生被離型材料所覆蓋之覆蓋帶黏著劑的數個部分、以及沒有被離型材料覆蓋之覆蓋帶黏著劑的數個部分。可利用類似於上述那些關於塗布覆蓋帶黏著劑於覆蓋帶基材的技術來塗布離型材料，且可利用類似於上述那些關於圖案化覆蓋帶黏著劑的技術來圖案化離型材料。所形成之覆蓋帶包含離型材料存在且覆蓋帶無法黏附於載帶的非黏合區、以及離型材料不存在且覆蓋帶可黏附於載帶的黏合區。
上述參照圖8至圖11描述之方法係關於製造載帶系統，藉此由覆蓋帶上之黏著劑圖案、或覆蓋帶上之黏著劑與離型材料圖案來提供依照在此所描述之實施方式的非黏合區。本揭露不限於利用上述關於圖8至圖11所描述之方法來提供非黏合區。在本揭露之其他實施方式中，藉由提供載帶基材來形成包含非黏合區之載帶系統，此載帶基材包含所需黏著劑圖案、或由載帶基材上之離型材料覆蓋所需黏著劑圖案。在上述的其他實施方式中，藉由提供開口或凹陷於載帶基材中、以及結合這樣的載帶基材與包含黏著層之覆蓋帶的方式，來形成包含非黏合區之載帶系統。
請參照圖12，依照現在揭露之實施方式的方法包含用以將半導體元件供應給設備的方法600，在操作中，從載帶系統之口袋移除半導體元件。依照方法600，於步驟 610中，提供載帶系統。載帶系統包含複數個黏合區與非黏合區。載帶系統亦包含載帶基材，載帶基材包含容置有半導體元件之複數個口袋。在一些實施方式中，複數個黏合區與非黏合區排成至少二列，此至少二列沿著載帶系統之長度延伸在複數個口袋與載帶系統之縱向邊之間。利用複數個黏合區，將覆蓋帶黏附於載帶基材上。依照方法600，於步驟620中，在黏合區將載帶基材與覆蓋帶分開。於步驟630中，在非黏合區將載帶基材與覆蓋帶分開。於步驟640中，從口袋搬移半導體元件。依照一些實施方式，從口袋搬移半導體元件的其中之一前，可重複多次的步驟620與630。在後續步驟中(未繪示)，將所搬移之半導體元件放置在所需位置處。
上述概述了數個實施方式的特徵，因此熟習此技藝者可更了解本描述之態樣。熟悉此技藝者應了解到，其可輕易地利用本描述做為基礎，來設計或潤飾其他製程與結構，以實現與在此所介紹之實施方式相同之目的及/或達到相同的優點。熟悉此技藝者也應了解到，這類對等架構並未脫離本描述之精神和範圍，且熟悉此技藝者可在不脫離本描述之精神和範圍下，在此進行各種之更動、取代與修改。
一般而言，在下列的申請專利範圍中，所使用之用語不應解釋為將申請專利範圍限縮至說明書及申請專利範圍所揭露之具體實施方式，而應解釋為包含所有可能的實施方式以及此申請專利範圍之均等的全部範圍。因此，申請專利範圍本並未受限於本揭露。
可利用以下之實施方式的描述進一步理解本揭露：在一結構實施方式中，一種半導體元件之載帶系統包含覆蓋帶與載帶基材，此載帶基材包含沿著載帶基材之長度延伸之第一邊與第二邊。載帶基材包含複數個口袋位於載帶基材之第一邊與載帶基材之第二邊之間。口袋配置以容置半導體元件。載帶基材亦包含複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第一列以及複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第二列。第一列非黏合區位於複數個口袋之一側，第二列非黏合區位於複數個口袋之不同於此複數個口袋之第一列非黏合區所在之側的一側。
依據一實施例，每個非黏合區包含開口穿過載帶基材或凹陷位於載帶基材之表面中。
依據一實施例，載帶基材更包含複數個鏈齒孔，非黏合區位於這些口袋與鏈齒孔之間。
依據一實施例，非黏合區對齊成第一列平行載帶基材之長度延伸。
依據一實施例，載帶系統更包含第二列之對齊之非黏合區，第二列之對齊之非黏合區位於相對於第一列之對齊之非黏合區所在之口袋之那側的口袋之一側。
依據一實施例，每個非黏合區與這些非黏合區之另一者為一黏合區所分開。
依據一實施例，這些黏合區與非黏合區對齊。
本揭露之載帶系統之實施方式包含覆蓋帶與具有長度之載帶基材。載帶基材更包含複數個半導體元件之口袋以及複數個非黏合區沿著這些口袋之一側的載帶基材的長度排成一列。載帶系統包含第二複數個非黏合區沿著載帶的長度排成一第二列且位於這些口袋之一側，此側相對於第一列非黏合區所排列之口袋之側。
一種方法實施方式有關於一種從載帶之口袋搬移半導體元件的方法。此方法包含將覆蓋帶從載帶基材分開。載帶基材具有寬度與長度、均容置有至少一個半導體元件的複數個口袋、複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第一列、複數個非黏合區沿著載帶基材之長度排成第二列。第一列非黏著區位於複數個口袋之一側，第二列非黏著區位於此複數個口袋之一側，其不同於第一列非黏合區所在之此複數個口袋的那側。此方法包含在此複數個非黏合區的一個或多個處將覆蓋帶從載帶基材分開，以及在複數個黏合區之一或多個處將覆蓋帶從載帶基材分開。藉由覆蓋帶的移開，可從此複數個口袋搬移至少一半導體元件。
依據一實施例，在非黏合區之一或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開包含從穿過載帶基材之開口或位於載帶基材之表面中之凹陷分開覆蓋帶。
依據一實施例，第一列之非黏合區平行載帶基材之長度延伸。
依據一實施例，在非黏合區之一或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開包含從覆蓋帶之無黏著劑之一部分或 覆蓋帶包含黏著劑且具有離型材料位於此黏著劑上之一部分分開載帶基材。
依據一實施例，黏合區與第一列之非黏合層區對齊。
依據一實施例，覆蓋帶包含第一邊沿著覆蓋帶之長度延伸，覆蓋帶包含複數個凸起對齊成一列，此列之凸起平行於覆蓋帶之第一邊延伸且與第一列之非黏合區耦接。
依據一實施例，在非黏合區之一或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開包含將這些凸起與第一列之非黏合區分開。
一種方法實施方式係有關於一種從載帶之口袋搬移半導體元件的方法。此方法包含將覆蓋帶從載帶基材分開，其中載帶基材包含複數個非黏合區，這些非黏合區介於半導體元件之複數個口袋與載帶基材之縱向邊之間。此方法更包含將覆蓋帶從載帶基材之複數個黏合區之一或多個處分開，這些黏著區排列在非黏合區之間以及半導體元件之複數個口袋與載帶基材之縱向邊之間。
一種方法實施方式有關於一種從載帶之口袋搬移半導體元件的方法。此方法包含將覆蓋帶與載帶基材分開，載帶基材包含沿著載帶基材之長度延伸之第一邊，與沿著載帶基材之長度延伸之第二邊，以及複數個口袋介於第一邊與第二邊之間，每個口袋容置半導體元件之至少一者。在口袋與載帶基材之第一邊之間之複數個非黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。在介於口袋與載帶基材之 第一邊之複數個黏合區之一個或多個處將覆蓋帶與載帶基材分開。從這些口袋之一者搬移半導體元件之至少一者。
依據一實施例，半導體元件為複數個表面安裝元件。
依據一實施例，將覆蓋帶與載帶基材分開使得載帶基材振動。
依據一實施例，每個非黏合區包含穿過載帶基材之開口或位於載帶基材之表面中之凹陷。
依據一實施例，每個非黏合區包含覆蓋帶之無黏著劑之一部分或覆蓋帶包含黏著劑且具有離型材料位於黏著劑上之一部分。
依據一實施例，覆蓋帶包含第一邊沿著該覆蓋帶之長度延伸，覆蓋帶包含複數個凸起對齊成一列，此列之凸起平行於覆蓋帶之第一邊延伸。
202:載帶系統
204:載帶基材
206:口袋
208:鏈齒孔
210:覆蓋帶
212:黏著劑
214:封合線
215:第一縱向邊
216:封合線
217:第二縱向邊
218:開口
2A-2A:剖面線

Claims (10)

  1. 一種半導體元件之載帶系統，包含：一覆蓋帶，包含一第一邊沿著該覆蓋帶之一長度延伸，該覆蓋帶包含複數個凸起對齊成一列，該列之該些凸起平行於該覆蓋帶之該第一邊延伸；以及一載帶基材，包含一第一邊與一第二邊，該載帶基材之該第一邊與該載帶基材之該第二邊沿著該載帶基材之一長度延伸，該載帶基材包含：複數個口袋，介於該載帶基材之該第一邊與該載帶基材之該第二邊之間，且該些口袋配置以容置該半導體元件；以及複數個第一非黏合區沿著該載帶基材之該長度排成一第一列以及複數個第二非黏合區沿著該載帶基材之該長度排成一第二列，該第一列之該些非黏合區位於該複數個口袋之一側，該第二列之該些非黏合區位於不同於該第一列之該些非黏合區所在之該複數個口袋之該側的該複數個口袋之一側，該些凸起與該第一列之該複數個第一非黏合區耦接。
  2. 如申請專利範圍第1項之載帶系統，其中每一該複數個非黏合區包含一開口穿過該載帶基材或一凹陷位於該載帶基材之一表面中。
  3. 如申請專利範圍第1項之載帶系統，其中該載帶基材更包含複數個鏈齒孔，該複數個非黏合區位於該複數個口袋與該些鏈齒孔之間。
  4. 一種從載帶之口袋搬移半導體元件之方法，該方法包含：提供一載帶基材上之一覆蓋帶，該載帶基材具有一寬度與一長度，複數個口袋均容置該些半導體元件之至少一者，複數個第一非黏合區沿著該載帶基材之該長度排成一第一列，複數個第二非黏合區沿著該載帶基材之該長度排成一第二列，該第一列之該複數個非黏合區位於該複數個口袋之一側，該第二列之該些非黏合區位於不同於該第一列之該些非黏合區所在之該複數個口袋之該側的該複數個口袋之一側，該覆蓋帶包含一第一邊沿著該覆蓋帶之一長度延伸，該覆蓋帶包含複數個凸起對齊成一列，該列之該些凸起平行於該覆蓋帶之該第一邊延伸且與該第一列之該複數個第一非黏合區耦接；在該複數個非黏合區之一個或多個處將該覆蓋帶與該載帶基材分開；在複數個黏合區之一個或多個處將該覆蓋帶與該載帶基材分開；以及從該複數個口袋搬移該些半導體元件之該至少一者。
  5. 如申請專利範圍第4項之方法，其中在該複數個非黏合區之該或該多個處將該覆蓋帶與該載帶基材 分開包含從穿過該載帶基材之一開口或位於該載帶基材之一表面中之一凹陷分開該覆蓋帶。
  6. 如申請專利範圍第4項之方法，其中在該複數個非黏合區之該或該多個處將該覆蓋帶與該載帶基材分開包含從該覆蓋帶之無黏著劑之一部分或該覆蓋帶包含一黏著劑且具有一離型材料位於該黏著劑上之一部分分開該載帶基材。
  7. 如申請專利範圍第4項之方法，其中該些半導體元件為表面安裝元件(surface-mount devices；SMD)。
  8. 一種從載帶之口袋搬移半導體元件之方法，該方法包含：提供一載帶基材上之一覆蓋帶，該載帶基材包含沿著該載帶基材之一長度延伸之一第一邊，與沿著該載帶基材之該長度延伸之一第二邊，以及複數個口袋介於該第一邊與該第二邊之間，每一該些口袋容置該些半導體元件之至少一者，該覆蓋帶包含一第一邊沿著該覆蓋帶之一長度延伸，該覆蓋帶包含複數個凸起對齊成一列，該列之該些凸起平行於該覆蓋帶之該第一邊延伸且與該第一列之複數個第一非黏合區耦接； 在該複數個口袋與該載帶基材之該第一邊之間之該複數個第一非黏合區之一個或多個處將該覆蓋帶與該載帶基材分開；在介於該複數個口袋與該載帶基材之該第一邊之複數個第二黏合區之一個或多個處將該覆蓋帶與該載帶基材分開；以及從該複數個口袋之一者搬移該些半導體元件之該至少一者。
  9. 如申請專利範圍第8項之方法，其中將該覆蓋帶與該載帶基材分開使得該載帶基材振動。
  10. 如申請專利範圍第8項之方法，其中每一該複數個非黏合區包含穿過該載帶基材之一開口或位於該載帶基材之一表面中之一凹陷。
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