TWI721729B - 晶圓傳送盒清洗設備及系統 - Google Patents

Abstract

本發明在於提供一種能節省空間、動作緊湊，能有效避免粒子沾附的晶圓傳送盒清洗設備及系統。其技術手段：清洗設備包括前、後機台；前機台包含第一架體、第一水平位移機構、翻轉機構、吸取裝置、第一垂直位移機構、前清洗槽、前清洗裝置及第一隔離壁裝置；後機台包含第二架體、後清洗槽、後隔離裝置及後清洗裝置；前機台能將盒本體和門本體分開，讓門本體下降、盒本體翻轉至後機台處，以分別進行清潔；清洗系統包括清洗、移動、充氮及暫存設備；移動設備能帶動被清洗設備所清潔後的晶圓傳送盒，進行位移；充氮設備能接收移動設備自清洗設備處所移動帶來的晶圓傳送盒，以對其進行充氮的作業；暫存設備能接收被移動設備自充氮設備處，所轉移過來的晶圓傳送盒，以供暫存及輸出用。

Description

晶圓傳送盒清洗設備及系統

本發明涉及一種能針對晶圓傳送盒進行處理、以再投入應用的清洗結構與系統，尤指一種晶圓傳送盒清洗設備及系統。

在現今的半導體製程中，需要利用多種方法，對晶圓來進行加工，晶圓會經過一系列的製程設備，過程中需要經過多次運送，因此在保管及搬運晶圓時，需要注意不會因外部的衝擊而被損傷，並且需要進行管理，以使晶圓的表面不被水分、灰塵、各種有機物等雜質污染。

所以在過程中，會使用晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod；FOUP，又或稱為前開口一體盒)，用於運送及儲存複數片晶圓，為半導體製程間輸送及儲存的重要載具設備。

晶圓傳送盒需要進行週期性地清潔，以防止晶圓被污染，隨著製程的改良與進步，清洗標準變得越加嚴格，清洗循環的次數及每一循環的複雜度增加，以防止交叉污染。

為了避免污染，晶圓傳送盒清洗的時間需要縮短，但是傳統晶圓傳送盒清洗機具，受到清洗循環的次數、高複雜度、高清潔度需求、共用機器人的影響，讓時間的縮短成為一件非常困難的事。

另外，傳統晶圓傳送盒清洗機具，所佔用的空間也更大，維修時效長，並且還容易發生固態微粒污染的問題。

有鑑於此，如何提供一種能解決前述問題的晶圓傳送盒清洗設備及系統結構，便成為本發明欲改進的課題。

本發明的目的在於提供一種能節省空間、動作緊湊、維修時效短，能有效避免粒子沾附，並節約空間的晶圓傳送盒清洗設備及系統。

本發明正是為了解決上述問題而研發的，為達到本發明的目的，本發明的技術手段，是這樣實現的，關於清洗設備方面，是這樣實現的，為一種晶圓傳送盒清洗設備，所述清洗設備(100)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行清洗用，其特徵在於：所述清洗設備(100)，其至少包括有至少一前機台(1)、及一設於該前機台(1)後側端處的後機台(2)；所述前機台(1)，其包含有一第一架體(11)、一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一水平位移機構(12)、一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉機構(13)、一對應於該翻轉機構(13)而設置於第一架體(11)頂端後側處的吸取裝置(14)、一對應於該吸取裝置(14)設置的第一垂直位移機構(15)、一設於該第一架體(11)底端後側處的前清洗槽(16)、一設於該第一架體(11)後側處的前清洗裝置(17)、及一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離壁裝置(18)；所述第一水平位移機構(12)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移；所述翻轉機構(13)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)之盒本體(10A)、翻轉至該後機台(2)處，並使該盒本體(10A)之開口，由垂直轉為水平狀態；所述吸取裝置(14)能對該晶圓傳送盒(10)之門本體(10B)進行真空吸附定位，並使其拆下與該盒本體(10A)分離；所述第一垂直位移機構(15)，其能帶動該吸取裝置(14)於對應該晶圓傳送盒(10)、對應 該前清洗槽(16)兩狀態間作轉換，以一同帶動被拆下的該門本體(10B)；所述前清洗槽(16)，其內具有一容納空間(161)，該容納空間(161)前方設有一與其連通的開口(162)，而該開口(162)能供定位容納被該吸取裝置(14)所轉移過來的該門本體(10B)；所述前清洗裝置(17)，其設於該容納空間(161)內，具有一基座(171)、至少一設於該基座(171)上的可動清洗單元(172)、及兩分別設於該基座(171)兩側端處的乾燥單元(173)，該可動清洗單元(172)能對該門本體(10B)進行清洗，該乾燥單元(173)能對該門本體(10B)進行乾燥動作；所述第一隔離壁裝置(18)，其能在該第一水平位移機構(12)帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移時開啟，以供降低污染可能用；所述後機台(2)，其包含有一對應於該第一架體(11)後側端設置的第二架體(21)、一設於該第二架體(21)頂端的後清洗槽(22)、一設於該後清洗槽(22)上方的後隔離裝置(23)、及一頂端設於該後清洗槽(22)內位於該後清洗槽(22)底端的後清洗裝置(24)；所述後清洗槽(22)，其能供容納由該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)用；所述後隔離裝置(23)，其能供在該翻轉機構(13)將該盒本體(10A)翻轉移動過來後，將該後清洗槽(22)封閉用；所述後清洗裝置(24)，其能被該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)所覆蓋，並能供對該盒本體(10A)內部進行清洗、乾燥的動作用。

更優選的是，所述翻轉機構(13)，其還包括有一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉驅動裝置(131)、一設於該翻轉驅動裝置(131)左側的左翻轉支架(132)、及一鏡像設置於該翻轉驅動裝置(131)右側的右翻轉支架(133)；所述左翻轉支架(132)，其還包含有一底端與該翻轉驅動裝置(131)左側連接的左Y形支架(1321)、一間 隔設於該左Y形支架(1321)右側的左L形支架(1322)、數支間隔設於該左Y形支架(1321)與該左L形支架(1322)間的左間隔桿(1323)、及至少一設於該左L形支架(1322)右側面處的左定位組件(1324)；該左Y形支架(1321)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該左L形支架(1322)還相對應於該左Y形支架(1321)頂端而設置，該左定位組件(1324)能供定位該晶圓傳送盒(10)用；所述右翻轉支架(133)，其還包含有一底端與該翻轉驅動裝置(131)右側連接的右Y形支架(1331)、一間隔設於該右Y形支架(1331)左側的右L形支架(1332)、數支間隔設於該右Y形支架(1331)與該右L形支架(1332)間的右間隔桿(1333)、及至少一設於該右L形支架(1332)左側面處的右定位組件(1334)，該右Y形支架(1331)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該右L形支架(1332)還相對應於該右Y形支架(1331)頂端而設置，該右定位組件(1334)能供定位該晶圓傳送盒(10)用。

更優選的是，所述前清洗裝置(17)，其還包括有一轉動裝置(174)，該轉動裝置(174)能帶動該可動清洗單元(172)轉動；所述可動清洗單元(172)，其一側還間隔設有數個前清洗噴頭(1721)；所述後清洗裝置(24)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)底端的第二驅動單元(241)、一設於該後清洗槽(22)內的清洗單元(242)、一與該第二驅動單元(241)可動連接的滑座(243)、及一設於該清洗單元(242)與該滑座(243)間的連接柱(244)；前述清洗單元(242)，其還包括有一設於該連接柱(244)頂端左側的左清洗組合(2421)、一設於該連接柱(244)頂端右側的右清洗組合(2422)、一設該左清洗組合(2421)與該右清洗組合(2422)之間且位於該連接柱(244)頂端的調整組件(2423)、及一設於該與該連接柱(244)間的管道整合座(2424)；所述左清洗 組合(2421)與該右清洗組合(2422)，其兩者皆還包括有一座體(2421a)、一設於該座體(2421a)頂端的倒L形乾燥組件(2421b)、一形成於該座體(2421a)與該倒L形乾燥組件(2421b)一側間的凹陷部(2421c)、及數個間隔排列於該凹陷部(2421c)處的L形清洗噴頭(2421d)；所述調整組件(2423)，其還具有兩倒T形支架(a)、一左H形翼板(b)、一右H形翼板(c)、一橫桿(d)、一跨接塊(e)、一螺桿(f)、及一定位單元(g)；前述倒T形支架(a)相應設於該管道整合座(2424)頂端面的前側與後側邊緣處，且各個該倒T型支架(a)內還各具有一倒T形開槽(a1)；前述左H形翼板(b)設於該管道整合座(2424)頂端面左側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該左清洗組合(2421)；前述右H形翼板(c)設於該管道整合座(2424)頂端面右側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該右清洗組合(2422)，而該左H形翼板(b)、該右H形翼板(c)位於該倒T型支架(a)之間的一端，還相互樞接，另該左H形翼板(b)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一左限位桿(b1)滑動定位，另該右H形翼板(c)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一右限位桿(c1)滑動定位；前述橫桿(d)設於該左H形翼板(b)與該右H形翼板(c)的樞接處，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)之該倒T形開槽(a1)配合，而中央還垂直設有一連接塊(d1)；前述跨接塊(e)設於該倒T型支架(a)之間，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)頂端連接；前述螺桿(f)穿過該跨接塊(e)後與該連接塊(d1)與該連接；前述調整轉輪(g)與該螺桿(f)螺接，位於該跨接塊(e)與該連接塊(d1)間；所述管道整合座(2424)，其還能供連接相應管路後、將氣體和液體有效率地傳輸到該左清洗組合(2421)、該右清洗組合(2422)處。

更優選的是，所述後清洗槽(22)，其還包括有一設於該後清 洗槽(22)前端側與頂端側處的倒L形開口(221)、一設於該倒L形開口(221)前端側處的前U形擋板(222)、一間隔設於該前U形擋板(222)後側處的後U形擋板(223)、一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣處的外ㄇ形膠條(224)、及一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣且位於該外ㄇ形膠條(224)內側處的內ㄇ形膠條(225)；前述倒L形開口(221)，其頂端側內邊緣相應於該前U形擋板(222)頂端處，還分別凹設有一前凹陷部(2211)，而頂端側內邊緣相應於該後U形擋板(223)處，亦還分別凹設有一後凹陷部(2212)；前述前U形擋板(222)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一前凹槽(2221)，而該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣處，還卡設有一前隔離膠條(2222)；前述後U形擋板(223)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一後凹槽(2231)，而該後U形擋板(223)封閉端頂邊緣處，還卡設有一後隔離膠條(2232)；所述後隔離裝置(23)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)上方並對應於該倒L形開口(221)的倒L型隔離板(231)、一設於該後清洗槽(22)後側端處的板垂直驅動單元(232)、兩分別設於該該後清洗槽(22)相應側處的板引導軌道(233)、一該倒L型隔離板(231)頂端連接的牽引線(234)、及一設於該牽引線(234)自由端處的配重塊(235)；前述倒L型隔離板(231)，其還具有一斷面概呈H形的前垂直板體(2311)、及一前端底面與該前垂直板體(2311)頂端相接的水平板體(2312)，且該前垂直板體(2311)前側面底端處還延伸設有一前擋板(2311a)，而該前垂直板體(2311)的前側面邊緣兩側處，還分別設有一前封閉膠條(2313)，另該前垂直板體(2311)的後側面邊緣兩側處，還分別設有一後封閉膠條(2314)；前述板垂直驅動單元(232)，其頂端還與該倒L型隔離板(231)連接；前述板引導軌道(233)，其頂端還分別與該倒L型隔離板(231)相應側處連接；前述牽引線 (234)，其與該倒L型隔離板(231)頂端連接後，還往該後清洗槽(22)後側方向轉繞，處延伸至該後清洗槽(22)後側處。

更優選的是，所述後機台(2)，其還包括有設於該後清洗槽(22)內且對應於該左翻轉支架(132)的一左抵頂桿件(25)、及對應於該右翻轉支架(133)的一右抵頂桿件(26)，該左抵頂桿件(25)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該左翻轉支架(132)用，該右抵頂桿件(26)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該右翻轉支架(133)用；所述前隔離膠條(2222)，其由外至內還依序平行設有一倒U形膠條(22a)、及一O形膠條(22b)，而該倒U形膠條(22a)前側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣上用；所述後隔離膠條(2232)，其由外至內還依序平行設有一O形膠條(22b)、及一倒U形膠條(22a)，而該倒U形膠條(22a)後側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位於該後U形擋板(223)封閉端頂邊緣上用；所述前封閉膠條(2313)與該後封閉膠條(2314)，其兩者皆包括有一U形膠條(23a)、及一平行設於該U形膠條(23a)一側且封閉端相互對接的3字形膠條(23b)，而該U形膠條(23a)前側端內側面處還設有一倒勾部(23c)。

更優選的是，所述左定位組件(1324)，其還包括有一設於該左L形支架(1322)水平段自由端處的左支撐塊(1324a)、一設於該左L形支架(1322)水平段中央處的左引導塊(1324b)、一設於該左L形支架(1322)垂直段中央處的左限位塊(1324c)、及一設於該左L形支架(1322)垂直段自由端處的左擋塊(1324d)；所述右定位組件(1334)，其還包括有一設於該右L形支架(1332)水平段自由端處的右支撐塊(1334a)、一設於該右L形支架(1332)水平 段中央處的右引導塊(1334b)、一設於該右L形支架(1332)垂直段中央處的右限位塊(1334c)、及一設於該右L形支架(1332)垂直段自由端處的右擋塊(1334d)。

更優選的是，所述第一水平位移機構(12)，其還包括有一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一位移驅動裝置(121)、及一設於該第一位移驅動裝置(121)頂端處的第一水平位移台座(122)，該第一位移驅動裝置(121)能供驅動該第一水平位移台座(122)使其位移用，該第一水平位移台座(122)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用；所述吸取裝置(14)，其還具有分別設於該吸取裝置(14)前側面兩側的兩真空吸盤部(141)、及兩鎖定頭部(142)，該真空吸盤部(141)兩者還呈項對角線狀設置、能供吸取該門本體(10B)用，該鎖定頭部(142)位於該真空吸盤部(141)之間，能供鎖定該門本體(10B)用；所述第一垂直位移機構(15)，其還包括有一設於該吸取裝置(14)左側的第一驅動單元(151)、及一設於該吸取裝置(14)右側的垂直引導軌道架(152)，該第一驅動單元(151)能供帶動該吸取裝置(14)垂直位移用，該垂直引導軌道架(152)能供引導該吸取裝置(14)垂直位移用；所述前清洗槽(16)，其還包括有一前清洗槽殼體(163)、及一容納板體(164)，該前清洗槽殼體(163)能配合該容納板體(164)、該基座(171)以供構成該容納空間(161)，該容納板體(164)能供配合構成該開口(162)用；所述第一隔離壁裝置(18)，其還包括有一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離架體(181)、一垂直設於該第一隔離架體(181)頂端處的第一壁板移動裝置(182)、及一活動設置於該第一隔離架體(181)底端處且與該第一壁板移動裝置(182)一端連接的第一壁板(183)，該第一壁板移動裝置(182)能帶動該第一壁板(183)，使其能 沿著該第一隔離架體(181)上、下滑動位移。

本發明的技術手段，關於清洗系統方面，是這樣實現的，為一種晶圓傳送盒清洗系統，所述清洗系統(200)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行潔淨用，其特徵在於：所述清洗系統(200)，其至少包括有至少一如請求項1至7中任一項所述的清洗設備(100)、至少一移動設備(300)、至少一充氮設備(400)、及至少一暫存設備(500)；所述移動設備(300)，其設於該清洗設備(100)、該充氮設備(400)及該暫存設備(500)上方，並橫跨前述三者，能帶動被該清洗設備(100)所清潔後的該晶圓傳送盒(10)，以進行位移；所述充氮設備(400)，其設於該清洗設備(100)一側，能接收該移動設備(300)自該清洗設備(100)處所移動帶來的該晶圓傳送盒(10)，以對其進行充氮的作業；所述暫存設備(500)，其設於該清洗設備(100)另一側，能接收被該移動設備(300)自該充氮設備(400)處，所轉移過來的該晶圓傳送盒(10)，以供暫存及輸出用。

更優選的是，所述移動設備(300)，其還包括有一設於該清洗系統(200)頂端處且呈口字形的基板體(301)、一設於該基板體(301)開口後側邊緣處的橫向位移機構(302)、一設於該基板體(301)開口前側邊緣處的橫向引導軌道(303)、一跨設於該橫向位移機構(302)與該橫向引導軌道(303)上一側的夾具座(304)、以及一設於該夾具座(304)底端並穿過該基板體(301)開口的夾具(305)，該橫向位移機構(302)能供帶動該夾具座(304)沿著該橫向引導軌道(303)移動位移用，該橫向引導軌道(303)能供引導該夾具座(304)用，該夾具座(304)能供一同帶動該夾具(305)用，該夾具(305)能供夾持定位該晶圓傳送盒(10)用；所述充氮設備(400)，其還包括有一設於該清洗設備(100) 一側的承載盤(401)、至少一設於該承載盤(401)上的充氮頭組(402)、數個設於該承載盤(401)上的定位銷(403)、以及數個分別對應該定位銷(403)而設置的感測單元(404)，該承載盤(401)能供承載被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該充氮頭組(402)能供對被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)進行充氮用，該定位銷(403)能供定位被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該感測單元(404)能供該充氮設備(400)判斷、被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)是否擺放正確用；所述暫存設備(500)，其還包括有一第三架體(501)、一設於該第三架體(501)前端處的第二水平位移機構(502)、及一橫向跨設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離壁裝置(503)；前述第二水平位移機構(502)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往外界方向位移，其還包括有一設於該第三架體(501)頂端前側處的第二位移驅動裝置(5021)、及一設於該第二位移驅動裝置(5021)頂端處的第二水平位移台座(5022)，該第二位移驅動裝置(5021)能供驅動該第二水平位移台座(5022)使其位移用，該第二水平位移台座(5022)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用；前述第二隔離壁裝置(503)，其還包括有一設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離架體(5031)、一垂直設於該第二隔離架體(5031)頂端處的第二壁板移動裝置(5032)、及一活動設置於該第二隔離架體(5031)底端處且與該第二壁板移動裝置(5032)一端連接的第二壁板(5033)，該第二壁板移動裝置(5032)能帶動該第二壁板(5033)，使其能沿著該第二隔離架體(5031)上、下滑動位移。

更優選的是，所述夾具(305)，其還包括有一設於該夾具座(304)一側的第三驅動單元(3051)、一設於該夾具座(304)另一側的夾具導引 軌道(3052)、一設於該第三驅動單元(3051)與該夾具導引軌道(3052)間的夾具座(3053)、一設於該夾具座(3053)之底端面處的夾頭驅動組(3054)、一活動設於該夾頭驅動組(3054)左側的左夾爪(3055)、及一活動設於該夾頭驅動組(3054)右側的右夾爪(3056)，該第三驅動單元(3051)能供帶動該夾具座(3053)沿著該夾具導引軌道(3052)位移用，該夾具導引軌道(3052)能供配合該第三驅動單元(3051)以導引該夾具座(3053)用，該夾具座(3053)能供承載該夾頭驅動組(3054)用，該夾頭驅動組(3054)能供驅動該左夾爪(3055)和該右夾爪(3056)於相互遠離、相互接近兩狀態間作轉換用，該左夾爪(3055)與該右夾爪(3056)兩者能相互配合以供夾持該晶圓傳送盒(10)用；前述夾頭驅動組(3054)，其還包括有一設於該夾具座(3053)之底端面上的雙向驅動單元(3054a)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)左側處的左作動塊(3054b)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)右側處的右作動塊(3054c)、及一套設於該雙向驅動單元(3054a)外並與該夾具座(3053)連接的殼體(3054d)，該雙向驅動單元(3054a)能同時帶動該左作動塊(3054b)與該右作動塊(3054c)同時作動，該左作動塊(3054b)底端面還與該左夾爪(3055)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用，該右作動塊(3054c)底端面還與該右夾爪(3056)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用；所述充氮頭組(402)，其還包括有數個分別佈設於該承載盤(401)上的第一充氮頭(4021)、及至少兩個分別對應於該第一充氮頭(4021)而設置於其外側處的第二充氮頭(4022)。

與現有技術相比，本發明的效果如下所示：

本發明清洗設備(100)，通過前機台(1)及後機台(2)的配合，能翻轉、拆分晶圓傳送盒(10)，同時對盒本體(10A)、門本體(10B)進行清潔， 整體而言，動作緊湊、能提昇效率，而且維修時效短，並且垂直拆下門本體(10B)的方式，還能避免粒子沾附，降低污染可能。

本發明清洗系統(200)，利用移動設備(300)、充氮設備(400)及暫存設備(500)的配合，能達到最佳稼動率，不使用複雜且龐大的機械人或是機械臂，佔用空間少，有別於傳統清洗系統，而且各設備獨立運作，動作緊湊，並且模組化的設計，維修十分方便容易維護，最重要的，在一定的效率下，能有效地避免發生清潔過程中被污染的問題。

1‧‧‧前機台

11‧‧‧第一架體

12‧‧‧第一水平位移機構

121‧‧‧第一位移驅動裝置

122‧‧‧第一水平位移台座

13‧‧‧翻轉機構

131‧‧‧翻轉驅動裝置

132‧‧‧左翻轉支架

1321‧‧‧左Y形支架

1322‧‧‧左L形支架

1323‧‧‧左間隔桿

1324‧‧‧左定位組件

1324a‧‧‧左支撐塊

1324b‧‧‧左引導塊

232‧‧‧板垂直驅動單元

233‧‧‧板引導軌道

234‧‧‧牽引線

235‧‧‧配重塊

23a‧‧‧U形膠條

23b‧‧‧3字形膠條

23c‧‧‧倒勾部

24‧‧‧後清洗裝置

241‧‧‧第二驅動單元

242‧‧‧清洗單元

2421‧‧‧左清洗組合

2422‧‧‧右清洗組合

2421a‧‧‧座體

2421b‧‧‧倒L形乾燥組件

1324c‧‧‧左限位塊

1324d‧‧‧左擋塊

133‧‧‧右翻轉支架

1331‧‧‧右Y形支架

1332‧‧‧右L形支架

1333‧‧‧右間隔桿

1334‧‧‧右定位組件

1334a‧‧‧右支撐塊

1334b‧‧‧右引導塊

1334c‧‧‧右限位塊

1334d‧‧‧右擋塊

14‧‧‧吸取裝置

141‧‧‧真空吸盤部

142‧‧‧鎖定頭部

15‧‧‧第一垂直位移機構

151‧‧‧第一驅動單元

152‧‧‧垂直引導軌道架

16‧‧‧前清洗槽

161‧‧‧容納空間

162‧‧‧開口

163‧‧‧前清洗槽殼體

164‧‧‧容納板體

17‧‧‧前清洗裝置

171‧‧‧基座

2421c‧‧‧凹陷部

2421d‧‧‧L形清洗噴頭

2423‧‧‧調整組件

2424‧‧‧管道整合座

243‧‧‧滑座

244‧‧‧連接柱

25‧‧‧左抵頂桿件

26‧‧‧右抵頂桿件

10‧‧‧晶圓傳送盒

10A‧‧‧盒本體

10B‧‧‧門本體

100‧‧‧清洗設備

200‧‧‧清洗系統

300‧‧‧移動設備

301‧‧‧基板體

302‧‧‧橫向位移機構

303‧‧‧橫向引導軌道

304‧‧‧夾具座

305‧‧‧夾具

3051‧‧‧第三驅動單元

3052‧‧‧夾具導引軌道

3053‧‧‧夾具座

3054‧‧‧夾頭驅動組

3054a‧‧‧雙向驅動單元

172‧‧‧可動清洗單元

1721‧‧‧前清洗噴頭

173‧‧‧乾燥單元

174‧‧‧轉動裝置

18‧‧‧第一隔離壁裝置

181‧‧‧第一隔離架體

182‧‧‧第一壁板移動裝置

183‧‧‧第一壁板

2‧‧‧後機台

21‧‧‧第二架體

22‧‧‧後清洗槽

221‧‧‧倒L形開口

2211‧‧‧前凹陷部

2212‧‧‧後凹陷部

222‧‧‧前U形擋板

2221‧‧‧前凹槽

2222‧‧‧前隔離膠條

223‧‧‧後U形擋板

2231‧‧‧後凹槽

2232‧‧‧後隔離膠條

224‧‧‧外ㄇ形膠條

225‧‧‧內ㄇ形膠條

22a‧‧‧倒U形膠條

22b‧‧‧O形膠條

3054b‧‧‧左作動塊

3054c‧‧‧右作動塊

3054d‧‧‧殼體

3055‧‧‧左夾爪

3056‧‧‧右夾爪

400‧‧‧充氮設備

401‧‧‧承載盤

402‧‧‧充氮頭組

4021‧‧‧第一充氮頭

4022‧‧‧第二充氮頭

403‧‧‧定位銷

404‧‧‧感測單元

500‧‧‧暫存設備

501‧‧‧第三架體

502‧‧‧第二水平位移機構

5021‧‧‧第二位移驅動裝置

5022‧‧‧第二水平位移台座

503‧‧‧第二隔離壁裝置

5031‧‧‧第二隔離架體

5032‧‧‧第二壁板移動裝置

5033‧‧‧第二壁板

a‧‧‧倒T形支架

a1‧‧‧倒T形開槽

b‧‧‧左H形翼板

22c‧‧‧倒勾條

23‧‧‧後隔離裝置

231‧‧‧倒L型隔離板

2311‧‧‧前垂直板體

2311a‧‧‧前擋板

2312‧‧‧水平板體

2313‧‧‧前封閉膠條

2314‧‧‧後封閉膠條

b1‧‧‧左限位桿

c‧‧‧右H形翼板

c1‧‧‧右限位桿

d‧‧‧橫桿

d1‧‧‧連接塊

e‧‧‧跨接塊

f‧‧‧螺桿

g‧‧‧定位單元

第1圖：本發明清洗設備的立體示意圖。

第2圖：本發明清洗設備之前機台中第一水平位移機構的立體示意圖。

第3圖：本發明清洗設備之前機台中第一隔離壁裝置的分解示意圖。

第4圖：本發明清洗設備之前機台中翻轉機構的立體示意圖。

第5圖：本發明清洗設備之前機台中翻轉機構的立體分解示意圖。

第6圖：本發明清洗設備之前機台中吸取裝置與第一垂直位移機構的立體示意圖。

第7圖：本發明清洗設備之前機台中前清洗槽與前清洗裝置的立體示意圖。

第8圖：本發明清洗設備之前機台中前清洗槽與前清洗裝置的立體分解示意圖。

第9圖：本發明清洗設備之後機台中後隔離裝置的立體分解示意圖。

第10圖：本發明清洗設備之後機台中後清洗裝置的立體分解示意圖。

第11圖：為第10圖中A部分的立體分解示意圖。

第12圖：本發明清洗設備之後機台中後清洗槽的立體分解示意圖。

第13圖：本發明清洗設備的立體實施示意圖一。

第14圖：本發明清洗設備的立體實施示意圖二。

第15圖：本發明清洗設備的剖面實施示意圖一。

第16圖：本發明清洗設備的剖面實施示意圖二。

第17圖：本發明清洗系統的立體示意圖。

第18圖：本發明清洗系統中移動設備的立體示意圖。

第19圖：本發明清洗系統中移動設備之夾具的立體示意圖。

第20圖：本發明清洗系統中移動設備之夾具的立體分解示意圖。

第21圖：本發明清洗系統中暫存設備的立體示意圖。

第22圖：本發明清洗系統中暫存設備的分解示意圖。

第23圖：本發明清洗系統中充氮設備的立體示意圖。

第24圖：本發明清洗系統中充氮設備的分解示意圖。

第25圖：本發明清洗設備的俯視實施示意圖一。

第26圖：本發明清洗設備的俯視實施示意圖二。

第27圖：本發明清洗設備的俯視實施示意圖三。

以下依據圖面所示的實施例詳細說明如後。首先需要注意的是，在附圖中，相同的構成要素或部件盡可能用相同的附圖標記代表。在說明本發明方面，為了不混淆本發明的要旨，省略關於相關公知功能或構成的具體說明。

如第1圖至第12圖所示，圖中揭示出，為一種晶圓傳送盒清 洗設備，所述清洗設備(100)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行清洗用，其特徵在於：所述清洗設備(100)，其至少包括有至少一前機台(1)、及一設於該前機台(1)後側端處的後機台(2)；所述前機台(1)，其包含有一第一架體(11)、一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一水平位移機構(12)、一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉機構(13)、一對應於該翻轉機構(13)而設置於第一架體(11)頂端後側處的吸取裝置(14)、一對應於該吸取裝置(14)設置的第一垂直位移機構(15)、一設於該第一架體(11)底端後側處的前清洗槽(16)、一設於該第一架體(11)後側處的前清洗裝置(17)、及一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離壁裝置(18)；所述第一水平位移機構(12)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移；所述翻轉機構(13)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)之盒本體(10A)、翻轉至該後機台(2)處，並使該盒本體(10A)之開口，由垂直轉為水平狀態；所述吸取裝置(14)能對該晶圓傳送盒(10)之門本體(10B)進行真空吸附定位，並使其拆下與該盒本體(10A)分離；所述第一垂直位移機構(15)，其能帶動該吸取裝置(14)於對應該晶圓傳送盒(10)、對應該前清洗槽(16)兩狀態間作轉換，以一同帶動被拆下的該門本體(10B)；所述前清洗槽(16),其內具有一容納空間(161)，該容納空間(161)前方設有一與其連通的開口(162)，而該開口(162)能供定位容納被該吸取裝置(14)所轉移過來的該門本體(10B)；所述前清洗裝置(17)，其設於該容納空間(161)內，具有一基座(171)、至少一設於該基座(171)上的可動清洗單元(172)、及兩分別設於該基座(171)兩側端處的乾燥單元(173)，該可動清洗單元(172)能對該門本體(10B)進行清洗，該乾燥單元(173)能對該門本體(10B)進行乾燥動作；所述第一隔 離壁裝置(18)，其能在該第一水平位移機構(12)帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移時開啟，以供降低污染可能用；所述後機台(2)，其包含有一對應於該第一架體(11)後側端設置的第二架體(21)、一設於該第二架體(21)頂端的後清洗槽(22)、一設於該後清洗槽(22)上方的後隔離裝置(23)、及一頂端設於該後清洗槽(22)內位於該後清洗槽(22)底端的後清洗裝置(24)；所述後清洗槽(22)，其能供容納由該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)用；所述後隔離裝置(23)，其能供在該翻轉機構(13)將該盒本體(10A)翻轉移動過來後，將該後清洗槽(22)封閉用；所述後清洗裝置(24)，其能被該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)所覆蓋，並能供對該盒本體(10A)內部進行清洗、乾燥的動作用。

其中，本發明清洗設備(100)，通過前機台(1)及後機台(2)的配合，能利用以第一架體(11)、第一水平位移機構(12)、翻轉機構(13)、吸取裝置(14)、第一垂直位移機構(15)、前清洗槽(16)、前清洗裝置(17)及第一隔離壁裝置(18)所組成的前機台(1)，翻轉、拆分晶圓傳送盒(10)，配合以第二架體(21)、後清洗槽(22)、後隔離裝置(23)及後清洗裝置(24)所組成的後機台(2)，通過前機台(1)和後機台(2)，同時對盒本體(10A)、門本體(10B)清潔，清潔後再回前機台(1)，組成完整的晶圓傳送盒(10)，整體而言，動作緊湊、節省空間、維修時效短。

其次，吸取裝置(14)通過真空吸附定位的方式，配合第一垂直位移機構(15)，垂直拆下門本體(10B)，將其與盒本體(10A)分開，能避免粒子沾附，降低污染可能，讓整體的清潔效果提高。

如第13圖至第16圖所示，前機台(1)通過第一水平位移機構 (12)，輸入晶圓傳送盒(10)，第一隔離壁裝置(18)能快速開關，降低污染可能，晶圓傳送盒(10)到達定位後，吸取裝置(14)將門本體(10B)拆下，通過第一垂直位移機構(15)垂直下移，將門本體(10B)移到前清洗槽(16)，隨後翻轉機構(13)便能翻轉盒本體(10A)，讓盒本體(10A)轉到後機台(2)的清洗槽(22)內，後隔離裝置(23)作動，封閉清洗槽(22)，此時前機台(1)便能通過前清洗裝置(17)、而後機台(2)便能通過後清洗裝置(24)，分別對門本體(10B)、盒本體(10A)清洗與乾燥，完成相應的清潔。

最後，後隔離裝置(23)開啟，翻轉機構(13)將盒本體(10A)，由後機台(2)處翻轉回前機台(1)，第一垂直位移機構(15)垂直上移，讓吸取裝置(14)帶著門本體(10B)，將其裝回盒本體(10A)，完成晶圓傳送盒(10)的整體清潔。

請參閱第1圖、第4圖和第5圖，所述翻轉機構(13)，其還包括有一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉驅動裝置(131)、一設於該翻轉驅動裝置(131)左側的左翻轉支架(132)、及一鏡像設置於該翻轉驅動裝置(131)右側的右翻轉支架(133)；所述左翻轉支架(132)，其還包含有一底端與該翻轉驅動裝置(131)左側連接的左Y形支架(1321)、一間隔設於該左Y形支架(1321)右側的左L形支架(1322)、數支間隔設於該左Y形支架(1321)與該左L形支架(1322)間的左間隔桿(1323)、及至少一設於該左L形支架(1322)右側面處的左定位組件(1324)；該左Y形支架(1321)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該左L形支架(1322)還相對應於該左Y形支架(1321)頂端而設置，該左定位組件(1324)能供定位該晶圓傳送盒(10)用；所述右翻轉支架(133)，其還包含有一底端與該翻轉驅 動裝置(131)右側連接的右Y形支架(1331)、一間隔設於該右Y形支架(1331)左側的右L形支架(1332)、數支間隔設於該右Y形支架(1331)與該右L形支架(1332)間的右間隔桿(1333)、及至少一設於該右L形支架(1332)左側面處的右定位組件(1334)，該右Y形支架(1331)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該右L形支架(1332)還相對應於該右Y形支架(1331)頂端而設置，該右定位組件(1334)能供定位該晶圓傳送盒(10)用。

其中，通過翻轉驅動裝置(131)、左翻轉支架(132)及右翻轉支架(133)，組成翻轉機構(13)，不用複雜的機器人或是機器臂，便能翻轉晶圓傳送盒(10)的盒本體(10A)，節省空間、機構簡易且維修時效短。

其次，左翻轉支架(132)通過左Y形支架(1321)、左L形支架(1322)及左間隔桿(1323)的設置，而右翻轉支架(133)通過右Y形支架(1331)、右L形支架(1332)及右間隔桿(1333)，在翻轉時，不用擔心會與第一垂直位移機構(15)發生干涉，而且模組化的設計，還能針對不同的盒本體(10A)，更換相應的左L形支架(1322)、右L形支架(1332)，以調整定位盒本體(10A)的左定位組件(1324)、右定位組件(1334)設置，有利於縮短維護調整的時效，非常容易維護。

請參閱第1圖、第7圖和第8圖，所述前清洗裝置(17)，其還包括有一轉動裝置(174)，該轉動裝置(174)能帶動該可動清洗單元(172)轉動；所述可動清洗單元(172)，其一側還間隔設有數個前清洗噴頭(1721)。

其中，通過轉動裝置(174)的應用，讓可動清洗單元(172)能穩定地轉動，如此一來，便能完整地清洗門本體(10B)；通過前清洗噴頭(1721)的應用，讓可動清洗單元(172)能覆蓋更完整，還不影響清洗效果。

請參閱第1圖、第10圖和第11圖，所述後清洗裝置(24)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)底端的第二驅動單元(241)、一設於該後清洗槽(22)內的清洗單元(242)、一與該第二驅動單元(241)可動連接的滑座(243)、及一設於該清洗單元(242)與該滑座(243)間的連接柱(244)；前述清洗單元(242)，其還包括有一設於該連接柱(244)頂端左側的左清洗組合(2421)、一設於該連接柱(244)頂端右側的右清洗組合(2422)、一設該左清洗組合(2421)與該右清洗組合(2422)之間且位於該連接柱(244)頂端的調整組件(2423)、及一設於該與該連接柱(244)間的管道整合座(2424)；所述左清洗組合(2421)與該右清洗組合(2422)，其兩者皆還包括有一座體(2421a)、一設於該座體(2421a)頂端的倒L形乾燥組件(2421b)、一形成於該座體(2421a)與該倒L形乾燥組件(2421b)一側間的凹陷部(2421c)、及數個間隔排列於該凹陷部(2421c)處的L形清洗噴頭(2421d)。

其中，通過第二驅動單元(241)、清洗單元(242)、滑座(243)、及連接柱(244)的配合，組成後清洗裝置(24)，第二驅動單元(241)能帶動滑座(243)，讓連接柱(244)上的清洗單元(242)，上下移動，以對盒本體(10A)內部有效清潔，不放過任何一個角落。

其次，清洗單元(242)通過左清洗組合(2421)、右清洗組合(2422)、調整組件(2423)及管道整合座(2424)的配合，以左清洗組合(2421)、右清洗組合(2422)，提供一左一右的完整清潔覆蓋範圍，並通過調整組件(2423)，讓左清洗組合(2421)、右清洗組合(2422)能被調整角度，以配合不同的盒本體(10A)，而管道整合座(2424)的應用，更是讓整體管道，獲得有效的整理，降低對清潔效果的影響，並且進一步降低維護難度。

再者，通過座體(2421a)、倒L形乾燥組件(2421b)、凹陷部(2421c)及L形清洗噴頭(2421d)的應用，座體(2421a)能提供穩定的支撐，以及穩定的引導效果，倒L形乾燥組件(2421b)能在範圍內，提供穩定且足夠的乾燥效果，而L形清洗噴頭(2421d)則是能在範圍內，提供穩定的清洗效果，並且還能針對不同的盒本體(10A)，進行調整以利於清潔。

請參閱第11圖，所述調整組件(2423)，其還具有兩倒T形支架(a)、一左H形翼板(b)、一右H形翼板(c)、一橫桿(d)、一跨接塊(e)、一螺桿(f)、及一定位單元(g)；前述倒T形支架(a)相應設於該管道整合座(2424)頂端面的前側與後側邊緣處，且各個該倒T型支架(a)內還各具有一倒T形開槽(a1)；前述左H形翼板(b)設於該管道整合座(2424)頂端面左側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該左清洗組合(2421)；前述右H形翼板(c)設於該管道整合座(2424)頂端面右側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該右清洗組合(2422)，而該左H形翼板(b)、該右H形翼板(c)位於該倒T型支架(a)之間的一端，還相互樞接，另該左H形翼板(b)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一左限位桿(b1)滑動定位，另該右H形翼板(c)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一右限位桿(c1)滑動定位；前述橫桿(d)設於該左H形翼板(b)與該右H形翼板(c)的樞接處，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)之該倒T形開槽(a1)配合，而中央還垂直設有一連接塊(d1)；前述跨接塊(e)設於該倒T型支架(a)之間，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)頂端連接；前述螺桿(f)穿過該跨接塊(e)後與該連接塊(d1)與該連接；前述調整轉輪(g)與該螺桿(f)螺接，位於該跨接塊(e)與該連接塊(d1)間；所述管道整合座(2424)，其還能供連接相應管路後、將氣體和液體 有效率地傳輸到該左清洗組合(2421)、該右清洗組合(2422)處。

其中，通過倒T形支架(a)、左H形翼板(b)、右H形翼板(c)、橫桿(d)、跨接塊(e)、螺桿(f)及定位單元(g)的配合，組成調整組件(2423)，利用倒T形支架(a)通過左限位桿(b1)、右限位桿(c1)，對左H形翼板(b)、右H形翼板(c)的限位，而且左H形翼板(b)和右H形翼板(c)間還通過橫桿(d)的樞接，所以當一轉動跨接塊(e)上被定位單元(g)限制的螺桿(f)，便能讓左H形翼板(b)上的左清洗組合(2421)、右H形翼板(c)上的右清洗組合(2422)，同步傾斜，產生相同的角度變化，達到調整左清洗組合(2421)、右清洗組合(2422)角度的效果，以針對不同的晶圓傳送盒(10)，來進行調整，讓清潔效果最佳化。

請參閱第1圖和第12圖，所述後清洗槽(22)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)前端側與頂端側處的倒L形開口(221)、一設於該倒L形開口(221)前端側處的前U形擋板(222)、一間隔設於該前U形擋板(222)後側處的後U形擋板(223)、一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣處的外ㄇ形膠條(224)、及一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣且位於該外ㄇ形膠條(224)內側處的內ㄇ形膠條(225)；前述倒L形開口(221)，其頂端側內邊緣相應於該前U形擋板(222)頂端處，還分別凹設有一前凹陷部(2211)，而頂端側內邊緣相應於該後U形擋板(223)處，亦還分別凹設有一後凹陷部(2212)；前述前U形擋板(222)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一前凹槽(2221)，而該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣處，還卡設有一前隔離膠條(2222)；前述後U形擋板(223)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一後凹槽(2231)，而該後U形擋板(223)封閉端頂邊緣處，還卡設有一後隔離膠條(2232)。

其中，通過倒L形開口(221)，讓晶圓傳送盒(10)能順利地被翻轉放入，以前U形擋板(222)、後U形擋板(223)配合上，前隔離膠條(2222)、後隔離膠條(2232)、外ㄇ形膠條(224)及內ㄇ形膠條(225)，讓倒L形開口(221)的兩個開口方向，能有效配合後隔離裝置(23)，不但能足夠的密閉效果，還能快速隔離、開啟，能縮短清潔耗時，並且還非常容易維護。

請參閱第1圖和第9圖，所述後隔離裝置(23)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)上方並對應於該倒L形開口(221)的倒L型隔離板(231)、一設於該後清洗槽(22)後側端處的板垂直驅動單元(232)、兩分別設於該該後清洗槽(22)相應側處的板引導軌道(233)、一該倒L型隔離板(231)頂端連接的牽引線(234)、及一設於該牽引線(234)自由端處的配重塊(235)；前述倒L型隔離板(231)，其還具有一斷面概呈H形的前垂直板體(2311)、及一前端底面與該前垂直板體(2311)頂端相接的水平板體(2312)，且該前垂直板體(2311)前側面底端處還延伸設有一前擋板(2311a)，而該前垂直板體(2311)的前側面邊緣兩側處，還分別設有一前封閉膠條(2313)，另該前垂直板體(2311)的後側面邊緣兩側處，還分別設有一後封閉膠條(2314)；前述板垂直驅動單元(232)，其頂端還與該倒L型隔離板(231)連接；前述板引導軌道(233)，其頂端還分別與該倒L型隔離板(231)相應側處連接；前述牽引線(234)，其與該倒L型隔離板(231)頂端連接後，還往該後清洗槽(22)後側方向轉繞，處延伸至該後清洗槽(22)後側處。

其中，通過倒L型隔離板(231)、板垂直驅動單元(232)、板引導軌道(233)、牽引線(234)及配重塊(235)的配合，組成後隔離裝置(23)，以具有前垂直板體(2311)及水平板體(2312)的倒L型隔離板(231)，配合後清洗 槽(22)的倒L形開口(221)，以板垂直驅動單元(232)配合板引導軌道(233)，穩定的帶動倒L型隔離板(231)，並且還通過牽引線(234)及配重塊(235)的應用，讓倒L型隔離板(231)能快速開啟，縮短清潔耗時。

其次，前擋板(2311a)、前封閉膠條(2313)及後封閉膠條(2314)的應用，能在不影響開啟速度的前提下，提供更佳的隔離效果。

請參閱第1圖、第12圖，所述後機台(2)，其還包括有設於該後清洗槽(22)內且對應於該左翻轉支架(132)的一左抵頂桿件(25)、及對應於該右翻轉支架(133)的一右抵頂桿件(26)，該左抵頂桿件(25)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該左翻轉支架(132)用，該右抵頂桿件(26)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該右翻轉支架(133)用。

其中，通過左抵頂桿件(25)、右抵頂桿件(26)，讓自倒L形開口(221)、倒L形開口(221)翻轉入後清洗槽(22)的左翻轉支架(132)、右翻轉支架(133)，有非常穩定的支撐，並且還能避免左翻轉支架(132)、右翻轉支架(133)碰撞到後清洗槽(22)，同時降低翻轉驅動裝置(131)的負擔，以降低維護機率。

請參閱第1圖和第12圖，所述前隔離膠條(2222)，其由外至內還依序平行設有一倒U形膠條(22a)、及一O形膠條(22b)，而該倒U形膠條(22a)前側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣上用；所述後隔離膠條(2232)，其由外至內還依序平行設有一O形膠條(22b)、及一倒U形膠條(22a)，而該倒U形膠條(22a)後側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位於該後U形擋板(223)封閉端頂邊 緣上用；所述前封閉膠條(2313)與該後封閉膠條(2314)，其兩者皆包括有一U形膠條(23a)、及一平行設於該U形膠條(23a)一側且封閉端相互對接的3字形膠條(23b)，而該U形膠條(23a)前側端內側面處還設有一倒勾部(23c)。

其中，通過倒U形膠條(22a)與倒勾條(22c)的配合，讓前隔離膠條(2222)、後隔離膠條(2232)，能穩定地定位於前U形擋板(222)封閉端頂邊緣、後U形擋板(223)封閉端頂邊緣，配合前隔離膠條(2222)、後隔離膠條(2232)的O形膠條(22b)，讓後清洗槽(22)的前U形擋板(222)、後U形擋板(223)，與後隔離裝置(23)的前垂直板體(2311)，緊密配合，提供一足夠的密閉效果。

其次，通過U形膠條(23a)和倒勾部(23c)的配合，讓前封閉膠條(2313)與後封閉膠條(2314)能定位在前垂直板體(2311)的前、後兩側面邊緣上，以通過前封閉膠條(2313)、後封閉膠條(2314)的3字形膠條(23b)，與後清洗槽(22)的前U形擋板(222)、後U形擋板(223)相應側內邊緣，形成卡合，提供一足夠的密閉效果。

請參閱第1圖、第4圖和第5圖，所述左定位組件(1324)，其還包括有一設於該左L形支架(1322)水平段自由端處的左支撐塊(1324a)、一設於該左L形支架(1322)水平段中央處的左引導塊(1324b)、一設於該左L形支架(1322)垂直段中央處的左限位塊(1324c)、及一設於該左L形支架(1322)垂直段自由端處的左擋塊(1324d)；所述右定位組件(1334)，其還包括有一設於該右L形支架(1332)水平段自由端處的右支撐塊(1334a)、一設於該右L形支架(1332)水平段中央處的右引導塊(1334b)、一設於該右L形支架(1332)垂直段中央處的右限位塊(1334c)、及一設於該右L形支架(1332)垂直段自由端 處的右擋塊(1334d)。

其中，通過左支撐塊(1324a)、左引導塊(1324b)、左限位塊(1324c)及左擋塊(1324d)組成左定位組件(1324)，通過右支撐塊(1334a)、右引導塊(1334b)、右限位塊(1334c)及右擋塊(1334d)組成右定位組件(1334)，能以左支撐塊(1324a)、右支撐塊(1334a)、左引導塊(1324b)及右引導塊(1334b)的配合，提供翻轉前為水平面、翻轉後為垂直面的穩定定位，並以左限位塊(1324c)、左擋塊(1324d)、右限位塊(1334c)及右擋塊(1334d)，提供翻轉前為垂直面、翻轉後為水平面的穩定定位，如此一來，無論是翻轉前或者是翻轉後、清潔前或者是清潔後，都不用擔心晶圓傳送盒(10)會滑移，讓晶圓傳送盒(10)能被順利清潔。

請參閱第1圖和第2圖，所述第一水平位移機構(12)，其還包括有一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一位移驅動裝置(121)、及一設於該第一位移驅動裝置(121)頂端處的第一水平位移台座(122)，該第一位移驅動裝置(121)能供驅動該第一水平位移台座(122)使其位移用，該第一水平位移台座(122)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用。

其中，利用第一位移驅動裝置(121)和第一水平位移台座(122)的配合，讓晶圓傳送盒(10)能被穩定的移動，而且還不會影響、干擾到其他裝置的運作，以最有效率的方式移動，動作更緊湊，而且維修方便。

請參閱第1圖和第6圖，所述吸取裝置(14)，其還具有分別設於該吸取裝置(14)前側面兩側的兩真空吸盤部(141)、及兩鎖定頭部(142)，該真空吸盤部(141)兩者還呈項對角線狀設置、能供吸取該門本體(10B)用，該鎖定頭部(142)位於該真空吸盤部(141)之間，能供鎖定該門本體(10B)用。

其中，吸取裝置(14)通過真空吸盤部(141)的配合，讓門本體(10B)被穩固地吸取，同時還配合鎖定頭部(142)，確保門本體(10B)能被穩定地移動、拆除和裝回，還能降低粒子沾附可能，維修更方便。

請參閱第1圖和第6圖，所述第一垂直位移機構(15)，其還包括有一設於該吸取裝置(14)左側的第一驅動單元(151)、及一設於該吸取裝置(14)右側的垂直引導軌道架(152)，該第一驅動單元(151)能供帶動該吸取裝置(14)垂直位移用，該垂直引導軌道架(152)能供引導該吸取裝置(14)垂直位移用。

其中，通過第一驅動單元(151)和垂直引導軌道架(152)的配合，讓吸取裝置(14)能穩定地上、下垂直移動，以快速穩定地拆除和裝回門本體(10B)，讓整體作業能順利運行，並降低粒子沾附，還容易維修。

請參閱第1圖、第7圖和第8圖，所述前清洗槽(16)，其還包括有一前清洗槽殼體(163)、及一容納板體(164)，該前清洗槽殼體(163)能配合該容納板體(164)、該基座(171)以供構成該容納空間(161)，該容納板體(164)能供配合構成該開口(162)用。

其中，通過前清洗槽殼體(163)與容納板體(164)的配合，與基座(171)一同構成出容納空間(161)，讓前清洗裝置(17)能被有效地安置，並通過容納板體(164)構成開口(162)，讓自開口(162)放入的門本體(10B)，能有穩固的定位，讓前清洗裝置(17)能對門本體(10B)，進行清潔處理，維修時效短。

請參閱第1圖和第3圖，所述第一隔離壁裝置(18)，其還包括有一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離架體(181)、一垂直設 於該第一隔離架體(181)頂端處的第一壁板移動裝置(182)、及一活動設置於該第一隔離架體(181)底端處且與該第一壁板移動裝置(182)一端連接的第一壁板(183)，該第一壁板移動裝置(182)能帶動該第一壁板(183)，使其能沿著該第一隔離架體(181)上、下滑動位移。

其中，利用第一隔離架體(181)、第一壁板移動裝置(182)及第一壁板(183)的配合，能在晶圓傳送盒(10)輸入前，避免內部被污染，還能在第一水平位移機構(12)快速輸入晶圓傳送盒(10)時，快速開闢，避免內部被污染，確保整體裝置的潔淨，維修非常方便。

如第17圖至第24圖所示，圖中揭示出，為一種晶圓傳送盒清洗系統，所述清洗系統(200)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行潔淨用，其特徵在於：所述清洗系統(200)，其至少包括有至少一如請求項1至7中任一項所述的清洗設備(100)、至少一移動設備(300)、至少一充氮設備(400)、及至少一暫存設備(500)；所述移動設備(300)，其設於該清洗設備(100)、該充氮設備(400)及該暫存設備(500)上方，並橫跨前述三者，能帶動被該清洗設備(100)所清潔後的該晶圓傳送盒(10)，以進行位移；所述充氮設備(400)，其設於該清洗設備(100)一側，能接收該移動設備(300)自該清洗設備(100)處所移動帶來的該晶圓傳送盒(10)，以對其進行充氮的作業；所述暫存設備(500)，其設於該清洗設備(100)另一側，能接收被該移動設備(300)自該充氮設備(400)處，所轉移過來的該晶圓傳送盒(10)，以供暫存及輸出用。

其中，本發明清洗系統(200)通過清洗設備(100)的應用，配合上移動設備(300)、充氮設備(400)及暫存設備(500)，能達到最佳稼動率，因為清洗設備(100)不使用機械人或是機械臂，所以整體所佔用空間能大幅 度減少，有別於傳統清洗系統，非常有利於投入多組來應用，而且各設備獨立運作，動作緊湊，並且還更容易維護，讓晶圓傳送盒(10)能以更低的成本來進行清潔，最重要的，能有效地避免發生清潔過程中被污染的問題，模組化設計，維修十分方便。

如第25圖、第26圖和第27圖所示，本發明清洗系統(200)應用兩台清洗設備(100)組成兩清洗線時，能依需求輸入兩個晶圓傳送盒(10)，並將相應輸入的晶圓傳送盒(10)分解為盒本體(10A)、門本體(10B)，便能分別進行清洗。

通過清洗設備(100)的清洗、乾燥處理後，再將盒本體(10A)、門本體(10B)組合，隨後移動設備(300)便能分別將各清洗線上的晶圓傳送盒(10)，運輸到充氮設備(400)處，以進行充氮，晶圓傳送盒(10)充氮完成後，便能再通過移動設備(300)，將充入氮氣的晶圓傳送盒(10)，移動到暫存設備(500)處，暫存等待輸出。

本發明清洗系統(200)整體作業流程中，各清洗線上的清洗設備(100)獨立運作，動作十分緊湊，而且清洗設備(100)為通過直立式拆除門本體(10B)、翻轉盒本體(10A)的方式，有效避免粒子沾附，遠優於傳統晶圓傳送盒清洗系統。

請參閱第18圖、第19圖和第20圖，所述移動設備(300)，其還包括有一設於該清洗系統(200)頂端處且呈口字形的基板體(301)、一設於該基板體(301)開口後側邊緣處的橫向位移機構(302)、一設於該基板體(301)開口前側邊緣處的橫向引導軌道(303)、一跨設於該橫向位移機構(302)與該橫向引導軌道(303)上一側的夾具座(304)、以及一設於該夾具座(304)底端並 穿過該基板體(301)開口的夾具(305)，該橫向位移機構(302)能供帶動該夾具座(304)沿著該橫向引導軌道(303)移動位移用，該橫向引導軌道(303)能供引導該夾具座(304)用，該夾具座(304)能供一同帶動該夾具(305)用，該夾具(305)能供夾持定位該晶圓傳送盒(10)用。

其中，通過基板體(301)、橫向位移機構(302)、橫向引導軌道(303)、夾具座(304)及夾具(305)的配合，提供一能穩定運行的移動設備(300)，基板體(301)提供穩定的定位和支撐，橫向位移機構(302)和橫向引導軌道(303)，能快速並穩定地移動夾具座(304)，讓夾具座(304)上的夾具(305)，能快速到達定位，同時當夾持有晶圓傳送盒(10)時，也不會因為快速移動，而產生過度晃動，降低移動耗時，提昇整體裝置的效率，並且維修方便。

請參閱第23圖和第24圖，所述充氮設備(400)，其還包括有一設於該清洗設備(100)一側的承載盤(401)、至少一設於該承載盤(401)上的充氮頭組(402)、數個設於該承載盤(401)上的定位銷(403)、以及數個分別對應該定位銷(403)而設置的感測單元(404)，該承載盤(401)能供承載被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該充氮頭組(402)能供對被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)進行充氮用，該定位銷(403)能供定位被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該感測單元(404)能供該充氮設備(400)判斷、被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)是否擺放正確用。

其中，通過承載盤(401)、充氮頭組(402)、定位銷(403)及感測單元(404)的配合，提供一能有效率地進行充氮作業的充氮設備(400)，以 承載盤(401)承放晶圓傳送盒(10)，充氮頭組(402)有效率地充氮，定位銷(403)讓晶圓傳送盒(10)快速定位，而感測單元(404)能確保晶圓傳送盒(10)的定位，降低定位晶圓傳送盒(10)的耗時，讓充氮整體耗時能被縮短，還容易維護。

請參閱第21圖和第22圖，所述暫存設備(500)，其還包括有一第三架體(501)、一設於該第三架體(501)前端處的第二水平位移機構(502)、及一橫向跨設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離壁裝置(503)；前述第二水平位移機構(502)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往外界方向位移，其還包括有一設於該第三架體(501)頂端前側處的第二位移驅動裝置(5021)、及一設於該第二位移驅動裝置(5021)頂端處的第二水平位移台座(5022)，該第二位移驅動裝置(5021)能供驅動該第二水平位移台座(5022)使其位移用，該第二水平位移台座(5022)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用；前述第二隔離壁裝置(503)，其還包括有一設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離架體(5031)、一垂直設於該第二隔離架體(5031)頂端處的第二壁板移動裝置(5032)、及一活動設置於該第二隔離架體(5031)底端處且與該第二壁板移動裝置(5032)一端連接的第二壁板(5033)，該第二壁板移動裝置(5032)能帶動該第二壁板(5033)，使其能沿著該第二隔離架體(5031)上、下滑動位移。

其中，暫存設備(500)通過第三架體(501)、第二水平位移機構(502)及第二隔離壁裝置(503)的配合，讓暫存設備(500)能當作為緩衝區使用，讓整體清洗效率提昇，同時還能避免汙染，並且維修方便。

其次，通過第二位移驅動裝置(5021)與第二水平位移台座 (5022)的配合，組合成第二水平位移機構(502)，能暫存晶圓傳送盒(10)，並在暫存結束後，穩定且快速地往外界方向位移，提高整體運作效率，整體一樣維修方便。

再者，第二隔離壁裝置(503)通過第二隔離架體(5031)、第二壁板移動裝置(5032)及第二壁板(5033)的配合，能在暫存晶圓傳送盒(10)，避免晶圓傳送盒(10)被污染，還能在第二水平位移機構(502)快速輸出時，快速開闢，避免內部被污染，確保整體裝置的潔淨，並且容易維護保養。

請參閱第19圖，所述夾具(305)，其還包括有一設於該夾具座(304)一側的第三驅動單元(3051)、一設於該夾具座(304)另一側的夾具導引軌道(3052)、一設於該第三驅動單元(3051)與該夾具導引軌道(3052)間的夾具座(3053)、一設於該夾具座(3053)之底端面處的夾頭驅動組(3054)、一活動設於該夾頭驅動組(3054)左側的左夾爪(3055)、及一活動設於該夾頭驅動組(3054)右側的右夾爪(3056)，該第三驅動單元(3051)能供帶動該夾具座(3053)沿著該夾具導引軌道(3052)位移用，該夾具導引軌道(3052)能供配合該第三驅動單元(3051)以導引該夾具座(3053)用，該夾具座(3053)能供承載該夾頭驅動組(3054)用，該夾頭驅動組(3054)能供驅動該左夾爪(3055)和該右夾爪(3056)於相互遠離、相互接近兩狀態間作轉換用，該左夾爪(3055)與該右夾爪(3056)兩者能相互配合以供夾持該晶圓傳送盒(10)用。

其中，通過第三驅動單元(3051)、夾具導引軌道(3052)、夾具座(3053)、夾頭驅動組(3054)、左夾爪(3055)及右夾爪(3056)配合，組成夾具(305)，能以第三驅動單元(3051)和夾具導引軌道(3052)，來驅動和引導夾具座(3053)，讓夾頭驅動組(3054)與左夾爪(3055)、右夾爪(3056)，能穩定地 被位移，以穩定的夾住對晶圓傳送盒(10)，並能對晶圓傳送盒(10)的進行順利且穩定移動，機構簡潔、維修方便。

請參閱第20圖，前述夾頭驅動組(3054)，其還包括有一設於該夾具座(3053)之底端面上的雙向驅動單元(3054a)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)左側處的左作動塊(3054b)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)右側處的右作動塊(3054c)、及一套設於該雙向驅動單元(3054a)外並與該夾具座(3053)連接的殼體(3054d)，該雙向驅動單元(3054a)能同時帶動該左作動塊(3054b)與該右作動塊(3054c)同時作動，該左作動塊(3054b)底端面還與該左夾爪(3055)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用，該右作動塊(3054c)底端面還與該右夾爪(3056)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用。

其中，通過雙向驅動單元(3054a)、左作動塊(3054b)、右作動塊(3054c)及殼體(3054d)的配合，能以雙向驅動單元(3054a)讓左作動塊(3054b)、右作動塊(3054c)能雙向同步穩定作動，如此一來，便能利用左作動塊(3054b)與右作動塊(3054c)，來讓左夾爪(3055)、右夾爪(3056)，同時作動，在相互遠離、相互靠近兩狀態間作轉換，達到放下、夾住晶圓傳送盒(10)的效果，而且維護時效短。

請參閱第23圖和第24圖，所述充氮頭組(402)，其還包括有數個分別佈設於該承載盤(401)上的第一充氮頭(4021)、及至少兩個分別對應於該第一充氮頭(4021)而設置於其外側處的第二充氮頭(4022)。

其中，通過第一充氮頭(4021)、第二充氮頭(4022)的應用，不但能提供不同充氮效果，如氮氣的量、流速變化，以有效率地充氮，並且還能讓本發明清洗系統(200)能配合不同廠商的晶圓傳送盒(10)，有利於整 體的推廣應用。

以上在圖式和說明書中公開了最佳實施例。其中使用了特定的術語，但這只是出於為了說明本發明的目的而使用的，並非用於意義限定或限制申請專利範圍中記載的本發明的範圍。因此，只要是本技術領域的技術人員便會理解，可以由此導致多樣的變形及均等的其他實施例。因此，本發明的真正的技術保護範圍應根據附帶的申請專利範圍的技術思想確定。

1‧‧‧前機台

11‧‧‧第一架體

12‧‧‧第一水平位移機構

121‧‧‧第一位移驅動裝置

122‧‧‧第一水平位移台座

13‧‧‧翻轉機構

131‧‧‧翻轉驅動裝置

14‧‧‧吸取裝置

141‧‧‧真空吸盤部

15‧‧‧第一垂直位移機構

16‧‧‧前清洗槽

18‧‧‧第一隔離壁裝置

181‧‧‧第一隔離架體

182‧‧‧第一壁板移動裝置

183‧‧‧第一壁板

2‧‧‧後機台

21‧‧‧第二架體

22‧‧‧後清洗槽

23‧‧‧後隔離裝置

231‧‧‧倒L型隔離板

232‧‧‧板垂直驅動單元

233‧‧‧板引導軌道

234‧‧‧牽引線

235‧‧‧配重塊

24‧‧‧後清洗裝置

25‧‧‧左抵頂桿件

10‧‧‧晶圓傳送盒

10A‧‧‧盒本體

10B‧‧‧門本體

100‧‧‧清洗設備

Claims (9)

1. 一種晶圓傳送盒清洗設備，所述清洗設備(100)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行清洗用，其特徵在於：所述清洗設備(100)，其至少包括有至少一前機台(1)、及一設於該前機台(1)後側端處的後機台(2)；所述前機台(1)，其包含有一第一架體(11)、一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一水平位移機構(12)、一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉機構(13)、一對應於該翻轉機構(13)而設置於第一架體(11)頂端後側處的吸取裝置(14)、一對應於該吸取裝置(14)設置的第一垂直位移機構(15)、一設於該第一架體(11)底端後側處的前清洗槽(16)、一設於該第一架體(11)後側處的前清洗裝置(17)、及一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離壁裝置(18)；所述第一水平位移機構(12)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移；所述翻轉機構(13)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)之盒本體(10A)、翻轉至該後機台(2)處，並使該盒本體(10A)之開口，由垂直轉為水平狀態；所述吸取裝置(14)能對該晶圓傳送盒(10)之門本體(10B)進行真空吸附定位，並使其拆下與該盒本體(10A)分離；所述第一垂直位移機構(15)，其能帶動該吸取裝置(14)於對應該晶圓傳送盒(10)、對應該前清洗槽(16)兩狀態間作轉換，以一同帶動被拆下的該門本體(10B)；所述前清洗槽(16)，其內具有一容納空間(161)，該容納空間(161)前方設有一與其連通的開口(162)，而該開口(162)能供定位容納被該吸取裝置(14)所轉移過來的該門本體(10B)； 所述前清洗裝置(17)，其設於該容納空間(161)內，具有一基座(171)、至少一設於該基座(171)上的可動清洗單元(172)、及兩分別設於該基座(171)兩側端處的乾燥單元(173)，該可動清洗單元(172)能對該門本體(10B)進行清洗，該乾燥單元(173)能對該門本體(10B)進行乾燥動作；所述第一隔離壁裝置(18)，其能在該第一水平位移機構(12)帶動該晶圓傳送盒(10)往該翻轉機構(13)方向位移時開啟，以供降低污染可能用；所述後機台(2)，其包含有一對應於該第一架體(11)後側端設置的第二架體(21)、一設於該第二架體(21)頂端的後清洗槽(22)、一設於該後清洗槽(22)上方的後隔離裝置(23)、及一頂端設於該後清洗槽(22)內位於該後清洗槽(22)底端的後清洗裝置(24)；所述後清洗槽(22)，其能供容納由該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)用；所述後隔離裝置(23)，其能供在該翻轉機構(13)將該盒本體(10A)翻轉移動過來後，將該後清洗槽(22)封閉用；所述後清洗裝置(24)，其能被該翻轉機構(13)所翻轉移動過來的該盒本體(10A)所覆蓋，並能供對該盒本體(10A)內部進行清洗、乾燥的動作用；所述翻轉機構(13)，其包括有一對應於該第一水平位移機構(12)設置於該第一架體(11)頂端後側處的翻轉驅動裝置(131)、一設於該翻轉驅動裝置(131)左側的左翻轉支架(132)、及一鏡像設置於該翻轉驅動裝置(131)右側的右翻轉支架(133)；所述左翻轉支架(132)，其包含有一底端與該翻轉驅動裝置(131)左側連接的左Y形支架(1321)、一間隔設於該左Y形支架(1321)右側的左L形支架(1322)、數支間隔設於該左Y形支架(1321)與該左L形支架(1322)間的左間隔桿(1323)、及至少一設於該左L形支架(1322)右側面處的左定位 組件(1324)，該左Y形支架(1321)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該左L形支架(1322)還相對應於該左Y形支架(1321)頂端而設置，該左定位組件(1324)能供定位該晶圓傳送盒(10)用；所述右翻轉支架(133)，其包含有一底端與該翻轉驅動裝置(131)右側連接的右Y形支架(1331)、一間隔設於該右Y形支架(1331)左側的右L形支架(1332)、數支間隔設於該右Y形支架(1331)與該右L形支架(1332)間的右間隔桿(1333)、及至少一設於該右L形支架(1332)左側面處的右定位組件(1334)，該右Y形支架(1331)的頂端一側平行於水平面、另一側垂直於水平面，該右L形支架(1332)還相對應於該右Y形支架(1331)頂端而設置，該右定位組件(1334)能供定位該晶圓傳送盒(10)用。
2. 如請求項1所述的晶圓傳送盒清洗設備，其中：所述前清洗裝置(17)，其還包括有一轉動裝置(174)，該轉動裝置(174)能帶動該可動清洗單元(172)轉動；所述可動清洗單元(172)，其一側還間隔設有數個前清洗噴頭(1721)；所述後清洗裝置(24)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)底端的第二驅動單元(241)、一設於該後清洗槽(22)內的清洗單元(242)、一與該第二驅動單元(241)可動連接的滑座(243)、及一設於該清洗單元(242)與該滑座(243)間的連接柱(244)；前述清洗單元(242)，其還包括有一設於該連接柱(244)頂端左側的左清洗組合(2421)、一設於該連接柱(244)頂端右側的右清洗組合(2422)、一設該左清洗組合(2421)與該右清洗組合(2422)之間且位於該連接柱(244)頂端的調整組件(2423)、及一設於該與該連接柱(244)間的管道整合座(2424)；所述左清洗組合(2421)與該右清洗組合(2422)，其兩者皆還包括有一座體(2421a)、一設於該座體(2421a)頂端的倒L形乾燥組件(2421b)、一形成於 該座體(2421a)與該倒L形乾燥組件(2421b)一側間的凹陷部(2421c)、及數個間隔排列於該凹陷部(2421c)處的L形清洗噴頭(2421d)；所述調整組件(2423)，其還具有兩倒T形支架(a)、一左H形翼板(b)、一右H形翼板(c)、一橫桿(d)、一跨接塊(e)、一螺桿(f)、及一定位單元(g)；前述倒T形支架(a)相應設於該管道整合座(2424)頂端面的前側與後側邊緣處，且各個該倒T型支架(a)內還各具有一倒T形開槽(a1)；前述左H形翼板(b)設於該管道整合座(2424)頂端面左側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該左清洗組合(2421)；前述右H形翼板(c)設於該管道整合座(2424)頂端面右側，一端設於該倒T型支架(a)之間，另一端連接該右清洗組合(2422)，而該左H形翼板(b)、該右H形翼板(c)位於該倒T型支架(a)之間的一端，還相互樞接，另該左H形翼板(b)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一左限位桿(b1)滑動定位，另該右H形翼板(c)與各個該倒T型支架(a)水平段相應端處，還分別通過一右限位桿(c1)滑動定位；前述橫桿(d)設於該左H形翼板(b)與該右H形翼板(c)的樞接處，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)之該倒T形開槽(a1)配合，而中央還垂直設有一連接塊(d1)；前述跨接塊(e)設於該倒T型支架(a)之間，且兩端還分別對應的該倒T型支架(a)頂端連接；前述螺桿(f)穿過該跨接塊(e)後與該連接塊(d1)與該連接；前述調整轉輪(g)與該螺桿(f)螺接，位於該跨接塊(e)與該連接塊(d1)間；所述管道整合座(2424)，其還能供連接相應管路後、將氣體和液體有效率地傳輸到該左清洗組合(2421)、該右清洗組合(2422)處。
3. 如請求項2所述的晶圓傳送盒清洗設備，其中：所述後清洗槽(22)，其 還包括有一設於該後清洗槽(22)前端側與頂端側處的倒L形開口(221)、一設於該倒L形開口(221)前端側處的前U形擋板(222)、一間隔設於該前U形擋板(222)後側處的後U形擋板(223)、一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣處的外ㄇ形膠條(224)、及一設於該後清洗槽(22)頂端邊緣且位於該外ㄇ形膠條(224)內側處的內ㄇ形膠條(225)；前述倒L形開口(221)，其頂端側內邊緣相應於該前U形擋板(222)頂端處，還分別凹設有一前凹陷部(2211)，而頂端側內邊緣相應於該後U形擋板(223)處，亦還分別凹設有一後凹陷部(2212)；前述前U形擋板(222)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一前凹槽(2221)，而該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣處，還卡設有一前隔離膠條(2222)；前述後U形擋板(223)，其封閉端左、右兩側處，還分別凹設有一後凹槽(2231)，而該後U形擋板(223)封閉端頂邊緣處，還卡設有一後隔離膠條(2232)；所述後隔離裝置(23)，其還包括有一設於該後清洗槽(22)上方並對應於該倒L形開口(221)的倒L型隔離板(231)、一設於該後清洗槽(22)後側端處的板垂直驅動單元(232)、兩分別設於該該後清洗槽(22)相應側處的板引導軌道(233)、一該倒L型隔離板(231)頂端連接的牽引線(234)、及一設於該牽引線(234)自由端處的配重塊(235)；前述倒L型隔離板(231)，其還具有一斷面概呈H形的前垂直板體(2311)、及一前端底面與該前垂直板體(2311)頂端相接的水平板體(2312)，且該前垂直板體(2311)前側面底端處還延伸設有一前擋板(2311a)，而該前垂直板體(2311)的前側面邊緣兩側處，還分別設有一前封閉膠條(2313)，另該前垂直板體(2311)的後側面邊緣兩側處，還分別設 有一後封閉膠條(2314)；前述板垂直驅動單元(232)，其頂端還與該倒L型隔離板(231)連接；前述板引導軌道(233)，其頂端還分別與該倒L型隔離板(231)相應側處連接；前述牽引線(234)，其與該倒L型隔離板(231)頂端連接後，還往該後清洗槽(22)後側方向轉繞，處延伸至該後清洗槽(22)後側處。
4. 如請求項3所述的晶圓傳送盒清洗設備，其中：所述後機台(2)，其還包括有設於該後清洗槽(22)內且對應於該左翻轉支架(132)的一左抵頂桿件(25)、及對應於該右翻轉支架(133)的一右抵頂桿件(26)，該左抵頂桿件(25)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該左翻轉支架(132)用，該右抵頂桿件(26)能供支撐由該倒L形開口(221)處翻轉入該後清洗槽(22)內的該右翻轉支架(133)用；所述前隔離膠條(2222)，其由外至內還依序平行設有一倒U形膠條(22a)、及一O形膠條(22b)，而該倒U形膠條(22a)前側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位該前U形擋板(222)封閉端頂邊緣上用；所述後隔離膠條(2232)，其由外至內還依序平行設有一O形膠條(22b)、及一倒U形膠條(22a)，而該倒U形膠條(22a)後側端內側面處還設有一倒勾條(22c)，能供配合定位於該後U形擋板(223)封閉端頂邊緣上用；所述前封閉膠條(2313)與該後封閉膠條(2314)，其兩者皆包括有一U形膠條(23a)、及一平行設於該U形膠條(23a)一側且封閉端相互對接的3字形膠條(23b)，而該U形膠條(23a)前側端內側面處還設有一倒勾部(23c)。
5. 如請求項4所述的晶圓傳送盒清洗設備，其中：所述左定位組件(1324)，其還包括有一設於該左L形支架(1322)水平段自由端處的左支撐塊(1324a)、一設於該左L形支架(1322)水平段中央處的左引導塊(1324b)、 一設於該左L形支架(1322)垂直段中央處的左限位塊(1324c)、及一設於該左L形支架(1322)垂直段自由端處的左擋塊(1324d)；所述右定位組件(1334)，其還包括有一設於該右L形支架(1332)水平段自由端處的右支撐塊(1334a)、一設於該右L形支架(1332)水平段中央處的右引導塊(1334b)、一設於該右L形支架(1332)垂直段中央處的右限位塊(1334c)、及一設於該右L形支架(1332)垂直段自由端處的右擋塊(1334d)。
6. 如請求項5所述的晶圓傳送盒清洗設備，其中：所述第一水平位移機構(12)，其還包括有一設於該第一架體(11)頂端前側處的第一位移驅動裝置(121)、及一設於該第一位移驅動裝置(121)頂端處的第一水平位移台座(122)，該第一位移驅動裝置(121)能供驅動該第一水平位移台座(122)使其位移用，該第一水平位移台座(122)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用；所述吸取裝置(14)，其還具有分別設於該吸取裝置(14)前側面兩側的兩真空吸盤部(141)、及兩鎖定頭部(142)，該真空吸盤部(141)兩者還呈項對角線狀設置、能供吸取該門本體(10B)用，該鎖定頭部(142)位於該真空吸盤部(141)之間，能供鎖定該門本體(10B)用；所述第一垂直位移機構(15)，其還包括有一設於該吸取裝置(14)左側的第一驅動單元(151)、及一設於該吸取裝置(14)右側的垂直引導軌道架(152)，該第一驅動單元(151)能供帶動該吸取裝置(14)垂直位移用，該垂直引導軌道架(152)能供引導該吸取裝置(14)垂直位移用；所述前清洗槽(16)，其還包括有一前清洗槽殼體(163)、及一容納板體(164)，該前清洗槽殼體(163)能配合該容納板體(164)、該基座(171)以供構成該容納空間(161)，該容納板體(164)能供配合構成該開口(162)用；所述第一隔離壁裝置(18)，其還包括有一橫向跨設於該第一水平位移機構(12)上的第一隔離架體(181)、一垂直設於該第一隔離架體(181)頂端處 的第一壁板移動裝置(182)、及一活動設置於該第一隔離架體(181)底端處且與該第一壁板移動裝置(182)一端連接的第一壁板(183)，該第一壁板移動裝置(182)能帶動該第一壁板(183)，使其能沿著該第一隔離架體(181)上、下滑動位移。
7. 一種晶圓傳送盒清洗系統，所述清洗系統(200)能應用於對晶圓傳送盒(10)進行潔淨用，其特徵在於：所述清洗系統(200)，其至少包括有至少一如請求項1至6中任一項所述的清洗設備(100)、至少一移動設備(300)、至少一充氮設備(400)、及至少一暫存設備(500)；所述移動設備(300)，其設於該清洗設備(100)、該充氮設備(400)及該暫存設備(500)上方，並橫跨前述三者，能帶動被該清洗設備(100)所清潔後的該晶圓傳送盒(10)，以進行位移；所述充氮設備(400)，其設於該清洗設備(100)一側，能接收該移動設備(300)自該清洗設備(100)處所移動帶來的該晶圓傳送盒(10)，以對其進行充氮的作業；所述暫存設備(500)，其設於該清洗設備(100)另一側，能接收被該移動設備(300)自該充氮設備(400)處，所轉移過來的該晶圓傳送盒(10)，以供暫存及輸出用。
8. 如請求項7所述的晶圓傳送盒清洗系統，其中：所述移動設備(300)，其還包括有一設於該清洗系統(200)頂端處且呈口字形的基板體(301)、一設於該基板體(301)開口後側邊緣處的橫向位移機構(302)、一設於該基板體(301)開口前側邊緣處的橫向引導軌道(303)、一跨設於該橫向位移機構(302)與該橫向引導軌道(303)上一側的夾具座(304)、以及一設於該夾具座(304)底端並穿過該基板體(301)開口的夾具(305)，該橫向位移機構(302) 能供帶動該夾具座(304)沿著該橫向引導軌道(303)移動位移用，該橫向引導軌道(303)能供引導該夾具座(304)用，該夾具座(304)能供一同帶動該夾具(305)用，該夾具(305)能供夾持定位該晶圓傳送盒(10)用；所述充氮設備(400)，其還包括有一設於該清洗設備(100)一側的承載盤(401)、至少一設於該承載盤(401)上的充氮頭組(402)、數個設於該承載盤(401)上的定位銷(403)、以及數個分別對應該定位銷(403)而設置的感測單元(404)，該承載盤(401)能供承載被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該充氮頭組(402)能供對被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)進行充氮用，該定位銷(403)能供定位被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)用，該感測單元(404)能供該充氮設備(400)判斷、被該移動設備(300)所移動過來的該晶圓傳送盒(10)是否擺放正確用；所述暫存設備(500)，其還包括有一第三架體(501)、一設於該第三架體(501)前端處的第二水平位移機構(502)、及一橫向跨設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離壁裝置(503)；前述第二水平位移機構(502)，其能帶動該晶圓傳送盒(10)往外界方向位移，其還包括有一設於該第三架體(501)頂端前側處的第二位移驅動裝置(5021)、及一設於該第二位移驅動裝置(5021)頂端處的第二水平位移台座(5022)，該第二位移驅動裝置(5021)能供驅動該第二水平位移台座(5022)使其位移用，該第二水平位移台座(5022)能供承接定位該晶圓傳送盒(10)用；前述第二隔離壁裝置(503)，其還包括有一設於該第二水平位移機構(502)上的第二隔離架體(5031)、一垂直設於該第二隔離架體(5031)頂端處的第二壁板移動裝置(5032)、及一活動設置於該第二隔離架體(5031)底端處且 與該第二壁板移動裝置(5032)一端連接的第二壁板(5033)，該第二壁板移動裝置(5032)能帶動該第二壁板(5033)，使其能沿著該第二隔離架體(5031)上、下滑動位移。
9. 如請求項8所述的晶圓傳送盒清洗系統，其中：所述夾具(305)，其還包括有一設於該夾具座(304)一側的第三驅動單元(3051)、一設於該夾具座(304)另一側的夾具導引軌道(3052)、一設於該第三驅動單元(3051)與該夾具導引軌道(3052)間的夾具座(3053)、一設於該夾具座(3053)之底端面處的夾頭驅動組(3054)、一活動設於該夾頭驅動組(3054)左側的左夾爪(3055)、及一活動設於該夾頭驅動組(3054)右側的右夾爪(3056)，該第三驅動單元(3051)能供帶動該夾具座(3053)沿著該夾具導引軌道(3052)位移用，該夾具導引軌道(3052)能供配合該第三驅動單元(3051)以導引該夾具座(3053)用，該夾具座(3053)能供承載該夾頭驅動組(3054)用，該夾頭驅動組(3054)能供驅動該左夾爪(3055)和該右夾爪(3056)於相互遠離、相互接近兩狀態間作轉換用，該左夾爪(3055)與該右夾爪(3056)兩者能相互配合以供夾持該晶圓傳送盒(10)用；前述夾頭驅動組(3054)，其還包括有一設於該夾具座(3053)之底端面上的雙向驅動單元(3054a)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)左側處的左作動塊(3054b)、一活動設置於該雙向驅動單元(3054a)右側處的右作動塊(3054c)、及一套設於該雙向驅動單元(3054a)外並與該夾具座(3053)連接的殼體(3054d)，該雙向驅動單元(3054a)能同時帶動該左作動塊(3054b)與該右作動塊(3054c)同時作動，該左作動塊(3054b)底端面還與該左夾爪(3055)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用，該右作動塊(3054c)底端面還與該右夾爪(3056)連接，能供帶動該左夾爪(3055)用；所述充氮頭組(402)，其還包括有數個分別佈設於該承載盤(401)上的第一 充氮頭(4021)、及至少兩個分別對應於該第一充氮頭(4021)而設置於其外側處的第二充氮頭(4022)。

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