TWI682486B

TWI682486B - 基板處理裝置及基板處理方法

Info

Publication number: TWI682486B
Application number: TW107132885A
Authority: TW
Inventors: 古矢正明; 森秀樹
Original assignee: 日商芝浦機械電子裝置股份有限公司
Priority date: 2017-09-29
Filing date: 2018-09-19
Publication date: 2020-01-11
Also published as: TW201916231A; JP7137408B2; JP2019068057A

Abstract

提供一種能夠使生產性提升之基板處理裝置及基板處理方法。實施形態之基板處理裝置，係具備有：具有將基板(W)個別地作支持之第1置台(14a1)以及第2置台(14a2)並作為交接台而起作用之緩衝單元(14)、和具有保持基板(W)之手部(31)並作為從緩衝單元(14)而將基板(W)作搬送之搬送部而起作用的第2搬送機器人(15)。緩衝單元(14)，係形成為能夠使手部(31)從第1置台(14a1)之上位置起朝向下位置而朝下方向移動並將基板(W)放置在第1置台(14a1)處，並使移動至了第1置台(14a1)之下位置處的手部(31)從第1置台(14a1)之下位置起朝向第2置台(14a2)之下位置而朝橫方向移動，並且使移動至了第2置台(14a2)之下位置處的手部(31)從第2置台(14a2)之下位置起朝向上位置而朝上方向移動來從第2置台(14a2)而將基板(W)舉升。

Description

基板處理裝置及基板處理方法

本發明之實施形態，係有關於基板處理裝置及基板處理方法。

基板處理裝置，係為在半導體裝置或液晶顯示裝置等之製造工程中，對於晶圓或液晶基板等之基板進行處理之裝置。在此基板處理裝置中，基於均一性以及再現性之理由，係使用有將基板1枚1枚地藉由專用之處理室來進行處理的單片方式。又，為了謀求基板搬送系之共通化，基板係被收容在共通之專用箱(例如，FOUP等)中並被搬送。在此專用箱中，基板係以特定間隔而被作層積並被收容。

在基板處理裝置處，係使用有搬送機器人等之基板搬送裝置，從專用箱而將基板取出並搬送至處理室處，之後，將完成處理之基板收容在專用箱中。此時，基板處理之種類係並不被限定於單一種類，也會有複數種類之處理工程係在各種類之個別的專用之處理室中被進行，之後使完成處理之基板被送回至專用箱中的情況。

搬送機器人，係在專用箱和處理室、該些之途中的緩衝器等處，進行將完成處理之基板和未處理之基板作交換的動作。此搬送機器人，在進行基板交換的情況時，係會有將1個的手藉由1個的臂來作移動並進行基板交換的情形。

通常，緩衝器，係為將基板W在上下方向作層積而收容的型態者。因此，搬送機器人，係使臂作伸縮並藉由手來將完成處理之基板放置在緩衝器內，之後，先使手移動至新的位置處，之後再度使臂作伸縮而將未處理之基板從緩衝器內取出。故而，在一次的基板交換時，係進行兩次的手之進出(伸縮動作)。因此，基板搬送效率係為差，基板處理裝置之生產性係降低。

本發明所欲解決之課題，係在於提供一種能夠使生產性提升之基板處理裝置及基板處理方法。

實施形態之基板處理裝置，係具備有：交接台，係具有將基板個別作支持之第1置台以及第2置台；和搬送部，係具有保持基板之手部，並在自身與交接台之間將基板作交換且搬送基板，交接台，係形成為能夠使手部從第1置台之上位置起朝向下位置而朝下方向移動並將基板放置在第1置台處，並使移動至了第1置台之下位置處的手部從第1置台之下位置起朝向第2置台之下位置而朝橫方向移動，並且使移動至了第2置台之下位置處的手部從第2置台之下位置起朝向上位置而朝上方向移動來從第2置台而將基板舉升。

實施形態之基板處理方法，係藉由基板處理裝置來對基板進行處理，該基板處理裝置，係具備有：交接台，係具有將基板個別作支持之第1置台以及第2置台；和搬送部，係具有保持基板之手部，該基板處理方法，係具備有：使手部從第1置台之上位置起朝向下位置而朝下方向移動並將基板放置在第1置台處之工程；和使移動至了第1置台之下位置處的手部從第1置台之下位置起朝向第2置台之下位置而朝橫方向移動之工程；和使移動至了第2置台之下位置處的手部從第2置台之下位置起朝向上位置而朝上方向移動來從第2置台而將基板舉升之工程。

若依據前述之實施形態之基板處理裝置或基板處理方法，則係能夠使生產性提升。

10‧‧‧基板處理裝置

11‧‧‧開閉單元

12‧‧‧第1搬送機器人

12a‧‧‧第1臂單元

12b‧‧‧第2臂單元

12c‧‧‧旋轉部

13‧‧‧第1移動機構

13a‧‧‧直線軌道

13b‧‧‧移動基體

14‧‧‧緩衝單元

14a‧‧‧收容部

14a1‧‧‧第1置台

14a2‧‧‧第2置台

14a3‧‧‧支持體

14b‧‧‧支柱

15‧‧‧第2搬送機器人

15a‧‧‧第1臂單元

15b‧‧‧第2臂單元

15c‧‧‧承液罩

15d‧‧‧升降旋轉部

16‧‧‧第2移動機構

16a‧‧‧直線軌道

16b‧‧‧移動基體

16c‧‧‧移動基體

16d‧‧‧直線軌道

17‧‧‧基板處理單元

17a‧‧‧處理室

17a1‧‧‧基板閘門

17b‧‧‧基板保持部

17c‧‧‧第1處理液供給部

17d‧‧‧第2處理液供給部

18‧‧‧裝置附帶單元

18a‧‧‧液供給單元

18b‧‧‧控制單元

21‧‧‧手部

22‧‧‧臂部

31‧‧‧手部

32‧‧‧臂部

41‧‧‧置台構件

42‧‧‧側壁

43‧‧‧支持構件

51‧‧‧第1層積收容部

51a‧‧‧支持壁

52‧‧‧第2層積收容部

52a‧‧‧支持壁

W‧‧‧基板

[圖1]係為對於第1實施形態的基板處理裝置之概略構成作展示之平面圖。

[圖2]係為對於第1實施形態之緩衝單元、第1搬送機器人以及第1移動機構作展示之立體圖。

[圖3]係為對於第1實施形態之緩衝單元、第2搬送機器人以及第2移動機構作展示之立體圖。

[圖4]係為對於第1實施形態之緩衝單元作展示之立體圖。

[圖5]係為用以對於第1實施形態之第1搬送機器人的基板交換作業作說明之第1說明圖。

[圖6]係為用以對於第1實施形態之第1搬送機器人的基板交換作業作說明之第2說明圖。

[圖7]係為用以對於第1實施形態之第1搬送機器人的基板交換作業作說明之第3說明圖。

[圖8]係為用以對於第1實施形態之第1搬送機器人的基板交換作業作說明之第4說明圖。

[圖9]係為用以對於第1實施形態之第2搬送機器人的基板交換作業作說明之第1說明圖。

[圖10]係為用以對於第1實施形態之第2搬送機器人的基板交換作業作說明之第2說明圖。

[圖11]係為用以對於第1實施形態之第2搬送機器人的基板交換作業作說明之第3說明圖。

[圖12]係為用以對於第1實施形態之第2搬送機器人的基板交換作業作說明之第4說明圖。

[圖13]係為用以對於第1實施形態之緩衝單元以及第2搬送機器人之移動動作作說明之說明圖。

[圖14]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第1說明圖。

[圖15]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第2說明圖。

[圖16]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第3說明圖。

[圖17]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第4說明圖。

[圖18]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第5說明圖。

[圖19]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第6說明圖。

[圖20]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第7說明圖。

[圖21]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第8說明圖。

[圖22]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第9說明圖。

[圖23]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第10說明圖。

[圖24]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第11說明圖。

[圖25]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第12說明圖。

[圖26]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第13說明圖。

[圖27]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第14說明圖。

[圖28]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第15說明圖。

[圖29]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第16說明圖。

[圖30]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第17說明圖。

[圖31]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第18說明圖。

[圖32]係為用以對於第1實施形態之基板處理的流程作說明之第19說明圖。

[圖33]係為對於第1實施形態之第1處理室以及第2處理室的處理時間和第2搬送機器人之動作時間之間之相關作了展示之圖。

[圖34]係為用以對於第2實施形態之緩衝單元以及第2搬送機器人之移動動作作說明之說明圖。

[圖35]係為對於第3實施形態之緩衝單元作展示之圖。

〈第1實施形態〉

參考圖1~圖33，針對第1實施形態作說明。

(基本構成)

如同圖1中所示一般，第1實施形態之基板處理裝置10，係具備有複數之開閉單元11、和第1搬送機器人12、和第1移動機構13、和緩衝單元14、和第2搬送機器人15、和第2移動機構16、和複數之基板處理單元17、以及裝置附帶單元18。另外，第1搬送機器人12和第2搬送機器人15 係作為搬送部而起作用，緩衝單元14係作為交接台而起作用。

另外，本實施形態之基板處理裝置10，係作為對於基板表面供給處理液(例如阻劑剝離液或洗清液、洗淨液等)並對基板表面進行處理之裝置來作說明。在複數之基板處理單元17處，係被進行有複數種類之處理工程(例如，阻劑剝離工程或洗清工程、洗淨工程等)。

各開閉單元11，係並排為1列地被作設置。此些之開閉單元11，係將作為搬送容器而起作用的專用箱(例如FOUP)之門作開閉。另外，當專用箱係身為FOUP的情況時，開閉單元11係被稱作FOUP開啟器。在此專用箱中，基板W係以特定間隔而被作層積並被收容。

第1搬送機器人12，係以沿著各開閉單元11所並排之第1搬送方向而移動的方式，而被設置在開閉單元11之列的鄰旁處。此第1搬送機器人12，係從藉由開閉單元11而使門被作了開啟的專用箱來將未處理之基板W取出，並進行迴旋，而放置在緩衝單元14內。又，第1搬送機器人12，係從緩衝單元14來將完成處理之基板W取出，並進行迴旋，而放置在藉由開閉單元11而使門被作了開啟的專用箱內。另外，第1搬送機器人12，當位置在無法進行與緩衝單元14之間之基板W之交接之位置處的情況時，係於第1搬送方向上移動直到到達能夠進行該交接之位置處為止。作為第1搬送機器人12，例如，係能夠使用具備有機器臂或機器手等的機器人。

第1移動機構13，係朝向第1搬送方向而延伸，並為使第1搬送機器人12在與第1搬送方向相平行之直線上而移動的機構。第1搬送機器人12，係被設置在第1移動機構13上，並成為能夠從在第1搬送方向上而並排之各開閉單元11之其中一端起而一直移動至另外一端處。作為第1移動機構13，例如，係可使用利用有線性導軌之移動機構。

緩衝單元14，係被定位於第1搬送機器人12所移動的第1機器人移動路徑之中央附近處，並被設置在該第1機器人移動路徑之單側、亦即是與各開閉單元11相反之單側處。此緩衝單元14，係構成為在與前述第1搬送方向相正交之第2搬送方向(與第1搬送方向相交叉之方向的其中一例)上移動。緩衝單元14，係身為為了在第1搬送機器人12和第2搬送機器人15之間進行基板W之交替拿取而使基板W暫時性地被作放置之緩衝台。在此緩衝單元14處，未處理或完成處理之基板W係以特定間隔而被作層積並被收容。作為緩衝單元14，例如，係能夠使用具備有收容部和支柱等之單元(詳細內容係於後再述)。

第2搬送機器人15，係與緩衝單元14同樣的，以在前述第2搬送方向上移動的方式而被作設置。此第2搬送機器人15，係從緩衝單元14來將未處理之基板W取出，並進行迴旋，而將未處理之基板W放置在所期望之基板處理單元17內。又，第2搬送機器人15，係從基板處理單元17來將完成處理之基板W取出，並進行迴旋，而將完成處理之基板W放置在其他之基板處理單元17或者是緩衝單元14內。另外，第2搬送機器人15，當位置在無法進行與緩衝單元14之間之基板W之交接之位置處的情況時，係於第2搬送方向上移動直到到達能夠進行該交接之位置處為止。作為第2搬送機器人15，例如，係能夠使用具備有機器臂或機器手等的機器人(詳細內容係於後再述)。

第2移動機構16，係朝向第2搬送方向而延伸，並為使緩衝單元14以及第2搬送機器人15在與第2搬送方向相平行之直線上而個別移動的機構。緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係被設置在第2移動機構16上，緩衝單元14，係位置在較第2搬送機器人15而更靠第1搬送機器人12側處。緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係成為能夠從在第2搬送方向上而並排之各基板處理單元17之其中一端起而一直移動至另外一端處。作為第2移動機構16，例如，係可使用利用有線性導軌之移動機構(詳細內容係於後再述)。

基板處理單元17，係在第2搬送機器人15所移動的第2機器人移動路徑之兩側處而例如各被設置有4個，並且並排為2列。基板處理單元17，係具備有處理室17a、和基板保持部17b、和第1處理液供給部17c、以及第2處理液供給部17d。基板保持部17b、第1處理液供給部17c以及第2處理液供給部17d，係被設置在處理室17a內。

處理室17a，例如係被形成為直方體形狀，並具備有基板閘門17a1。基板閘門17a1，係在處理室17a處之第2機器人移動路徑側之壁面上，而被可開閉地形成。另外，處理室17a內，係藉由下衝流(垂直層流)而被保持為清淨，又，係相較於外部而被保持為陰壓。

基板保持部17b，係為藉由銷(未圖示)等而將基板W保持為水平狀態，並以與基板W之被處理面之略中央垂直地相交之軸(與基板W之被處理面相交之軸的其中一例)作為旋轉中心來使基板W在水平面內旋轉之機構。例如，基板保持部17b，係將保持為水平狀態之基板W藉由具備有旋轉軸和馬達等之旋轉機構(未圖示)來作旋轉。

第1處理液供給部17c，係對於基板保持部17b上之基板W的被處理面之中央附近供給第1處理液。此第1處理液供給部17c，例如，係具備有吐出處理液之噴嘴，並使噴嘴移動至基板保持部17b上之基板W的被處理面之中央附近處，而從該噴嘴來供給處理液。對於第1處理液供給部17c，係從液供給單元18a起經由配管(未圖示)而被供給有第1處理液。

第2處理液供給部17d，係對於基板保持部17b上之基板W的被處理面之中央附近供給第2處理液。此第2處理液供給部17d，例如，係具備有吐出處理液之噴嘴，並使噴嘴移動至基板保持部17b上之基板W的被處理面之中央附近處，而從該噴嘴來供給處理液。對於第2處理液供給部17d，係從液供給單元18a起經由配管(未圖示)而被供給有第2處理液。

裝置附帶單元18，係被設置於第2機器人移動路徑之其中一端、亦即是與第1搬送機器人12相反側之端處。此裝置附帶單元18，係收容液供給單元18a和控制單元(控制部)18b。液供給單元18a，係對於各基板處理單元17而供給各種的處理液(例如，阻劑剝離劑或洗清液、洗淨液等)。控制單元18b，係具備有對於各部作集中性控制之微電腦、和將關連於基板處理之基板處理資訊和各種程式等作記憶之記憶部(均未圖示)。此控制單元18b，係基於基板處理資訊和各種程式，而對於各開閉單元11、第1搬送機器人12、第1移動機構13、第2搬送機器人15、第2移動機構16、各基板處理單元17等之各部進行控制。

(第1搬送機器人及第1移動機構)

接著，參照圖2，針對第1搬送機器人12及第1移動機構13作說明。

如同圖2中所示一般，第1搬送機器人12，係具備有第1臂單元12a、和第2臂單元12b、以及旋轉部12c。此第1搬送機器人12，係為於上下二段而具備有二台的臂單元12a、12b之雙臂機器人。

第1臂單元12a，係具備有手部(基板保持部)21、和臂部22。手部21，係被形成為能夠藉由把持機構(未圖示)來進行基板W之把持及釋放。作為把持機構，例如，係可使用將與基板W之外周面相抵接的複數之爪部區分成用以從基板W之兩側來挾持基板W之組並使該些整組地在接近遠離方向上移動之機構。臂部22，係被連結於旋轉部12c上，並被形成為能夠藉由旋轉部12c來以鉛直方向之軸作為中心而旋轉。此臂部22，係被形成為可伸縮，並保持手部21而使其在水平之直線方向上移動。第1臂單元12a，係藉由手部21而保持基板W，並藉由使臂部22前進，來將基板W搬入至緩衝單元14或處理室17a處，並且藉由使臂部22後退，來將基板W從該些而搬出。

第2臂單元12b，基本上係為與第1臂單元12a相同之構造，並具備有手部21、和臂部22。此些由於係為與前述相同之構造，因此係省略其說明。另外，第1臂單元12a之手部21、和第2臂單元12b之手部21，係被設置為上下二段。

旋轉軸12c，係保持第1臂單元12a以及第2臂單元12b之各臂部22，並以鉛直方向之軸作為旋轉軸(機器人旋轉軸)而使其旋轉。此旋轉部12c，係內藏有旋轉機構(未圖示)。旋轉部12c，係被與控制單元18b(參考圖1)作電性連接，其之驅動係被控制單元18b所控制。

第1移動機構13，係具備有直線軌道(移動軸)13a、和移動基體(移動部)13b。直線軌道13a，係為被設置在地面上並沿著前述之第1搬送方向而延伸的軌道。移動基體13b，係支持第1搬送機器人12之旋轉部12c，並可沿著直線軌道13a移動地而被設置在直線軌道13a上。第1移動機構13，係與移動基體13b一同地而使第1搬送機器人12沿著直線軌道13a移動。此第1移動機構13，係被與控制單元18b(參考圖1)作電性連接，其之驅動係被控制單元18b所控制。

(第2搬送機器人、緩衝單元及第2移動機構)

接著，參照圖3以及圖4，針對第2搬送機器人15、緩衝單元14以及第2移動機構16作說明。

如同圖3中所示一般，第2搬送機器人15，係具備有第1臂單元15a、和第2臂單元15b、和承液罩15c、以及升降旋轉部15d。此第2搬送機器人15，係為於上下二段而具備有二台的臂單元15a、15b之雙臂機器人。

第1臂單元15a，係具備有手部(基板保持部)31、和臂部32。手部31，係被形成為能夠藉由把持機構(未圖示)來進行基板W之把持及釋放。作為把持機構，例如，係可使用將與基板W之外周面相抵接的複數之爪部區分成用以從基板W之兩側來挾持基板W之組並使該些整組地在接近遠離方向上移動之機構。臂部32，係被連結於升降旋轉部15d上，並被形成為能夠藉由升降旋轉部15d來沿著鉛直方向進行升降並且進而以鉛直方向之軸作為中心而旋轉。此臂部32，係被形成為可伸縮，並保持手部31而使其在水平之直線方向上移動。第1臂單元15a，係藉由手部31而保持基板W，並藉由使臂部32前進，來將基板W搬入至緩衝單元14或處理室17a處，並且藉由使臂部32後退，來將基板W從該些而搬出。

第2臂單元15b，基本上係為與第1臂單元15a相同之構造，並具備有手部31、和臂部32。此些由於係為與前述相同之構造，因此係省略其說明。另外，第1臂單元15a之手部31、和第2臂單元15b之手部31，係被設置為上下二段。

承液罩15c，係以包圍第1臂單元15a和第2臂單元15b 的方式而被作設置，並以不會對於各臂部32之伸縮動作造成妨礙的方式而被形成。由於係存在有此承液罩15c，因此，就算是在將結束了處理後的濕潤之狀態之基板W作搬送的情況時液從基板W上而落下並彈開，該液也會碰觸到承液罩15c。藉由此，係能夠對於從基板W上所落下之液飛散至裝置之地面或第2移動機構16處的情形作抑制。

升降旋轉部15d，係保持第1旋轉部15a以及第2旋轉部15b之各臂部32並沿著鉛直方向之軸移動，並且使第1臂單元15a以及第2臂單元15b與承液罩15c一同作升降。又，升降旋轉部15d，係以鉛直方向之軸作為旋轉軸(機器人旋轉軸)而旋轉，並使所保持的各臂部32與承液罩15c一同旋轉。此升降旋轉部15d，係內藏有升降機構和旋轉機構(均未圖示)。升降旋轉部15d，係被與控制單元18b(參考圖1)作電性連接，其之驅動係被控制單元18b所控制。

如同圖3以及圖4中所示一般，緩衝單元14，係具備有收容部14a、和支柱14b。收容部14a，係具備有第1置台14a1以及第2置台14a2、和將該些作支持之支持體14a3，而被形成為能夠收容2枚的基板W。支柱14b，係以將收容部14a支持於能夠藉由第1搬送機器人12以及第2搬送機器人15來進行基板W之進出之高度處的方式，而被形成。

第1置台14a1以及第2置台14a2，係被定位於同一平面(例如，水平面)內，並以使被個別地放置在該些之置台14a1、14a2處之基板W會在橫方向上並排的方式，而被設置於支持體14a3處。此些之第1置台14a1以及第2置台 14a2，係分別藉由一對之置台構件41而被構成，並將基板W個別地作支持。一對之置台構件41，係分別離開有特定之距離，並以能夠使手部31(以及手部21)通過該一對之置台構件41之間的方式，而被設置於支持體14a3處。藉由此，手部31(以及手部21)，係成為能夠相對於置台14a1、14a2來朝從其之上位置起而朝向下位置之下方向或者是從其之下位置起而朝向上位置之上方向，而通過置台14a1、14a2(一對之置台構件41之間)並移動。亦即是，第1置台14a1以及第2置台14a2，係分別被形成為能夠使手部31(以及手部21)從置台14a1、14a2之上位置起來通過置台14a1、14a2(一對之置台構件41之間)並移動至置台14a1、14a2之下位置處而將基板W放置在置台14a1、14a2處、並且能夠使手部31(以及手部21)從置台14a1、14a2之下位置起來通過置台14a1、14a2(一對之置台構件41之間)並移動至置台14a1、14a2之上位置處並將基板W從置台14a1、14a2而舉升。

支持體14a3，係將第1置台14a1以及第2置台14a2、亦即是將二組的一對之置台構件41定位於同一平面內而作支持。支持體14a3，係藉由相對向之2個的側壁42來將二組的一對之置台構件41中之位置於外側處之2個的置台構件41分別作支持，並藉由支持構件43來將二組的一對之置台構件41中之位置於內側處之2個的置台構件41作支持。支持構件43，係以從支持體14a3之上部中央起朝向下方而一直延伸至側壁42之高度方向之長度之一半處的方式，而被形成。一對之置台構件41，係以在同一平面內而相對向的方式，而被作定位，並相互將基板W之外周的一部分作支持而將1枚之基板W作保持。在一對之置台構件41處，係從其之上方起藉由手部31(或者是手部21)而使基板W被作載置。支持體14a3，係在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方處，具備有能夠使手部31在水平方向上移動之空間。亦即是，支持體14a3，係被形成為能夠使手部31從2個的置台14a1、14a2之其中一方之下位置起來在橫方向上而移動至另外一方之下位置處。此手部31之朝向橫方向之移動，係相對於手部31之上下方向之移動而身為左右方向之移動，但是，手部31之移動，係並不被限定於水平移動，而例如亦可為朝向傾斜方向之移動。

第2移動機構16，係具備有直線軌道(第1移動軸)16a、和移動基體(第1移動部)16b、和移動基體(第2移動部)16c。直線軌道16a，係為被設置在地面上並沿著前述之第2搬送方向而延伸的軌道。移動基體16b，係支持緩衝單元14之支柱14b，並可沿著直線軌道16a移動地而被設置在直線軌道16a上。又，移動基體16c，係將第2搬送機器人15之升降旋轉部15d可旋轉地作支持，並可沿著直線軌道16a移動地而被設置在直線軌道16a上。第2移動機構16，係與移動基體16b一同地而使緩衝單元14沿著直線軌道16a移動，並與移動基體16c一同地而使第2搬送機器人15沿著直線軌道16a移動。此第2移動機構16，係被與控制單元18b(參考圖1)作電性連接，其之驅動係被控制單元18b所控制。

於此，緩衝單元14及第2搬送機器人15之移動，亦係因應於必要而被作限制。例如，在進行緩衝單元14與第2搬送機器人15之間之基板W之交接時，緩衝單元14和第2搬送機器人15之移動係被作限制。但是，在使緩衝單元14和第2搬送機器人15以相同速度來朝向相同方向一同移動的情況時，係亦能夠在移動中而進行基板W之交接。又，例如，在圖1中，當使第2搬送機器人15包夾著於上下方向(將裝置附帶單元18和開閉單元11作連結之方向)而延伸之第2機器人搬送路徑地而從左側之處理室17a起來將基板W搬送至與其相對向之右側之處理室17a處的情況(180度之迴旋動作)時，第2搬送機器人15之移動係被作限制。於此迴旋動作時，當緩衝單元14係存在於會對於第2搬送機器人15之迴旋動作造成妨礙之位置處的情況時，於第2搬送機器人15之迴旋動作之前，緩衝單元14係避開至不會對於第2搬送機器人15之迴旋動作造成妨礙的位置處。又，例如，在圖1中，當緩衝單元14和第2搬送機器人15為以相異之速度而朝向同方向移動的情況、或是使其中一方移動而並不使另外一方移動的情況、或者是朝向相互接近之方向而朝反方向移動的情況等之第2搬送機器人15和緩衝單元14可能會相互干涉(衝突)的情況時，緩衝單元14，係朝向不會對於第2搬送機器人15之移動造成妨礙的位置而使緩衝單元14先行移動或者是與第2搬送機器人15以相同速度來朝向相同方向移動。另外，第1搬送機器人12及緩衝單元14之移動，亦係因應於必要而被作限制。例如，在進行第1搬送機器人12與緩衝單元14之間之基板W之交接時，第1搬送機器人12和緩衝單元14之移動係被作限制。

(對於緩衝單元之第1搬送機器人之基板交換作業)

接著，參照圖5~圖8，針對對於緩衝單元14之第1搬送機器人12之基板交換作業作說明。第1置台14a1(圖5~圖8中之右側)，係為被放置有完成處理之基板W的置台，第2置台14a2(圖5~圖8中之左側)，係為被放置有未處理之基板W的置台。

圖5~圖8，係對於第1搬送機器人12藉由第1臂單元12a之手部21來將被放置在緩衝單元14之收容部14a內的完成處理之基板W取出，並藉由第2臂單元12b之手部21來將未處理之基板W放置在緩衝單元14之收容部14a內的基板交換作業之流程作展示。另外，圖5中所示之手部21之位置，係為第1置台14a1之下位置，圖6中所示之手部21之位置，係為第1置台14a1之上位置，圖7中所示之手部21之位置，係為第2置台14a2之上位置，圖8中所示之手部21之位置，係為第2置台14a2之下位置。如此這般，「第1置台14a1之下位置」，係指相對於第1置台14a1而為下方之位置、「第2置台14a2之下位置」，係指相對於第2置台14a2而為下方之位置。同樣的，「第1置台14a1之上位置」，係指相對於第1置台14a1而為上方之位置、「第2置台14a2之上位置」，係指相對於第2置台14a2而為上方之位置。

如同圖5中所示一般，完成處理之基板W，係被放置在收容部14a之第1置台14a1上。第1臂單元12a之手部21，係藉由臂部22之伸展動作，而進入至被放置在第1置台14a1處之完成處理之基板W的下方並移動至第1置台14a1之下位置處，而從該第1置台14a1之下位置起朝向上位置來朝上方向移動。此手部21，係通過第1置台14a1(一對之置台構件41之間)，而如同圖6中所示一般，與被放置在第1置台14a1處的完成處理之基板W之下面相抵接，並將完成處理之基板W舉升，而將作了舉升的完成處理之基板W作把持。之後，手部21，係在第1置台14a1之上位置處而停止，並藉由臂部22之收縮動作，而從第1置台14a1之上位置避開。如此這般，收容部14a內之完成處理之基板W，係藉由第1臂單元12a而被從收容部14a內取出。

又，第2臂單元12b之手部21，係如同圖7中所示一般，在將未處理之基板W作了保持的狀態下，藉由臂部22之伸展動作，而進入至第2置台14a2之上方，並將未處理之基板W定位於第2置台14a2之上位置處，而一面支持未處理之基板W一面解除手部21之把持，並從第2置台14a2之上位置起朝向下位置來朝下方向移動。此手部21，係通過第2置台14a2(一對之置台構件41之間)，而如同圖8中所示一般，將未處理之基板W放置在第2置台14a2上。之後，手部21，係在第2置台14a2之下位置處而停止，並藉由臂部22之收縮動作，而從第2置台14a2之下位置避開。如此這般，未處理之基板W，係藉由第2臂單元12b而被載置於收容部14a內。

如此這般，在第1搬送機器人12之基板交換作業中，首先，被放置在收容部14a之第1置台14a1上的完成處理之基板W，係從其之下方起藉由第1臂單元12a之手部21而被舉升，並被從收容部14a內取出。又，未處理之基板W，係藉由第2臂單元12b之手部21，而從收容部14a之第2置台14a2之上方起來被放置在該第2置台14a2上。

(對於緩衝單元之第2搬送機器人之基板交換作業)

接著，參照圖9~圖12，針對對於緩衝單元14之第2搬送機器人15之基板交換作業作說明。與前述相同的，第1置台14a1(圖9~圖12中之右側)，係為被放置有完成處理之基板W的置台，第2置台14a2(圖9~圖12中之左側)，係為被放置有未處理之基板W的置台。

圖9~圖12，係對於第2搬送機器人15藉由第1臂單元15a之手部31來將完成處理之基板W放置在緩衝單元14之收容部14a內並接著將被放置在緩衝單元14之收容部14a內的未處理之基板W取出之基板交換作業之流程作展示。另外，圖9中所示之手部31之位置，係為第1置台14a1之上位置，圖10中所示之手部31之位置，係為第1置台14a1之下位置，圖11中所示之手部31之位置，係為第2置台14a2之下位置，圖12中所示之手部31之位置，係為第2置台14a2之上位置。

如同圖9中所示一般，未處理之基板W，係被放置在收容部14a之第2置台14a2上。第1臂單元15a之手部31，係在將完成處理之基板W作了保持的狀態下，藉由臂部32之伸展動作，而進入至第1置台14a1之上方，並將完成處理之基板W定位於第1置台14a1之上位置處，而一面支持完成處理之基板W一面解除手部31之把持，並從第1置台14a1之上位置起朝向下位置來朝下方向移動。此手部31，係通過第1置台14a1(一對之置台構件41之間)，而如同圖10中所示一般，將完成處理之基板W放置在第1置台14a1上，並停止於第1置台14a1之下位置處。如此這般，完成處理之基板W，係藉由第1臂單元15a而被載置於收容部14a內。之後，手部31，係在使臂部32作了伸展的狀態下，以機器人旋轉軸作為中心而迴旋，並從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而在橫方向上移動。

如同圖11中所示一般，移動至了第2置台14a2之下位置處的手部31，係從被放置在第2置台14a2處之未處理之基板W的下方起朝向上方移動，並從第2置台14a2之下位置起朝向上位置來朝上方向移動。此手部31，係通過第2置台14a2(一對之置台構件41之間)，而如同圖12中所示一般，與被放置在第2置台14a2處的未處理之基板W之下面相抵接，並將未處理之基板W舉升，而將作了舉升的未處理之基板W作把持。之後，手部31，係在第2置台14a2之上位置處而停止，並藉由臂部32之收縮動作，而從第2置台14a2之上位置避開。如此這般，收容部14a內之未處理之基板W，係藉由第1臂單元15a而被從收容部14a內取出。

如此這般，在第2搬送機器人15之基板交換作業中，首先，完成處理之基板W，係藉由第1臂單元15a之手部31而從收容部14a之第1置台14a1之上方來被放置在該第1置台14a1上。之後，被放置在收容部14a之第2置台14a2上的未處理之基板W，係從其之下方起藉由第1臂單元15a之手部31而被舉升，並被從收容部14a內取出。於此基板交換作業時，手部31，係從第1置台14a1之上位置起而通過第1置台14a1(一對之置台構件41之間)並移動至第1置台14a1之下位置處，接著以機器人旋轉軸為中心而迴旋，並從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而在橫方向上移動，並從第2置台14a2之下位置起而通過第2置台14a2(一對之置台構件41之間)並移動至第2置台14a2之上位置處。

在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方，係存在有相通連之空間，手部31係能夠並不與該些之第1置台14a1以及第2置台14a2相互干涉地而在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方朝橫方向移動。

於此，搬送機器人15，在進行基板交換的情況時，係會有將1個的手部31藉由1個的臂部32來作移動並進行基板交換的情形。例如，在如同本實施形態一般之從圖1之(A1)~(A4)之第1群組之處理室17a而接著於(B1)~(B4)之第2群組之處理室17a處進行濕處理的情況時，例如，係會有在由純水所致之洗淨處理後維持於基板表面為被水所濕潤的狀態地來進行下一工程之處理的情況時會更有效率的情形。此時，若是基板表面並未均勻地濕潤，則基板表面係會部分性地乾燥，基板品質係會降低。因此，基板W係被設為水平，並在其之表面為被液膜所覆蓋的承液狀態下來搬送至下一個處理室17a處。在此搬送中，以不會使水從基板表面滴下的方式來進行搬送一事，係為重要。於此種情況，由於就算是具備有2個的臂單元15a、15b，亦係會有依存於基板W之處理狀態來作分開使用而使侵入至緩衝單元14中之臂部32被限定為1根之臂的情況，因此，係會有不得不僅藉由1根的臂部32來進行基板W之取出、放置的情形。

於此情況，係將當從第1群組之處理室17a起而接著在第2群組之處理室17a處進行濕處理時在使第1之完成處理之基板W維持於濕潤的狀態下來搬送至第2群組之處理室17a處的其中一方之臂單元之手部31，作為濕手來使用。而，當從緩衝單元14而將未處理之基板W取出並安置在第1群組之處理室17a處時、或者是當從第2群組之處理室17a而將完成處理之基板W取出並交接至緩衝單元14處時，係將另外一方之臂單元之手部31作為乾手來使用。亦即是，對於載置未處理以及完成處理之基板W的緩衝單元14之侵入，係藉由乾手來進行。藉由此，係並不會有濕手侵入至緩衝單元14中的情況，而能夠對於液體附著在未處理以及完成處理之基板W上的情形作抑制。

在本實施形態的情況中，第1臂單元15a之手部31係作為乾手而起作用，第2臂單元15b之手部31係作為濕手而起作用。藉由使濕手位置在較乾手而更下方處，就算是在搬送濕潤的基板W之途中，也能夠對於從基板W所落下之液體附著在乾手上的情形作抑制。

先前技術之緩衝單元，係為將基板W在上下方向作層積而收容的型態之緩衝器。在對於此緩衝器而進行先前技術之基板交換作業的情況時，搬送機器人，係使臂作伸縮並藉由手(乾手)來將完成處理之基板W放置在緩衝器內，之後，先使手移動至新的位置處，之後再度使臂作伸縮而將未處理之基板W從緩衝器內取出。因此，在先前技術之基板交換作業中，臂之伸縮動作係成為2次。但是，若依據前述之收容部14a，則僅需要在將完成處理之基板W放置在第1置台14a1處之後，在使臂部32作了伸展的狀態下，於將手部31定位於第1置台14a1之下位置處的狀態下，與臂部32一同地而使手部31作迴旋，便能夠使位置在第1置台14a1之下位置處的手部31在橫方向上移動，並定位於第2置台14a2之下位置處。在此基板交換作業中，係能夠並不使臂部32伸縮地來將手部31從第1置台14a1之下位置起來一直移動至第2置台14a2之下位置處為止，臂部32之伸縮動作係成為1次。故而，由於係成為能夠對於臂部32之伸縮動作作抑制，因此係能夠使基板搬送效率提升。

(基板處理工程)

接著，針對前述之基板處理裝置10所進行之基板處理(包含基板搬送處理)之流程作說明。另外，在對於基板W而進行2種類之處理的情況時，於圖1中，係設定為使包夾著於上下而延伸之第2機器人搬送路徑的位於左側之4個的處理室17a(以下，係會有稱作第1群組之處理室17a的情形)和位於右側之4個的處理室17a(以下，係會有稱作第2群組之處理室17a的情形)進行相異之處理。在進行相異之處理的情況時，第1群組之處理室17a，係為進行第1處理之處理室，第2群組之處理室17a，係為進行第1處理之後續的處理(第2處理)之處理室。

(包含基本性的基板交換作業之基板處理)

首先，參照圖1，針對包含基本性的基板交換作業之基板處理之流程作說明。第1群組之處理室17a和與該群組之第1處理室17a相對向之第2群組之處理室17a，係被設為一組，對於未處理之基板W所進行之第1處理以及第2處理，係於各組而被反覆進行。另外，第1搬送機器人12、緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係如同前述一般地，會有因應於必要而進行移動的情形，但是，於此係省略關於該些之移動之說明。

第1搬送機器人12，係從開閉單元11內之專用箱來將未處理之基板W取出，並進行迴旋，而將未處理之基板W放置在緩衝單元14內。藉由此，在緩衝單元14處，係被收容有未處理之基板W。另外，當在緩衝單元14內係被放置有第2之完成處理之基板W的情況時，如同前述一般(參考圖5~圖8)，第1搬送機器人12，係從緩衝單元14內而將第2之完成處理之基板W取出。

第2搬送機器人15，係從緩衝單元14來將未處理之基板W取出，並進行迴旋，而將未處理之基板W放置在所期望之第1群組之處理室17a內。藉由此，在第1群組之處理室17a內，係被安置有未處理之基板W。之後，在第1群組之處理室17a處，係對於基板W進行第1處理。另外，在第2搬送機器人15將未處理之基板W從緩衝單元14內而取出時為保持有第2之完成處理之基板W的情況時，如同前述一般(參考圖9~圖12)，係在將未處理之基板W從緩衝單元14內而取出之前，先將第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內。

若是在前述之第1群組之處理室17a處之第1處理結束，則第2搬送機器人15，係從第1群組之處理室17a內將第1之完成處理之基板W取出，並進行180度迴旋，而將第1之完成處理之基板W放置在第2群組之處理室17a內。藉由此，第1之完成處理之基板W係被安置在第2群組之處理室17a內。之後，在第2群組之處理室17a處，係對於基板W進行第2處理。

若是在第2群組之處理室17a處之處理結束，則第2搬送機器人15，係從第2群組之處理室17a內將第2之完成處理之基板W取出，並進行迴旋，而將第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內。藉由此，在緩衝單元14處，係被收容有第2之完成處理之基板W。第1搬送機器人12，係從緩衝單元14內將第2之完成處理之基板W取出，並進行迴旋，而將完成處理之基板W放置在所期望之專用箱內。藉由此，在專用箱處，係被收容有完成處理之基板W。

此種基板處理之流程，係在前述之第1群組之處理室17a和與其相對向之第2群組之處理室17a之各組處被實行，但是，在第1群組之處理室17a和第2群組之處理室17a處，由於處理內容係為相異，因此處理時間亦為相異。又，為了使生產性提升，在各處理室17a處，係成為隨著處理之結束，而藉由第1、第2臂單元15a、15b中之其中一方之臂單元來將完成處理之基板W取出，並藉由另外一方之臂單元來將下一個處理對象之基板W作安置。於此情況，第2搬送機器人15，係成為在緩衝單元14、第1群組之處理室17a、第2群組之處理室17a之各場所處，將完成處理之基板W之取出動作和未處理之基板W之交接動作，作為1組的動作來進行，第1搬送機器人12，係成為在緩衝單元14處，將完成處理之基板W之取出動作和未處理之基板W之交接動作，作為1組的動作來進行。又，為了使生產性提升，係成為在各第1群組之處理室17a處分別安置未處理之基板W並在各第1群組之處理室17a處並行地進行第1處理，並從結束了第1處理的第1群組之處理室17a來將第1之完成處理之基板W取出，並且安置在相對應之第2群組之處理室17a處，而在各第2群組之處理室17a處並行地進行第2處理。故而，實際之基板處理之流程，由於係成為較前述之基板處理之流程而更為複雜，因此，以下係針對包含更具體性的基板交換作業之基板處理作說明。

(包含具體性的基板交換作業之基板處理)

接著，參照圖1以及圖13~圖32，針對包含具體性的基板交換作業之基板處理(包含緩衝單元14以及第2搬送機器人15之移動處理的其中一例)作說明。緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係基於關連於基板W之處理的基板處理資訊，來因應於控制單元18b之控制而個別地移動。作為基板處理資訊，例如，係可列舉出代表需要進行基板交換之處理室17a之資訊、代表在處理室17a處之處理結束和處理開始之資訊等。另外，在圖14~圖32中，被描繪有陰影線之基板W，係代表第1之完成處理之基板W，被塗黑的基板W，係代表第2之完成處理之基板W，白色之基板W，係代表未處理之基板W。

在圖1中，係將4台之第1群組之處理室17a，從第1搬送機器人12側起沿著第2機器人搬送路徑而依序標示為(A1)、(A2)、(A3)、(A4)，並將4台之第2群組之處理室17a，從第1搬送機器人12側起沿著第2機器人搬送路徑而依序標示為(B1)、(B2)、(B3)、(B4)。

在圖13中，係與圖1相同的，將4台之第1群組之處理室17a，從第1搬送機器人12側起沿著第2機器人搬送路徑(直線軌道16a)而依序標示為(A1)、(A2)、(A3)、(A4)。又，在圖13中，係將第2搬送機器人15在自身與緩衝單元14之間進行基板W之交接的位置，標示為(1)、(2)、(3)、(4)。

但是，(1)之位置，係亦為第2搬送機器人15對於(A1)或(B1)之處理室17a而將基板W作搬入或搬出之位置。(2)之位置，係亦為第2搬送機器人15對於(A2)或(B2)之處理室17a而將基板W作搬入或搬出之位置。(3)之位置，係亦為第2搬送機器人15對於(A3)或(B3)之處理室17a而將基板W作搬入或搬出之位置。(4)之位置，係亦為第2搬送機器人15對於(A4)或(B4)之處理室17a而將基板W作搬入或搬出之位置。另外，(1)之位置，係亦為第1搬送機器人12在自身與緩衝單元14之間進行基板W之交接的位置。

在關連於基板交換之動作中，若是根據前述之基板處理資訊，而判斷下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A1)，則位於(1)之位置處的緩衝單元14，係從第1搬送機器人12而接收未處理之基板W，並停留在(1)之位置處。另外，在本實施例中，身為第1搬送機器人12在自身與緩衝單元14之間進行基板W之交接的位置之(1)之位置，係亦成為在進行有(A1)之處理室17a處之處理的情況時所進行等待之位置，但是，係亦可設為相異之位置。於此情況，在從第1搬送機器人12而接收了未處理之基板W之後，緩衝單元14，係移動至在進行有(A1)之處理室17a處之處理的情況時所進行等待之位置處。

如同圖14中所示一般，第2搬送機器人15，係從緩衝單元14而接收未處理之基板W，並將基板W安置在(A1)之處理室17a處，而進行第1處理。接著，第2搬送機器人15，係將未處理之基板W安置在(A2)~(A4)之各處理室17a處，而進行第1處理。

於此，至少在第2搬送機器人15並未對於緩衝單元14而進行基板W之交接的期間中，例如在進行有(A1)之處理室17a處之第1處理的期間中，緩衝單元14係朝向第1搬送機器人12與緩衝單元14進行基板W之交接的位置(1)前進，並從第1搬送機器人12而接收下一個進行處理之未處理之基板W。

如同圖15中所示一般，在(A1)之處理室17a處之第1處理結束之前，第2搬送機器人15，係從緩衝單元14而接收未處理之基板W。若是在(A1)之處理室17a處之第1處理結束，則第2搬送機器人15，係將第1之完成處理之基板W取出，並且將未處理之基板W安置在(A1)之處理室17a處。之後，如同圖16中所示一般，第2搬送機器人15，係進行180度迴旋，並將基板W安置在(B1)之處理室17a處，而進行第2處理。

接著，如同圖17中所示一般，第2搬送機器人15，係在(A2)之處理室17a處，將第1之完成處理之基板W與未處理之基板W作交換，並如同圖18中所示一般，進行180度迴旋，而將第1之完成處理之基板W安置在(B2)之處理室17a處。接著，如同圖19中所示一般，第2搬送機器人15，係在(A3)之處理室17a處，將第1之完成處理之基板W與未處理之基板W作交換，並如同圖20中所示一般，進行180度迴旋，而將第1之完成處理之基板W安置在(B3)之處理室17a處。接著，如同圖21中所示一般，第2搬送機器人15，係在(A4)之處理室17a處，將第1之完成處理之基板W與未處理之基板W作交換，並如同圖22中所示一般，進行180度迴旋，而將第1之完成處理之基板W安置在(B4)之處理室17a處。之後，安置在(A1)之處理室17a處的基板W之第1處理係結束。

接著，如同圖23中所示一般，若是在(B1)之處理室17a處之第2處理結束，則第2搬送機器人15，係從緩衝單元14而接收未處理之基板W。之後，第2搬送機器人15，係在(A1)之處理室17a處將未處理之基板W和第1之完成處理之基板W作交換。接著，如同圖24中所示一般，第2搬送機器人15，係進行180度迴旋，而在(B1)之處理室17a處，將第1之完成處理之基板W和第2之完成處理之基板W作交換。接著，如同圖25中所示一般，第2搬送機器人15，係將第2之完成處理之基板W交接至緩衝單元14處，並從緩衝單元14而接收未處理之基板W。此時之動作，具體而言，第2搬送機器人15，係將藉由第1臂單元15a來作了保持的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。

之後，於在(B2)~(B4)處之第2處理結束之後，亦係藉由相同之流程而進行包含有基板交換之基板處理。

在上述之基板處理之流程中，緩衝單元14以及第2搬送機器人15之移動及基板交換動作，係如同下述一般。

從在(A1)~(A4)、(B1)~(B4)之所有的處理室17a處均被安置有基板W之狀態的圖23起，針對緩衝單元14以及第2搬送機器人15之移動及基板交換動作作說明。圖23，係為在(B1)之處理室17a處而第2處理結束的狀態圖。另外，在以下之說明中，位置(1)~(4)，係設為參照圖13者。

若是根據前述之基板處理資訊，而判斷下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A1)，則如同圖23中所示一般，在緩衝單元14為位於(1)之位置處之狀態下，第2搬送機器人15係從緩衝單元14而接收未處理之基板W。接著，第2搬送機器人15，係面向(A1)之處理室17a，並藉由第2臂單元15b之手部31(濕手)，來從(A1)之處理室17a內而將第1之完成處理之基板W取出，並且藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)來將未處理之基板W安置在(A1)之處理室17a內。

若是此第1之完成處理之基板W之取出以及未處理之基板W之安置結束，則第2搬送機器人15，係如同圖24中所示一般，進行180度迴旋，並面向(B1)之處理室17a。在此狀態下，第2搬送機器人15，係藉由第1臂單元15a來從(B1)之處理室17a而將第2之完成處理之基板W取出，並且將藉由第2臂單元15b而作了保持的第1之完成處理之基板W安置在(B1)之處理室17a內。如同圖24中所示一般，第1搬送機器人12，係將未處理之基板W放置在緩衝單元14 內。

接著，若是根據前述之基板處理資訊，而判斷下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A2)，則位於(1)之位置處的緩衝單元14，係在由第1搬送機器人12所致之基板交換結束之後，將下一個進行處理之未處理之基板W作保持，並如同圖25中所示一般，從(1)之位置而移動至(2)之位置處。此時，當緩衝單元14之移動會與第2搬送機器人15之動作相互干涉的情況時，如同圖24中所示一般，緩衝單元14係在(1)之位置處而等待。

又，如同圖25中所示一般，第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B1)之處理室17a處的基板交換動作結束，則係在藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(2)之位置處。與此第2搬送機器人15之移動一同地，在(1)之位置處而等待之緩衝單元14亦係移動至(2)之位置處((1)→(2)之移動)。

之後，如同圖25中所示一般，第2搬送機器人15，係將藉由第1臂單元15a所取出的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。使未處理之基板W被取出並且被載置有第2之完成處理之基板W之緩衝單元14，係如同圖26中所示一般，從(2)之位置而移動至(1)之位置處((2)→(1)之移動)。

另外，例如，在緩衝單元14以及第2搬送機器人15之移動速度為相同的情況等之中，亦可構成為在緩衝單元14以及第2搬送機器人15從(1)之位置而移動至(2)之位置的途中，實行未處理之基板W之交接。

如同圖26中所示一般，第2搬送機器人15，係面向(A2)之處理室17a，並藉由第2臂單元15b之手部31(濕手)，來從(A2)之處理室17a內而將第1之完成處理之基板W取出，並且將藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)而保持了的未處理之基板W安置在(A2)之處理室17a內。

若是此第1之完成處理之基板W之取出以及未處理之基板W之安置結束，則第2搬送機器人15，係如同圖27中所示一般，進行180度迴旋，並面向(B2)之處理室17a。在此狀態下，第2搬送機器人15，係藉由第1臂單元15a來從(B2)之處理室17a而將第2之完成處理之基板W取出，並且將藉由第2臂單元15b而作了保持的第1之完成處理之基板W安置在(B2)之處理室17a內。

又，如同圖26中所示一般，第1搬送機器人12，係從回到(1)之位置處的緩衝單元14而將第2之完成處理之基板W取出，並且將未處理之基板W放置在緩衝單元14內(參考圖5~圖8)。

若是此由第1搬送機器人12所致之基板W之交接結束，則緩衝單元14，係基於前述之基板處理資訊，來移動至下一個進行基板交換作業之場所處。當接下來需要進行基板交換之處理室17a係為(A3)的情況時，緩衝單元14，係如同圖28中所示一般，從(1)之位置而移動至(3)之位置處。當此緩衝單元14之移動會與第2搬送機器人15之動作相互干涉的情況時，如同圖27中所示一般，緩衝單元14係一直移動至(2)之位置處，並在該(2)之位置處而等待((1)→(2)之移動)。

又，如同圖28中所示一般，第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B2)之處理室17a處的基板交換動作結束，則係在藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(3)之位置處。與此第2搬送機器人15之移動一同地，在(2)之位置處而等待之緩衝單元14亦係移動至(3)之位置處((2)→(3)之移動)。

之後，如同圖28中所示一般，第2搬送機器人15，係將藉由第1臂單元15a所取出的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。使未處理之基板W被取出並且被載置有第2之完成處理之基板W之緩衝單元14，係如同圖29中所示一般，從(3)之位置而移動至(1)之位置處((3)→(1)之移動)。

如同圖29中所示一般，第2搬送機器人15，係面向(A3)之處理室17a，並藉由第2臂單元15b之手部31(濕手)，來從(A3)之處理室17a內而將第1之完成處理之基板W取出，並且藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)來將未處理之基板W安置在(A3)之處理室17a內。

若是此第1之完成處理之基板W之取出以及未處理之基板W之安置結束，則第2搬送機器人15，係如同圖30中所示一般，進行180度迴旋，並面向(B3)之處理室17a。在此狀態下，第2搬送機器人15，係藉由第1臂單元15a來從(B3)之處理室17a而將第2之完成處理之基板W取出，並且將藉由第2臂單元15b而作了保持的第1之完成處理之基板W安置在(B3)之處理室17a內。

又，如同圖29中所示一般，第1搬送機器人12，係從回到(1)之位置處的緩衝單元14而將第2之完成處理之基板W取出，並且將未處理之基板W放置在緩衝單元14內(參考圖5~圖8)。

若是此由第1搬送機器人12所致之基板W之交接結束，則緩衝單元14，係基於前述之基板處理資訊，來移動至下一個進行基板交換作業之場所處。當接下來需要進行基板交換之處理室17a係為(A4)的情況時，緩衝單元14，係如同圖31中所示一般，從(1)之位置而移動至(4)之位置處。當此緩衝單元14之移動會與第2搬送機器人15之動作相互干涉的情況時，如同圖30中所示一般，緩衝單元14係一直移動至(3)之位置處，並在該(3)之位置處而等待((1)→(3)之移動)。

又，如同圖31中所示一般，第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B3)之處理室17a處的基板交換作業結束，則係在藉由第1臂單元15a之手部31(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(4)之位置處。與此第2搬送機器人15之移動一同地，在(3)之位置處而等待之緩衝單元14亦係移動至(4)之位置處((3)→(4)之移動)。

之後，如同圖31中所示一般，第2搬送機器人15，係將藉由第1臂單元15a所取出的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。接著，第2搬送機器人15，係與前述之在(A3)和(B3)之處理室17a處之基板交換作業相同的，進行在(A4)和(B4)之處理室17a處的基板交換作業。使未處理之基板W被取出之緩衝單元14，係如同圖32中所示一般，從(4)之位置而移動至(1)之位置處((4)→(1)之移動)。

又，如同圖32中所示一般，第1搬送機器人12，係從回到(1)之位置處的緩衝單元14而將第2之完成處理之基板W取出，並且將未處理之基板W放置在緩衝單元14內(參考圖5~圖8)。

藉由反覆進行前述一般之動作，基板處理係成為被進行。第1搬送機器人12，係反覆進行在緩衝單元14為位置於(1)之位置處的狀態下，藉由第1臂單元12a來將第2之完成處理之基板W從緩衝單元14取出，並藉由第2臂單元12b來將未處理之基板W放置在緩衝單元14內之動作。

在此種基板處理工程中，第2搬送機器人15係與緩衝單元14進行基板交換作業。於此基板交換作業時，第2搬送機器人15之手部31，係如同圖9~圖12中所示一般，從第1置台14a1之上位置起而通過第1置台14a1(一對之置台構件41之間)並移動至第1置台14a1之下位置處，接著以機器人旋轉軸為中心而迴旋，並從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而在橫方向上移動，並進而從第2置台14a2之下位置起而通過第2置台14a2(一對之置台構件41之間)並移動至第2置台14a2之上位置處。在此一連串的動作中，係並不會產生臂部32之伸縮動作。亦即是，在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方，係存在有相通連之空間，手部31係能夠並不與第1置台14a1以及第2置台14a2相互干涉地而在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方移動。在先前技術之基板交換作業中，如同前述一般，係需要進行2次的臂部32之伸縮動作，但是，若依據前述之收容部14a，則僅需要在使臂部32作了伸展並將手部31定位於第1置台14a1之下位置處的狀態下，與臂部32一同地而使手部31作迴旋，便能夠使位置在第1置台14a1之下位置處的手部31定位於第2置台14a2之下位置處。藉由此，由於臂部32之伸縮動作係成為一次，因此，係成為能夠對於臂部32之伸縮動作作抑制，手部31之進出係相較於先前技術之2次而成為一次，故而，係能夠將基板搬送時間縮短。如此這般，由於係成為能夠使基板搬送效率提升，並增加基板處理枚數，因此係能夠使基板處理裝置10之生產性提升。

又，因應於基板處理之進行，緩衝單元14和第2搬送機器人15係成為能夠相互獨立地來移動至各處理室17a之基板交換作業位置(緩衝單元14與第2搬送機器人15將基板 W作交換之位置)處。在緩衝單元14為固定在圖13(1)之位置處的情況時，若是下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A3)，則位置於(2)之位置處的第2搬送機器人15，係成為回到(1)之位置處並與固定之緩衝單元14進行基板交換作業，之後再移動至(3)之位置處。但是，如同前述一般，緩衝單元14之位置係並非為固定，緩衝單元14係能夠進行移動。因此，當下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A3)的情況時，係只要使第2搬送機器人從(2)之位置而至(3)之位置地來與緩衝單元14一同作移動即可，相較於緩衝單元14係為固定的情況，第2搬送機器人15之移動時間係變短。藉由此，來將直到開始進行基板交換作業為止所需的等待時間縮短，而能夠有效率地實施基板交換作業、亦即是有效率地實施基板搬送。又，就算是代替在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方設置相通連之空間一事，而將能夠載置在緩衝單元14處之基板W的枚數減少，亦能夠在和第2搬送機器人15進行於各處理室17a處之基板交換作業的期間中使緩衝單元14移動，並在自身與第1搬送機器人12之間進行未處理之基板W之補充和完成處理之基板W之交換。因此，係能夠將直到開始與第2搬送機器人15之間之基板交換作業為止所需的等待時間縮短，而能夠有效率地實施基板交換作業、亦即是有效率地實施基板搬送。

又，在如同本實施形態一般之使複數之處理室17a並排為列狀的情況時，被設置在「被設置於各處理室17a所並排的方向上之第2機器人移動路徑之其中一端、亦即是被設置在與第1搬送機器人12相反側之端」處的處理室17a(圖1中之(A4))，係身為與「被定位在於自身與第1搬送機器人12之間而將基板W作交換的位置處之緩衝單元14」之間之距離為最遠的處理室。

於此，當緩衝單元14為被固定在與第1搬送機器人12之間進行基板W之交換之位置處的情況時，相較於距離緩衝單元14為近之處理室17a，係以距離緩衝單元14而為遠的處理室17a的情況時，第2搬送機器人15之移動時間會變長。圖33，係為對於第1群組之處理室17a以及第2群組之處理室17a的處理時間和第2搬送機器人15之動作時間之間之相關作了展示之圖。在圖33中，A係為在緩衝單元14處之交換中所耗費的時間，B係為在基於基板處理資訊所對於下一個的將基板W作交換之處理室17a之移動中所耗費之時間，C係為在處理室17a處之基板交換中所耗費之時間，D係為在從第1群組之處理室17a起而至第2群組之處理室17a之迴旋搬送中所耗費之時間，E係為在處理室17a處之基板交換中所耗費之時間，F係為在從將基板W作了交換的處理室17a起而朝向緩衝單元14的移動中所耗費之時間。如同在圖33之「比較例」中所示一般，B和F之移動時間，係若是越為遠離緩衝單元14之處理室17a則會變得越長。因此，如同在「比較例」中所示一般，係會有就算是處理結束第2搬送機器人15亦仍正在其他之處理室17a處而進行基板交換的情形，而會有發生對於在結束了處理之處理室17a處的完成處理之基板W之取出和未處理之基板W之安置作等待之等待時間的情況。特別是當在處理室17a處而進行處理時間為少之處理的情況和第1處理與第2處理之處理時間之差為大的情況時，等待時間係會增大，生產性係降低。

如同上述之實施例一般，緩衝單元14，係成為能夠從在第2搬送方向上而並排之各基板處理單元17之其中一端起而一直移動至另外一端處。因此，如同在圖33之「第1實施形態」中所示一般，在進行於處理室(A1)~(A4)處之各基板交換作業時，係能夠以與第2搬送機器人15之朝向移動時間為最短之處理室(A1)之移動時相同的移動時間，來將基板W搬送至其他之各處理室17a處。又，緩衝單元14，由於係在第2搬送機器人15正在進行B~E之作業的期間中，一直移動至第1搬送機器人12之交接位置處，並進行未處理之基板W與完成處理之基板W之交換，並且一直移動至下一個的處理室17a之位置處，因此，係亦能夠削減第2搬送機器人15之等待時間。其結果，在特定之處理室17a處之處理時間中，亦能夠預先完成在其他之處理室17a處之基板交換作業，而能夠將在處理室17a處之處理等待時間作削減，並能夠實現有效率之搬送。

又，緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係被設置在第2移動機構16上。亦即是，緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係被設置在同軸之移動機構上(同軸上)。因此，相較於使緩衝單元14以及第2搬送機器人15以相異之軸來移動的情況，係能夠將第2機器人搬送路徑縮窄。若是將第2機器人搬送路徑縮窄，則係能夠將包夾著第2機器人搬送路徑地而被設置之第1群組之處理室17a和第2群組之處理室17a之間之距離縮短。如同上述一般，第1之完成處理之濕潤的狀態之基板W，係朝向第2群組之處理室17a而被作迴旋搬送。在進行此迴旋搬送時，係會被施加有離心力，而會有液體從基板W彈出並附著在裝置內的可能性。因此，係有必要以使離心力變少的方式來使第2搬送機器人15之迴旋動作變慢。然而，若是能夠將第1群組之處理室17a和第2群組之處理室17a之間之距離縮短，則係能夠將第2搬送機器人15之迴旋半徑縮小，而能夠將離心力之影響減少地來進行迴旋搬送。因此，係能夠更快速地進行迴旋動作，而能夠將搬送時間縮短。

又，在第2搬送機器人15從第1群組之處理室17a來朝向第2群組之處理室17a而搬送濕潤之狀態之基板W時，若是使緩衝單元14被定位在對於第2搬送機器人15而作了接近的位置處，則在第2搬送機器人15迴旋時，係會有起因於離心力而導致液體彈出並附著於緩衝單元14內之虞。若是附著在緩衝單元14內，則會附著在被收容於其之內部的未處理之基板W或完成處理之基板W處，並會有對於製品品質造成不良影響的可能性。因此，第2搬送機器人15，係使正保持有基板W之手部31朝向從緩衝單元14而遠離之方向進行迴旋動作。例如，在圖1中，緩衝單元14由於係對於第2搬送機器人15而言為位置在左方，因此，第2搬送機器人15係以朝向順時針方向進行迴旋的方式，來進行迴旋動作。藉由此，係能夠防止液體之朝向緩衝單元14內的彈出地來進行迴旋搬送，而能夠成為不會對於基板W之製品品質造成不良影響。

又，在使緩衝單元14和第2搬送機器人15一同移動的情況時，係亦能夠在該些之移動中而進行基板W之交接。藉由此，相較於並不在移動中實行基板W之交接的情況，係能夠將基板交換作業之開始提早。故而，係能夠將直到開始進行基板交換作業為止所需的等待時間更進一步縮短，而能夠有效率地實施基板搬送。

如同以上所作了說明一般，若依據第1實施形態，則緩衝單元14之收容部14a，係具備有將基板W個別地作支持之第1置台14a1以及第2置台14a2，並形成為能夠使手部31從第1置台14a1之上位置起朝向下位置而朝下方向移動並將基板W放置在第1置台14a1處，並使移動至了第1置台14a1之下位置處的手部31從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而朝橫方向移動，並且使移動至了第2置台14a2之下位置處的手部31從第2置台14a2之下位置起朝向上位置而朝上方向移動來從第2置台14a2而將基板W舉升。故而，在基板交換作業中，手部31，係如同前述一般，從第1置台14a1之上位置起朝向下位置而朝下方向移動，並從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而朝橫方向移動，並且從第2置台14a2之下位置起朝向上位置來朝上方向移動。此時，係成為不需要進行臂部 22、32之伸縮動作，而成為能夠對於臂部22、32之伸縮動作作抑制。因此，由於手部31之進出係相較於先前技術之2次而成為一次而有所省略，故而係能夠將基板搬送時間縮短。藉由此，由於係成為能夠使基板搬送效率提升，並增加基板處理枚數，因此係能夠使基板處理裝置10之生產性提升。

又，緩衝單元14以及第2搬送機器人15，係基於關連於基板W之處理的基板處理資訊而個別地移動。藉由此，緩衝單元14和第2搬送機器人15，係能夠相互獨立地來因應於基板處理資訊而移動至處理室17a附近之基板交換作業位置(所期望之位置)處。故而，係能夠將直到開始進行基板交換作業為止所需的等待時間縮短，而成為能夠有效率地實施基板搬送，因此係能夠使基板處理裝置10之生產性提升。

〈第2實施形態〉

參考圖34，針對第2實施形態作說明。另外，在第2實施形態中，係針對與第1實施形態間的相異點(第2移動機構)作說明，並省略其他之說明。

如同圖34中所示一般，第2實施形態之第2移動機構16，係在第2搬送機器人15所移動之移動路徑的上方處，定位緩衝單元14所移動之移動路徑，而以不會使緩衝單元14以及第2搬送機器人15相互干涉的方式，來使緩衝單元14以及第2搬送機器人15個別地移動。此第2移動機構16，係除了第1實施形態之直線軌道(第1移動軸)16a、移動基體16b以及移動基體16c以外，更進而具備有直線軌道(第2移動軸)16d。

直線軌道16d，係被設置在頂板面上，並為沿著第2搬送方向而延伸的軌道。在此直線軌道16d處，緩衝單元14係可沿著直線軌道16d之延伸方向上移動地而被作設置。緩衝單元14之移動基體16b，係被安裝在直線軌道16d上，在移動基體16b處，係經由作為懸吊構件而起作用之支柱14b而被安裝有收容部14a。

直線軌道16a，係如同在第1實施形態中所說明一般，被設置在地面上。在此直線軌道16a處，第2搬送機器人15係可在直線軌道16a之延伸方向上移動地而被作設置。第2搬送機器人15之移動基體16c，係被安裝在直線軌道16a上。

如同前述一般，緩衝單元14，係被構成為能夠在對於各處理室17a而進行基板W之交換時的第2搬送機器人15之上方自由移動的布局。此緩衝單元14，係以使收容部14a之高度成為能夠使第1搬送機器人12進行基板交換作業之高度並且就算是收容部14a沿著直線軌道16a移動也不會與第2搬送機器人15相碰撞之高度的方式，而被形成。

又，第2搬送機器人15，係藉由使用升降旋轉部15d之升降機構(上下移動機構)來使第1臂單元15a以及第2臂單元15b之高度(手高度)與緩衝單元14之收容部14a之高度相配合，而具備有成為能夠進行對於緩衝單元14之完成處理之基板W之安置以及從緩衝單元14之未處理之基板W之取出的動作範圍。

在關連於基板交換之動作中，首先，若是根據前述之基板處理資訊，而判斷下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A1)，則位於(1)之位置處的緩衝單元14，係從第1搬送機器人12而接收未處理之基板W，並停留在(1)之位置處。另外，在本實施例中，身為第1搬送機器人12與緩衝單元14進行基板W之交接的位置之(1)之位置，係亦成為在進行有(A1)之處理室17a處之處理的情況時所進行等待之位置，但是，係亦可設為相異之位置。於此情況，緩衝單元14，係移動至當正在進行(A1)之處理室17a處之處理的情況時所進行等待之位置處。

第2搬送機器人15，係從緩衝單元14而接收未處理之基板W，並將基板W安置在(A1)之處理室17a處，而進行第1處理。

若是在(A1)之處理室17a處的第1處理結束，則第2搬送機器人15，係進行180度迴旋，並將基板W安置在(B1)之處理室17a處，而進行第2處理。

若是在(B1)之處理室17a處的第2處理結束，則第2搬送機器人15，係將第2之完成處理之基板W從(B1)之處理室17a取出，並交接至緩衝單元14處，並且從緩衝單元14而接收未處理之基板W。此時之動作，具體而言，第2搬送機器人15，係將藉由第1臂單元15a來作了保持的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。

接著，若是根據前述之基板處理資訊，而判斷下一個需要進行基板交換之處理室17a係為(A2)，則位於(1)之位置處的緩衝單元14，係在由第1搬送機器人12所致之基板交換結束之後，將下一個進行處理之未處理之基板W作保持，並從(1)之位置而移動至(2)之位置處。此時，為了使緩衝單元14之移動不會與第2搬送機器人15之動作相互干涉，緩衝單元14，係超越正在(1)之位置處而進行基板交換作業之第2搬送機器人15之上方地而移動，並在(2)之位置處而等待((1)→(2)之移動)。

第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B1)之處理室17a處的基板交換動作結束，則係在藉由第1臂單元15a(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(2)之位置處。在此位置處，第2搬送機器人15，係使第1臂單元15a一直上升至緩衝單元14之高度處，並將藉由第1臂單元15a來作了保持的完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。使未處理之基板W被取出之緩衝單元14，係從(2)之位置而移動至(1)之位置處((2)→(1)之移動)。

第2搬送機器人15，係使將未處理之基板W作了保持的第1臂單元15a一直下降至(A2)和(B2)之處理室17a之間之基板搬送高度處，並面向(A2)之處理室17a，並且藉由第2臂單元15b(濕手)，來從(A2)之處理室17a內而將第1之完成處理之基板W取出，並且將藉由第1臂單元15a而作了保持的未處理之基板W安置在(A2)之處理室17a內。若是此第1之完成處理之基板W之取出以及未處理之基板W之安置結束，則第2搬送機器人15，係進行180度迴旋，並面向(B2)之處理室17a。在此狀態下，第2搬送機器人15，係藉由第1臂單元15a來從(B2)之處理室17a而將第2之完成處理之基板W取出，並且將藉由第2臂單元15b而作了保持的第1之完成處理之基板W安置在(B2)之處理室17a內。

第1搬送機器人12，係藉由第1臂單元12a，而從回到(1)之位置處的緩衝單元14來將第2之完成處理之基板W取出，又，係藉由第2臂單元12b來將未處理之基板W安置在緩衝單元14內(參考圖5~圖8)。若是此由第1搬送機器人12所致之基板W之交接結束，則緩衝單元14，係基於前述之基板處理資訊，來移動至下一個進行基板交換作業之場所處。當接下來需要進行基板交換之處理室17a係為(A3)的情況時，緩衝單元14，係從(1)之位置而移動至(3)之位置處。為了使此緩衝單元14之移動不會與第2搬送機器人 15之動作相互干涉，緩衝單元14，係超越正在(2)之位置處而進行基板交換作業之第2搬送機器人15之上方地而移動，並在(3)之位置處而等待((1)→(3)之移動)。

第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B2)之處理室17a處的基板交換動作結束，則係在藉由第1臂單元15a(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(3)之位置處。在此位置處，第2搬送機器人15，係使第1臂單元15a一直上升至緩衝單元14之高度處，並將藉由第1臂單元15a來作了保持的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，並接著藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出(參考圖9~圖12)。接著，第2搬送機器人15，係與前述之在(A2)和(B2)之處理室17a處之基板交換作業相同的，進行在(A3)和(B3)之處理室17a處的基板交換作業。使未處理之基板W被取出之緩衝單元14，係從(3)之位置而移動至(1)之位置處((3)→(1)之移動)。

第1搬送機器人12，係從回到(1)之位置處的緩衝單元14而將完成處理之基板W取出，並且將未處理之基板W放置在緩衝單元14內。若是此由第1搬送機器人12所致之基板W之交接結束，則緩衝單元14，係基於前述之基板處理資訊，來移動至下一個進行基板交換作業之場所處。當接下來需要進行基板交換之處理室17a係為(A4)的情況時，緩衝單元14，係從(1)之位置而移動至(4)之位置處。為了使此緩衝單元14之移動不會與第2搬送機器人15之動作相互干涉，緩衝單元14，係超越正在(3)之位置處而進行基板交換作業之第2搬送機器人15之上方地而移動，並在(4)之位置處而等待((1)→(4)之移動)。

第2搬送機器人15，若是前一個作業中之在(B3)之處理室17a處的基板交換動作結束，則係在藉由第1臂單元15a(乾手)來將第2之完成處理之基板W作了保持的狀態下，移動至接下來進行基板交換作業之(4)之位置處。在此位置處，第2搬送機器人15，係使第1臂單元15a一直上升至緩衝單元14之高度處，並將藉由第1臂單元15a來作了保持的第2之完成處理之基板W放置在緩衝單元14內，之後，藉由第1臂單元15a來將未處理之基板W從緩衝單元14取出。之後，第2搬送機器人15，係與前述之在(A3)和(B3)之處理室17a處之基板交換作業相同的，進行在(A4)和(B4)之處理室17a處的基板交換作業。使未處理之基板W被取出之緩衝單元14，係從(4)之位置而移動至(1)之位置處((4)→(1)之移動)。

在此種基板處理工程中，由於緩衝單元14和第2搬送機器人15係能夠相互獨立並且並不相互干涉地而移動至各處理室17a之每一者的基板交換作業位置處，因此，係與第1實施形態相同的，能夠將直到進行基板交換作業為止所需的等待時間縮短，而能夠有效率地實施基板交換作業、亦即是有效率地實施基板搬送。另外，由於緩衝單元14和第2搬送機器人15係能夠並不相互干涉地來移動，因此，係能夠使緩衝單元14較第2搬送機器人15更早地而預先移動至處理室17a附近之基板交換作業位置處。

如同以上所作了說明一般，若依據第2實施形態，則係能夠得到與第1實施形態相同之效果。又，藉由個別地設置緩衝單元14之移動路徑和第2搬送機器人15之移動路徑，由於緩衝單元14之移動和第2搬送機器人15之移動係成為不會相互干涉，因此係能夠使緩衝單元14和第2搬送機器人15之移動自由度提升。故而，就算是在進行第1處理以及第2處理之基板處理工程以外的各種之基板處理工程中，亦能夠將直到開始進行基板交換作業為止所需的等待時間縮短，而成為能夠有效率地實施基板搬送，因此係能夠使基板處理裝置10之生產性提升。

〈第3實施形態〉

參考圖35，針對第3實施形態作說明。另外，在第3實施形態中，係針對與第1實施形態間的相異點(緩衝單元之收容部)作說明，並省略其他之說明。

如同圖35中所示一般，第3實施形態之收容部14a，係具備有第1層積收容部51、和第2層積收容部52。

第1層積收容部51以及第2層積收容部52，係以高度互為相異並且使相互之一部分作重疊的方式而被作配置。在圖35中，第1層積收容部51之高度係成為較第2層積收容部52更高。此些之第1層積收容部51以及第2層積收容部52，係以不會使從第1層積收容部51起而朝下方向移動之手部31與第2層積收容部52相互干涉並且會使第1層積收容部51 以及第2層積收容部52之下方空間相通連的方式，而被形成。亦即是，第1層積收容部51以及第2層積收容部52，係被形成為能夠使手部31移動至第1層積收容部51之下位置(身為手部31之移動範圍內之最低的位置之迴旋位置)，並以機器人旋轉軸作為中心而迴旋，並且從第1層積收容部51之下位置起朝向第2層積收容部52之下位置而在橫方向上移動。

第1層積收容部51，係藉由一對之支持壁51a而將複數(在圖35中係為4個)之置台14a1以層積狀態來作支持，並且在每一置台14a1中收容基板W。又，第2層積收容部52，係與第1層積收容部51相同的，藉由一對之支持壁52a而將複數(在圖35中係為4個)之置台14a2以層積狀態來作支持，並且在每一置台14a2中收容基板W。此些之第1層積收容部51以及第2層積收容部52，由於高度係互為相異，因此，8個的置台14a1、14a2係成為被個別地設置在高度為相異之8個的平面處。

若依據此種構成之收容部14a，則與第1實施形態相同的，在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方，係存在有相通連之空間，手部31係能夠並不與第1置台14a1以及第2置台14a2相互干涉地而在第1置台14a1以及第2置台14a2之下方移動。在先前技術之基板交換作業中，如同於第1實施形態中所作了說明一般，臂部32之伸縮動作係成為2次。但是，若依據前述之收容部14a，則僅需要在將完成處理之基板W放置在第1置台14a1處之後，在使臂部32作了伸展的狀態下，於將手部31定位於第1置台14a1之下位置處的狀態下，與臂部32一同地而使手部31作迴旋，便能夠使位置在第1置台14a1之下位置處的手部31定位於第2置台14a2之下位置處。在此基板交換作業中，係能夠並不使臂部32伸縮地來將手部31從第1置台14a1之下位置起來一直移動至第2置台14a2之下位置處為止，臂部32之伸縮動作係成為1次。故而，由於係成為能夠對於臂部32之伸縮動作作抑制，因此係能夠使基板搬送效率提升。

又，第1層積收容部51和第2層積收容部52，係以第1層積收容部51之高度為較第2層積收容部52更高而從第1層積收容部51起而朝向下方向移動之手部31不會發生干涉的方式，來使相互之一部分作重疊。藉由此，係能夠將收容部14a之橫寬幅(水平方向之寬幅)縮窄至從第1層積收容部51起而朝向下方向移動之手部31不會發生干涉的寬幅。

如同以上所作了說明一般，若依據第3實施形態，則係能夠得到與第1實施形態相同之效果。又，第1層積收容部51和第2層積收容部52，係以第1層積收容部51之高度為較第2層積收容部52更高並且使從第1層積收容部51起而朝向下方向移動之手部31不會發生干涉地來使相互之一部分作重疊的方式，而被形成。藉由此，係能夠將收容部14a之橫寬幅(水平方向之寬幅)縮窄至從第1層積收容部51起而朝向下方向移動之手部31不會發生干涉的寬幅。

〈其他實施形態〉

在前述之說明中，作為緩衝單元14之緩衝器本體以及第2搬送機器人15之機器人本體之移動機構，雖係對於使用利用有直線軌道16a之線性導引構件的直線移動轉換機構之構成作了例示，但是，係並不被限定於此，例如，係亦可並非使用線性導引構件，而是藉由偏芯凸輪機構來使緩衝器本體以及機器人本體移動。又，雖係將地面之直線軌道16a作為緩衝器本體以及機器人本體之滑動軸，但是，係亦可在地面上設置2根的直線軌道，而個別設置緩衝器本體之滑動軸和機器人本體之滑動軸，並且構成為使緩衝器本體以及機器人本體個別地移動。但是，於此情況，由於係在地面上設置2根的直線軌道，因此，相應於此，在直線軌道所並排之方向上，裝置係會大型化。故而，為了對於在直線軌道所並排的方向上之裝置的大型化作抑制，較理想，係以使2根的直線軌道成為位置於上下之位置關係的方式，來設置2根的直線軌道。

又，在前述之說明中，雖係對於使用2種類的處理室17a之構成作了例示，但是，係並不被限定於此，例如，係亦可構成為使用3種類之處理室17a。於此情況，係成為先以處理1→處理2→處理3之順序來進行處理之後再將完成處理之基板W送回至緩衝單元14處的作業。例如，雖係將進行處理1之處理室17a的數量設為2個，並將進行處理2之處理室17a的數量設為4個，並且將進行處理3之處理室17a的數量設為2個，但是，此係因為想定為進行處理2之處理室17a的處理相較於處理1或處理3而需要2倍的時間的情況，而將台數設為2倍之故。

又，在前述之說明中，緩衝單元14，係構成為在每次結束與第2搬送機器人15之間之基板之交接時，均會移動至進行與第1搬送機器人12之間之基板交換的位置(1)處，但是，係並不被限定於此。例如，若是緩衝單元14係身為能夠保持複數之基板W之多段的構成，則係能夠保持複數之未處理之基板W或者是複數之完成處理之基板W，而亦可構成為在未處理之基板W耗盡時或者是在緩衝單元14處能夠保持完成處理之基板W之置台14a1耗盡時，再移動至進行與第1搬送機器人12之間之基板交換的位置(1)處。於此情況，係能夠減少緩衝單元14之在第2搬送方向上的往返次數。

又，在前述之第2實施形態之說明中，第2搬送機器人15雖係構成為使用升降旋轉部15d之升降機構(上下移動機構)來與緩衝單元14之收容部14a之高度相配合，但是，係並不被限定於此。例如，係亦能夠使緩衝單元14具備有升降機構，並構成為使緩衝單元14於上下方向而一直移動至能夠使第1搬送機器人12和第2搬送機器人15對於收容部14a而進行基板之交接的高度處。於此情況，當基板W在第1搬送機器人12與緩衝單元14之間、第2搬送機器人15與緩衝單元14之間而被作交接時，緩衝單元14係下降，除此之外，緩衝單元14係上升並被定位在不會與第2搬送機器人15相互干涉之高度處。

又，在前述之說明中，雖係針對緩衝單元14為在第2 搬送方向上移動的情況來作了例示，但是，係並不被限定於此。例如，在圖1之位置處，緩衝單元14係亦可構成為被固定配置在與第1搬送機器人12之間之基板W之交接位置處。於此情況，第2搬送機器人15係成為為了進行與緩衝單元14之間之基板W之交接時而一直移動至緩衝單元14所被作固定配置之位置處。

又，在前述之說明中，雖係針對第1置台14a1和第2置台14a2為在與第2搬送方向相正交之方向上被作並排配置的情況來作了例示，但是，係並不被限定於此。例如，第1置台14a1和第2置台14a2係亦可被配置在手部31之迴旋圓周上。亦即是，從被載置於第1置台14a1處之基板W之中心起而至手部31之迴旋中心(第2搬送機器人15之機器人旋轉軸)之距離、和從被載置於第2置台14a2處之基板W之中心而至手部31之迴旋中心(第2搬送機器人15之機器人旋轉軸)之間之距離，係可設為相同之距離。藉由此，就算是在手部31在使臂部32作了伸展的狀態下以機器人旋轉軸作為中心而迴旋並從第1置台14a1之下位置起朝向第2置台14a2之下位置而在橫方向上移動的情況時，亦能夠並不需要對於第1置台14a1和第2置台14a2而進行更進一步之水平動作地，來進行基板W之交接動作。

以上，雖係針對本發明之數個實施形態作了說明，但是，此些之實施形態係僅為作為例子所提示者，而並非為對於發明之範圍作限定。此些之新穎的實施形態，係可藉由其他之各種形態來實施，在不脫離發明之要旨的範圍內，係可進行各種之省略、置換、變更。此些之實施形態及其變形，係被包含於發明之範圍及要旨中，並且被包含於在申請專利範圍中所記載之發明及其均等範圍內。