CN113130347A - 晶圆传送盒清洗设备及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能节省空间、动作紧凑，能避免粒子沾附的晶圆传送盒清洗设备及系统。清洗设备包括前、后机台；前机台包含第一架体、第一水平位移机构、翻转机构、吸取装置、第一垂直位移机构、前清洗槽、前清洗装置及第一隔离壁装置；后机台包含第二架体、后清洗槽、后隔离装置及后清洗装置；前机台能将盒本体和门本体分开，让门本体下降、盒本体翻转至后机台处，分别进行清洁；清洗系统包括清洗、移动、充氮及暂存设备；移动设备能带动被清洗设备所清洁后的晶圆传送盒，进行位移；充氮设备能接收移动设备自清洗设备处所移动带来的晶圆传送盒对其进行充氮的作业；暂存设备能接收被移动设备自充氮设备处转移过来的晶圆传送盒，供暂存及输出。

Description

晶圆传送盒清洗设备及系统

技术领域

本发明涉及一种能针对晶圆传送盒进行处理、以再投入应用的清洗结构与系统，尤指一种晶圆传送盒清洗设备及系统。

背景技术

在现今的半导体制程中，需要利用多种方法，对晶圆来进行加工，晶圆会经过一系列的制程设备，过程中需要经过多次运送，因此在保管及搬运晶圆时，需要注意不会因外部的冲击而被损伤，并且需要进行管理，以使晶圆的表面不被水分、灰尘、各种有机物等杂质污染。

所以在过程中，会使用晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod；FOUP，又或称为前开口一体盒)，用于运送及储存复数片晶圆，为半导体制程间输送及储存的重要载具设备。

晶圆传送盒需要进行周期性地清洁，以防止晶圆被污染，随着制程的改良与进步，清洗标准变得越加严格，清洗循环的次数及每一循环的复杂度增加，以防止交叉污染。

为了避免污染，晶圆传送盒清洗的时间需要缩短，但是传统晶圆传送盒清洗机具，受到清洗循环的次数、高复杂度、高清洁度需求、共享机器人的影响，让时间的缩短成为一件非常困难的事。

另外，传统晶圆传送盒清洗机具，所占用的空间也更大，维修时效长，并且还容易发生固态微粒污染的问题。

有鉴于此，如何提供一种能解决前述问题的晶圆传送盒清洗设备及系统结构，便成为本发明欲改进的课题。

发明内容

本发明目的在于提供一种应用上更多元，能降低成本、耗能、故障率，并节约空间的晶圆传送盒清洗设备及系统。

为解决上述问题及达到本发明的目的，本发明的技术手段，关于清洗设备方面，是这样实现的，为一种晶圆传送盒清洗设备，所述清洗设备能应用于对晶圆传送盒进行清洗用，其特征在于：所述清洗设备，其至少包括有至少一前机台及一设于所述前机台后侧端处的后机台；所述前机台，其包含有一第一架体、一设于所述第一架体顶端前侧处的第一水平位移机构、一对应于所述第一水平位移机构设置于所述第一架体顶端后侧处的翻转机构、一对应于所述翻转机构而设置于第一架体顶端后侧处的吸取装置、一对应于所述吸取装置设置的第一垂直位移机构、一设于所述第一架体底端后侧处的前清洗槽、一设于所述第一架体后侧处的前清洗装置及一横向跨设于所述第一水平位移机构上的第一隔离壁装置；所述第一水平位移机构，其能带动所述晶圆传送盒往所述翻转机构方向位移；所述翻转机构，其能带动所述晶圆传送盒的盒本体、翻转至所述后机台处，并使所述盒本体的开口，由垂直转为水平状态；所述吸取装置能对所述晶圆传送盒的门本体进行真空吸附定位，并使其拆下与所述盒本体分离；所述第一垂直位移机构，其能带动所述吸取装置于对应所述晶圆传送盒、对应所述前清洗槽两状态间作转换，以一同带动被拆下的所述门本体；所述前清洗槽，其内具有一容纳空间，所述容纳空间前方设有一与其连通的开口，而所述开口能供定位容纳被所述吸取装置所转移过来的所述门本体；所述前清洗装置，其设于所述容纳空间内，具有一基座、至少一设于所述基座上的可动清洗单元及两分别设于所述基座两侧端处的干燥单元，所述可动清洗单元能对所述门本体进行清洗，所述干燥单元能对所述门本体进行干燥动作；所述第一隔离壁装置，其能在所述第一水平位移机构带动所述晶圆传送盒往所述翻转机构方向位移时开启，以供降低污染可能用；所述后机台，其包含有一对应于所述第一架体后侧端设置的第二架体、一设于所述第二架体顶端的后清洗槽、一设于所述后清洗槽上方的后隔离装置及一顶端设于所述后清洗槽内位于所述后清洗槽底端的后清洗装置；所述后清洗槽，其能供容纳由所述翻转机构所翻转移动过来的所述盒本体用；所述后隔离装置，其能供在所述翻转机构将所述盒本体翻转移动过来后，将所述后清洗槽封闭用；所述后清洗装置，其能被所述翻转机构所翻转移动过来的所述盒本体所覆盖，并能供对所述盒本体内部进行清洗、干燥的动作用。

更优选的是，所述翻转机构，其还包括有一对应于所述第一水平位移机构设置于所述第一架体顶端后侧处的翻转驱动装置、一设于所述翻转驱动装置左侧的左翻转支架及一镜像设置于所述翻转驱动装置右侧的右翻转支架；所述左翻转支架，其还包含有一底端与所述翻转驱动装置左侧连接的左Y形支架、一间隔设于所述左Y形支架右侧的左L形支架、数支间隔设于所述左Y形支架与所述左L形支架间的左间隔杆及至少一设于所述左L形支架右侧面处的左定位组件；所述左Y形支架的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述左L形支架还相对应于所述左Y形支架顶端而设置，所述左定位组件能供定位所述晶圆传送盒用；所述右翻转支架，其还包含有一底端与所述翻转驱动装置右侧连接的右Y形支架、一间隔设于所述右Y形支架左侧的右L形支架、数支间隔设于所述右Y形支架与所述右L形支架间的右间隔杆及至少一设于所述右L形支架左侧面处的右定位组件，所述右Y形支架的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述右L形支架还相对应于所述右Y形支架顶端而设置，所述右定位组件能供定位所述晶圆传送盒用。

更优选的是，所述前清洗装置，其还包括有一转动装置，所述转动装置能带动所述可动清洗单元转动；所述可动清洗单元，其一侧还间隔设有数个前清洗喷头；所述后清洗装置，其还包括有一设于所述后清洗槽底端的第二驱动单元、一设于所述后清洗槽内的清洗单元、一与所述第二驱动单元可动连接的滑座及一设于所述清洗单元与所述滑座间的连接柱；前述清洗单元，其还包括有一设于所述连接柱顶端左侧的左清洗组合、一设于所述连接柱顶端右侧的右清洗组合、一设所述左清洗组合与所述右清洗组合之间且位于所述连接柱顶端的调整组件及一设于所述与所述连接柱间的管道整合座；所述左清洗组合与所述右清洗组合，其两者皆还包括有一座体、一设于所述座体顶端的倒L形干燥组件、一形成于所述座体与所述倒L形干燥组件一侧间的凹陷部及数个间隔排列于所述凹陷部处的L形清洗喷头；所述调整组件，其还具有两倒T形支架、一左H形翼板、一右H形翼板、一横杆、一跨接块、一螺杆及一定位单元；前述倒T形支架相应设于所述管道整合座顶端面的前侧与后侧边缘处，且各个所述倒T型支架内还各具有一倒T形开槽；前述左H形翼板设于所述管道整合座顶端面左侧，一端设于所述倒T型支架之间，另一端连接所述左清洗组合；前述右H形翼板设于所述管道整合座顶端面右侧，一端设于所述倒T型支架之间，另一端连接所述右清洗组合，而所述左H形翼板、所述右H形翼板位于所述倒T型支架之间的一端，还相互枢接，另所述左H形翼板与各个所述倒T型支架水平段相应端处，还分别通过一左限位杆滑动定位，另所述右H形翼板与各个所述倒T型支架水平段相应端处，还分别通过一右限位杆滑动定位；前述横杆设于所述左H形翼板与所述右H形翼板的枢接处，且两端还分别对应的所述倒T型支架的所述倒T形开槽配合，而中央还垂直设有一连接块；前述跨接块设于所述倒T型支架之间，且两端还分别对应的所述倒T型支架顶端连接；前述螺杆穿过所述跨接块后与所述连接块与所述连接；前述调整转轮与所述螺杆螺接，位于所述跨接块与所述连接块间；所述管道整合座，其还能供连接相应管路后、将气体和液体有效率地传输到所述左清洗组合、所述右清洗组合处。

更优选的是，所述后清洗槽，其还包括有一设于所述后清洗槽前端侧与顶端侧处的倒L形开口、一设于所述倒L形开口前端侧处的前U形挡板、一间隔设于所述前U形挡板后侧处的后U形挡板、一设于所述后清洗槽顶端边缘处的外ㄇ形胶条及一设于所述后清洗槽顶端边缘且位于所述外ㄇ形胶条内侧处的内ㄇ形胶条；前述倒L形开口，其顶端侧内边缘相应于所述前U形挡板顶端处，还分别凹设有一前凹陷部，而顶端侧内边缘相应于所述后U形挡板处，亦还分别凹设有一后凹陷部；前述前U形挡板，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一前凹槽，而所述前U形挡板封闭端顶边缘处，还卡设有一前隔离胶条；前述后U形挡板，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一后凹槽，而所述后U形挡板封闭端顶边缘处，还卡设有一后隔离胶条；所述后隔离装置，其还包括有一设于所述后清洗槽上方并对应于所述倒L形开口的倒L型隔离板、一设于所述后清洗槽后侧端处的板垂直驱动单元、两分别设于所述所述后清洗槽相应侧处的板引导轨道、一所述倒L型隔离板顶端连接的牵引线及一设于所述牵引线自由端处的配重块；前述倒L型隔离板，其还具有一断面概呈H形的前垂直板体及一前端底面与所述前垂直板体顶端相接的水平板体，且所述前垂直板体前侧面底端处还延伸设有一前挡板，而所述前垂直板体的前侧面边缘两侧处，还分别设有一前封闭胶条，另所述前垂直板体的后侧面边缘两侧处，还分别设有一后封闭胶条；前述板垂直驱动单元，其顶端还与所述倒L型隔离板连接；前述板引导轨道，其顶端还分别与所述倒L型隔离板相应侧处连接；前述牵引线，其与所述倒L型隔离板顶端连接后，还往所述后清洗槽后侧方向转绕，处延伸至所述后清洗槽后侧处。

更优选的是，所述后机台，其还包括有设于所述后清洗槽内且对应于所述左翻转支架的一左抵顶杆件及对应于所述右翻转支架的一右抵顶杆件，所述左抵顶杆件能供支撑由所述倒L形开口处翻转入所述后清洗槽内的所述左翻转支架用，所述右抵顶杆件能供支撑由所述倒L形开口处翻转入所述后清洗槽内的所述右翻转支架用；所述前隔离胶条，其由外至内还依序平行设有一倒U形胶条及一O形胶条，而所述倒U形胶条前侧端内侧面处还设有一倒勾条，能供配合定位所述前U形挡板封闭端顶边缘上用；所述后隔离胶条，其由外至内还依序平行设有一O形胶条及一倒U形胶条，而所述倒U形胶条后侧端内侧面处还设有一倒勾条，能供配合定位于所述后U形挡板封闭端顶边缘上用；所述前封闭胶条与所述后封闭胶条，其两者皆包括有一U形胶条及一平行设于所述U形胶条一侧且封闭端相互对接的3字形胶条，而所述U形胶条前侧端内侧面处还设有一倒勾部。

更优选的是，所述左定位组件，其还包括有一设于所述左L形支架水平段自由端处的左支撑块、一设于所述左L形支架水平段中央处的左引导块、一设于所述左L形支架垂直段中央处的左限位块及一设于所述左L形支架垂直段自由端处的左挡块；所述右定位组件，其还包括有一设于所述右L形支架水平段自由端处的右支撑块、一设于所述右L形支架水平段中央处的右引导块、一设于所述右L形支架垂直段中央处的右限位块及一设于所述右L形支架垂直段自由端处的右挡块。

更优选的是，所述第一水平位移机构，其还包括有一设于所述第一架体顶端前侧处的第一位移驱动装置及一设于所述第一位移驱动装置顶端处的第一水平位移台座，所述第一位移驱动装置能供驱动所述第一水平位移台座使其位移用，所述第一水平位移台座能供承接定位所述晶圆传送盒用；所述吸取装置，其还具有分别设于所述吸取装置前侧面两侧的两真空吸盘部及两锁定头部，所述真空吸盘部两者还呈项对角线状设置、能供吸取所述门本体用，所述锁定头部位于所述真空吸盘部之间，能供锁定所述门本体用；所述第一垂直位移机构，其还包括有一设于所述吸取装置左侧的第一驱动单元及一设于所述吸取装置右侧的垂直引导轨道架，所述第一驱动单元能供带动所述吸取装置垂直位移用，所述垂直引导轨道架能供引导所述吸取装置垂直位移用；所述前清洗槽，其还包括有一前清洗槽壳体及一容纳板体，所述前清洗槽壳体能配合所述容纳板体、所述基座以供构成所述容纳空间，所述容纳板体能供配合构成所述开口用；所述第一隔离壁装置，其还包括有一横向跨设于所述第一水平位移机构上的第一隔离架体、一垂直设于所述第一隔离架体顶端处的第一壁板移动装置及一活动设置于所述第一隔离架体底端处且与所述第一壁板移动装置一端连接的第一壁板，所述第一壁板移动装置能带动所述第一壁板，使其能沿着所述第一隔离架体上、下滑动位移。

本发明的技术手段，关于清洗系统方面，是这样实现的，为一种晶圆传送盒清洗系统，所述清洗系统能应用于对晶圆传送盒进行洁净用，其特征在于：所述清洗系统，其至少包括有至少一如上述中任一项所述的清洗设备、至少一移动设备、至少一充氮设备及至少一暂存设备；所述移动设备，其设于所述清洗设备、所述充氮设备及所述暂存设备上方，并横跨前述三者，能带动被所述清洗设备所清洁后的所述晶圆传送盒，以进行位移；所述充氮设备，其设于所述清洗设备一侧，能接收所述移动设备自所述清洗设备处所移动带来的所述晶圆传送盒，以对其进行充氮的作业；所述暂存设备，其设于所述清洗设备另一侧，能接收被所述移动设备自所述充氮设备处，所转移过来的所述晶圆传送盒，以供暂存及输出用。

更优选的是，所述移动设备，其还包括有一设于所述清洗系统顶端处且呈口字形的基板体、一设于所述基板体开口后侧边缘处的横向位移机构、一设于所述基板体开口前侧边缘处的横向引导轨道、一跨设于所述横向位移机构与所述横向引导轨道上一侧的夹具座、以及一设于所述夹具座底端并穿过所述基板体开口的夹具，所述横向位移机构能供带动所述夹具座沿着所述横向引导轨道移动位移用，所述横向引导轨道能供引导所述夹具座用，所述夹具座能供一同带动所述夹具用，所述夹具能供夹持定位所述晶圆传送盒用；所述充氮设备，其还包括有一设于所述清洗设备一侧的承载盘、至少一设于所述承载盘上的充氮头组、数个设于所述承载盘上的定位销、以及数个分别对应所述定位销而设置的感测单元，所述承载盘能供承载被所述移动设备所移动过来的所述晶圆传送盒用，所述充氮头组能供对被所述移动设备所移动过来的所述晶圆传送盒进行充氮用，所述定位销能供定位被所述移动设备所移动过来的所述晶圆传送盒用，所述感测单元能供所述充氮设备判断、被所述移动设备所移动过来的所述晶圆传送盒是否摆放正确用；所述暂存设备，其还包括有一第三架体、一设于所述第三架体前端处的第二水平位移机构及一横向跨设于所述第二水平位移机构上的第二隔离壁装置；前述第二水平位移机构，其能带动所述晶圆传送盒往外界方向位移，其还包括有一设于所述第三架体顶端前侧处的第二位移驱动装置及一设于所述第二位移驱动装置顶端处的第二水平位移台座，所述第二位移驱动装置能供驱动所述第二水平位移台座使其位移用，所述第二水平位移台座能供承接定位所述晶圆传送盒用；前述第二隔离壁装置，其还包括有一设于所述第二水平位移机构上的第二隔离架体、一垂直设于所述第二隔离架体顶端处的第二壁板移动装置及一活动设置于所述第二隔离架体底端处且与所述第二壁板移动装置一端连接的第二壁板，所述第二壁板移动装置能带动所述第二壁板，使其能沿着所述第二隔离架体上、下滑动位移。

更优选的是，所述夹具，其还包括有一设于所述夹具座一侧的第三驱动单元、一设于所述夹具座另一侧的夹具导引轨道、一设于所述第三驱动单元与所述夹具导引轨道间的夹具座、一设于所述夹具座的底端面处的夹头驱动组、一活动设于所述夹头驱动组左侧的左夹爪及一活动设于所述夹头驱动组右侧的右夹爪，所述第三驱动单元能供带动所述夹具座沿着所述夹具导引轨道位移用，所述夹具导引轨道能供配合所述第三驱动单元以导引所述夹具座用，所述夹具座能供承载所述夹头驱动组用，所述夹头驱动组能供驱动所述左夹爪和所述右夹爪于相互远离、相互接近两状态间作转换用，所述左夹爪与所述右夹爪两者能相互配合以供夹持所述晶圆传送盒用；前述夹头驱动组，其还包括有一设于所述夹具座的底端面上的双向驱动单元、一活动设置于所述双向驱动单元左侧处的左作动块、一活动设置于所述双向驱动单元右侧处的右作动块及一套设于所述双向驱动单元外并与所述夹具座连接的壳体，所述双向驱动单元能同时带动所述左作动块与所述右作动块同时作动，所述左作动块底端面还与所述左夹爪连接，能供带动所述左夹爪用，所述右作动块底端面还与所述右夹爪连接，能供带动所述左夹爪用；所述充氮头组，其还包括有数个分别布设于所述承载盘上的第一充氮头及至少两个分别对应于所述第一充氮头而设置于其外侧处的第二充氮头。

与现有技术相比，本发明的效果如下所示：

本发明清洗设备，通过前机台及后机台的配合，能翻转、拆分晶圆传送盒，同时对盒本体、门本体进行清洁，整体而言，动作紧凑、能提升效率，而且维修时效短，并且垂直拆下门本体的方式，还能避免粒子沾附，降低污染可能。

本发明清洗系统，利用移动设备、充氮设备及暂存设备的配合，能达到最佳稼动率，不使用复杂且庞大的机械人或是机械臂，占用空间少，有别于传统清洗系统，而且各设备独立运作，动作紧凑，并且模块化的设计，维修十分方便容易维护，最重要的，在一定的效率下，能有效地避免发生清洁过程中被污染的问题。

附图说明

图1为本发明清洗设备的立体示意图。

图2为本发明清洗设备的前机台中第一水平位移机构的立体示意图。

图3为本发明清洗设备的前机台中第一隔离壁装置的分解示意图。

图4为本发明清洗设备的前机台中翻转机构的立体示意图。

图5为本发明清洗设备的前机台中翻转机构的立体分解示意图。

图6为本发明清洗设备的前机台中吸取装置与第一垂直位移机构的立体示意图。

图7为本发明清洗设备的前机台中前清洗槽与前清洗装置的立体示意图。

图8为本发明清洗设备的前机台中前清洗槽与前清洗装置的立体分解示意图。

图9为本发明清洗设备的后机台中后隔离装置的立体分解示意图。

图10为本发明清洗设备的后机台中后清洗装置的立体分解示意图。

图11为图10中A部分的立体分解示意图。

图12为本发明清洗设备之后机台中后清洗槽的立体分解示意图。

图13为本发明清洗设备的立体实施示意图一。

图14为本发明清洗设备的立体实施示意图二。

图15为本发明清洗设备的剖面实施示意图一。

图16为本发明清洗设备的剖面实施示意图二。

图17为本发明清洗系统的立体示意图。

图18为本发明清洗系统中移动设备的立体示意图。

图19为本发明清洗系统中移动设备的夹具的立体示意图。

图20为本发明清洗系统中移动设备的夹具的立体分解示意图。

图21为本发明清洗系统中暂存设备的立体示意图。

图22为本发明清洗系统中暂存设备的分解示意图。

图23为本发明清洗系统中充氮设备的立体示意图。

图24为本发明清洗系统中充氮设备的分解示意图。

图25为本发明清洗设备的俯视实施示意图一。

图26为本发明清洗设备的俯视实施示意图二。

图27为本发明清洗设备的俯视实施示意图三。

附图标记说明：

1 前机台 232 板垂直驱动单元

11 第一架体 233 板引导轨道

12 第一水平位移机构 234 牵引线

121 第一位移驱动装置 235 配重块

122 第一水平位移台座 23a U形胶条

13 翻转机构 23b 3字形胶条

131 翻转驱动装置 23c 倒勾部

132 左翻转支架 24 后清洗装置

1321 左Y形支架 241 第二驱动单元

1322 左L形支架 242 清洗单元

1323 左间隔杆 2421 左清洗组合

1324 左定位组件 2422 右清洗组合

1324a 左支撑块 2421a 座体

1324b 左引导块 2421b 倒L形干燥组件

1324c 左限位块 2421c 凹陷部

1324d 左挡块 2421d L形清洗喷头

133 右翻转支架 2423 调整组件

1331 右Y形支架 2424 管道整合座

1332 右L形支架 243 滑座

1333 右间隔杆 244 连接柱

1334 右定位组件 25 左抵顶杆件

1334a 右支撑块 26 右抵顶杆件

1334b 右引导块 10 晶圆传送盒

1334c 右限位块 10A 盒本体

1334d 右挡块 10B 门本体

14 吸取装置 100 清洗设备

141 真空吸盘部 200 清洗系统

142 锁定头部 300 移动设备

15 第一垂直位移机构 301 基板体

151 第一驱动单元 302 横向位移机构

152 垂直引导轨道架 303 横向引导轨道

16 前清洗槽 304 夹具座

161 容纳空间 305 夹具

162 开口 3051 第三驱动单元

163 前清洗槽壳体 3052 夹具导引轨道

164 容纳板体 3053 夹具座

17 前清洗装置 3054 夹头驱动组

171 基座 3054a 双向驱动单元

172 可动清洗单元 3054b 左作动块

1721 前清洗喷头 3054c 右作动块

173 干燥单元 3054d 壳体

174 转动装置 3055 左夹爪

18 第一隔离壁装置 3056 右夹爪

181 第一隔离架体 400 充氮设备

182 第一壁板移动装置 401 承载盘

183 第一壁板 402 充氮头组

2 后机台 4021 第一充氮头

21 第二架体 4022 第二充氮头

22 后清洗槽 403 定位销

221 倒L形开口 404 感测单元

2211 前凹陷部 500 暂存设备

2212 后凹陷部 501 第三架体

222 前U形挡板 502 第二水平位移机构

2221 前凹槽 5021 第二位移驱动装置

2222 前隔离胶条 5022 第二水平位移台座

223 后U形挡板 503 第二隔离壁装置

2231 后凹槽 5031 第二隔离架体

2232 后隔离胶条 5032 第二壁板移动装置

224 外ㄇ形胶条 5033 第二壁板

225 内ㄇ形胶条 a 倒T形支架

22a 倒U形胶条 a1 倒T形开槽

22b O形胶条 b 左H形翼板

22c 倒勾条 b1 左限位杆

23 后隔离装置 c 右H形翼板

231 倒L型隔离板 c1 右限位杆

2311 前垂直板体 d 横杆

2311a 前挡板 d1 连接块

2312 水平板体 e 跨接块

2313 前封闭胶条 f 螺杆

2314 后封闭胶条 g 定位单元

具体实施方式

以下依据图面所示的实施例详细说明如后：

如图1至图12所示，图中揭示出的为一种晶圆传送盒清洗设备，所述清洗设备100能应用于对晶圆传送盒10进行清洗用，其特征在于：所述清洗设备100，其至少包括有至少一前机台1及一设于所述前机台1后侧端处的后机台2；所述前机台1，其包含有一第一架体11、一设于所述第一架体11顶端前侧处的第一水平位移机构12、一对应于所述第一水平位移机构12设置于所述第一架体11顶端后侧处的翻转机构13、一对应于所述翻转机构13而设置于第一架体11顶端后侧处的吸取装置14、一对应于所述吸取装置14设置的第一垂直位移机构15、一设于所述第一架体11底端后侧处的前清洗槽16、一设于所述第一架体11后侧处的前清洗装置17及一横向跨设于所述第一水平位移机构12上的第一隔离壁装置18；所述第一水平位移机构12，其能带动所述晶圆传送盒10往所述翻转机构13方向位移；所述翻转机构13，其能带动所述晶圆传送盒10的盒本体10A、翻转至所述后机台2处，并使所述盒本体10A的开口，由垂直转为水平状态；所述吸取装置14能对所述晶圆传送盒10的门本体10B进行真空吸附定位，并使其拆下与所述盒本体10A分离；所述第一垂直位移机构15，其能带动所述吸取装置14于对应所述晶圆传送盒10、对应所述前清洗槽16两状态间作转换，以一同带动被拆下的所述门本体10B；所述前清洗槽16，其内具有一容纳空间161，所述容纳空间161前方设有一与其连通的开口162，而所述开口162能供定位容纳被所述吸取装置14所转移过来的所述门本体10B；所述前清洗装置17，其设于所述容纳空间161内，具有一基座171、至少一设于所述基座171上的可动清洗单元172及两分别设于所述基座171两侧端处的干燥单元173，所述可动清洗单元172能对所述门本体10B进行清洗，所述干燥单元173能对所述门本体10B进行干燥动作；所述第一隔离壁装置18，其能在所述第一水平位移机构12带动所述晶圆传送盒10往所述翻转机构13方向位移时开启，以供降低污染可能用；所述后机台2，其包含有一对应于所述第一架体11后侧端设置的第二架体21、一设于所述第二架体21顶端的后清洗槽22、一设于所述后清洗槽22上方的后隔离装置23及一顶端设于所述后清洗槽22内位于所述后清洗槽22底端的后清洗装置24；所述后清洗槽22，其能供容纳由所述翻转机构13所翻转移动过来的所述盒本体10A用；所述后隔离装置23，其能供在所述翻转机构13将所述盒本体10A翻转移动过来后，将所述后清洗槽22封闭用；所述后清洗装置24，其能被所述翻转机构13所翻转移动过来的所述盒本体10A所覆盖，并能供对所述盒本体10A内部进行清洗、干燥的动作用。

其中，本发明清洗设备100，通过前机台1及后机台2的配合，能利用以第一架体11、第一水平位移机构12、翻转机构13、吸取装置14、第一垂直位移机构15、前清洗槽16、前清洗装置17及第一隔离壁装置18所组成的前机台1，翻转、拆分晶圆传送盒10，配合以第二架体21、后清洗槽22、后隔离装置23及后清洗装置24所组成的后机台2，通过前机台1和后机台2，同时对盒本体10A、门本体10B清洁，清洁后再回前机台1，组成完整的晶圆传送盒10，整体而言，动作紧凑、节省空间、维修时效短。

其次，吸取装置14通过真空吸附定位的方式，配合第一垂直位移机构15，垂直拆下门本体10B，将其与盒本体10A分开，能避免粒子沾附，降低污染可能，让整体的清洁效果提高。

如图13至图16所示，前机台1通过第一水平位移机构12，输入晶圆传送盒10，第一隔离壁装置18能快速开关，降低污染可能，晶圆传送盒10到达定位后，吸取装置14将门本体10B拆下，通过第一垂直位移机构15垂直下移，将门本体10B移到前清洗槽16，随后翻转机构13便能翻转盒本体10A，让盒本体10A转到后机台2的清洗槽22内，后隔离装置23作动，封闭清洗槽22，此时前机台1便能通过前清洗装置17、而后机台2便能通过后清洗装置24，分别对门本体10B、盒本体10A清洗与干燥，完成相应的清洁。

最后，后隔离装置23开启，翻转机构13将盒本体10A，由后机台2处翻转回前机台1，第一垂直位移机构15垂直上移，让吸取装置14带着门本体10B，将其装回盒本体10A，完成晶圆传送盒10的整体清洁。

请参阅图1、图4和图5，所述翻转机构13，其还包括有一对应于所述第一水平位移机构12设置于所述第一架体11顶端后侧处的翻转驱动装置131、一设于所述翻转驱动装置131左侧的左翻转支架132及一镜像设置于所述翻转驱动装置131右侧的右翻转支架133；所述左翻转支架132，其还包含有一底端与所述翻转驱动装置131左侧连接的左Y形支架1321、一间隔设于所述左Y形支架1321右侧的左L形支架1322、数支间隔设于所述左Y形支架1321与所述左L形支架1322间的左间隔杆1323及至少一设于所述左L形支架1322右侧面处的左定位组件1324；所述左Y形支架1321的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述左L形支架1322还相对应于所述左Y形支架1321顶端而设置，所述左定位组件1324能供定位所述晶圆传送盒10用；所述右翻转支架133，其还包含有一底端与所述翻转驱动装置131右侧连接的右Y形支架1331、一间隔设于所述右Y形支架1331左侧的右L形支架1332、数支间隔设于所述右Y形支架1331与所述右L形支架1332间的右间隔杆1333及至少一设于所述右L形支架1332左侧面处的右定位组件1334，所述右Y形支架1331的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述右L形支架1332还相对应于所述右Y形支架1331顶端而设置，所述右定位组件1334能供定位所述晶圆传送盒10用。

其中，通过翻转驱动装置131、左翻转支架132及右翻转支架133，组成翻转机构13，不用复杂的机器人或是机器臂，便能翻转晶圆传送盒10的盒本体10A，节省空间、机构简易且维修时效短。

其次，左翻转支架132通过左Y形支架1321、左L形支架1322及左间隔杆1323的设置，而右翻转支架133通过右Y形支架1331、右L形支架1332及右间隔杆1333，在翻转时，不用担心会与第一垂直位移机构15发生干涉，而且模块化的设计，还能针对不同的盒本体10A，更换相应的左L形支架1322、右L形支架1332，以调整定位盒本体10A的左定位组件1324、右定位组件1334设置，有利于缩短维护调整的时效，非常容易维护。

请参阅图1、图7和图8，所述前清洗装置17，其还包括有一转动装置174，所述转动装置174能带动所述可动清洗单元172转动；所述可动清洗单元172，其一侧还间隔设有数个前清洗喷头1721。

其中，通过转动装置174的应用，让可动清洗单元172能稳定地转动，如此一来，便能完整地清洗门本体10B；通过前清洗喷头1721的应用，让可动清洗单元172能覆盖更完整，还不影响清洗效果。

请参阅图1、图10和图11，所述后清洗装置24，其还包括有一设于所述后清洗槽22底端的第二驱动单元241、一设于所述后清洗槽22内的清洗单元242、一与所述第二驱动单元241可动连接的滑座243及一设于所述清洗单元242与所述滑座243间的连接柱244；前述清洗单元242，其还包括有一设于所述连接柱244顶端左侧的左清洗组合2421、一设于所述连接柱244顶端右侧的右清洗组合2422、一设所述左清洗组合2421与所述右清洗组合2422之间且位于所述连接柱244顶端的调整组件2423及一设于所述与所述连接柱244间的管道整合座2424；所述左清洗组合2421与所述右清洗组合2422，其两者皆还包括有一座体2421a、一设于所述座体2421a顶端的倒L形干燥组件2421b、一形成于所述座体2421a与所述倒L形干燥组件2421b一侧间的凹陷部2421c及数个间隔排列于所述凹陷部2421c处的L形清洗喷头2421d。

其中，通过第二驱动单元241、清洗单元242、滑座243及连接柱244的配合，组成后清洗装置24，第二驱动单元241能带动滑座243，让连接柱244上的清洗单元242，上下移动，以对盒本体10A内部有效清洁，不放过任何一个角落。

其次，清洗单元242通过左清洗组合2421、右清洗组合2422、调整组件2423及管道整合座2424的配合，以左清洗组合2421、右清洗组合2422，提供一左一右的完整清洁覆盖范围，并通过调整组件2423，让左清洗组合2421、右清洗组合2422能被调整角度，以配合不同的盒本体10A，而管道整合座2424的应用，更是让整体管道，获得有效的整理，降低对清洁效果的影响，并且进一步降低维护难度。

再者，通过座体2421a、倒L形干燥组件2421b、凹陷部2421c及L形清洗喷头2421d的应用，座体2421a能提供稳定的支撑，以及稳定的引导效果，倒L形干燥组件2421b能在范围内，提供稳定且足够的干燥效果，而L形清洗喷头2421d则是能在范围内，提供稳定的清洗效果，并且还能针对不同的盒本体10A，进行调整以利于清洁。

请参阅图11，所述调整组件2423，其还具有两倒T形支架a、一左H形翼板b、一右H形翼板c、一横杆d、一跨接块e、一螺杆f及一定位单元g；前述倒T形支架a相应设于所述管道整合座2424顶端面的前侧与后侧边缘处，且各个所述倒T型支架a内还各具有一倒T形开槽a1；前述左H形翼板b设于所述管道整合座2424顶端面左侧，一端设于所述倒T型支架a之间，另一端连接所述左清洗组合2421；前述右H形翼板c设于所述管道整合座2424顶端面右侧，一端设于所述倒T型支架a之间，另一端连接所述右清洗组合2422，而所述左H形翼板b、所述右H形翼板c位于所述倒T型支架a之间的一端，还相互枢接，另所述左H形翼板b与各个所述倒T型支架a水平段相应端处，还分别通过一左限位杆b1滑动定位，另所述右H形翼板c与各个所述倒T型支架a水平段相应端处，还分别通过一右限位杆c1滑动定位；前述横杆d设于所述左H形翼板b与所述右H形翼板c的枢接处，且两端还分别对应的所述倒T型支架a的所述倒T形开槽a1配合，而中央还垂直设有一连接块d1；前述跨接块e设于所述倒T型支架a之间，且两端还分别对应的所述倒T型支架a顶端连接；前述螺杆f穿过所述跨接块e后与所述连接块d1与所述连接；前述调整转轮g与所述螺杆f螺接，位于所述跨接块e与所述连接块d1间；所述管道整合座2424，其还能供连接相应管路后、将气体和液体有效率地传输到所述左清洗组合2421、所述右清洗组合2422处。

其中，通过倒T形支架a、左H形翼板b、右H形翼板c、横杆d、跨接块e、螺杆f及定位单元g的配合，组成调整组件2423，利用倒T形支架a通过左限位杆b1、右限位杆c1，对左H形翼板b、右H形翼板c的限位，而且左H形翼板b和右H形翼板c间还通过横杆d的枢接，所以当一转动跨接块e上被定位单元g限制的螺杆f，便能让左H形翼板b上的左清洗组合2421、右H形翼板c上的右清洗组合2422，同步倾斜，产生相同的角度变化，达到调整左清洗组合2421、右清洗组合2422角度的效果，以针对不同的晶圆传送盒10，来进行调整，让清洁效果优化。

请参阅图1和图12，所述后清洗槽22，其还包括有一设于所述后清洗槽22前端侧与顶端侧处的倒L形开口221、一设于所述倒L形开口221前端侧处的前U形挡板222、一间隔设于所述前U形挡板222后侧处的后U形挡板223、一设于所述后清洗槽22顶端边缘处的外ㄇ形胶条224及一设于所述后清洗槽22顶端边缘且位于所述外ㄇ形胶条224内侧处的内ㄇ形胶条225；前述倒L形开口221，其顶端侧内边缘相应于所述前U形挡板222顶端处，还分别凹设有一前凹陷部2211，而顶端侧内边缘相应于所述后U形挡板223处，亦还分别凹设有一后凹陷部2212；前述前U形挡板222，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一前凹槽2221，而所述前U形挡板222封闭端顶边缘处，还卡设有一前隔离胶条2222；前述后U形挡板223，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一后凹槽2231，而所述后U形挡板223封闭端顶边缘处，还卡设有一后隔离胶条2232。

其中，通过倒L形开口221，让晶圆传送盒10能顺利地被翻转放入，以前U形挡板222、后U形挡板223配合上，前隔离胶条2222、后隔离胶条2232、外ㄇ形胶条224及内ㄇ形胶条225，让倒L形开口221的两个开口方向，能有效配合后隔离装置23，不但能足够的密闭效果，还能快速隔离、开启，能缩短清洁耗时，并且还非常容易维护。

请参阅图1和图9，所述后隔离装置23，其还包括有一设于所述后清洗槽22上方并对应于所述倒L形开口221的倒L型隔离板231、一设于所述后清洗槽22后侧端处的板垂直驱动单元232、两分别设于所述所述后清洗槽22相应侧处的板引导轨道233、一所述倒L型隔离板231顶端连接的牵引线234及一设于所述牵引线234自由端处的配重块235；前述倒L型隔离板231，其还具有一断面概呈H形的前垂直板体2311及一前端底面与所述前垂直板体2311顶端相接的水平板体2312，且所述前垂直板体2311前侧面底端处还延伸设有一前挡板2311a，而所述前垂直板体2311的前侧面边缘两侧处，还分别设有一前封闭胶条2313，另所述前垂直板体2311的后侧面边缘两侧处，还分别设有一后封闭胶条2314；前述板垂直驱动单元232，其顶端还与所述倒L型隔离板231连接；前述板引导轨道233，其顶端还分别与所述倒L型隔离板231相应侧处连接；前述牵引线234，其与所述倒L型隔离板231顶端连接后，还往所述后清洗槽22后侧方向转绕，处延伸至所述后清洗槽22后侧处。

其中，通过倒L型隔离板231、板垂直驱动单元232、板引导轨道233、牵引线234及配重块235的配合，组成后隔离装置23，以具有前垂直板体2311及水平板体2312的倒L型隔离板231，配合后清洗槽22的倒L形开口221，以板垂直驱动单元232配合板引导轨道233，稳定的带动倒L型隔离板231，并且还通过牵引线234及配重块235的应用，让倒L型隔离板231能快速开启，缩短清洁耗时。

其次，前挡板2311a、前封闭胶条2313及后封闭胶条2314的应用，能在不影响开启速度的前提下，提供更佳的隔离效果。

请参阅图1、图12，所述后机台2，其还包括有设于所述后清洗槽22内且对应于所述左翻转支架132的一左抵顶杆件25及对应于所述右翻转支架133的一右抵顶杆件26，所述左抵顶杆件25能供支撑由所述倒L形开口221处翻转入所述后清洗槽22内的所述左翻转支架132用，所述右抵顶杆件26能供支撑由所述倒L形开口221处翻转入所述后清洗槽22内的所述右翻转支架133用。

其中，通过左抵顶杆件25、右抵顶杆件26，让自倒L形开口221、倒L形开口221翻转入后清洗槽22的左翻转支架132、右翻转支架133，有非常稳定的支撑，并且还能避免左翻转支架132、右翻转支架133碰撞到后清洗槽22，同时降低翻转驱动装置131的负担，以降低维护机率。

请参阅图1和图12，所述前隔离胶条2222，其由外至内还依序平行设有一倒U形胶条22a及一O形胶条22b，而所述倒U形胶条22a前侧端内侧面处还设有一倒勾条22c，能供配合定位所述前U形挡板222封闭端顶边缘上用；所述后隔离胶条2232，其由外至内还依序平行设有一O形胶条22b及一倒U形胶条22a，而所述倒U形胶条22a后侧端内侧面处还设有一倒勾条22c，能供配合定位于所述后U形挡板223封闭端顶边缘上用；所述前封闭胶条2313与所述后封闭胶条2314，其两者皆包括有一U形胶条23a及一平行设于所述U形胶条23a一侧且封闭端相互对接的3字形胶条23b，而所述U形胶条23a前侧端内侧面处还设有一倒勾部23c。

其中，通过倒U形胶条22a与倒勾条22c的配合，让前隔离胶条2222、后隔离胶条2232，能稳定地定位于前U形挡板222封闭端顶边缘、后U形挡板223封闭端顶边缘，配合前隔离胶条2222、后隔离胶条2232的O形胶条22b，让后清洗槽22的前U形挡板222、后U形挡板223，与后隔离装置23的前垂直板体2311，紧密配合，提供一足够的密闭效果。

其次，通过U形胶条23a和倒勾部23c的配合，让前封闭胶条2313与后封闭胶条2314能定位在前垂直板体2311的前、后两侧面边缘上，以通过前封闭胶条2313、后封闭胶条2314的3字形胶条23b，与后清洗槽22的前U形挡板222、后U形挡板223相应侧内边缘，形成卡合，提供一足够的密闭效果。

请参阅图1、图4和图5，所述左定位组件1324，其还包括有一设于所述左L形支架1322水平段自由端处的左支撑块1324a、一设于所述左L形支架1322水平段中央处的左引导块1324b、一设于所述左L形支架1322垂直段中央处的左限位块1324c及一设于所述左L形支架1322垂直段自由端处的左挡块1324d；所述右定位组件1334，其还包括有一设于所述右L形支架1332水平段自由端处的右支撑块1334a、一设于所述右L形支架1332水平段中央处的右引导块1334b、一设于所述右L形支架1332垂直段中央处的右限位块1334c及一设于所述右L形支架1332垂直段自由端处的右挡块1334d。

其中，通过左支撑块1324a、左引导块1324b、左限位块1324c及左挡块1324d组成左定位组件1324，通过右支撑块1334a、右引导块1334b、右限位块1334c及右挡块1334d组成右定位组件1334，能以左支撑块1324a、右支撑块1334a、左引导块1324b及右引导块1334b的配合，提供翻转前为水平面、翻转后为垂直面的稳定定位，并以左限位块1324c、左挡块1324d、右限位块1334c及右挡块1334d，提供翻转前为垂直面、翻转后为水平面的稳定定位，如此一来，无论是翻转前或者是翻转后、清洁前或者是清洁后，都不用担心晶圆传送盒10会滑移，让晶圆传送盒10能被顺利清洁。

请参阅图1和图2，所述第一水平位移机构12，其还包括有一设于所述第一架体11顶端前侧处的第一位移驱动装置121及一设于所述第一位移驱动装置121顶端处的第一水平位移台座122，所述第一位移驱动装置121能供驱动所述第一水平位移台座122使其位移用，所述第一水平位移台座122能供承接定位所述晶圆传送盒10用。

其中，利用第一位移驱动装置121和第一水平位移台座122的配合，让晶圆传送盒10能被稳定的移动，而且还不会影响、干扰到其他装置的运作，以最有效率的方式移动，动作更紧凑，而且维修方便。

请参阅图1和图6，所述吸取装置14，其还具有分别设于所述吸取装置14前侧面两侧的两真空吸盘部141及两锁定头部142，所述真空吸盘部141两者还呈项对角线状设置、能供吸取所述门本体10B用，所述锁定头部142位于所述真空吸盘部141之间，能供锁定所述门本体10B用。

其中，吸取装置14通过真空吸盘部141的配合，让门本体10B被稳固地吸取，同时还配合锁定头部142，确保门本体10B能被稳定地移动、拆除和装回，还能降低粒子沾附可能，维修更方便。

请参阅图1和图6，所述第一垂直位移机构15，其还包括有一设于所述吸取装置14左侧的第一驱动单元151及一设于所述吸取装置14右侧的垂直引导轨道架152，所述第一驱动单元151能供带动所述吸取装置14垂直位移用，所述垂直引导轨道架152能供引导所述吸取装置14垂直位移用。

其中，通过第一驱动单元151和垂直引导轨道架152的配合，让吸取装置14能稳定地上、下垂直移动，以快速稳定地拆除和装回门本体10B，让整体作业能顺利运行，并降低粒子沾附，还容易维修。

请参阅图1、图7和图8，所述前清洗槽16，其还包括有一前清洗槽壳体163及一容纳板体164，所述前清洗槽壳体163能配合所述容纳板体164、所述基座171以供构成所述容纳空间161，所述容纳板体164能供配合构成所述开口162用。

其中，通过前清洗槽壳体163与容纳板体164的配合，与基座171一同构成出容纳空间161，让前清洗装置17能被有效地安置，并通过容纳板体164构成开口162，让自开口162放入的门本体10B，能有稳固的定位，让前清洗装置17能对门本体10B，进行清洁处理，维修时效短。

请参阅图1和图3，所述第一隔离壁装置18，其还包括有一横向跨设于所述第一水平位移机构12上的第一隔离架体181、一垂直设于所述第一隔离架体181顶端处的第一壁板移动装置182及一活动设置于所述第一隔离架体181底端处且与所述第一壁板移动装置182一端连接的第一壁板183，所述第一壁板移动装置182能带动所述第一壁板183，使其能沿着所述第一隔离架体181上、下滑动位移。

其中，利用第一隔离架体181、第一壁板移动装置182及第一壁板183的配合，能在晶圆传送盒10输入前，避免内部被污染，还能在第一水平位移机构12快速输入晶圆传送盒10时，快速开辟，避免内部被污染，确保整体装置的洁净，维修非常方便。

如图17至图24所示，图中揭示出，为一种晶圆传送盒清洗系统，所述清洗系统200能应用于对晶圆传送盒10进行洁净用，其特征在于：所述清洗系统200，其至少包括有至少一如权利要求1至7中任一项所述的清洗设备100、至少一移动设备300、至少一充氮设备400及至少一暂存设备500；所述移动设备300，其设于所述清洗设备100、所述充氮设备400及所述暂存设备500上方，并横跨前述三者，能带动被所述清洗设备100所清洁后的所述晶圆传送盒10，以进行位移；所述充氮设备400，其设于所述清洗设备100一侧，能接收所述移动设备300自所述清洗设备100处所移动带来的所述晶圆传送盒10，以对其进行充氮的作业；所述暂存设备500，其设于所述清洗设备100另一侧，能接收被所述移动设备300自所述充氮设备400处，所转移过来的所述晶圆传送盒10，以供暂存及输出用。

其中，本发明清洗系统200通过清洗设备100的应用，配合上移动设备300、充氮设备400及暂存设备500，能达到最佳稼动率，因为清洗设备100不使用机械人或是机械臂，所以整体所占用空间能大幅度减少，有别于传统清洗系统，非常有利于投入多组来应用，而且各设备独立运作，动作紧凑，并且还更容易维护，让晶圆传送盒10能以更低的成本来进行清洁，最重要的，能有效地避免发生清洁过程中被污染的问题，模块化设计，维修十分方便。

如图25、图26和图27所示，本发明清洗系统200应用两台清洗设备100组成两清洗线时，能依需求输入两个晶圆传送盒10，并将相应输入的晶圆传送盒10分解为盒本体10A、门本体10B，便能分别进行清洗。

通过清洗设备100的清洗、干燥处理后，再将盒本体10A、门本体10B组合，随后移动设备300便能分别将各清洗在线的晶圆传送盒10，运输到充氮设备400处，以进行充氮，晶圆传送盒10充氮完成后，便能再通过移动设备300，将充入氮气的晶圆传送盒10，移动到暂存设备500处，暂存等待输出。

本发明清洗系统200整体作业流程中，各清洗在线的清洗设备100独立运作，动作十分紧凑，而且清洗设备100为通过直立式拆除门本体10B、翻转盒本体10A的方式，有效避免粒子沾附，远优于传统晶圆传送盒清洗系统。

请参阅图18、图19和图20，所述移动设备300，其还包括有一设于所述清洗系统200顶端处且呈口字形的基板体301、一设于所述基板体301开口后侧边缘处的横向位移机构302、一设于所述基板体301开口前侧边缘处的横向引导轨道303、一跨设于所述横向位移机构302与所述横向引导轨道303上一侧的夹具座304、以及一设于所述夹具座304底端并穿过所述基板体301开口的夹具305，所述横向位移机构302能供带动所述夹具座304沿着所述横向引导轨道303移动位移用，所述横向引导轨道303能供引导所述夹具座304用，所述夹具座304能供一同带动所述夹具305用，所述夹具305能供夹持定位所述晶圆传送盒10用。

其中，通过基板体301、横向位移机构302、横向引导轨道303、夹具座304及夹具305的配合，提供一能稳定运行的移动设备300，基板体301提供稳定的定位和支撑，横向位移机构302和横向引导轨道303，能快速并稳定地移动夹具座304，让夹具座304上的夹具305，能快速到达定位，同时当夹持有晶圆传送盒10时，也不会因为快速移动，而产生过度晃动，降低移动耗时，提升整体装置的效率，并且维修方便。

请参阅图23和图24，所述充氮设备400，其还包括有一设于所述清洗设备100一侧的承载盘401、至少一设于所述承载盘401上的充氮头组402、数个设于所述承载盘401上的定位销403、以及数个分别对应所述定位销403而设置的感测单元404，所述承载盘401能供承载被所述移动设备300所移动过来的所述晶圆传送盒10用，所述充氮头组402能供对被所述移动设备300所移动过来的所述晶圆传送盒10进行充氮用，所述定位销403能供定位被所述移动设备300所移动过来的所述晶圆传送盒10用，所述感测单元404能供所述充氮设备400判断、被所述移动设备300所移动过来的所述晶圆传送盒10是否摆放正确用。

其中，通过承载盘401、充氮头组402、定位销403及感测单元404的配合，提供一能有效率地进行充氮作业的充氮设备400，以承载盘401承放晶圆传送盒10，充氮头组402有效率地充氮，定位销403让晶圆传送盒10快速定位，而感测单元404能确保晶圆传送盒10的定位，降低定位晶圆传送盒10的耗时，让充氮整体耗时能被缩短，还容易维护。

请参阅图21和图22，所述暂存设备500，其还包括有一第三架体501、一设于所述第三架体501前端处的第二水平位移机构502及一横向跨设于所述第二水平位移机构502上的第二隔离壁装置503；前述第二水平位移机构502，其能带动所述晶圆传送盒10往外界方向位移，其还包括有一设于所述第三架体501顶端前侧处的第二位移驱动装置5021及一设于所述第二位移驱动装置5021顶端处的第二水平位移台座5022，所述第二位移驱动装置5021能供驱动所述第二水平位移台座5022使其位移用，所述第二水平位移台座5022能供承接定位所述晶圆传送盒10用；前述第二隔离壁装置503，其还包括有一设于所述第二水平位移机构502上的第二隔离架体5031、一垂直设于所述第二隔离架体5031顶端处的第二壁板移动装置5032及一活动设置于所述第二隔离架体5031底端处且与所述第二壁板移动装置5032一端连接的第二壁板5033，所述第二壁板移动装置5032能带动所述第二壁板5033，使其能沿着所述第二隔离架体5031上、下滑动位移。

其中，暂存设备500通过第三架体501、第二水平位移机构502及第二隔离壁装置503的配合，让暂存设备500能当作为缓冲区使用，让整体清洗效率提升，同时还能避免污染，并且维修方便。

其次，通过第二位移驱动装置5021与第二水平位移台座5022的配合，组合成第二水平位移机构502，能暂存晶圆传送盒10，并在暂存结束后，稳定且快速地往外界方向位移，提高整体运作效率，整体一样维修方便。

再者，第二隔离壁装置503通过第二隔离架体5031、第二壁板移动装置5032及第二壁板5033的配合，能在暂存晶圆传送盒10，避免晶圆传送盒10被污染，还能在第二水平位移机构502快速输出时，快速开辟，避免内部被污染，确保整体装置的洁净，并且容易维护保养。

请参阅图19，所述夹具305，其还包括有一设于所述夹具座304一侧的第三驱动单元3051、一设于所述夹具座304另一侧的夹具导引轨道3052、一设于所述第三驱动单元3051与所述夹具导引轨道3052间的夹具座3053、一设于所述夹具座3053的底端面处的夹头驱动组3054、一活动设于所述夹头驱动组3054左侧的左夹爪3055及一活动设于所述夹头驱动组3054右侧的右夹爪3056，所述第三驱动单元3051能供带动所述夹具座3053沿着所述夹具导引轨道3052位移用，所述夹具导引轨道3052能供配合所述第三驱动单元3051以导引所述夹具座3053用，所述夹具座3053能供承载所述夹头驱动组3054用，所述夹头驱动组3054能供驱动所述左夹爪3055和所述右夹爪3056于相互远离、相互接近两状态间作转换用，所述左夹爪3055与所述右夹爪3056两者能相互配合以供夹持所述晶圆传送盒10用。

其中，通过第三驱动单元3051、夹具导引轨道3052、夹具座3053、夹头驱动组3054、左夹爪3055及右夹爪3056配合，组成夹具305，能以第三驱动单元3051和夹具导引轨道3052，来驱动和引导夹具座3053，让夹头驱动组3054与左夹爪3055、右夹爪3056，能稳定地被位移，以稳定的夹住对晶圆传送盒10，并能对晶圆传送盒10的进行顺利且稳定移动，机构简洁、维修方便。

请参阅图20，前述夹头驱动组3054，其还包括有一设于所述夹具座3053的底端面上的双向驱动单元3054a、一活动设置于所述双向驱动单元3054a左侧处的左作动块3054b、一活动设置于所述双向驱动单元3054a右侧处的右作动块3054c及一套设于所述双向驱动单元3054a外并与所述夹具座3053连接的壳体3054d，所述双向驱动单元3054a能同时带动所述左作动块3054b与所述右作动块3054c同时作动，所述左作动块3054b底端面还与所述左夹爪3055连接，能供带动所述左夹爪3055用，所述右作动块3054c底端面还与所述右夹爪3056连接，能供带动所述左夹爪3055用。

其中，通过双向驱动单元3054a、左作动块3054b、右作动块3054c及壳体3054d的配合，能以双向驱动单元3054a让左作动块3054b、右作动块3054c能双向同步稳定作动，如此一来，便能利用左作动块3054b与右作动块3054c，来让左夹爪3055、右夹爪3056，同时作动，在相互远离、相互靠近两状态间作转换，达到放下、夹住晶圆传送盒10的效果，而且维护时效短。

请参阅图23和图24，所述充氮头组402，其还包括有数个分别布设于所述承载盘401上的第一充氮头4021及至少两个分别对应于所述第一充氮头4021而设置于其外侧处的第二充氮头4022。

其中，通过第一充氮头4021、第二充氮头4022的应用，不但能提供不同充氮效果，如氮气的量、流速变化，以有效率地充氮，并且还能让本发明清洗系统200能配合不同厂商的晶圆传送盒10，有利于整体的推广应用。

以上依据图示所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆传送盒清洗设备，所述清洗设备(100)能应用于对晶圆传送盒(10)进行清洗用，其特征在于：

所述清洗设备(100)，其至少包括有至少一前机台(1)及一设于所述前机台(1)后侧端处的后机台(2)；

所述前机台(1)，其包含有一第一架体(11)、一设于所述第一架体(11)顶端前侧处的第一水平位移机构(12)、一对应于所述第一水平位移机构(12)设置于所述第一架体(11)顶端后侧处的翻转机构(13)、一对应于所述翻转机构(13)设置于第一架体(11)顶端后侧处的吸取装置(14)、一对应于所述吸取装置(14)设置的第一垂直位移机构(15)、一设于所述第一架体(11)底端后侧处的前清洗槽(16)、一设于所述第一架体(11)后侧处的前清洗装置(17)及一横向跨设于所述第一水平位移机构(12)上的第一隔离壁装置(18)；

所述第一水平位移机构(12)，其能带动所述晶圆传送盒(10)往所述翻转机构(13)方向位移；

所述翻转机构(13)，其能带动所述晶圆传送盒(10)的盒本体(10A)、翻转至所述后机台(2)处，并使所述盒本体(10A)的开口，由垂直转为水平状态；

所述吸取装置(14)能对所述晶圆传送盒(10)的门本体(10B)进行真空吸附定位，并使其拆下与所述盒本体(10A)分离；

所述第一垂直位移机构(15)，其能带动所述吸取装置(14)于对应所述晶圆传送盒(10)、对应所述前清洗槽(16)两状态间作转换，以一同带动被拆下的所述门本体(10B)；

所述前清洗槽(16)，其内具有一容纳空间(161)，所述容纳空间(161)前方设有一与其连通的开口(162)，而所述开口(162)能供定位容纳被所述吸取装置(14)所转移过来的所述门本体(10B)；

所述前清洗装置(17)，其设于所述容纳空间(161)内，具有一基座(171)、至少一设于所述基座(171)上的可动清洗单元(172)及两分别设于所述基座(171)两侧端处的干燥单元(173)，所述可动清洗单元(172)能对所述门本体(10B)进行清洗，所述干燥单元(173)能对所述门本体(10B)进行干燥动作；

所述第一隔离壁装置(18)，其能在所述第一水平位移机构(12)带动所述晶圆传送盒(10)往所述翻转机构(13)方向位移时开启，以供降低污染可能用；

所述后机台(2)，其包含有一对应于所述第一架体(11)后侧端设置的第二架体(21)、一设于所述第二架体(21)顶端的后清洗槽(22)、一设于所述后清洗槽(22)上方的后隔离装置(23)及一顶端设于所述后清洗槽(22)内位于所述后清洗槽(22)底端的后清洗装置(24)；

所述后清洗槽(22)，其能供容纳由所述翻转机构(13)所翻转移动过来的所述盒本体(10A)用；

所述后隔离装置(23)，其能供在所述翻转机构(13)将所述盒本体(10A)翻转移动过来后，将所述后清洗槽(22)封闭用；

所述后清洗装置(24)，其能被所述翻转机构(13)所翻转移动过来的所述盒本体(10A)所覆盖，并能供对所述盒本体(10A)内部进行清洗、干燥的动作用。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述翻转机构(13)，还包括有一对应于所述第一水平位移机构(12)设置于所述第一架体(11)顶端后侧处的翻转驱动装置(131)、一设于所述翻转驱动装置(131)左侧的左翻转支架(132)及一镜像设置于所述翻转驱动装置(131)右侧的右翻转支架(133)；

所述左翻转支架(132)，还包含有一底端与所述翻转驱动装置(131)左侧连接的左Y形支架(1321)、一间隔设于所述左Y形支架(1321)右侧的左L形支架(1322)、数支间隔设于所述左Y形支架(1321)与所述左L形支架(1322)间的左间隔杆(1323)及至少一设于所述左L形支架(1322)右侧面处的左定位组件(1324)，所述左Y形支架(1321)的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述左L形支架(1322)还相对应于所述左Y形支架(1321)顶端而设置，所述左定位组件(1324)能供定位所述晶圆传送盒(10)用；

所述右翻转支架(133)，还包含有一底端与所述翻转驱动装置(131)右侧连接的右Y形支架(1331)、一间隔设于所述右Y形支架(1331)左侧的右L形支架(1332)、数支间隔设于所述右Y形支架(1331)与所述右L形支架(1332)间的右间隔杆(1333)及至少一设于所述右L形支架(1332)左侧面处的右定位组件(1334)，所述右Y形支架(1331)的顶端一侧平行于水平面、另一侧垂直于水平面，所述右L形支架(1332)还相对应于所述右Y形支架(1331)顶端而设置，所述右定位组件(1334)能供定位所述晶圆传送盒(10)用。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述前清洗装置(17)，还包括有一转动装置(174)，所述转动装置(174)能带动所述可动清洗单元(172)转动；

所述可动清洗单元(172)，其一侧还间隔设有数个前清洗喷头(1721)；

所述后清洗装置(24)，其还包括有一设于所述后清洗槽(22)底端的第二驱动单元(241)、一设于所述后清洗槽(22)内的清洗单元(242)、一与所述第二驱动单元(241)可动连接的滑座(243)及一设于所述清洗单元(242)与所述滑座(243)间的连接柱(244)；

前述清洗单元(242)，还包括有一设于所述连接柱(244)顶端左侧的左清洗组合(2421)、一设于所述连接柱(244)顶端右侧的右清洗组合(2422)、一设所述左清洗组合(2421)与所述右清洗组合(2422)之间且位于所述连接柱(244)顶端的调整组件(2423)及一设于所述与所述连接柱(244)间的管道整合座(2424)；

所述左清洗组合(2421)与所述右清洗组合(2422)，其两者皆还包括有一座体(2421a)、一设于所述座体(2421a)顶端的倒L形干燥组件(2421b)、一形成于所述座体(2421a)与所述倒L形干燥组件(2421b)一侧间的凹陷部(2421c)及数个间隔排列于所述凹陷部(2421c)处的L形清洗喷头(2421d)；

所述调整组件(2423)，还具有两倒T形支架(a)、一左H形翼板(b)、一右H形翼板(c)、一横杆(d)、一跨接块(e)、一螺杆(f)及一定位单元(g)；前述倒T形支架(a)相应设于所述管道整合座(2424)顶端面的前侧与后侧边缘处，且各个所述倒T型支架(a)内还各具有一倒T形开槽(a1)；

前述左H形翼板(b)设于所述管道整合座(2424)顶端面左侧，一端设于所述倒T型支架(a)之间，另一端连接所述左清洗组合(2421)；

前述右H形翼板(c)设于所述管道整合座(2424)顶端面右侧，一端设于所述倒T型支架(a)之间，另一端连接所述右清洗组合(2422)，而所述左H形翼板(b)、所述右H形翼板(c)位于所述倒T型支架(a)之间的一端，还相互枢接，另所述左H形翼板(b)与各个所述倒T型支架(a)水平段相应端处，还分别通过一左限位杆(b1)滑动定位，另所述右H形翼板(c)与各个所述倒T型支架(a)水平段相应端处，还分别通过一右限位杆(c1)滑动定位；

前述横杆(d)设于所述左H形翼板(b)与所述右H形翼板(c)的枢接处，且两端还分别对应的所述倒T型支架(a)的所述倒T形开槽(a1)配合，而中央还垂直设有一连接块(d1)；

前述跨接块(e)设于所述倒T型支架(a)之间，且两端还分别对应的所述倒T型支架(a)顶端连接；前述螺杆(f)穿过所述跨接块(e)后与所述连接块(d1)与所述连接；

前述调整转轮(g)与所述螺杆(f)螺接，位于所述跨接块(e)与所述连接块(d1)间；

所述管道整合座(2424)，其还能供连接相应管路后、将气体和液体有效率地传输到所述左清洗组合(2421)、所述右清洗组合(2422)处。

4.根据权利要求3所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述后清洗槽(22)，还包括有一设于所述后清洗槽(22)前端侧与顶端侧处的倒L形开口(221)、一设于所述倒L形开口(221)前端侧处的前U形挡板(222)、一间隔设于所述前U形挡板(222)后侧处的后U形挡板(223)、一设于所述后清洗槽(22)顶端边缘处的外ㄇ形胶条(224)及一设于所述后清洗槽(22)顶端边缘且位于所述外ㄇ形胶条(224)内侧处的内ㄇ形胶条(225)；

前述倒L形开口(221)，其顶端侧内边缘相应于所述前U形挡板(222)顶端处，还分别凹设有一前凹陷部(2211)，而顶端侧内边缘相应于所述后U形挡板(223)处，亦还分别凹设有一后凹陷部(2212)；

前述前U形挡板(222)，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一前凹槽(2221)，而所述前U形挡板(222)封闭端顶边缘处，还卡设有一前隔离胶条(2222)；

前述后U形挡板(223)，其封闭端左、右两侧处，还分别凹设有一后凹槽(2231)，而所述后U形挡板(223)封闭端顶边缘处，还卡设有一后隔离胶条(2232)；

所述后隔离装置(23)，还包括有一设于所述后清洗槽(22)上方并对应于所述倒L形开口(221)的倒L型隔离板(231)、一设于所述后清洗槽(22)后侧端处的板垂直驱动单元(232)、两分别设于所述所述后清洗槽(22)相应侧处的板引导轨道(233)、一所述倒L型隔离板(231)顶端连接的牵引线(234)及一设于所述牵引线(234)自由端处的配重块(235)；

前述倒L型隔离板(231)，还具有一断面概呈H形的前垂直板体(2311)及一前端底面与所述前垂直板体(2311)顶端相接的水平板体(2312)，且所述前垂直板体(2311)前侧面底端处还延伸设有一前挡板(2311a)，而所述前垂直板体(2311)的前侧面边缘两侧处，还分别设有一前封闭胶条(2313)，另所述前垂直板体(2311)的后侧面边缘两侧处，还分别设有一后封闭胶条(2314)；

前述板垂直驱动单元(232)，其顶端还与所述倒L型隔离板(231)连接；

前述板引导轨道(233)，其顶端还分别与所述倒L型隔离板(231)相应侧处连接；

前述牵引线(234)，其与所述倒L型隔离板(231)顶端连接后，还往所述后清洗槽(22)后侧方向转绕，处延伸至所述后清洗槽(22)后侧处。

5.根据权利要求4所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述后机台(2)，其还包括有设于所述后清洗槽(22)内且对应于所述左翻转支架(132)的一左抵顶杆件(25)及对应于所述右翻转支架(133)的一右抵顶杆件(26)，所述左抵顶杆件(25)能供支撑由所述倒L形开口(221)处翻转入所述后清洗槽(22)内的所述左翻转支架(132)用，所述右抵顶杆件(26)能供支撑由所述倒L形开口(221)处翻转入所述后清洗槽(22)内的所述右翻转支架(133)用；

所述前隔离胶条(2222)，其由外至内还依序平行设有一倒U形胶条(22a)及一O形胶条(22b)，而所述倒U形胶条(22a)前侧端内侧面处还设有一倒勾条(22c)，能供配合定位所述前U形挡板(222)封闭端顶边缘上用；

所述后隔离胶条(2232)，其由外至内还依序平行设有一O形胶条(22b)及一倒U形胶条(22a)，而所述倒U形胶条(22a)后侧端内侧面处还设有一倒勾条(22c)，能供配合定位于所述后U形挡板(223)封闭端顶边缘上用；

所述前封闭胶条(2313)与所述后封闭胶条(2314)，其两者皆包括有一U形胶条(23a)及一平行设于所述U形胶条(23a)一侧且封闭端相互对接的3字形胶条(23b)，而所述U形胶条(23a)前侧端内侧面处还设有一倒勾部(23c)。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述左定位组件(1324)，还包括有一设于所述左L形支架(1322)水平段自由端处的左支撑块(1324a)、一设于所述左L形支架(1322)水平段中央处的左引导块(1324b)、一设于所述左L形支架(1322)垂直段中央处的左限位块(1324c)及一设于所述左L形支架(1322)垂直段自由端处的左挡块(1324d)；

所述右定位组件(1334)，还包括有一设于所述右L形支架(1332)水平段自由端处的右支撑块(1334a)、一设于所述右L形支架(1332)水平段中央处的右引导块(1334b)、一设于所述右L形支架(1332)垂直段中央处的右限位块(1334c)及一设于所述右L形支架(1332)垂直段自由端处的右挡块(1334d)。

7.根据权利要求6所述的晶圆传送盒清洗设备，其特征在于：所述第一水平位移机构(12)，还包括有一设于所述第一架体(11)顶端前侧处的第一位移驱动装置(121)及一设于所述第一位移驱动装置(121)顶端处的第一水平位移台座(122)，所述第一位移驱动装置(121)能供驱动所述第一水平位移台座(122)使其位移用，所述第一水平位移台座(122)能供承接定位所述晶圆传送盒(10)用；

所述吸取装置(14)，还具有分别设于所述吸取装置(14)前侧面两侧的两真空吸盘部(141)及两锁定头部(142)，所述真空吸盘部(141)两者还呈项对角线状设置、能供吸取所述门本体(10B)用，所述锁定头部(142)位于所述真空吸盘部(141)之间，能供锁定所述门本体(10B)用；

所述第一垂直位移机构(15)，还包括有一设于所述吸取装置(14)左侧的第一驱动单元(151)及一设于所述吸取装置(14)右侧的垂直引导轨道架(152)，所述第一驱动单元(151)能供带动所述吸取装置(14)垂直位移用，所述垂直引导轨道架(152)能供引导所述吸取装置(14)垂直位移用；

所述前清洗槽(16)，还包括有一前清洗槽壳体(163)及一容纳板体(164)，所述前清洗槽壳体(163)能配合所述容纳板体(164)、所述基座(171)以供构成所述容纳空间(161)，所述容纳板体(164)能供配合构成所述开口(162)用；

所述第一隔离壁装置(18)，还包括有一横向跨设于所述第一水平位移机构(12)上的第一隔离架体(181)、一垂直设于所述第一隔离架体(181)顶端处的第一壁板移动装置(182)及一活动设置于所述第一隔离架体(181)底端处且与所述第一壁板移动装置(182)一端连接的第一壁板(183)，所述第一壁板移动装置(182)能带动所述第一壁板(183)，使其能沿着所述第一隔离架体(181)上、下滑动位移。

8.一种晶圆传送盒清洗系统，所述清洗系统(200)能应用于对晶圆传送盒(10)进行洁净用，其特征在于：

所述清洗系统(200)，其至少包括有至少一如权利要求1至7中任一项所述的清洗设备(100)、至少一移动设备(300)、至少一充氮设备(400)及至少一暂存设备(500)；

所述移动设备(300)，其设于所述清洗设备(100)、所述充氮设备(400)及所述暂存设备(500)上方，并横跨前述三者，能带动被所述清洗设备(100)所清洁后的所述晶圆传送盒(10)，以进行位移；

所述充氮设备(400)，其设于所述清洗设备(100)一侧，能接收所述移动设备(300)自所述清洗设备(100)处所移动带来的所述晶圆传送盒(10)，以对其进行充氮的作业；

所述暂存设备(500)，其设于所述清洗设备(100)另一侧，能接收被所述移动设备(300)自所述充氮设备(400)处，所转移过来的所述晶圆传送盒(10)，以供暂存及输出用。

9.根据权利要求8所述的晶圆传送盒清洗系统，其特征在于：所述移动设备(300)，还包括有一设于所述清洗系统(200)顶端处且呈口字形的基板体(301)、一设于所述基板体(301)开口后侧边缘处的横向位移机构(302)、一设于所述基板体(301)开口前侧边缘处的横向引导轨道(303)、一跨设于所述横向位移机构(302)与所述横向引导轨道(303)上一侧的夹具座(304)、以及一设于所述夹具座(304)底端并穿过所述基板体(301)开口的夹具(305)，所述横向位移机构(302)能供带动所述夹具座(304)沿着所述横向引导轨道(303)移动位移用，所述横向引导轨道(303)能供引导所述夹具座(304)用，所述夹具座(304)能供一同带动所述夹具(305)用，所述夹具(305)能供夹持定位所述晶圆传送盒(10)用；

所述充氮设备(400)，还包括有一设于所述清洗设备(100)一侧的承载盘(401)、至少一设于所述承载盘(401)上的充氮头组(402)、数个设于所述承载盘(401)上的定位销(403)、以及数个分别对应所述定位销(403)而设置的感测单元(404)，所述承载盘(401)能供承载被所述移动设备(300)所移动过来的所述晶圆传送盒(10)用，所述充氮头组(402)能供对被所述移动设备(300)所移动过来的所述晶圆传送盒(10)进行充氮用，所述定位销(403)能供定位被所述移动设备(300)所移动过来的所述晶圆传送盒(10)用，所述感测单元(404)能供所述充氮设备(400)判断、被所述移动设备(300)所移动过来的所述晶圆传送盒(10)是否摆放正确用；

所述暂存设备(500)，还包括有一第三架体(501)、一设于所述第三架体(501)前端处的第二水平位移机构(502)及一横向跨设于所述第二水平位移机构(502)上的第二隔离壁装置(503)；

前述第二水平位移机构(502)，其能带动所述晶圆传送盒(10)往外界方向位移，其还包括有一设于所述第三架体(501)顶端前侧处的第二位移驱动装置(5021)及一设于所述第二位移驱动装置(5021)顶端处的第二水平位移台座(5022)，所述第二位移驱动装置(5021)能供驱动所述第二水平位移台座(5022)使其位移用，所述第二水平位移台座(5022)能供承接定位所述晶圆传送盒(10)用；

前述第二隔离壁装置(503)，还包括有一设于所述第二水平位移机构(502)上的第二隔离架体(5031)、一垂直设于所述第二隔离架体(5031)顶端处的第二壁板移动装置(5032)及一活动设置于所述第二隔离架体(5031)底端处且与所述第二壁板移动装置(5032)一端连接的第二壁板(5033)，所述第二壁板移动装置(5032)能带动所述第二壁板(5033)，使其能沿着所述第二隔离架体(5031)上、下滑动位移。

10.根据权利要求9所述的晶圆传送盒清洗系统，其特征在于：所述夹具(305)，还包括有一设于所述夹具座(304)一侧的第三驱动单元(3051)、一设于所述夹具座(304)另一侧的夹具导引轨道(3052)、一设于所述第三驱动单元(3051)与所述夹具导引轨道(3052)间的夹具座(3053)、一设于所述夹具座(3053)的底端面处的夹头驱动组(3054)、一活动设于所述夹头驱动组(3054)左侧的左夹爪(3055)及一活动设于所述夹头驱动组(3054)右侧的右夹爪(3056)，所述第三驱动单元(3051)能供带动所述夹具座(3053)沿着所述夹具导引轨道(3052)位移用，所述夹具导引轨道(3052)能供配合所述第三驱动单元(3051)以导引所述夹具座(3053)用，所述夹具座(3053)能供承载所述夹头驱动组(3054)用，所述夹头驱动组(3054)能供驱动所述左夹爪(3055)和所述右夹爪(3056)于相互远离、相互接近两状态间作转换用，所述左夹爪(3055)与所述右夹爪(3056)两者能相互配合以供夹持所述晶圆传送盒(10)用；

前述夹头驱动组(3054)，还包括有一设于所述夹具座(3053)的底端面上的双向驱动单元(3054a)、一活动设置于所述双向驱动单元(3054a)左侧处的左作动块(3054b)、一活动设置于所述双向驱动单元(3054a)右侧处的右作动块(3054c)及一套设于所述双向驱动单元(3054a)外并与所述夹具座(3053)连接的壳体(3054d)，所述双向驱动单元(3054a)能同时带动所述左作动块(3054b)与所述右作动块(3054c)同时作动，所述左作动块(3054b)底端面还与所述左夹爪(3055)连接，能供带动所述左夹爪(3055)用，所述右作动块(3054c)底端面还与所述右夹爪(3056)连接，能供带动所述左夹爪(3055)用；

所述充氮头组(402)，还包括有数个分别布设于所述承载盘(401)上的第一充氮头(4021)及至少两个分别对应于所述第一充氮头(4021)而设置于其外侧处的第二充氮头(4022)。

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