TWI632071B - 電子器件用之轉印裝置及電子器件用之轉印方法 - Google Patents

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北澤裕之
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Abstract

本發明係將校正版配置於載台之支持面上。校正版具有：於一方向排列之第1及第2對準標識，及於與一方向正交之另一方向排列之第3及第4對準標識。藉由第1相機拍攝於前後方向移動之第1及第2對準標識。基於其圖像將校正版之一方向設為與前後方向平行。基於第3及第4對準標識調整第2及第3相機之位置。經位置調整之第2及第3相機移動至轉印輥之下方位置，且藉由第2及第3相機拍攝形成於轉印輥之基準線。基於該等圖像，於與支持面平行之面內調整轉印輥之旋轉軸之方向。

Description

電子器件用之轉印裝置及電子器件用之轉印方法
本發明係關於電子器件用之轉印裝置及電子器件用之轉印方法。
於液晶顯示裝置、配線電路板等之製造步驟中，為了將電極及配線等圖案形成於各種基板，使用光微影技術。藉由光微影技術可高精度地形成細微之圖案。 近年來，提出一種取代光微影技術而使用導電性油墨之印刷技術，將電極及配線等圖案形成於基板上之方法。藉由使用印刷技術而降低形成圖案所需之步驟數。 為了形成圖案可使用平版印刷。於平板印刷中，自已上墨之版將油墨轉印至印刷布輥。其後，將經轉印之油墨自印刷布輥再次轉印至基板等對象物。關於平版印刷，已有提出用以使所要轉印之油墨圖案之尺寸精度提高之各種方法。 例如，專利文獻1所記載之平版印刷裝置包含版載台、印刷對象載台及印刷布輥。版載台及印刷對象載台各者可於導軌上獨立地於一方向移動地設置。印刷布輥設置於軌條上方之固定位置。 於進行平版印刷時，首先，於將版載置於版載台上之狀態下將版對準。又，於將對象物載置於印刷對象載台上之狀態下將對象物對準。接著，藉由將版載台朝一方向移動，將版上墨且輸送至印刷布輥之下方位置。藉由將版載台朝一方向移動且印刷布輥旋轉，將油墨自版轉印至印刷布輥。 接著，藉由將印刷對象載台朝一方向移動，將對象物輸送至印刷布輥之下方位置。藉由將對象物朝一方向移動且印刷布輥旋轉，再次將油墨自印刷布輥轉印至對象物。 於上述平版印刷裝置中，藉由將版及對象物分別對準，而抑制因向版載台安裝版之位置誤差及向印刷對象載台安裝對象物之位置誤差所致之油墨圖案之尺寸精度降低。 [專利文獻1]日本專利特開2010-280164號公報
[發明所欲解決之問題] 近年來，隨著器件之高密度化及高集成化，形成於基板上之圖案之細微化成為重要課題。因此，對藉由平版印刷形成於基板上之油墨圖案亦要求高尺寸精度。 本發明之目的在於提供一種可高精度地將構成電子器件之被轉印物轉印至對象物之所需之位置的電子器件用之轉印裝置及電子器件用之轉印方法。 [解決問題之技術手段] 平版印刷裝置之印刷後之油墨圖案之精度降低之原因，不限於向版載台安裝版之位置誤差及向印刷對象載台安裝對象物之位置誤差。本發明者於使用平版印刷技術之電子器件用之轉印裝置中，著眼於複數個構成要素間之組裝誤差，為抑制因組裝誤差所致之尺寸精度降低、及抑制因使用轉印裝置而經時性產生之尺寸誤差增大，故研發出以下發明。 (1)根據本發明一態樣之電子器件用之轉印裝置，其係可使用校正版校正，且將構成電子器件之被轉印物轉印至對象物之電子器件用之轉印裝置，該校正版具有於一方向排列之第1及第2對準標識、及於與一方向正交之另一方向排列之第3及第4對準標識；且該電子器件用之轉印裝置具備：載台，其具有可選擇性支持校正版及對象物之支持面；載台支持裝置，其可於與支持面平行且相互正交之第1及第2方向移動地支持載台，可繞與上述支持面正交之軸旋轉地支持載台；移動驅動部，其使載台支持裝置於第1、第2、第3及第4位置之間於第1方向移動；轉印輥，其具有旋轉軸，且具有可保持被轉印物並且包含與旋轉軸平行之基準線之外周面；軸支持部，其可繞旋轉軸旋轉地支持轉印輥；旋轉驅動部，其使轉印輥旋轉；第1攝像部，其具有包含第1基準指標之視野，且於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第1位置時拍攝第1對準標識，於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第2位置時拍攝第2對準標識，於支持校正版之載台位於第3位置時拍攝第3對準標識；第2攝像部，其具有包含第2基準指標之視野，且於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第3位置時拍攝第4對準標識；第3攝像部，其與載台支持裝置一起移動，且具有包含第3基準指標之視野，且於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第3位置時拍攝校正版之第3對準標識，於載台支持裝置位於第4位置時拍攝轉印輥之基準線；第4攝像部，其與載台支持裝置一起移動，且具有包含第4基準指標之視野，且於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第3位置時拍攝校正版之第4對準標識，於載台支持裝置位於第4位置時拍攝轉印輥之基準線；及顯示部，其顯示藉由第1、第2、第3及第4攝像部拍攝之圖像；第1及第2攝像部設置為可與載台支持裝置獨立地調整位置，第3及第4攝像部設置為可與載台相對地調整位置，轉印輥設置為至少於與支持面平行之面內可調整旋轉軸之方向。 於該轉印裝置中，於校正時將校正版支持於載台之支持面上。於將校正版支持於載台之狀態下當載台支持裝置位於第1位置時，將藉由第1攝像部拍攝之第1對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於第1位置時以第1基準指標位於第1對準標識上之方式與載台支持裝置獨立地調整第1攝像部之位置。 於將校正版支持於載台之狀態下當載台支持裝置位於第2位置時，將藉由第1攝像部拍攝之第2對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於第1位置時以第1基準指標位於第1對準標識上之方式、且於載台支持裝置位於第2位置時以第1基準指標位於第2對準標識上之方式，藉由載台支持裝置調整支持校正版之載台位置。於該情形時，由於第1及第2對準標識於校正版之一方向排列，故校正版之一方向相對於第1方向平行。又，校正版之另一方向相對於第2方向平行。 於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第3位置時，將藉由第1攝像部拍攝之第3對準標識之圖像顯示於顯示部，將藉由第2攝像部拍攝之第4對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於第3位置時，以第1基準指標位於第3對準標識上之方式與載台獨立地調整第1攝像部之位置。又，使用者可於載台支持裝置位於第3位置時，以第2基準指標位於第4對準標識上之方式與載台獨立地調整第2攝像部之位置。於該情形時，由於第3及第4對準標識於校正版之另一方向排列，故第1攝像部之第1基準指標與第2攝像部之第2基準指標於第2方向正確地排列。 於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第3位置時，將藉由第3攝像部拍攝之第3對準標識之圖像顯示於顯示部，將藉由第4攝像部拍攝之第4對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於第3位置時，以第3基準指標位於第3對準標識上之方式與載台相對地調整第3攝像部之位置。又，使用者可於載台支持裝置位於第3位置時，以第4基準指標位於第4對準標識上之方式與載台相對地調整第4攝像部之位置。於該情形時，由於第3及第4對準標識於校正版之另一方向排列，故第3攝像部之第3基準指標與第4攝像部之第4基準指標於第2方向正確地排列。 於藉由移動驅動部將載台支持裝置自第3位置移動至第4位置時，一面維持第3基準指標與第4基準指標之位置關係，一面將第3及第4攝像部與載台支持裝置一起於第1方向移動。 於載台支持裝置位於第4位置時，將藉由第3攝像部拍攝之轉印輥之基準線之圖像顯示於顯示部，將藉由第4攝像部拍攝之轉印輥之基準線之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於第4位置時，以第3基準指標位於轉印輥之基準線上之方式、且以第4基準指標位於轉印輥之基準線上之方式，於與支持面平行之面內調整轉印輥之旋轉軸的方向。於該情形時，由於第3攝像部之第3基準指標與第4攝像部之第4基準指標於第2方向正確地排列，故轉印輥之基準線相對於與第1方向正交之面平行。如此，降低因轉印裝置之複數個構成要素間之組裝誤差等所致之轉印輥之旋轉軸之偏移。藉此，可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 於轉印時將對象物支持於載台之支持面上。於對象物於對應於校正版之第3及第4對準標識之位置具有兩個對準標識之情形時，可使用該等2個對準標識調整對象物之位置。 例如，於支持著對象物之狀態下使載台支持裝置移動至第3位置。此時，將藉由第1攝像部拍攝之一個準標識之圖像顯示於顯示部，將藉由第2攝像部拍攝之另一對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可以第1基準指標位於一對準標識上之方式且第2基準指標位於另一對準標識上之方式，藉由載台支持裝置調整支持對象物之載台之位置。於該情形時，可於對象物中將2個對準標識排列之方向設為相對於與第1方向正交之面平行。 (2)電子器件用轉印裝置可進而具備：第1檢測部，其與載台支持裝置一起移動，且檢測第1檢測位置至轉印輥之外周面之距離；及第2檢測部，其與載台支持裝置一起移動，且檢測第2檢測位置至轉印輥之外周面之距離；第1檢測位置與第2檢測位置相互隔開地位於於第2方向延伸之共通之線上，且轉印輥設置為可進而於與第2方向及與支持面正交之第3方向平行之面內調整旋轉軸之方向。 於該情形時，藉由將載台支持裝置於第1方向移動，可藉由第1檢測部檢測第1方向上之複數個第1檢測位置至轉印輥之外周面之距離。藉此，可取得載台支持裝置於第1方向移動時之第1檢測部至轉印輥之外周面的最短距離。 又，藉由將載台支持裝置於第1方向移動，可藉由第2檢測部檢測第1方向之複數個第2檢測位置至轉印輥之外周面之距離。藉此，可取得載台支持裝置於第1方向移動時之第2檢測部至轉印輥之外周面的最短距離。 第1檢測位置與第2檢測位置相互隔開地位於於第2方向延伸之共通之線上。藉此，使用者能夠以第1檢測位置至轉印輥之外周面之最短距離與第2檢測位置至轉印輥之外周面之最短距離一致之方式，於與第2及第3方向平行之面內調整轉印輥之旋轉軸之方向。於該情形時，藉由分別將第1及第2檢測位置設定於支持面上，可將轉印輥之旋轉軸之軸心設為與支持面平行。藉此，轉印輥之基準線相對於支持面平行。因此，藉由於該狀態下進行上述校正，可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 (3)將被轉印物保持於可裝卸於轉印輥地構成之片狀構件，片狀構件具有第5及第6對準標識，轉印輥之外周面包含於與旋轉軸平行之方向排列之第7及第8對準標識，轉印裝置進而具備：第5攝像部，其具有包含第5基準指標之視角，且於未將片狀構件安裝於轉印輥之狀態下於轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝第7對準標識，於將片狀構件安裝於轉印輥之狀態下於轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝第5對準標識；及第6攝像部，其具有包含第6基準指標之視野，且於未將片狀構件安裝於轉印輥之狀態下於轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝第8對準標識，於將片狀構件安裝於轉印輥之狀態下於轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝第6對準標識；顯示部進而顯示藉由第5及第6攝像部拍攝之圖像，第5及第6攝像部設置為可與轉印輥獨立地調整位置。 於該情形時，於校正時在未安裝片狀構件之狀態下當轉印輥位於預設之旋轉角度時，將藉由第5攝像部拍攝之第7對準標識之圖像顯示於顯示部，將藉由第6攝像部拍攝之第8對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於轉印輥位於預設之旋轉角度時以第5基準指標位於第7對準標識上之方式與轉印輥獨立地調整第5攝像部之位置。又，使用者可於轉印輥位於預設之旋轉角度時以第6基準指標位於第8對準標識上之方式與轉印輥獨立地調整第6攝像部之位置。於該情形時，由於第7及第8對準標識於與旋轉軸平行之方向排列，故第5攝像部之第5基準指標與第6攝像部之第6基準指標於旋轉軸之方向正確地排列。 其後，於轉印時安裝片狀構件之狀態下於轉印輥位於預設之旋轉角度時，將藉由第5攝像部拍攝之第5對準標識之圖像顯示於顯示部，將藉由第6攝像部拍攝之第6對準標識之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可檢測第5基準指標與第5對準標識間之偏移量。又，使用者可檢測第6基準指標與第6對準標識間之偏移量。該等偏移量即為將被轉印物自片狀構件向對象物轉印時之誤差。因此，使用者能夠以將檢測出之偏移量抵消之方式，修正藉由載台支持之對象物之位置、或修正旋轉輥之旋轉狀態及載台之移動狀態等轉印條件。 (4)電子器件用轉印裝置具有：複數個轉印輥，軸支持部以可旋轉地分別支持複數個轉印輥之方式構成，旋轉驅動部以使複數個轉印輥各自旋轉之方式構成，第4位置可設定為分別對應於複數個轉印輥之複數個位置。 於該情形時，於載台支持裝置位於各第4位置時，將藉由第3攝像部拍攝之各轉印輥之基準線之圖像顯示於顯示部，將藉由第4攝像部拍攝之各轉印輥之基準線之圖像顯示於顯示部。藉此，使用者可於載台支持裝置位於各第4位置時以第3基準指標位於轉印輥之基準線上且第4基準指標位於各轉印輥之基準線上之方式，於與支持面平行之面內調整各轉印輥之旋轉軸方向。藉此，各轉印輥之基準線相對於與第1方向正交之面平行。因此，降低各轉印輥之旋轉軸之偏移。藉此，可使用複數個轉印輥高精度地將複數個被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 (5)根據本發明另一態樣之電子器件用之轉印方法包含以下步驟：準備上述電子器件用之轉印裝置；校正轉印裝置；及使用校正後之轉印裝置將被轉印物轉印至對象物；且校正步驟包含以下步驟：將校正版配置於載台之支持面上；於將校正版支持於載台之狀態下使載台支持裝置移動至第1位置，且使藉由第1攝像部拍攝之第1對準標識之圖像顯示於顯示部；於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第1位置時，以第1攝像部之第1基準指標位於第1對準標識上之方式調整第1攝像部之位置；於調整第1攝像部之位置之步驟之後，於將校正版支持於載台之狀態下使載台支持裝置移動至第2位置，且使藉由第1攝像部拍攝之第2對準標識之圖像顯示於顯示部；於調整第1攝像部之位置之步驟之後，於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第1位置時以第1攝像部之第1基準指標位於第1對準標識上、且於將校正版支持於載台之狀態下於載台支持裝置位於第2位置時以第1攝像部之第1基準指標位於第2對準標識上之方式，藉由載台支持裝置調整支持校正版之載台之位置；於調整載台之位置之步驟之後，於將校正版支持於載台之狀態下使載台支持裝置移動至第3位置且使藉由第1攝像部拍攝之第3對準標識之圖像、藉由第2攝像部拍攝之第4對準標識之圖像、藉由第3攝像部拍攝之第3對準標識之圖像、及藉由第4攝像部拍攝之第4對準標識之圖像顯示於顯示部；於使第1至第4對準標識之圖像顯示於顯示部之步驟之後，以第1攝像部之第1基準指標位於第3對準標識上之方式調整第1攝像部之位置，以第2攝像部之第2基準指標位於第4對準標識上之方式調整第2攝像部之位置，以第3攝像部之第3基準指標位於第3對準標識上之方式調整第3攝像部與載台之相對位置關係，以第4攝像部之第4基準指標位於第4對準標識上之方式調整第4攝像部與載台之相對位置關係；於調整第1至第4攝像部之步驟之後，於將校正版自載台卸除之狀態下使載台支持裝置移動至第4位置且使藉由第3攝像部拍攝之轉印輥之基準線之圖像、及藉由第4攝像部拍攝之轉印輥之基準線之圖像顯示於顯示部；及於使基準線之圖像顯示之步驟之後，以第3攝像部之第3基準指標位於基準線上之方式且第4攝像部之第4基準指標位於基準線上之方式，於與支持面平行之面內調整轉印輥之旋轉軸之方向。 於該轉印方法中，準備上述電子器件用之轉印裝置，並校正準備之轉印裝置。使用校正後之轉印裝置將被轉印物轉印至對象物。 根據上述轉印裝置之校正程序，以第3攝像部之第3基準指標與第4攝像部之第4基準指標於第2方向正確排列之方式調整。基於第3基準指標與第4基準指標於與支持面平行之面內調整轉印輥之旋轉軸之方向。藉此，轉印輥之基準線相對於與第1方向正交之面平行。因此，降低因轉印裝置之複數個構成要素間之組裝誤差等所致之轉印輥之旋轉軸之偏移。其結果，可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 [發明之效果] 根據本發明可高精度地將構成電子器件之被轉印物轉印至對象物之所需之位置。
以下，就本發明一實施形態之電子器件用之轉印裝置及電子器件用之轉印方法，一面參照圖式一面說明。於以下之說明中，轉印是指將構成電子器件之功能性材料或構成電子器件之電子零件之一部分或全部，作為被轉印物轉印至對象物。作為構成電子器件之功能性材料，列舉例如銀奈米油墨等導電性油墨、或用於相互積層之複數層之間之絕緣的絕緣膜材料等。又，作為電子零件，列舉特定之元件或安裝有特定之元件之晶片等。 [1]電子器件用之轉印裝置之基本構成 圖1係本發明一實施形態之電子器件用之轉印裝置之外觀立體圖，圖2係圖1之轉印裝置100之模式性側視圖。於圖1中，為了易於理解轉印裝置100之內部構造，以虛線表示複數個構成要素中之一部分。於圖2中，省略圖1之轉印裝置100中之一部分構成要素之圖示。 如圖1所示，轉印裝置100具有以於一方向延伸之方式形成之台座部1。於轉印裝置100中，將前後方向D1定義為台座部1延伸之方向。又，將左右方向D2定義為與前後方向D1正交之方向，將上下方向D3定義為與前後方向D1及左右方向D2正交之方向。再者，將以平行於上下方向D3之軸為中心旋轉之方向設為θ方向。 於本例中，前後方向D1及左右方向D2於水平面內正交。於以下之說明中，於前後方向D1中將箭頭所朝之方向稱為前方，將其相反方向稱為後方。又，於左右方向D2中將箭頭所朝之方向稱為左方，將其相反之方向稱為右方。又，於上下方向D3中將箭頭所朝之方向稱為上方，將其相反之方向稱為下方。 於台座部1之後端，設置控制裝置6。於控制裝置6，連接顯示部7及操作部8。控制裝置6、顯示部7及操作部8之細節如後述。 於台座部1上，以於前後方向D1延伸之方式設置具有長方體形狀之2個本體基座2。2個本體基座2以相隔一定間隔而平行排列之方式配置。於2個本體基座2上分別安裝2條軌條3。將2條軌條3以於相同高度平行排列且於前後方向D1延伸之方式水平地固定。於2條軌條3上以於前後方向D1排列之方式設置2個載台裝置200。各載台裝置200可於軌條3延伸之方向(前後方向D1)移動地構成。 具體而言，載台裝置200係如圖2所示，主要由載台201、載台支持裝置210及移動驅動部220構成。移動驅動部220包含於軌條3上移動之搬送台220B。又，移動驅動部220具有使搬送台220B於前後方向D1移動之未圖示之驅動部。於移動驅動部220，設置有用以檢測前後方向D1之載台裝置200之位置的編碼器。編碼器之輸出信號被賦予至控制裝置6。 於搬送台220B上設置載台支持裝置210，於載台支持裝置210上設置載台201。載台201由大致正方形狀之板狀構件構成，且具有朝向上方之支持面201a。支持面201a係與前後方向D1及左右方向D2平行，且形成為可選擇性支持應轉印被轉印物之平板狀之對象物、平板狀之版及後述之校正版CP。另，載台201亦可構成為可於支持面201a上吸附保持對象物、版及校正版CP。或者，載台201亦可構成為可夾持對象物、版及校正版CP。 載台支持裝置210可相對於搬送台220B於前後方向D1及左右方向D2移動地支持載台201，且可相對於搬送台220B於θ方向旋轉地支持載台201。又，載台支持裝置210具有：未圖示之驅動部，其使載台201相對於搬送台220B於前後方向D1及左右方向D2移動且使載台201相對於搬送台220B於θ方向旋轉。於載台支持裝置210，設置複數個編碼器，其等用以檢測載台201相對於搬送台220B於前後方向D1及左右方向D2移動之移動量，以及載台201相對於搬送台220B於θ方向旋轉之旋轉量。複數個編碼器之輸出信號被賦予至控制裝置6。 如圖1所示，以夾著前後方向D1之台座部1之大致中央部分之方式，設置2個輥支持裝置331、332。輥支持裝置331、332一體固定於台座部1。於輥支持裝置331、332之間設置轉印輥310。轉印輥310具有旋轉軸320，且具有可保持被轉印物之外周面。 於轉印輥310之外周面之一部分，以於與旋轉軸320平行之方向排列之方式設置有對準標識RA1、RA2及基準線RL。基準線RL位於對準標識RA1、RA2之間，且與旋轉軸320平行地延伸。對準標識RA1、RA2及基準線RL可藉由例如切削轉印輥310之外周面而形成，可藉由對轉印輥310之外周面實施雷射加工而形成，亦可由塗料形成。 輥支持裝置331、332各自可旋轉地受支持轉印輥310之旋轉軸320之一端部及另一端部。又，各輥支持裝置331、332具有升降驅動部341(後述之圖3)及旋轉驅動部351(後述之圖3)。 升降驅動部341(圖3)係如圖1中以空白箭頭A1、A2所示般，可旋轉地支持旋轉軸320之各端部，且使各端部之支持位置於上下方向D3移動。於升降驅動部341中，設置用以檢測旋轉軸320之各端部的支持位置之上下方向D3的移動量之編碼器。編碼器之輸出信號被賦予至控制裝置6。藉由各自獨立地控制輥支持裝置331、332之升降驅動部341(圖3)，可於與左右方向D2及上下方向D3平行之面內調整旋轉軸320之方向。 旋轉驅動部351(圖3)係使轉印輥310旋轉。於旋轉驅動部351中，設置用以檢測旋轉軸320之旋轉角度之變化量之編碼器。編碼器之輸出信號被賦予至控制裝置6。 於輥支持裝置332設置有構成為可由使用者操作之旋轉軸調整機構340。旋轉軸調整機構340如圖1中以空白箭頭A3所示般，可使輥支持裝置332之旋轉軸320之另一端部之支持位置於前後方向D1移動。藉由操作旋轉軸調整機構340，可於與支持面201a(圖2)平行之面內調整旋轉軸320之方向。 於較轉印輥310更後方之位置，以自左右方向D2及上方包圍於軌條3上移動之載台裝置200之移動路徑之方式設置第1本體部4。第1本體部4一體固定於台座部1。於第1本體部4設置複數個(於本例中為4個)相機11、12、31、32。作為相機11、12、31、32，使用例如具有固定倍率之對物透鏡之CCD(電荷耦合元件)相機。 第1本體部4可與載台裝置200及轉印輥310獨立調整位置地支持相機11、12各者。如圖2所示，相機11、12各者基本上以視角AA自載台裝置200之移動路徑之上方朝向下方之方式配置。又，如圖1所示，第1本體部4可與載台裝置200及轉印輥310獨立位置調整地支持相機31、32各者。如圖2所示，相機31、32各者基本上以視角AC朝向轉印輥310之外周面之一部分且自後方朝向前方之方式配置。 如圖1所示，於較轉印輥310更前方之位置，以自左右方向D2及上方包圍於軌條3上移動之載台裝置200之移動路徑之方式設置有第2本體部5。第2本體部5一體固定於台座部1。於第2本體部5設置有複數個(於本例中為2個)相機11、12。第2本體部5與第1本體部4同樣地，可與載台裝置200及轉印輥310獨立位置調整地支持相機11、12各者。 如圖1所示，於2個載台裝置200各者，設置複數個(於本例中為2個)相機21、22及複數個(於本例中為2個)雷射變位計91、92。作為相機21、22，可使用例如具有固定倍率之對物透鏡之CCD相機。 於各載台裝置200之載台201，於相互對向之2個側邊部中央設置有U字型之缺口U。載台201例如以2個缺口U於左右方向D2排列之方式由載台支持裝置210支持。 雷射變位計91、92以位於2個缺口U之內側之方式各自固定於載台201。雷射變位計91、92各者為反射型雷射變位計，且具有出射部及受光部。出射部朝向上方出射雷射光。受光部接收自上方朝向下方反射之雷射光，且以一定週期將表示雷射光出射之位置至雷射光反射之位置之距離的輸出信號賦予至控制裝置6。 於本實施形態中，針對雷射變位計91於支持面201a(圖2)上設定高度基準位置。於將雷射變位計91之高度基準位置設定於支持面201a上時，以覆蓋雷射變位計91上方之方式將平板配置於支持面201a。平板具有預設之平面度。於該狀態下，藉由使雷射光自雷射變位計91之出射部出射，可基於雷射變位計91之輸出信號而算出雷射變位計91至支持面201a之距離。將與算出之距離對應之上下方向D3之位置設為高度基準位置。藉此，於自支持面201a卸除平板之狀態下，可算出高度基準位置至雷射變位計91反射之雷射光之位置的距離，即支持面201a至雷射變位計91反射之雷射光之位置的距離。對於雷射變位計92亦與雷射變位計91之例同樣地，於支持面201a上設定高度基準位置。 於載台201上未支持對象物、版及校正版CP之任一者之狀態下，使一載台裝置200於前後方向D1以一定速度移動。於該情形時，於雷射變位計91、92各者通過轉印輥310下方時，自各雷射變位計91、92出射之雷射光於前後方向D1掃描轉印輥310之外周面上。 藉此，於前後方向D1之複數個位置檢測各雷射變位計91、92之高度基準位置至轉印輥310之外周面之距離。因此，可取得將載台裝置200於前後方向D1移動時之雷射變位計91之高度基准位置至轉印輥310之外周面的最短距離。又，可取得將載台裝置200於前後方向D1移動時之雷射變位計92之高度基准位置至轉印輥310之外周面的最短距離。 以位於共通的水平面內(支持面201a)之方式調整雷射變位計91、92之高度基準位置。於該情形時，可將藉由雷射變位計91檢測出之最短距離視為包含雷射變位計91之移動路徑之鉛直面內之轉印輥310之下端部高度。又，可將藉由雷射變位計92檢測出之最短距離視為包含雷射變位計92之移動路徑之鉛直面內之轉印輥310之下端部高度。 於將雷射變位計91、92以於左右方向D2排列且分開之方式配置之狀態下，由雷射變位計91檢測出之下端部高度與由雷射變位計92檢測出之下端部高度有時會有所不同。於該情形時，很有可能是轉印輥310之軸心相對於支持面201a(圖2)傾斜。於此種情形時，控制輥支持裝置331、332之升降驅動部341(圖3)而調整旋轉軸320之一端部及另一端部之高度。藉此，可將藉由雷射變位計91、92檢測出之下端部高度設為相等，且將轉印軸310之軸心設為與支持面201a平行。 於自上方觀察載台裝置200之情形時，相機21、22以位於載台201之缺口U之內側之方式設置於移動驅動部220上。更具體而言，各相機21、22係如圖2所示，隔著調整機構23而設置於移動驅動部220之搬送台220B上。調整機構23可相對於搬送台220B於前後方向D1及左右方向D2移動地支持各相機21、22。 藉由調整機構23支持之各相機21、22係與載台支持裝置210一起於前後方向D1移動。相機21、22各者基本上以視角AB自下方朝向上方之方式配置。 圖1之控制裝置6包含例如CPU(中央運算處理裝置)及記憶體。於記憶體中記憶系統程式，且記憶轉印條件等各種資料。CPU執行記憶於記憶體之系統程式，而控制轉印裝置100之各構成要素之動作。 顯示部7由例如LCD(液晶顯示器)面板或有機EL(電致發光)面板構成。操作部8包含滑鼠等指向器件及鍵盤，且由使用者操作而用以將特定之資訊輸入控制裝置6或下達特定之動作指令。 圖3係顯示圖1之轉印裝置100之控制系統之方塊圖。如圖3所示，將來自相機11、12之輸出信號賦予至控制裝置6。將來自相機21、22之輸出信號賦予至控制裝置6。將來自相機31、32之輸出信號賦予至控制裝置6。控制裝置6產生分別對應於自相機11、12、21、22、31、32賦予之複數個輸出信號之複數筆圖像資料。 控制裝置6可將產生之複數筆圖像資料記憶於內部之記憶體。又，控制裝置6可將基於所產生之複數筆圖像資料之複數張圖像顯示於顯示部7。 如上所述，將來自雷射變位計91、92之輸出信號賦予至控制裝置6。控制裝置6基於自雷射變位計91、92各者賦予之輸出信號，算出雷射變位計91、92各者之高度基準位置至雷射光反射之位置的距離，且使算出之距離資訊作為例如高度資訊而顯示於顯示部7。 於控制裝置6，基於使用者對操作部8之操作而下達與載台裝置200相關之動作指令。控制裝置6基於被賦予之指令以及來自載台裝置200之編碼器之輸出信號，控制載台支持裝置210及移動驅動部220之移動。此時，控制裝置6使前後方向D1上之載台裝置200之位置顯示於顯示部7。 於控制裝置6，基於使用者對操作部8之操作而下達與輥支持裝置331、332相關之動作指令。於該情形時，控制裝置6基於被賦予之指令以及來自輥支持裝置331、332之編碼器之輸出信號，控制升降驅動部341及旋轉驅動部351之動作。 再者，於控制裝置6，基於使用者對操作部8之操作而輸入向對象物轉印之被轉印物之轉印條件。於該情形時，控制裝置6將輸入之轉印條件資料記憶於內部之記憶體。又，控制裝置6基於記憶之轉印條件，控制載台裝置200之移動驅動部220及輥支持裝置331、332之旋轉驅動部351。另，控制裝置6可取代CPU及記憶體而由微電腦構成。 [2]電子器件用之轉印裝置之使用例 (校正) 於本實施形態之轉印裝置100中，為了將被轉印物正確地轉印至對象物之設計上之位置，使用校正版及上述相機11、12、21、22、31、32進行校正。 針對校正版CP進行說明。圖4係校正版之俯視圖。校正版CP具有與對象物相同之外形。如圖4所示，校正版CP由透明部CP1及框部CP2構成。透明部CP1具有矩形狀，且由例如玻璃或丙烯酸樹脂等透明之材料形成。框部CP2以包圍透明部CP1且具有與對象物相同之外形之方式形成，且支持透明部CP1。又，框部CP2係例如由鋁等金屬材料形成。 於透明部CP1之四個角落附近，分別設置有4個對準標識M1、M2、M3、M4。於透明部CP1之一對短邊之中央部附近分別設置有2個對準標識M11、M12。 設置於透明部CP1之一短邊附近之2個對準標識M1、M2及一個對準標識M11於與該短邊平行之一方向排列。於2個對準標識M1、M2與一個對準標識M11之間，分別設置有於一方向延伸之2條直線狀標識線CL。 設置於透明部CP1之另一短邊附近之2個對準標識M3、M4及一個對準標識M12於與該短邊平行之一方向排列。於2個對準標識M3、M4與一個對準標識M12之間，亦分別設置有於一方向延伸之2條直線狀標識線CL。 2個對準標識M11、M12平行地排列於一對長邊。即，2個對準標識M11、M12於與上述一方向正交之另一方向排列。於2個對準標識M11、M12之間，設置有於另一方向延伸之一個直線狀標識CL。 於相機11、12之視角AA、相機21、22之視角AB及相機31、32之視角AC各者，設定有基準指標。圖5係顯示設定於各相機11、12、21、22、31、32之視角AA、AB、AC之基準指標之一例之圖。 如圖5所示，基準指標VP設定於例如各視角AA、AB、AC之中心。於各相機11、12、21、22、31、32中，將基準指標VP標記於對物透鏡。於該情形時，使用者於將藉由各相機11、12、21、22、31、32取得之圖像顯示於顯示部7之狀態下，可容易地掌握基準指標VP與存在於各視角AA、AB、AC內之物體(例如校正版CP之對準標識M1、M2等)的位置關係。 說明用以於後方之載台裝置200與轉印輥310之間進行正確之轉印之校正程序。圖6～圖11係用以說明轉印裝置100之校正程序之一例之圖。於圖6、圖8、圖9及圖11中，除去一部分構成要素且以外觀立體圖顯示校正程序之轉印裝置100之複數個狀態。 首先，如圖1所示，使前方之載台裝置200朝較轉印輥310更前方且軌條3之前端或其附近位置移動。又，使後方之載台裝置200朝與轉印輥310於後方隔開預設的距離之初始位置移動。 於載台201上未支持對象物、版及校正版CP之任一者之狀態下，以通過轉印輥310之下方空間之方式使後方之載台裝置200以一定速度於前後方向D1移動。基於設置於後方之載台裝置200之雷射變位計91、92之輸出信號，檢測轉印輥310的下端部之複數個部分之高度。若轉印輥310之軸心相對於支持面201a(圖2)傾斜之情形時，藉由調整旋轉軸320之一端部及另一端部之高度，將轉印輥310之軸心設為與支持面201a(圖2)平行。 如上所述，將前後方向D1之載台裝置200之位置顯示於顯示部7。此時，使用者將雷射變位計91、92位於轉印輥310之下端部下方時之載台裝置200之前後方向D1之位置定為下端部對向位置。又，記錄決定之下端部對向位置。其後，使後方之載台裝置200向初始位置移動。 接著，如圖6所示，將校正版CP配置於後方之載台裝置200之載台201上。因此，以2個對準標識M11、M12(圖4)分別位於載台201之2個缺口U上之方式，目測調整校正版CP之位置。藉此，對準標識M1、M11、M2大致於前後方向D1排列。又，對準標識M4、M12、M3大致於前後方向D1排列。再者，對準標識M11、M12大致於左右方向D2排列。 於該狀態下，使藉由相機11取得之圖像顯示於顯示部7。使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以相機11之基準指標VP(圖5)位於複數個對準標識M1～M4、M11、M12中之一個對準標識M1上之方式，將相機11定位。其後，使載台裝置200於前後方向D1移動，並向與初始位置隔開之隔開位置移動。 於圖7(a)顯示支持校正版CP之載台裝置200位於初始位置時之相機11之視角AA與校正版CP之位置關係的一例。於圖7(b)顯示支持校正版CP之載台裝置200位於隔開位置時之相機11之視角AA與校正版CP之位置關係的一例。於圖7(c)顯示支持校正版CP之載台裝置200位於初始位置時之相機11之視角AA與校正版CP之位置關係的另一例。於圖7(d)顯示支持校正版CP之載台裝置200位於隔開位置時之相機11之視角AA與校正版CP之位置關係的另一例。 如上所述，於校正版CP中，將2個對準標識M1、M2於一方向排列，且將2個對準標識M3、M4於一方向排列。因此，於校正版CP之一方向與前後方向D1平行之情形時，藉由載台裝置200於前後方向D1移動，相機11之基準指標VP相對於校正版CP之一方向平行地移動。其結果，相機11之基準指標VP如圖7(a)、(b)所示，於初始位置位於對準標識M1上，於隔開位置位於對準標識M2上。 另一方面，於校正版CP之一方向與前後方向D1非為平行之情形時，藉由載台裝置200於前後方向D1移動，而相機11之基準指標VP於與校正版CP之一方向交叉之方向移動。其結果，相機11之基準指標VP如圖7(c)、(d)所示，於初始位置位於對準標識M1上，而於隔開位置自對準標識M2偏移。 使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以相機11之基準指標VP於初始位置位於對準標識M1上且於隔開位置位於對準標識M2上之方式，調整載台201相對於搬送台220B(圖2)之前後方向D1之位置、左右方向D2之位置及θ方向之旋轉角度。藉此，將2個對準標識M1、M2於前後方向D1排列，且將2個對準標識M3、M4於前後方向D1排列。又，將2個對準標識M11、M12於左右方向D2排列。即，以校正版CP之一方向與前後方向D1平行且校正版CP之另一方向與左右方向D2平行之方式，定位校正版CP。 於排列於一方向之2個對準標識M1、M2之間移動相機11之基準指標VP之情形時，相機11之基準指標VP通過位於2個對準標識M1、M2之間之對準標識M11上。此時，如圖8所示，以相機11之基準指標VP位於對準標識M11上之方式，使後方之載台裝置200於前後方向D1移動。將移動後之載台裝置200之位置稱為載台基準位置。 於該狀態下，使藉由相機12取得之圖像顯示於顯示部7。使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以相機12之基準指標VP位於對準標識M12上之方式定位相機12。於該情形時，由於2個對準標識M11、M12於左右方向D2排列，故2個相機11、12之2個基準指標VP於左右方向D2正確地排列。 接著，使藉由相機21、22取得之2張圖像各自顯示於顯示部7。使用者目測確認顯示於顯示部7之圖像，且以相機21之基準指標VP位於對準標識M11上之方式定位相機21。又，使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以相機22之基準指標VP位於對準標識M12上之方式定位相機22。藉此，將2個相機21、22之2個基準指標VP於左右方向D2正確地排列。 接著，如圖9所示，自後方之載台裝置200上卸除校正版CP。又，於載台201上未支持對象物、版及校正版CP之任一者之狀態下，使載台裝置200自載台基準位置向以上述程序記錄之下端部對向位置移動。再者，以對準標識RA1、RA2及基準線RL位於轉印輥310之外周面下端部之方式，使轉印輥310旋轉。於轉印輥310中，將基準線RL位於轉印輥310之外周面下端部時之旋轉軸320之旋轉角度設定為基準角度。 此處，雷射變位計91、92分別設置於相機21、22附近。因此，於載台裝置200位於下端部對向位置之情形時，轉印輥310之下端部位於相機21、22之視角AB(圖2)內。於該狀態下，使藉由相機21、22取得之2張圖像各自顯示於顯示部7。 於圖10(a)顯示載台裝置200位於下端部對向位置時之相機21、22之視角AB與轉印輥310之基準線RL之位置關係的一例。於圖10(b)顯示載台裝置200位於下端部對向位置時之相機21、22之視角AB與轉印輥310之基準線RL之位置關係的另一例。於圖10(a)、(b)中，以自下方觀察之狀態顯示轉印輥310之外周面。於本實施形態中，設置於轉印輥310之外周面之基準線RL之長度，長於圖4之校正版CP之2個對準標識M11、M12之間的距離。 使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以例如兩個相機21、22中之一相機21之基準指標VP位於基準線RL上之方式調整載台裝置200之前後方向D1之位置。於該情形時，由於2個相機21、22之2個基準指標VP於左右方向D2排列，故當轉印輥310之軸心相對於與前後方向D1正交之面平行之情形時，如圖10(a)所示，相機21、22之2個基準指標VP皆位於基準線RL上。相對於此，於轉印輥310之軸心相對於與前後方向D1正交之面傾斜之情形時，如圖10(b)所示，即便一相機21之基準指標VP位於基準線RL上，另一相機22之基準指標VP仍自基準線RL偏移。 對此，使用者以相機21、22之2個基準指標VP皆位於基準線RL上之方式，藉由旋轉軸調整機構340使旋轉軸320之另一端部之支持位置於前後方向D1移動。即，於與支持面201a平行之面內調整轉印輥310之旋轉軸320之方向。或者，使用者於藉由相機21、22取得之圖像上以前後方向D1之基準線RL至相機21、22之基準指標VP之距離相等之方式，藉由旋轉軸調整機構340使旋轉軸320之另一端部之支持位置於前後方向D1移動。藉此，轉印輥310之軸心成為相對於與前後方向D1正交之面平行。 接著，如圖11所示，使後方之載台裝置200移動至載台基準位置。又，以對準標識RA1、RA2及基準線RL朝向預設之方向之方式，使轉印輥310自基準角度朝預設之方向旋轉之方式，使轉印輥310自基準角度旋轉至預設之旋轉角度。將此時之轉印輥310之預設之旋轉角度稱為拍攝角度。於本例中，於轉印輥310位於拍攝角度之狀態下，對準標識RA1、RA2及基準線RL朝向後方。 於該狀態下，使藉由相機31、32取得之圖像顯示於顯示部7。使用者一面目測確認顯示於顯示部7之圖像，一面以相機31之基準指標VP(圖5)位於轉印輥310之對準標識RA1上之方式定位相機31。又，使用者以相機32之基準指標VP(圖5)位於轉印輥310之對準標識RA2上之方式定位相機32。藉此，於轉印輥310之軸心與第2方向平行之情形時，2個相機31、32之2個基準指標VP於左右方向D2正確地排列。藉此，完成於後方之載台裝置200與轉印輥310之間用以進行正確之轉印之校正。 於使用前方之載台裝置200之情形時，對於前方之載台裝置200，亦與上述圖1及圖6～圖8所示之程序同樣地，進行設置於轉印輥310的前方之相機11、12之定位作業。又，進行設置於前方之載台裝置200之相機21、22之定位作業。藉此，完成於前方之載台裝置200與轉印輥310之間用以進行正確之轉印之校正。 該校正係於例如每當進行預設之次數之轉印、每天、或後述之每次進行片狀構件SM之更換作業時實施。 (2)轉印 於本實施形態中，例如將轉印至對象物之被轉印物保持於可裝卸於轉印輥310地構成之片狀構件。此處，片狀構件具有：安裝於轉印輥310之外周面之安裝面，及與安裝面相反側之保持面。保持面可保持被轉印物地構成。 於被轉印物為銀奈米油墨等導電性油墨之情形時，配合被轉印物之規格自平面或凸凹面等選擇片狀構件之保持面之形狀。 於被轉印物為特定元件或安裝有特定元件之晶片等電子零件之情形時，片狀構件之保持面上之至少一部分區域必須具有黏著性。於該情形時，可將片狀構件之保持面整體作為黏著區域，亦可將片狀構件之保持面之一部分作為黏著區域。又，於該情形時，片狀構件之保持面可為平面，亦可為凸凹面。 於進行轉印時，於轉印輥310之外周面，安裝保持上述被轉印物之片狀構件。片狀構件包含例如具有可撓性之樹脂基材等。於片狀構件，設置有分別對應於轉印輥310之2個對準標識RA1、RA2之2個對準標識。 此處，於轉印輥310之外周面，將應安裝片狀構件之部分預設為片材安裝部。若將片狀構件正確地安裝於片材安裝部，則片狀構件之2個對準標識分別與轉印輥310之2個對準標識RA1、RA2重合。另一方面，若將片狀構件安裝於與片材安裝部偏移之位置，則片狀構件之2個對準標識中之至少一個會與對應之轉印輥310之對準標識偏移。 圖12係顯示用以檢測安裝於轉印輥310之片狀構件之位置偏移之程序的轉印裝置100之外觀立體圖。於圖12中，省略轉印裝置100之一部分構成要素之圖示。 如圖12所示，使用者於將片狀構件SM安裝於轉印輥310之片材安裝部後，將轉印輥310之旋轉角度調整至拍攝角度。於該狀態下，使藉由相機31、32取得之圖像顯示於顯示部7。 如上所述，2個相機31、32之基準指標VP以分別位於形成於轉印輥310外周面之2個對準標識RA1、RA2(圖11)上之方式定位。因此，於將片狀構件SM正確地安裝於片材安裝部之情形時，2個相機31、32之基準指標VP分別位於片狀構件之2個對準標識SM1、SM2上。 另一方面，若片狀構件SM安裝於與片材安裝部偏移之位置之情形時，2個相機31、32之基準指標VP中之至少一者會與片狀構件之2個對準標識SM1、SM2偏移。於該情形時，基於藉由相機31取得之圖像，可算出對準標識SM1與相機31之基準指標VP之偏移量，即對準標識SM1與對準標識RA1(圖11)之偏移量。又，基於藉由相機32取得之圖像，可算出對準標識SM2與相機32之基準指標VP之偏移量，即對準標識SM2與對準標識RA2(圖11)之偏移量。 對此，使用者藉由操作操作部8，基於顯示於顯示部7圖像，於圖3之控制裝置6算出對準標識SM1與對準標識RA1之偏移量、及對準標識RA2與對準標識SM2之偏移量。使用者記錄算出之偏移量。 作為轉印被轉印物之對象物，使用半導體基板、玻璃基板或具有可撓性之樹脂基材等。對象物具有與圖4之校正版CP相同之外形。又，於對象物上，於分別對應於圖4之校正版CP之2個對準標識M11、M12之位置設置有2個對準標識。 於將片狀構件SM安裝於轉印輥310後，使後方之載台裝置200向載台基準位置移動。於載台裝置200位於載台基準位置之狀態下，以對象物之2個對準標識位於相機11、12之視角AA(圖2)內之方式將對象物配置於載台201上。 於該狀態下，使藉由相機11、12取得之圖像顯示於顯示部7。使用者以相機11、12之基準指標VP位於對象物之2個對準標識上之方式，調整載台201相對於搬送台220B(圖2)之前後方向D1之位置、左右方向D2之位置及θ方向之旋轉角度。藉此，對象物之2個對準標識於左右方向D2排列。 接著，使用者以於校正時藉由控制裝置6算出之偏移量於將被轉印物轉印至對象物時抵消之方式，修正整載台201相對於搬送台220B(圖2)之前後方向D1之位置、左右方向D2之位置及θ方向之旋轉角度。 例如，於片狀構件SM之對準標識SM1、SM2分別相對於轉印輥310之2個對準標識RA1、RA2向左方偏移5 μm之情形時，將搬送台220B(圖2)上之載台201向左方偏移5 μm。又，於片狀構件SM之對準標識SM1、SM2各自相對於轉印輥310之2個對準標識RA1、RA2位於轉印輥310之旋轉方向上超前5 μm之情形時，將移動驅動部220上之載台201向前方偏移5 μm。 其後，以通過轉印輥310之下方之方式使後方之載台裝置200向前方移動，並使轉印輥310旋轉。此時，藉由片狀構件SM之一部分與對象物之上表面接觸，將保持於片狀構件SM之被轉印物轉印至對象物上。 於上述轉印裝置100中，亦可使用2張版將被轉印物轉印至對象物。於以下之說明中，將2張版分別稱為第1版及第2版。於該情形時，於上述校正時將具有黏著性之第1版作為片狀構件SM而安裝於轉印輥310。又，以預設之圖案將保持著被轉印物之第2版配置於後方之載台裝置200上。再者，將對象物配置於前方之載台裝置200上。 使後方之載台裝置200於前後方向D1移動，且使轉印輥310旋轉，藉此將保持於第2版之被轉印物轉印至第1版。其後，使前方之載台裝置200於前後方向D1移動，且使轉印輥310旋轉，藉此將保持於第1版之被轉印物轉印至對象物。 於使用第1及第2版將被轉印物轉印至對象物之情形時，於第1版設置上述對準標識SM1、SM2。又，於第2版設置對應於校正版CP之2個對準標識M2之2個對準標識。藉此，能夠以與上述之例相同之程序修正第1版、第2版及對象物之位置關係。 (3)轉印時之修正 於上述轉印裝置100中，於反復執行轉印之情形時，於每批次或每進行預定確定次數(例如100次)之轉印時，藉由控制裝置6檢測實際被轉印物之相對於被轉印物之應被轉印之設計上之位置的轉印位置之偏移量(以下稱為轉印偏移量)。 控制裝置6於檢測出之轉印偏移量超出預設之允許範圍之情形時，以將檢測出之轉印偏移抵消之方式，算出載台201相對於搬送台220B(圖2)之前後方向D1之位置、左右方向D2之位置及θ方向之旋轉角度的修正量，並記憶該修正量。又，控制裝置6自下一個對象物之轉印時，進行基於所記憶之修正量之修正。另，控制裝置6於預先記憶有修正量之情形時，若算出新的修正量，則以新的修正量更新預先記憶之修正量。 再者，控制裝置6於最初記憶有修正量之情形或修正量經更新之情形時，對下一個對象物再次進行轉印偏移量之檢測、修正量之算出及修正。如此，反復進行轉印偏移量之檢測及載台201之位置修正，直至檢測出之轉印偏移量為允許範圍內為止。藉此，抑制因連續使用轉印裝置100而經時性產生之尺寸誤差增大。 於將載台支持裝置210之載台201之定位精度(容許誤差)設定為特定值大小以下之情形時，上述容許範圍較佳以成為特定值之大小以下之方式設定，更佳以成為特定值之大小之80%以下之方式設定。例如，於將載台201之定位精度之大小設定為2 μm之情形時，允許範圍較佳以成為±2 μm以下之方式設定，更佳以成為±1.6 μm以下之方式設定。 轉印偏移量可如下檢測。例如，於使用導電性油墨作為被轉印物之情形時，使包含導電性油墨之第1檢測用標識與導電性油墨之圖案一起保持於片狀構件。又，於第1檢測用標識應被轉印之對象物上之位置，預先形成對應於第1檢測用標識之第2檢測用標識。 於該情形時，於圖案被轉印至對象物上之應被轉印之位置時，第1檢測用標識正確地重合於第2檢測用標識上。另一方面，於圖案被轉印至對象物上之與應被轉印之位置偏移之位置時，第1檢測用標識被轉印至與第2檢測用標識偏移之位置。 第1及第2檢測用標識間之偏移量可於轉印後基於藉由以相機拍攝第1及第2檢測用標識而取得之圖像資料而算出。算出之值為轉印偏移量。 除了上述之例以外，若使用複數個晶片作為被轉印物之情形時，可於複數個晶片中之特定晶片應被轉印之對象物上之位置，形成對應於特定晶片之第3檢測用標識。藉此，藉由於轉印後以相機拍攝特定晶片及第3檢測用標識，可將特定晶片與第3檢測用標識之間之偏移量作為轉印偏移量而算出。 [3]效果 於本實施形態之轉印裝置100中，於將被轉印物轉印至對象物之前進行校正。根據上述校正程序，以載置於載台裝置200之校正版CP之一方向及另一方向分別與前後方向D1及左右方向D2平行之方式於載台201上定位校正版CP。又，以設置於各載台裝置200之2個相機21、22之2個基準指標VP於左右方向D2正確地排列之方式調整。 其後，將2個相機21、22與載台裝置200一起向下端部對向位置移動。藉此，基於2個相機21、22之2個基準指標VP與設置於轉印輥310之基準線RL，於與支持面201a平行之面內調整轉印輥310之旋轉軸320之方向。藉此，轉印輥310之基準線RL相對於與前後方向D1正交之面平行。因此，降低因轉印裝置100之複數個構成要素間之組裝誤差等引起之轉印輥310之旋轉軸320之偏移。其結果，可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 再者，於本實施形態中，基於雷射變位計91、92之轉印輥310之外周面的下端部之高度之檢測結果，可與支持面201a平行地調整轉印輥310之軸心。因此，可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 [4]其他實施形態 (1)於上述實施形態中，由使用者基於利用雷射變位計91、92進行之距離(高度)之檢測結果決定下端部對向位置，且記錄經決定之下端部對向位置，但本發明並不限定於此。於轉印裝置100中，可由控制裝置6基於利用雷射變位計91、92進行之距離(高度)之檢測結果決定下端部對向位置，且記錄經決定之下端部對向位置。 (2)於上述實施形態中，由使用者將對象物、版及校正版CP之任一者配置於載台201上，且由使用者卸除支持於載台201上之對象物、版及校正版CP之任一者，但本發明並不限定於此。轉印裝置100亦可具有可由控制裝置6且可搬送對象物、版及校正版CP之任一者之配置裝置。於該情形時，可藉由控制裝置6控制配置裝置而將對象物、版及校正版CP之任一者自動配置於載台裝置200。又，亦可藉由控制裝置6控制配置裝置，而自載台裝置200自動卸除對象物、版及校正版CP之任一者。 (3)於上述實施形態中，使用者手動進行相機11、12、21、22、31、32之定位作業，但本發明並不限定於此。轉印裝置100亦可具有可由控制裝置6控制且可調整相機11、12、21、22、31、32之位置及方向之相機調整裝置。於該情形時，可藉由控制裝置6基於例如藉由相機11、12、21、22、31、32取得之圖像，控制相機調整裝置而自動地進行相機11、12、21、22、31、32之定位作業。 (4)於上述實施形態中，由使用者將片狀構件安裝於轉印輥310之外周面，但本發明並不限定於此。轉印裝置100亦可具有可由控制裝置6控制且可於轉印輥310之外周面安裝且卸除片狀構件之裝卸裝置。於該情形時，可藉由控制裝置6控制裝卸裝置而將片狀構件自動地安裝於轉印輥310之外周面。又，亦可藉由控制裝置6控制裝卸裝置而自轉印輥310之外周面自動地卸除片狀構件。 (5)於上述實施形態中，由使用者利用旋轉軸調整機構340使旋轉軸320之另一端部之支持位置於前後方向D1移動，但本發明並不限定於此。旋轉軸調整機構340亦可構成為可由控制裝置6控制。於該情形時，控制裝置6可基於藉由相機21、22取得之圖像，以相機21、22之2個基準指標VP皆位於基準線RL上之方式調整轉印輥310之旋轉軸320之另一端部之支持位置。 (6)於構成為將上述配置裝置、相機調整裝置及裝卸裝置設置於轉印裝置100，且可由控制裝置6控制旋轉軸調整機構340之情形時，亦可由控制裝置6自動地執行上述校正之一部分或全部。 (7)於上述實施形態中，校正版CP由透明部CP1及框部CP2構成，但本發明並不限定於此。校正版CP可僅由透明部CP1形成。於該情形時，透明部CP1以具有與對象物相同之外形之方式形成。 (8)於上述實施形態中，使用具有固定倍率之對物透鏡之CCD相機作為相機11、12、21、22、31、32，但本發明並不限定於此。亦可使用具有可變更倍率之變焦透鏡之CCD相機作為相機11、12、21、22、31、32。 於該情形時，於例如使用相機11搜尋校正版CP之對準標識M1時，將變焦透鏡之倍率設定得較低。藉此，可遍及較廣之範圍容易地搜尋成為對象之對準標識M1。另一方面，於定位相機11時，將變焦透鏡之倍率設定得較高。藉此，可以高解析度取得成為對象之對準標識M1之圖像。藉此，可以高精度定位相機11。 如此，於使用具有變焦透鏡之CCD相機作為相機11、12、21、22、31、32之情形時，可更容易且更正確地進行上述校正。 另，亦可使用彼此具有不同倍率之複數個對物透鏡之CCD相機作為各相機11、12、21、22、31、32。於該情形時，根據校正之作業內容區分使用各相機11、12、21、22、31、32之對物透鏡，藉此可更容易且更正確地進行上述校正。 (9)於上述實施形態中，為了將校正版CP之一方向設為與前後方向D1平行而使用2個對準標識M1、M2，且為了將相機11、12之基準指標VP排列於左右方向D2而使用對準標識M11、M12，但本發明並不限定於此。亦可為了將校正版CP之一方向設為與前後方向D1平行而使用2個對準標識M1、M11，且為了將相機11、12之基準指標VP排列於左右方向D2而使用對準標識M11、M12。即，可將一個準標識M11用作用以將校正版CP之一方向設為與前後方向D1平行之第1或第2對準標識，且兼用作用以將相機11、12之基準指標VP排列於左右方向D2之第3或第4對準標識。 (10)於上述實施形態中，於校正版CP中，用以將校正版CP之一方向設為與前後方向D1平行之2個對準標識M1、M2、與用以將相機11、12之基準指標VP排列於左右方向D2之對準標識M11排列於一方向，但本發明並不限定於此。對準標識M11亦可設置於自2個對準標識M1、M2排列之方向偏移之位置。 (11)於上述實施形態中，轉印裝置100具有1個轉印輥310，但本發明並不限定於此。轉印裝置100亦可具有複數個轉印輥。圖13係另一實施形態之電子器件用之轉印裝置100之外觀立體圖。以下針對圖13之轉印裝置100，說明與圖1之轉印裝置100不同之點。 於圖13之轉印裝置100中，除了圖1之轉印裝置100之構成外，並於輥支持裝置331之前方且第2本體部5之後方之位置設置輥支持裝置431。又，於輥支持裝置332之前方且第2本體部5之後方位置設置輥支持裝置432。於輥支持裝置431、432間設置轉印輥410。轉印輥410具有旋轉軸420，且具有可保持被轉印物之外周面。於轉印輥410之外周面之一部分，設置有與旋轉軸420平行延伸之基準線RL。 輥支持裝置431、432基本上具有與輥支持裝置331、332相同之構成，且各自可旋轉地支持轉印輥410之旋轉軸420之一端部及另一端部。又，各輥支持裝置431、432具有未圖示之升降驅動部及旋轉驅動部。 各輥支持裝置431、432之升降驅動部可旋轉地支持旋轉軸420之各端部，且如於圖13以空白箭頭A11、A12所示，使各端部之支持位置於上下方向D3移動。各輥支持裝置431、432之旋轉驅動部係使轉印輥410旋轉。該等升降驅動部及旋轉驅動部由控制裝置6控制。 於輥支持裝置432設置有構成為可由使用者操作之旋轉軸調整機構440。旋轉軸調整機構440如於圖13以空白箭頭A13所示，可使由輥支持裝置432支持之旋轉軸320之另一端部之支持位置於前後方向D1移動。 各輥支持裝置431、432進而具有未圖示之進退驅動部。輥支持裝置431之進退驅動部如粗虛線之箭頭A21所示使旋轉軸420之一端部相對於輥支持裝置331於前後方向D1移動。 輥支持裝置432之進退驅動部如粗虛線之箭頭A22所示使旋轉軸420之另一端部相對於輥支持裝置331於前後方向D1移動。該等進退驅動部由控制裝置6控制。 於進行圖13之轉印裝置100之校正之情形時，以與上述轉印輥310之校正相同之程序，將轉印輥410之軸心設為與支持面201a(圖2)平行。又，將轉印輥410之軸心設為相對於與前後方向D1正交之面平行。藉此，即便於使用2個轉印輥310、410進行轉印之情形，亦可高精度地將被轉印物轉印至對象物之所需之位置。 對圖13之轉印裝置100之使用例進行說明。於以下之說明中，被轉印物為具有一面及另一面之晶片。以一面與某基板(以下稱為第1基板)之上表面上接觸之方式設置晶片。以另一面與新的基板(第2基板)之上表面上接觸之方式轉印(移載)該晶片。 於該情形時，將第1片狀構件安裝於轉印輥310之外周面，且將第2片狀構件安裝於轉印輥410之外周面。又，以晶片之另一面朝向上方之狀態將第1基板載置於後方之載台裝置200上且進行定位。再者，將第2基板載置於前方之載台裝置200上且進行定位。第1片狀構件之保持面、第2片狀構件之保持面及第2基板之上表面具有黏著性。 於該狀態下，使後方之載台裝置200移動且使轉印輥310旋轉。藉此，以另一面與第1片狀構件之保持面上接觸之方式使晶片自第1基板轉印至第1片狀構件。 接著，以與轉印輥310之外周面接觸之方式使轉印輥410向後方移動，且使轉印輥310、410於相互相反方向旋轉。藉此，以一面與第2片狀構件之保持面上接觸之方式使晶片自第1片狀構件轉印至第2片狀構件。 其後，使前方之載台裝置200移動且使轉印輥410旋轉。藉此，以另一面與第2基板之上表面上接觸之方式使晶片自第2片狀構件轉印至第2基板。藉由進行此種轉印(移載)動作，載置於第2基板上之晶片的狀態相對於載置於第1基板上之晶片的狀態反轉。 除了圖13之例以外，轉印裝置100可具有3個以上之複數個轉印輥。於該情形時，例如，使相互不同種類之複數個被轉印物保持於複數個轉印輥。藉此，使一片基板依序與複數個轉印輥接觸，藉此可連續地將複數個被轉印物轉印至該基板上。作為複數種被轉印物，例如有包含紅色發光元件之晶片、包含綠色發光元件之晶片、及包含藍色發光元件之晶片等。或，作為複數種被轉印物，例如有紅色濾光片、綠色濾光片、及藍色濾光片等。 此處，於以一面與第1基板之上表面上接觸之方式設置晶片之情形時，將以另一面與第2基板之上表面接觸之方式轉印該晶片者稱為反轉轉印。於進行反轉轉印之情形時，如上所述，自第1基板經由2個轉印輥將晶片轉印至第2基板上。另一方面，於以一面與第1基板之上表面接觸之方式設置晶片之情形時，將以一面與第2基板之上表面接觸之方式轉印該晶片者稱為常規轉印。於進行常規轉印之情形時，自第1基板經由1個轉印輥將晶片轉印至第2基板上。 應進行反轉轉印或是應進行常規轉印，乃根據晶片之規格而定。於使用具有複數個轉印輥之轉印裝置100將複數種晶片轉印至一片基板上之情形時，可對每個晶片設定應使用於反轉轉印之轉印輥與應使用於常規轉印之轉印輥。 於該情形時，可連續執行複數次常規轉印、連續執行複數次反轉轉印、組合執行常規轉印與反轉轉印。其結果，無論晶片之規格為何皆可進行所需之轉印，從而提高轉印裝置100之便利性。 [5]技術方案之各構成要素與實施形態之各部之對應關係 以下，對技術方案之各構成要素與實施形態之各構成要素之對應例進行說明，但本發明並不限定於下述例。 於上述實施形態中，對準標識M1係第1對準標識之例，對準標識M2係第2對準標識之例，對準標識M11係第3對準標識之例，對準標識M12係第4對準標識之例，校正版CP係校正版之例，轉印裝置100係電子器件用之轉印裝置之例。 又，支持面201a係支持面之例，載台201係載台之例，前後方向D1係第1方向之例，左右方向D2係第2方向之例，載台支持裝置210係載台支持裝置之例，初始位置係第1位置之例，隔開位置係第2位置之例，載台基準位置係第3位置之例，下端部對向位置係第4位置之例，移動驅動部220係移動驅動部之例。 又，旋轉軸320係旋轉軸之例，基準線RL係基準線之例，轉印輥310、410係轉印輥之例，輥支持裝置331、332之升降驅動部341及輥支持裝置431、432之升降驅動部係軸支持部之例，輥支持裝置331、332之旋轉驅動部351及輥支持裝置431、432之旋轉驅動部係旋轉驅動部之例，相機11之基準指標VP係第1基準指標之例，相機11係第1攝像部之例，相機12之基準指標VP係第2基準指標之例，相機12係第2攝像部之例，相機21之基準指標VP係第3基準指標之例，相機21係第3攝像部之例，相機22之基準指標VP係第4基準指標之例，相機22係第4攝像部之例，顯示部7係顯示部之例。 又，雷射變位計91及控制裝置6係第1檢測部之例，對雷射變位計91設定之高度基準位置係第1檢測位置之例，雷射變位計92及控制裝置6係第2檢測部之例，對雷射變位計92設定之高度基準位置係第2檢測位置之例。 又，片狀構件SM係片狀構件之例，對準標識SM1係第5對準標識之例，對準標識SM2係第6對準標識之例，對準標識RA1係第7對準標識之例，對準標識RA2係第8對準標識之例，相機31之基準指標VP係第5基準指標之例，相機31係第5攝像部之例，相機32之基準指標VP係第6基準指標之例，相機32係第6攝像部之例。 作為技術方案之各構成要素，亦可使用具有技術方案所記載之構成或功能之其他各種構成要素。 [產業上之可利用性] 本發明可有效地利用於製造電子器件。
1‧‧‧台座部
2‧‧‧本體基座
3‧‧‧軌條
4‧‧‧第1本體部
5‧‧‧第2本體部
6‧‧‧控制裝置
7‧‧‧顯示部
8‧‧‧操作部
11‧‧‧相機
12‧‧‧相機
21‧‧‧相機
22‧‧‧相機
23‧‧‧調整機構
31‧‧‧相機
32‧‧‧相機
91‧‧‧雷射變位計
92‧‧‧雷射變位計
100‧‧‧轉印裝置
200‧‧‧載台裝置
201‧‧‧載台
201a‧‧‧支持面
210‧‧‧載台支持裝置
220‧‧‧移動驅動部
220B‧‧‧搬送台
310‧‧‧轉印輥
320‧‧‧旋轉軸
331‧‧‧輥支持裝置
332‧‧‧輥支持裝置
340‧‧‧旋轉軸調整機構
341‧‧‧升降驅動部
351‧‧‧旋轉驅動部
410‧‧‧轉印輥
420‧‧‧旋轉軸
431‧‧‧輥支持裝置
432‧‧‧輥支持裝置
440‧‧‧旋轉軸調整機構
AA‧‧‧視角
AB‧‧‧視角
AC‧‧‧視角
A1‧‧‧空白箭頭
A2‧‧‧空白箭頭
A3‧‧‧空白箭頭
A11‧‧‧空白箭頭
A12‧‧‧空白箭頭
A13‧‧‧空白箭頭
A21‧‧‧粗虛線之箭頭
A22‧‧‧粗虛線之箭頭
CP‧‧‧校正版
CP1‧‧‧透明部
CP2‧‧‧框部
CL‧‧‧直線狀標識線
D1‧‧‧前後方向
D2‧‧‧左右方向
D3‧‧‧上下方向
M1‧‧‧對準標識
M2‧‧‧對準標識
M3‧‧‧對準標識
M4‧‧‧對準標識
M11‧‧‧對準標識
M12‧‧‧對準標識
RA1‧‧‧對準標識
RA2‧‧‧對準標識
RL‧‧‧基準線
SM‧‧‧對準標識
SM1‧‧‧對準標識
SM2‧‧‧對準標識
U‧‧‧缺口
VP‧‧‧基準指標
θ‧‧‧旋轉方向
圖1係本發明一實施形態之電子器件用之轉印裝置之外觀立體圖。 圖2係圖1之轉印裝置之模式性側視圖。 圖3係顯示圖1之轉印裝置之控制系統之方塊圖。 圖4係校正版之俯視圖。 圖5係顯示設定於相機視角之基準指標之一例之圖。 圖6係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖7(a)～(d)係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖8係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖9係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖10(a)及(b)係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖11係用以說明轉印裝置之校正程序之一例之圖。 圖12係顯示用以檢測安裝於轉印輥之片狀構件之位置偏移之程序之轉印裝置的外觀立體圖。 圖13係其他實施形態之電子器件用之轉印裝置之外觀立體圖。

Claims (5)

  1. 一種電子器件用之轉印裝置，其係可使用校正版校正，且將構成電子器件之被轉印物轉印至對象物者，該校正版具有於一方向排列之第1及第2對準標識、及於與上述一方向正交之另一方向排列之第3及第4對準標識；且該電子器件用之轉印裝置包含：載台，其具有可選擇性支持校正版及對象物之支持面；載台支持裝置，其於與上述支持面平行且相互正交之第1及第2方向上可移動地支持上述載台，且於與上述支持面正交之軸之四周可旋轉地支持上述載台；移動驅動部，其使上述載台支持裝置於第1、第2、第3及第4位置之間於上述第1方向移動；轉印輥，其具有旋轉軸，且具有可保持被轉印物且包含與上述旋轉軸平行之基準線之外周面；軸支持部，其於上述旋轉軸之四周可旋轉地支持上述轉印輥；旋轉驅動部，其使上述轉印輥旋轉；第1攝像部，其具有包含第1基準指標之視野，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第1位置時拍攝上述第1對準標識，且於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第2位置時拍攝上述第2對準標識，於支持上述校正版之上述載台位於上述第3位置時拍攝上述第3對準標識；第2攝像部，其具有包含第2基準指標之視野，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第3位置時拍攝上述第4 對準標識；第3攝像部，其與上述載台支持裝置一起移動，且具有包含第3基準指標之視野，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第3位置時拍攝上述校正版之上述第3對準標識，且於上述載台支持裝置位於上述第4位置時拍攝上述轉印輥之上述基準線；第4攝像部，其與上述載台支持裝置一起移動，且具有包含第4基準指標之視野，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第3位置時拍攝上述校正版之上述第4對準標識，且於上述載台支持裝置位於上述第4位置時拍攝上述轉印輥之上述基準線；及顯示部，其顯示藉由上述第1、第2、第3及第4攝像部拍攝之圖像；且上述第1及第2攝像部設置為可與上述載台支持裝置獨立地調整位置，上述第3及第4攝像部設置為可與上述載台相對地調整位置，上述轉印輥設置為至少於與上述支持面平行之面內可調整上述旋轉軸之方向。
  2. 如請求項1之電子器件用轉印裝置，其中進而包含：第1檢測部，其與上述載台支持裝置一起移動，且檢測第1檢測位置至上述轉印輥之外周面之距離；及第2檢測部，其與上述載台支持裝置一起移動，且檢測第2檢測位置至上述轉印輥之外周面之距離；上述第1檢測位置與上述第2檢測位置相互隔開地位於於上述第2方向延伸之共通之線上，上述轉印輥設置為可進而於與上述第2方向及上述支持面正交之第3 方向平行之面內，調整上述旋轉軸之方向。
  3. 如請求項1或2之電子器件用轉印裝置，其中將被轉印物保持於可裝卸於上述轉印輥而構成之片狀構件，上述片狀構件具有第5及第6對準標識，上述轉印輥之外周面，包含於與上述旋轉軸平行之方向排列之第7及第8對準標識，上述轉印裝置進而包含：第5攝像部，其具有包含第5基準指標之視野，於未將上述片狀構件安裝於上述轉印輥之狀態下於上述轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝上述第7對準標識，且於將上述片狀構件安裝於上述轉印輥之狀態下於上述轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝上述第5對準標識；及第6攝像部，其具有包含第6基準指標之視野，於未將上述片狀構件安裝於上述轉印輥之狀態下於上述轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝上述第8對準標識，且於將上述片狀構件安裝於上述轉印輥之狀態下於上述轉印輥位於預設之旋轉角度時拍攝上述第6對準標識；且上述顯示部進而顯示藉由上述第5及第6攝像部拍攝之圖像，上述第5及第6攝像部設置為可與上述轉印輥獨立地調整位置。
  4. 如請求項1或2之電子器件用轉印裝置，其中包含複數個上述轉印輥，上述軸支持部構成為將上述複數個轉印輥以可各自旋轉之方式支持， 上述旋轉驅動部以使上述複數個轉印輥各自旋轉之方式構成，上述第4位置係設定在分別對應於上述複數個轉印輥之複數個位置。
  5. 一種電子器件用之轉印方法，其包含以下步驟：準備請求項1或2之電子器件用之轉印裝置；校正上述轉印裝置；及使用上述校正後之轉印裝置將被轉印物轉印至對象物；且上述校正步驟包含以下步驟：將上述校正版配置於上述載台之上述支持面上；於將上述校正版支持於上述載台之狀態下使上述載台支持裝置移動至第1位置，且使藉由上述第1攝像部拍攝之上述第1對準標識之圖像顯示於上述顯示部；於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第1位置時，以上述第1攝像部之上述第1基準指標位於上述第1對準標識上之方式調整上述第1攝像部之位置；於調整上述第1攝像部之位置之步驟後，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下使上述載台支持裝置移動至第2位置，且使藉由上述第1攝像部拍攝之上述第2對準標識之圖像顯示於上述顯示部；於調整上述第1攝像部之位置之步驟後，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第1位置時以上述第1攝像部之上述第1基準指標位於上述第1對準標識上，且於將上述校正版支持於上述載台之狀態下於上述載台支持裝置位於上述第2位置時以上述第1攝像部之上述第1基準指標位於上述第2對準標識上之方式，藉由上述載台支持裝置 調整支持上述校正版之上述載台之位置；於調整上述載台之位置之步驟後，於將上述校正版支持於上述載台之狀態下使上述載台支持裝置移動至第3位置，且使藉由上述第1攝像部拍攝之上述第3對準標識之圖像、藉由上述第2攝像部拍攝之上述第4對準標識之圖像、藉由上述第3攝像部拍攝之上述第3對準標識之圖像、及藉由上述第4攝像部拍攝之上述第4對準標識之圖像，顯示於上述顯示部；於使上述第1至第4對準標識之圖像顯示於上述顯示部之步驟後，以上述第1攝像部之上述第1基準指標位於上述第3對準標識上之方式調整上述第1攝像部之位置，以上述第2攝像部之上述第2基準指標位於上述第4對準標識上之方式調整上述第2攝像部之位置，以上述第3攝像部之上述第3基準指標位於上述第3對準標識上之方式調整上述第3攝像部與上述載台之相對位置關係，以上述第4攝像部之上述第4基準指標位於上述第4對準標識上之方式調整上述第4攝像部與上述載台之相對位置關係；於調整上述第1至第4攝像部之步驟後，於將上述校正版自上述載台卸除之狀態下使上述載台支持裝置移動至上述第4位置，且使藉由上述第3攝像部拍攝之上述轉印輥之基準線之圖像、及藉由上述第4攝像部拍攝之上述轉印輥之基準線之圖像顯示於上述顯示部；及於使上述基準線之圖像顯示之步驟後，以上述第3攝像部之上述第3基準指標位於上述基準線上之方式且上述第4攝像部之上述第4基準指標位於上述基準線上之方式，於與上述支持面平行之面內調整上述轉印輥之上述旋轉軸之方向。
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