JP2010280164A

JP2010280164A - オフセット印刷装置

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Publication number: JP2010280164A
Application number: JP2009136245A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Saito; 浩齋藤; Hiroaki Imaizumi; 浩昭今泉
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-06-05
Filing date: 2009-06-05
Publication date: 2010-12-16
Also published as: KR20120025513A; WO2010140386A1; CN102448725A; US20120067232A1; SG176301A1; TW201103755A

Abstract

【課題】印刷精度を向上させる。
【解決手段】架台１上に設けたガイドレール２上に、版テーブル３と基板テーブル４を走行可能に設ける。各テーブル３，４に、アライメントステージ６，８をそれぞれ備えて、版７や基板９をそれぞれ保持させる。架台１上の所要個所に版７と基板９用の個別のアライメントエリア１５，１６を設ける。各アライメントエリア１５，１６にて、版テーブル３に保持させた版７の位置と、基板テーブル４に保持させ基板９の位置の初期アライメントを行うことで、版７及び基板９がブランケットロール１１の軸心に対して同じ相対配置で正対するよう位置補正して、版７よりブランケットロール１１を介して基板９へ印刷される印刷パターンの再現性を高精度なものとさせる。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板に電極パターンを印刷により形成させる場合のように、印刷対象に精密な印刷を高い印刷精度で行うために用いるオフセット印刷装置に関するものである。

印刷技術の１つとしてオフセット印刷があり、このうち、凹版を用いたオフセット印刷は、インキングされた凹版より転動するブランケットロールへインクを一旦転写（受理）した後、該ブランケットロールより印刷対象へインクの再転写（印刷）を行うことで、該印刷対象の表面に、上記凹版の印刷パターンを再現性よく印刷することができる手法として知られている。

近年、液晶ディスプレイ等の電極パターン（導電パターン）を所要の基板上に形成する手法として、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電極パターンを印刷して形成する手法が提案されてきている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。

上記電極パターンのような精細な印刷パターンを上記基板のような平板状の印刷対象にオフセット印刷する場合は、高い印刷精度が要求される。そのため、高い印刷精度のオフセット印刷を行う場合のオフセット印刷装置としては、版として印刷対象と同様の平板状の版を用いる形式の平板印刷装置とすることが有利とされている。

ところで、従来、ブランケットロールの下方を走行可能な移動テーブル（ステージ）上に、印刷用版を載置固定する版用の定盤と、印刷対象となるガラス基板を載置固定する基板用の定盤とをテーブル移動方向に沿って所要間隔を隔てて設け、且つ上記版用の定盤と、上記基板用の定盤のいずれか一方に、対応する定盤をその上面に沿う任意の方向に変位させる駆動機構を備え、更に、上記版用の定盤に固定された印刷用版の基準となる部分を撮像するカメラと、上記基板用の定盤に固定されたガラス基板の基準となる部分を撮像するカメラを備えて、これらの版用のカメラ及び基板用のカメラでそれぞれ撮像された上記印刷用版とガラス基板の画像情報を相互に比較し、両者の相対的なずれを最小化するように、上記一方の定盤に設けてある駆動機構により対応する定盤の位置調整を行うようにする手法が提案されている。かかる手法によれば、上記印刷用版とガラス基板の相対的な位置ずれを高精度に補正することができて、上記ガラス基板に高精度な印刷を行うことができるとされている（たとえば、特許文献３参照）。

特許第２７９７５６７号公報特許第３９０４４３３号公報特許第３１１２５８１号公報

ところが、上記特許文献３に示された手法では、印刷用版を載置固定する版用の定盤と、印刷対象となるガラス基板を載置固定する基板用の定盤のいずれか一方にしか、対応する定盤を変位させるための駆動機構を備えていないため、上記印刷用版とガラス基板の相対的な位置ずれを高精度に補正することができるとしても、版及びガラス基板のような印刷対象を、ブランケットロールと最適な状態で接触させることは難しいという問題がある。

すなわち、オフセット印刷により、上記液晶ディスプレイ等の電極パターンを基板に形成する場合は、電極幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。このような高精度な印刷を行うには、位置ずれの許容範囲が数μｍとされることがある。

これに対し、印刷対象を順次新たなものに取り替えて印刷作業を行う場合に、すべての印刷対象について、その取付位置の誤差を数μｍの範囲に収めることは非常に困難である。

又、版は印刷に用いることで徐々に摩耗（消耗）するため、所要の印刷回数や印刷時間ごとに版を交換する必要が生じる。又、重ね刷りを行う際には版の交換が必要とされることがあるが、このような版の交換を行う場合、交換後の版の取付位置と、交換前の版の取付位置との位置ずれを毎回数μｍの範囲に収めることも非常に困難である。

したがって、印刷対象を順次新たなものに取り替えて印刷作業を行う際に、印刷対象ごとに設置位置の位置ずれが生じる虞があると共に、版の交換に伴い、版ごとに設置位置の位置ずれが生じる虞があるというのが実状である。

しかし、上記特許文献３に示された手法では、版と印刷対象となるガラス基板のいずれか一方の位置を基準とし、それに一致させるようにいずれか他方の位置を補正する手法であるため、基準とされる側の版あるいは印刷対象となるガラス基板の取付位置が、ブランケットロールの軸心に直角な方向から傾いていると、上記版と印刷対象となるガラス基板の双方が上記ブランケットロールの回転する外周面に対して斜めに傾いた状態で接するようになってしまうという問題が生じる。

更に、上記版用の定盤と基板用の定盤のいずれか一方にしか駆動機構が備えられていないことから、特許文献３には、版や印刷対象となるガラス基板の双方を、ブランケットロールに接触させている間に位置補正を行って印刷精度を高めるようにする考えは全くないというのが実状である。

そこで、本発明は、版テーブルに保持される版の位置と、印刷対象テーブルに保持される印刷対象の位置をそれぞれ高精度に位置合わせすることができると共に、上記版テーブルに保持される版と、印刷対象テーブルに保持される印刷対象を、共にブランケットロールに正対させた状態で接触させることができて、印刷位置の再現性を高めることができ、更には、上記版や印刷対象をブランケットロールに接触している間に位置補正を行うことで、更なる印刷精度の向上化を図ることが可能なオフセット印刷装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、架台上に設けたガイドレール上を個別に又は一体に走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象を保持させるようにし、更に、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントを行うためのアライメントエリアと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行うためのアライメントエリアをそれぞれ設けてなる構成とする。

又、上記構成において、架台上の所要個所に、版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを個別に行うためのアライメントエリアを設ける構成に代えて、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行う共通のアライメントエリアを設け、且つ該アライメントエリアに、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象を検出するための共通のアライメントセンサを備えるようにした構成とする。

更に、上記各構成において、版テーブル上のアライメントステージと印刷対象テーブル上のアライメントステージを、該各アライメントステージ上に保持した版や印刷対象にブランケットロールを接触させている状態でも該版や印刷対象のアライメントを行うことができるようにした構成とする。

本発明のオフセット印刷装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）架台上に設けたガイドレール上を個別に又は一体に走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象を保持させるようにし、更に、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントを行うためのアライメントエリアと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行うためのアライメントエリアをそれぞれ設けてなる構成としてあるので、版テーブルのアライメントステージによる版の初期アライメントを行うことで、該版テーブルへの版の取付位置の誤差の影響を受けずに、版テーブルの所定位置に版を保持させることができる。同様に、印刷対象テーブルのアライメントステージによる印刷対象の初期アライメントを行うことで、該印刷対象テーブルへの印刷対象の取付位置の誤差の影響を受けずに、印刷対象テーブルの所定位置に印刷対象を保持させることができる。よって、同一のガイドレールに沿ってブランケットロールの下方を通過するときの版テーブルに保持させた版と、印刷対象テーブルに保持させた印刷対象の相対位置を毎回同一にすることができて、版の印刷パターンを印刷対象に高精度な位置再現性で印刷することができる。
（２）したがって、各印刷対象に対し、印刷位置の再現性及び印刷パターンの再現性が共に高い印刷を行うことができて、印刷対象に対して電極パターンのような精密な印刷パターンを正確に且つ高い再現性で印刷することができる。更に、版を交換しながら印刷対象に電極パターンのような精密な印刷パターンを重ね刷りをする場合であっても、重ね合わせずれを抑制することができる。
（３）架台上の所要個所に、版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを個別に行うためのアライメントエリアを設ける構成に代えて、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行う共通のアライメントエリアを設け、且つ該アライメントエリアに、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象を検出するための共通のアライメントセンサを備えるようにした構成とすることにより、アライメントエリアに設けるアライメントセンサの個体差等に起因する誤差を排除して、版テーブルに保持させた版と、印刷対象テーブルに保持させた印刷対象の相対的な配置をより精度よく毎回同一とさせることができる。よって、より高精度な印刷を行うことが可能になる。
（４）版テーブル上のアライメントステージと印刷対象テーブル上のアライメントステージを、該各アライメントステージ上に保持した版や印刷対象にブランケットロールを接触させている状態でも該版や印刷対象のアライメントを行うことができるようにした構成とすることにより、ブランケットロールの直下でガイドレールの真直性や該ガイドレールのブランケットロール軸心に対する直交性が低下していても、該ブランケットロールに対して版や印刷対象を正対した状態で横ずれを生じることなく接触させるよう位置補正することが可能になる。又、ブランケットロールに偏心が存在していて、該ブランケットロールを一定速度で回転させていても周速が変化する場合に、その周速の変化に同期して版や印刷対象の移動速度を補正することが可能になる。
（５）更には、ブランケットロールを版テーブルに保持させた版や印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に所要の接触圧力で押し付けて転写や再転写を行なわせる際、上記ブランケットロールより作用する接触圧力等の影響で上記版や印刷対象に微小な位置ずれが生じても、その位置ずれを修正することが可能になる。

本発明のオフセット印刷装置の実施の一形態を示す概略側面図である。図１のオフセット印刷装置の版用アライメントエリアの部分を示す概略斜視図である。図１のオフセット印刷装置の基板用のアライメントエリアの部分を示す概略斜視図である。本発明の実施の他の形態を示す概略側面図である。

以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。

図１乃至図４は本発明のオフセット印刷装置の実施の一形態を示すもので、以下のようにしてある。

すなわち、水平な架台１の上側に、一方向（Ｘ軸方向）に延びるガイドレール２、たとえば、２本一組のガイドレール２を設け、該ガイドレール２に、版テーブル３と、印刷対象テーブルとしての基板テーブル４を、上記ガイドレール２の長手方向の一端側（図１における左側）より順に並べて配置した状態で、それぞれ個別のガイドブロック５を介しスライド可能に取り付ける。

上記各テーブル３，４には、リニアモータ等の図示しない個別の駆動装置を備えて、上記ガイドレール２に沿って独立して往復動（走行）できるようにすると共に、上記架台１上の所要個所に上記ガイドレール２に沿って設けた図示しないリニアスケールにより、上記版テーブル３と基板テーブル４のガイドレール２の長手方向に沿う位置、すなわち、Ｘ軸方向の所要の点を基準とする絶対位置（座標）の検出を行うことができるようにする。

更に、上記版テーブル３は、その上部に上記ガイドレール２の長手方向（Ｘ軸方向）及びガイドレール２の長手方向に直交する方向（Ｙ軸方向）への水平移動と、ガイドレール２の長手方向に対するヨー角度（θ）の回転が可能なアライメントステージ６を設けて、該アライメントステージ６の上側に、版７を載置して保持できるようにする。

上記基板テーブル４は、その上部に上記版テーブル３のアライメントステージ６と同様にＸ軸方向及びＹ軸方向への水平移動と、ヨー角度（θ）の回転が可能なアライメントステージ８を設けて、該アライメントステージ８の上側に、印刷対象としての基板９を載置して保持できるようにする。

上記架台１上における上記ガイドレール２の長手方向中間部と対応する個所には、上記ガイドレール２の所要寸法上方位置に該ガイドレール２の長手方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って配置したブランケットロール１１と、該ブランケットロール１１を昇降させるための昇降用アクチュエータ１２と、上記ブランケットロール１１を回転駆動するための駆動モータ１３を備えた転写機構部１０を設ける。

更に、上記架台１上における上記版テーブル３が走行可能な所要個所、たとえば、上記転写機構部１０よりもガイドレール２の長手方向一端側へ所要寸法寄った位置に、該版テーブル３に保持させた版７にインキングを行うためのインキング装置１４を設けると共に、該架台１上における上記版テーブル３が走行可能な別の所要個所、たとえば、上記インキング装置１４よりもガイドレール２の長手方向一端側へ所要寸法寄った位置に、上記版テーブル３のアライメントステージ６に保持した版７のアライメントを行うためのアライメントエリア１５を設ける。

更に又、上記架台１上における上記基板テーブル４が走行可能な所要個所、たとえば、上記転写機構部１０よりもガイドレール２の長手方向他端側へ所要寸法寄った位置に、該基板テーブル４のアライメントステージ８に保持し基板９のアライメントを行うためのアライメントエリア１６を設けて本発明のオフセット印刷装置を構成する。

より具体的には、上記版用のアライメントエリア１５は、図１及び図２に示すように、上記ガイドレール２に沿って走行する版テーブル３が下方を通過できるようにした支持架台１７を有し、且つ該支持架台１７における上記版テーブル３のアライメントステージ６上に保持させる版７の対角に対応する２個所又は四角部に対応する４個所に、アライメントセンサとしての精密カメラ１８をそれぞれ下向きに設けた構成としてある。なお、図２では版７の四角部に対応する４個所に精密カメラ１８を設けてなる構成が示してある。

上記基板用のアライメントエリア１６は、上記版用のアライメントエリア１５と同様に、図１及び図３に示す如く、上記ガイドレール２に沿って走行する基板テーブル４が下方を通過できるようにした支持架台１７ａを有し、且つ該支持架台１７ａにおける上記基板テーブル４のアライメントステージ８上に保持させる基板９の対角に対応する２個所又は四角部に対応する４個所に、アライメントセンサとしての精密カメラ１８ａをそれぞれ下向きに設けた構成としてある。なお、図３では版７の四角部に対応する４個所に精密カメラ１８ａを設けてなる構成が示してある。

更に、本発明のオフセット印刷装置は、オフセット印刷を行う必要上、図１に示すように、上記架台１上におけるガイドレール２の長手方向一端部と対応する個所に、ガイドレール２の長手方向一端部まで版テーブル３を移動させて待機させると共に、該版テーブル３のアライメントステージ６上に保持させる版７の交換を行うことができるようにした版テーブル待機エリア１９を備え、上記架台１上におけるガイドレール２の長手方向他端部と対応する個所に、ガイドレール２の長手方向他端部まで基板テーブル４を移動させて待機させた状態で、該基板テーブル４のアライメントステージ８に対して新たな基板９の取り付けと印刷後の基板９の取外しを行うための基板設置エリア２０を備えた構成としてあるものとする。

以上の構成としてある本発明のオフセット印刷装置を使用する場合は、版テーブル３のアライメントステージ６に印刷作業開始のために新たな版７を保持させたとき、及び、該アライメントステージ６に版７の交換に伴って新たな版７を保持させたときには、上記版テーブル３をガイドレール２に沿ってアライメントエリア１５まで走行させて、該アライメントエリア１５の所定のアライメント位置（図示せず）に停止させる。

この状態で、版テーブル３のアライメントステージ６上に保持されている版７の対角又は４角部に設けた図示しないポインティングマーカを、精密カメラ１８で撮影し、その画像情報を基に、撮影される版７のポインティングマーカの位置が、予め設定してある所定の配置と一致するように、上記アライメントステージ６をＸ−Ｙ平面内での水平移動とヨー角度（θ）の回転移動を行わせて、上記版７の位置補正を行うようにする。これにより、上記版テーブル３のアライメントステージ６に対する版７の取付精度に関わらず、該版７の版テーブル３に対する相対的な配置が常に一定なるように初期アライメントが行われる。なお、上記版７のアライメントは、同じ版７について、所要の印刷回数、印刷時間ごとに定期的にアライメントを行うようにしてもよい。

一方、基板テーブル４のアライメントステージ８に印刷対象となる新たな基板９を保持させたときは、上記版テーブル３をガイドレール２に沿ってアライメントエリア１６まで走行させて、該アライメントエリア１６の所定のアライメント位置（図示せず）に停止させる。

この状態で、基板テーブル４のアライメントステージ８上に保持されている基板９の対角又は４角部に設けた図示しないポインティングマーカを、精密カメラ１８ａで撮影し、その画像情報を基に、撮影される基板９のポインティングマーカの位置が、予め設定してある所定の配置と一致するように、上記アライメントステージ８をＸ−Ｙ平面内での水平移動とヨー角度（θ）の回転移動を行わせて、上記基板９の位置補正を行うようにする。これにより、上記基板テーブル４のアライメントステージ８に対する基板９の取付精度に関わらず、各基板９の基板テーブル４に対する相対的な配置が毎回一定なるように初期アライメントが行われる。

以上により、同一のガイドレール２に沿って走行する版テーブル３と基板テーブル４が、上記ガイドレール２の同じ個所、たとえば、転写機構部１０のブランケットロール１１の直下位置に配置されるときには、該ブランケットロール１１の直下位置に配置された版テーブル３に保持された版７の位置と、ブランケットロール１１の直下位置に配置された基板テーブル４に保持された基板９の位置との相対関係が毎回同一となる。更には、上記版テーブル３に保持された版７、及び、基板テーブル４に保持される基板９を、上記ブランケットロール１１の軸心に対し正対させて配置することができるようになる。

したがって、その後、上記版テーブル３をインキング装置１４へ移動させて該版テーブル３に保持した版７にインキングした後、版テーブル３を転写機構部１０へ移動させて、該版テーブル３を走行させながら該版テーブル３に保持した版７に対し、上記ブランケットロール１１を同期した周速で上方より接触させて、該版７よりブランケットロール１１へのインクの転写を行い、次いで、上記基板テーブル４を上記転写機構部１０へ移動させてから、基板テーブル４を上記版テーブル３を転写機構部１０へ移動させたときと同方向、同様条件で走行させながら該基板テーブル４に保持した基板９に対し、上記ブランケットロール１１を同期した周速で上方より接触させて、該ブランケットロール１１より上記基板９への再転写を行わせて、該基板９に、上記版１１の印刷パターンを印刷することでオフセット印刷を行うようにする。

しかる後、基板テーブル４に保持させる基板９を新たな基板９に取り替えるたびに上記した初期アライメントを行うことで、ブランケットロール１１の直下位置に配置された版テーブル３に保持された版７の位置と、ブランケットロール１１の直下位置に配置された基板テーブル４に新たに保持した基板９の位置との相対関係が毎回同一となるため、上記版７の印刷パターンが、印刷対象となる各基板９に対して高精度な位置再現性で印刷されるようになる。

更に、上記ブランケットロール１１の直下にて、上記ガイドレール２が、製作精度等により上記ブランケットロール１１の軸心に直角な方向から傾いていたり、湾曲している場合は、該ガイドレール２に沿って走行する版テーブル３や基板テーブル４が、上記ブランケットロール１１の下方を、該ブランケットロール１１の軸心方向に直角な方向から傾いた方向に通過したり、カーブしながら通過するようになるため、上記初期アライメントを行った段階でブランケットロール１１の軸心に正対するように配置した版テーブル３上の版７や、基板テーブル４上の基板９に対して上記ブランケットロール１１を接触させるときには、該ブランケットロール１１の下方を、上記版７や基板９がブランケットロール１１の軸心に直角な方向から傾いた方向へ移動したり、カーブしながら通過するようになるため、印刷精度が低下する虞が懸念される。

よって、この場合は、上記版テーブル３の上の版７や基板テーブル４上の基板９に対して上記ブランケットロール１１を上方より接触させている状態のときに、該各テーブル３，４のアライメントステージ６，８を、ガイドレール２に沿う上記各テーブル３，４の走行方向の傾きやカーブを打ち消すようにＸ−Ｙ平面内での水平移動及び回転移動を行わせることで、上記版テーブル３の上の版７や、基板テーブル４上の基板９を、上記ブランケットロール１１の軸心に直角な方向に移動させるようにすればよい。

更に又、上記ブランケットロール１１に製作精度等に起因して偏心が存在している場合は、該ブランケットロール１１を一定速度で回転させていても、その回転角度に応じて回転中心から周位置までの見かけ半径が変化するため、周速に変化が生じてしまう。

よって、この場合は、上記ブランケットロール１１の回転角度と周速の変化の相関を予め計測しておき、上記版テーブル３や基板テーブル４が上記ブランケットロール１１の下方を通過する際に、上記各テーブル３，４のアライメントステージ６，８を、上記ブランケットロール１１の回転角度に応じて該各テーブル３，４の走行方向に沿って移動させることで、それぞれのアライメントステージ６，８上に保持した版７や基板９の移動速度を、上記各テーブル３，４の走行速度に対して増速あるいは減速させるようにして、上記ブランケットロール１１の変化する周速に同期させるようにすればよい。

このように、本発明のオフセット印刷装置によれば、版テーブル３のアライメントステージ６による版７の初期アライメントを行うことで、該版テーブル３への版７の取り付け時における取付位置の誤差の影響を受けずに、版テーブル３の所定位置に版７を保持させることができ、同様に、基板テーブル４のアライメントステージ８による基板９の初期アライメントを行うことで、該基板テーブル４への基板９の取り付け時における取付位置の誤差の影響を受けずに、基板テーブル４の所定の位置に基板９を保持させることができるため、ブランケットロール１１の下方を通過するときの版テーブル３上の版７と、ブランケットロール１１の下方を通過するときの基板テーブル４上の基板９の相対位置を毎回同一にすることができて、版７の印刷パターンを印刷対象となる各基板９に高精度な位置再現性で印刷することができる。

更に、ブランケットロール１１の直下で上記版テーブル３や基板テーブル４の走行をガイドするガイドレール２の真直性や該ガイドレール２の上記ブランケットロール１１の軸心に対する直交性が低下していても、該ブランケットロール１１に対して版７や基板９を正対した状態で横ずれを生じることなく接触させることが可能になると共に、ブランケットロール１１に偏心が存在していても、ブランケットロール１１の周速の変化に同期して版７や基板９の移動速度を変化させながら上記ブランケットロール１１との接触をおこなわせることが可能になるため、印刷パターンの再現性をより高めることができる。

よって、各基板９に対し、印刷位置の再現性及び印刷パターンの再現性が共に高い印刷を行うことができて、基板９に対して電極パターンのような精密な印刷パターンを正確に且つ高い再現性で印刷することができる。更に、版７を交換しながら基板９に対して電極パターンのような精密な印刷パターンを重ね刷りをする場合であっても、重ね合わせずれを抑制することができる。

更には、ブランケットロール１１を上記版テーブル３に保持された版７や基板テーブル４に保持された基板９に所要の接触圧力で押し付けて転写や再転写を行なわせる際、上記ブランケットロール１１より作用する接触圧力等の影響で上記版７や基板９に微小な位置ずれが生じる場合は、ブランケットロール１１の直下に配置された版テーブル３上の版７や基板テーブル４上の基板９の位置を、図示しない変位センサでリアルタイムに検出して、その検出信号を基に、上記版テーブル３のアライメントステージ６や基板テーブル４のアライメントステージ８により版７や基板９の位置補正を行わせることも可能になる。

次に、図４は本発明の実施の他の形態を示すもので、図１乃至図３に示したと同様の構成において、架台１上に、版テーブル３のアライメントステージ６上に保持させた版７用と、基板テーブル４のアライメントステージ８上に保持させた基板９用の個別のアライメントエリアを設ける構成に代えて、上記架台１上における上記版テーブル３及び基板テーブル４の双方がガイドレール２に沿って走行可能となる所要個所に、版７及び基板９の双方のアライメントを行うための共通のアライメントエリア１５を設けるようにしたものである。

なお、上記アライメントエリア１５の構成は、図１及び図２に示した版７用のアライメントエリア１５と同様の構成としてあるものとする。その他の構成は図１乃至図３に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。

本実施の形態のオフセット印刷装置を使用する場合は、版テーブル３に保持させた版７と、基板テーブル４に保持させた基板９について、上記共通のアライメントエリア１５で順次初期アライメントを行うようにし、その他は図１乃至図３の実施の形態と同様の手順でオフセット印刷を行うようにすればよい。

このように、本実施の形態のオフセット印刷装置によれば、上記図１乃至図３の実施の形態と同様の効果を得ることができ、更に、上記版テーブル３に保持させた版７と、基板テーブル４に保持させた基板９について、同一のアライメントエリア１５で同一のアライメントセンサとしての精密カメラ１８を用いて初期アライメントを行うことができるため、上記精密カメラ１８の個体差等に起因する誤差を排除して、上記版テーブル３に保持された版７と、基板テーブル４に保持された基板９の相対的な配置をより精度よく毎回同一とさせることができる。

よって、版７の印刷パターンを基板９へオフセット印刷する際の再現性を更に向上させる効果が期待できる。

なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、上記版テーブル３のアライメントステージ６、及び、基板テーブル４のアライメントステージ８は、Ｘ軸とＹ軸方向の水平移動と、ヨー角度（θ）の回転移動を行うことができるようにした３自由度を備えてなるものとすることが望ましいが、Ｙ軸方向の水平移動とヨー角度（θ）の回転移動のみを行う２自由度のアライメントステージとしてもよい。この場合は、版７や基板９のＸ軸方向に沿う位置補正は、それぞれ対応するテーブル３，４のＸ軸方向の位置を補正することで行うようにすればよい。

上記各アライメントステージ６，８は、上下方向の寸法や平面形状を適宜変更してもよく、任意の動作機構を備えたアライメントステージを用いるようにしてよい。

図１乃至図３の実施の形態における架台１上に設けるアライメントエリア１５，１６の配置、及び、図４の実施の形態における架台１上に設けるアライメントエリア１５の配置は、版テーブル３や基板テーブル４の走行可能な範囲内であって、且つ転写機構部１０やインキング装置１４、版テーブル待機エリア１９や基板設置エリア２０と干渉しないようにすれば、ガイドレール２の長手方向における配置を適宜変更してもよい。

アライメントエリア１５，１６のアライメントセンサは、該アライメントエリア１５，１６の所定位置に配置した状態の版テーブル３のアライメントステージ６に保持させた版７や、基板テーブル４のアライメントステージ８に保持させた基板９に設けたポインティングマーカの位置を高精度で検出できるようにしてあれば、精密カメラ１８，１８ａ以外の任意のアライメントセンサを用いるようにしてもよい。

転写機構部１０にてブランケットロール１１を版テーブル３に保持された版７や基板テーブル４に保持された基板９に接触させるときに、ガイドレール２の真直性や該ガイドレール２のブランケットロール１１軸心に対する直交性の低下に対応するための該各テーブル３，４のアライメントステージ６，８による版７や基板９の位置補正と、ブランケットロール１１の偏心に対応させるための版７や基板９の移動速度の補正とを複合して行うようにしてもよい。

転写機構部１０は、ガイドレール２に沿って走行する版テーブル３に保持させた版７や基板テーブル４に保持させた基板９に対してブランケットロール１１を上方より接触させることができるようにしてあれば、いかなる形式の転写機構部１０を用いるようにしてよい。

インキング装置１４は版テーブル３に保持された版７へ適正なインキングが行えるようにしてあれば、任意の形式のインキング装置１４を用いるようにしてよい。

本発明のオフセット印刷方法及び装置は、基板９以外の印刷対象に印刷を行う場合に適用してもよい。

その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。

１架台
２ガイドレール
３版テーブル
４印刷対象テーブル
６アライメントステージ
７版
８アライメントステージ
９基板（印刷対象）
１１ブランケットロール
１５アライメントエリア
１６アライメントエリア
１８精密カメラ（アライメントセンサ）

Claims

架台上に設けたガイドレール上を個別に又は一体に走行する版テーブルと印刷対象テーブルを備え、上記版テーブルに保持させた版と、上記印刷対象テーブルに保持させた印刷対象に、ブランケットロールを上方より順次接触させることで、上記版からブランケットロールへの転写と、ブランケットロールから印刷対象への再転写を行わせるようにしてあるオフセット印刷装置において、上記版テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に版を保持させるようにすると共に、上記印刷対象テーブルの上部に設けたアライメントステージ上に印刷対象を保持させるようにし、更に、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントを行うためのアライメントエリアと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行うためのアライメントエリアをそれぞれ設けてなる構成を有することを特徴とするオフセット印刷装置。
架台上の所要個所に、版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを個別に行うためのアライメントエリアを設ける構成に代えて、上記架台上の所要個所に、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版のアライメントと、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象のアライメントを行う共通のアライメントエリアを設け、且つ該アライメントエリアに、上記版テーブル上のアライメントステージに保持させた版と、上記印刷対象テーブル上のアライメントステージに保持させた印刷対象を検出するための共通のアライメントセンサを備えるようにした請求項１記載のオフセット印刷装置。
版テーブル上のアライメントステージと印刷対象テーブル上のアライメントステージを、該各アライメントステージ上に保持した版や印刷対象にブランケットロールを接触させている状態でも該版や印刷対象のアライメントを行うことができるようにした請求項１又は２記載のオフセット印刷装置。