JP6523903B2 - 印刷装置および印刷方法 - Google Patents

Description

この発明は、平板状の版を用いて平板状の基材に配線パターンなどを印刷する、いわゆるシート・トゥ・シート方式の印刷技術に関するものである。

近年、電子回路基板やタッチパネル基板等のデバイスにおける電極パターンの形成を凹版印刷で行うという試みがなされている。例えば特許文献１には、版上の印刷パターンをブランケットロールに受理させる受理工程と、当該受理工程に続いてブランケットロール上の印刷パターンを基板に転写する転写工程とを実行する装置が記載されている。この印刷装置では、版を保持する版テーブルと、基板を保持する基板テーブルとが共通して位置可能なアライメントエリアが設けられている。このアライメントステージにはカメラが設けられており、版および基板を撮像して版および基板の位置情報を取得可能となっている。そして、これらの位置情報に基づいて版テーブルのアライメントステージによる版の位置補正と、上記基板テーブルのアライメントステージによる基板の位置補正を行うことで、印刷パターンの位置を毎回一致させている。

特開２０１０−２５３７７０号公報

上記位置補正を高精度に行うためにはカメラの較正が必要である。このため、上記従来装置では予め印刷パターンが形成された基板をカメラの較正に使用し、その際に使用される基板が、いわゆる「捨て印刷」となっていた。

また、カメラの較正後においても、印刷条件（版や基板の種類やサイズ等）の変更に応じてカメラ位置を変更した場合や経時変化によってカメラ位置が変動することがあり、これらによって位置補正の精度が低下することがある。したがって、カメラ位置の変更や変動が発生する毎に、カメラ較正が必要となり、捨て印刷の増大が問題となっている。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、版を撮像する複数の版撮像カメラと基材を撮像する複数の基材撮像カメラとの較正を捨て印刷を行うことなく簡易に行って、版と基材との位置合せを高精度に行うことができる印刷技術を提供することを目的とする。

この発明の一態様は、版保持部に保持された平板状の版に担持される印刷材料を転写部に受理させた後で、転写部に受理された印刷材料を基材保持部に保持された平板状の基材に転写する印刷装置であって、版保持部に保持された版の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ撮像する複数の版撮像カメラを有し、版の位置および姿勢に関する版アライメント情報を検出する版アライメント機構と、基材保持部に保持された基材の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ撮像する複数の基材撮像カメラを有し、基材の位置および姿勢に関する基材アライメント情報を検出する基材アライメント機構と、印刷材料が版から転写部に受理される受理位置と、印刷材料が転写部から基材に転写される転写位置とを制御する制御機構とを備え、版保持部および基材保持部のうちの一方がカメラ較正用のパターンを有する較正パターン保持部であり、制御機構は、複数の版撮像カメラおよび複数の基材撮像カメラによってパターンを撮像することで得られる複数の画像に基づいて複数の版撮像カメラと複数の基材撮像カメラとの相対ズレ量に関するカメラ較正情報を求める較正情報算出部と、版アライメント情報、基材アライメント情報およびカメラ較正情報に基づいて、受理位置および転写位置のうち少なくとも一方を補正する補正部とを有することを特徴としている。

また、この発明の他の態様は、版保持部に保持された平板状の版に担持される印刷材料を転写部に受理させた後で、転写部に受理された印刷材料を基材保持部に保持された平板状の基材に転写する印刷方法であって、版保持部または基材保持部に設けられたカメラ較正用のパターンを複数の版撮像カメラおよび複数の基材撮像カメラで撮像して得られる複数の画像に基づいて複数の版撮像カメラと複数の基材撮像カメラとの相対ズレ量に関するカメラ較正情報を取得する工程と、版保持部に保持された版の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ複数の版撮像カメラによって撮像して得られる複数の画像に基づいて版の位置および姿勢に関する版アライメント情報を取得する工程と、基材保持部に保持された基材の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ複数の基材撮像カメラによって撮像して得られる複数の画像に基づいて基材の位置および姿勢に関する基材アライメント情報を検出する工程と、版アライメント情報、基材アライメント情報および相対ズレ量に基づいて、印刷材料が版から転写部に受理される受理位置と、印刷材料が転写部から基材に転写される転写位置とのうち少なくとも一方を補正する工程とを備えることを特徴としている。

このように構成された発明では、カメラ較正用のパターンが版保持部または基材保持部に設けられる。このパターンは、版アライメント情報を検出するための複数の版撮像カメラと、基材アライメント情報を検出するための複数の基材撮像カメラとで撮像される。こうして得られた画像に基づいて複数の版撮像カメラおよび複数の基材撮像カメラでの相対ズレ量に関するカメラ較正情報が取得される。このように捨て印刷を行うことなく、カメラ較正情報が得られる。そして、当該カメラ較正情報、版アライメント情報および基材アライメント情報に基づいて受理位置および転写位置のうち少なくとも一方が補正される。したがって、版と基材との位置合せを高精度に行いながら版上の印刷材料を基材に印刷することができる。

本発明にかかる印刷装置の第１実施形態の構成を示す斜視図である。 ワークステージユニットでの較正部の構成を示す図である。 インク供給充填ユニットを構成するスリットノズルおよびドクターブレード部を示す図である。 インク充填ユニットを構成するドクターブレード部を示す図である。 図１の印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。 第１実施形態での較正情報算出処理の第１工程を示す図である。 第１実施形態での較正情報算出処理の第２工程を示す図である。 第１実施形態での較正情報算出処理の第３工程を示す図である。 図１に示す印刷装置による１枚目の印刷動作を示す図である。 図１に示す印刷装置による２枚目の印刷動作を示す図である。 版アライメント工程を模式的に示す図である。 ワークアライメント工程を模式的に示す図である。 第２実施形態での較正情報算出処理の第１工程を示す図である。 第２実施形態での較正情報算出処理の第２工程を示す図である。 第３実施形態での較正情報算出処理の第１工程を示す図である。 第３実施形態での較正情報算出処理の第２工程を示す図である。 第３実施形態での較正情報算出処理の第３工程を示す図である。

Ａ．装置の全体構成
図１は本発明にかかる印刷装置の第１実施形態の構成を示す斜視図である。印刷装置１は、主たる構成として、基台２と、版ステージユニット１０と、版アライメントユニット２０と、インク充填ユニット３０と、ローラユニット４０と、インク供給充填ユニット５０と、ワークアライメントユニット６０と、ワークステージユニット７０と、版ステージユニット１０およびワークステージユニット７０を移動させる搬送ユニット８０と、制御ユニット９０とを備えている。この印刷装置１では、制御ユニット９０が予めインストールされたプログラムに従って印刷装置１の各部を制御することで、平板状の凹版３に設けられる凹部（図３、４中の符号３ａ）にインクを充填する充填工程と、ローラユニット４０に凹版３のインクを受理させる受理工程と、受理されたインクを平板状のワーク４に転写する転写工程とを行う。これによって、凹版３の凹部により規定されるパターンで印刷材料がワーク４に印刷される。

基台２は図１に示すように水平方向Ｙに延設されている。基台２の上面には、一対の直動ガイド８１、これらの直動ガイド８１の間に配設されたリニアモータなどの直動駆動部８２および図示しないリニアスケールがＹ方向に延設されている。また、直動ガイド８１および直動駆動部８２には、２つの搬送ステージ８３、８４が設けられており、直動駆動部８２の駆動を受けてＹ方向に直線移動する。これら２つの搬送ステージのうち一方側の搬送ステージ８３上に版ステージユニット１０が搭載され、他方側の搬送ステージ８４上にワークステージユニット７０が搭載されている。これによって、版ステージユニット１０およびワークステージユニット７０が互いに独立して水平方向Ｙに往復移動可能となっている。この明細書では、図１および後で説明する各図では、装置各部の配置関係を明確にするために、搬送ステージ８３、８４の搬送方向Ｙのうち版ステージユニット１０に向かう方向を「Ｙ１」と称し、ワークステージユニット７０に向かう方向を「Ｙ２」と称する。また、水平方向Ｙと直交する水平方向を「Ｘ方向」と称する。また、水平方向Ｘのうち装置正面に向かう方向を「Ｘ１」と称するとともに装置背面に向かう方向を「Ｘ２」と称する。さらに、鉛直方向を「Ｚ方向」と称する。

版ステージユニット１０は、搬送ステージ８３の上面に配置される支持台１１と、支持台１１の上面に取り付けられ、その上面で凹版３を保持する版ステージ１２とを有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて直動駆動部８２が搬送ステージ８３をＹ方向に移動させることで、版ステージ１２に保持される凹版３をＹ方向に搬送することが可能となっている。

一方、ワークステージユニット７０は、搬送ステージ８４の上面に配置される位置調整機構７１と、位置調整機構７１の上面に取り付けられ、その上面でワーク４を保持するワークステージ７２と、２つの基準マスク（較正部材）７３１、７３２で構成される較正部７３とを有している。この位置調整機構７１は、ワークステージ７２を搬送ステージ８４に対してＸ方向およびθ１方向（鉛直軸回りの回転方向）に駆動する機能を有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて直動駆動部８２が搬送ステージ８４をＹ方向に移動させ、また制御ユニット９０からの動作指令に応じて位置調整機構７１がワークステージ７２をＸ方向およびθ１方向に移動させることで、ワークステージ７２に保持されるワーク４をＸ方向、Ｙ方向およびθ１方向に位置決めすることが可能となっている。

図２はワークステージユニットでの較正部の構成を示す図である。較正部７３を構成する２本の基準マスク７３１、７３２の表面には、同図に示すように、マスクの長手方向Ｘにカメラ較正用のパターンＣＰが複数個配列されており、パターンＣＰをカメラで撮像して得られる画像を解析することで当該カメラの位置を検出することが可能となっている。これら２本の基準マスクのうち第１基準マスク７３１はワークステージ７２のＹ１方向側端部に対して着脱自在に取り付けられる一方、第２基準マスク７３２はワークステージ７２のＹ２方向側端部に対して着脱自在に取り付けられている。ここでは、両基準マスク７３１、７３２はいずれも搬送方向Ｙと直交する幅方向Ｘに延設されているが、第１基準マスク７３１の幅方向Ｘの長さはワークステージ７２と同じ長さとなっているのに対し、第２基準マスク７３２の幅方向Ｘの長さはワークステージ７２よりも短くなっている。これは後で詳述するようにアライメントカメラの移動範囲に対応したものである。なお、図３では、パターンＣＰを二次元バーコードで構成した例を図示しているが、パターンＣＰの種類はこれに限定されるものではなく、一次元バーコードや数字や記号などであってもよい。

基台２の上面では、Ｙ方向における略中央部にローラユニット４０が配置されている。このローラユニット４０では、当該中央部のＸ方向の両端部において昇降機構４１によって昇降テーブル４２が鉛直方向Ｚに昇降可能に設けられている。この実施形態では、一対の昇降テーブル４２は、版ステージユニット１０およびワークステージユニット７０が移動する空間（以下「ステージ移動空間」という）よりもＸ方向外側に設けられている。これによって、版ステージユニット１０およびワークステージユニット７０との干渉が回避されている。

このように互いに離間して配置された一対の昇降テーブル４２を橋渡しするように転写ローラ４３が配置されている。この転写ローラ４３は、Ｘ方向に延びる回転軸回りに回転自在な円筒形状のブランケット胴の外周面にブランケットを装着したものであり、制御ユニット９０からの動作指令に応じて回転駆動モータ（図５中の符号４４）が駆動されると、回転軸回りの回転方向θ２に回転する。また、昇降機構４１の昇降モータ（図５中の符号４５）に対し、制御ユニット９０から昇降指令が与えられると、それに応じて昇降モータが作動して転写ローラ４３が昇降テーブル４２とともに一体的に昇降する。これによって、鉛直方向Ｚにおける転写ローラ４３の位置が高精度に調整される。

上記ローラユニット４０のＹ１方向側およびＹ２方向側には、インク充填ユニット３０およびインク供給充填ユニット５０がそれぞれ隣接して配置されている。これらのうちインク供給充填ユニット５０では、上記ステージ移動空間よりもＸ方向外側で基台２の上面から柱部材５１、５１が立設されている。また、柱部材５１、５１の上端部同士を連結するように梁部材５２が設けられ、上記ステージ移動空間を上方から跨ぐようにアーチ形状の支持部５３が形成されている。そして、支持部５３に対してスリットノズルおよびドクターブレードが取り付けられている。

図３はインク供給充填ユニットを構成するスリットノズルおよびドクターブレード部を示す図である。スリットノズル５４はＸ方向に延びる長尺状の吐出口５４１を有するノズルであり、当該吐出口５４１を鉛直下方に向けた状態で配置されている。また、スリットノズル５４は、液状または粘性状の印刷材料（以下「インク」という）を供給するインク供給部５５と接続されている。このため、凹版３を保持している版ステージユニット１０がスリットノズル５４の鉛直直下位置をＹ２方向に搬送されるのに同期してインク供給部５５がインクをスリットノズル５４に供給すると、インクがスリットノズル５４の吐出口５４１から下方に向けて吐出され、版ステージユニット１０に保持される凹版３の上面にインク溜りが形成される。

このスリットノズル５４のＹ２方向側には、ドクターブレード部５６が隣接して配置されている。このドクターブレード部５６はＸ方向に延設された先端５６１を有するステンレス鋼板製のブレード５６２を有している。このブレード５６２の表裏両面のうちＹ１方向を向いた面を腹面としてＹ２方向を向いた面を背面とし、当該背面に対してバックアップブレード５６３が配置されている。そして、これらブレード５６２およびバックアップブレード５６３を板状部材５６４、５６５が挟み込んで一体化している。このように構成されたドクターブレード部５６には、昇降機構５７が接続されており、制御ユニット９０からの昇降指令に応じて昇降機構５７が作動することでドクターブレード部５６を鉛直方向Ｚに昇降させる。これによって、ドクターブレード部５６の先端５６１が凹版３の上面３ｂ（凹部３ａが形成されている面）を押し付ける圧力（以下「押付圧」という）が調整され、スリットノズル５４から凹版３の上面３ｂに供給されたインクが凹版３の凹部３ａに充填される量や充填状況などを制御可能となっている。

インク充填ユニット３０は、スリットノズルが設けられていない点を除き、インク供給充填ユニット５０と同様に構成されている。すなわち、図１に示すように、Ｘ方向において上記ステージ移動空間よりも外側で基台２の上面から柱部材３１、３１が立設されるとともに当該柱部材３１、３１の上端部同士を連結するように梁部材３２が設けられている。これによって、上記ステージ移動空間を上方から跨ぐようにアーチ形状の支持部３３が形成されている。そして、支持部３３に対して次のように構成されるドクターブレード部が取り付けられている。

図４はインク充填ユニットを構成するドクターブレード部を示す図である。ドクターブレード部３６は、Ｘ方向に延設された先端３６１を有するステンレス鋼板製のブレード３６２と、Ｙ２方向側の面（背面）に対してバックアップブレード３６３が配置されている。そして、これらブレード３６２およびバックアップブレード３６３を板状部材３６４、３６５が挟み込んで一体化している。このように構成されたドクターブレード部３６には、昇降機構３７が接続されており、制御ユニット９０からの昇降指令に応じて昇降機構３７が作動することでドクターブレード部３６を鉛直方向Ｚに昇降させる。これによって、凹版３の上面３ｂに対するドクターブレード部３６の押付圧が調整され、スリットノズル３４から凹版３の上面３ｂに供給されたインクが凹版３の凹部３ａに充填される量や充填状況などを制御可能となっている。なお、本実施形態では、後で詳述するように、ドクターブレード部３６の押付圧がドクターブレード部５６のそれよりも大きくなるように、鉛直方向Ｚにおけるドクターブレード部３６、５６の高さ位置が制御される。

図１に戻って印刷装置１の構成説明を続ける。上記インク充填ユニット３０のＹ１方向側には、版アライメントユニット２０が配置されている。この版アライメントユニット２０においても、インク充填ユニット３０およびインク供給充填ユニット５０と同様のアーチ状の支持部２３が基台２の上面に設けられている。すなわち、４本の柱部材２１、２１の頂部同士を連結するように梁部材２２が設けられている。そして、梁部材２２に対して２つのアライメントカメラ２４、２５がそれぞれ位置調整機構２６、２７を介して取り付けられている。なお、本明細書では、アライメントカメラ２４、２５を区別して説明するために、それぞれ「第１版アライメントカメラ２４」および「第２版アライメントカメラ２５」と称する。

位置調整機構２６は第１版アライメントカメラ２４を梁部材２２に対してＸ方向およびＺ方向に駆動する機能を有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて位置調整機構２６が第１版アライメントカメラ２４をＸ方向およびＺ方向に移動させることで、版ステージ１２に保持されている凹版３の一部を高精度に撮像可能となっている。

また、もう一方の位置調整機構２７は第２版アライメントカメラ２５を第２版アライメントカメラ２５のＸ２方向側で梁部材２２に対してＸ方向およびＺ方向に駆動する機能を有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて位置調整機構２７が第２版アライメントカメラ２５をＸ方向およびＺ方向に移動させることで、第１版アライメントカメラ２４で撮像した領域と異なる凹版３の表面領域を高精度に撮像可能となっている。なお、このようにして撮像される２つの画像は制御ユニット９０に転送されてメモリ（図５中の符号９２）に保存される。

また、インク供給充填ユニット５０のＹ２方向側には、ワークアライメントユニット６０が配置されている。このワークアライメントユニット６０では、ガントリークレーン状の支持部６１、６２がワークステージユニット７０のステージ移動空間からＸ２方向側に離れて基台２の上面でそれぞれＹ方向に移動自在に配置されている。一方の支持部６１の梁部材６３に対してアライメントカメラ６４がＸ方向およびＺ方向に移動自在に取り付けられている。また、他方の支持部６２の梁部材６６に対してアライメントカメラ６７がＸ方向およびＺ方向に移動自在に取り付けられている。なお、本明細書では、アライメントカメラ６４、６７を区別して説明するために、それぞれ「第１ワークアライメントカメラ６４」および「第２ワークアライメントカメラ６７」と称する。

本実施形態では、第１ワークアライメントカメラ６４をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させるために、位置調整機構６５が設けられている。この位置調整機構６５は、第１ワークアライメントカメラ６４を支持する支持部６１を基台２に対してＹ方向に駆動することで第１ワークアライメントカメラ６４をＹ方向に位置決めする駆動部と、支持部６１の梁部材６３に対して第１ワークアライメントカメラ６４をＸ方向およびＺ方向に駆動して位置決めする駆動部とを有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて位置調整機構６５がアライメントカメラ６４をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させることで、ワークステージ７２に保持されているワーク４の一部を高精度に撮像可能となっている。

また、第２ワークアライメントカメラ６７をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させるために、位置調整機構６８が設けられている。この位置調整機構６８は、第２ワークアライメントカメラ６７を支持する支持部６２を基台２に対してＹ方向に駆動することで第２ワークアライメントカメラ６７をＹ方向に位置決めする駆動部と、支持部６２の梁部材６６に対して第２ワークアライメントカメラ６７をＸ方向およびＺ方向に駆動して位置決めする駆動部とを有している。このため、制御ユニット９０からの動作指令に応じて位置調整機構６５がアライメントカメラ６４をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動させることで、先に説明した第１ワークアライメントカメラ６４と同様にして、第１ワークアライメントカメラ６４により撮像された部位と異なるワーク４の部位を高精度に撮像可能となっている。なお、このようにして撮像される２つの画像についても制御ユニット９０に転送されてメモリ（図５中の符号９２）に保存される。

図５は図１の印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。この印刷装置１の制御ユニット９０には、予め定められた処理プログラムを実行して各部の動作を制御するＣＰＵ９１と、ＣＰＵ９１により実行される処理プログラムや処理中に生成されるデータ等を記憶保存するためのメモリ９２と、処理の進行状況や異常の発生などを必要に応じてユーザに報知するとともにユーザからの入力を受け付けるための操作表示部９３とが設けられている。そして、処理プログラムにしたがってＣＰＵ９１が装置各部を制御することで、以下に詳述するカメラ較正情報を求める較正情報算出処理と、版アライメント情報、ワークアライメント情報（本発明の「基材アライメント情報」に相当）および上記カメラ較正情報に基づく補正処理を行いながら印刷処理を行う。このように、ＣＰＵ９１が本発明の「較正情報算出部」および「補正部」として機能する。以下、較正情報算出処理と印刷処理とを順次説明する。

Ｂ．較正情報算出処理
凹版３およびワーク４には、位置合せ用のマーク、いわゆるアライメントマークが付されている。版ステージ１２に保持された凹版３の位置や姿勢を検出するために、凹版３に応じて予め設定された位置に版アライメントカメラ２４、２５は位置決めされる。これによって、版ステージ１２への凹版３の搬入位置が多少変動したとしても、版アライメントカメラ２４、２５の撮像可能範囲にアライメントマークが含まれ、アライメントマークを撮像可能となっている。この点については、ワーク４についても同様である。つまり、ワーク４をワークステージ７２に搬入すると、当該ワーク４に応じて予め設定された位置にワークアライメントカメラ６４、６７が位置決めされる。したがって凹版３やワーク４の種類やサイズなどの印刷条件が変更されると、それに応じて各カメラ２４，２５、６４、６７の位置も変更する必要がある。また、印刷条件が同一であったとしても、多数の印刷処理を繰り返して行っている間に、各カメラ２４，２５、６４、６７の位置が経時的に変動することがある。

そこで、本実施形態では、上記したように印刷条件が変更されたとき、あるいは印刷枚数や印刷時間等が一定範囲を超える毎に、制御ユニット９０が装置各部を制御して図６Ａないし図６Ｃに示す較正情報算出処理を実行して版アライメントカメラ２４、２５およびワークアライメントカメラ６４、７４での相対ズレ量をカメラ較正情報として算出している。そして、そのカメラ較正情報を後で説明する印刷処理における補正工程に反映して高精度な印刷を可能としている。

図６Ａないし図６Ｃはそれぞれ較正情報算出処理の第１工程ないし第３工程を示す図である。この較正情報算出処理では、搬送ユニット８０がワークステージ７２をＹ１方向に移動させ、図６Ａ中の左欄に示すように、第２基準マスク７３２を第２ワークアライメントカメラ６７の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、第２ワークアライメントカメラ６７が第２基準マスク７３２を撮像する。そして、制御ユニット９０のＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図６Ａ中の右欄に示すように、第２ワークアライメントカメラ６７のＸ方向における位置（以下「Ｘ位置」という）ＷＡＬＣ２（Ｘ）と、第２ワークアライメントカメラ６７のＹ方向における位置（以下「Ｙ位置」という）ＷＡＬＣ２（Ｙ）を求め、メモリ９２に記憶する。なお、図６Ａないし図６Ｃ（および後で説明する図１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ〜１２Ｃ）における「十」印はアライメントカメラの位置を模式的に示したものであり、次に説明する図６Ｂ、図６Ｃ（および後で説明する図１１Ａ、１１Ｂ、１２Ｂ、１２Ｃ）における白十字印はアライメントカメラ群の位置を模式的に示したものである。

次に、搬送ユニット８０がワークステージ７２をさらにＹ１方向に移動させ、図６Ｂ中の左欄に示すように、第２基準マスク７３２を第１ワークアライメントカメラ６４の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、第１ワークアライメントカメラ６４が第２基準マスク７３２を撮像する。そして、ＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図６Ｂ中の右欄に示すように、第１ワークアライメントカメラ６４のＸ位置ＷＡＬＣ１（Ｘ）とＹ位置ＷＡＬＣ１（Ｙ）を求める。さらに、ＣＰＵ９１はメモリ９２から第２ワークアライメントカメラ６７のＸ位置ＷＡＬＣ２（Ｘ）とＹ位置ＷＡＬＣ２（Ｙ）を読み出し、次式
ＷＡＬＣ（Ｘ）＝[ＷＡＬＣ１（Ｘ）＋ＷＡＬＣ２（Ｘ）]／２
ＷＡＬＣ（Ｙ）＝[ＷＡＬＣ１（Ｙ）＋ＷＡＬＣ２（Ｙ）]／２
に基づいてワークアライメントカメラ群（第１ワークアライメントカメラ６４、第２ワークアライメントカメラ６７）のＸ位置ＷＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＷＡＬＣ（Ｙ）を算出し、メモリ９２に記憶する。さらに、ＣＰＵ９１は次式
ＷＡＬＣ１−２（Ｘ）＝ＷＡＬＣ２（Ｘ）−ＷＡＬＣ１（Ｘ）
ＷＡＬＣ１−２（Ｙ）＝ＷＡＬＣ２（Ｙ）−ＷＡＬＣ１（Ｙ）
に基づいて第１ワークアライメントカメラ６４と第２ワークアライメントカメラ６７との相対位置関係を算出し、これをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。

次に、搬送ユニット８０がワークステージ７２をさらにＹ１方向に移動させ、図６Ｃ中の左欄に示すように、第１基準マスク７３１を第１版アライメントカメラ２４および第２版アライメントカメラ２５の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、これらの版アライメントカメラ２４、２５が第１基準マスク７３１を撮像する。そして、ＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図６Ｃ中の右欄に示すように、第１版アライメントカメラ２４のＸ位置ＰＡＬＣ１（Ｘ）とＹ位置ＰＡＬＣ１（Ｙ）ならびに第２版アライメントカメラ２５のＸ位置ＰＡＬＣ２（Ｘ）とＹ位置ＰＡＬＣ２（Ｙ）を求める。そして、ＣＰＵ９１は次式
ＰＡＬＣ（Ｘ）＝[ＰＡＬＣ１（Ｘ）＋ＰＡＬＣ２（Ｘ）]／２
ＰＡＬＣ（Ｙ）＝[ＰＡＬＣ１（Ｙ）＋ＰＡＬＣ２（Ｙ）]／２
に基づいて版アライメントカメラ群（第１版アライメントカメラ２４、第２版アライメントカメラ２５）のＸ位置ＰＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＰＡＬＣ（Ｙ）を算出し、メモリ９２に記憶する。さらに、ＣＰＵ９１は次式
ＰＡＬＣ１−２（Ｘ）＝ＰＡＬＣ２（Ｘ）−ＰＡＬＣ１（Ｘ）
ＰＡＬＣ１−２（Ｙ）＝ＰＡＬＣ２（Ｙ）−ＰＡＬＣ１（Ｙ）
に基づいて第１版アライメントカメラ２４と第２版アライメントカメラ２５との相対位置関係を算出し、これをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。

さらに、ＣＰＵ９１はメモリ９２からワークアライメントカメラ群のＸ位置ＷＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＷＡＬＣ（Ｙ）を読み出し、次式
Ｐ−ＷＡＬＣ（Ｘ）＝ＰＡＬＣ（Ｘ）−ＷＡＬＣ（Ｘ）
Ｐ−ＷＡＬＣ（Ｙ）＝ＰＡＬＣ（Ｙ）−ＷＡＬＣ（Ｙ）
に基づいてワークアライメントカメラ群と版アライメントカメラ群との相対ズレ量を算出し、これをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。

Ｃ．印刷処理
図７は図１に示す印刷装置による１枚目の印刷動作を示す図である。また、図８は図１に示す印刷装置による２枚目の印刷動作を示す図である。なお、１枚目の印刷動作を示している図７において破線で示す工程は２枚目の印刷動作を示している。一方、２枚目の印刷動作を示している図において１点鎖線で示す工程は１枚目の印刷動作を示し、破線で示す工程は３枚目の印刷動作を示している。ここでは、新たな凹版３により規定されるパターン、例えば配線パターンをインクでワーク４に印刷する動作の２枚分について図７および図８を参照しつつ説明する。

搬送ユニット８０により版ステージユニット１０が凹版供給回収装置（図示省略）との間で凹版３の受渡しを行うロード／アンロード位置に位置決めされた後で、凹版供給回収装置から凹版３が版ステージ１２に搬入される。また、当該凹版３に対応するワーク４が準備される。すなわち、搬送ユニット８０によりワークステージユニット７０がワーク供給回収装置（図示省略）との間でワーク４の受渡しを行うロード／アンロード位置に位置決めされた後で、ワーク供給回収装置から印刷前のワーク４がワークステージ７２に搬入される。このように印刷条件が変更されたことから、版アライメントカメラ２４、２５は凹版３に対応する位置に移動して位置決めされ、ワークアライメントカメラ６４、６７はワーク４に対応する位置に移動して位置決めされる。また、これに対応して上記した較正情報算出処理が実行され、上記カメラ較正情報がメモリ９２に記憶される。こうして、印刷動作の準備が完了すると、ＣＰＵ９１はプログラムにしたがって装置各部を制御して１枚目の印刷動作を開始する。

凹版３を保持したまま版ステージユニット１０が版アライメントユニット２０に移動し、凹版３の上面に予め形成されている２つのアライメントマークをそれぞれ版アライメントカメラ２４、２５の鉛直直下位置に位置させる。これによって、２つのアライメントマークがそれぞれ版アライメントカメラ２４、２５の撮像視野内に入り、例えば図９に示すように版アライメントカメラ２４、２５によってアライメントマーク像ＰＡＬ１、ＰＡＬ２がそれぞれ撮像される。同図中の点１２Ｃは版ステージ１２の回転中心を示しているのに対し、点３Ｃは版ステージ１２に保持されている凹版３の回転中心を示している。そして、ＣＰＵ９１は以下の演算を行って版アライメントに必要となる版アライメント情報を算出する（版アライメント工程：ステップＳＰ１）。

ＣＰＵ９１はアライメントマーク像ＰＡＬ１のＸ位置ＰＡＬ１（Ｘ）およびＹ位置ＰＡＬ１（Ｙ）を求めるとともに、アライメントマーク像ＰＡＬ２のＸ位置ＰＡＬ２（Ｘ）およびＹ位置ＰＡＬ２（Ｙ）を求める。また、ＣＰＵ９１は、Ｘ方向およびＹ方向におけるアライメントマークのズレ量、上記較正情報算出処理により算出された版アライメントカメラ２４、２５の相対ズレ量から次式
Ｐ（θ１）＝arctan（（PAL2(Y)−PAL1(Y)＋PALC1-2(Y)）/（PAL2(X)−PAL1(X)＋PALC1-2(X）））
にしたがって回転方向θ１における凹版３の回転ズレ量を算出する。また、ＣＰＵ９１は、アライメントマーク像の設計値からのズレ量から、凹版３の回転中心からのＸ方向におけるズレ量（以下「Ｘズレ量」という）Ｐ（ΔＸ）とＹ方向におけるズレ量（以下「Ｙズレ量」という）Ｐ（ΔＹ）を次式
Ｐ（ΔＸ）＝（ＰＡＬ１（Ｘ）＋ＰＡＬ２（Ｘ））／２
Ｐ（ΔＹ）＝（ＰＡＬ１（Ｙ）＋ＰＡＬ２（Ｙ））／２
に基づいて算出する。

こうして版アライメント工程が完了すると、インク供給工程（ステップＳＰ２）が実行される。このインク供給工程では、凹版３の上面３ｂを上方に向けた水平姿勢で保持しながら版ステージユニット１０がＹ２方向に移動し、スリットノズル５４からインクが供給されるインク供給位置に位置決めされる。これに続いて、インク供給部５５からインクがスリットノズル５４に供給され、凹版３の上面３ｂに吐出される。これによって、凹版３にインク溜りが形成される。

そして、凹版３の上面３ｂでインク溜りを担持しながら版ステージユニット１０がＹ１方向に移動し、インク溜りが本充填位置（ドクターブレード部３６により本充填が行われる位置）を越えた時点で版ステージユニット１０は移動を停止する。これに続いて、ドクターブレード部３６が下降して先端３６１（図４）を凹版３の上面３ｂに押し付ける。この状態のまま版ステージユニット１０がＹ２方向に移動する。このとき、ドクターブレード部３６によって、インク溜りが掻き取られるとともに凹部３ａにインクが充填される。ここでは、ドクターブレード部３６の押付力は比較的強く設定されているため、ドクターブレード部３６が通過した後の凹版３の上面３ｂにインクは残留することはなく、凹部３ａのみにインクが充填される（本充填工程：ステップＳＰ３）。それに続いて、版ステージユニット１０がＹ２方向に移動して凹版３を受理転写位置（転写ローラ４３により受理および転写が行われる位置）に移動させてローラユニット４０において受理工程を実行する（ステップＳＴ１）。

この受理工程では、転写ローラ４３が下降して受理転写位置に位置決めされるとともに転写ローラ４３が凹版３をＹ２方向に送る方向に回転する（以下、この回転を「正回転」という）。また、この正回転動作に同期して、本充填工程を受けた凹版３を保持しながら版ステージユニット１０が受理転写位置を通過してＹ２方向に移動する。この通過時に凹部３ａに充填されたインクが転写ローラ４３の外周面に転写され、受理される。この受理工程は凹版３が受理転写位置を完全に通過するまで継続される。なお、本実施形態では、上記のようにして１枚目の受理工程を行うが、当該受理工程を継続している間に、２枚目のインク供給工程（ステップＳＰ４）、仮充填工程（ステップＳＰ５）を行っている。これらについては後で説明する。

こうして受理工程が完了するまでに、ワークステージ７２に搬入されたワーク４に対してワークアライメント工程を実行する（ステップＳＷ１）。このワークアライメント工程では、ワーク４を保持したままワークステージユニット７０がワークアライメントユニット６０に移動し、ワーク４の上面に予め形成されている２つのアライメントマークをそれぞれワークアライメントカメラ６４、６７の鉛直直下位置に位置させる。これによって、２つのアライメントマークがそれぞれワークアライメントカメラ６４、６７の撮像視野内に入り、例えば図１０に示すようにワークアライメントカメラ６４、６７によってアライメントマーク像ＷＡＬ１、ＷＡＬ２がそれぞれ撮像される。同図中の点７２Ｃはワークステージ７２の回転中心を示しているのに対し、点４Ｃはワークステージ７２に保持されているワーク４の回転中心を示している。そして、ＣＰＵ９１は以下の演算を行ってワークアライメントに必要となるワークアライメント情報を算出する。

ＣＰＵ９１はアライメントマーク像ＷＡＬ１のＸ位置ＷＡＬ１（Ｘ）およびＹ位置ＷＡＬ１（Ｙ）を求めるとともに、アライメントマーク像ＷＡＬ２のＸ位置ＷＡＬ２（Ｘ）およびＹ位置ＷＡＬ２（Ｙ）を求める。また、ＣＰＵ９１は、Ｘ方向およびＹ方向におけるアライメントマークのズレ量、上記較正情報算出処理により算出されたワークアライメントカメラ６４、６７の相対ズレ量から次式
Ｗ（θ１）＝arctan（（WAL2(Y)−WAL1(Y)＋WALC1-2(Y)）/（WAL2(X)−WAL1(X)＋WALC1-2(X）））
にしたがって回転方向θ１におけるワーク４の回転ズレ量を算出する。

それに続いて、ＣＰＵ９１は、ステップＳＰ１で求められた凹版３の回転ズレ量Ｐ（θ１）、上記ワーク４の回転ズレ量Ｗ（θ１）ならびにワーク基準角度ＷＳ（θ１）からワークステージ７２の回転方向θ１における回転角度を算出する。ここで、ワーク基準角度ＷＳ（θ１）とは、ワークステージ７２上でのワーク４の保持角度を意味している。つまり、例えば図１に示すように、矩形形状の凹版３およびワーク４のＹ方向端面を幅方向Ｘと平行に配置する場合、ワーク基準角度ＷＳ（θ１）はゼロとなる。一方、例えば図９および図１０中の破線で示すように、矩形形状の凹版３およびワーク４のＹ方向端面を幅方向Ｘに対して傾ける場合、ワーク基準角度ＷＳ（θ１）は、−９０゜＜ＷＳ（θ１）＜０、または０＜ＷＳ（θ１）＜９０゜となる。

上記回転角度が算出されると、ワークステージ７２は当該回転角度だけ回転方向θ１に回転して回転方向θ１におけるワーク４と凹版３との位置合せを行う。また、当該位置合せされたワーク４を保持したままワークステージユニット７０が再度ワークアライメントユニット６０に移動し、ワーク４の上面に予め形成されている２つのアライメントマークをそれぞれワークアライメントカメラ６４、６７の鉛直直下位置に位置させる。そして、ワークアライメントカメラ６４、６７によるアライメントマークの撮像、アライメントマーク像ＷＡＬ１のＸ位置ＷＡＬ１（Ｘ′）およびＹ位置ＷＡＬ（Ｙ′）の導出、アライメントマーク像ＷＡＬ２のＸ位置ＷＡＬ２（Ｘ′）およびＹ位置ＷＡＬ（Ｙ′）の導出を再度行う。そして、次式
Ｗ（ΔＸ）＝（ＷＡＬ１（Ｘ′）＋ＷＡＬ２（Ｘ′））／２
Ｗ（ΔＹ）＝（ＷＡＬ１（Ｙ′）＋ＷＡＬ２（Ｙ′））／２
からＣＰＵ９１はワーク４の回転中心からのＸズレ量Ｗ（ΔＸ）とＹズレ量Ｗ（ΔＹ）を算出する。こうして、受理工程の完了までに、ＣＰＵ９１はワークアライメント情報を取得し、メモリ９２に記憶しておく。

受理工程が完了し、さらに上記インク供給工程（ステップＳＰ４）および仮充填工程（ステップＳＰ５）が完了すると、凹版３を保持しながら版ステージユニット１０がＹ１方向に移動する。また、これに追従して印刷前のワーク４を保持したままワークステージユニット７０がＹ１方向に移動し、ワーク４が受理転写位置を通過した時点で移動を停止する。それに続いて転写ローラ４３は下降し、受理転写位置に位置決めされる。そして、転写ローラ４３の正回転と同期してワークステージユニット７０がＹ２方向に移動して受理転写位置を通過する。この通過時にインクが転写ローラ４３からワーク４の上面に転写される（転写工程：ステップＳＴ２）。この転写工程を開始する位置をＣＰＵ９１が補正することで高精度な印刷を可能としている。本実施形態では、転写ローラ４３は予め設計された受理基準位置で受理を開始する一方、ワーク４の転写開始位置は予め設計された転写基準位置を補正している。具体的には、Ｘ方向における転写開始位置ＸとＹ方向における転写開始位置Ｙとを次式
（転写開始位置Ｘ）＝（転写基準位置Ｘ）−Ｗ（ΔＸ）＋Ｐ（ΔＸ）−Ｐ−ＷＡＬＣ（Ｘ）
（転写開始位置Ｙ）＝（転写基準位置Ｙ）−Ｗ（ΔＹ）＋Ｐ（ΔＹ）−Ｐ−ＷＡＬＣ（Ｙ）
にしたがって設定している。このため、凹版３から転写ローラ４３に受理されたインクをワーク４に正確に転写することができ、その結果、凹版３に形成されたパターンをワーク４の上面に高精度に印刷することができる。なお、本実施形態では、こうした１枚目の転写工程と並行して２枚目の本充填工程を実行している。この点については２枚目の印刷動作において説明する。

ワーク４への印刷が完了すると、当該ワーク４を保持しながらワークステージユニット７０がＹ２方向に移動し、ワーク用のロード／アンロード位置に移動する。そして、このワークステージユニット７０に対し、図示を省略するワーク供給回収装置がアクセスしてワーク４の入替えを行う。すなわち、ワーク供給回収装置により、パターンが印刷された１枚目のワーク４がワークステージユニット７０から搬出される（ワーク搬出工程：ステップＳＷ２）。これによって、１枚目の印刷動作が完了する。

次に、２枚目の印刷動作について図８を参照しつつ簡単に説明する。本実施形態では、上記したように受理工程を行っている間に、２枚目のインク供給工程を開始している。というのも、本実施形態では、受理転写位置とインク供給位置との距離は凹版３の搬送方向Ｙの長さよりも短く、１枚目の受理工程を継続している間に、凹版３の上面３ｂがインク供給位置に到達するからである。そこで、２枚目の印刷動作のために、当該到達タイミングでインク供給を行い、凹版３の上面３ｂにインク溜りを形成する（ステップＳＰ４）。

ここで、凹版３の上面３ｂのうち受理工程を受けた表面領域では、凹部３ａからインクの大部分が転写ローラ４３に移行しているものの、一部インクが凹版３に残留することがある。このまま次回のインク供給まで放置すると、残留インク中の溶媒成分が揮発して凹版３に固体状態で付着してしまうことがある。このような乾燥インクが付着した凹版３を用いて印刷動作を継続させると、印刷不良を招くおそれがある。そこで、本実施形態では、２枚目の印刷用インクとして形成されたインク溜りを仮充填位置（ドクターブレード部５６により仮充填が行われる位置）に位置決めされるドクターブレード部５６によって凹版３の上面３ｂ全体に粗く均す、いわゆる仮充填工程を実行する（ステップＳＰ５）。

この仮充填工程が完了すると、凹版３を保持しながら版ステージユニット１０がＹ１方向に移動し、凹版３のＹ２方向側端部が本充填位置に到達した時点で移動を停止する。それに続いてドクターブレード部３６が降下して先端３６１が凹版３の上面３ｂに押し付けられる。これによって２枚目の本充填工程が開始される。さらに、１枚目の転写工程を行うためにＹ２方向に移動しているワークステージユニット７０に追従して版ステージユニット１０がＹ２方向に移動して本充填工程を進行させる。そして、凹版３全体が本充填位置を通過すると、ドクターブレード部３６は上方に退避して２枚目の本充填工程を完了する（ステップＳＰ６）。

それに続いて、１枚目と同様に、版ステージユニット１０がＹ２方向に移動して凹版３を受理転写位置に移動させてローラユニット４０において受理工程を実行する（ステップＳＴ３）。また、当該受理工程を継続している間に、３枚目のインク供給工程（ステップＳＰ７）、仮充填工程（ステップＳＰ８）を行う。

こうして２枚目の受理工程が完了するまでに、ワークステージユニット７０では、１枚目のワーク４の搬出に続いて２枚目のワーク４の搬入（ワーク搬入工程：ステップＳＷ３）およびワークアライメント工程（ステップＳＷ４）が実行される。そして、上記３枚目のインク供給工程（ステップＳＰ７）および仮充填工程（ステップＳＰ８）が完了して版ステージユニット１０がＹ１方向に移動すると、それに追従してワークステージユニット７０がＹ１方向に移動し、ワーク４が受理転写位置を通過した時点で移動を停止する。それに続いて、１枚目と同様にして転写工程（ステップＳＴ４）およびワーク搬出工程（ステップＳＷ５）が実行され、２枚目の印刷動作が完了する。なお、上記転写工程に並行して３枚目の本充填工程（ステップＳＰ９）が実行される。

以上のように、本実施形態では、カメラ較正用のパターンＣＰが形成された基準マスク７３１、７３２をワークステージ７２に着脱自在に取り付け、当該基準マスク７３１、７３２を用いてアライメントカメラ２４、２５、６４、６７のＸ位置およびＹ位置を導出している。そして、それらのＸ位置およびＹ位置からカメラ較正情報を算出し、転写位置を補正している。したがって、いわゆる捨て印刷を行うことなく、凹版３とワーク４との位置合せを高精度に行いながら凹版３上のインクをワーク４に印刷することができる。

また、上記実施形態では、第１基準マスク７３１がワークステージ７２のＹ１側端部に取り付けられるとともに第２基準マスク７３２がワークステージ７２のＹ２側端部に取り付けられている。そして、図６Ａないし図６Ｃに示すように、第２基準マスク７３２を用いてワークアライメントカメラ６４、６７のＸ位置およびＹ位置を取得する一方、第１基準マスク７３１を用いて版アライメントカメラ２４、２５のＸ位置およびＹ位置を取得している。このため、上記基準マスク７３１、７３２が取り付けられたワークステージユニット７０のＹ方向での移動範囲を短くすることができ、較正情報算出処理に要する時間を短縮することができる。

また、上記実施形態では、第１基準マスク７３１はＸ方向における版アライメントマスク２４、２５の移動範囲をカバーするようにＸ方向に延設されており、図６Ｃに示すように、第１基準マスク７３１を版アライメントマスク２４、２５の鉛直直下位置に位置決めすることで版アライメントマスク２４のＸ位置およびＹ位置を一括して取得することができる。また、第２基準マスク７３２はＸ方向におけるワークアライメントマスク６４、６７の移動範囲をカバーするようにＸ方向に延設されており、図６Ａおよび図６Ｂに示すように第２基準マスク７３２がワークアライメントカメラ６４、６７に位置決めされる毎にワークアライメントマスクのＸ位置およびＹ位置を順次取得することができる。しかも、本実施形態では、Ｘ方向においてワークアライメントカメラ６４、６７の移動範囲がアライメントカメラ２４、２５の移動範囲よりも狭いことに対応し、第２基準マスク７３２を短く仕上げており、その分だけコスト低減が可能となっている。

また、上記実施形態では、両基準マスク７３１、７３２はともにワークステージ７２に対して着脱自在となっている。このため、基準マスク７３１、７３２の清掃や交換を容易に行うことができ、メンテナンス性に優れている。

Ｄ．その他
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、各アライメントカメラ２４、２５、６４、６７のＸ位置およびＹ位置を検出するために２本の基準マスク７３１、７３２を用いているが、基準マスクの本数はこれに限定されるものではない。例えば第１基準マスク７３１のみをワークステージ７２のＹ１側端部に着脱自在に取り付けてもよい（第２実施形態、第３実施形態）。

図１１Ａおよび図１１Ｂは本発明にかかる印刷装置の第２実施形態での較正情報算出処理を模式的に示す図である。この第２実施形態は、ワークアライメントカメラ６４、６７がＸ方向に配列されている点と、第１基準マスク７３１のみが設けられている点と、ワークアライメントカメラ６４、６７のＸ位置およびＹ位置が同時に検出される点とを除き、第１実施形態と基本的に同一である。したがって、以下のおいては相違点を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して説明を省略する。

この第２実施形態の較正情報算出処理では、搬送ユニット８０がワークステージ７２をＹ１方向に移動させ、図１１Ａ中の左欄に示すように、第１基準マスク７３１を第１ワークアライメントカメラ６４および第２ワークアライメントカメラ６７の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、両ワークアライメントカメラ６４、６７が基準マスク７３１を撮像する。そして、制御ユニット９０のＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図１１Ａ中の右欄に示すように、第１ワークアライメントカメラ６４の位置ＷＡＬＣ１（Ｘ）および位置ＷＡＬＣ１（Ｙ）と、第２ワークアライメントカメラ６７の位置ＷＡＬＣ２（Ｘ）および位置ＷＡＬＣ２（Ｙ）とを一括して導出する。また、これらの位置情報に基づいて第１実施形態と同様に、ワークアライメントカメラ群のＸ位置ＷＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＷＡＬＣ（Ｙ）を算出し、第１ワークアライメントカメラ６４と第２ワークアライメントカメラ６７との相対位置関係を算出し、これらをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。なお、それ以降は第１実施形態と同様にして版アライメントカメラ群（第１版アライメントカメラ２４、第２版アライメントカメラ２５）のＸ位置ＰＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＰＡＬＣ（Ｙ）を算出し、第１版アライメントカメラ２４と第２版アライメントカメラ２５との相対位置関係を算出し、これらをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。さらに、ワークアライメントカメラ群と版アライメントカメラ群との相対ズレ量をカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。

このように第２実施形態では、１つの基準マスク７３１によりカメラ較正情報を算出しているため、基準マスクの個数が最小化されて装置コストを低減させることができる。また、較正情報算出処理の工数を減らすことができ、較正情報算出処理に要する時間を短縮することができる。

図１２Ａないし図１２Ｃは本発明にかかる印刷装置の第３実施形態での較正情報算出処理を模式的に示す図である。この第３実施形態では、第１基準マスク７３１のみが設けられている。この第３実施形態の較正情報算出処理では、搬送ユニット８０がワークステージ７２をＹ２方向に移動させ、図１２Ａ中の左欄に示すように、第１基準マスク７３１を第２ワークアライメントカメラ６７の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、第２ワークアライメントカメラ６７が第１基準マスク７３１を撮像する。そして、制御ユニット９０のＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図１２Ａ中の右欄に示すように、第２ワークアライメントカメラ６７のＸ位置およびＹ位置を求め、メモリ９２に記憶する。

次に、搬送ユニット８０がワークステージ７２をさらにＹ１方向に移動させ、図１２Ｂ中の左欄に示すように、第１基準マスク７３１を第１ワークアライメントカメラ６４の鉛直直下位置に位置決めする。それに続いて、第１ワークアライメントカメラ６４が第１基準マスク７３１を撮像する。そして、ＣＰＵ９１が上記撮像により得られた画像に含まれるパターン像を解析し、図１２Ｂ中の右欄に示すように、第１ワークアライメントカメラ６４のＸ位置ＷＡＬＣ１（Ｘ）とＹ位置ＷＡＬＣ１（Ｙ）を求める。また、これらの位置情報に基づいて第１実施形態と同様に、ワークアライメントカメラ群のＸ位置ＷＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＷＡＬＣ（Ｙ）を算出し、第１ワークアライメントカメラ６４と第２ワークアライメントカメラ６７との相対位置関係を算出し、これらをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。なお、それ以降は、図１２Ｃに示すように、第１実施形態と同様にして版アライメントカメラ群（第１版アライメントカメラ２４、第２版アライメントカメラ２５）のＸ位置ＰＡＬＣ（Ｘ）、Ｙ位置ＰＡＬＣ（Ｙ）を算出し、第１版アライメントカメラ２４と第２版アライメントカメラ２５との相対位置関係を算出し、これらをカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。さらに、ワークアライメントカメラ群と版アライメントカメラ群との相対ズレ量をカメラ較正情報としてメモリ９２に記憶する。

このように第３実施形態では、第２実施形態と同様に、１つの基準マスク７３１によりカメラ較正情報を算出しているため、基準マスクの個数が最小化されて装置コストを低減させることができる。

また、上記第１実施形態では第１基準マスク７３１および第２基準マスク７３２を、また第２実施形態および第３実施形態では第１基準マスク７３１をワークステージ７２に取り付けているが、基準マスク７３１、７３２については版ステージ１２に着脱自在に取り付けるように構成してもよい。また、上記実施形態では、基準マスク７３１、７３２をワークステージ７２または版ステージ１２に着脱自在に取り付けているが、基準マスク７３１、７３２を固定的に取り付けてもよいし、ワークステージ７２または版ステージ１２の上面にカメラ較正用のパターンＣＰを直接的に設けてもよい。

また、上記実施形態では、版アライメントカメラを２台設けるとともに、ワークアライメントカメラを２台設けているが、各カメラの台数はこれらに限定されるものではなく、それぞれ複数台設ければよい。

また、上記実施形態では、版アライメント情報、ワークアライメント情報およびカメラ較正情報に基づいて転写位置を補正しているが、転写位置の代わりに受理位置を補正してもよいし、受理位置および転写位置の両方を補正して高精度な印刷を担保してもよい。

また、印刷材料としてインクを例示したが、例えば有機ＥＬ用ポリマーインク、電極配線に用いられる銅や銀などを含むナノメタルインクなどが含まれる。また、印刷材料が転写されるワーク（基材）としては、有機ＥＬディスプレイ用の基板、タッチパネルやプリント配線に用いられる基板などが含まれる。しかしながら、本発明の「印刷材料」および「基材」については上記したものに限定されるものではなく、種々の印刷材料や基材に適用できる。

以上説明したように、上記実施形態においては、版ステージユニット１０が本発明の「版保持部」および「非較正パターン保持部」の一例に相当している。また、ワークステージユニット７０が本発明の「版保持部」および「較正パターン保持部」の一例に相当し、ワークステージ７２が本発明の「保持本体」の一例に相当するとともに、較正部７３を構成する第１基準マスク７３１および第２基準マスク７３２がそれぞれ本発明の「第１較正部材」および「第２較正部材」の一例に相当している。また、版アライメントユニット２０、ワークアライメントユニット６０および制御ユニット９０がそれぞれ本発明の「版アライメント機構」、「基材アライメント機構」および「制御機構」の一例に相当している。また、転写ローラ４３が本発明の「転写部」の一例に相当している。また、版アライメントカメラ２４、２５が本発明の「複数の版撮像カメラ」の一例に相当し、ワークアライメントカメラ６４、６７が本発明の「複数の基材撮像カメラ」の一例に相当している。さらに、Ｙ方向およびＸ方向がそれぞれ本発明の「第１水平方向」および「第２水平方向」に相当している。

以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明は、例えば較正パターン保持部が、保持本体と、表面にパターンを設けた較正部とを有し、較正部が保持本体に対して着脱自在に装着されるように構成してもよい。

また、版を保持する版保持部を第１水平方向に移動させることで版から転写部への印刷材料の受理を行うとともに基材を保持する基材保持部を第１水平方向に移動させることで転写部から基材への印刷材料の転写を行う搬送機構をさらに備え、較正部が第１水平方向と直交する第２水平方向に延設されるように構成してもよい。

また、版保持部および基材保持部のうち較正パターン保持部でない方を非較正パターン保持部とするとき、較正部が表面にパターンが設けられる第１較正部材を有し、第１較正部材が非較正パターン保持部と対向する較正パターン保持部の端部に取り付けられるように構成してもよい。

さらに、較正部が、表面にパターンが設けられる第２較正部材を有し、第２較正部材は非較正パターン保持部と反対側の較正パターン保持部の端部に取り付けられるように構成してもよい。

この発明は、平板状の版を用いて平板状の基材に印刷材料を印刷する印刷技術全般に適用可能である。

１…印刷装置
３…凹版
４…ワーク
１０…版ステージユニット
１２…版ステージ
２０…版アライメントユニット
２４…第１版アライメントカメラ
２５…第２版アライメントカメラ
４３…転写ローラ
６０…ワークアライメントユニット
６４…第１ワークアライメントカメラ
６７…第２ワークアライメントカメラ
７０…ワークステージユニット
７２…ワークステージ
７３…較正部
８０…搬送ユニット
９０…制御ユニット
９１…ＣＰＵ
７３１…第１基準マスク
７３２…第２基準マスク
ＣＰ…（較正用の）パターン

Claims (6)

1. 版保持部に保持された平板状の版に担持される印刷材料を転写部に受理させた後で、前記転写部に受理された前記印刷材料を基材保持部に保持された平板状の基材に転写する印刷装置であって、
   前記版保持部に保持された前記版の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ撮像する複数の版撮像カメラを有し、前記版の位置および姿勢に関する版アライメント情報を検出する版アライメント機構と、
   前記基材保持部に保持された前記基材の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ撮像する複数の基材撮像カメラを有し、前記基材の位置および姿勢に関する基材アライメント情報を検出する基材アライメント機構と、
   前記印刷材料が前記版から前記転写部に受理される受理位置と、前記印刷材料が前記転写部から前記基材に転写される転写位置とを制御する制御機構とを備え、
   前記版保持部および前記基材保持部のうちの一方がカメラ較正用のパターンを有する較正パターン保持部であり、
   前記制御機構は、
   前記複数の版撮像カメラおよび前記複数の基材撮像カメラによって前記パターンを撮像することで得られる複数の画像に基づいて前記複数の版撮像カメラおよび前記複数の基材撮像カメラでの相対ズレ量に関するカメラ較正情報を求める較正情報算出部と、
   前記版アライメント情報、前記基材アライメント情報および前記カメラ較正情報に基づいて、前記受理位置および前記転写位置のうち少なくとも一方を補正する補正部と
   を有することを特徴とする印刷装置。
2. 請求項１に記載の印刷装置であって、
   前記較正パターン保持部は、保持本体と、表面に前記パターンを設けた較正部とを有し、
   前記較正部が前記保持本体に対して着脱自在に装着される印刷装置。
3. 請求項２に記載の印刷装置であって、
   前記版を保持する前記版保持部を第１水平方向に移動させることで前記版から前記転写部への前記印刷材料の受理を行うとともに前記基材を保持する前記基材保持部を前記第１水平方向に移動させることで前記転写部から前記基材への前記印刷材料の転写を行う搬送機構をさらに備え、
   前記較正部は前記第１水平方向と直交する第２水平方向に延設されている印刷装置。
4. 請求項３に記載の印刷装置であって、
   前記版保持部および前記基材保持部のうち前記較正パターン保持部でない方を非較正パターン保持部とするとき、
   前記較正部は表面に前記パターンが設けられる第１較正部材を有し
   前記第１較正部材は前記非較正パターン保持部と対向する前記較正パターン保持部の端部に取り付けられる印刷装置。
5. 請求項４に記載の印刷装置であって、
   前記較正部は、表面に前記パターンが設けられる第２較正部材を有し
   前記第２較正部材は前記非較正パターン保持部と反対側の前記較正パターン保持部の端部に取り付けられる印刷装置。
6. 版保持部に保持された平板状の版に担持される印刷材料を転写部に受理させた後で、前記転写部に受理された前記印刷材料を基材保持部に保持された平板状の基材に転写する印刷方法であって、
   前記版保持部または前記基材保持部に設けられたカメラ較正用のパターンを複数の版撮像カメラおよび複数の基材撮像カメラで撮像して得られる複数の画像に基づいて前記複数の版撮像カメラおよび前記複数の基材撮像カメラでの相対ズレ量に関するカメラ較正情報を取得する工程と、
   前記版保持部に保持された前記版の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ前記複数の版撮像カメラによって撮像して得られる複数の画像に基づいて前記版の位置および姿勢に関する版アライメント情報を取得する工程と、
   前記基材保持部に保持された前記基材の表面のうち互いに異なる複数領域をそれぞれ前記複数の基材撮像カメラによって撮像して得られる複数の画像に基づいて前記基材の位置および姿勢に関する基材アライメント情報を検出する工程と、
   前記版アライメント情報、前記基材アライメント情報および前記カメラ較正情報に基づいて、前記印刷材料が前記版から前記転写部に受理される受理位置と、前記印刷材料が前記転写部から前記基材に転写される転写位置とのうち少なくとも一方を補正する工程と
   を備えることを特徴とする印刷方法。

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