JP4957685B2 - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Description

本発明は、マスクプレートのパターン孔を介して基板に半田ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。

スクリーン印刷では、基板の印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板の印刷面に接触させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷において、基板に反りが生じているとペーストの印刷を良好に行うことができないため、従来はスクリーン印刷を実行する前に、基板に対して移動自在に設けられた押圧手段で基板の中央部を下方に押圧することによって基板の反りを矯正するようにしていた（特許文献１）。
特開２００３−６２９７１号公報

しかしながら、上記のように、基板の中央部を押圧しただけでは基板全体を平らにすることができない場合があり、力が集中する基板の中央部や基板の四隅に局部的な変形が発生することもあった。

そこで本発明は、基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板のＸ軸方向への搬送を行う搬送手段と、搬送手段によって搬送される基板をスクリーン印刷作業を行う作業位置に位置決めする位置決め手段と、作業位置に位置決めされた基板の上方位置に対してガイド部材によってＸ軸方向にスライド自在に支持されて進退自在に設けられた押圧プレートを有する押圧プレートユニットと、基板の上方位置に進出された押圧プレートを下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する押圧手段と、押圧手段により押圧された押圧プレートが基板の上方位置から退去された後、基板に接触されるマスクプレートと、基板と接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージとを備え、押圧プレートユニットは、押圧プレートを昇降自在に支持する枠部材と、枠部材内に設けられて押圧プレートを枠部材の内壁上面側に付勢する複数の付勢ばねを有し、押圧手段が押圧プレートを上方から押圧することにより、押圧プレートは付勢ばねを押し縮めて枠部材に対して相対下降し、基板を押圧してその反りを矯正する。

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、位置決め手段は押圧手段の一部から成り、搬送手段により搬送される基板と当接して基板を作業位置に停止させるものである。

請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、請求項１に記載のスクリーン印刷装置を用いるスクリーン印刷方法であって、搬送手段によって搬送される基板を作業位置に位置決めする工程と、作業位置に位置決めした基板の上方位置に押圧プレートを進出させる工程と、基板の上方位置に進出させた押圧プレートを押圧手段によって下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する工程と、押圧手段により押圧した押圧プレートを基板の上方位置から退去させた後、基板にマスクプレートを接触させる工程と、基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、を含む。

請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷方法であって、基板を作業位置に位置決めする工程において、搬送手段により搬送される基板に押圧手段の一部を当接させて基板を作業位置に停止させる。

本発明では、作業位置に位置決めした基板の上方位置に進出させた押圧プレートを押圧手段によって下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧するようになっている。このため押圧力は基板の各部に均等に分散し、基板に局部的な変形を発生させることなく、基板全体の反りを矯正することができる。したがって本発明によれば、基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える押圧プレートユニットの断面図、図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図、図８（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び基板の断面図、図９（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図、図１０（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図である。

図１及び図２において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送方向の上流側（図１における紙面左側）から投入された基板ＰＢに対して半田ペーストや導電性ペースト等のペーストのスクリーン印刷を行って基板ＰＢの搬送方向の下流側（図１における紙面右側）の装置（図示せず）に搬出する。以下の説明では、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。

図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基台２上に基板ＰＢにスクリーン印刷を施す印刷装置３、この印刷装置３に基板ＰＢを搬入する基板搬入コンベア４及び印刷装置３によってスクリーン印刷が施された基板ＰＢを印刷装置３から搬出する基板搬出コンベア５を備えている。これら基板搬入コンベア４、印刷装置３及び基板搬出コンベア５はこの順でＸ軸方向に並んで設けられており、基板搬入コンベア４及び基板搬出コンベア５はそれぞれ、同期して駆動される一対のベルトコンベアから構成されている。

図１、図２及び図３において、印刷装置３は、基板搬入コンベア４から基板ＰＢを受け取って水平面内方向に搬送する搬送コンベア１１、搬送コンベア１１上の基板ＰＢをクランプして基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定するクランパ１２、搬送コンベア１１上の基板ＰＢの水平面内方向への位置合わせと上下方向（Ｚ軸方向）への位置合わせを行う基板位置合わせ部１３、基板位置合わせ部１３の上方に設けられたマスクプレート１４、スキージヘッド１５、基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間を水平方向に移動自在に設けられたカメラユニット１６及び押圧手段１７並びにマスクプレート１４上にペーストを供給するペースト供給部１８、基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間を水平方向に移動自在に設けられた押圧プレートユニット１９を備えている。

図１及び図３において、搬送コンベア１１は同期して駆動される一対のベルトコンベア機構から構成されており、クランパ１２はＹ軸方向に開閉動作する一対の部材から構成されている。

図３において、基板位置合わせ部１３は、基台２に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル１３ａ、Ｙテーブル１３ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル１３ｂ、Ｘテーブル１３ｂに対してＺ軸回りに（水平面内で）相対回転するθテーブル１３ｃ、θテーブル１３ｃに固定されたベースプレート１３ｄ、ベースプレート１３ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート１３ｅ、第１昇降プレート１３ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート１３ｆ及び第２昇降プレート１３ｆに固定された基板支持部材１３ｇを有して構成される。

基台２に対するＹテーブル１３ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル１３ａに対するＸテーブル１３ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル１３ｂに対するθテーブル１３ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート１３ｄに対する（すなわちθテーブル１３ｃに対する）第１昇降プレート１３ｅの昇降、第１昇降プレート１３ｅに対する第２昇降プレート１３ｆの（すなわち基板支持部材１３ｇの）昇降の各動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置２０（図４）がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図３）等のアクチュエータ等から成る基板位置合わせ部作動機構２１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

また、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成る搬送コンベア作動機構２２（図４）の作動制御を行うことによってなされ、クランパ１２による搬送コンベア１１上の基板ＰＢのクランプ動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るクランパ作動機構２３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

図１及び図３において、マスクプレート１４は平面視において矩形形状を有するマスク枠１４ａによって四辺が支持されており、マスク枠１４ａによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板ＰＢの上面に形成された電極Ｄ（図１）の形状及び位置に対応した多数のパターン孔（図示せず）が設けられている。

図３において、スキージヘッド１５は基板位置合わせ部１３に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート１５ｐに、Ｙ軸方向に対向する２つのスキージ１５ａが取り付けられた構成となっている。各スキージ１５ａはＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動プレート１５ｐに対する昇降動作とアタック角の設定を行うことができるようになっている。アタック角とは、搬送コンベア１１上の基板ＰＢ或いはマスクプレート１４に対してスキージ１５ａがなす角度αのことである。

移動プレート１５ｐの移動動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構２４（図４）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ１５ａの昇降動作は制御装置２０がスキージ昇降シリンダ１５ｂ（図３）等から成るスキージ昇降機構２５（図４）の作動制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１５ａのアタック角の設定動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るアタック角設定機構２６（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

図１及び図２において、基台２の上方にはＹ軸ステージ３１がＹ軸方向に延びて設けられており、Ｙ軸ステージ３１にはＸ軸方向に延びたＸ軸ステージ３２の一端がＹ軸ステージ３１に沿って移動自在に取り付けられている。Ｘ軸ステージ３２にはＸ軸ステージ３２
に沿って移動自在な移動プレート３３が設けられており、カメラユニット１６及び押圧手段１７は、この移動プレート３３に取り付けられている。このためカメラユニット１６及び押圧手段１７は、Ｘ軸ステージ３２のＹ軸方向への移動と、移動プレート３３のＸ軸方向への移動の組み合わせにより、水平面内の任意の方向に移動させることができる。なお、この移動プレート３３の（カメラユニット１６及び押圧手段１７の）移動動作は、制御装置２０がＸ軸ステージ３２及び移動プレート３３の移動動作を行う図示しないアクチュエータから成る移動プレート移動機構３４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

図３において、カメラユニット１６は撮像面を下方に向けた第１カメラ３５と撮像面を上方に向けた第２カメラ３６を備えて成る。第１カメラ３５は、制御装置２０に制御されて基板位置合わせ部１３によって位置合わせされた基板ＰＢに設けられている基板位置検出マークＭ（図１）の撮像を行い、第２カメラ３６は、制御装置２０に制御されてマスクプレート１４に設けられているマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う。第１カメラ３５及び第２カメラ３６の撮像によって得られた画像データは制御装置２０に入力される（図４）。

図２において、押圧手段１７は、移動プレート３３に固定されたベース部（シリンダチューブ）１７ａに対して下方に延びた押圧部（ピストンロッド）１７ｂを下方に突没（昇降）させる空圧シリンダから成っている。押圧手段１７による押圧部１７ｂのベース部１７ａに対する下方への突没動作は、制御装置２０が空圧回路等から成る押圧手段作動機構４１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

図３において、ペースト供給部１８は、基板位置合わせ部１３に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート１８ｐに、基板ＰＢに印刷しようとするペーストを下方に吐出するシリンジ１８ａが取り付けられた構成となっている。移動プレート１８ｐの移動動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給部移動機構４３（図４）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ１８ａによるペーストの供給動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構４４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

図１及び図５において、押圧プレートユニット１９は矩形平板状の押圧プレート４７と、断面「コ」の字状に形成され、押圧プレート４７を昇降自在に支持する矩形の枠部材４８と、枠部材４８内に設けられて押圧プレート４７を枠部材４８の内壁上面４８ａ側に付勢する複数の付勢ばね４９を有して成る。押圧プレート４７は、上方からの押圧力が作用していないときには付勢ばね４９によって枠部材４８の内壁上面４８ａに下方から押し付けられた初期位置（図５（ａ））に位置しているが、押圧プレート４７の一部に上方からの押圧力Ｆが作用すると、押圧プレート４７は付勢ばね４９を縮ませて枠部材４８に対して相対下降する（図５（ｂ））。

図１において、押圧プレートユニット１９の枠部材４８は、基板搬入コンベア４、印刷装置３の搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５の両側上方をＸ軸方向に延びて設けられた２つのガイド部材５１よってＸ軸方向にスライド自在に支持されている。一方のガイド部材５１のＹ軸方向外側には空圧シリンダ５２が基台２の上方をＸ軸方向に延びて設けられており、この空圧シリンダ５２のピストンロッド５３の先端部には介在部材５４を介して枠部材４８が連結されている。このため制御装置２０から空圧シリンダ５２を作動させて（図４）、ピストンロッド５３をＸ軸方向に作動させることにより、押圧プレートユニット１９を（すなわち押圧プレート４７を）、基板搬入コンベア４、搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５の上方においてＸ軸方向に移動させることができる。

基板搬入コンベア４による基板ＰＢの搬送（搬入）動作の制御及び基板搬出コンベア５による基板ＰＢの搬送（搬出）動作の制御は制御装置２０によってなされる（図４）。スクリーン印刷機１の制御装置２０は、上流側から基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、基板搬入コンベア４を作動させてその基板ＰＢを受け取る（基板搬入工程）。そして、印刷装置３の搬送コンベア１１に受け渡すとともに、移動プレート３３を（すなわちストッパとしての押圧手段１７の押圧部１７ｂを）所定位置に位置させる（図６（ａ）。ストッパ設置工程）。この所定位置は、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢが下方に突出させた押圧手段１７の押圧部１７ｂと当接したときに、基板ＰＢがスクリーン印刷作業を行う作業位置において停止する位置である。これにより、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢは、押圧手段１７の押圧部１７ｂに先頭部が当接して、作業位置に位置決めされる（基板位置決め工程）。なお、このとき押圧プレート４７は押圧手段１７による基板ＰＢの位置決めの邪魔にならない基板搬入コンベア４の上方の待機位置に位置される。

制御装置２０は、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢ（図６（ａ）中に示す矢印Ａ１）が押圧手段１７の押圧部１７ｂと当接して作業位置に位置決めされたら（図６（ｂ））、搬送コンベア作動機構２２の作動制御を行って、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送作動を停止させる。

制御装置２０は、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送作動を停止させ、基板ＰＢを作業位置に静止させたら、空圧シリンダ５２を作動させて、押圧プレート４７を作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に進出させるとともに（図７（ａ）。図中に示す矢印Ａ２。押圧プレート進出工程）、押圧手段１７を押圧プレート４７の中央部の直上に位置させる（図７（ａ））。

制御装置２０は、押圧プレート４７を作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に進出させ、押圧手段１７を押圧プレート４７の中央部の直上に位置させたら、次いで、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ａ３）、基板支持部材１３ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、基板ＰＢを基板支持部材１３ｇに支持させる（図７（ａ）。基板支持工程）。

制御装置２０は、基板ＰＢを基板支持部材１３ｇに支持させたら、押圧手段作動機構４１の作動制御を行って押圧手段１７の押圧部１７ｂを下方に突出（下降）させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ４）、押圧部１７ｂの下端部を押圧プレート４７に接触させて（図７（ｂ）及び図８（ａ））、押圧プレート４７を上方から押圧する（図８（ｂ）。図中に示す矢印Ａ５）。これにより押圧プレート４７は付勢ばね４９を押し縮めて枠部材４８に対して相対下降し、基板ＰＢの表面に上方から接触して、基板ＰＢ全体を基板支持部材１３ｇに押圧する（基板押圧工程）。これにより基板ＰＢは押圧プレート４７と基板支持部材１３ｇに挟まれ、基板ＰＢに反りがあった場合にはその反りが矯正される。

制御装置２０は、押圧手段１７による押圧プレート４７を介した基板ＰＢの押圧が終了したら、押圧手段作動機構４１の作動制御を行って、押圧手段１７の押圧部１７ｂを上昇させる（図９（ａ）。図中に示す矢印Ａ６）。これにより押圧プレート４７は付勢ばね４９によって押し上げられて枠部材４８に対して相対昇降し、初期位置に復帰して押圧プレート４７は基板ＰＢの表面から離間する。制御装置２０は、押圧手段１７の押圧部１７ｂを上昇させたら、押圧プレートユニット１９を（すなわち押圧プレート４７を）、基板搬入コンベア４の上方の待機位置に移動させる（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ａ７）。

制御装置２０は、上記のようにしてスクリーン印刷前における基板ＰＢの反りの矯正を行ったら、クランパ作動機構２３の作動制御を行い、クランパ１２により基板ＰＢを搬送
コンベア１１上に固定する。

制御装置２０は、クランパ１２により基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定したら、第１カメラ３５の移動及び撮像制御を行って基板ＰＢの基板位置検出マークＭの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、第２カメラ３６の移動及び撮像制御を行ってマスクプレート１４のマスク位置検出マークの画像データを取得し、マスクプレート１４の位置を把握する。

制御装置２０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート１４の位置を把握したら、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの水平面内方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスクプレート１４の直下の所定位置に位置させた後、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート１３ｅの上昇）動作によって、基板ＰＢの印刷面（上面）をマスクプレート１４の下面に下方から接触させる（マスクプレート接触工程）。これによりマスクプレート１４が基板ＰＢに対して位置合わせされる（図１０（ａ））。

制御装置２０は、マスクプレート１４に対する基板ＰＢの位置合わせを行ったら、基板ＰＢに対するスクリーン印刷を実行する。これには先ず、ペースト供給部１８をマスクプレート１４の上方に移動させ、シリンジ１８ａからマスクプレート１４の上面にペーストＰを供給する（図１０（ａ）。ペースト供給工程）。

制御装置２０は、マスクプレート１４の上面にペーストＰを供給したら、一方のスキージ１５ａを下降させてそのスキージ１５ａの下縁をマスクプレート１４の上面に当接させる（図１０（ｂ））。そして、スキージヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、ペーストＰをスキージ１５ａによってかき寄せて、ペーストＰをマスクプレート１４のパターン孔内に充填させる。

なお、図１０（ｂ）は、図中の左側のスキージ１５ａを矢印Ａ８の方向に移動させることによってペーストＰを矢印Ａ８の方向にかき寄せる様子を示したものである。ペーストＰを矢印Ａ８と反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ１５ａをマスクプレート１４の上面に当接させて、スキージヘッド１５を矢印Ａ８と反対の方向に移動させる。

制御装置２０は、マスクプレート１４のパターン孔内にペーストＰを充填させたら、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対下降させ、マスクプレート１４を基板ＰＢから分離させる。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート１４のパターン孔内に充填されたペーストＰが基板ＰＢ上に印刷（転写）される（印刷工程）。

制御装置２０は、基板ＰＢにペーストを印刷したら、基板位置合わせ部１３を作動させて、搬送コンベア１１の基板搬出コンベア５に対する位置調整を行ったうえで、基板ＰＢを搬送コンベア１１から基板搬出コンベア５に載せ換え、基板搬出コンベア５によって、基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程）。

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送を行う搬送手段（ここでは印刷装置３の搬送コンベア１１）、搬送手段によって搬送される基板ＰＢを作業位置に位置決めする位置決め手段、作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に対して進退自在に設けられた押圧プレート４７、基板ＰＢの上方位置に進出された押圧プレート４７を下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧する押圧手段１７、押圧手段１７により押圧された押圧プレート４７が基板ＰＢの上方位置から退去された後、基板ＰＢに接触されるマスクプレート１４、基板ＰＢと接触されたマスクプレ
ート１４にペーストＰを供給するペースト供給手段としてのペースト供給部１８、及び、ペースト供給部１８によりペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対して摺動され、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷するスキージ１５ａを備えている。そして、位置決め手段は押圧手段１７の一部（押圧部１７ｂ）から成り、搬送手段により搬送される基板ＰＢと当接して基板ＰＢを作業位置に停止させるようになっている。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、搬送手段によって搬送される基板ＰＢを作業位置に位置決めする工程（基板位置決め工程）、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に押圧プレート４７を進出させる工程（押圧プレート進出工程）、基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７を押圧手段１７によって下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧する工程（基板押圧工程）、押圧手段１７により押圧した押圧プレート４７を基板ＰＢの上方から退去させた後、基板ＰＢにマスクプレート１４を接触させる工程（マスクプレート接触工程）、基板ＰＢと接触したマスクプレート１４にペーストＰを供給する工程（ペースト供給工程）、ペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対してスキージ１５ａを摺動させ、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷する工程（印刷工程）を含んでいる。そして、基板を作業位置に位置決めする工程（基板位置決め工程）において、搬送手段により搬送される基板ＰＢに押圧手段１７の一部（押圧部１７ｂ）を当接させて基板ＰＢを作業位置に停止させるようになっている。

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）では、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７を押圧手段１７によって下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧するようになっている。このため押圧力は基板ＰＢの各部に均等に分散し、基板ＰＢに局部的な変形を発生させることなく、基板ＰＢ全体の反りを矯正することができる。したがって本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）によれば、基板ＰＢに局部的な変形を発生させることなく基板ＰＢの反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、押圧手段１７は水平面内方向に移動自在に設けられたベース部１７ａに対して押圧部１７ｂが昇降する構成となっていたが、押圧手段１７は、基板ＰＢの上方位置に進出された押圧プレート４７を下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧するものであればよく、水平面内方向に移動自在かつ昇降自在に設けられたベース部に押圧部が固定された構成であってもよい。

また、押圧プレート４７は、作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に対して進退自在に設けられていればよく、押圧プレート４７を移動させる構成は、上述の実施形態に示したもの（空圧シリンダ５２によるもの）に限定されない。また、押圧プレート４７を昇降させる構成も、上述の実施の形態に示したもの（押圧プレート４７を枠部材４８に対して昇降自在とする構成）に限定されない。

また、上述の実施の形態では、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７の１箇所（中央部）を１つの押圧手段１７で押圧するようになっていたが、押圧プレート４７の複数の位置を複数の押圧手段１７で同時に押圧するようにしてもよい。

基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える押圧プレートユニットの断面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び基板の断面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図

符号の説明

１ スクリーン印刷機
１１ 搬送コンベア（搬送手段）
１４ マスクプレート
１５ａ スキージ
１７ 押圧手段
１７ｂ 押圧部（位置決め手段、押圧手段の一部）
１８ ペースト供給部（ペースト供給手段）
４７ 押圧プレート
ＰＢ 基板
Ｐ ペースト

Claims (4)

1. 基板のＸ軸方向への搬送を行う搬送手段と、
   搬送手段によって搬送される基板をスクリーン印刷作業を行う作業位置に位置決めする位置決め手段と、
   作業位置に位置決めされた基板の上方位置に対してガイド部材によってＸ軸方向にスライド自在に支持されて進退自在に設けられた押圧プレートを有する押圧プレートユニットと、
   基板の上方位置に進出された押圧プレートを下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する押圧手段と、
   押圧手段により押圧された押圧プレートが基板の上方位置から退去された後、基板に接触されるマスクプレートと、
   基板と接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、
   ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージとを備え、
   押圧プレートユニットは、押圧プレートを昇降自在に支持する枠部材と、枠部材内に設けられて押圧プレートを枠部材の内壁上面側に付勢する複数の付勢ばねを有し、押圧手段が押圧プレートを上方から押圧することにより、押圧プレートは付勢ばねを押し縮めて枠部材に対して相対下降し、基板を押圧してその反りを矯正することを特徴とするスクリーン印刷機。
2. 位置決め手段は押圧手段の一部から成り、搬送手段により搬送される基板と当接して基板を作業位置に停止させるものであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
3. 請求項１に記載のスクリーン印刷装置を用いるスクリーン印刷方法であって、
   搬送手段によって搬送される基板を作業位置に位置決めする工程と、
   作業位置に位置決めした基板の上方位置に押圧プレートを進出させる工程と、
   基板の上方位置に進出させた押圧プレートを押圧手段によって下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する工程と、
   押圧手段により押圧した押圧プレートを基板の上方位置から退去させた後、基板にマスクプレートを接触させる工程と、
   基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、
   ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、
   を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
4. 基板を作業位置に位置決めする工程において、搬送手段により搬送される基板に押圧手段の一部を当接させて基板を作業位置に停止させることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷方法。

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