JP7108807B2

JP7108807B2 - スクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法

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Publication number: JP7108807B2
Application number: JP2017108953A
Authority: JP
Inventors: 正幸萬谷; 裕介森田
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2017-06-01
Filing date: 2017-06-01
Publication date: 2022-07-29
Anticipated expiration: 2037-06-01
Also published as: JP2018202691A

Description

本発明は、基板などのワークにペーストを印刷するスクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法に関する。

電子部品製造分野においては、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が広く用いられている。印刷対象の基板が小サイズの単位基板である場合には、生産性の向上を目的として、複数の単位基板を単一の親基板に作り込む、いわゆる多数枚取りが広く採用されるようになっている。ところがこのような多数枚取り方式の普及に伴い、以下に述べるような種々の要因による印刷位置ずれの課題が顕在化するようになっている。

すなわち多数枚取りの対象となるような小型の単位基板は価格面で廉価であることが求められることから、基板材質に起因して基板寸法の経時的な変化による伸縮の度合いが従来の基板よりも大きくなる傾向にある。さらに製品の小型化に伴い単位基板の配線パターンは微細化しており、スクリーン印刷にて求められる印刷パターンの精細度合いは従来に増して高精度なものとなっている。このような要因により、スクリーン印刷における印刷位置ずれが許容範囲を超えて印刷不良となる度合いが増大しており、さらには印刷位置ずれに起因する実装不良を招く結果となっている。

このような多数枚取り方式における難点を排除することを目的として、親基板を複数に分割した個片基板を順次個別に印刷対象とするスクリーン印刷方式が提案されている（例えば特許文献１参照）。この特許文献例に示す先行技術においては、まずパレットに載置された複数の個片基板のうち印刷対象となる印刷対象基板をバックアップ装置によってパレットから上昇させる。次いでこの個片基板をスクリーンマスクの開口部に正しく位置合わせするための位置検出を行う。そしてこの位置検出結果に基づいて個片基板をスクリーンマスクの開口部に当接させ、この印刷対象基板にスクリーン印刷を行うようにしている。

国際公開第２０１７／０２２１２７号

しかしながら上述の特許文献に示す先行技術には、印刷対象基板をスクリーンマスクに当接させる際の個片基板およびスクリーンマスクの支持形態に起因して、スクリーン印刷動作において以下のような不具合が避け難かった。すなわちこの先行技術では、印刷対象基板はバックアップ装置のブロックの上面に持ち上げられてスクリーンマスクの下面に当接するようになっている。

このとき、印刷対象基板の周囲のスクリーンマスクは下面側から支持されておらず、マスクプレートの上面でスキージを移動させるスキージングにおいては、印刷対象基板からはずれた範囲では下受けされていない状態のマスクプレートにスキージングにおける印圧がそのまま作用する。そしてこのような状態でスキージングが行われるとマスクプレートには撓み変形が生じ、基板周縁部の撓みやマスクプレートと基板印刷面との密着不良など、印刷不良に繋がる不具合を招く結果となる。このように、多数枚取り方式を採用する従来のスクリーン印刷においては、印刷不良を防止しつつ生産性を向上させることが困難であるという課題があった。

そこで本発明は、多数枚取り方式において印刷不良を防止しつつ生産性を向上させることができるスクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

本発明のスクリーン印刷システムは、印刷用のパターン孔が形成されたマスクプレートと、複数のワークを配置したキャリアと、前記マスクプレートの下方で前記キャリアを支持するキャリア支持部と、前記キャリア支持部に支持された前記キャリアから前記複数のワークの中の一つを持ち上げて前記マスクプレートの下面に当接させるバックアップ部と、前記バックアップ部で持ち上げたワークと前記マスクプレートを位置合わせするために前記バックアップ部と前記マスクプレートを相対的に移動させるアライメント機構と、前記マスクプレートの上面から前記パターン孔を通じて前記マスクプレートの下面に当接するワークにペーストを印刷する印刷ヘッドと、少なくとも前記印刷ヘッドが前記ワークに印刷を行うときに前記マスクプレートの下面を支持するマスクプレート支持部と、を備え、前記バックアップ部は、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第１開口を通じて前記複数のワークの１つを持ち上げるようになっており、前記キャリア支持部は、前記キャリアの対向する二つの縁部を下から支持する一対のキャリア支持面を有し、前記マスクプレート支持部は前記キャリア支持面に挟まれた空間に配置されている。

本発明のスクリーン印刷方法は、複数のワークを載せたキャリアを印刷ステージに配置するキャリア配置工程と、前記印刷ステージに配置された前記キャリアから前記複数のワークの中の一つを下から突き上げて持ち上げるバックアップ工程と、前記バックアップ工程で持ち上げたワークと印刷用のパターン孔が形成されたマスクプレートを位置合わせして前記ワークの上方に前記マスクプレートを配置するマスクプレート配置工程と、前記マスクプレートの上面に印刷ヘッドを押し当てながら移動させることにより前記パターン孔を通じて前記ワークにペーストを印刷する印刷工程と、少なくとも前記印刷工程の間前記マスクプレートの下面をマスクプレート支持部により支持するマスクプレート支持工程と、前記印刷工程が終了した前記ワークをキャリア支持部に支持された前記キャリアに載置するワーク載置工程と、を含み、複数のワークに対して前記バックアップ工程、前記マスクプレート配置工程のアライメント工程、前記印刷工程、前記マスクプレート支持工程、前記ワーク載置工程を順次実行することにより前記複数のワークにペーストを印刷し、前記バックアップ工程では、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第１開口内で昇降するバックアップ部によって前記複数のワークの１つを持ち上げるようになっており、前記キャリア支持部は、前記キャリアの対向する二つの縁部を下から支持する一対のキャリア支持面を有し、前記マスクプレート支持部は前記キャリア支持面に挟まれた空間に配置されている。

本発明によれば、多数枚取り方式において印刷不良を防止しつつ生産性を向上させることができる。

本発明の実施の形態１のスクリーン印刷システムを構成するスクリーン印刷装置の正面図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷ヘッドおよび印刷ステージの構成説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷ステージの平面図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷対象となるワークを保持するキャリアの斜視図本発明の実施の形態１のスクリーン印刷システムにおけるキャリアによるワーク保持の説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図本発明の実施の形態１のスクリーン印刷システムによるスクリーン印刷方法を示すフロー図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態２のスクリーン印刷システムにおけるキャリアによるワーク保持の説明図本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態３のスクリーン印刷システムにおけるキャリアによるワーク保持の説明図本発明の実施の形態３のスクリーン印刷システムにおけるワークのバックアップの説明図本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態４のスクリーン印刷システムにおけるキャリアによるワーク保持の説明図本発明の実施の形態４におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷方法を示す動作説明図

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１、図２を参照して、実施の形態１のスクリーン印刷システムを構成するスクリーン印刷装置１の構成を説明する。このスクリーン印刷システムは、キャリアに配置された基板などのワークにクリームはんだなどのペーストを印刷する機能を有する。本実施の形態では、スクリーン印刷装置１および複数のワークを配置したキャリアによってスクリーン印刷システムが構成されている。

図１において、基台１ａのＸ方向の両側端部にはそれぞれ支持フレーム１１が立設されている。これら１対の支持フレーム１１の間には、スクリーン印刷装置１を構成する以下の要素が設けられている。なお本実施の形態においては、図１における左右方向、すなわち作業対象のキャリア９を搬送するワーク搬送方向をＸ方向と定義し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と定義している。

ここで図４、図５を参照して、このスクリーン印刷システムにおいて作業対象となるワーク１０およびワーク１０が配置されるキャリア９について説明する。図４に示すように、キャリア９は矩形状のワーク保持具であり、基板などの複数のワーク１０を所定の規則配列で保持している。

図５に示すように、ワーク１０は矩形平板形状の基板であり、上面には複数の接続用の電極１０ａが形成されている。スクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷においては、マスクプレート２２のパターン孔形成領域２２ａ（図２参照）に形成されたパターン孔を通じて電極１０ａにペーストＰが印刷される。ワーク１０の上面の対角位置には、一対の位置認識用のワーク認識マーク１０ｍが形成されている。

キャリア９の上面には、ワーク１０を配置するためのワーク収納凹部９ａが所定配列で複数形成されている。ワーク収納凹部９ａの底部にはキャリア９を上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂが設けられている。ワーク１０を対象とする印刷動作においては、ワーク収納凹部９ａに配置されたワーク１０をバックアップ部６（図２参照）によって第１開口９ｂを通じて持ち上げる。またキャリア９には、キャリア搬送機構２０（図３参照）によってキャリア９の位置を係止するための係合孔９ｃが形成されている。なお、図８～図１５の動作説明図にて示すキャリア９では、ワーク収納凹部９ａの図示を省略して第１開口９ｂのみを図示している。

図１において、１対の支持フレーム１１の間の基台１ａの上面には、印刷ステージ移動機構３によって移動する印刷ステージ２が設けられている。印刷ステージ移動機構３は、印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθの上に印刷ステージ昇降機構３ｚを積層した構成となっている。印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθを駆動することにより、印刷ステージ２はＸ方向、Ｙ方向、Θ方向に水平移動する。印刷ステージ昇降機構３ｚを駆動することにより、印刷ステージ２は昇降する。

印刷ステージ２は、上流側から搬入される印刷対象の複数のワーク１０を配置したキャリア９（図４参照）を支持して、以下に説明するスクリーン印刷機構に対して位置合わせする機能を有している。このスクリーン印刷機構は、図２に示すように、パターン孔形成領域２２ａに印刷用の開口であるパターン孔が形成されたマスクプレート２２およびマスクプレート２２上でスキージング動作を行う印刷ヘッド１３を備えている。

印刷ステージ２の構成および機能を、図２、図３を参照して説明する。なお図３は、上面から見た印刷ステージ２の平面を示している。図２において印刷ステージ２は、印刷ステージ昇降機構３ｚの上面に結合された昇降テーブル４を備えている。昇降テーブル４の上面の両端には支持部材４ａが立設されている。支持部材４ａの上端部には、Ｘ方向に延びたコンベアガイド部４ｂが結合されている。

コンベアガイド部４ｂの内側面には、印刷ステージコンベア８ｂが設けられている。印刷ステージコンベア８ｂは、上面にキャリア９が載置された搬送ベルトを走行させることにより、キャリア９をＸ方向に搬送する。印刷ステージコンベア８ｂは、上流側、下流側の支持フレーム１１にそれぞれ設けられた開口部を貫通した搬入コンベア８ａ、搬出コンベア８ｃと連結可能となっている。図１に示すように、搬入コンベア８ａによって搬入（矢印ａ）されたキャリア９は、印刷ステージ２に設けられた印刷ステージコンベア８ｂに受け渡されて支持される。そして印刷ステージ２においてスクリーン印刷が終了した後のワーク１０は、印刷ステージコンベア８ｂから搬出コンベア８ｃに受け渡されて搬出される。

図３に示すように、印刷ステージ２において印刷ステージコンベア８ｂはコンベアガイド部４ｂの内面側に沿って一対で配設されている。印刷ステージコンベア８ｂに受け渡されたキャリア９は、その対向する二つの縁部を印刷ステージコンベア８ｂを構成する一対の搬送ベルトによって下から支持される（図９参照）。したがって印刷ステージコンベア８ｂは、マスクプレート２２の下方でキャリア９を支持するキャリア支持部となっている。上述のスクリーン印刷機構による印刷動作は、このキャリア支持部によって支持されたキャリア９を対象として実行される。

一方側の印刷ステージコンベア８ｂには、Ｘ方向に沿ってキャリア搬送機構２０が付設されている。キャリア搬送機構２０は印刷ステージ２においてキャリア９の位置決めを行う機能を有しており、キャリア９に形成された係合孔９ｃに係合する係合ピン２０ｃを突没させる構成の係合部２０ａと、係合部２０ａをＸ方向に移動させる係合部移動軸２０ｂとを備えている。係合ピン２０ｃをキャリア９の係合孔９ｃに係合させた状態で、係合部２０ａを係合部移動軸２０ｂによって作業対象のワーク１０のそれぞれに対応して設定された位置決め基準位置に移動させることにより、作業対象のワーク１０が配置された第１開口９ｂをバックアップ部６の直上に位置合わせすることができるようになっている（図８参照）。

昇降テーブル４の上面には、バックアップ昇降機構５ａによって昇降駆動されるバックアップ支持部材５が水平姿勢で設けられている。図３に示すように、バックアップ支持部材５はＸ方向に細長の平板形状部材であり、バックアップ支持部材５の中央にはバックアップ部６が立設されている。バックアップ部６の上端面の平面形状は、印刷対象のワーク１０を下方から支持可能な形状となっている。バックアップ部６の上端面には、ワーク１０を吸着保持するためのワーク吸引孔６ａが形成されている。

バックアップ部６は、キャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに支持されたキャリア９から、複数のワーク１０の中の一つを持ち上げてマスクプレート２２の下面に当接させる機能を有している。このとき、複数のワーク１０のうち作業対象となる所望のワーク１０をバックアップ部６に対して位置合わせするために、前述のキャリア搬送機構２０の機能が用いられる。

さらにバックアップ支持部材５のＸ方向の両端部に立設された支持ポスト７ａの上端部には、Ｙ方向に細長い矩形形状のマスクプレート支持部７が水平姿勢で配置されている。マスクプレート支持部７は、印刷ヘッド１３がワーク１０に印刷を行うときに、マスクプレート２２の下面に当接して支持する機能を有している。ここでバックアップ部６の上面６ｂはマスクプレート支持部７の上面７ｂよりも、少なくともワーク１０の厚さｔ分だけ下方に位置するように、バックアップ部６およびマスクプレート支持部７の高さ寸法の設定がなされている（図１０参照）。

バックアップ部６およびマスクプレート支持部７が上述の機能を実行するために必要とされる昇降動作は、次のようにして行われる。すなわち印刷ステージコンベア８ｂにキャリア９が搬入された状態で、バックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ支持部材５を上昇させることにより、バックアップ部６およびマスクプレート支持部７がともに上昇する。このように、バックアップ部６とマスクプレート支持部７は、共通のバックアップ昇降機構５ａによって昇降する。

このとき、キャリア９に形成された複数の第１開口９ｂの一つがバックアップ部６の直上に位置した状態で、キャリア９に対してバックアップ部６を上昇させる。これにより、バックアップ部６はキャリア９に上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂを通じて複数のワーク１０の１つを持ち上げる。そして持ち上げられたワーク１０はマスクプレート２２の下面に当接し、この状態で印刷ヘッド１３をスキージング方向に移動させるスクリーン印刷動作を行わせる。これにより、印刷ヘッド１３はマスクプレート２２の上面からパターン孔形成領域２２ａに形成されたパターン孔を通じて、マスクプレート２２の下面に当接するワーク１０にペーストＰを印刷する。

このスクリーン印刷動作において、少なくとも印刷ヘッド１３がワーク１０に印刷を行うときには、上昇状態にあってマスクプレート２２の下面に当接したマスクプレート支持部７が、マスクプレート２２の下面を支持するようになっている。すなわち、前述のようにバックアップ部６の上面６ｂはマスクプレート支持部７の上面７ｂよりも、少なくともワーク１０の厚さｔ分だけ下方に位置するように、バックアップ部６およびマスクプレート支持部７の高さ寸法の設定がなされている。

これにより、バックアップ部６によって持ち上げられたワーク１０の上面がマスクプレート２２に当接した状態において、マスクプレート支持部７の上面７ｂは確実にマスクプレート２２の下面に当接するようになっている。このように、スクリーン印刷動作においてマスクプレート２２の下面をマスクプレート支持部７によって支持することにより、印刷ヘッド１３の印圧がマスクプレート２２に上面から作用することによるマスクプレート２２の撓みが軽減される。これにより、ワーク１０のエッジがマスクプレート２２に片当たりすることなどに起因する印刷不良を抑制することができる。

上記構成において印刷ステージコンベア８ｂは、マスクプレート２２の下方で複数のワーク１０を配置したキャリア９を支持するキャリア支持部であり、印刷ステージコンベア８ｂの一対の搬送ベルトの上面は、キャリア９の対向する一対の縁部を下から支持する一対のキャリア支持面である。そしてマスクプレート２２の下面に当接して支持するマスクプレート支持部７は、これらの一対のキャリア支持面に挟まれた空間に配置され、さらに印刷ステージコンベア８ｂに支持されたキャリア９の外側の空間に配置されている（図９に示すマスクプレート支持部７参照）。

バックアップ部６で持ち上げたワーク１０とマスクプレート２２とを位置合わせするためには、バックアップ部６とマスクプレート２２を相対的に移動させて位置合わせするアライメント動作を行う。すなわちキャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂが設けられた印刷ステージ２を水平方向に移動させる印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθは、上述のアライメント動作を行うためのアライメント機構である。

１対の支持フレーム１１の上端には、印刷ヘッド１３を支持する印刷ヘッド支持ビーム１２が、直動ガイド機構１２ａを介してＹ方向に移動自在に配置されている。印刷ヘッド支持ビーム１２の一端部は、印刷ヘッド移動機構１４を介して一方の支持フレーム１１に結合されている。印刷ヘッド移動機構１４は、印刷ヘッドモータ（図示省略）を駆動源とする直動機構によって印刷ヘッド支持ビーム１２をＹ方向に移動させる。印刷ヘッド移動機構１４を駆動することにより、印刷ヘッド支持ビーム１２によって支持された印刷ヘッド１３は、スキージング方向であるＹ方向に往復移動する。

印刷ヘッド１３は印刷ヘッド支持ビーム１２から下方に延出して設けられたスキージ１３ｂを備えている。印刷ヘッド支持ビーム１２の上面に設けられたスキージ駆動部１３ａを駆動することにより、スキージ１３ｂが下降してマスクプレート２２に摺接する。そしてこの状態で印刷ヘッド移動機構１４によって印刷ヘッド１３を移動させることにより、前述のスクリーン印刷動作が実行される。

印刷ステージ２の上面とマスクプレート２２の下面との間には、カメラ取り付けベース１７をＸ方向およびＹ方向に移動させる移動機構（図６に示すカメラ移動機構１６参照）が設けられている。カメラ取り付けベース１７には、第１のカメラ１８、第２のカメラ１９が取り付けられている。この移動機構は、カメラ取り付けベース１７をカメラＸ軸ビーム１５に沿ってＸ方向へ移動させるカメラＸ軸移動機構１６ＸおよびカメラＸ軸ビーム１５をＹ方向へ移動させるカメラＹ軸移動機構１６Ｙより構成される。カメラＸ軸ビーム１５のＹ方向へ移動は、支持フレーム１１の内側面に配置された直動ガイド機構１５ｃによってガイドされる。

カメラＸ軸移動機構１６Ｘは、図１に示すカメラＸ軸モータ１５ａ、送りねじ１５ｂおよびカメラ取り付けベース１７に結合されたナット部（図示省略）より構成される。カメラＹ軸移動機構１６Ｙは、カメラＹ軸モータ（図示省略）を駆動源とする直動機構によってカメラＸ軸ビーム１５をＹ方向に移動させる構成となっている。カメラＹ軸移動機構１６Ｙを駆動することにより、カメラＸ軸ビーム１５はＹ方向に移動する。

ここで第１のカメラ１８、第２のカメラ１９の機能を説明する。第１のカメラ１８は撮像方向を下方に向けて配置されており、印刷ステージ２においてキャリア９に保持されたワーク１０のワーク認識マーク１０ｍ（図４参照）を撮像する。この撮像結果をワーク認識部３２（図６参照）の処理機能によって認識処理することにより、ワーク１０の位置や方向に加えてワーク１０における電極１０ａの位置が検出される。したがって第１のカメラ１８およびワーク認識部３２は、キャリア９上の複数のワーク１０を第１のカメラ１８によって撮像して位置を検出するワーク位置検出部である。

第２のカメラ１９は撮像方向を上方に向けて配置されており、マスクプレート２２に形成されたマスク認識マーク（図示省略）を撮像する。この撮像結果をマスク認識部３１（図６参照）の処理機能によって認識処理することにより、マスクプレート２２におけるマスク中心やパターン孔形成領域２２ａの位置が認識される。したがって第２のカメラ１９およびマスク認識部３１は、マスクプレート２２を第２のカメラ１９によって撮像して位置を検出するマスク位置検出部である。

次に図６を参照して、スクリーン印刷装置１の制御系の構成を説明する。図６において、制御部３０には、印刷ヘッド１３、印刷ヘッド移動機構１４、第１のカメラ１８、第２のカメラ１９、カメラ移動機構１６、バックアップ昇降機構５ａ、印刷ステージ昇降機構３ｚ、印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθ、印刷ステージコンベア８ｂ、キャリア搬送機構２０、搬入コンベア８ａおよび搬出コンベア８ｃが接続されている。

また制御部３０は内部処理機能として、マスク認識部３１、ワーク認識部３２、印刷処理部３３を備えている。さらに制御部３０はこれらによる制御処理に必要な情報を記憶するための記憶部３４を備えており、記憶部３４はマスクプレート２２におけるマスク基準マーク、パターン孔の位置情報を記憶するマスクパターン位置記憶部３４ａを有している。マスク認識部３１は、第２のカメラ１９による撮像結果を認識処理することにより、マスク基準マーク、パターン孔の位置を検出する。ワーク認識部３２は、第１のカメラ１８による撮像結果を認識処理することにより、キャリア９に配置されたワーク１０の位置を検出する。

印刷処理部３３は、スクリーン印刷装置１の各部を制御してキャリア９に配置された複数のワーク１０に対してスクリーン印刷を実行させる処理を行う。印刷処理部３３が、バックアップ昇降機構５ａ、印刷ステージ昇降機構３ｚ、印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθ、印刷ステージコンベア８ｂ、キャリア搬送機構２０、搬入コンベア８ａおよび搬出コンベア８ｃを制御することにより、以下の各処理が実行される。

すなわち印刷対象のワーク１０が配置されたキャリア９の印刷ステージ２への搬入、印刷ステージコンベア８ｂよりなるキャリア支持部によるキャリア９の支持、キャリア９に配置されたワーク１０のマスクプレート２２への位置合わせ、印刷ヘッド１３、印刷ヘッド移動機構１４によるワーク１０へのペーストＰの印刷、スクリーン印刷後のキャリア９の搬出などの各動作が実行される。

次に図７および各図を参照して、実施の形態１のスクリーン印刷システムにおいて、スクリーン印刷装置１によって実行されるスクリーン印刷方法について説明する。まずスクリーン印刷作業の実行に先立つ準備段階において、マスク認識工程が実行される。ここではマスクプレート２２の下方でカメラ移動機構１６によって第２のカメラ１９を移動させて、マスクプレート２２のマスク基準マーク（図示省略）を第２のカメラ１９によって撮像する。そしてこの撮像結果をマスク認識部３１によって認識処理することにより、マスクプレート２２の位置とパターン孔の配列を検出する。検出結果は記憶部３４のマスクパターン位置記憶部３４ａに記憶され、これによりスクリーン印刷作業において必要とされるマスク位置情報が記憶される。

スクリーン印刷作業が開始されると、まずキャリア搬入が実行される（キャリア搬入工程）（ＳＴ１）。すなわち図８（ａ）に示すように、印刷ステージコンベア８ｂを駆動してそれぞれの第１開口９ｂに対応して複数のワーク１０（ここではワーク１０（１）～ワーク１０（４））が配置されたキャリア９を上流側から印刷ステージ２に搬入する。そしてキャリア搬送機構２０の係合部２０ａの上方に係合孔９ｃが位置するようにキャリア９の位置を調整する。このとき、バックアップ部６、マスクプレート支持部７はバックアップ支持部材５とともに下降した状態にある。

これ以降の工程は、複数のワーク１０のうちカウンタ値Ｋによって特定される個別のワーク１０を順次対象として実行される。まず最初に初期値としてカウンタ値ＫをＫ＝０とする（ＳＴ２）。次に作業が開始されるとカウンタ値Ｋを１だけ歩進させ、Ｋ＝Ｋ＋１とする（ＳＴ３）。すなわちここではまず第１にワーク１０（１）が作業対象となる。

次にキャリア搬送機構２０によるキャリア位置決めが実行される（キャリア位置決め工程）（ＳＴ４）。すなわち図８（ｂ）に示すように、係合部２０ａにおいて係合ピン２０ｃを突出させて係合孔９ｃに係合させる。これによりキャリア９は係合部２０ａによって係合された状態となる。次いで図８（ｃ）に示すように、係合部移動軸２０ｂを駆動して係合部２０ａを移動させる（矢印ｂ）。これにより、最初の作業対象のワーク１０（１）がバックアップ部６の直上に位置するように、キャリア９をバックアップ部６に対して位置決めする。上述のキャリア搬入工程およびキャリア位置決め工程は、複数のワーク１０を載せたキャリア９を印刷ステージ２に配置するキャリア配置工程に該当している。

図９は、このキャリア位置決め工程後の印刷ステージ２の平面を示している。すなわち、複数の第１開口９ｂに対応してワーク１０（１）～ワーク１０（４）が配置された状態のキャリア９は、キャリア搬送機構２０の係合部２０ａによって位置決めされ、最初に作業対象となるワーク１０（１）がバックアップ部６の直上に位置している。この状態では、マスクプレート支持部７はキャリア９の外側に位置して、一対の印刷ステージコンベア８ｂの間の空間に位置している。

次いでバックアップ部６を上昇させる（バックアップ工程）（ＳＴ５）。すなわち印刷ステージ昇降機構３ｚを駆動して、図１０に示すように、バックアップ支持部材５を上昇させる（矢印ｃ）。これにより、バックアップ部６がキャリア９に上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂ内で昇降し、このバックアップ部６によって複数のワーク１０の一つであるワーク１０（１）を持ち上げる。このバックアップ工程では、バックアップ部６とともにマスクプレート支持部７も上昇する。

この上昇動作においては、上昇後のマスクプレート支持部７の上面、ワーク１０（１）の上面およびコンベアガイド部４ｂの上縁部の高さ位置が同一高さとなるように、各部の寸法およびバックアップ支持部材５の上昇量が設定されている。すなわち、バックアップ部６の上面６ｂの高さはマスクプレート支持部７の上面７ｂよりもワーク１０の厚さｔ分だけ低く設定されており、バックアップ支持部材５の上昇量はマスクプレート支持部７の上面７ｂがコンベアガイド部４ｂの上縁部に一致するように設定されている。

次いで、Ｋ番目のワーク１０（Ｋ）（ここではワーク１０（１））を対象として位置認識を行うワーク（Ｋ）認識が実行される（ワーク認識工程）（ＳＴ６）。すなわち図１１に示すように、カメラ移動機構１６を駆動してカメラＸ軸ビーム１５およびカメラ取り付けベース１７を移動させることにより、バックアップ部６によって持ち上げられたワーク１０（１）の上方に第１のカメラ１８を位置させてワーク１０（１）を撮像する。この撮像結果をワーク認識部３２によって認識処理することにより、ワーク１０（１）の位置が認識される。そしてこの位置認識結果に基づいて、印刷ステージＸＹΘテーブル３ｘｙθを駆動することにより、ワーク１０（１）をマスクプレート２２に位置合わせするアライメント動作が実行される（アライメント工程）（ＳＴ７）。これにより、印刷対象のワーク１０（１）がマスクプレート２２のパターン孔形成領域２２ａに位置合わせされる。

次に印刷ステージ２を上昇させて（矢印ｄ）マスクプレート２２の下面に接触させる（マスクプレート接触工程）（ＳＴ８）。これにより図１２に示すように、バックアップ支持部材５とともにバックアップ部６およびマスクプレート支持部７が上昇する。これにより、バックアップ部６によって持ち上げられた印刷対象のワーク１０（１）が、マスクプレート２２のパターン孔形成領域２２ａに下面から当設し、印刷ヘッド１３による印刷工程の開始が可能な状態となる。

これとともにマスクプレート支持部７がマスクプレート２２の下面に当接し、少なくとも印刷工程の間、マスクプレート２２の下面をマスクプレート支持部７によって支持するマスクプレート支持工程が開始される（マスクプレート支持工程開始）（ＳＴ８）。このマスクプレート支持工程においては、マスクプレート支持部７はキャリア９から外側にはみ出したマスクプレート２２の下面を支持する。

なお、（ＳＴ６）～（ＳＴ８）は、バックアップ工程で持ち上げたワーク１０と印刷用のパターン孔が形成されたマスクプレート２２を位置合わせしてワーク１０の上方にマスクプレート２２を配置するマスクプレート配置工程に該当する。そしてこの状態で、ワーク１０（１）にペーストを印刷するための印刷ヘッド１３の移動が実行される（印刷工程）（ＳＴ９）。

印刷工程が終了したならば、印刷ステージ２を下降させてワーク１０（１）をマスクプレート２２から離隔させる（版離れ工程）（ＳＴ１０）。すなわち、印刷ステージ移動機構３を駆動して、図１３に示すように、印刷ステージ２を下降させる（矢印ｅ）。これにより、ワーク１０（１）の上面の印刷面をマスクプレート２２の下面から離隔させる版離れが行われる。この版離れにより、マスクプレート支持部７によるマスクプレート２２の支持が終了する（マスクプレート支持工程終了）。

そしてこの版離れの後、バックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ支持部材５を下降させ（矢印ｆ）、印刷ステージ２においてバックアップ部６およびマスクプレート支持部７を下降させる（ＳＴ１１）。これにより、印刷工程が終了したワーク１０（１）を、キャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに支持されたキャリア９に載置する（ワーク載置工程）。これにより、一つのキャリア９に配置された複数のワーク１０の中のワーク１０（１）を対象としたスクリーン印刷が終了する。

そしてこの後、全てのワーク１０についてスクリーン印刷の処理が終了したか否かを判断する（ＳＴ１２）。ここに示す例では、最初のワーク１０（１）についてのみ処理が終了した状態であるので未処理有りと判断され、（ＳＴ３）に戻ってこれ以降の処理を反復実行する。すなわち（ＳＴ３）にてカウンタ値Ｋを１つ歩進させて、ワーク１０（２）を対象として（ＳＴ４）のキャリア位置決め工程を実行する。

ここではまず図１４に示すように、キャリア９に係合した係合部２０ａを係合部移動軸２０ｂによって移動させ、ワーク１０（２）がバックアップ部６の直上に位置するようにキャリア９を移動させる（矢印ｇ）。そしてワーク１０（２）を対象として、（ＳＴ５）～（ＳＴ１１）の処理が実行される。この後、ワーク１０（３）、ワーク１０（４）についても（ＳＴ３）に戻って、カウンタ値Ｋを順次歩進させながら同様の処理ステップが反復実行される。これにより、図１５（ａ）に示すように、キャリア９に配置されたワーク１０（１）～ワーク１０（２）の全てにペーストＰが印刷された状態となる。

次にキャリア９の搬出に先立って、図１５（ｂ）に示すように、係合部２０ａによるキャリア９の係合を解除する。すなわち、キャリア９の係合孔９ｃに嵌合していた係合ピン２０ｃ（図８参照）を係合孔９ｃから離脱させる。これにより、印刷ステージ２においてキャリア９を印刷ステージコンベア８ｂによって移動させることが可能となる。

そして（ＳＴ１２）にて、全てのワーク１０について処理が終了したと判断されたならば、印刷後のワーク１０が配置されたキャリア９の搬出が行われる（キャリア搬出工程）。すなわち図１５（ｃ）に示すように、印刷ステージコンベア８ｂを駆動して、印刷後のワーク１０（１）～ワーク１０（４）が配置されたキャリア９を下流側へ搬出する（矢印ｈ）。

これにより、１つのキャリア９に配置された複数のワーク１０を対象とするスクリーン印刷処理が終了する。そしてこのスクリーン印刷処理は、複数のワーク１０に対してバックアップ工程、アライメント工程、印刷工程、マスクプレート支持工程、ワーク載置工程を順次実行することにより、複数のワーク１０にペーストＰを印刷する形態となっている。

次に図１６、図１７を参照して、本発明の実施の形態２について説明する。図１６は、実施の形態２のスクリーン印刷システムにおいて使用されるキャリア９Ａを示している。キャリア９Ａは、実施の形態１において図５に示すキャリア９と同様に、複数のワーク１０を配置してキャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに、一対の対向する縁部を下から支持されて用いられる。ワーク１０は実施の形態１におけるワーク１０と同様であり、上面には複数の接続用の電極１０ａおよび一対の位置認識用のワーク認識マーク１０ｍが形成されている。

キャリア９Ａの上面には、ワーク１０を配置するためのワーク収納凹部９ａが所定配列で複数形成されている。ワーク収納凹部９ａの底部にはキャリア９Ａを上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂが設けられている。またキャリア９Ａには、複数の第２開口９ｄがそれぞれのワーク収納凹部９ａを両側から挟む配置でキャリア９Ａを上下方向に貫通して形成されている。

上述構成のキャリア９Ａは、図１７に示す印刷ステージ２Ａと組み合わせて使用される。図１７（ａ）において、印刷ステージ２Ａは実施の形態１におけるバックアップ支持部材５と同様にバックアップ昇降機構５ａによって昇降するバックアップ支持部材５Ａを有している。バックアップ支持部材５Ａの中央部には、印刷ステージコンベア８ｂに支持された状態のキャリア９Ａにおける第１開口９ｂの位置および平面形状に対応して、バックアップ部６Ａが設けられている。

さらにバックアップ支持部材５Ａの両端部には、印刷ステージコンベア８ｂに支持された状態のキャリア９Ａにおける第２開口９ｄの位置および平面形状に対応したマスクプレート支持部７Ａが設けられている。バックアップ部６Ａとマスクプレート支持部７Ａとは、共通の昇降機構であるバックアップ昇降機構５ａによって昇降する。ここでバックアップ部６の上面６ｂは、マスクプレート支持部７Ａの上面７ｂよりも少なくともワーク１０の厚さｔ分だけ下方に位置するように、高さ差ΔＨがワーク１０の厚さｔよりも大きくなるように各部の寸法が設定されている。

図１７（ｂ）は、印刷ステージ２Ａにおいてバックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ支持部材５Ａを上昇させて（矢印ｉ）、バックアップ部６Ａおよびマスクプレート支持部７Ａを上昇させた状態を示している。すなわちバックアップ部６Ａは、キャリア９Ａに上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂを通じて、キャリア９Ａに配置された複数のワーク１０の一つに上面６ｂを当接させて持ち上げる。

図１７（ｃ）は、印刷ステージ昇降機構３ｚ（図２参照）を駆動して印刷ステージ２Ａを上昇させて（矢印ｊ）、バックアップ部６によって持ち上げたワーク１０をマスクプレート２２に下面に当接させた状態を示している。このとき、バックアップ部６Ａの両側に配置されたマスクプレート支持部７Ａもともに上昇し、キャリア９Ａに上下方向に貫通して形成された第２開口９ｄを通じてマスクプレート２２の下面を支持する。

すなわち実施の形態２におけるスクリーン印刷方法では、少なくとも印刷工程の間マスクプレート２２の下面を支持するマスクプレート支持工程において、キャリア９Ａに上下方向に貫通して形成された第２開口９ｄ内で昇降するマスクプレート支持部７Ａによってマスクプレート２２の下面を支持するようになっている。これにより、マスクプレート２２の上面で印刷ヘッド１３のスキージ１３ｂをスキージング方向に移動させるスクリーン印刷動作において、マスクプレート２２はマスクプレート支持部７Ａの上面７ｂによって確実に下面を支持される。これにより、実施の形態１にて説明した効果と同様の効果を得る。

上記構成において、印刷ステージコンベア８ｂの一対の搬送ベルトの上面は、キャリア９Ａの対向する一対の縁部を下から支持する一対のキャリア支持面である。そしてマスクプレート２２の下面に当接して支持するマスクプレート支持部７Ａは、これらの一対のキャリア支持面に挟まれた空間に配置された形態となっている。なお、このような構成は、以下に説明する実施の形態３、４、５におけるキャリア９Ｂ、９Ｃ、９Ｄ、およびマスクプレート支持部７Ｂ、７Ｃ，７Ｄについても共通である。

次に図１８、図１９、図２０を参照して、本発明の実施の形態３について説明する。図１８は、実施の形態３のスクリーン印刷システムにおいて使用されるキャリア９Ｂを示している。キャリア９Ｂは、実施の形態１において図５に示すキャリア９と同様に、複数のワーク１０を配置してキャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに、一対の対向する縁部を下から支持されて用いられる。ワーク１０は実施の形態１におけるワーク１０と同様であり、上面には複数の接続用の電極１０ａおよび一対の位置認識用のワーク認識マーク１０ｍが形成されている。

キャリア９Ｂの上面には、実施の形態１におけるワーク１０と同様のワーク１０を配置するための矩形形状のワーク収納凹部９ａが所定配列で複数形成されている。キャリア９Ｂには、ワーク収納凹部９ａにおける長手方向と直交する方向（キャリア９Ｂの長手方向）に細長の矩形枠形状の第１開口９ｂ＊が、それぞれのワーク収納凹部９ａと交差する状態で形成されている。ワーク収納凹部９ａにワーク１０を収容してワーク１０をキャリア９Ｂに配置した状態では、ワーク１０の両側方には第１開口９ｂ＊の両端部が部分的にキャリア９Ｂの上面に露呈した状態となる。

キャリア９Ｂは、図１９に示すように、一部がマスクプレート２２の下面に当接して支持するマスクプレート支持部７Ｂとして機能する構成のバックアップ部６Ｂを備えた印刷ステージ２Ｂと組み合わせて使用される。すなわち図２０（ａ）において、印刷ステージ２Ｂは実施の形態１におけるバックアップ支持部材５と同様にバックアップ昇降機構５ａによって昇降するバックアップ部６Ｂを有している。バックアップ部６Ｂは、印刷ステージコンベア８ｂに支持された状態のキャリア９Ｂにおける第１開口９ｂ＊の位置および平面形状に対応した形状となっている。

バックアップ部６Ｂの上面６ｂの両側端部には、マスクプレート支持部７Ｂが上面６ｂから上方に突出して形成されている。マスクプレート支持部７Ｂは、ワーク１０を配置した状態においてワーク１０の両側方に部分的に露呈する第１開口９ｂ＊の位置および平面形状に対応した形状で形成されている。ここでバックアップ部６Ｂの上面６ｂは、マスクプレート支持部７Ｂの上面７ｂよりも少なくともワーク１０の厚さｔ分だけ下方に位置するように、すなわち上面６ｂと上面７ｂとの高さ差ΔＨがワーク１０の厚さｔよりも大きくなるように各部の寸法が設定されている。

図２０（ｂ）は、印刷ステージ２Ｂにおいてバックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ部６Ｂを上昇させた状態を示している（矢印ｋ）。この上昇動作においてバックアップ部６Ｂは、キャリア９Ｂに上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂ＊を通じてキャリア９Ｂに配置された複数のワーク１０の一つに上面６ｂを当接させて持ち上げる。

図２０（ｃ）は、印刷ステージ昇降機構３ｚ（図２参照）を駆動して印刷ステージ２Ｂを上昇させて（矢印ｍ）、バックアップ部６Ｂによって持ち上げたワーク１０をマスクプレート２２に下面に当接させた状態を示している。このとき、バックアップ部６Ｂの両側に設けられたマスクプレート支持部７Ｂもともに上昇し、キャリア９Ｂに上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂ＊を通じてマスクプレート２２の下面を支持する。

すなわち実施の形態３ではバックアップ部６Ｂの一部が上方に突出してマスクプレート支持部７Ｂとして機能している。そして実施の形態３におけるスクリーン印刷方法では、少なくとも印刷工程の間マスクプレート２２の下面を支持するマスクプレート支持工程において、バックアップ部６Ｂの一部を使用してマスクプレート２２の下面を支持するようにしている。これにより、マスクプレート２２の上面で印刷ヘッド１３のスキージ１３ｂをスキージング方向に移動させるスクリーン印刷動作において、マスクプレート２２はマスクプレート支持部７Ｂの上面７ｂによって確実に下面を支持される。これにより、実施の形態１にて説明した効果と同様の効果を得る。

次に図２１、図２２を参照して、本発明の実施の形態４について説明する。図２１は、実施の形態４のスクリーン印刷システムにおいて使用されるキャリア９Ｃを示している。キャリア９Ｃは、実施の形態１において図５に示すキャリア９と同様に、複数のワーク１０を配置してキャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに、一対の対向する縁部を下から支持されて用いられる。ワーク１０は実施の形態１におけるワーク１０と同様である。

キャリア９Ｃの上面には、実施の形態１，２におけるワーク１０と同様のワーク１０を配置するための矩形形状のワーク収納凹部９ａ（図２２参照）が所定配列で複数形成されている。ワーク収納凹部９ａの底部にはキャリア９を上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂが設けられている（図２２参照）。またキャリア９Ｃには、それぞれのワーク収納凹部９ａを両側から挟む配置で、複数のマスクプレート支持部７Ｃがキャリア９Ｃの上面から上方に突出して設けられている。すなわち、実施の形態４においては、マスクプレート支持部はキャリア９Ｃに複数配置された突起の形態で設けられている。

キャリア９Ｃは、図２２（ａ）に示す構成のバックアップ部６Ｃを備えた印刷ステージ２Ｃと組み合わせて使用される。すなわち図２２（ａ）において、印刷ステージ２Ｃは実施の形態１におけるバックアップ支持部材５と同様に、バックアップ昇降機構５ａによって昇降するバックアップ部６Ｃを有している。バックアップ部６Ｃは、印刷ステージコンベア８ｂに支持された状態のキャリア９Ｃにおける第１開口９ｂの位置および平面形状に対応した形状となっている。

図２２（ｂ）は、印刷ステージ２Ｃにおいてバックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ部６Ｃを上昇させた状態を示している（矢印ｎ）。すなわちバックアップ部６Ｃは、キャリア９Ｃに上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂを通じてキャリア９Ｃに配置された複数のワーク１０の一つに上面６ｂを当接させて持ち上げる。このとき、持ち上げられたワーク１０の上面の高さがマスクプレート支持部７Ｃの上面７ｂの高さと同じになるように、バックアップ部６Ｃの上昇量を制御する。

図２２（ｃ）は、印刷ステージ昇降機構３ｚ（図２参照）を駆動して印刷ステージ２Ｃを上昇させて（矢印ｏ）、バックアップ部６Ｃによって持ち上げたワーク１０をマスクプレート２２に下面に当接させた状態を示している。このとき、バックアップ部６Ｃの両側に設けられたマスクプレート支持部７Ｃもともに上昇し、マスクプレート２２の下面をマスクプレート支持部７Ｃの上面７ｂによって支持する。

すなわち実施の形態４ではマスクプレート支持部７Ｃはキャリア９Ｃに配置された形態となっている。そして実施の形態４におけるスクリーン印刷方法では、少なくとも印刷工程の間マスクプレート２２の下面を支持するマスクプレート支持工程において、キャリア９Ｃに配置されているマスクプレート支持部７Ｃをマスクプレート２２の下面に当接させるようにしている。これにより、マスクプレート２２の上面で印刷ヘッド１３のスキージ１３ｂをスキージング方向に移動させるスクリーン印刷動作において、マスクプレート２２はマスクプレート支持部７Ｃの上面７ｂによって確実に下面を支持される。これにより、実施の形態１にて説明した効果と同様の効果を得る。

次に図２３を参照して、本発明の実施の形態５について説明する。図２３（ａ）は、実施の形態５のスクリーン印刷システムにおいて使用されるキャリア９Ｄを示している。キャリア９Ｄは、実施の形態１において図５に示すキャリア９と同様に、複数のワーク１０を配置してキャリア支持部である印刷ステージコンベア８ｂに、一対の対向する縁部を下から支持されて用いられる。ワーク１０は実施の形態１におけるワーク１０と同様である。

キャリア９Ｄには、実施の形態１におけるワーク１０と同様のワーク１０を配置するための矩形形状のワーク収納凹部９ａ（図２２参照）が所定配列で複数形成されている。キャリア９Ｄは、他の実施の形態におけるキャリア９、９Ａ、９Ｂ、９Ｃと異なり、所定の厚みを有する略矩形ブロック形状の部材である。ワーク収納凹部９ａの底部にはキャリア９Ｄを上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂが設けられている（図２２参照）。

キャリア９Ｄの上面においてワーク収納凹部９ａの周囲は、マスクプレート２２の下面に当接して支持するマスクプレート支持部７Ｄとなっている。すなわち実施の形態５においては、キャリア９Ｄはワーク１０を収容する凹部であるワーク収納凹部９ａを有し、マスクプレート支持部７Ｄはワーク収納凹部９ａの周囲のキャリア９Ｄの上面である。

キャリア９Ｄは、図２３（ａ）に示す構成のバックアップ部６Ｄを備えた印刷ステージ２Ｄと組み合わせて使用される。すなわち図２３（ａ）において、印刷ステージ２Ｄは実施の形態１におけるバックアップ支持部材５と同様にバックアップ昇降機構５ａによって昇降するバックアップ部６Ｄを有している。バックアップ部６Ｄは、印刷ステージコンベア８ｂに支持された状態のキャリア９Ｄにおける第１開口９ｂの位置および平面形状に対応した形状となっている。

図２３（ｂ）は、印刷ステージ２Ｄにおいてバックアップ昇降機構５ａを駆動してバックアップ部６Ｄを上昇させた状態を示している（矢印ｐ）。すなわちバックアップ部６Ｄは、キャリア９Ｄに上下方向に貫通して形成された第１開口９ｂを通じてキャリア９Ｄに配置された複数のワーク１０の一つに上面６ｂを当接させて持ち上げる。このとき、持ち上げられたワーク１０の上面の高さがマスクプレート支持部７Ｄの高さと同じになるように、バックアップ部６Ｄの上昇量を制御する。

図２３（ｃ）は、印刷ステージ昇降機構３ｚ（図２参照）を駆動して印刷ステージ２Ｃを上昇させて（矢印ｑ）、バックアップ部６Ｄによって持ち上げたワーク１０をマスクプレート２２の下面に当接させた状態を示している。このとき、キャリア９Ｄもともに上昇し、マスクプレート２２の下面をキャリア９Ｄの上面のマスクプレート支持部７Ｄによって支持する。

すなわち実施の形態５では、マスクプレート支持部７Ｄはキャリア９Ｄに配置された形態となっている。そして実施の形態５におけるスクリーン印刷方法では、少なくとも印刷工程の間マスクプレート２２の下面を支持するマスクプレート支持工程において、キャリア９Ｄに配置されているマスクプレート支持部７Ｄを、マスクプレート２２の下面に当接させるようにしている。これにより、マスクプレート２２の上面で印刷ヘッド１３のスキージ１３ｂをスキージング方向に移動させるスクリーン印刷動作において、マスクプレート２２はマスクプレート支持部７Ｄによって確実に下面を支持される。これにより、実施の形態１にて説明した効果と同様の効果を得る。

上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷システムにおいては、複数のワーク１０を配置したキャリア９をマスクプレート２２の下方で支持する印刷ステージコンベア８ｂと、キャリア９から複数のワーク１０の中の一つを持ち上げてマスクプレートの下面に当接させるバックアップ部６と、バックアップ部６とマスクプレート２２を相対的に移動させるアライメント機構と、マスクプレート２２の上面からパターン孔を通じてマスクプレート２２の下面に当接するワーク１０にペーストを印刷する印刷ヘッド１３とを備えた構成において、少なくとも印刷ヘッド１３がワーク１０に印刷を行うときにマスクプレート２２の下面をマスクプレート支持部７によって支持するようにしている。

これにより、下受けされていない状態のマスクプレート２２に印刷ヘッド１３の印圧が作用することによるマスクプレート２２の撓みが軽減される。このためワーク１０のエッジがマスクプレート２２に片当たりすることなどに起因する印刷不良を抑制することができ、多数枚取り方式において印刷不良を防止しつつ生産性を向上させることができる。

本発明のスクリーン印刷システムおよびスクリーン印刷方法は、多数枚取り方式において印刷不良を防止しつつ生産性を向上させることができるという効果を有し、基板などのワークにペーストを印刷するスクリーン印刷分野において有用である。

１スクリーン印刷装置
２、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ印刷ステージ
３印刷ステージ移動機構
６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄバックアップ部
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄマスクプレート支持部
８ｂ印刷ステージコンベア（キャリア支持部）
９、９Ａ、９Ｂ、９Ｃ、９Ｄキャリア
１０ワーク
１３印刷ヘッド
２２マスクプレート

Claims

印刷用のパターン孔が形成されたマスクプレートと、
複数のワークを配置したキャリアと、
前記マスクプレートの下方で前記キャリアを支持するキャリア支持部と、
前記キャリア支持部に支持された前記キャリアから前記複数のワークの中の一つを持ち上げて前記マスクプレートの下面に当接させるバックアップ部と、
前記バックアップ部で持ち上げたワークと前記マスクプレートを位置合わせするために前記バックアップ部と前記マスクプレートを相対的に移動させるアライメント機構と、
前記マスクプレートの上面から前記パターン孔を通じて前記マスクプレートの下面に当接するワークにペーストを印刷する印刷ヘッドと、
少なくとも前記印刷ヘッドが前記ワークに印刷を行うときに前記マスクプレートの下面を支持するマスクプレート支持部と、を備え、
前記バックアップ部は、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第１開口を通じて前記複数のワークの１つを持ち上げるようになっており、
前記キャリア支持部は、前記キャリアの対向する二つの縁部を下から支持する一対のキャリア支持面を有し、前記マスクプレート支持部は前記キャリア支持面に挟まれた空間に配置されている、スクリーン印刷システム。
前記マスクプレート支持部は前記キャリア支持部に支持された前記キャリアの外側の空間に配置されている、請求項１に記載のスクリーン印刷システム。
前記マスクプレート支持部は、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第２開口を通じて前記マスクプレートの下面を支持する、請求項１に記載のスクリーン印刷システム。
前記バックアップ部と前記マスクプレート支持部は、共通の昇降機構によって昇降する、請求項１～３のいずれかに記載のスクリーン印刷システム。
前記バックアップ部の一部が前記マスクプレート支持部となっている、請求項１に記載のスクリーン印刷システム。
前記バックアップ部の上面は前記マスクプレート支持部の上面よりも少なくとも前記ワークの厚さ分だけ下方に位置している、請求項４もしくは５に記載のスクリーン印刷システム。
前記マスクプレート支持部は前記キャリアに配置されている、請求項１に記載のスクリーン印刷システム。
前記マスクプレート支持部は、前記キャリアに複数配置された突起である、請求項７に記載のスクリーン印刷システム。
前記キャリアはワークを収容する凹部を有し、前記マスクプレート支持部は前記凹部の周囲の前記キャリアの上面である、請求項７に記載のスクリーン印刷システム。
複数のワークを載せたキャリアを印刷ステージに配置するキャリア配置工程と、
前記印刷ステージに配置された前記キャリアから前記複数のワークの中の一つを下から突き上げて持ち上げるバックアップ工程と、
前記バックアップ工程で持ち上げたワークと印刷用のパターン孔が形成されたマスクプレートを位置合わせして前記ワークの上方に前記マスクプレートを配置するマスクプレート配置工程と、
前記マスクプレートの上面に印刷ヘッドを押し当てながら移動させることにより前記パターン孔を通じて前記ワークにペーストを印刷する印刷工程と、
少なくとも前記印刷工程の間前記マスクプレートの下面をマスクプレート支持部により支持するマスクプレート支持工程と、
前記印刷工程が終了した前記ワークをキャリア支持部に支持された前記キャリアに載置するワーク載置工程と、を含み、
複数のワークに対して前記バックアップ工程、前記マスクプレート配置工程のアライメント工程、前記印刷工程、前記マスクプレート支持工程、前記ワーク載置工程を順次実行することにより前記複数のワークにペーストを印刷し、
前記バックアップ工程では、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第１開口内で昇降するバックアップ部によって前記複数のワークの１つを持ち上げるようになっており、
前記キャリア支持部は、前記キャリアの対向する二つの縁部を下から支持する一対のキャリア支持面を有し、前記マスクプレート支持部は前記キャリア支持面に挟まれた空間に配置されている、スクリーン印刷方法。
前記マスクプレート支持工程において、前記キャリアから外側にはみ出した前記マスクプレートの下面を支持する、請求項１０に記載のスクリーン印刷方法。
前記マスクプレート支持工程において、前記キャリアに上下方向に貫通して形成された第２開口内で昇降する前記マスクプレート支持部によって前記マスクプレートの下面を支持する、請求項１０に記載のスクリーン印刷方法。
前記マスクプレート支持工程において、前記バックアップ部の一部を使用して前記マスクプレートの下面を支持する、請求項１０に記載のスクリーン印刷方法。
前記マスクプレート支持工程において、前記キャリアに配置されている前記マスクプレート支持部を前記マスクプレートの下面に当接させる、請求項１０に記載のスクリーン印刷方法。