JP3112581B2 - 位置決め装置および印刷装置 - Google Patents
位置決め装置および印刷装置Info
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Description
フィルタを構成するガラス基板に対してオフセット印刷
を行なう場合の、ガラス基板に対する位置決め等に用い
られる位置決め装置および印刷装置に関する。
ガラス基板上にオフセット印刷を行なうための、従来の
印刷装置を図5により説明する。
ラス基板11は、基板用の定盤12上に載置され固定され
る。そして、このガラス基板11の上面には、図6で示す
ように、十字形のアライメントマーク13が2個形成され
ており、これらアライメントマーク13をそれぞれ撮像す
べく、これらアライメントマーク13の上方には撮像装置
としてのカメラ14,15が対向配置されている。
情報は、対応する画像メモリ16,17に記憶され、これら
画像メモリ16,17にバス18を介して接続するCPU23に
より、同じくバス18を介して接続する画像処理装置19お
よびモニタ20に出力される。さらに、画像処理装置19
は、画像情報から、アライメントマーク13の座標位置を
算出する。また、モニタ20は、アライメントマーク13を
図7および図8で示すように表示する。
り、基板用の定盤12上面に沿う任意の方向、すなわち、
互いに直交するX方向およびY方向の2直線方向と、基
板用の定盤12の上面と垂直な縦軸を回転軸とするθ方向
である回転方向とに対してそれぞれ移動可能に構成され
ており、各方向についてそれぞれ位置調整可能である。
また、この駆動機構21は、XYθ駆動制御部22により駆
動量および方向が制御される。このXYθ駆動制御部22
は、画像処理装置19により算出されたアライメントマー
ク13の座標位置に基づき、ガラス基板11を所定位置に移
動させるべく駆動機構21を制御する。なお、XYθ駆動
制御部22、画像メモリ16,17、画像処理装置19およびモ
ニタ20は、バス18を介して全体制御用のCPU23と接続
しており、所定のプログラムに従ってCPU23により統
括制御される。
は、版用の定盤26上に位置調整可能に載置され固定され
る。一方、27は印刷ドラムで、この印刷ドラム27は版用
の定盤26上に固定されている印刷用版25に塗布されたイ
ンクを、基板用の定盤12上に固定されたガラス基板11上
に転写し、オフセット印刷を行なう。
参照して説明する。
フセット印刷を行なう場合、まず、基板用の定盤12上に
載置されているガラス基板11のアライメントマーク13
を、撮像装置である先端部に、撮像対象への照明機構を
取付けたカメラ14により撮像し、この撮像された画像を
モニタ20に表示させて、このカメラ14のθ軸調整(ステ
ップ1)を目合わせで行なう。すなわち、作業者は、図
8で示すように、カメラ14に設けられた十字形のカーソ
ルライン28の水平方向とアライメントマーク13の水平方
向とが互いに一致するように、カメラ14の角度を手動で
調整し、これら十字形のカーソルライン28の水平方向と
アライメントマーク13の水平方向間の角度上のずれ、す
なわち傾きがなくなるまで目合わせにより位置調整を行
なう。また、この操作はもう一方のカメラ15についても
同様に行なう。
し(ステップ2)、かつ,基板用の定盤12上のガラス基
板11を位置決めし固定する(ステップ3)。すなわち、
アライメントマーク13とカーソルライン28とが、図7で
示すように、互いに一致するように、画像処理装置19か
らの座標位置データによってXYθ駆動制御部22が駆動
機構21を制御し、ガラス基板11を上述のように位置決め
固定する。
行なう(ステップ4)。すなわち、印刷用版25上のイン
クを印刷ドラム27の表面に転移させるとともに、ガラス
基板11上に転写し、オフセット印刷の試し刷りを行な
い、この試し刷りされたガラス基盤11上の印刷パターン
を図示しない顕微鏡により観察する(ステップ5)。そ
して、この観察の結果、印刷用版25とガラス基板11とが
所定の位置関係にない場合は、印刷用版25とガラス基板
11が所定の位置関係となるように、印刷用版25側の位置
調整を行ない(ステップ6)、ステップ4に戻り再度試
し刷りを行なう。この試し刷りおよび顕微鏡による印刷
パターンの測定作業は、所定の位置関係が得られるまで
数回繰り返し行なわれる。そして、この試し刷りによる
調整が終了しなければ生産が開始できない。
置では、試し刷りによる調整に多くの時間を要し、しか
も、作業者の目合わせによる作業があるため精度上の問
題を有している。
ることなく高精度に位置決めを行なうことができる位置
決め装置を提供するとともに、この位置決め装置を用い
たことにより、生産性が高く、しかもガラス基板に対し
て高精度に印刷を行なうことができる印刷装置を提供す
ることにある。
装置は、所定対象物の位置に対応して物体の位置決めを
行う位置決め装置であって、位置決め対象となる平板状
の前記物体を載置固定し、かつ、この物体の上面に沿う
任意の方向について位置調整可能に構成された定盤と、
この定盤上に固定された前記物体の基準となる部分を撮
像し、撮像画面の前記定盤の上面と垂直な縦軸を回転軸
とするθ方向の角度を変化させる角度駆動機構を有した
カメラと、前記角度駆動機構を制御するカメラ角度制御
部と、前記カメラにより撮像された上記基準となる部分
の画像情報と前記所定対象物の位置を示す比較画像情報
との相対的なずれを検出する機能を有した画像処理装置
と、前記定盤を前記任意の方向に駆動して位置調整し前
記画像処理装置により求められたずれを最小化する調整
制御部とを具備したものである。
用版を載置固定する版用の定盤およびガラス基板を載置
固定する基板用の定盤と、前記版用の定盤および基板用
の定盤のいずれか一方に設けられ、対応する定盤をその
上面に沿う任意の方向に変位させる駆動機構と、前記版
用の定盤に固定されている印刷用版に塗布された印刷用
転写物を前記基板用の定盤上に固定されたガラス基板上
に印刷するための印刷ドラムと、前記版用の定盤に固定
された印刷用版の基準となる部分を撮像する版用のカメ
ラおよび前記基板用の定盤上に固定された前記ガラス基
板の基準となる部分を撮像する基板用のカメラと、これ
ら版用のカメラおよび基板用のカメラにより撮像された
両画像情報を相互に比較し、これら画像情報の相対的な
ずれを求める画像処理装置と、前記駆動機構により対応
する定盤を前記任意の方向に駆動して位置調整しこの画
像処理装置により求められたずれを最小化する調整制御
部とを具備したものである。
された位置決め対象の物体の、基準となる部分をカメラ
により撮像し、その画像情報と別途求められた所定対象
物の位置を示す比較画像情報との相対的なずれを求め、
このずれを最小化する定盤を任意の方向に駆動して位置
調整するので、従来の長時間の調整作業が不要となり、
高精度の位置決めを行なうことができる。
し、カメラに設けた角度駆動機構により撮像画面の前記
定盤の上面と垂直な縦軸を回転軸とするθ方向の角度を
変化させるようにしたので、従来の目合わせによること
なく、カメラのθ方向の調整を容易かつ高精度に行なう
ことができる。なお、画像処理装置は、例えば、撮像装
置である撮像カメラに定められた基準線と前記物体の基
準となる部分との角度上のずれを検出する機能を有す
る。
および基板用のカメラによりそれぞれ撮像された両画像
情報を相互に比較して、これら画像情報の相対的なずれ
を検出し、ずれを最小化する基板用の定盤を任意の方向
に駆動して位置調整するので、従来の試し刷りが不要と
なり、位置調整が容易で、しかも高精度の印刷を行なう
ことができる。
明する。
説明する。
板状の物体のガラス基板である。また、32は基板用の定
盤で、この基板用の定盤32は、ガラス基板31を載置固定
し、かつ、このガラス基板31の上面に沿う任意の方向に
ついて、駆動機構33により位置調整可能に構成されてい
る。
CDを用いた基板用のカメラで、これら基板用のカメラ
34,35の先端部に撮像対象への照明機構を取付けてお
り、基板用の定盤32上に固定されたガラス基板31の基準
となる部分、例えば上端縁の両角部分31a ,31b を撮像
する。すなわち、これら基板用のカメラ34,35は、先端
部に設けた図示しない照明機構によって撮像対象部分を
照明し、この撮像対象部分からの反射光を基板用のカメ
ラ34,35のCCDにより撮像し、画像情報を得る。
れた基準となる両角部分31a ,31bの画像情報は、対応
する画像メモリ36,37に記憶され、これら画像メモリ3
6,37にバス38を介して接続する画像処理装置39によ
り、別途求められた比較画像情報と比較される。また、
画像処理装置39は、これら撮像された画像情報と比較画
像情報の相対的な位置ずれ量を算出する。
来例のモニタ20と同様のものを接続し、画像メモリ36,
37の画像情報を表示させてもよい。この場合のモニタ20
に表示される画像は、あくまでも作業者に対する参考用
である。
42は画像処理装置39により求められたずれを最小化する
基板用の定盤32を、駆動機構33により、基板用の定盤32
の上面に沿う任意の方向、すなわち、互いに直交するX
方向およびY方向の2直線方向と、基板用の定盤32の上
面と垂直な縦軸を回転軸とするθ方向である回転方向と
に駆動して位置調整を行なう。したがって、基板用の定
盤32は、各方向についてそれぞれ位置調整可能となって
いる。この駆動機構33は、XYθ方向についての制御機
能を有する調整制御部42から、駆動量および方向に関す
るデータを受けることにより、基板用の定盤32を該当す
る方向に所定量駆動し、画像処理装置39により求められ
たずれを最小化する位置調整する。
は、CCD等による版用のカメラ51,52により撮像さ
れ、対応する画像メモリ53,54に格納された画像情報を
いう。これら版用のカメラ51,52もそれぞれ先端部に撮
像対象への照明機構を取付けたもので、版用の定盤46上
に載置固定された所定対象物としての印刷用版45の基準
となる部分、例えばアライメントマーク49が形成された
部分を撮像する。
め、オフセット印刷のための印刷ドラム47を有してお
り、版用の定盤46上に載置固定されている印刷用版45に
塗布されたインクを、基板用の定盤32上に載置固定され
ているガラス基板31上に転写し、オフセット印刷を行な
うように構成されている。すなわち、この印刷ドラム47
および各定盤46,32の関係を表す図2において、版用の
定盤46と基板用の定盤32とは、左右方向にそれぞれ移動
可能な送りステージ61上に間隔を保って取付けられてい
る。
ては、ドクタ62によって印刷用インク63が塗布される。
さらに、印刷ドラム47は、シリンダ47a とブランケット
47bとで構成されており、送りステージ61により定盤4
6,32を横方向に移動させることにより版用の定盤46上
の印刷用版45に塗布された印刷用インク63をブランケッ
ト47b 上に転写し、さらに、このブランケット47b 上の
印刷用インク63を基板用の定盤32上のガラス基板31上に
転写し、オフセット印刷を行なう。
ては、ドクタ62によって印刷用転写物である印刷用イン
ク63が塗布される。さらに、印刷ドラム47は、シリンダ
47aとブランケット47b とで構成されており、送りステ
ージ61により定盤46,32を横方向に移動させることによ
り版用の定盤46上の印刷用版45に塗布された印刷用イン
ク63をブランケット47b 上に転写し、さらに、このブラ
ンケット47b 上の印刷用インク63を基板用の定盤32上の
ガラス基板31上に転写し、オフセット印刷を行なう。
ングモータ等の回転機構によって撮像画面の角度θを変
化させる角度駆動機構56,57を有する。これら角度駆動
機構56,57に対してはカメラ角度制御部58が設けられて
おり、このカメラ角度制御部58は、バス38を介して画像
処理装置39により検出された角度θ上のずれθ1 を入力
し、このずれθ1 を最小化するように、角度駆動機構5
6,57の回転機構部を所定の方向に所定量回転動作さ
せ、基板用のカメラ34,35の撮像画面角度θを制御す
る。
のデータの授受や各部の動作タイミングの制御等、装置
全体を所定のプログラムに従って制御する。
フローチャートを用いて説明する。なお、図1の装置
は、液晶用カラーフィルタに対するオフセット印刷装置
に実施した場合を示している。
ある位置決め対象の物体のガラス基板31を、図示しない
基板供給ユニットにより基板用の定盤32上に載置させ固
定する。この状態において、ガラス基板31の基準となる
両角部分31a ,31b を基板用のカメラ34,35により撮像
する。撮像された画像情報は画像メモリ36,37に記憶さ
れ、画像処理装置39で基板用のカメラ34,35のカーソル
ライン48とガラス基板31の基準となる両角部分31a ,31
b との角度θ上のずれθ1 を、各両角部分31a,31b 毎
に算出する。このずれθ1 は、カメラ角度制御部58に入
力され、各基板用のカメラ34,35毎に設けられた角度駆
動機構56,57により、ずれθ1 を最小化すべく基板用の
カメラ34,35の撮像画面角度θを高精度に制御する。す
なわち、カメラのθ軸調整が行なわれる(ステップ1
1)。
用の定盤46上に固定し(ステップ12)、基板用の定盤32
上に固定した(ステップ13)ガラス基板31とともに、基
準となる部分を対応するカメラで撮像し、認識を行なう
(ステップ14)。
は、予めアライメントマーク49を形成しておき、このア
ライメントマーク49を版用のカメラ51,52により撮像
し、この撮像された画像情報を対応する画像メモリ53,
54に記憶させる。そして、画像処理装置39により、画像
メモリ36,37に記憶されているガラス基板31の基準とな
る両角部分31a ,31b の画像情報と、画像メモリ53,54
に記憶された比較画像情報である印刷用版45のアライメ
ントマーク49とを比較し、これら撮像された画像情報と
比較画像情報との相対的な位置ずれ量を算出する(ステ
ップ15)。
39により求められた相対的な位置ずれ量を入力し、この
ずれ量を最小化すべく、XYθの各方向に移動可能な基
板用の定盤32を、駆動機構33により任意の方向に駆動し
て位置調整する(ステップ16)。この結果、印刷用版45
とガラス基板31との相対的な位置ずれは高精度に補正さ
れる。
横方向に移動させることにより、印刷用版45上の印刷用
インク63を印刷ドラム47のブランケット47b 上に転写さ
せ、さらに、このブランケット47b 上のインクをガラス
基板31上に転写してオフセット印刷が行なわれる。この
場合、印刷用版45とガラス基板31との相対的な位置関係
は、調整制御部42により高精度に位置決めされているの
で、印刷ずれ等を生じることなく良好なオフセット印刷
が行なわれる。
を駆動機構33によりXYθの各方向に移動可能な構成と
したが、この基板用の定盤32を固定とし、印刷用版45側
の定盤46に駆動機構33と同様の駆動機構を設け、この版
用の定盤46をXYθの各方向に移動可能な構成とし、画
像処理装置39により求められた両定盤32,46の相対的な
位置ずれ量を最小化すべく、版用の定盤46を駆動機構に
より任意の方向に駆動して位置調整するようにしてもよ
い。すなわち、位置決め装置30を印刷用版45の定盤46側
に構成してもよい。
アライメントマークを設けず、基準となる部分として、
ガラス基板31の上端縁の両角部分を撮像しているが、ア
ライメントマークを設けてこれを撮像するようにしても
良い。ただし、上記実施例のようにアライメントマーク
を設けない場合は、アライメントマーク形成工程を削減
できるので、生産効率および生産コストの面から有利で
ある。また、ガラス基板31および印刷用版45に対してそ
れぞれ2台の基板用のカメラ34,35および版用のカメラ
51,52を設けているが、ガラス基板31の両角部分31a ,
31b あるいは2つのアライメントマーク49を撮像できる
カメラであれば、カメラの台数はそれぞれ1台でよい。
て延べているが、もちろん印刷以外の処理工程でも構わ
ない。また、位置決め装置30の位置決め対象物体として
ガラス基板31を例示したが、プリント基板やウエハー等
の位置決めにも同様に適用することができる。
定盤上に固定された位置決め対象の物体の、基準となる
部分をカメラにより撮像し、その画像情報と別途求めら
れた所定対象物の位置を示す比較画像情報との相対的な
ずれを求め、このずれを最小化する定盤を任意の方向に
駆動して位置調整するので、従来の長時間の調整作業が
不要となり、高精度の位置決めを行なうことができる。
体の基準となる部分との角度上のずれを検出し、カメラ
に設けた角度駆動機構により撮像画面の前記定盤の上面
と垂直な縦軸を回転軸とするθ方向の角度を変化させる
ようにしたので、従来の目合わせによることなく、カメ
ラのθ方向の調整を容易かつ高精度に行なうことができ
る。
カメラおよび基板用のカメラによりそれぞれ撮像された
両画像情報を相互に比較して、これら画像情報の相対的
なずれを検出し、ずれを最小化する基板用の定盤を任意
の方向に駆動して位置調整するので、従来の試し刷りが
不要となり、位置調整が容易で、しかも高精度の印刷を
行なうことができる。
る。
刷ドラムとの関係を示す正面図である。
明する説明図である。
である。
図である。
図である。
る。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 所定対象物の位置に対応して物体の位置
決めを行う位置決め装置であって、 位置決め対象となる平板状の前記物体を載置固定し、か
つ、この物体の上面に沿う任意の方向について位置調整
可能に構成された定盤と、 この定盤上に固定された前記物体の基準となる部分を撮
像し、撮像画面の前記定盤の上面と垂直な縦軸を回転軸
とするθ方向の角度を変化させる角度駆動機構を有した
カメラと、前記角度駆動機構を制御するカメラ角度制御部と、 前記 カメラにより撮像された上記基準となる部分の画像
情報と前記所定対象物の位置を示す比較画像情報との相
対的なずれを検出する機能を有した画像処理装置と、 前記定盤を前記任意の方向に駆動して位置調整し前記画
像処理装置により求められたずれを最小化する調整制御
部とを具備したことを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項2】 印刷用版を載置固定する版用の定盤およ
びガラス基板を載置固定する基板用の定盤と、 前記版用の定盤および基板用の定盤のいずれか一方に設
けられ、対応する定盤をその上面に沿う任意の方向に変
位させる駆動機構と、 前記版用の定盤に固定されている印刷用版に塗布された
印刷用転写物を前記基板用の定盤上に固定されたガラス
基板上に印刷するための印刷ドラムと、 前記版用の定盤に固定された印刷用版の基準となる部分
を撮像する版用のカメラおよび前記基板用の定盤上に固
定された前記ガラス基板の基準となる部分を撮像する基
板用のカメラと、 これら版用のカメラおよび基板用のカメラにより撮像さ
れた両画像情報を相互に比較し、これら画像情報の相対
的なずれを求める画像処理装置と、 前記駆動機構により対応する定盤を前記任意の方向に駆
動して位置調整しこの画像処理装置により求められたず
れを最小化する調整制御部とを具備したことを特徴とす
る印刷装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04291365A JP3112581B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 位置決め装置および印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04291365A JP3112581B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 位置決め装置および印刷装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06134977A JPH06134977A (ja) | 1994-05-17 |
JP3112581B2 true JP3112581B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=17767979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04291365A Expired - Lifetime JP3112581B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 位置決め装置および印刷装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3112581B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010140386A1 (ja) * | 2009-06-05 | 2010-12-09 | 株式会社Ihi | オフセット印刷装置 |
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JP2007268714A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Toppan Printing Co Ltd | 印刷方法および印刷装置 |
JP5018368B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-09-05 | 凸版印刷株式会社 | 印刷方法 |
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-
1992
- 1992-10-29 JP JP04291365A patent/JP3112581B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPH06134977A (ja) | 1994-05-17 |
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