WO2017183338A1

WO2017183338A1 - 電子デバイス用の転写装置および電子デバイス用の転写方法

Info

Publication number: WO2017183338A1
Application number: PCT/JP2017/008819
Authority: WO
Inventors: 北澤　裕之
Original assignee: 株式会社写真化学
Priority date: 2016-04-22
Filing date: 2017-03-06
Publication date: 2017-10-26
Also published as: TW201739627A; EP3446875A1; JP6220918B2; TWI632071B; KR102112430B1; EP3446875B1; KR20180043321A; CN108136764B; US20200353745A1; JP2017193147A; EP3446875A4; CN108136764A

Abstract

テーブルの支持面上に校正板が配置される。校正板は、一方向に並ぶ第１および第２のアライメントマークと一方向に直交する他方向に並ぶ第３および第４のアライメントマークとを有する。前後方向に移動する第１および第２のアライメントマークが第１のカメラにより撮像される。その画像に基づいて校正板の一方向が前後方向に平行にされる。第３および第４のアライメントマークに基づいて第２および第３のカメラの位置が調整される。位置調整された第２および第３のカメラが転写ローラの下方の位置に移動され、転写ローラに形成された基準線が第２および第３のカメラにより撮像される。それらの画像に基づいて転写ローラの回転軸の向きが支持面に平行な面内で調整される。

Description

電子デバイス用の転写装置および電子デバイス用の転写方法

　本発明は、電子デバイス用の転写装置および電子デバイス用の転写方法に関する。

　液晶表示装置、配線回路基板等の製造工程において、各種基板に電極および配線等のパターンを形成するために、フォトリソグラフィ技術が用いられる。フォトリソグラフィ技術により、高い精度で微細なパターンを形成することが可能になる。

　近年、フォトリソグラフィ技術に代えて導電性インクを用いた印刷技術により、基板上に電極および配線等のパターンを形成する方法が提案されている。印刷技術を用いることにより、パターンの形成に必要な工程数が低減される。

　パターンを形成するためにオフセット印刷を利用することができる。オフセット印刷においては、インキングされた版からブランケットローラにインクが転写される。その後、転写されたインクがブランケットローラから基板等の対象物に再度転写される。オフセット印刷に関して、転写されるインクパターンの寸法精度を向上させるために種々の方法が提案されている。

　例えば、特許文献１に記載されたオフセット印刷装置は、版テーブル、印刷対象テーブルおよびブランケットローラを含む。版テーブルおよび印刷対象テーブルの各々は、ガイドレール上で独立して一方向に移動可能に設けられる。ブランケットローラは、ガイドレールの上方の固定位置に設けられる。

　オフセット印刷が行われる際には、まず版テーブル上に版が載置された状態で版がアライメントされる。また、印刷対象テーブル上に対象物が載置された状態で対象物がアライメントされる。次に、版テーブルが一方向に移動することにより、版がインキングされつつブランケットローラの下方位置に送られる。版テーブルが一方向に移動するとともにブランケットローラが回転することにより、版からブランケットローラにインクが転写される。

　続いて、印刷対象テーブルが一方向に移動することにより、対象物がブランケットローラの下方位置に送られる。対象物が一方向に移動するとともにブランケットローラが回転することにより、ブランケットローラから対象物にインクが再度転写される。

　上記のオフセット印刷装置においては、版および対象物がそれぞれアライメントされることにより、版テーブルへの版の取付位置の誤差および印刷対象テーブルへの対象物の取付位置の誤差に起因するインクパターンの寸法精度の低下が抑制される。
特開２０１０－２８０１６４号公報

　近年、デバイスの高密度化および高集積化に伴い、基板上に形成されるパターンの微細化が重要な課題となっている。そのため、オフセット印刷により基板上に形成されるインクパターンにもより高い寸法精度が求められる。

　本発明の目的は、電子デバイスを構成する被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することを可能にする電子デバイス用の転写装置および電子デバイス用の転写方法を提供することである。

　オフセット印刷装置における印刷後のインクパターンの寸法精度の低下の原因は、版テーブルへの版の取付位置の誤差および印刷対象テーブルへの対象物の取付位置の誤差に限らない。本発明者は、オフセット印刷技術を利用した電子デバイス用の転写装置において、複数の構成要素間の組立誤差に着目し、組立誤差に起因する寸法精度の低下を抑制するため、および転写装置が使用されることにより経時的に発生する寸法誤差の増大を抑制するため、に以下の発明を案出した。

　（１）本発明の一局面に従う電子デバイス用の転写装置は、一方向に並ぶ第１および第２のアライメントマークと一方向に直交する他方向に並ぶ第３および第４のアライメントマークとを有する校正版を用いて校正可能であるとともに、電子デバイスを構成する被転写物を対象物に転写する電子デバイス用の転写装置であって、校正版および対象物を選択的に支持可能な支持面を有するテーブルと、テーブルを支持面に平行でかつ互いに直交する第１および第２の方向に移動可能に支持するとともにテーブルを支持面に直交する軸の周りで回転可能に支持するテーブル支持装置と、テーブル支持装置を第１、第２、第３および第４の位置の間で第１の方向に移動させる移動駆動部と、回転軸を有するとともに、被転写物を保持可能でかつ回転軸に平行な基準線を含む外周面を有する転写ローラと、転写ローラを回転軸の周りで回転可能に支持する軸支持部と、転写ローラを回転させる回転駆動部と、第１の基準指標を含む視野を有し、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第１の位置にあるときに第１のアライメントマークを撮像し、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第２の位置にあるときに第２のアライメントマークを撮像し、校正版を支持するテーブルが第３の位置にあるときに第３のアライメントマークを撮像する第１の撮像部と、第２の基準指標を含む視野を有し、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第３の位置にあるときに、第４のアライメントマークを撮像する第２の撮像部と、テーブル支持装置とともに移動しかつ第３の基準指標を含む視野を有し、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第３の位置にあるときに校正版の第３のアライメントマークを撮像し、テーブル支持装置が第４の位置にあるときに転写ローラの基準線を撮像する第３の撮像部と、テーブル支持装置とともに移動しかつ第４の基準指標を含む視野を有し、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第３の位置にあるときに校正版の第４のアライメントマークを撮像し、テーブル支持装置が第４の位置にあるときに転写ローラの基準線を撮像する第４の撮像部と、第１、第２、第３および第４の撮像部により撮像される画像を表示する表示部とを備え、第１および第２の撮像部はテーブル支持装置とは独立に位置調整可能に設けられ、第３および第４の撮像部はテーブルと相対的に位置調整可能に設けられ、転写ローラは少なくとも支持面に平行な面内で回転軸の向きを調整可能に設けられる。

　その転写装置においては、校正時に校正版がテーブルの支持面上に支持される。テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第１の位置にあるときに、第１の撮像部により撮像される第１のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が第１の位置にあるときに第１の基準指標が第１のアライメントマーク上に位置するように第１の撮像部の位置をテーブル支持装置とは独立して調整することができる。

　テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第２の位置にあるときに、第１の撮像部により撮像される第２のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が第１の位置にあるときに第１の基準指標が第１のアライメントマーク上に位置するようにかつテーブル支持装置が第２の位置にあるときに第１の基準指標が第２のアライメントマーク上に位置するように、校正版を支持するテーブルの位置をテーブル支持装置により調整することができる。この場合、第１および第２のアライメントマークは校正版の一方向に並ぶので、校正版の一方向が第１の方向に対して平行となる。また、校正版の他方向が第２の方向に対して平行となる。

　テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第３の位置にあるときに、第１の撮像部により撮像される第３のアライメントマークの画像が表示部に表示され、第２の撮像部により撮像される第４のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が第３の位置にあるときに第１の基準指標が第３のアライメントマーク上に位置するように第１の撮像部の位置をテーブルとは独立して調整することができる。また、使用者は、テーブル支持装置が第３の位置にあるときに第２の基準指標が第４のアライメントマーク上に位置するように第２の撮像部の位置をテーブルとは独立して調整することができる。この場合、第３および第４のアライメントマークは校正版の他方向に並ぶので、第１の撮像部の第１の基準指標と第２の撮像部の第２の基準指標とが第２の方向に正確に並ぶ。

　テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第３の位置にあるときに、第３の撮像部により撮像される第３のアライメントマークの画像が表示部に表示され、第４の撮像部により撮像される第４のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が第３の位置にあるときに第３の基準指標が第３のアライメントマーク上に位置するように第３の撮像部の位置をテーブルと相対的に調整することができる。また、使用者は、テーブル支持装置が第３の位置にあるときに第４の基準指標が第４のアライメントマーク上に位置するように第４の撮像部の位置をテーブルと相対的に調整することができる。この場合、第３および第４のアライメントマークは校正版の他方向に並ぶので、第３の撮像部の第３の基準指標と第４の撮像部の第４の基準指標とが第２の方向に正確に並ぶ。

　テーブル支持装置が移動駆動部により第３の位置から第４の位置に移動する際には、第３の基準指標と第４の基準指標との位置関係が維持されつつ第３および第４の撮像部がテーブル支持装置とともに第１の方向に移動する。

　テーブル支持装置が第４の位置にあるときに、第３の撮像部により撮像される転写ローラの基準線の画像が表示部に表示され、第４の撮像部により撮像される転写ローラの基準線の画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が第４の位置にあるときに第３の基準指標が転写ローラの基準線上に位置するとともに第４の基準指標が転写ローラの基準線上に位置するように転写ローラの回転軸の向きを支持面に平行な面内で調整することができる。この場合、第３の撮像部の第３の基準指標と第４の撮像部の第４の基準指標とが第２の方向に正確に並ぶので、転写ローラの基準線が第１の方向に直交する面に対して平行となる。このようにして、転写装置の複数の構成要素間の組立誤差等に起因する転写ローラの回転軸のずれが低減される。それにより、被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することが可能となる。

　転写時には対象物がテーブルの支持面上に支持される。対象物が校正版における第３および第４のアライメントマークに対応する位置に２つのアライメントマークを有する場合には、それらの２つのアライメントマークを用いて対象物の位置を調整することができる。

　例えば、対象物が支持された状態でテーブル支持装置を第３の位置に移動させる。このとき、第１の撮像部により撮像される一方のアライメントマークの画像が表示部に表示され、第２の撮像部により撮像される他方のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、第１の基準指標が一方のアライメントマーク上に位置するようにかつ第２の基準指標が他方のアライメントマーク上に位置するように、対象物を支持するテーブルの位置をテーブル支持装置により調整することができる。この場合、対象物において２つのアライメントマークが並ぶ方向を第１の方向に直交する面に対して平行とすることができる。

　（２）電子デバイス用の転写装置は、テーブル支持装置とともに移動しかつ第１の検出位置から転写ローラの外周面までの距離を検出する第１の検出部と、テーブル支持装置とともに移動しかつ第２の検出位置から転写ローラの外周面までの距離を検出する第２の検出部とをさらに備え、第１の検出位置と第２の検出位置とは第２の方向に延びる共通の線上に互いに離間して位置し、転写ローラは、さらに第２の方向および支持面に直交する第３の方向に平行な面内で回転軸の向きを調整可能に設けられてもよい。

　この場合、テーブル支持装置が第１の方向に移動することにより、第１の方向における複数の第１の検出位置から転写ローラの外周面までの距離を第１の検出部により検出することができる。それにより、テーブル支持装置が第１の方向に移動するときの第１の検出部から転写ローラの外周面までの最短距離を取得することができる。

　また、テーブル支持装置が第１の方向に移動することにより、第１の方向における複数の第２の検出位置から転写ローラの外周面までの距離を第２の検出部により検出することができる。それにより、テーブル支持装置が第１の方向に移動するときの第２の検出部から転写ローラの外周面までの最短距離を取得することができる。

　第１の検出位置と第２の検出位置とは第２の方向に延びる共通の線上に互いに離間して位置する。それにより、使用者は、第１の検出位置から転写ローラの外周面までの最短距離と第２の検出位置から転写ローラの外周面までの最短距離とが一致するように、転写ローラの回転軸の向きを第２および第３の方向に平行な面内で調整することができる。この場合、第１および第２の検出位置をそれぞれ支持面上に設定することにより、転写ローラの回転軸の軸心を支持面に平行とすることができる。それにより、転写ローラの基準線が支持面に対して平行となる。したがって、この状態で上記の校正を行うことにより、被転写物を対象物の所望の位置により高い精度で転写することが可能となる。

　（３）被転写物は、転写ローラに着脱可能に構成されるシート状部材に保持され、シート状部材は、第５および第６のアライメントマークを有し、転写ローラの外周面は、回転軸に平行な方向に並ぶ第７および第８のアライメントマークを含み、転写装置は、第５の基準指標を含む視野を有し、転写ローラにシート状部材が取り付けられない状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第７のアライメントマークを撮像し、転写ローラにシート状部材が取り付けられた状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第５のアライメントマークを撮像する第５の撮像部と、第６の基準指標を含む視野を有し、転写ローラにシート状部材が取り付けられない状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第８のアライメントマークを撮像し、転写ローラにシート状部材が取り付けられた状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第６のアライメントマークを撮像する第６の撮像部とをさらに備え、表示部は、第５および第６の撮像部により撮像される画像をさらに表示し、第５および第６の撮像部は、転写ローラとは独立に位置調整可能に設けられてもよい。

　この場合、校正時においてシート状部材が取り付けられない状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに、第５の撮像部により撮像される第７のアライメントマークの画像が表示部に表示され、第６の撮像部により撮像される第８のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第５の基準指標が第７のアライメントマーク上に位置するように第５の撮像部の位置を転写ローラとは独立して調整することができる。また、使用者は、転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに第６の基準指標が第８のアライメントマーク上に位置するように第６の撮像部の位置を転写ローラとは独立して調整することができる。この場合、第７および第８のアライメントマークは回転軸に平行な方向に並ぶので、第５の撮像部の第５の基準指標と第６の撮像部の第６の基準指標とが回転軸の方向に正確に並ぶ。

　その後、転写時においてシート状部材が取り付けられた状態で転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに、第５の撮像部により撮像される第５のアライメントマークの画像が表示部に表示され、第６の撮像部により撮像される第６のアライメントマークの画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、第５の基準指標と第５のアライメントマークとの間のずれ量を検出することができる。また、使用者は、第６の基準指標と第６のアライメントマークとの間のずれ量を検出することができる。これらのずれ量は、シート状部材から対象物へ被転写物を転写する際の誤差になる。そこで、使用者は、検出されたずれ量が相殺されるように、テーブルにより支持される対象物の位置を修正すること、または転写ローラの回転状態およびテーブルの移動状態等の転写条件を修正することが可能になる。

　（４）電子デバイス用の転写装置は、転写ローラを複数有し、軸支持部は、複数の転写ローラをそれぞれ回転可能に支持するように構成され、回転駆動部は、複数の転写ローラをそれぞれ回転させるように構成され、第４の位置は、複数の転写ローラにそれぞれ対応する複数の位置に設定されてもよい。

　この場合、テーブル支持装置が各第４の位置にあるときに、第３の撮像部により撮像される各転写ローラの基準線の画像が表示部に表示され、第４の撮像部により撮像される各転写ローラの基準線の画像が表示部に表示される。それにより、使用者は、テーブル支持装置が各第４の位置にあるときに第３の基準指標が転写ローラの基準線上に位置するとともに第４の基準指標が各転写ローラの基準線上に位置するように各転写ローラの回転軸の向きを支持面に平行な面内で調整することができる。それにより、各転写ローラの基準線が第１の方向に直交する面に対して平行となる。したがって、各転写ローラの回転軸のずれが低減される。それにより、複数の転写ローラを用いて複数の被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することが可能となる。

　（５）本発明の他の局面に従う電子デバイス用の転写方法は、上記の電子デバイス用の転写装置を用意するステップと、転写装置を校正するステップと、校正後の転写装置を用いて被転写物を対象物に転写するステップとを含み、校正するステップは、テーブルの支持面上に校正版を配置するステップと、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置を第１の位置に移動させるとともに第１の撮像部により撮像される第１のアライメントマークの画像を表示部に表示させるステップと、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第１の位置にあるときに第１の撮像部の第１の基準指標が第１のアライメントマーク上に位置するように第１の撮像部の位置を調整するステップと、第１の撮像部の位置を調整するステップの後、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置を第２の位置に移動させるとともに第１の撮像部により撮像される第２のアライメントマークの画像を表示部に表示させるステップと、第１の撮像部の位置を調整するステップの後、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第１の位置にあるときに第１の撮像部の第１の基準指標が第１のアライメントマーク上に位置しかつテーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置が第２の位置にあるときに第１の撮像部の第１の基準指標が第２のアライメントマーク上に位置するように、校正版を支持するテーブルの位置をテーブル支持装置により調整するステップと、テーブルの位置を調整するステップの後、テーブルに校正版が支持された状態でテーブル支持装置を第３の位置に移動させるとともに第１の撮像部により撮像される第３のアライメントマークの画像、第２の撮像部により撮像される第４のアライメントマークの画像、第３の撮像部により撮像される第３のアライメントマークの画像、および第４の撮像部により撮像される第４のアライメントマークの画像を表示部に表示させるステップと、第１～第４のアライメントマークの画像を表示部に表示させるステップの後、第１の撮像部の第１の基準指標が第３のアライメントマーク上に位置するように第１の撮像部の位置を調整し、第２の撮像部の第２の基準指標が第４のアライメントマーク上に位置するように第２の撮像部の位置を調整し、第３の撮像部の第３の基準指標が第３のアライメントマーク上に位置するように第３の撮像部のテーブルとの相対的な位置関係を調整し、第４の撮像部の第４の基準指標が第４のアライメントマーク上に位置するように第４の撮像部のテーブルとの相対的な位置関係を調整するステップと、第１～第４の撮像部を調整するステップの後、テーブルから校正版が取り外された状態でテーブル支持装置を第４の位置に移動させるとともに第３の撮像部により撮像される転写ローラの基準線の画像、および第４の撮像部により撮像される転写ローラの基準線の画像を表示部に表示させるステップと、基準線の画像を表示させるステップの後、第３の撮像部の第３の基準指標が基準線上に位置するようにかつ第４の撮像部の第４の基準指標が基準線上に位置するように転写ローラの回転軸の向きを支持面に平行な面内で調整するステップとを含む。

　その転写方法においては、上記の電子デバイス用の転写装置が用意され、用意された転写装置が校正される。校正後の転写装置を用いて被転写物が対象物に転写される。

　上記の転写装置の校正手順によれば、第３の撮像部の第３の基準指標と第４の撮像部の第４の基準指標とが第２の方向に正確に並ぶように調整される。第３の基準指標と第４の基準指標とに基づいて転写ローラの回転軸の向きが支持面に平行な面内で調整される。それにより、転写ローラの基準線が第１の方向に直交する面に対して平行となる。したがって、転写装置の複数の構成要素間の組立誤差等に起因する転写ローラの回転軸のずれが低減される。その結果、被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することが可能となる。

　本発明によれば、電子デバイスを構成する被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することが可能となる。

図１は本発明の一実施の形態に係る電子デバイス用の転写装置の外観斜視図である。図２は図１の転写装置の模式的側面図である。図３は図１の転写装置の制御系を示すブロック図である。図４は校正版の平面図である。図５はカメラの視野に設定される基準指標の一例を示す図である。図６は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図７は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図８は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図９は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図１０は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図１１は転写装置の校正手順の一例を説明するための図である。図１２は転写ローラに取り付けられるシート状部材の位置ずれを検出するための手順を示す転写装置の外観斜視図である。図１３は他の実施の形態に係る電子デバイス用の転写装置の外観斜視図である。

　以下、本発明の一実施の形態に係る電子デバイス用の転写装置および電子デバイス用の転写方法について、図面を参照しながら説明する。以下の説明において、転写とは、電子デバイスを構成する機能性材料または電子デバイスを構成する電子部品の一部または全てを被転写物として対象物に転写することを意味する。電子デバイスを構成する機能性材料としては、例えば銀ナノインク等の導電性インク、または互いに積層される複数層の間の絶縁に用いる絶縁膜材料等が挙げられる。また、電子部品としては、所定の素子または所定の素子が実装されたチップ等が挙げられる。

　［１］電子デバイス用の転写装置の基本構成
　図１は本発明の一実施の形態に係る電子デバイス用の転写装置の外観斜視図であり、図２は図１の転写装置１００の模式的側面図である。図１では、転写装置１００の内部構造が理解しやすいように、複数の構成要素のうちの一部が点線で示される。図２では、図１の転写装置１００のうち一部の構成要素の図示が省略される。

　図１に示すように、転写装置１００は、一方向に延びるように形成された台座部１を有する。転写装置１００においては、台座部１が延びる方向に前後方向Ｄ１を定義する。また、前後方向Ｄ１に直交する方向に左右方向Ｄ２を定義し、前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２に直交する方向に上下方向Ｄ３を定義する。さらに、上下方向Ｄ３に平行な軸を中心として回転する方向をθ方向とする。

　本例では、前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２は水平面内で直交する。以下の説明では、前後方向Ｄ１において矢印が向かう方向を前方と呼び、その逆の方向を後方と呼ぶ。また、左右方向Ｄ２において矢印が向かう方向を左方と呼び、その逆の方向を右方と呼ぶ。また、上下方向Ｄ３において矢印が向かう方向を上方と呼び、その逆の方向を下方と呼ぶ。

　台座部１の後端に、制御装置６が設けられる。制御装置６には、表示部７および操作部８が接続される。制御装置６、表示部７および操作部８の詳細は後述する。

　台座部１上に、直方体形状を有する２つの本体ベース２が前後方向Ｄ１に延びるように設けられる。２つの本体ベース２は、一定の間隔を隔てて平行に並ぶように配置される。２つの本体ベース２上に２本のレール３がそれぞれ取り付けられる。２本のレール３は、同じ高さで平行に並ぶようにかつ前後方向Ｄ１に延びるように水平に固定される。２本のレール３上に２つのテーブル装置２００が前後方向Ｄ１に並ぶように設けられる。各テーブル装置２００はレール３が延びる方向（前後方向Ｄ１）に移動可能に構成される。

　具体的には、テーブル装置２００は、図２に示すように、主としてテーブル２０１、テーブル支持装置２１０および移動駆動部２２０から構成される。移動駆動部２２０は、レール３上を移動する搬送台２２０Ｂを含む。また、移動駆動部２２０は、搬送台２２０Ｂを前後方向Ｄ１に移動させる図示しない駆動部を有する。移動駆動部２２０には、前後方向Ｄ１におけるテーブル装置２００の位置を検出するためのエンコーダが設けられる。エンコーダの出力信号は制御装置６に与えられる。

　搬送台２２０Ｂ上にテーブル支持装置２１０が設けられ、テーブル支持装置２１０上にテーブル２０１が設けられる。テーブル２０１は、略正方形状の板状部材により構成され、上方に向く支持面２０１ａを有する。支持面２０１ａは、前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２に平行であり、被転写物が転写されるべき平板状の対象物、平板状の版および後述する校正版ＣＰを選択的に支持可能に形成される。なお、テーブル２０１は、支持面２０１ａ上で対象物、版および校正版ＣＰを吸着保持可能に構成されてもよい。あるいは、テーブル２０１は、対象物、版および校正版ＣＰをチャッキング可能に構成されてもよい。

　テーブル支持装置２１０は、テーブル２０１を搬送台２２０Ｂに対して前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２に移動可能に支持するとともにテーブル２０１を搬送台２２０Ｂに対してθ方向に回転可能に支持する。また、テーブル支持装置２１０は、テーブル２０１を搬送台２２０Ｂに対して前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２に移動させるとともにテーブル２０１を搬送台２２０Ｂに対してθ方向に回転させる図示しない駆動部を有する。テーブル支持装置２１０には、搬送台２２０Ｂに対するテーブル２０１の前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２の移動量ならびに搬送台２２０Ｂに対するテーブル２０１のθ方向の回転量を検出するための複数のエンコーダが設けられる。複数のエンコーダの出力信号は制御装置６に与えられる。

　図１に示すように、前後方向Ｄ１における台座部１の略中央部分を挟みこむように、２つのローラ支持装置３３１，３３２が設けられる。ローラ支持装置３３１，３３２は、台座部１に一体的に固定されている。ローラ支持装置３３１，３３２の間に転写ローラ３１０が設けられる。転写ローラ３１０は、回転軸３２０を有するとともに被転写物を保持可能な外周面を有する。

　転写ローラ３１０の外周面の一部には、回転軸３２０に平行な方向に並ぶようにアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２および基準線ＲＬが設けられている。基準線ＲＬは、アライメントマークＲＡ１，ＲＡ２の間に位置し、回転軸３２０に平行に延びる。アライメントマークＲＡ１，ＲＡ２および基準線ＲＬは、例えば転写ローラ３１０の外周面を切削することにより形成されてもよいし、転写ローラ３１０の外周面にレーザ加工を施すことにより形成されてもよいし、塗料により形成されてもよい。

　ローラ支持装置３３１，３３２は、転写ローラ３１０の回転軸３２０の一端部および他端部をそれぞれ回転可能に支持する。また、各ローラ支持装置３３１，３３２は、昇降駆動部３４１（後述する図３）および回転駆動部３５１（後述する図３）を有する。

　昇降駆動部３４１（図３）は、図１に白抜きの矢印Ａ１，Ａ２で示すように、回転軸３２０の各端部を回転可能に支持するとともに各端部の支持位置を上下方向Ｄ３に移動させる。昇降駆動部３４１には、回転軸３２０の各端部の支持位置の上下方向Ｄ３の移動量を検出するためのエンコーダが設けられる。エンコーダの出力信号は制御装置６に与えられる。ローラ支持装置３３１，３３２の昇降駆動部３４１（図３）をそれぞれ独立して制御することにより左右方向Ｄ２および上下方向Ｄ３に平行な面内で回転軸３２０の向きを調整することができる。

　回転駆動部３５１（図３）は、転写ローラ３１０を回転させる。回転駆動部３５１には、回転軸３２０の回転角度の変化量を検出するためのエンコーダが設けられる。エンコーダの出力信号は制御装置６に与えられる。

　ローラ支持装置３３２には、使用者により操作可能に構成された回転軸調整機構３４０が設けられている。回転軸調整機構３４０は、図１に白抜きの矢印Ａ３で示すように、ローラ支持装置３３２による回転軸３２０の他端部の支持位置を前後方向Ｄ１に移動させることができる。回転軸調整機構３４０を操作することにより、支持面２０１ａ（図２）に平行な面内で回転軸３２０の向きを調整することができる。

　転写ローラ３１０よりも後方の位置で、レール３上を移動するテーブル装置２００の移動経路を左右方向Ｄ２および上方から取り囲むように第１本体部４が設けられる。第１本体部４は、台座部１に一体的に固定されている。第１本体部４には、複数（本例では４つ）のカメラ１１，１２，３１，３２が設けられる。カメラ１１，１２，３１，３２としては、例えば固定倍率の対物レンズを有するＣＣＤ（電荷結合素子）カメラが用いられる。

　第１本体部４は、カメラ１１，１２の各々をテーブル装置２００および転写ローラ３１０とは独立に位置調整可能に支持する。図２に示すように、カメラ１１，１２の各々は、基本的に視野ＡＡがテーブル装置２００の移動経路の上方から下方を向くように配置される。また、図１に示すように、第１本体部４は、カメラ３１，３２の各々をテーブル装置２００および転写ローラ３１０とは独立に位置調整可能に支持する。図２に示すように、カメラ３１，３２の各々は、基本的に視野ＡＣが転写ローラ３１０の外周面の一部に向かって後方から前方を向くように配置される。

　図１に示すように、転写ローラ３１０よりも前方の位置で、レール３上を移動するテーブル装置２００の移動経路を左右方向Ｄ２および上方から取り囲むように第２本体部５が設けられる。第２本体部５は、台座部１に一体的に固定されている。第２本体部５には、複数（本例では２つ）のカメラ１１，１２が設けられる。第２本体部５は、第１本体部４と同様に、カメラ１１，１２の各々をテーブル装置２００および転写ローラ３１０とは独立に位置調整可能に支持する。

　図１に示すように、２つのテーブル装置２００の各々には、複数（本例では２つ）のカメラ２１，２２および複数（本例では２つ）のレーザ変位計９１，９２が設けられる。カメラ２１，２２としては、例えば固定倍率の対物レンズを有するＣＣＤカメラが用いられる。

　各テーブル装置２００のテーブル２０１には、互いに対向する２つの側辺部中央にＵ字型の切り欠きＵが設けられている。テーブル２０１は、例えば２つの切り欠きＵが左右方向Ｄ２に並ぶようにテーブル支持装置２１０により支持される。

　レーザ変位計９１，９２は、２つの切り欠きＵの内側に位置するように、テーブル２０１にそれぞれ固定される。レーザ変位計９１，９２の各々は、反射型のレーザ変位計であり、出射部および受光部を有する。出射部は、上方に向かってレーザ光を出射する。受光部は、上方から下方に向かって反射されたレーザ光を受光し、レーザ光が出射された位置からレーザ光が反射された位置までの距離を示す出力信号を一定周期で制御装置６に与える。

　本実施の形態では、レーザ変位計９１について支持面２０１ａ（図２）上に高さ基準位置が設定される。レーザ変位計９１の高さ基準位置を支持面２０１ａ上に設定する際には、レーザ変位計９１の上方を覆うように支持面２０１ａ上に平板を配置する。平板は、予め定められた平面度を有する。この状態で、レーザ変位計９１の出射部からレーザ光を出射させることにより、レーザ変位計９１の出力信号に基づいてレーザ変位計９１から支持面２０１ａまでの距離を算出することができる。算出された距離に対応する上下方向Ｄ３の位置を高さ基準位置とする。それにより、支持面２０１ａから平板が取り除かれた状態で、高さ基準位置からレーザ変位計９１のレーザ光が反射された位置までの距離、すなわち支持面２０１ａからレーザ変位計９１のレーザ光が反射された位置までの距離を算出することができる。レーザ変位計９２についても、レーザ変位計９１の例と同様に、支持面２０１ａ上に高さ基準位置が設定される。

　テーブル２０１上に対象物、版および校正版ＣＰのいずれも支持されない状態で、一のテーブル装置２００を前後方向Ｄ１に一定速度で移動させる。この場合、レーザ変位計９１，９２の各々が転写ローラ３１０の下方を通過する際に、各レーザ変位計９１，９２から出射されるレーザ光が転写ローラ３１０の外周面上を前後方向Ｄ１に走査される。

　それにより、前後方向Ｄ１における複数の位置で各レーザ変位計９１，９２の高さ基準位置から転写ローラ３１０の外周面までの距離が検出される。したがって、テーブル装置２００が前後方向Ｄ１に移動するときのレーザ変位計９１の高さ基準位置から転写ローラ３１０の外周面までの最短距離を取得することができる。また、テーブル装置２００が前後方向Ｄ１に移動するときのレーザ変位計９２の高さ基準位置から転写ローラ３１０の外周面までの最短距離を取得することができる。

　レーザ変位計９１，９２の高さ基準位置は共通の水平面（支持面２０１ａ）内に位置するように調整されている。この場合、レーザ変位計９１により検出される最短距離を、レーザ変位計９１の移動経路を含む鉛直面内の転写ローラ３１０の下端部の高さとみなすことができる。また、レーザ変位計９２により検出される最短距離を、レーザ変位計９２の移動経路を含む鉛直面内の転写ローラ３１０の下端部の高さとみなすことができる。

　レーザ変位計９１，９２が左右方向Ｄ２に並ぶようにかつ離間するように配置された状態で、レーザ変位計９１により検出される下端部の高さとレーザ変位計９２により検出される下端部の高さとが異なる場合がある。この場合、転写ローラ３１０の軸心が支持面２０１ａ（図２）に対して傾斜している可能性が高い。このような場合には、ローラ支持装置３３１，３３２の昇降駆動部３４１（図３）を制御して回転軸３２０の一端部および他端部の高さを調整する。それにより、レーザ変位計９１，９２により検出される下端部の高さを等しくし、転写ローラ３１０の軸心を支持面２０１ａに平行とすることができる。

　カメラ２１，２２は、テーブル装置２００を上方から見た場合に、テーブル２０１の切り欠きＵの内側に位置するように移動駆動部２２０上に設けられる。より具体的には、各カメラ２１，２２は、図２に示すように、移動駆動部２２０の搬送台２２０Ｂ上に調整機構２３を介して設けられる。調整機構２３は、各カメラ２１，２２を搬送台２２０Ｂに対して前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２に移動可能に支持する。

　調整機構２３により支持される各カメラ２１，２２は、テーブル支持装置２１０とともに前後方向Ｄ１に移動する。カメラ２１，２２の各々は、基本的に視野ＡＢが下方から上方を向くように配置される。

　図１の制御装置６は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリを含む。メモリには、システムプログラムが記憶されるとともに、転写条件等の種々のデータが記憶される。ＣＰＵは、メモリに記憶されたシステムプログラムを実行し、転写装置１００の各構成要素の動作を制御する。

　表示部７は、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。操作部８は、マウス等のポインティングデバイスおよびキーボードを含み、制御装置６に所定の情報を入力するためまたは所定の動作を指令するために使用者により操作される。

　図３は、図１の転写装置１００の制御系を示すブロック図である。図３に示すように、カメラ１１，１２からの出力信号が制御装置６に与えられる。カメラ２１，２２からの出力信号が制御装置６に与えられる。カメラ３１，３２からの出力信号が制御装置６に与えられる。制御装置６は、カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２から与えられる複数の出力信号にそれぞれ対応する複数の画像データを生成する。

　制御装置６は、生成された複数の画像データを内部のメモリに記憶することができる。また、制御装置６は、生成された複数の画像データに基づく複数の画像を表示部７に表示させる。

　上記のように、レーザ変位計９１，９２からの出力信号が制御装置６に与えられる。制御装置６は、レーザ変位計９１，９２の各々から与えられる出力信号に基づいてレーザ変位計９１，９２の各々の高さ基準位置からレーザ光が反射された位置までの距離を算出し、算出された距離の情報を例えば高さ情報として表示部７に表示させる。

　制御装置６には、使用者による操作部８の操作に基づいてテーブル装置２００に関する動作が指令される。制御装置６は、与えられた指令ならびにテーブル装置２００からのエンコーダの出力信号に基づいてテーブル支持装置２１０および移動駆動部２２０の動作を制御する。このとき、制御装置６は、前後方向Ｄ１におけるテーブル装置２００の位置を表示部７に表示させる。

　制御装置６には、使用者による操作部８の操作に基づいてローラ支持装置３３１，３３２に関する動作が指令される。この場合、制御装置６は、与えられた指令ならびにローラ支持装置３３１，３３２からのエンコーダの出力信号に基づいて昇降駆動部３４１および回転駆動部３５１の動作を制御する。

　さらに、制御装置６には、使用者による操作部８の操作に基づいて対象物への被転写物の転写条件が入力される。この場合、制御装置６は、入力された転写条件のデータを内部のメモリに記憶する。また、制御装置６は、記憶された転写条件に基づいてテーブル装置２００の移動駆動部２２０およびローラ支持装置３３１，３３２の回転駆動部３５１を制御する。なお、制御装置６は、ＣＰＵおよびメモリに代えてマイクロコンピュータにより構成されてもよい。

　［２］電子デバイス用の転写装置の使用例
　（１）校正
　本実施の形態に係る転写装置１００においては、被転写物を対象物の設計上の位置に正確に転写するために、校正版および上記のカメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２を用いた校正が行われる。

　校正版ＣＰについて説明する。図４は、校正版の平面図である。校正版ＣＰは、対象物と同じ外形を有する。図４に示すように、校正版ＣＰは、透明部ＣＰ１および枠部ＣＰ２から構成される。透明部ＣＰ１は、矩形状を有し、例えばガラスまたはアクリル樹脂等の透明な材料で形成される。枠部ＣＰ２は、透明部ＣＰ１を取り囲むようにかつ対象物と同じ外形を有するように形成され、透明部ＣＰ１を支持する。また、枠部ＣＰ２は例えばアルミニウム等の金属材料で形成される。

　透明部ＣＰ１の四隅の近傍に、４つのアライメントマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４がそれぞれ設けられている。透明部ＣＰ１の一対の短辺の中央部近傍に２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２がそれぞれ設けられている。

　透明部ＣＰ１の一方の短辺の近傍に設けられる２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２および１つのアライメントマークＭ１１は、その短辺に平行な一方向に並ぶ。２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２と１つのアライメントマークＭ１１との間には、一方向に延びる２つの直線状マークＣＬがそれぞれ設けられている。

　透明部ＣＰ１の他方の短辺の近傍に設けられる２つのアライメントマークＭ３，Ｍ４および１つのアライメントマークＭ１２は、その短辺に平行な一方向に並ぶ。２つのアライメントマークＭ３，Ｍ４と１つのアライメントマークＭ１２との間にも、一方向に延びる２つの直線状マークＣＬがそれぞれ設けられている。

　２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２は、一対の長辺に平行に並ぶ。すなわち、２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２は、上記の一方向に直交する他方向に並ぶ。２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２の間に、他方向に延びる１つの直線状マークＣＬが設けられている。

　カメラ１１，１２の視野ＡＡ、カメラ２１，２２の視野ＡＢおよびカメラ３１，３２の視野ＡＣの各々には、基準指標が設定されている。図５は、各カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２の視野ＡＡ，ＡＢ，ＡＣに設定される基準指標の一例を示す図である。

　図５に示すように、基準指標ＶＰは、例えば各視野ＡＡ，ＡＢ，ＡＣの中心に設定される。各カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２においては、対物レンズに基準指標ＶＰがマーキングされる。この場合、使用者は、各カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２により取得される画像が表示部７に表示された状態で、基準指標ＶＰと各視野ＡＡ，ＡＢ，ＡＣ内に存在する物体（例えば校正版ＣＰのアライメントマークＭ１，Ｍ２等）との位置関係を容易に把握することができる。

　後方のテーブル装置２００と転写ローラ３１０との間で正確な転写を行うための校正手順を説明する。図６～図１１は、転写装置１００の校正手順の一例を説明するための図である。図６、図８、図９および図１１では、校正手順における転写装置１００の複数の状態が一部の構成要素を除いて外観斜視図で示される。

　初めに、図１に示すように、前方のテーブル装置２００を転写ローラ３１０よりも前方でかつレール３の前端またはその近傍の位置へ移動させる。また、後方のテーブル装置２００を転写ローラ３１０から予め定められた距離後方に離間した初期位置へ移動させる。

　テーブル２０１上に対象物、版および校正版ＣＰのいずれも支持されない状態で、転写ローラ３１０の下方の空間を通過するように後方のテーブル装置２００を前後方向Ｄ１に一定速度で移動させる。後方のテーブル装置２００に設けられたレーザ変位計９１，９２の出力信号に基づいて転写ローラ３１０の下端部の複数の部分の高さを検出する。転写ローラ３１０の軸心が支持面２０１ａ（図２）に対して傾斜している場合には、回転軸３２０の一端部および他端部の高さを調整することにより転写ローラ３１０の軸心を支持面２０１ａ（図２）と平行にする。

　上記のように、前後方向Ｄ１におけるテーブル装置２００の位置は表示部７に表示される。そこで、使用者は、レーザ変位計９１，９２が転写ローラ３１０の下端部の下方に位置するときのテーブル装置２００の前後方向Ｄ１の位置を下端部対向位置として決定する。また、決定した下端部対向位置を記録する。その後、後方のテーブル装置２００を初期位置へ移動させる。

　次に、図６に示すように、後方のテーブル装置２００のテーブル２０１上に校正版ＣＰを配置する。そこで、２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２（図４）がテーブル２０１の２つの切り欠きＵ上にそれぞれ位置するように、校正版ＣＰの位置を目視で調整する。それにより、アライメントマークＭ１，Ｍ１１，Ｍ２が概ね前後方向Ｄ１に並ぶ。また、アライメントマークＭ４，Ｍ１２，Ｍ３が概ね前後方向Ｄ１に並ぶ。さらに、アライメントマークＭ１１，Ｍ１２が概ね左右方向Ｄ２に並ぶ。

　この状態で、カメラ１１により取得される画像を表示部７に表示させる。使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ１１の基準指標ＶＰ（図５）が複数のアライメントマークＭ１～Ｍ４，Ｍ１１，Ｍ１２のうち１つのアライメントマークＭ１上に位置するように、カメラ１１を位置決めする。その後、テーブル装置２００を前後方向Ｄ１に移動させ、初期位置から離間した離間位置へ移動させる。

　図７（ａ）に、校正版ＣＰを支持するテーブル装置２００が初期位置にあるときのカメラ１１の視野ＡＡと校正版ＣＰとの位置関係の一例が示される。図７（ｂ）に、校正版ＣＰを支持するテーブル装置２００が離間位置にあるときのカメラ１１の視野ＡＡと校正版ＣＰとの位置関係の一例が示される。図７（ｃ）に、校正版ＣＰを支持するテーブル装置２００が初期位置にあるときのカメラ１１の視野ＡＡと校正版ＣＰとの位置関係の他の例が示される。図７（ｄ）に、校正版ＣＰを支持するテーブル装置２００が離間位置にあるときのカメラ１１の視野ＡＡと校正版ＣＰとの位置関係の他の例が示される。

　上記のように、校正版ＣＰにおいては、２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２が一方向に並ぶとともに、２つのアライメントマークＭ３，Ｍ４が一方向に並ぶ。そのため、校正版ＣＰにおける一方向と前後方向Ｄ１とが平行である場合には、カメラ１１の基準指標ＶＰはテーブル装置２００が前後方向Ｄ１に移動することにより校正版ＣＰの一方向に対して平行に移動する。その結果、カメラ１１の基準指標ＶＰは、図７（ａ），（ｂ）に示すように、初期位置でアライメントマークＭ１上に位置し、離間位置でアライメントマークＭ２上に位置する。

　一方、校正版ＣＰにおける一方向と前後方向Ｄ１とが平行でない場合には、カメラ１１の基準指標ＶＰはテーブル装置２００が前後方向Ｄ１に移動することにより校正版ＣＰの一方向に対して交差した方向に移動する。その結果、カメラ１１の基準指標ＶＰは、図７（ｃ），（ｄ）に示すように、初期位置でアライメントマークＭ１上に位置するが、離間位置でアライメントマークＭ２からずれる。

　使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ１１の基準指標ＶＰが初期位置でアライメントマークＭ１上に位置しかつ離間位置でアライメントマークＭ２上に位置するように、搬送台２２０Ｂ（図２）に対するテーブル２０１の前後方向Ｄ１の位置、左右方向Ｄ２の位置およびθ方向の回転角度を調整する。それにより、２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２が前後方向Ｄ１に並ぶとともに、２つのアライメントマークＭ３，Ｍ４が前後方向Ｄ１に並ぶ。また、２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２が左右方向Ｄ２に並ぶ。すなわち、校正版ＣＰにおける一方向と前後方向Ｄ１とが平行でかつ校正版ＣＰにおける他方向と左右方向Ｄ２とが平行になるように、校正版ＣＰが位置決めされる。

　カメラ１１の基準指標ＶＰが一方向に並ぶ２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２の間を移動する場合、カメラ１１の基準指標ＶＰは２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２の間に位置するアライメントマークＭ１１上を通過する。そこで、図８に示すように、カメラ１１の基準指標ＶＰがアライメントマークＭ１１上に位置するように、後方のテーブル装置２００を前後方向Ｄ１に移動させる。移動後のテーブル装置２００の位置をテーブル基準位置と呼ぶ。

　この状態で、カメラ１２により取得される画像を表示部７に表示させる。使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ１２の基準指標ＶＰがアライメントマークＭ１２上に位置するように、カメラ１２を位置決めする。この場合、２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２が左右方向Ｄ２に並ぶので、２つのカメラ１１，１２の２つの基準指標ＶＰが左右方向Ｄ２に正確に並ぶ。

　続いて、カメラ２１，２２により取得される２つの画像をそれぞれ表示部７に表示させる。使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ２１の基準指標ＶＰがアライメントマークＭ１１上に位置するように、カメラ２１を位置決めする。また、使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ２２の基準指標ＶＰがアライメントマークＭ１２上に位置するように、カメラ２２を位置決めする。それにより、２つのカメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰが左右方向Ｄ２に正確に並ぶ。

　次に、図９に示すように、後方のテーブル装置２００上から校正版ＣＰを取り外す。また、テーブル２０１上に対象物、版および校正版ＣＰのいずれも支持されていない状態で、テーブル装置２００をテーブル基準位置から先の手順で記録された下端部対向位置へ移動させる。さらに、アライメントマークＲＡ１，ＲＡ２および基準線ＲＬが転写ローラ３１０の外周面の下端部に位置するように、転写ローラ３１０を回転させる。転写ローラ３１０においては、基準線ＲＬが転写ローラ３１０の外周面の下端部に位置するときの回転軸３２０の回転角度が基準角度として設定されている。

　ここで、レーザ変位計９１，９２は、カメラ２１，２２の近傍にそれぞれ設けられる。そのため、テーブル装置２００が下端部対向位置にある場合には、カメラ２１，２２の視野ＡＢ（図２）内に転写ローラ３１０の下端部が位置する。この状態で、カメラ２１，２２により取得される２つの画像を表示部７にそれぞれ表示させる。

　図１０（ａ）に、テーブル装置２００が下端部対向位置にあるときのカメラ２１，２２の視野ＡＢと転写ローラ３１０の基準線ＲＬとの位置関係の一例が示される。図１０（ｂ）に、テーブル装置２００が下端部対向位置にあるときのカメラ２１，２２の視野ＡＢと転写ローラ３１０の基準線ＲＬとの位置関係の他の例が示される。図１０（ａ），（ｂ）では、転写ローラ３１０の外周面が下方から見た状態で示される。本実施の形態では、転写ローラ３１０の外周面に設けられる基準線ＲＬの長さは、図４の校正版ＣＰにおける２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２の間の距離よりも長い。

　使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、例えば２つのカメラ２１，２２のうち一方のカメラ２１の基準指標ＶＰが基準線ＲＬ上に位置するようにテーブル装置２００の前後方向Ｄ１の位置を調整する。この場合、２つのカメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰが左右方向Ｄ２に並ぶので、転写ローラ３１０の軸心が前後方向Ｄ１に直交する面に対して平行である場合には、図１０（ａ）に示すように、カメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰはともに基準線ＲＬ上に位置することになる。これに対して、転写ローラ３１０の軸心が前後方向Ｄ１に直交する面に対して傾斜する場合には、図１０（ｂ）に示すように、一方のカメラ２１の基準指標ＶＰが基準線ＲＬ上に位置しても、他方のカメラ２２の基準指標ＶＰが基準線ＲＬからずれる。

　そこで、使用者は、カメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰがともに基準線ＲＬ上に位置するように、回転軸３２０の他端部の支持位置を回転軸調整機構３４０により前後方向Ｄ１に移動させる。すなわち、転写ローラ３１０の回転軸３２０の向きを支持面２０１ａに平行な面内で調整する。あるいは、使用者は、カメラ２１，２２により取得される画像上で前後方向Ｄ１における基準線ＲＬからカメラ２１，２２の基準指標ＶＰまでの距離が等しくなるように、回転軸３２０の他端部の支持位置を回転軸調整機構３４０により前後方向Ｄ１に移動させる。それにより、転写ローラ３１０の軸心が前後方向Ｄ１に直交する面に対して平行となる。

　次に、図１１に示すように、後方のテーブル装置２００をテーブル基準位置まで移動させる。また、アライメントマークＲＡ１，ＲＡ２および基準線ＲＬが予め定められた方向に向くように、転写ローラ３１０を基準角度から予め定められた回転角度まで回転させる。このときの転写ローラ３１０の予め定められた回転角度を撮像角度と呼ぶ。本例では、転写ローラ３１０が撮像角度にある状態で、アライメントマークＲＡ１，ＲＡ２および基準線ＲＬが後方に向く。

　この状態で、カメラ３１，３２により取得される画像を表示部７に表示させる。使用者は、表示部７に表示される画像を視認しつつ、カメラ３１の基準指標ＶＰ（図５）が転写ローラ３１０のアライメントマークＲＡ１上に位置するように、カメラ３１を位置決めする。また、使用者は、カメラ３２の基準指標ＶＰ（図５）が転写ローラ３１０のアライメントマークＲＡ２上に位置するように、カメラ３２を位置決めする。それにより、転写ローラ３１０の軸心が第２の方向に平行である場合には、２つのカメラ３１，３２の２つの基準指標ＶＰが左右方向Ｄ２に正確に並ぶ。これにより、後方のテーブル装置２００と転写ローラ３１０との間で正確な転写を行うための校正が完了する。

　前方のテーブル装置２００を用いる場合には、前方のテーブル装置２００についても、上記の図１および図６～図８に示される手順と同様に、転写ローラ３１０の前方に設けられるカメラ１１，１２の位置決め作業を行う。また、前方のテーブル装置２００に設けられるカメラ２１，２２の位置決め作業を行う。それにより、前方のテーブル装置２００と転写ローラ３１０との間で正確な転写を行うための校正が完了する。

　上記の校正は、例えば予め定められた数の転写が行われるごとに、１日ごとに、あるいは後述するシート状部材ＳＭの取替え作業ごとに実施される。

　（２）転写
　本実施の形態においては、例えば対象物に転写される被転写物は、転写ローラ３１０に着脱可能に構成されるシート状部材に保持される。ここで、シート状部材は、転写ローラ３１０の外周面に取り付けられる取り付け面と、取り付け面とは反対側の保持面を有する。保持面は、被転写物を保持可能に構成される。

　被転写物が銀ナノインク等の導電性インクである場合には、シート状部材の保持面の形状を被転写物の仕様に合わせて平面または凸凹面等から選択する。

　被転写物が所定の素子または所定の素子が実装されたチップ等の電子部品である場合には、シート状部材の保持面上の少なくとも一部の領域が粘着性を有する必要がある。この場合、シート状部材の保持面全体を粘着領域としてもよいし、シート状部材の保持面の一部を粘着領域としてもよい。また、この場合、シート状部材の保持面は、平面であってもよいし、凸凹面であってもよい。

　転写を行う際には、転写ローラ３１０の外周面に、上記の被転写物を保持するシート状部材を取り付ける。シート状部材は、例えばフレキシブル性を有する樹脂基材等からなる。シート状部材には、転写ローラ３１０の２つのアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２にそれぞれ対応する２つのアライメントマークが設けられている。

　ここで、転写ローラ３１０の外周面には、シート状部材が取り付けられるべき部分がシート取り付け部として予め定められている。シート状部材がシート取り付け部に正確に取り付けられると、シート状部材の２つのアライメントマークが転写ローラ３１０の２つのアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２にそれぞれ重なる。一方、シート状部材がシート取り付け部からずれた位置に取り付けられると、シート状部材の２つのアライメントマークのうち少なくとも１つが対応する転写ローラ３１０のアライメントマークからずれる。

　図１２は、転写ローラ３１０に取り付けられるシート状部材の位置ずれを検出するための手順を示す転写装置１００の外観斜視図である。図１２では、転写装置１００の一部の構成要素の図示が省略されている。

　図１２に示すように、使用者は、転写ローラ３１０のシート取り付け部にシート状部材ＳＭを取り付けた後、転写ローラ３１０の回転角度を撮像角度に調整する。この状態で、カメラ３１，３２により取得される画像を表示部７に表示させる。

　上記のように、２つのカメラ３１，３２の基準指標ＶＰは転写ローラ３１０の外周面に形成された２つのアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２（図１１）上にそれぞれ位置するように位置決めされている。そのため、シート取り付け部にシート状部材ＳＭが正確に取り付けられる場合には、２つのカメラ３１，３２の基準指標ＶＰはシート状部材の２つのアライメントマークＳＭ１，ＳＭ２上にそれぞれ位置する。

　一方、シート取り付け部からずれた位置にシート状部材ＳＭが取り付けられる場合には、２つのカメラ３１，３２の基準指標ＶＰのうち少なくとも一方はシート状部材の２つのアライメントマークＳＭ１，ＳＭ２からずれる。この場合、カメラ３１により取得される画像に基づいて、アライメントマークＳＭ１のカメラ３１の基準指標ＶＰからのずれ量、すなわちアライメントマークＳＭ１のアライメントマークＲＡ１（図１１）からのずれ量を算出することができる。また、カメラ３２により取得される画像に基づいて、アライメントマークＳＭ２のカメラ３２の基準指標ＶＰからのずれ量、すなわちアライメントマークＳＭ２のアライメントマークＲＡ２（図１１）からのずれ量を算出することができる。

　そこで、使用者は、操作部８を操作することにより、表示部７に表示される画像に基づいてアライメントマークＲＡ１からのアライメントマークＳＭ１のずれ量、およびアライメントマークＲＡ２からのアライメントマークＳＭ２のずれ量を図３の制御装置６に算出させる。使用者は、算出されたずれ量を記録する。

　被転写物が転写される対象物としては、半導体基板、ガラス基板またはフレキシブル性を有する樹脂基材等が用いられる。対象物は、図４の校正版ＣＰと同じ外形を有する。また、対象物には、図４の校正版ＣＰの２つのアライメントマークＭ１１，Ｍ１２にそれぞれ対応する位置に２つのアライメントマークが設けられている。

　転写ローラ３１０にシート状部材ＳＭを取り付けた後、後方のテーブル装置２００をテーブル基準位置へ移動させる。テーブル装置２００がテーブル基準位置にある状態で、対象物の２つのアライメントマークがカメラ１１，１２の視野ＡＡ（図２）内に位置するようにテーブル２０１上に対象物を配置する。

　この状態で、カメラ１１，１２により取得される画像を表示部７に表示させる。使用者は、カメラ１１，１２の基準指標ＶＰが対象物の２つのアライメントマーク上に位置するように、搬送台２２０Ｂ（図２）に対するテーブル２０１の前後方向Ｄ１の位置、左右方向Ｄ２の位置およびθ方向の回転角度を調整する。それにより、対象物の２つのアライメントマークが左右方向Ｄ２に並ぶ。

　次に、使用者は、校正時に制御装置６により算出されたずれ量が被転写物が対象物に転写されるときに相殺されるように、搬送台２２０Ｂ（図２）に対するテーブル２０１の前後方向Ｄ１の位置、左右方向Ｄ２の位置およびθ方向の回転角度を修正する。

　例えば、シート状部材ＳＭのアライメントマークＳＭ１，ＳＭ２がそれぞれ転写ローラ３１０の２つのアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２に対して左方に５μｍずれている場合には、搬送台２２０Ｂ（図２）上のテーブル２０１を左方に５μｍずらす。また、シート状部材ＳＭのアライメントマークＳＭ１，ＳＭ２がそれぞれ転写ローラ３１０の２つのアライメントマークＲＡ１，ＲＡ２に対して転写ローラ３１０の回転方向に５μｍ進んだ位置にある場合には、移動駆動部２２０上のテーブル２０１を前方に５μｍずらす。

　その後、転写ローラ３１０の下方を通過するように後方のテーブル装置２００を前方に移動させるとともに、転写ローラ３１０を回転させる。このとき、シート状部材ＳＭの一部が対象物の上面に接触することにより、シート状部材ＳＭに保持された被転写物が対象物上に転写される。

　上記の転写装置１００においては、２つの版を用いて対象物に被転写物を転写することもできる。以下の説明では、２つの版をそれぞれ第１の版および第２の版と呼ぶ。この場合、上記の校正時に転写ローラ３１０にシート状部材ＳＭとして粘着性を有する第１の版を取り付ける。また、後方のテーブル装置２００上に予め定められたパターンで被転写物が保持された第２の版を配置する。さらに、前方のテーブル装置２００上に対象物を配置する。

　後方のテーブル装置２００を前後方向Ｄ１に移動させるとともに、転写ローラ３１０を回転させることにより、第２の版に保持される被転写物を第１の版に転写する。その後、前方のテーブル装置２００を前後方向Ｄ１に移動させるとともに、転写ローラ３１０を回転させることにより、第１の版に保持された被転写物を対象物に転写する。

　第１および第２の版を用いて対象物に被転写物を転写する場合、第１の版に上記のアライメントマークＳＭ１，ＳＭ２を設ける。また、第２の版に校正版ＣＰの２つのアライメントマークＭ２に対応する２つのアライメントマークを設ける。それにより、上記の例と同様の手順で第１の版、第２の版および対象物の位置関係を修正することができる。

　（３）転写時の補正
　上記の転写装置１００においては、転写が繰り返し実行される場合に、ロットごとにまたは予め定められた数（例えば、１００回）の転写が行われるごとに、制御装置６により被転写物が転写されるべき設計上の位置に対する実際の被転写物の転写位置のずれ量（以下、転写ずれ量と呼ぶ。）が検出される。

　制御装置６は、検出される転写ずれ量が予め定められた許容範囲を超える場合に、検出された転写ずれ量が相殺されるように、搬送台２２０Ｂ（図２）に対するテーブル２０１の前後方向Ｄ１の位置、左右方向Ｄ２の位置およびθ方向の回転角度の補正量を算出し、その補正量を記憶する。また、制御装置６は、次の対象物の転写時から、記憶された補正量に基づく補正を行う。なお、制御装置６は、予め補正量が記憶されている場合に新たな補正量が算出されると、予め記憶されている補正量を新たな補正量で更新する。

　さらに、制御装置６は、補正量が最初に記憶された場合または補正量が更新された場合に、次の対象物について再度転写ずれ量の検出、補正量の算出および補正を行う。このようにして、検出される転写ずれ量が許容範囲内になるまで転写ずれ量の検出およびテーブル２０１の位置の補正が繰り返される。それにより、転写装置１００が連続的に使用されることにより経時的に発生する寸法誤差の増大が抑制される。

　テーブル支持装置２１０によるテーブル２０１の位置決め精度（許容誤差）が特定の値の大きさ以下に設定されている場合、上記の許容範囲は、特定の値の大きさ以下となるように設定されることが好ましく、特定の値の大きさの８０％以下となるように設定されることがより好ましい。例えば、テーブル２０１の位置決め精度の大きさが２μｍ以下に設定される場合、許容範囲は、±２μｍ以下となるように設定されることが好ましく、±１．６μｍ以下となるように設定されることがより好ましい。

　転写ずれ量は、以下のようにして検出することができる。例えば、被転写物として導電性インクが用いられる場合には、シート状部材に導電性インクのパターンとともに導電性インクからなる第１の検出用マークを保持させる。また、第１の検出用マークが転写されるべき対象物上の位置に、第１の検出用マークに対応する第２の検出用マークを予め形成しておく。

　この場合、パターンが対象物上の転写されるべき位置に転写される際には、第１の検出用マークが第２の検出用マーク上に正確に重なる。一方、パターンが対象物上の転写されるべき位置からずれた位置に転写される際には、第１の検出用マークが第２の検出用マークからずれた位置に転写される。

　第１および第２の検出用マーク間のずれ量は、転写後に第１および第２の検出用マークをカメラで撮像することにより取得される画像データに基づいて算出することができる。算出された値が転写ずれ量となる。

　上記の例の他、被転写物として複数のチップが用いられる場合には、複数のチップのうちの特定のチップが転写されるべき対象物上の位置に、特定のチップに対応する第３の検出用マークを形成してもよい。それにより、転写後に特定のチップおよび第３の検出用マークをカメラで撮像することにより、特定のチップと第３の検出用マークとの間のずれ量を転写ずれ量として算出することができる。

　［３］効果
　本実施の形態に係る転写装置１００においては、被転写物を対象物に転写する前に校正が行われる。上記の校正手順によれば、テーブル装置２００に載置される校正版ＣＰの一方向および他方向が前後方向Ｄ１および左右方向Ｄ２にそれぞれ平行となるように校正版ＣＰがテーブル２０１上で位置決めされる。また、各テーブル装置２００に設けられる２つのカメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰが左右方向Ｄ２に正確に並ぶように調整される。

　その後、２つのカメラ２１，２２がテーブル装置２００とともに下端部対向位置に移動される。それにより、２つのカメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰと転写ローラ３１０に設けられた基準線ＲＬとに基づいて転写ローラ３１０の回転軸３２０の向きが支持面２０１ａに平行な面内で調整される。それにより、転写ローラ３１０の基準線ＲＬが前後方向Ｄ１に直交する面に対して平行となる。したがって、転写装置１００の複数の構成要素間の組立誤差等に起因する転写ローラ３１０の回転軸３２０のずれが低減される。その結果、被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することが可能となる。

　さらに、本実施の形態においては、レーザ変位計９１，９２による転写ローラ３１０の外周面の下端部の高さの検出結果に基づいて、転写ローラ３１０の軸心を支持面２０１ａに平行に調整することができる。したがって、被転写物を対象物の所望の位置により高い精度で転写することが可能となる。

　［４］他の実施の形態
　（１）上記実施の形態では、使用者がレーザ変位計９１，９２による距離（高さ）の検出結果に基づいて下端部対向位置を決定し、決定された下端部対向位置を記録するが、本発明はこれに限定されない。転写装置１００においては、制御装置６が、レーザ変位計９１，９２による距離（高さ）の検出結果に基づいて下端部対向位置を決定し、決定された下端部対向位置を記憶してもよい。

　（２）上記実施の形態では、使用者がテーブル２０１上に対象物、版および校正版ＣＰのいずれかを配置し、使用者がテーブル２０１上に支持された対象物、版および校正版ＣＰのいずれかを取り外すが、本発明はこれに限定されない。転写装置１００は、制御装置６により制御可能でかつ対象物、版および校正版ＣＰのいずれかを搬送可能な配置装置を有してもよい。この場合、制御装置６が、配置装置を制御することにより対象物、版および校正版ＣＰのいずれかをテーブル装置２００に自動的に配置してもよい。また、制御装置６が、配置装置を制御することにより対象物、版および校正版ＣＰのいずれかをテーブル装置２００から自動的に取り外してもよい。

　（３）上記実施の形態では、使用者がカメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２の位置決め作業を手動で行うが、本発明はこれに限定されない。転写装置１００は、制御装置６により制御可能でかつカメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２の位置および向きを調整可能なカメラ調整装置を有してもよい。この場合、制御装置６が、例えばカメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２により取得される画像に基づいてカメラ調整装置を制御することによりカメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２の位置決め作業を自動的に行ってもよい。

　（４）上記実施の形態では、使用者が転写ローラ３１０の外周面にシート状部材を取り付けるが、本発明はこれに限定されない。転写装置１００は、制御装置６により制御可能であるとともに転写ローラ３１０の外周面にシート状部材を取り付け可能かつ取り外し可能な着脱装置を有してもよい。この場合、制御装置６が、着脱装置を制御することにより転写ローラ３１０の外周面にシート状部材を自動的に取り付けてもよい。また、制御装置６が、着脱装置を制御することにより転写ローラ３１０の外周面からシート状部材を自動的に取り外してもよい。

　（５）上記実施の形態では、使用者が回転軸調整機構３４０により回転軸３２０の他端部の支持位置を前後方向Ｄ１に移動させるが、本発明はこれに限定されない。回転軸調整機構３４０は、制御装置６により制御可能に構成されてもよい。この場合、制御装置６は、カメラ２１，２２により取得される画像に基づいてカメラ２１，２２の２つの基準指標ＶＰがともに基準線ＲＬ上に位置するように、転写ローラ３１０の回転軸３２０の他端部の支持位置を調整してもよい。

　（６）転写装置１００に上記の配置装置、カメラ調整装置および着脱装置が設けられるとともに、回転軸調整機構３４０が制御装置６により制御可能に構成される場合には、上記の校正の一部または全てが制御装置６により自動的に実行されてもよい。

　（７）上記実施の形態では、校正版ＣＰは、透明部ＣＰ１および枠部ＣＰ２から構成されるが、本発明はこれに限定されない。校正版ＣＰは、透明部ＣＰ１のみで形成されてもよい。この場合、透明部ＣＰ１は、対象物と同じ外形を有するように形成される。

　（８）上記実施の形態においては、カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２として固定倍率の対物レンズを有するＣＣＤカメラが用いられるが、本発明はこれに限定されない。カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２として倍率を変更可能なズームレンズを有するＣＣＤカメラが用いてもよい。

　この場合、例えばカメラ１１を用いて校正版ＣＰのアライメントマークＭ１を探索する際に、ズームレンズの倍率を低く設定する。それにより、対象となるアライメントマークＭ１を広い範囲に渡って容易に探索することができる。一方、カメラ１１を位置決めする際には、ズームレンズの倍率を高く設定する。それにより、対象となるアライメントマークＭ１の画像を高い解像度で取得することができる。それにより、高い精度でカメラ１１を位置決めすることが可能になる。

　このように、カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２としてズームレンズを有するＣＣＤカメラを用いる場合には、上記の校正をより容易かつより正確に行うことが可能になる。

　なお、各カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２として、互いに倍率が異なる複数の対物レンズを有するＣＣＤカメラが用いられてもよい。この場合、校正の作業内容に応じて各カメラ１１，１２，２１，２２，３１，３２の対物レンズを使い分けることにより、上記の校正をより容易かつより正確に行うことが可能になる。

　（９）上記実施の形態では、校正版ＣＰの一方向を前後方向Ｄ１に平行にするために２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２が用いられ、カメラ１１，１２の基準指標ＶＰを左右方向Ｄ２に並べるためにアライメントマークＭ１１，Ｍ１２が用いられるが本発明はこれに限定されない。校正版ＣＰの一方向を前後方向Ｄ１に平行にするために２つのアライメントマークＭ１，Ｍ１１を用いるとともに、カメラ１１，１２の基準指標ＶＰを左右方向Ｄ２に並べるためにアライメントマークＭ１１，Ｍ１２を用いてもよい。すなわち、一のアライメントマークＭ１１を、校正版ＣＰの一方向を前後方向Ｄ１に平行にするため第１または第２のアライメントマークとして用いるとともに、２つのカメラ１１，１２の基準指標ＶＰを左右方向Ｄ２に並べるための第３または第４のアライメントマークとして兼用してもよい。

　（１０）上記実施の形態では、校正版ＣＰにおいて、校正版ＣＰの一方向を前後方向Ｄ１に平行にするための２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２と、カメラ１１，１２の基準指標ＶＰを左右方向Ｄ２に並べるためのアライメントマークＭ１１とが一方向に並ぶが、本発明はこれに限定されない。アライメントマークＭ１１は２つのアライメントマークＭ１，Ｍ２が並ぶ方向からずれた位置に設けられてもよい。

　（１１）上記実施の形態では、転写装置１００は、１つの転写ローラ３１０を有するが、本発明はこれに限定されない。転写装置１００は、複数の転写ローラを有してもよい。図１３は、他の実施の形態に係る電子デバイス用の転写装置１００の外観斜視図である。以下、図１３の転写装置１００について、図１の転写装置１００と異なる点を説明する。

　図１３の転写装置１００においては、図１の転写装置１００の構成に加えて、ローラ支持装置３３１の前方でかつ第２本体部５の後方の位置にローラ支持装置４３１が設けられる。また、ローラ支持装置３３２の前方でかつ第２本体部５の後方の位置にローラ支持装置４３２が設けられる。ローラ支持装置４３１，４３２の間に転写ローラ４１０が設けられる。転写ローラ４１０は、回転軸４２０を有するとともに被転写物を保持可能な外周面を有する。転写ローラ４１０の外周面の一部には、回転軸４２０に平行に延びる基準線ＲＬが設けられている。

　ローラ支持装置４３１，４３２は、基本的にローラ支持装置３３１，３３２と同じ構成を有し、転写ローラ４１０の回転軸４２０の一端部および他端部をそれぞれ回転可能に支持する。また、各ローラ支持装置４３１，４３２は、図示しない昇降駆動部および回転駆動部を有する。

　各ローラ支持装置４３１，４３２の昇降駆動部は、回転軸４２０の各端部を回転可能に支持するとともに、図１３に白抜きの矢印Ａ１１，Ａ１２で示すように、各端部の支持位置を上下方向Ｄ３に移動させる。各ローラ支持装置４３１，４３２の回転駆動部は、転写ローラ４１０を回転させる。これらの昇降駆動部および回転駆動部は、制御装置６により制御される。

　ローラ支持装置４３２には、使用者により操作可能に構成された回転軸調整機構４４０が設けられている。回転軸調整機構４４０は、図１３に白抜きの矢印Ａ１３で示すように、ローラ支持装置４３２による回転軸３２０の他端部の支持位置を前後方向Ｄ１に移動させることができる。

　各ローラ支持装置４３１，４３２は、さらに図示しない進退駆動部を有する。ローラ支持装置４３１の進退駆動部は、太い点線の矢印Ａ２１に示すようにローラ支持装置３３１に対して回転軸４２０の一端部を前後方向Ｄ１に移動させる。

　ローラ支持装置４３２の進退駆動部は、太い点線の矢印Ａ２２に示すようにローラ支持装置３３１に対して回転軸４２０の他端部を前後方向Ｄ１に移動させる。これらの進退駆動部は、制御装置６により制御される。

　図１３の転写装置１００の校正を行う場合には、上記の転写ローラ３１０についての校正と同様の手順で、転写ローラ４１０の軸心を支持面２０１ａ（図２）と平行にする。また、転写ローラ４１０の軸心を前後方向Ｄ１に直交する面に対して平行にする。それにより、２つの転写ローラ３１０，４１０を用いて転写を行う場合でも、被転写物を対象物の所望の位置に高い精度で転写することができる。

　図１３の転写装置１００の使用例について説明する。以下の説明では、被転写物は、一面および他面を有するチップであるものとする。ある基板（以下、第１の基板と呼ぶ。）の上面上に一面が接触するようにチップが設けられているものとする。このチップを新たな基板（第２の基板）の上面上に他面が接触するように転写（移載）する。

　この場合、転写ローラ３１０の外周面に第１のシート状部材を取り付け、転写ローラ４１０の外周面に第２のシート状部材を取り付ける。また、チップの他面が上方に向く状態で第１の基板を後方のテーブル装置２００上に載置し、位置決めを行う。さらに、第２の基板を前方のテーブル装置２００上に載置し、位置決めを行う。第１のシート状部材の保持面、第２のシート状部材の保持面および第２の基板の上面は、粘着性を有する。

　この状態で、後方のテーブル装置２００を移動させるとともに転写ローラ３１０を回転させる。それにより、第１のシート状部材の保持面上に他面が接触するように第１の基板から第１のシート状部材にチップを転写させる。

　次に、転写ローラ３１０の外周面に接触するように転写ローラ４１０を後方に移動させ、転写ローラ３１０，４１０を互いに反対方向に回転させる。それにより、第２のシート状部材の保持面上に一面が接触するように第１のシート状部材から第２のシート状部材にチップを転写させる。

　その後、前方のテーブル装置２００を移動させるとともに転写ローラ４１０を回転させる。それにより、第２の基板の上面上に他面が接触するように第２のシート状部材から第２の基板にチップを転写させる。このような転写（移載）動作が行われることにより、第２の基板上に載置されるチップの状態が、第１の基板上に載置されるチップの状態に対して反転する。

　図１３の例の他、転写装置１００は、３以上の複数の転写ローラを有してもよい。この場合、例えば、複数の転写ローラに、互いに異なる種類の複数の被転写物を保持させる。それにより、一枚の基板を順次複数の転写ローラに接触させることにより、その基板上に連続的に複数の被転写物を転写することができる。複数種類の被転写物として、例えば、赤色の発光素子を含むチップ、緑色の発光素子を含むチップ、および青色の発光素子を含むチップ等がある。または、複数種類の被転写物として、赤色のフィルタ、緑色のフィルタ、および青色のフィルタ等がある。

　ここで、第１の基板の上面上に一面が接触するようにチップが設けられている場合に、そのチップを第２の基板の上面上に他面が接触するように転写することを反転転写と呼ぶ。反転転写を行う場合には、上記のように、第１の基板から２つの転写ローラを介して第２の基板上にチップが転写される。一方、第１の基板の上面上に一面が接触するようにチップが設けられている場合に、そのチップを第２の基板の上面上に一面が接触するように転写することを通常転写と呼ぶ。通常転写を行う場合には、第１の基板から１つの転写ローラを介して第２の基板上にチップが転写される。

　反転転写を行うべきか通常転写を行うべきかは、チップの仕様に応じて定まる。複数の転写ローラを有する転写装置１００を用いて一枚の基板上に複数種類のチップを転写する場合、チップごとに、反転転写に用いられるべき転写ローラと通常転写に用いられるべき転写ローラとを設定することができる。

　この場合、複数の通常転写を連続的に実行すること、複数の反転転写を連続的に実行すること、通常転写と反転転写とを組み合わせて実行することが可能になる。その結果、チップの仕様によらず所望の転写を行うことが可能になり、転写装置１００の利便性が向上する。

　［５］請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
　以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。

　上記実施の形態においては、アライメントマークＭ１が第１のアライメントマークの例であり、アライメントマークＭ２が第２のアライメントマークの例であり、アライメントマークＭ１１が第３のアライメントマークの例であり、アライメントマークＭ１２が第４のアライメントマークの例であり、校正版ＣＰが校正版の例であり、転写装置１００が電子デバイス用の転写装置の例である。

　また、支持面２０１ａが支持面の例であり、テーブル２０１がテーブルの例であり、前後方向Ｄ１が第１の方向の例であり、左右方向Ｄ２が第２の方向の例であり、テーブル支持装置２１０がテーブル支持装置の例であり、初期位置が第１の位置の例であり、離間位置が第２の位置の例であり、テーブル基準位置が第３の位置の例であり、下端部対向位置が第４の位置の例であり、移動駆動部２２０が移動駆動部の例である。

　また、回転軸３２０が回転軸の例であり、基準線ＲＬが基準線の例であり、転写ローラ３１０，４１０が転写ローラの例であり、ローラ支持装置３３１，３３２の昇降駆動部３４１およびローラ支持装置４３１，４３２の昇降駆動部が軸支持部の例であり、ローラ支持装置３３１，３３２の回転駆動部３５１およびローラ支持装置４３１，４３２の回転駆動部が回転駆動部の例であり、カメラ１１の基準指標ＶＰが第１の基準指標の例であり、カメラ１１が第１の撮像部の例であり、カメラ１２の基準指標ＶＰが第２の基準指標の例であり、カメラ１２が第２の撮像部の例であり、カメラ２１の基準指標ＶＰが第３の基準指標の例であり、カメラ２１が第３の撮像部の例であり、カメラ２２の基準指標ＶＰが第４の基準指標の例であり、カメラ２２が第４の撮像部の例であり、表示部７が表示部の例である。

　また、レーザ変位計９１および制御装置６が第１の検出部の例であり、レーザ変位計９１について設定される高さ基準位置が第１の検出位置の例であり、レーザ変位計９２および制御装置６が第２の検出部の例であり、レーザ変位計９２について設定される高さ基準位置が第２の検出位置の例である。

　また、シート状部材ＳＭがシート状部材の例であり、アライメントマークＳＭ１が第５のアライメントマークの例であり、アライメントマークＳＭ２が第６のアライメントマークの例であり、アライメントマークＲＡ１が第７のアライメントマークの例であり、アライメントマークＲＡ２が第８のアライメントマークの例であり、カメラ３１の基準指標ＶＰが第５の基準指標の例であり、カメラ３１が第５の撮像部の例であり、カメラ３２の基準指標ＶＰが第６の基準指標の例であり、カメラ３２が第６の撮像部の例である。

　請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の構成要素を用いることもできる。

　本発明は、電子デバイスの製造に有効に利用することができる。

Claims

一方向に並ぶ第１および第２のアライメントマークと前記一方向に直交する他方向に並ぶ第３および第４のアライメントマークとを有する校正版を用いて校正可能であるとともに、電子デバイスを構成する被転写物を対象物に転写する電子デバイス用の転写装置であって、
　校正版および対象物を選択的に支持可能な支持面を有するテーブルと、
　前記テーブルを前記支持面に平行でかつ互いに直交する第１および第２の方向に移動可能に支持するとともに前記テーブルを前記支持面に直交する軸の周りで回転可能に支持するテーブル支持装置と、
　前記テーブル支持装置を第１、第２、第３および第４の位置の間で前記第１の方向に移動させる移動駆動部と、
　回転軸を有するとともに、被転写物を保持可能でかつ前記回転軸に平行な基準線を含む外周面を有する転写ローラと、
　前記転写ローラを前記回転軸の周りで回転可能に支持する軸支持部と、
　前記転写ローラを回転させる回転駆動部と、
　第１の基準指標を含む視野を有し、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第１の位置にあるときに前記第１のアライメントマークを撮像し、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第２の位置にあるときに前記第２のアライメントマークを撮像し、前記校正版を支持する前記テーブルが前記第３の位置にあるときに前記第３のアライメントマークを撮像する第１の撮像部と、
　第２の基準指標を含む視野を有し、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第３の位置にあるときに、前記第４のアライメントマークを撮像する第２の撮像部と、
　前記テーブル支持装置とともに移動しかつ第３の基準指標を含む視野を有し、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第３の位置にあるときに前記校正版の前記第３のアライメントマークを撮像し、前記テーブル支持装置が前記第４の位置にあるときに前記転写ローラの前記基準線を撮像する第３の撮像部と、
　前記テーブル支持装置とともに移動しかつ第４の基準指標を含む視野を有し、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第３の位置にあるときに前記校正版の前記第４のアライメントマークを撮像し、前記テーブル支持装置が前記第４の位置にあるときに前記転写ローラの前記基準線を撮像する第４の撮像部と、
　前記第１、第２、第３および第４の撮像部により撮像される画像を表示する表示部とを備え、
　前記第１および第２の撮像部は前記テーブル支持装置とは独立に位置調整可能に設けられ、前記第３および第４の撮像部は前記テーブルと相対的に位置調整可能に設けられ、前記転写ローラは少なくとも前記支持面に平行な面内で前記回転軸の向きを調整可能に設けられた、電子デバイス用の転写装置。
前記テーブル支持装置とともに移動しかつ第１の検出位置から前記転写ローラの外周面までの距離を検出する第１の検出部と、
　前記テーブル支持装置とともに移動しかつ第２の検出位置から前記転写ローラの外周面までの距離を検出する第２の検出部とをさらに備え、
　前記第１の検出位置と前記第２の検出位置とは前記第２の方向に延びる共通の線上に互いに離間して位置し、
　前記転写ローラは、さらに前記第２の方向および前記支持面に直交する第３の方向に平行な面内で前記回転軸の向きを調整可能に設けられた、請求項１記載の電子デバイス用の転写装置。
被転写物は、前記転写ローラに着脱可能に構成されるシート状部材に保持され、
　前記シート状部材は、第５および第６のアライメントマークを有し、
　前記転写ローラの外周面は、前記回転軸に平行な方向に並ぶ第７および第８のアライメントマークを含み、
　前記転写装置は、
　第５の基準指標を含む視野を有し、前記転写ローラに前記シート状部材が取り付けられない状態で前記転写ローラが予め定められた回転角度にあるときに前記第７のアライメントマークを撮像し、前記転写ローラに前記シート状部材が取り付けられた状態で前記転写ローラが前記予め定められた回転角度にあるときに前記第５のアライメントマークを撮像する第５の撮像部と、
　第６の基準指標を含む視野を有し、前記転写ローラに前記シート状部材が取り付けられない状態で前記転写ローラが前記予め定められた回転角度にあるときに前記第８のアライメントマークを撮像し、前記転写ローラに前記シート状部材が取り付けられた状態で前記転写ローラが前記予め定められた回転角度にあるときに前記第６のアライメントマークを撮像する第６の撮像部とをさらに備え、
　前記表示部は、前記第５および第６の撮像部により撮像される画像をさらに表示し、
　前記第５および第６の撮像部は、前記転写ローラとは独立に位置調整可能に設けられる、請求項１または２記載の電子デバイス用の転写装置。
前記転写ローラを複数有し、
　前記軸支持部は、前記複数の転写ローラをそれぞれ回転可能に支持するように構成され、
　前記回転駆動部は、前記複数の転写ローラをそれぞれ回転させるように構成され、
　前記第４の位置は、前記複数の転写ローラにそれぞれ対応する複数の位置に設定される、請求項１～３のいずれか一項に記載の電子デバイス用の転写装置。
電子デバイス用の転写方法であって、
　請求項１～４のいずれか一項に記載の電子デバイス用の転写装置を用意するステップと、
　前記転写装置を校正するステップと、
　前記校正後の転写装置を用いて被転写物を対象物に転写するステップとを含み、
　前記校正するステップは、
　前記テーブルの前記支持面上に前記校正版を配置するステップと、
　前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置を前記第１の位置に移動させるとともに前記第１の撮像部により撮像される前記第１のアライメントマークの画像を前記表示部に表示させるステップと、
　前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第１の位置にあるときに前記第１の撮像部の前記第１の基準指標が前記第１のアライメントマーク上に位置するように前記第１の撮像部の位置を調整するステップと、
　前記第１の撮像部の位置を調整するステップの後、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置を前記第２の位置に移動させるとともに前記第１の撮像部により撮像される前記第２のアライメントマークの画像を前記表示部に表示させるステップと、
　前記第１の撮像部の位置を調整するステップの後、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第１の位置にあるときに前記第１の撮像部の前記第１の基準指標が前記第１のアライメントマーク上に位置しかつ前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置が前記第２の位置にあるときに前記第１の撮像部の前記第１の基準指標が前記第２のアライメントマーク上に位置するように、前記校正版を支持する前記テーブルの位置を前記テーブル支持装置により調整するステップと、
　前記テーブルの位置を調整するステップの後、前記テーブルに前記校正版が支持された状態で前記テーブル支持装置を前記第３の位置に移動させるとともに前記第１の撮像部により撮像される前記第３のアライメントマークの画像、前記第２の撮像部により撮像される前記第４のアライメントマークの画像、前記第３の撮像部により撮像される前記第３のアライメントマークの画像、および前記第４の撮像部により撮像される前記第４のアライメントマークの画像を前記表示部に表示させるステップと、
　前記第１～第４のアライメントマークの画像を前記表示部に表示させるステップの後、前記第１の撮像部の前記第１の基準指標が前記第３のアライメントマーク上に位置するように前記第１の撮像部の位置を調整し、前記第２の撮像部の前記第２の基準指標が前記第４のアライメントマーク上に位置するように前記第２の撮像部の位置を調整し、前記第３の撮像部の前記第３の基準指標が前記第３のアライメントマーク上に位置するように前記第３の撮像部の前記テーブルとの相対的な位置関係を調整し、前記第４の撮像部の前記第４の基準指標が前記第４のアライメントマーク上に位置するように前記第４の撮像部の前記テーブルとの相対的な位置関係を調整するステップと、
　前記第１～第４の撮像部を調整するステップの後、前記テーブルから前記校正版が取り外された状態で前記テーブル支持装置を前記第４の位置に移動させるとともに前記第３の撮像部により撮像される前記転写ローラの基準線の画像、および前記第４の撮像部により撮像される前記転写ローラの基準線の画像を前記表示部に表示させるステップと、
　前記基準線の画像を表示させるステップの後、前記第３の撮像部の前記第３の基準指標が前記基準線上に位置するようにかつ前記第４の撮像部の前記第４の基準指標が前記基準線上に位置するように前記転写ローラの前記回転軸の向きを前記支持面に平行な面内で調整するステップとを含む、電子デバイス用の転写方法。