JP5310321B2

JP5310321B2 - 印刷位置補正方法及び装置

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Publication number: JP5310321B2
Application number: JP2009159038A
Authority: JP
Inventors: 研吾松尾
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-07-03
Filing date: 2009-07-03
Publication date: 2013-10-09
Anticipated expiration: 2029-07-03
Also published as: JP2011011500A

Description

本発明は、印刷装置にて印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下を防ぐべく印刷位置の位置ずれを補正するために用いる印刷位置補正方法及び装置に関するものである。

印刷技術の１つとしてオフセット印刷があり、このうち、凹版を用いたオフセット印刷は、インキングされた凹版より転動するブランケットロールへインクを一旦転写（受理）した後、該ブランケットロールより印刷対象へインクの再転写（印刷）を行うことで、該印刷対象の表面に、上記凹版の印刷パターンを再現性よく印刷することができる手法として知られている。

ところで、近年、液晶ディスプレイ等の電子回路をガラス基板や樹脂製の基板等の所要の基板上に形成するための手法の一つとして、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電子回路を印刷して形成する手法が提案されてきている。

上記液晶ディスプレイ等の電子回路を基板に形成する場合は、電極となる線幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。更に、基板上に複数の電子回路を重ね合わせて形成することがあり、この場合は版を代えて電子回路の重ね刷りを行うことになるが、印刷位置がずれると電子回路の全体構成が崩れてしまうことから、精度は対象によって多少異なるが、上記線幅を１０μｍ程度とするような精密な電子回路の場合には、重ね合わせる印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされることもある。

そのため、上記基板上に電子回路を印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する通常のオフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。

従来、オフセット印刷の印刷精度を高めるための手法の１つとしては、たとえば、図６にその一例の概要を示すように、平らな版１が載置される版定盤（図示せず）を支持する版台車（版テーブル）２と、印刷対象（被印刷物）となるガラス基板３が載置される印刷定盤（図示せず）を支持する印刷台車（印刷対象テーブル）４の下側に、ガイドブロック（スライダ）５と６を、それぞれ同一寸法、同一配置で固着させて設け、同一のガイドレール（レール）７に、上記版台車２と印刷台車４を、それぞれのガイドブロック５と６を介して走行（往復動）するようにさせ、更に、上記ガイドレール７を跨ぐようにブランケットロール（ブランケット胴）８を設置した構成とすることが提案されている。

かかる構成によれば、上記ブランケットロール８の直下で上記ガイドレール７の真直度が低下していて、当該位置で上記版台車２及び印刷台車４の姿勢が傾いたとしても、双方の台車２と４が同一の傾きとなることで、版１とガラス基板３との姿勢誤差が抑制され、上記版１からブランケットロール８へのインクの転写（樹脂転移）と、上記ブランケットロール８からガラス基板３へのインクの再転写（絵柄転写）が同一位置で行われることで、印刷精度を高めることができるとされている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２００８−１２９３６２号公報

ところが、上記特許文献１に示された手法は、版台車２及び印刷台車４と、各ガイドブロック５，６が全く同じ関係にあることを前提として印刷精度を高めるようにしたものであるため、ガイドブロック５，６の固体差や、上記版台車２及び印刷台車４の組立誤差に起因して発生する印刷位置の位置ずれは防止することができないという問題がある。

しかし、前述した基板上に電子回路を印刷により形成する場合のような精密な印刷を実施するためには、上記した如きガイドブロック５，６の固体差や、各台車２及び４の組立誤差に起因する印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下も無視できないのが実状である。

そこで、本発明は、ブランケットロールを、その下方を走行する版テーブル上に保持された版や印刷対象テーブル上に保持された印刷対象に接触させて印刷処理を行なう場合のように、印刷ロールを、その下方を走行する移動テーブル上に保持された版又は印刷対象に接触させて印刷処理を行なう場合に、上記移動テーブルの組立誤差に起因する印刷位置の位置ずれを補正することができ、移動テーブルの機械加工や組立精度の限界を超えて印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下を抑えることができて、精密印刷を高精度に行なうことが可能な印刷位置補正方法及び装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置の側方に設けた微小位置センサにより検出し、該検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正する印刷位置補正方法とする。

又、請求項２に対応して、アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置付近の側方に上記ガイドレールの長手方向に所要間隔で配設した２つの微小位置センサで検出し、該各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きがゼロとなり、且つ上記各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記印刷ロール直下位置での上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを角度調整及び位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正する印刷位置補正方法とする。

更に、上記構成において、印刷処理を行なうときにおけるアライメントステージのステージ計測面の検出を、印刷ロールの直下位置より移動テーブル走行方向の上流側と下流側に所要寸法離反する位置の側方に配設した２つの微小位置センサで行うようにする。

又、請求項４に対応して、印刷ロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する移動テーブルに、アライメントステージを設けて、該アライメントステージ上に印刷ロールを接触させるための版又は印刷対象を保持できるようにすると共に、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に、上記ガイドレールの長手方向に沿うステージ計測面を横向きに設け、且つ上記印刷ロールの直下位置の側方に上記ステージ計測面を検出するための微小位置センサを設け、更に、上記微小位置センサによる上記ステージ計測面の検出結果を基に該ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を計測し、該計測されたステージ計測面の位置を所定の目標位置に一致させるための位置補正量を算出する機能を有する位置補償演算装置と、該位置補償演算装置により算出される位置補正量に応じて上記移動テーブルのアライメントステージのアライメント駆動機構へ位置の補正指令を与える機能を有する制御器とを備えてなる構成を有する印刷位置補正装置とする。

更に、請求項５に対応して、印刷ロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する移動テーブルに、アライメントステージを設けて、該アライメントステージ上に印刷ロールを接触させるための版又は印刷対象を保持できるようにすると共に、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に、上記ガイドレールの長手方向に沿うステージ計測面を横向きに設け、且つ上記印刷ロールの直下位置付近の側方に、上記ステージ計測面を検出するための２つの微小位置センサを、上記ガイドレールの長手方向所要間隔で設け、更に、上記各微小位置センサによる上記ステージ計測面の検出結果を基に該ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きと、上記印刷ロール直下位置での該ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を計測し、該計測された上記ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きをゼロとするための角度補正量、及び、上記印刷ロール直下位置での上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を所定の目標位置に一致させるための位置補正量を算出する機能を有する位置補償演算装置と、該位置補償演算装置により算出される角度補正量及び位置補正量に応じて上記移動テーブルのアライメントステージのアライメント駆動機構へ角度と位置の補正指令を与える機能を有する制御器とを備えてなる構成を有する印刷位置補正装置とする。

更に又、上記構成において、２つの微小位置センサを、印刷ロールの直下位置より移動テーブル走行方向の上流側と下流側に所要寸法離反する位置の側方に配設するようにした構成とする。

本発明によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置の側方に設けた微小位置センサにより検出し、該検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正するようにする印刷位置補正方法及び装置としてあるので、移動テーブルのアライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを接触させるときに、上記移動テーブルの機械加工や組立精度の影響を受けることなく上記版又は印刷対象のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置ずれを抑えることができて、印刷位置の位置ずれを抑えることができる。
（２）更に、なんらかの影響で、上記印刷ロールの直下で移動テーブルの走行をガイドするガイドレールの精度が変動しても、上記移動テーブルのアライメントステージにより上記印刷ロールと接触させる版又は印刷対象の位置ずれを抑えて、印刷位置の位置ずれを抑えることができる。
（３）よって、印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下を抑えることができて、線幅を１０μｍ程度とするような精密な電子回路を印刷により形成する場合のように、印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされるような精密印刷を高精度に行なうことが可能になる。
（４）アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置付近の側方に上記ガイドレールの長手方向に所要間隔で配設した２つの微小位置センサで検出し、該各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きがゼロとなり、且つ上記各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記印刷ロール直下位置での上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを角度調整及び位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正するようにする印刷位置補正方法及び装置とすることにより、移動テーブルのアライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に対して印刷ロールを接触させるときに、上記移動テーブルの機械加工や組立精度の影響を受けることなく上記版又は印刷対象のガイドレール長手方向からの傾きと、ガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置ずれを抑えることができて、印刷位置の位置ずれを抑えることができる。したがって、上記（２）（３）と同様の効果をより増強することができる。
（５）印刷処理を行なうときにおけるアライメントステージのステージ計測面の検出を、印刷ロールの直下位置より移動テーブル走行方向の上流側と下流側に所要寸法離反する位置の側方に配設した２つの微小位置センサで行うようにすることにより、移動テーブルがガイドレールに沿って印刷ロールの直下位置を走行している時点で、該移動テーブルのアライメントステージを角度調整及び位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の印刷ロールに対する接触位置を補正することができる。

本発明の印刷位置補正方法及び装置の実施の一形態を示す概略平面図である。図１の印刷位置補正装置の概略側面図である。図１の印刷位置補正装置を適用したオフセット印刷装置の全体構成を示す概略側面図である。図１の印刷位置補正装置による印刷位置の補正を行なう手順を示すもので、（イ）は微小位置センサで版テーブルのアライメントステージのステージ計測面を検出した状態を、（ロ）は版テーブルのアライメントステージをＹ軸方向制御目標位置を基準として位置補正した状態をそれぞれ示す概要図である。本発明の実施の他の形態を示す概略平面図である。オフセット印刷の印刷精度を高めるために従来提案されている手法の一例を示す概要図である。

以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。

図１乃至図４（イ）（ロ）は本発明の印刷位置補正方法及び装置の実施の一形態として、たとえば、図３に示す如きオフセット印刷装置に適用する場合の例を示すもので、以下のようにしてある。

ここで、先ず、図３に示したオフセット印刷装置について概説すると、該オフセット印刷装置は、水平な架台９の上側に、一方向（Ｘ軸方向）に延びるガイドレール１０を、たとえば、２本一組で設ける。上記ガイドレール１０には、平板状の版１１と基板等の平板状の印刷対象１２を保持させるための移動テーブルとして、たとえば、版１１と印刷対象１２をそれぞれ個別に保持できるようにした版テーブル１３と印刷対象テーブル１４とを、それぞれガイドブロック１５を介して移動可能に取り付けると共に、該各テーブル１３，１４に、図示しないリニアモータ等の個別の駆動装置を設けて、独立して往復動（走行）できるようにする。

更に、上記ガイドレール１０の長手方向における上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が共に走行可能な途中位置、たとえば、上記ガイドレール１０の長手方向中間位置と対応する上記架台９上の所要個所に、上記ガイドレール１０の長手方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に延びる印刷ロールとしてのブランケットロール１７と、該ブランケットロール１７を回転駆動するモータ等の回転用駆動機構１８と、上記ブランケットロール１７を昇降させるジャッキ等の昇降用駆動機構１９を備えてなる転写機構部１６を設けてなる構成として、上記転写機構部１６のブランケットロール１７を、上記ガイドレール１０上を走行する版テーブル１３上に保持させたインキング済みの版１１に上方より接触させ、次いで、上記ブランケットロール１７を、上記ガイドレール１０上を走行する印刷対象テーブル１４上に保持させた印刷対象１２に上方より接触させることで、上記版１１からブランケットロール１７へのインクの転写（受理）と、該ブランケットロール１７から印刷対象１２へのインクの再転写（印刷）を行わせることができるようにしてある。

更に、上記ガイドレール１０の長手方向における上記版テーブル１３が走行可能な別の途中位置、たとえば、上記転写機構部１６の設置個所よりもガイドレール１０の長手方向一端側へ所要寸法離れた位置となる上記架台９上の所要個所に、上記版テーブル１３に保持される版１１に対してインキングを行うためのインキング装置２０を設けた構成としてある。

更に又、上記架台９上におけるガイドレール１０の長手方向一端部と対応する個所には、ガイドレール１０の長手方向一端部まで版テーブル１３を移動させて待機させるための版テーブル待機エリア２１を備え、上記架台９上におけるガイドレール１０の長手方向他端部と対応する個所に、ガイドレール１０の長手方向他端部まで印刷対象テーブル１４を移動させて待機させた状態で、該印刷対象テーブル１４に対して新たな印刷対象１２の取り付けと印刷後の印刷対象１２の取外しを行うための印刷対象設置エリア２２を備えた構成としてある。

上記構成としてあるオフセット印刷装置に適用する本発明の印刷位置補正装置は、図１及び図２に示す如き構成としてある。

すなわち、上記版テーブル１３の上部に、図示しない３軸又は４軸のアライメント駆動機構により上記ガイドレール１０の長手方向（Ｘ軸方向）及びガイドレール１０の長手方向に直交する方向（Ｙ軸方向）への水平移動と、ガイドレール１０の長手方向に対するヨー角度（θ）の回転についての精密駆動が可能な版用のアライメントステージ２３を設けて、該版用アライメントステージ２３の上側に版１１を保持できるようにする。且つ上記版用アライメントステージ２３におけるＹ軸方向の一端部に、Ｘ軸方向に沿う鉛直面となるステージ計測面２３ａを外向きに設ける。

又、上記印刷対象テーブル１４の上部に、上記版テーブル１３のアライメントステージ２３と同様に、図示しない３軸又は４軸のアライメント駆動機構によりＸ軸方向及びＹ軸方向への水平移動と、ヨー角度（θ）の回転についての精密駆動が可能な印刷対象用のアライメントステージ２４を設けて、該印刷対象用アライメントステージ２４の上側に印刷対象１２を保持できるようにする。且つ上記印刷対象用アライメントステージ２４におけるＹ軸方向の一端部に、Ｘ軸方向に沿う鉛直面となるステージ計測面２４ａを外向きに設ける。

なお、上記版用及び印刷対象用の各アライメントステージ２３，２４に設ける各ステージ計測面２３ａ及び２４ａは、共にその平面度が、本発明の印刷位置補正装置により補償しようとする印刷位置の位置ずれの量（寸法）よりも十分に小さくなるように加工してあるものとする。

更に、上記オフセット印刷装置の架台９上にて、上記転写機構部１６のブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置で、且つ該架台９上に設けてあるガイドレール１０よりもＹ軸方向一端側寄りの外側となる個所に、微小位置センサ（微小変位センサ）２５を、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ設けてあるステージ計測面２３ａ，２４ａと対応する高さ位置に内向きに配置すると共に、図示しない取付部材を介し上記架台９に取り付ける。これにより、上記ガイドレール１０に沿って上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ設けてあるステージ計測面２３ａ，２４ａが、上記微小位置センサ２５の前方近傍位置を、該微小位置センサ２５に対面した姿勢で通過するようにしてあり、その際、上記微小位置センサ２５により、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける該微小位置センサ２５の前方に位置する個所までの距離を検出することができるようにしてある。

なお、上記微小位置センサ２５としては、静電容量式やレーザ式等、本発明の印刷位置補正装置により補償しようとする印刷位置の位置ずれの量（寸法）を検出可能な検出能を有する微小位置センサ２５としてあるものとする。

上記微小位置センサ２５には、位置補償演算装置２６を接続すると共に、該位置補償演算装置２６に、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の図示しないアライメント駆動機構を制御するための制御器２７，２８をそれぞれ接続する。

上記位置補償演算装置２６は、上記微小位置センサ２５より上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける該微小位置センサ２５の前方に位置する個所までの距離の検出信号が入力されると、該検出信号と、上記微小位置センサ２５の架台９上における設置個所の位置情報とを基に、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置を測定する機能を備える。

更に、上記位置補償演算装置２６は、予め、上記各テーブル１３，１４を上記ブランケットロール１７の直下位置を走行させるときに該各テーブル１３，１４に所望されるＹ軸方向位置に対応した配置となる各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＹ軸方向位置を、Ｙ軸方向制御目標位置として格納（記憶）するようにしてあり、該位置補償演算装置２６にて、上記のようにして上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置が測定されると、該測定されたＹ軸方向位置を、上記格納してあるＹ軸方向制御目標位置に一致させるために必要となる上記各テーブル１３，１４における各ステージ計測面２３ａ，２４ａと一体の各アライメントステージ２３，２４のＹ軸方向の位置補正量を算出して、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ対応した各制御器２７，２８へ出力する機能を備えるようにしてある。

上記各制御器２７，２８は、上記位置補償演算装置２６より位置補正量が入力されると、該位置補正量に応じた位置補正指令を、それぞれ対応するテーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の図示しないアライメント駆動機構へ与える機能を備えるようにしてあり、これにより、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４を、上記位置補正指令に応じて駆動させることができるようにしてある。よって、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所のＹ軸方向位置を、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致するよう位置補正できるようにしてある。

以上の構成としてある本発明の印刷位置補正装置を備えたオフセット印刷装置により印刷作業を実施する場合は、予め版用アライメントステージ２３の上側に版１１を保持した版テーブル１３をインキング装置２０へ送って上記版１１に適正量のインクをインキングさせる。

次に、上記インキングされた版１１を保持した版テーブル１３を、転写機構部１６へ移動させて、回転用駆動機構１８により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向へ走行させると共に、該版テーブル１３上に保持した版１１に対して上記ブランケットロール１７を上側から接触させる。この際、図４（イ）に示すように、上記版テーブル１３に設けてある版用アライメントステージ２３が上記ブランケットロール１７の直下位置に進入することに伴って、該版用アライメントステージ２３に設けてあるステージ計測面２３ａが上記微小位置センサ２５の前方に進入して、該微小位置センサ２５によってその前方に位置する上記ステージ計測面２３ａまでのＹ軸方向の距離が検出されるようになる。

上記版テーブル１３に設けてある版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所までの距離の検出信号が、該微小位置センサ２５より位置補償演算装置２６に入力され、該位置補償演算装置２６により上記版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置が測定された時点で、図４（イ）に示すように、その測定されたステージ計測面２３ａの実際のＹ軸方向位置と、図４（イ）に一点鎖線で示すＹ軸方向制御目標位置Ｙ_０とのずれが検出される場合は、そのずれに応じて、上記微小位置センサ２５の検出信号に基づいて測定されるステージ計測面２３ａの実際のＹ軸方向位置を、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致させるための位置補正量が算出される。なお、図４（イ）では、図示する便宜上、版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａにおけるＹ軸方向制御目標位置Ｙ_０からの位置ずれを強調して示してある。

上記のようにして位置補償演算装置２６にて位置補正量が算出されると、この算出された位置補正量に応じた位置補正指令が、制御器２７より上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３の図示しないアライメント駆動機構へ与えられるようになることから、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３が直ちに上記位置補正指令に応じて精密駆動されることで、図４（ロ）に示すように、上記版テーブル１３における版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａのＹ軸方向の位置が、上記Ｙ軸方向制御目標位置Ｙ_０に一致するように、上記版用アライメントステージ２３が位置補正される。

その後、上記版テーブル１３が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記と同様にして該版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のＹ軸方向の位置補正が継続して行われるようになることから、該版テーブル１３が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記版用アライメントステージ２３のＹ軸方向位置は、そのステージ計測面２３ａの位置が上記Ｙ軸方向制御目標位置Ｙ_０に一致する位置に継続して保持されるようになる。

よって、上記版テーブル１３に取り付けてあるガイドブロック１５に個体差や、該版テーブル１３の組立誤差の影響を受けることなく、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３上に保持させてある上記版１１は、上記転動するブランケットロール１７に、Ｙ軸方向の位置ずれが生じない状態で接触するようになるため、該版１１より上記ブランケットロール１７に対し高精度な位置再現性でインクの転写（受理）が行なわれるようになる。

上記のようにして版１１よりブランケットロール１７へのインクの転写が行なわれた後は、印刷対象１２を保持した印刷対象テーブル１４を上記転写機構部１６へ移動させ、上記版テーブル１３と同様に、上記印刷対象テーブル１４を、回転用駆動機構１８により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向へ走行させて、該印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２に対して上記ブランケットロール１７を上側から接触させる。この際、図４（イ）に示した版テーブル１３の場合と同様に、上記印刷対象テーブル１４に設けてある印刷対象用アライメントステージ２４が上記ブランケットロール１７の直下位置に進入することに伴って、該印刷対象用アライメントステージ２４に設けてあるステージ計測面２４ａが上記微小位置センサ２５の前方に進入して、該微小位置センサ２５によってその前方に位置する上記ステージ計測面２４ａまでのＹ軸方向の距離が検出されるようになると、その検出信号を基に、位置補償演算装置２６により上記印刷対象用アライメントステージ２４のステージ計測面２４ａにおける上記微小位置センサ２５の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置が測定され、その時点で、測定されたステージ計測面２４ａの実際のＹ軸方向位置と、所定のＹ軸方向制御目標位置とのずれが検出される場合は、そのずれに応じて、上記微小位置センサ２５の検出信号に基づいて測定された上記ステージ計測面２４ａの実際のＹ軸方向位置を、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致させるための位置補正量が算出される。

上記のようにして位置補償演算装置２６にて位置補正量が算出されると、この算出された位置補正量に応じた位置補正指令が、制御器２８より上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４の図示しないアライメント駆動機構へ与えられるようになることから、該印刷対象用アライメントステージ２４が直ちに上記位置補正指令に応じて精密駆動されることで、図４（ロ）に示した上記版テーブル１３における版用アライメントステージ２３の場合と同様に、上記印刷対象テーブル１４における印刷対象用アライメントステージ２４のステージ計測面２４ａのＹ軸方向の位置が、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致するように補正される。

その後、上記印刷対象テーブル１４が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記したと同様にして該印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４のＹ軸方向の位置の補正が継続して行われるようになることから、該印刷対象テーブル１４が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記印刷対象用アライメントステージ２４のＹ軸方向位置は、そのステージ計測面２４ａの位置が上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致する位置に継続して保持されるようになる。

よって、上記印刷対象テーブル１４に取り付けてあるガイドブロック１５の個体差や、該印刷対象テーブル１４の組立誤差の影響を受けることなく、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４上に保持させてある上記印刷対象１２は、上記転動するブランケットロール１７に、Ｙ軸方向の位置ずれを生じることなく接触するようになるため、上記ブランケットロール１７より該印刷対象１２に対し高精度な位置再現性でインクの再転写（印刷）が行なわれるようになる。

このように、本発明の印刷位置補正方法及び装置によれば、上記版テーブル１２上に保持した版１１よりブランケットロール１７への転写（受理）、及び、該ブランケットロール１７より印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２への再転写（印刷）を行なう際に、上記各テーブル１３，１４に取り付けたガイドブロック１５や、該各テーブル１３，１４自体についての機械加工や組立精度の限界を超えてＹ軸方向に関する印刷位置の位置ずれを抑えることができる。

更には、なんらかの影響で、上記ブランケットロール１７の直下に設置してあるガイドレール１０の精度が変動して、該ガイドレール１０に沿って走行する版テーブル１３や印刷対象テーブル１４の真直性が低下しても、該各テーブル１３，１４に設けてある各アライメントステージ２３，２４の精密駆動により上記ブランケットロール１７と接触させる版１１や印刷対象１２のＹ軸方向への位置ずれを抑えることができるため、Ｙ軸方向に関する印刷位置の位置ずれを抑えることができる。

よって、印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下を抑えることができて、線幅を１０μｍ程度とするような精密な電子回路を印刷により形成する場合のように、印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされるような精密印刷を高精度に行なうことができる。

次に、図５は本発明の実施の他の形態を示すもので、図１乃至図４（イ）（ロ）に示したと同様の構成において、ブランケットロール１７の直下を版テーブル１３や印刷対象テーブル１４が走行するときに、上記ブランケットロール１７を接触させる対象となる版テーブル１３上に保持した版１１や、印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２をＹ軸方向にのみ位置補正して、印刷位置の位置ずれを補正するようにした構成に代えて、上記ブランケットロール１７の直下を走行する版テーブル１３上に保持した版１１及び印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２について、Ｙ軸方向の位置補正に加えて、各テーブル１３，１４の走行方向となるＸ軸方向に対するヨー角度（θ）の補正を行なうことができるようにしたもので、以下のようにしてある。

すなわち、本実施の形態の印刷位置補正装置は、図１乃至図２に示したと同様の構成において、上記転写機構部１６のブランケットロール１７の軸心に沿う直線の直下位置で且つ架台９上に設けてあるガイドレール１０よりもＹ軸方向一端側寄りの外側となる個所に１つの微小位置センサ２５を設けた構成に代えて、上記ブランケットロール１７の軸心に沿う直下位置より印刷処理時における上記各テーブル１３，１４の走行方向の上流側及び下流側にそれぞれ所要寸法離れた位置で、且つ架台９上に設けてあるガイドレール１０よりもＹ軸方向一端側寄りの外側となる２個所に、上記実施の形態における微小位置センサ２５と同様の２つの微小位置センサ（微小変位センサ）２９，３０を、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ設けてあるステージ計測面２３ａ，２４ａと対応する高さ位置に内向きに配置すると共に、図示しない取付部材を介して上記架台９にそれぞれ取り付ける。これにより、上記ガイドレール１０に沿って版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行するときに、該各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ設けてあるステージ計測面２３ａ，２４ａが、上記各微小位置センサ２９及び３０の前方近傍位置を、該各微小位置センサ２９，３０に対面した姿勢で通過するようにしてあり、その際、上記各微小位置センサ２９と３０により、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける該各微小位置センサ２９と３０の前方に位置する個所までの距離を、個別に検出することができるようにしてある。

なお、上記各微小位置センサ２９，３０のうち、上記ブランケットロール１７の軸心位置よりも印刷処理時における上記各テーブル１３，１４走行方向の下流側に配置された微小位置センサ３０は、上記版１１や印刷対象１２の平面形状が対応する各テーブル１３，１４の平面形状よりも小さいことに起因して上記各テーブル１３，１４上に保持された版１１や印刷対象１２が上記ブランケットロール１７の直下位置（ブランケットロール１７の下端部に接する位置）に達する時点で該各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４のステージ計測面２３ａ，２４ａにおける各テーブル１３，１４走行方向に先行する端部が達する位置の側方に設けてあるものとする。

又、上記各微小位置センサ２９と３０のＸ軸方向に沿う配置は、後述するように該各微小位置センサ２９と３０による上記各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａの検出結果に基づいて位置補償演算装置２６ａで上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＸ軸方向からの傾き、及び、該各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＹ軸方向位置を算出するときの精度に影響する。そのため、架台９上における該各微小位置センサ２９及び３０の設置個所に、予めＸ軸方向に一連に延びる段差部（図示せず）を、機械加工等により該段差部のＸ軸方向からの誤差が本発明の印刷位置補正装置により補償しようとする印刷位置の位置ずれの量（寸法）よりも十分に小さくなるように形成し、この段差部を基準として上記各微小位置センサ２９と３０を位置決めして設置することで、該各微小位置センサ２９と３０のＸ軸方向に沿う配置の精度を担保させるか、あるいは、予め図示しないレーザセンサ等によるステージ計測面２３ａ，２４ａの計測結果と、上記各微小位置センサ２９と３０による同一のステージ計測面２３ａ，２４ａの計測結果とを突合せることで、該各微小位置センサ２９と３０の設置位置のずれを補償して上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａの位置検出結果を較正するための補償データを得て、この補償データのテーブルを、後述する位置補償演算装置２６ａに格納しておき、該位置補償演算装置２６ａにて上記各微小位置センサ２９と３０の検出結果を基にステージ計測面２３ａ，２４ａの位置を求めるときに、上記補償データによる補正を加えることで、各ステージ計測面２３ａ，２４ａの位置検出精度を担保させるようにすればよい。更に、上記図示しないレーザセンサ等を用いて作成する上記各微小位置センサ２９と３０による上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａの位置検出結果を較正するための補償データを定期的に更新することで、該各微小位置センサ２９と３０の経年変化や劣化による位置検出精度の低下を未然に防止するようにしてもよい。

上記各微小位置センサ２９，３０は、位置補償演算装置２６ａに接続すると共に、該位置補償演算装置２６ａに、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の図示しないアライメント駆動機構を制御するための制御器２７ａ，２８ａをそれぞれ接続する。

上記位置補償演算装置２６ａは、上記各微小位置センサ２９及び３０より、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける該各微小位置センサ２９及び３０のそれぞれの前方に位置する個所までの距離の検出信号が入力されると、該検出信号と、上記各微小位置センサ２９及び３０の架台９上における設置個所の位置情報とを基に、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記各微小位置センサ２９と３０の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置をそれぞれ測定する機能を備える。

更に、上記位置補償演算装置２６ａは、上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記各微小位置センサ２９と３０の前方に位置する個所について測定されたＹ軸方向位置の差異を基に、上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＸ軸方向からの傾きを算出して、該算出された各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＸ軸方向からの傾きをゼロにするために必要となる上記各テーブル１３，１４における各アライメントステージ２３，２４のヨー角度（θ）の角度補正量を算出して、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ対応した各制御器２７ａ，２８ａへ出力する機能を備えるようにしてある。

更に又、上記位置補償演算装置２６ａは、予め、上記各テーブル１３，１４を上記ブランケットロール１７の直下位置を走行させるときに該各テーブル１３，１４に所望されるＹ軸方向位置に対応する配置となる各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＹ軸方向位置を、Ｙ軸方向制御目標位置として格納（記憶）するようにしてあり、該位置補償演算装置２６ａにて、上記のようにして上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記各微小位置センサ２９と３０の前方に位置する個所のＹ軸方向の位置が測定されると、該各測定値と、上記各微小位置センサ２９及び３０の架台９上における設置個所の上記ブランケットロール１７の軸心の直下位置よりＸ軸方向にそれぞれ離反する距離の情報とを基に、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置を算出して、該算出されたＹ軸方向位置を、上記格納してあるＹ軸方向制御目標位置に一致させるために必要となる上記各テーブル１３，１４における各アライメントステージ２３，２４のＹ軸方向の位置補正量を算出して、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４にそれぞれ対応した各制御器２７ａ，２８ａへ出力する機能を備えるようにしてある。

上記各制御器２７ａ，２８ａは、上記位置補償演算装置２６よりヨー角度（θ）の角度補正量とＹ軸方向の位置補正量が入力されると、該角度補正量及び位置補正量に応じた補正指令を、それぞれ対応するテーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の図示しないアライメント駆動機構へ与える機能を備えるようにしてあり、これにより、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４を、上記補正指令に応じて駆動させることができるようにしてある。よって、上記各テーブル１３，１４の各アライメントステージ２３，２４の各ステージ計測面２３ａ，２４ａを、そのＸ軸方向からの傾きを解消させると共に、該各ステージ計測面２３ａ，２４ａにおける上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置を、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致するように位置補正できるようにしてある。

その他の構成は図１及び図２に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。

以上の構成としてある本実施の形態の印刷位置補正装置を備えたオフセット印刷装置により印刷作業を実施する際、予めインキング装置２０にてインキングされた版１１を保持した版テーブル１３を転写機構部１６へ移動させ、該版テーブル１３を、回転用駆動機構１８により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向へ走行させると共に、該版テーブル１３上に保持した版１１に対して上記ブランケットロール１７を上側から接触させるときに、上記版テーブル１３に設けてある版用アライメントステージ２３が上記ブランケットロール１７の下方へ進入し、該版用アライメントステージ２３に設けてあるステージ計測面２３ａが、上記各微小位置センサ２９と３０の前方位置まで進行すると、該各微小位置センサ２９と３０によりその前方に位置するステージ計測面２３ａまでのＹ軸方向の距離が検出されるようになる。

上記のようにして版テーブル１３の版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａにおける上記各微小位置センサ２９と３０のそれぞれ前方に位置する個所までの距離の検出信号が、該微小位置センサ２９と３０より位置補償演算装置２６ａに入力されると、該位置補償演算装置２６ａでは、上記版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａのＸ軸方向からの傾きと、該ステージ計測面２３ａにおける上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向の位置が算出された時点で、その算出されたステージ計測面２３ａの実際のＸ軸方向からの傾きを解消するための角度補正量と、該ステージ計測面２３ａの上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置をＹ軸方向制御目標位置に一致させるための位置補正量が算出される。

上記のようにして位置補償演算装置２６ａにて角度補正量と位置補正量が算出されると、この算出された角度補正量と位置補正量に応じた補正指令が、制御器２７ａより上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３の図示しないアライメント駆動機構へ与えられるようになることから、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３が直ちに上記補正指令に応じて精密駆動されることで、上記版テーブル１３における版用アライメントステージ２３のステージ計測面２３ａのＸ軸方向からの傾きがゼロとなるように角度が補正されると共に、該ステージ計測面２３ａにおけるブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置が、上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致するように位置補正される。

その後、上記版テーブル１３が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記と同様にして該版テーブル１３の版用アライメントステージ２３の角度補正と位置補正が継続して行われるようになることから、該版テーブル１３が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記版用アライメントステージ２３は、Ｘ軸方向からの傾きが防止されると共に、ステージ計測面２３ａのＹ軸方向位置が上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致した位置に継続して保持されるようになる。

よって、上記版テーブル１３に取り付けてあるガイドブロック１５に個体差や、該版テーブル１３の組立誤差の影響を受けることなく、上記版テーブル１３の版用アライメントステージ２３上に保持させてある上記版１１は、上記転動するブランケットロール１７に、Ｘ軸方向からの傾きを生じることなく且つＹ軸方向の位置ずれが生じない状態で接触するようになるため、該版１１より上記ブランケットロール１７に対し高精度な位置再現性でインクの転写（受理）が行なわれるようになる。

上記のようにして版１１よりブランケットロール１７へのインクの転写が行なわれた後は、印刷対象１２を保持した印刷対象テーブル１４を上記転写機構部１６へ移動させ、上記版テーブル１３の場合と同様に、上記印刷対象テーブル１４を、回転用駆動機構１８により転動させるブランケットロール１７の周速と同期した移動速度で、該ブランケットロール１７の直下位置をブランケットロール１７の回転方向に沿う方向へ走行させて、該印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２に対して上記ブランケットロール１７を上側から接触させる。この際、上記した版テーブル１３と同様に、上記印刷対象テーブル１４に設けてある印刷対象用アライメントステージ２４が上記ブランケットロール１７の下方へ進入し、該印刷対象用アライメントステージ２４に設けてあるステージ計測面２４ａが、上記各微小位置センサ２９と３０の前方位置まで進行すると、該各微小位置センサ２９と３０によりその前方に位置するステージ計測面２４ａまでのＹ軸方向の距離が検出され、その検出信号を基に、位置補償演算装置２６ａにより上記ステージ計測面２４ａのＸ軸方向からの傾きと、該ステージ計測面２４ａにおける上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置が算出され、該算出されたステージ計測面２４ａの実際のＸ軸方向からの傾きを解消するための角度補正量と、該ステージ計測面２４ａの上記ブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置をＹ軸方向制御目標位置に一致させるための位置補正量が算出される。

上記のようにして位置補償演算装置２６ａにて角度補正量と位置補正量が算出されると、この算出された角度補正量と位置補正量に応じた補正指令が、制御器２８ａより上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４の図示しないアライメント駆動機構へ与えられるようになることから、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４が直ちに上記補正指令に応じて精密駆動されることで、上記した版テーブル１３における版用アライメントステージ２３の場合と同様に、上記印刷対象テーブル１４における印刷対象用アライメントステージ２４が、ステージ計測面２４ａのＸ軸方向からの傾きがゼロとなるように角度が補正されると共に、該ステージ計測面２４ａにおけるブランケットロール１７の軸心の直下に位置する部分のＹ軸方向位置が上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致するように位置補正される。

その後、上記印刷対象テーブル１４が上記ブランケットロール１７の直下位置を走行する間、上記印刷対象用アライメントステージ２４は、Ｘ軸方向からの傾きが解消されると共に、ステージ計測面２４ａのＹ軸方向位置が上記Ｙ軸方向制御目標位置に一致した位置に継続して保持されるようになる。

よって、上記印刷対象テーブル１４に取り付けてあるガイドブロック１５の個体差や、該印刷対象テーブル１４の組立誤差の影響を受けることなく、上記印刷対象テーブル１４の印刷対象用アライメントステージ２４上に保持させてある上記印刷対象１２は、上記転動するブランケットロール１７に、Ｘ軸方向からの傾きを生じることなく且つＹ軸方向の位置ずれが生じない状態で接触するようになるため、上記ブランケットロール１７より該印刷対象１２に対し高精度な位置再現性でインクの再転写（印刷）が行なわれるようになる。

このように、本実施の形態によれば、上記版テーブル１３上に保持した版１１よりブランケットロール１７への転写（受理）、及び、該ブランケットロール１７より印刷対象テーブル１４上に保持した印刷対象１２への再転写（印刷）を行なう際に、上記版１１及び印刷対象１２について、上記各テーブル１３，１４に取り付けたガイドブロック１５や該各テーブル１３，１４自体についての機械加工や組立精度の限界を超えてＸ軸方向からの傾き及びＹ軸方向に関する印刷位置の位置ずれを抑えることができる。

更に、なんらかの影響で、上記ブランケットロール１７の直下に設置してあるガイドレール１０の精度が変動して、該ガイドレール１０に沿って走行する版テーブル１３や印刷対象テーブル１４の真直性が低下しても、該各テーブル１３，１４に設けてある各アライメントステージ２３，２４のヨー角度（θ）とＹ軸方向についての精密駆動により、上記ブランケットロール１７と接触させる版１１や印刷対象１２のＸ軸方向からの傾きや、Ｙ軸方向への位置ずれを抑えることで、印刷位置の位置ずれを抑えることができる。

よって、印刷位置の位置ずれによる印刷精度の低下を更に抑制できて、精密印刷を高精度に行なう場合に更に有利なものとすることができる。

上記各実施の形態においては、版テーブル１３や印刷対象テーブル１４がブランケットロール１７の下方を走行するときに、微小位置センサ２５、又は、微小位置センサ２９と３０による各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４のステージ計測面２３ａ，２４ａの検出結果に基づいて、該各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４の位置補正や、角度補正と位置補正を行うものとして示したが、最初に版１１からブランケットロール１７への転写（受理）処理と、該ブランケットロール１７から印刷対象１２への再転写（印刷）処理を行なう際に、上記版テーブル１３及び印刷対象テーブル１４の位置と、該各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４の位置補正や角度補正と位置補正を行う時の補正データを関連付けて保存しておき、２回目以降の印刷処理を行なうときには、上記各テーブル１３，１４のアライメントステージ２３，２４を、そのテーブル位置に応じて上記保存してある補正データを呼び出して適宜位置補正、あるいは、角度補正と位置補正を行うようにしてもよい。又、この場合、上記保存してある補正データを定期的に更新するようにしてもよい。

又、上記各実施の形態においては、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２４に設ける各ステージ計測面２３ａ，２４ａを、その平面度が、本発明の印刷位置補正装置により補償しようとする印刷位置の位置ずれの量（寸法）よりも十分に小さくなるように加工してあるものとするとして説明したが、上記版テーブル１３と印刷対象テーブル１４の各アライメントステージ２３，２４に設ける各ステージ計測面２３ａ，２４ａについて、予め面のうねり等の形状を計測し、その計測データに基づいて、微小位置センサ２５や微小位置センサ２９と３０の検出信号を基に上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａのＹ軸方向位置を計測する際に、該各ステージ計測面２３ａ，２４ａの面のうねり等による形状の影響を排除（相殺）するための補正テーブルを、位置補償演算装置２６，２６ａに格納しておくようにしてもよい。したがって、この場合は、上記各ステージ計測面２３ａ，２４ａに要求される平面度を低く設定することが可能となる。

なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、印刷装置にて、印刷ロールを、その下方を走行する移動テーブルに設けたアライメントステージ上に保持した版や印刷対象に接触させて印刷処理を行なうようにしてあれば、たとえば、印刷ロールとしての版胴を、その下方を走行する移動テーブルに設けたアライメントステージ上に保持させた印刷対象に接触させて印刷処理を行なう場合の印刷位置の位置ずれを補正する場合に適用してもよい。

印刷ロールを、その下方を走行する移動テーブルに設けたアライメントステージ上に保持した版や印刷対象に接触させて印刷処理を行なうようにする印刷装置であれば、転写機構部１６におけるブランケットロール１７の回転用駆動機構１８や昇降用駆動機構１９、インキング装置２０は、図示した以外のいかなる形式とした印刷装置にも適用してよい。

図１乃至図４（イ）（ロ）の実施の形態において、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４に装備する各アライメントステージ２３，２４は、Ｙ軸方向にのみ水平移動可能な形式のアライメントステージ２３，２４としてもよい。

又、図５の実施の形態において、版テーブル１３と印刷対象テーブル１４に装備する各アライメントステージ２３，２４は、Ｙ軸方向への水平移動と、ヨー角度（θ）の調整機能を備えていれば、Ｘ軸方向の水平移動機能を省略した形式のアライメントステージ２３，２４としてもよい。

更に、図５の実施の形態において、ステージ計測面２３ａ，２４ａを検出するための２つの微小位置センサ２９，３０は、ブランケットロール１７の直下位置付近の側方にガイドレール１０の長手方向に所要間隔で配設してあれば、必ずしも上記ブランケットロール１７の直下位置より印刷処理時における各テーブル１３，１４の走行方向の上流側と下流側に分けた配置としなくてもよい。

印刷対象は基板以外のものであってもよい。

その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。

１０ガイドレール
１１版
１２印刷対象
１３版テーブル（移動テーブル）
１４印刷対象テーブル（移動テーブル）
１７ブランケットロール（印刷ロール）
２３版用アライメントステージ（アライメントステージ）
２３ａステージ計測面
２４印刷対象用アライメントステージ（アライメントステージ）
２４ａステージ計測面
２５微小位置センサ
２６，２６ａ位置補償演算装置
２７，２７ａ制御器
２８，２８ａ制御器
２９微小位置センサ
３０微小位置センサ

Claims

アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置の側方に設けた微小位置センサにより検出し、該検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正することを特徴とする印刷位置補正方法。
アライメントステージを備えた移動テーブルをガイドレールに沿って走行させ、該移動テーブルの上記アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象に印刷ロールを上方から接触させて印刷処理を行なうときに、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に設けた上記ガイドレールの長手方向に沿う横向きのステージ計測面を、印刷ロールの直下位置付近の側方に上記ガイドレールの長手方向に所要間隔で配設した２つの微小位置センサで検出し、該各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きがゼロとなり、且つ上記各微小位置センサの検出結果を基に計測される上記印刷ロール直下位置での上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置が所定の目標位置に一致するように、上記移動テーブルのアライメントステージを角度調整及び位置調整して、該アライメントステージ上に保持した版又は印刷対象の上記印刷ロールに対する接触位置を補正することを特徴とする印刷位置補正方法。
印刷処理を行なうときにおけるアライメントステージのステージ計測面の検出を、印刷ロールの直下位置より移動テーブル走行方向の上流側と下流側に所要寸法離反する位置の側方に配設した２つの微小位置センサで行うようにする請求項２記載の印刷位置補正方法。
印刷ロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する移動テーブルに、アライメントステージを設けて、該アライメントステージ上に印刷ロールを接触させるための版又は印刷対象を保持できるようにすると共に、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に、上記ガイドレールの長手方向に沿うステージ計測面を横向きに設け、且つ上記印刷ロールの直下位置の側方に上記ステージ計測面を検出するための微小位置センサを設け、更に、上記微小位置センサによる上記ステージ計測面の検出結果を基に該ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を計測し、該計測されたステージ計測面の位置を所定の目標位置に一致させるための位置補正量を算出する機能を有する位置補償演算装置と、該位置補償演算装置により算出される位置補正量に応じて上記移動テーブルのアライメントステージのアライメント駆動機構へ位置の補正指令を与える機能を有する制御器とを備えてなる構成を有することを特徴とする印刷位置補正装置。
印刷ロールの下方に配設してあるガイドレールに沿って走行する移動テーブルに、アライメントステージを設けて、該アライメントステージ上に印刷ロールを接触させるための版又は印刷対象を保持できるようにすると共に、上記アライメントステージにおける上記ガイドレールの長手方向と直交する方向の一端部に、上記ガイドレールの長手方向に沿うステージ計測面を横向きに設け、且つ上記印刷ロールの直下位置付近の側方に、上記ステージ計測面を検出するための２つの微小位置センサを、上記ガイドレールの長手方向所要間隔で設け、更に、上記各微小位置センサによる上記ステージ計測面の検出結果を基に該ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きと、上記印刷ロール直下位置での該ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を計測し、該計測された上記ステージ計測面のガイドレール長手方向からの傾きをゼロとするための角度補正量、及び、上記印刷ロール直下位置での上記ステージ計測面のガイドレール長手方向と直交する方向に関する位置を所定の目標位置に一致させるための位置補正量を算出する機能を有する位置補償演算装置と、該位置補償演算装置により算出される角度補正量及び位置補正量に応じて上記移動テーブルのアライメントステージのアライメント駆動機構へ角度と位置の補正指令を与える機能を有する制御器とを備えてなる構成を有することを特徴とする印刷位置補正装置。
２つの微小位置センサを、印刷ロールの直下位置より移動テーブル走行方向の上流側と下流側に所要寸法離反する位置の側方に配設するようにした請求項５記載の印刷位置補正装置。