TWI598581B - 檢查裝置及檢查方法 - Google Patents

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TWI598581B
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永田泰史
佐佐泰志
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Description

檢查裝置及檢查方法
本發明係關於一種檢測對象物表面之缺陷之技術。
自習知以來，存在有利用將光照射於立體的對象物而進行攝影，並根據攝影圖像來檢查對象物外觀之裝置。例如，日本專利特開2005-17234號公報之外觀檢查裝置，係於檢查電子電路基板上圓頂狀焊料之外觀時，在自圓頂狀焊料之左右兩側照射有平行光之狀態下取得第1圖像，並在自圓頂狀焊料之前後兩側照射有平行光之狀態下取得第2圖像。然後，求取作為第1圖像資料與第2圖像資料之差值之絕對值的合成圖像，而在合成圖像上帶狀之陰影呈放射狀地存在時，檢測出晶片零件對圓頂狀焊料之搭載不良。
此外，在日本專利特開2009-162573號公報之形狀辨識裝置中，設置有對被檢查物進行攝影之攝影機、與以攝影機為中心進行旋轉之照明部，並一邊變更照明部之照明角度一邊依序進行被檢查物之攝影。在該形狀辨識裝置中，由於隨著照明角度之變化，被檢查物上之突起(不良形狀)之影子會產生變化，所以可推斷突起之形狀。
另一方面，藉由鍛造或鑄造所形成之金屬零件(例如汽車零件)，係藉由珠粒噴擊機等來進行表面加工，其表面為分布有微小凹凸之梨皮(pear skin)狀的立體構造。在將如此之金屬零件 作為對象物之外觀檢查中，係藉由作業者之目視來檢測出對象物表面之凹痕或傷痕等缺陷。
然而，在藉由作業者之目視所進行上述對象物之檢查中，即使有規定檢查基準，檢查之精度會在作業者間產生偏差。此外，有可能會因人為上的疏失而看漏了對象物之缺陷。於根據對象物之攝影圖像來檢測缺陷之情形時，由於入射至梨皮狀表面之光會擴散反射(漫反射)，所以攝影圖像之色度值之偏差(濃淡之局部變化)會變大，而檢測出較多的假缺陷。
本發明係適用於檢測對象物表面之缺陷之檢查裝置，其目的在於抑制假缺陷的檢出，並精度良好地檢測出缺陷。
本發明之檢查裝置具備有：攝影部，其藉由對對象物進行攝影來取得攝影圖像；儲存部，其儲存對應於上述攝影圖像之參考圖像；及缺陷檢測部，其將第1缺陷候補區域與第2缺陷候補區域中重複之區域作為缺陷區域來檢出，或者，根據上述攝影圖像及上述參考圖像之差分圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出缺陷區域，該第1缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的差值來檢出，該第2缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出。
根據本發明，可抑制假缺陷的檢出，而精度良好地檢測出缺陷。
本發明一較佳形態，上述缺陷檢測部係將上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述比值之像素限制為上述第1缺陷 候補區域所包含之像素，或者，將上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述差值之像素限制為上述第2缺陷候補區域所包含之像素。藉此，可效率良好地檢測出缺陷。
本發明另一較佳形態，上述第2缺陷候補區域包含有區別為上述攝影圖像之像素之值較上述參考圖像所對應像素之值更低之缺陷候補區域、與更高之缺陷候補區域。
本發明又一較佳形態，上述缺陷檢測部係根據上述攝影圖像各像素之值與對上述攝影圖像實施膨脹處理或收縮處理之圖像所對應像素之值的差值來檢出第3缺陷候補區域，並將上述第1缺陷候補區域、上述第2缺陷候補區域及上述第3缺陷候補區域中重複之區域作為上述缺陷區域來檢出。
在本發明一態樣中，上述對象物係於表面具有梨皮狀之區域。於該情形時，更佳之檢查裝置進一步具備有：第1照明部，其對上述對象物之表面上既定之對象區域照射僅來自一方向之光；第2照明部，其對上述對象區域照射來自複數個方向之光；檢測控制部，其使用藉由來自上述第1照明部之光之照射而在上述攝影部取得之第1攝影圖像與對應於上述第1攝影圖像之第1參考圖像而於上述缺陷檢測部檢出第1缺陷區域，並使用藉由來自上述第2照明部之光之照射而在上述攝影部取得之第2攝影圖像與對應於上述第2攝影圖像之第2參考圖像而於上述缺陷檢測部檢出第2缺陷區域；及缺陷更新部，其將上述第1缺陷區域及上述第2缺陷區域中重複之區域，特定為已更新之缺陷區域。
本發明亦適用於檢測對象物表面之缺陷之檢查方法。本發明之檢查方法具備有：a)藉由在攝影部對對象物進行攝影 來取得攝影圖像之步驟；及b)準備對應於上述攝影圖像之參考圖像，將第1缺陷候補區域與第2缺陷候補區域中重複之區域作為缺陷區域來檢出，或者，根據上述攝影圖像及上述參考圖像之差分圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出缺陷區域之步驟，該第1缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值及上述參考圖像所對應像素之值的差值來檢出，該第2缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值及上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出。
上述目的及其他之目的、特徵、態樣及優點，係藉由參照所附圖式以及以下所進行本發明之詳細說明而明確化。
1‧‧‧檢查裝置
2‧‧‧載台
3‧‧‧攝影單元
4‧‧‧光源單元
9‧‧‧對象物
11‧‧‧本體
12‧‧‧電腦
21‧‧‧載台轉動部
30‧‧‧攝影部
31‧‧‧上方攝影部
32‧‧‧斜向攝影部(注目攝影部)
33‧‧‧側向攝影部
41‧‧‧上方光源部
42‧‧‧斜向光源部
43‧‧‧側向光源部
51‧‧‧第1照明部
52‧‧‧第2照明部
60‧‧‧控制部
61‧‧‧運算部
62‧‧‧缺陷檢測部
63‧‧‧缺陷更新部
64‧‧‧檢測控制部
69‧‧‧儲存部
71‧‧‧真缺陷區域
73、74‧‧‧缺陷候補區域
75‧‧‧重複候補區域
76‧‧‧第2缺陷區域
77‧‧‧第1缺陷區域
78‧‧‧特定缺陷區域
620、633‧‧‧面積過濾部
621‧‧‧過濾處理部
622‧‧‧預對準部
623‧‧‧搖晃比較部
624‧‧‧膨脹處理部
625‧‧‧收縮處理部
626‧‧‧比較部
627、632‧‧‧邏輯和運算部
628、631‧‧‧邏輯積運算部
629‧‧‧減低誤報處理部
691‧‧‧第1參考圖像資料
692‧‧‧第2參考圖像資料
J1‧‧‧中心軸
K2、K3‧‧‧攝影光軸
R1‧‧‧第1判斷範圍
R2‧‧‧第2判斷範圍
S11~21、S31~34‧‧‧步驟
θ2、θ3‧‧‧角度
圖1係顯示檢查裝置之構成之圖。
圖2係顯示檢查裝置之本體之俯視圖。
圖3係顯示電腦所實現之功能構成之方塊圖。
圖4係顯示對象物檢查之處理流程之圖。
圖5係顯示第1攝影圖像之圖。
圖6係顯示第1攝影圖像之圖。
圖7係顯示第1攝影圖像之圖。
圖8係顯示第2攝影圖像之圖。
圖9係顯示缺陷檢測部之構成之圖。
圖10係顯示檢測缺陷之處理流程之圖。
圖11係顯示根據差值之缺陷候補圖像之圖。
圖12係顯示根據自我比較之缺陷候補圖像之圖。
圖13係顯示重複候補區域圖像之圖。
圖14係顯示缺陷區域圖像之圖。
圖15係顯示第1缺陷區域圖像之圖。
圖16係顯示缺陷更新部之構成之圖。
圖17係顯示特定缺陷區域圖像之圖。
圖18係顯示檢查裝置之其他例之圖。
圖1係顯示本發明一實施型態之檢查裝置1之構成之圖。圖2係顯示檢查裝置1之本體11之俯視圖。檢查裝置1係對表面具有光澤之立體的對象物9之外觀進行檢查之裝置。對象物9例如為由鍛造或鑄造所形成之金屬零件，其表面為具有微小凹凸之梨皮狀。對象物9例如為使用於萬向接頭之各種零件(圓筒形之輪轂之軸或外輪、軛部等)。
如圖1所示，檢查裝置1具備有：本體11、及電腦12。本體11具備有：載台2、載台轉動部21、攝影單元3、及光源單元4。對象物9係載置於載台2上。載台轉動部21係以朝向上下方向之中心軸J1為中心，將對象物9與載台2一起僅轉動既定之角度。中心軸J1係通過載台2之中央。於本體11，設置有省略圖示之防止外部之光到達載台2上之遮光罩，而載台2、攝影單元3及光源單元4係設置於遮光罩內。
如圖1及圖2所示，攝影單元3具備有：1個上方攝影部31、4個斜向攝影部32、及4個側向攝影部33。在圖2中，省略上方攝影部31之圖示(在後述之上方光源部41時也相同)。上方攝影部31係在載台2之上方被配置於中心軸J1上。可藉由上方 攝影部31取得自正上方對載台2上之對象物9所攝影之圖像。
如圖2所示，於自上側朝向下方觀察本體11之情形時(亦即，於俯視本體11之情形時)，4個斜向攝影部32係配置於載台2之周圍。4個斜向攝影部32係沿以中心軸J1為中心之圓周方向，以90°之角度間隔(間距)排列。在包含各斜向攝影部32之攝影光軸K2與中心軸J1之面上(參照圖1)，攝影光軸K2與中心軸J1所成之角度θ2大致為45°。可藉由各斜向攝影部32取得自斜上方對載台2上之對象物9所攝影之圖像。
於俯視本體11之情形時，4個側向攝影部33亦與4個斜向攝影部32相同地，被配置於載台2之周圍。4個側向攝影部33係以90°之角度間隔排列在圓周方向上。在包含各側向攝影部33之攝影光軸K3與中心軸J1之面上，攝影光軸K3與中心軸J1所成之角度θ3大致為90°。可藉由各側向攝影部33取得自橫向對載台2上之對象物9所攝影之圖像。上方攝影部31、斜向攝影部32及側向攝影部33例如具有電荷耦合元件(CCD；Charge Coupled Device)或互補式金屬氧化物半導體(CMOS；Complementary Metal-Oxide Semiconductor)等，可取得多色度之圖像。上方攝影部31、斜向攝影部32及側向攝影部33係由省略圖示之支撐部所支撐。
光源單元4具備有：1個上方光源部41、8個斜向光源部42、及8個側向光源部43。上方光源部41係呈以中心軸J1為中心之環狀地排列有複數個LED(發光二極體)之光源部。環狀之上方光源部41係以包圍上方攝影部31周圍之方式，被固定於上方攝影部31。藉由上方光源部41，可對載台2上之對象物9自正上方沿著平行於中心軸J1之方向照射光。
於俯視本體11之情形時，8個斜向光源部42係配置於載台2之周圍。8個斜向光源部42係沿圓周方向以45°之角度間隔排列。各斜向光源部42係呈朝以中心軸J1為中心之圓周之切線方向伸長之棒狀地排列有複數個LED之光源部。若將各斜向光源部42出射面之中央與對象物9(之中心)所連接之線稱為「照明軸」，則在包含該斜向光源部42之照明軸與中心軸J1之面上，該照明軸與中心軸J1所成之角度大致為45°。各斜向光源部42可對載台2上之對象物9，自斜上方沿著該照明軸照射光。在檢查裝置1中，8個斜向光源部42中之4個斜向光源部42係分別被固定於4個斜向攝影部32，而剩餘之4個斜向光源部42係由省略圖示之支撐部所支撐。
於俯視本體11之情形時，8個側向光源部43係配置於載台2之周圍。8個側向光源部43係沿圓周方向以45°之角度間隔排列。各側向光源部43係呈朝以中心軸J1為中心之圓周之切線方向伸長之棒狀地排列有複數個LED之光源部。與斜向光源部42相同地，若將各側向光源部43出射面之中央與對象物9所連接之線稱為「照明軸」，則在包含該側向光源部43之照明軸與中心軸J1之面上，該照明軸與中心軸J1所成之角度大致為90°。各側向光源部43可對載台2上之對象物9自橫向沿著該照明軸照射光。在檢查裝置1中，8個側向光源部43中之4個側向光源部43係分別被固定於4個側向攝影部33，而剩餘之4個側向光源部43係由省略圖示之支撐部所支撐。
例如，上方攝影部31及上方光源部41與對象物9間的距離係約為55cm(公分)。而且，斜向攝影部32及斜向光源部42 與對象物9間的距離大約為50cm，而側向攝影部33及側向光源部43與對象物9間的距離約為40cm。上方光源部41、斜向光源部42及側向光源部43亦可使用LED以外種類的光源。
圖3係顯示電腦12所實現之功能構成之方塊圖。在圖3中，本體11之構成(載台轉動部21、攝影單元3及光源單元4)亦以方塊來顯示。電腦12具備有：控制部60、運算部61及儲存部69。控制部60係負責檢查裝置1之整體控制。運算部61具備有：缺陷檢測部62、缺陷更新部63及檢測控制部64。缺陷檢測部62係根據由攝影單元3所取得之攝影圖像來檢出缺陷區域。檢測控制部64係分別對拍攝相同區域所得之複數個攝影圖像而於缺陷檢測部62檢出缺陷區域。缺陷更新部63係自複數個攝影圖像之缺陷區域，進一步特定出最終之缺陷區域。儲存部69係儲存各種圖像資料。關於缺陷檢測部62、檢測控制部64及缺陷更新部63之細節係於後述。
圖4係顯示藉由檢查裝置1對對象物9檢查之處理流程之圖。首先，將檢查對象之對象物9載置於載台2上(步驟S11)。於載台2上，例如設置有定位用之複數根銷，並藉由使對象物9預定之部位抵接於該複數根銷，而於載台2上之既定位置將對象物9朝既定之方向配置。接著，控制部60可根據由操作者所輸入之資料等，來取得對載台2上之對象物9之攝影設定資訊(步驟S12)。此處，攝影設定資訊係表示在攝影單元3中所使用之攝影部(以下稱為「選擇攝影部」)，以及於藉由該選擇攝影部取得攝影圖像時，在光源單元4進行點燈之光源部。
本處理例之攝影設定資訊係表示將攝影單元3中4個 斜向攝影部32作為選擇攝影部來使用。而且，該攝影設定資訊係對作為選擇攝影部的各斜向攝影部32下達如下之指示：取得分別將與該斜向攝影部32相同位置之斜向光源部42、相對於該斜向光源部42而順時針地鄰接之2個斜向光源部42、及逆時針地相鄰接之2個斜向光源部42(以下，將該等斜向光源部42稱為「特定光源部群」)進行點燈之圖像，並且，取得將特定光源部群之全部進行點燈之圖像。於自上側朝向下方觀察本體11之情形時，相對於各斜向攝影部32之特定光源部群所包含5個斜向光源部42之照明軸，係相對於該斜向攝影部32之攝影光軸K2，僅分別傾斜-90°、-45°、0°、+45°及+90°。亦即，該5個斜向光源部42係沿以中心軸J1為中心之圓周方向而位在分別相對於該斜向攝影部32，-90°、-45°、0°、+45°及+90°之角度位置。
若取得相對於對象物9之攝影設定資訊，則於分別為選擇攝影部之複數個斜向攝影部32中，指定一斜向攝影部32作為注目攝影部(步驟S13)。接著，一邊僅將相對於注目攝影部32之特定光源部群中之一斜向光源部42進行點燈，一邊於注目攝影部32取得攝影圖像。此時，將對象物9之表面上大致對向於注目攝影部32之區域設為「對象區域」，而對對象區域自該斜向光源部42沿著其照明軸照射光。如此，相對於對象區域，一邊藉由特定光源部群所包含一斜向光源部42而僅自一方向照射光，一邊藉由注目攝影部32對對象區域進行攝影。於以下之說明中，將藉由僅來自一光源部之光之照射而於注目攝影部取得之攝影圖像稱為「第1攝影圖像」，並將取得第1攝影圖像時，對對象區域照射光之光源部稱為「第1照明部」。在藉由僅來自一方向之光之照射所取得之第1攝 影圖像中，容易產生由對象區域之微小凹凸所造成的影子。
在檢查裝置1中，藉由控制部60之控制，將特定光源部群所包含之複數個斜向光源部42分別作為第1照明部而依序地使用，藉此在注目攝影部32取得複數個第1攝影圖像(步驟S14)。如上所述，特定光源部群包含有相對於注目攝影部32，-90°、-45°、0°、+45°及+90°之角度位置之斜向光源部42。若將相對於注目攝影部N°之角度位置之光源部作為第1照明部所取得之第1攝影圖像稱為「由N°之照明所得之第1攝影圖像」，則在上述步驟S14中，可取得由-90°之照明所得之第1攝影圖像、由-45°之照明所得之第1攝影圖像、由0°之照明所得之第1攝影圖像、由+45°之照明所得之第1攝影圖像，及由+90°之照明所得之第1攝影圖像。特定光源部群所包含之複數個斜向光源部42，可當作用於複數個第1攝影圖像之取得的複數個第1照明部。此外，特定光源部群所包含之各斜向光源部42未必會將光照射於對象區域之整體，例如-90°之角度位置之斜向光源部42係將光照射於對象區域之大致一半。可作為第1照明部來使用之光源部，只要對對象區域中可進行光之照射之區域之各個位置，僅自一方向照射光即可。
接著，一邊將相對於注目攝影部32之特定光源部群所包含全部之斜向光源部42進行點燈，一邊於注目攝影部32取得攝影圖像(步驟S15)。此時，自相對於注目攝影部32，-90°、-45°、0°、+45°及+90°之角度位置之複數個斜向光源部42，沿著照明軸而對對象區域照射光。如此，相對於對象區域，可一邊藉由複數個斜向光源部42而自互不相同之複數個方向照射光，一邊藉由注目攝影部32對對象區域進行攝影。在以下之說明中，將藉由來自特定 光源部群所包含全部之光源部之光之照射而於注目攝影部所取得之攝影圖像稱為「第2攝影圖像」，並將於取得第2攝影圖像時，對對象物9照射光之所有光源部之集合稱為「第2照明部」。
如上所述，雖然特定光源部群所包含之各斜向光源部42未必會將光照射於對象區域之整體，但藉由第2照明部而對對象區域之各個位置，至少會自2個斜向光源部42，即至少會自2個方向照射光。在本處理例中，對對象區域之各個位置，至少會自3個斜向光源部照射光。在藉由來自複數個方向之光之照射所取得之第2攝影圖像中，難以產生由對象區域之微小凹凸所造成的影子。在檢查裝置1中，自特定光源部群所包含複數個斜向光源部42所出射之光之強度大致相同。而且，在取得第2攝影圖像時來自各斜向光源部42之光之強度，小於在取得第1攝影圖像時來自該斜向光源部42之光之強度。
圖5至圖7係顯示第1攝影圖像之一例之圖。圖5係顯示由-90°之照明所得之第1攝影圖像，圖6係顯示由-45°之照明所得之第1攝影圖像，圖7係顯示由0°之照明所得之第1攝影圖像。圖8係顯示第2攝影圖像之一例之圖。如上所述，藉由來自第2照明部之光之照射，亦即，藉由-90°、-45°、0°、+45°及+90°之所有照明，取得第2攝影圖像。在圖5至圖8中，對顯示對象物9之背景之區域標示平行斜線。在第1及第2攝影圖像中，顯示像素之值(色度值；gradation value)越高，該像素越明亮。
此處，於顯示攝影圖像中對象區域呈凹狀或凸狀之缺陷(例如，較梨皮狀之表面上微小的凹凸足夠大的凹狀或凸狀之缺陷)之缺陷區域中，一般藉由自某方向所照射之光，對於周圍之區 域明亮度之差異會變大。再者，根據缺陷之形狀(凹陷之角度等)，自其他方向所照射之光，對於周圍區域之缺陷區域明亮度之差異會變很微小。在圖5至圖8之例中，由-45°之照明所得之缺陷區域係相對於周圍之區域為可加以區別之明亮度，而其他方向之照明，則難以區別缺陷區域。因此，在由-45°之照明所得圖6之第1攝影圖像及由-90°、-45°、0°、+45°及+90°之所有照明所得圖8之第2攝影圖像中，缺陷區域(為了與後述之假缺陷區域做區別，以下稱為「真缺陷區域」)係相對於周圍之區域為可加以區別之明亮度。在圖6之第1攝影圖像及圖8之第2攝影圖像中，將真缺陷區域71完全塗黑。當然，其他之真缺陷區域71亦可存在於其他之第1攝影圖像及第2攝影圖像中。
而且，在複數個第1攝影圖像及第2攝影圖像中，由於對象區域梨皮狀之表面，使相對於周圍之區域明亮度不同之區域不規則地存在。如後述，在根據攝影圖像之檢查中，將攝影圖像與其他圖像相比較，比較的結果，於攝影圖像及該其他圖像中，上述區域(明亮度相異之區域)可作為假缺陷區域而被檢出。於第2攝影圖像中，由於與第1攝影圖像照明之狀態不同，因此產生假缺陷區域之位置與第1攝影圖像並不一定會一致。藉由特定光源部群所包含各斜向光源部42之照明所得之複數個第1攝影圖像，以及藉由特定光源部群所包含所有斜向光源部42之照明所得之第2攝影圖像，被輸入至圖3之運算部61之缺陷檢測部62。
另一方面，在儲存部69中預先儲存有對應於各第1攝影圖像之第1參考圖像，及對應於第2攝影圖像之第2參考圖像。此處，對應於各第1攝影圖像之第1參考圖像係表示以與該第1攝 影圖像相同之條件所取得，且不含缺陷之對象區域之圖像。第1參考圖像例如係藉由對不含缺陷之對象物進行與上述步驟S14相同之處理而取得，並作為第1參考圖像資料691而被儲存於儲存部69。亦可藉由對各第1攝影圖像進行既定之處理，而生成對應於該第1攝影圖像之第1參考圖像。對應於第2攝影圖像之第2參考圖像也相同，作為第2參考圖像資料692而被儲存於儲存部69。第1參考圖像及第2參考圖像係利用於缺陷檢測部62之處理。
圖9係顯示缺陷檢測部62之構成之圖，圖10係顯示缺陷檢測部62檢測缺陷之處理流程之圖。在缺陷檢測部62中，由於對複數個第1攝影圖像及第2攝影圖像進行相同之處理，因此在以下之說明中，將複數個第1攝影圖像及第2攝影圖像之各者簡稱為「攝影圖像」，並將對應於該攝影圖像之第1或第2參考圖像簡稱為「參考圖像」。
在2個過濾處理部621中，分別對攝影圖像及參考圖像，進行中值過濾或高斯過濾等減低雜訊之過濾處理，經過濾處理之攝影圖像及參考圖像被輸出至預對準部622。在預對準部622中，藉由利用既定圖案之圖形匹配，特定出對(經過濾處理之)參考圖像之攝影圖像之相對位置及角度之偏移量。然後，藉由將參考圖像相對於攝影圖像僅平行移動及旋轉兩圖像間之位置及角度之偏移量，使參考圖像之位置及角度與攝影圖像一致(即進行預對準)。
在搖晃比較部623中，可求得表示將參考圖像自相對於攝影圖像之預對準結束後之位置，分別移動至二維排列之複數個位置時之移動後之參考圖像與攝影圖像之差異之評價值(例如，在兩圖像重疊之區域中像素之值的差值(絕對值)之合計)。然後，將表 示評價值成為最小之位置中兩圖像之像素之值的差值(絕對值)之圖像，以既定之閾值予以二值化，而生成二值之缺陷候補圖像。再者，亦可於對表示差值之圖像實施既定之處理後，將該圖像予以二值化(以下相同)。如此，在搖晃比較部623中，根據攝影圖像之各像素之值與參考圖像所對應像素之值的差值，生成表示在對象區域中缺陷候補之區域之缺陷候補圖像(以下，稱為「根據差值之缺陷候補圖像」)(步驟S31)。換言之，檢測出對象區域中根據差值之缺陷候補區域。
圖11係顯示自圖8之第2攝影圖像所導引之根據差值之缺陷候補圖像之圖。圖11之根據差值之缺陷候補圖像，係表示根據差值之缺陷候補區域73之二值圖像，而根據差值之缺陷候補區域73除圖8之真缺陷區域71外，還包含有起因於攝影圖像或參考圖像之複數個假缺陷區域。
另一方面，自預對準部622所輸出之攝影圖像，亦被輸入至膨脹處理部624、收縮處理部625及2個比較部626。在膨脹處理部624中，藉由使既定尺寸之最大值過濾器對攝影圖像發揮作用，而進行在多色度之攝影圖像中使像素之值較高之區域實質地膨脹之膨脹處理。藉由膨脹處理，可除去或減低像素之值較低之區域。經膨脹處理之攝影圖像被輸出至一比較部626。在該比較部626中，生成表示輸入自預對準部622之攝影圖像與經膨脹處理之攝影圖像間之像素之值的差值(絕對值)之圖像。該圖像係以既定之閾值予以二值化，而生成表示缺陷候補之區域之二值的圖像(以下，稱為「第1中間圖像」)。
在收縮處理部625中，藉由使既定尺寸之最小值過濾 器對攝影圖像發揮作用，而進行在多色度之攝影圖像中使像素之值較高之區域實質地收縮之收縮處理。藉由收縮處理，可除去或減低像素之值較高之區域。經收縮處理之攝影圖像被輸出至另一比較部626。在該比較部626中，生成表示輸入自預對準部622之攝影圖像與經收縮處理之攝影圖像間之像素之值的差值(絕對值)之圖像。該圖像係以既定之閾值予以二值化，而生成表示缺陷候補之區域之二值的圖像(以下，稱為「第2中間圖像」)。
對邏輯和運算部627，自一比較部626輸入有第1中間圖像各像素之值，並自另一比較部626輸入有與該像素相同位置之第2中間圖像之像素之值。然後，可求得第1中間圖像各像素之值與第2中間圖像所對應像素之值之邏輯和。因此，於將第1中間圖像與第2中間圖像正確地重疊之情形時，在邏輯和運算部627中，相對於第1中間圖像與第2中間圖像中之任一者之缺陷候補之區域所包含之像素(之位置)，輸出表示缺陷候補區域之值。而且，相對於未包含在第1中間圖像與第2中間圖像中之任一者之缺陷候補之區域之像素，則輸出表示非缺陷區域之值。如此，藉由膨脹處理部624、收縮處理部625、2個比較部626及邏輯和運算部627協同運作，而根據攝影圖像各像素之值與對該攝影圖像實施膨脹處理或收縮處理之圖像所對應像素之值的差值，來生成表示對象區域中缺陷候補之區域之缺陷候補圖像(以下，稱為「根據自我比較之缺陷候補圖像」)(步驟S32)。換言之，檢測出對象區域中根據自我比較之缺陷候補區域。
圖12係顯示自圖8之第2攝影圖像所導引之根據自我比較之缺陷候補圖像之圖。圖12之根據自我比較之缺陷候補圖 像，係表示根據自我比較之缺陷候補區域74之二值圖像，而根據自我比較之缺陷候補區域74除圖8之真缺陷區域71外，還包含有起因於攝影圖像、或者經膨脹處理之攝影圖像或經收縮處理之攝影圖像之複數個假缺陷區域。在圖11之根據差值之缺陷候補區域73與圖12之根據自我比較之缺陷候補區域74間，存在有互不相同之部分。
對邏輯積運算部628，自搖晃比較部623輸入有根據差值之缺陷候補圖像各像素之值，並自邏輯和運算部627輸入有根據自我比較之缺陷候補圖像所對應之像素之值。然後，可求得兩圖像中相同位置之像素之值的邏輯積，並輸出至減低誤報處理部629。因此，邏輯積運算部628，係於正確地重疊兩圖像之情形時，相對於根據差值之缺陷候補區域73與根據自我比較之缺陷候補區域74重疊之區域之像素，輸出表示重複之缺陷候補區域(以下，稱為「重複候補區域」)之值。而且，相對於根據差值之缺陷候補區域73與根據自我比較之缺陷候補區域74不重疊之區域之像素，則輸出表示非缺陷區域之值。如此一來，可取得將根據差值之缺陷候補區域73及根據自我比較之缺陷候補區域74中重複之區域，作為重複候補區域來表示之重複候補區域圖像(步驟S33)。
圖13係顯示自圖11之根據差值之缺陷候補圖像及圖12之根據自我比較之缺陷候補圖像所導引之重複候補區域圖像之圖。圖13顯示重複候補區域圖像之重複候補區域75之面積，分別小於圖11中根據差值之缺陷候補區域73之面積及圖12中根據自我比較之缺陷候補區域74之面積。而且，存在於根據差值之缺陷候補圖像及根據自我比較之缺陷候補圖像雙方之圖8之真缺陷區域 71所對應之區域，係作為重複候補區域75而被檢出。
在減低誤報處理部629中，藉由將重複候補區域75所包含攝影圖像各像素之值除以參考圖像所對應像素之值，可求得兩像素之值的比(比值)。然後，於該比值包含於具有比1更小之下限值及上限值之既定之第1判斷範圍之情形時，對該像素(之位置)賦予表示暗缺陷區域之值。於該比之值包含於具有比1更大之下限值及上限值之既定之第2判斷範圍之情形時，對該像素賦予表示明缺陷區域之值。於該比之值不包含於第1判斷範圍及第2判斷範圍中之任一者之像素，並且，不包含於重複候補區域75之像素時，賦予表示非缺陷區域之值。如此一來，可取得表示包含於第1判斷範圍之暗缺陷區域、及包含於第2判斷範圍之明缺陷區域之三值圖像。例如，第1判斷範圍R1係(0.1<R1<0.8)，而第2判斷範圍R2係(1.2<R2<2.5)。第1判斷範圍R1及第2判斷範圍R2可適當地予以變更。
上述第1判斷範圍及第2判斷範圍，係用以根據攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的比值來檢出缺陷候補區域之範圍。因此，減低誤報處理部629之上述處理，係可將根據攝影圖像與參考圖像之間之上述比值所檢出之缺陷候補區域及重複候補區域75中重複之區域當作缺陷區域來檢測之處理。
面積過濾部620，在該三值圖像中，於具有表示暗缺陷區域之值，並且使相互連接之像素之集合被特定為暗缺陷區域，且該暗缺陷區域之面積未滿既定之面積閥值之情形時，使包含於該暗缺陷區域之像素之值變更(修正)為表示非缺陷區域之值。相同地，於具有表示明缺陷區域之值，並且相互連接之像素之集合被特 定為明缺陷區域，且該明缺陷區域之面積未滿既定之面積閥值之情形時，使包含於該明缺陷區域之像素之值變更為表示非缺陷區域之值。具有面積閥值以上之面積之暗缺陷區域及明缺陷區域之像素的值係維持原樣。藉此，可相對於注目攝影部32之對象區域取得表示經面積過濾之缺陷區域之缺陷區域圖像(步驟S34)。在以下之處理中，缺陷區域圖像被當作將明缺陷區域及暗缺陷區域一起作為缺陷區域而表示之二值圖像來處理，並另外製作表示各缺陷區域為明缺陷區域或暗缺陷區域中之何者之缺陷區域資訊。
圖14係顯示自圖13之重複候補區域圖像所導引之缺陷區域圖像之圖。圖14之缺陷區域圖像所表示缺陷區域76之面積，係小於圖13中重複候補區域75之面積。實際上，由於對應於真缺陷區域71之區域被維持為缺陷區域76，因此藉由減低誤報處理部629之處理，而可減少假缺陷區域(誤報)。
由缺陷檢測部62所進行之上述處理，係藉由檢測控制部64之控制，對複數個第1攝影圖像及第2攝影圖像之全部來進行。因此，在缺陷檢測部62中，藉由使用各第1攝影圖像與對應於該第1攝影圖像之第1參考圖像，可生成表示第1缺陷區域之第1缺陷區域圖像，從而檢出第1缺陷區域(圖4：步驟S16)。而且，藉由使用第2攝影圖像與對應於該第2攝影圖像之第2參考圖像，可生成表示第2缺陷區域之第2缺陷區域圖像，從而檢出第2缺陷區域(步驟S17)。將從由N°之照明所得之第1攝影圖像取得之第1缺陷區域圖像稱為「由N°之照明所得之第1缺陷區域圖像」，在上述步驟S16中，可取得由-90°之照明所得之第1缺陷區域圖像、由-45°之照明所得之第1缺陷區域圖像、由0°之照明所得之第1缺陷 區域圖像、由+45°之照明所得之第1缺陷區域圖像、及由+90°之照明所得之第1缺陷區域圖像。
圖15係顯示自圖6之第1攝影圖像所導引之由-45°之照明所得之第1缺陷區域圖像之圖。圖15之第1缺陷區域圖像係表示第1缺陷區域77，且第1缺陷區域77包含有圖6之真缺陷區域71。另一方面，前述之圖14係顯示自圖8之第2攝影圖像所導引之由-90°、-45°、0°、+45°、+90°之所有照明所得之第2缺陷區域圖像。圖14之第2缺陷區域圖像係表示第2缺陷區域76，且第2缺陷區域76包含有圖8之真缺陷區域71。複數個第1缺陷區域圖像及第2缺陷區域圖像被輸出至缺陷更新部63。
圖16係顯示缺陷更新部63之構成之圖。缺陷更新部63係將自複數個攝影圖像所導引之缺陷區域之一部分特定為特定缺陷區域。具體而言，對複數個邏輯積運算部631，分別依序輸入由-90°、-45°、0°、+45°、+90°之照明所得複數個第1缺陷區域圖像之像素之值。再者，對複數個邏輯積運算部631亦依序輸入第2缺陷區域圖像之像素之值。然後，在各邏輯積運算部631，可求得第2缺陷區域圖像各像素之值與第1缺陷區域圖像所對應像素之值的邏輯積，並輸出至邏輯和運算部632。因此，各邏輯積運算部631係於正確地重疊第2缺陷區域圖像與第1缺陷區域圖像之情形時，相對於第2缺陷區域76與第1缺陷區域77重疊之區域之像素，輸出表示特定缺陷區域之值。而且，相對於第2缺陷區域76與第1缺陷區域77不重疊之區域之像素(即，剩下之所有像素)，輸出表示非缺陷區域之值。如此一來，第2缺陷區域76及第1缺陷區域77中重複之區域，係實質地被特定為對象區域之特定缺陷區域。
在邏輯和運算部632，可求得相對於第2缺陷區域圖像之各像素而輸入自複數個邏輯積運算部631之值之邏輯和，並輸出至面積過濾部633。亦即，相對於第2缺陷區域圖像之各像素，於自任一項之邏輯積運算部631輸入有表示特定缺陷區域之值之情形時，表示特定缺陷區域之值被輸出至面積過濾部633，而於自全部之邏輯積運算部631輸入有表示非缺陷區域之值之情形時，表示非缺陷區域之值被輸出至面積過濾部633。在面積過濾部633，生成將相對於第2缺陷區域圖像之各像素而輸入自邏輯和運算部632之值，作為該畫素之位置之值的圖像。然後，在該圖像中，於具有表示特定缺陷區域之值，並且相互連接之像素之集合被特定為特定缺陷區域，而該特定缺陷區域之面積未滿既定之面積閥值之情形時，該特定缺陷區域所包含之像素之值被變更為表示非缺陷區域之值。具有面積閥值以上之面積之特定缺陷區域之像素的值係維持原狀。藉此，如圖17所示，相對於注目攝影部32之對象區域，可取得表示特定缺陷區域78之特定缺陷區域圖像(步驟S18)。特定缺陷區域78可將圖14之第2缺陷區域76及圖15之第1缺陷區域77之各者，認定為已更新之缺陷區域。特定缺陷區域78之位置係與圖6及圖8之真缺陷區域71一致。
在控制部60，可確認是否已將所有的選擇攝影部指定為注目攝影部。此處，由於存在有作為注目攝影部之未指定之選擇攝影部(步驟S19)，因此另一斜向攝影部32被指定為注目攝影部(步驟S13)。如上所述，於自上側朝向下方觀察本體11之情形時(參照圖2)，由於4個斜向攝影部32係沿圓周方向以90°之角度間隔排列，因此未取得特定缺陷區域圖像之對象物9之區域，係成為相對 於新的注目攝影部32之對象區域。
若注目攝影部32被指定，則設為與上述相同，可取得相對於對象區域而由-90°、-45°、0°、+45°、+90°之照明所得之5個第1攝影圖像(步驟S14)，接著，取得由-90°、-45°、0°、+45°、+90°之所有照明所得之第2攝影圖像(步驟S15)。藉由使用各第1攝影圖像與對應於該第1攝影圖像之第1參考圖像，生成第1缺陷區域圖像(步驟S16)，並藉由使用第2攝影圖像與對應於該第2攝影圖像之第2參考圖像，生成第2缺陷區域圖像(步驟S17)。而且，自複數個第1缺陷區域圖像及第2缺陷區域圖像，取得相對於對象區域之特定缺陷區域圖像(步驟S18)。
在檢查裝置1，將所有選擇攝影部作為注目攝影部，進行與上述特定缺陷區域圖像之取得相關之處理(步驟S19)。藉此，相對於在對象物9沿圓周方向以90°之角度間隔排列之4個對象區域之各者，取得特定缺陷區域圖像。
接著，在控制部60，確認是否已將載台2轉動既定次數。此處，由於未進行載台2之轉動(步驟S20)，因此載台轉動部21係使載台2以中心軸J1作為中心僅轉動45°(步驟S21)。藉此，在上述4個對象區域中沿圓周方向相互鄰接之2個對象區域之各組合中，該2個對象區域之間之區域係與某一個斜向攝影部32相對向。而且，與上述相同地，重複步驟S13~S18(步驟S19)。其結果，相對於在對象物9沿圓周方向以45°之角度間隔排列之8個對象區域之各者，取得特定缺陷區域圖像。8個對象區域由於遍及圓周方向之全周而連續，因此可遍及圓周方向之全周而檢出對象物9之缺陷。8個對象區域也可互相局部地重疊。在控制部60，確認已將載 台2僅轉動既定次數，並結束對象物9之檢查(步驟S20)。
在上述處理例中，雖然已針對關於將4個斜向攝影部32指定為選擇攝影部，並將位於相對於選擇攝影部即各斜向攝影部32，-90°、-45°、0°、+45°、+90°之角度位置之斜向光源部42作為特定光源部群來利用之情形進行說明，但選擇攝影部及特定光源部群也可為其他之組合。例如，亦可將4個側向攝影部33指定為選擇攝影部，並將位於相對於選擇攝影部即各側向攝影部33，-90°、-45°、0°、+45°、+90°之角度位置之側向光源部43作為特定光源部群來利用。而且，可相對於選擇攝影部即斜向攝影部32而將複數個側向光源部43作為特定光源部群來利用，並可相對於選擇攝影部即側向攝影部33而將複數個斜向光源部42作為特定光源部群來利用。
此外，可將上方攝影部31指定為選擇攝影部，並可將上方光源部41作為特定光源部群之一來利用。依據對象物9之種類，可僅將位於相對於選擇攝影部-45°、0°、及+45°之角度位置之光源部作為特定光源部群來利用。特定光源部群也可包含上方光源部41、斜向光源部42及側向光源部43。相對於各選擇攝影部而作為特定光源部群來利用之光源部之個數，較佳為3個以上(例如5個以下)。在檢查裝置1，將各種攝影部指定為選擇攝影部，並相對於各選擇攝影部而將各種複數個光源部作為特定光源部群來利用，藉此可進行高精度的缺陷檢測。
此處，於由攝影部所取得之攝影圖像中，由於像素之值較高且明亮之區域，主要係藉由來自光源部之光在對象物9表面之正反射成分所形成，因此藉由對象物9表面之微細凹凸之影響， 像素之值容易大幅地變化。亦即，在明亮區域中，易受到梨皮狀表面之影響，而易於產生假缺陷。另一方面，像素之值較低而較暗之區域，主要係藉由來自光源部之光在對象物9表面之漫反射成分所形成，因此受對象物9表面之微細凹凸之影響，像素之值難以改變。亦即，在較暗之區域，不易受到梨皮狀表面之影響，而不易產生假缺陷。
在檢查裝置1之缺陷檢測部62中，根據攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的差值，可檢出缺陷候補區域，而根據該缺陷候補區域所包含攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的比值，可檢出缺陷區域。因此，例如即便在攝影圖像與參考圖像之間像素之值的差值相同之缺陷候補區域，基準之參考圖像之像素之值較高的缺陷候補區域，係相較於參考圖像之像素之值較低的缺陷候補區域，像素之值之比值更靠近於1(可認定為像素之值的差值之影響度小)，而可將如此之缺陷候補區域當作表示假缺陷之可能性較高者而予以排除等。其結果，缺陷檢測部62係適當地去除對象物9之梨皮狀表面上微小之凹凸所導致之假缺陷區域，亦即，可抑制假缺陷的檢出，而精度良好地檢出缺陷(真缺陷)。
缺陷檢測部62可進一步檢出根據自我比較之缺陷候補區域，並檢出根據差值之缺陷候補區域，及根據自我比較之缺陷候補區域中重複之區域，來作為重複候補區域。然後，根據重複候補區域所包含之攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的比值，來檢出缺陷區域。藉此，可進一步抑制假缺陷的檢出，而精度更良好地檢出缺陷。而且，藉由將根據上述比值所檢出之缺陷 區域，區別為攝影圖像之像素之值較參考圖像所對應像素之值更低之缺陷候補區域，與更高之缺陷候補區域而加以包含，可區別明缺陷及暗缺陷而進行處理。
在檢查裝置1中，設置有分別自複數個方向對與攝影部對向之對象區域照射光之複數個光源部，藉由來自複數個光源部中之一個光源部之光的照射而於攝影部取得第1攝影圖像，並藉由來自複數個光源部之光的照射而於攝影部取得第2攝影圖像。而且，使用第1攝影圖像與對應於該第1攝影圖像之第1參考圖像來檢出第1缺陷區域，並使用第2攝影圖像與對應於該第2攝影圖像之第2參考圖像來檢出第2缺陷區域。然後，第1缺陷區域及第2缺陷區域中重複之區域，被特定為對象區域中已更新之缺陷區域(特定缺陷區域)。藉此，可進一步抑制假缺陷的檢出，而精度更良好地檢出缺陷。
此外，在對象物9之檢查中，藉由分別依序使用複數個光源部，可在攝影部取得複數個第1攝影圖像。而且，藉由分別比較該複數個第1攝影圖像與對應於該複數個第1攝影圖像之複數個第1參考圖像，可生成分別表示第1缺陷區域之複數個第1缺陷區域圖像。然後，各第1缺陷區域圖像所表示之第1缺陷區域及第2缺陷區域中重複之區域被特定為對象區域中已更新之缺陷區域。如此，相對於一對象區域(一攝影部之攝影位置)使用複數個光源部來取得複數個第1攝影圖像，並根據該複數個第1攝影圖像來檢出該對象區域之缺陷區域，藉此可更穩定地(更確實地)檢出對象物9表面上之缺陷。
在檢查裝置1中，設置有上方攝影部31、複數個斜 向攝影部32、及複數個側向攝影部33，藉此可減低對象物9之死角，而可提升對象物9檢查之可靠度。
在上述處理例中，雖然僅對根據差值之缺陷候補區域與根據自我比較之缺陷候補區域重複之區域(重複候補區域)，求取攝影圖像與參考圖像間之像素之值之比值，但像素之值之比值係可對圖像整體來求取。於該情形時，生成表示攝影圖像與參考圖像間之像素之值之比值之圖像，而檢出該圖像中包含於第1判斷範圍及第2判斷範圍之區域，作為缺陷候補區域(以下稱為「根據比值之缺陷候補區域」)。然後，檢出根據差值之缺陷候補區域、根據自我比較之缺陷候補區域、及根據比值之缺陷候補區域中重複之區域，來作為缺陷區域。而且，依據對象物9之種類或圖像之攝影條件等，可省略根據自我比較之缺陷候補區域之檢測。
如上所述，在檢查裝置1中，檢出根據攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的差值所檢出之第1缺陷候補區域、與根據攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值的比值所檢出之第2缺陷候補區域中重複之區域，來作為缺陷區域很重要。藉此，可抑制假缺陷的檢出，而精度良好地檢出缺陷。
較佳為，根據表示攝影圖像與參考圖像之差值之圖像來求取第1缺陷候補區域，接著，根據第1缺陷候補區域所包含攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值之比值來檢出缺陷區域。如此，藉由將攝影圖像與參考圖像中所求取上述比值之像素，限制為第1缺陷候補區域所包含之像素，可不用相對於不需要之像素求取上述比值，而效率良好地檢出缺陷。同樣地，亦可根據表示攝影圖像與參考圖像之比值之圖像來求取第2缺陷候補區域， 接著，根據第2缺陷候補區域所包含攝影圖像各像素之值與參考圖像所對應像素之值之差值來檢出缺陷區域。亦即，於將攝影圖像與參考圖像中所求取上述差值之像素限制為第2缺陷候補區域所包含之像素的情形時，亦可不用相對於不需要之像素求取上述差值，而效率良好地檢出缺陷。
在進一步抑制假缺陷的檢出之觀點上，較佳為進行根據自我比較之缺陷候補區域之檢測。於該情形時，依據應檢出之缺陷之種類，根據自我比較之缺陷候補區域，可為藉由將表示攝影圖像與經實施有膨脹處理之攝影圖像之差值之圖像進行二值化可得到之區域(即第1中間圖像所表示之區域)，或是藉由將表示攝影圖像與經實施有收縮處理之攝影圖像之差值之圖像進行二值化可得到之區域(即第2中間圖像所表示之區域)中之一者。如此，根據攝影圖像各像素之值與對攝影圖像實施有膨脹處理或收縮處理之圖像所對應像素之值之差值來檢出第3缺陷候補區域，並檢出第1缺陷候補區域、第2缺陷候補區域及第3缺陷候補區域中重複之區域，來作為缺陷區域，藉此可進一步抑制假缺陷的檢出。此外，圖9之缺陷檢測部62係將攝影圖像與參考圖像中求取比值之像素，限制在包含於第1缺陷候補區域及第3缺陷候補區域雙方之像素，藉此可實現效率更良好地檢出缺陷。
上述檢查裝置1可進行各種之變形。
在上述實施形態中，雖然個別地進行在攝影圖像與參考圖像之間求取像素之值之差值來檢出缺陷候補區域之處理、與求取像素之值之比值來檢出(或是限定)缺陷候補區域之處理，但亦可依據對象物9之種類或圖像之攝影條件等，而同時地進行該等處 理。於該情形時，可取得在攝影圖像與參考圖像之間表示像素之值之差值(之絕對值)之差分圖像，而藉由將差分圖像各像素之值除以參考圖像所對應像素之值來求得比值。然後，在各像素之比值例如包含在具有上限值及下限值之判斷範圍之情形時，將表示缺陷區域之值賦予至該像素之位置。在像素之比值不包含於該判斷範圍之情形時，將表示非缺陷區域之值賦予至該像素之位置。於該情形時，在攝影圖像與參考圖像之間，例如存在有像素之值之差值相同之複數個區域時，也可根據參考圖像之像素之值(考量到相對於參考圖像之像素之值，該差值之影響度)，而將該複數個區域區別為假缺陷區域與真缺陷區域。如上所述，缺陷檢測部62係根據攝影圖像與參考圖像之差分圖像各像素之值、與參考圖像所對應像素之值之比值來檢出缺陷區域，藉此可抑制假缺陷的檢出，而精度良好地檢出真缺陷。
依據對象物9之種類，亦可相對於一選擇攝影部僅生成第1缺陷區域圖像或第2缺陷區域圖像之一者，並將表示該缺陷區域圖像之缺陷區域作為最終之缺陷區域來處理。
在上述檢查裝置1中，雖然將分別對對象區域自複數個方向照射光之複數個光源部作為第2照明部而設置，並將該複數個光源部中之一光源部作為第1照明部來處理，但亦可如圖18所示，個別地設置第1照明部51與第2照明部52。第1照明部51可對對象物9之表面上之對象區域，僅自一方向照射光，而第2照明部52可對對象區域自複數個方向照射光。在圖18之例中，第1照明部51係固定於攝影部30之上表面，第2照明部52係固定於攝影部30之下表面。在第2照明部52中，呈沿著圓周方向之圓弧 狀地排列有複數個LED。為了更穩定地檢出缺陷，較佳為如圖18中以兩點鏈線所示，設置有對對象區域自互不相同之複數個方向照射光之複數個第1照明部51，並使用複數個第1照明部51來取得表示對象區域之複數個第1攝影圖像。而且，亦可省略第1照明部51，而在第2照明部52僅將相互連接之數個LED作為第1照明部而進行點燈，藉此對對象區域僅自一方向照射光。於該情形時，可當作在第2照明部52中，作為各自相互連接之數個LED的複數個光源部係沿圓周方向排列。
第1照明部只要為對對象區域實質上僅自一方向照射光者，例如亦可為自些微離開(分離)之複數個光源朝對象區域照射光者。在使用第2照明部而取得之第2攝影圖像、與使用第1照明部而取得之第1攝影圖像中使攝影條件(產生假缺陷區域之位置)相異之觀點上，由第2照明部對對象區域各位置之光之照明方向，較佳為包含離開45度以上之2方向，更佳為包含離開60度以上之2方向。
在圖4之處理流程中，為了易於理解，雖然已針對以如下順序進行者進行說明：由一注目攝影部所進行第1攝影圖像之取得、由該注目攝影部所進行第2攝影圖像之取得、自該第1攝影圖像所進行第1缺陷區域圖像之生成、及自該第2攝影圖像所進行第2缺陷區域圖像之生成；但例如亦可在第1攝影圖像之取得後，同時進行第2攝影圖像之取得及第1缺陷區域圖像之生成。而且，亦可藉由複數個選擇攝影部依序取得複數個對象區域之第1攝影圖像，接著依序取得該複數個對象區域之第2攝影圖像。如此，圖4之處理流程係可適當地變更。
檢查裝置1係可利用於形成有圖案之各種基板或薄膜等、其他對象物表面上缺陷之檢出。然而，可抑制假缺陷的檢出之檢查裝置1，可說是特別適用於因表面具有梨皮狀之區域(不限定於金屬之表面)而易於產生假缺陷之對象物之檢查。
上述實施形態及各變形例之構成，只要不相互矛盾即可適當地加以組合。
雖已詳細地描述並說明本發明，但上述之說明僅為例示者，而非限定本發明者。因此，只要不脫離本發明之範圍，可存在多種之變形或態樣。
62‧‧‧缺陷檢測部
620‧‧‧面積過濾部
621‧‧‧過濾處理部
622‧‧‧預對準部
623‧‧‧搖晃比較部
624‧‧‧膨脹處理部
625‧‧‧收縮處理部
626‧‧‧比較部
627‧‧‧邏輯和運算部
628‧‧‧邏輯積運算部
629‧‧‧減低誤報處理部

Claims (12)

  1. 一種檢查裝置，係檢測對象物表面之缺陷者，其具備有：攝影部，其藉由對對象物進行攝影來取得攝影圖像；儲存部，其儲存對應於上述攝影圖像之參考圖像；及缺陷檢測部，其將第1缺陷候補區域與第2缺陷候補區域中重複之區域作為缺陷區域來檢出，或者，根據上述攝影圖像及上述參考圖像之差分圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出缺陷區域，該第1缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的差值來檢出，該第2缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出。
  2. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中，上述缺陷檢測部係將上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述比值之像素限制為上述第1缺陷候補區域所包含之像素，或者，將上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述差值之像素限制為上述第2缺陷候補區域所包含之像素。
  3. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中，上述第2缺陷候補區域包含有區別為上述攝影圖像之像素之值較上述參考圖像所對應像素之值更低之缺陷候補區域、與更高之缺陷候補區域。
  4. 如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中，上述缺陷檢測部係根據上述攝影圖像各像素之值與對上述攝影圖像實施膨脹處理或收縮處理之圖像所對應像素之值的差值來檢出第3缺陷候補區域，並將上述第1缺陷候補區域、上述第2缺陷 候補區域及上述第3缺陷候補區域中重複之區域作為上述缺陷區域來檢出。
  5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之檢查裝置，其中，上述對象物係於表面具有梨皮狀之區域。
  6. 如申請專利範圍第5項之檢查裝置，其進一步具備有：第1照明部，其對上述對象物之表面上既定之對象區域照射僅來自一方向之光；第2照明部，其對上述對象區域照射來自複數個方向之光；檢測控制部，其使用藉由來自上述第1照明部之光之照射而在上述攝影部取得之第1攝影圖像與對應於上述第1攝影圖像之第1參考圖像而於上述缺陷檢測部檢出第1缺陷區域，並使用藉由來自上述第2照明部之光之照射而在上述攝影部取得之第2攝影圖像與對應於上述第2攝影圖像之第2參考圖像而於上述缺陷檢測部檢出第2缺陷區域；及缺陷更新部，其將上述第1缺陷區域及上述第2缺陷區域中重複之區域，特定為已更新之缺陷區域。
  7. 一種檢查方法，係檢出對象物表面之缺陷者，其具備有：a)藉由在攝影部對對象物進行攝影來取得攝影圖像之步驟；及b)準備對應於上述攝影圖像之參考圖像，將第1缺陷候補區域與第2缺陷候補區域中重複之區域作為缺陷區域來檢出，或者，根據上述攝影圖像及上述參考圖像之差分圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出缺陷區域之步驟，該第1缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的差值來檢出，該第2缺陷候補區域係根據上述攝影圖像各 像素之值與上述參考圖像所對應像素之值的比值來檢出。
  8. 如申請專利範圍第7項之檢查方法，其中，在上述b)步驟中，上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述比值之像素被限制為上述第1缺陷候補區域所包含之像素，或者，上述攝影圖像與上述參考圖像中用來求取上述差值之像素被限制為上述第2缺陷候補區域所包含之像素。
  9. 如申請專利範圍第7項之檢查方法，其中，上述第2缺陷候補區域包含有區別為上述攝影圖像之像素之值較上述參考圖像所對應像素之值更低之缺陷候補區域、與更高之缺陷候補區域。
  10. 如申請專利範圍第7項之檢查方法，其中，在上述b)步驟中，根據上述攝影圖像各像素之值與對上述攝影圖像實施膨脹處理或收縮處理之圖像所對應像素之值的差值來檢出第3缺陷候補區域，並將上述第1缺陷候補區域、上述第2缺陷候補區域及上述第3缺陷候補區域中重複之區域作為上述缺陷區域來檢出。
  11. 如申請專利範圍第7至10項中任一項之檢查方法，其中，上述對象物係於表面具有梨皮狀之區域。
  12. 如申請專利範圍第11項之檢查方法，其中，在上述a)步驟中，一邊對上述對象物之表面上既定之對象區域照射僅來自一方向之光，一邊在上述攝影部取得第1攝影圖像，在上述b)步驟中，使用上述第1攝影圖像與對應於上述第1攝影圖像之第1參考圖像來檢出第1缺陷區域，上述檢查方法進一步具備有： 一邊對上述對象區域照射來自複數個方向之光，一邊在上述攝影部取得第2攝影圖像之步驟；使用上述第2攝影圖像與對應於上述第2攝影圖像之第2參考圖像，並藉由進行與上述b)步驟相同之處理來檢出第2缺陷區域之步驟；及將上述第1缺陷區域及上述第2缺陷區域中重複之區域，特定為已更新之缺陷區域之步驟。
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