WO2021100192A1 - 表示パネルの製造方法 - Google Patents

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Inventor
吉隆 北村
克彦 岸本
Original Assignee
シャープ株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a display panel.
  • Patent Document 1 discloses a method of detecting defects based on an image of a substrate.
  • an inspection method such as the defect detection method described in Patent Document 1 is applied to determine the presence or absence of a defect in the manufactured display panel unit, and it is determined that the defective product has a defect. Is excluded.
  • the conventional display panel manufacturing method including the above-mentioned inspection method, it may not be possible to accurately determine the presence or absence of defects in the display panel. That is, as described above, when the sub-pixels are inspected based on the captured image of the display panel, the normal sub-pixels are determined as defects (erroneous determination) due to the unevenness generated on the surface of the display panel. There is a risk. In particular, in the case of a flexible display panel, foreign matter on the inspection stage may partially deform the surface of the display panel so as to cause unevenness, which is normal due to the foreign matter. There is a risk that the sub-pixel will be erroneously determined as a defect.
  • the method for manufacturing a display panel includes a plurality of first color sub-pixels that emit light of the first color and a plurality of second-color sub pixels that emit light of a second color different from the first color.
  • a method of manufacturing a display panel including pixels and a plurality of third-color sub-pixels that emit light of a third color different from the first color and the second color, and the display is mounted on a stage. An image is taken with the panel lit, a plurality of first regions corresponding to the plurality of first color sub-pixels, a plurality of second regions corresponding to the plurality of second-color sub-pixels, and the plurality of first regions.
  • FIG. 1 It is a block diagram which shows the structure of the inspection apparatus which concerns on this embodiment. It is a schematic diagram which shows the imaging method which concerns on this embodiment. It is a flowchart which shows the processing process of this inspection apparatus. It is a schematic diagram which shows the method of acquiring the image of each color. It is a schematic diagram which shows the relationship between a display panel and a panel image. It is a schematic diagram explaining the determination process of Example 1. FIG. It is a schematic diagram explaining the determination process of Example 2. It is a schematic diagram which shows a normal region and a shading region. It is a schematic diagram which shows the 1st region, the 2nd region and the 3rd region which make up a unit area.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an inspection device according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic view showing an imaging method according to the present embodiment.
  • the inspection device 10 includes an imaging unit 11, a processor 12, and a memory 13, and inspects the display panel 20.
  • the display panel 20 to be inspected includes a plurality of first color subpixels that emit light of the first color (for example, red) and a plurality of light of a second color (for example, green) that is different from the first color. It is preferable that the second color subpixel is provided with a plurality of third color subpixels that emit light of the first color and a third color (for example, blue) different from the first color and the second color, and has flexibility. is there.
  • the first-color sub-pixel, the second-color sub-pixel, and the third-color sub-pixel include, for example, an LED that emits highly directional light such as an organic light emitting diode and a quantum dot light emitting diode.
  • the display panel 20 may have a configuration in which one pixel includes a first color sub pixel, a second color sub pixel, and a third color sub pixel, and one pixel includes a first color sub pixel or a third color sub pixel.
  • a configuration including a second color sub-pixel (for example, a pentile method) may be used.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the processing process of this inspection device.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing a method of acquiring an image of each color.
  • the imaging unit 11 images the display panel 20 mounted on the stage in a lit state (imaging step).
  • the imaging unit 11 images the display panel 20 from an oblique direction (a direction forming an acute angle with respect to the normal direction of the display panel 20).
  • an oblique direction a direction forming an acute angle with respect to the normal direction of the display panel 20.
  • the flexible display panel 20 tends to have irregularities on the surface due to foreign matter 40 and wrinkles on the stage 17, and unevenness (shades) appearing in the image due to the irregularities. It causes erroneous judgment (it is regarded as a sub-pixel defect).
  • the panel image obtained in step S1 includes a white image, a first color image (for example, a red image), a second color image (for example, a green image), and a third color image (for example, a blue image). ).
  • the first color image, the second color image, and the third color image may be imaged by combining the white display and the spectrum by the color filter as shown in A of FIG. 4, or as shown in B of FIG.
  • the color display, the second color display, and the third color display may be imaged in sequence. Since the spectral characteristics of the color filter do not always match the spectrum of each sub-pixel, it is preferable to take images sequentially as shown in FIG. 4B.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing the relationship between the display panel and the panel image.
  • the panel image includes a plurality of first regions corresponding to a plurality of first color sub-pixels included in the display panel 20, a plurality of second regions corresponding to a plurality of second color sub-pixels included in the display panel 20, and a display panel.
  • a plurality of third regions corresponding to the plurality of third color sub-pixels included in 20 are included, and adjacent first regions, second regions, and third regions constitute a unit region.
  • FIG. 9 is a diagram showing the details.
  • the intensity value Lu (captured result of one or a plurality of pixels of the display panel 20) of each unit region can be obtained.
  • the intensity value Lr of each first region (the imaging result of one or a plurality of first sub-pixels of the display panel 20) can be obtained.
  • the intensity value Lg of each second region (the imaging result of one or a plurality of second sub-pixels of the display panel 20) can be obtained.
  • the intensity value Lb of each third region (the imaging result of one or a plurality of third sub-pixels of the display panel 20) can be obtained.
  • the intensity value referred to here means a value of the radiation intensity of incident light incident on a light receiving element (imaging element) (not shown) provided in the image pickup unit 11.
  • a CCD, CMOS, or the like is used as the image pickup element, and spectral sensitivity is used as sensitivity correction for each of the first color, the second color, and the third color (that is, RGB).
  • the sensor detection accuracy for each of these colors is adjusted to the same accuracy, and the data detection process is properly performed.
  • the image pickup unit 11 may take an image through a color filter.
  • the present embodiment is not limited to this, and for example, the incident such as luminous intensity, brightness, or illuminance is incident. Data can also be processed using an imaging unit that handles other units of light.
  • step S2 the processor 12 reads the first color image captured in step S1 from the memory 13 and detects the shade region X (detection step).
  • the processor 12 detects that the brightness value of the sub-pixel is smaller or larger than the predetermined threshold value, the processor 12 is centered on the sub-pixel and has a predetermined size (including a predetermined number of pixels). Is detected as a shading unevenness occurrence region (shading region).
  • the sub-pixel includes the first-color sub-pixel, the second-color sub-pixel, and the third-color sub-pixel described above.
  • the first color image is divided into a plurality of sections (this section may include a plurality of first color sub-pixels, and the number of sub-pixels included is the number of pixels of the display panel and the imaging range of the imaging unit.
  • the intensity average of each section is obtained by dividing into (determined by), and the section that includes the area of intensity Lr that is separated from the average intensity value of the section by a predetermined ratio (for example, several percent) or more of the average intensity value is the shade region XR1. , XR2, ... (Hereinafter, collectively referred to as the shade region XR).
  • the same operation is performed on the second color image to detect the shade regions XG1, XG2, ...
  • shade region XG (Hereinafter, collectively referred to as the shade region XG), and the same operation is performed on the third color image to perform the same operation.
  • Regions XB1, XB2, ... (Hereinafter, generically referred to as shade region XB) are detected.
  • the shading regions XR, XG, and XB may each include a plurality of sub-pixels whose luminance values are larger or smaller than the predetermined threshold value.
  • the shading areas XR, XG, and XB including the first to third sub-pixels constituting one pixel are set as the shading area X, and are further set by the shading area X, that is, the shading area X.
  • the circumference of the normal region Y be.
  • step S3 the processor 12 sets the normal region YR that is adjacent to the shade region XR and has no shade (setting step). For example, as shown in FIG. 8, a section adjacent to the shading region XR1 and in which no shading is observed (for example, an 8-unit region) is defined as a normal region YR. The same operation is performed for the second color image and the third color image, and when the shade areas XB and XG are detected, the normal areas YB and YG are set, respectively.
  • the method of determining XR is basically to extract the part where the strength value is higher or lower than the surroundings. For example, if there is a difference in intensity of 3 times or more compared to the standard deviation of the normal region YR, the probability that there is a difference of ⁇ 3 times or more of the standard deviation in the normal distribution is 0.27%, so it is determined as XR. It is also possible. It should be noted that this numerical value can be changed from the viewpoint of preventing excessive detection of defects and preventing flow to a subsequent process without being detected.
  • the processor 12 includes a plurality of intensity values Lr of the first region included in the shade region XR, a plurality of intensity values Lg of the second region included in the shade region XG, and a plurality of intensity values Lg included in the shade region XB.
  • a sub-pixel defect for example, color mixing
  • the intensity value Lr of the first region is divided by the sum of the intensity values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb).
  • the second region which is the value obtained by dividing the strength standard value Kr of the first region and the strength value Lg of the second region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb).
  • the strength standard value Kg of the third region and the strength standard value Kb of the third region which is the value obtained by dividing the strength value Lb of the third region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb). Ask for.
  • the difference ⁇ r between the average of the intensity standard values Kr of the plurality of first regions included in the shade region X and the average of the intensity standard values Kr of the plurality of first regions included in the normal region Y is defined as the normal region.
  • the normal region Y includes the difference ⁇ g between the average of the intensity standard values Kg of the plurality of second regions included in the shade region X and the average of the intensity standard values Kg of the plurality of second regions included in the normal region Y.
  • the value divided by the standard deviation Sg of the intensity standard values of the plurality of second regions with the threshold Th it is determined whether or not the shade of the shade region X is caused by the defect of the second subpixel, and the shade is determined.
  • the difference ⁇ b between the average of the strength standard values Kb of the plurality of third regions included in the region X and the average of the strength standard values Kb of the plurality of third regions included in the normal region Y is included in the normal region Y.
  • the value divided by the standard deviation Sb of the intensity standard value of the third region with the threshold Th it is determined whether or not the shade of the shade region X is caused by the defect of the third subpixel.
  • FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the determination process of the first embodiment. For example, as shown in FIG. 6, when the shade regions X1 and X2 are detected in step S2, the average of the intensity standard values for the 5 ⁇ 5 unit regions is as follows for the shade regions X1 and X2.
  • the standard deviations Sr, Sg, and Sb are as follows.
  • the shading of the shading region X is caused by a defect of the first color sub-pixel, and if it is larger than -3, the first color is It is determined that the cause is not a defect of the one-color sub-pixel.
  • the shading of the shading region X is due to a defect in the second color sub-pixel, and if it is larger than -3, the shading region X is the third. It is determined that the cause is not a defect of the two-color sub-pixel.
  • the shading of the shading region X is due to a defect in the third color sub-pixel, and if it is larger than -3, the shading region X is the third. It is determined that the cause is not a defect of the three-color sub-pixel.
  • the shade of the shade region X1 is the first color in which the corresponding above-mentioned value is -3 or less among the first color sub-pixel, the second color sub-pixel, and the third color sub-pixel. It is determined that the cause is a defect in the sub-pixel. Further, it is determined that the shading of the shading region X2 is not caused by the sub-pixel defect but is caused by the unevenness of the display panel surface (sub-pixel is normal). According to the first embodiment, the same correct inspection result as the visual inspection can be obtained. In particular, in the case of a flexible display panel, foreign matter on the inspection stage may partially deform the surface of the display panel so as to cause unevenness, but this is normal due to the foreign matter. It is possible to prevent the sub-pixels from being erroneously determined as defects. Therefore, the manufacturing yield of the display panel can be improved.
  • the threshold value may be changed for the first color sub-pixel, the second color sub-pixel, and the third color sub-pixel, or the upper limit and the lower limit may be determined for determination.
  • the difference ⁇ Lr between the average of the intensity values Lr of the plurality of first regions included in the shade region X and the average of the intensity values Lr of the plurality of first regions included in the normal region Y is set to the normal region Y.
  • the difference ⁇ Lg between the average of the intensity values Lg of the plurality of second regions included in the region X and the average of the intensity values Lg of the plurality of second regions included in the normal region Y is the plurality of second regions included in the normal region Y.
  • the difference ⁇ Lb between the average of the intensity values Lb of the plurality of third regions and the average of the intensity values Lb of the plurality of third regions included in the normal region Y is the intensity standard value of the plurality of third regions included in the normal region Y.
  • the standard deviations SLr, SLg, and SLb are as follows.
  • the shading of the shading region X is caused by a defect in any of the sub-pixels, and if it is larger than -3, the third It is determined that the cause is not a defect of the one-color sub-pixel.
  • the shading of the shading region X is due to a defect in the second color sub-pixel, and if it is larger than -3, the shading region X is the third. It is determined that the cause is not a defect of the two-color sub-pixel.
  • the shading of the shading region X is due to a defect in the third color sub-pixel, and if it is larger than -3, the shading region X is the third. It is determined that the cause is not a defect of the three-color sub-pixel.
  • Comparative Example 1 it is determined that the shading of the shading region XR1 is due to a defect in the first color sub-pixel. Further, in Comparative Example 1, it is determined that the shading of the shading region X2 is caused by defects in all the sub-pixels of the first-color sub-pixel, the second-color sub-pixel, and the third-color sub-pixel. However, the shading of the shading region X2 is not caused by the sub-pixel defect, but is caused by the unevenness of the display panel surface (sub-pixel is normal). Therefore, according to Comparative Example 1, the same correct inspection result as the visual inspection is obtained. I can't get it. That is, in Comparative Example 1, an erroneous determination is made with respect to the shade region X2.
  • the maximum value 9.6 of the absolute values of ⁇ r / Sr, ⁇ g / Sg, and ⁇ b / Sb in the shade region X1 is the ⁇ r / Sr, ⁇ g / Sg, and ⁇ b / Sb in the shade region X2. There is a 6.4-fold difference from the maximum absolute value of 1.5.
  • the maximum value 9.5 of the absolute values of ⁇ r / Sr, ⁇ g / Sg, and ⁇ b / Sb in the shade region XR1 is the absolute value of ⁇ r / Sr, ⁇ g / Sg, and ⁇ b / Sb in the shade region XR2. There is only a difference of 3.8 and 2.5 times the value.
  • the ratio of the feature amount required for detecting the defect (the ratio of the sub-pixel defect-caused and non-defect-caused ones) can be increased from 2.5 times to 6.4 times, so that the detection can be made easier.
  • the white image is divided into a plurality of sections (for example, 1 unit area ⁇ 3 unit areas), the average intensity value of each section is obtained, and the average intensity value of each section is used to obtain the average intensity value.
  • a section including a unit region having an intensity value Lu separated by a predetermined ratio (for example, several percent) or more of the average is detected as a shade region X.
  • the intensity value Lr of the first region is divided by the sum of the intensity values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb).
  • the strength of the second region which is the value obtained by dividing the strength standard value Kr of a certain first region and the strength value Lg of the second region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb).
  • the standard value Kg and the strength standard value Kb of the third region which is the value obtained by dividing the strength value Lb of the third region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region (Lr + Lg + Lb), are obtained. ..
  • the average of the intensity standard values Kr of the plurality of first regions included in the shade region X is compared with the average Ar of the intensity standard values of the plurality of first regions included in the normal region Y. Then, it is determined whether or not the shade of the shade region X is caused by the defect of the first color subpixel, and the average of the intensity standard values Kg of the plurality of second regions included in the shade region X is included in the normal region Y. By comparing with the average Ag of the intensity standard values of the plurality of second regions, it is determined whether or not the shade of the shade region X is caused by the defect of the second color subpixel, and the plurality of shade regions X included in the shade region X.
  • the shade of the shade region X becomes a defect of the third color subpixel. Determine if it is the cause.
  • FIG. 7 is a schematic diagram illustrating the determination process of the second embodiment. For example, as shown in FIG. 7, when the shade regions X1 and X2 are detected in step S2, the average of the intensity standard values for the 1 ⁇ 3 unit region is as follows for the shade regions X1 and X2.
  • the average of the intensity standard values for the 6 unit regions of the normal region Y1 sandwiching the shade region X1 and the average of the intensity standard values for the 6 unit regions of the normal region Y2 sandwiching the shade region X2 are as follows.
  • ⁇ r, ⁇ g, and ⁇ b are the differences (absolute values) between the average of the intensity standard values in the shade region and the average of the intensity standard values in the normal region for each color, the following results can be obtained.
  • the shade of the shade region X is a defect of any of the sub-pixels. If it is less than 0.01, it is determined that it is not caused by a defect of any sub-pixel.
  • the shading of the shading region X1 is due to a defect in the sub-pixel. Further, it is determined that the shading of the shading region X2 is not caused by the sub-pixel defect but is caused by the unevenness of the display panel surface (sub-pixel is normal). According to the second embodiment, the same correct inspection result as the visual inspection can be obtained.
  • Example 2 The same examination as in Example 2 was carried out in place of Kr, Kg, Kb instead of Lr, Lg, Lb, Ar, Ag, Ab, and the average ALr of the intensity values of the plurality of first regions contained in the normal region Y.
  • the average ALg of the intensity values of the second region and the average ALb of the intensity values of the plurality of third regions are used.
  • the average of the intensity values for the 1 ⁇ 3 unit area is as follows.
  • the average of the intensity standard values for the 6 unit regions of the normal region Y1 sandwiching the shade region X1 and the average of the intensity values for the 6 unit regions of the normal region Y2 sandwiching the shade region X2 are as follows.
  • ⁇ Lr, ⁇ Lg, and ⁇ Lb are the differences (absolute values) between the average intensity value in the shade region and the average intensity value in the normal region for each color, the following results can be obtained.
  • the shading of the shading region X is a defect of any of the sub-pixels. If it is less than 0.01, it is determined that it is not caused by a defect of any sub-pixel.
  • a weighted average may be obtained by multiplying by a weighting coefficient. More specifically, in addition to the determination by Lr / (Lr + Lg + Lb) as described above, for example, 1.1 * Lr / (1.1 * Lr + Lg + 0.9 * Lb), Lg / (1.1 * Lr + Lg + 0). It may be judged by using three formulas of .9 * Lb) and 0.9 * Lb / (1.1 * Lr + Lg + 0.9 * Lb).
  • the method for manufacturing a display panel according to aspect 1 of the present invention includes a plurality of first color sub-pixels that emit light of the first color and a plurality of second-color sub pixels that emit light of a second color different from the first color.
  • a method of manufacturing a display panel including pixels and a plurality of third-color sub-pixels that emit light of a third color different from the first color and the second color, and the display is mounted on a stage. An image is taken with the panel lit, a plurality of first regions corresponding to the plurality of first color sub-pixels, a plurality of second regions corresponding to the plurality of second-color sub-pixels, and the plurality of first regions.
  • the method for manufacturing a display panel according to the second aspect of the present invention is centered on the sub-pixel when it is detected in the detection step that the brightness value of the sub-pixel is smaller or larger than a predetermined threshold value in the first aspect. As a result, a region including a predetermined number of pixels may be detected as the shading region.
  • the first region, the second region, and the third region adjacent to each other in the image are set as unit regions, and in the determination step, the shading For each unit region included in the region, the strength standard value of the first region, which is the value obtained by dividing the strength value of the first region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region, and the second
  • the strength standard value of the second region which is the value obtained by dividing the strength value of the region by the sum of the strength values of the first region, the second region, and the third region, and the strength value of the third region are the first region and the first region.
  • the strength standard value of the third region which is the value obtained by dividing by the sum of the strength values of the two regions and the third region, may be obtained.
  • the strength standard value of the first region and the strength standard of the second region are obtained for each unit region included in the normal region.
  • the value and the strength standard value of the third region are obtained, and the average of the strength standard values of the plurality of first regions included in the shade region and the average of the strength standard values of the plurality of first regions included in the normal region are obtained.
  • the difference is divided by the standard deviation of the intensity standard values of the plurality of first regions included in the normal region, and the threshold value is compared with each other, and the average of the intensity standard values of the plurality of second regions included in the shade region is compared.
  • the difference between the average of the strength standard values of the plurality of second regions included in the normal region and the average of the strength standard values of the plurality of second regions included in the normal region, divided by the standard deviation of the strength standard values of the plurality of second regions included in the normal region, and the threshold value are compared. Then, the difference between the average of the intensity standard values of the plurality of third regions included in the shading region and the average of the intensity standard values of the plurality of third regions included in the normal region is the difference between the plurality of third regions included in the normal region.
  • the strength standard value of the first region and the strength standard of the second region are obtained for each unit region included in the normal region.
  • the value and the strength standard value of the third region are obtained, and the average of the strength standard values of the plurality of first regions included in the shade region is the average of the strength standard values of the plurality of first regions included in the normal region.
  • the average of the intensity standard values of the plurality of second regions included in the shade region is compared with the average of the intensity standard values of the plurality of second regions included in the normal region, and is included in the shade region.
  • the number of the first regions included in the normal region is larger than the number of the first regions included in the shading region.
  • the number of the second region included in the normal region is larger than the number of the second region included in the shade region, and the number of the third region included in the normal region is the number of the third region included in the shade region. It may be more than the number.
  • the shade region has a predetermined ratio of the intensity value average to the intensity value average of a plurality of first regions included in the shade region. Included in the first region having intensity values separated by the above, the second region having an intensity value separated by a predetermined ratio or more of the intensity value average from the intensity value averages of a plurality of second regions included in the shade region, and the shade region. At least one of the third regions having an intensity value separated from the average intensity value of the plurality of third regions by a predetermined ratio or more of the average intensity value may be included.
  • the image in the imaging steps of the first to seventh aspects, may be taken from an oblique direction with respect to the surface of the display panel.
  • the display panel may be flexible in the first to eighth aspects.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and embodiments obtained by appropriately combining the technical means disclosed in the different embodiments are also included in the technical scope of the present invention. Furthermore, new technical features can be formed by combining the technical means disclosed in each embodiment.

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Abstract

表示パネルを撮像する撮像工程と、前記画像の濃淡領域を検出する検出工程と、前記濃淡領域の周囲にあって濃淡のない通常領域を設定する設定工程と、濃淡領域に含まれる、複数の第１領域（赤）、複数の第２領域（緑）および複数の第３領域（青）の強度値と、通常領域に含まれる、複数の第１領域（赤）、複数の第２領域（緑）および複数の第３領域（青）の強度値とを用いて、濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する判定工程とを含む。

Description

表示パネルの製造方法
　本発明は、表示パネルの製造方法に関する。
　特許文献１には、基板を撮影した画像に基づいて欠陥を検出する手法が開示されている。
日本国公開特許公報「特開２０１９－１２４５９１号（公開日：２０１９年７月２５日）」
　ところで、表示パネルの製造方法では、通常、上記特許文献１に記載の欠陥検出手法などの検査方法を適用して、製造した表示パネル単位に欠陥の有無を判定し、欠陥を有するとした不良品を排除している。
　ところが、上記のような検査方法を含む、従来の表示パネルの製造方法では、表示パネルの欠陥の有無判定を正確に行えないことがあった。つまり、上記のように、表示パネルを撮影した画像に基づいてサブ画素の検査を行う場合に、表示パネルの表面に生じた凹凸に起因して正常なサブ画素を欠陥と判定（誤判定）するおそれがある。特に、フレキシブル性を有する表示パネルの場合には、検査ステージ上の異物が当該表示パネルの表面に凹凸を生じるように部分的に当該表面を変形させることがあり、当該異物に起因して正常なサブ画素を欠陥と誤判定とするおそれがある。
　本発明の一態様に係る表示パネルの製造方法は、第１色の光を発する複数の第１色サブ画素と、前記第１色とは異なる第２色の光を発する複数の第２色サブ画素と、前記第１色および前記第２色とは異なる第３色の光を発する複数の第３色サブ画素とを備えた表示パネルの製造方法であって、ステージに載置された前記表示パネルを点灯させた状態で撮像し、前記複数の第１色サブ画素に対応する複数の第１領域と、前記複数の第２色サブ画素に対応する複数の第２領域と、前記複数の第３色サブ画素に対応する複数の第３領域とを含む画像を得る撮像工程と、 前記画像から濃淡が生じている濃淡領域を検出する検出工程と、前記濃淡領域に隣接し、濃淡が生じていない通常領域を設定する設定工程と、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度値とを用いて、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する判定工程と、を含む。
　表示パネルの検査において、正常なサブ画素を欠陥と判定（誤判定）するおそれを低減する。
本実施形態に係る検査装置の構成を示すブロック図である。 本実施形態に係る撮像方法を示す模式図である。 本検査装置の処理工程を示すフローチャートである。 各色の画像を取得する方法を示す模式図である。 表示パネルとパネル画像の関係を示す模式図である。 実施例１の判定工程を説明する模式図である。 実施例２の判定工程を説明する模式図である。 通常領域及び濃淡領域を示す模式図である。 単位領域を構成する第１領域、第２領域および第３領域を示す模式図である。
　以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明を行う。図１は、本実施形態に係る検査装置の構成を示すブロック図である。図２は、本実施形態に係る撮像方法を示す模式図である。
　図１および図２に示すように、検査装置１０は、撮像部１１と、プロセッサ１２と、メモリ１３とを備え、表示パネル２０の検査を行う。検査対象となる表示パネル２０は、第１色（例えば、赤色）の光を発する複数の第１色サブ画素と、第１色とは異なる第２色（例えば、緑色）の光を発する複数の第２色サブ画素と、第１色および前記第２色とは異なる第３色（例えば、青色）の光を発する複数の第３色サブ画素とを備え、可撓性を有するものが好適である。第１色サブ画素、第２色サブ画素および第３色サブ画素は、例えば、有機発光ダイオード、量子ドット発光ダイオード等の指向性の高い光を発するＬＥＤを含む。表示パネル２０は、１画素に、第１色サブ画素、第２色サブ画素および第３色サブ画素が含まれる構成でもよいし、１画素に、第１色サブ画素あるいは第３色サブ画素と、第２色サブ画素とが含まれる構成（例えば、ペンタイル方式）でもよい。
　図３は、本検査装置の処理工程を示すフローチャートである。図４は、各色の画像を取得する方法を示す模式図である。図３のステップＳ１では、撮像部１１が、ステージに載置された表示パネル２０を点灯状態で撮像する（撮像工程）。図２のＡに示すように、撮像部１１は斜め方向（表示パネル２０の法線方向に対して鋭角をなす方向）から表示パネル２０を撮像する。斜め方向から撮像することで、正面から撮像したときに検出しにくい欠陥を検出し易くなる。一方で、可撓性の表示パネル２０は、図２のＢに示すように、ステージ１７上の異物４０やシワによって表面に凹凸が生じやすく、凹凸に起因して画像に現れるムラ（濃淡）が誤判定（サブ画素欠陥とされる）の原因となっている。
　ステップＳ１で得られるパネル画像は、図４に示すように、白色画像、第１色画像（例えば、赤画像）、第２色画像（例えば、緑画像）、第３色画像（例えば、青画像）である。第１色画像、第２色画像、第３色画像については、図４のＡのように白色表示とカラーフィルタによる分光を組み合わせて撮像してもよいし、図４のＢのように第１色表示、第２色表示、第３色表示を順次撮像してもよい。カラーフィルタの分光特性と、各サブ画素のスペクトルとは一致するとは限らないため、図４のＢのように順次撮像する方が好ましい。
　図５は表示パネルとパネル画像の関係を示す模式図である。パネル画像は、表示パネル２０に含まれる複数の第１色サブ画素に対応する複数の第１領域、表示パネル２０に含まれる複数の第２色サブ画素に対応する複数の第２領域、表示パネル２０に含まれる複数の第３色サブ画素に対応する複数の第３領域を含み、隣り合う第１領域、第２領域および第３領域が単位領域を構成する。図９は、その詳細を示す図である。
　白色画像からは、各単位領域の強度値Ｌｕ（表示パネル２０の１または複数の画素の撮像結果）を得ることができる。第１色画像からは、各第１領域の強度値Ｌｒ（表示パネル２０の１または複数の第１サブ画素の撮像結果）を得ることができる。第２色画像からは、各第２領域の強度値Ｌｇ（表示パネル２０の１または複数の第２サブ画素の撮像結果）を得ることができる。第３色画像からは、各第３領域の強度値Ｌｂ（表示パネル２０の１または複数の第３サブ画素の撮像結果）を得ることができる。
　なお、ここでいう強度値とは、撮像部１１に設けられた不図示の受光素子（撮像素子）に入射する入射光の放射強度の値をいう。また、撮像部１１では、上記撮像素子としてＣＣＤやＣＭＯＳなどが用いられており、第１色、第２色、及び第３色（つまり、ＲＧＢ）の各色での感度補正として分光感度が用いられることにより、これらの各色でのセンサー検出精度が同一精度に調整されてデータ検出処理が適正に行われている。図４に示すように、撮像部１１は、カラーフィルタを通して撮像してもよい。また、本実施形態では、撮像部１１からの撮像データとして強度値を用いた場合について説明するが、本実施形態はこれに限定されるものではなく、例えば、光度、輝度、又は照度などの入射光に対する他の単位を取り扱う撮像部を用いてデータ処理することもできる。
　ステップＳ２では、プロセッサ１２が、ステップＳ１で撮像された第１色画像をメモリ１３から読み出し、濃淡領域Ｘを検出する（検出工程）。検出工程において、プロセッサ１２は、サブ画素の輝度値が所定の閾値よりも小さいまたは大きいことを検出した場合に、当該サブ画素を中心として、所定の大きさの（所定の画素数を含む）領域を濃淡ムラ発生領域（濃淡領域）として検出する。当該サブ画素は、上述した第１色サブ画素、第２色サブ画素、及び、第３色サブ画素を含む。
　例えば図５に示すように、第１色画像を複数の区画（この区画は複数の第１色サブ画素を含んでいてよく、含まれるサブ画素数は表示パネルの画素数と撮像部の撮像範囲で決まる。）に分けて各区画の強度平均を求め、区画の強度値平均から当該強度値平均の所定割合（例えば、数パーセント）以上離れた強度Ｌｒの領域を含むような区画を濃淡領域ＸＲ１、ＸＲ２、…（以下、濃淡領域ＸＲにて総称する。）として検出する。これを第２色画像についても同様の操作を行い、濃淡領域ＸＧ１、ＸＧ２、…（以下、濃淡領域ＸＧにて総称する。）として検出し、第３色画像についても同様の操作を行い、濃淡領域ＸＢ１、ＸＢ２、…（以下、濃淡領域ＸＢにて総称する。）を検出する。なお、濃淡領域ＸＲ、ＸＧ、ＸＢにおいて、各々、輝度値が上記所定の閾値よりも大きいもしくは小さいサブ画素を複数、含む構成でもよい。
　また、以下の説明では、一つの画素を構成する第１～第３サブ画素を含んだ濃淡領域ＸＲ、ＸＧ、ＸＢを濃淡領域Ｘとし、更にその濃淡領域Ｘで設定される、つまり濃淡領域Ｘの周囲を通常領域Ｙとする。また、一つの表示パネル２０において、複数の濃淡領域及び通常領域が存在する場合には、例えば濃淡領域Ｘ１、Ｘ２、…及び通常領域Ｙ１、Ｙ２、…とする（後掲の図６参照。）。
　ステップＳ３では、プロセッサ１２が、濃淡領域ＸＲに隣接し、濃淡が生じていない通常領域ＹＲを設定する（設定工程）。例えば、図８に示すように、濃淡領域ＸＲ１に隣接し、濃淡が認められない区画（例えば、８単位領域）を通常領域ＹＲとする。これを第２色画像、第３色画像についても同様の操作を行い、濃淡領域ＸＢ、ＸＧを検出した場合に、通常領域ＹＢ、ＹＧをそれぞれ設定する。
　ＸＲの決め方は基本的には周囲と比較して強度値が高いもしくは低い部分を抽出する。例えば、通常領域ＹＲの標準偏差と比較して３倍以上強度の差がある場合、正規分布であれば標準偏差の±３倍以上の差がある確率は0.27%ということからＸＲのように決めることも可能である。なお、過剰に欠陥を検出することを防いだり、検出できずに後工程に流れることを防いだりする観点から、この数値を変更することができる。
　ステップＳ４では、プロセッサ１２が、濃淡領域ＸＲに含まれる複数の第１領域の強度値Ｌｒと、濃淡領域ＸＧに含まれる複数の第２領域の強度値Ｌｇと、濃淡領域ＸＢに含まれる複数の第３領域の強度値Ｌｂと、通常領域ＹＲに含まれる複数の第１領域の強度値Ｌｒと、通常領域ＹＧに含まれる複数の第２領域の強度値Ｌｇと、通常領域ＹＢに含まれる複数の第３領域の強度値Ｌｂとを用いて、濃淡領域Ｘの濃淡がサブ画素欠陥（例えば、混色）に起因するか否かを判定する（判定工程）。
　判定工程では、濃淡領域Ｘおよび通常領域Ｙに含まれる各単位領域について、第１領域の強度値Ｌｒを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第１領域の強度規格値Ｋｒと、第２領域の強度値Ｌｇを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第２領域の強度規格値Ｋｇと、第３領域の強度値Ｌｂを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第３領域の強度規格値Ｋｂとを求める。
　〔実施例１〕
　実施例１では、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第１領域の強度規格値Ｋｒの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度規格値Ｋｒの平均との差Δｒを通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度規格値の標準偏差Ｓｒで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第１サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第２領域の強度規格値Ｋｇの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第２領域の強度規格値Ｋｇの平均との差Δｇを通常領域Ｙに含まれる複数の第２領域の強度規格値の標準偏差Ｓｇで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第２サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第３領域の強度規格値Ｋｂの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第３領域の強度規格値Ｋｂの平均との差Δｂを通常領域Ｙに含まれる複数の第３領域の強度規格値の標準偏差Ｓｂで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第３サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定する。
　図６は、実施例１の判定工程を説明する模式図である。例えば、図６のように、ステップＳ２で濃淡領域Ｘ１・Ｘ２が検出された場合、濃淡領域Ｘ１・Ｘ２について、５×５単位領域分の強度規格値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 　濃淡領域Ｘ１に隣接する通常領域Ｙ１の１００単位領域分の強度規格値の平均、濃淡領域Ｘ２に隣接する通常領域Ｙ２の１００単位領域分の強度規格値の平均、および通常領域Ｙ１・Ｙ２についての標準偏差Ｓｒ・Ｓｇ・Ｓｂは以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 　そして、以下の結果を得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 　ここで、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｒ/Ｓｒの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、第１色サブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第１色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　同様に、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｇ/Ｓｇの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、第２色サブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第２色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　同様に、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｂ/Ｓｂの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、第３色サブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第３色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　以上の判定基準によれば、濃淡領域Ｘ１の濃淡は、第１色サブ画素、第２色サブ画素、及び第３色サブ画素のうち、対応する上記値が－３以下である、第１色サブ画素の欠陥に起因すると判定される。また、濃淡領域Ｘ２の濃淡は、サブ画素欠陥に起因するものではなく、表示パネル表面の凹凸に起因する（サブ画素は正常）と判定される。実施例１によれば、目視検査と同じ正しい検査結果を得ることができる。特に、フレキシブル性を有する表示パネルの場合には、検査ステージ上の異物が当該表示パネルの表面に凹凸を生じるように部分的に当該表面を変形させることがあるが、当該異物に起因して正常なサブ画素を欠陥と誤判定することを防ぐことができる。従って、表示パネルの製造歩留りを向上することができる。
　なお、第１色サブ画素、第２色サブ画素、第３色サブ画素で閾値を変えてもよく、上限および下限を決めて判定してもよい。
比較例１
　比較例１では、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第１領域の強度値Ｌｒの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度値Ｌｒの平均との差ΔＬｒを通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度値の標準偏差ＳＬｒで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第１サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第２領域の強度値Ｌｇの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第２領域の強度値Ｌｇの平均との差ΔＬｇを通常領域Ｙに含まれる複数の第２領域の強度規格値の標準偏差ＳＬｇで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第２サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第３領域の強度値Ｌｂの平均と、通常領域Ｙに含まれる複数の第３領域の強度値Ｌｂの平均との差ΔＬｂを通常領域Ｙに含まれる複数の第３領域の強度規格値の標準偏差ＳＬｂで除した値を閾値Ｔｈと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第３サブ画素の欠陥に起因するのか否かを判定する。
　濃淡領域Ｘ１・Ｘ２について、５×５単位領域分の強度値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 　濃淡領域Ｘ１に隣接する通常領域Ｙ１の１００単位領域分の強度規格値の平均、濃淡領域Ｘ２に隣接する通常領域Ｙ２の１００単位領域分の強度規格値の平均、および通常領域Ｙ１・Ｙ２についての標準偏差ＳＬｒ・ＳＬｇ・ＳＬｂは以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
 　そして、以下の結果が得られる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 　ここで、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｒ/Ｓｒの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、いずれかのサブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第１色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　同様に、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｇ/Ｓｇの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、第２色サブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第２色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　同様に、例えば、閾値Ｔｈを－３とし、Δｂ/Ｓｂの値が－３以下であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、第３色サブ画素の欠陥に起因し、－３より大きいのであれば第３色サブ画素の欠陥に起因しないと判定する。
　以上の判定基準によれば、比較例１では、濃淡領域ＸＲ１の濃淡は、第１色サブ画素の欠陥に起因すると判定される。また、この比較例１では、濃淡領域Ｘ２の濃淡は、第１色サブ画素、第２色サブ画素、及び第３色サブ画素の全てのサブ画素の欠陥に起因すると判定される。しかし、濃淡領域Ｘ２の濃淡は、サブ画素欠陥に起因するものではなく、表示パネル表面の凹凸に起因する（サブ画素は正常）ため、比較例１によれば、目視検査と同じ正しい検査結果を得ることができない。すなわち、比較例１では、濃淡領域Ｘ２について、誤判定を行う。
　さらには、実施例１の方法では、濃淡領域Ｘ１のΔｒ/Ｓｒ、Δｇ/Ｓｇ、Δｂ/Ｓｂの絶対値の最大値9.6は、濃淡領域Ｘ２のΔｒ/Ｓｒ、Δｇ/Ｓｇ、Δｂ/Ｓｂの絶対値の最大値1.5に対して6.4倍の差がある。一方、比較例１の方法では、濃淡領域ＸＲ１のΔｒ/Ｓｒ、Δｇ/Ｓｇ、Δｂ/Ｓｂの絶対値の最大値9.5は、濃淡領域ＸＲ２のΔｒ/Ｓｒ、Δｇ/Ｓｇ、Δｂ/Ｓｂの絶対値の3.8と2.5倍の差しかない。
　実施例１の方法により、欠陥を検出するのに必要な特徴量における比率（サブ画素欠陥起因とそうでないもの比率）を2.5倍から6.4倍と広げることができるため、より検出が容易にできる。
　［実施例２］
　実施例２では、図５に示すように、白色画像を複数の区画（例えば、１単位領域×３単位領域）に分けて各区画の強度値平均を求め、区画の強度値平均から当該強度値平均の所定割合（例えば、数パーセント）以上離れた強度値Ｌｕの単位領域を含むような区画を濃淡領域Ｘとして検出する。
　そして、濃淡領域Ｘおよび通常領域Ｙに含まれる各単位領域について、第１領域の強度値Ｌｒを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第１領域の強度規格値Ｋｒと、第２領域の強度値Ｌｇを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第２領域の強度規格値Ｋｇと、第３領域の強度値Ｌｂを、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で除した値である第３領域の強度規格値Ｋｂとを求める。
　実施例２の判定工程では、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第１領域の強度規格値Ｋｒの平均を、通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均Ａｒと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第１色サブ画素の欠陥に起因するか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第２領域の強度規格値Ｋｇの平均を、通常領域Ｙに含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均Ａｇと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第２色サブ画素の欠陥に起因するか否かを判定し、濃淡領域Ｘに含まれる複数の第３領域の強度規格値Ｋｂの平均を、通常領域Ｙに含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均Ａｂと比較することで、濃淡領域Ｘの濃淡が第３色サブ画素の欠陥に起因するか否かを判定する。
　図７は、実施例２の判定工程を説明する模式図である。例えば、図７のように、ステップＳ２で濃淡領域Ｘ１・Ｘ２が検出された場合、濃淡領域Ｘ１・Ｘ２について、１×３単位領域分の強度規格値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
 　濃淡領域Ｘ１を挟む通常領域Ｙ１の６単位領域分の強度規格値の平均、および濃淡領域Ｘ２を挟む通常領域Ｙ２の６単位領域分の強度規格値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
 　Δｒ，Δｇ，Δｂを、色ごとの、濃淡領域の強度規格値の平均と通常領域の強度規格値の平均との差（絶対値）とすれば、以下の結果を得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
 　ここで、例えば、閾値Ｔｈを０．０１とし、Δｒ/Ａｒ、Δｇ/Ａｇ、Δｂ/Ａｂのいずれかが０．０１以上であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、いずれかのサブ画素の欠陥に起因し、０．０１未満であればいずれのサブ画素の欠陥にも起因しないと判定する。
　以上の判定基準によれば、濃淡領域Ｘ１の濃淡は、サブ画素の欠陥に起因すると判定される。また、濃淡領域Ｘ２の濃淡は、サブ画素欠陥に起因するものではなく、表示パネル表面の凹凸に起因する（サブ画素は正常）と判定される。実施例２によれば、目視検査と同じ正しい検査結果を得ることができる。
比較例２
　実施例２と同様の検討をＫｒ、Ｋｇ、Ｋｂの代わりにＬｒ、Ｌｇ、Ｌｂ、Ａｒ、Ａｇ、Ａｂの代わりに通常領域Ｙに含まれる複数の第１領域の強度値の平均ＡＬｒ、複数の第２領域の強度値の平均ＡＬｇ、複数の第３領域の強度値の平均ＡＬｂとして行う。
濃淡領域Ｘ１・Ｘ２について、１×３単位領域分の強度値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
 　濃淡領域Ｘ１を挟む通常領域Ｙ１の６単位領域分の強度規格値の平均、および濃淡領域Ｘ２を挟む通常領域Ｙ２の６単位領域分の強度値の平均は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
 　ΔＬｒ，ΔＬｇ，ΔＬｂを、色ごとの、濃淡領域の強度値の平均と通常領域の強度値の平均との差（絶対値）とすれば、以下の結果を得ることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
 　ここで、例えば、閾値Ｔｈを０．０１とし、ΔＬｒ/ＡＬｒ、ΔＬｇ/ＡＬｇ、ΔＬｂ/ＡＬｂのいずれかが０．０１以上であれば濃淡領域Ｘの濃淡は、いずれかのサブ画素の欠陥に起因し、０．０１未満であればいずれのサブ画素の欠陥にも起因しないと判定する。
　以上の判定基準によれば、濃淡領域Ｘ１、濃淡領域Ｘ２の濃淡は、ともにサブ画素の欠陥に起因すると判定され、比較例２によれば、目視検査と同じ異なる検査結果となる。
　なお、上記の説明以外に、例えば、Ｌｒ、Ｌｇ、Ｌｂに関しては、重み付けの係数を掛け算して加重平均を求めてもよい。詳細にいえば、上述の説明のようにＬｒ／（Ｌｒ＋Ｌｇ＋Ｌｂ）で判断する以外に、例えば、１．１＊Ｌｒ／（１．１＊Ｌｒ＋Ｌｇ＋０．９＊Ｌｂ）、Ｌｇ／（１．１＊Ｌｒ＋Ｌｇ＋０．９＊Ｌｂ）、及び０．９＊Ｌｂ／（１．１＊Ｌｒ＋Ｌｇ＋０．９＊Ｌｂ）の三つの計算式を用いて、判断してもよい。
　〔まとめ〕
　本発明の態様１に係る表示パネルの製造方法は、第１色の光を発する複数の第１色サブ画素と、前記第１色とは異なる第２色の光を発する複数の第２色サブ画素と、前記第１色および前記第２色とは異なる第３色の光を発する複数の第３色サブ画素とを備えた表示パネルの製造方法であって、ステージに載置された前記表示パネルを点灯させた状態で撮像し、前記複数の第１色サブ画素に対応する複数の第１領域と、前記複数の第２色サブ画素に対応する複数の第２領域と、前記複数の第３色サブ画素に対応する複数の第３領域とを含む画像を得る撮像工程と、前記画像から濃淡が生じている濃淡領域を検出する検出工程と、前記濃淡領域に隣接し、濃淡が生じていない通常領域を設定する設定工程と、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度値とを用いて、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する判定工程と、を含む。
　本発明の態様２に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１において、前記検出工程では、サブ画素の輝度値が所定の閾値よりも小さいまたは大きいことを検出した場合に、当該サブ画素を中心として、所定の画素数を含む領域を前記濃淡領域として検出することとしてもよい。
　本発明の態様３に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１または２において、前記画像において隣り合う、第１領域、第２領域および第３領域を単位領域とし、前記判定工程では、前記濃淡領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第１領域の強度規格値と、第２領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第２領域の強度規格値と、第３領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第３領域の強度規格値とを求めることとしてもよい。
　本発明の態様４に係る表示パネルの製造方法は、前記態様３において、前記判定工程では、前記通常領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度規格値と、第２領域の強度規格値と、第３領域の強度規格値とを求め、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較し、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較し、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較することで、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定することとしてもよい。
　本発明の態様５に係る表示パネルの製造方法は、前記態様３において、前記判定工程では、前記通常領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度規格値と、第２領域の強度規格値と、第３領域の強度規格値とを求め、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均と比較し、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均と比較し、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均と比較することで、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定することとしてもよい。
　本発明の態様６に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１～５において、前記通常領域に含まれる第１領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第１領域の数よりも多く、前記通常領域に含まれる第２領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第２領域の数よりも多く、前記通常領域に含まれる第３領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第３領域の数よりも多いこととしてもよい。
　本発明の態様７に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１～６において、前記濃淡領域には、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第１領域、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第２領域、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第３領域の少なくとも１つが含まれることとしてもよい。
　本発明の態様８に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１～７において、前記撮像工程では、表示パネルの表面に対して斜め方向から撮像することとしてもよい。
　本発明の態様９に係る表示パネルの製造方法は、前記態様１～８において、前記表示パネルが可撓性であることとしてもよい。
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
　１０　検査装置
　１１　撮像部
　１２　プロセッサ
　１３　メモリ
　１７　ステージ
　２０　表示パネル
　４０　異物

Claims (9)

  1. 　第１色の光を発する複数の第１色サブ画素と、前記第１色とは異なる第２色の光を発する複数の第２色サブ画素と、前記第１色および前記第２色とは異なる第３色の光を発する複数の第３色サブ画素とを備えた表示パネルの製造方法であって、
    　ステージに載置された前記表示パネルを点灯させた状態で撮像し、前記複数の第１色サブ画素に対応する複数の第１領域と、前記複数の第２色サブ画素に対応する複数の第２領域と、前記複数の第３色サブ画素に対応する複数の第３領域とを含む画像を得る撮像工程と、
    　前記画像から濃淡が生じている濃淡領域を検出する検出工程と、
    　前記濃淡領域に隣接し、濃淡が生じていない通常領域を設定する設定工程と、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度値と、前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度値とを用いて、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する判定工程と、を含む表示パネルの製造方法。
  2. 　前記検出工程では、サブ画素の強度値が所定の閾値よりも小さいまたは大きいことを検出した場合に、当該サブ画素を中心として、所定の画素数を含む領域を前記濃淡領域として検出する請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
  3. 　前記画像において隣り合う、第１領域、第２領域および第３領域を単位領域とし、
    　前記判定工程では、前記濃淡領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第１領域の強度規格値と、第２領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第２領域の強度規格値と、第３領域の強度値を、第１領域、第２領域および第３領域の強度値の合計で除した値である第３領域の強度規格値とを求める請求項１または２に記載の表示パネルの製造方法。
  4. 　前記判定工程では、前記通常領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度規格値と、第２領域の強度規格値と、第３領域の強度規格値とを求め、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較し、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較し、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均と前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均との差を前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の標準偏差で除した値と、閾値とを比較することで、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
  5. 　前記判定工程では、前記通常領域に含まれる各単位領域について、第１領域の強度規格値と、第２領域の強度規格値と、第３領域の強度規格値とを求め、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第１領域の強度規格値の平均と比較し、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第２領域の強度規格値の平均と比較し、
    　前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均を、前記通常領域に含まれる複数の第３領域の強度規格値の平均と比較することで、前記濃淡領域の濃淡がサブ画素欠陥に起因するか否かを判定する請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
  6. 　前記通常領域に含まれる第１領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第１領域の数よりも多く、
    　前記通常領域に含まれる第２領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第２領域の数よりも多く、
    　前記通常領域に含まれる第３領域の数は、前記濃淡領域に含まれる第３領域の数よりも多い請求項１～５のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
  7. 　前記濃淡領域には、前記濃淡領域に含まれる複数の第１領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第１領域、前記濃淡領域に含まれる複数の第２領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第２領域、前記濃淡領域に含まれる複数の第３領域の強度値平均から当該強度値平均の所定割合以上離れた強度値を有する第３領域の少なくとも１つが含まれる請求項１～６のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
  8. 　前記撮像工程では、表示パネルの表面に対して斜め方向から撮像する請求項１～７のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
  9. 　前記表示パネルが可撓性である請求項１～８のいずれか１項に記載の表示パネルの製造方法。
     
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