JP7042118B2 - 検査装置、検査方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
第1実施形態に係る検査装置について説明する。
まず、第1実施形態に係る検査装置のハードウェア構成について説明する。
第1実施形態に係る検査装置の全体構成について説明する。
次に、第1実施形態に係る検査装置の実画像データ生成装置のハードウェア構成について説明する。
次に、第1実施形態に係る検査装置の画像欠陥検出装置のハードウェア構成について説明する。図3は、第1実施形態に係る検査装置の画像欠陥検出装置のハードウェア構成を説明するためのブロック図である。
次に、第1実施形態に係る検査装置の機能構成について説明する。
第1実施形態に係る検査装置の画像欠陥検出装置の機能構成について説明する。
次に、第1実施形態に係る検査装置の動作について説明する。
まず、第1実施形態に係る検査装置の全体動作について説明する。
no)、ステップST3を行うことなく、ステップST4に進む。
次に、上述した第1実施形態に係る検査装置における全体動作のうち、画像欠陥検出動作について説明する。
第1実施形態に係る画像欠陥検出装置における画像欠陥検出動作のフローチャートについて、図6を用いて説明する。図6は、図5において示したステップST4の詳細を説明するものである。
次に、第1実施形態に係る画像欠陥検出装置における画像欠陥検出動作のうち、補正動作について説明する。
図8は、第1実施形態に係る画像欠陥検出装置における歪み量推定動作を説明するための模式図である。図8では、第1補正済み参照画像データの部分領域毎の代表的な歪み量dと、ローカルシフト量S2との関係が模式的に示される。図8の例では、第1補正済み参照画像データは、M=9個の部分領域R1、R2、…、R9に分割され、当該部分領域R1~R9の各々についてローカルシフト量S2((s2x1、s2y1)、(s2x2、s2y2)、…、(s2x9、s2y9))が推定された場合が示される。
第1実施形態によれば、計算機負荷を低減しつつ、画像の欠陥の誤検出を抑制することが出来る。本効果につき、以下説明する。
なお、第1実施形態は、上述の例に限らず、種々の変形が可能である。
第1実施形態の変形例に係る実画像データ生成装置のハードウェア構成について説明する。
次に、第1実施形態の変形例に係る画像欠陥検出装置の機能構成について説明する。
次に、第1実施形態の変形例に係る画像欠陥検出装置における画像欠陥検出動作について説明する。
第1実施形態の変形例によれば、実画像データとして電子像が生成された場合においても、画像欠陥検出処理を実行することができる。以下、本効果について図17~図21を用いて説明する。
次に、第2実施形態に係る検査装置について説明する。
第2実施形態に係る画像欠陥検出装置の機能構成について説明する。
次に、第2実施形態に係る画像欠陥検出装置における画像欠陥検出動作について説明する。
図24は、第2実施形態に係る画像欠陥検出装置における輝度ムラ推定動作を説明するための模式図である。図24では、第2補正済み参照画像データについて部分領域毎に算出される輝度値の標準偏差IRstd及び平均値IRaveと、被検査画像データ523について部分領域毎に算出される輝度値の標準偏差ISstd及び平均値ISaveと、が模式的に示される。図24の例では、第2補正済み参照画像データ及び被検査画像データ523は、M=9個の部分領域R1、R2、…、R9に分割された場合が示される。
第2実施形態によれば、輝度ムラ推定部508は、式(10)に基づいて、部分領域毎の標準偏差及び平均値(IRstd、IRave)及び(ISstd、ISave)を用いて、当該部分領域毎に適用可能なローカルゲインbg1~bg9、及びローカルオフセットbo1~bo9を算出する。輝度ムラ推定部508は、式(11)に基づいて、ローカルゲインbg1~bg9、及びローカルオフセットbo1~bo9を、代表位置(x1、y1)~(x9、y9)におけるグローバルゲインbg(x1、y1)~bg(x9、y9)及びグローバルオフセットbo(x1、y1)~bo(x9、y9)とみなす。
なお、上述の第1実施形態及び第2実施形態は、参照画像データ522に対して補正を行う場合について説明したが、これに限らず、被検査画像データ523に対して補正を行ってもよい。
Claims (8)
- 第1画像に対応する第2画像を生成する画像生成装置と、
前記第1画像及び前記第2画像内の互いに対応する複数の部分領域に基づいて非線形なずれを推定し、前記第1画像に対する前記第2画像の欠陥を検出する画像欠陥検出装置と、
を備え、
前記非線形なずれは、前記第1画像と前記第2画像との間の歪みを含み、
前記画像欠陥検出装置は、画素の位置を含む変数とする座標変換を適用することによって前記歪みを推定し、
前記画像欠陥検出装置は、
複数の前記部分領域の各々に対する線形マッチングに基づいて、前記部分領域全体の輝度の誤差が最小となる第1シフト量を、複数の前記部分領域の各々について推定するシフト量推定部と、
前記第1シフト量を、対応する部分領域の代表位置における前記歪みとみなし、歪み量の算出に用いられる前記座標変換の係数を推定する歪み量推定部と
を含む、
検査装置。 - 前記シフト量推定部は、
前記第1画像の全体領域と、前記第2画像の全体領域とを線形マッチングし、前記全体領域における輝度の誤差が最小となる第2シフト量を推定し、
前記第1画像内、及び前記第2シフト量が補正された前記第2画像内の互いに対応する複数の前記部分領域の各々を線形マッチングして、複数の前記部分領域の各々について前記第1シフト量を推定する、
請求項1記載の検査装置。 - 前記座標変換は、前記第1画像又は前記第2画像の位置座標を変数とする多項式を含む、請求項1記載の検査装置。
- 前記第1画像及び前記第2画像内の部分領域の数の平方根は、前記多項式の次数より多い、請求項3記載の検査装置。
- 前記画像欠陥検出装置は、
前記第1シフト量及び前記座標変換の係数の推定前に前記第1画像及び前記第2画像のノイズを除去する第1ノイズフィルタと、
前記欠陥の検出に際して前記第1画像及び前記第2画像のノイズを除去する第2ノイズフィルタと、
を更に備える、請求項1記載の検査装置。 - 前記画像生成装置は、光学スキャナ又は走査型電子顕微鏡を含む、請求項1記載の検査装置。
- 第1画像に対応する第2画像を生成する画像生成装置と、前記第1画像に対する前記第2画像の欠陥を検出する画像欠陥検出装置と、を備える検査装置が実行する検査方法であって、
前記画像欠陥検出装置が、
前記第1画像及び前記第2画像内の互いに対応する複数の部分領域に基づいて前記第1画像と前記第2画像との間の歪みを含む非線形なずれを推定することと、
前記歪みを画素の位置を含む変数とする座標変換を適用することによって推定することと、
複数の前記部分領域の各々に対する線形マッチングに基づいて、前記部分領域全体の輝度の誤差が最小となる第1シフト量を、複数の前記部分領域の各々について推定することと、
前記第1シフト量を、対応する部分領域の代表位置における前記歪みとみなし、歪み量の算出に用いられる前記座標変換の係数を推定することと
を備える、検査方法。 - 第1画像に対応する第2画像を生成する画像生成装置と、前記第1画像に対する前記第2画像の欠陥を検出する画像欠陥検出装置と、を備える検査装置に用いられるプログラムであって、
前記画像欠陥検出装置のプロセッサを、
第1画像及び第2画像内の互いに対応する部分領域に基づいて前記第1画像と前記第2画像との間の歪みを含む非線形なずれを推定する手段と、
前記歪みを画素の位置を含む変数とする座標変換を適用することによって推定する手段と、
複数の前記部分領域の各々に対する線形マッチングに基づいて、前記部分領域全体の輝度の誤差が最小となる第1シフト量を、複数の前記部分領域の各々について推定する手段と、
前記第1シフト量を、対応する部分領域の代表位置における前記歪みとみなし、歪み量の算出に用いられる前記座標変換の係数を推定する手段と
として機能させるためのプログラム。
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