TWI577067B - Organic electroluminescent element and manufacturing method thereof - Google Patents
Organic electroluminescent element and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- TWI577067B TWI577067B TW102116632A TW102116632A TWI577067B TW I577067 B TWI577067 B TW I577067B TW 102116632 A TW102116632 A TW 102116632A TW 102116632 A TW102116632 A TW 102116632A TW I577067 B TWI577067 B TW I577067B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- film
- electrode
- organic electroluminescence
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 289
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 171
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 92
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 88
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 66
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 61
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 60
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 50
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 9
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 221
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 63
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 41
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 38
- 230000008569 process Effects 0.000 description 35
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 27
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 22
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 21
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 19
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 16
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 15
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 14
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 13
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 11
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 11
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 9
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 8
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 8
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 8
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 7
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 4
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012693 ceria precursor Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 238000002454 metastable transfer emission spectrometry Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 3
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 3
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- WJMXTYZCTXTFJM-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2-tetraethoxydecane Chemical compound C(C)OC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC WJMXTYZCTXTFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PZKBIVOXIFYDRI-UHFFFAOYSA-N CC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC PZKBIVOXIFYDRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N anthrone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3CC2=C1 RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical compound C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001086 cytosolic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- ZQBAKBUEJOMQEX-UHFFFAOYSA-N phenyl salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C(=O)OC1=CC=CC=C1 ZQBAKBUEJOMQEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 125000001567 quinoxalinyl group Chemical class N1=C(C=NC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 2
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- OTGGHZUEAWMAAK-UHFFFAOYSA-N (1,1-dimethoxy-1-phenyldecan-2-yl)benzene Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OC)(OC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC OTGGHZUEAWMAAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNOLJFCCYQZFBQ-BUHFOSPRSA-N (ne)-n-[(4-nitrophenyl)-phenylmethylidene]hydroxylamine Chemical compound C=1C=C([N+]([O-])=O)C=CC=1C(=N/O)/C1=CC=CC=C1 LNOLJFCCYQZFBQ-BUHFOSPRSA-N 0.000 description 1
- ANBBCZAIOXDZPV-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trimethoxy-2-methyldecane Chemical compound CC(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC ANBBCZAIOXDZPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 1,2-bis[(e)-2-phenylethenyl]benzene Chemical class C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 0.000 description 1
- VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)=N1 VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZVBBTZJMSWGTK-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-butoxyethoxy)ethoxy]butane Chemical compound CCCCOCCOCCOCCCC KZVBBTZJMSWGTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylanthracene Chemical class C1=CC=C2C=C3C(C=C)=CC=CC3=CC2=C1 UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUPMCMZMDAGSPF-UHFFFAOYSA-N 1-phenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1[C](C=C[CH2])C1=CC=CC=C1 GUPMCMZMDAGSPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLTKTTLHCWCQGH-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpropane-2,2-diol Chemical compound CC(O)(O)CC1=CC=CC=C1 ZLTKTTLHCWCQGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPFRRRNIYVFFE-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,5,5-hexamethyl-1,4-dioxane Chemical compound CC1(C)COC(C)(C)C(C)(C)O1 YTPFRRRNIYVFFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GCZWJRLXIPVNLU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-3-methylundecane Chemical compound CC(C(OC)(OC)C)CCCCCCCC GCZWJRLXIPVNLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFFMLCVRJBZUDZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylbutane Chemical group CC(C)C(C)C ZFFMLCVRJBZUDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISPYQTSUDJAMAB-UHFFFAOYSA-N 2-chlorophenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1Cl ISPYQTSUDJAMAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROGIWVXWXZRRMZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylbuta-1,3-diene;styrene Chemical compound CC(=C)C=C.C=CC1=CC=CC=C1 ROGIWVXWXZRRMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran Chemical compound C1OC=CC=C1 MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 3-(1h-benzimidazol-2-yl)-7-(diethylamino)chromen-2-one Chemical compound C1=CC=C2NC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIEWMRPKJCXTAD-UHFFFAOYSA-N 3-(trimethoxymethyl)undecane Chemical compound C(C)C(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC IIEWMRPKJCXTAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNPSQUCXOBDIDY-UHFFFAOYSA-N 4-(trimethoxymethyl)dodecane Chemical compound C(CCCCCCC)C(C(OC)(OC)OC)CCC GNPSQUCXOBDIDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIVZFUBWFAOMCW-UHFFFAOYSA-N 4-n-(3-methylphenyl)-1-n,1-n-bis[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]-4-n-phenylbenzene-1,4-diamine Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 DIVZFUBWFAOMCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 9,10-diphenylanthracene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=CC=CC=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- DAWHRUPVOJXDSC-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC DAWHRUPVOJXDSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLMWJHUSCDIENR-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C(C)C)CCCCCCCC HLMWJHUSCDIENR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BNIOOHXVEYTDJT-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OC)(OC)C(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OC)(OC)C(C)C)CCCCCCCC BNIOOHXVEYTDJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHZTWVUCCHJANV-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC QHZTWVUCCHJANV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWNRZTCEWSRFPZ-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OCC)(OCC)C(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OCC)(OCC)C(C)C)CCCCCCCC MWNRZTCEWSRFPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIIZMMUYAFMSRK-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OCCC)(OCCC)C(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OCCC)(OCCC)C(C)C)CCCCCCCC SIIZMMUYAFMSRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMYPWDFQZIPRHR-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC YMYPWDFQZIPRHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDJFBVZGSKYERF-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(C(OCCCC)(OCCCC)C(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(C)(C)C(C(OCCCC)(OCCCC)C(C)C)CCCCCCCC BDJFBVZGSKYERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNBVAJOHQWRQHU-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)C(CCCCCCCCC)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C Chemical compound C(C)(C)C(CCCCCCCCC)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C RNBVAJOHQWRQHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSJOUNZWVQCBHP-UHFFFAOYSA-N C(C)(C)OC(CCCCCCCCC)(C(C)C)OC(C)C Chemical compound C(C)(C)OC(CCCCCCCCC)(C(C)C)OC(C)C GSJOUNZWVQCBHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BGPOIBAUQXUJHL-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)CC)CCCCCCCC BGPOIBAUQXUJHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MMFKKAVICNYABB-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)CC)CCCCCCCC MMFKKAVICNYABB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTRFHAUIQKAWAP-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)CC)CCCCCCCC BTRFHAUIQKAWAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNGUFVBAHBNZGW-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OC)(OC)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OC)(OC)CC)CCCCCCCC QNGUFVBAHBNZGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEPAKJGFUVCJOW-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OCC)(OCC)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OCC)(OCC)CC)CCCCCCCC XEPAKJGFUVCJOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEYMLSDWUUKDND-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC UEYMLSDWUUKDND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFPKWPNBGJZRKK-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OCCC)(OCCC)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OCCC)(OCCC)CC)CCCCCCCC GFPKWPNBGJZRKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSOACBZRHGOSSP-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC XSOACBZRHGOSSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXBRYWVACOKTTC-UHFFFAOYSA-N C(C)C(C(OCCCC)(OCCCC)CC)CCCCCCCC Chemical compound C(C)C(C(OCCCC)(OCCCC)CC)CCCCCCCC ZXBRYWVACOKTTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBHFRCZYZKILTM-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)CCC)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)CCC)CCCCCCCC YBHFRCZYZKILTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOHDYTGQOWQRLM-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC AOHDYTGQOWQRLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWWJUSNATROAIL-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)CCC)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)CCC)CCCCCCCC UWWJUSNATROAIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFTCDOQQZMYUJW-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OC)(OC)CCC)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OC)(OC)CCC)CCCCCCCC OFTCDOQQZMYUJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYICQNMJAGPXKS-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OCC)(OCC)CCC)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OCC)(OCC)CCC)CCCCCCCC ZYICQNMJAGPXKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSIPEKSEKKFNJA-UHFFFAOYSA-N C(CC)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC Chemical compound C(CC)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC BSIPEKSEKKFNJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACFSDVYCQANYRN-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC Chemical class C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC ACFSDVYCQANYRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDICKWLBCJPQTL-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC HDICKWLBCJPQTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XELKFKOWDQPLDM-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC XELKFKOWDQPLDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSPKGNISVVPUMV-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC HSPKGNISVVPUMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSGRIFNBTXDZQU-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OC)(OC)OC)CCCCCCCC JSGRIFNBTXDZQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STJBWPMXSJHEFV-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC STJBWPMXSJHEFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMAZOIVUIWQRKU-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OCC)(OCC)OCC)CCCCCCCC WMAZOIVUIWQRKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFHLNUBVIOAEMX-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OCCC)(OCCC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OCCC)(OCCC)C1=CC=CC=C1)CCCCCCCC LFHLNUBVIOAEMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSZNKRRPHGLNQU-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC BSZNKRRPHGLNQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLBKZGLWSXMDFW-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)C(CCCCCCCCC)(OCCCC)OCCCC Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(CCCCCCCCC)(OCCCC)OCCCC PLBKZGLWSXMDFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFUYDYUQFXMKFB-UHFFFAOYSA-N CC(C(Cl)(Cl)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(Cl)(Cl)C)CCCCCCCC UFUYDYUQFXMKFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHBYQXQQFLXCBR-UHFFFAOYSA-N CC(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)C)CCCCCCCC AHBYQXQQFLXCBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIQYRWCDAOOZIG-UHFFFAOYSA-N CC(C(OC(C)C)(OC(C)C)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OC(C)C)(OC(C)C)C)CCCCCCCC OIQYRWCDAOOZIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBMQYSPQUKHJNF-UHFFFAOYSA-N CC(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCCCCCCC FBMQYSPQUKHJNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIXAKHZRJVHQQO-UHFFFAOYSA-N CC(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OC(C)CC)(OC(C)CC)C)CCCCCCCC WIXAKHZRJVHQQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNEJJQMNHUGXDW-UHFFFAOYSA-N CC(C(OCC)(OCC)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OCC)(OCC)C)CCCCCCCC LNEJJQMNHUGXDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGXZVGXBNXCJMA-UHFFFAOYSA-N CC(C(OCCC)(OCCC)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OCCC)(OCCC)C)CCCCCCCC AGXZVGXBNXCJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXEOJQGXZGUSRW-UHFFFAOYSA-N CC(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OCCC)(OCCC)OCCC)CCCCCCCC KXEOJQGXZGUSRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXZBOQZQPFHOMJ-UHFFFAOYSA-N CC(C(OCCCC)(OCCCC)C)CCCCCCCC Chemical compound CC(C(OCCCC)(OCCCC)C)CCCCCCCC SXZBOQZQPFHOMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N Imidazolidine Chemical compound C1CNCN1 WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical class SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017911 MgIn Inorganic materials 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N N-phenyl amine Natural products NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC([O-])=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002168 alkylating agent Substances 0.000 description 1
- 229940100198 alkylating agent Drugs 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000008425 anthrones Chemical class 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N carbon disulfide-14c Chemical compound S=[14C]=S QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000005171 halobenzenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- JMHYNOCZNRXMLN-UHFFFAOYSA-N n,n'-dimethylethanimidamide Chemical compound CNC(C)=NC JMHYNOCZNRXMLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229960000969 phenyl salicylate Drugs 0.000 description 1
- 150000004986 phenylenediamines Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920005553 polystyrene-acrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 229920006132 styrene block copolymer Polymers 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- DKPFODGZWDEEBT-QFIAKTPHSA-N taxane Chemical class C([C@]1(C)CCC[C@@H](C)[C@H]1C1)C[C@H]2[C@H](C)CC[C@@H]1C2(C)C DKPFODGZWDEEBT-QFIAKTPHSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000004867 thiadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- IBBLKSWSCDAPIF-UHFFFAOYSA-N thiopyran Chemical compound S1C=CC=C=C1 IBBLKSWSCDAPIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004072 triols Chemical class 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 238000004383 yellowing Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K50/858—Arrangements for extracting light from the devices comprising refractive means, e.g. lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/26—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode
- H05B33/28—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode of translucent electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/341—Short-circuit prevention
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
本發明係關於一種可以提高光取出效率且有效地防止漏電流之發生之有機電致發光元件及其製造方法。
作為形成例如半導體積體電路之微細圖案之方法係除了微影法以外，還知道奈米蓋印法。奈米蓋印法係可以藉由以塑模(模子)和基板來夾入樹脂而轉印奈米位級之圖案之技術，藉由使用之材料而檢討熱奈米蓋印法、光奈米蓋印法等。其中，光奈米蓋印法係由i)樹脂層之塗佈、ii)藉由塑模而造成之沖裁、iii)光硬化以及iv)離模之四製程而組成，在可以藉由此種單純之製程而實現奈米尺寸之加工之方面，變得良好。特別是樹脂層係使用藉由光照射而進行硬化之光硬化性樹脂，因此，可以縮短施加於圖案轉印製程之時間，期待高度之良品率。因此，不僅是半導體元件，並且，也在有機電致發光元件或LED等之光學構件、MEMS、生化晶片等之許多領域，來期待實用化。
在有機電致發光元件(有機發光二極體)，由陽極開始通過電洞注入層而進入之電洞以及由陰極開始通過電子注入層而進入之電子係分別運送至發光層，在發光層內之有機分子上，這些進行再化合，激發有機分子，藉此而釋出光。因
此，在專利文獻1，知道：為了使用有機電致發光元件，來作為顯示裝置或照明裝置，所以，必須由元件之表面，呈效率良好地取出來自發光層之光，結果，將具有凹凸構造之繞射格子基板，設置在有機電致發光元件之光取出面。
【專利文獻1】日本特開2006-236748號公報
【專利文獻2】日本特開2011-44296號公報
【專利文獻3】日本特開2011-48937號公報
由發光層而放射之光係通過電極而射出至外面，因此，一般在一對之電極中之某一邊之電極，使用由顯示光透過性之氧化銦錫(ITO：Indium Tin Oxide)而組成之薄膜。由發光層而放射之光係通過ITO薄膜以及形成ITO薄膜之基板而射出至外面。例如玻璃基板之折射率係1.5程度，ITO薄膜之折射率係2.0程度，一般而言，透明電極之折射率係比較高於基板之折射率。在透明電極和基板之間，存在此種之折射率之關係，因此，由發光層而放射之光係容易全反射於透明電極和基板之間之界面。結果，由發光層而釋出之光係關閉入元件中，有所謂降低由基板來射出之光取出效率之問題發生。
在專利文獻2，揭示一種有機電致發光元件用之附電極基板之製造方法，係按照該順序來層積低折射率層、機能層和顯示光透過性之電極而構成之附電極基板，電極之折射率n1、機能層之折射率n2和低折射率層之折射率n3滿足0≦(n1
-n2)≦0.3及n3<n2≦n1。在該方法，機能層和電極之折射率差係變小，因此，抑制在機能層和電極之界面之全反射，將由發光層來放射而入射至電極之光，呈有效率地傳播至機能層。此外，藉由呈凹凸狀地形成機能層和低折射率層之界面，而使得該凹凸，發揮作為微型透鏡之機能，來抑制在機能層和低折射率層之界面之全反射，藉此而將由電極來入射至機能層之光，呈有效率地傳播至低折射率層。此外，基板係成為越加接近於外界(空氣)之層而折射率越小之層構造，因此，可以縮小接合於空氣之層(低折射率層)和空氣之折射率差。此外，還記載：就機能層之電極側之表面而言，形成為平坦。
在專利文獻3，揭示一種有機電致發光元件1，係在有機電致發光元件，以提高光取出效率且提高辨識性，來作為目的，正如圖11所示，在基板2上，按照該順序而層積第1電極3、有機層4和第2電極5來組成，具備成為基板2和第1電極3之間且在基板2之側而使得配列之週期成為入射波長以下之微細凹凸構造6，在第1電極3側，具備透明層7。構成基板2之物質之折射率n1係構成微細凹凸構造之物質之折射率n2以上(n1≧n2)，因此，基板2和第1電極3之間之折射率位差呈傾斜，減低由於折射率之位差而產生之界面反射，所以，可以提高光取出效率。特別是透明層7係藉由掩埋微細凹凸構造6之凹凸，進行平坦化，而使得形成於其上面之第1電極3之變薄之膜厚，無成為不均勻，恐怕不會發生短路。
在記載於專利文獻2及3之有機電致發光元件之構造，皆藉由在基板上，設置凹凸微細構造層，同時，在第1電極和凹凸微細構造層之間，設置折射率調整層，對於其表面，進行平坦化，而提高光取出效率。但是，在根據本申請人之調查.研究之時，得知：即使是記載於此種專利文獻之技術，也使得光取出效率還不充分。此外，在具有凹凸構造之繞射格子基板來設置於有機電致發光元件之光取出面之狀態下，也必須抑制起因於凹凸構造而造成之漏電流之發生。因此，為了使得有機電致發光元件來實用化於顯示器或照明等之廣泛用途，因此，要求抑制漏電流之發生且具有充分之光取出效率之有機電致發光元件之開發。
於是，本發明之目的係提供一種抑制漏電流之發生且具有高度之光取出效率之有機電致發光元件。
如果按照本發明之第1形態的話，則提供一種有機電致發光元件，其特徵在於：在基板上，按照該順序而具備具有第1凹凸形狀之凹凸圖案層、第1電極、有機層和第2電極層，並且，在前述之凹凸圖案層和第1電極之間，具備輔助層，前述輔助層之第1電極側之表面係具有第2凹凸形狀，第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率係70%以下。
在本發明之有機電致發光元件，控制輔助層表面之凹凸形狀而使得第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率，成為70%以下，因此，可以
抑制漏電流之發生，同時，提高光取出效率。
在本發明之有機電致發光元件，第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率係可以是20~70%。
在本發明之有機電致發光元件，前述輔助層和第1電極之光學膜厚之合計係可以是160nm~400nm。第1電極係可以由ITO而形成，也可以使得膜厚成為80nm以上。前述之輔助層係可以由TiO2而形成。此外，前述之凹凸圖案層和前述之輔助層係皆可以由溶膠凝膠材料等之無機材料而形成，前述之凹凸圖案層係也可以由二氧化矽而形成。
在本發明之有機電致發光元件，可以在分別藉由n0、n1、n2和n3而表示前述基板、前述凹凸圖案層、前述輔助層和前述第1電極層之折射率之時，成立以下之關係：n2≧n3>n1≦n0。
在本發明之有機電致發光元件，前述之凹凸圖案層係可以具有在凹凸之方向無具有指向性之不規則之凹凸圖案。前述凹凸圖案層之凹凸平均間距係可以是100~1200nm，凹凸之平均高度係可以是20~200nm，凹凸形狀之深度標準偏差係可以是10~100nm。
如果按照本發明之第2形態的話，則提供一種有機電致發光元件之製造方法，係前述有機電致發光元件之製造方法，其特徵在於：在基板上，按照該順序而形成前述之凹凸圖案層、前述之輔助層、第1電極、前述之有機層和第2電極層，前述輔助層之第1電極側之表面具有第2凹凸形狀且第2
凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率為70%以下而形成前述之輔助層。前述之凹凸圖案層係可以藉由在前述之基板上，塗佈溶膠凝膠材料，擠壓薄膜狀塑模，進行加熱，而形成前述之凹凸圖案層。
在本發明之有機電致發光元件，在基板上之凹凸圖案層和第1電極之間，具備輔助層，控制輔助層之第1電極側之第2凹凸形狀而使得第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率，成為70%以下，因此，可以維持良好之光取出效率，並且，也有效地抑制漏電流之發生。
1‧‧‧有機電致發光元件
2‧‧‧基板
3‧‧‧第1電極
4‧‧‧有機層
5‧‧‧第2電極
6‧‧‧微細凹凸構造
7‧‧‧透明層
10‧‧‧基板
12‧‧‧凹凸圖案層
14‧‧‧輔助層
16‧‧‧第1電極層
18‧‧‧有機層
20‧‧‧第2電極層
22‧‧‧透鏡層
30‧‧‧有機電致發光元件
40‧‧‧有機電致發光元件
42‧‧‧塗膜(溶膠溶液)
50‧‧‧薄膜狀塑模
60‧‧‧有機電致發光元件
70‧‧‧有機電致發光元件
80‧‧‧有機電致發光元件
90‧‧‧有機電致發光元件
122‧‧‧擠壓用壓輥
123‧‧‧剝離用壓輥
圖1係顯示本發明之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖2係顯示本發明之其他形態之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖3係顯示形成本發明之有機電致發光元件之凹凸圖案層之製程之流程圖。
圖4係顯示圖3之轉印製程之狀態之概念圖。
圖5係顯示本發明之有機電致發光元件之TiO2層之透明電極側之表面凹凸形狀(深度)相對於TiO2層之厚度之標準偏差之圖形。
圖6係顯示相對於本發明之有機電致發光元件之輔助層
(TiO2層)之厚度之形狀變化率之圖形。
圖7係顯示比較例1之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖8係顯示比較例2之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖9係顯示比較例3之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖10係顯示比較例4之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
圖11係顯示揭示於專利文獻3之有機電致發光元件之剖面構造之概略剖面圖。
就本發明之有機電致發光元件之實施形態而參考圖式，同時，進行說明。本發明之有機電致發光元件係正如圖1所示，在基板10上，按照該順序而具備凹凸圖案層12、輔助層14、第1電極層16、有機層18和第2電極層20。
基板係可以使用由玻璃或石英、矽基板等之無機材料而組成之基板、或者是聚乙烯對苯二甲酸酯(PET)、聚乙烯萘二甲酸酯(PEN)、聚碳酸酯(PC)、環烯烴聚合物(COP)、聚甲基甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚醯亞胺(PI)、聚丙烯酸酯等之樹脂基板。基板係可以是透明，也可以是不透明，但是，如果是在該基板上透過由溶膠凝膠材料等而組成之凹凸圖案層12、第1電極層16來形成有機層18的
話，則最好是比較硬質之基板。如果是由有機電致發光元件之用途來看的話，則基板係最好是具備耐熱性、對於UV光等之耐候性之基板。在這些方面，更加理想是由玻璃或石英、矽基板等之無機材料而組成之基板。特別是在由溶膠凝膠材料層等之無機材料而形成凹凸圖案層之狀態下，在由無機材料來形成基板之時，在基板和溶膠凝膠材料層之間，折射率之差異變小，可以防止在光學基板內之無企圖之折射或反射，因此，變得理想。為了在基板上，提高密合性，因此，可以進行表面處理或易接合層之設置等，並且，也可以由於防止水分或氧等之氣體之浸入之目的而進行氣體障蔽層之設置等。
形成於基板10上之凹凸圖案層12係微細之凹凸圖案形成於表面之層。微細之凹凸圖案係發揮作用而使得由有機層18來產生之可見光(例如具有380nm~780nm波長帶之光)、特別是進行在對於基板10之表面呈傾斜之方向之光，朝向至基板10而進行繞射，由基板10來射出。為了使得凹凸圖案層12作用成為此種之繞射格子，因此，作為凹凸之平均間距係可以例如成為100~1500nm之範圍，更加理想是200~1200nm之範圍。在凹凸之平均間距未滿前述之下限，相對於可見光之波長而間距呈過度小，因此，有藉由凹凸而造成之光繞射呈不充分之傾向發生，另一方面，在超過上限時，繞射角變小，有失去作為例如繞射格子之光學元件之機能之傾向發生。凹凸之平均高度係最好是20~200nm之範圍，更加理想是30~150nm之範圍。
凹凸之平均高度係可以例如藉由原子間力顯微鏡而求出凹凸解析畫像，測定100點以上之凹凸解析畫像中之任意之凹部和凸部之深度方向之距離，算出其平均而成為凹凸之平均高度(深度)。在本案，作為表示凹凸之高度、也就是深度或其偏差之指標係使用後面敘述之「凹凸深度之標準偏差」。凹凸之高度方向之各位置係如果是由凹凸之平均高度之中心位置來看的話，則偏差於上下方向。於是，凹凸深度之標準偏差係也成為表示凹凸深度之指標。凹凸深度之標準偏差係可以藉著原子間力顯微鏡，而由凹凸解析畫像以及由底部來求出之凹凸深度分布之平均值，算出凹凸深度之標準偏差。凹凸深度之標準偏差係最好是10~100nm之範圍，更加理想是15~75nm之範圍。
凹凸圖案係最好是例如凹凸之間距並非均一且在凹凸之方向無具有指向性之不規則之凹凸圖案。藉由像這樣，而使得由凹凸圖案層開始散亂及/或繞射之光，並非單一或狹窄區域之波長之光，具有比較寬廣區域之波長帶，散亂光及/或繞射之光係不具有指向性，朝向至所有方向。但是，在「不規則之凹凸圖案」，包含：在解析表面之凹凸形狀而得到之凹凸解析畫像來施行2次元高速度傅里葉轉換處理而得到之傅里葉轉換圖像係顯示圓或圓環狀之花紋、也就是前述凹凸之方向之不具有指向性之凹凸間距分布來具備之模擬週期構造。
凹凸圖案層12之材料係最好是無機材料，特別是可以使用二氧化矽、Ti系材料或ITO(銦錫氧化物)系材料、ZnO、ZrO2、Al2O3等之溶膠凝膠材料。其中，最好是二氧化
矽。凹凸圖案層12之厚度係最好是100~500nm。在凹凸圖案層之厚度未滿100nm之時，不容易轉印藉由蓋印而造成之凹凸形狀。在凹凸圖案層之厚度超過500nm之時，容易發生破裂之產生等之構造缺陷。
在凹凸圖案層12為由溶膠凝膠材料而組成之狀態下，可以藉由圖3所示之方法而形成於基板上。該方法係主要具有：調製溶膠溶液之溶液調製製程S1、將調製之溶膠溶液來塗佈於基板之塗佈製程S2、乾燥塗佈於基板之溶膠溶液之塗膜之乾燥製程S3、在乾燥之塗膜來擠壓薄膜狀塑模之轉印製程S4、由塗膜來剝離塑模之剝離製程S5以及正式燒成塗膜之正式燒成製程S6。在以下，就各製程而依序地進行說明。
最初，為了形成藉由溶膠凝膠法而轉印圖案之塗膜，因此，調製使用之溶膠溶液(圖3之製程S1)。例如在基板上藉由溶膠凝膠法而合成二氧化矽之狀態下，調製金屬醇鹽(二氧化矽先驅物)之溶膠溶液。作為二氧化矽先驅物係可以使用四甲氧基矽烷(MTES)、四乙氧基矽烷(TEOS)、四-i-丙氧基矽烷、四-n-丙氧基矽烷、四-i-丁氧基矽烷、四-n-丁氧基矽烷、四-sec-丁氧基矽烷、四-t-丁氧基矽烷等之四醇鹽單體、甲基三甲氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、丙基三甲氧基矽烷、異丙基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、丙基三乙氧基矽烷、異丙基三乙氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、甲基三丙氧基矽烷、乙基三丙氧基矽烷、丙基三丙氧基矽烷、異丙基三丙氧基矽烷、苯基三丙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、乙基三異丙
氧基矽烷、丙基三異丙氧基矽烷、異丙基三異丙氧基矽烷、苯基三異丙氧基矽烷等之三醇鹽單體、二甲基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二甲基二丙氧基矽烷、二甲基二異丙氧基矽烷、二甲基二-n-丁氧基矽烷、二甲基二-i-丁氧基矽烷、二甲基二-sec-丁氧基矽烷、二甲基二-t-丁氧基矽烷、二乙基二甲氧基矽烷、二乙基二乙氧基矽烷、二乙基二丙氧基矽烷、二乙基二異丙氧基矽烷、二乙基二-n-丁氧基矽烷、二乙基二-i-丁氧基矽烷、二乙基二-sec-丁氧基矽烷、二乙基二-t-丁氧基矽烷、二丙基二甲氧基矽烷、二丙基二乙氧基矽烷、二丙基二丙氧基矽烷、二丙基二異丙氧基矽烷、二丙基二-n-丁氧基矽烷、二丙基二-i-丁氧基矽烷、二丙基二-sec-丁氧基矽烷、二丙基二-t-丁氧基矽烷、二異丙基二甲氧基矽烷、二異丙基二乙氧基矽烷、二異丙基二丙氧基矽烷、二異丙基二異丙氧基矽烷、二異丙基二-n-丁氧基矽烷、二異丙基二-i-丁氧基矽烷、二異丙基二-sec-丁氧基矽烷、二異丙基二-t-丁氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二丙氧基矽烷、二苯基二異丙氧基矽烷、二苯基二-n-丁氧基矽烷、二苯基二-i-丁氧基矽烷、二苯基二-sec-丁氧基矽烷、二苯基二-t-丁氧基矽烷等之二醇鹽單體。此外，也可以使用烷基之碳數為C4~C18之烷基三烷氧基矽烷或二烷基二烷氧基矽烷。可以使用複合材料等之金屬醇鹽，其特徵在於：在聚合少量之這些單體之聚合物、前述材料之一部分，導入官能基或聚合物。此外，也可以藉由氟而取代這些之烷基或苯基之一部分或全部。此外，列舉
金屬乙醯基丙酮酸酯、金屬羧酸酯、羥基氯化物、氯化物或者是這些之混合物等，但是，並非限定於這些。此外，作為金屬種係除了Si以外，還列舉Ti、Sn、Al、Zn、Zr、In等或者是這些之混合物等，但是，並非限定於這些。也可以使用呈適度地混合前述氧化金屬之先驅體者。此外，可以在這些之表面，進行疏水化處理。疏水化處理之方法係可以使用知道之方法，如果例如是二氧化矽表面的話，則也可以藉由二甲基二氯代矽烷、三甲基烷氧基矽烷等而進行疏水化處理，並且，也可以使用藉由六甲基二矽氨烷等之三甲基甲矽烷基化劑和矽酮油而進行疏水化處理之方法，而且，也可以將使用超臨界二氧化碳之金屬氧化物粉末之表面處理方法予以採用。
在使用TEOS和MTES之混合物之狀態下，這些之混合比係可以成為例如以莫爾數比而成為1：1。該溶膠溶液係藉由進行水解和縮聚反應而生成非結晶質二氧化矽。為了調整溶液之pH值，來作為合成條件，因此，添加鹽酸等之酸或氨等之鹼。pH值係最好是4以下或10以上。此外，為了進行水解，因此，可以加入水。加入之水量係可以相對於金屬醇鹽種而以莫爾數比，來成為1.5倍以上。
作為溶膠溶液之溶媒係列舉例如甲醇、乙醇、異丙醇(IPA)、丁醇等之醇類、己烷、庚烷、辛烷、癸烷、環己烷等之脂肪族烴類、苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等之芳香族烴類、二乙基醚、四氫化呋喃、二噁烷等之醚類、丙酮、甲基乙基甲酮、異佛爾酮、環己酮等之酮類、丁氧基乙基醚、己基羥乙基醇、甲氧基-2-丙醇、苄基羥基乙醇等之醚醇類、乙
二醇、丙二醇等之甘醇類、乙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯等之甘醇醚類、乙酸乙酯、乳酸乙酯、γ-丁內酯等之酯類、苯酚、氯苯酚等之苯酚類、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮等之醯胺類、三氯甲烷、二氯甲烷、四氯乙烷、單氯苯、二氯苯等之鹵素系溶媒、二硫化碳等之含異元素化合物、水、以及這些之混合溶媒。特別最好是乙醇和異丙醇，並且，也最好是在這些來混合水。
作為溶膠溶液之添加物係可以使用黏度調整用之聚乙二醇、聚乙烯氧化物、羥基丙基纖維素、聚乙烯醇、或者是成為溶液安定劑之三乙醇胺等之烷醇胺、乙醯基丙酮等之β-二酮、β-酮酯、甲醯胺、二甲基甲醯胺、二噁烷等。
將正如前面之敘述而調製之溶膠溶液，來塗佈於基板上(圖3之製程S2)。由量產性之觀點來看的話，則最好是連續地搬送複數個之基板，同時，在規定之位置，將溶膠溶液，來塗佈於基板。作為塗佈方法係可以使用桿條塗佈法、旋轉塗佈法、噴射塗佈法、浸漬塗佈法、模子塗佈法、噴墨法等之任意之塗佈方法，但是，如果是可以在比較大面積之基板呈均勻地塗佈溶膠溶液且可以在溶膠溶液來進行溶膠化之前呈迅速地完成塗佈的話，則最好是模子塗佈法、桿條塗佈法及旋轉塗佈法。
在塗佈製程後，為了蒸發塗膜(在以下，也適度地稱為「溶膠凝膠材料層」。)中之溶媒，因此，在大氣中或減壓下，保持基板而進行乾燥(圖3之製程S3)。在縮短該保
持時間之時，塗膜之黏度係過度低而在後續之轉印製程，無法轉印圖案，在保持時間呈過度長之時，先驅體之聚合反應係過度進行而在轉印製程，無法進行轉印。在量產光學基板之狀態下，該保持時間係可以藉著附加於由溶膠溶液之塗佈開始至後續之藉由薄膜狀塑模來造成之轉印製程為止之基板之搬送時間，而進行管理。作為該乾燥製程之基板之保持溫度係最好是在10~100℃之範圍，成為一定之溫度，更加理想是在10~30℃之範圍，成為一定之溫度。在保持之溫度更加高於該範圍時，在轉印製程前，急速地進行塗膜之凝膠化反應，因此，變得不理想，在保持之溫度更加低於該範圍時，轉印製程前之塗膜之凝膠化反應係變得緩慢，降低生產性，變得不理想。在塗佈溶膠溶液之後，進行溶媒之蒸發，同時，也進行先驅體之聚合反應，溶膠溶液之黏度等之物性也變化於短時間。溶媒之蒸發量係也依附於使用在溶膠溶液調製時之溶媒量(溶膠溶液之濃度)。例如在溶膠溶液為二氧化矽先驅體之狀態下，作為凝膠化反應係引起二氧化矽先驅體之水解.縮聚反應，通過脫醇反應而在溶膠溶液中，來生成醇。另一方面，在溶膠溶液中，使用例如醇之揮發性溶媒，來作為溶媒。也就是說，在溶膠溶液中，包含生成於水解過程之醇以及存在成為溶媒之醇，藉由在乾燥製程，來除去這些而進行溶膠凝膠反應。因此，最好是也考慮凝膠化反應和使用之溶媒，調整保持時間或保持溫度。此外，在乾燥製程，在僅仍然直接地保持基板之狀態下，蒸發溶膠溶液中之溶媒，因此，不需要一定進行加熱或送風等之積極之乾燥操作，即使是僅仍然直接地以規定之時間，來放置形
成塗膜之基板，或者是為了後續之製程而僅搬送於規定時間之間，也變得足夠。也就是說，在基板形成製程，不需要乾燥製程。
在經過正如前面之敘述而設定之時間後，藉由將具有微細凹凸圖案之塑模來擠壓於塗膜，而將凹凸圖案，轉印於基板上之塗膜(圖3之製程S4)。作為塑模係最好是使用具有柔軟性或可撓性之薄膜狀塑模。例如圖4所示，可以藉由在擠壓用壓輥122和搬送於其正下方之基板10之間，送入薄膜狀塑模50，而將薄膜狀塑模50之凹凸圖案，來轉印於基板10上之塗膜(溶膠溶液)42。也就是說，在藉由擠壓用壓輥122而將薄膜狀塑模50來擠壓於塗膜42之際，同步地搬送薄膜狀塑模50和基板10，同時，薄膜狀塑模50被覆於基板10之塗膜42之表面。在此時，藉由擠壓用壓輥122擠壓於薄膜狀塑模50之背面(相反於形成凹凸圖案之面之相反側之面)，同時，進行旋轉，而行進薄膜狀塑模50和基板10，同時，進行密合。此外，為了朝向至擠壓用壓輥122而送入長尺狀之薄膜狀塑模50，因此，便利於由捲繞長尺狀之薄膜狀塑模50之薄膜壓輥開始直接地抽出薄膜狀塑模50而進行使用。
使用於本發明之光學構件製造之薄膜狀塑模係薄膜狀或薄片狀，成為在表面具有凹凸之轉印圖案之塑模。藉由例如矽酮樹脂、聚乙烯對苯二甲酸酯(PET)、聚乙烯萘二甲酸酯(PEN)、聚碳酸酯(PC)、環烯烴聚合物(COP)、聚甲基甲基丙烯酸酯(PMMA)、聚苯乙烯(PS)、聚醯亞胺(PI)、聚芳基化物之有機材料而形成。此外，凹凸圖案係可以直接地
形成於前述之材料，並且，也能夠以前述之材料，作為基材(基板薄片)而形成在被覆於其上面之凹凸形成材料。作為凹凸形成材料係可以使用光硬化性樹脂或熱硬化性樹脂、熱塑性樹脂。
可以藉由薄膜狀塑模之尺寸、特別是量產之長度之光學基板之尺寸或者是以1次之製造製程呈連續地製造之光學基板之數目(批量數)而適度地進行設定。例如可以成為長度10m以上之長尺狀之塑模，由壓輥開始連續地抽出捲繞於壓輥之薄膜狀塑模，同時，連續地轉印於複數個之基板。薄膜狀塑模之幅寬係可以成為50~3000mm、厚度1~500μm。可以在基材和塗膜之間，為了提高密合性而施行表面處理或易接合處理。此外，可以配合需要而在這些之凹凸圖案面上，施行離模處理。凹凸圖案係能夠以任意之方法而形成任意之形狀。
薄膜狀塑模係比起藉由金屬等而形成之壓輥狀塑模，還具有以下之優點。由金屬或石英等而形成之硬質之塑模係在其凹凸圖案來發現缺陷之狀態下，可以進行該缺陷部之洗淨或修理(缺陷之修補)，可以藉此而防止由於缺陷部轉印至溶膠凝膠材料層來造成之不良。但是，在薄膜狀塑模之狀態下，不容易進行此種洗淨．修理。另一方面，金屬或石英等之塑模係壓輥狀，在塑模由於孔堵塞等而發生缺陷之際，必須即刻停止轉印用裝置而進行塑模之交換。相對於此，在薄膜狀塑模，藉由扇葉而對應於玻璃基板同時進行轉印，因此，存在孔堵塞等之不良之部位係標記於檢查階段，可以直到該不良部位來通過玻璃基板為止而使得玻璃基板側之搬送，成為待機。所
以，在整體地進行觀察時，可以降低不良品之發生，可以藉此而提高良品率。此外，在企圖由金屬或石英等之硬質塑模呈直接地轉印凹凸圖案至溶膠凝膠材料層之時，正如以下顯示，產生各種之限制，無法充分地引出要求之性能。例如在形成溶膠凝膠材料層之基板來使用玻璃等之硬質基板之狀態下，在強化硬質間用之塑模之擠壓時，發生基板破裂等之損傷，相反地，在弱化塑模之擠壓時，不容易調整凹凸圖案之轉印變淺等之擠壓。因此，加強在基板來使用柔軟之材料或者是在塑模來使用柔軟之材料。即使是在使用薄膜狀塑模(柔軟塑模)之狀態下，也容易對於薄膜狀塑模，來進行離模，在基板側，密合性呈良好，並且，最好是凹凸之圖案轉印性也良好之材料。
薄膜狀塑模之凹凸圖案係最好是例如凹凸之間距不均一且在凹凸之方向無具有指向性之不規則之凹凸圖案。作為凹凸之平均間距係可以成為例如100~1500nm之範圍，更加理想是200~1200nm之範圍。凹凸之平均高度係最好是20~200nm之範圍，更加理想是30~150nm之範圍。由此種凹凸圖案來進行散亂及/或繞射之光係並非單一或狹窄區域之波長之光，具有比較寬廣區域之波長帶，散亂光及/或繞射之光係不具有指向性，朝向至所有方向。
在使用圖4所示之擠壓用壓輥之壓輥製程，比較於沖裁式而具有以下之優點。i)塑模和塗膜來接合之時間係變短，因此，可以防止由於塑模或基板和設置基板之台階等之熱膨脹係數之差異而造成之圖案崩潰。ii)成為壓輥製程，因此，可以提高生產性，並且，可以藉由使用長尺狀之薄膜狀塑
模而更加地提高生產性。iii)可以防止由於凝膠溶液中之溶媒之暴沸而在圖案中發生氣體之氣泡或者是殘留氣體痕跡。iv)進行和基板(塗膜)之線接觸，因此，可以縮小轉印壓力和剝離力，容易對應於大面積化。v)在擠壓時，並無咬入氣泡。此外，作為塑模係使用具有可撓性之薄膜狀塑模，因此，在形成於比較硬質之基板10上之溶膠凝膠材料層42來轉印塑模之凹凸圖案之時，可以涵蓋基板之整個面而將塑模之圖案呈均勻地擠壓於溶膠凝膠材料層。可以藉此而在溶膠凝膠材料層，呈忠實地轉印塑模之凹凸圖案，可以抑制轉印之洩漏或缺陷之發生。
在該轉印製程，可以加熱塗膜，同時，將薄膜狀塑模，擠壓於塗膜。作為加熱塗膜之方法係例如可以通過擠壓用壓輥而進行加熱，或者是也可以直接或由基板側來進行塗膜之加熱。在通過擠壓用壓輥而進行加熱之狀態下，可以在擠壓用壓輥(轉印用壓輥)之內部，設置加熱用手段，也可以使用任意之加熱手段。適合在擠壓用壓輥之內部，來具備加熱用加熱器，但是，也可以具備不同於擠壓用壓輥之其他個體之加熱器。如果即使是如何怎樣也加熱塗膜同時可以進行擠壓的話，則可以使用任何一種擠壓用壓輥。擠壓用壓輥係最好是具有在表面具備耐熱性之乙烯-丙烯-二烯烴橡膠(EPDM)或矽酮橡膠、腈橡膠、氟橡膠、丙烯橡膠、氯丁二烯橡膠等之樹脂材料之被覆膜之壓輥。此外，為了抵抗藉由擠壓用壓輥而施加之壓力，因此，可以設置支持用壓輥而對向於擠壓用壓輥，來夾住基板，或者是也可以設置支持基板之支持台。
在擠壓時之塗膜之加熱溫度係可以成為40℃~150℃，在使用擠壓用壓輥而進行加熱之狀態下，擠壓用壓輥之加熱溫度係可以同樣地成為40℃~150℃。可以藉著像這樣，加熱擠壓用壓輥，而由以塑模來進行擠壓之塗膜，即刻地剝離塑模，可以提高生產性。在塗膜或擠壓用壓輥之加熱溫度未滿40℃，無法期待由塗膜呈迅速地剝離塑模，在超過150℃時，恐怕會急劇地蒸發使用之溶媒而使得凹凸圖案之轉印變得不充分。此外，可以藉由加熱塗膜，同時，進行擠壓，而期待相同於後面敘述之溶膠凝膠材料層之假燒成之同樣之效果。
可以在塗膜(溶膠凝膠材料層)來擠壓塑模之後，對於塗膜，來進行假燒成。在無進行加熱而擠壓塗膜之狀態下，最好是進行假燒成。藉由進行假燒成而進行塗膜之凝膠化，固化圖案，在剝離之際，不容易崩壞。也就是說，假燒成係具有所謂形成確實之圖案以及提高塑模之剝離性之二種功能。在進行假燒成之狀態下，最好是在大氣中，加熱於40~150℃之溫度。
由轉印製程或假燒成製程後之塗膜(溶膠凝膠材料層)來剝離塑模(圖3之製程S5)。正如前面之敘述，使用壓輥製程，因此，可以比起藉由沖裁式而使用之平板狀塑模，還更加地縮小剝離力，可以使得塗膜無殘留於塑模而容易由塗膜來剝離塑模。特別是加熱塗膜，同時，進行擠壓，因此，容易進行反應，在進行擠壓後，即刻容易由塗膜來剝離塑模。此外，為了提高塑模之剝離性，因此，可以使用剝離用壓輥。正如圖4所示，可以藉由將剝離用壓輥123，設置在擠壓用壓輥
122之下游側，以剝離用壓輥123，來使得薄膜狀塑模50彈推於塗膜42，同時，進行旋轉．支持，而僅以擠壓用壓輥122和剝離用壓輥123之間之距離(一定時間)，來維持薄膜狀塑模50附著於塗膜之狀態。接著，藉由在剝離用壓輥123之下游側，變更薄膜狀塑模50之進路來使得薄膜狀塑模50上拉至剝離用壓輥123之上方，而由形成凹凸之塗膜42，來剝離薄膜狀塑模50。此外，可以在薄膜狀塑模50附著於塗膜之期間，進行前述塗膜之假燒成或加熱。此外，在使用剝離用壓輥123之狀態下，可以例如藉由加熱於40~150℃，同時，進行剝離，而更加容易地剝離塗膜。
在由基板10之塗膜(溶膠凝膠材料層)42來剝離塑模之後，對於塗膜，進行正式燒成(圖3之製程S6)。將包含於例如藉由正式燒成而構成塗膜之二氧化矽之溶膠凝膠材料層中之氫氧基等予以脫離，使得塗膜呈更加地強固。正式燒成係可以在200~1200℃之溫度，進行5分鐘~6小時程度。像這樣，塗膜係進行硬化而得到具有對應於薄膜狀塑模之凹凸圖案之凹凸圖案層12之基板10。在此時，在溶膠凝膠材料層為二氧化矽之狀態下，對應於燒成溫度、燒成時間而成為非結晶質或結晶質或者是非結晶質和結晶質之混合狀態。
輔助層14係形成於凹凸圖案層12之上。輔助層14係藉由凹凸圖案層12之表面凹凸圖案，成為光滑(淺波形)，而進行防止由於形成在其上面之第1電極層16所產生之漏電流之發生之作用。另一方面，在根據本發明人之實驗時，
則得知：在輔助層14之第1電極層16側之表面(在以下，適度地稱為輔助層14之表面。)無殘留凹凸圖案之時，也就是說，在輔助層14之表面成為平坦面之時，比起殘留凹凸圖案之狀態，還更加相反地降低光取出效率。就該理由而言，發明人係正如以下而進行考察。在輔助層14之表面成為平坦之時，第1電極16、有機層18和第2電極20係也平坦，引起由有機層18開始到達至第2電極20之光藉由第2電極20之自由電子而進行吸收之所謂胞質團之吸收。由於此種理由，因此，輔助層14之表面凹凸形狀係如同凹凸圖案層12而使得凹凸之深度變得不深，但是，必須控制凹凸形狀而成為不平坦之程度。在本發明，為了表示輔助層14之表面凹凸形狀、也就是凹凸(深度)之程度，因此，使用相反於輔助層14之基板10之相反側之表面凹凸形狀(在以下，適度地稱為「第2凹凸形狀」。)之凹凸深度(在以下，適度地稱為「第2凹凸深度」。)之標準偏差相對於凹凸圖案層12之表面凹凸形狀(在以下，適度地稱為「第1凹凸形狀」。)之凹凸深度(在以下，適度地稱為「第1凹凸深度」。)之標準偏差之變化率。在本文中，將該變化率，適度地稱為「形狀變化率」。也就是說，形狀變化率W係藉由下列之公式而表示。
W=(σ1-σ2)/σ1
在公式中，σ1係第1凹凸深度之標準偏差，σ2係第2凹凸深度之標準偏差。
在本發明，形狀變化率係70%以下，特別最好是20%~70%。在第2凹凸形狀(波形)存在於輔助層之時，堆
積於其上面之第1電極層16和有機層18之表面係仿照第2凹凸形狀而成為凹凸形狀，可以在各層之境界，期待相同於前述凹凸圖案層12之同樣之繞射格子效果。但是，認為在形狀變化率呈太小之時，第2凹凸形狀係接近於第1凹凸形狀，特別是在第1電極16，產生顯著之突起，因此，容易發生漏電流。所以，形狀變化率係最好是20%以上。另一方面，在形狀變化率變大時，也就是說，在輔助層14之表面進行平坦化之時，容易抑制漏電流之發生，但是，容易由於來自輔助層14之表面之反射而引起在第2電極表面之胞質團吸收，由於這樣而降低光取出效率。於是，控制輔助層14之表面形狀而使得形狀變化率，成為70%以下。此外，認為在僅藉由輔助層14之表面凹凸形狀而進行評價之時，在第2凹凸深度之標準偏差未滿2.5nm之時，容易引起胞質團之吸收。
輔助層14之膜厚係也對於在有機電致發光元件之層積構造內而產生之多次干涉，造成影響。於是，為了由基板來取出之光波峰波長位置，進行最適當化或位移，因此，可以適度地調整輔助層14之厚度。
輔助層14係最好是由TiO2、ZnO、ZnS、ZrO、BaTiO3、SrTiO2等之無機材料而構成。其中，由於成膜性或折射率之關係，因此，最好是TiO2。輔助層14係可以藉由任意之方法而形成，但是，可以使用：塗佈溶膠凝膠材料之溶液而進行凝膠化之方法、對於無機微粒分散液來進行塗佈乾燥之方法、液相堆積法(LPD：Liquid Phase Deposition)等。在使用TiO2分散液之狀態下，TiO2微粒係不小於10nm，並且，容易
成為2次凝集體而無法完全地粉碎。結果，輔助層14之表面粗糙度係超過5nm，容易產生漏電流。因此，最好是使用藉由旋轉塗佈等而塗佈使用鈦之醇鹽或有機化合物之溶膠凝膠溶液，進行乾燥加熱及凝膠化之溶膠凝膠法。
第1電極16係形成於輔助層14之上。第1電極16係為了透過至來自於形成在其上面之有機層18之光之基板側，因此，具有透過性。於是，也稱為透明電極。作為電極材料係使用例如氧化銦、氧化鋅、氧化錫、以及成為這些之複合體之銦．錫．氧化物(ITO)、金、白金、銀、銅。即使是在這些當中，也由透明性和導電性之觀點來看的話，則最好是ITO。
作為第1電極16之形成方法係可以適度地採用蒸鍍法、濺鍍法、CVD法、噴射法等之習知方法。即使是在這些方法中，也由所謂提高密合性之觀點來看的話，則最好是濺鍍法。可以在藉由濺鍍法等而成膜電極材料層之後，使用光微影製程(光蝕刻法)而形成要求之電極圖案。
能夠以第1電極16之實際膜厚而成為80~200nm或者是以光學膜厚而成為160~400nm之範圍。在本發明，在厚度未滿前述之下限，導電性容易變得不充分，在超過前述之上限時，透明性係變得不充分，並且，發光之光(EL光)容易存在於第1電極16和輔助層14之內部，恐怕會降低光取出效率。特別是在輔助層14和第1電極之折射率成為接近值且這些之合計膜厚成為規定之厚度以上之時，發光之光係容易存在於這些之二層內。由於後面敘述之實施例之結果等，因此，
在藉由光學長度而表示輔助層和第1電極之膜厚之狀態下之合計(合計光學膜厚)係最好是160nm~400nm。通常光可以定在於膜內之膜厚度係稱為λ/4，但是，認為這個係有機電致發光元件之發光中心波長成為600nm程度，因此，多少會造成影響。在合計光學膜厚超過400nm之時，發光之光係容易定在於二層內，降低光取出效率，並且，也容易發生在任何一層來造成破裂等之構造缺陷。在合計光學膜厚未滿160nm之時，無法藉由這些膜而修復發生於凹凸圖案層之凹陷缺陷或異物，容易發生漏電流。合計光學膜厚係最好是160nm~250nm。此外，相同於輔助層14，第1電極層16之膜厚係也對於在有機電致發光元件之層積構造內而產生之多次干涉，造成影響。於是，為了由基板來取出之光波峰波長位置，進行最適當化，因此，可以一起和輔助層14或者是不同於輔助層14而另外調整第1電極層16之厚度。此外，在本說明書，在無表記為光學膜厚之狀態下，表示實際之膜厚(實際膜厚)。
在本發明，最好是在由玻璃材料來形成基板10且使用二氧化矽系之溶膠凝膠材料而形成凹凸形成層12之狀態下，在第1電極層16、輔助層14、凹凸形成層12和基板10之間，成立以下之折射率之關係。在基板10、凹凸形成層12、輔助層14和第1電極層16之折射率分別成為n0、n1、n2及n3之時，成為n2≧n3>n1≦n0，並且，為了抑制在凹凸圖案層/基板之界面之全反射，因此，最好是0≦n1-n0≦0.1。此外，第1電極層16之折射率(λ=550nm)係在加熱基板之溫度而成為200℃以上同時進行成膜之狀態下，成為1.8~1.9，
在室溫來成膜基板溫度之狀態下，成為2.0~2.1，但是，輔助層14之折射率係即使是在任何一種之狀態下，也得到第1電極層16之折射率以上之值。
有機層18係如果是可以使用於有機電致發光元件之有機層的話，則並無特別限制，可以適度地利用習知之有機層。此外，此種有機層18係可以是各種之有機薄膜之層積體，例如可以是由電洞輸送層、發光層和電子輸送層而組成之層積體。作為電洞輸送層之材料係列舉酞菁衍生物、水楊酸萘酯菁衍生物、卜啉衍生物、N,N’-雙(3-甲基苯基)-(1,1’-聯苯基)-4,4’-二胺(TPD)或4,4’-雙[N-(萘基)-N-苯基-胺基]聯苯基(α-NPD)等之芳香族二胺化合物、噁唑、噁二唑、三唑、咪唑、咪咪酮、芪衍生物、吡唑啉衍生物、四氫化咪唑、聚芳基鏈烷、丁二烯、4,4’,4”-三(N-(3-甲基苯基)N-苯基胺基)三苯基胺(m-MTDATA)，但是，並非限定於這些。
此外，發光層係進行設置而用以再化合由第1電極16來注入之電洞和由第2電極20來注入之電子來進行發光。作為可以使用於發光層之材料係可以使用蒽、萘、芘、丁省、暈苯、二萘嵌苯、酞二萘嵌苯、水楊酸萘酯二萘嵌苯、二苯基丁二烯、四苯基丁二烯、香豆素、氧化二唑、雙苯并噁唑啉、雙苯乙烯基、環戊二烯、鋁喹啉酚配位化合物(Alq3)等之有機金屬配位化合物、三-(p-聯三苯-4-醯)胺、1-芳基-2,5-二(2-噻嗯基)吡咯衍生物、吡喃、喹吖酮、紅
熒烯、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基丙炔衍生物、二苯乙烯基胺衍生物、以及各種之螢光色素等。此外，也最好是適度地混合由這些化合物中而選擇之發光材料來使用。此外，列舉可以也適度地使用：顯示來自旋轉多重項之發光之材料系、例如產生磷光發光之磷光發光材料以及在分子內之一部分來具有由這些而組成之部位之化合物。此外，前述之磷光發光材料係最好是包含銥等之重金屬。可以在高度之載體遷移率之基質材料中，摻雜前述之發光材料，來作為臨時材料，利用偶極子-偶極子相互作用(霍斯特機構)、電子交換相互作用(德克斯特(Dexter)機構)而進行發光。此外，作為電子輸送層97之材料係列舉硝基取代芴衍生物、二苯基醌衍生物、硫代吡喃二氧化物衍生物、萘二萘嵌苯等之雜環四羧酸酐、碳化二亞胺、亞芴基甲烷衍生物、蒽醒二甲烷和蒽酮衍生物、噁二唑衍生物、鋁喹啉酚配位化合物(Alq3)等之有機金屬配位化合物等。此外，在前述之噁二唑衍生物，也可以使用將噁二唑環之氧原子來取代成為硫原子之噻二唑衍生物、具有知道作為電子吸收基之喹喔啉環之喹喔啉衍生物，來作為電子輸送材料。此外，也可以使用將這些材料導入至高分子鏈或者是以這些材料來作為高分子主鏈之高分子材料。此外，電洞輸送層或電子輸送層係可以兼具發光層之功能。在該狀態下，第1電極16和第2電極20之間之有機層18係成為二層。
此外，由所謂容易進行來自第2電極20之電子注入之觀點來看的話，則可以在有機層18和第2電極20之間，設置由氟化鋰(LiF)、Li2O3等之金屬氟化物或金屬氧化物、
Ca、Ba、Cs等之高活性之鹼土類金屬、有機絕緣材料等而組成之層，來作為電子注入層。此外，由所謂容易進行來自第1電極16之電洞注入之觀點來看的話，則可以在有機層18和第1電極16之間，設置由三唑衍生物、噁二唑衍生物、咪唑衍生物、聚芳基鏈烷衍生物、吡唑啉衍生物及氧化吡唑啉、苯撐二胺衍生物、芳基胺衍生物、胺基取代苯丙烯醯苯衍生物、噁唑衍生物、苯乙烯基蒽衍生物、芴衍生物、腙衍生物、芪衍生物、矽氨烷衍生物、苯胺系共聚物或者是導電性高分子寡聚物、特別是噻吩寡聚物等而組成之層，來作為電洞注入層。
此外，在有機層18是由電洞輸送層、發光層和電子輸送層而組成之層積體之狀態下，電洞輸送層、發光層和電子輸送層之厚度係最好是分別為1~200nm之範圍、5~100nm之範圍以及5~200nm之範圍。作為層積有機層18之方法係可以適合採用蒸鍍法、濺鍍法、旋轉塗佈法、模塗佈法等之習知方法。
在有機層18之上，設置第2電極20，來作為金屬電極。作為第2電極20之材料係可以適度地使用功函數小之物質，並無特別限定，但是，列舉例如鋁、MgAg、MgIn、AlLi。此外，第2電極20之厚度係最好是50~500nm之範圍。在厚度未滿前述之下限，容易降低導電性，在超過前述之上限時，在發生電極間短路之際，可能會不容易修復。第2電極20係可以採用蒸鍍法、濺鍍法等之習知方法而進行層積。像這樣而得到圖1所示之構造之有機電致發光元件30。
第2電極20係金屬電極，因此，作為其鏡面反射對策係可以在第2電極20之上，設置偏光板。有機電致發光元件30係為了防止由於水分或氧而造成之惡化，因此，還可以藉由密封材料而密封有機電致發光元件30。
在圖2，顯示本發明之有機電致發光元件之其他之實施形態。該有機電致發光元件40係可以在圖1所示之有機電致發光元件之基板10之外側面，設置透鏡層22。可以藉由設置此種透鏡層22，而將通過基板10內之光來全反射於基板10(包含透鏡層22)和空氣之界面予以抑制，提高光取出效率。作為透鏡層22係可以採用例如半球透鏡、波紋狀構造透鏡。作為此種透鏡層22係如果是可以使用於有機電致發光元件之光取出用的話，則並無特別限制，可以使用具有能夠取出光至元件外側之構造之任意之光學構件。作為此種透鏡層22係可以使用例如半球透鏡之凸透鏡、凹透鏡、稜鏡透鏡、圓柱狀透鏡、凹凸型透鏡、由可以藉著相同於製造後面敘述之繞射格子基板之方法之同樣方法而形成之凹凸層來組成之微型透鏡等之各種透鏡構件、在透明體來攪拌入擴散用材料之擴散薄片、擴散板等。在這些當中，由於可以效率良好地取出光，因此，最好是透鏡構件。此外，作為此種透鏡層22係可以使用複數個之透鏡構件，在該狀態下，可以配列微細之透鏡構件而形成所謂微型透鏡(陣列)。透鏡層22係可以使用市面販賣品。
此外，在使用由可以藉著相同於製造繞射格子基板之方法之同樣方法來形成之凹凸層而組成之微型透鏡來作為透鏡層22之狀態下，其凹凸之形狀係最好是在藉由原子間
力顯微鏡而解析來得到之凹凸解析畫像而施行2次元高速度傅里葉變換處理來得到傅里葉變換圖像之狀態下，使得前述之傅里葉變換圖像，顯示以波數之絕對值為0μm-1之原點來作為概略中心之圓狀或圓環狀之模樣之形狀。在由此種凹凸層而組成之微型透鏡，在由全部之剖面方向來觀看凹凸形狀之狀態下，成為等方性，在由某一邊之面(連接於基板之面)之側來入射光而由形成前述形狀之面來射出光之狀態下，可以充分地減低射出光之角度依附性(亮度之角度依附性)和色度之變化。
此外，在使用由前述之凹凸層而組成之微型透鏡來作為透鏡層22之狀態下，前述凹凸之傅里葉變換圖像係最好是存在於波數之絕對值成為1μm-1以下之範圍內之區域內。在此種傅里葉變換圖像來顯示前述條件之狀態下，能夠以更加高度之水準，呈充分地減低射出光之角度依附性和色度之變化。此外，由所謂呈效率良好地折射或繞射位處於可見區域(380nm~780nm)之發光質譜之觀點來看的話，則作為此種傅里葉變換圖像之圓狀或圓環狀之模樣係最好是存在於波數之絕對值成為0.05~1μm-1之範圍內之區域內，更加理想是存在於波數之絕對值成為0.1~0.5μm-1之範圍內之區域內。在此種波數之絕對值之範圍內之區域無存在前述圓狀或圓環狀之模樣之狀態，也就是在構成前述圓狀和圓環狀之模樣之傅里葉變換圖像之亮點中而存在於前述範圍內之亮點數未滿30%之狀態下，有無法得到有效之折射來作為用以取出光之透鏡之傾向發生。此外，由所謂對於位處在可見區域(380nm~780nm)之波長之光來得到充分之效果之觀點來看的話，則作為此種傅
里葉變換圖像之模樣係更加理想是圓環狀。
此外，在使用由前述之凹凸層而組成之微型透鏡來作為透鏡層22之狀態下，微型透鏡之凹凸之平均間距係最好是2~10μm之範圍，更加理想是2.5~5μm之範圍。在此種凹凸之平均間距未滿前述之下限，不止是作為繞射格子之繞射效果，還比較強於用以取出光學構件之光至外部之折射效果，降低光取出效果，並且，還提高射出光之角度依附性，有藉由測定位置而得到充分之發光之傾向發生，另一方面，在超過前述之上限時，不容易得到繞射效果，有成為相同於通常之半球透鏡之同樣特性之傾向發生。此外，此種微型透鏡之凹凸之平均高度係最好是400~1000nm之範圍，更加理想是600~1000nm之範圍，甚至最好是700~900nm之範圍。在此種凹凸之平均高度(深度)未滿前述之下限，有無法得到充分之折射或繞射效果之傾向發生，另一方面，在超過前述之上限時，降低機械強度，有在製造時或使用時而容易產生破裂之傾向發生。此外，由此種凹凸層而組成之微型透鏡係可以藉由採用後面敘述之繞射格子基板之製造方法，適度地變更在形成母模時之條件等，適度地調整凹凸形狀之特性(尺寸等)，而形成微型透鏡。
此外，作為用以取出此種光至外部之透鏡層22係可以配合有機電致發光元件之用途或尺寸、構造等而使用各種之尺寸及形狀者，但是，由抑制在空氣和外側取出構造之界面之反射之觀點來看的話，則最好是使用由可以藉著相同於製造半球透鏡和後面敘述之繞射格子基板之方法之同樣方法而形
成之凹凸層來組成之微型透鏡，此外，在並無重視有機電致發光元件之厚度(可以變厚)之狀態下，最好是使用半球透鏡，在重視厚度(最好是變薄)之狀態下，最好是使用由前述之凹凸層而組成之微型透鏡。像這樣，在將由使用相同於製造繞射格子基板之方法之同樣方法而得到之凹凸層來組成之微型透鏡予以使用之狀態下，在由全部之剖面方向來觀看凹凸形狀之狀態，成為等方性，在由某一邊之面(連接於基板之面)之側來入射光而由形成前述形狀之面來射出光之狀態下，可以充分地減低射出光之角度依附性(亮度之角度依附性)和色度之變化。
此外，適合作為此種透鏡層22之半球透鏡係最好是半球透鏡之底面之面積為有機電致發光元件之發光面積之1倍~10倍之半球透鏡。也就是說，在使用半球透鏡之狀態下，最好是利用具有成為有機電致發光元件之發光區域之1像素(pixel)之面積之1倍~10倍之底面面積之半球透鏡，藉由半球透鏡之底面而完全地覆蓋成為有機電致發光元件之發光區域之1像素。在此種半球透鏡之底面面積未滿前述之下限，有藉由有機電致發光元件而進行發光之光來對於半球透鏡之球面部，增加由傾斜方向來入射之成分之傾向發生，另一方面，在超過前述之上限時，有機電致發光元件呈過度大，並且，有半球透鏡變得昂貴之傾向發生。
作為此種透鏡層22之材質係並無特別限制，可以使用由任意之材質而組成之光學構件，可以使用例如由玻璃等之透明無機材料、聚乙烯對苯二甲酸酯等之聚酯系樹脂、纖維
素系樹脂、乙酸酯系樹脂、聚醚碸系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、聚醯胺系樹脂、聚醯亞胺系樹脂、聚烯烴系樹脂、丙烯系樹脂等之透明之聚合物等而組成之透明樹脂材料等。此外，此種透鏡層22係為了抑制在有機電致發光元件和透鏡層22之間之反射，因此，最好是透過黏著劑層及/或接著劑層來層積於前述之基板10之上而在有機電致發光元件和透鏡層22之間，無夾住空氣。
此外，由所謂提高其表面之耐摩擦性或耐傷性之觀點來看的話，則此種透鏡層22係可以在光學構件之表面上(在使用由前述之凹凸層而組成之微型透鏡來作為透鏡層22之狀態下，在形成凹凸形狀之表面上)，層積保護層。作為此種保護層係可以使用透明薄膜或透明之無機蒸鍍層。作為此種透明薄膜係並無特別限制，可以使用任意之透明薄膜，列舉例如由聚乙烯對苯二甲酸酯等之聚酯系樹脂、纖維素系樹脂、乙酸酯系樹脂、聚醚碸系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、聚醯胺系樹脂、聚醯亞胺系樹脂、聚烯烴系樹脂、丙烯系樹脂等之透明之聚合物而組成之薄膜。此外，此種透明薄膜係可以在某一邊之面，形成黏著劑層或接著劑層，貼合於光學構件之表面上而進行使用(此外，在使用由前述之凹凸層而組成之微型透鏡來作為透鏡層22之狀態下，可以在凸部間，貼合透明薄膜而形成空間。)。作為此種黏著劑或接著劑係可以使用例如丙烯系黏著劑、乙烯-乙酸乙烯共聚物、天然橡膠系黏著劑、聚異丁烯、丁基橡膠、苯乙烯-丁烯-苯乙烯共聚物、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物等之合成橡膠系黏著劑、聚胺基甲酸乙酯
系黏著劑、聚酯系黏著劑。
此外，在層積無機蒸鍍層來作為前述保護層之狀態下，可以適度地利用能夠藉由蒸鍍法而形成透明之無機層之習知之金屬材料，列舉例如Sn、In、Te、Ti、Fe、Co、Zn、Ge、Pb、Cd、Bi，Se，Ga，Rb等之金屬之氧化物、氮化物、硫化物等。此外，由所謂可以充分地防止由於氧化而造成之惡化之觀點來看的話，則作為此種金屬材料係可以適合使用TiO2，並且，由所謂以廉價來得到高亮度之觀點來看的話，則可以適合使用ZnS。此外，作為形成此種無機蒸鍍層之方法係並無特別限制，可以使用任意之物理蒸鍍裝置而適度地製造。
在以下，藉由實施例而具體地說明本發明之有機電致發光元件，但是，本發明係並非限定於這些實施例。
在該實施例，製作繞射格子基板(具備凹凸圖案層之基板)，接著，使用該繞射格子基板而製造有機電致發光元件。在最初，為了製造繞射格子基板，因此，使用BCP法而製作具有凹凸表面之繞射格子塑模。
準備由下列之聚苯乙烯(在以下，適度地縮寫為「PS」。)和聚甲基甲基丙烯酸酯(在以下，適度地縮寫為「PMMA」。)而組成之Polymer Source公司製之嵌段共聚物。
PS節段之Mn=750,000
PMMA節段之Mn=720,000
嵌段共聚物之Mn=1,470,000
PS節段和PMMA節段之體積比(PS：PMMA)=54：46
分子量之分布(Mw/Mn)=1.21、PS節段之Tg=107℃
PMMA節段之Tg=134℃
嵌段共聚物之第1及第2之聚合物節段之體積比(第1聚合物節段：第2聚合物節段)係算出聚苯乙烯之密度為1.05g/cm3，聚甲基甲基丙烯酸酯之密度為1.19g/cm3。聚合物節段或聚合物之數平均分子量(Mn)及重量平均分子量(Mw)係使用凝膠滲透色譜法(呈串聯地連接TOSOH(股)公司製之型號「GPC-8020」、TSK-GEL SuperH1000、SuperH2000、SuperH3000及SuperH4000者)而進行測定。聚合物節段之玻璃轉移點(Tg)係使用示差掃描熱量計(Perkin -Elmer公司製、製品名稱「DSC7」)，就0~200℃之溫度範圍而言，以20℃/min之升溫速度，來進行升溫，並且，進行測定。聚苯乙烯和聚甲基甲基丙烯酸酯之溶解度參數係分別為9.0及9.3(參考化學便覽：應用篇、改訂2版)。
在該嵌段共聚物150mg和作為聚乙烯氧化物之37.5mg之Aldrich公司製之聚乙二醇2050(平均Mn=2050)，加入甲苯而使得總量成為15g，進行溶解，調製嵌段共聚物溶液。
藉由孔徑0.5μm之膜濾器而過濾該嵌段共聚物溶液，得到嵌段共聚物溶液。在玻璃基板上，以旋轉塗佈，來塗佈混合1g之信越矽酮公司製之KBM-5130、1g之離子交換水、0.1ml之乙酸和19g之異丙基醇之混合溶液(在以旋轉速度500rpm而進行10秒鐘之後，接著，以800rpm，來進行45
秒鐘。)。在130℃，進行15分鐘之處理，得到矽烷偶合處理玻璃。在作為基材之矽烷偶合處理玻璃上，藉由旋轉塗佈，以150~170nm之膜厚，而塗佈得到之嵌段共聚物溶液。旋轉塗佈係在以旋轉速度200rpm而進行10秒鐘之後，接著，以300rpm，來進行30秒鐘。
接著，藉由在預先充滿三氯甲烷蒸氣之乾燥器中，以24小時、室溫，來靜置形成薄膜之基材，而施行溶媒退火處理。在乾燥器(容量5L)之內，設置填充100g之三氯甲烷之螺旋瓶，藉由飽和蒸氣壓之三氯甲烷而充滿乾燥器內之氛圍。得知在溶媒退火處理後之薄膜表面，觀察凹凸，對於構成薄膜之嵌段共聚物，進行顯微層分離。在藉由透過型電子顯微鏡(TEM)(日立公司製、H-7100FA)而觀察該薄膜之剖面時，PS部分之圓形剖面係相互地隔離在平行於基板表面之平行方向，並且，呈二段地配列在垂直於基板表面之垂直方向(高度方向)，在合併於原子間力顯微鏡之解析畫像而進行考量之時，得知PS部分由PMMA部分開始而相分離於水平圓筒構造。PS部分係成為芯部(島狀)，成為PMMA部分包圍其周圍之(海)狀態。
在藉由前述之溶媒退火處理而進行波形化之薄膜表面，藉由濺鍍而形成20nm程度之薄鎳層，來作為電流晶種層。接著，在胺基磺酸鎳浴中，加入附有該薄膜之基材，在溫度50℃，進行電鑄(最大電流密度0.05A/cm2)處理，析出鎳而直到厚度成為250μm為止。由像這樣得到之鎳電鑄體，呈機械地剝離附有薄膜之基材。接著，藉由在四氫化呋喃溶媒
中，浸漬．放置鎳電鑄體2小時，然後，塗佈丙烯系UV硬化樹脂，進行硬化及剝離，重複地進行3次，而除去呈部分地附著於電鑄體表面之聚合物成分。然後，浸漬於日本CB化學公司製之Chemisol 2303之中，在50℃，攪拌2小時，同時，進行洗淨。然後，在鎳電鑄體，施行UV臭氧處理10分鐘。
接著，在大金(Daikin)化成品販賣公司製之HD-2101TH，浸漬鎳電鑄體大約1分鐘，在進行乾燥後，靜置-晚上。翌日，將鎳電鑄體，浸漬於大金(Daikin)化成品販賣公司製之HDTH之中，進行大約1分鐘之超音波洗淨處理。像這樣而得到離模處理之鎳塑模。
接著，藉由在PET基板(東洋紡織公司製、Cosmoshine A-4100)之上，塗佈氟系UV硬化性樹脂，按壓鎳塑模，同時，以600mJ/cm2，來照射紫外線，而硬化氟系UV硬化性樹脂。在硬化樹脂後，由硬化之樹脂，來剝離鎳塑模。像這樣而得到由附有轉印鎳塑模之表面形狀之樹脂膜之PET基板來組成之繞射格子。
在混合乙醇24.3g、水2.16g和濃鹽酸0.0094g之液體，滴下及加入2.5g之四乙氧基矽烷(TEOS)和2.1g之甲基三乙氧基矽烷(MTES)，在23℃、濕度45%，攪拌2小時，得到溶膠溶液。在15×15×0.11cm之蘇打石灰製之玻璃板(折射率n=1.52(λ=550nm))之上，以桿條，來塗佈該溶膠溶液。作為桿條塗佈器係使用刮片(YOSHIMITSU SEIKI公司製)。該刮片係塗膜之膜厚成為5μm之設計，但是，在刮片，張貼
35μm厚度之醯亞胺帶，調整塗膜之膜厚而成為40μm。在塗佈溶膠溶液60秒鐘之後，在塗膜，使用加熱至80℃之擠壓用壓輥，將正如前面之敘述而製作之繞射格子塑模，按壓於玻璃板上之塗膜，同時，進行旋轉．移動。在結束塗膜之擠壓後，藉由手作業而剝離塑模，接著，使用烤箱，在300℃，加熱60分鐘，進行正式燒成。像這樣而得到具有繞射格子塑模之圖案來轉印於溶膠凝膠材料之凹凸圖案層之基板、也就是繞射格子基板此外，擠壓用壓輥係在內部，具備加熱器，成為被覆外圍為4mm厚度之耐熱矽酮之壓輥，使用壓輥直徑ψ為50mm且軸方向長度為350mm者。
就該繞射格子基板而言，使用原子間力顯微鏡(SII奈米科技公司製之附有環境控制單元之掃描型探針顯微鏡「NanonaviI I站台/E-sweep」)，對於凹凸圖案層表面之凹凸形狀，來得到解析畫像。原子間力顯微鏡之解析條件係正如以下。
測定模式：動態力模式
懸臂：SI-DF40(材質：Si、桿條幅寬：40μm、晶片前端之直徑：10nm)
測定氛圍：大氣中
測定溫度：25℃
在繞射格子基板之任意位置，測定3μm角(縱長3μm、橫寬3μm)之測定區域，正如前面之敘述而求出凹凸解析畫像。測定像這樣凹凸解析畫像中之任意之凹部及凸部之深度方向之距離之100點以上，算出其平均而成為凹凸之平均高
度(深度)。藉由在該例子來得到之解析畫像而使得凹凸圖案之平均高度，成為56nm。
測定繞射格子基板之任意之3μm角(縱長3μm、橫寬3μm)之測定區域，正如前面之敘述而求出凹凸解析畫像。藉由在對於得到之凹凸解析畫像來施行包含1次傾斜修正之平坦處理之後，施行2次元高速度傅里葉轉換處理，而得到傅里葉轉換圖像。確認傅里葉轉換圖像係顯示以波數之絕對值為0μm-1之原點來作為概略中心之圓形之花紋，並且，前述圓形之花紋存在於波數之絕對值為10μm-1以下之範圍內之區域內。
此外，傅里葉轉換圖像之圓形花紋係藉由在傅里葉轉換圖像，集合亮點而進行觀測之花紋。在此提到之所謂「圓形」係表示呈幾乎圓形之形狀地看見亮點集合之花紋，成為也包含外形之一部分呈凸狀或凹狀地看見之概念。也呈幾乎圓環狀地看見亮點集合之花紋，該狀態成為「圓環狀」而進行表現。此外，「圓環狀」係也包含呈幾乎圓形之形狀地看見環之外側圓或內側圓之形狀並且也包含看見此種環之外側圓或內側圓之外形之一部分成為凸狀或凹狀之概念。此外，所謂「圓形或圓環狀之花紋存在於波數之絕對值為10μm-1以下(更加理想是1.25~10μm-1、甚至最好是1.25~5μm-1)之範圍內之區域內」係指構成傅里葉轉換圖像之亮點中之30%以上(更加理想是50%以上、甚至最好是80%以上、特別最好是90%以上)之亮點來存在於波數之絕對值為10μm-1以下(更加理想是1.25~10μm-1、甚至最好是1.25~5μm-1)之範圍內之區域內。此
外，就凹凸構造之圖案和傅里葉轉換圖像之關係而言，得知以下。在凹凸構造本體也不具有間距之分布或指向性之狀態下，也藉由無規之圖案(無花紋)而出現傅里葉轉換圖像，但是，在凹凸構造呈整體地等方於XY方向而在間距具有分布之狀態下，出現圓或圓環狀之傅里葉轉換圖像。此外，在凹凸構造具有單一之間距之狀態下，有出現於傅里葉轉換圖像之圓環來變得銳利之傾向發生。
前述凹凸解析畫像之2次元高速度傅里葉轉換處理係可以藉由使用具備2次元高速度傅里葉轉換處理軟體之電腦之電子畫像處理而容易進行。
測定繞射格子之任意之3μm角(縱長3μm、橫寬3μm)之測定區域，正如前面之敘述而求出凹凸解析畫像。測定此種凹凸解析畫像中之任意之相鄰接之凸部間或相鄰接之凹部間之間隔之100點以上，算出其平均而成為凹凸之平均間距。藉由在該例子來得到之解析畫像而使得凹凸圖案層之凹凸圖案之平均間距，成為73.5nm。
測定凹凸圖案層之任意之3μm角(縱長3μm、橫寬3μm)之測定區域而求出凹凸解析畫像。此時，藉由奈米尺寸而分別求出測定區域內之16384點(縱長128點×橫寬128點)以上之測定點之凹凸高度之資料。在該實施例來使用之E-sweep，於3μm角之測定區域內，進行65536點(縱長256點×橫寬256點)之測定(在256×256像素(pixel)之解析度
之測定)。關於像這樣測定之凹凸高度(nm)而言，首先在全測定點之中，求出由基板之表面開始之高度成為最高之測定點P。接著，以包含此種測定點P且平行於基板表面之平行面，來作為基準面(水平面)，以由其基準面開始之深度值(扣除由來自測定點P之基板之高度值開始之各測定點之基板開始之高度之差異部分)，來作為凹凸深度之資料而求出。此外，此種凹凸深度資料係可以藉由E-sweep中之軟體而自動地計算來求出，可以利用像這樣自動地計算而求出之值，來作為凹凸深度資料。在像這樣求出各測定點之凹凸深度資料之後，凹凸深度分布之平均值(m)係可以藉由使用下列之公式(I)，進行計算而求出平均值。
在該例子來得到之繞射格子之凹凸圖案層之凹凸深度分布之平均值(m)係40.3nm。
相同於前述深度分布之平均值(m)之測定方法，在凹凸圖案層之3μm角之測定區域內之16384點(縱長128點×橫寬128點)以上之測定點，求出凹凸深度之資料。在該例子，採用在65536點(縱長256點×橫寬256點)之測定點。然後，根據各測定點之凹凸深度資料而計算凹凸深度分布之平
均值(m)和凹凸深度之標準偏差(σ)。此外，平均值(m)係可以正如前面之敘述而計算前述之公式(I)，來求出平均值。另一方面，凹凸深度之標準偏差(σ)係可以計算下列之公式(Ⅱ)：
[在公式(Ⅱ)之中，N係表示測定點之總數(總像素數)，xi係表示第i號之測定點之凹凸深度資料，m係表示凹凸深度分布之平均值。]而求出標準偏差，前述凹凸圖案層之凹凸深度之標準偏差(σ1)係19.5nm。
就作為正如前面之敘述而得到之繞射格子之凹凸圖案層(溶膠凝膠材料)來形成之玻璃基板而言，為了切斷玻璃基板而成為12×20mm之大小，除去附著之異物等，因此，藉由使用成為有機溶劑之IPA，進行超音波洗淨，而除去附著於玻璃基板之有機物等。接著，離開由光源開始之3cm，施行3分鐘之UV臭氧處理。接著，藉由乙醇和IPA而稀釋TiO2溶膠凝膠溶液(高純度化學公司製、Ti-05-P)。乙醇和IPA係以重量%比，藉由乙醇：IPA=80：12之比率而進行使用。藉由0.50umψ之過濾器而過濾該稀釋溶液，在玻璃基板上，藉由
旋轉塗佈而進行塗佈。藉由加熱於300℃之烤箱而燒成該玻璃基板1小時。像這樣在凹凸圖案層之圖案上，得到作為輔助層之TiO2膜。
接著，在TiO2膜上，藉由濺鍍法，以厚度80nm而成膜ITO，然後，作為有機層係分別藉由蒸鍍法而層積電洞輸送層(4,4’,4”-三(9-咔唑)三苯基胺、厚度：35nm)、發光層(摻雜三(2-苯基吡啶)銥(Ⅲ)錯化物之4,4’,4”-三(9-咔唑)三苯基胺、厚度：15nm；摻雜三(2-苯基吡啶)銥(Ⅲ)錯化物之1,3,5-三(N-苯基苯并咪唑-2-醯)苯、厚度：15nm)、電子輸送層(1,3,5-三(N-苯基苯并咪唑-2-醯)苯、厚度：65nm)。此外，蒸鍍氟化鋰層(厚度：1.5nm)和金屬電極(鋁、厚度：50nm)。像這樣而正如圖1所示，在基板10之上，得到分別形成凹凸圖案層12、作為輔助層14之TiO2膜、作為第1電極16之透明電極、有機層18和作為第2電極之金屬電極20之有機電致發光元件30。
作為輔助層14之TiO2膜之膜厚係由有機電致發光元件之剖面TEM之畫像開始計測100點。此時，正如圖1之箭號所示，由有機電致發光元件之剖面TEM之畫像開始，計測任意之100點之膜厚，算出其平均值。
就作為像這樣得到之輔助層之TiO2膜之凹凸深度之標準偏差而言，相同於繞射格子基板之凹凸圖案層之狀態而由藉著原子間力顯微鏡來造成之繞射畫像開始，使用前述之公式(2)，求出標準偏差。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差(σ2)係14.2nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差(σ2)和先
前求出之凹凸圖案層之凹凸深度之標準偏差(σ1)之值而求出形狀變化率(W=(σ2-σ1)/σ1)之時，成為27.2。
此外，在表1，分別顯示在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。此外，構成凹凸圖案層12之溶膠凝膠材料之折射率n1、輔助層14之TiO2之折射率n2以及第1電極16之ITO之折射率n3係分別在波長λ=550nm，成為n1=1.44、n2=2.03~2.11、n3=2.03。就構成凹凸圖案層12之溶膠凝膠材料而言，使用大塚電子公司製之顯微反射分光膜厚計FE-3000(28CWA)，測定230~800nm之反射率，藉由科希(Cauchy)之分散公式而近似折射率n1，由得到之質譜，來算出折射率和膜厚。此外，就輔助層
14和第1電極16而言，皆使用日本分光公司製之紫外線可見近紅外線分光光度計V-570，測定300~800nm之透過率，藉由科希(Cauchy)之分散公式而近似折射率n2及n3，由得到之質譜，來算出折射率和膜厚。正如前面之敘述，得知玻璃基板10之折射率係n0=1.52，成為n2≧n3>n1≦n0。
藉由以下之方法而評價在該實施例來得到之有機電致發光元件之發光指向性。由全部之方向(全周圍360°之方向)開始，藉由目視而觀察發光之有機電致發光元件。在該實施例來得到之有機電致發光元件，即使是由全周圍360°之任何方向開始進行觀察，也在特別明亮之場所或者是在特別黑暗之場所，無觀察到任何，在全部之方向，呈現均等之明亮。像這樣，確認本發明之有機電致發光元件係發光之指向性呈充分地變低。
除了TiO2膜之膜厚成為41nm以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差係11.5nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差和先前求出之繞射格子基板之凹凸圖案之凹凸深度之標準偏差之值而求出形狀變化率之時，成為41.4%。在表1，分別顯示在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了TiO2膜之膜厚成為53nm以外，其餘係藉由
相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差係8.0nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差和先前求出之繞射格子基板之凹凸圖案之凹凸深度之標準偏差之值而求出形狀變化率之時，成為59.3%。在表1，分別顯示在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了TiO2膜之膜厚成為74nm並且變更透明電極(ITO)之膜厚而成為120nm以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差係7.0nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差和先前求出之繞射格子基板之凹凸圖案之凹凸深度之標準偏差之值而求出形狀變化率之時，成為64.1%。在表1，分別顯示在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了在基板10之外側面，正如圖2所示，設置半球透鏡，來作為透鏡層22以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。半球透鏡係以折射液(島津製作所製)來作為接著劑而將直徑10mm之半球透鏡(酒井硝子工程公司製)附著於基板10之表面上。半球透鏡和折射液之折射率係皆為n=1.52(λ=550nm)。半球透鏡係配置在
發光像素之中心部(有機電致發光元件之中央部)而重疊半球透鏡之底面中心部。正如表1而顯示，在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率係相同於實施例1之有機電致發光元件。
除了在基板10之外側面，正如圖2所示，設置半球透鏡，來作為透鏡層22以外，其餘係藉由相同於實施例2之方法及條件而製作有機電致發光元件。半球透鏡係相同於實施例5而將相同於使用在實施例5之半球透鏡之相同者，來附著於基板。正如表1而顯示，在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率係相同於實施例2之有機電致發光元件。
除了在基板10之外側面，正如圖2所示，設置半球透鏡，來作為透鏡層22以外，其餘係藉由相同於實施例3之方法及條件而製作有機電致發光元件。半球透鏡係相同於實施例5而將相同於使用在實施例5之半球透鏡之相同者，來附著於基板。正如表1而顯示，在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率係相同於實施例3之有機電致發光元件。
除了無設置構成繞射格子之凹凸構造(凹凸圖案層)和TiO2膜以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。將在比較例1來製作之有機電致發光元件60之剖面構造，顯示於圖7。在平坦之玻璃基板10之上，直接地形成作為第1電極16之透明電極，也在任何一層，無出現凹凸形狀。在表1，分別顯示在該比較例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚(零)、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了無設置作為輔助層之TiO2膜以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。將在比較例2來製作之有機電致發光元件70之剖面構造，顯示於圖8。繞射格子基板上之凹凸圖案層12之凹凸形狀係仍然直接地(無形狀變化)轉印於第1電極16、有機層18及第2電極20。在表1，分別顯示在該比較例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚(零)、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了無設置凹凸圖案層以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。將在比較例3來製作之有機電致發光元件80之剖面構造，顯示於圖9。在基板10之上，無存在凹凸形狀，因此，輔助層14、第1電極16、有機層18及第2電極20係皆具有平坦之表面。在表1，
分別顯示在該比較例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了TiO2膜之膜厚成為100nm以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差係4.9nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差和先前求出之繞射格子基板之凹凸圖案之凹凸深度之標準偏差之值而求出形狀變化率之時，成為75%。正如圖10所示，在該比較例來得到之有機電致發光元件90之輔助層14係比起實施例，膜厚比較厚，因此，其表面係具有接近於平坦之構造，結果，認為第1電極16、有機層18及第2電極20係也還進行平坦化。在表1，分別顯示在該比較例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了TiO2膜之膜厚成為96nm並且變更透明電極(ITO)之膜厚而成為120nm以外，其餘係藉由相同於實施例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。TiO2膜之凹凸深度之標準偏差係5.9nm。在由該TiO2膜之凹凸深度之標準偏差和先前求出之繞射格子基板之凹凸圖案之凹凸深度之標準偏差之值而求出形狀變化率之時，成為74%。因此，認為TiO2膜之表面係相同於比較例4而具有圖10所示之凹凸表面形狀。在表1，分別顯示在該比較例來得到之有機電致發光元件之
TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率。
除了在基板10之外側面，正如圖2所示，設置半球透鏡，來作為透鏡層22以外，其餘係藉由相同於比較例1之方法及條件而製作有機電致發光元件。半球透鏡係相同於實施例5而將相同於使用在實施例5之半球透鏡之相同者，來附著於基板。正如表1而顯示，在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率係相同於比較例1之有機電致發光元件。
除了在基板10之外側面，正如圖2所示，設置半球透鏡，來作為透鏡層22以外，其餘係藉由相同於比較例2之方法及條件而製作有機電致發光元件。半球透鏡係相同於實施例5而將相同於使用在實施例5之半球透鏡之相同者，來附著於基板。正如表1而顯示，在該實施例來得到之有機電致發光元件之TiO2膜之膜厚、透明電極(ITO)之膜厚、這些之合計膜厚和其合計膜厚之光學膜厚以及形狀變化率係相同於比較例2之有機電致發光元件。
在實施例1來得到之繞射格子板上，相同於實施例1而求出在變更TiO2膜來成為各種之膜厚而進行塗佈之狀態下之TiO2膜之深度標準偏差σ2。將深度標準偏差σ2相對於
TiO2膜之膜厚之變化，顯示於圖5之圖形。此外，在圖5圖形之描繪，也包含在實施例1~4及比較例1~5來得到之結果。此外，就在變更TiO2膜之膜厚而成為各種之值來進行塗佈之狀態下之形狀變化率(TiO2膜之深度標準偏差σ2相對於構成繞射格子之凹凸圖案層之深度標準偏差σ1之變化率)而言，分別相同於實施例1而求出形狀變化率。將形狀變化率相對於TiO2膜之膜厚之變化，顯示於圖6之圖形。得知在TiO2膜之膜厚成為10nm以下之時，TiO2膜之形狀係仿照繞射格子板之凹凸形狀，隨著TiO2膜之膜厚之增加而增大TiO2膜之形狀變化率，TiO2膜呈逐漸地進行平坦化。
藉由以下之方法而測定在實施例1~7及比較例1~7來得到之有機電致發光元件之發光效率。在得到之有機電致發光元件，施加電壓，藉由施加測定器(ADC股份有限公司製、R6244)而測定施加電壓V以及流動在有機電致發光元件之電流I，並且，藉由Spectra Co-op公司製之全光束測定裝置而測定全光束量L。由像這樣得到之施加電壓V、電流I和全光束量L之測定值而算出亮度值L’，就電流效率而言，使用下列之計算式(F1)：電流效率=(L’/I)×S．．．(F1)，算出有機電致發光元件之電流效率。在前述之公式，S係元件之發光面積。
此外，亮度L’之值係假設有機電致發光元件之配光特性來按照朗伯(lambert)法則，藉由下列之計算式(F2)而進行換算。
L’=L/π/S．．．(F2)
將在實施例1~7及比較例1~7來製作之有機電致發光元件之亮度10000cd/m2之電流效率，顯示於表1。實施例1~3之有機電致發光元件係顯示70cd/A以上之電流效率。此外，實施例4之有機電致發光元件係電流效率更加低於實施例1~3之有機電致發光元件。認為這個係因為透明電極之膜厚更加厚於實施例1~3之有機電致發光元件，輔助層和透明電極之合計膜厚更加厚於實施例1~3之有機電致發光元件，所以，發生於有機層之光係容易定在於輔助層和透明電極之二層內之緣故。此外，認為比較例1及比較例3之有機電致發光元件之電流效率皆變低係因為無構成繞射格子之凹凸層，所以，光係在基板和其上層之界面，進行反射，由基板之外側表面，無法充分地取出光之緣故。此外，認為比較例4及比較例5之有機電致發光元件係因為皆具備構成繞射格子之凹凸構造及輔助層，形狀變化率係超過70%，輔助層之第2凹凸形狀呈過度地進行平坦化之緣故。
得知在實施例5~7及比較例6~7來製作之有機電致發光元件，分別在基板之光射出面側，設置半球透鏡，因此，皆大幅度地提高電流效率(60%以上)。
在有機電致發光元件，持續地施加電壓，而使得流動在實施例1~7及比較例1~7來製作之有機電致發光元件之電流密度，成為20mA/cm2之定電流驅動，在24小時以內，計算洩漏而無法發光之元件數，成為良品率(%)而進行評價。
此外，有機電致發光元件之發光像素係縱長3mm及橫寬3mm，在氮氛圍下，在藉由UV硬化樹脂和蓋罩玻璃而進行密封之後，取出在製作後之有機電致發光元件至大氣中，在溫度25℃、濕度45%之室內，進行評價。亮度係在2分鐘，測定1次。將結果，顯示於表1。確認實施例1~7之有機電致發光元件係良品率皆為90%，但是，比較例2及比較例7之有機電致發光元件之良品率係70%，在比較例5之有機電致發光元件之輔助層(TiO2)，產生許多之破裂。認為在比較例5之有機電致發光元件，輔助層和透明電極之合計膜厚係超過200nm。
在前述實施例之有機電致發光元件，凹凸圖案層以及堆積於其上面之輔助層係也由溶膠凝膠材料而形成，因此，輔助層和凹凸圖案之間之密合性也變得良好，也具有良好之耐熱性、機械強度及耐藥品性。因此，在有機電致發光之製造製程，也充分地忍受於進行在高溫氛圍之成膜製程、UV/O3臭氧洗淨、刮刷、使用酸．鹼溶劑等之各種洗淨液之洗淨製程、使用顯影液或蝕刻液之圖案化製程。
可以在屋外來使用藉由前述之實施例而製造之有機電致發光元件之狀態下，比起使用硬化性樹脂基板之狀態，還更加地抑制由於太陽光而造成之惡化。此外，在前述之硬化性樹脂，在由於發光時之發熱等而長期間地靜置於高溫下之時，可能會惡化而產生黄變或氣體，不容易將使用樹脂基板之有機電致發光元件予以長期間地使用，但是，在具備使用溶膠凝膠材料而製作之凹凸圖案層之有機電致發光元件，來抑制惡化。
在以上，藉由實施例而說明本發明，但是，本發明係並非限定於前述之實施例，可以在記載於申請專利範圍之技術思想之範圍內，適度地進行改變。
在本發明之有機電致發光元件，可以維持良好之光取出效率，並且，有效地抑制漏電流之發生，因此，適合於要求均勻照明之顯示器、照明裝置等之各種用途，也貢獻於節能。
10‧‧‧基板
12‧‧‧凹凸圖案層
14‧‧‧輔助層
16‧‧‧第1電極層
18‧‧‧有機層
20‧‧‧第2電極層
30‧‧‧有機電致發光元件
Claims (10)
- 一種有機電致發光元件，其特徵在於：在基板上，按照順序而具備具有第1凹凸形狀之凹凸圖案層、第1電極、有機層和第2電極層，並且，在前述之凹凸圖案層和第1電極之間，具備輔助層，前述輔助層之第1電極側之表面係具有第2凹凸形狀，第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率係20~70%。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，前述輔助層和第1電極之光學膜厚之合計係160nm~400nm。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，第1電極係由ITO而形成，膜厚係80nm以上。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，前述之凹凸圖案層和前述之輔助層係由無機材料而形成。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，前述之凹凸圖案層係由二氧化矽而形成。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，在分別藉由n0、n1、n2和n3而表示前述基板、前述凹凸圖案層、前述輔助層和前述第1電極層之折射率之時，成立以下之關係：n2≧n3>n1≦n0。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，前述之凹凸圖案層係具有在凹凸之方向無具有指向性之不規則之凹凸圖案。
- 如申請專利範圍第1項之有機電致發光元件，其中，前述凹凸圖案層之凹凸平均間距係100~1500nm，凹凸之平均 高度係20~200nm。
- 一種有機電致發光元件之製造方法，製造如申請專利範圍第1至8項中任一項所述之有機電致發光元件，其特徵在於：在基板上，按照順序而形成前述之凹凸圖案層、前述之輔助層、第1電極、前述之有機層和第2電極層，前述輔助層之第1電極側之表面具有第2凹凸形狀且第2凹凸形狀之深度標準偏差相對於第1凹凸形狀之深度標準偏差之變化率為20~70%而形成前述之輔助層。
- 如申請專利範圍第9項之有機電致發光元件之製造方法，其中，藉由在前述之基板上，塗佈溶膠凝膠材料，擠壓塑模，而形成前述之凹凸圖案層。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012132102 | 2012-06-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201407848A TW201407848A (zh) | 2014-02-16 |
| TWI577067B true TWI577067B (zh) | 2017-04-01 |
Family
ID=49757983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW102116632A TWI577067B (zh) | 2012-06-11 | 2013-05-10 | Organic electroluminescent element and manufacturing method thereof |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9219252B2 (zh) |
| EP (1) | EP2861041B1 (zh) |
| JP (1) | JP5680800B2 (zh) |
| KR (1) | KR101657604B1 (zh) |
| CN (1) | CN104380843B (zh) |
| AU (1) | AU2013275607B2 (zh) |
| CA (1) | CA2874212C (zh) |
| IN (1) | IN2014DN09995A (zh) |
| TW (1) | TWI577067B (zh) |
| WO (1) | WO2013187149A1 (zh) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014069565A1 (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-08 | 昭和電工株式会社 | 有機ｅｌ素子並びにそれを備えた画像表示装置及び照明装置 |
| JP6101784B2 (ja) * | 2013-03-06 | 2017-03-22 | Ｊｘエネルギー株式会社 | 凹凸構造を有する部材の製造方法及びそれにより製造された凹凸構造を有する部材 |
| KR20160032218A (ko) * | 2013-07-26 | 2016-03-23 | 제이엑스 닛코닛세키 에네루기 가부시키가이샤 | 요철 구조를 가지는 기판의 제조 방법 |
| EP3089550A4 (en) * | 2013-12-27 | 2017-09-06 | JX Nippon Oil & Energy Corporation | Light-emitting element |
| EP3094160A4 (en) * | 2014-01-10 | 2017-08-30 | JX Nippon Oil & Energy Corporation | Optical substrate, mold to be used in optical substrate manufacture, and light emitting element including optical substrate |
| CN106465495B (zh) * | 2014-04-28 | 2018-12-28 | 捷客斯能源株式会社 | 发光元件 |
| JP6438678B2 (ja) * | 2014-05-14 | 2018-12-19 | Ｊｘｔｇエネルギー株式会社 | 凹凸構造を有するフィルム部材 |
| JPWO2016002813A1 (ja) * | 2014-07-04 | 2017-04-27 | 日本化薬株式会社 | 粉体凝集の抑制方法 |
| US10115930B2 (en) | 2014-07-08 | 2018-10-30 | Universal Display Corporation | Combined internal and external extraction layers for enhanced light outcoupling for organic light emitting device |
| WO2016059713A1 (ja) * | 2014-10-17 | 2016-04-21 | パイオニア株式会社 | 発光装置及び光学部材 |
| CN104319352B (zh) * | 2014-11-13 | 2018-02-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种顶发射白光oled器件及其制备方法、显示装置 |
| US9837269B2 (en) * | 2014-12-02 | 2017-12-05 | HGST, Inc. | Deposition method for planar surfaces |
| KR101674066B1 (ko) * | 2014-12-24 | 2016-11-08 | 코닝정밀소재 주식회사 | 유기발광소자 |
| KR102354019B1 (ko) * | 2015-03-06 | 2022-01-21 | 유니버셜 디스플레이 코포레이션 | 고효율 oled 소자를 위한 신규 기판 및 공정 |
| KR20170132257A (ko) * | 2015-03-31 | 2017-12-01 | 코닝 인코포레이티드 | 광 산란 표면을 포함하는 도파관 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
| JP6482120B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-03-13 | デクセリアルズ株式会社 | 原盤の製造方法、光学体の製造方法、光学部材の製造方法、および表示装置の製造方法 |
| US9640777B2 (en) * | 2015-05-29 | 2017-05-02 | National Taiwan University | Electroluminescent devices with improved optical out-coupling and external quantum efficiencies |
| CN106299149A (zh) * | 2015-06-12 | 2017-01-04 | 上海和辉光电有限公司 | 薄膜封装结构、制备方法和具有该结构的有机发光装置 |
| JP6495754B2 (ja) * | 2015-06-12 | 2019-04-03 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
| KR101805552B1 (ko) * | 2015-08-31 | 2017-12-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
| US10008697B2 (en) * | 2015-08-31 | 2018-06-26 | Lg Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display device |
| CN105280838B (zh) * | 2015-09-22 | 2017-08-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种oled发光器件及显示装置 |
| KR101818423B1 (ko) * | 2015-09-23 | 2018-01-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
| US20170125735A1 (en) * | 2015-10-30 | 2017-05-04 | National Taiwan University | Electroluminescent device |
| CN105514293A (zh) * | 2016-01-21 | 2016-04-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种有机发光二极管及有机发光二极管显示面板 |
| US10991915B2 (en) * | 2016-01-29 | 2021-04-27 | University Of Florida Research Foundation, Incorporated | Organic light-emitting diodes comprising grating structures and light extraction layers |
| CN106058068B (zh) * | 2016-02-29 | 2017-12-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 有机发光二极管和显示基板及其制作方法、显示器件 |
| WO2017187386A1 (en) * | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Sabic Global Technologies B.V. | Extraction substrate and method for fabrication thereof |
| SG11201810474SA (en) | 2016-05-27 | 2018-12-28 | 3M Innovative Properties Co | Oled display with improved color uniformity |
| JP2017168448A (ja) * | 2017-04-24 | 2017-09-21 | 王子ホールディングス株式会社 | 半導体素子用基板、有機発光ダイオード素子、及び有機薄膜太陽電池素子 |
| CN109427248A (zh) * | 2017-08-28 | 2019-03-05 | 霸州市云谷电子科技有限公司 | 一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置 |
| KR101968570B1 (ko) * | 2017-11-30 | 2019-04-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
| CN108470847A (zh) | 2018-04-13 | 2018-08-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled器件及其制作方法、显示装置 |
| CN108922984B (zh) * | 2018-07-26 | 2021-04-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制备方法、显示设备 |
| CN109166952B (zh) * | 2018-09-04 | 2021-06-29 | 孙逊运 | 一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法 |
| CN109690808A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-04-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光二极管及其制造方法、显示基板和显示面板 |
| TWI691109B (zh) * | 2019-05-09 | 2020-04-11 | 友達光電股份有限公司 | 顯示裝置及其製造方法 |
| CN110649182B (zh) * | 2019-10-16 | 2022-03-22 | 苏州大学 | 一种有机发光器件及其制备方法 |
| KR20210054348A (ko) * | 2019-11-05 | 2021-05-13 | 동우 화인켐 주식회사 | 투명 전극 구조체, 투명 전극 구조체의 제조 방법 및 투명 전극 구조체를 포함하는 전기 소자 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020079835A1 (en) * | 2000-12-27 | 2002-06-27 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Electroluminescenct device and method for manufacturing the same |
| TW200507687A (en) * | 2003-06-13 | 2005-02-16 | Toyota Jidoshokki Kk | Electroluminescence device, manufacturing method thereof, and liquid crystal display device using the electroluminescence device |
| US20100133998A1 (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-03 | Tpo Displays Corp. | Image display device, image display system, and methods for fabricating the same |
| JP4758889B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2011-08-31 | パナソニック電工株式会社 | 有機発光素子 |
| TW201138538A (en) * | 2009-08-20 | 2011-11-01 | Sumitomo Chemical Co | Process for producing substrate with electrode |
| US20120132897A1 (en) * | 2009-07-16 | 2012-05-31 | Tokyo Institute Of Technology | Diffraction grating, organic el element using the same, and manufacturing methods thereof |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000065383A1 (en) * | 1999-04-21 | 2000-11-02 | Nippon Mitsubishi Oil Corporation | Optical laminate |
| JP4255250B2 (ja) * | 2002-06-12 | 2009-04-15 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子 |
| JP3910926B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2007-04-25 | 株式会社東芝 | 表示装置用透明基板の製造方法 |
| US7071617B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-07-04 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Light-emitting apparatus and method for forming the same |
| EP1566854A1 (en) * | 2004-02-19 | 2005-08-24 | Heptagon OY | Organic light emitting device |
| KR100705181B1 (ko) * | 2004-03-16 | 2007-04-06 | 주식회사 엘지화학 | 나노 크기의 반구형 볼록부를 갖는 기판 또는 전극을이용한 고효율 유기 발광 소자 및 이의 제조 방법 |
| TWI366218B (en) * | 2004-06-01 | 2012-06-11 | Semiconductor Energy Lab | Method for manufacturing semiconductor device |
| JP4660143B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2011-03-30 | 富士フイルム株式会社 | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
| JP4511440B2 (ja) * | 2004-10-05 | 2010-07-28 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | 有機発光素子及び有機発光素子の製造方法 |
| JP2006236748A (ja) | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機電界発光装置 |
| JP2008263038A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Canon Inc | パターン形成方法および電子デバイスの製造方法 |
| JP5118659B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2013-01-16 | パナソニック株式会社 | 発光素子 |
| FR2944146B1 (fr) * | 2009-04-02 | 2011-11-11 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'une structure a surface texturee pour un dispositif a diode electroluminescente organique, et structure a surface texturee pour oled |
| JP2011048937A (ja) | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 有機ｅｌ発光素子 |
| KR20110087433A (ko) * | 2010-01-26 | 2011-08-03 | 부산대학교 산학협력단 | 곡선 구조 발광층을 이용하여 도파광을 누출시켜서 발광 효율을 개선한 유기 발광 소자 및 그 제조방법 |
| WO2011132773A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び照明装置 |
| KR101677174B1 (ko) * | 2010-06-30 | 2016-11-21 | 한국전자통신연구원 | 발광 소자 |
| KR20120054887A (ko) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광소자 및 그의 제조방법 |
| JP2012178279A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Asahi Kasei Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| EP2495783A1 (en) * | 2011-03-01 | 2012-09-05 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Light-emitting device and method of manufacturing the same |
| AU2012248422B2 (en) | 2011-04-27 | 2015-06-04 | Jx Nippon Oil & Energy Corporation | Light extraction transparent substrate for organic electroluminescent element and organic electroluminescent element using same |
| CN104023944B (zh) | 2011-10-31 | 2016-05-25 | 吉坤日矿日石能源株式会社 | 使用溶胶凝胶法的凹凸基板的制造方法、该制造方法中使用的溶胶溶液及使用该制造方法的有机el元件的制造方法以及由该方法得到的有机el元件 |
| US9059420B2 (en) | 2011-11-18 | 2015-06-16 | Jx Nippon Oil & Energy Corporation | Organic EL element with light extraction and light emission efficiency |
| JP6110695B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2017-04-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
| TWI545735B (zh) * | 2013-09-09 | 2016-08-11 | Japan Display Inc | Organic electroluminescent display device and manufacturing method thereof |
| JP2015072751A (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-16 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機ｅｌ表示装置 |
-
2013
- 2013-04-30 CN CN201380030908.0A patent/CN104380843B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-04-30 EP EP13804832.7A patent/EP2861041B1/en not_active Not-in-force
- 2013-04-30 AU AU2013275607A patent/AU2013275607B2/en not_active Ceased
- 2013-04-30 IN IN9995DEN2014 patent/IN2014DN09995A/en unknown
- 2013-04-30 JP JP2014521016A patent/JP5680800B2/ja active Active
- 2013-04-30 KR KR1020147029904A patent/KR101657604B1/ko active IP Right Grant
- 2013-04-30 CA CA2874212A patent/CA2874212C/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-04-30 WO PCT/JP2013/062669 patent/WO2013187149A1/ja active Application Filing
- 2013-05-10 TW TW102116632A patent/TWI577067B/zh not_active IP Right Cessation
-
2014
- 2014-11-10 US US14/537,264 patent/US9219252B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020079835A1 (en) * | 2000-12-27 | 2002-06-27 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Electroluminescenct device and method for manufacturing the same |
| TW200507687A (en) * | 2003-06-13 | 2005-02-16 | Toyota Jidoshokki Kk | Electroluminescence device, manufacturing method thereof, and liquid crystal display device using the electroluminescence device |
| JP4758889B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2011-08-31 | パナソニック電工株式会社 | 有機発光素子 |
| US20100133998A1 (en) * | 2008-12-01 | 2010-06-03 | Tpo Displays Corp. | Image display device, image display system, and methods for fabricating the same |
| US20120132897A1 (en) * | 2009-07-16 | 2012-05-31 | Tokyo Institute Of Technology | Diffraction grating, organic el element using the same, and manufacturing methods thereof |
| TW201138538A (en) * | 2009-08-20 | 2011-11-01 | Sumitomo Chemical Co | Process for producing substrate with electrode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2861041A1 (en) | 2015-04-15 |
| CN104380843A (zh) | 2015-02-25 |
| KR20140141679A (ko) | 2014-12-10 |
| CA2874212A1 (en) | 2013-12-19 |
| KR101657604B1 (ko) | 2016-09-30 |
| CN104380843B (zh) | 2016-10-19 |
| WO2013187149A1 (ja) | 2013-12-19 |
| AU2013275607B2 (en) | 2015-08-27 |
| CA2874212C (en) | 2016-04-05 |
| US9219252B2 (en) | 2015-12-22 |
| US20150060840A1 (en) | 2015-03-05 |
| EP2861041B1 (en) | 2016-11-09 |
| JP5680800B2 (ja) | 2015-03-04 |
| IN2014DN09995A (zh) | 2015-08-14 |
| JPWO2013187149A1 (ja) | 2016-02-04 |
| EP2861041A4 (en) | 2016-04-13 |
| AU2013275607A1 (en) | 2014-12-11 |
| TW201407848A (zh) | 2014-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI577067B (zh) | Organic electroluminescent element and manufacturing method thereof | |
| AU2014294412B2 (en) | Method for manufacturing substrate having textured structure | |
| TWI574812B (zh) | A method for manufacturing a fine pattern transfer die, a method for manufacturing a substrate having a concavo-convex structure using the same, and a method of manufacturing an organic electroluminescent device including a substrate having the same and a concavo-convex structure | |
| TWI568051B (zh) | Organic electroluminescent elements | |
| KR101871538B1 (ko) | 유기 el 소자용의 광 취출 투명 기판 및 그것을 사용한 유기 el 소자 | |
| TWI596811B (zh) | Manufacturing method and manufacturing apparatus of a substrate having an uneven pattern using a film-shaped mold and a method of manufacturing the apparatus having the substrate | |
| JP5680742B2 (ja) | 凹凸構造を有する基板の製造方法及びそれを用いた有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP6013945B2 (ja) | 凹凸パターンを有する基板を備えたデバイスの製造方法 | |
| CA2824148A1 (en) | Method for producing mold for minute pattern transfer, method for producing diffraction grating using the same, and method for producing organic el element including the diffraction grating | |
| TWI669840B (zh) | Light-emitting element | |
| JP5763517B2 (ja) | 有機ｅｌ素子 | |
| TWI652844B (zh) | 發光元件 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |