TWI575174B - 磁性流體密封件 - Google Patents

Description

磁性流體密封件 發明領域

本發明是有關於磁性流體密封件之組裝方法及以該方法組裝之磁性流體密封件，該磁性流體密封件是用來將軸與具有供該軸插入之軸孔的殼體之間的環狀間隙予以密封。

發明背景

以往，已知的一種磁性流體密封件，是以磁力所保持的磁性流體來密封軸與殼體的軸孔之間的環狀間隙。(參照專利文獻1)在專利文獻1揭示的磁性流體密封件中設置有於軸方向兩端具有磁極之環狀的永久磁鐵、以及位於夾持該永久磁鐵的軸方向兩側用以將磁性流體保持在與軸之間的一對的磁極構件。由於可藉由此種構成，將磁性電路形成為貫穿永久磁鐵、一對磁極構件、以及磁性體所構成的軸，故可在軸與磁極構件之間安定地保持磁性流體。

利用圖5說明具有上述構成的磁性流體密封件的功能及以往的組裝方法。圖5是顯示習知例之將磁性流體密 封件的各構成零件安裝至軸上之後的狀態之模示意剖面圖，為了說明，圖中僅顯示必要的構成。此外，圖5中的上方為垂直朝上側。習知例的磁性流體密封件900在於圓周方向上被分割的環狀之永久磁鐵901(以下簡稱為「磁鐵901」)之軸方向兩側具有同為環狀的第1磁極構件902及第2磁極構件903，且於兩磁極構件902、903的兩側更設有第1軸承904及第2軸承905。並且，在設置於軸400的外周面上的環狀溝401中，設有複數個環狀突起402。而，複數個環狀突起402分開設置於第1環狀突起群411及第2環狀突起群412。在像這樣所構成的磁性流體密封件900中，藉由來自以磁鐵901所形成的磁性電路所作用之磁力，可將磁性流體(圖中未示)會被保持在各環狀突起402的外周面及兩磁極構件902、903的內周面之間的環狀間隙中。

在磁性流體密封件900的以往的組裝方法中，首先，是在朝向垂直方向之狀態的軸400之預定位置上固定第1軸承904。然後，在第1環狀突起群411附近塗佈磁性流體(圖中未示)後，將第1磁極構件902載置在第1軸承904上。接著，將與磁鐵901具有相同形狀且於圓周方向被分割的環狀治具(圖中未示)載置在第1磁極構件902上。然後，在第2環狀突起群412附近塗佈磁性流體後，在環狀的治具上載置第2磁極構件903。在此，雖然將兩磁極構件902、903形成相對於軸400為已定位的狀態，但是僅是被疊置在其他零件上沒有特別被固定住。並且，藉由將已分割的治具之分割片一個一個替換為已分割的磁鐵901的分割片，以在將第2磁 極構件903載置於治具上的狀態下，直接進行磁鐵901的安裝。磁鐵901的安裝結束後，即可從上方安裝第2軸承905，將其固定在與第2磁極構件903接觸的位置。藉此，可使兩磁極構件902、903及磁鐵901以相對於軸400為已定位的狀態被固定。

如上所述，在磁性流體密封件900之以往的組裝方法中，是在藉由第2軸承905固定兩磁極構件902、903之前，先安裝磁鐵901。因此，在以往的組裝方法中，在磁鐵901的分割片安裝後到第2軸承905安裝之前的期間中，第1磁極構件902或第2磁極構件903會有因為磁鐵901所形成的磁性電路而被吸引靠近軸400之情形。當如此進行而使磁極構件移動時，會有磁性流體密封件900的密封功能降低的疑慮，並且當移動量大的情況下，也有已移動的磁極構件會接觸軸400之疑慮，因而並不理想。

在此，所考慮的方法有：在將治具的各分割片替換為磁鐵901的各分割片之前，藉由安裝第2軸承905以固定兩磁極構件902、903。但是，當先固定第2軸承905時，由於受到兩磁極構件902、903的按壓，要從徑向外側取出治具的分割片將變得困難。又，由於取出治具的分割片後，就會導致兩磁極構件902、903之間的間隔變狹窄，磁鐵901的分割片之安裝將變得困難。因此，先固定第2軸承905之方法並不切實際。

如上所述，用以往的方法組裝磁鐵兩側設置有磁極構件(磁性流體的保持部)之磁性流體密封件時，會有因為 來自所安裝的磁鐵之磁力導致磁極構件從已定位好的位置移動之情形。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2010-255845號公報

發明概要

本發明之目的為提供一種組裝方法，其可在組裝磁場形成構件的兩側設置有磁性流體的保持部之磁性流體密封件時，將來自所安裝的磁場形成構件之磁力而導致磁極構件移動之情形予以抑制。

本發明為了解決以上述課題而採用了以下的構成。

意即，本發明的磁性流體密封件之組裝方法，是將軸及具有供該軸插入之軸孔的殼體之間的環狀間隙予以密封之磁性流體密封件的組裝方法，前述磁性流體密封件包括環狀的磁場形成構件、環狀的磁極構件、以及第1軸承及第2軸承，該環狀的磁場形成構件於軸方向兩端具有磁極且於圓周方向被分割，該環狀的磁極構件具有在與前述軸之間藉由磁力保持磁性流體且在軸方向隔著間隔而被配置之一對磁性流體保 持部、及連結該一對磁性流體保持部的連結部，該第1軸承及第2軸承是設置於前述磁極構件的軸方向兩側，該組裝方法包括：第1軸承固定步驟，在將前述軸朝向垂直方向的狀態下，將前述第1軸承固定在該軸上；磁極構件安裝步驟，在前述第1軸承固定步驟後，從前述第1軸承的上方安裝前述磁極構件；第2軸承固定步驟，在前述磁極構件安裝步驟後，從前述磁極構件的上方將前述第2軸承固定至前述軸上，以使該磁極構件以相對於該軸為已定位的狀態被固定；以及磁場形成構件安裝步驟，在前述第2軸承固定步驟後，在前述磁極構件中的前述一對磁性流體保持部之間安裝前述磁場形成構件。

根據本發明的磁性流體密封件之組裝方法，可藉由第2軸承使磁極構件以相對於軸為已定位的狀態被固定，然後，可將磁場形成構件安裝在藉由連結部而相間隔的一對磁性流體保持部之間。藉此，即使藉由第2軸承將磁極構件固定後，仍能安裝磁場形成構件，並且藉由已安裝有磁場形成構件，即便將磁性電路形成為通過磁場形成構件、磁極構件及軸，也能抑制磁力造成的磁極構件之移動。再者，本發明之磁性流體密封件所使用的軸可考慮磁性體所構成之軸，或在由非磁性體構成之軸的徑向外側裝設由磁性體構成的圓筒狀套筒而形成之軸等，至少使軸的外周面 上之保持磁性流體的位置是由磁性體所構成。

又，在上述的組裝方法中，前述磁性流體密封件還包括第1間隔物及第2間隔物，該第1間隔物設置有卡合部，該卡合部可於徑向對前述磁極構件之軸方向的第1端部進行卡合，藉此將該磁極構件在徑向定位，該第2間隔物設置有卡合部，該卡合部可於徑向對前述磁極構件之軸方向的第2端部進行卡合，藉此將該磁極構件在徑向定位。

該組裝方法還可包括：第1間隔物安裝步驟，在前述第1軸承固定步驟後，而在前述磁極構件安裝步驟之前，從前述第1軸承的上方安裝前述第1間隔物；以及第2間隔物安裝步驟，在前述磁極構件安裝步驟後，而在前述第2軸承固定步驟之前，從前述磁極構件的上方安裝前述第2間隔物。

根據此組裝方法，可藉由已安裝的兩間隔物之卡合部，與磁極構件中的軸方向兩端部在徑向的卡合，使磁極構件以已定位的狀態被固定。

再者，在藉由上述組裝方法而組裝的磁性流體密封件中，前述第1間隔物還設置有擴充卡合部，該擴充卡合部可於徑向對前述第1軸承的外周面進行卡合，藉此將該第1間隔物在徑向定位， 前述第2間隔物還設置有擴充卡合部，該擴充卡合部可於徑向對前述第2軸承的外周面進行卡合，藉此將該第2間隔物在徑向定位。

根據此磁性流體密封件，可使第1間隔物於徑向對第1軸承進行卡合，而以已定位的狀態被固定，並使第2間隔物於徑向對第2軸承進行卡合，而以已定位的狀態被固定。藉此，可使磁極構件透過兩間隔物以相對於兩軸承為已定位的狀態被固定。

再者，以上述組裝方法所組裝之未包括間隔物之磁性流體密封件中，也可以在前述磁極構件之軸方向的第1端部設置有卡合部，該卡合部可於徑向對前述第1軸承的外周面進行卡合，藉此將該磁極構件在徑向上定位，且在前述磁極構件之軸方向的第2端部設置有卡合部，該卡合部可於徑向對前述第2軸承的外周面進行卡合，藉此將該磁極構件在徑向上定位。

根據這個磁性流體密封件，可藉由磁極構件之軸方向的兩端部，與兩軸承的外周面在徑向的卡合，使磁極構件以相對於兩軸承為已定位的狀態被固定。

根據本發明可以做到：在組裝磁場形成構件的兩側設置有磁性流體的保持部之磁性流體密封件時，可抑制來自所安裝的磁場形成構件之磁力而導致的磁極構件之移動。

100、200、300‧‧‧磁性流體密封件

101、102‧‧‧密封環

103‧‧‧止動環

104‧‧‧止擋件

105‧‧‧螺栓

120、320‧‧‧磁極構件

121‧‧‧第1磁性流體保持部

122‧‧‧第2磁性流體保持部

123‧‧‧連結部

124、127、128、401‧‧‧環狀溝

125、126、325、326‧‧‧圓筒部

130‧‧‧磁鐵(磁場形成構件)

140、240‧‧‧第1間隔物

141、151、242、252‧‧‧卡合部

150、250‧‧‧第2間隔物

160‧‧‧第1軸承

170‧‧‧第2軸承

400‧‧‧軸

402‧‧‧環狀突起

411‧‧‧第1環狀突起群

412‧‧‧第2環狀突起群

500‧‧‧殼體

501‧‧‧軸孔

502‧‧‧凸緣部

F‧‧‧磁性流體

M‧‧‧磁性電路

V‧‧‧真空側

A‧‧‧大氣側

圖1是本發明之實施例1的磁性流體密封件之示意剖面圖。

圖2是用於說明本發明之實施例1的磁性流體密封件之組裝方法之圖。

圖3是本發明之實施例2的磁性流體密封件之示意剖面圖。

圖4是本發明之實施例3的磁性流體密封件之示意剖面圖。

圖5是用於說明習知例之磁性流體密封件之組裝方法之圖。

用以實施發明之形態

以下，參照圖式將用以實施這個發明的形態，根據實施例以例示的方式詳細地說明。但是，此實施例所記載的構成零件之尺寸、材質、形狀、其相對配置等，只要沒有特別特定的記載，就不是用來將本發明之範圍僅限定於該等的主要內容。再者，藉由本發明之組裝方法組裝的磁性流體密封件，可使用在例如，用來密封半導體製造裝置等的真空容器。更具體而言，本發明可適用在從真空容器的外部向內部傳達旋轉動力之旋轉軸的導入部。

[實施例1]

<磁性流體密封件的整體構成>

參照圖1說明本發明之實施例之磁性流體密封件100的 整體構成。圖1顯示磁性流體密封件100的概要構成，且為包含軸400之中心軸線之平面的示意剖面圖。再者，由於包夾著中心軸線而為相反側之部分的構成為大致對稱，故省略圖示。

磁性流體密封件100是在用於將磁性體構成的軸400與具有供軸400插入之軸孔501的殼體500之間的環狀間隙予以密封而使用。軸400的外周面設置有環狀溝401，在該環狀溝401上設置有複數個環狀突起402。再者，在本實施例中，是將複數個環狀突起402區分為配置在大氣側A(圖中右側)之第1環狀突起群411，以及配置在真空側V(圖中左側)之第2環狀突起群412而進行設置。並且，由非磁性體構成的殼體500在真空側V具有固定於真空容器等之外壁面的向外凸緣部502。在本實施例中，可藉由在磁性流體密封件100的外側安裝非磁性體構成的殼體500，以有效地抑制磁鐵130的磁場洩漏。再者，也可在非磁性體構成的軸之徑向外側裝設磁性體構成的圓筒狀套筒，來替代磁性體構成的軸400。換言之，以軸400為例，只要是至少使外周面上的複數個環狀突起402及其附近處為磁性體構成的軸，就可以適用於本實施例之磁性流體密封件100。

磁性流體密封件100包括有於軸方向的兩端具有磁極之永久磁鐵130(以下，簡稱為「磁鐵130」)，以作為環狀的磁場形成構件。該磁鐵130是於軸方向被分割，且在將各分割部分從徑向外側組合好時整體會構成環狀。再者，如以下圖2所示，在本實施例中，是將磁鐵130於軸方向均 等地分割為二個。又，磁性流體密封件100包括有磁性體構成的磁極構件120。在磁極構件120中，有在軸方向隔著間隔而設置的第1磁性流體保持部121及第2磁性流體保持部122，該第1磁性流體保持部121及第2磁性流體保持部122是藉由與軸400之間的磁力保持磁性流體F。再者，在磁極構件120中，有連結該一對磁性流體保持部121、122之圓筒狀的連結部123被設置在徑向內側。也就是說，在本實施例中，是藉由以連結部123連結一對磁性流體保持部121、122，而作為單一的零件一體地被構成。並且，在連結部123的外周設置有供磁鐵130安裝的環狀溝124。再者，在磁極構件120的外周還有包夾著環狀溝124而設置的一對環狀溝127、128，在該一對環狀溝127、128上分別裝設有密封環101、102。藉由密封環101、102以將軸孔501與磁極構件120之間密封。

在磁極構件120的大氣側A設置有環狀的第1間隔物140。第1間隔物140是以外周面接觸軸孔501的內周面，並在真空側V之端部的徑向內側設置有在軸方向突出的圓筒狀之卡合部141。卡合部141是卡合於設置在磁極構件120之大氣側A的端部之徑向外側之，在軸方向上突出的圓筒狀之圓筒部125上。詳細而言，是使卡合部141的外周面與圓筒部125的內周面在徑向上卡合。同樣地，在磁極構件120的真空側V設置有以其外周面接觸於軸孔的內周面的環狀的第2間隔物150，在第2間隔物150的大氣側A的端部之徑向內側設置有在軸方向突出的圓筒狀之卡合部151。卡合部151的外周面會在徑向上卡合於設置在磁極構件120的真空 側V的端部之徑向外側之，在軸方向上突出的圓筒狀之圓筒部126的內周面。如上所述地進行，藉由使設置於各間隔物上的卡合部在徑向上卡合於設置在磁極構件120之各端部上的圓筒部，就可以使磁極構件120在徑向上被定位。

並且，包夾著兩間隔物140、150在軸方向的兩側設置有用於將軸400可樞轉地支撐成旋轉自如之第1軸承160及第2軸承170。第1軸承160是藉由止動環103而以相對於軸400為已定位之狀態被固定。詳細如後續所述，在磁性流體密封件100中，設置在兩軸承160、170之間的各構成零件，是藉由兩軸承160、170從兩側受到夾持，而以相對於軸400為已定位之狀態被固定。並且，磁性流體密封件100及殼體500的固定，是透過藉由螺栓105而相對於殼體500被鎖接的止擋件104完成。再者，由於螺栓105的實際的鎖接位置並非圖1所示的位置，故以虛線描繪螺栓105。

在如以上所構成之磁性流體密封件100中，是藉由安裝在環狀溝124的磁鐵130，將磁性電路M形成為通過磁鐵130、兩磁性流體保持部121、122及兩環狀突起群411、412。在此，兩環狀突起群411、412的各環狀突起402的外周面，與兩磁性流體保持部121、122的內周面之間的環狀間隙，是藉由將間隔在局部變窄，以使磁通密度變高。因此，在磁性流體密封件100中，可在該等磁通密度高的各環狀間隙中使磁性流體F安定地被保持。藉由如此進行而將磁性流體F保持在複數個環狀間隙中，即可構成即使是較大壓差也能承受之磁性流體密封件。

<磁性流體密封件的組裝方法>

接著，參照圖2說明本實施例之磁性流體密封件的組裝方法。圖2是顯示磁性流體密封件100的組裝步驟之圖。又，在圖2中，與圖1相同，將包夾著軸400的中心軸線而為相反側之構成省略。又，以圖中的箭頭示意地表示各零件的安裝方向。

在磁性流體密封件100的組裝方法中，首先，是在第1軸承固定步驟中，於朝向垂直方向的狀態中的軸400的預定位置上，固定第1軸承160。再者，第1軸承160是藉由止動環103而相對於軸400被定位，又，是藉由將第1軸承160的內周面與軸400的外周面相互嵌合而固定。

接著，在第1間隔物安裝步驟中，從第1軸承160的上方安裝第1間隔物140。而，第1間隔物140於被載置於第1軸承160上之後，即在徑向上被定位。該定位是藉由例如使第1間隔物140的外周面的位置對齊於第1軸承160的外周面的位置而進行。然而，在此狀態中，雖然並未將第1間隔物140相對於第1軸承160固定住，但由於彼此的端面形成面接觸，因此，只要沒有受到一定程度的外力作用，就不會有第1間隔物140移動的情形。

接著，將磁性流體(圖中未示)塗佈在設置在軸400上的兩個環狀突起群411、412的附近後，在磁極構件安裝步驟中，從第1間隔物140的上方安裝磁極構件120。藉此，可使磁極構件120的圓筒部125的內周面，與設置於第1間隔物140之卡合部141的外周面在徑向上進行卡合，因此，可 將磁極構件120定位在徑向。

接著，在第2間隔物安裝步驟中，從磁極構件120的上方安裝第2間隔物150。藉此，由於可使設置於第2間隔物150的卡合部151之外周面，與磁極構件120的圓筒部126之內周面在徑向上進行卡合，故可使磁極構件120與第2間隔物150相對於彼此在徑向上被定位。

其次，在第2軸承固定步驟中，從第2間隔物150的上方將第2軸承170固定至軸400上。第2軸承170的固定是做成在與第1軸承160之間，夾持磁極構件120及兩個間隔物140、150而進行。藉此，可讓磁極構件120及兩個間隔物140、150以相對於軸400在徑向上及軸方向上為已定位之狀態而被固定。再者，第2軸承170是藉由將其內周面與軸400的外周面相嵌合而被固定。

其次，在磁場形成構件安裝步驟中，可將磁鐵130安裝在磁極構件120的一對磁性流體保持部121、122之間。在本實施例中，是將均等地分割為二個的磁鐵130之各分割片，從外側安裝至磁極構件120的環狀溝124內。再者，是藉由將磁鐵130軸方向的兩個端面與環狀溝124軸方向的兩個側面相嵌合，以固定磁鐵130。將磁鐵130安裝至環狀溝124後，因為可由磁鐵130形成上述的磁性電路M，故可使已塗佈的磁性流體形成為匯集在各環狀突起402的外周面與兩磁性流體保持部121、122的內周面之間的複數個環狀間隙中而受到保持。

<本實施例之磁性流體密封件之組裝方法的優點 >

上述磁極構件120，是以使一對磁性流體保持部121、122藉由設置在徑向內側之連結部123而被分隔的狀態而一體地被設置。又，連結部123的外周側設置有可安裝磁鐵130之環狀溝124。因此，即使是在如同藉由第2軸承170而被固定的情況而在軸方向受到按壓力作用的狀態下，仍然可以做到將磁鐵130從徑向外側安裝到兩磁性流體保持部121、122之間。並且，根據上述組裝方法，將磁極構件120以相對於軸400為已定位的狀態固定之後，即能安裝磁鐵130。因此，即便藉由所安裝的磁鐵130而形成有磁性電路M，仍能抑制來自該磁性電路作用之磁力所造成的磁極構件120的移動。以上，根據本實施例之組裝方法，在組裝磁場形成構件的兩側設置有磁性流體的保持部之磁性流體密封件時，可抑制來自所安裝的磁場形成構件之磁力而導致磁極構件移動之情形。其結果為，相較於習知的組裝方法，讓更高精密度地管理用於保持磁性流體之環狀間隙的尺寸之作法成為可行。

[實施例2]

在上述實施例1中，顯示了使間隔物的軸方向端面與軸承的軸方向端面形成面接觸之構成。相對於此，在實施例2中，顯示在間隔物上還設置有可對軸承的外周面進行卡合之擴充卡合部之構成。以下，利用圖3說明實施例2。再者，對於與上述實施例1相同的構成，將附加相同的符號而省略其說明。又，相同的構成之作用實質上也為相同。

圖3是表示實施例2之磁性流體密封件200的概要構成之，與上述圖1同樣的示意剖面圖。配置在磁極構件120的大氣側A之環狀的第1間隔物240，在真空側V的端部具有卡合於磁極構件120的圓筒部125之卡合部141，並且在大氣側A的端部之徑向外側，具有軸方向突出的圓筒狀之卡合部242。並且，卡合部242的內周面可在徑向上對第1軸承160的外周面進行卡合。藉此，第1間隔物240是以相對於第1軸承160在徑向上為已定位的狀態被固定。同樣地，設置在磁極構件120之真空側V的環狀第2間隔物250，在大氣側A的端部具有卡合於磁極構件120的圓筒部126之卡合部151，並且在真空側V的端部之徑向外側，具有軸方向突出的圓筒狀之卡合部252。並且，卡合部252的內周面可在徑向上對第2軸承170的外周面進行卡合。藉此，第2間隔物250是以相對於第2軸承170在徑向上為已定位之狀態被固定。

磁性流體密封件200的組裝方法與上述磁性流體密封件100的組裝方法相同。在此，在第1間隔物安裝步驟中，當從第1軸承160的上方安裝第1間隔物240時，即可藉由卡合部242在徑向上對第1軸承160進行卡合，而自動進行第1間隔物240的定位。又，在第2軸承固定步驟中，從第2間隔物250的上方固定第2軸承170後，即可藉由卡合部252在徑向上對第2軸承170進行卡合，而自動進行第2間隔物250的定位。

在如以上所構成之磁性流體密封件200及其組裝方法中，亦能得到與磁性流體密封件100相同的效果。不僅 如此，根據磁性流體密封件200，如上所述，還可在組裝時自動進行兩間隔物240、250的定位。又，根據磁性流體密封件200，可使磁極構件120透過兩間隔物240、250相對於兩軸承160、170在徑向上被定位。

[實施例3]

在上述實施例1中，顯示了設置在磁極構件的兩端部之圓筒部在徑向上對間隔物的卡合部進行卡合之構成。相對於此，在實施例3中是顯示在不使用間隔物的情形下，使磁極構件的圓筒部對軸承的外周面進行卡合之構成。以下，利用圖4說明實施例3。此外，對於與上述實施例1相同的結構，將附如相同的符號而省略其說明。又，相同的構成之作用實質上也為相同。

圖4是表示實施例3之磁性流體密封件300的概要構成之，與上述圖1同樣的示意剖面圖。磁性體構成的磁極構件320與實施例1中的磁極構件120相同，包括一對磁性流體保持部121、122及連結部123等。並且，磁極構件320之大氣側A的端部之徑向外側上，設置有在軸方向上突出的圓筒狀之圓筒部325，其內周面在徑向上對第1軸承160的外周面進行卡合。同樣地，磁極構件320之真空側V的端部之徑向外側上，設置有在軸方向上突出的圓筒狀之圓筒部326，其內周面在徑向上對第2軸承170的外周面進行卡合。藉由以上，磁極構件320能以相對於兩軸承160、170在徑向上為已定位之狀態被固定。

在磁性流體密封件300的組裝方法中，除了上述 磁性流體密封件100之組裝方法的第1間隔物安裝步驟及第2間隔物安裝步驟之外，其餘步驟皆以相同方式進行。再者，在磁極構件安裝步驟中，是從第1軸承160的上方安裝磁極構件320。藉此，可使磁極構件320的圓筒部325之內周面對第1軸承160的外周面在徑向上進行卡合，故可將磁極構件320定位在徑向。又，在第2軸承固定步驟中，是從磁極構件320的上方安裝第2軸承170。第2軸承170的固定是做成在與第1軸承160之間夾持磁極構件320來進行。在此，由於使磁極構件320之圓筒部326的內周面對第2軸承170的外周面在徑向上進行卡合，故磁極構件320在真空側V也被定位於徑向。藉由以上，可讓磁極構件320以相對於軸400在徑向上及軸方向上為已定位狀態被固定。

在如以上所構成之磁性流體密封件300及其組裝方法中，亦能得到與磁性流體密封件100中的效果相同的效果。不僅如此，由於磁性流體密封件300的組裝方法不需要安裝間隔物的步驟，故比磁性流體密封件100的組裝方法更為精簡。

[其他實施例]

在上述實施例中，雖然磁極構件是由單一的零件所構成，但只要可使一對磁性流體保持部透過連接部被連結而一體地被構成，讓一對磁性流體保持部及連接部由不同的零件構成亦可。例如，利用由非磁性體製成的連結部來連結由相異的零件構成的一對磁性流體保持部，以將其等構成為一體亦可。在此情況下，由於藉由磁鐵130形成之磁性 電路的一部分不會通過連結部，所以可以使通過一對磁性流體保持部與軸400的磁性電路安定。

又，在上述實施例中，雖然連結部是以圓筒形狀所構成，但連結部的構成並不以此為限，例如，也可以由在圓周方向上隔著固定間隔而被配置的複數個支柱所構成。

又，在上述實施例中，磁場形成構件雖然是以均等地分割為二個的環狀永久磁鐵130為例，但磁場形成構件的構成並不以此為限，亦可為分割成更多個的永久磁鐵，也可以是分割的電磁鐵。

又，在上述的實施例中，雖然磁極構件之圓筒部及兩間隔物之卡合部是以在軸方向上突出的圓筒形狀所構成，但該等卡合部的形狀並不以此為限，只要使徑向的卡合可行，也可以為其他形狀所構成。例如，卡合部也可以由在圓周方向上隔著固定間隔而被配置的複數個圓弧狀突出部所構成。或者，卡合部不是圓筒形狀，而是徑向剖面為多邊形的筒狀之突出部亦可。又，在上述實施例1中，例如，磁極構件120的圓筒部125是使其內周面相對於第1間隔物140的卡合部141之外周面進行卡合，但是亦可取代這種構成，做成使圓筒部125之外周面相對於卡合部141之內周面進行卡合之構成。具體而言，是藉由在徑向內側設置圓筒部125，並且將卡合部141設置在徑向外側，以做成使圓筒部125之外周面與卡合部141之內周面卡合之構成。即使是該種構成，也能將磁極構件120定位在徑向。在上述各實 施例中的其他圓筒部及與其卡合之卡合部上，也都可以採用該種構成。

100‧‧‧磁性流體密封件

103‧‧‧止動環

120‧‧‧磁極構件

121‧‧‧第1磁性流體保持部

122‧‧‧第2磁性流體保持部

123‧‧‧連結部

124‧‧‧環狀溝

125、126‧‧‧圓筒部

130‧‧‧磁鐵(磁場形成構件)

140‧‧‧第1間隔物

141、151‧‧‧卡合部

150‧‧‧第2間隔物

160‧‧‧第1軸承

170‧‧‧第2軸承

400‧‧‧軸

411‧‧‧第1環狀突起群

412‧‧‧第2環狀突起群

Claims (1)

1. 一種磁性流體密封件，是將軸與具有供該軸插入之軸孔的殼體之間的環狀間隙予以密封之磁性流體密封件，前述磁性流體密封件包括：磁鐵，作為環狀的磁場形成構件，且該環狀的磁場形成構件於軸方向兩端具有磁極且在軸方向上被分割，環狀的磁極構件，具有：在與前述軸之間藉由磁力保持磁性流體且在軸方向隔著間隔而配置的一對磁性流體保持部、連結該一對磁性流體保持部的連結部、及在前述連結部的外周側供前述磁鐵安裝的環狀溝，以及第1軸承及第2軸承，在前述磁極構件的軸方向之其中一側設置有環狀的第1間隔物，在另一側設置有環狀的第2間隔物，且在前述磁極構件的軸方向兩側包夾著前述第1間隔物、前述第2間隔物，並將前述軸可樞轉地支撐成旋轉自如，前述磁極構件在其中一側的端部，有在軸方向上突出的圓筒部設置於徑向外側，且在另一側的端部，有在軸方向上突出的圓筒部設置於徑向外側，前述磁鐵在軸方向均等地分割為二，分割部分從徑向外側安裝至前述環狀溝而以整體成為環狀，前述第1間隔物是在另一側的端部的徑向內側設置有在軸方向突出的圓筒狀之卡合部，前述第2間隔物是在其中一側的端部的徑向內側設 置有在軸方向突出的圓筒狀之卡合部，前述第1間隔物是以其外周面接觸前述軸孔的內周面，並且該卡合部的外周面會在徑向上卡合於前述磁極構件之圓筒部的內周面，前述第2間隔物是以其外周面接觸前述軸孔的內周面，並且該卡合部的外周面會在徑向上卡合於前述磁極構件之圓筒部的內周面，前述磁鐵是該磁鐵之軸方向的兩端面與前述磁極構件之前述環狀溝之軸方向的兩側面相嵌合而固定。