CN106461089A - 磁性流体密封的组装方法及磁性流体密封 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够在对磁场形成部件两侧设置有磁性流体的保持部的磁性流体密封进行组装时，抑制因安装的磁场形成部件的磁力导致磁极部件移动的组装方法。其中该磁性流体密封(100)包括周向上被分割的磁场形成部件(130)，具有一对磁性流体保持部(121、122)和连结它们的连结部(123)的磁极部件(120)，和第1轴承(160)以及第2轴承(170)，该组装方法依次进行，在以使轴(400)向铅直方向的状态下，将第1轴承(160)与轴(400)固定的工序，从第1轴承(160)的上方安装磁极部件(120)的工序，和从磁极部件(120)的上方将第2轴承(170)与轴(400)固定，而将磁极部件(120)以相对于轴(400)定位的状态固定的工序，以及，将磁场形成部件(130)安装在一对磁性流体保持部(121、122)之间的工序。

Description

磁性流体密封的组装方法及磁性流体密封

技术领域

本发明涉及一种用于封闭轴与具有使该轴穿过的轴孔的壳体之间的环状间隙的磁性流体密封的组装方法及基于该方法组装的磁性流体密封。

背景技术

现有技术中已知有利用以磁力保持的磁性流体对轴与壳体的轴孔之间的环状间隙进行密封的磁性流体密封(参照专利文献1)。专利文献1中公开的磁性流体密封中，设置有在轴向两端具有磁极的环状的永久磁铁，和将磁性流体保持在夹持该永久磁铁的轴向两侧的一对磁极部件。根据上述结构，由于以永久磁铁、一对磁极部件和由磁体形成的轴连通的方式形成磁路，从而能够在轴与磁极部件之间稳定地保持磁性流体。

下面对具有上述结构的磁性流体密封的功能及现有技术的组装方法参照图5进行说明。图5是表示现有技术例的磁性流体密封的各构成部件安装在轴上后的状态的截面示意图，为了便于说明在图中只表示必要的结构。图5的上方为铅直向上侧。现有技术的磁性流体密封900，在周向上分割的环状的永久磁铁901(以下，简称为“磁铁901”)的轴向的两侧，具有都为环状的第1磁极部件902和第2磁极部件903，而且在两磁极部件902、903的两侧具有第1轴承904和第2轴承905。另外，在轴400的外周面设置的环状槽401设置有多个环状突起402。多个环状突起402分设为第1环状突起群411和第2环状突起群412。这样构成的磁性流体密封900中，通过由磁铁901形成的磁路作用的磁力，使磁性流体(未图示)保持于各环状突起402的外周面与两磁极部件902、903的内周面之间的环状间隙。

磁性流体密封900的现有技术的组装方法中，首先，将第1轴承904固定在朝向铅直方向的状态下轴400的规定位置。接下来，在第1环状突起群411附近涂覆磁性流体(未图示)后，将第1磁极部件902载置于第1轴承904。接下来，将具有与磁铁901同样形状的、在周向分割的环状夹具(未图示)载置于第1磁极部件902。接下来，在第2环状突起群412附近涂覆磁性流体后，将第2磁极部件903载置于环状的夹具。此时，两磁极部件902、903相对于轴400处于位置固定状态，但只是重叠在其它部件上而没有被特别固定。然后，通过将被分割的夹具的分割片，与被分割的磁铁901的分割片逐个替换，从而能够将第2磁极部件903保持被载置于夹具上的状态，进行磁铁901的安装。磁铁901的安装结束时，从上方安装第2轴承905，在与第2磁极部件903接触的位置将该第2轴承905固定。由此，两磁极部件902、903以及磁铁901，在相对于轴400定位的状态下被固定。

按照上述，磁性流体密封900的现有技术的组装方法中，在利用第2轴承905将两磁极部件902、903固定前，安装磁铁901。因此，现有技术的组装方法中，从磁铁901的分割片安装后到第2轴承905安装前的期间，第1磁极部件902及第2磁极部件903通过由磁铁901形成的磁路被吸引到轴400上。这样磁极部件移动时，会担心磁性流体密封900的封闭功能下降，而且在移动量较大时，存在导致移动的磁极部件与轴400接触的可能性。

这里，在将夹具的各分割片替换为磁铁901的各分割片前，考虑通过安装第2轴承905从而将两磁极部件902、903固定的方法。然而，在将第2轴承905先固定时，由于两磁极部件902、903的按压，而难以将夹具的分割片向径向外侧取出。另外，在将夹具的分割片取出时，由于两磁极部件902、903之间的间隔变窄，而使磁铁901的分割片的安装变得困难。因此，先将第2轴承905固定的方法难以实现。

按照上述，按照现有技术的方法对设置在磁铁的两侧的磁极部件(磁性流体的保持部)的磁性流体密封进行安装时，存在通过被安装的磁铁产生的磁力使磁极部件从定位的位置移动的情况。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2010-255845号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的是提供一种在对磁场形成部件的两侧设置有磁性流体保持部的磁性流体密封进行组装时，能够抑制因所安装的磁场形成部件的磁力导致磁极部件移动的组装方法。

为解决课题的手段

本发明，为解决上述课题采用了以下结构。

即，本发明的磁性流体密封的组装方法，其中所述磁性流体密封对轴与具有使该轴穿过的轴孔的壳体之间的环状间隙进行密封，其中，

所述磁性流体密封包括：

环状的磁场形成部件，其在轴向的两端具有磁极，在周向被分割；

环状的磁极部件，其具有利用磁力在所述磁极部件与所述轴之间保持磁性流体，并在轴向隔开间隔而配置的一对磁性流体保持部，和连结该一对磁性流体保持部的连结部；以及

第1轴承和第2轴承，其设置在所述磁极部件的轴向两侧；

所述磁性流体密封的组装方法包括：

以所述轴向铅直方向的状态，将所述第1轴承与该轴固定的第1轴承固定工序；

在所述第1轴承固定工序之后，从所述第1轴承的上方安装所述磁极部件的磁极部件安装工序；

在所述磁极部件安装工序之后，通过从所述磁极部件的上方将所述第2轴承与所述轴固定，而将该磁极部件以相对于该轴定位的状态固定的第2轴承固定工序；以及

在所述第2轴承固定工序之后，将所述磁场形成部件安装在所述磁极部件的所述一对磁性流体保持部之间的磁场形成部件安装工序。

根据本发明的磁性流体密封的组装方法，利用第2轴承使磁极部件固定在相对于轴定位的状态，然后，在被连结部分隔的一对磁性流体保持部之间安装磁场形成部件。由此，即使在第2轴承固定磁极部件后，也能够安装磁场形成部件，并且通过安装磁场形成部件，即使形成通过磁场形成部件、磁极部件、以及轴的磁路，也能抑制因磁力使磁极部件动。而且，应用了本发明的磁性流体密封的轴是，由磁体构成的轴，或者在由非磁体构成的轴的径向外侧安装由磁体形成的圆筒形状的轴套等，至少轴的外周面上要保持磁性流体的部位是由磁体构成的轴。

而且，在上述组装方法中，

所述磁性流体密封还包括：

第1垫片，其设置有通过与所述磁极部件的轴向上第1端部径向卡合，而对该磁极部件进行径向定位的卡合部；和

第2垫片，其设置有通过与所述磁极部件的轴向上第2端部径向卡合，而对该磁极部件进行径向定位的卡合部；

所述磁性流体密封的组装方法包括：

在所述第1轴承固定工序之后，且在所述磁极部件安装工序之前，从所述第1轴承的上方安装所述第1垫片的第1垫片安装工序；和

在所述磁极部件安装工序之后，且在所述第2轴承固定工序之前，从所述磁极部件的上方安装所述第2垫片的第2垫片安装工序。

根据该组装方法，通过使所安装的两垫片的卡合部与磁极部件轴向的两端部径向卡合，而使磁极部件固定在定位的状态。

而且，基于该组装方法而组装的磁性流体密封，可以是，

在所述第1垫片上还设置有通过与所述第1轴承的外周面径向卡合而使该第1垫片径向定位的卡合部，

在所述第2垫片上还设置有通过与所述第2轴承的外周面径向卡合而使该第2垫片径向定位的卡合部。

根据该磁性流体密封，第1垫片通过与第1轴承径向卡合而固定在定位状态，第2垫片通过与第2轴承径向卡合而固定在定位状态。由此，磁极部件被固定在经两垫片而相对于两轴承定位的状态。

而且，基于上述组装方法而组装的磁性流体密封，可以是，

在所述磁极部件的轴向上第1端部，设置有通过与所述第1轴承的外周面径向卡合而使该磁极部件径向定位的卡合部，

在所述磁极部件的轴向上第2端部，设置有通过与所述第2轴承的外周面径向卡合而使该磁极部件径向定位的卡合部。

根据该磁性流体密封，通过使磁极部件轴向两端部与两轴承的外周面径向卡合，而使磁极部件固定在相对于两轴承定位的状态。

发明效果

根据本发明，在对磁场形成部件两侧设置的磁性流体的保持部的磁性流体密封进行组装时，能够抑制因所安装的磁场形成部件的磁力导致磁极部件移动。

附图说明

图1是本发明的实施例1的磁性流体密封的截面示意图。

图2是用于说明本发明的实施例1的磁性流体密封的组装方法的图。

图3是本发明的实施例2的磁性流体密封的截面示意图。

图4是本发明的实施例3的磁性流体密封的截面示意图。

图5是用于说明现有技术例的磁性流体密封的组装方法的图。

具体实施方式

以下参照图面，基于实施例对用于实施本发明的实施方式进行示例说明。但是，本实施例中记载的构成部件的尺寸、材质、形状、其相互配置等，除非有特别的说明，否则本发明的范围限定于上述内容。且根据本发明的组装方法安装的磁性流体密封，例如，用于封闭半导体制造装置等真空容器。更具体的是，应用在从真空容器的外部向内部传递旋转动力的旋转轴的导入部。

[实施例1]

＜磁性流体密封的全体构成＞

参照图1，对本发明实施例的磁性流体密封100的整体结构作以说明。图1表示了磁性流体密封100的概略结构，用包含轴400的中心轴线的平面剖开的截面示意图。而且，由于带有中心轴线的相反侧部分的构成与之大概对称所以图中省略。

磁性流体密封100是用来封闭由磁体构成的轴400，与具有穿过轴400的轴孔501的壳体500之间的环状间隙。在轴400的外周面，设置有环状槽401，在该环状槽401设置多个环状突起402。而且，本实施例中，对于多个环状突起402分开成，设置在大气侧A(图中右侧)的第1环状突起群411，和设置在真空侧V(图中左侧)的第2环状突起群412。由非磁体构成的壳体500在真空侧V具有固定在真空容器等外壁面的外向法兰盘部502。本实施例中，由于在磁性流体密封100的外侧安装有由非磁体构成的壳体500，能有效地抑制磁铁130的磁场的泄露。而且，代替由磁体构成的轴400，可以使用在由非磁体构成的轴的径向外侧安装有由磁体构成的圆筒形状的轴套的轴。即，以轴400为例，只要轴是至少在外周面的多个环状突起402及其附近由磁体构成，就能够应用本实施例的磁性流体密封100。

磁性流体密封100具有，在轴向的两端有磁极，作为环状的磁场形成部件的永久磁铁130(以下，简称为“磁铁130”)。该磁铁130，在周向上被分割，各分割部分组合后整体形呈环状。而且，后述图2所示，本实施例中，磁铁130在周向上被平均分割成两份。而且，磁性流体密封100设置有由磁体形成的磁极部件120。在磁极部件120中，在与轴400之间由磁力保持的磁性流体F的第1磁性流体保持部121和第2磁性流体保持部122，其在轴向上隔开间隔。另外，在磁极部件120中，连结上一对磁性流体保持部121、122的圆筒形状的连结部123设置在径向内侧。即，在本实施例中，通过由连结部123连结一对磁性流体保持部121、122，而作为单一部件形成为一体。在连结部123的外周侧，设置有安装磁铁130的环状槽124。而且，在磁极部件120的外周，夹着环状槽124还设置有一对环状槽127、128，这一对环状槽127、128中，各自安装有密封环101、102。密封环101，102封闭轴孔501与磁极部件120之间的间隙。

在磁极部件120的大气侧A，设置有环状的第1垫片140。第1垫片140的外周面与轴孔501的内周面接触，在真空侧V的端部的径向内侧在轴向上设置有突出的圆筒形状的卡合部141。卡合部141设置在磁极部件120中大气侧A的端部的径向外侧，与轴向突出的圆筒形状的圆筒部125卡合。详细的说，卡合部141的外周面与圆筒部125的内周面在径向上卡合。同样，在磁极部件120的真空侧V设置有，外周面与轴孔的内周面接触的环状的第2垫片150，在第2垫片150的大气侧A的端部的径向内侧，设置有轴向突出的圆筒形状的卡合部151。卡合部151的外周面设置在磁极部件120中真空侧V的端部的径向外侧，与轴向突出的圆筒形状的圆筒部126的内周面在径向卡合。如上所述，各垫片上设置的连结部与设置在磁极部件120的各端部的圆筒部在径向上卡合，对磁极部件120在径向上径向定位。

在夹着两垫片140、150轴向的两侧，设置有用于对支持轴400自由旋转地轴支承的第1轴承160和第2轴承170。利用挡圈103使第1轴承160定位在已相对于轴400定位的状态。对此，将在后述进行详细说明，而在磁性流体密封100中，设置在两轴承160、170之间的各构成部件被两轴承160、170从两侧夹住，由此，使得它们被固定在已相对于轴400定位的状态。通过一螺栓105将限位器104紧固于壳体500，并利用限位器104进行磁性流体密封100与壳体500之间的固定。而且，由于螺栓105实际进行紧固的位置不是如图1表示的位置，因此螺栓105用虚线画出。

在如上构成的磁性流体密封100中，利用安装于环状槽124的磁铁130形成磁路M，该磁路M经过磁铁130、两磁性流体保持部121、122和两环状突起群411、412。这里，在两环状突起群411、412的各环状突起402的外周面与两磁性流体保持部121、122的内周面之间的环状间隙，由于间隔局部变窄而使磁通量密度变高。因此，磁性流体密封100中，磁性流体F被稳定地保持在磁通量密度高的各环状间隙中。由于这样多个环状间隙中磁性流体F被保持，从而构成能够承受比较大的差压的磁性流体密封。

＜磁性流体密封的组装方法＞

接着，参照图2，对本实施例的磁性流体密封的组装方法进行说明。图2表示磁性流体密封100的安装步骤。而且，图2与图1相同，省略了包含轴400的中心轴线的相反侧的构成。而且，图中的箭头表示各部件的安装方向。

在磁性流体密封100的组装方法中，首先，在第1轴承固定工序中，在处于铅直方向的状态下的轴400的规定位置处，固定第1轴承160。而且，第1轴承160由挡圈103相对于轴400定位，另外，第1轴承160的内周面和轴400的外周面通过嵌合而固定。

然后，在第1垫片安装工序中，从第1轴承160的上方安装第1垫片140。而且，在将第1垫片140从第1轴承160的上方设置好之后，径向定位。例如，是通过使第1垫片140外周面的位置与第1轴承160的外周面的位置匹配而进行该定位。而且，在该状态下，虽然第1垫片140相对于第1轴承160未固定，但由于相互间的端面存在面接触，因此只要没有某种程度的外力作用，第1垫片140就不会移动。

接着，在设置于轴400上的两环状突起群411、412附近涂布磁性流体(未图示)，然后，在磁极部件安装工序中，从第1垫片140的上方安装磁极部件120。由此，由于磁极部件120的圆筒部125的内周面与设置在第1垫片140上的卡合部141的外周面在径向上卡合，因此磁极部件120在径向上定位。

接着，在第2垫片安装工序中，从磁极部件120的上方安装第2垫片150。由此，由于设置在第2垫片150的卡合部151的外周面，与磁极部件120的圆筒部126的内周面在径向卡合，因此磁极部件120与第2垫片150互相在径向上定位。

接着，在第2轴承固定工序中，从第2垫片150的上方将第2轴承170固定在轴400上。通过在与第1轴承160之间夹持磁极部件120以及两垫片140、150来进行第2轴承170的固定。由此，磁极部件120以及两垫片140、150相对于轴400在径向以及轴向上被定位。而且，第2轴承170的内周面和轴400的外周面因嵌合而固定。

接着，在磁场形成部件安装工序中，将磁铁130安装在磁极部件120中的一对磁性流体保持部121、122之间。本实施例中，将平均分割成两份的磁铁130的各分割片，从外侧安装在磁极部件120的环状槽124内。而且，磁铁130、磁铁130的轴向的两端面、环状槽124的轴向的两侧面因嵌合而固定。在将磁铁130安装于环状槽124后，磁铁130形成上述的磁路M，因此涂覆的磁性流体汇集在各环状突起402的外周面与两磁性流体保持部121、122的内周面之间的多个环状间隙处而被保持。

＜本实施例的磁性流体密封的组装方法的优点＞

在上述的磁极部件120中，一对磁性流体保持部121、122以被设置在径向内侧的连结部123分隔的状态被整体地设置。而且，在连结部123的外周侧设置有能安装磁铁130的环状槽124。因此，如被第2轴承170固定的情况，即使轴向处在被按压的状态下，在两磁性流体保持部121、122之间，也能够从径向外侧安装磁铁130。根据上述的组装方法，磁极部件120相对于轴400在已定的位置状态下被固定之后，安装磁铁130。因此，即使被安装好的磁铁130形成磁路M，也能抑制该磁路作用的磁力导致磁极部件120移动。此外，根据本实施例的组装方法，在磁场形成部件的两侧设置磁性流体的保持部的磁性流体密封的安装时，能够抑制被安装好的磁场形成部件产生的磁力引起磁极部件的移动。结果，相较于现有技术的组装方法，使得以更好的保持磁性流体的环状间隙尺寸的高精度管理成为可能。

[实施例2]

上述实施例1表示了，垫片的轴向的端面与轴承的轴向的端面之间面接触的结构。对此，实施例2表示的是，在垫片上设置有相对于轴承的外周面卡合的卡合部的结构。以下，用图3对实施例2进行说明。而且，对于与上述实施例1相同的结构，附上相同的符号并省略说明。而且，相同结构的作用实质上也相同。

图3表示实施例2的磁性流体密封200的概略结构，与上述图1一样的截面示意图。在磁极部件120的大气侧A设置的环状第1垫片240，在真空侧V的端部设置有与磁极部件120的圆筒部125卡合的卡合部141，并大气侧A的端部在径向外侧，设置有轴向上突出的圆筒形状的卡合部242。卡合部242的内周面与第1轴承160的外周面径向卡合。由此，第1垫片240固定在与第1轴承160径向定位的状态。同样，设置在磁极部件120的真空侧V的环状第2垫片250，在大气侧A的端部设置有与磁极部件120的圆筒部126卡合的卡合部151，在真空侧V的端部在径向外侧设置有轴向突出的圆筒形状的卡合部252。卡合部252的内周面与第2轴承170的外周面径向卡合。由此，第2垫片250固定在与第2轴承170径向定位的状态。

磁性流体密封200的组装方法与上述的磁性流体密封100的组装方法相同。在第1垫片安装工序中，从第1轴承160的上方安装第1垫片240，之后，通过使卡合部242与第1轴承160径向卡合，使第1垫片240自动地定位。而且，在第2轴承固定工序中，从第2垫片250的上方固定第2轴承170，然后，通过使卡合部252与第2轴承170径向卡合，而是第2垫片250自动地定位。

在如上构成的磁性流体密封200以及其组装方法中，能够获得与磁性流体密封100相同的效果。再者，根据磁性流体密封200，如上所述，安装时两垫片240、250自动地进行定位。而且，根据磁性流体密封200，磁极部件120通过两垫片240、250在径向上相对于两轴承160、170定位。

[实施例3]

上述实施例1表示了，设置在磁极部件的两端部的圆筒部与垫片的卡合部径向卡合的结构。对此，实施例3表示的是，不使用垫片，而使磁极部件的圆筒部与轴承的外周面卡合的结构。以下，用图4对实施例3进行说明。而且，对与上述实施例1相同的构成，附上相同的符号并省略说明。而且，相同构成的作用在实质上也相同。

图4表示，实施例3的磁性流体密封300的概略结构，与上述图1相同的截面示意图。由磁体构成的磁极部件320，与实施例1中磁极部件120相同，设置有一对磁性流体保持部121、122和连结部123等。磁极部件320的大气侧A的端部在径向外侧设置有轴向突出的圆筒形状的圆筒部325，其内周面与第1轴承160的外周面径向卡合。同样，磁极部件320的真空侧V的端部中在径向外侧设置有轴向突出的圆筒形状的圆筒部326，其内周面与第2轴承170的外周面径向卡合。如上，磁极部件320固定在与两轴承160、170径向定位的状态。

在磁性流体密封300的组装方法中，除了第1垫片安装工序和第2垫片安装工序以外的工序，与上述磁性流体密封100的组装方法相同。而且，在磁极部件安装工序中，从第1轴承160的上方安装磁极部件320。由此，由于磁极部件320的圆筒部325的内周面相对于第1轴承160的外周面径向卡合，因此磁极部件320径向定位。而且，在第2轴承固定工序中，从磁极部件320的上方安装第2轴承170。在与第1轴承160之间夹持磁极部件320，而进行第2轴承170的固定。这里，由于磁极部件320的圆筒部326的内周面相对于第2轴承170的外周面径向卡合，因此使磁极部件320在真空侧V径向定位。如上，使得磁极部件320固定在相对于轴400在径向以及轴向定位的状态。

在如上构成的磁性流体密封300以及其组装方法中，能够获得与磁性流体密封100的效果相同的效果。再者，磁性流体密封300的组装方法，由于不需要安装垫片的工序，与磁性流体密封100的组装方法相比得到简化。

[其它例]

在上述的实施例中，虽然磁极部件由单一部件构成，但不只限于一对磁性流体保持部由连结部连结而成整体的构成，也可以使一对磁性流体保持部与连结部由不同的部件构成。例如，也可以由单独的部件构成的一对磁性流体保持部，通过被非磁体构成的连结部连结使其构成为整体。这种情况下，由于由磁铁130形成的磁路的一部分不通过连结部，因此能够使通过一对磁性流体保持部和轴400的磁路稳定。

而且，在上述的实施例中，连结部是由圆筒形状构成的，连结部的构成不限于此，例如，也可以由在周向上隔开一定间隔配置的多个支柱构成。

而且，在上述实施例中，作为磁场形成部件，以被平均地分割成两份的环状永久磁铁130为例子，但磁场形成部件的结构不限于此，也可以是分割更多分的永久磁铁，还可以是分割的电磁铁。

而且，在上述实施例中，磁极部件的圆筒部或两垫片的卡合部由轴向突出的圆筒形状构成，这些卡合部的形状不只限于此，只要是能够径向卡合，也可以是其它形状的结构。例如，卡合部也可以由在周向上隔开一定间隔配置的多个圆弧状的突出部构成。或者，卡合部也可以不是圆筒形状，而是由径向剖面为多边形的筒状的突出部。而且，在上述实施例1中，例如，代替磁极部件120的圆筒部125的内周面与第1垫片140的卡合部141的外周面卡合的结构，也可以是圆筒部125的外周面与卡合部141的内周面卡合。具体而言，通过将圆筒部125设置在径向内侧，并将卡合部141设置在径向外侧，也能够构成圆筒部125的外周面与卡合部141的内周面卡合的结构。这样的构成也能够使磁极部件120径向定位。这样的构成，也能够应用于上述的各实施例中的其它圆筒部和与之卡合的卡合部。

符号说明

100，200，300 磁性流体密封

120，320 磁极部件

121 第1磁性流体保持部

122 第2磁性流体保持部

123 连结部

130 磁铁(磁场形成部件)

140，240 第1垫片

150，250 第2垫片

160 第1轴承

170 第2轴承

400 轴

500 壳体

F 磁性流体

M 磁路

Claims (4)

1.一种磁性流体密封的组装方法，其中所述磁性流体密封对轴与具有使该轴穿过的轴孔的壳体之间的环状间隙进行密封，所述磁性流体密封的组装方法的特征在于，

所述磁性流体密封包括：

环状的磁场形成部件，其在轴向的两端具有磁极，在周向被分割；

环状的磁极部件，其具有利用磁力在所述磁极部件与所述轴之间保持磁性流体，并在轴向隔开间隔而配置的一对磁性流体保持部，和连结该一对磁性流体保持部的连结部；以及

第1轴承和第2轴承，其设置在所述磁极部件的轴向两侧；

所述磁性流体密封的组装方法包括：

在以使所述轴向铅直方向的状态下，将所述第1轴承与该轴固定的第1轴承固定工序；

在所述第1轴承固定工序之后，从所述第1轴承的上方安装所述磁极部件的磁极部件安装工序；

在所述磁极部件安装工序之后，通过从所述磁极部件的上方将所述第2轴承与所述轴固定，而将该磁极部件以相对于该轴定位的状态固定的第2轴承固定工序；以及

在所述第2轴承固定工序之后，将所述磁场形成部件安装在所述磁极部件的所述一对磁性流体保持部之间的磁场形成部件安装工序。

2.根据权利要求1所述的磁性流体密封的组装方法，其特征在于，所述磁性流体密封还包括：

第1垫片，其设置有通过与所述磁极部件的轴向上第1端部径向卡合，而对该磁极部件进行径向定位的卡合部；和

第2垫片，其设置有通过与所述磁极部件的轴向上第2端部径向卡合，而对该磁极部件进行径向定位的卡合部；

所述磁性流体密封的组装方法包括：

在所述第1轴承固定工序之后，且在所述磁极部件安装工序之前，从所述第1轴承的上方安装所述第1垫片的第1垫片安装工序；和

在所述磁极部件安装工序之后，且在所述第2轴承固定工序之前，从所述磁极部件的上方安装所述第2垫片的第2垫片安装工序。

3.一种基于权利要求2所述的组装方法而组装的磁性流体密封，其特征在于，

在所述第1垫片上还设置有通过与所述第1轴承的外周面径向卡合而使该第1垫片径向定位的卡合部，

在所述第2垫片上还设置有通过与所述第2轴承的外周面径向卡合而使该第2垫片径向定位的卡合部。

4.一种基于权利要求1所述的组装方法而组装的磁性流体密封，其特征在于，

在所述磁极部件的轴向上第1端部，设置有通过与所述第1轴承的外周面径向卡合而使该磁极部件径向定位的卡合部，

在所述磁极部件的轴向上第2端部，设置有通过与所述第2轴承的外周面径向卡合而使该磁极部件径向定位的卡合部。