TWI511275B - 可撓性顯示裝置的製造方法 - Google Patents

可撓性顯示裝置的製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI511275B
TWI511275B TW102141350A TW102141350A TWI511275B TW I511275 B TWI511275 B TW I511275B TW 102141350 A TW102141350 A TW 102141350A TW 102141350 A TW102141350 A TW 102141350A TW I511275 B TWI511275 B TW I511275B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
display device
flexible
manufacturing
auxiliary substrate
Prior art date
Application number
TW102141350A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201419501A (zh
Inventor
Jun Ho Yeo
Sung Jin Park
Seung Min Lee
Original Assignee
Lg Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lg Display Co Ltd filed Critical Lg Display Co Ltd
Publication of TW201419501A publication Critical patent/TW201419501A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI511275B publication Critical patent/TWI511275B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1259Multistep manufacturing methods
    • H01L27/1262Multistep manufacturing methods with a particular formation, treatment or coating of the substrate
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/80Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354Arrangements for aligning or assembling substrates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/14Layer or component removable to expose adhesive

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Description

可撓性顯示裝置的製造方法
本發明係關於一種可撓性顯示裝置的製造方法,特別地,關於一種可撓性顯示裝置的製造方法,此種方法能夠容易從一進程完成的可撓性基板分離一輔助基板。
在最近的資訊化社會中,促進了顯示裝置作為視覺資訊傳送媒介的重要性。為了支配一重要位置之後,為了之後佔據一重要位置,這樣的顯示裝置必需滿足幾個條件,例如低功耗、尺寸減小、重量減輕以及影像質量提高。
這樣的顯示裝置可劃分為發光型顯示裝置,包含一陰極射線管(CRT)、一電致發光顯示裝置(EL)、一發光二極體(LED)、一真空螢光顯示裝置(VFD)、一有機發光二極體顯示裝置(OLED)、一場致發射顯示裝置(FED)、一電漿顯示面板(PDP)、一電泳顯示裝置,此外還包含非發光型顯示裝置例如一液晶顯示裝置(LCD)。
甚至在折疊或捲起時也不受到損傷的一可撓性顯示裝置作為在顯示裝置領域中的一新技術而受到更高的關注。目前在實現可撓性顯示裝置中存在許多障礙,但是隨著技術的發展,一薄膜電晶體(TFT)液晶顯示裝置(LCD)、一有機發光二極體顯示裝置(OLED)或一電泳顯示裝置 將作為主流顯示裝置。
一可撓性顯示裝置稱作一捲曲顯示裝置。可撓性顯示裝置實現於一薄基板例如塑料上。可撓性顯示裝置甚至在類似於一張紙的折疊或捲曲時也不受到損傷,並且因此可撓性顯示裝置被認為是一個下一代的顯示裝置。目前,製造為薄度小於1毫米的液晶顯示裝置(LCD)與有機發光二極體顯示裝置(OLED)是期望的顯示裝置。
液晶顯示裝置(LCD)是使用液晶分子的光學各向異性輸出一影像的裝置。液晶顯示裝置(LCD)相比較於傳統的陰極射線管(CRT)表現出更高的可見度,並且相比較於相同螢幕尺寸的陰極射線管(CRT)具有更低的平均功率消耗以及更少的熱輻射。因此,液晶顯示裝置(LCD)作為下一代顯示裝置受到關注。
有機發光二極體顯示裝置(OLED)能夠自身發光,並且因此甚至在用於黑暗地點或照射外部光時有機發光二極體顯示裝置(OLED)也可表現出高可見度,且具有快速響應速率,在所有現有的顯示裝置中,快速響應速率是決定一可移動顯示裝置性能的一重要標準。因此,有機發光二極體顯示裝置(OLED)能夠實現完美的視頻。因此,有機發光二極體顯示裝置(OLED)能夠設計為一超薄形狀,這樣使得不同類型的可移動裝置,例如手機更加輕薄。
為了實現這種可撓性顯示裝置,必需保證一基板的可撓性。為了保證基板的可撓性,替代傳統的玻璃基板,使用由塑料或不鏽鋼(SUS)製造的一可撓性基板。
因此,可撓性基板例如塑料基板必需用以實現可撓性顯示 裝置。為了傳送可撓性基板且執行一系列處理,通常在使用一黏合劑將塑料基板安裝於一玻璃基板上之後執行那些處理過程。由於複雜的附加(黏合)過程以及複數個層壓過程,可產生有缺陷的裝置且降低生產率。
也就是說,為了將塑料基板安裝於玻璃基板上,一複雜的黏合過程,例如去除一黏合的底隔離紙、層壓黏合劑、去除黏合劑的頂隔離紙、層壓塑料基板等必需順次執行。而且,很可能導致一過程誤差(缺陷),例如在層壓過程中產生氣泡及斑點。特別地,複雜的黏合過程導致生產率的降低。
當黏合到玻璃基板上的塑料基板在黏合狀態下傳輸時且然後通過幾個過程完成一顯示面板的製造時,執行從作為一顯示面板的塑料基板分離(分拆)玻璃基板的過程。
這裡,為了從附加於玻璃基板上的黏合劑分離塑料基板,根據分離過程必需滿足幾個條件。而且,由於黏合劑附加於玻璃基板的全部前表面上,因此不容易分離。
近來,在塑料基板與玻璃基板之間引入一犧牲層且然後透過應用一雷射釋放使得玻璃基板與塑料基板分離之後,透過執行處理過程形成一顯示面板。當雷射釋放時,在塑料基板與玻璃基板之間形成一真空,這使得難以分離玻璃基板。此種情況下,一衝擊可作用於具有塑料基板的顯示面板,這樣可產生可撓性顯示裝置的損傷。
因此,為了克服習知技術的缺陷,本發明的詳細說明一方面在於提供一種可撓性基板的製造方法,此種方法能夠容易從一進程完成 的可撓性基板分離一輔助基板。
本發明的其他方面和特徵將在這裡揭露的本發明的模式與專利申請範圍中描述。
為了獲得本發明的這些目的和其他特徵,現對本發明作具體化和概括性的描述,本發明提供了一種可撓性顯示裝置的製造方法,包含:提供一輔助基板;形成一犧牲層於輔助基板上;形成一可撓性基板於形成有犧牲層的輔助基板上;形成一顯示面板於可撓性基板上;利用一雷射照射去除可撓性基板與輔助基板之間的犧牲層;注入空氣於其間已經去除犧牲層的可撓性基板與輔助基板之間;以及將輔助基板從可撓性基板分離。
這裡,輔助基板可實現為一玻璃基板或一金屬基板。
可撓性基板可透過在犧牲層上塗覆基於聚醯亞胺的樹脂形成。
顯示面板可實現為一液晶顯示裝置(LCD)、一有機發光二極體顯示裝置(OLED)或一電泳顯示裝置中之一。
此種可撓性基板的製造方法更包含,在可撓性基板上形成顯示面板之後,在輔助基板翻轉以面對一上側的情況下,將可撓性基板裝載於一真空平台上。
這裡,可透過將雷射照射於輔助基板上,去除可撓性基板與輔助基板之間的犧牲層。
雷射照射與輔助基板的分離可在同一真空平台上執行。
輔助基板可使用一真空墊單元從可撓性基板上分離。
這裡,真空墊單元可包含複數個真空墊以及一真空墊面板,其中真空墊面板用以上下移動真空墊。
空氣可通過在真空墊單元提供的一空氣注入器而注入。
可在使用真空墊單元的真空墊吸附與固定輔助基板的一頂表面之後執行空氣注入器。
可透過注入空氣以將可撓性基板與輔助基板之間的界面的一真空黏合力改變為高於大氣壓力的壓力,促進輔助基板的分離。
在此,可在透過空氣注入消除可撓性基板與輔助基板之間的一真空之後,使用真空墊單元使得輔助基板從可撓性基板分離下來。
可透過維持一水平狀態而向上移動真空墊單元,使得輔助基板從可撓性基板分離下來。
透過將雷射照射於一可撓性基板與一輔助基板之間的一犧牲層上且其後透過將空氣注入於可撓性基板與輔助基板之間的此界面去除一真空的方式執行分離,此種可撓性顯示裝置的製造方法可提供防止由於有缺陷的分離帶來的損傷之效果。
本發明的進一步的應用範圍將從以下給出的詳細描述中變的更加明顯。然而,可以理解的是,如上所述的本發明之概括說明和隨後所述的本發明之詳細說明均是具有代表性和解釋性的說明,並且是為了進一步揭示本發明之申請專利範圍。
110‧‧‧可撓性基板
111‧‧‧基板
112‧‧‧陽極
113‧‧‧電洞傳輸層
114‧‧‧發射層
114a‧‧‧紅色光發射層
114b‧‧‧綠色光發射層
114c‧‧‧藍色光發射層
115‧‧‧電子傳輸層
116‧‧‧電子注入層
117‧‧‧陰極
120‧‧‧顯示面板
140‧‧‧犧牲層
150‧‧‧輔助基板
160‧‧‧真空平台
170‧‧‧真空墊單元
171‧‧‧真空墊
172‧‧‧真空墊面板
175‧‧‧注入器
第1圖為根據本發明一示例性實施例的一可撓性顯示裝置的製造方法 之流程圖。
第2A圖至第2G圖為順次表示根據本發明一示例性實施例的可撓性顯示裝置的製造方法之透視圖;第3A圖至第3D圖為順次表示第1圖中所示的可撓性顯示裝置的製造方法中輔助基板分離過程之剖視圖;以及第4圖為根據本發明一示例性實施例的一可撓性顯示裝置之結構的剖視圖。
現在結合所附之圖式描述根據本發明一示例實施例的一可撓性顯示裝置的製造方法,以使得屬於本發明的本領域的技術人員能夠容易實現。
本發明公開的優點和特徵以及實現它們的方法將參照附圖在下面示例性實施例的詳明描述中可清楚理解。然而,本公開不應解釋為限于這些示例性實施例,而是可實現為各種形式。本發明的示例性實施例僅示出全面地描述本發明,並且對本領域技術人員理解本發明的範圍提供幫助。本發明的內容僅由專利申請範圍限定。在說明書中的相同/類似的參考符號或標號是指相同/相似的元件。
第1圖為根據本發明一示例性實施例的一可撓性顯示裝置的製造方法之流程圖。
此外,第2A圖至第2G圖為順次表示根據本發明一示例性實施例的可撓性顯示裝置的製造方法之透視圖。
第3A圖至第3D圖為順次表示第1圖中所示的可撓性顯示 裝置的製造方法中輔助基板分離過程之剖視圖。
如第2A圖所示,為了製造根據本發明一示例性實施例的一可撓性顯示裝置,可提供一輔助基板150(S101)。
這裡,在稍後將解釋的一顯示面板處理過程期間,輔助基板150可支撐一可撓性基板110(請參閱第2C圖)。這裡,輔助基板150可實現為一玻璃基板或一金屬基板。
然後,請參閱第2B圖,一犧牲層140可形成於輔助基板150的一表面上(S102)。
這裡,犧牲層140可保護可撓性基板110,在顯示面板處理過程期間可撓性基板110待形成於輔助基板150上。
請參閱第2C圖,可撓性基板110可形成於其上形成有犧牲層140的輔助基板150上(S103)。
這裡,可撓性基板110可例如透過在犧牲層140上塗覆基於聚醯亞胺的樹脂形成。這裡,本發明可不限制於樹脂類型。可撓性基板110可附加(黏附)於其上形成有犧牲層140的輔助基板150上。
請參閱第2D圖,一顯示面板120可形成於可撓性基板110上(S104)。
這裡,顯示面板120可為一液晶顯示裝置(LCD)、一有機發光二極體顯示裝置(OLED)或一電泳顯示裝置之一。
第4圖為根據本發明一示例性實施例的一可撓性顯示裝置之結構的剖視圖,第4圖表示出一有機發光二極體顯示裝置(OLED)作為顯示面板的一實例。
當顯示面板120實現為有機發光二極體顯示裝置(OLED)時,如第4圖所示,由透明氧化物製造的一陽極112可形成於由塑料或不鏽鋼製造的一基板上。在陽極112上可順次形成一電洞傳輸層113、一發射層114、一電子傳輸層115、一電子注入層116以及一陰極117。
這裡,當一基板111由一基於聚醯亞胺(PI)的樹脂製成時,一後膜可附加於基板111的一後表面上,其中此後膜由塑料例如聚乙烯對苯二甲酸酯(Polyethylene Terephthalate,PET),或金屬例如不鏽鋼製成。
在具有此結構的有機發光二極體顯示裝置(OLED)中,從陽極112注入的電洞與從陰極117注入的電子可藉由用於傳送電洞及電子傳輸層113及115在發射層114上彼此相結合,並且移動至一低能級,以便產生對應於發射層114上能量差的波長的光線。
這裡,為了發射白色光線,發射層114可更詳細地包含,一紅色光發射層114a、一綠色光發射層114b以及一藍色光發射層114c。
另一方面,當顯示面板120實現為液晶顯示裝置(LCD)時,雖然圖未示,顯示面板120可包含兩塊基板與這兩個基板之間的一液晶層。
這裡,一薄膜電晶體(TFT)陣列可形成於一底基板上。薄膜電晶體(TFT)陣列可包含:複數個資料線,紅色(R)、綠色(G)以及藍色(B)資料電壓提供給這些資料線;複數個閘極線,與資料線相交叉且具有供給於此的閘極脈波;複數個薄膜電晶體(TFT),形成於資料線與閘極線的交叉處;複數個畫素電極,將一資料電壓充電到液晶單元;儲存電容器,與畫素電極相連接以維持液晶單元的電壓,等等。一彩色濾光器陣列可形成於一頂基板上。此彩色濾光器陣列可包含一黑矩陣、一彩色濾光 器等。
這裡,犧牲層140與可撓性基板110可由基於聚醯亞胺(PI)的樹脂形成,基於聚醯亞胺(PI)的樹脂具有在高溫,例如大於400攝氏度情況下的耐久性。這樣即使暴露於形成顯示面板120的一處理環境下,也可防止犧牲層140與可撓性基板110變形或受到損傷。
請參閱第2E圖至第2G圖與第3A圖至第3D圖,輔助基板150可從其上形成有顯示面板120的可撓性基板110分離下來。
詳細而言,請參閱第3A圖,在其上形成有顯示面板120的可撓性基板110翻轉,以使得輔助基板150面向上側之後,可撓性基板110與輔助基板150可裝載於一真空平台160上(S105)上。這裡,本發明不限制於此。可撓性基板110與輔助基板150可裝載於真空平台160上而不需要翻轉。
這裡,真空平台160可包含複數個真空孔(圖未示)以吸附和固定裝載的可撓性基板110。
然後,請參閱第2E圖及第3B圖,雷射可照射於輔助基板150上,以去除在可撓性基板110與輔助基板150之間的犧牲層140(S106)。
請參閱第2F圖及第3C圖,空氣可注入於可撓性基板110與已經去除犧牲層140的輔助基板150之間(S107)。
這裡,空氣可透過但不限制於一注入器175注入,其中注入器175提供於一預定的真空墊單元170。注入器175可提供與真空墊單元170相分離。
因而,在裝載的可撓性基板110與輔助基板150上可安裝有 真空墊單元170,真空墊單元170可包含複數個真空墊171及一真空墊面板172,真空墊面板172用以上下移動真空墊171。
這裡,在使用真空墊單元170的真空墊171吸附及固定輔助面板150的頂表面之後,可執行空氣注入。
使用空氣注入,可撓性基板110與輔助基板150之間的界面上的一真空黏合力可變化為大氣壓力之上的壓力,這樣可允許輔助基板150平滑的分離。也就是說,由於空氣注入於可撓性基板110與輔助基板150之間的界面使得解除真空,因此可以克服當分離輔助基板150時照射雷射之後,由於可撓性基板110與輔助基板150之間形成的真空而產生輔助基板150的不完全的分離。
然後,請參閱第2G圖至第3D圖,在解除可撓性基板110與輔助基板150之間的真空的狀態下,使用真空墊單元170,輔助基板150可從可撓性基板110上分離下來(S108)。
這裡,透過維持水平狀態上下移動真空墊單元170,輔助基板150可從可撓性基板110上分離下來。然而,本發明並不限制於此。透過使用一桿從輔助基板150的一側開始執行,可獲得輔助基板150的分離。
而且,在輔助基板150從可撓性基板110上分離的期間,可連續執行空氣注入過程。
結果,雷射照射與輔助基板150的分離可在同一真空平台160上執行,但是本發明並不限制於此。
由于本發明可體現為多種形式而不脫離其精神或基本特徵的,但也應被理解的是,上述實施例幷不限于任何前述描述的細節,除非 另有規定,而是應廣義地解釋的精神和範圍,如所附權利要求中定義的,因此由所附的權利要求書的界限和範圍的權利要求書中,或這些邊界和範圍的等同物內的所有改變和修改,因此,意欲包含內。
雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明。本領域之技術人員應當意識到在不脫離本發明所附之申請專利範圍所揭示之本發明之精神和範圍的情況下,所作之更動與潤飾,均屬本發明之專利保護範圍之內。關於本發明所界定之保護範圍請參照所附之申請專利範圍。

Claims (14)

  1. 一種可撓性顯示裝置的製造方法,包含:提供一輔助基板;形成一犧牲層於該輔助基板上;形成一可撓性基板於形成有該犧牲層的該輔助基板上;形成一顯示面板於該可撓性基板上;利用一雷射照射去除該可撓性基板與該輔助基板之間的該犧牲層;注入空氣於其間已經去除該犧牲層的該可撓性基板與該輔助基板之間;以及將該輔助基板從該可撓性基板分離。
  2. 如請求項1所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該輔助基板實現為一玻璃基板或一金屬基板。
  3. 如請求項2所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該可撓性基板透過在該犧牲層上塗覆基於聚醯亞胺的樹脂形成。
  4. 如請求項3所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該顯示面板實現為一液晶顯示裝置(LCD)、一有機發光二極體顯示裝置(OLED)或一電泳顯示裝置中之一。
  5. 如請求項1所述之可撓性顯示裝置的製造方法,更包含在該可撓性基板上形成該顯示面板之後: 在該輔助基板翻轉以面對一上側的情況下,將該可撓性基板裝載於一真空平台上。
  6. 如請求項5所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中透過將雷射照射於該輔助基板上,去除該可撓性基板與該輔助基板之間的該犧牲層。
  7. 如請求項5所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該雷射照射與該輔助基板的該分離在該同一真空平台上執行。
  8. 如請求項1所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該輔助基板使用一真空墊單元從該可撓性基板上分離。
  9. 如請求項8所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中該真空墊單元包含複數個真空墊以及一真空墊面板,該真空墊面板用以上下移動該等真空墊。
  10. 如請求項9所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中空氣通過在該真空墊單元提供的一空氣注入器而注入。
  11. 如請求項9所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中在使用該真空墊單元的該等真空墊吸附與固定該輔助基板的一頂表面之後執行該空氣注入器。
  12. 如請求項8所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中透過注入空氣以將該可撓性基板與該輔助基板之間的該界面的一真空黏合力改變為高於大氣壓力的壓力,促進該輔助基板的該分離。
  13. 如請求項12所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中在透 過該空氣注入消除該可撓性基板與該輔助基板之間的一真空之後,使用真空墊單元使得該輔助基板從該可撓性基板分離下來。
  14. 如請求項13所述之可撓性顯示裝置的製造方法,其中透過維持一水平狀態而向上移動該真空墊單元,使得該輔助基板從該可撓性基板分離下來。
TW102141350A 2012-11-14 2013-11-13 可撓性顯示裝置的製造方法 TWI511275B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120129078A KR20140062368A (ko) 2012-11-14 2012-11-14 플렉서블 표시장치의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201419501A TW201419501A (zh) 2014-05-16
TWI511275B true TWI511275B (zh) 2015-12-01

Family

ID=50682162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102141350A TWI511275B (zh) 2012-11-14 2013-11-13 可撓性顯示裝置的製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8951085B2 (zh)
KR (1) KR20140062368A (zh)
CN (1) CN103811395B (zh)
TW (1) TWI511275B (zh)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI584703B (zh) * 2014-08-22 2017-05-21 友達光電股份有限公司 顯示模組基板及其製造方法
CN104505467B (zh) * 2014-12-05 2017-09-19 上海天马微电子有限公司 一种复合基板、柔性显示器的制造方法以及柔性显示器
CN104503615B (zh) * 2014-12-26 2018-02-13 深圳市华星光电技术有限公司 一种触控显示器
KR102354971B1 (ko) 2015-03-20 2022-01-25 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치
KR20160130004A (ko) 2015-04-30 2016-11-10 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
CN105137634A (zh) 2015-08-05 2015-12-09 深圳市华星光电技术有限公司 柔性显示面板的制作方法以及用于其制作的基板组件
CN105632347A (zh) * 2016-04-01 2016-06-01 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性面板及其制作方法、显示装置
CN107706305B (zh) * 2016-08-07 2020-11-03 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 柔性显示装置及其制备方法
TWI629770B (zh) * 2016-08-09 2018-07-11 陽程科技股份有限公司 Method for separating flexible display from carrier substrate
CN110462718B (zh) * 2017-03-29 2022-03-04 夏普株式会社 显示设备、显示设备的制造方法及制造装置、成膜装置
JP6888812B2 (ja) * 2017-04-21 2021-06-16 淀川メデック株式会社 フレキシブルデバイスの製造装置及び製造方法
KR102418434B1 (ko) * 2017-09-29 2022-07-08 엘지전자 주식회사 곡면 디스플레이 합착장치
CN107623089B (zh) * 2017-09-29 2019-07-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性oled显示器的分离方法及柔性oled显示器
CN107731887B (zh) * 2017-11-22 2020-05-19 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性oled显示面板的制备方法
CN108155086A (zh) * 2017-12-13 2018-06-12 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种分离玻璃基板与柔性oled显示面板的方法及设备
JP2019124830A (ja) * 2018-01-17 2019-07-25 株式会社ジャパンディスプレイ 液晶表示装置及びその製造方法
CN108232012B (zh) * 2018-02-02 2021-07-06 Tcl华星光电技术有限公司 柔性显示面板的制作方法及柔性显示装置的制作方法
CN108539060B (zh) * 2018-06-19 2020-10-27 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 制作oled显示面板的方法
KR102654505B1 (ko) * 2019-01-15 2024-04-04 삼성디스플레이 주식회사 윈도우 기판, 이를 포함하는 플렉서블 표시 장치 및 그것의 제조 방법
CN110782793B (zh) * 2019-11-07 2021-11-16 云谷(固安)科技有限公司 一种柔性面板的制备方法
CN112662259A (zh) * 2020-12-02 2021-04-16 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种水溶材料、柔性层的制备方法及其应用

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201244199A (en) * 2011-04-01 2012-11-01 Sony Corp Thin-film device, method of manufacturing the same, and method of manufacturing image display apparatus

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6934001B2 (en) * 2001-08-13 2005-08-23 Sharp Laboratories Of America, Inc. Structure and method for supporting a flexible substrate
KR101149433B1 (ko) * 2009-08-28 2012-05-22 삼성모바일디스플레이주식회사 플렉서블 표시 장치 및 그 제조 방법
KR101295532B1 (ko) * 2010-11-11 2013-08-12 엘지디스플레이 주식회사 플렉시블 평판소자의 제조방법
TWI539414B (zh) * 2011-09-21 2016-06-21 友達光電股份有限公司 可撓式顯示器的製作方法
KR101931336B1 (ko) * 2012-04-16 2018-12-20 엘지디스플레이 주식회사 평판 표시장치의 보호필름 부착용 전사필름 및 전사필름을 이용한 평판 표시장치의 제조 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201244199A (en) * 2011-04-01 2012-11-01 Sony Corp Thin-film device, method of manufacturing the same, and method of manufacturing image display apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CN103811395A (zh) 2014-05-21
US8951085B2 (en) 2015-02-10
TW201419501A (zh) 2014-05-16
CN103811395B (zh) 2017-04-26
KR20140062368A (ko) 2014-05-23
US20140134913A1 (en) 2014-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI511275B (zh) 可撓性顯示裝置的製造方法
JP7295904B2 (ja) 積層体の加工装置
CN104425319B (zh) 支撑体供应装置、叠层体制造装置
CN103378314B (zh) 转移膜和使用该转移膜制造平板显示器的方法
US20150221712A1 (en) Tiled oled display and manufacturing method thereof
CN106654062B (zh) 分离偏光片与柔性oled显示面板的方法
JP2010055918A (ja) 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器
KR102610797B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102213438B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조방법
US9608233B2 (en) Display device
JP2006253097A (ja) 自発光パネルおよび自発光パネルの製造方法
KR20150067609A (ko) 플렉시블 표시 장치 및 이의 제조 방법
JP2010107935A (ja) 平板表示装置及びその製造方法
KR101894330B1 (ko) 플렉서블 디스플레이의 제조 방법
KR102397800B1 (ko) 측변 구부림 구조를 갖는 표시 장치 및 그 제조 방법
WO2018119752A1 (zh) 显示面板的制造方法
KR102052445B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조방법
KR102156766B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조방법
KR101759554B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조방법
KR102067417B1 (ko) 플렉서블 필름을 이용한 표시장치의 제조 방법
KR102277382B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조방법
KR100592389B1 (ko) 마스크장치와 이를 이용한 유기전계발광소자의 제조장치및 제조방법
KR102009648B1 (ko) 표시장치 및 이의 제조방법
KR101961087B1 (ko) 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법
KR102008785B1 (ko) 표시장치 및 이의 제조방법