CN103811395B - 柔性显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供柔性显示装置的制造方法。通过以将激光照射到柔性基板与辅助基板之间夹着的牺牲层上并且其后通过将空气注入到柔性基板与辅助基板之间的界面中而消除真空的方式来执行分离，该柔性显示装置的制造方法防止因辅助基板的有缺陷的分离而引起的损坏。该柔性显示装置的制造方法包括以下步骤：设置辅助基板；在所述辅助基板上形成牺牲层；在上面形成有所述牺牲层的所述辅助基板上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成显示面板；通过激光照射去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层；在去除了所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层后在所述柔性基板与所述辅助基板之间注入空气；以及使所述辅助基板从所述柔性基板分离。

Description

柔性显示装置的制造方法
技术领域
本说明书涉及柔性显示装置的制造方法，具体涉及能够使辅助基板从完成处理的柔性基板容易地分离的柔性显示装置的制造方法。
背景技术
在当前面向信息的社会中，推进了作为可视信息传递介质的显示装置的重要性。为了之后占据重要位置，这种显示装置需要满足若干个条件，诸如功率消耗低、尺寸小、重量轻以及提高图像质量。
显示装置可以分为发光型显示装置和非发光型显示装置，发光型显示装置包括阴极射线管（CRT）、电致发光（EL）、发光二极管（LED）、真空荧光显示器（VFD）、有机发光装置（OLED）、场发射显示器（FED）、等离子体显示面板（PDP）、电泳显示装置，非发光型显示装置诸如，液晶显示器（LCD）。
作为显示装置领域中的新技术，即使被折叠或卷起也不会被损坏的柔性显示装置被预期为是重要的。目前，在实现柔性显示装置时存在许多障碍，但是随着技术的发展，薄膜晶体管（TFT）LCD装置、OLED装置或电泳显示装置将是主流显示装置。
柔性显示装置被称作卷动显示装置。柔性显示装置被实现在诸如塑料的薄基板上。柔性显示装置即使像纸一样被折叠或卷起也不会被损坏，所以被认为是下一代显示装置。目前，可以被制造为小于1mm薄的LCD装置和OLED装置是有前景的显示装置。
LCD装置是用于利用液晶分子的光学各向异性来输出图像的装置。LCD装置显示出比常规CRT更高的可见性，以及比具有相同画面尺寸的CRT更低的平均功率消耗和更低的热辐射。因此，作为下一代显示装置，LCD装置受到众人关注。
在所有现有的显示装置中，OLED装置可以自身发光，因此即使在黑暗地方使用或者照有外部光时也呈现出高可见性，并且具有最快的响应速度，响应速度是用于确定移动显示装置的性能的重要基准。因此，OLED装置可以实现完美视频。而且，OLED装置可以被设计为超薄形，这可以使各种类型的移动装置（诸如，移动电话）更轻薄。
为了实现柔性显示装置，需要确保基板的柔性。为了确保基板柔性，使用由塑料或不锈钢（SUS）制成的柔性基板，替代常规的玻璃基板。
由此可见，需要使用诸如塑料基板这样的柔性基板来实现柔性显示装置。为了传送柔性基板并且执行一系列处理，通常在使用粘合剂将塑料基板附着到玻璃基板上之后执行那些处理。由于复杂的附着（粘合）处理和多个层压处理，所以可能导致有缺陷的装置并且使生产率下降。
即，为了将塑料基板附着到玻璃基板上，需要顺序执行复杂的粘合处理（诸如去除粘合剂的下防粘纸、去除粘合剂的上防粘纸、层压塑料基板等）。而且，很有可能造成处理误差（缺陷），诸如在层压处理期间产生气泡和污点。具体地，复杂的粘合处理导致生产率下降。
当粘合到玻璃基板上的塑料基板以被粘合状态进行传送，然后通过若干个处理完成显示面板的制造时，执行使玻璃基板与作为显示面板的塑料基板分开（分离）的处理。
这里，为了将塑料基板从附着在玻璃基板上的粘合剂分离，根据分离处理，需要满足若干个条件。而且，由于粘合剂附着在玻璃基板的整个上表面上，所以分离是不容易的。
目前，通过在将牺牲层插入在塑料基板与玻璃基板之间后执行多个处理来形成显示面板，然后通过施加激光释放（laser release）使玻璃基板与塑料基板分开。在激光释放时，在塑料基板与玻璃基板之间形成真空，这使得难以分离玻璃基板。在这种情况下，冲击可能施加于包括塑料基板的显示面板，这可能造成柔性显示装置的损坏。
发明内容
因此，为了克服相关技术的缺点，详细描述的一方面提供了一种柔性显示装置的制造方法，该方法能够使辅助基板从完成处理的柔性基板容易分离。
本公开的其它方面和特征将在本文所公开的本公开的具体实施方式和权利要求中进行描述。
为了实现这些和其它优点并且根据本说明书的目的，如这里具体实施和广泛描述的，提供了一种柔性显示装置的制造方法，该方法包括以下步骤：设置辅助基板；在所述辅助基板上形成牺牲层；在上面形成有所述牺牲层的所述辅助基板上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成显示面板；通过激光照射去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层；在去除了所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层后在所述柔性基板与所述辅助基板之间注入空气；以及使所述辅助基板从所述柔性基板分离。
这里，所述辅助基板可以被实现为玻璃基板或金属基板。
通过在所述牺牲层上涂布聚酰亚胺基树脂，可以形成所述柔性基板。
所述显示板可以被实现为液晶显示（LCD）装置、有机发光二极管（OLED）装置或电泳显示装置中的一种。
该方法还可以包括：在在所述柔性基板上形成所述显示面板之后，以所述辅助基板被翻转为面向上侧的方式将所述柔性基板装载到真空工作台上。
这里，通过将激光照射到所述辅助基板上，可以去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层。
可以在同一真空工作台上执行所述激光照射和所述辅助基板的分离。
使用真空衬垫单元可以使所述辅助基板从所述柔性基板分离。
这里，所述真空衬垫单元可以包括多个真空衬垫和使所述真空衬垫上下移动的真空衬垫板。
通过设置在所述真空衬垫单元处的空气注入器，可以注入空气。
在使用所述真空衬垫单元的所述真空衬垫来吸附并固定所述辅助基板的上表面之后，可以执行空气注入。
通过注入空气将所述柔性基板与所述辅助基板之间的界面的真空粘合力改变为高于大气压的压力，可以促进所述辅助基板的分离。
这里，在通过所述空气注入消除所述柔性基板与所述辅助基板之间的真空之后，使用所述真空衬垫单元可以使所述辅助基板从所述柔性基板分离。
通过使所述真空衬垫单元保持水平状态向上移动，可以将所述辅助基板从所述柔性基板分离。
通过以将激光照射到柔性基板与辅助基板之间夹着的牺牲层上并且其后通过将空气注入到柔性基板与辅助基板之间的界面中而消除真空的方式来执行分离，该柔性显示装置的制造方法可以提供防止因有缺陷的分离而引起的损坏。
从下文给出的详细描述中，本发明的适用性的范围将变得更加显而易见。然而，应当理解的是，因为对于本领域的技术人员，从详细的描述中，在本发明的精神和范围内的各种改变和改进都是显而易见的，所以仅仅通过示例给出表示本发明的优选的实施方式的详细描述和具体示例。
附图说明
包括附图来提供对本公开的进一步理解，附图被并入并构成本说明书的一部分，附图例示了示例性实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
在附图中：
图1是顺序示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的制造方法的流程图；
图2A至图2G是顺序示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的制造方法的立体图；
图3A至图3D是顺序示出图1所示的柔性显示装置的制造方法中辅助基板的分离处理的截面图；以及
图4是示例性示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的结构的截面图。
具体实施方式
现在将参照附图描述根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的制造方法，使得本公开所属领域的技术人员可以容易地进行实践。
本公开的优点和特征以及实现其的方法通过下面参考附图详细描述的示例性实施方式将被显而易见地理解。然而，本公开不应被理解为受限于示例性实施方式，而是可以以各种形式实施。例示本公开的示例性实施方式仅仅是为了全面描述本公开并且提供本公开的示例性实施方式仅仅是为了帮助本领域技术人员理解本公开的范围。本公开仅由权利要求限定。贯穿说明书的相同/相似的符号或数字指代相同/相似的组件。
图1是顺序示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的制造方法的流程图。
而且，图2A至图2G是顺序示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的制造方法的立体图。
图3A至图3D是顺序示出图1所示的柔性显示装置的制造方法中辅助基板的分离处理的截面图。
如图2A所示，为了制造根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置，可以设置辅助基板150（S101）。
这里，辅助基板150可以在后面将描述的显示面板处理期间支撑柔性基板110（参见图2C）。这里，辅助基板150可被实现为玻璃基板或金属基板。
此后，参照图2B，可以在辅助基板150的表面上形成牺牲层140（S102）。
这里，牺牲层140可以在显示面板处理期间紧固要形成在辅助基板150上的柔性基板110。
参照图2C，可以在上面形成有牺牲层140的辅助基板150上形成柔性基板110（S103)。
这里，例如通过在牺牲层140上涂布聚酰亚胺基树脂，可以形成柔性基板110。这里，本公开可以不限于树脂的类型。可以在上面形成有牺牲层140的辅助基板150上附着（粘合）柔性基板110。
参照图2D，显示面板120可以形成在柔性基板110上（S104）。
这里，显示面板120可以是LCD装置、OLED装置或电泳显示装置中的一种。
图4是示例性示出根据本公开的示例性实施方式的柔性显示装置的结构的截面图，该图示出OLED装置作为显示面板的示例。
当显示面板120被实现为OLED装置时，如图5所示，可以在由塑料或不锈钢制成的基板上形成由透明氧化物制成的阳极112。在阳极112上，可以顺序形成空穴传输层113、发射层114、电子传输层115、电子注入层116和阴极117。
这里，当基板111由聚酰亚胺（PI）基材料制成时，可以在基板111的后表面上附着由塑料（诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET））或金属（诸如不锈钢）制成的背膜。
在具有该结构的OLED装置中，从阳极112注入的空穴和从阴极117注入的电子可以分别经由用于传输空穴的传输层113和和用于传输电子的传输层115在发射层114上彼此耦合，并且移动到更低能量级，以便在发射层114上产生与能量差对应的波长的光。
这里，为了发白光，更详细地，发射层114可以包括红光发射层114a、绿光发射层114b和蓝光发射层114c。
另一方面，当显示面板120被实现为LCD装置时，虽然未示出，但是显示面板120可以包括两片基板和夹在基板之间的液晶层。
这里，可以在下基板上形成薄膜晶体管（TFT）阵列。TFT阵列可以包括多条数据线，该多条数据线被提供R、G和B数据电压；多条选通线，该多条选通线与数据线交叉并且被提供选通脉冲；多个TFT，该多个TFT形成在数据线与选通线之间的交叉点上；多个像素电极，该多个像素电极将数据电压充电到液晶盒；存储电容器，这些存储电容器连接到像素电极，以维持液晶盒的电压等。在上基板上可以形成滤色器阵列。该滤色器阵列可以包括黑矩阵、滤色器等。
这里，牺牲层140和柔性基板110可以由聚酰亚胺基树脂制成，这种聚酰亚胺基树脂在例如高于400℃的高温具有耐久性。即使暴露于形成显示面板120的处理环境中，牺牲层140和柔性基板110由聚酰亚胺基树脂制成也可以防止牺牲层140和柔性基板110变形或被损坏。
参照图2E至图2G和图3A至图3D，可以使辅助基板150从上面已经形成显示面板120的柔性基板110分离。
详细地，参照图3A，在上面形成有显示面板120的柔性基板110被翻转，使得辅助基板150面向上侧之后，可以将柔性基板110和辅助基板150装载到真空工作台160上（S105）。这里，本公开可以不限于此。柔性基板110和辅助基板150可以在不被翻转的情况下装载到真空工作台160上。
这里，真空工作台160可以包括多个真空孔（未示出），以吸附并固定所装载的柔性基板110。
此后，参照图2E和图3B，可以在辅助基板150上照射激光，以去除柔性基板110与辅助基板150之间所夹着的牺牲层140（S106）。
参照图2F和图3C，可以在已经去除了牺牲层140的柔性基板110与辅助基板150之间注入空气（S107）。
这里，通过设置在预定真空衬垫单元170处的注入器175可以注入空气。但不限于。注入器175可以与真空衬垫单元170分开设置。
因此，在所装载的柔性基板110和辅助基板150上，可以安装真空衬垫单元170，该真空衬垫单元170可以包括多个真空衬垫171和使那些真空衬垫171上下移动的真空衬垫板172。
这里，在使用真空衬垫单元170的真空衬垫171吸附并固定辅助基板150的上表面之后，可以执行空气注入。
由于注入了空气，所以柔性基板110与辅助基板150之间的界面上的真空粘合力可以被改变为高于大气压的压力，这可以允许顺利分离辅助基板150。即，由于通过将空气注入到柔性基板110与辅助基板150之间的界面中来消除真空，可以克服辅助基板150的不完全分离（因分离辅助基板150时照射激光之后形成在柔性基板110与辅助基板150之间的真空而引起辅助基板150的不完全分离）。
此后，参照图2G和图3D，在已经消除了柔性基板110与辅助基板150之间的真空的状态下，使用真空衬垫单元170可以使辅助基板150从柔性基板110分离（S108）。
这里，通过使真空衬垫单元170保持水平状态的同时上下移动，可以使辅助基板150从柔性基板110分离。然而，本公开可以不限于此。通过从辅助基板150的一侧开始执行分离，可以使用杠杆来实现辅助基板150的分离。
而且，在使辅助基板150从柔性基板110分离期间，可以继续执行空气注入处理。
因此，激光照射和辅助基板150的分离可以在同一真空工作台160上执行，但是本公开不限于此。
由于在不脱离本公开的精神和本质特征的情况下，可以将本公开实现为各种形式，所以还应当理解的是，除非另外特别说明，否则以上所述的实施方式并不被前述的说明的任何细节所限制，而且应当在如所附权利要求所限定的其精神和范围内进行广泛地解读，因此，所附权利要求意在涵盖落入所附权利要求的范围或者这种范围的等同物内的所有的改变以及修改。

Claims (14)

1.一种制造柔性显示装置的方法，该方法包括以下步骤：
设置辅助基板；
其特征在于，所述方法还包括以下步骤：
在所述辅助基板上形成牺牲层；
在上面形成有所述牺牲层的所述辅助基板上形成柔性基板；
在所述柔性基板上形成显示面板；
通过激光照射去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层；
在去除了所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层后在所述柔性基板与所述辅助基板之间注入空气；以及
使所述辅助基板从所述柔性基板分离。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述辅助基板被实现为玻璃基板或金属基板。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，通过在所述牺牲层上涂布聚酰亚胺基树脂，形成所述柔性基板。
4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述显示面板被实现为液晶显示装置、有机发光二极管装置或电泳显示装置中的一种。
5.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括以下步骤：在所述柔性基板上形成所述显示面板之后：
以所述辅助基板被翻转为面向上侧的方式将所述柔性基板装载到真空工作台上。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，通过将激光照射到所述辅助基板上，去除夹在所述柔性基板与所述辅助基板之间的所述牺牲层。
7.根据权利要求5所述的方法，其中，在同一真空工作台上执行所述激光照射和所述辅助基板的分离。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，使用真空衬垫单元将所述辅助基板从所述柔性基板分离。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述真空衬垫单元包括多个真空衬垫和使所述真空衬垫上下移动的真空衬垫板。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，通过设置在所述真空衬垫单元处的空气注入器来注入所述空气。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，在使用所述真空衬垫单元的所述真空衬垫来吸附并固定所述辅助基板的上表面之后，执行空气注入。
12.根据权利要求8所述的方法，其中，通过注入空气将所述柔性基板与所述辅助基板之间的界面的真空粘合力改变为高于大气压的压力，来促进所述辅助基板的分离。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，在通过所述空气注入消除所述柔性基板与所述辅助基板之间的真空之后，使用所述真空衬垫单元使所述辅助基板从所述柔性基板分离。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，通过使所述真空衬垫单元保持水平状态向上移动，将所述辅助基板从所述柔性基板分离。
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