KR102354971B1 - 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치 - Google Patents

디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 제조 과정에서의 불량 발생이 방지되면서도 제조비용을 줄일 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치를 위하여, 캐리어의 일면 상에 부착된 기판 상에 디스플레이소자를 형성하는 단계와, 캐리어의 타면 상에 기판의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하며 비투광성인 차폐영역을 갖는 차폐부를 위치시키는 단계와, 기판의 일부가 캐리어로부터 분리되도록 캐리어의 타면 상에 광을 조사하는 단계를 포함하는, 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치를 제공한다.

Description

디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치{Method for manufacturing display and manufacturing apparatus of the display for the same}
본 발명의 실시예들은 제조 과정에서의 불량 발생이 방지되면서도 제조비용을 줄일 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 제조 과정에서의 불량 발생이 방지되면서도 제조비용을 줄일 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이는 기판 상에 복수개의 디스플레이소자들을 형성하여 제조할 수 있다. 통상적으로 기판은 적절한 경도를 가짐에 따라, 디스플레이소자들이나 그 외 각종 요소들을 형성하는 등의 다양한 공정들을 거침에 있어서 핸들링에 문제가 없었다.
하지만 플렉서블 디스플레이의 경우 기판이 플렉서블하기에, 종래의 디스플레이 제조방법의 경우 공정들 각각을 거치는 동안 또는 공정들 사이에서 이송되는 동안, 핸들링이 용이하지 않다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 제조 과정에서의 불량 발생이 방지되면서도 제조비용을 줄일 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 캐리어의 일면 상에 부착된 기판 상에 디스플레이소자를 형성하는 단계와, 캐리어의 타면 상에 기판의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하며 비투광성인 차폐영역을 갖는 차폐부를 위치시키는 단계와, 기판의 일부가 캐리어로부터 분리되도록 캐리어의 타면 상에 광을 조사하는 단계를 포함하는, 디스플레이 제조방법이 제공된다.
상기 광을 조사하는 단계는, 광의 일부가 차폐부의 차폐영역에 의해 차단되도록 캐리어의 타면 상에 광을 조사하는 단계일 수 있다.
상기 광을 조사하는 단계는, 기판의 광이 조사되는 부분이 캐리어로부터 분리되도록 하는 강도의 광을 조사하는 단계일 수 있다.
캐리어의 일면 상에 기판 형성용 물질을 도포하여 기판을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
기판을 커팅하여, 기판의 캐리어로부터 분리된 부분의 적어도 일부를 캐리어로부터 탈착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
기판을 캐리어로부터 기계적으로 탈착시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
탈착된 기판의 캐리어에 컨택하였던 면 상에 기능필름을 부착하는 단계를 더 포함하고, 상기 기능필름을 부착하는 단계는 상기 탈착시키는 단계 직후에 수행되도록 할 수 있다.
상기 차폐부를 위치시키는 단계는, 상호 이격된 제1차폐영역과 제2차폐영역을 갖는 차폐부를 위치시키는 단계일 수 있다.
캐리어는 투광성일 수 있다.
본 발명의 다른 일 관점에 따르면, 일면 상에 기판이 부착된 캐리어가 안착될 수 있는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 안착된 캐리어의 타면 상에 광을 조사할 수 있는 광원과, 상기 스테이지와 상기 광원 사이에 개재되거나 상기 스테이지와 상기 광원 사이로부터 제거될 수 있으며 상기 스테이지 상에 안착된 캐리어 상의 기판의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하며 비투광성인 차폐영역을 갖는 차폐부를 구비하는, 디스플레이 제조장치가 제공된다.
상기 차폐부는 전후진을 통해 상기 스테이지와 상기 광원 사이에 개재되거나 상기 스테이지와 상기 광원 사이로부터 제거될 수 있다.
상기 차폐부는, 상기 스테이지와 상기 광원 사이에 개재될 시, 상기 광원으로부터의 광의 일부가 상기 차폐부의 상기 차폐영역에 의해 차단되도록 할 수 있다.
상기 광원으로부터의 광의 강도는, 상기 스테이지 상에 안착된 캐리어 상의 기판에 도달할 시, 기판의 광이 조사되는 부분이 캐리어로부터 분리되도록 하는 강도일 수 있다.
캐리어는 투광성일 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 특허청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제조 과정에서의 불량 발생이 방지되면서도 제조비용을 줄일 수 있는 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 차폐부를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서 층, 막, 영역, 판 등의 각종 구성요소가 다른 구성요소 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 구성요소 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 또한 설명의 편의를 위하여 도면에서는 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 일 공정을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
먼저 캐리어(1)를 준비한다. 후술하는 것과 같이 기판(3)의 적어도 일부를 캐리어(1)로부터 분리할 시 광이 캐리어(1)를 통과하도록 하는 것이 필요하기에, 캐리어(1)는 투광성이도록 할 필요가 있다. 예컨대 캐리어(1)는 글래스재로 형성된 것일 수 있다.
이와 같이 캐리어(1)를 준비한 후, 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 기판(3)을 부착시킨다. 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착된 기판(3)은 다양한 물질을 포함할 수 있는데, 예컨대 기판(3)은 폴리이미드와 같은 수지를 포함할 수 있다. 이 경우 캐리어(1)의 일면(1a)이 상부를 향하도록 한 상태에서 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 수지와 같은 기판(3) 형성용 물질을 도포한 후 경화시킴으로써 기판(3)을 형성할 수 있다. 이 과정에서 별도의 접착제 등이 없더라도 기판(3)이 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착되도록 할 수 있다. 이러한 기판(3) 자체는 플렉서블 특성을 가질 수 있으며, 따라서 플렉서블 디스플레이를 구현하는데 이용될 수 있다.
이러한 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착된 기판(3) 상에는 디스플레이소자들을 형성한다. 도 1에서는 디스플레이소자들을 포함하는 소자층(5)이 기판(3) 상에 형성된 것으로 도시하고 있다. 소자층(5)은 디스플레이소자들 외에도 박막트랜지스터들이나 커패시터들 등과 같은 다양한 전자소자들을 포함할 수 있고, 또한 버퍼층 등과 같은 절연층들을 포함할 수도 있다. 물론 더 나아가 소자층(5)은 디스플레이소자들을 보호하도록 디스플레이소자들을 덮는 봉지층까지 포함하는 것으로 이해될 수도 있다.
이후, 도 1에 도시된 것과 같이 스테이지(10) 상에 캐리어(1)를 안착시킨다. 구체적으로, 캐리어(1)의 일면(1a)이 하방(-z 방향)을 향하도록 하여 스테이지(10) 상에 안착시킨다. 이에 따라 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착된 기판(3) 상의 소자층(5)이 스테이지(10) 상에 안착된다. 즉, 소자층(5)이 스테이지(10)의 상방(+z 방향)의 상면 상에 컨택하게 된다.
물론 캐리어(1)를 스테이지(10) 상에 안착하지 않을 수도 있다. 이는 후술하는 것과 같이 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되지 않기 때문이다. 그렇다 하더라도 기판(3)이 부착된 캐리어(1)를 지지하기 위한 지지수단이 필요할 수 있다. 그러한 지지수단은 예컨대 캐리어(1)나 기판(3)의 가장자리를 지지하는 프레임 등일 수 있다. 물론 이러한 프레임 역시 스테이지(10)의 일종으로 이해될 수도 있다.
그리고, 캐리어(1)의 타면(1b) 상에, 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하며 비투광성인 제1차폐영역들(32a, 32b)을 갖는 차폐부(30)를 위치시킨다. 물론 차폐부(30)는 투광성 플레이트(31)를 갖고 제1차폐영역들(32a, 32b)이 이 투광성 플레이트(31) 상에 위치하도록 할 수 있다. 예컨대 투광성 플레이트(31)는 글래스재로 형성될 수 있고, 제1차폐영역들(32a, 32b)은 크롬 등의 다양한 금속으로 형성될 수 있다. 차폐부(30)를 개략적으로 도시하는 평면도인 도 2에 도시된 것과 같이, 차폐부(30)는 투광성 플레이트(31)의 -x 방향 가장자리를 따라 위치한 제1차폐영역(32a)들과 +x 방향 가장자리를 따라 위치한 제1차폐영역(32b)들 외에도, 투광성 플레이트(31)의 +y 방향 가장자리나 -y 방향 가장자리에 위치한 제2차폐영역(32c)들도 가질 수 있다.
도 1에서는 차폐부(30)가 캐리어(1)로부터 이격되어 캐리어(1)의 타면(1b)의 (+z 방향) 상부에 위치하는 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 차폐부(30)는 캐리어(1)의 타면(1b)에 컨택하도록 배치될 수 있다.
이어, 기판(3)의 일부가 캐리어(1)로부터 분리되도록 캐리어(1)의 타면(1b) 상에 광을 조사한다. 이때 도 1에 도시된 것과 같이 차폐부(30)가 캐리어(1)의 타면(1b)과 광원(20) 사이에 위치하기에, 캐리어(1)의 타면(1b) 중 차폐부(30)의 차폐영역들(32a, 32b, 32c)들에 대응하는 부분에는 대부분 광이 조사되지 않고, 캐리어(1)의 타면(1b) 중 차폐부(30)의 차폐영역들(32a, 32b, 32c)에 대응하지 않는 부분에 대부분 광이 조사된다.
캐리어(1)의 타면(1b)에 도달한 광은 투광성인 캐리어(1)를 통과하여 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착된 기판(3)에 도달하게 된다. 그리고 이에 따라 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)을 향한 면 중 광이 조사된 부분은 대부분 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다. 구체적으로, 광이 캐리어(1)의 일면(1a)과 기판(3) 사이의 계면에 도달하게 되면, 광에 의해 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)에 대한 본딩이 깨어지면서, 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)을 향한 면 중 광이 조사된 부분은 대부분 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다.
전술한 것과 같이 캐리어(1)의 타면(1b) 상에 위치한 비투광성인 차폐영역들(32a, 32b, 32c)이 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하도록 차폐부(30)가 위치하기에, 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부를 제외한 기판(3)의 나머지 대부분은 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다. 물론 광원(20)에서 캐리어(1)의 타면(1b) 상으로 조사되는 광의 강도가 너무 낮으면 기판(3)이 캐리어(1)로부터 분리되지 않을 수 있기에, 광원(20)에서 캐리어(1)의 타면(1b) 상으로 조사되는 광의 강도는 기판(3)에 광이 도달할 시 기판(3)이 캐리어(1)로부터 분리되도록 하는 강도의 광이어야 한다. 이러한 광으로는 레이저광을 이용할 수 있다.
박형의 디스플레이를 제조하기 위해서는 기판(3)의 두께를 줄여야 하며, 따라서 디스플레이 제조 과정에서 공정들 각각을 거치는 동안 또는 공정들 사이에서 이송되는 동안 기판(3)의 핸들링이 용이하지 않을 수 있다. 특히 기판(3)이 플렉서블 특성을 갖는다면, 기판(3)의 핸들링 용이성은 더더욱 낮아질 수밖에 없다. 따라서 견고한 캐리어(1)를 이용하여 디스플레이를 제조하는 것을 고려할 수 있다.
캐리어(1)를 이용하여 디스플레이를 제조하게 되면, 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리하는 단계가 필요하게 된다. 하지만 소자층(5) 등이 형성된 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리하는 단계 이후에도 기판(3)을 핸들링할 필요가 있다. 예컨대 이후 보호필름을 부착하는 단계를 위해, 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리하는 분리장치에서 기판(3)이나 소자층(5) 등에 보호필름을 부착하는 필름부착장치로 기판(3)을 이송할 필요가 있을 수 있다. 이때 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리된 상태에서 기판(3)을 이송하게 된다면, 이송 중 캐리어(1) 등의 상에서 기판(3)의 위치가 변동되는 등의 상황이 발생할 수 있으며, 이에 따라 보호필름과 기판(3)의 상대적 위치가 바뀌어 제대로 보호필름이 부착되지 않는 등의 문제가 발생할 수 있다. 또는 박형의 플렉서블 특성을 갖는 기판(3)의 끝단이 말리는 등의 문제가 발생할 수도 있다.
그러나 본 실시예에 따른 디스플레이 제조방법에 따르면, 기판(3)의 대부분의 영역을 캐리어(1)로부터 분리하지만 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부는 캐리어(1)로부터 분리되지 않는다. 따라서 상술한 것과 같은 기판(3) 및/또는 캐리어(1)의 핸들링 과정에서 캐리어(1) 등의 상에서의 기판(3)의 위치가 변동되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 물론 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부는 캐리어(1)로부터 분리되지 않기에, 박형의 플렉서블 특성을 갖는 기판(3)의 끝단이 말리는 등의 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
물론 다른 방법으로서 기판(3)을 캐리어(1)에 임시로 고정하는 임시 고정 필름을 부착하고, 차폐부(30)를 이용하지 않은 채 기판(3)의 전면(全面)을 캐리어(1)로부터 분리시키는 것을 고려할 수도 있다. 이 경우 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리된다 하더라도 임시 고정 필름에 의해 기판(3)이 캐리어(1)에 임시로 고정되도록 할 수 있다. 하지만 이 경우 디스플레이 제조과정에서 임시 고정 필름을 부착하는 과정이 추가로 필요하며, 또한 임시 고정 필름의 사용에 따른 비용이 추가로 소요된다는 문제점이 있다. 그러나 본 실시예에 따른 디스플레이 제조방법의 경우, 그러한 추가적 비용이 발생하지 않으며 제조 과정 역시 상대적으로 더 단순하다는 효과를 갖는다.
물론 기판(3)이나 소자층(5) 등에 보호필름을 부착하기 위해 기판(3)을 캐리어(1)로부터 완전히 분리해야 할 수도 있다. 이 경우에도 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되지는 않은 상태로 필름부착장치 근방에까지 이송되도록 한 후, 필름부착장치에 들어가기 직전에 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되도록 함으로써, 결과적으로 디스플레이 제조 과정에서의 불량 발생 확률을 현저히 낮출 수 있다.
기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되도록 하는 방법은 다양한 방법이 있을 수 있다.
예컨대 기판(3)을 캐리어(1)로부터 기계적으로 탈착시킬 수도 있다. 이는 진공척을 소자층(5) 상에 위치시키고 소자층(5)을 흡착하도록 한 후, 진공척이 캐리어(1)로부터 상대적으로 멀어지도록 함으로써 이루어질 수 있다.
또는 도 3에 도시된 것과 같이 기판(3)을 커팅하여, 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)의 적어도 일부를 캐리어(1)로부터 탈착시킬 수도 있다. 즉, 축(52)을 중심으로 회전하는 커팅휠(50)을 이용해 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)과 기판(3)의 캐리어(1)에 부착된 부분(3a, 3b) 사이 근방을 커팅할 경우, 기판(3)의 캐리어(1)에 부착된 부분(3a, 3b)은 캐리어(1) 상에 계속해서 부착된 상태로 남아 있게 되지만, 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)의 적어도 일부는 캐리어(1)로부터 탈착된다. 물론 커팅 위치에 따라, 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)에 속한다 하더라도 일부는, 기판(3)의 캐리어(1)에 부착된 부분(3a, 3b)에 연결되어 여전히 캐리어(1)에 직간접적으로 부착된 상태로 남아 있을 수도 있다. 이와 같이 커팅할 시 캐리어(1)는 캐리어척(10')에 의해 지지되도록 할 수 있다.
도 3에서는 도시하지 않았지만 기판(3)의 커팅에 앞서 기판(3) 및/또는 소자층(5)을 지지하는 지지부가 기판(3) 및/또는 소자층(5)을 지지하는 상태에서 커팅이 이루어지도록 할 수 있다. 그리고 커팅 과정에서 파티클이 발생할 수 있으므로, 도 3에 도시된 것과 같이 기판(3)이 캐리어(1)보다 하방(-z 방향)에 위치한 상태에서 커팅휠(50)이 상부에 위치한 기판(3)을 커팅하도록 할 수 있다. 이 경우 커팅 과정에서 파티클이 발생하더라도 해당 파티클은 소자층(5)이나 기판(3) 상에 위치하지 않고 중력에 의해 하방(-z 방향)으로 낙하하게 된다. 물론 그러한 낙하하는 파티클을 포집하기 위한 포집용기(54)가 커팅휠(50) 하방에 위치하도록 할 수도 있다.
이와 같이 기판(3)을 캐리어(1)로부터 탈착시키는 단계 직후에 기판(3) 및/또는 소자층(5) 상에 보호필름이나 기능필름을 부착하게 된다면, 이송 과정에서의 디스플레이의 위치 변동을 방지하면서도 효율적인 기판(3)-캐리어(1) 분리가 진행되도록 할 수 있다. 여기서 기능필름의 예로는 편광필름일 수도 있고 반사방지필름일 수도 있으며 디스플레이에 터치기능을 부여하는 터치필름일 수도 있는 등 다양한 필름일 수 있다.
지금까지 디스플레이 제조방법에 대해 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 이러한 디스플레이 제조방법에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치 역시 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 제조장치의 경우, 스테이지(10), 광원(20) 및 차폐부(30)를 구비할 수 있다.
스테이지(10)에는 (+z 방향의) 일면(1a) 상에 기판(3)이 부착된 캐리어(1)가 안착될 수 있다. 물론 도 1에 도시된 것과 같이 캐리어(1)에 부착된 기판(3) 상에 박막트랜지스터와 같은 전자소자나 디스플레이소자를 포함하는 소자층(5)이 형성될 수 있고, 이에 따라 소자층(5)이 스테이지(10) 상에 안착될 수 있다.
광원(20)은 스테이지(10) 상에 안착된 캐리어(1)의 타면(1b) 상에 광을 조사할 수 있다. 이러한 광원(20)은 예컨대 레이저광을 방출하는 것일 수 있다.
차폐부(30)는 스테이지(10)와 광원(20) 사이에 개재되거나 스테이지(10)와 광원(20) 사이로부터 제거될 수 있다. 예컨대 차폐부(30)는 슬라이딩 방식과 같은 전후진을 통해 스테이지(10)와 광원(20) 사이에 개재되거나 스테이지(10)와 광원(20) 사이로부터 제거될 수 있다.
차폐부(30)는 비투광성인 제1차폐영역들(32a, 32b)을 가질 수 있다. 예컨대 차폐부(30)는 투광성 플레이트(31)를 갖고, 제1차폐영역들(32a, 32b)이 이 투광성 플레이트(31) 상에 위치하도록 할 수 있다. 예컨대 투광성 플레이트(31)는 글래스재로 형성될 수 있고, 제1차폐영역들(32a, 32b)은 크롬 등의 다양한 금속으로 형성될 수 있다.
차폐부(30)가 스테이지(10)와 광원(20) 사이에 개재될 시, 제1차폐영역들(32a, 32b)은 스테이지(10) 상에 안착된 캐리어(1) 상의 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응할 수 있다. 물론, 차폐부(30)를 개략적으로 도시하는 평면도인 도 2에 도시된 것과 같이, 차폐부(30)는 투광성 플레이트(31)의 -x 방향 가장자리를 따라 위치한 제1차폐영역(32a)들과 +x 방향 가장자리를 따라 위치한 제1차폐영역(32b)들 외에도, 투광성 플레이트(31)의 +y 방향 가장자리나 -y 방향 가장자리에 위치한 제2차폐영역(32c)들도 가질 수 있다.
이러한 차폐부(30)는, 스테이지(10)와 광원(20) 사이에 개재될 시, 광원(20)으로부터의 광의 일부가 차폐부(30)의 차폐영역들(32a, 32b, 32c)에 의해 차단되도록 한다.
이와 같은 본 실시예에 따른 디스플레이 제조장치를 이용하게 되면, 기판(3)이 캐리어(1)로부터 분리되도록 하되 완전히 분리되지는 않도록 한다. 구체적으로 설명하면, 광원(20)을 이용하여 캐리어(1)의 타면(1b) 상에 광을 조사한다. 이때 도 1에 도시된 것과 같이 차폐부(30)가 캐리어(1)의 타면(1b)과 광원(20) 사이에 위치하기에, 캐리어(1)의 타면(1b) 중 차폐부(30)의 차폐영역들(32a, 32b, 32c)들에 대응하는 부분에는 대부분 광이 조사되지 않고, 캐리어(1)의 타면(1b) 중 차폐부(30)의 차폐영역들(32a, 32b, 32c)에 대응하지 않는 부분에 대부분 광이 조사된다.
캐리어(1)의 타면(1b)에 도달한 광은 투광성인 캐리어(1)를 통과하여 캐리어(1)의 일면(1a) 상에 부착된 기판(3)에 도달하게 된다. 그리고 이에 따라 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)을 향한 면 중 광이 조사된 부분은 대부분 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다. 구체적으로, 광이 캐리어(1)의 일면(1a)과 기판(3) 사이의 계면에 도달하게 되면, 광에 의해 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)에 대한 본딩이 깨어지면서, 기판(3)의 캐리어(1)의 일면(1a)을 향한 면 중 광이 조사된 부분은 대부분 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다. 그 결과, 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부를 제외한 기판(3)의 나머지 대부분은 캐리어(1)의 일면(1a)으로부터 분리된다.
물론 광원(20)에서 캐리어(1)의 타면(1b) 상으로 조사되는 광의 강도가 너무 낮으면 기판(3)이 캐리어(1)로부터 분리되지 않을 수 있기에, 광원(20)에서 캐리어(1)의 타면(1b) 상으로 조사되는 광의 강도는 기판(3)에 광이 도달할 시 기판(3)이 캐리어(1)로부터 분리되도록 하는 강도의 광이어야 한다. 이러한 광으로는 레이저광을 이용할 수 있다.
박형의 디스플레이를 제조하기 위해서는 기판(3)의 두께를 줄여야 하며, 따라서 디스플레이 제조 과정에서 공정들 각각을 거치는 동안 또는 공정들 사이에서 이송되는 동안 기판(3)의 핸들링이 용이하지 않을 수 있다. 특히 기판(3)이 플렉서블 특성을 갖는다면, 기판(3)의 핸들링 용이성은 더더욱 낮아질 수밖에 없다. 따라서 견고한 캐리어(1)를 이용하여 디스플레이를 제조하는 것을 고려할 수 있다.
캐리어(1)를 이용하여 디스플레이를 제조하게 되면, 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리할 필요가 있다. 하지만 소자층(5) 등이 형성된 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리한 후에도 기판(3)을 핸들링할 필요가 있다. 예컨대 이후 보호필름을 부착하기 위해, 기판(3)을 캐리어(1)로부터 분리하는 분리장치에서 기판(3)이나 소자층(5) 등에 보호필름을 부착하는 필름부착장치로 기판(3)을 이송할 필요가 있을 수 있다. 이때 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리된 상태에서 기판(3)을 이송하게 된다면, 이송 중 캐리어(1) 등의 상에서 기판(3)의 위치가 변동되는 등의 상황이 발생할 수 있으며, 이에 따라 보호필름과 기판(3)의 상대적 위치가 바뀌어 제대로 보호필름이 부착되지 않는 등의 문제가 발생할 수 있다.
그러나 본 실시예에 따른 디스플레이 제조장치를 이용하게 되면, 기판(3)의 대부분의 영역이 캐리어(1)로부터 분리되지만 기판(3)의 가장자리 영역 중 적어도 일부는 캐리어(1)로부터 분리되지 않는다. 따라서 상술한 것과 같은 기판(3) 및/또는 캐리어(1)의 핸들링 과정에서 캐리어(1) 등의 상에서의 기판(3)의 위치가 변동되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
물론 기판(3)이나 소자층(5) 등에 보호필름을 부착하기 위해 기판(3)을 캐리어(1)로부터 완전히 분리해야 할 수도 있다. 이 경우에도 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되지는 않은 상태로 필름부착장치 근방에까지 이송되도록 한 후, 필름부착장치에 들어가기 직전에 기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되도록 함으로써, 결과적으로 디스플레이 제조 과정에서의 불량 발생 확률을 현저히 낮출 수 있다.
기판(3)이 캐리어(1)로부터 완전히 분리되도록 하는 방법은 다양한 방법이 있을 수 있다. 예컨대 기판(3)을 캐리어(1)로부터 기계적으로 탈착시킬 수도 있다. 또는 도 3에 도시된 것과 같이, 또는 도 3에 도시된 것과 같이 기판(3)을 커팅하여 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)의 적어도 일부를 캐리어(1)로부터 탈착시킬 수도 있다. 이 경우 예컨대 축(52)을 중심으로 회전하는 커팅휠(50)을 이용해 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)과 기판(3)의 캐리어(1)에 부착된 부분(3a, 3b) 사이 근방을 커팅할 수 있다. 그 결과 기판(3)의 캐리어(1)에 부착된 부분(3a, 3b)은 캐리어(1) 상에 계속해서 부착된 상태로 남아 있게 되지만, 기판(3)의 캐리어(1)로부터 분리된 부분(3e)의 적어도 일부는 캐리어(1)로부터 탈착되도록 할 수 있다. 이와 같이 커팅할 시 캐리어(1)는 캐리어척(10')에 의해 지지되도록 할 수 있다.
커팅 과정에서 파티클이 발생할 수 있으므로, 필요에 따라서는 도 3에 도시된 것과 같이 기판(3)이 캐리어(1)보다 하방(-z 방향)에 위치한 상태에서 커팅휠(50)이 상부에 위치한 기판(3)을 커팅하도록 할 수 있다. 이 경우 커팅 과정에서 파티클이 발생하더라도 해당 파티클은 소자층(5)이나 기판(3) 상에 위치하지 않고 중력에 의해 하방(-z 방향)으로 낙하하게 된다. 물론 그러한 낙하하는 파티클을 포집하기 위한 포집용기(54)가 커팅휠(50) 하방에 위치하도록 할 수도 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 캐리어 3: 기판
5: 소자층 10: 스테이지
20: 광원 30: 차폐부
31: 투광성 플레이트 32a, 32b: 제1차폐영역
32c: 제2차폐영역 50: 커팅휠
54: 포집용기

Claims (14)

  1. 캐리어의 일면 상에 부착된 하나의 기판 상에 디스플레이소자를 형성하는 단계;
    캐리어의 타면 상에, 하나의 기판의 가장자리 영역 중 적어도 일부에 대응하여 하나의 기판의 영역들과 중첩하며 비투광성인 차폐영역들을 갖는 차폐부를 위치시키는 단계; 및
    하나의 기판의 차폐영역들과 중첩하는 영역들 중 적어도 일부는 캐리어로부터 분리되지 않도록 하면서 기판의 일부가 캐리어로부터 분리되도록, 캐리어의 타면 상에 광을 조사하는 단계;
    를 포함하는, 디스플레이 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광을 조사하는 단계는, 광의 일부가 차폐부의 차폐영역들에 의해 차단되도록 캐리어의 타면 상에 광을 조사하는 단계인, 디스플레이 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광을 조사하는 단계는, 기판의 광이 조사되는 부분이 캐리어로부터 분리되도록 하는 강도의 광을 조사하는 단계인, 디스플레이 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    캐리어의 일면 상에 기판 형성용 물질을 도포하여 기판을 형성하는 단계를 더 포함하는, 디스플레이 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    기판을 커팅하여, 기판의 캐리어로부터 분리된 부분의 적어도 일부를 캐리어로부터 탈착시키는 단계를 더 포함하는, 디스플레이 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    기판을 캐리어로부터 기계적으로 탈착시키는 단계를 더 포함하는, 디스플레이 제조방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    탈착된 기판의 캐리어에 컨택하였던 면 상에 기능필름을 부착하는 단계를 더 포함하고, 상기 기능필름을 부착하는 단계는 상기 탈착시키는 단계 직후에 수행되는, 디스플레이 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 차폐부를 위치시키는 단계는, 상호 이격된 제1차폐영역과 제2차폐영역을 갖는 차폐부를 위치시키는 단계인, 디스플레이 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    캐리어는 투광성인, 디스플레이 제조방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10884309B2 (en) 2018-08-08 2021-01-05 Facebook Technologies, Llc Transferable thin-film optical devices
CN111048549B (zh) * 2018-10-11 2022-08-16 上海和辉光电股份有限公司 显示面板、显示装置及显示面板的制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090230280A1 (en) * 2008-03-14 2009-09-17 Ted-Hong Shinn Carrier and Method for Manufacturing Flexible Display Panel

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003345267A (ja) * 2002-05-30 2003-12-03 Canon Inc 表示装置及びその製造方法
US9669613B2 (en) 2010-12-07 2017-06-06 Ipg Photonics Corporation Laser lift off systems and methods that overlap irradiation zones to provide multiple pulses of laser irradiation per location at an interface between layers to be separated
JP4661989B1 (ja) 2010-08-04 2011-03-30 ウシオ電機株式会社 レーザリフトオフ装置
US20130130420A1 (en) 2011-11-17 2013-05-23 Fu-Bang CHEN Method of laser lift-off for leds
KR101971556B1 (ko) 2012-10-31 2019-08-13 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치의 제조방법
KR20140062368A (ko) 2012-11-14 2014-05-23 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 표시장치의 제조방법
JP5764616B2 (ja) 2013-06-10 2015-08-19 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090230280A1 (en) * 2008-03-14 2009-09-17 Ted-Hong Shinn Carrier and Method for Manufacturing Flexible Display Panel

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