KR102156766B1 - 플렉서블 표시장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 플렉서블(flexible) 표시장치의 제조방법은 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 블랙매트릭스 재질로 희생층을 형성함으로써 레이저 조사 시 TFT 소자로의 레이저의 투과를 막아 약휘점 불량을 방지하기 위한 것으로, 보조기판을 제공하는 단계; 상기 보조기판 표면에 블랙 수지로 이루어진 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계; 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 연소(burning)시키는 단계; 및 상기 보조기판으로부터 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함한다.

Description

플렉서블 표시장치의 제조방법{METHOD OF FABRICATING THE FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}

본 발명은 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플렉서블 기판의 반송 및 프로세스 진행을 위해 보조기판을 사용하는 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

최근의 정보화 사회에서 표시장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.

상기 표시장치는 자체가 빛을 내는 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT), 전계발광소자(Electro Luminescence; EL), 발광소자(Light Emitting Diode; LED), 진공형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device; OLED), 전계방출표시장치(Field Emission Display; FED), 플라즈마표시장치패널(Plasma Display Panel; PDP), 전기영동(electrophoresis) 표시장치 등의 발광형과 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)와 같이 자체가 빛을 내지 못하는 비발광형으로 나눌 수 있다.

한편, 표시장치를 접거나 말아서 넣더라도 손상되지 않는 플렉서블(flexible) 표시장치가 표시장치 분야의 새로운 기술로 떠오를 전망이다. 현재는 플렉서블 표시장치 구현에 다양한 장애들이 존재하고 있지만, 기술개발과 함께 박막 트랜지스터 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치가 주류를 이루게 될 것이다.

이하, 도면을 참조하여 플렉서블 표시장치에 대해 상세히 설명한다.

도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진이다.

플렉서블 표시장치는 두루말이 표시장치로 불리는데, 도면에 도시된 바와 같이 플라스틱과 같이 얇은 기판에 구현되어 종이처럼 접거나 말아도 손상되지 않는 것으로 차세대 표시장치의 하나이며, 현재는 1㎜ 이하로 얇게 만들 수 있는 액정표시장치 및 유기발광표시장치가 유망하다.

액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 기존의 브라운관에 비해 시인성(是認性)이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 브라운관에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.

유기발광표시장치는 소자 자체가 스스로 빛을 내기 때문에 어두운 곳이나 외부 빛이 들어올 때도 시인성이 좋으며, 모바일(mobile) 표시장치의 성능을 판가름하는 중요한 기준인 응답속도가 현존하는 표시장치 가운데 빠르기 때문에 완벽한 동영상을 구현할 수 있다. 또한, 유기발광표시장치는 초박형 디자인이 가능해 휴대폰 등 각종 모바일 기기를 슬림(slim)화할 수 있다.

이러한 플렉서블 표시장치의 구현을 위해서는 기판의 유연성 확보가 필요하며, 현재 이러한 기판 유연성 확보를 위해서 기존의 유리기판 대신 플라스틱의 플렉서블 기판을 사용하게 된다.

이와 같이 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 기판과 같은 유연한 기판을 사용해야하며, 이러한 유연한 기판의 반송 및 프로세스(process) 진행을 위해서는 일반적으로 상기 플라스틱 기판을 점착제를 이용해 유리기판에 부착한 후 상기 공정들을 진행하게 되는데, 그 점착공정이 복잡하고 다수의 라미네이션(lamination) 공정의 진행으로 불량발생의 소지 및 생산성이 저하되는 단점이 있었다.

즉, 유리기판에 플라스틱 기판을 부착하기 위해서는 점착제의 하부 이형지 제거, 점착제의 라미네이션공정, 점착제의 상부 이형지 제거 및 플라스틱 기판의 라미네이션공정 등 복잡한 점착공정을 거쳐야 하며, 상기 라미네이션공정 진행 중에 기포 발생 및 얼룩과 같은 공정 불량이 발생할 소지가 많다. 특히, 상기와 같은 복잡한 점착공정의 진행으로 생산성이 저하되는 문제가 있다.

또한, 유리기판에 합착된 플라스틱 기판은 합착된 상태로 반송되어 여러 프로세스를 통해 표시패널 제작을 완료하게 되면, 표시패널인 플라스틱 기판으로부터 유리기판을 분리하는 공정을 거치게 된다.

이때, 유리기판에 부착된 점착제로부터 플라스틱 기판을 분리하기 위해서는 분리공정에 따라 여러 조건을 만족시켜야하며, 상기 점착제가 기판 전면에 부착되어 있어 상기 분리공정이 쉽지 않은 단점이 있다.

이에 최근에는 플라스틱 기판과 유리기판 사이에 비정질 실리콘(amorphous silicon)으로 이루어진 희생층을 개재한 후에 공정들을 진행하여 표시패널을 형성하고, 레이저 탈착(laser release)을 적용하여 플라스틱 기판으로부터 유리기판을 분리하고 있다.

도 2a 및 도 2b는 일반적인 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 레이저를 이용한 보조기판의 탈착공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

플렉서블 표시장치를 제조하기 위해, 먼저 도 2a에 도시된 바와 같이, 보조기판(50) 표면에 실리콘 질화막으로 이루어진 버퍼층(30)을 형성한다.

그리고, 상기 버퍼층(30) 위에 비정질 실리콘으로 이루어진 희생층(40)을 형성한다.

상기 희생층(40)이 형성된 보조기판(50) 상부에 폴리이미드계 수지를 코팅하여 플렉서블 기판(10)을 형성한다.

이와 같이 형성된 플렉서블 기판(10) 위에 표시패널(20)을 형성한다.

이후, 표시패널(20)이 형성된 상기 플렉서블 기판(10)으로부터 보조기판(50)을 제거하기 위해 상기 보조기판(50) 하부로부터 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판(10)과 보조기판(50) 사이에 개재된 희생층(40)을 제거한다.

이때, 상기 레이저 조사에 의해 상기 희생층(40) 내부에서 수소(H₂)가 발생됨에 따라 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(10)과 보조기판(50)이 서로 분리되게 된다.

이때, 상기 비정질 실리콘으로 이루어진 희생층(40)은 조사된 레이저의 약 43%를 투과시킴에 따라, 글라스로 이루어진 상기 보조기판(50) 표면에 찍힘이나 스크래치(scratch)가 있을 경우 조사된 레이저가 굴곡이나 중첩되어 일정영역에 레이저가 집중되는 현상이 발생하고, TFT 소자에 레이저 집중현상이 발생하게 되면 화소에 약간 빛이 나는 약휘점 불량이 발생하게 된다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 플렉서블 기판의 반송 및 프로세스 진행을 위해 보조기판을 사용하는 경우에 있어, 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층의 제거 시 레이저의 투과에 의한 약휘점 불량의 발생을 방지하도록 한 플렉서블 표시장치의 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.

기타, 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 보조기판을 제공하는 단계; 상기 보조기판 표면에 블랙 수지로 이루어진 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계; 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 연소(burning)시키는 단계; 및 상기 보조기판으로부터 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함한다.

이때, 상기 보조기판은 유리기판 또는 금속 기판을 이용할 수 있다.

상기 블랙 수지는 블랙매트릭스를 구성하는 카본 블랙을 포함할 수 있다.

상기 희생층은 1㎛ ~ 5㎛의 두께, 바람직하게는 2㎛의 두께로 형성할 수 있다.

상기 레이저는 1W ~ 3W의 파워, 바람직하게는 1.95W의 파워로 조사할 수 있다.

상기 레이저는 300mm/s의 속도로 스캔방식을 통해 조사할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 블랙매트릭스 재질로 희생층을 형성함으로써 레이저 조사 시 TFT 소자로의 레이저의 투과를 막아 약휘점 불량을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.

도 1a 및 도 1b는 일반적인 플렉서블 표시장치를 예를 들어 나타내는 사진.
도 2a 및 도 2b는 일반적인 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 레이저를 이용한 보조기판의 탈착공정을 개략적으로 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도.
도 5a 및 도 5b는 레이저 조사에 따른 레이저 투과율을 나타내는 예시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도.
도 7a 및 도 7b는 상기 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 보조기판의 탈착공정을 개략적으로 나타내는 단면도.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장될 수 있다.

소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않는 것을 나타낸다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below, beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 따라서 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 흐름도이다.

그리고, 도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 순차적으로 나타내는 사시도이다.

도 4a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위해, 먼저 보조기판(150)을 제공한다(S110).

여기서, 상기 보조기판(150)은 후술될 표시패널 공정 동안 플렉서블 기판을 지지하는 역할을 수행할 수 있다. 이때, 상기 보조기판(150)은 유리기판 또는 금속 기판을 이용할 수 있다.

이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 보조기판(150) 표면에 희생층(140)을 형성한다(S120).

이때, 상기 보조기판(150) 표면에 희생층(140)을 형성하기 전에 실리콘 질화막으로 이루어진 버퍼층을 형성할 수도 있다. 상기 버퍼층은 표시패널 공정 중 보조기판(150) 위에 형성될 플렉서블 기판을 고정하는 역할을 수행할 수 있다.

여기서 상기 본 발명의 실시예에 따른 희생층(140)은 기존의 비정질 실리콘 대신에 블랙매트릭스를 구성하는 카본 블랙(carbon black) 등의 블랙 수지로 형성함에 따라, 후술할 보조기판(150)의 탈착공정을 위한 레이저 조사 시 TFT 소자로의 레이저의 투과를 막아 TFT 소자의 손상으로 인한 약휘점 불량을 방지할 수 있게 된다.

이때, 일 예로 상기 희생층(140)은 약 1㎛ ~ 5㎛의 두께, 바람직하게는 약 2㎛의 두께로 형성할 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 레이저 조사에 따른 레이저 투과율을 나타내는 예시도로써, 일 예로 532nm 파장의 레이저를 조사한 경우의 각 층의 레이저 투과율을 나타내고 있다.

이때, 상기 도 5a는 희생층으로 비정질 실리콘을 적용한 기존의 경우의 레이저 투과율을 나타내고 있으며, 상기 도 5b는 희생층으로 카본 블랙을 적용한 본 발명의 경우의 레이저 투과율을 나타내고 있다.

상기 도 5a를 참조하면, 조사된 레이저는 각 층을 투과하면서 투과율이 감소하여 총 투과율은 약 20%를 나타내게 된다.

이때, 각 층을 구성하는 글라스, 실리콘 질화막, 비정질 실리콘 및 폴리이미드의 투과율은 각각 약 90%, 88%, 43% 및 60%를 나타낸다.

전술한 바와 같이 비정질 실리콘으로 이루어진 기존의 희생층은 조사된 레이저의 약 20%를 투과시킴에 따라, 글라스로 이루어진 보조기판 표면에 찍힘이나 스크래치가 있을 경우 조사된 레이저가 굴곡이나 중첩되어 일정영역에 레이저가 집중되는 현상이 발생하게 된다. 이때, TFT 소자에 레이저 집중현상이 발생하게 되면 화소에 약간 빛이 나는 약휘점 불량을 일으키게 된다.

이에 비해 상기 도 5b를 참조하면, 조사된 레이저는 약 0%의 투과율을 가진 카본 블랙에 의해 총 투과율은 약 0%를 나타내게 된다.

이에 따라 본 발명과 같이 희생층으로 카본 블랙 등의 블랙 수지를 적용하게 되면, TFT 소자 쪽으로의 레이저의 투과를 막아 표면 손상, 즉 표면에 찍힘이나 스크래치가 발생하더라도 약휘점 불량이 발생하지 않게 된다.

다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 희생층(140)이 형성된 보조기판(150) 상부에 플렉서블 기판(110)을 형성한다(S130).

여기서, 일 예로 상기 플렉서블 기판(110)은 폴리이미드계 수지를 희생층(140) 위에 코팅하여 형성할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 희생층(140)이 형성된 보조기판(150) 상부에 플렉서블 기판(110)을 부착할 수도 있다.

이후, 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 기판(110)에 소정의 프로세스를 진행하여 표시패널(120)을 형성한다(S140).

여기서, 상기 표시패널(120)은 액정표시장치나 유기발광표시장치 또는 전기영동 표시장치 중 어느 하나일 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 구조를 예시적으로 나타내는 단면도로써, 표시패널로 유기발광표시장치를 예를 들어 나타내고 있다.

상기 표시패널(120)을 유기발광표시장치로 구성하는 경우에는, 상기 도 6을 참조하면, 플라스틱으로 이루어진 기판(111) 상에 투명 산화물로 이루어진 양극(112)이 형성되며, 상기 양극(112) 위에는 순차적으로 정공수송층(hole transport layer)(113), 발광층(emission layer)(114), 전자수송층(electron transport layer)(115), 전자주입층(electron injection layer)(116) 및 음극(117)이 적층되어 있다.

이때, 상기 기판(111)으로 폴리이미드(polyimide; PI) 재질을 사용하는 경우 상기 기판(111) 배면에는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET)의 플라스틱이나 스테인레스 스틸의 금속으로 이루어진 백 필름(back film)이 부착될 수 있다.

상기 구조를 기반으로 유기전계발광장치는 양극(112)에서 주입되는 정공과 음극(117)에서 주입되는 전자가 각각의 수송을 위한 수송층(113, 115)을 경유하여 발광층(114)에서 결합한 후 낮은 에너지 준위로 이동하면서 상기 발광층(114)에서의 에너지 차에 해당하는 파장의 빛을 생성하게 된다.

이때, 백색광의 발광을 위하여 상기 발광층(114)은 더욱 구체적으로 적색발광층(114a), 녹색발광층(114b) 및 청색발광층(114c)으로 이루어질 수 있다.

이에 비해 표시패널(120)을 액정표시장치로 구성하는 경우에는 도시하지 않았지만, 상기 표시패널(120)은 2장의 기판들과 이들 사이에 형성된 액정층으로 구성될 수 있다.

이때, 하부 기판에는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다. 상기 박막 트랜지스터 어레이에는 R, G 및 B 데이터전압이 공급되는 다수의 데이터라인들, 상기 데이터라인들에 교차하여 게이트펄스가 공급되는 다수의 게이트라인들, 상기 데이터라인들과 게이트라인들의 교차부들에 형성되는 다수의 박막 트랜지스터들, 액정 셀들에 데이터전압을 충전시키기 위한 다수의 화소전극 및 상기 화소전극에 접속되어 액정 셀의 전압을 유지시키기 위한 스토리지 커패시터 등을 포함한다. 상부 기판에는 컬러필터 어레이가 형성되며, 상기 컬러필터 어레이에는 블랙매트릭스와 컬러필터 등을 포함한다.

다음으로, 도 4e에 도시된 바와 같이, 레이저를 조사하여 표시패널(120)이 형성된 플렉서블 기판(110)으로부터 보조기판(150)을 분리하게 되는데, 이를 도 7a 및 도 7b를 참조하여 상세히 설명한다.

도 7a 및 7b는 상기 도 3에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 있어, 보조기판의 탈착공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.

구체적으로, 도 7a에 도시된 바와 같이, 표시패널(120)이 형성된 보조기판(150)의 하부에서 레이저를 조사하여 희생층(140)을 연소시킨다(S150).

다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 도 4e에 도시된 바와 같이 표시패널(120)이 형성된 플렉서블 기판(110)을 상하 반전하여 보조기판(150)이 상부로 향하게 테이블(160) 위에 로딩(loading)한 후에 상부에서 레이저를 조사할 수도 있다.

이후, 도 7b에 도시된 바와 같이, 레이저의 조사에 의해 희생층(140)이 연소(burning)된 상태의 보조기판(150)으로부터 표시패널(120)이 형성된 플렉서블 기판(110)을 분리한다(S160).

이때, 일 예로 상기 레이저는 약 1W ~ 3W의 파워, 바람직하게는 약 1.95W의 파워로 조사할 수 있으며, 약 300mm/s의 속도로 스캔방식을 통해 조사할 수 있다.

이와 같이 희생층(140)으로 카본 블랙 등의 블랙 수지를 적용한 경우 레이저의 조사에 의한 연소로 보조기판(150)과 플렉서블 기판(110) 사이의 분리가 가능하게 되는데, 상기 희생층(140)에 레이저를 조사하게 되면 버퍼층(130)과 희생층(140) 사이 및 플렉서블 기판(110)과 희생층(140) 사이에 공극이 발생하게 되어 보조기판(150)과 플렉서블 기판(110) 사이의 분리가 가능하게 된다.

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.

110 : 플렉서블 기판 120 : 표시패널
130 : 버퍼층 140 : 희생층
150 : 보조기판

Claims (8)

1. 보조기판을 제공하는 단계;
   상기 보조기판상에 버퍼층을 형성하는 단계;
   상기 버퍼층상에 블랙매트릭스를 구성하는 카본 블랙을 포함한 블랙 수지로 이루어진 희생층을 형성하는 단계;
   상기 희생층이 형성된 보조기판 상부에 플렉서블 기판을 형성하는 단계;
   상기 플렉서블 기판에 표시패널을 제작하는 단계;
   상기 표시패널이 형성된 플렉서블 기판을 상하 반전하여 상기 플렉서블 기판이 위로 향하게 하고 상부에서 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 기판과 보조기판 사이에 개재된 희생층을 연소(burning)시키는 단계; 및
   상기 보조기판으로부터 플렉서블 기판을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 보조기판은 유리기판 또는 금속 기판을 이용하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서, 상기 희생층은 1㎛ ~ 5㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 희생층은 2㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저는 1W ~ 3W의 파워로 조사하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 레이저는 1.95W의 파워로 조사하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 레이저는 300mm/s의 속도로 스캔방식을 통해 조사하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.

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