KR102029072B1 - 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 플렉시블 표시장치는, 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 버퍼층; 상기 제1 버퍼층 상에 형성된 블럭 버퍼층; 상기 블럭 버퍼층 상에 형성된 제2 버퍼층; 상기 제2 버퍼층 상에 형성된 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 제2 버퍼층 상에 형성된 보호막 및 화소전극; 및 상기 화소전극이 형성된 기판 상에 배치된 표시패널을 포함한다.
본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser) 빔을 이용하여 분리할 때, 표시패널에 형성된 소자들의 손상 없이 용이하게 캐리어 기판을 분리할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser) 빔을 이용하여 분리할 때, 표시패널에 형성된 소자들의 손상 없이 용이하게 캐리어 기판을 분리할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 플렉시블 표시장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser)로 탈착 공정을 진행할 때, 표시패널 손상 없이 신속하게 탈착 공정이 진행되도록 한 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하여 영상을 표시하는 유기발광 표시장치(OLED), 전자잉크(E-ink) 필름을 이용한 전자 종이 등이 각광 받고 있다.
특히, 유기발광 표시장치와 전자 잉크 필름을 사용한 전자 종이는 플렉시블 표시 장치로 구현이 용이해 최근 개발이 진행되고 있다.
상기 유기발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점이 있다. 유기발광 표시장치는 3색(R, G, B) 서브 화소로 구성된 다수의 화소들이 매트릭스 형태로 배열되고, 셀 구동부 어레이와 유기발광 어레이가 형성된 기판이 인캡슐레이션(Encapsulation)된 구조로 그 기판을 통해 빛을 방출함으로써 화상을 표시한다.
유기발광 표시장치에서 색상을 표현하기 위해서는 적, 녹, 청의 빛을 각각 발광하는 유기 발광층을 사용하게 되는데, 유기 발광층은 두 개의 전극 사이에 형성되어 유기발광다이오드를 형성한다.
또한, 전자 잉크 필름을 이용한 전자 종이 등은 전기영동(electrophoresis) 원리를 이용한 것으로 전하를 띤 입자가 유체 내에 분사된 상태에서 인가된 전기장에 의해 이동하여 화상을 디스플레이하는 표시장치이다.
구체적으로 투명 유체에 양의 전하를 가진 백색 미립자와 음의 전하를 가진 흑색 미립자를 분산시킨 마이크로 캡슐을 이용하여 흑백의 표시 영상을 구현한다.
상기 유리발광 표시장치와 전자 종이 등은 캐리어 기판 상에 플렉시블한 플라스틱 기판을 형성한 다음, 플라스틱 기판 상에 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)와 같은 소자들과 유기발광 표시패널 또는 전자 잉크 필름을 부착한 다음, 캐리어 기판을 분리하는 방식으로 공정이 이루어진다. 상기 유기발광 표시패널로 명명하였지만, 박막 트랜지스터가 형성된 기판 상에 전극들과 발광층들을 적층하여 형성할 수 있다.
도 1은 종래 플렉시블 표시장치 제조 공정에서 캐리어 기판을 분리하는 공정을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 플렉시블 표시장치 제조시에는 캐리어 기판(10) 상에 아몰포스 실리콘(a-Si:H)으로 구성된 희생층(11)과 하부기판(20)을 적층하여 형성한다.
그런 다음, 상기 하부기판(20) 상에 버퍼층(21)을 형성하고, 상기 버퍼층(21) 상에 게이트 전극(22), 게이트 절연막(23), 채널층(24), 소스/드레인 전극(25a, 25b)으로 구성된 박막 트랜지스터를 형성한다. 또한, 상기 박막 트랜지스터가 형성된 하부기판(20) 상에는 유기막인 보호막(27)을 형성한 다음, 상기 보호막(27) 상에 화소전극(29)을 형성한다.
이후, 상기 화소전극(29)이 형성된 하부기판(20) 상에는 유기발광 표시장치를 구현할 경우, 유기발광다이오드의 전극들과 유기발광층을 구비한 소자들로 구성된 유기발광 표시패널을 형성할 수 있다. 하지만, 전자 종이를 구현할 경우에는 전자 잉크 필름(E-ink Film)이 부착될 수 있다.
상기와 같이, 플렉시블 표시장치 제조 공정이 완료되면, 상기 하부기판(20)과 캐리어 기판(10)을 분리하기 위해 상기 하부기판(20) 배면으로 레이저 빔(laser beam)을 조사하여 탈착 공정이 진행된다. 상기 희생층(11)에 의한 기판들의 탈착 원리는 레이저 빔에 의해 희생층(11)의 수소이온들이 활성화되면서 이로 인하여 하부기판(20)과 캐리어 기판(10)이 서로 분리된다.
도 2a 내지 도 3은 종래 플렉시블 표시장치의 탈착 공정에서 불량이 발생되는 현상을 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 3을 참조하면, 레이저를 이용한 탈착 공정에서는 레이저 장비가 사용되는데, 레이저의 파워(power)가 일정치 않은 경우, 레이저 빔이 하부기판을 통과한 후 하부기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 및 신호 라인들을 손상시키는 문제가 발생한다.
또한, 강한 레이저 빔은 박막 트랜지스터의 채널층을 손상시켜 박막 트랜지스터의 성능을 저하시키고, 얼룩 불량을 유발한다. 도 2a 및 도 2b는 레이저 빔에 의해 하부기판 상에 형성된 신호라인들이 단선되어 불량이 발생된 것이고(line defect), 도 3은 레이저 빔이 박막 트랜지스터와 하부기판 상에 형성되는 유기발광다이오드 또는 전자 잉크 필름을 손상시켜 전체적으로 얼룩 불량이 발생한 것이다.
따라서, 레이저 빔을 이용하여 하부기판과 캐리어 기판을 분리할 때, 하부기판 상에 형성되는 소자들에 손상을 주지 않으면서 신속하게 기판을 분리하는 공정이 요구된다.
본 발명은, 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser) 빔을 이용하여 분리할 때, 표시패널에 형성된 소자들의 손상 없이 용이하게 캐리어 기판을 분리할 수 있는 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 표시패널의 하부기판과 캐리어 기판 사이 또는 표시패널의 하부기판과 소자들이 형성되는 층들 사이에 블럭 버퍼층을 형성하여, 레이저 빔에 의한 소자 보호 및 캐리어 기판 분리를 빠르게 할 수 있는 플렉시블 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 플렉시블 표시장치는, 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 버퍼층; 상기 제1 버퍼층 상에 형성된 블럭 버퍼층; 상기 블럭 버퍼층 상에 형성된 제2 버퍼층; 상기 제2 버퍼층 상에 형성된 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 제2 버퍼층 상에 형성된 보호막 및 화소전극; 및 상기 화소전극이 형성된 기판 상에 배치된 표시패널을 포함한다.
또한, 본 발명의 플렉시블 표시장치는, 블럭 버퍼층; 상기 블럭 버퍼층 상에 형성된 제2 버퍼층; 상기 제2 버퍼층 상에 형성된 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 버퍼층; 상기 제1 버퍼층 상에 형성된 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터가 형성된 제1 버퍼층 상에 형성된 보호막 및 화소전극; 및 상기 화소전극이 형성된 기판 상에 배치된 표시패널을 포함한다.
또한, 본 발명의 플렉시블 표시장치 제조방법은, 캐리어 기판을 제공하는 단계; 상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 상에 기판을 형성하는 단계; 상기 기판 상에 제1 버퍼층, 블럭 버퍼층 및 제2 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 제2 버퍼층 상에 박막 트랜지스터, 화소전극 및 표시패널을 형성하는 단계; 및 상기 캐리어 기판 배면에 레이저 빔을 조사하여 상기 캐리어 기판과 기판을 분리하는 탈착 공정을 진행하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser) 빔을 이용하여 분리할 때, 표시패널에 형성된 소자들의 손상 없이 용이하게 캐리어 기판을 분리할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부기판과 캐리어 기판 사이 또는 표시패널의 하부기판과 소자들이 형성되는 층들 사이에 블럭 버퍼층을 형성하여, 레이저 빔에 의한 소자 보호 및 캐리어 기판 분리를 빠르게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 플렉시블 표시장치 제조 공정에서 캐리어 기판을 분리하는 공정을 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 3은 종래 플렉시블 표시장치의 탈착 공정에서 불량이 발생되는 현상을 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법을 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2 및 제3 실시예에 따른 플렉시블 표시장치를 도시한 도면이다.
도 8은 종래 기술에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 3은 종래 플렉시블 표시장치의 탈착 공정에서 불량이 발생되는 현상을 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법을 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2 및 제3 실시예에 따른 플렉시블 표시장치를 도시한 도면이다.
도 8은 종래 기술에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 플렉시블 표시장치 제조방법을 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 플렉시블 표시장치는, 캐리어 기판(100) 상에 아몰포스 실리콘(a-Si:H)으로 구성된 희생층(110)을 형성하고, 폴리이미드와 같은 절연물질을 희생층(110) 상에 형성하여, 기판(120)을 형성한다. 기판(120)은 얇은 플렉시블 특성이 있다.
그런 다음, 상기 기판(120) 상에 제1 버퍼층(121)과 블럭 버퍼층(130) 및 제 2 버퍼층(131)을 순차적으로 형성한다.
상기 제 1 및 제 2 버퍼층(121, 131)은 질화실리콘 또는 질화산화물과 같은 투명성 무기절연물질을 사용할 수 있다. 또한, 절연성 유기물질로 형성할 수 있다.
그리고 상기 제1 버퍼층(121)은 절연성 무기물질로 형성하고, 제 2 버퍼층(131)은 절연성 유기물질로 형성할 수 있으며, 그 반대로도 형성할 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제 2 버퍼층(121, 131) 중 어느 하나의 층은 절연성 유기물질로 형성하되, 빛을 흡수할 수 있는 유색물질을 사용할 수 있다.
상기 블럭 버퍼층(130)은 반사특성이 우수한 Ag, Fe, Zn, Mg, Cr, Au, Ni, Ta, Cu, Ti, Pd 및 Pt와 같은 금속물질 또는 그리고 금속물질의 합금(예: Mg-Ag 합금, Li-Al 합금, Au-Pd 합금, Au-Pt 합금, Pt-Pd 합금a 및 Pd-Ag 합금)으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 블럭 버퍼층(130)은 다수의 층들로 형성할 수 있다.
상기 제1 및 제2 버퍼층(121, 131) 중 어느 하나의 층에 사용되는 유색물질은 빛흡수가 우수한 카본 블랙(Carbon Black)을 사용한 수지 BM(Black Matrix) 등을 사용할 수 있다. 이때, 블럭 버퍼층은 제거할 수 있으며, 상기 블럭 버퍼층(130)을 유색물질로 형성할 수 있다.
또한, 도면에서는 상기 블럭 버퍼층(130)을 사이에 두고 제 1 및 제 2 버퍼층(121, 131)이 형성된 구조를 예로 들었지만, 이는 고정된 것이 아니기 때문에 버퍼층과 블럭 버퍼층만 형성할 수 있고, 상기 블럭 버퍼층 상에 다수의 버퍼층을 형성하거나, 상기 블럭 버퍼층 하측에 다수의 버퍼층들을 형성할 수 있다.
상기와 같이, 제1 버퍼층(121)과 블럭 버퍼층(130) 및 제 2 버퍼층(131)이 기판(120) 상에 형성되면, 상기 제2 버퍼층(131) 상에 게이트 전극(122), 게이트 절연막(123), 채널층(124), 소스/드레인 전극(125a, 125b)으로 구성된 박막 트랜지스터를 형성한다. 도면에는 도시하지 않았지만, 데이터 신호를 공급하는 데이터 라인과 박막 트랜지스터에 구동신호를 공급하는 게이트 라인을 포함하는 신호라인들이 형성될 수 있다.
상기 박막 트랜지스터가 기판(120) 상에 형성되면 유기막인 보호막(127)을 전면에 형성한 다음, 상기 드레인 전극(125b)의 일부를 노출시키는 콘택홀 공정을 진행한다. 상기 보호막(127) 상에는 상기 드레인 전극(125b)과 전기적으로 연결되는 화소전극(129)을 형성한 다음, 상기 화소전극(129) 상에는 표시패널을 부착한다. 본 발명의 제1실시예에서는 표시패널을 전자 잉크 필름(150)으로 부착하였다.
그런 다음, 상기 캐리어 기판(100)과 기판(120)을 분리하는 레이저 탈착 공정을 진행한다.
레이저 장비에 의해 레이저 빔은 캐리어 기판(100)의 배면으로부터 상기 기판(120) 방향으로 진행하고, 레이저 빔에 의해 희생층(110)의 수소이온들은 활성화된다.
이때, 본 발명에서는 기판(120)과 박막 트랜지스터 및 전자 잉크 필름(150)이 형성된 층 사이에 블럭 버퍼층(130)이 형성되어 있어, 레이저 빔은 기판(120) 상부에 형성된 소자들과 전자 잉크 필름(150)에 도달하지 않는다.
상기 블럭 버퍼층(130)이 레이저 빔을 반사하는 물질로 형성된 경우, 레이저 빔은 블럭 버퍼층(130)에서 반사된 후, 상기 캐리어 기판(100) 배면 방향으로 진행한다. 이로 인하여, 조사된 레이저 빔은 1차적으로 희생층(110)에 도달하고, 상기 블럭 버퍼층(130)에서 반사된 레이저 빔이 2차적으로 희생층(110)에 도달하여 종래 기술보다 희생층(110)에 조사되는 레이저 빔을 증가시킬 수 있다. 이로 인하여, 상기 캐리어 기판(100)과 기판(120)을 신속하게 분리시킬 수 있다(Release 용이).
또한, 본 발명의 플렉시블 표시장치가 표시패널로 전자 잉크 필름(150)을 사용하는 경우에는 전자 잉크 필름(150) 내의 다수개의 마이크로 캡슐들 사이로 외부광이 진행하여 광손실을 야기하는 것을 블럭 버퍼층(130)이 방지할 수 있다.
즉, 본 발명에서는 기판(120)과 박막 트랜지스터 사이에 블럭 버퍼층(130)이 형성되어 있어, 외부광이 블럭 버퍼층(130)에서 반사되어 다시 전자 잉크 필름(150) 방향으로 진행하기 때문에 외부광 손실을 최소화할 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2 및 제3 실시예에 따른 플렉시블 표시장치를 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 플렉시블 표시장치가 유기 발광 표시 패널(250)을 형성한 경우에 대한 실시예들이다.
도 6의 제 2 실시예를 참조하면, 캐리어 기판(200) 상에 희생층(210)과 기판(220)을 적층 형성하고, 상기 기판(220) 상에 제1 버퍼층(221)과 블럭 버퍼층(230) 및 제 2 버퍼층(231)을 순차적으로 형성한다.
상기 제 1 및 제 2 버퍼층(221, 231)은 질화실리콘 또는 질화산화물과 같은 투명성 무기절연물질을 사용할 수 있다. 또한, 절연성 유기물질로 형성할 수 있다.
그리고 상기 제1 버퍼층(221)은 절연성 무기물질로 형성하고, 제 2 버퍼층(231)은 절연성 유기물질로 형성할 수 있고, 그 반대로도 형성할 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제 2 버퍼층(221, 231) 중 어느 하나의 층은 절연성 유기물질로 형성하되, 빛을 흡수할 수 있는 유색물질을 사용할 수 있다.
상기 블럭 버퍼층(230)은 반사특성이 우수한 Ag, Fe, Zn, Mg, Cr, Au, Ni, Ta, Cu, Ti, Pd 및 Pt와 같은 금속물질 또는 그리고 금속물질의 합금(예: Mg-Ag 합금, Li-Al 합금, Au-Pd 합금, Au-Pt 합금, Pt-Pd 합금a 및 Pd-Ag 합금)으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 블럭 버퍼층(230)은 다수의 층들로 형성할 수 있다.
상기 제1 및 제2 버퍼층(221, 231) 중 어느 하나의 층에 사용되는 유색물질은 빛흡수가 우수한 카본 블랙(Carbon Black)을 사용한 수지 BM(Black Matrix) 등을 사용할 수 있다. 이때, 블럭 버퍼층은 제거할 수 있으며, 상기 블럭 버퍼층(230)을 유색물질로 형성할 수 있다.
상기와 같이, 제1 버퍼층(221)과 블럭 버퍼층(230) 및 제 2 버퍼층(231)이 기판(220) 상에 형성되면, 상기 제2 버퍼층(231) 상에 게이트 전극(222), 게이트 절연막(223), 채널층(224), 소스/드레인 전극(225a, 225b)으로 구성된 박막 트랜지스터를 형성한다. 도면에는 도시하지 않았지만, 데이터 신호를 공급하는 데이터 라인과 박막 트랜지스터에 구동신호를 공급하는 게이트 라인을 포함하는 신호라인들이 형성될 수 있다.
상기 박막 트랜지스터가 기판(220) 상에 형성되면 유기막인 보호막(227)을 전면에 형성한 다음, 상기 드레인 전극(225b)의 일부를 노출시키는 콘택홀 공정을 진행한다. 상기 보호막(227) 상에는 상기 드레인 전극(225b)과 전기적으로 연결되는 화소전극(229)을 형성한 다음, 상기 화소전극(229) 상에는 표시패널이 부착되는데 본 발명의 제 2 및 3 실시예에서는 도 9에 도시된 유기 발광 표시 패널(250)을 부착하였다.
그런 다음, 상기 캐리어 기판(200)과 기판(220)을 분리하는 레이저 탈착 공정을 진행한다. 레이저 탈착 공정은 도 4 및 도 5에서 설명한 탈착 공정과 동일하다.
본 발명에서는 기판(220)과 박막 트랜지스터 및 유기 발광 표시 패널(250)이 형성된 층 사이에 블럭 버퍼층(230)이 형성되어 있어, 조사된 레이저 빔은 1차적으로 희생층(210)에 도달하고, 상기 블럭 버퍼층(230)에서 반사된 레이저 빔이 2차적으로 희생층(210)에 도달하여 종래 기술보다 희생층(210)에 조사되는 레이저 빔을 증가시킬 수 있다. 이로 인하여, 상기 캐리어 기판(200)과 기판(220)을 신속하게 분리시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예로 도 6의 구조와 동일하나, 제 2 버퍼층(231)과 블럭 버퍼층(230)이 기판(220)과 희생층(210) 사이에 위치하도록 하였다. 구체적인 설명은 도 6의 내용과 동일하므로 생략한다.
다만, 레이저 탈착 공정시 조사되는 레이저 빔은 희생층(210) 상부의 블럭 버퍼층(230)에서 반사되고, 레이저 빔이 기판(220)을 통과하지 않도록 하였다. 상기 블럭 버퍼층(230)에서 반사된 레이저 빔은 다시 희생층(210)을 통과하여 도 6에서와 같이, 희생층(210)은 2번 레이저 빔에 의해 조사된다.
도 8은 종래 기술에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이고, 도 9는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 패널의 구조를 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 일반적으로 유기 발광 표시 패널의 구조는 적색, 녹색, 청색 유기발광다이오드로 구분할 수 있고, 이는 유기발광층들(R, G, B)에서 발생되는 색에 따라 구분된다. 경우에 따라서는 적, 녹, 청색 유기발광층을 적층하여 백색 유기발광다이오드를 구현할 수 있다.
먼저, 제1 전극(anode)은 제1 내지 제 3 전극층(301, 302, 303)으로 형성되고, 제1 및 제 3 전극층(301, 303)은 ITO 또는 IZO와 같은 투명성 도전물질로 형성될 수 있다. 또한, 제 2 전극층(302)은 Ag 합금으로 형성된다. 이는 Ag가 반사율은 크나 일함수가 낮아 정공 유입율이 떨어져 일함수가 큰 투명성 도전물질과 적층하여 제1 전극(Anode)을 형성한다.
상기 제1 전극 상에는 정공주입층(304)과 제1 정공수송층(305a)이 형성되고, 상기 녹색(G) 유기발광층과 대응되는 영역에는 제1 보조 정공수송층(306a)과 상기 적색(R) 유기발광층과 대응되는 영역에는 제2 보조 정공수송층(306b)이 형성된다.
그런 다음, 상기 제 1 및 제 2 보조 정공수송층(306a, 306b) 상에는 제 2 정공수송층(305b)이 전면에 형성된다. 상기 보조 정공수송층(306a, 306b)들은 광학적 최적화를 위해 추가되는 층이다.
상기 제 2 정공수송층(305b) 상에는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 유기발광층들이 형성되고, 유기발광층들 상에는 전자수송층(307)과 전자주입층(308)이 형성된다.
상기 전자주입층(308) 상에는 투명성 도전물질(ITO, IZO)로 제2 전극(Cathode)을 형성하고, 상기 제 2 전극(309) 상에는 캡핑층(310)이 형성된다.
하지만, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 플렉시블 표시장치에 레이저 빔을 반사시키거나 흡수할 수 있는 블럭 버퍼층을 형성할 경우에는 투명성 도전물질로된 단일 전극을 사용할 수 있다. 상기 도 6 및 7의 플렉시블 표시장치 구조의 경우에는 유기 발광 표시 패널의 제1 전극(Anode: 403)을 ITO 또는 IZO와 같은 단일 금속층으로 형성할 수 있다.
왜냐하면, 도 9의 유기발광층들에서 발생되는 광은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(220) 상의 박막 트랜지스터 영역을 통과한 후, 하부의 블럭 버퍼층(230)에서 반사되어 유기 발광 표시 패널의 제 2 전극(309) 영역으로 광이 진행할 수 있기 때문이다.
본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부에 존재하는 캐리어 기판을 레이저(laser) 빔을 이용하여 분리할 때, 표시패널에 형성된 소자들의 손상 없이 용이하게 캐리어 기판을 분리할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 플렉시블 표시장치는 표시패널의 하부기판과 캐리어 기판 사이 또는 표시패널의 하부기판과 소자들이 형성되는 층들 사이에 블럭 버퍼층을 형성하여, 레이저 빔에 의한 소자 보호 및 캐리어 기판 분리를 빠르게 할 수 있는 효과가 있다.
100: 캐리어 기판 110: 희생층
120: 기판 121: 제1 버퍼층
130: 블럭 버퍼층 131: 제2 버퍼층
123: 게이트 절연막 127: 보호막
150: 전자 잉크 필름 250: 유기 발광 표시 패널
120: 기판 121: 제1 버퍼층
130: 블럭 버퍼층 131: 제2 버퍼층
123: 게이트 절연막 127: 보호막
150: 전자 잉크 필름 250: 유기 발광 표시 패널
Claims (18)
- 기판;
상기 기판 상에 형성된 제1 버퍼층;
상기 제1 버퍼층 상에 형성된 블럭 버퍼층;
상기 블럭 버퍼층 상에 형성된 제2 버퍼층;
상기 제2 버퍼층 상에 형성된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터가 형성된 제2 버퍼층 상에 형성된 보호막 및 화소전극; 및
상기 화소전극이 형성된 기판 상에 배치된 표시패널을 포함하는 플렉시블 표시장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 버퍼층은 절연물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제1항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 레이저 빔을 반사하는 금속인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제3항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 Ag, Fe, Zn, Mg, Cr, Au, Ni, Ta, Cu, Ti, Pd 및 Pt 중 어느 하나로 형성되거나, 이들의 합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제1항에 있어서, 상기 표시패널은 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층들을 포함하는 유기발광표시패널인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제1항에 있어서, 상기 표시패널은 전자 잉크 필름인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 블럭 버퍼층;
상기 블럭 버퍼층 상에 형성된 제2 버퍼층;
상기 제2 버퍼층 상에 형성된 기판;
상기 기판 상에 형성된 제1 버퍼층;
상기 제1 버퍼층 상에 형성된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터가 형성된 제1 버퍼층 상에 형성된 보호막 및 화소전극; 및
상기 화소전극이 형성된 기판 상에 배치된 표시패널을 포함하는 플렉시블 표시장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 버퍼층은 절연물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제7항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 레이저 빔을 반사하는 금속인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제9항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 Ag, Fe, Zn, Mg, Cr, Au, Ni, Ta, Cu, Ti, Pd 및 Pt 중 어느 하나로 형성되거나, 이들의 합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제7항에 있어서, 상기 표시패널은 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층들을 포함하는 유기발광표시패널인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 제7항에 있어서, 상기 표시패널은 전자 잉크 필름인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치.
- 캐리어 기판을 제공하는 단계;
상기 캐리어 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
상기 희생층 상에 기판을 형성하는 단계;
상기 기판 상에 제1 버퍼층을 형성하고, 상기 제1 버퍼층 상에 블럭 버퍼층을 형성하고, 상기 블럭 버퍼층 상에 제2 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 제2 버퍼층 상에 박막 트랜지스터, 화소전극 및 표시패널을 형성하는 단계; 및
상기 캐리어 기판 배면에 레이저 빔을 조사하여 상기 캐리어 기판과 기판을 분리하는 탈착 공정을 진행하는 단계를 포함하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
- 제13항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 버퍼층은 절연물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
- 제13항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 레이저 빔을 반사하는 금속인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
- 제15항에 있어서, 상기 블럭 버퍼층은 Ag, Fe, Zn, Mg, Cr, Au, Ni, Ta, Cu, Ti, Pd 및 Pt 중 어느 하나로 형성되거나, 이들의 합금으로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
- 제13항에 있어서, 상기 표시패널은 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층들을 포함하는 유기발광표시패널인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
- 제13항에 있어서, 상기 표시패널은 전자 잉크 필름인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시장치 제조방법.
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