KR101894330B1 - 플렉서블 디스플레이의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 디스플레이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 희생층에 레이저 조사를 낮은 에너지로 조사하고 이후에 에이징(aging)을 거쳐 리프트 오프 공정을 진행하여, 플렉서블 필름의 손상을 방지한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 지지 기판 상에 희생층을 형성하는 단계와, 상기 희생층 상에 플렉서블 필름을 형성하는 단계와, 상기 플렉서블 필름 상에 어레이를 형성하는 단계와, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 필름과 지지 기판 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계와, 에이징하여, 상기 플렉서블 필름을 상기 지지 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

플렉서블 디스플레이의 제조 방법{Method for Manufacturing Flexible Display}
본 발명은 플렉서블 디스플레이에 관한 것으로 특히, 희생층에 레이저를 낮은 에너지로 조사하고 이후에 에이징(aging)을 거쳐 리프트 오프 공정을 진행하여, 플렉서블 기판의 손상을 방지한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube, CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다.
이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device, LCD), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel, PDP) 및 유기 발광 표시 장치(Organic light emitting display device, OLED), 양자점 표시 장치(Quantum Display Device), 전기 영동 표시 장치(Electrophoresis Display Device) 등이 있다.
평판 표시 장치는 대개 고정된 형태로 이용 가능하지만, 최근 전자책이나 전자 종이와 같은, 플렉서블(flexible)한 형태로도 그 이용이 고려되고 있다. 이와 같이, 잡거나 말더라도 손상되지 않도록 플렉서블한 상태로 표시가 가능한 표시 장치를 플렉서블 디스플레이(flexible display)라 한다.
그런데, 플렉서블 디스플레이는 기판 자체가 유연성을 갖는 재료이며, 매우 얇다. 따라서, 기판 상에 표시를 위해 요구되는 배선 및 표시 전극 등의 형성 공정에서, 가해지는 열로 기판이 특정 방향으로 변형을 일으킬 수 있어, 이를 방지하도록 별도의 지지 기판 상에 기판을 부착시켜 증착 공정 등의 형성 공정을 진행한다.
한편, 배선 및 표시 전극 등의 어레이 형성 공정을 진행한 후에, 다시 지지 기판으로부터 기판을 분리해내는 공정이 요구된다. 그런데, 이러한 분리 공정시 힘이나 열 혹은 광 등의 조사가 이루어지는데, 이 과정에서 기판 상에 형성된 표시 소자들이 손상되어버리는 문제점이 있다.
한 번 손상된 표시 소자들은 해당 부위가 결함 화소(point defect), 결함 라인(line defect)으로 작용하여, 이를 방지하기 위해 분리 공정에서의 조건이 수율에 결정적인 영향을 미치는 요소가 되고 있는 실정이다.
상기와 같은 종래의 플렉서블 디스플레이는 다음과 같은 문제점이 있다.
플렉서블 기판이 갖는 재료적 특징에 의해, 플렉서블 기판을 지지 기판에 부착시켜 어레이 공정을 진행하고, 이후에 플렉서블 기판을 분리해내는 공정을 진행하여 왔는데, 분리 공정시 플렉서블 기판 상에 형성된 어레이에 손상이 가해지기 쉽다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 희생층에 레이저 조사를 낮은 에너지로 조사하고 이후에 에이징(aging)을 거쳐 리프트 오프(lift off) 공정을 진행하여, 플렉서블 기판의 손상을 방지한 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 지지 기판 상에 희생층을 형성하는 단계와, 상기 희생층 상에 플렉서블 필름을 형성하는 단계와, 상기 플렉서블 필름 상에 어레이를 형성하는 단계와, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 필름과 지지 기판 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계와, 에이징하여, 상기 플렉서블 필름을 상기 희생층으로부터 분리하는 단계를 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다.
상기 지지 기판은 상기 플렉서블 필름보다 경도가 높고 투명하다.
그리고, 상기 지지 기판 상에 희생층을 형성하는 단계는 상기 지지 기판 상에, 비정질 실리콘을 증착하여 이루어진다. 이 때, 상기 희생층은 400Å 이상 1000Å의 두께로 형성된다.
상기 지지 기판측에 레이저를 조사하는 것은, 레이저의 파장을 320nm 이상 600nm 이하의 파장으로 한다. 예를 들어, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하는 것은, DPSSFD(Diode Pumped Solid State Frequency-Doubled)에 의해 이루어진다.
여기서, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계는, 상기 지지 기판으로부터 상기 희생층이 분리되기 직전까지 이루어진다.
또한, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 필름과 희생층 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계는, 상기 레이저의 세기를 450mJ/cm2 이상 690mJ/cm2 미만으로 하여 이루어진다.
한편, 상기 에이징은, 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태에서, 1시간 이상 150시간 미만으로 이루어진다.
일 예로, 에이징은 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로 챔버 내에 항온 상태로 두어 이루어질 수 있다. 이 때, 상기 챔버 내에 공기 또는 질소(N2)를 더 공급할 수도 있다.
또한, 상기 에이징은, 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 상온에 방치하여 이루어질 수도 있다.
그 밖에 상기 에이징은, 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버 내에 일정한 습도를 유지하여 두어 이루어질 수 있다.
혹은 상기 에이징은, 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버 내에 일정한 휘도를 유지하여 두어 이루어질 수 있다.
한편, 상기 어레이를 형성하는 단계는, 상기 플렉서블 필름 상에 매트릭스 상의 화소 영역을 구분하여, 각 화소 영역에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터와 접속되는 유기 발광 소자를 형성하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
지지 기판 상에 희생층을 두어 플렉서블 기판을 부착시킨 상태로, 플렉서블 기판 상에 어레이를 형성 후, 레이저를 지지 기판측으로 조사하여 희생층으로부터 상기 플렉서블 기판을 분리한다. 이 때, 레이저 조사 이후 일정 시간으로 상온 중 방치시키거나 혹은 챔버 내에 특정 조건 하에서 에이징을 하여, 플렉서블 기판 상에 형성된 어레이의 손상 없이 희생층으로부터 플렉서블 기판의 분리가 가능하다.
특히, 레이저 조사만으로 플렉서블 기판을 분리하는 것이 아니라 별도의 에이징을 거침으로써, 레이저 조사에서 발생하는 플렉서블 기판 상에 형성된 어레이의 손상을 방지할 수 있어, 레이저 조사의 공정 마진이 늘어날 수 있다.
또한, 레이저 조사의 에너지 세기와 조건을 낮출 수 있어, 플렉서블 기판 상의 어레이에 대한 영향을 줄일 수 있다. 이 경우, 레이저 조사 외에 별도의 에이징 공정의 추가로 인해, 레이저 조사를 DPSSFD와 같이, 파장이 높은 레이저 조사 장비를 통해서도 이용 가능하다.
도 1은 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조를 위해 지지 기판 상에 희생층을 형성한 후 그 상부에 플렉서블 필름을 형성한 상태를 도시한 도면
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 있어서, 플렉서블 필름을 분리하는 공정을 구체적으로 나타낸 단면도
도 3은 제 1 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면
도 4는 제 2 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면
도 5는 제 3 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면
도 6은 레이저 조사의 에너지 세기를 달리하여 조사 후, 플렉서블 디스플레이 표면을 나타낸 사진
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조를 위해 지지 기판 상에 희생층을 형성한 후 그 상부에 플렉서블 필름을 형성한 상태를 도시한 도면이며, 도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 있어서, 플렉서블 필름을 분리하는 공정을 구체적으로 나타낸 단면도이다.
먼저, 도 1과 같이, 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법은 지지 기판(10)을 마련한 후, 상기 지지 기판(10) 상에 희생층(50)을 형성한다.
상기 지지 기판(10)은 유리 기판과 같이 투명하며, 일정한 두께를 유지하여 상대적으로 이후에 형성될 플렉서블 필름을 지지할 수 있을 정도의 경도를 갖는 재료에서 선택한다.
그리고, 상기 희생층(50)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)으로 지지 기판(10) 상에 400Å 이상 1000Å의 두께로 증착하여 이루어지는 것이다.
이어, 상기 희생층(50) 상에 절연성의 플렉서블 필름(flexible film)(101)을 형성한다. 예를 들어, 상기 플렉서블 필름(101)은 투명한 플라스틱 필름일 수 있으며, 예를 들어, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Ployethylene Terephthalate, PET), 폴리 카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리 이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate,PEN), COC(Cyclic olefin Copolymer), 아크릴(Acryl) 중 어느 하나를 이용할 수 있다. 경우에 따라, SUS(Steel Use Stainless)와 같은 얇은 금속 호일을 이용할 수도 있을 것이다.
여기서, 이후의 어레이 형성 공정의 안정화를 위해 상기 희생층(50)과 상기 플렉서블 필름(101)이 만나는 면에 점착층을 더 형성하여 둘 수 있다.
이어, 상기 플렉서블 필름(101) 상에 어레이(110)를 형성한다.
상기 어레이(110)를 형성하는 단계는, 일 예로 플렉서블 필름(101) 상에 매트릭스 상의 화소 영역을 구분하여, 각 화소 영역에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터와 접속되는 유기 발광 소자를 형성하여 이루어진다. 또한, 상기 어레이를 덮도록, 상기 플렉서블 필름(101) 상에는 보호 필름(미도시)을 더 형성할 수도 있다.
이 경우는 유기 발광 표시 어레이를 형성한 예를 설명한 것이고, 그 외로, 전기 영동 표시 어레이나, 액정 표시 어레이 혹은 그 밖의 플렉서블 필름 상에 형성될 수 있는 어레이라면 어느 형태로도 변경 가능하다 할 것이다. 어느 경우나, 어레이 형성 후, 플렉서블 필름을 상기 지지 기판으로부터 분리하는 공정에서 가해지는 열, 광, 압력 등에 변형하지 않을 정도인 것이 바람직하다. 만일, 액정 표시 어레이와 같이, 열 전이 온도를 갖는 액정을 이용하는 경우에는, 열이 아닌 다른 조건으로 분리 공정을 진행한다.
도시된 도 1에서 100은 플렉서블 필름(101) 상에 어레이(110)가 형성된 상태를 나타내며, 플렉서블 필름(101)과 어레이(110)를 통칭하여 이하에서는 플렉서블 디스플레이(100)라 한다.
그런데, 실질적으로 지지 기판(10)은 플렉서블 필름(101) 대비 상대적으로 경도가 높으며, 두께가 두꺼워 어레이 형성 후에는, 플렉서블 디스플레이(100)로부터 배제되어야 할 부분이다.
앞서 설명한 바와 같이, 플렉서블 필름(101)은 어레이 형성 공정에서 변형을 방지하기 위해, 지지 기판(10) 상에 부착한 상태에서 어레이를 형성한 점을 밝힌 바 있다.
이하에서는, 구체적으로 지지 기판(10)으로 플렉서블 디스플레이(100)를 분리(releasing)하는 방법에 대해 설명한다.
이어, 도 2a와 같이, 상기 지지 기판(10)측으로 레이저를 조사하여 도 2b와 같이, 상기 플렉서블 디스플레이(100)과 희생층(50) 사이의 접합 에너지를 약화시킨다.
이 경우, 레이저가 조사되면 투명한 지지 기판(10)을 통해 광이 상기 희생층(50)으로 투과되고, 희생층(50)과 상기 플렉서블 디스플레이(100) 사이의 계면(직접적으로는 희생층(50)과 플렉서블 필름(101)이 접한 계면)에서 희생층 계면의 균일도가 떨어지거나 수소가 발생되어 계면의 접합 에너지가 약화된다.
이 때, 조사하는 레이저의 파장은 320nm 이상 600nm 이하의 파장으로 한다. 이 중 녹색이나 자외선에 해당하는 530~570nm나, 320~360nm의 범위로 이용하는 것이 보다 바람직할 수 있다. 이러한 파장대의 레이저를 조사하기 위해, DPSSFD(Diode Pumped Solid State Frequency-Doubled)와 같은 장비를 이용할 수 있다. 그러나, 레이저 조사가 비단 DPSSFD 장비에 한정되지 않고, 상술한 파장대의 레이저 광을 조사할 수 있다면 다른 장비로도 변경할 수 있을 것이다. 다만, 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법에 있어서는, 상대적으로 레이저 조사만으로 플렉서블 디스플레이를 분리해내는 방법 대비 에너지 세기와 시간을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 디스플레이(100)와 희생층(50) 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계는, 상기 희생층(50)으로부터 상기 플렉서블 필름(101)(혹은 플렉서블 디스플레이(100))이 분리되기 직전까지 이루어진다. 이 때, 상기 레이저의 세기를 450mJ/cm2 이상 690mJ/cm2 미만으로 하여 이루어진다. 보다 바람직하게는 상기 레이저 세기는 620mJ/cm2 이상 660mJ/cm2 이하로 한다.
이와 같이, 레이저 조사하는 단계에서 희생층(50)으로부터 플렉서블 필름(101)을 완전히 분리하지 않는 이유로, 플렉서블 필름(101)이 희생층(50)으로부터 분리할 정도의 레이저 조사시 에너지는 약 700mJ/cm2 이상으로, 이러한 정도의 고 에너지는 플렉서블 필름(101)과 희생층(50)간 분리 뿐만 아니라 조사된 레이저가 플렉서블 디스플레이(100) 내의 어레이(110)에까지 영향을 미쳐 형성된 어레이 중 일부 박막 트랜지스터나 유기 발광 소자가 손상될 수 있는 문제를 일으킬 수 있기 때문이다.
따라서, 상술한 레이저 조사 후에도 상기 플렉서블 필름(101)은 희생층(50)에 약한 접합 에너지로 부착된 상태를 유지하게 된다.
최종적으로 희생층(50)으로부터 플렉서블 필름(101)을 포함한 플렉서블 디스플레이(100)를 분리시키기 위해 본 발명에서는, 도 2c와 같이, 에이징(aging)하여, 도 2d와 같이, 상기 지지 기판(10)으로부터 분리한다.
에이징의 방식은 챔버 내에, 플렉서블 디스플레이(100)가 부착된 지지 기판을 두거나 혹은 챔버 외부에 방치하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상술한 레이저 조사 공정을 거쳐 상기 플렉서블 필름(101)과 상기 희생층(50) 상에 접합 에너지가 약화된 상태에서, 1시간 이상 150시간 미만으로 이루어지는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 에이징 시간을 15 시간 내지 20시간의 범위 내로 이루어지는 것이 공정 수율과 플렉서블 디스플레이의 수명 향상 관점에서 적절할 것이다.
구체적으로, 도면을 참조하여 에이징의 방법을 설명한다.
도 3은 제 1 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면이다.
에이징의 제 1 실시예로, 도 3과 같이, 상기 플렉서블 디스플레이(100)과 상기 희생층(50)간에 접합 에너지가 약화된 상태로 챔버(200) 내에 항온 상태로 두어 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 챔버(200) 내에 선택적으로 공기 또는 질소(N2)를 더 공급하여 에이징이 이루어질 수도 있다.
혹은 상기 플렉서블 디스플레이(100)와 상기 희생층(50) 사이의 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버(200) 내에 일정한 습도를 유지하여 두어 이루어질 수도 있다.
경우에 따라, 챔버(200) 내의 인가되는 온도나 습도는 가변될 수 있다. 어느 경우의 에이징이나, 이러한 에이징을 통해 희생층으로부터 수소 방출을 촉진하여, 플렉서블 디스플레이와의 계면의 접합 에너지가 완전히 0으로 떨어지게 하여, 실질적으로 지지 기판(10)으로부터 상기 플렉서블 디스플레이(100)를 분리시킨다.
분리 후 상기 플렉서블 디스플레이(100) 하부에 남아있는 희생층(50)은 거의 없거나 매우 소량으로 자체적으로 투명한 재료인 것으로, 실질적으로 일부 남아있어도 디스플레이에 크게 영향을 미치지 않는다.
도 4는 제 2 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면이다.
제 2 실시예의 에이징은, 도 4와 같이, 별도의 챔버 없이, 상기 플렉서블 디스플레이(100)와, 상기 희생층(50) 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 대기 중 상온에 방치하여 이루어질 수도 있다.
도 5는 제 3 실시예에 따른 에이징 과정을 나타낸 도면이다.
제 3 실시예의 필름의 에이징은, 도 5와 같이, 상기 플렉서블 디스플레이(100)와 상기 희생층(50) 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버 내에 UV 램프나 일종의 노광 장치(300)를 두어 일정한 휘도를 유지하여 두어 이루어질 수도 있다.
이 경우, 램프 또는 노광 장치(300)로부터 빛이 조사되는 측은 상기 지지 기판(10)측인 것이 바람직하며, 이 때의 조사 에너지 세기는 레이저 조사 세기보다 낮은 레벨로 인가한다.
도 6은 레이저 조사의 에너지 세기를 달리하여 조사 후, 플렉서블 디스플레이 표면을 나타낸 사진이다.
도 6은, 실제 도 2a의 레이저 조사시 에너지 세기를 620mJ/cm2 에서 10mJ/cm2 씩 늘리며(마지막 단계에서는 670mJ/cm2 에서 20mJ/cm2 을 늘려, 690mJ/cm2 으로 실험), 플렉서블 디스플레이의 영역을 각각 구분하여 조사를 수행한 상태를 나타낸 사진이다.
이 경우, 에너지 세기가 점점 늘게 되며, 플렉서블 디스플레이의 라인 결함이 커짐을 관찰할 수 있으며, 특히, 690mJ/cm2 이상의 조건에서 불량으로 판단될 정도의 결함이 관찰됨을 확인할 수 있다.
또한, 본 발명의 발명자는 이하의 표 1의 실험으로, 레이저 조사시 플렉서블 디스플레이의 손상을 받지 않는 수준의 조사 조건을 도출하였다.
표 1에서는 각각 레이저 조사시 동일한 진동수, 빔 사이즈로 하며, 에너지 세기만을 달리하였을 때, 플렉서블 디스플레이와 지지 기판의 분리 정도 및 플렉서블 디스플레이의 손상 정도를 나타낸 것이다.

샘플		 조건 결과
진동수 (KHz) 레이저샷간 오버랩(%) 빔 사이즈(mm2) 에너지
W (mJ/cm2)		 분리 정도 손상
1 20 5 250 x 250 8.2 (650) NG 없음
2 20 5 250 x 250 8.3 (660) NG 없음
3 20 5 250 x 250 8.4 (670) NG 있음
4 20 10, 12, 17 250 x 250 8.6 (690) OK 있음
5 20 20 250 x 250 8.6 (690) OK 있음
표 1과 같이, 위의 진동수 20KHz, 레이저 샷간 오버랩 범위를 5%로 하고, 빔 사이즈를 250 x 250mm2 로 하였을 때, 샘플 1, 2와 같이, 약 8.2W(650mJ/cm2 )와 약 8.3W(660mJ/cm2 ) 수준에서 플렉서블 디스플레이 상의 어레이의 손상없이 플렉서블 디스플레이와 희생층간의 완전한 분리가 이루어지지 않음을 확인하였다. 8.4W(670mJ/cm2 ) 이상의 세기를 가했을 경우에는, 플렉서블 디스플레이가 희생층으로부터 완전히 분리가 어려울 뿐만 아니라 플렉서블 디스플레이의 어레이의 손상이 있음이 보여진다.
샘플 1,2 의 경우, 상술한 레이저 조사 후 별도의 에이징을 거쳐 플렉서블 디스플레이를 희생층으로부터 완전히 분리시킨다.
하지만, 상술한 실험에서 레이저 조사시 에너지 조건은 특정 크기의 패널에서 제시된 것으로, 경우에 따라, 레이저 조사 범위는 가감될 수 있다. 어느 경우나 일차적 레이저 조사시 상기 플렉서블 디스플레이의 어레이에 손상이 미치지 않을 정도의 수준으로 레이저 조사가 이루어지는 것을 조건으로 한다.
이와 같이, 본 발명의 플렉서블 디스플레이의 제조 방법과 같이, 플렉서블 디스플레이를 희생층으로부터 미분리 조건의 레이저 조사 후 별도의 에이징을 거쳐 진행하여, 레이저 조사에서 발생하는 플렉서블 기판 상에 형성된 어레이의 손상을 방지할 수 있어, 레이저 조사의 공정 마진이 늘어날 수 있다.
또한, 레이저 조사의 에너지 세기와 조건을 낮출 수 있어, 플렉서블 기판 상의 어레이에 대한 영향을 줄일 수 있다. 이 경우, 레이저 조사 외에 별도의 에이징 공정의 추가로 인해, 레이저 조사를 DPSSFD와 같이, 파장이 높은 레이저 조사 장비를 통해서도 이용 가능하다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
10: 지지 기판 50: 희생층
100: 플렉서블 디스플레이 200: 챔버
300: 노광 장치

Claims (15)

  1. 지지 기판 상에 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층 상에 플렉서블 필름을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 필름 상에 어레이를 형성하는 단계;
    상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여, 상기 지지 기판으로부터 상기 희생층이 분리되기 직전까지 상기 플렉서블 필름과 희생층 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계; 및
    상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태에서, 1시간 이상 150시간 미만으로 유지시켜 에이징하여, 상기 플렉서블 필름과 상기 희생층간의 접합 에너지를 완전히 0으로 하여 상기 플렉서블 필름을 상기 희생층으로부터 분리하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 기판은 상기 플렉서블 필름보다 경도가 높고 투명한 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 기판 상에 희생층을 형성하는 단계는 상기 지지 기판 상에, 비정질 실리콘을 증착하여 이루어진 것을 특징으로 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 희생층은 400Å 이상 1000Å의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 기판측에 레이저를 조사하는 것은, 레이저의 파장을 320nm 이상 600nm 이하의 파장으로 하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 지지 기판측에 레이저를 조사하는 것은, DPSSFD(Diode Pumped Solid State Frequency-Doubled)에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  7. 삭제
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 지지 기판측에 레이저를 조사하여 상기 플렉서블 필름과 희생층 사이의 접합 에너지를 약화시키는 단계는, 상기 레이저의 세기를 450mJ/cm2 이상 690mJ/cm2 미만으로 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 에이징은,
    상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로 챔버 내에 항온 상태로 두어 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 챔버 내에 공기 또는 질소(N2)를 더 공급하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 에이징은,
    상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 대기 중 상온에 방치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 에이징은,
    상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버 내에 일정한 습도를 유지하여 두어 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 에이징은,
    상기 플렉서블 필름과 상기 희생층 사이에 접합 에너지가 약화된 상태로, 챔버 내에 일정한 휘도를 유지하여 두어 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 어레이를 형성하는 단계는,
    상기 플렉서블 필름 상에 매트릭스 상의 화소 영역을 구분하여, 각 화소 영역에 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터와 접속되는 유기 발광 소자를 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 디스플레이의 제조 방법.
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