TWI505043B - 資料轉換方法、繪圖系統及記錄媒體 - Google Patents
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Description
本發明係關於一種將圖形要素之向量資料轉換為持續長度資料之技術。
習知，藉由對形成於半導體基板或印刷基板、或者電漿顯示裝置或液晶顯示裝置用之玻璃基板等(以下稱為「基板」)之感光材料照射光，而進行圖案之繪圖。近年來，伴隨圖案之高精細化，而利用於感光材料上掃描光束而直接描繪圖案之圖案繪圖裝置。
此種圖案於設計階段中通常藉由電腦輔助設計(CAD，Computer Aided Design)資料等向量資料而表現，於藉由圖案繪圖裝置而進行圖案之繪圖時，進行將該向量資料轉換為圖案繪圖裝置可利用之持續長度資料等之光柵資料的處理(RIP：Raster Image Processing，光柵圖像處理)。
例如，於日本專利特開2006-350013號公報(文獻1)中，提出有將格伯資料(Gerber Data)轉換為光柵資料之圖像處理裝置。於該裝置中，於在格伯資料中目標圖像(配線圖案)係藉由層疊之複數個層圖形之加法或減法而表現之情形時，判定層數是否超過上限，於超過上限之情形時將錯誤種類資訊記憶於記憶體中。於該裝置中，對圖像進行減法之部分成為不進行繪圖之中空區域，而對圖像進行加法之部分成為要進行繪圖之中塗區域。
另一方面，於日本專利第2659584號公報(文獻2)中，揭示有表示中塗區域與中空區域之邊界之閉環數較多之情形時使用的圖形填充方法。於該方法中，首先，利用與掃描線平行地延伸之複數條線段，分別填充所有中塗區域之輪廓(即外周緣)之內側整體。其後，求出各填充線段與所有中空區域之輪廓之交點後，將各填充線段中之存在於中空區域內之部分設為中空，藉此進行圖形之中空。
且說，關於文獻2之方法，若如文獻1般轉變為層圖形之加減法之想法，則相當於如下方法：將表示所有的中塗區域之輪廓之層圖形轉換為中塗持續長度資料，將表示所有的中空區域之輪廓之層圖形轉換為中空持續長度資料，並自中塗持續長度資料減去中空持續長度資料。於此種方法中，需要製作與各層圖形對應之持續長度資料之中間檔案，因此當表示1個圖形要素之層圖形群之層疊數增加時，中間檔案之數量亦增大。
近年來，於描繪於半導體基板等之圖案用之CAD資料中，亦存在層疊有數萬層圖形者。若欲藉由如文獻2之方法將此種CAD資料轉換為光柵資料，則將導致資料轉換所需之時間變得龐大。
本發明係針對將作為圖形要素之向量資料之要素輸入資料轉換為作為持續長度資料之要素輸出資料的資料轉換方法。本發明亦針對在基板上描繪圖案之繪圖系統。本發明還針對記錄將作為圖形要素之向量資料之要素輸入資料轉換為作為持續長度資料之要素輸出資料之程式的記錄媒體。本發明之目的在於使資料轉換所需之時間變短。
本發明之資料轉換方法係具備有以下之步驟：a)要素輸
入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分割區間，並且決定上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述
區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟。藉此，可使資料轉換所需之時間變短。
於本發明之一較佳實施形態中，於上述b4)步驟中，將鄰接於上述區間開始座標之大於上述區間開始座標較大之端部座標，設定當作為上述區間結束座標。
於本發明之另一較佳實施形態中，上述b4)步驟係具備有以下之步驟：d1)將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標之端部座標，設定為暫定區間結束座標；及d2)第1優先度係為將上述暫定區間結束座標設定為端部座標之層圖形的繪圖優先度，而當該第1優先度為第2優先度以上之情形時，將上述暫定區間結束座標設定為上述區間結束座標，而當上述第1優先度低於上述第2優先度之情形時，將上述暫定區間結束座標變更為鄰接於上述暫定區間結束座標且大於上述暫定區間結束座標之端部座標，直至上述第1優先度成為上述第2優先度以上；且當上述區間開始座標為一個層圖形之起點座標之情形時，上述第2優先度係為上述一個層圖形之繪圖優先度，而當上述區間開始座標為一個層圖形之終點座標之情形時，該第2優先度係為於上述單位區域圖形群中自上述區間開始座標擴展至比上述區間開始座標更大之座標範圍之層圖形群的繪圖優先度中之最大之繪圖優先度。
本發明之繪圖系統係具備有：資料轉換裝置，其藉由既
定之資料轉換方法而將要素輸入資料轉換至要素輸出資料；及繪圖裝置，其根據藉由上述資料轉換裝置所生成之上述要素輸出資料，在基板上描繪圖案；且上述資料轉換方法係具備有以下之步驟：a)要素輸入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分割區間，並且決定上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小
之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟。且上述繪圖裝置係具備有：基板保持部，其保持上述基板；光調變元件，其對上述基板照射光線；照射位置移動機構，其將自上述光調變元件所被引導之光線之在上述基板上之照射位置，相對於上述基板以相對之方式移動於在上述基板上之對應於上述第1方向的方向；光調變元件控制部，其根據上述要素輸出資料而加以控制來自上述光調變元件之光線之調變。藉此，可使資料轉換所需之時間變短。
本發明之於記錄媒體中所記錄之上述程式之藉由電腦之執行係使上述電腦執行以下之步驟：a)要素輸入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分割區間，並且決定上述複數個
分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟。藉此，可使資料轉換所需之時間變短。
上述目的及其他目的、特徵、態樣及優點係藉由參照隨附圖式而於以下進行之該發明之詳細說明而闡明。
1‧‧‧繪圖裝置
2‧‧‧保持部移動機構
3‧‧‧基板保持部
4‧‧‧光照射部
6‧‧‧控制部
7‧‧‧資料轉換裝置
9‧‧‧基板
11‧‧‧基台
12‧‧‧框架
23‧‧‧副掃描機構
24‧‧‧底板
25‧‧‧主掃描機構
31‧‧‧平台
32‧‧‧平台旋轉機構
33‧‧‧支撐板
41‧‧‧光學頭
42‧‧‧光源光學系統
43‧‧‧UV光源
44‧‧‧光源驅動部
45‧‧‧出射部
46‧‧‧空間光調變器
47、451‧‧‧光學系統
61‧‧‧光調變元件控制部
71‧‧‧資料接收部
72‧‧‧單位區域設定部
73‧‧‧分割區間設定部
74‧‧‧單位持續長度資料生成部
75‧‧‧持續長度記憶部
76‧‧‧輸出資料生成部
77‧‧‧格式轉換部
78‧‧‧資料輸出部
80‧‧‧配置區域
81、81a‧‧‧圖形要素
82~85‧‧‧層圖形
91‧‧‧主面(上表面)
100‧‧‧繪圖系統
231、251‧‧‧線性馬達
232‧‧‧線性導軌
252‧‧‧空氣滑件
321‧‧‧旋轉軸
461‧‧‧光調變元件
461a‧‧‧可撓帶
461b‧‧‧固定帶
461c‧‧‧基準面
701‧‧‧CPU
702‧‧‧RAM
703‧‧‧ROM
704‧‧‧固定磁碟
705‧‧‧顯示器
706‧‧‧輸入部
707‧‧‧程式
800‧‧‧單位區域
801‧‧‧掃描線
802‧‧‧分割區間
811、813‧‧‧填充區域
812‧‧‧空白區域
L1‧‧‧入射光
L2‧‧‧0次光
L3‧‧‧1次繞射光
S11~S14、S121~S129、S221~S232‧‧‧步驟
X、Y、Z‧‧‧方向
圖1係表示一實施形態之繪圖系統之構成之圖。
圖2係繪圖裝置之側視圖。
圖3係繪圖裝置之俯視圖。
圖4係放大地表示空間光調變器之圖。
圖5A係表示光調變元件之剖面之圖。
圖5B係表示光調變元件之剖面之圖。
圖6係表示資料轉換裝置之構成之圖。
圖7係表示資料轉換之流程之圖。
圖8係表示資料轉換之流程之一部分之圖。
圖9係表示圖形要素之圖。
圖10A係表示層圖形之圖。
圖10B係表示層圖形之圖。
圖10C係表示層圖形之圖。
圖11係表示圖形要素之圖。
圖12係表示資料轉換所需之處理時間之圖。
圖13係表示圖形要素之圖。
圖14係表示層圖形之圖。
圖15A係表示資料轉換之流程之一部分之圖。
圖15B係表示資料轉換之流程之一部分之圖。
圖16係表示圖形要素之圖。
圖1係表示本發明之一實施形態之繪圖系統100之構成
之圖。繪圖系統100係利用光而於液晶顯示裝置用之玻璃基板(以下簡稱為「基板」)上之感光材料描繪圖案的系統。如圖1所示，繪圖系統100具備資料轉換裝置7及繪圖裝置1。資料轉換裝置7將表示圖案之作為向量資料之輸入資料轉換為作為持續長度資料之輸出資料(即，進行光柵化)。繪圖裝置1基於藉由資料轉換裝置7而生成之輸出資料，於基板上描繪圖案。於圖1中，亦一併表示資料轉換裝置7之各功能。於以下，對繪圖裝置1進行說明後，對資料轉換裝置7及於資料轉換裝置7被處理之資料進行說明。
圖2及圖3分別為繪圖裝置1之側視圖及俯視圖。如圖2及圖3所示，繪圖裝置1具備保持部移動機構2、基板保持部3、光照射部4、及框架12。基板保持部3保持於(+Z)側之主面91(以下稱為「上表面91」)上形成有感光材料之層之基板9。保持部移動機構2係設置於基台11上，且使基板保持部3沿垂直於Z方向之X方向及Y方向移動。框架12係以跨及基板保持部3及保持部移動機構2之方式固定於基台11。光照射部4係安裝於框架12，對基板9上之感光材料照射經調變後之光。又，繪圖裝置1係如圖2所示，具備控制保持部移動機構2或光照射部4等各構成之控制部6。
如圖2及圖3所示，基板保持部3具備平台31、平台旋轉機構32、及支撐板33。基板9係載置於平台31上。支撐板33可旋轉地支撐平台31。平台旋轉機構32於支撐板33上，使平台31以垂直於基板9之上表面91之旋轉軸321為中心旋轉。
保持部移動機構2具備副掃描機構23、底板24、及主掃描機構25。副掃描機構23使基板保持部3沿圖2及圖3中之X方向(以下稱為「副掃描方向」)移動。底板24介隔副掃描機構23而支撐
支撐板33。主掃描機構25使基板保持部3與底板24共同沿垂直於X方向之Y方向(以下稱為「主掃描方向」)移動。於繪圖裝置1中，藉由保持部移動機構2，而使基板保持部3沿平行於基板9之上表面91之主掃描方向及副掃描方向移動。
如圖2及圖3所示，副掃描機構23具備線性馬達231及一對線性導軌232。線性馬達231於支撐板33之下側(即(-Z)側)，沿平行於平台31之主面且垂直於主掃描方向之副掃描方向延伸。一對線性導軌232於線性馬達231之(+Y)側及(-Y)側沿副掃描方向延伸。主掃描機構25具備線性馬達251及一對空氣滑件252。線性馬達251於底板24之下側，沿平行於平台31之主面之主掃描方向延伸。一對空氣滑件252於線性馬達251之(+X)側及(-X)側沿主掃描方向延伸。
如圖3所示，光照射部4具備沿副掃描方向而以等間距排列且安裝於框架12之複數個(於本實施形態中為8個)光學頭41。又，光照射部4係如圖2所示，具備連接於各光學頭41之光源光學系統42、出射紫外光之UV(Ultra Violet，紫外線)光源43及光源驅動部44。UV光源43係固體雷射。藉由驅動光源驅動部44，而自UV光源43出射波長為355nm之紫外光，經由光源光學系統42而導引至光學頭41。
各光學頭41具備出射部45、光學系統451、47、及空間光調變器46。出射部45將來自UV光源43之光朝向下方出射。光學系統451反射來自出射部45之光而導引至空間光調變器46。空間光調變器46將經由光學系統451而照射之來自出射部45之光一面調變一面反射。光學系統47將來自空間光調變器46之經調變後之光導引至設置於基板9之上表面91之感光材料上。
圖4係放大地表示空間光調變器46之圖。如圖4所示，空間光調變器46具備繞射光柵型之複數個光調變元件461，其將經由出射部45而照射之來自UV光源43(參照圖2)之光導引至基板9之上表面91。光調變元件461係利用半導體裝置製造技術而製造，成為可變更光柵之深度之繞射光柵。於光調變元件461中交替地平行地排列形成有複數個可撓帶461a及複數個固定帶461b，複數個可撓帶461a係設為可相對於背後之基準面而單獨地進行升降移動，複數個固定帶461b係相對於基準面固定。作為繞射光柵型之光調變元件，例如已知有GLV(Grating Light Valve：光柵光閥)(Silicon Light Machines(桑尼維爾，加利福尼亞)之註冊商標)。
圖5A及圖5B係表現相對於可撓帶461a及固定帶461b垂直之面上的光調變元件461之剖面之圖。如圖5A所示，於可撓帶461a及固定帶461b相對於基準面461c位於相同高度(即可撓帶461a未撓曲)之情形時，光調變元件461之表面成為同一平面，入射光L1之反射光作為0次光L2而被導出。另一方面，如圖5B所示，於可撓帶461a較固定帶461b向基準面461c側撓曲之情形時，可撓帶461a成為繞射光柵之槽之底面，自入射光L1入射之光調變元件461導出1次繞射光L3(進而，高次繞射光)，0次光消失。如此，光調變元件461進行利用繞射光柵之光調變。
於圖2所示之光照射部4中，來自UV光源43之光係藉由光源光學系統42而設為線狀光(光束剖面為線狀之光)，並經由出射部45而照射至空間光調變器46之排列為線狀之複數個可撓帶461a及固定帶461b(參照圖5A及圖5B)上。於光調變元件461中，將鄰接之各1根可撓帶461a及固定帶461b設為1個帶對，而將3個以上之
帶對與繪圖之圖案之1個像素對應。
於光調變元件461中，基於來自連接於各空間光調變器46之光調變元件控制部61之信號，而分別控制與圖案之各像素對應之帶對之可撓帶461a，將與各像素對應之帶對設為可於出射0次光(正反射光)之圖5A所示的狀態、與出射非0次繞射光(主要為1次繞射光((+1)次繞射光及(-1)次繞射光))之圖5B所示的狀態之間轉變。又，光調變元件461係藉由使可撓帶461a撓曲至圖5A所示之狀態與圖5B所示之狀態之間的狀態，而成為出射強度小於圖5A所示之狀態之0次光的狀態。
自光調變元件461出射之0次光係導引至光學系統47，1次繞射光係導引至與光學系統47不同之方向。再者，為了防止成為雜散光，1次繞射光係藉由省略圖示之遮光部而遮光。來自光調變元件461之0次光係經由光學系統47而導引至基板9之上表面91，藉此，對在基板9之上表面91上沿X方向(即副掃描方向)並排之複數個照射位置之各者分別照射經調變後之光。
於圖2及圖3所示之繪圖裝置1中，對藉由保持部移動機構2之主掃描機構25而沿主掃描方向移動之基板9照射來，自光照射部4之光調變元件461之經調變後之光。換言之，主掃描機構25係成為照射位置移動機構，其使自光調變元件461導引至基板9之光於基板9上之照射位置相對於基板9沿主掃描方向而進行相對移動。再者，於繪圖裝置1中，例如亦可不使基板9移動而藉由使光調變元件461沿主掃描方向移動從而使基板9上之照射位置沿主掃描方向移動。於繪圖裝置1中，一面使基板9沿主掃描方向移動，一面藉由圖2所示之控制部6之光調變元件控制部61，基於自資料轉換裝置7輸出
至繪圖裝置1之輸出資料控制來自光調變元件461之光之調變，藉此於基板9上描繪輸入至資料轉換裝置7之輸入資料所示之圖案。
繼而，對資料轉換裝置7進行說明。圖6係表示資料轉換裝置7之構成之圖。資料轉換裝置7與通常之電腦同樣地，成為連接如下構件之構成：中央處理單元(CPU，Central Processing Unit)701，其進行各種運算處理；隨機存取記憶體(RAM，Random Access Memory)702，其記憶要執行之程式及成為運算處理之作業區域；唯讀記憶體(ROM，Read Only Memory)703，其記憶基本程式；固定磁碟704，其記憶各種資訊；顯示器705，其對作業者顯示各種資訊；及鍵盤或滑鼠等之輸入部706等。於固定磁碟704內，記憶藉由資料轉換裝置7而執行之程式707。程式707係將表示描繪於基板上之預定的圖案的作為向量資料之輸入資料轉換為作為持續長度資料之輸出資料(即進行光柵化)的程式。
於圖1中，以方塊表示藉由使資料轉換裝置7之CPU701(參照圖6)等依照程式707進行運算處理等(即，藉由利用資料轉換裝置7而執行程式707)而實現之功能，圖1中之資料接收部71、單位區域設定部72、分割區間設定部73、單位持續長度資料生成部74、持續長度記憶部75、輸出資料生成部76、格式轉換部77、及資料輸出部78相當於藉由CPU701等而實現之功能。再者，該等功能亦可藉由複數台電腦而實現。
繼而，對藉由資料轉換裝置7而進行之自輸入資料向輸出資料之資料轉換進行說明。圖7及圖8係表示藉由資料轉換裝置7而進行之資料轉換之流程之圖。於資料轉換裝置7中，首先，藉由圖1所示之資料接收部71而接收作為向量資料之輸入資料。
圖9係表示藉由輸入資料而表示之圖案之一部分之圖。於輸入資料中，將要描繪於既定之配置區域80之圖案作為複數個圖形要素而掌握，而且複數個圖形要素之各者分別係作為表示各圖形要素之形狀或基板9上之位置等之向量資料之集合的資料要素而表現。於圖9中，表示該圖案中包含之1個圖形要素81。於實際之資料轉換裝置7中，下述處理係對與輸入資料中包含之複數個圖形要素對應之資料要素而進行，但於以下之說明中，為易於理解，而以圖形要素本身作為處理之操作對象進行說明。再者，實際之輸入資料係通常包含表示多種且多樣之形狀之多個圖形要素的資料要素。
以下，針對1個圖形要素81，對將與該圖形要素81對應之作為向量資料之要素輸入資料轉換為作為持續長度資料之要素輸出資料時的資料轉換方法之流程進行說明。實際上，於資料轉換裝置7中，對複數個圖形要素進行相同之資料轉換，將包含複數個圖形要素之向量資料之輸入資料轉換為包含複數個圖形要素之持續長度資料之輸出資料。
圖9所示之圖形要素81之外形為長方形。圖形要素81具有內側填滿之填充區域811、813、內側未填滿而設為空白之空白區域812。於圖形要素81中，矩形框狀之空白區域812包圍長方形之填充區域813之周圍，且矩形框狀之填充區域811包圍空白區域812之周圍。於繪圖裝置1中，在基板9上之與填充區域811、813對應之區域進行繪圖，在基板9上之與空白區域812對應之區域不進行繪圖。於圖9中，對填充區域811、813標註平行斜線(於圖11、圖13及圖16中亦相同)。
於圖形要素81之要素輸入資料中，圖形要素81係藉由
層疊圖10A至圖10C所示之3個層圖形82~84而表現。於以下之說明中，於區分層圖形82~84之情形時，將層圖形82~84分別稱為「第1層圖形82」、「第2層圖形83」及「第3層圖形84」。
圖10A所示之第1層圖形82為長方形。第1層圖形82之輪廓與圖9所示之圖形要素81之矩形框狀之填充區域811之輪廓(即外周緣)一致。第1層圖形82之表示填充或空白之「填充/空白屬性」為「填充」。於圖10A中，對第1層圖形82標註平行斜線而表示第1層圖形82之填充/空白屬性為「填充」。於以下之同樣之圖式(圖10B、圖10C及圖14)中，亦對填充屬性之層圖形標註平行斜線，而對空白屬性之層圖形不標註平行斜線。
圖10B所示之第2層圖形83係小於第1層圖形82之長方形。第2層圖形83之輪廓與圖9所示之圖形要素81之矩形框狀之空白區域812之輪廓(即外周緣)一致。第2層圖形83之填充/空白屬性為「空白」。圖10C所示之第3層圖形84係小於第2層圖形83之長方形。第3層圖形84之輪廓與圖9所示之圖形要素81之長方形之填充區域813之輪廓一致。
於要素輸入資料中，藉由層疊分別具有填充/空白屬性之複數個層圖形82~84，而表現具有填充區域811、813及空白區域812之圖形要素81。具體而言，於第1層圖形82上層疊第2層圖形83，且於第2層圖形83上層疊第3層圖形84。於要素輸入資料中，層疊於上側之層圖形(即，與於要素輸入資料內，後面所記載之資料要素對應之層圖形)之填充/空白屬性係優先應用於配置該層圖形之區域。因此，第1層圖形82中之與第2層圖形83重疊之區域成為空白屬性，其以外之區域成為填充屬性。又，第2層圖形83中之與第3層圖形84重
疊之區域成為填充屬性，其以外之區域成為空白屬性。
於圖9中，自圖中之上側朝向下側之方向(以下稱為「第1方向」)與圖2及圖3所示之繪圖裝置1中之自(+Y)側朝向(-Y)側之主掃描方向對應，自圖中之左側朝向右側之方向(即垂直於第1方向之方向，以下稱為「第2方向」)與繪圖裝置1中之自(+X)側朝向(-X)側之副掃描方向對應。於圖9之左側，圖表示有表示第1方向上之位置之座標值(於圖10A至圖10C、圖11、圖13、圖14及圖16中亦相同)。
當接收輸入資料時，藉由單位區域設定部72(參照圖1)，基於輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線801每隔既定寬度而分割圖9所示之配置圖形要素81之配置區域80。藉此，設定沿第2方向排列之該既定寬度之複數個區域800(步驟S11)。直線801係平行於繪圖裝置1中之主掃描方向之直線，以下稱為「掃描線801」。上述之既定寬度係基於繪圖裝置1中之繪圖之解析度而決定之寬度，以下稱為「單位寬度」。又，以下將區域800稱為「單位區域800」。
於本實施形態中，圖形要素81係自左側起第1個(以下簡稱為「第1個」)之單位區域800跨至第7個單位區域800而配置。又，如圖10A至圖10C所示，第1層圖形82係自第1個單位區域800跨至第7個單位區域800而配置。第2層圖形83係自第2個單位區域800跨至第6個單位區域800而配置，第3層圖形84係自第3個單位區域800跨至第5個單位區域800而配置。
當設定複數個單位區域800時，藉由分割區間設定部73，而針對各單位區域800抽出複數個層圖形82~84中之作為與各單位區域800重疊之層圖形之集合的單位區域圖形群。然後，利用單位區域圖形群之各層圖形之各單位區域800中之起點座標或終點座標，
將各單位區域800分割為沿第1方向排列之複數個分割區間，並決定複數個分割區間各者分別之填充/空白屬性(步驟S12)。
關於單位區域800之分割及填充/空白屬性之決定之詳細情況，以左側起第3個單位區域800為例進行說明。首先，作為與該單位區域800重疊之單位區域圖形群，抽出第1層圖形82、第2層圖形83及第3層圖形84(圖8：步驟S121)。繼而，針對單位區域圖形群之各層圖形，基於圖形要素81之要素輸入資料而取得單位區域圖形繪圖資料，單位區域圖形群之所有層圖形之單位區域圖形繪圖資料之集合係作為單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而取得(步驟S122)。
單位區域圖形繪圖資料係表示與單位區域800重疊之層圖形之起點座標、終點座標、填充/空白屬性、及該單位區域800中之層圖形之繪圖優先度的資料。起點座標及終點座標表示單位區域800內之層圖形之起點及終點在第1方向上之座標值。所謂層圖形之起點，係於圖10A至圖10C所示之單位區域800中層圖形所存在之範圍之上端，所謂層圖形之終點，係於單位區域800中層圖形所存在之範圍之下端。換言之，層圖形之起點及終點係於單位區域800中層圖形所存在之範圍中的在第1方向上之座標值成為最小及最大之位置。因此，終點座標大於起點座標。第1層圖形82之起點座標及終點座標為(0，100)。第2層圖形83之起點座標及終點座標為(20，80)。第3層圖形84之起點座標及終點座標為(40，60)。
層圖形之填充/空白屬性係各層圖形固有之屬性，繪圖優先度係根據要素輸入資料中之層圖形之資料要素之記載順序而決定。與要素輸入資料內之記載順序較後之資料要素對應的層圖形的繪圖優
先度較高。於本實施形態中，層圖形之填充/空白屬性及繪圖優先度係以1個正整數(以下稱為「屬性值」)表示。若屬性值為奇數則填充/空白屬性為「填充」，若為偶數則為「空白」。又，屬性值越大則繪圖優先度越高。
於要素輸入資料之最先記載之層圖形具有填充屬性之情形時，將該層圖形之屬性值設為「1」，於具有空白屬性之情形時設為「2」。然後，於要素輸入資料中之下一所記載之層圖形之填充/空白屬性不同的情形時，賦予比上一層圖形之屬性值大1之值作為下一層圖形之屬性值，於填充/空白屬性相等之情形時，賦予與上一層圖形之屬性值相等之值。於與第3個單位區域800重疊之單位區域圖形群中，第1層圖形82之屬性值為「1」，第2層圖形83之屬性值為「2」，第3層圖形84之屬性值為「3」。
於藉由步驟S122而取得之單位區域圖形繪圖資料群中，第1層圖形82之單位區域圖形繪圖資料為「(0，100)，1」，第2層圖形83之單位區域圖形繪圖資料為「(20，80)，2」，第3層圖形84之單位區域圖形繪圖資料為「(40，60)，3」。
當取得單位區域圖形繪圖資料群時，將各層圖形之單位區域圖形繪圖資料以起點座標之升序進行排序(步驟S123)。繼而，各層圖形之起點座標中之最小之起點座標係設定作為自圖9中之上側起第1個分割區間之區間開始座標(步驟S124)。於本實施形態中，單位區域圖形繪圖資料係以第1層圖形82、第2層圖形83、第3層圖形84之順序排列，第1層圖形82之起點座標之「0」係被設定作為區間開始座標。
繼而，鄰接於區間開始座標、並且大於區間開始座標之
起點座標或終點座標(以下，將起點座標及終點座標總稱為「端部座標」)係被設定作為區間結束座標(步驟S125)。於該情形時，第2層圖形83之起點座標之「20」係被設定作為區間結束座標。如上所述，藉由進行單位區域圖形繪圖資料之排序，可使區間開始座標及區間結束座標之設定容易。
然後，如圖11所示，第3個單位區域800中之區間開始座標「0」與區間結束座標「20」之間之範圍「0~20」係設定作為第1個分割區間802(步驟S126)。於圖11中，以粗直線包圍分割區間802(圖16中亦相同)。
當設定分割區間802時，抽出分割區間802中包含之層圖形群，將該層圖形群中之繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性決定作為該分割區間802之填充/空白屬性(步驟S127)。具體而言，藉由步驟S127而抽出之層圖形群係暫時地記憶為含有分割區間之圖形群，並將含有分割區間之圖形群中包含之層圖形之屬性值之最大值作為分割區間802之屬性值而取得。於該屬性值為奇數之情形時，分割區間802係設為填充屬性，於為偶數之情形係設為空白屬性。於第1個分割區間802中，含有分割區間之圖形群僅含有第1層圖形82，因此分割區間802之屬性值成為「1」，分割區間802成為填充屬性。
當決定分割區間802之填充/空白屬性時，確認有無大於區間結束座標之端部座標。於存在大於區間結束座標之端部座標之情形時，則於單位區域800內存在分割區間802未設定之區域，因此判斷為分割區間802之設定未結束(步驟S128)。
於分割區間802之設定未結束之情形時，已設定之分割區間802之區間結束座標(於存在複數個已設定之分割區間802之情形
時為最大之區間結束座標)係設定作為下一分割區間802之區間開始座標(步驟S129)。然後，返回步驟S125，進行區間結束座標之決定、分割區間802之設定、及分割區間802之填充/空白屬性之決定(步驟S125~S127)。
第2個分割區間802之區間開始座標及區間結束座標成為「20」及「40」，於含有分割區間之圖形群中含有第1層圖形82及第2層圖形83。含有分割區間之圖形群之抽出例如係藉由如下方式進行：將單位區域圖形群中之未包含於含有分割區間之圖形群中之層圖形、且起點座標小於區間結束座標的層圖形包含於含有分割區間之圖形群中，進而，將含有分割區間之圖形群中包含之層圖形中的終點座標為區間開始座標以下的層圖形自含有分割區間之圖形群中刪除。第2個分割區間802之屬性值成為與第2層圖形83之屬性值相等之「2」，該分割區間802之填充/空白屬性係決定為「空白」。
第3個分割區間802之區間開始座標及區間結束座標成為「40」及「60」，於含有分割區間之圖形群中，含有第1層圖形82、第2層圖形83及第3層圖形84。第3個分割區間802之屬性值成為與第3層圖形84之屬性值相等之「3」，該分割區間802之填充/空白屬性係決定為「填充」。
於分割區間設定部73(參照圖1)中，反覆進行步驟S125~S129直至於單位區域800之整個區域分割區間802被設定為止。藉此，將單位區域800分割為複數個分割區間802。如圖11所示，左側起第3個單位區域800係分割為5個分割區間802。雖省略圖示，左側起第4個及第5個單位區域800亦分別與第3個單位區域800同樣地分割為5個分割區間。又，第2個及第6個單位區域800係分別分割
為3個分割區間，第1個及第7個單位區域800分別為該單位區域800整體成為1個分割區間802。
當步驟S12結束時，藉由單位持續長度資料生成部74，而基於藉由步驟S12決定之各單位區域800之複數個分割區間802各者分別之填充/空白屬性，生成表示各單位區域800之持續長度之單位持續長度資料並記憶於持續長度記憶部75中(步驟S13)。
然後，藉由輸出資料生成部76，將該等單位持續長度資料與對應之表示單位區域800之位置之資料建立關聯，藉此取得作為將要素輸入資料所示之圖形要素81表示為朝向第1方向之持續長度之集合之持續長度資料的要素輸出資料(步驟S14)。要素輸出資料係作為複數個單位區域800各者分別之單位持續長度資料之集合的持續長度資料。
於資料轉換裝置7中，針對藉由資料接收部71而接收之輸入資料中包含之所有圖形要素，與上述同樣地，進行自要素輸入資料(向量資料)向要素輸出資料(持續長度資料)之轉換，從而生成作為所有圖形要素之要素輸出資料之集合的輸出資料。然後，該輸出資料係藉由格式轉換部77而格式轉換為適合於繪圖裝置1中之處理的格式後，藉由資料輸出部78而輸出至繪圖裝置1。於繪圖裝置1中，基於格式轉換後之資料，自圖2所示之控制部6之光調變元件控制部61向各空間光調變器46傳送信號，並且藉由主掃描機構25而使基板9沿主掃描方向(即，基板9上之與上述第1方向對應之方向)移動，藉此將輸入至資料轉換裝置7之輸入資料所示之圖案描繪於基板9上之感光材料。
如以上說明般，於資料轉換裝置7中，藉由上述步驟S11
~S14之資料轉換方法而轉換作為層疊之複數個層圖形而表現之圖形要素81之向量資料的要素輸入資料，藉此無需將該複數個層圖形之向量資料分別轉換為持續長度資料而可取得要素輸出資料。藉此，與藉由將要素輸入資料中包含之各層圖形之向量資料轉換為持續長度資料，並合成該等持續長度資料而生成要素輸出資料的方法(以下稱為「比較例之轉換方法」)相比，可使自要素輸入資料向要素輸出資料之資料轉換所需之時間變短。
又，於步驟S12之分割區間802之設定中，於步驟S125中，鄰接於區間開始座標並且大於區間開始座標之端部座標係設定作為區間結束座標。如此，藉由簡化區間結束座標之設定方法，而可使分割區間802之設定變得容易。
圖12係對藉由本實施形態之轉換方法而將輸入資料轉換為輸出資料之情形時的處理時間、與藉由上述比較例之轉換方法而將輸入資料轉換為輸出資料之情形時的處理時間進行比較之圖。於圖12中，表示9種輸入資料之處理時間。於該等輸入資料中，圖形要素之數量或形狀、層圖形之層疊數等不同。圖12之橫軸表示9種輸入資料。圖12之左側之縱軸表示處理時間，右側之縱軸表示各輸入資料(各實例)之層圖形之層疊數(層數)。各實例之條形圖中之左側之空白條形圖表示藉由比較例之轉換方法之處理時間，右側之塗黑條形圖表示藉由本實施形態之上述轉換方法之處理時間。根據圖12，不論層數之大小，藉由本實施形態之轉換方法之處理時間短於比較例之處理時間。又，隨著層數變大，自比較例之轉換方法變更為本實施形態之轉換方法之情形時的處理時間之縮短率變大。
繼而，對分割區間802之另一較佳之設定方法進行說
明。圖13係表示藉由輸入資料而表示之圖案之一部分的圖。於圖13中，表示該圖案中包含之1個圖形要素81a。圖形要素81a之外形為長方形。圖形要素81a具有大致矩形框狀之填充區域811、正方形之2個填充區域813、及於填充區域811之內側包圍2個填充區域813之周圍之空白區域812。空白區域812係大致矩形框狀之2個區域在第2方向(即圖13中之左右方向)上連續之形狀。空白區域812之第2方向之中央部在第1方向上向外方向(即向上下)突出。
於圖形要素81a之要素輸入資料中，圖形要素81a係藉由將圖10A至圖10C所示之第1層圖形82、第2層圖形83及第3層圖形84、以及圖14所示之第4層圖形85依序自下側起層疊而表現。第4層圖形85係沿第1方向延伸之長方形，填充/空白屬性為「空白」。於圖14中，以二點鏈線表示第2層圖形83及第3層圖形84。第4層圖形85於第1方向上橫跨第2層圖形83及第3層圖形84。換言之，第4層圖形85係跨及第2層圖形83之輪廓及第3層圖形84之輪廓而配置於該輪廓之兩側。又，第4層圖形85僅配置於左側起第4個單位區域800。第4層圖形85係層疊於第1層圖形82、第2層圖形83及第3層圖形84上。因此，第4層圖形85所存在之區域均成為空白屬性。
於資料轉換裝置7中，對於圖形要素81a，與上述步驟S12同樣地，藉由分割區間設定部73，針對各單位區域800在複數個層圖形82~85中，抽出作為與各單位區域800重疊之層圖形之集合的單位區域圖形群。然後，利用單位區域圖形群之各層圖形之各單位區域中的端部座標(即起點座標或終點座標)，將各單位區域800分割為沿第1方向排列之複數個分割區間，並決定複數個分割區間各者分別之
填充/空白屬性。
但，單位區域800之分割及填充/空白屬性之決定之詳細情況與圖8所示之步驟S121~S129不同。於資料轉換裝置7中，進行圖15A及圖15B所示之步驟S221~S232。以下，以左側起第4個單位區域800為例進行說明。首先，作為與該單位區域800重疊之單位區域圖形群，抽出第1層圖形82、第2層圖形83、第3層圖形84及第4層圖形85(步驟S221)。
繼而，針對單位區域圖形群之各層圖形，基於圖形要素81a之要素輸入資料取得單位區域圖形繪圖資料，而將單位區域圖形群之所有層圖形之單位區域圖形繪圖資料之集合作為單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而取得(步驟S222)。單位區域圖形繪圖資料如上所述，係表示層圖形之起點座標、終點座標、填充/空白屬性、及該單位區域800中之層圖形之繪圖優先度的資料。
第1層圖形82、第2層圖形83及第3層圖形84之單位區域圖形繪圖資料如上所述，為「(0，100)，1」、「(20，80)，2」及「(40，60)，3」。第4層圖形85之起點座標及終點座標為(10，90)，第4層圖形85之屬性值為「4」。因此，第4層圖形85之單位區域圖形繪圖資料為「(10，90)，4」。
當取得單位區域圖形繪圖資料群時，將各層圖形之單位區域圖形繪圖資料以起點座標之升序進行排序(步驟S223)。繼而，各層圖形之起點座標中之最小之起點座標係設定作為自圖13中之上側起第1個分割區間之區間開始座標(步驟S224)。於本實施形態中，單位區域圖形繪圖資料係以第1層圖形82、第4層圖形85、第2層圖形83、第3層圖形84之順序排列，第1層圖形82之起點座標之「0」係設定
作為區間開始座標。
當設定區間開始座標時，鄰接於區間開始座標並且大於區間開始座標之端部座標係設定作為暫定之區間結束座標(以下稱為「暫定區間結束座標」)(步驟S225)。於該情形時，第4層圖形83之起點座標之「10」係設定作為暫定區間結束座標。如上所述，藉由進行單位區域圖形繪圖資料之排序，而可使區間開始座標及暫定區間結束座標之設定變得容易。
繼而，取得表示以暫定區間結束座標為端部座標之層圖形之填充/空白屬性及繪圖優先度的屬性值，設定作為暫定區間結束座標之第1優先度。又，亦設定區間開始座標之第2優先度。於區間開始座標為一層圖形之起點座標之情形時，取得表示該一層圖形之填充/空白屬性及繪圖優先度之屬性值，設定作為區間開始座標之第2優先度。另一方面，於區間開始座標為一層圖形之終點座標之情形時，自單位區域圖形群選擇作為自該區間開始座標起擴展至大於區間開始座標之座標範圍(即，圖13中較該區間開始座標更下側之範圍)之單個或複數個層圖形的層圖形群。然後，將該層圖形群中包含之層圖形之屬性值中之最大之屬性值設定作為區間開始座標之第2優先度。
於左側起第4個單位區域800中，以暫定區間結束座標「10」為端部座標之第4層圖形85之屬性值「4」係設定作為暫定區間結束座標之第1優先度。又，以區間開始座標「0」為起點座標之第1層圖形82之屬性值「1」係設定作為區間開始座標之第2優先度。
當設定第1優先度及第2優先度時，對第1優先度與第2優先度進行比較(步驟S226)。由於第1優先度「4」為第2優先度「1」以上，因此暫定區間結束座標「10」係設定作為區間結束座標(步驟
S228)。然後，如圖16所示，第4個單位區域800中之區間開始座標「0」與區間結束座標「10」之間之範圍「0~10」係設定作為第1個分割區間802(步驟S229)。
當設定分割區間802時，抽出分割區間802中包含之層圖形群，該層圖形群中之繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性係決定作為該分割區間802之填充/空白屬性(步驟S230)。具體而言，藉由步驟S230而抽出之層圖形群係作為含有分割區間之圖形群而暫時地被記憶，含有分割區間之圖形群中包含之層圖形之屬性值之最大值係作為分割區間802之屬性值而取得。於該屬性值為奇數之情形時，分割區間802係設為填充屬性，於為偶數之情形時係設為空白屬性。於第1個分割區間802中，含有分割區間之圖形群僅含有第1層圖形82，因此該分割區間802之屬性值成為「1」，填充/空白屬性係決定為「填充」。
當決定分割區間802之填充/空白屬性時，確認有無大於區間結束座標之端部座標。於存在大於區間結束座標之端部座標之情形時，則於單位區域800內存在分割區間802未設定之區域，因此判斷分割區間802之設定為未結束(步驟S231)。
於分割區間802之設定未結束之情形時，已設定之分割區間802之區間結束座標(於存在複數個已設定之分割區間802之情形時為最大之區間結束座標)「10」係設定作為下一分割區間802之區間開始座標(步驟S232)。然後，返回步驟S225，鄰接於區間開始座標並且大於區間開始座標之端部座標、即第2層圖形83之起點座標「20」係設定作為暫定區間結束座標(步驟S225)。
繼而，取得以暫定區間結束座標「20」為端部座標之層
圖形即第2層圖形83之屬性值「2」，設定作為暫定區間結束座標之第1優先度。又，以區間開始座標「10」為起點座標之第4層圖形85之屬性值「4」係設定作為區間開始座標之第2優先度。繼而，對第1優先度與第2優先度進行比較(步驟S226)。
由於第1優先度「2」小於第2優先度「4」，即第1優先度低於第2優先度，因此變更暫定區間結束座標，設定下一暫定區間結束座標。下一暫定區間結束座標係設為鄰接於變更前之暫定區間結束座標「20」、並且大於變更前之暫定區間結束座標「20」的端部座標。暫定區間結束座標自第2層圖形83之起點座標「20」變更為第3層圖形84之起點座標「40」(步驟S227)。
當變更暫定區間結束座標時，返回步驟S226，設定第3層圖形84之屬性值「3」作為暫定區間結束座標之第1優先度，與區間開始座標之第2優先度「4」進行比較(步驟S226)。由於第1優先度「3」小於第2優先度「4」，即第1優先度低於第2優先度，因此暫定區間結束座標係變更為下一暫定區間結束座標即第3層圖形84之終點座標「60」(步驟S227)，返回步驟S226。
於資料轉換裝置7中，反覆進行將暫定區間結束座標變更為下一暫定區間結束座標並返回步驟S226之步驟，直至第1優先度成為第2優先度以上。於圖16所示之例中，反覆進行步驟S227、S226直至暫定區間結束座標係設定為第4層圖形85之終點座標「90」，第1優先度成為與第2優先度相等之「4」為止，從而暫定區間結束座標「90」係設定作為區間結束座標(步驟S228)。
區間開始座標「10」與區間結束座標「90」之間之範圍「10~90」係設定作為第2個分割區間802(步驟S229)。於第2個分割
區間802之含有分割區間之圖形群中含有第1層圖形82、第2層圖形83、第3層圖形84及第4層圖形85。第2個分割區間802之屬性值係設定為繪圖優先度最高之第4層圖形85之屬性值「4」。第2個分割區間802之填充/空白屬性係決定為「空白」(步驟S230)。
繼而，已設定之分割區間802之區間結束座標「90」係設定作為下一個分割區間802之區間開始座標(步驟S231、S232)。繼而，返回步驟S225，鄰接於區間開始座標並且大於區間開始座標之端部座標即第1層圖形82之終點座標「100」係設定作為暫定區間結束座標(步驟S225)。然後，以暫定區間結束座標為端部座標之第1層圖形82之屬性值「1」係設定作為暫定區間結束座標之第1優先度。又，作為自區間開始座標「90」擴展至大於區間開始座標之座標範圍的層圖形群，選擇第1層圖形82，該層圖形群中包含之層圖形之屬性值中之最大之屬性值(於該情形時為第1層圖形82之屬性值即「1」)係設定作為區間開始座標之第2優先度。
由於第1優先度「1」為第2優先度「1」以上，因此暫定區間結束座標「100」係設定作為區間結束座標(步驟S226、S228)，區間開始座標「90」與區間結束座標「100」之間之範圍「90~100」係設定作為第3個分割區間802(步驟S229)。其後，分割區間802中包含之層圖形群中之繪圖優先度最高之第1層圖形82之填充/空白屬性即「填充」係決定作為該分割區間802之填充/空白屬性(步驟S230)。然後，對於左側起第4個單位區域800之分割區間802之設定、及各分割區間802之填充/空白屬性之決定結束(步驟S231)。
如此，於分割區間設定部73(參照圖1)中，反覆進行步驟S225~S232直至於單位區域800之整個區域分割區間802被設定為
止，從而單位區域800係分割為複數個分割區間802。如圖16所示，左側起第4個單位區域800係分割為3個分割區間802。雖省略圖示，另外6個單位區域800係與進行上述步驟S121~S129之情形同樣地進行分割。
當上述步驟S221~S232(步驟S12)結束時，如上所述，藉由單位持續長度資料生成部74，基於藉由步驟S221~S232而決定之各單位區域800之複數個分割區間802各者分別之填充/空白屬性，生成表示各單位區域800之持續長度之單位持續長度資料並記憶於持續長度記憶部75中(步驟S13)。然後，藉由輸出資料生成部76，而取得作為複數個單位區域800各者分別之單位持續長度資料之集合的要素輸出資料(步驟S14)。
如以上說明般，於資料轉換裝置7中，藉由於圖7所示之步驟S12中進行上述步驟S221~S229，而於繪圖優先度較高之層圖形(第4層圖形85)在第1方向上橫跨繪圖優先度較低之層圖形(第2層圖形83及第3層圖形84)的單位區域800中，可使分割區間802之個數變少。其結果為，可使自要素輸入資料向要素輸出資料之資料轉換所需之時間進一步變短。
上述繪圖系統100可進行各種變更。
例如，單位區域圖形繪圖資料中之填充/空白屬性及繪圖優先度係藉由作為正整數之屬性值而表示，但亦可藉由其他各種方法表示。又，亦可分別藉由其他之係數等而表示填充/空白屬性與繪圖優先度。
於資料轉換裝置7中，對於輸入資料中包含之所有圖形要素，既可於上述步驟S12中，執行步驟S121~S129所示之步驟、及
步驟S221~S232所示之步驟中任一者，亦可配合成為對象之圖形要素而選擇性地執行任一者。
步驟S12中之分割區間802之區間結束座標之設定未必必須藉由步驟S125所示之步驟、或步驟S225~S228所示之步驟進行。於資料轉換裝置7中，亦可於設定區間開始座標後，將自區間開始座標連續並且繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性相同之範圍內存在的任一端部座標設定作為區間結束座標。例如，於圖16所示之圖形要素81a之左側起第4個單位區域800中，設定第2層圖形83之起點座標「20」、第3層圖形84之起點座標「40」、第3層圖形84之終點座標「60」、第2層圖形83之終點座標「80」、及第4層圖形85之終點座標「90」中之任一端部座標作為第2個分割區間802之區間結束座標即可。於該情形時，亦與上述同樣地，可使自要素輸入資料向要素輸出資料之資料轉換所需之時間變短。
於上述實施形態之資料轉換裝置7中，輸入資料中包含之圖形要素亦可為包含複數個子圖形要素之子圖形要素群。又，輸入資料亦可設為一個圖形要素參照另一圖形要素之階層構造。
於繪圖系統100中，亦可於資料轉換裝置7中不對輸出資料進行格式轉換而輸出至繪圖裝置1，並於繪圖裝置1中進行格式轉換。
藉由資料轉換裝置7而轉換為輸出資料之輸入資料未必限定於表示繪圖於液晶顯示裝置用之玻璃基板上之圖案的資料，例如，既可為表示繪圖於電漿顯示裝置等其他平板顯示裝置或光罩用玻璃基板上之圖案的資料，亦可為大型積體電路(LSI，Large Scale Integration)用之圖案資料。又，亦可藉由資料轉換裝置而將利用於其他
各種目的之輸入資料轉換為輸出資料。
繪圖裝置1並不限定於具備上述構造者，只要為基於作為持續長度資料之輸出資料而進行繪圖之裝置即可。例如，繪圖裝置1之光照射部4亦可具備包含GLV以外之其他光調變元件之空間光調變器。
上述實施形態及各變形例中之構成只要不相互矛盾亦可進行適當組合。
對發明詳細地進行了描寫及說明，但上述說明僅為例示性者而並非限定性者。因此，只要不脫離本發明之範圍，則可存在多種變形或態樣。
1‧‧‧繪圖裝置
7‧‧‧資料轉換裝置
71‧‧‧資料接收部
72‧‧‧單位區域設定部
73‧‧‧分割區間設定部
74‧‧‧單位持續長度資料生成部
75‧‧‧持續長度記憶部
76‧‧‧輸出資料生成部
77‧‧‧格式轉換部
78‧‧‧資料輸出部
100‧‧‧繪圖系統
Claims (9)
- 一種資料轉換方法，其將成為圖形要素的向量資料之要素輸入資料轉換至成為持續長度資料之要素輸出資料，且具備有以下之步驟：a)要素輸入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分割區間，並且決定上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群 之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟。
- 如申請專利範圍第1項之資料轉換方法，其中，於上述b4)步驟中，將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標較大之端部座標，設定當作為上述區間結束座標。
- 如申請專利範圍第1項之資料轉換方法，其中，上述b4)步驟係具備有以下之步驟：d1)將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標之端部座標，設定為暫定區間結束座標；及d2)第1優先度係為將上述暫定區間結束座標設定為端部座標之層圖形的繪圖優先度，而當該第1優先度為第2優先度以上之情形時，將上述暫定區間結束座標設定為上述區間結束座標，而當上述第1 優先度低於上述第2優先度之情形時，將上述暫定區間結束座標變更為鄰接於上述暫定區間結束座標且大於上述暫定區間結束座標之端部座標，直至上述第1優先度成為上述第2優先度以上；且當上述區間開始座標為一個層圖形之起點座標之情形時，上述第2優先度係為上述一個層圖形之繪圖優先度，而當上述區間開始座標為一個層圖形之終點座標之情形時，該第2優先度係為於上述單位區域圖形群中自上述區間開始座標擴展至比上述區間開始座標更大之座標範圍之層圖形群的繪圖優先度中之最大之繪圖優先度。
- 一種繪圖系統，其為在基板上描繪圖案者，其具備有：資料轉換裝置，其藉由既定之資料轉換方法而將要素輸入資料轉換至要素輸出資料；及繪圖裝置，其根據藉由上述資料轉換裝置所生成之上述要素輸出資料，在基板上描繪圖案；且上述資料轉換方法係具備有以下之步驟：a)要素輸入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分 割區間，並且決定上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之 區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟；且上述繪圖裝置係具備有：基板保持部，其保持上述基板；光調變元件，其對上述基板照射光線；照射位置移動機構，其將自上述光調變元件所被引導之光線之在上述基板上之照射位置，相對於上述基板以相對之方式移動於在上述基板上之對應於上述第1方向的方向；及光調變元件控制部，其根據上述要素輸出資料而加以控制來自上述光調變元件之光線之調變。
- 如申請專利範圍第4項之繪圖系統，其中，於上述b4)步驟中，將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標較大之端部座標，設定當作為上述區間結束座標。
- 如申請專利範圍第4項之繪圖系統，其中，上述b4)步驟係具備有以下之步驟：d1)將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標之端部座標，設定為暫定區間結束座標；及d2)第1優先度係為將上述暫定區間結束座標設定為端部座標之層圖形的繪圖優先度，而當該第1優先度為第2優先度以上之情形時，將上述暫定區間結束座標設定為上述區間結束座標，而當上述第1優先度低於上述第2優先度之情形時，將上述暫定區間結束座標變更為鄰接於上述暫定區間結束座標且大於上述暫定區間結束座標之端部座標，直至上述第1優先度成為上述第2優先度以上；且當上述區間開始座標為一個層圖形之起點座標之情形時，上述第2 優先度係為上述一個層圖形之繪圖優先度，而當上述區間開始座標為一個層圖形之終點座標之情形時，該第2優先度係為於上述單位區域圖形群中自上述區間開始座標擴展至比上述區間開始座標更大之座標範圍之層圖形群的繪圖優先度中之最大之繪圖優先度。
- 一種記錄媒體，其為將程式加以記錄者，而該程式係將成為圖形要素的向量資料之要素輸入資料轉換至成為持續長度資料之要素輸出資料，且上述程式之藉由電腦之執行係使上述電腦執行以下之步驟：a)要素輸入資料係為藉由將分別具有填充或空白之填充/空白屬性之複數個層圖形加以層積而所表現之圖形要素的向量資料而根據該要素輸入資料，利用朝向第1方向之複數條直線，以每隔既定寬度之方式將上述圖形要素所配置之配置區域加以分割，藉此設定上述既定寬度之複數個單位區域，而該等單位區域係配列於垂直於上述第1方向之第2方向；b)針對於上述複數個單位區域之各單位區域，將上述複數個層圖形中之與上述各單位區域相重疊之單位區域圖形群加以抽出，並利用端部座標將上述各單位區域分割成配列於上述第1方向之複數個分割區間，並且決定上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而該端部座標係為在上述單位區域圖形群之各層圖形之上述各單位區域中之起點座標或者大於上述起點座標之終點座標；及c)根據在上述b)步驟中所決定之上述各單位區域之上述複數個分割區間之各自的填充/空白屬性，而生成用於表示上述各單位區域之持續長度之單位持續長度資料，並且將上述複數個單位區域之各自的 單位持續長度資料之集合即為持續長度資料當作為要素輸出資料而加以取得；且上述b)步驟係針對於上述各單位區域，具備有以下之步驟：b1)將上述單位區域圖形群之上述各層圖形之上述起點座標、上述終點座標、填充/空白屬性、及表示在上述單位區域圖形群中之繪圖優先度的單位區域圖形繪圖資料之集合，當作為上述單位區域圖形群之單位區域圖形繪圖資料群而加以取得；b2)將上述各層圖形之上述單位區域圖形繪圖資料以上述起點座標呈升序之方式加以排序；b3)將上述各層圖形之上述起點座標中之最小之起點座標，設定為一個分割區間之區間開始座標；b4)將自上述區間開始座標呈連續並且在繪圖優先度最高之層圖形之填充/空白屬性呈相同之範圍內所存在之任一端部座標，設定為區域結束座標，並將上述區間開始座標與上述區間結束座標之間之範圍，設定當作為上述分割區間，並且將在上述分割區間中所包含之繪圖優先度最高之上述層圖形之填充/空白屬性，設定為上述分割區間之填充/空白屬性；及b5)直至上述複數個分割區間被設定為止，將設定完成之分割區間之區間結束座標，設定為下一個分割區間之區間開始座標，而反覆進行上述b4)步驟。
- 如申請專利範圍第7項之記錄媒體，其中，於上述b4)步驟中，將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標較大之端部座標，設定當作為上述區間結束座標。
- 如申請專利範圍第7項之記錄媒體，其中， 上述b4)步驟係具備有以下之步驟：d1)將鄰接於上述區間開始座標且大於上述區間開始座標之端部座標，設定為暫定區間結束座標；及d2)第1優先度係為將上述暫定區間結束座標設定為端部座標之層圖形的繪圖優先度，而當該第1優先度為第2優先度以上之情形時，將上述暫定區間結束座標設定為上述區間結束座標，而當上述第1優先度低於上述第2優先度之情形時，將上述暫定區間結束座標變更為鄰接於上述暫定區間結束座標且大於上述暫定區間結束座標之端部座標，直至上述第1優先度成為上述第2優先度以上；且當上述區間開始座標為一個層圖形之起點座標之情形時，上述第2優先度係為上述一個層圖形之繪圖優先度，而當上述區間開始座標為一個層圖形之終點座標之情形時，該第2優先度係為於上述單位區域圖形群中自上述區間開始座標擴展至比上述區間開始座標更大之座標範圍之層圖形群的繪圖優先度中之最大之繪圖優先度。
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