CN104021237A - 数据转换方法、描画系统及记录介质 - Google Patents

Abstract

提供数据转换方法、描画系统及记录介质。数据转换装置将在作为矢量数据的要素输入数据中的表现为层叠的多个图层图形的图形要素划分成规定宽度的单位区域，生成要素输出数据，该要素输出数据为各单位区域的单位扫描宽度数据的集合。利用与单位区域重叠的图层图形组的起点坐标及终点坐标将各单位区域划分成多个划分区间，将各划分区间所包含的描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性设为该划分区间的填涂中空属性。然后，基于多个划分区间各自的填涂中空属性，生成各单位区域的单位扫描宽度数据。由此，由于不需要将多个图层图形的矢量数据分别转换成扫描宽度数据，所以能够缩短从要素输入数据向要素输出数据进行的数据转换所需的时间。

Description

数据转换方法、描画系统及记录介质

技术领域

本发明涉及一种将图形要素的矢量数据转换为扫描宽度数据的技术。

背景技术

以往以来，通过向在半导体基板、印刷基板、或者等离子显示装置、液晶显示装置用的玻璃基板等（以下，称为“基板”）形成的感光材料照射光，来描画图案。近年来，伴随着图案的高清化，使用一种在感光材料上利用光束扫描来直接描画图案的图案描画装置。

在设计阶段，通常，利用CAD（计算机辅助设计）数据等的矢量数据表现这种图案，在利用图案描画装置描画图案时，进行如下的光栅图像处理（RIP：Raster Image Processing）：将该矢量数据转换成能够被图案描画装置使用的扫描宽度数据（run length data）等的光栅数据。

例如，在日本特开2006-350013号公报（文献1）中，提出了将Gerber（PCB行业的工业标准）数据转换成栅格数据的图像处理装置。在该装置中，就Gerber数据而言，在通过对层叠的多个图层图形相加或者相减来表示目标图像（配线图案）的情况下，判断图层数是否超过上限，在超过上限的情况下，将错误类型信息存储在存储器内。在该装置中，图像被减去的部分为不进行描画的中空区域，图像被叠加的部分为进行描画的填涂（中涂层）区域。

另一方面，在专利第2659584号公报（文献2）中，公开了在表示填涂区域与中空区域的边界的闭环数很多的情况下所使用的图形填涂方法。在该方法中，首先，利用与扫描线平行延伸的多个线段填涂所有填涂区域的轮廓（即，外周缘）内侧的整体区域。此后，在求出各填涂线段与所有的中空区域的轮廓之间的交点之后，去掉各填涂线段中的存在于中空区域内的部分，使图形变为中空。

在此，若将文献2的方法替换成像文献1那样的对图层图形进行加减的方法，则文献2的方法相当于如下的方法：将表示所有填涂区域的轮廓的图层图形转换成填涂扫描宽度数据，将表示所有的中空区域的轮廓的图层图形转换成中空扫描宽度数据，将填涂扫描宽度数据减去中空扫描宽度数据。在这种方法中，需要创建与各图层图形对应的扫描宽度数据的中间文件，若表示一个图形要素的图层图形组的层叠数量增加，则中间文件的数量也变大。

近年来，在半导体基板等上描画的图案用的CAD数据有由数万的图层图形层叠而成的数据。若利用像文献2那样的方法将这种CAD数据转换为栅格数据，则数据转换需要大量的时间。

发明内容

本发明提供一种将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换为作为扫描宽度数据的要素输出数据的数据转换方法。本发明还提供一种在基板上描画图案的描画系统。本发明还提供一种记录将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换为作为扫描宽度数据的要素输出数据的程序的记录介质。本发明的目的在于缩短数据转换所需的时间。

本发明的数据转换方法具有：（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有所述图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的图形要素的矢量数据，（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止。由此，能够缩短数据转换所需的时间。

在本发明的一个优选的实施方式中，在所述（b4）工序中，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标设定为所述区间结束坐标。

本发明的另一个优选的实施方式中，所述（b4）工序具有：（d1）工序，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标作为临时区间结束坐标，（d2）在第一优先级在第二优先级以上的情况下，将所述临时区间结束坐标作为所述区间结束坐标，在所述第一优先级低于所述第二优先级的情况下，将所述临时区间结束坐标变更为与所述临时区间结束坐标相邻并且大于所述临时区间结束坐标的端部坐标，直到所述第一优先级都变为所述第二优先级以上为止，其中，所述第一优先级是将所述临时区间结束坐标作为端部坐标的图层图形的描画优先级；在所述区间开始坐标是一个图层图形的起点坐标的情况下，所述第二优先级是所述一个图层图形的描画优先级，在所述区间开始坐标是一个图层图形的终点坐标的情况下，所述第二优先级是指，在所述单位区域图形组中，从所述区间开始坐标扩展至大于所述区间开始坐标的坐标范围为止的图层图形组的描画优先级中的最大的描画优先级。

本发明的描画系统具有：数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将要素输入数据转换成要素输出数据，描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述要素输出数据，在基板上描画图案；所述数据转换方法具有：（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的所述图形要素的矢量数据，（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止；所述描画装置具有：基板保持部，其保持所述基板，光调制元件，其对所述基板照射光，照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置沿着所述基板上的与所述第一方向对应的方向，相对于所述基板移动，光调制元件控制部，其基于所述要素输出数据，控制所述光调制元件调制光。由此，能够缩短数据转换所需的时间。

通过计算机执行记录在本发明的记录介质内的所述程序，使计算机执行如下的工序：（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有所述图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的图形要素的矢量数据，（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止。。由此，能够缩短数据转换所需的时间。

下面，通过参照附图对本发明进行的详细的说明，来明确上述的目的及其它的目的、特征、形态及优点。

附图说明

图1是表示一个实施方式的描画系统的结构的图。

图2是描画装置的侧视图。

图3是描画装置的俯视图。

图4是放大表示空间光调制器的图。

图5A是表示光调制元件的剖面的图。

图5B是表示光调制元件的剖面的图。

图6是表示数据转换装置的结构的图。

图7是表示数据转换的流程的图。

图8是表示数据转换的流程的一部分的图。

图9是表示图形要素的图。

图10A是表示图层图形的图。

图10B是表示图层图形的图。

图10C是表示图层图形的图。

图11是表示图形要素的图。

图12是表示数据转换所需的处理时间的图。

图13是表示图形要素的图。

图14是表示图层图形的图。

图15A是表示数据转换的流程的一部分的图。

图15B是表示数据转换的流程的一部分的图。

图16是表示图形要素的图。

其中，附图标记说明如下：

1描画装置，

3基板保持部，

7数据转换装置，

9基板，

25主扫描机构，

61光调制元件控制部，

80配置区域，

81、81a图形要素，

82～85图层图形，

100描画系统，

461光调制元件，

707程序，

800单位区域，

801扫描线，

802划分区间，

S11～S14、S121～S129、S221～S232步骤。

具体实施方式

图1是表示本发明的一个实施方式的描画系统100的结构的图。描画系统100是利用光在液晶显示装置用的玻璃基板（下面，简称为“基板”）上的感光材料上描画图案的系统。如图1所示，描画系统100具有数据转换装置7、描画装置1。数据转换装置7将作为表示图案的矢量数据的输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据（即，进行光栅化处理）。描画装置1基于由数据转换装置7生成的输出数据，在基板上描画图案。在图1中，一并显示数据转换装置7的各功能。下面，在针对描画装置1进行了说明之后，针对数据转换装置7及由数据转换装置7处理的数据进行说明。

图2及图3分别是表示描画装置1的侧视图及俯视图。如图2及图3所示，描画装置1具有保持部移动机构2、基板保持部3、光照射部4、机架12。基板保持部3在（＋Z）一侧的主面91（以下，称为“上表面91”）上，保持形成有感光材料层的基板9。保持部移动机构2设置在基台11上，使基板保持部3向与Z方向垂直的X方向及Y方向移动。机架12以跨过基板保持部3及保持部移动机构2的方式固定于基台11。光照射部4安装在机架12上，对基板9上的感光材料照射调制后的光。另外，如图2所示，描画装置1具有对保持部移动机构2、光照射部4等的各结构进行控制的控制部6。

如图2及图3所示，基板保持部3具有载物台31、载物台旋转机构32、支撑板33。基板9载置在载物台31上。支撑板33以能够使载物台31旋转的方式支撑该载物台31。载物台旋转机构32在支撑板33上，以与基板9的上表面91垂直的旋转轴321为中心，旋转载物台31。

保持部移动机构2具有副扫描机构23、基板24、主扫描机构25。副扫描机构23使基板保持部3向图2及图3中的X方向（以下，称为“副扫描方向”）移动。基板24借助副扫描机构23来对支撑板33进行支撑。主扫描机构25使基板保持部3与基板24一并在与X方向垂直的Y方向（以下，称为“主扫描方向”）上移动。在描画装置1中，通过保持部移动机构2，使基板保持部3在与基板9的上表面91平行的主扫描方向及副扫描方向上移动。

如图2及图3所示，副扫描机构23具有线性马达231、一对线性导轨232。线性马达231在支撑板33的下侧（即，（-Z）一侧），沿着与载物台31的主面平行并且与主扫描方向垂直的副扫描方向延伸。一对线性导轨232在线性马达231的（＋Y）一侧及（-Y）一侧沿着副扫描方向延伸。主扫描机构25具有线性马达251、一对气动滑板（air slider）252。线性马达251在基板24的下侧，沿着与载物台31的主面平行的主扫描方向延伸。一对气动滑板252在线性马达251的（＋X）一侧及（-X）一侧沿着主扫描方向延伸。

如图3所示，光照射部4具有多个（在本实施方式中，为8个）光学头部41，该多个光学头部41沿着副扫描方向以等间隔排列而安装在机架12上。另外，如图2所示，光照射部4具有与各光学头部41连接的光源光学系统42、出射紫外线的UV（紫外线滤光镜）光源43及光源驱动部44。UV光源43为固体激光器。通过驱动光源驱动部44，从UV光源43出射波长为355nm的紫外线，并经由光源光学系统42将紫外线引导至光学头部41。

各光学头部41具有出射部45、光学系统451、47、空间光调制器46。出射部45朝向下方出射来自UV光源43的光。光学系统451对来自出射部45的光进行反射并将其引导至空间光调制器46。空间光调制器46对经由光学系统451而照射来的来自出射部45的光进行调制并进行反射。光学系统47将来自空间光调制器46的调制后的光引导至设置于基板9的上表面91的感光材料上。

图4是放大表示空间光调制器46的图。如图4所示，空间光调制器46具有衍射光栅型的多个光调制元件461，该多个光调制元件461借助出射部45将照射来的来自UV光源43（参照图2）的光引导至基板9的上表面91。利用半导体装置制造技术制造光调制元件461，该光调制元件461为能够改变光栅深度的衍射光栅。在光调制元件461以平行排列的方式交替形成有多个挠性带（ribbon）461a及多个固定带461b，多个挠性带461a设置为相对于背后的基准面能够单个地（沿着垂直于基准面的方向）进行上下移动，多个固定带461b相对于基准面固定。作为衍射光栅型的光调制元件，例如，已知有GLV（Grating Light Valve：光栅光阀）（Silicon Light Machines（加利福尼亚州森尼韦尔）的注册商标）。

图5A及图5B是表示在与挠性带461a及固定带461b垂直的面上的光调制元件461的剖面的图。如图5A所示，在挠性带461a及固定带461b相对于基准面461c位于同一高度的（即，挠性带461a不弯曲变形）情况下，光调制元件461的表面位于同一水平面上，将入射光L1的反射光作为零级光L2导出。另一方面，如图5B所示，在与固定带461b相比，挠性带461a向基准面461c一侧弯曲变形的情况下，挠性带461a变为衍射光栅的槽的底面，从入射有入射光L1的光调制元件461导出一级衍射光L3（进而，可导出高级衍射光），零级光消失。像这样，光调制元件461利用衍射光栅来进行光调制。

在图2示出的光照射部4中，来自UV光源43的光通过光源光学系统42变为线状光（光束剖面为线状的光），经由出射部45照射至空间光调制器46的排列成线状的多个挠性带461a及固定带461b（参照图5A及图5B。在光调制元件461中，将相邻的各一条挠性带461a及固定带461b作为一对带对，三个以上的带对与所描画的图案的一个画素对应。

在光调制元件461中，基于来自与各空间光调制器46连接的光调制元件控制部61的信号，分别控制与图案的各画素对应的带对的挠性带461a，使这些挠性带461a能够在如图5A示出的状态与如图5B示出的状态之间转变，如图5A示出的状态是指，与各画素对应的带对出射零级光（正反射光）的状态，如图5B示出的状态是指，出射非零阶衍射光（主要为一级衍射光（（＋1）阶衍射光及（-1）阶衍射光））的状态。另外，通过使挠性带461a弯曲变形至在图5A示出的状态与图5B示出的状态之间的状态，使光调制元件461处于出射比图5A示出的状态强度小的零级光的状态。

将从光调制元件461出射的零级光引导至光学系统47，将一级衍射光引导至与光学系统47不同的方向。此外，为了防止变为杂散光，通过图示省略的遮光部遮住一级衍射光。来自光调制元件461的零级光经由光学系统47而被引导至基板9的上表面91，由此，在基板9的上表面91上，对在X方向（即，副扫描方向）上排列的多个照射位置分别照射调制后的光。

在图2及图3示出的描画装置1中，从光照射部4的光调制元件461，对由保持部移动机构2的主扫描机构25在主扫描方向上移动的基板9照射调制后的光。换言之，主扫描机构25为如下的照射位置移动机构：使从光调制元件461引导至基板9的光在基板9上的照射位置相对于基板9在主扫描方向上移动。此外，在描画装置1中，例如，可以不移动基板9，而是通过使光调制元件461在主扫描方向上移动，来使基板9上的照射位置在主扫描方向上移动。描画装置1一边使基板9在主扫描方向上移动，一边通过图2示出的控制部6的光调制元件控制部61，基于从数据转换装置7向描画装置1输出的输出数据，控制光调制元件461调制光，由此，在基板9上描画向数据转换装置7输入的输入数据所表示的图案。

接着，针对数据转换装置7进行说明。图6是表示数据转换装置7的结构的图。与通常的计算机同样地，数据转换装置7为连接了如下的部分的结构：进行各种运算处理的CPU（中央处理器）701、存储被执行的程序或者作为运算处理的作业区域的RAM（随机存储器）702、存储基本程序的ROM（只读存储器）703、存储各种信息的固定磁盘704、向作业者显示各种信息的显示器705、键盘、鼠标等的输入部706等。在固定磁盘704内存储有由数据转换装置7执行的程序707。程序707为将输入数据转换成作为扫描宽度数据的输出数据的（即，进行光栅化）程序，其中输入数据为表示描画在基板上的预计的图案的矢量数据。

在图1中，利用功能框表示数据转换装置7的CPU701（参照图6）等通过按照程序707来进行运算处理等（即，程序707由数据转换装置7执行）而实现的功能。图1中的数据接收部71、单位区域设定部72、划分区间设定部73、单位扫描宽度数据生成部74、扫描宽度存储部75、输出数据生成部76、格式转换部77、数据输出部78相当于由CPU701等实现的功能。此外，这些功能可以由多台计算机来实现。

接着，针对利用数据转换装置7进行的从输入数据向输出数据的数据转换进行说明。图7及图8是表示利用数据转换装置7进行数据转换的流程的图。在数据转换装置7中，首先，由图1示出的数据接收部71接收作为矢量数据的输入数据。

图9是表示利用输入数据表现的图案的一部分的图。在输入数据中，捕捉了多个图形要素来作为在规定的配置区域80中描画的图案，在此基础上，多个图形要素分别表现为数据要素，该数据要素为表示各图形要素的形状、在基板9上的位置等的矢量数据的集合。在图9中示出该图案所包含的一个图形要素81。实际的数据转换装置7对与输入数据所包含的多个图形要素对应的数据要素进行后述的处理，在以下的说明中，为了便于理解，将图形要素自身作为处理的操作对象进行说明。此外，通常，实际的输入数据包括表示具有多种多样的形状的多个图形要素的数据要素。

以下，就一个图形要素81而言，针对在将作为与该图形要素81对应的矢量数据的要素输入数据转换成作为扫描宽度数据的要素输出数据时的数据转换方法的流程进行说明。在实际上，数据转换装置7对多个图形要素进行同样的数据转换，将包括多个图形要素的矢量数据的输入数据转换成包括多个图形要素的扫描宽度数据的输出数据。

图9示出的图形要素81的外形为长方形。图形要素81具有内侧被填涂的填涂区域811、813和内侧没有填涂的中空的中空区域812。在图形要素81中，矩形框状的中空区域812包围长方形的填涂区域813的周围，矩形框状的填涂区域811包围中空区域812的周围。描画装置1对基板9上的与填涂区域811、813对应的区域进行描画，在基板9上的与中空区域812对应的区域内，不进行描画。在图9中，在填涂区域811、813内填涂平行斜线（在图11、图13及图16中也同样）。

就图形要素81的要素输入数据而言，通过将图10A～图10C示出的三个图层图形82～84层叠，来表现图形要素81。在以下的说明中，在区别图层图形82～84的情况下，将图层图形82～84分别称为“第一图层图形82”、“第二图层图形83”及“第三图层图形84”。

图10A示出的第一图层图形82为长方形。第一图层图形82的轮廓与图9示出的图形要素81的矩形框状的填涂区域811的轮廓（即，外周缘）一致。用于表示第一图层图形82是被填涂还是中空的“填涂中空属性”，为“填涂”。在图10A中，通过对第一图层图形82填涂平行斜线，来表示第一图层图形82的填涂中空属性为“填涂”。在以下的同样的附图（图10B、图10C及图14）中，对填涂属性的图层图形填涂平行斜线，对中空属性的图层图形不填涂平行斜线。

图10B示出的第二图层图形83为小于第一图层图形82的长方形。第二图层图形83的轮廓与图9示出的图形要素81的矩形框状的中空区域812的轮廓（即，外周缘）一致。第二图层图形83的填涂中空属性为“中空”（被剪切为中空）。图10C示出的第三图层图形84为小于第二图层图形83的长方形。第三图层图形84的轮廓与图9示出的图形要素81的长方形的填涂区域813的轮廓一致。

就要素输入数据而言，通过层叠分别具有填涂中空属性的多个图层图形82～84，来表现具有填涂区域811、813及中空区域812的图形要素81。具体来说，在第一图层图形82上层叠第二图层图形83，在第二图层图形83上层叠第三图层图形84。就要素输入数据而言，在配置有层叠在上侧的图层图形（即，在要素输入数据内，与后述的数据要素对应的图层图形）的区域内，优先应用该图层图形的填涂中空属性。因此，第一图层图形82中的与第二图层图形83重叠的区域为中空属性，除此以外的区域为填涂属性。另外，第二图层图形83中的与第三图层图形84重叠的区域为填涂属性，除此以外的区域为中空属性。

在图9中，从图中的上侧朝向下侧的方向（以下，称为“第一方向”）与图2及图3示出的描画装置1中的从（＋Y）侧朝向（-Y）侧的主扫描方向对应，从图中的左侧朝向右侧的方向（即，与第一方向垂直的方向，以下，称为“第二方向”）与描画装置1中的从（＋X）侧朝向（-X）侧的副扫描方向对应。图9的左侧示出了表示第一方向的位置的坐标值（在图10A～图10C、图11、图13、图14及图16中也同样）。

若接收到输入数据，则单位区域设定部72（参照图1）基于输入数据，利用沿着第一方向的多条直线801，按照规定宽度划分图9示出的配置有图形要素81的配置区域80。由此，设定沿着第二方向排列的具有该规定宽度的多个区域800（步骤S11）。直线801为描画装置1的与主扫描方向平行的直线，以下，称为“扫描线801”。上述的规定宽度为基于描画装置1的描画的分辨率来决定的宽度，以下，称为“单位宽度”。另外，以下，将区域800称为“单位区域800”。

在本实施方式中，图形要素81配置成跨过从左侧起第一个（下面，仅称为“第一个”）单位区域800到第七个单位区域800。另外，如图10A～图10C所示，第一图层图形82配置成跨过第一个单位区域800到第七个单位区域800。第二图层图形83配置成跨过第二个单位区域800到第六个单位区域800，第三图层图形84配置成跨过第三个单位区域800到第五个单位区域800。

若设定了多个单位区域800，则划分区间设定部73针对各单位区域800，提取单位区域图形组，该单位区域图形组为多个图层图形82～84中的与各单位区域800重叠的图层图形的集合。然后，利用单位区域图形组的各图层图形的各单位区域800中的起点坐标或者终点坐标，将各单位区域800划分成沿着第一方向排列的多个划分区间，决定多个划分区间的各自的填涂中空属性（步骤S12）。

针对划分单位区域800及决定填涂中空属性的详细内容，以从左侧起第三个单位区域800为例进行说明。首先，提取第一图层图形82、第二图层图形83及第三图层图形84，来作为与该单位区域800重叠的单位区域图形组（图8：步骤S121）。接着，针对单位区域图形组的各图层图形，基于图形要素81的要素输入数据，获取单位区域图形描画数据，并获取单位区域图形组的所有的图层图形的单位区域图形描画数据的集合，来作为单位区域图形组的单位区域图形描画数据组（步骤S122）。

单位区域图形描画数据为表示与单位区域800重叠的图层图形的起点坐标、终点坐标、填涂中空属性及该单位区域800中的图层图形的描画优先级的数据。起点坐标及终点坐标表示单位区域800内的图层图形的起点及终点在第一方向上的坐标值。图层图形的起点是指，在图10A～图10C示出的单位区域800中，存在图层图形的范围的上端；图层图形的终点是指，在单位区域800中，存在图层图形的范围的下端。换言之，图层图形的起点及终点是指，在单位区域800中的存在图层图形的范围内，在第一方向上的坐标值为最小及最大的位置。因此，终点坐标大于起点坐标。第一图层图形82的起点坐标及终点坐标为（0，100）。第二图层图形83的起点坐标及终点坐标为（20，80）。第三图层图形84的起点坐标及终点坐标为（40，60）。

图层图形的填涂中空属性为各图层图形固有的属性，描画优先级由要素输入数据中的图层图形的数据要素的记载顺序决定。与要素输入数据内的记载顺序在后的数据要素对应的图层图形的描画优先级更高。在本实施方式中，利用一个正整数（以下，称为“属性值”）表示图层图形的填涂中空属性及描画优先级。若属性值为奇数，则填涂中空属性为“填涂”，若为偶数，则为“中空”。另外，属性值越大，描画优先级变得越高。

在要素输入数据中记载的最初的图层图形具有填涂属性的情况下，将该图层图形的属性值设为“1”，在具有中空属性的情况下，设为“2”。然后，在要素输入数据中记载的下一个图层图形的填涂中空属性不同的情况下，对下一个图层图形的属性值赋予仅比前一个图层图形的属性值大于1的值，在填涂中空属性相同的情况下，赋予与前一个图层图形的属性值相等的值。就与第三个单位区域800重叠的单位区域图形组而言，第一图层图形82的属性值为“1”，第二图层图形83的属性值为“2”，第三图层图形84的属性值为“3”。

就在步骤S122中获取的单位区域图形描画数据组而言，第一图层图形82的单位区域图形描画数据为“（0，100），1”，第二图层图形83的单位区域图形描画数据为“（20，80），2”，第三图层图形84的单位区域图形描画数据为“（40，60），3”。

若获取了单位区域图形描画数据组，则按照起点坐标的升序来对各图层图形的单位区域图形描画数据进行排序（步骤S123）。接着，将各图层图形的起点坐标中最小的起点坐标设定为从图9中的上侧起第一个划分区间的区间开始坐标（步骤S124）。在本实施方式中，按照第一图层图形82、第二图层图形83、第三图层图形84的顺序排列单位区域图形描画数据，将第一图层图形82的起点坐标的“0”设定为区间开始坐标。

接着，设定与区间开始坐标相邻并且大于区间开始坐标的起点坐标或者终点坐标（下面，将起点坐标及终点坐标统称为“端部坐标”），来作为区间结束坐标（步骤S125）。在该情况下，设定第二图层图形83的起点坐标的“20”，来作为区间结束坐标。如上所述，通过对单位区域图形描画数据进行排序，能够易于设定区间开始坐标及区间结束坐标。

然后，如图11所示，设定在第三个单位区域800中的区间开始坐标“0”与区间结束坐标“20”之间的范围“0～20”，来作为第一个划分区间802（步骤S126）。在图11中，用粗线包围划分区间802（在图16中也同样）。

若设定了划分区间802，则提取划分区间802所包含的图层图形组，将该图层图形组中的描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性决定为该划分区间802的填涂中空属性（步骤S127）。具体来说，暂时存储在步骤S127中提取的图层图形组，来作为划分区间含有图形组，获取划分区间含有图形组所包含的图层图形的属性值的最大值，来作为划分区间802的属性值。在该属性值为奇数的情况下，将划分区间802设为填涂属性，在为偶数的情况下，设为中空属性。就第一个划分区间802而言，由于在划分区间含有图形组中仅包含第一图层图形82，所以划分区间802的属性值为“1”，划分区间802为填涂属性。

若决定了划分区间802的填涂中空属性，则确认是否有大于区间结束坐标的端部坐标。在存在大于区间结束坐标的端部坐标的情况下，存在在单位区域800内没有设定划分区间802的区域，因此，判断为划分区间802的设定未完成（步骤S128）。

在划分区间802的设定没有结束的情况下，对设定完成的划分区间802的区间结束坐标（在存在多个设定完成的划分区间802的情况下，为最大的区间结束坐标）进行设定，来作为下一个划分区间802的区间开始坐标（步骤S129）。然后，返回步骤S125，决定区间结束坐标、设定划分区间802及决定划分区间802的填涂中空属性（步骤S125～S127）。

第二个划分区间802的区间开始坐标及区间结束坐标为“20”及“40”，划分区间含有图形组包括第一图层图形82及第二图层图形83。通过以下的方式来提取划分区间含有图形组：例如，在单位区域图形组中，将没有包含在划分区间含有图形组内并且起点坐标小于区间结束坐标的图层图形纳入划分区间含有图形组，而且，在划分区间含有图形组所含的图层图形中，从划分区间含有图形组中删除终点坐标在区间开始坐标以下的图层图形。第二个划分区间802的属性值等于第二图层图形83的属性值，为“2”，将该划分区间802的填涂中空属性决定为“中空”。

第三个划分区间802的区间开始坐标及区间结束坐标为“40”及“60”，划分区间含有图形组包括第一图层图形82、第二图层图形83及第三图层图形84。第三个划分区间802的属性值等于第三图层图形84的属性值，为“3”，将该划分区间802的填涂中空属性决定为“填涂”。

就划分区间设定部73（参照图1）而言，直到在单位区域800的整个区域内设定划分区间802为止，重复步骤S125～S129。由此，将单位区域800划分成多个划分区间802。如图11所示，将从左侧起第三个单位区域800划分成五个划分区间802。虽然省略图示，但与第三个单位区域800同样地，将从左侧起第四个及第五个单位区域800也分别划分成五个划分区间。另外，分别将第二个及第六个单位区域800划分成三个划分区间，分别将第一个及第七个单位区域800的整体作为一个划分区间802。

若步骤S12结束，则单位扫描宽度数据生成部74基于在步骤S12中决定的各单位区域800的多个划分区间802各自的填涂中空属性，生成表示各单位区域800的扫描宽度的单位扫描宽度数据，并存储在扫描宽度存储部75内（步骤S13）。

然后，通过输出数据生成部76对这些单位扫描宽度数据与表示对应的单位区域800的位置的数据建立对应关系，来获取要素输出数据，该要素输出数据为将要素输入数据所表示的图形要素81表示为沿着第一方向的扫描宽度的集合的扫描宽度数据（步骤S14）。要素输出数据为作为多个单位区域800各自的单位扫描宽度数据的集合的扫描宽度数据。

与上述同样地，数据转换装置7针对由数据接收部71接收的输入数据所包含的所有的图形要素，进行从要素输入数据（矢量数据）向要素输出数据（扫描宽度数据）的转换，生成输出数据，输出数据为所有的图形要素的要素输出数据的集合。然后，在利用格式转换部77对该输出数据进行格式转换，将其转换为适合描画装置1的处理的格式之后，通过数据输出部78输出至描画装置1。在描画装置1中，基于格式转换之后的数据，从图2示出的控制部6的光调制元件控制部61向各空间光调制器46发送信号，并且通过主扫描机构25使基板9在主扫描方向（即，与基板9上的上述第一方向对应的方向）上移动，以在基板9上的感光材料上描画输入至数据转换装置7的输入数据所表示的图案。

如上所述，通过数据转换装置7利用上述的步骤S11～S14的数据转换方法转换作为表现为层叠的多个图层图形的图形要素81的矢量数据的要素输入数据，不将该多个图层图形的矢量数据转换成扫描宽度数据，就能够获取要素输出数据。由此，与比较例的转换方法相比，能够缩短从要素输入数据向要素输出数据的数据转换所需的时间，比较例的转换方法为如下的方法：通过将要素输入数据所包含的各图层图形的矢量数据转换成扫描宽度数据，并合成这些扫描宽度数据来生成要素输出数据。

另外，就设定步骤S12的划分区间802而言，在步骤S125中，将与区间开始坐标相邻并且大于区间开始坐标的端部坐标设定为区间结束坐标。像这样，通过简化区间结束坐标的设定方法，能够简单地设定划分区间802。

图12是对在利用本实施方式的转换方法将输入数据转换成输出数据的情况下的处理时间与在利用上述的比较例的转换方法将输入数据转换成输出数据的情况下的处理时间进行比较的图。在图12中，输出了九种输入数据的处理时间。这些输入数据的图形要素的数量、形状、图层图形的层叠数等不同。图12的横轴表示九种输入数据。图12的左侧的纵轴表示处理时间，右侧的纵轴表示各输入数据（各种实例）的图层图形的层叠数（图层数）。各种实例的柱形图中左侧的中空的柱形图表示基于比较例的转换方法的处理时间，右侧的填涂黑色的柱形图表示基于本实施方式的上述的转换方法的处理时间。由图12可知，无论图层数多大，基于本实施方式的转换方法的处理时间都比比较例的处理时间短。另外，图层数越大，在从比较例的转换方法向本实施方式的转换方法转换的情况下的处理时间的缩短率越大。

接着，针对划分区间802的另一种优选的设定方法进行说明。图13是表示由输入数据表示的图案的一部分的图。在图13中示出了该图案所包含的一个图形要素81a。图形要素81a的外形为长方形。图形要素81a具有大致呈矩形框状的填涂区域811、呈正方形的两个填涂区域813及在填涂区域811的内侧包围两个填涂区域813的周围的中空区域812。中空区域812为大致呈矩形框状的两个区域沿着第二方向（即，图13中的左右方向）连续的形状。中空区域812的第二方向的中央部在第一方向上，朝向外方向（即，朝向上下方向）突出。

就图形要素81a的要素输入数据而言，通过按照图10A～图10C示出的第一图层图形82、第二图层图形83及第三图层图形84、以及图14示出的第四图层图形85的顺序，从下侧开始层叠这些图层图形，来表现图形要素81a。第四图层图形85为沿着第一方向延伸的长方形，填涂中空属性为“中空”。在图14中，利用两点划线表示第二图层图形83及第三图层图形84。第四图层图形85沿着第一方向穿过第二图层图形83及第三图层图形84。换言之，第四图层图形85配置成跨过第二图层图形83的轮廓及第三图层图形84的轮廓，并位于该轮廓的两侧。另外，第四图层图形85仅配置在从左侧起第四个单位区域800内。第四图层图形85层叠在第一图层图形82、第二图层图形83及第三图层图形84上。因此，存在第四图层图形85的区域全部为中空属性。

与上述的步骤S12同样地，数据转换装置7针对图形要素81a，利用划分区间设定部73针对各单位区域800来提取单位区域图形组，该单位区域图形组为多个图层图形82～85中的与各单位区域800重叠的图层图形的集合。然后，利用单位区域图形组的各图层图形的各单位区域内的端部坐标（即，起点坐标或者终点坐标），将各单位区域800划分为沿着第一方向排列的多个划分区间，决定多个划分区间各自的填涂中空属性。

但是，划分单位区域800及决定填涂中空属性的详细内容与图8示出的步骤S121～S129不同。数据转换装置7进行图15A及图15B示出的步骤S221～S232。以下，以从左侧起第四个单位区域800为例进行说明。首先，提取第一图层图形82、第二图层图形83、第三图层图形84及第四图层图形85，来作为与该单位区域800重叠的单位区域图形组（步骤S221）。

接着，针对单位区域图形组的各图层图形，基于图形要素81a的要素输入数据，获取单位区域图形描画数据，获取单位区域图形组的所有的图层图形的单位区域图形描画数据的集合，来作为单位区域图形组的单位区域图形描画数据组（步骤S222）。如上所述，单位区域图形描画数据为表示图层图形的起点坐标、终点坐标、填涂中空属性及该单位区域800内的图层图形的描画优先级的数据。

如上所述，第一图层图形82、第二图层图形83及第三图层图形84的单位区域图形描画数据为“（0，100），1”、“（20，80），2”及“（40，60），3”。第四图层图形85的起点坐标及终点坐标为（10，90），第四图层图形85的属性值为“4”。因此，第四图层图形85的单位区域图形描画数据为“（10，90），4”。

若获取了单位区域图形描画数据组，则按照起点坐标的升序来对各图层图形的单位区域图形描画数据进行排序（步骤S223）。接着，设定各图层图形的起点坐标中最小的起点坐标来作为图13中的从上侧起第一个划分区间的区间开始坐标（步骤S224）。在本实施方式中，按照第一图层图形82、第四图层图形85、第二图层图形83、第三图层图形84的顺序排列单位区域图形描画数据，将第一图层图形82的起点坐标“0”设定为区间开始坐标。

若设定了区间开始坐标，则将与区间开始坐标相邻并且大于区间开始坐标的端部坐标设定为临时的区间结束坐标（以下，称为“临时区间结束坐标”）（步骤S225）。在该情况下，将第四图层图形83的起点坐标的“10”设定为临时区间结束坐标。如上所述，通过对单位区域图形描画数据进行排序，能够简单地设定区间开始坐标及临时区间结束坐标。

接着，获取表示将临时区间结束坐标作为端部坐标的图层图形的填涂中空属性及描画优先级的属性值，将该属性值设定为临时区间结束坐标的第一优先级。另外，还设定区间开始坐标的第二优先级。在区间开始坐标为一个图层图形的起点坐标的情况下，获取表示该一个图层图形的填涂中空属性及描画优先级的属性值，将该属性值设定为区间开始坐标的第二优先级。另一方面，在区间开始坐标为一个图层图形的终点坐标的情况下，从单位区域图形组中，选择如下的图层图形组：从该区间开始坐标扩展至大于区间开始坐标的坐标范围（即，在图13中，为比该区间开始坐标靠近下侧的范围）的单个或者多个图层图形。然后，将该图层图形组所包含的图层图形的属性值中最大的属性值设定为区间开始坐标的第二优先级。

就从左侧起第四个单位区域800而言，将临时区间结束坐标“10”作为端部坐标的第四图层图形85的属性值“4”设定为临时区间结束坐标的第一优先级。另外，将区间开始坐标“0”作为起点坐标的第一图层图形82的属性值“1”设定为区间开始坐标的第二优先级。

若设定了第一优先级及第二优先级，则对第一优先级与第二优先级进行比较（步骤S226）。第一优先级“4”在第二优先级“1”以上，因此，将临时区间结束坐标“10”设定为区间结束坐标（步骤S228）。然后，如图16所示，将第四个单位区域800内的区间开始坐标“0”与区间结束坐标“10”之间的范围“0～10”设定为第一个划分区间802（步骤S229）。

若设定了划分区间802，则提取划分区间802所包含的图层图形组，将该图层图形组中描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性决定为该划分区间802的填涂中空属性（步骤S230）。具体来说，暂时存储在步骤S230中提取的图层图形组，来作为划分区间含有图形组，获取划分区间含有图形组所包含的图层图形的属性值的最大值，来作为划分区间802的属性值。在该属性值为奇数的情况下，将划分区间802设为填涂属性，在为偶数的情况下，设为中空属性。就第一个划分区间802而言，划分区间含有图形组仅包括第一图层图形82，因此，该划分区间802的属性值为“1”，将填涂中空属性决定为“填涂”。

若决定了划分区间802的填涂中空属性，则确认是否有大于区间结束坐标的端部坐标。在存在大于区间结束坐标的端部坐标的情况下，存在单位区域800内没有设定划分区间802的区域，因此判断为划分区间802的设定未结束（步骤S231）。

在划分区间802的设定没有结束的情况下，将设定完成的划分区间802的区间结束坐标（在存在多个设定完成的划分区间802的情况下，为最大的区间结束坐标）“10”设定为下一个划分区间802的区间开始坐标（步骤S232）。然后，返回步骤S225，将与区间开始坐标相邻并且大于区间开始坐标的端部坐标，即第二图层图形83的起点坐标“20”，设定为临时区间结束坐标（步骤S225）。

接着，获取第二图层图形83的属性值“2”，将该属性值“2”设定为临时区间结束坐标的第一优先级，其中，第二图层图形83为作为将临时区间结束坐标“20”作为端部坐标的图层图形。另外，设定将区间开始坐标“10”作为起点坐标的第四图层图形85的属性值“4”来作为区间开始坐标的第二优先级。接着，对第一优先级和第二优先级进行比较（步骤S226）。

由于第一优先级“2”小于第二优先级“4”，即，第一优先级低于第二优先级，所以改变临时区间结束坐标，设定下一个临时区间结束坐标。将下一个临时区间结束坐标设为如下的坐标：与改变之前的临时区间结束坐标“20”相邻，并且大于改变之前的临时区间结束坐标“20”的端部坐标。将临时区间结束坐标从第二图层图形83的起点坐标“20”改变为第三图层图形84的起点坐标“40”（步骤S227）。

若改变了临时区间结束坐标，则返回步骤S226，将第三图层图形84的属性值“3”设定为临时区间结束坐标的第一优先级，与区间开始坐标的第二优先级“4”进行比较（步骤S226）。由于第一优先级“3”小于第二优先级“4”，即，第一优先级低于第二优先级，所以将临时区间结束坐标变为作为下一个临时区间结束坐标的第三图层图形84的终点坐标“60”（步骤S227），返回步骤S226。

数据转换装置7重复进行将临时区间结束坐标变为下一个临时区间结束坐标然后返回步骤S226的工序，直到第一优先级变为第二优先级以上为止。在图16示出的例子中，将临时区间结束坐标设定为第四图层图形85的终点坐标“90”，重复步骤S227、S226，直到第一优先级等于第二优先级即等于“4”为止，将临时区间结束坐标“90”设定为区间结束坐标（步骤S228）。

将区间开始坐标“10”与区间结束坐标“90”之间的范围“10～90”设定为第二个划分区间802（步骤S229）。第二个划分区间802的划分区间含有图形组包括第一图层图形82、第二图层图形83、第三图层图形84及第四图层图形85。将第二个划分区间802的属性值设定为描画优先级最高的第四图层图形85的属性值“4”。决定第二个划分区间802的填涂中空属性为“中空”（步骤S230）。

接着，将设定完成的划分区间802的区间结束坐标“90”设定为下一个划分区间802的区间开始坐标（步骤S231、S232）。接着，返回步骤S225。将第一图层图形82的终点坐标“100”设定为临时区间结束坐标（步骤S225），第一图层图形82的终点坐标“100”为与区间开始坐标相邻并且大于区间开始坐标的端部坐标。然后，将临时区间结束坐标作为端部坐标的第一图层图形82的属性值“1”设定为临时区间结束坐标的第一优先级。另外，选择第一图层图形82，来作为从区间开始坐标“90”扩展至大于区间开始坐标的坐标范围的图层图形组，将该图层图形组所包含的图层图形的属性值中最大的属性值（在该情况下，为第一图层图形82的属性值“1”）设定为区间开始坐标的第二优先级。

第一优先级“1”在第二优先级“1”以上，因此，将临时区间结束坐标“100”设定为区间结束坐标（步骤S226、S228），将区间开始坐标“90”与区间结束坐标“100”之间的范围“90～100”设定为第三个划分区间802（步骤S229）。此后，将划分区间802所包含的图层图形组中描画优先级最高的第一图层图形82的填涂中空属性“填涂”决定为该划分区间802的填涂中空属性（步骤S230）。然后，结束对从左侧起第四个单位区域800进行的划分区间802的设定，以及结束对各划分区间802的填涂中空属性进行的决定（步骤S231）。

像这样，在划分区间设定部73（参照图1）中，重复步骤S225～S232，直到在单位区域800的整个区域内设定划分区间802为止，从而将单位区域800划分成多个划分区间802。如图16所示，将从左侧起第四个单位区域800划分成三个划分区间802。省略图示，与进行了上述的步骤S121～S129的情况同样地，划分其它的六个单位区域800。

若上述步骤S221～S232（步骤S12）结束，则如上所述，单位扫描宽度数据生成部74基于在步骤S221～S232中决定的各单位区域800的多个划分区间802各自的填涂中空属性，生成表示各单位区域800的扫描宽度的单位扫描宽度数据，并将其存储至扫描宽度存储部75（步骤S13）。然后，输出数据生成部76获取要素输出数据，该要素输出数据为多个单位区域800各自的单位扫描宽度数据的集合（步骤S14）。

如上所述，数据转换装置7在图7示出的步骤S12中进行上述的步骤S221～S229，由此，能够在描画优先级高的图层图形（第四图层图形85）沿着第一方向穿过描画优先级低的图层图形（第二图层图形83及第三图层图形84）的单位区域800内，减少划分区间802的个数。其结果为，能够进一步缩短从要素输入数据向要素输出数据的数据转换所需的时间。

上述描画系统100能够进行各种各样的变更。

例如，利用正整数的属性值表示单位区域图形描画数据的填涂中空属性及描画优先级，还可以利用其它的各种各样的方法表示。另外，分别利用不同的系数等来表示填涂中空属性和描画优先级。

数据转换装置7可以对输入数据所包含的所有的图形要素执行在上述的步骤S12中的步骤S121～S129示出的工序及步骤S221～S232示出的工序中的任意一组工序，还可以与作为对象的图形要素对应地，选择性地执行某一组工序。

不一定非要通过步骤S125示出的工序或者步骤S225～S228示出的工序来设定步骤S12划分区间802的区间结束坐标。在数据转换装置7中，在设定了区间开始坐标之后，只要将在区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围内存在的某一个端部坐标，设定为区间结束坐标即可。例如，就图16示出的图形要素81a的左侧起第四个单位区域800而言，只要将第二图层图形83的起点坐标“20”、第三图层图形84的起点坐标“40”、第三图层图形84的终点坐标“60”、第二图层图形83的终点坐标“80”及第四图层图形85的终点坐标“90”中的某一个端部坐标设定为第二个划分区间802的区间结束坐标即可。即使在该情况下，与上述同样地，能够缩短从要素输入数据向要素输出数据的数据转换所需的时间。

在上述实施方式的数据转换装置7中，输入数据所包含的图形要素可以为包括多个子图形要素的子图形要素组。另外，可以将输入数据设为一个图形要素参照其它图形要素的分层结构。

在描画系统100中，可以不在数据转换装置7中对输出数据进行格式转换而直接将其输出至描画装置1，在描画装置1中进行格式转换。

由数据转换装置7转换成输出数据的输入数据不限于表示在液晶显示装置用的玻璃基板上描画的图案的数据，例如，可以为表示描画在等离子显示装置等的其它平板显示装置或者光掩模用的玻璃基板上的图案的数据，可以为LSI（大规模集成电路）用的图案数据。另外，利用数据转换装置将用于其它的各种各样的目的的输入数据转换成输出数据。

描画装置1不限于具有上述的结构，只要基于作为扫描宽度数据的输出数据来进行描画的装置即可。例如，描画装置1的光照射部4还可以包括具有GLV以外的其它的光调制元件的空间光调制器。

上述实施方式及各弯曲变形例的结构可以在彼此不矛盾的前提下适当地进行组合。

详细地描述并说明了发明，但上述的说明为例示性的，而非限定。因此，在不脱离本发明的范围的前提下，能够进行各种弯曲变形或方式。

Claims (9)

1.一种数据转换方法，将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换成作为扫描宽度数据的要素输出数据的数据转换方法，其特征在于，

包括：

（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有所述图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的图形要素的矢量数据，

（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，

（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；

在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：

（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，

（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，

（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，

（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，

（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止。

2.如权利要求1所述的数据转换方法，其特征在于，

在所述（b4）工序中，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标设定为所述区间结束坐标。

3.如权利要求1所述的数据转换方法，其特征在于，

所述（b4）工序具有：

（d1）工序，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标作为临时区间结束坐标，

（d2）在第一优先级在第二优先级以上的情况下，将所述临时区间结束坐标作为所述区间结束坐标，在所述第一优先级低于所述第二优先级的情况下，将所述临时区间结束坐标变更为与所述临时区间结束坐标相邻并且大于所述临时区间结束坐标的端部坐标，直到所述第一优先级都变为所述第二优先级以上为止，其中，所述第一优先级是将所述临时区间结束坐标作为端部坐标的图层图形的描画优先级；

在所述区间开始坐标是一个图层图形的起点坐标的情况下，所述第二优先级是所述一个图层图形的描画优先级，

在所述区间开始坐标是一个图层图形的终点坐标的情况下，所述第二优先级是指，在所述单位区域图形组中，从所述区间开始坐标扩展至大于所述区间开始坐标的坐标范围为止的图层图形组的描画优先级中的最大的描画优先级。

4.一种描画系统，在基板上描画图案，其特征在于，

具有：

数据转换装置，其利用规定的数据转换方法，将要素输入数据转换成要素输出数据，

描画装置，其基于由所述数据转换装置生成的所述要素输出数据，在基板上描画图案；

所述数据转换方法具有：

（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的所述图形要素的矢量数据，

（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，

（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；

在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：

（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，

（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，

（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，

（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，

（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止；

所述描画装置具有：

基板保持部，其保持所述基板，

光调制元件，其对所述基板照射光，

照射位置移动机构，其使从所述光调制元件导出的光在所述基板上的照射位置沿着所述基板上的与所述第一方向对应的方向，相对于所述基板移动，

光调制元件控制部，其基于所述要素输出数据，控制所述光调制元件调制光。

5.如权利要求4所述的描画系统，其特征在于，

在所述（b4）工序中，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标设定为所述区间结束坐标。

6.如权利要求4所述的描画系统，其特征在于，

所述（b4）工序具有：

（d1）工序，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标作为临时区间结束坐标，

（d2）在第一优先级在第二优先级以上的情况下，将所述临时区间结束坐标作为所述区间结束坐标，在所述第一优先级低于所述第二优先级的情况下，将所述临时区间结束坐标变更为与所述临时区间结束坐标相邻并且大于所述临时区间结束坐标的端部坐标，直到所述第一优先级都变为所述第二优先级以上为止，其中，所述第一优先级是将所述临时区间结束坐标作为端部坐标的图层图形的描画优先级；

在所述区间开始坐标是一个图层图形的起点坐标的情况下，所述第二优先级是所述一个图层图形的描画优先级，

在所述区间开始坐标是一个图层图形的终点坐标的情况下，所述第二优先级是指，在所述单位区域图形组中，从所述区间开始坐标扩展至大于所述区间开始坐标的坐标范围为止的图层图形组的描画优先级中的最大的描画优先级。

7.一种记录介质，记录将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换成作为扫描宽度数据的要素输出数据的程序，其特征在于，

通过所述计算机执行所述程序，来使计算机执行如下的工序：

（a）工序，基于要素输入数据，利用沿着第一方向的多条直线，以规定宽度划分配置有所述图形要素的配置区域，从而设定在与所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述规定宽度的多个单位区域，所述要素输入数据是通过分别层叠具有填涂或者中空的填涂中空属性的多个图层图形来表现的图形要素的矢量数据，

（b）工序，针对多个所述单位区域的各单位区域，在多个所述图层图形中提取与所述各单位区域重叠的单位区域图形组，利用端部坐标，将所述各单位区域划分成在所述第一方向上排列的多个划分区间，决定多个所述划分区间各自的填涂中空属性，所述端部坐标是所述单位区域图形组的各图层图形的所述各单位区域内的起点坐标或者大于所述起点坐标的终点坐标，

（c）工序，基于在所述（b）工序中决定的所述各单位区域的多个所述划分区间各自的填涂中空属性，生成表示所述各单位区域的扫描宽度的单位扫描宽度数据，获取扫描宽度数据来作为要素输出数据，所述扫描宽度数据是多个所述单位区域各自的单位扫描宽度数据的集合；

在所述（b）工序中，针对所述各单位区域执行如下工序：

（b1）工序，获取单位区域图形描画数据的集合，来作为所述单位区域图形组的单位区域图形描画数据组，所述单位区域图形描画数据表示所述单位区域图形组的所述各图层图形的所述起点坐标、所述终点坐标、填涂中空属性及所述单位区域图形组的描画优先级，

（b2）工序，按照所述起点坐标的升序，对所述各图层图形的所述单位区域图形描画数据进行排序，

（b3）工序，在所述各图层图形的所述起点坐标中，将最小的起点坐标作为一个划分区间的区间开始坐标，

（b4）工序，将在第一范围内存在的任意一个端部坐标作为区间结束坐标，将第二范围设定为所述划分区间，将所述划分区间所包含的描画优先级最高的所述图层图形的填涂中空属性作为所述划分区间的填涂中空属性，所述第一范围是指，从所述区间开始坐标连续并且描画优先级最高的图层图形的填涂中空属性相同的范围，所述第二范围是指，在所述区间开始坐标与所述区间结束坐标之间的范围，

（b5）工序，将设定完成的划分区间的区间结束坐标作为下一个划分区间的区间开始坐标，重复所述（b4）工序，直到设定完多个所述划分区间为止。

8.如权利要求7所述的记录介质，其特征在于，

在所述（b4）工序中，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标设定为所述区间结束坐标。

9.如权利要求7所述的记录介质，其特征在于，

所述（b4）工序具有：

（d1）工序，将与所述区间开始坐标相邻并且大于所述区间开始坐标的端部坐标作为临时区间结束坐标，

（d2）在第一优先级在第二优先级以上的情况下，将所述临时区间结束坐标作为所述区间结束坐标，在所述第一优先级低于所述第二优先级的情况下，将所述临时区间结束坐标变更为与所述临时区间结束坐标相邻并且大于所述临时区间结束坐标的端部坐标，直到所述第一优先级都变为所述第二优先级以上为止，其中，所述第一优先级是将所述临时区间结束坐标作为端部坐标的图层图形的描画优先级；

在所述区间开始坐标是一个图层图形的起点坐标的情况下，所述第二优先级是所述一个图层图形的描画优先级，

在所述区间开始坐标是一个图层图形的终点坐标的情况下，所述第二优先级是指，在所述单位区域图形组中，从所述区间开始坐标扩展至大于所述区间开始坐标的坐标范围为止的图层图形组的描画优先级中的最大的描画优先级。