TWI488906B - 樹脂組成物、閘極絕緣層及有機薄膜電晶體 - Google Patents
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Description
本發明有關樹脂組成物,特別是有關薄膜電晶體閘極絕緣層用樹脂組成物。
由於有機場效應電晶體(organic field-effect transistor),係能於較無機半導體為低溫之製程中製造之故,可作為基板而採用塑膠基板或薄膜,故可製作輕量且難以損壞之元件。又,亦有能利用採用含有有機材料之溶液的塗佈或印刷法之成膜而製作元件的情形,因而能以低成本製造大面積元件。再者,由於能用為電晶體研究之材料種類豐富之故,如為研究而採用分子構造不相同的材料時,則可容易根本性改變材料特性。因此,如藉由具有不同功能之材料之組合,則仍能實現在無機半導體所不能實現之多樣化且撓性(flexible)的功能、元件等。
於場效應電晶體中,施加於閘極(gate electrode)之電壓將經由閘極絕緣層而作用於半導體層,以控制汲極電流(drain current)的通‧斷(on-off)。因此,為有機場效應電晶體所用之閘極絕緣層材料,需要優異的絕緣性及作成薄膜時的絕緣破壞強度之特性。又,特別是,在底層閘極(bottom gate)型的場效應電晶體中,半導體層係重疊於閘極絕緣層而形成者。因此,為閘極絕緣層材料,亦需要為形成與有機半導體之良好界面之與有機半導體的親和性、形成與半導體之界面之膜的表面平坦度等特性。
目前,就有機場效應電晶體所用之閘極絕緣層材料而言,已有對種種材料之研究,惟近年來,則為層形成利用不需要高溫條件或複雜的設備之有機材料之技術正受矚目。
專利文獻1中,作為於有機薄膜電晶體之閘極絕緣層材料,而記載有將環氧樹脂具有機矽烷偶合劑(silane coupling agent)組合使用之作法。係如閘極絕緣層材料的吸濕性高時,則在電晶體性能的穩定性會有問題之故,為解決此課題起見,使環氧樹脂的硬化反應時所生成之羥基與有機矽烷偶合劑進行反應者。
於非專利文獻1中,記載有將使聚乙烯基酚與三聚氰胺進行熱交聯之樹脂用於閘基絕緣層。係藉由三聚氰胺進行交聯而去除聚乙烯基酚中所含之羥基,並同時提高膜強度者。具有此種閘基絕緣層之五(peutacene)TFT(thin film transistor,薄膜電晶體)係磁滯(hysteresis)小、對閘偏壓應力(gate bias stress)可顯示耐久性。
於非專利文獻2中,記載有將使聚乙烯基酚及乙烯基酚與甲基丙烯酸甲酯進行共聚合之共聚物用於閘基絕緣層。此乃係經使乙烯基酚的羥基與甲基丙烯酸甲酯的羰基進行互相作用以降低膜全體的極性(polarity)者。具有此種閘極絕緣層之五TFT,係磁滯小,且顯示穩定的電氣特性者。
專利文獻1:日本專利特開2007-305950
非專利文獻1:Appl. Phys. Lett.(應用物理通訊)89,093507(2006年出版)
非專利文獻2:Appl. Phys. Lett. 92期,183306頁(2008年出版)
然而,如考慮將有機電致發光元件(有機EL元件)般的發光元件加以驅動等的實用化時,則需要更提升有機薄膜電晶體的動作精密度,而具有上述以往的閘極絕緣層之有機薄膜電晶體,係磁滯大者。
本發明之目的在於提供一種磁滯小的有機薄膜電晶體。
鑑於上述事實而經過種種研究之結果發現,如採用含有氟原子、而能形成交聯構造之特定的樹脂組成物以形成閘極絕緣層時,則可降低有機薄膜電晶體的磁滯,而完成本發明。上述閘極絕緣層對純水之接觸角(contact angle),較佳為91度以上、更佳為91度以上、110度以下。如該接觸角在110度以上時,則與有機材料和金屬之間的親和性有惡化傾向,而可能難於形成與絕緣層的曝露面相接之有機層和配線層。
本發明之閘極絕緣層對純水之接觸角,更佳為91至100度、再佳為92至96度。
對此閘極絕緣層的形成有用的樹脂組成物,係含有氟原子、且含有能形成交聯構造之特定的高分子化合物之樹脂組成物。
亦即,本發明提供一種樹脂組成物,其係含有:(A)含有選自以一般式(1)表示之重複單元、以一般式(1’)表示之重複單元以及以一般式(2)表示之重複單元所成群組之至少1種重複單元、且分子內含有2個以上之第1官能基,該第1官能基係因電磁波或熱的作用而生成與活性氫反應之第2官能基之官能基之高分子化合物;與(B)選自分子內含有2個以上活性氫之低分子化合物及分子內含有2個以上活性氫之高分子化合物所成群組之至少1種化合物者。
(式中,R1
、R2
以及R3
為相同或不相同,表示氫原子、氟原子或碳數1至20的一價有機基。R表示氫原子或碳數1至20的一價有機基。該一價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。Raa表示碳數1至20的二價有機基。該二價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。a表示0至20的整數,b表示1至5的整數。如Raa有複數個時,其等可為相同或不相同。如R有複數個時,其等可為相同或不相同。)
(式中,R’1
、R’2
以及R’3
為相同或不相同,表示氫原子、氟原子或碳數1至20的一價有機基。R’表示至少1個氫原子為氟原子所取代之碳數1至20的一價有機基。R’aa表示碳數1至20的二價有機基。該二價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。a’表示0至20的整數,b’表示1至5的整數。如R’aa有複數個時,其等可為相同或不相同。如R’有複數個時,其等可為相同或不相同。)
(式中,R4
、R5
、R6
為相同或不相同,表示氫原子、氟原子或碳數1至20的一價有機基。該一價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。Rf表示至少1個氫原子為氟原子所取代之碳數1至20的一價有機基,Rbb表示碳數1至20的二價有機基。該二價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。c表示0至20的整數。如Rbb有複數個時,其等可為相同或不相同。)
於某一形態中,上述樹脂組成物,係用於有機薄膜電晶體閘極絕緣層者。
於某一形態中,第1官能基,係選自經封端劑(blocking agent)所保護(block)之異氰酸基及經封端劑所保護之異硫氰酸基所成群組之至少1種基。
於某一形態中,經封端劑所保護之異氰酸基,係以一般式(3)表示之基。
(式中,X表示氧原子或硫原子,R7
、R8
為相同或不相同,表示氫原子或碳數1至20的一價有機基。)
於某一形態中,經封端劑所保護之異硫氰酸基,係以一般式(4)表示之基。
(式中,X表示氧原子或硫原子,R9
、R10
、R11
為相同或不相同,表示氫原子或碳數1至20的一價有機基。)
本發明提供一種有機薄膜電晶體之閘極絕緣層,其係採用上述任一樹脂組成物所形成。
於某一形態中,對純水之接觸角係91度以上之上述有機薄膜電晶體之閘極絕緣層。
本發明提供一種具有上述閘極絕緣層之有機薄膜電晶體。
本發明提供一種屬於底閘極頂接觸(bottom gate top contact)型或底閘極底接觸(bottom gate bottom contact)型之上述有機薄膜電晶體。
本發明提供一種包含上述有機薄膜電晶體之顯示器用構件。
本發明提供一種包含上述顯示器用構件之顯示器。
本發明之閘極絕緣層,即使施加閘極電壓仍能抑制在閘極絕緣層界面的極化(polarization)。其結果,有機場效應型電晶體的磁滯將降低。又,由於閘極絕緣層的表面較少極性基之故,可抑制載子捕捉順序的形成。其結果,有機場效應型電晶體的Vth的絕對值將降低。
接著,將本發明再詳細加以說明。
在此,本說明書中,「高分子化合物」係指分子中含有複數個重複有同樣構造單元之構造之化合物之意,所謂二聚物(dimer)亦包括在此內。另一方面,「低分子化合物」係指分子中未重複有同樣構造單元之化合物之意。
本發明之閘極絕緣層用樹脂組成物,含有:具有複數個當電磁波或熱進行作用時與活性氫進行反應之官能基,並導入有氟原子之高分子化合物(A),及分子內具有複數個活性氫之活性氫化合物(B)。活性氫係指經結合於氧原子、氮原子以及硫原子般之碳原子以外的原子之氫原子之意。
高分子化合物(A),具有氟取代有機部分,例如,含有氟原子之重複單元。較佳的重複單元,係選自以前述一般式(1)表示之重複單元、前述一般式(1’)表示之重複單元以及前述一般式(2)表示之重複單元所成群組之至少1種。
前述一般式(1)、前述一般式(1’)以及前述一般式(2)中,R1
至R6
及R’1
至R’3
為相同或不相同,表示氫原子、氟原子或碳數1至20的一價有機基。該一價有機基中的氫原子,可為氟原子所取代。在某一形態中,R1
至R6
及R’1
至R’3
均為氫原子,或R4
為甲基、R1
至R3
、R5
及R6
以及R’1
至R’3
為氫原子。R’aa及Rbb表示碳數1至20的二價有機基。該二價有機基中的氫原子可為氟原子所取代。a、a’及c,表示0至20的整數。在某一形態中,a、a’及c為零。
R表示氫原子或碳數1至20的一價有機基。該一價有機基的氫原子,可為氟原子所取代。R’表示至少1個氫原子為氟原子所取代之碳數1至20的一價有機基。b及b’表示1至5的整數。在某一形態中,b為6’表示1至5的整數。在某一形態中,b為5,而b’為1。
Rf表示至少1個氫原子為氟原子所取代之碳數1至20的一個有機基。在某一形態中,Rf為2,2,2-三氟乙基、2,2,3,3,3-五氟丙基、2-(全氟丁基)乙基。
碳數1至20的一價有機基,可為直鏈、分枝、環狀的任一者,可為飽和或不飽和。
碳數1至20的一價有機基而言,可例舉:碳數1至20的直鏈狀烴基、碳數3至20的分枝狀烴基、碳數3至20的環狀烴基、碳數6至20的芳香族烴基,較佳為可例舉:碳數1至6的直鏈狀烴基、碳數3至6的分枝狀烴基、碳數3至6的環狀烴基、碳數6至20的芳香族烴基等。
碳數1至20的直鏈狀烴基、碳數3至20的分枝狀烴基、碳數3至20的環狀烴基,為此等基中所含之氫原子可為氟原子所取代。
碳數6至20的芳香族烴基,為基中的氫原子可為烷基、鹵素原子等所取代。
碳數1至20的一價有機基的具體例而言,可例舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、異丙基、異丁基、第三丁基、環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環戊烯基、環己烯基、三氟甲基、三氟乙基、苯基、萘基、蔥基、甲苯基、二甲苯基、二甲基苯基、三甲基苯基、乙基苯基、二乙基苯基、三乙基苯基、丙基苯基、丁基苯基、甲基萘基、二甲基萘基、三甲基萘基、乙烯基萘基、次乙基(ethenyl)萘基、甲基蔥基、乙基蔥基、五氟苯基、三氟甲基苯基、氯苯基、溴苯基等。
碳數1至20的1元的有機基而言,較佳為烷基。
該碳數1至20的二價有機基而言,可為直鏈、分枝、環狀的任一者,可例舉:碳數1至20的直鏈狀脂肪族烴基、碳數3至20的分枝狀脂肪族烴基、碳數3至20的環狀脂肪族烴基、可為烷基等所取代之碳數6至20的芳香族烴基,而較佳為碳數1至6的直鏈狀烴基、碳數3至6的分枝狀烴基、碳數3至6的環狀烴基、可為烷基等所取代之碳數6至20的芳香族烴基。
脂肪族烴基的具體例而言,可例舉:亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸異丙基、伸異丁基、二甲基伸丙基、伸環丙基、伸環丁基、伸環戊基、伸環己基等。
碳數6至20的芳香族烴基的具體例而言,可例舉:伸苯基、伸萘基、伸蔥基、二甲基伸苯基、三甲基伸苯基、伸乙基伸苯基、二伸乙基伸苯基、三伸乙基伸苯基、伸丙基伸苯基、伸丁基伸苯基、甲基伸萘基、二甲基伸萘基、三甲基伸萘基、乙烯基伸萘基、次乙基伸萘基、甲基伸蔥基、乙基伸蔥基等。
以式(1)表示之重複單元、式(1’)表示之重複單元以及式(2)表示之重複單元的較佳例,為如下述之重複單元。
又,高分子化合物(A),具有當電磁波或熱進行作用時與活性氫基進行反應之官能基。在此,如將高分子化合物(A)所具有之上述官能基作為第1官能基時,雖然第1官能基不與活性氫基反應,惟當對第1官能基以電磁波或熱進行作用時生成第2官能基,而該第2官能基與活性氫反應。換言之,上述第1官能基係藉由電磁波或熱使其去保護(deprotection)而生成與活性氫反應之第2官能基之官能基。第2官能基則於閘極絕緣層的形成過程中受保護(block)至施加電磁波或熱為止,作為第1官能基而存在於樹脂組成物中。其結果,樹脂組成物的儲存穩定性提升。
第1官能基而言,可例舉:經封端劑所保護之異氰酸基或經封端劑所保護之異硫氰酸基。
前述經封端劑所保護之異氫酸基或經封端劑所保護之異硫氰酸基,如使1分子中僅具有1個能與異氰酸基或異硫氰酸基反應之活性氫之封端劑,與異氰酸基或異硫氰酸基反應,則可製造。
前述封端劑而言,較佳為即使與異氰酸基或異硫氰酸基反應後,仍在170℃以下的溫度解離(dissociation)者。封端劑而言,可例舉:醇系化合物、酚系化合物、活性亞甲基系化合物、硫醇系化合物、醯胺系化合物、醯亞胺系化合物、咪唑系化合物、脲系化合物、肟系化合物、胺系化合物、亞胺系化合物、亞硫酸氫鹽、吡啶系化合物、吡唑系化合物等。可將此等以單獨或混合2種以上之方式使用。較佳為可舉:肟系化合物、吡唑系化合物。
具體的封端劑而言,醇系化合物而言,可例舉:甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、2-乙基己醇、甲基溶纖素、丁基溶纖素、甲基卡必醇、苄醇、環己醇等。酚系化合物而言,可例舉:酚、甲酚、乙基酚、丁基酚、壬基酚、二壬基酚、苯乙烯化酚、羥基安息香酸酯等。活性亞甲基系化合物而言,可例舉:丙二酸二甲酯、丙二醇二乙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、乙醯丙酮等。硫醇系化合物而言,可例舉:丁基硫醇、十二烷基硫醇等。醯胺系化合物而言,可例舉:乙醯替苯胺、乙醯胺、ε-己內醯胺、δ-戊內醯胺、γ-丁內醯胺等。醯亞胺系化合物而言,可例舉:琥珀醯亞胺、馬來醯亞胺等。咪唑系化合物而言,可例舉:咪唑、2-甲基咪唑等。脲系化合物而言,可例舉:脲、硫脲、伸乙基脲等。胺系化合物而言,可例舉二苯基胺、苯胺、卡唑(cabazole)等。亞胺系化合物而言,可例舉:伸乙基亞胺、聚伸乙基亞胺等。亞硫酸氫鹽而言,可例舉:亞硫酸氫酸鈉等。吡啶系化合物而言,可例舉:2-羥基吡啶、2-羥基喹啉等。肟系化合物而言,可例舉:甲醛肟(formaldoxime)、乙醛肟、丙酮肟(acetoxime)、甲基乙基酮肟、環己酮肟等。吡唑系化合物而言,可例舉:3,5-二甲基吡唑、3,5-二乙基吡唑等。
可用於本發明之經封端劑所保護之異氰酸基或異硫氰酸基而言,較佳為以下述一般式(3)或一般式(4)表示之基。
式(3)及式(4)中,X表示氧氣原子或硫原子、R7
至R11
為相同或不相同,表示氫原子或碳數1至20的一價有機基。一價有機基的定義,具體例等,係與前述的R1
至R6
中之一價有機基及定義、具體例等相同者。
於某一形態中,R7
及R8
,係分別獨立選自甲基及乙基所成群組之基,而R9
至R11
為氫原子。
經封端劑所保護之異氰酸基而言,可例舉:O-(亞甲基胺基)羧基胺基、O-(1-亞乙基胺基)羧基胺基、O-(1-甲基亞乙基胺基)羧基胺基、O-[1-甲基亞丙基胺基]羧基胺基、(N-3,5-二甲基吡唑基羰基)胺基、(N-3-乙基-5-甲基吡唑基羰基)胺基、(N-3,5-二乙基吡唑基羰基)胺基、(N-3-丙基-5-甲基吡唑基羰基)胺基、(N-3-乙基-5-丙基吡唑基羰基)胺基等。
經封端劑所保護之異硫氰酸基而言,可例舉:O-(亞甲基胺基)硫羧基胺基、O-(1-亞乙基胺基)硫酸基胺基、O-(1-甲基亞乙基胺基)硫羧基胺基、O-[1-甲基亞丙基胺基]碳羧基胺基、(N-3,5-二甲基吡唑基硫羰基)胺基、(N-3-乙基-5-甲基吡唑基硫羰基)胺基、(N-3,5-二乙基吡唑基硫羰基)胺基、(N-3-丙基-5-甲基吡唑基硫羰基)胺基、(N-3-乙基-5-丙基吡唑硫羰基)胺基等。
本發明中所用之第1官能基而言,較佳為經封端劑所保護之異氰酸基。
高分子化合物(A),可由例如,以一般式(1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體或以一般式(1’)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、和以一般式(2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、和含有第1官能基之聚合性單體,採用光聚合引發劑或熱聚合引發劑以進行聚合之方法而製造。
以一般式(1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、以一般式(1’)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體而言,可例舉:4-三氟甲基苯乙烯、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯、4-氟甲基苯乙烯等。
以一般式(2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體而言,可例舉:丙烯酸2,2,2-三氟乙基酯、丙烯酸2,2,3,3,3-五氟丙基酯、丙烯酸2-(全氟丁基)乙基酯、丙烯酸3-全氟丁基-2-羥基丙基酯、丙烯酸2-(全氟己基)乙基酯、丙烯酸3-全氟己基-2-羥基丙基酯、丙烯酸2-(全氟辛基)乙基酯、丙烯酸3-全氟辛基-2-羥基丙基酯、丙烯酸2-(全氟癸基)乙基酯、丙烯酸2-(全氟-3-甲基丁基)乙基酯、丙烯酸3-(全氟-3-甲基丁基)-2-羥基丙基酯、丙烯酸2-(全氟-5-甲基己基)乙基酯、丙烯酸2(全氟-3-甲基丁基)-2-羥基丙基酯、丙烯酸3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基酯、丙烯酸2-(全氟-7-甲基辛基)乙基酯、丙烯酸3-(全氟-7-甲基辛基)-2-羥基丙基酯、丙烯酸1H,1H,3H-四氟丙基酯、丙烯酸1H,1H,5H-八氟戊基酯、丙烯酸1H,1H,7H-十二氟庚基酯、丙烯酸1H,1H,9H-十六氟壬基酯、丙烯酸1H-1-(三氟甲基)三氟乙基酯、丙烯酸1H,1H,3H-六氟丁基酯、甲基丙烯酸2,2,2-三氟乙基酯、甲基丙烯酸2,2,3,3,3-五氟丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟丁基)乙基酯、甲基丙烯酸3-全氟丁基-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟己基)乙基酯、甲基丙烯酸3-全氟己基-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟辛基)乙基酯、甲基丙烯酸3-全氟辛基-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟癸基)乙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟-3-甲基丁基)乙基酯、甲基丙烯酸3-(全氟-3-甲基丁基)-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟-5-甲基己基)乙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟-3-甲基丁基)-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸2-(全氟-7-甲基辛基)乙基酯、甲基丙烯酸3-(全氟-7-甲基辛基)-2-羥基丙基酯、甲基丙烯酸1H,1H,3H-四氟丙基酯、甲基丙烯酸1H,1H,5H-八氟戊基酯、甲基丙烯酸1H,1H,7H-十二氟庚基酯、甲基丙烯酸1H,1H,9H-十六氟壬基酯、甲基丙烯酸1H-1-(三氟甲基)三氟乙基酯、甲基丙烯酸1H,1H,3H-六氟丁基酯等。
含有第1官能基之聚合性單體而言,可例舉:分子內具有經封端劑所保護之異氰酸基或經封端劑所保護之異硫氰酸基與不飽和鍵之單體。分子內具有該經封端劑所保護之異氰酸基或經封端劑所保護之異硫氰酸基與不飽和鍵之單體,如使分子內具有異氰酸基或異硫氰酸基與不飽和鍵之化合物與封端劑反應即可製造。不飽和鍵而言,較佳為不飽和雙鍵。
分子內具有不飽和雙鍵與異氰酸基之化合物而言,可例舉:2-丙烯醯氧乙基異氰酸酯、2-甲基丙烯醯氧乙基異氰酸酯、2-(2’-甲基丙烯醯氧乙基)氧基乙基異氰酸酯等。分子內具有不飽和雙鍵與異硫氰酸基之化合物而言,可例舉:2-丙烯醯氧乙基異硫氰酸酯、2-甲基丙烯醯氧乙基異硫氰酸酯、2-(2’-甲基丙烯醯氧乙基)氧乙基異硫氰酸酯等。
該封端劑而言,可很適合採用前述的封端劑,需要時,可添加有機溶劑、觸媒等。
於前述分子內具有不飽和雙鍵與經封端劑所保護之異氰酸基之單體而言,可例舉:2-[O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯、2-[N-[1’,3’-二甲基吡唑基-羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯等。
該光聚合引發劑而言,可例舉:乙醯苯(acetophenone)、2,2-二甲氧基-2-苯基乙醯苯、2,2-二乙氧基乙醯苯、4-異丙基-2-羥基-2-甲基丙醯苯(propiophenone)、2-羥基-2-甲基丙醯苯、4,4’-雙(二乙基胺基)二苯基酮、二苯基酮(benzophenone)、甲基(鄰-苯甲醯基)苯甲酸酯、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(鄰-乙氧羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(鄰-苯甲醯基)肟、苯偶姻(benzoin)、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻異丁基醚、苯偶姻辛基醚、二苯乙二酮(benzil)、二苯乙二酮二甲基酮縮醇(ketal)、二苯乙二酮二乙基酮縮醇、丁二酮(diacetyl)等羰基化合物,甲基蔥醌、氯蔥醌、氯噻噸酮(chlorothioxanthone)、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮等蔥醌或噻噸酮衍生物,二苯基二硫化物、二硫代胺基甲酸酯等硫化合物。
該熱聚合引發劑而言,只要是能成為自由基聚合的引發劑則可,可例舉:2,2’-偶氮雙異丁腈、2,2’-偶氮雙異戊腈、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、4,4’-偶氮雙(4-氰基戊酸)、1,1’-偶氮雙(環己腈)、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙烷)、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙醯脒(methyl propione amidine))二鹽酸鹽等偶氮系化合物,甲基乙基酮過氧化物、甲基異丁基酮過氧化物、環已酮過氧化物、乙醯丙酮過氧化物等酮過氧化物類,異丁基過氧化物、苯甲醯過氧化物、2,4-二氯苯甲醯過氧化物、鄰甲基苯甲醯過氧化物、月桂醯過氧化物、對-氯苯甲醯過氧化物等二醯基過氧化物類,2,4,4-三甲基戊基-2-氫過氧化物、二異丙基苯過氧化物、茴香素(cumene)氫過氧化物、第三丁基過氧化物等氫過氧化物類,二茴香基過氧化物、第三丁基茴香基過氧化物、二-第三丁基過氧化物、參(第三丁基過氧基)三等二烷基過氧化物類,1,1-二-第三過氧基環己烷、2,2-二(第三基過氧基)丁烷等過氧化酮縮醇類,過氧基三甲基乙酸第三丁基酯(pisalate)、過氧-2-乙基己酸第三丁基酯、過氧異丁酸第三丁基酯、過氧六氫對苯二甲酸二-第三丁基酯、過氧壬二酸二-第三丁基酯、過氧-3,5,5-三甲基己酸第三丁基酯、過氧乙酸第三丁基酯、第三丁基過氧苯甲酸第三丁基酯、過氧三甲基己二酸二-第三丁基酯等烷基過氧酯類,過氧二碳酸二異丙基酯、過氧二碳酸二-第二丁基酯、過氧異丙基碳酸第三丁基酯等過氧碳酸酯類。
本發明中所用之高分子化合物,除了以前述一般式(1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、以前述一般式(1’)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、和以前述一般式(2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、含有第1官能基之聚合性單體以外,亦可在聚合時添加其他能聚合之單體而製造。
該其他能聚合之單體而言,可例舉:丙烯酸酯及其衍生物、甲基丙烯酸酯及其衍生物、苯乙烯及其衍生物、醋酸乙烯酯及其衍生物、甲基丙烯腈及其衍生物、丙烯腈及其衍生物、有機羧酸的乙烯酯及其衍生物、有機羧酸的烯丙酯及其衍生物、富馬酸的二烷酯及其衍生物、馬來酸的二烷酯及其衍生物、衣康酸的二烷酯及其衍生物、有機羧酸的N-乙烯醯胺衍生物、馬來醯亞胺及其衍生物、末端不飽和烴及其衍生物等、有機鍺(Ge)衍生物等。
該其他能聚合之單體的種類,可按對閘極絕緣層所需要之特性而適當加以選擇。如優先需要優異的耐久性或較小的磁滯的情形,則選擇苯乙烯或苯乙烯衍生物般分子密度高而能形成硬膜之單體。如優先需要對閘極電極或基板表面般的鄰接面之黏附性的情形,則如甲基丙烯酸酯及其衍生物、丙烯酸酯及其衍生物般,選擇能賦予柔軟性之單體。於較佳的一形態中,則選擇不具有甲基、乙基等烷基般含有活性氫之基之單體。
例如,組合採用以前述一般式(1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體或以前述一般式(1’)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體和不具有含有活性氫之基之苯乙烯或苯乙烯衍生物,則可製得耐久性特高,磁滯小的閘極絕緣層。
丙烯酸酯類及其衍生物而言,可使用單官能的丙烯酸酯或雖然使用量上有其限制,惟亦能使用多官能的丙烯酸酯,可例舉:丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、丙烯酸第二丁酯、丙烯酸己酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸-2-乙基己酯、丙烯酸癸酯、丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環己酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸-2-羥乙酯、丙烯酸-2-羥丙酯、丙烯酸-3-羥丙酯、丙烯酸-2-羥丁酯、丙烯酸-2-羥苯酯、乙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、異戊四醇五丙烯酸酯、N,N-二甲基丙烯醯胺,N,N-二乙基丙烯醯胺、N-丙烯醯基嗎啉(morpholine)等。
甲基丙烯酸酯類及其衍生物而言,可使用單官能的甲基丙烯酯,或雖然使用量上有其限制,惟亦可使用多官能的甲基丙烯酸酯,可例舉:甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸-2-乙基己酯、甲基丙烯酸癸酯、甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸-2-羥乙酯、甲基丙烯酸-2-羥丙酯、甲基丙烯酸-3-羥丙酯、甲基丙烯酸-2-羥丁酯、甲基丙烯酸-2-羥苯基乙酯、乙二醇二-甲基丙烯酸酯、丙二醇二-甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二-甲基丙烯酸酯、二乙二醇二-甲基丙烯酸酯、三乙二醇二-甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二-甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三-甲基丙烯酸酯、異戊四醇五-甲基丙烯酸酯、N,N-二甲基甲基丙烯醯胺、N,N-二乙基甲基丙烯醯胺、N-丙烯醯基嗎啉等。
苯乙烯及其衍生物而言,可例舉:苯乙烯、2,4-二甲基-α-甲基苯乙烯、鄰-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯、對-甲基苯乙烯、2,4-二甲基苯乙烯、2,5-二甲基苯乙烯、2,6-二甲基苯乙烯、3,4-二甲基苯乙烯、3,5-二甲基苯乙烯、2,4,6-三甲基苯乙烯、2,4,5-三甲基苯乙烯、五甲基苯乙烯、鄰-乙基苯乙烯、間-乙基苯乙烯、對-乙基苯乙烯、鄰-氯苯乙烯、間-氯苯乙烯、對-氯苯乙烯、鄰-溴苯乙烯、間-溴苯乙烯、對-溴苯乙烯、鄰-甲氧基苯乙烯、間-甲氧基苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯、鄰-羥基苯乙烯、間-羥基苯乙烯、對-羥基苯乙烯、2-乙烯基聯苯、3-乙烯基聯苯、4-乙烯基聯苯、1-乙烯基萘、2-乙烯基萘、4-乙烯基對-聯三萘、1-乙烯基蔥、α-甲基苯乙烯、鄰-異丙烯基甲苯、間-異丙烯基甲苯、對-異丙烯基甲苯、2,4-二甲基-α-甲基苯乙烯、2,3-二甲基-α-甲基苯乙烯,3,5-二甲基-α-甲基苯乙烯、對-異丙基-α-甲基苯乙烯、α-乙基苯乙烯、α-氯苯乙烯、二乙烯基苯、二乙烯基聯苯、二異丙基苯、4-胺基苯乙烯等。
丙烯基腈及其衍生物而言,可例舉:丙烯腈等。甲基丙烯基腈及其衍生物而言,可例舉:甲基丙烯腈等。
有機羧酸的乙烯酯及其衍生物而言,可例舉:醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、安息香酸乙烯酯、己二酸二酸乙烯酯等。
有機羧酸的烯丙酯及其衍生物而言,可例舉:醋酸烯丙酯、安息香酸烯丙酯、己二酸二-烯丙酯、對酞酸二-烯丙酯、異酞酸二-烯丙酯、酞酸二-烯丙酯等。
富馬酸的二烷酯及其衍生物而言,可例舉:富馬酸二甲酯、富馬酸二乙酯、富馬酸二異丙酯、富馬酸二-第二丁酯、富馬酸二異丁酯、富馬酸二正丁酯、富馬酸二-2-乙基己酯、富馬酸二苄酯等。
馬來酸的二烷酯及其衍生物而言,可例舉:馬來酸二甲酯、馬來酸二乙酯、馬來酸二異丙酯、馬來酸二-第二丁酯、馬來酸二異丁酯、馬來酸二正丁酯、馬來酸二-2-乙基己酯、馬來酸二苄酯等。
衣康酸的二烷酯及其衍生物而言,衣康酸二甲酯、衣康酸二乙酯、衣康酸二異丙酯、衣康酸二-第二丁酯、衣康酸二異丁酯、衣康酸二正丁酯、衣康酸二-2-乙基己酯、衣康酸二苄酯等。
有機羧酸的N-乙烯醯胺衍生物而言,可例舉:N-甲基-N-乙烯基乙醯胺等。
馬來醯亞胺及其衍生物而言,可例舉:N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺等。
末端不飽和烴及其衍生物而言,可例舉:1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯、乙烯基環己烷、氯化乙烯、烯丙醇等。
有機鍺衍生物而言,可例舉:烯丙基三甲基鍺、烯丙基三乙基鍺、烯丙基三丁基鍺、三甲基乙烯基鍺、三乙基乙烯基鍺等。
此等之中,較佳為丙烯酸烷酯、甲基丙烯酸烷酯、苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、烯丙基三甲基鍺。
以前述一般式(1)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、以前述一般式(1’)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體、或以前述一般式(2)表示之重複單元的原料所成之聚合性單體的使用量,係以導入於高分子化合物(A)之氟量能成為適量之方式加以調節。
導入於高分子化合物(A)中之氟量,對於高分子化合物的質量,較佳為1至60質量%、更佳為5至50質量%、再更佳為5至40質量%。如氟量未達1質量%時,可能使場效應電晶體的磁滯降低之效果成為不充分,而如超過60質量%時,則可能與有機半導體材料的親和性惡化而難於將活性層層合於其上。
將分子內具有經被不飽和雙鍵與經封端劑所保護之異氰酸基或經封端劑所保護之異硫氰酸基之單體的饋入莫耳比,係在所有參與聚合之單體中,較佳為5莫耳%以上、60莫耳%以下、更佳為10莫耳%以上、50莫耳%以下者。如將上述單體的饋入莫耳比作成此種範圍,則交聯構造將充分形成於閘極絕緣層內部,並保持極性基的含量為低水準(level),可抑制閘極絕緣層的極化。
高分子化合物(A),較佳為重量平均分子量在3,000至1,000,000、更佳為5,000至500,000,可為直鏈狀、分枝狀、環狀的任一者。
構成高分子化合物(A)之以一般式(1)表示之重複單元、一般式(1’)表示之重複單元、以及一般式(2)表示之重複單元,係在重複單元中導入氟原子,而不具有羥基般的含有活性氫之基。因此,所形成之閘極絕緣層可推想為以整體而言,其極性低,即使施加閘極電壓時容易極化之成分少,可抑制閘極絕緣層的極化。如閘極絕緣層的極化被抑制時,則有機場效應電晶體的磁滯降低,操作精密度可獲提升。
含有可用於本發明中之選自以前述一般式(1)表示之重複單元、前述一般式(1’)表示之重複單元以及前述一般式(2)表示之重複單元所成之群之至少1種重複單元、且在分子內含有因電磁波或熱而生成與活性氫反應之第2官能基之2個以上第1官能基之高分子化合物而言,可例舉:聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-{2-[1’-(3’,5’-二甲吡唑基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-丙烯腈-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-丙烯腈-共聚-{2-[1’-(3’,5’-二甲基吡唑基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-丙烯腈-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯}-共聚-烯丙基三甲基鍺)、聚(苯乙烯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-丙烯腈-共聚-{2-[1’-(3’,5’-二甲基吡唑基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯}-共聚-烯丙基三甲基鍺)、聚(甲基丙烯酸甲酯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(甲基丙烯酸甲酯-共聚-五氟苯乙烯-共聚-{2-[1’-(3’,5’-二甲基吡唑基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚(2,2,2-三氟乙基甲基丙烯酸酯)-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-(2,2,2-三氟乙基甲基丙烯酸酯)-共聚-{2-[1’-(3’,5’-二甲基吡唑基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})、聚(苯乙烯-共聚-4-三氟甲基苯乙烯-共聚-{2-[O-(1’-甲基亞丙基胺基)羧基胺基]乙基-甲基丙烯酸酯})等。
活性氫化合物(B),係例如:分子內含有2個以上活性氫之低分子化合物、分子內含有2個以上活性氫之高分子化合物。活性氫而言,典型上可舉:胺基、羥基或巰基等中所含之氫原子。作為活性氫,上述之反應性官能基,尤其能良好發生與異氰酸基、異硫氰酸基之間的反應之酚性羥基中的羥基所含之氫、芳香族胺基中的胺基所含之氫為合適。
該低分子化合物的具體例,係具有含2個以上活性氫之基經結合為低分子(單體)構造者之化合物。此種低分子構造而言,可例舉:烷基構造或苯環構造。該低分子化合物的具體例而言,可例示:胺系化合物、醇系化合物、酚系化合物或硫醇系化合物等低分子化合物。
例如,胺系化合物而言,伸乙基二胺、伸丙基二胺、六亞甲基二胺、N,N,N’,N’-四胺基乙基伸乙基二胺、鄰-伸苯基二胺、間-伸苯基二胺、對-伸苯基二胺、N,N’-二苯基對-伸苯基二胺、三聚氰胺、2,4,6-三胺基嘧啶、1,5,9-三氮雜環十二烷、1,3-雙(3-胺基丙基)四甲基二矽氧烷、1,4-雙(3-胺基丙基二甲基甲矽烷基)苯、3-(2-胺基乙基胺基丙基)參(三甲基矽烷氧基)矽烷、1,3-雙(3’-胺基苯氧基)苯、2,2-雙三氟甲基聯苯胺、1,3-雙(3-胺基丙基)-1,1,3,3-四甲基二矽氧烷、1,4-雙(3-胺基丙基二甲基甲矽烷基)苯、3-(2-胺基乙基胺基丙基)參(三甲基矽烷氧基)矽烷等。
醇系化合物而言,可例舉:乙二醇、1,2-二羥基丙烷、甘油、1,4-二甲醇苯等。酚系化合物而言,可例舉:1,2-二羥基苯、1,3-二羥基苯、1,4-二羥基苯、1,2-二羥基萘、間苯二酚(resorcin)、氟代甘油、2,3,4-三羥基苯甲醛、3,4,5-三羥苯甲醯胺、二(4-羥基-3-硝苯基)醚等。再者,硫醇系化合物而言,可例舉:伸乙基二硫醇、對伸苯基二硫醇等。
另一方面,該高分子化合物而言,活性氫可為直接結合於構成高分子化合物之主鏈、亦可為經由既定的基而結合。又,活性氫,可為含於構成高分子化合物之構造單元中,此時,可為含於各構造單元中,亦可為僅含於一部分的構造單元中,再者,活性氫,亦可為僅結合於高分子化合物的末端。
該高分子化合物的具體例,係具有含2個以上活性氫之基經結合於高分子(聚合物)構造者之化合物。此種高分子化合物,如使分子內具有含活性氫之基及雙鍵等不飽和鍵之單體化合物(單體),單獨進行聚合、或與其他共聚合性化合物共聚合以形成聚合物即可製得。當進行此等的聚合時,亦可採用光聚合引發劑或熱聚合引發劑。在此,聚合性單體、光聚合引發劑、熱聚合引發劑而言,可採用與上述同樣者。
分子內具有含活性氫之基及分子內具有不飽和鍵之單體而言,可例舉:胺基苯乙烯、羥基苯乙烯、乙烯基苄基醇、胺基乙基甲基丙烯酸酯、乙二醇單乙烯基醚。
又,高分子化合物而言,使酚化合物與甲醛,在酸觸媒的存在下進行縮合所得之酚醛清漆樹脂(novolac resin)亦很合適。再者,高分子化合物而言,使有機矽化合物在酸觸媒的存在下進行縮合所得之聚倍半矽氧烷(poly silsesquioxane)化合物亦合適。該聚倍半矽氧烷化合物而言,可例舉:聚{二甲基-2-(4’-羥苯基)乙基倍半矽氧烷}等。
分子內具有含2個以上活性氫之基之高分子化合物的聚苯乙烯換算的重量平均分子量,較佳為1,000至l,000,000、更佳為3,000至500,000。由此,將可獲得絕緣層的平坦性及均勻性成為良好之效果。
將高分子化合物(A)與活性氫化合物(B)混合,則可製得閘極絕緣層用樹脂組成物。兩者的混合比例,係與高分子化合物(A)的活性氫反應之官能基和活性氫化合物(B)的含活性氫之基,係按莫耳比計,成為較佳為60/100至150/100、更佳為70/100至120/100、再佳為90/100至110/100之方式加以調節。如該比例未達60/100時,則活性氫將成為過剩而可能磁滯降低效果變小,如超過150/100時,則與活性氫反應之官能基成為過剩,臨界電壓(threshold voltage)可能增大。
於此閘極絕緣層用樹脂組成物中,可含有混合或黏度調節用的溶劑、或當使樹脂交聯時與交聯劑組合而通常採用之添加劑等。所使用之溶劑,為:四氫呋喃或二乙基醚等醚系溶劑、如己烷等脂肪族烴系溶劑、環己烷等脂環族烴系溶劑、戊烯等不飽和烴系溶劑、二甲苯等芳香族烴系溶劑、丙酮等酮系溶劑、乙酸丁基酯等乙酸酯系溶劑、異丙醇等醇系溶劑、氯仿等鹵素系溶劑或此等的混合溶液。又,添加劑而言,可採用為促進交聯反應用的觸媒、調平劑(leveling agent)、黏度調節劑等。
第1圖,係表示作為本發明之一實施形態之底閘極頂接觸型有機薄膜電晶體的構造之模式剖面圖。於此有機薄膜電晶體中,具備有:基板1、經形成於基板1上之閘電極2、經形成於閘電極2上之閘極絕緣層3、經形成於閘極絕緣層3之有機半導體層4、經形成於有機半導體層4上以通道部夾持之源電極5及汲電極6、以及覆蓋元件全體之罩層7。
底閘極頂接觸型有機薄膜電晶體,係例如,於基板上形成閘電極、於閘電極上形成閘極絕緣層,於閘極絕緣層上形成有機半導體層、於有機半導體層上形成源電極、汲電極,需要時形成罩面層即可製造。
第2圖,係表示作為本發明之另一實施形態之底閘極底接觸型有機薄膜電晶體的構造之模式剖面圖。於此有機薄膜電晶體中,具備有:基板1、經形成於基板1上之閘電極2、經形成於閘電極上之閘極絕緣層3、經形成於閘極絕緣層3上以通道部夾持之源電極5及汲電極6,經形成於源電極5及汲電極6之有機半導體層4、以及覆蓋元件全體之罩層7。
底閘極底接觸型有機薄膜電晶體,係例如,於基板上形成閘電極、於閘電極上形成閘極絕緣層,於閘極絕緣層上形成源電極、汲電極,於源電極、汲電極上形成有機半導體層,需要時形成罩面層即可製造。
閘極絕緣層之形成,係於閘極絕緣用樹脂組成物中,需要時再添加溶劑等以調製絕緣層塗佈液,並將絕緣層塗佈液塗佈於閘電極上後使其乾燥、硬化之方式實施。可用於該絕緣層塗佈液之有機溶劑而言,只要是能使高分子化合物及交聯劑者則並不特別加以限制,惟較佳為常壓的沸點在100℃至200℃的有機溶劑。該有機溶劑而言,可例舉:2-庚酮、丙二醇單甲基醚乙酸酯等。於該絕緣層塗佈液中,需要時可添加調平劑、界面活性劑、硬化觸媒等。
該絕緣層塗佈液,則可依旋轉塗佈法(spin coat)、壓模塗佈機(die coater)、絲網印刷法(screen printing)、噴墨(ink jet)等方法塗佈於閘電極上。
在形成閘極絕緣層之過程中所實施之乾燥,係指去除所塗佈之樹脂組成物之溶劑之意。硬化,係指樹脂組成物交聯之意。本發明之樹脂組成物交聯之過程,包含作為第1階段,於高分子化合物(A)中第1官能基被去保護後生成能與活性氫反應之第2官能基之階段,接著,作為第2階段,所生成之第2官能基與活性氫化合物(B)反應之階段。如比較交聯用的第1階段與第2階段時,則第1階段係較第2階段為反應速度遲緩,因而,一旦進行第1階段時,則第2階段將自動進行。因此,如欲使樹脂組成物硬化時,則使其進行交聯用的第1階段即可。
如欲進行上述第1階段時,需要使電磁波或熱進行作用,而作為具體性手段而言,包含電磁波的照射及煅燒等手段。電磁波之照射,可採用例如,半導體的製造所使用之曝光裝置或使UV(紫外線)硬化性樹脂硬化所使用之UV燈。煅燒作業,係在較高溫下,例如,在80℃至300℃、較佳為120至250℃的溫度加熱5分鐘至2小時,較佳為10分鐘至1小時左右之方式進行。使高分子化合物(A)中所含之第1官能基去保護用的照射條件及煅燒條件,則按照第1官能基的種類及量而適當加以決定。
閘極絕緣層對純水之接觸角,係考慮為層形成使用之樹脂所具有之氟、疏水性官能基以及親水性官能基的量而增減表面的親水性之方式適當加以調節。閘極絕緣層的表面親水性的增減,可在各種氣體氣氛中加熱之方式進行。例如,將形成閘極絕緣層時所實施之加熱或煅燒(乾燥及硬化等),在含有氧氣之雰圍中實施時,則表面親水性將增大,而如在惰性氣體氣氛中實施時,則表面親水性將降低。當在含有氧氣之雰圍中進行加熱之情形,如提高溫度時,則表面親水性將增大。
於閘極絕緣層上,亦可形成自組裝單分子膜層(self-assembled monolayers)。該自組裝單分子膜層,例如,以經於有機溶劑中溶解有1至10重量%之烷基氯矽烷化合物或烷基烷氧基矽烷化合物的溶液進行閘極絕緣層之處理即可形成。
該烷基氯矽烷化合物而言,可例舉:甲基三氯矽烷、乙基三氯矽烷、丁基三氯矽烷、癸基三氯矽烷、十八烷基三氯矽烷等。
該烷基烷氧基矽烷化合物而言,可例舉:甲基三甲氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、丁基三甲氧基矽烷、癸基三甲氧基矽烷、十八烷基三甲氧基矽烷等。
基板1、閘電極2、源電極5、汲電極6以及有機半導體層4,係利用通常使用之材料及方法構成即可。例如,為基板材料,則可採用樹脂或塑膠之板或膜、玻璃板、矽板等。為電極材料,則採用鉻、金、銀、鋁等,並依蒸鍍法、濺鍍法、印刷法、噴墨法等周知的方法加以形成。
作為有機半導體化合物,則廣範採用π共軛聚合物,例如,可採用:聚吡咯類、聚噻吩類、聚苯胺類、聚烯丙基胺類、茀(fluorene)類、聚咔唑類、聚吲哚類、聚(對-伸苯基亞乙烯)類等。又,亦可採用具有對有機溶劑的溶解性之低分子物質,例如,五等的多環芳香族的衍生物、酞花青(phthalocyanine)衍生物、苝衍生物、四硫富瓦烯(tetrathiafurvalene)衍生物、四氰基苯醌二甲烷衍生物、富勒烯(fullerene)類、奈米碳管(carbon nanotube)類等。可具體例舉:9,9-二正辛基薄-2,7-二(伸乙基硼酸酯)、與5,5’-二溴-2,2’-雙噻吩的縮合物等。
有機半導體層的形成,係於例如,有機半導體化合物中,需要時添加溶劑等以調製有機半導體塗佈液,並將此塗佈於閘極絕緣層上後使其乾燥之方式實施。本發明中,構成閘極絕緣層之樹脂具有苯基部分或羰基部分,而具有與有機半導體化合物之親和性。因此,如利用上述塗佈乾燥法,即可於有機半導體層與閘極絕緣層之間形成均勻且平坦的界面。
所使用之溶劑,只要是能使有機半導體溶解或分散者則並不特別加以限制,惟較佳為常壓的沸點在50℃至200℃者。該溶劑而言,可例舉:氯仿、甲苯、茴香醚(anisole)、2-庚酮、丙二醇單甲基醚乙酸酯等。該有機半導體塗佈液,則與前述絕緣層塗佈液同樣,可依周知的旋轉塗佈法、壓模塗佈機、絲網印刷法、噴墨等方法塗佈於閘極絕緣層上。
本發明之有機薄膜電晶體,以保護有機薄膜電晶體、又為提高表面平滑性之目的,可使用罩層材料加以覆罩。
如採用本發明之有機薄膜電晶體,則可順利製作具有有機薄膜電晶體之顯示器用構件。如採用具有該有機薄膜電晶體之顯示器用構件,則可順利製作具備有顯示器用構件之顯示器。
以下,將藉由實施例而說明本發明內容,惟當然本發明之內容並不因實施例而有所限定。實施例的化學式中,括號的下標數字乃表示重複單元的莫耳分率。
將苯乙烯(和光純藥製)2.06g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)2.43g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.06g、2-庚酮(和光純藥製)14.06g,置入50ml耐壓容器(ACE製)中,通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物1之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物1的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物1利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為32,800(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯甲酸乙烯基酯(Aldrich公司製)22.22g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)14.56g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)6.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.43g、2-庚酮(和光純藥製)64.17g,置入125ml耐壓容器(ACE製)中,通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物2之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物2的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物2利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為21,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
於9,9-二正辛基薄-2,7-二(伸乙基硼酸酯)6.40g、5,5’-二溴-2,2’-雙噻吩4.00g的甲苯(80ml)中的混合物,在氮氣之下添加肆(三苯基膦)鈀0.18g、氯化甲基三辛基銨(Aldrich製、商品名「Aliquat 336」(登錄商標))1.0g、以及2M(莫耳)的碳酸鈉水溶液24ml。將此混合物加以激烈攪拌,並進行回流24小時之加熱。將黏稠的反應混合物注入於丙酮500ml,以使纖維狀的黃色聚合物沈澱。藉由過濾而收集該聚合物,使用丙酮加以洗滌,於真空烘箱內在60℃使其乾燥一夜。將所得聚合物稱為高分子化合物3。高分子化合物3的化學構造,係如下所示。
[式中,n為整數。]
從所得高分子化合物3利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為61,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將4-胺基苯乙烯(Aldrich公司製)3.50g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)13.32g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.08g、2-庚酮(和光純藥製)25.36g,置入125ml耐壓容器(ACE製)中,通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物4之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物4的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物4利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為132,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)28.31g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)15.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.43g、2-庚酮(和光純藥製)65.61g,置入125ml耐壓容器(ACE製)中,通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物5之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物5的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物5利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為28,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)4.04g、甲基丙烯酸2-三氟乙基酯(Aldrich公司製)2.80g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.04g、2-庚酮(和光純藥製)11.77g,置入50ml耐壓容器(ACE製)中,通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物6之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物6的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物6利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為50,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(Aldrich公司製)2.17g、甲基丙烯酸2-三氟乙基酯(Aldrich公司製)2.80g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.06g、2-庚酮(和光純藥製)11.77g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物7之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物7的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物7利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為32,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)1.66g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)3.87g、2-{N-[1’,3’-二甲基吡唑]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BP」)1.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.03g、2-庚酮(和光純藥製)9.7g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物8之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物8的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物8的標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為57,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)3.64g、4-三氟苯乙烯(Aldrich公司製)3.01g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.40g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.08g、2-庚酮(和光純藥製)18.79g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物9之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物9的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物9利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為33,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)3.64g、2-三氟苯乙烯(Aldrich公司製)3.01g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.40g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.08g、2-庚酮(和光純藥製)18.79g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物10之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物10的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物10利用標準苯乙烯所求得之重量平均分子量,為22,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)3.64g、3-三氟苯乙烯(Aldrich公司製)3.01g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.40g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.08g、2-庚酮(和光純藥製)18.79g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物11之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物11的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物11利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為27,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將4-[(2’-乙氧基)乙氧基]苯乙烯(東曹有機化學製)15.00g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)15.16g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.03g、2-庚酮(和光純藥製)70.38g,置入125ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得黏稠的2-庚酮溶液。
將離子交換樹脂(DIAION RCP160M、三菱化學(股)製)5.00g,置入50ml燒杯中,使用20ml的無水乙醇實施洗滌、過濾3次,再使用50ml的2-庚酮實施洗滌、過濾後,製得經以2-庚酮溶劑置換之離子交換樹脂。
將經以2-庚酮溶劑置換之離子交換樹脂、攪拌子,置入裝有黏稠的2-庚酮溶液之125ml耐壓容器中,在室溫使用磁力攪拌機(magnetic stirrer)加以攪拌5小時。攪拌完成後暫時靜置後,實施黏稠的2-庚酮溶液之濾別,並滴下至1000ml的己烷中,以使聚合物再沈澱。將所得聚合物過濾、乾燥後,製得白色粉末的高分子化合物12。得量為25g。高分子化合物12的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物12利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為56,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)2.60g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)3.64g、丙烯腈(和光純藥製)0.66g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)1.50g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.09g、2-庚酮(和光純藥製)18.06g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物13的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物13利用標準苯乙烯所求得之重量平均分子量,為38,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯甲酸乙烯基酯(Aldrich公司製)22.41g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)14.68g、4-胺基苯乙烯(Aldrich公司製)3.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.40g、2-庚酮(和光純藥製)60.14g,置入125ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物14之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物14的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物14利用標準乙烯所求得之重量平均分子量,為27,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)18.52g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)14.56g、2-{O-[1’-甲基亞丙基胺基]羧基胺基}乙基-甲基丙烯酸酯(昭和電工製、商品名「Karenz MOI-BM」)12.00g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.45g、2-庚酮(和光純藥製)67.62g,置入125ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物15之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物15的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物15利用標準聚苯乙烯所求得之重量平均分子量,為26,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將苯乙烯(和光純藥製)2.02g、2,3,4,5,6-五氟苯乙烯(Aldrich公司製)4.72g、4-羥基丁基丙烯酸酯(日本化成(股)製)0.70g、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙腈)0.08g、2-庚酮(和光純藥製)17.55g,置入50ml耐壓容器(ACE製),通入氮氣使其冒泡後緊密栓蓋,於60℃的油浴內進行聚合48小時,製得溶解有高分子化合物16之黏稠的2-庚酮溶液。高分子化合物16的化學構造,係如下所示。
從所得高分子化合物16利用標準苯乙烯所求得之重量平均分子量,為37,000(島津製GPC,Tskgel Super HM-H 1支+Tskgel Super H2000 1支、流動相=THF)。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、以式
表示之1,4-二羥基苯0.034g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器(membrane filter)以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,將高分子化合物3溶解於作為溶劑之氯仿中,以製作濃度為0.5重量%之溶液(有機半導體組成物),將此使用膜濾器過濾以調製塗佈液。
將所得塗佈液,依旋轉塗佈法塗佈於前述閘極絕緣層上,以形成具有約60nm厚度之活性層,接著,依採用金屬遮罩之真空蒸鍍法,於活性層上形成通道長20μm、通道寬2mm的源電極及汲電極(從活性層側依序具有薄、金之層合構造),製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例2中所得高分子化合物2的2-庚酮溶液3.00g、以式
表示之1,3-雙(3’-胺基苯氧基)苯0.077g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在150℃下煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
除閘極絕緣層的煅燒係於熱板上在200℃實施30分鐘以外,其餘則按與實施例2同樣方式,製得場效應型有機薄膜電晶體。
除閘極絕緣層的煅燒係於熱板上在220℃實施30分鐘以外,其餘則按與實施例2同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
除閘極絕緣層的煅燒係於氮氣雰圍中、在熱板上於220℃實施30分鐘以外,其餘則按與實施例2同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
除不用1,4-二羥基苯而改用對-伸苯基二胺0.034g以外,其餘則按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液2.00g、合成例4中所得高分子化合物4的2-庚酮溶液0.79g、以及2-庚酮2.00g置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例5中所得高分子化合物5的2-庚酮溶液1.00g、合成例4中所得高分子化合物4的2-庚酮溶液0.28g以及2-庚酮2.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例6中所得高分子化合物6的2-庚酮溶液2.00g、合成例4中所得高分子化合物6的2-庚酮溶液0.61g、以及2-庚酮2.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在100℃煅燒10分鐘,在150℃煅燒10分鐘,在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例7中所得高分子化合物7的2-庚酮溶液2.00g、合成例4中所得高分子化合物4的2-庚酮溶液0.60g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在100℃煅燒10分鐘,在150℃煅燒10分鐘,在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例8中所得高分子化合物8的2-庚酮溶液2.00g、合成例4中所得高分子化合物4的2-庚酮溶液0.70g、以及2-庚酮2.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在100℃煅燒10分鐘,在150℃煅燒10分鐘,在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例9中所得高分子化合物9的2-庚酮溶液3.00g、1,4-二羥基苯0.036g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例10中所得高分子化合物10的2-庚酮溶液6.00g、1,4-二羥基苯0.072g、以及2-庚酮3.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例11中所得高分子化合物11的2-庚酮溶液6.00g、1,4-二羥基苯0.072g、以及2-庚酮3.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、BOPH(聚{二甲基-2-(4’-羥苯基)乙基矽烷基倍半矽氧烷})樹脂的42.4重量%的2-庚酮溶液(東亞合成(股)製)0.425g、以及2-庚酮1.30g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、合成例12中所得高分子化合物12的粉末0.195g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例13中所得高分子化合物13的2-庚酮溶液3.00g、1,4-二羥基苯0.037g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例14中所得高分子化合物14的2-庚酮溶液3.00g、1,4-二羥基苯0.29g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、以式
表示之2,2’-雙(三氟甲基)聯苯胺0.100g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、以式
表示之1,3-雙(3’-胺基苯氧基)苯0.091g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在200℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液3.00g、以式
表示之二(4-羥基-3-硝基苯基)醚0.091g、以及2-庚酮1.50g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在150℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例2中所得高分子化合物2的2-庚酮溶液2.00g、合成例14中所得高分子化合物14的2-庚酮溶液1.86g、以及2-庚酮1.30g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例15中所得高分子化合物15的2-庚酮溶液2.00g、合成例14中所得高分子化合物14的2-庚酮溶液3.53g、以及2-庚酮1.80g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例15中所得高分子化合物15的2-庚酮溶液2.00g、合成例16中所得高分子化合物16的2-庚酮溶液4.53g、置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
其次,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液2.00g、以式
表示之1,3-雙(3-胺基丙基)-1,1,3,3-四甲基二矽氧烷0.069g、以及2-庚酮2.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液2.00g、以式
表示之1,4-雙(3-胺基丙基二甲基甲矽烷基)苯0.085g、以及2-庚酮2.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
將合成例1中所得高分子化合物1的2-庚酮溶液2.00g、以式
表示之3-(2-胺基乙基胺基丙基)參(三甲基甲矽烷氧基)矽烷0.11g、以及2-庚酮2.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
使用孔徑0.2μm的膜濾器以過濾所得塗佈溶液,並於附有鉻電極之玻璃基板上實施旋轉塗佈後,於熱板上在220℃煅燒30分鐘,以製作閘極絕緣層。
接著,按與實施例1同樣方式操作,製得場效應型有機薄膜電晶體。
就如此方式所製作之閘極絕緣層,使用接觸角計(contact angle meter)CA-A(協和界面化學(KYOWA KAIMENKAGAKU)社製)以測定對純水之接觸角。純水,則採用去離子水。
就如此方式所製作之場效應型有機薄膜電晶體,依將閘極電壓Vg變化為0至-60V、將源極‧汲極間電壓Vsd變化為0至-60V之條件,採用真空探測器(BCI 22 MDC-5-HT-Scu:Nagase Electronic Equipments Service Co.,LTD.(長瀨電子設備服務(股)製)以測定其電晶體特性之結果,表示於表1中。
有機薄膜電晶體的磁滯,係以源極‧汲極間電壓Vsd在-40V,使閘極電壓Vg從0V變化至-60V時的臨界電壓Vth 1與使閘極電壓Vg從-60V變化至0V時的臨界電壓Vth 2之間的電壓差異表示。
有機薄膜電晶體的ON/OFF比(通斷比),係將以閘極電壓為40V時的電流值,除以有機薄膜電晶體的上升的電流值所求出者。
將聚乙烯基酚-共聚-聚甲基丙烯酸甲酯(Aldrich公司製、Mn=6700)1.00g、N,N,N’,N’,N”,N”-六甲氧基甲基三聚氰胺(住友化學製)0.163g、熱酸產生劑(綠化學(股)製、商品名:TAZ-108)0.113g、以及2-庚酮7.00g,置入10ml的試樣瓶中,攪拌溶解以調製均勻的塗佈溶液。
除為閘極絕緣層的形成而採用該塗佈溶液以外,其餘則按與實施例1同樣方式操作以製作場效應型電晶體,並測定電晶體特性後加以評價。
除採用聚乙烯基酚(Aldrich公司製,Mn=8,000)以外,其餘則按與比較例1同樣方式操作,並測定電晶體特性後加以評價。
如實施例的結果所示,如採用本發明,則能提供一種Vth 1的絕對值以及磁滯皆小的有機薄膜電晶體。
1...基板
2...閘電極
3...閘極絕緣層
4...有機半導體層
5...源電極
6...汲電極
7...罩層
第1圖係表示作為本發明之一實施形態之底閘極頂接觸(bottom gate top contact)型有機薄膜電晶體的構造之模式剖面圖。
第2圖係表示作為本發明之另一實施形態之底閘極底接觸(bottom gate bottom contact)型有機薄膜電晶體的構造之模式剖面圖。
1...基板
2...閘電極
3...閘極絕緣層
4...有機半導體層
5...源電極
6...汲電極
7...罩層
Claims (11)
- 一種樹脂組成物,係含有:(A)含有選自以一般式(1)表示之重複單元、以一般式(1’)表示之重複單元以及以一般式(2)表示之重複單元所成群組之至少1種重複單元,且分子內含有2個以上之第1官能基,而該第1官能基係因電磁波或熱的作用而生成與活性氫反應之第2官能基之官能基的高分子化合物,與(B)選自分子內含有2個以上活性氫之低分子化合物及分子內含有2個以上活性氫之高分子化合物所成群組之至少1種化合物
- 如申請專利範圍第1項之樹脂組成物,其係用於有機薄膜電晶體閘極絕緣層者。
- 如申請專利範圍第1項或第2項之樹脂組成物,其中,第1官能基係選自經封端劑所保護之異氰酸基及經封端劑所保護之異硫氰酸基所成群組之至少1種基。
- 如申請專利範圍第3項之樹脂組成物,其中,經封端劑所保護之異氰酸基及經封端劑所保護之異硫氰酸基,係以一般式(3)表示之基:
- 如申請專利範圍第3項之樹脂組成物,其中,經封端劑所保護之異氰酸基及經封端劑所保護之異硫氰酸基,係以一般式(4)表示之基:
- 一種有機薄膜電晶體之閘極絕緣層,係採用申請專利範圍第1項至第5項中任一項之樹脂組成物所形成者。
- 如申請專利範圍第6項之有機薄膜電晶體之閘極絕緣層,其對純水之接觸角係91度以上者。
- 一種有機薄膜電晶體,係具有申請專利範圍第6項或第7項之閘極絕緣層者。
- 如申請專利範圍第8項之有機薄膜電晶體,係屬於底閘極頂接觸型或底閘極底接觸型者。
- 一種顯示器用構件,係包含申請專利範圍第8項或第9項之有機薄膜電晶體者。
- 一種顯示器,係包含申請專利範圍第10項之顯示器用構件者。
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